BE878143A - Procede et montage pour la regulation de la vitesse de vaporisation de substances oxydables pendant le depot par vaporisation sous vide dans une atmosphere reactive - Google Patents

Procede et montage pour la regulation de la vitesse de vaporisation de substances oxydables pendant le depot par vaporisation sous vide dans une atmosphere reactive

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Date Code Title Description
RE Patent lapsed

Owner name: LEYBOLD-HERAEUS G.M.B.H.

Effective date: 19930831