CH367269A - Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens

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CH367269A
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Balzers Hochvakuum
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