AT520656A5 - Vorrichtung zum Bedampfen eines Bauteils - Google Patents
Vorrichtung zum Bedampfen eines BauteilsInfo
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bedampfen eines Bauteils (1). Die Vorrichtung umfasst eine Fördereinheit (2) mit zumindest einer Förderstrecke (3) und mindestens einem entlang der Förderstrecke (3) verfahrbaren Aufnahmeelement (4), eine Bedampfungseinheit (5) mit zumindest zueinander beweglichen Teilsegmenten (6), die zwischen einer geschlossenen und einer geöffneten Position bewegbar sind und in der geschlossenen Position eine Bedampfungskarnrner (7) ausbilden, sowie ein Steuereinheit, die in Verbindung mit der Bedampfungseinheit (5) und der Fördereinheit (2) steht. Die Steuereinheit erhält von der Fördereinheit (2) Informationen über eine Position des Aufnahmeelements (4) und steuert derart an, dass die Teilsegmente (6) von der geöffneten Position in die geschlossene Position bewegt werden, wenn ein an dem Aufnahmeelement (4) befestigtes Bauteil (1) zwischen dem Teilsegment (6) positioniert ist, so dass das Bauteil (1) von der Bedampfungskarnrner (7) umschlossen und anschließend ein zumindest teilweise gasförmiges Fluid in die Bedampfungskarnrner eingebracht wird.
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