ATE339393T1 - Vorform für eine optische linse aus quarzglas für eine mikrolithographische vorrichtung die laserstrahlung benützt, sowie ein fass und ein verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Vorform für eine optische linse aus quarzglas für eine mikrolithographische vorrichtung die laserstrahlung benützt, sowie ein fass und ein verfahren zu seiner herstellung

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ATE339393T1
ATE339393T1 AT01128615T AT01128615T ATE339393T1 AT E339393 T1 ATE339393 T1 AT E339393T1 AT 01128615 T AT01128615 T AT 01128615T AT 01128615 T AT01128615 T AT 01128615T AT E339393 T1 ATE339393 T1 AT E339393T1
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preform
barrel
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optical lens
quartz glass
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AT01128615T
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Tetsuji Ueda
Akira Fujinoki
Hiroyuki Nishimura
Martin Trommer
Stefan Ochs
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Heraeus Quarzglas
Shinetsu Quartz Prod
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