BR112017013434B1 - Revestimento depositado sobre uma superfície de um substrato, e, método para a produção de um revestimento - Google Patents

Revestimento depositado sobre uma superfície de um substrato, e, método para a produção de um revestimento Download PDF

Info

Publication number
BR112017013434B1
BR112017013434B1 BR112017013434-9A BR112017013434A BR112017013434B1 BR 112017013434 B1 BR112017013434 B1 BR 112017013434B1 BR 112017013434 A BR112017013434 A BR 112017013434A BR 112017013434 B1 BR112017013434 B1 BR 112017013434B1
Authority
BR
Brazil
Prior art keywords
coating
last
layers
multilayer film
compressive stress
Prior art date
Application number
BR112017013434-9A
Other languages
English (en)
Other versions
BR112017013434A2 (pt
Inventor
Anders Olof Eriksson
Mirjam Arndt
Sebastian Stein
Original Assignee
Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon filed Critical Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon
Publication of BR112017013434A2 publication Critical patent/BR112017013434A2/pt
Publication of BR112017013434B1 publication Critical patent/BR112017013434B1/pt

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021Reactive sputtering or evaporation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • C23C14/0647Boron nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/32Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325Electric arc evaporation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/46Sputtering by ion beam produced by an external ion source
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/021Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer
    • C23C28/022Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer with at least one MCrAlX layer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Gear Processing (AREA)

Abstract

REVESTIMENTO DEPOSITADO SOBRE UMA SUPERFÍCIE DE UM SUBSTRATO, E, MÉTODO PARA A PRODUÇÃO DE UM REVESTIMENTO. Revestimento (210) depositado sobre uma superfície de um substrato (201) que compreende um filme multicamadas (216) que consiste em uma pluralidade de camadas A e uma pluralidade de camadas B depositadas alternadamente uma sobre a outra formando uma arquitetura A/B/A/B/A..., as camadas A compreendendo nitreto de boro cromo alumínio e as camadas B compreendendo nitreto de cromo alumínio e não compreendendo boro, em que o filme multicamadas (216) compreende pelo menos uma primeira porção (216a) e uma última porção (216c), em que o teor médio de boro na primeira porção de revestimento (216a) é maior do que o teor médio de boro na última porção de revestimento (216c) e ambas a primeira porção de revestimento (216a) e a última porção de revestimento (216c) apresentam esforços compressivos inerentes e em que o esforço compressivo inerente na primeira porção de revestimento (216a) é menor do que aquele na última porção de revestimento (216c).

Description

[001] A presente invenção se refere a um revestimento à base de AlCrN que apresenta excelente resistência à craterização em operações de usinagem a seco, tal como fresamento de engrenagens.
ESTADO DA TÉCNICA
[002] Arndt et al propuseram, no documento WO2013156131A1, um revestimento para a redução do desgaste por craterização de ferramentas de corte por operações de usinagem, que deve ser particularmente benéfico em operações de usinagem a seco, tal como fresamento de engrenagens. A Figura 1 mostra uma vista de um revestimento 110 de acordo com o documento WO2013156131A1, que inclui pelo menos um filme multicamadas 116 formado por nanocamadas A e B depositadas alternadamente umas sobre as outras, caracterizado pelo fato de que as nanocamadas A contêm nitreto de boro cromo alumínio e as nanocamadas B contêm nitreto de cromo alumínio e não contêm boro. De acordo com a descrição no documento WO2013/56131A1, o revestimento 110 apresenta um desempenho particularmente bom para operações de usinagem, se as nanocamadas A consistirem em nitreto de boro cromo alumínio e as nanocamadas B consistirem em nitreto de cromo alumínio. O documento WO2013156131A1 também ensina que o uso de uma camada de base 112 consistindo em nitreto de cromo alumínio deve ser igualmente benéfico, especialmente se a camada de base 112 for depositada de tal forma que, durante a deposição, é aplicada uma tensão de polarização que varia de um valor mais baixo para um valor mais alto. Além disso, o documento WO2013156131A1 ensina que uma tensão de polarização negativa não inferior a 70 V em valor absoluto deverá ser benéfica para a deposição de nanocamadas A contendo boro porque, desta forma, pode ser obtida a combinação necessária de alta densidade e baixa condutividade térmica das camadas contendo boro.
[003] No entanto, apesar dos benefícios alcançados com o revestimento mencionado acima, bem como com outros revestimentos disponíveis atualmente, ainda existe uma necessidade por novos revestimentos que apresentem propriedades aprimoradas, que possam ser adequados para atender às necessidades crescentes em diversas operações de usinagem e, particularmente, operações de usinagem a seco, tal como fresamento de engrenagens.
OBJETIVO DA PRESENTE INVENÇÃO
[004] O objetivo da presente invenção é proporcionar um revestimento à base de AlCrN que, em comparação com os revestimentos conhecidos, permite uma redução significativa do desgaste por craterização e desgaste de flanco e, desta forma, aumenta significativamente o desempenho de corte e a vida útil de ferramentas de corte usadas em diversas operações de usinagem, particularmente em operações de usinagem a seco, tal como fresamento de engrenagens. Além disso, é um objetivo da presente invenção proporcionar um método para fabricação de substratos, em particular de ferramentas de corte, revestidos com um revestimento de acordo com a presente invenção.
DESCRIÇÃO DA INVENÇÃO
[005] O objetivo da presente invenção foi alcançado proporcionando um revestimento 210, de acordo com a reivindicação 1, que compreende um filme multicamadas 216 que consiste em uma pluralidade de camadas A e uma pluralidade de camadas B depositadas alternadamente uma sobre a outra formando uma arquitetura A/B/A/B/A..., as camadas A compreendendo nitreto de boro cromo alumínio e as camadas B compreendendo nitreto de cromo alumínio e não compreendendo boro, em que o revestimento 210 é depositado de tal forma que o filme multicamadas 216 compreende, pelo menos, uma primeira porção 216a e uma última porção 216c, em que o teor médio de boro na primeira porção 216a é maior do que o teor médio de boro na última porção 216c.
[006] De acordo com a presente invenção, a primeira porção do revestimento 216a do filme multicamadas 216 apresenta tensões residuais negativas e a tensão residual na porção 216a do revestimento é, em valor absoluto, menor do que aquela na última porção do revestimento 216c. No contexto da presente invenção, a tensão residual negativa também será chamada de esforço compressivo inerente.
[007] De acordo com uma modalidade preferida de um revestimento de acordo com a presente invenção, o teor médio de boro na primeira porção 216a é, pelo menos, 1,2 vezes maior do que o teor médio de boro na última porção 216c. Mais de preferência, o teor médio de boro na primeira porção 216a é, pelo menos, 1,4 vezes maior do que o teor médio de boro na última porção 216c.
[008] De acordo com uma modalidade adicional preferida de um revestimento de acordo com a presente invenção, o teor médio de boro na primeira porção 216a é, no máximo, 6 vezes maior do que o teor médio de boro na última porção 216c.
[009] Conforme mencionado anteriormente, um filme multicamadas 216 de acordo com a presente invenção compreende, pelo menos, uma primeira porção 216a e uma última porção 216c, no entanto, dependendo da aplicação, pode ser benéfico que o filme multicamadas 216 compreenda, adicionalmente, uma ou mais porções intermediárias 216b, depositadas entre a primeira porção 216a e a última porção 216c, cujo esforço de compressão inerente é maior do que o esforço de compressão inerente da primeira porção 216a e, de preferência, mas sem ser obrigatório, inferior ao esforço de compressão inerente da última porção 216c.
[0010] De acordo com uma modalidade adicional da presente invenção, o esforço de compressão inerente em uma ou mais porções intermediárias 216b é igual ou maior do que aquele na última porção 216c.
[0011] Em um revestimento 210 de acordo com a presente invenção, a primeira porção ou porção inferior 216a do filme multicamadas 216 é depositada mais próxima ao substrato 201, enquanto que a última porção ou porção superior 216c é depositada diretamente em cima da primeira porção 216a ou em cima de uma última porção intermediária 216b do filme multicamadas 216.
[0012] De acordo com uma modalidade preferida de um revestimento 210 com um filme multicamadas 216 compreendendo apenas uma primeira porção 216a e uma última porção 216c, a espessura da primeira porção 216a é, de preferência, cerca de 40 % a 90 % da espessura total do filme multicamadas 216.
[0013] De acordo com uma modalidade adicional preferida de um revestimento 210 com um filme multicamadas 216 compreendendo, adicionalmente, uma ou mais porções intermediárias 216b, a espessura da primeira porção 216a é, de preferência, cerca de 20 % a 80 % da espessura total do filme multicamadas 216.
[0014] Surpreendentemente, usando uma tensão de polarização negativa inferior a 70 V, em valor absoluto, para a deposição da primeira porção 216a do filme multicamadas 216 e uma tensão de polarização negativa de, pelo menos, 90 V ou superior, em valor absoluto, para a deposição da última porção 216c do filme multicamadas 216, foi possível produzir revestimentos que proporcionam um desempenho de corte consideravelmente melhorado de ferramentas revestidas usadas em operações de usinagem a seco, em comparação com os revestimentos de acordo com o estado da técnica.
[0015] Foram obtidos resultados particularmente bons usando uma tensão de polarização negativa inferior a 50 V, em valor absoluto, para depositar a primeira porção 216a do filme multicamadas 216 e uma tensão de polarização negativa de, pelo menos, 100 V ou superior, em valor absoluto, para a deposição da última porção 216c do filme multicamadas 216.
[0016] Em uma modalidade preferida de um revestimento 210 de acordo com a presente invenção, as camadas A no filme multicamadas 216 têm uma composição elementar, sem considerar as contaminações, que é dada pela fórmula (AlxCryBz)N, onde x > 0, y > 0 e z > 0 são, respectivamente, a concentração de alumínio, cromo e boro em porcentagem atômica, se forem considerados apenas alumínio, cromo e boro para a avaliação da composição elementar nas camadas A correspondentes.
[0017] Em uma modalidade adicional preferida de um revestimento de acordo com a presente invenção, as camadas B no filme multicamadas 216 têm uma composição elementar, sem considerar as contaminações, que é dada pela fórmula (AlvCrw)N, onde v > 0 e w > 0 são, respectivamente, a concentração de alumínio e cromo em porcentagem atômica, se forem considerados apenas alumínio e cromo para a avaliação da composição elementar nas camadas B correspondentes.
[0018] De acordo com uma modalidade adicional preferida de um revestimento inventivo, os coeficientes x, y e z nas camadas A satisfazem as condições 1 < x/y < 4,5 e/ou 0,01 < z < 30.
[0019] De acordo com uma modalidade preferida de um revestimento inventivo, os coeficientes v e w nas camadas B satisfazem a condição 1 < v/w < 4,5.
[0020] Em uma modalidade preferida do revestimento de acordo com a presente invenção, o revestimento 210 compreende pelo menos uma camada 212 depositada entre o substrato 201 e a porção inferior 216a do filme multicamadas 216, em que pelo menos a uma camada 212 é usada como uma camada de base e compreende nitreto de cromo alumínio e não compreende boro.
[0021] De preferência, a pelo menos uma camada de base 212 tem uma composição elementar dada pela fórmula (AlvCrw)N, onde v > 0 e w > 0 são, respectivamente, a concentração de alumínio e cromo em porcentagem atômica, se forem considerados apenas alumínio e cromo para a avaliação da composição elementar na camada de base 212.
[0022] Um revestimento de acordo com a presente invenção pode, além disso, compreender camadas adicionais depositadas, por exemplo, como camadas de aderência entre o substrato 201 e a camada base 212, ou entre o substrato 201 e a porção inferior 216a do filme multicamadas 216.
[0023] Em uma modalidade adicional preferida do revestimento de acordo com a presente invenção, o revestimento 210 compreende pelo menos uma camada 220 depositada sobre a última porção 216c do filme multicamadas 216, em que a pelo menos uma camada 220 é usada como uma camada mais externa e compreende, de preferência, nitreto de boro cromo alumínio.
[0024] De preferência, a camada mais externa 220 tem uma composição elementar dada pela fórmula (AlxCryBz)N, onde x > 0, y > 0 ez >0 são, respectivamente, a concentração de alumínio, cromo e boro em porcentagem atômica, se forem considerados apenas alumínio, cromo e boro para a avaliação da composição elementar na camada mais externa 220 correspondente. Dependendo da aplicação, em alguns casos poderá ser mais benéfico que o coeficiente do teor de boro na camada mais externa 220 seja maior do que zero (z > 0). De acordo com uma modalidade preferida de um revestimento inventivo, os coeficientes v e w na camada de base 212 satisfazem a condição 1 < v/w < 4,5.
[0025] De acordo com uma modalidade adicional preferida de um revestimento inventivo, os coeficientes x, y e z na camada mais externa 220 satisfazem as condições 1 < x/y = 4,5 e/ou 0,01 < Z = 30.
[0026] De acordo com mais uma modalidade preferida da presente invenção, a composição elementar da camada de base 212 e a composição elementar das camadas B é a mesma e/ou a composição elementar da camada superior 220 e a composição elementar das camadas A é a mesma.
[0027] De preferência, a espessura da camada de base 212 mais a espessura da primeira porção 216a do filme multicamadas 216 é de cerca de 40 % a 70 % da espessura total do revestimento 210.
[0028] De preferência, o esforço de compressão inerente na camada de base 212 não é superior a 2 GPa, conforme determinado por DRX (difração de raios X) usando o método sen2psi. As medições foram realizadas no reflexo hkl (111), faixa de qui de 0 a 80° com um incremento de 5°. Subsequentemente, os picos foram ajustados por uma distribuição de Pearson VII. A partir do gráfico da distância da retícula d versus sen2psi, foram extraídas a rampa m e a interseção do eixo di. Com os valores de m, di e as constantes elásticas dos raios X s1 e 1/2s2 (suposição: material isotrópico) foi calculada a tensão.
[0029] Foi observado que, para algumas aplicações, resultados particularmente bons podem ser alcançados pelo uso de revestimentos de acordo com a presente invenção, cujo esforço de compressão inerente na primeira porção 216a é de cerca de 2,5 GPa ou inferior, de preferência, cerca de 1,5 GPa ou inferior, com máxima preferência, cerca de 1 GPa ou inferior.
[0030] O esforço de compressão inerente na camada de base 212, de preferência, deve ser igual ou inferior àquele na primeira porção 216a.
[0031] Da mesma forma, foram observados resultados particularmente bons usando os revestimentos de acordo com a presente invenção, cujo esforço de compressão inerente na última porção 216c é de cerca de 3 GPa ou superior, para algumas aplicações, de preferência, cerca de 4 GPa ou superior.
[0032] O esforço de compressão inerente na camada mais externa 220, de preferência, deve ser igual ou inferior àquele na última porção 216c.
[0033] De preferência, o esforço de compressão inerente na camada mais externa 220 não é superior a 8 GPa.
[0034] De acordo com outra modalidade preferida de um revestimento 210 de acordo com a presente invenção, a camada mais externa 220 apresenta um parâmetro de retícula isenta de tensão não inferior a 2,37 Â, conforme determinado pelos exames de DRX referidos acima, pelo método sen2psi.
[0035] A seguir, a presente invenção será descrita em mais detalhes com base em alguns casos exemplares.
[0036] Corpos de prova e ferramentas de corte diferentes, por exemplo, fresas, foram revestidas com revestimentos de acordo com a presente invenção, de acordo com os exemplos apresentados na Tabela 1.
[0037] Tabela 1: Tensão de polarização usada durante a deposição de três revestimentos diferentes de acordo com a presente invenção, bem como espessuras estimadas das camadas de revestimento correspondentes após a deposição
Figure img0001
[0038] Os revestimentos dos exemplos 1 a 3 foram depositados por evaporação a arco de alvos de AlCr e AlCrB em uma atmosfera de nitrogênio reativo conforme a seguir:
[0039] O arranjo de revestimento é representado de forma esquemática na Figura 3 (3a e 3b). Os substratos 335 a serem revestidos foram presos em suportes de substrato (não representados), que foram dispostos em um carrossel giratório 330. O carrossel giratório 330 foi disposto no meio de uma câmara de vácuo 300, compreendendo pelo menos um alvo de AlCr 341 e pelo menos um alvo de AlCrB 342, de tal forma que durante a rotação do carrossel, pelo menos por um instante, cada substrato 335, alternadamente, ficaria voltado apenas para o pelo menos um alvo de AlCr 341 ou para o pelo menos um alvo de AlCrB 342 e, desta forma, foi formado o filme multicamadas 216. Foi fornecida uma voltagem negativa aos suportes de substratos durante a deposição do revestimento, de modo a aplicar uma tensão de polarização negativa aos substratos 335 a serem revestidos. Em todos os exemplos 1 a 3 foi usado nitrogênio como gás de processo e gás reativo ao mesmo tempo. Um fluxo de nitrogênio foi introduzido na câmara de vácuo através de uma entrada de gás 351 e removido da câmara de vácuo através de uma saída de gás 352, de modo a manter uma pressão de nitrogênio constante na câmara de cerca de 3-4 Pa.
[0040] A Fig. 3b mostra uma configuração de uma máquina de revestimento com a qual é possível que o teor de boro das camadas AlCrB compreendendo boro (camadas A) seja variado devido à influência dos alvos de AlCr. Pode acontecer, por exemplo, durante a deposição do filme em um segmento de rotação, onde o substrato é simultaneamente exposto a fluxos de deposição de um alvo de AlCr (341) e um alvo de AlCrB (342). Nesse caso é possível que o teor de boro nas áreas adjacentes às camadas B seja mais baixo do que no restante da camada A.
[0041] A pressão de revestimento não precisa estar, necessariamente, na faixa mencionada acima (3 a 4 Pa), podendo estar, por exemplo, em um intervalo entre 0,1 a 10 Pa, dependendo das características do aparelho de revestimento usado e da configuração de revestimento.
[0042] Revestimentos de acordo com a presente invenção e métodos para a produção de revestimentos de acordo com a presente invenção, no entanto, não são limitados pelos exemplos descritos acima.
[0043] Processos de revestimento para a produção de revestimentos de acordo com a presente invenção podem incluir, por exemplo, o uso de pelo menos mais um gás diferente de nitrogênio, que poderia ser usado como gás de processo durante o processo de revestimento, por exemplo, argônio; neste caso o revestimento pode ser depositado, por exemplo, por evaporação a arco de alvos compreendendo AlCr 341 e alvos compreendendo AlCrB 342 em atmosfera de nitrogênio-argônio.
[0044] Da mesma forma, outros parâmetros de revestimento e espessuras de camada podem ser escolhidos para produção de revestimentos de acordo com a presente invenção.
[0045] De acordo com uma modalidade adicional preferida de um método para deposição dos revestimentos de acordo com a presente invenção, o substrato a ser revestido sofre um processo de nitração antes da deposição do revestimento 210. Desta forma podem ser obtidas estabilidade mecânica e aderência particularmente boas entre o substrato e o revestimento durante o processo de corte.
[0046] Em algumas aplicações, pode ser vantajoso adicionar mais elementos de liga como o tungstênio (W) e/ou tântalo (Ta), ou substituir o boro por tungstênio e/ou tântalo.
DESEMPENHO DO REVESTIMENTO EM ENSAIOS DE CORTE:
[0047] Foram realizados testes de dente único como testes de analogia para simular as condições operacionais em operações de corte de engrenagens. Nos chamados testes de “fly-cutting” (corte volante), dentes únicos foram submetidos à erosão em uma fresa PM-HSS com módulo mn= 2,557 mm. Foram produzidas durante os testes peças de trabalho de 16MnCr5N com 30 mm de largura, diâmetro da= 116 mm, ângulo de inclinação α = 17,5°, ângulo de avanço β2= 20° e 40 dentes. Um exemplo de uso de tal configuração de teste é dado por Klocke et al. na publicação científica "Prognosis of the local tool wear in gear finish hobbing" em Prod. Eng. Res. Devel., DOI 10.1007/s1 1740-011-0343-9, em 21 de setembro de 2011. Os testes foram realizados a uma velocidade de corte vc = 260 m/min e uma taxa de alimentação axial fa = 4,8 mm. Os desgastes de flanco e por craterização foram medidos durante o curso dos testes. Cada teste foi repetido para verificação dos resultados.
[0048] Para avaliar o desempenho do revestimento, revestimentos do estado da técnica bem como o presente revestimento foram revestidos em dentes PM-HSS padrão. Os dentes foram submetidos à erosão em uma fresa padrão com os seguintes dados técnicos: módulo mn= 2,557 mm, ângulo de pressão αn0 = 17,5°, diâmetro externo da0 = 110 mm, ni/z0 = 20/2 dentes, lado direito operando com modificação no relevo da ponta.
[0049] As ferramentas revestidas com revestimentos de acordo com a presente invenção apresentaram melhor resistência ao desgaste por craterização e de flanco e alcançaram uma vida útil cerca de 40-60 % maior em comparação com os revestimentos à base de AlCrN e AlCrBN do estado da técnica.
[0050] A Figura 4 mostra um exemplo da evolução do desgaste em um teste de corte volante. A Figura 4a apresenta um revestimento de referência à base de AlCrN do estado da técnica, com uma vida útil da ferramenta de 13,6 m. O presente revestimento inventivo apresentou, nas mesmas condições de usinagem, uma vida útil da ferramenta quase 50 % maior, de 20,3 m, figura 4b. Cada teste foi verificado por uma repetição e foi realizado com os parâmetros tecnológicos mencionados acima.
[0051] Da mesma forma, foram usados o mesmo revestimento à base de AlCrN comparativo e o mesmo revestimento de acordo com a presente invenção para a realização dos testes de corte volante descritos acima para o revestimento de fresas HSS usadas na produção de rodas de catraca (20MnCr5). Neste caso, as ferramentas revestidas de acordo com a presente invenção permitiram um incremento na velocidade de corte de vc = 200 m/min para vc = 300 m/min, produzindo o mesmo número de peças com cada ferramenta até esta ser desgastada. Isto leva a uma redução no tempo de usinagem e, portanto, maior produtividade em comparação com o uso de ferramentas revestidas com o revestimento de AlCrN do estado da técnica.
[0052] Um perfil da composição do revestimento inventivo exemplar, depositado de acordo com o Exemplo 1, é dado na Figura 5, conforme obtido por espectrometria de massa por íons secundários (SIMS) usando 5 kV e íons primários Cs+. As porções 216a e 216c do revestimento são indicadas esquematicamente. A Figura 5a mostra a análise elementar sem considerar as contaminações. A Figura 5b mostra a análise elementar considerando os elementos de contaminação no revestimento.

Claims (15)

1. REVESTIMENTO (210) DEPOSITADO SOBRE UMA SUPERFÍCIE DE UM SUBSTRATO (201) que compreende um filme multicamadas (216) que consiste em uma pluralidade de camadas A e uma pluralidade de camadas B depositadas alternadamente uma sobre a outra formando uma arquitetura A/B/A/B/A..., as camadas A compreendendo nitreto de boro cromo alumínio e as camadas B compreendendo nitreto de cromo alumínio livre de boro, caracterizado por: - o filme multicamadas (216) compreender pelo menos uma primeira porção (216a) e uma última porção (216c), em que o teor médio de boro na primeira porção do revestimento (216a) é maior do que o teor médio de boro na última porção do revestimento (216c), e - ambas a primeira porção de revestimento (216a) e a última porção de revestimento (216c) apresentam esforço compressivo inerente e em que o esforço compressivo inerente na primeira porção de revestimento (216a) é inferior àquela na última porção de revestimento (216c).
2. REVESTIMENTO, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo teor médio de boro na primeira porção de revestimento (216a) é, pelo menos, 1,2 vezes maior do que o teor médio de boro na última porção de revestimento (216c).
3. REVESTIMENTO, de acordo com a reivindicação 2, caracterizado pelo teor médio de boro na primeira porção de revestimento (216a) ser, pelo menos, 1,4 vezes maior do que o teor médio de boro na última porção de revestimento (216c).
4. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 3, caracterizado pelo teor médio de boro na primeira porção de revestimento (216a) ser, no máximo, 6 vezes maior do que o teor médio de boro na última porção de revestimento (216c).
5. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 4, caracterizado pelo esforço de compressão inerente na primeira porção de revestimento (216a) ser de 2,5 GPa ou inferior.
6. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 5, caracterizado pelo esforço de compressão inerente na última porção de revestimento (216c) ser de 3 GPa ou superior.
7. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 6, caracterizado pelo esforço de compressão inerente na última porção de revestimento (216c) não ser superior a 8 GPa.
8. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 7, caracterizado pelas camadas A no filme multicamadas (216) terem uma composição elementar, sem considerar as contaminações, que é dada pela fórmula (AlxCryBz)N, onde x > 0, y > 0 e z > 0 são, respectivamente, a concentração de alumínio, cromo e boro em porcentagem atômica, se forem considerados apenas alumínio, cromo e boro para a avaliação da composição elementar nas camadas A correspondentes.
9. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 7, caracterizado pelas camadas B no filme multicamadas (216) terem uma composição elementar, sem considerar as contaminações, que é dada pela fórmula (AlvCrw)N, onde v > 0 e w > 0 são, respectivamente, a concentração de alumínio e cromo em porcentagem atômica, se forem considerados apenas alumínio e cromo para a avaliação da composição elementar nas camadas B correspondentes.
10. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 7 a 8, caracterizado pelos coeficientes x, y e z nas camadas A satisfazerem as condições 1 < x/y < 4,5 e/ou 0,01 < z < 30.
11. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 7 a 9, caracterizado pelos coeficientes v e w nas camadas B satisfazerem as condições 1 < v/w < 4,5.
12. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 11, caracterizado por compreender uma camada de base (212) que apresenta um esforço de compressão inerente que é igual ou inferior àquele na primeira porção (216a) do filme multicamadas (216).
13. REVESTIMENTO, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 12, caracterizado por compreender uma camada mais externa (220) que apresenta um esforço de compressão inerente que é igual ou superior àquele na última porção (216c) do filme multicamadas (216).
14. MÉTODO PARA A PRODUÇÃO DE UM REVESTIMENTO, conforme definido em qualquer uma das reivindicações 1 a 13, caracterizado por pelo menos o filme multicamadas (216) ser produzido usando técnicas de PVD, e a primeira porção de revestimento (216a) e a última porção de revestimento (216c) do filme multicamadas (216) são depositadas usando a mesma configuração de revestimento, incluindo os mesmos alvos e parâmetros de revestimento, com exceção da tensão de polarização, na que para deposição da primeira porção de revestimento (216a) do filme multicamadas (216) é usada uma tensão de polarização negativa que é menor, em valor absoluto, do que a tensão de polarização negativa usada para a deposição da última porção de camada (216c) do filme multicamadas (216).
15. MÉTODO, de acordo com a reivindicação 14, caracterizado pelas técnicas de PVD serem técnicas de deposição (galvanização) por arco iônico.
BR112017013434-9A 2014-12-22 2015-12-03 Revestimento depositado sobre uma superfície de um substrato, e, método para a produção de um revestimento BR112017013434B1 (pt)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014018915.5 2014-12-22
DE102014018915.5A DE102014018915A1 (de) 2014-12-22 2014-12-22 AlCrN-basierte Beschichtung zur verbesserten Beständigkeit gegen Kolkverschleiß
EP2016102170 2016-06-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
BR112017013434A2 BR112017013434A2 (pt) 2018-03-06
BR112017013434B1 true BR112017013434B1 (pt) 2022-06-28

Family

ID=54884001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BR112017013434-9A BR112017013434B1 (pt) 2014-12-22 2015-12-03 Revestimento depositado sobre uma superfície de um substrato, e, método para a produção de um revestimento

Country Status (18)

Country Link
US (1) US11035035B2 (pt)
EP (1) EP3134561B1 (pt)
JP (1) JP7080056B2 (pt)
KR (1) KR102464789B1 (pt)
CN (1) CN107002252B (pt)
AR (1) AR102991A1 (pt)
BR (1) BR112017013434B1 (pt)
CA (1) CA2971754A1 (pt)
DE (1) DE102014018915A1 (pt)
IL (1) IL253069B (pt)
MX (1) MX2017008350A (pt)
MY (1) MY182512A (pt)
PH (1) PH12017501170A1 (pt)
RU (1) RU2712329C2 (pt)
SG (1) SG11201705109RA (pt)
TW (1) TWI676713B (pt)
WO (1) WO2016102170A1 (pt)
ZA (1) ZA201704772B (pt)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106191772B (zh) * 2016-08-09 2018-07-31 上海理工大学 一种含有多相AlCrN纳米插入层的高硬度CrAlN涂层及其制备方法
KR102205933B1 (ko) * 2017-01-16 2021-01-20 오에스지 가부시키가이샤 공구
CN108531869B (zh) * 2018-04-17 2020-06-16 广东正德材料表面科技有限公司 一种制备超硬Cr-Al-N涂层的镀膜处理方法
CN108504998A (zh) * 2018-04-17 2018-09-07 广东正德材料表面科技有限公司 一种制备自分层复合结构铬铝氮超硬膜的镀膜处理方法
KR102421533B1 (ko) 2018-05-30 2022-07-14 가부시키가이샤 몰디노 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법
KR20230170147A (ko) * 2019-03-20 2023-12-18 가부시키가이샤 프로테리아루 피복 금형, 피복 금형의 제조 방법 및 경질 피막 형성용 타깃
CN111020475A (zh) * 2019-12-16 2020-04-17 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种新型at涂层
US20240102144A1 (en) 2020-12-14 2024-03-28 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Wear resistant coating produced from at least two different alcr-based targets
WO2022129644A1 (en) 2020-12-18 2022-06-23 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Hard alcr-based multilayer coating system, coated article and method for manufacturing the same
JP7312382B2 (ja) * 2021-03-18 2023-07-21 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN113667929B (zh) * 2021-07-02 2023-04-07 株洲钻石切削刀具股份有限公司 周期性多层涂层刀具及其制备方法
CN113817985B (zh) * 2021-11-24 2022-03-18 武汉中维创发工业研究院有限公司 纳米多层复合涂层及其制备方法和应用

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2090312C1 (ru) 1992-04-07 1997-09-20 Григорий Владимирович Болотников Способ получения покрытий на изделия из твердых сплавов
US5976716A (en) * 1996-04-04 1999-11-02 Kennametal Inc. Substrate with a superhard coating containing boron and nitrogen and method of making the same
JP3417907B2 (ja) 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
ATE509139T1 (de) * 2001-03-30 2011-05-15 Hitachi Metals Ltd Beschichtetes schneidwerkzeug für warm/und heissverformen
RU2228387C2 (ru) * 2002-07-22 2004-05-10 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения многослойного покрытия на металлические изделия
JP4634241B2 (ja) * 2004-07-08 2011-02-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
EP1764174B1 (en) * 2004-07-08 2017-01-18 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool having film with compressive stress intensity distribution
JP4634245B2 (ja) 2004-07-27 2011-02-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP4380622B2 (ja) 2005-11-04 2009-12-09 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆部材及びその製造方法
US7947363B2 (en) * 2007-12-14 2011-05-24 Kennametal Inc. Coated article with nanolayered coating scheme
HUE038152T2 (hu) * 2008-07-09 2018-09-28 Oerlikon Surface Solutions Ltd Pfaeffikon Bevonatrendszer, bevont munkadarab és eljárás ennek elõállítására
EP2298954B1 (en) 2009-09-18 2013-03-13 Sandvik Intellectual Property Ab A PVD method for depositing a coating onto a body and coated bodies made thereof
WO2011095292A1 (en) * 2010-02-04 2011-08-11 Oerlikon Trading Ag, Trübbach CUTTING TOOLS WITH Al-Cr-B-N / Ti-Al-N MULTILAYER COATINGS
HUE047421T2 (hu) * 2011-06-30 2020-04-28 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Nanoréteg bevonat nagyteljesítményû szerszámokhoz
US9464347B2 (en) 2012-04-16 2016-10-11 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfaffikon High performance tools exhibiting reduced crater wear in particular by dry machining operations
CA2880949C (en) * 2012-08-10 2016-07-12 Tungaloy Corporation Coated tool

Also Published As

Publication number Publication date
MX2017008350A (es) 2018-03-01
PH12017501170B1 (en) 2017-12-11
US20180044773A1 (en) 2018-02-15
JP7080056B2 (ja) 2022-06-03
EP3134561B1 (en) 2020-02-19
KR20170097768A (ko) 2017-08-28
ZA201704772B (en) 2019-01-30
IL253069B (en) 2020-10-29
WO2016102170A1 (en) 2016-06-30
RU2712329C2 (ru) 2020-01-28
TW201631214A (zh) 2016-09-01
RU2017126262A3 (pt) 2019-06-06
IL253069A0 (en) 2017-08-31
SG11201705109RA (en) 2017-07-28
CA2971754A1 (en) 2016-06-30
BR112017013434A2 (pt) 2018-03-06
EP3134561A1 (en) 2017-03-01
KR102464789B1 (ko) 2022-11-08
DE102014018915A1 (de) 2016-06-23
AR102991A1 (es) 2017-04-05
US11035035B2 (en) 2021-06-15
MY182512A (en) 2021-01-25
JP2018505310A (ja) 2018-02-22
RU2017126262A (ru) 2019-01-24
CN107002252B (zh) 2019-05-31
TWI676713B (zh) 2019-11-11
CN107002252A (zh) 2017-08-01
PH12017501170A1 (en) 2017-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BR112017013434B1 (pt) Revestimento depositado sobre uma superfície de um substrato, e, método para a produção de um revestimento
KR102445504B1 (ko) Cvd 코팅된 절삭 공구
JP6931610B2 (ja) Cvdコーティングされた切削工具
RU2131330C1 (ru) Режущий инструмент с окисным покрытием и способ его нанесения
JP6249452B2 (ja) 機械加工作業による摩耗の減少を呈する被膜システム及び高性能ツール、並びに、その被膜システムによる被覆方法
JP6542753B2 (ja) Cvd被膜を有する工具
BR112013033654B1 (pt) método para fabricar um corpo revestido
US20150030406A1 (en) Body with a metal based nitride layer and a method for coating the body
KR20160130752A (ko) 라멜라 구조를 가지는 TiAlCN 층들
JP6525310B2 (ja) 被覆工具
BR102014015836B1 (pt) Ferramenta de corte revestida
EP3008225A1 (en) Coated cutting tool
BRPI0913221B1 (pt) camada de revestimento rígido e método para formação da mesma
US20160017499A1 (en) Coated cutting tool
US10654109B2 (en) Coated cutting tool
BR112015025003B1 (pt) Sistema de camadas de materiais duros, componente ou ferramenta de corte, utilização de uma ferramenta de corte e método para a manufatura de uma camada de material duro
BR112018076561B1 (pt) Ferramenta de corte revestida por deposição química a vapor (cvd)
BR112020026714B1 (pt) Método de tratamento de uma ferramenta de corte e ferramenta de corte para uma aplicação de corte de metal
US20180071831A1 (en) Coated cutting tool
Rubshtein et al. Structure, wear and corrosion behaviours of Cr–Al–C and multilayer [Cr–Al–C/aC] n coatings fabricated by physical vapour deposition and plasma-assisted chemical vapour deposition techniques
BR112019025713B1 (pt) Ferramenta de corte revestida
JP6457023B2 (ja) [0 0 1]テクスチャのκ‐Al2O3層を有するCVDコーティングされた切削工具
Dobrzański et al. Multilayer and gradient PVD coatings on the sintered tool materials
US20230405687A1 (en) Cutting tool
Zhang et al. Fabrication and cutting performance of CVD diamond coated inserts with different coating thickness in dry turning aluminum alloy

Legal Events

Date Code Title Description
B06U Preliminary requirement: requests with searches performed by other patent offices: procedure suspended [chapter 6.21 patent gazette]
B06A Patent application procedure suspended [chapter 6.1 patent gazette]
B09A Decision: intention to grant [chapter 9.1 patent gazette]
B16A Patent or certificate of addition of invention granted [chapter 16.1 patent gazette]

Free format text: PRAZO DE VALIDADE: 20 (VINTE) ANOS CONTADOS A PARTIR DE 03/12/2015, OBSERVADAS AS CONDICOES LEGAIS