CH376165A - Verfahren zur Messung und/oder Steuerung oder Regelung relativer Wegabweichungen zweier bewegter Körper und Einrichtung hierzu - Google Patents

Description

  Verfahren zur Messung und/oder Steuerung oder Regelung relativer Wegabweichungen       zweier    bewegter Körper und Einrichtung hierzu    Es ist bekannt, dass zwei oder mehr Bewegungen  in Abhängigkeit voneinander gebracht werden können,  indem die von den beiden Bewegungen durch Ab  tastung von Teilungen erhaltenen Impulsfolgen mit  elektronischen Mitteln verglichen werden.     Eine     gegenseitige Abweichung erzeugt eine Regelgrösse,  nach deren Betrag und Richtung die eine Bewegung  nachgesteuert wird, beispielsweise mit Hilfe von elek  trischen oder     hydraulischen    Antrieben. Dies geschieht  so lange, bis eine Übereinstimmung beider Impuls  folgen erreicht ist.  



  Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur  Messung und/oder Steuerung oder Regelung relativer  Wegabweichungen zweier bewegter Körper, insbeson  dere eines Werkstückes gegenüber einem Probestück  oder Werkzeug, durch Vergleich von den beiden  Bewegungen abgeleiteter Impulsfolgen, dadurch ge  kennzeichnet, dass letztere durch Abtastung von  Längs- oder Kreisteilungen, die mit den Körpern ver  bunden sind, erzeugt werden und mindestens eine  derselben durch elektrische Teilung oder Multiplika  tion ihrer Frequenz verändert wird, und dass diese  veränderte Impulsreihe mit der anderen Impulsreihe  verglichen wird und eine Mess- bzw. Steuer- oder  Regelgrösse durch diesen Vergleich gewonnen wird.  



  Im folgenden soll die Anwendung dieses Verfah  rens und des grundsätzlichen Erfindungsgedankens  sowohl am Beispiel einer Wälzfräsmaschine als auch  am Beispiel eines Einflanken-Wälzprüfgerätes für  Zahnräder näher erläutert werden. Dabei werden  auch weitere Einzelheiten erläutert.  



  In den Abbildungen ist die Erfindung anhand  mehrerer Ausführungsbeispiele schematisch darge  stellt.    Es zeigen:  Fig. 1 die grundsätzliche Anordnung des     Messtei-          les    bis zur Gewinnung der Regelgrösse am Beispiel  einer Wälzfräsmaschine,  Fig. 2 den Regelkreis als Blockschaltbild,  Fig. 3 schematisch den Getriebezug einer     Wälz-          fräsmaschine    mit einer Angabe von Eingriffsmög  lichkeiten zum Regeln der Bewegungsfehler,  Fig. 4 einen Teil der Fig. 1 mit der Ergänzung  zur Gewinnung von Zusatzimpulsen,  Fig. 5 den grundsätzlichen Aufbau eines     Einflan-          ken-Wälzprüfgerätes    in schematischer Form,  Fig.

   6 eine andere Ausführungsform eines Ein  flanken-Wälzprüfgerätes.  



  Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung die für  die Erläuterung des Verfahrens wichtigsten. Bauteile  einer Wälzfräsmaschine: die Fräserwelle 1 mit dem  Fräser 2, die Welle des Werkstückes 5 mit dem Werk  stück 6. Beide Wellen tragen Kreisteilungen 3 bzw. 7  mit z. B. 10 000 oder 50 000 Teilintervallen auf dem  Umfang. Dies entspricht einem Teilintervall von 130  oder 26 Winkelsekunden für den Tisch mit dem  Werkstück bzw. am Fräser, bei einer mittleren  Zähnezahl des zu fräsenden Rades von<B>100,</B> wie  derum auf den Tisch bezogen, 1,3 bzw. 0,26 Winkel  sekunden.

   Die     Abtastung    dieser Teilungen erfolgt  durch die     Einrichtungen    4 und B.     Diese    können, wie  bereits vorgeschlagen, mehrmals am     Umfang        angeord@          net    werden, um die Genauigkeit zu erhöhen und um Ex  zentrizitäten der Teilungen auszugleichen. (In diesem  Zusammenhang wird Bezug genommen auf die mit  gleicher Priorität eingereichte Patentanmeldung Num  mer 69756,I59.) Der Aufwand wird bei optischer  Teilung und optischer, das heisst     photoelektrischer          Abtastung,    insbesondere mit     Hilfe    von Kreuzungs-      Linien, besonders gering. Es lassen sich jedoch auch  andere, z.

   B. magnetische Teilungen verwenden.  



  Die Abtastung liefert entsprechend der Winkel  geschwindigkeit der Teilscheiben jeweils :eine Impuls  folge. Eine Folge, die des Fräsers, fliesst in der Lei  tung 9, die Folge des Tisches dagegen in der Leitung  12. Für eine bestimmte Zähnezahl des zu fräsenden  Rades ergibt sich eine an der Maschine eingestellte  feste Übersetzung zwischen den Wellen 1 und 5  und damit ein bestimmtes Verhältnis zwischen den  Impulsfolgen. Durch angepasste Wahl der Zahl der  Teilintervalle der Kreisteilungen kann Gleichheit der  Impulsfrequenzen erreicht werden. Zur Erreichung  dieser Gleichheit werden ferner Impulsteiler oder  Multiplikatoren in die Leitungszüge 9 und 12 ein  geschaltet, wie dies durch die Einheiten 10 und 13  angedeutet ist.

   Bei einer Zähnezahl von beispielsweise  l00 und bei einem eingängigen Wälzfräser und bei  gleichen Teilscheiben 3 und 7 wird mit einem     Teiler     10, der nur jeden 25. Impuls weiterleitet und einem  Multiplikator 13, der die vierfache Impulsanzahl er  zeugt, Gleichheit der Impulsfolgefrequenzen erreicht.  



  Hier können natürlich auch andere Zahlenkombi  nationen angewendet werden; so kann der Multipli  kator .entfallen, wenn der Teiler auf die Zähnezahl,  das heisst 100, gestellt wird. Derartige elektronische  Teiler, mit denen eine Impulsanzahl durch jede ganze  Zahl geteilt werden kann und die bis zu sehr hohen  Frequenzen verlässlich arbeiten, sind ausreichend be  kannt, so dass sich eine nähere Beschreibung erübrigt.  Verwiesen wird auf das Buch  Waveforms  aus der  Buchreihe  Radiation Laboratory Series , Verlag  McGraw-Hill Book Company New York 1949,  S. 556-628. Der Teiler kann indes als Teiler einer  festen Impulsfrequenz entworfen oder auch ein ein  facher elektronischer Zähler sein, der bei Erreichen  der vorgewählten Zahl einen Ausgangsimpuls abgibt.  



  Die so erhaltenen Impulse in den Leitungen 11  und 14 werden nun in einem Gerät 15 verglichen.  Dieses arbeitet vorzugsweise mit Verfahren linearer  Interpolation und stellt die Abweichungen der beiden       Impulsfolgen    voneinander fest und damit die Relativ  drehung, also den Teilungsfehler des gefrästen Rades.  Mit Hilfe geeigneter Verfahren lassen sich auch Im  pulsfolgen vergleichen, deren Folgefrequenzen ein  ganzes Vielfaches voneinander abweichen. In diesem  Falle kann, da     die    Maschinenübersetzungen bei ein  gängigen Fräsern immer ganzzahlig sind, der Faktor  der Teiler und Multiplikatoren verringert werden.  



  Eine Abweichung einer Impulsfolge von der     Soll-          lage    erzeugt über das Vergleichsgerät 15 eine Regel  spannung, die mit nachgeschalteten Einrichtungen so  wirkt, dass die Fehler ausgeglichen werden, und dass  damit die Maschine die genaue relative Lage der  Teilscheiben einhält. Nähere Einzelheiten des Ge  rätes 15 sind in der Parallelanmeldung Nr.     69755,\59     des Anmelders vom gleichen Tage beschrieben.  



  Fig. 2 zeigt den dazu nötigen Regelkreis. Mit 11  und 14 ist die Einströmung der Impulsinformation  gezeigt, die :einerseits von der Fräserdrehung, dar-    gestellt durch Kästchen 18 bzw. von der Tischdre  hung, dargestellt durch Kästchen 17, gewonnen wird.  Die gegenseitige Lage wird im Gerät 15 verglichen  und dort die Regelspannung, die Stehgrösse 16 er  zeugt, mit deren Hilfe der Tischantrieb 17 so lange  nachgestellt wird, bis die gewünschte Lage der Im  pulse 11 und 14 hergestellt ist.  



  Der Regler 15 kann mit proportionalem, differen  tialem oder integralem Verhalten oder gemischter  Charakteristik gebaut sein, je nach den Verhältnissen.  Ebenso können Führungs- und Regelgrösse 11 bzw.  14 gegeneinander vertauscht werden, also genau so  gut der Fräserantrieb nachgeregelt werden.  



  Für den Regelangriff, das heisst für die Ausbil  dung der Regelstrecke, z. B. 17, ergeben sich eine  Reihe von Möglichkeiten, die schematisch alle in der       Fig.    3 zusammengestellt sind.  



  So können zunächst zwei voneinander unabhän  gige Antriebe für die zwei Bewegungsgrössen vor  gesehen sein, von denen der eine steuerbar ist, also  in bekannter Weise elektronisch, magnetisch oder hy  draulisch regelbar ist.  



  Mit einer geringen Leistung des zu steuernden  Antriebes kommt man aus, wenn der bisherige Tisch  antrieb einer Wälzfräsmaschine beibehalten wird.  Solche Getriebe sind bekannt und in     Fig.3    durch  Kästchen 58 angedeutet. Die mit den Ziffern 21 bis  36 bezeichneten Teile gehören nicht zum Getriebezug  einer üblichen Wälzfräsmaschine, sondern zeigen  alternative Ausführungsbeispiele der Erfindung.  



  Zusätzlich kann z. B. über ein Differential, das  im Getriebezug mit 24 bezeichnet wird, eine laufende  Zusatzdrehung über den Steg desselben und die ihn  antreibenden Kegelräder 25 und 26 von einem Regel  motor 27 eingebracht werden. Die an sich feste und  bekannte Stufengetriebeübersetzung 58, die je nach  Zahnzahl dies Werkstückes eingestellt ist, wird durch  Einleitung der Drehung des Motors 27 geändert. Je  nach Drehrichtung des Motors wird die Übersetzung  kleiner oder grösser. Es ist einleuchtend, dass der  Motor damit die auftretenden     Winkellagenfehler    zwi  schen den Wellen 1 und 5 ausgleichen kann. Die Aus  legung des Getriebezuges kann vorteilhaft so gewählt  werden, dass der Regelmotor 27 seine Drehrichtung  nicht umzukehren braucht.

   In diesem Fall speist er  mit seiner Nenndrehzahl dauernd eine Zusatzdrehung  ein, die nach den Erfordernissen vergrössert bzw. ver  kleinert wird. Die Übersetzung zwischen     Fräser    und  Werkstück ist entsprechend geringer oder grösser zu  bemessen. Die Leistung des Regelmotors 27 ist, da  er nur eine zusätzliche Drehung aufzubringen hat,  gering. In der     Fig.    3 liegen als Alternative im Ge  triebezug zwischen dem Regelmotor 27 und dem Stu  fengetriebe 58, der     Kegelradantrieb    26, das Differen  tial 24, 25, die Welle 28, die     Kegelradübersetzung    29,  die Welle 30, das Differential 32, 33, die Welle 34,  die Kegelräder 35, 36 und die Welle 37.  



  Die notwendige Zusatzdrehung beschränkt sich  je nach konstruktiver Auslegung auf eine Winkelver  drehung von wenigen Graden. Diese könnte anstelle      des Differentials 24 und des Regelmotors 27 durch  Verdrehen eines Steges eines anderen Differentials  mit elektrisch-mechanischen Mitteln oder mit Hilfe  hydraulischer Steuerkolben einfach bewerkstelligt  werden, wie dies in Fig. 3 durch das Differential 32  und dessen Steg 33 angedeutet     ist.     



  In den Getriebezug lässt sich endlich anstelle der  genannten Mittel auch ein mitrotierender Drehüber  trager normaler und bekannter Bauart     ( elektrisches     Differential ) einführen, wie dies mit dem Anker 21  und dem Feld 22 angedeutet ist. Die Einspeisung wird  über Schleifringe vorgenommen. Die     inneren    Felder  des Drehübertragers bestimmen die Lage des Ankers  gegenüber dem äusseren Feld. Damit ist ebenfalls eine  Möglichkeit der Einführung einer Relativdrehung in  den Getriebezug gegeben.

   Bei dieser Alternative er  folgt der Antrieb des Getriebezuges vom Regelmotor  19 über die Fräswelle 1, das Kegelradgetriebe 19',  19", die     Welke    20, den Anker 21 und das Feld 22  sowie die Welle 23 und dann über die früher beschrie  benen Teile des Getriebezuges, die aber auch weg  fallen können, so dass die Welle 23 unmittelbar auf  die Welle 37 wirkt.  



  Ein Ausgleich der Fehler ist weiterhin dadurch  möglich, dass auf dem normalen, von der Schnecke 38  angetriebenen Maschinentisch 39 ein zweiter, mit 41  bezeichneter aufgebaut wird, der in bezug auf den  Normaltisch um die Grösse der Fehler verdreht wird.  Die Verdreheinrichtung kann dabei mit herkömm  lichen mechanischen oder hydraulischen Antrieben  arbeiten. Sie kann vorteilhafterweise mit Ausnützung  der magnetostriktiven Effekte bzw. der umgekehrten  Piezoeffekte erfolgen. Die beiden Tische sind in die  sem Falle durch die Elemente 40, 40', 40" und 40"'  verbunden. Diese bestehen beispielsweise aus Nickel  oder einem anderen Material hohen magnetostriktiven  Moduls. Sie sind je von einer Spule umgeben, deren  Stromfluss und damit deren magnetisches Feld von der  Regelspannung geändert werden kann.

   Damit ändert  sich gleichzeitig die Länge der genannten Elemente,  womit die Tische 39 und 41 gegeneinander verdreht  werden. Bei Anwendung des umgekehrten     Piezoeffek-          tes    bestehen die Elemente aus Bariumtitanat oder  einem anderen geeigneten Stoff, an den eine elek  trische Spannung gelegt wird, die zu Verlängerungen  bzw. Verkürzungen der Elemente führt. Die Anwen  dung dieses Doppeltisches ist besonders dort vorteil  haft, wo an bereits vorhandene Maschinen ohne grö  sseren Eingriff eine derartige Regeleinrichtung an  gebaut werden soll.  



  Analog zur zusätzlichen Verdrehung des Tisches  kann umgekehrt der Fräser 2 axial verschoben wer  den. Die notwendige Bewegung kann über die Ver  schiebung :eines axialen Lagers oder, wie in Fig. 3  skizziert, über beispielsweise einen Hebel 42, der in  der Maschine fest gelagert ist (Lager 43), erfolgen.  Die Verschiebung - es handelt sich im allgemeinen  um wenige Mikron - kann wiederum mit Hilfe     ma-          gnetostriktiver    oder piezoelektrischer Elemente auf  gebracht werden.    Die vielen genannten Möglichkeiten sind bei  spielhafte Ausführungen des grundsätzlichen Erfin  dungsgedankens. Die     einzelnen    Mittel lassen sich da  bei auch kombinieren.

   So lässt sich beispielsweise für  die grösseren Übersetzungsfehler, die in langsamer  Folge auftreten, ein Antrieb nachsteuern, für die  kleineren Abweichungen mit     schnellerer    Folge da  gegen gleichzeitig ein Ausgleich mit magnetostriktiven  Elementen vornehmen.  



  Die gleichen Betrachtungen gelten sinngemäss auch       für    andere Werkzeugmaschinen mit zwei Bewegun  gen, also nicht nur für die Drehungen von Werk  stücktisch und Wälzfräser wie im obigen Beispiel,  sondern     auch    für die Drehbewegung des Tisches und  die Vorschubbewegung des Frässchlittens über die  Breite des Werkstückes in     Wälzfräsmaschinen,    die  Drehbewegungen von Werkzeug und Werkstück in  Wälzstossmaschinen, die Drehung und die Längs  bewegung von Werkstücken in Gewindeschleifmaschi  nen usw.  



  Die im vorstehenden beschriebene     Wälzfräs-          maschinensteuerung    genügt indes. noch nicht allen  Anforderungen. Mit ihr lassen sich noch nicht Schräg  zahnräder herstellen und auch nicht das     Shifting-          Verfahren    anwenden. Für diese Fälle wird eine Son  dereinrichtung in Form einer Impulssubtraktion bzw.  Impulsaddition vorgesehen, die in ihrer Wirkung etwa  der des bekannten Differentials in     Wälzfräsmaschinen     zur Berücksichtigung des Schrägwinkels entspricht.  



  Entsprechend diesem Schrägungswinkel hat der  Tisch eine positive oder negative Zusatzdrehung aus  zuführen. Dieser     entsprechend    muss also eine der       Impulsfolgen    geringfügig verändert werden. Nach  Fig. 4 wird die Impulsfolge der Fräserwelle 1 an einer  Teilscheibe 3 abgegriffen. Diese Impulsfolge wird auf  einen weiteren Teiler 44 gegeben, der entsprechend  dem Schrägungswinkel und dem Fräservorschub ein  gestellt wird und Zusatzimpulse über die Leitung 45  liefert, die über ein Addierwerk oder Subtrahierwerk  46 (je nach Richtung des Schrägungswinkels) dem  Impulsstrom 9 zugeführt werden. Der gemeinsame  Strom 47 wird in schon beschriebener Art weiter  behandelt, also im     Teiler    10 geteilt usw.

   Durch die  Zusatzimpulse erfolgt zwar ein Sprung der Überset  zung, dieser kann jedoch innerhalb der zulässigen  Toleranz gehalten werden. Die Zusatzimpulse kön  nen jedoch auch an anderer     Stelle    abgeleitet werden,  z. B. an der Vorschubwelle für den Frässchlitten. Es  sind Mittel vorzusehen, dass die Zusatzimpulse nicht  mit den Impulsen 9 genau zusammenfallen, sondern  in deren Lücken eintreffen.  



  Zur Einführung     einer    Zusatzdrehung kann jedoch       alternativ    die     Abtaststelle    der     Impulse    4 relativ zur Tei  lung gedreht werden, wie dies im Pfeil 48     angedeutet     ist. Die gleichen     Merkmale    gelten auch für das     Shifting-          Verfahren,        bell    dem     de:rFrästerzusätzlich    axial, verscho  ben wird',. um     neue    Schneiden in Eingriff zu bringen.

    Von     dieser    zusätzlichen Bewegung lassen sich wiederum  Impulse     ableiten;    es ist auch eine     Winkelkopplung     von     Fräser    und     Abtastung    der Tischteilung     möglich.         Alle vorgenannten Möglichkeiten haben zum Ziel,  die Relativbewegungen an Werkzeugmaschinen zu  steuern im Sinne hoher Genauigkeit. Dabei ist es nicht  erforderlich, dass die von der Messeinrichtung 15 ge  lieferte und zum Regeln benutzte Regelspannung den  vorkommenden und zu beseitigenden Fehlern der  Relativbewegung proportional ist. Im Gegenteil, es  kann in gewissen Fällen erwünscht oder nötig sein,  Proportionalität zu vermeiden, z. B. zur Vermeidung  von Schwingungen.  



  Eine einfachere Aufgabe ist die Messung der  relativen Fehler eines Werkstückes. Zu diesem Zweck  ist nur die von der Messeinrichtung 15 -erhaltene  Regelspannung 16 auf .einem geeigneten Schreiber zu  registrieren bzw. sichtbar zu machen, denn diese ist  ein Mass für die auftretenden Fehler. Für die Anwen  dung zur Messung der Fehler soll das Messgerät für  die Regelspannung proportional und möglichst in  Winkelsekunden geeicht sein, eine Forderung, die  sich mit Hilfe linearer Interpolation nach der erwähn  ten Parallelanmeldung Nr.     69755j39    ohne weiteres  erfüllen lässt.  



  In Fig. 5 ist die grundsätzliche Anordnung zur  Messung der relativen Wegabweichungen von Zahn  rädern, die sogenannte Einflankenwälzprüfung, dar  gestellt, bei der ein Meisterrad mit einem Prüfling in  Eingriff ist. Das     Meisterrad    49 kann dabei von Hand  oder auch motorisch angetrieben sein, der Prüfling 52  wird entweder nur leicht gebremst, so dass die Zahn  radflanken mit Messkraft anliegen, oder wird so ge  bremst, dass die Flankenpressung den Betriebsver  hältnissen entspricht.  



  Mit beiden Wellen sind Teilscheiben 49' bzw. 52'  gekuppelt, die     mittels    der Vorrichtungen 50 bzw. 53  abgetastet werden. Der Impulsteiler 51 wird dabei  auf die Zähnezahl des Prüflings 52 eingestellt, der  Teiler 54 wird dagegen auf die Zähnezahl des Mei  sterrades 49 eingestellt oder auf ganze Vielfache hier  von. Die erhaltenen Impulsfolgen werden im Gerät  55 verglichen und bei einer gegenseitigen Abweichung  die Messspannung 56 gewonnen, die als Mass für den  Wälzfehler registriert oder angezeigt werden kann.  



  Um höhere Impulsfrequenzen zu erreichen, kann  eine Einrichtung nach Fig. 6 vorteilhaft sein. Hier  wird ein Multiplikator 57 eingesetzt, der auf die  Zähnezahl des Meisterrades     eingestellt    oder auf einen  ganzen     Teiler    davon eingestellt     ist,    und ferner ein  Teiler 51, der auf die Zähnezahl des Prüflings ein  gestellt wird.  



  Mit Hilfe dieser Teuer bzw. Multiplikatoren ist es  schnell und sehr einfach möglich, die Messeinrichtung  auf die verschiedensten Zähnezahlen     umzustellen.     Der Impulsvergleich erfolgt zweckmässig nach dem  Interpolationsverfahren der Parallelanmeldung Num  mer 69755/59. In diesem Fall wird der Fehler in  Einheiten des Teilintervalls der verwendeten Teil  scheiben (etwa 10 000 Teilungen auf den Umfang)  angezeigt.  



       Zweckmässig    werden     die    Impulsreihen so ein  gerichtet, dass sie auf Lücke stehen, was durch eine    relative Verdreheinrichtung ermöglicht wird, z. B.  durch Winkelversatz einer der Abtasteinheiten 50  oder 53. Diese werden so lange verschoben, bis der  Mittelwert der Fehlerspannung 56 die gewünschte  Lage     .einnimmt.    Der Impulsabstand wird zweckmässig  grösser als der grösste Wälzfehler gemacht. Bei 10 000  Teilintervallen auf dem Umfang darf dann der grösste       Wälzfehler      65 Winkelsekunden betragen oder bei  Anwendung von     Impulsteilern    entsprechende Viel  fache.

   Bei einer Interpolation in 100 Teile, die elek  trisch keinerlei Schwierigkeiten bereitet, bedeutet dies  einen Messfehler, wenn vom Fehler der Teilung ab  gesehen wird:, von nur   0,65     Winkelsekunden.     



  Die beschriebene Prüfung von Stirnzahnrädern  kann in analoger Weise auf die Prüfung von Kegel  rädern, Schraubenrädern, Schnecke und Schnecken  rad, Stirnrad und Zahnstange, auf Gewinde, auf die  Prüfung von Kreisteilungen und Längsteilungen un  tereinander angewendet werden.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE I. Verfahren zur Messung und oder Steuerung oder Regelung relativer Wegabweichungen zweier be wegter Körper, insbesondere eines Werkstückes gegenüber einem Probestück oder Werkzeug, durch Vergleich von den beiden Bewegungen abgelieiteter Impulsfolgen, dadurch gekennzeichnet, dass letztere durch Abtastung von Längs- oder Kreisteilungen, die mit den Körpern verbunden sind, erzeugt werden und mindestens eine derselben durch elektrische Teilung oder Multiplikation ihrer Frequenz verändert wird, und dass diese veränderte Impulsreihe mit der an deren Impulsreihe verglichen wird und eine Mess- bzw. Steuer- oder Regelgrösse. durch diesen Vergleich gewonnen wird.

   II. Einrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass steuerbare Antriebe vorgesehen sind, die durch Ver änderung mindestens einer Bewegung die gemessenen Abweichungen ausgleichen. III. Anwendung des Verfahrens nach Patent anspruch I zur Steuerung einer Werkzeugmaschine, dadurch gekennzeichnet, dass Steuerglieder vorgese hen sind, die den Fehlerausgleich durch eine Längs- oder Winkelverschiebung .eines Trägers für das Werk zeug (42) oder eines Trägers (41) für das Werkstück bewirken. UNTERANSPRÜCHE 1.

   Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch ge kennzeichnet, dass vor einer Teilung und,'oder Multi plikation der Impulsfolgen Zusatzimpulse zu diesen Folgen elektrisch addiert oder von ihnen subtrahiert werden zu dem Zwecke, zusätzliche Verschiebungen zu den genannten relativen Wegabweichungen zu er zeugen. 2. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch ge kennzeichnet, dass bei der Abtastung einer Kreistei lung zwecks Gewinnung von Zusatzimpulsen zwi schen dieser und einem entsprechenden Abtastmittel eine mechanische Verdrehung zusätzlich eingeführt wird. 3.

   Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch ge kennzeichnet, dass zum Zwecke des Fehlerausgleiches die Regelung der relativen Wegabweichungen durch einen Regelkreis bewerkstelligt wird. 4. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch ge kennzeichnet, dass die gewonnene Messgrösse regi striert wird. 5. Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass ein steuerbarer Antrieb über ein Differential im Getriebezug angreift. 6. Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass im Getriebezug ein mitlaufender Drehübertrager liegt, dessen Relativdrehung den Feh ler ausgleicht. 7.

   Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass im Getriebezug ein Differential liegt, über dessen Steg eine Winkeldrehung eingeleitet wird. B. Anwendung nach Patentanspruch III, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger, z. B. ein Tisch oder ein Schlitten, als Doppelträger ausgebildet ist, dessen beide Teile (39, 41) von seinem steuerbaren Antrieb zum Fehlerausgleich ,gegenseitig verschoben oder ver dreht werden (Fig. 3). 9. Anwendung nach Patentanspruch III, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung bzw.

   Verdre hung =mit mechanischen, elektrischen, hydraulischen Mittelre oder durch magnetostriktive bzw. piezoelek trische Elemente oder eine Kombination von diesen erzeugt wird. 10. Anwendung nach Patentanspruch III des Ver fahrens nach Unteranspruch 1 für Wälzfräsmaschi- nen, dadurch gekennzeichnet, dass die Zusatzimpulse den Schrägungswinkel ausgleichen.

   <B>11.</B> Anwendung nach Patentanspruch III des Ver fahrens nach Unteranspruch 1 für Wälzfräsmaschi- nen, dadurch gekennzeichnet, dass die Zusatzimpulse eine axiäle Verschiebung des Wälzfräsers ausgleichen. 12.

   Anwendung nach Patentanspruch III, dadurch gekennzeichnet, dass zur Prüfung der Drehbewegungen von mindestens zwei in Eingriff befindlichen Zahn rädern je ein Teiler bzw. Multiplikator für die Zähne zahl eines Rades, z. B. eines Meisterrades und eines Prüflings, vorgesehen ist.

   13. .Anwendung nach Unteranspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur relativen Verdrehung der Teilscheiben vorgesehen sind, um die Impulsfol gen auf Lücke stellen zu können.