RU2712329C2 - ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ - Google Patents

ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ Download PDF

Info

Publication number
RU2712329C2
RU2712329C2 RU2017126262A RU2017126262A RU2712329C2 RU 2712329 C2 RU2712329 C2 RU 2712329C2 RU 2017126262 A RU2017126262 A RU 2017126262A RU 2017126262 A RU2017126262 A RU 2017126262A RU 2712329 C2 RU2712329 C2 RU 2712329C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
multilayer film
layers
last part
paragraphs
Prior art date
Application number
RU2017126262A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2017126262A3 (ru
RU2017126262A (ru
Inventor
Андерс Олоф ЭРИКССОН
Мирьям АРНДТ
Зебастиан ШТАЙН
Original Assignee
Ёрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ёрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон filed Critical Ёрликон Серфис Сольюшнс Аг, Пфеффикон
Publication of RU2017126262A publication Critical patent/RU2017126262A/ru
Publication of RU2017126262A3 publication Critical patent/RU2017126262A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2712329C2 publication Critical patent/RU2712329C2/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C23C14/0647—Boron nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/46—Sputtering by ion beam produced by an external ion source
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/021—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer
    • C23C28/022—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer with at least one MCrAlX layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Gear Processing (AREA)

Abstract

Изобретение относится к покрытию на основе AlCrN, обеспечивающему исключительную устойчивость к кратерному износу в ходе операций сухого резания, например при зубофрезеровании. Покрытие, нанесенное на поверхность подложки, содержит многослойную пленку, состоящую из нескольких слоев А и нескольких слоев В, нанесенных чередующимися друг на друга и образующих структуру А/В/А/В/А…, в которой слои А содержат нитрид алюминийхромбора, а слои В содержат нитрид алюминийхрома и не содержат бора. Упомянутая многослойная пленка содержит по меньшей мере первую часть и последнюю часть, причем среднее содержание бора в первой части покрытия выше, чем среднее содержание бора в последней части покрытия. Остаточное напряжение сжатия в первой части ниже, чем в последней части покрытия. Предложен способ изготовления указанного покрытия, в котором многослойную пленку изготавливают с помощью методов физического осаждения из газовой фазы. Первую часть покрытия и последнюю часть покрытия в многослойной пленке наносят с использованием одной и той же схемы нанесения покрытия, включая одни и те же мишени и одни и те же параметры нанесения покрытия, за исключением потенциала смещения. Для нанесения первой части покрытия в многослойной пленке используют отрицательный потенциал смещения, который по абсолютному значению ниже отрицательного потенциала смещения, используемого для нанесения последней части покрытия в многослойной пленке. Обеспечивается покрытие, которое позволяет значительно снизить кратерный износ и износ по задней поверхности режущего инструмента, улучшить рабочие характеристики и увеличить ресурс стойкости режущего инструмента. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 5 ил., 1 табл.

Description

Область техники, к которой относится изобретение
Настоящее изобретение относится к покрытию на основе AlCrN, обеспечивающему исключительную устойчивость к кратерному износу в ходе операций сухого резания, таких как зубофрезерование.
Уровень техники
В публикации WO 2013156131 A1, Арндт и др. (Arndt et А1), предложено покрытие для снижения кратерного износа режущих инструментов в результате операций механической обработки, обеспечивающее, в частности, благоприятный эффект в случае операций сухого резания, таких как зубофрезерование. На фиг. 1 показано покрытие 110, описываемое в публикации WO 2013156131 А1 и содержащее по меньшей мере одну многослойную пленку 116, сформированную из чередующихся и нанесенных друг на друга нанослоев А и В, отличающихся тем, что нанослои А содержат нитрид алюминийхромбора, а нанослои В содержат нитрид алюминийхрома и не содержат бора. Согласно описанному в публикации WO 2013156131 А1, покрытие 110 демонстрирует чрезвычайно хорошие характеристики для использования в операциях механической обработки, если нанослои А состоят из хромборонитрида алюминия, а нанослои В - из нитрида алюминийхрома. В публикации WO 2013156131 A1 также сообщается, что благоприятный эффект должен достигаться, кроме того, при использовании несущего слоя 112, состоящего из нитрида алюминийхрома, особенно если несущий слой 112 наносится таким образом, что во время его нанесения прикладывается потенциал (напряжение) смещения, изменяющийся от самого низкого до самого высокого значения. Далее, в публикации WO 2013156131 A1 сообщается, что благоприятный эффект должен достигаться, когда для нанесения нанослоев А, содержащих бор, прикладывается отрицательный потенциал смещения с абсолютным значением не ниже 70 В, поскольку в этом случае может быть получено необходимое сочетание высокой плотности и низкой теплопроводности слоев, содержащих бор.
Тем не менее, несмотря на преимущества, получаемые с помощью как вышеупомянутого покрытия, так и других покрытий, имеющихся в настоящее время, существует все же необходимость в новых покрытиях с улучшенными характеристиками, которые могли бы удовлетворить растущие потребности в различных операциях механической обработки, и, в частности, в операциях сухого резания, таких как зубофрезерование.
Задачи изобретения
Задачей настоящего изобретения является создание покрытия на основе AlCrN, которое по сравнению с известными покрытиями позволяет значительно снизить кратерный износ (износ по передней поверхности) и износ по задней поверхности режущих инструментов и тем самым значительно улучшить рабочие характеристики и увеличить ресурс стойкости этих инструментов, применяемых в различных операциях механической обработки, в частности в операциях сухого резания, таких как зубофрезерование. Кроме того, задачей настоящего изобретения является обеспечение способа изготовления изделий (подложек), в частности режущих инструментов, на которые нанесено покрытие, соответствующее настоящему изобретению.
Описание изобретения
Задачи настоящего изобретения решаются путем создания покрытия 210, соответствующего пункту 1 формулы изобретения и содержащего многослойную пленку 216, состоящую из группы слоев А и группы слоев В, чередующихся, нанесенных друг на друга и образующих структуру А/В/А/В/А…, в которой слои А содержат нитрид алюминийхромбора, а слои В содержат нитрид алюминийхрома и не содержат бора, причем покрытие 210 нанесено таким образом, что многослойная пленка 216 содержит по меньшей мере первую часть 216а и последнюю часть 216с, причем среднее содержание бора в первой части 216а выше, чем в последней части 216с.
Согласно изобретению, в первой части 216а многослойной пленки 216 присутствуют отрицательные остаточные напряжения, причем абсолютное значение остаточного напряжения в части 216а ниже, чем в последней части 216с. В настоящем описании отрицательное остаточное напряжение называется также собственным напряжением сжатия.
Согласно одному из предпочтительных вариантов осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии среднее содержание бора в первой части 216а по меньшей мере в 1,2 раза выше, чем в последней части 216с. В более предпочтительном варианте среднее содержание бора в первой части 216а по меньшей мере в 1,4 раза выше, чем в последней части 216с.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии среднее содержание бора в первой части 216а максимум в 6 раз выше, чем в последней части 216с.
Как упоминалось выше, многослойная пленка 216, предлагаемая в изобретении, содержит по меньшей мере первую часть 216а и последнюю часть 216с, однако в зависимости от применения может оказаться целесообразным предусмотреть в многослойной пленке 216 дополнительно одну или более средних частей 216b, расположенных между первой частью 216а и последней частью 216с и имеющих собственное напряжение сжатия выше, чем в первой части 216а, и предпочтительно, но не обязательно ниже, чем в последней части 216с.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления изобретения, собственное напряжение сжатия в одной или более средних частей 216b равно собственному напряжению сжатия в последней части 216с или выше этого напряжения.
В покрытии 210, предлагаемом в изобретении, нанесенная первая, или нижняя, часть 216а многослойной пленки 216 расположена ближе к изделию 201 (подложке), подлежащему нанесению покрытия, тогда как нанесенная последняя, или верхняя, часть 216с расположена непосредственно над первой частью 216а или над последней средней частью 216b многослойной пленки 216.
Согласно одному из предпочтительных вариантов осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии 210, содержащем многослойную пленку 216, включающую только первую часть 216а и последнюю часть 216с, толщина первой части 216а предпочтительно составляет от 40 до 90% общей толщины многослойной пленки 216.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии 210, содержащем многослойную пленку 216, дополнительно включающую одну или более средних частей 216b, толщина первой части 216а предпочтительно составляет от 20 до 80% общей толщины многослойной пленки 216.
Был установлен удивительный факт, что использование отрицательного потенциала смещения с абсолютным значением ниже 70 В для нанесения первой части 216а многослойной пленки 216 и отрицательного потенциала смещения с абсолютным значением, равным или выше по меньшей мере 90 В, для нанесения последней части 216с многослойной пленки 216 давало возможность получить покрытия, обеспечивающие значительное улучшение эксплуатационных характеристик снабженных этими покрытиями инструментов, применяемых в операциях сухого резания, по сравнению с покрытиями, соответствующими уровню техники.
В частности, хорошие результаты были получены при использовании отрицательного потенциала смещения с абсолютным значением ниже 50 В для нанесения первой части 216а многослойной пленки 216 и отрицательного потенциала смещения с абсолютным значением, равным или выше по меньшей мере 100 В, для нанесения последней части 216с многослойной пленки 216.
Согласно одному из предпочтительных вариантов осуществления изобретения, относящемуся к покрытию 210, слои А в многослойной пленке 216 имеют состав элементов, который без учета примесей описывается формулой (AlxCryBz)N, где x>0, y>0 и z>0 представляют собой соответственно концентрацию (в атомных процентах) алюминия, хрома и бора, если при оценке состава элементов в соответствующих слоях А учитываются только алюминий, хром и бор.
В другом предпочтительном варианте осуществления изобретения, относящемся к покрытию, слои B в многослойной пленке 216 имеют состав элементов, который без учета примесей описывается формулой (AlvCrw)N, где v>0 и w>0 представляют собой соответственно концентрацию (в атомных процентах) алюминия и хрома, если при оценке состава элементов в соответствующих слоях В учитываются только алюминий и хром.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии коэффициенты x, y и z в слоях А удовлетворяют условиям 1≤x/у≤4,5 и/или 0,01≤z≤30.
Согласно одному из предпочтительных вариантов осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии коэффициенты v и w в слоях В удовлетворяют условию 1≤v/w≤4,5.
В одном из предпочтительных вариантов осуществления изобретения предлагаемое покрытие 210 содержит по меньшей мере один слой 212, расположенный между изделием 201, подлежащем нанесению покрытия, и нижней частью 216а многослойной пленки 216, причем этот по меньшей мере один слой 212 используется в качестве несущего слоя, содержит нитрид алюминийхрома и не содержит бора.
По меньшей мере один несущий слой 212 предпочтительно имеет состав элементов, описываемый формулой (AlvCrw)N, где v>0 и w>0 представляют собой соответственно концентрацию (в атомных процентах) алюминия и хрома, если при оценке состава элементов в несущем слое 212 учитываются только алюминий и хром.
Покрытие, предлагаемое в изобретении, может также содержать другие слои, нанесенные, например, в качестве адгезионных слоев между изделием 201, подлежащем нанесению покрытия, и несущим слоем 212 или между изделием 201 и нижней частью 216а многослойной пленки 216.
В другом предпочтительном варианте осуществления изобретения предлагаемое покрытие 210 содержит по меньшей мере один слой 220, нанесенный на последнюю часть 216с многослойной пленки 216, используемый в качестве наружного слоя и предпочтительно содержащий нитрид алюминийхромбора.
Наружный слой 220 предпочтительно имеет состав элементов, который описывается формулой (AlxCryBz)N, где x>0, y>0 и z>0 представляют собой соответственно концентрацию (в атомных процентах) алюминия, хрома и бора, если при оценке состава элементов в соответствующем наружном слое 220 учитываются только алюминий, хром и бор. В зависимости от применения, в некоторых случаях может быть более полезным, если коэффициент, определяющий содержание бора в наружном слое 220, превышает нулевое значение (z>0). Согласно одному из предпочтительных вариантов осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии коэффициенты v и w в несущем слое 212 удовлетворяют условию 1≤v/w≤4,5.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии коэффициенты x, y и z в наружном слое 220 удовлетворяют условиям 1≤x/у≤4,5 и/или 0,01≤z≤30.
Согласно одному из более предпочтительных вариантов осуществления изобретения, предусмотрен одинаковый состав элементов у несущего слоя 212 и слоев В и/или у верхнего слоя 220 и слоев А.
Суммарная толщина несущего слоя 212 и первой части 216а многослойной пленки 216 составляет приблизительно от 40 до 70% общей толщины покрытия 210.
Собственное напряжение сжатия в несущем слое 212, определявшееся посредством рентгенодифракционного анализа с использованием метода sin2ψ (sin2psi), предпочтительно не превышает 2 ГПа. Измерения выполняли в плоскости отражения hkl (111) при изменении угла вращения вокруг оси гониометрической головки от 0 до 80° с шагом 5°. Полученные пики соответствовали распределению, описываемому функцией Пирсона (Pearson VII). Из графика зависимости постоянной кристаллической решетки d от sin2ψ были получены угол наклона m и точка пересечения di с координатной осью. Напряжение вычисляли в предположении изотропности материала с использованием m, d; и рентгеновских упругих констант s1 и 1/2s2.
Для некоторых применений было установлено, что особенно хорошие результаты достигались при использовании предлагаемых в изобретении покрытий, у которых собственное напряжение сжатия в первой части 216а составляет около 2,5 ГПа или ниже, предпочтительно около 1,5 Гпа или ниже, более предпочтительно - около 1 Гпа или ниже.
Собственное напряжение сжатия в несущем слое 212 предпочтительно должно быть равно соответствующему напряжению в первой части 216а или быть ниже последнего.
Аналогичные особенно хорошие результаты достигались при использовании предлагаемых в изобретении покрытий, у которых собственное напряжение сжатия в последней части 216с составляет около 3 ГПа или выше, для некоторых применений - предпочтительно около 4 ГПа или выше.
Собственное напряжение сжатия в наружном слое 220 предпочтительно должно быть равно соответствующему напряжению в последней части 216с или быть выше этого напряжения.
Собственное напряжение сжатия в наружном слое 220 предпочтительно не должно превышать 8 ГПа.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления изобретения, в предлагаемом покрытии 210 наружный слой 220 имеет постоянную кристаллической решетки в ненапряженном состоянии (определенную посредством упомянутого выше рентгенодифракционного анализа с использованием метода sin2ψ) не ниже 2,37
Figure 00000001
Ниже изобретение описывается более подробно на нескольких примерах.
На образцы для испытаний и различные режущие инструменты, например червячные фрезы, наносились покрытия, предлагаемые в изобретении, в соответствии с примерами, приведенными в таблице 1.
Figure 00000002
Покрытия в примерах 1-3 наносились путем электродугового испарения электродов (мишеней), выполненных из AlCr и AlCrB, в среде реактивного азота в соответствии с технологическим процессом нанесения покрытия, схематически показанным на фиг. 3А и 3Б. Изделия 335, подлежащие нанесению покрытия, помещались в держатели (не показаны), расположенные на вращающемся карусельном механизме 330. Вращающийся карусельный механизм 330 располагался в центре вакуумной камеры 300, содержащей по меньшей мере одну мишень 341, выполненную из AlCr, и по меньшей мере одну мишень 342, выполненную из AlCrB, таким образом, что при вращении карусельного механизма каждое изделие 335 могло быть попеременно обращено в какой-либо момент времени только к по меньшей мере одной мишени 341, выполненной из AlCr, или к по меньшей мере одной мишени 342, выполненной из AlCrB, благодаря чему формировалась многослойная пленка 216. В процессе нанесения покрытия на держатели изделий 335 подавался отрицательный потенциал, который прикладывался к изделиям 335, подлежащим нанесению покрытия. Во всех примерах 1-3 в качестве технологического и одновременно реактивного газа использовался азот. Поток азота поступал в вакуумную камеру через впускной газовый канал 351 и удалялся из вакуумной камеры через выпускной газовый канал 352 с целью поддержания в этой камере постоянного давления азота, составлявшего приблизительно 3-4 Па.
На фиг. 3Б показано конструктивное устройство машины для нанесения покрытий, обеспечивающее возможность изменения содержания бора в слоях AlCrBN (слоях А) благодаря воздействию мишеней, выполненных из AlCr. Это может иметь место, например, во время нанесения пленки в одном из сегментов вращения, когда изделие, подлежащее нанесению покрытия, оказывается подверженным одновременному воздействию потоков наносимых материалов, исходящих из мишени, выполненной из AlCr (341), и мишени, выполненной из AlCrB (342). В этом случае содержание бора в областях, примыкающих к слоям В, может оказаться ниже, чем в остальной части слоя А.
Давление при нанесении покрытия не обязательно должно находиться в пределах вышеуказанного диапазона (3-4 Па), а может составлять, например, от 0,1 до 10 Па в зависимости от характеристик используемой машины для нанесения покрытий и структуры покрытия.
Предлагаемые в настоящем изобретении покрытия и способы их изготовления не ограничиваются, однако, приведенными выше примерами.
Процессы нанесения покрытий, обеспечивающие получение покрытий, соответствующих настоящему изобретению, могут включать, например, применение по меньшей мере еще одного газа, отличного от азота (например, аргона), который мог бы использоваться в качестве технологического газа в ходе такого процесса, в результате чего покрытие могло бы наноситься, например, путем электродугового испарения мишеней 341, содержащих AlCr, и мишеней 342, содержащих AlCrB, в аргоно-азотной среде.
Таким же образом можно выбрать другие параметры покрытия и толщину слоев для получения покрытий, соответствующих настоящему изобретению.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления изобретения, в предлагаемом способе нанесения покрытий, соответствующих изобретению, изделие, подлежащее нанесению покрытия, подвергается процессу азотирования перед нанесением покрытия 210. В этом случае могут быть получены чрезвычайно хорошие результаты в отношении механической стабильности и адгезии между этим изделием и покрытием в процессе резания.
В некоторых применениях может оказаться целесообразной добавка других легирующих элементов, таких как вольфрам (W) и/или тантал (Та), либо замена бора вольфрамом и/или танталом.
Эксплуатационные характеристики покрытий при испытаниях режущих инструментов
Испытания с резанием однозубой фрезой проводились аналогично испытаниям с воспроизведением рабочих условий зубонарезных операций. В ходе испытаний с так называемым резанием летучей фрезой однозубую червячную фрезу получали с помощью электроэрозионной обработки из фрезы PM-HSS с модулем mn=2,557 мм. В процессе испытаний были изготовлены изделия из 16MnCr5N с толщиной 30 мм, диаметром da=116 мм, углом наклона α=17,5°, углом подъема резьбы β2=20° и 40 зубьями. Пример использования подобной схемы испытаний приведен в научной статье Клоке и др. (Klocke et al.) "Прогнозирование локального износа инструментов при нарезании зубчатых колес путем чистового зубофрезерования", опубликованной 21 сентября 2011 г. в журнале "Production Engineering Research and Development", DOI 10.1007/s11740-011-0343-9. Испытания проводили при скорости резания vc=260 м/мин и осевой подаче fa=4,8 мм. Износ по задней и передней поверхностям измеряли в ходе испытаний. Каждое испытание повторяли для подтверждения результатов.
Для оценки эксплуатационных характеристик покрытий наносили покрытия, соответствующие уровню техники, и покрытие, предлагаемое в настоящем изобретении, на стандартные зубья PM-HSS. Эти зубья получали с помощью электроэрозионной обработки из стандартной фрезы со следующими техническими параметрами: модуль mn=2,557 мм, угол профиля αn0=17,5°, наружный диаметр da0=110 мм, ni/z0=20/2 зуба, правозаходная, с модификацией профиля головки зуба.
Инструменты, снабженные покрытиями, предлагаемыми в настоящем изобретении, продемонстрировали повышенную устойчивость к износу по передней и задней поверхностям и имели ресурс стойкости, приблизительно на 40-60% превышающий ресурс стойкости инструментов, снабженных соответствующими уровню техники покрытиями на основе AlCrN и AlCrBN.
На фиг. 4 показан пример развития износа в ходе испытаний с резанием летучей фрезой. Фиг. 4А относится к соответствующему уровню техники покрытию на основе AlCrN, для которого ресурс стойкости инструмента составляет 13,6 мин. Покрытие, предлагаемое в настоящем изобретении (фиг. 4Б), обеспечивает при тех же условиях механической обработки ресурс стойкости инструмента, увеличенный почти на 50% и составляющий 20,3 мин. Для подтверждения результатов каждое испытание проводили повторно с соблюдением технических параметров, указанных выше.
Такие же сравниваемые покрытия (соответствующее уровню техники на основе AlCrN и предлагаемое в настоящем изобретении) аналогичным образом использовали для нанесения на фрезы HSS, применявшиеся для изготовления храповых колес (20MnCr5), с целью проведения описанных выше испытаний с резанием летучей фрезой. В этом случае инструменты, снабженные покрытием, предлагаемым в настоящем изобретении, обеспечивали возможность увеличения скорости резания с vc=200 м/мин до vc=300 м/мин, причем на каждый инструмент приходилось такое же количество изготовленных деталей вплоть до его износа. Тем самым сокращалось время механической обработки и, следовательно, повышалась производительность по сравнению с использованием инструментов, снабженных соответствующим уровню техники покрытием на основе AlCrN.
На фиг. 5 представлен профиль состава предлагаемого в изобретении и нанесенного в соответствии с примером 1 покрытия, полученный методом масс-спектрометрии вторичных ионов (МСВИ) с использованием первичных ионов Cs+ с энергией 5 кВ. На графике отмечены части 216а и 216с покрытия. На фиг. 5А показаны результаты элементного анализа без учета примесей. На фиг. 5Б показаны результаты элементного анализа с учетом примесей, содержащихся в покрытии.

Claims (17)

1. Покрытие (210), нанесенное на поверхность подложки (201), содержащее многослойную пленку (216), состоящую из нескольких слоев А и нескольких слоев В, нанесенных чередующимися друг на друга и образующих структуру А/В/А/В/А…, в которой слои А содержат нитрид алюминийхромбора, а слои В содержат нитрид алюминийхрома и не содержат бора, отличающееся тем, что:
многослойная пленка (216) содержит по меньшей мере первую часть (216а) и последнюю часть (216с), причем среднее содержание бора в первой части (216а) покрытия выше, чем среднее содержание бора в последней части (216с) покрытия, и
как в первой части (216а), так и в последней части (216с) покрытия присутствуют остаточные напряжения сжатия, причем остаточное напряжение сжатия в первой части (216а) ниже, чем в последней части (216с) покрытия.
2. Покрытие по п. 1, отличающееся тем, что среднее содержание бора в его первой части (216а) по меньшей мере в 1,2 раза выше, чем в его последней части (216с).
3. Покрытие по п. 2, отличающееся тем, что среднее содержание бора в его первой части (216а) по меньшей мере в 1,4 раза выше, чем в его последней части (216с).
4. Покрытие по одному из пп. 1-3, отличающееся тем, что среднее содержание бора в его первой части (216а) максимум в 6 раз выше, чем в его последней части (216с).
5. Покрытие по одному из пп. 1-4, отличающееся тем, что остаточное напряжение сжатия в первой части (216а) покрытия составляет около 2,5 ГПа или ниже.
6. Покрытие по одному из пп. 1-5, отличающееся тем, что остаточное напряжение сжатия в последней части (216с) покрытия составляет около 3 ГПа или выше.
7. Покрытие по одному из пп. 1-6, отличающееся тем, что остаточное напряжение сжатия в последней части (216с) покрытия не превышает 8 ГПа.
8. Покрытие по одному из пп. 1-7, отличающееся тем, что слои А в многослойной пленке (216) имеют состав элементов, который без учета примесей описывается формулой (AlxCryBz)N, где х>0, у>0 и z>0 представляют собой соответственно концентрацию в атомных процентах алюминия, хрома и бора, если при оценке состава элементов в соответствующих слоях А учитываются только алюминий, хром и бор.
9. Покрытие по одному из пп. 1-8, отличающееся тем, что слои В в многослойной пленке (216) имеют состав элементов, который без учета примесей описывается формулой (AlvCrw)N, где v>0 и w>0 представляют собой соответственно концентрацию в атомных процентах алюминия и хрома, если при оценке состава элементов в соответствующих слоях В учитываются только алюминий и хром.
10. Покрытие по п. 7 или 8, отличающееся тем, что коэффициенты х, у и z в слоях А удовлетворяют условиям 1≤х/у≤4,5 и/или 0,01≤z≤30.
11. Покрытие по одному из пп. 7-9, отличающееся тем, что коэффициенты v и w в слоях В удовлетворяют условию 1≤v/w≤4,5.
12. Покрытие по одному из пп. 1-11, отличающееся тем, что оно содержит несущий слой (212), расположенный между поверхностью подложки и первой частью (216а) многослойной пленки (216), причем остаточное напряжение сжатия в несущем слое (212) равно соответствующему напряжению в первой части (216а) многослойной пленки (216) или ниже этого напряжения.
13. Покрытие по одному из пп. 1-12, отличающееся тем, что оно содержит наружный слой (220), остаточное напряжение сжатия в котором равно соответствующему напряжению в последней части (216с) многослойной пленки (216) или выше этого напряжения.
14. Способ изготовления покрытия по одному из пп. 1-13, в котором многослойную пленку (216) изготавливают с помощью методов физического осаждения из газовой фазы, и первую часть (216а) покрытия и последнюю часть (216с) покрытия в многослойной пленке (216) наносят, используя одну и ту же схему нанесения покрытия, включая одни и те же мишени и одни и те же параметры нанесения покрытия, за исключением потенциала смещения, причем для нанесения первой части (216а) покрытия в многослойной пленке (216) используют отрицательный потенциал смещения, который по абсолютному значению ниже отрицательного потенциала смещения, используемого для нанесения последней части (216с) покрытия в многослойной пленке (216).
15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что в качестве метода физического осаждения из газовой фазы используют метод электродугового ионного осаждения.
RU2017126262A 2014-12-22 2015-12-03 ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ RU2712329C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014018915.5 2014-12-22
DE102014018915.5A DE102014018915A1 (de) 2014-12-22 2014-12-22 AlCrN-basierte Beschichtung zur verbesserten Beständigkeit gegen Kolkverschleiß
PCT/EP2015/078553 WO2016102170A1 (en) 2014-12-22 2015-12-03 Alcrn-based coating providing enhanced crater wear resistance

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017126262A RU2017126262A (ru) 2019-01-24
RU2017126262A3 RU2017126262A3 (ru) 2019-06-06
RU2712329C2 true RU2712329C2 (ru) 2020-01-28

Family

ID=54884001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017126262A RU2712329C2 (ru) 2014-12-22 2015-12-03 ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ

Country Status (18)

Country Link
US (1) US11035035B2 (ru)
EP (1) EP3134561B1 (ru)
JP (1) JP7080056B2 (ru)
KR (1) KR102464789B1 (ru)
CN (1) CN107002252B (ru)
AR (1) AR102991A1 (ru)
BR (1) BR112017013434B1 (ru)
CA (1) CA2971754A1 (ru)
DE (1) DE102014018915A1 (ru)
IL (1) IL253069B (ru)
MX (1) MX2017008350A (ru)
MY (1) MY182512A (ru)
PH (1) PH12017501170A1 (ru)
RU (1) RU2712329C2 (ru)
SG (1) SG11201705109RA (ru)
TW (1) TWI676713B (ru)
WO (1) WO2016102170A1 (ru)
ZA (1) ZA201704772B (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106191772B (zh) * 2016-08-09 2018-07-31 上海理工大学 一种含有多相AlCrN纳米插入层的高硬度CrAlN涂层及其制备方法
KR102205933B1 (ko) * 2017-01-16 2021-01-20 오에스지 가부시키가이샤 공구
CN108531869B (zh) * 2018-04-17 2020-06-16 广东正德材料表面科技有限公司 一种制备超硬Cr-Al-N涂层的镀膜处理方法
CN108504998A (zh) * 2018-04-17 2018-09-07 广东正德材料表面科技有限公司 一种制备自分层复合结构铬铝氮超硬膜的镀膜处理方法
KR102421533B1 (ko) 2018-05-30 2022-07-14 가부시키가이샤 몰디노 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법
KR20230170147A (ko) * 2019-03-20 2023-12-18 가부시키가이샤 프로테리아루 피복 금형, 피복 금형의 제조 방법 및 경질 피막 형성용 타깃
CN111020475A (zh) * 2019-12-16 2020-04-17 苏州星蓝纳米技术有限公司 一种新型at涂层
US20240102144A1 (en) 2020-12-14 2024-03-28 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Wear resistant coating produced from at least two different alcr-based targets
WO2022129644A1 (en) 2020-12-18 2022-06-23 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Hard alcr-based multilayer coating system, coated article and method for manufacturing the same
JP7312382B2 (ja) * 2021-03-18 2023-07-21 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN113667929B (zh) * 2021-07-02 2023-04-07 株洲钻石切削刀具股份有限公司 周期性多层涂层刀具及其制备方法
CN113817985B (zh) * 2021-11-24 2022-03-18 武汉中维创发工业研究院有限公司 纳米多层复合涂层及其制备方法和应用

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2228387C2 (ru) * 2002-07-22 2004-05-10 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения многослойного покрытия на металлические изделия
US20070218242A1 (en) * 2004-07-08 2007-09-20 Hideki Moriguchi Surface-Coated Cutting Tool With Coated Film Having Strength Distribution of Compressive Stress
RU2487781C2 (ru) * 2007-12-14 2013-07-20 Кеннаметал, Инк. Покрытое изделие с нанослойной системой покрытия
WO2013156131A1 (en) * 2012-04-16 2013-10-24 Oerlikon Trading Ag, Trübbach High performance tools exhibiting reduced crater wear in particular by dry machining operations

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2090312C1 (ru) 1992-04-07 1997-09-20 Григорий Владимирович Болотников Способ получения покрытий на изделия из твердых сплавов
US5976716A (en) * 1996-04-04 1999-11-02 Kennametal Inc. Substrate with a superhard coating containing boron and nitrogen and method of making the same
JP3417907B2 (ja) 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
ATE509139T1 (de) * 2001-03-30 2011-05-15 Hitachi Metals Ltd Beschichtetes schneidwerkzeug für warm/und heissverformen
JP4634241B2 (ja) * 2004-07-08 2011-02-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP4634245B2 (ja) 2004-07-27 2011-02-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP4380622B2 (ja) 2005-11-04 2009-12-09 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆部材及びその製造方法
HUE038152T2 (hu) * 2008-07-09 2018-09-28 Oerlikon Surface Solutions Ltd Pfaeffikon Bevonatrendszer, bevont munkadarab és eljárás ennek elõállítására
EP2298954B1 (en) 2009-09-18 2013-03-13 Sandvik Intellectual Property Ab A PVD method for depositing a coating onto a body and coated bodies made thereof
WO2011095292A1 (en) * 2010-02-04 2011-08-11 Oerlikon Trading Ag, Trübbach CUTTING TOOLS WITH Al-Cr-B-N / Ti-Al-N MULTILAYER COATINGS
HUE047421T2 (hu) * 2011-06-30 2020-04-28 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Nanoréteg bevonat nagyteljesítményû szerszámokhoz
CA2880949C (en) * 2012-08-10 2016-07-12 Tungaloy Corporation Coated tool

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2228387C2 (ru) * 2002-07-22 2004-05-10 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения многослойного покрытия на металлические изделия
US20070218242A1 (en) * 2004-07-08 2007-09-20 Hideki Moriguchi Surface-Coated Cutting Tool With Coated Film Having Strength Distribution of Compressive Stress
RU2487781C2 (ru) * 2007-12-14 2013-07-20 Кеннаметал, Инк. Покрытое изделие с нанослойной системой покрытия
WO2013156131A1 (en) * 2012-04-16 2013-10-24 Oerlikon Trading Ag, Trübbach High performance tools exhibiting reduced crater wear in particular by dry machining operations

Also Published As

Publication number Publication date
MX2017008350A (es) 2018-03-01
PH12017501170B1 (en) 2017-12-11
US20180044773A1 (en) 2018-02-15
JP7080056B2 (ja) 2022-06-03
EP3134561B1 (en) 2020-02-19
KR20170097768A (ko) 2017-08-28
ZA201704772B (en) 2019-01-30
IL253069B (en) 2020-10-29
WO2016102170A1 (en) 2016-06-30
TW201631214A (zh) 2016-09-01
RU2017126262A3 (ru) 2019-06-06
IL253069A0 (en) 2017-08-31
SG11201705109RA (en) 2017-07-28
CA2971754A1 (en) 2016-06-30
BR112017013434A2 (pt) 2018-03-06
EP3134561A1 (en) 2017-03-01
KR102464789B1 (ko) 2022-11-08
BR112017013434B1 (pt) 2022-06-28
DE102014018915A1 (de) 2016-06-23
AR102991A1 (es) 2017-04-05
US11035035B2 (en) 2021-06-15
MY182512A (en) 2021-01-25
JP2018505310A (ja) 2018-02-22
RU2017126262A (ru) 2019-01-24
CN107002252B (zh) 2019-05-31
TWI676713B (zh) 2019-11-11
CN107002252A (zh) 2017-08-01
PH12017501170A1 (en) 2017-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2712329C2 (ru) ПОКРЫТИЕ НА ОСНОВЕ AlCrN, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЕ ПОВЫШЕННУЮ УСТОЙЧИВОСТЬ К КРАТЕРНОМУ ИЗНОСУ
JP6268530B2 (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
CN102099138B (zh) 覆盖构件及其制造方法、包括该覆盖构件的覆盖切削工具
KR102172628B1 (ko) 특히 건식 가공 작업에 의해 감소된 크레이터 마모를 나타내는 고성능 공구
RU2560480C2 (ru) РЕЖУЩИЕ ИНСТРУМЕНТЫ С МНОГОСЛОЙНЫМИ ПОКРЫТИЯМИ Al-Cr-B-N/Ti-Al-N
JP6037113B2 (ja) 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
KR20090063250A (ko) 하드 코팅을 가지는 작업편
EP3662093B1 (en) Coated cutting tool and a process for its manufacture
CA2675805A1 (en) Hob cutter with a coating and method for coating a hob cutter
CN107427931B (zh) 被覆切削工具
JP5697750B2 (ja) 表面被覆部材
CN112969821A (zh) 制造带涂层切削工具的方法
EP4144465B1 (en) Coated cutting tool with a layer made of tungsten metal and hexagonal di-tungsten carbide
US20240102144A1 (en) Wear resistant coating produced from at least two different alcr-based targets
JP2006334757A (ja) 硬質被覆層が高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
CA2962195A1 (en) Laminated hard coating and molding die
EP3254787A1 (en) Hard coating film
Kohlscheen Morstein et a
JP2006334753A (ja) 硬質被覆層が高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具