AT506187B1 - Vakuumkammer zum bedampfen oder beschichten - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer (1) zum Bedampfen oder Beschichten von Proben, mit einer Bodenplatte (2), einem Kammerteil (3) und einem Deckel (4), sowie mit zumindest einer in der Vakuumkammer (1) angeordneten Probenhalterung (12) und zumindest einer Absaugeinrichtung (5), wobei der Kammerteil (3) aus einem Aluminiumformrohr mit viereckigem Querschnitt gefertigt ist. Die einfach zerlegbare Vakuumkammer (1) ist besonders geeignet für schwer zugängliche Anwendungen wie zum Beispiel in einer Glovebox.

Description

österreichisches Patentamt AT506187 B1 2010-03-15

Beschreibung [0001] Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer zum Bedampfen oder Beschichten von Proben, mit einer Bodenplatte, einem Kammerteil und einem Deckel, sowie mit zumindest einer in der Vakuumkammer angeordneten Probenhalterung und zumindest einer Absaugeinrichtung.

[0002] In den Grundlagenlabors an Universitäten und anderen Forschungseinrichtungen werden häufig Proben mit Metallen oder organischen Verbindungen bedampft oder beschichtet, um die so bearbeiteten Proben zu analysieren oder weiter zu verarbeiten. An die hierfür eingesetzten Bedampfungs- oder Beschichtungseinrichtungen werden zahlreiche Anforderungen gestellt: [0003] - rasche Abpumpzeiten zum Hochvakuumbereich von 10"8 bis 10"1° bar bzw. 10"5 bis 10'7 mbar, [0004] - keine Kontamination der Proben mit unerwünschten Fremdsubstanzen, [0005] - Möglichkeit der Verwendung von Masken für das Aufbringen von Strukturen auf der Probe, [0006] - hohe Flexibilität der Anlage in Hinblick auf unterschiedliche Probengrößen und unterschiedliche Proben- und Beschichtungsmaterialien, sowie Prozessführung und [0007] -Arbeiten mit der Bedampfungskammer in Schutzgaseinrichtungen, sogenannten "Glo-ve-Boxen", wobei die Bedampfungseinrichtung in der Glove-Box einfach zu bedienen sein muss.

[0008] Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Vakuumkammer der eingangs erwähnten Art bereitzustellen, die diese Anforderungen erfüllt und eine einfach zu bedienende, insbesondere in einer Schutzgaseinrichtung einsetzbare Beschichtungs- und Bedampfungsanlage zur Verfügung zu stellen.

[0009] Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumkammer der eingangs erwähnten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Kammerteil aus einem Aluminiumformrohr mit viereckigem Querschnitt gefertigt ist. Beschichtungskammern sind für gewöhnlich aus Glas oder aus Edelstahl gefertigt, wobei diese Materialien in der Regel schwer zu bearbeiten und/oder bruchanfällig sind und zudem ein hohes Gewicht aufweisen. Eine Vakuumkammer aus Edelstahl ist beispielsweise in der JP 04-210224 offenbart. Aluminium hingegen ist ein wesentlich leichteres Metall, sodass aus diesem Material gefertigte Vakuumkammern oder deren Teile leichter zu manipulieren sind, was insbesondere im Laborbetrieb außerordentlich wünschenswert ist.

[0010] In der JP 11-221660 ist die Herstellung einer Vakuumkammer aus Aluminium gezeigt, wobei vier Aluminiumplatten an ihren Kanten mithilfe einer Aluminiumlegierung miteinander verbunden werden. Die JP 11-300480 beschreibt ebenfalls die Herstellung einer Vakuumkammer aus Aluminiumplatten, die an ihren Stoßkanten miteinander verschweißt werden. Nachteilig an diesen Kammern ist jedoch, dass diese Verbindungen an den Stoßkanten der Platten anfällig für Korrosion oder mechanische Beanspruchung sind und es daher bei häufig wechselnder Beanspruchung, wie es im Laborbetrieb zumeist der Fall ist, zu Beschädigungen der Stoßkanten beziehungsweise der Schweißnähte und damit zu einer Undichtheit der Vakuumkammer kommt.

[0011] Im Gegensatz hierzu ist der Kammerteil der erfindungsgemäßen Vakuumkammer aus einem viereckigen Aluminiumformrohr gefertigt, wodurch sich die Problematik mit Stoßkanten nicht ergibt. Des Weiteren erlaubt der viereckige Querschnitt die platzsparende Unterbringung von unterschiedlichen Anschlüssen insbesondere auch in den Ecken der Bodenplatte, wie beispielsweise Absaugung oder andere vakuumdichte Durchführungen, wie Stromdurchführungen, Gaseinlässe etc., deren Anordnung bei Kammern mit rundem Durchmesser aufgrund des geringeren Platzangebotes in diesem Maße nicht möglich sind.

[0012] In einer bevorzugten Ausführung der Erfindung weist die Vakuumkammer einen quadratischen Querschnitt auf. Es hat sich gezeigt, dass mit einem quadratischen Querschnitt eine 1/9 österreichisches Patentamt AT506187 B1 2010-03-15 gleichmäßigere Beschichtung der Probe erzielt wird.

[0013] Um die Vakuumkammer möglichst flexibel zu gestalten, sind der Deckel auf dem Kammerteil sowie der Kammerteil von der Bodenplatte abnehmbar angeordnet. Somit kann beispielsweise der bestehende Kammerteil gegen einen anderen Kammerteil mit gleichem Querschnitt auf einfache Weise ausgetauscht werden, wenn beispielsweise die Vakuumkammer eine größere oder geringere Höhe aufweisen soll. Da während der Bedampfung einer Probe der Kammerteil wie auch der Deckel ebenfalls beschichtet werden, ist ein häufig ein Auswechseln des Kammerteils und/oder Deckels gewünscht, um bei einem nachfolgenden Beschichtungsprozess mit einem anderen Beschichtungsmaterial Kontaminationen zu vermeiden.

[0014] In einer bevorzugten Ausführung der Erfindung ist die zumindest eine Probenhalterung an dem Deckel angeordnet, wobei die Probenhalterung beim Verschließen der Vakuumkammer mit dem Deckel in die Vakuumkammer hineinragt. Die Bestückung der Vakuumkammer mit einer oder mehreren Proben erfolgt somit mit wenigen Handgriffen; der Deckel muss lediglich angehoben und die Probe mit der zu beschichtenden Seite nach unten, also vom Deckel abgewandt, in die Probenhalterung eingelegt werden.

[0015] Für den Fall, dass die Probe nicht flächig, sondern in Strukturen beschichtet oder bedampft werden soll, ist auf der dem Deckel abgewandten Seite der Probenhalterung eine Maskierungseinrichtung angeordnet. Diese beispielsweise schablonenartig aufgebaute Maskierungseinrichtung beschattet die Probe teilweise, sodass nur Teilbereiche der Probenoberfläche beschichtet werden.

[0016] Um die Probe bedampfen zu können, muss das für gewöhnlich feste oder flüssige Bedampfungsmaterial, insbesondere Metalle wie beispielsweise Gold oder auch organische Verbindungen, in eine dampf- oder gasförmige Form gebracht werden. Dies geschieht in der erfindungsgemäßen Vakuumkammer dadurch, dass auf der Bodenplatte zumindest eine beheizbare Aufnahme vorgesehen ist, in die das zu verdampfende Material einbringbar ist. Das zu verdampfende Material wird dabei beispielsweise mittels einer Widerstandsheizung aufgeheizt und verdampft mit Unterstützung des in der Bedampfungskammer herrschenden Vakuums.

[0017] Sollen Metalle verdampft werden, so ist die beheizbare Aufnahme bevorzugt aus Wolfram gefertigt, weil dieses Material eine hohe Temperaturbeständigkeit und einen hohen elektrischen Widerstand aufweist. Metalle verdampfen im Hochvakuum bei Temperaturen von etwa 500-2000° C.

[0018] Um die Flexibilität der erfindungsgemäßen Vakuumkammer beizubehalten, ist vorteilhafterweise die zumindest eine Absaugseinrichtung in der Bodenplatte angeordnet. Die Absaugeinrichtung besteht für gewöhnlich aus einem Vakuumflansch mit großem Durchmesser und ist zumeist im Mittelpunkt der Bodenplatte untergebracht. In einer anderen Ausführung können jedoch auch mehrere, beispielsweise vier Absaugungen vorgesehen sein, die jeweils in den Eckpunkten der Bodenplatte untergebracht sind. Diese Absaugungen münden schließlich außerhalb der Vakuumkammer in eine zu einer Vakuumpumpe führenden Absaugleitung. Somit können Kammerteil und Deckel der Vakuumkammer entfernt werden, ohne die zumeist aus mehreren Teilen bestehende Absaugeinrichtung zerlegen und entfernen zu müssen. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn die erfindungsgemäße Vakuumkammer in einer Glove-Box untergebracht ist.

[0019] Vorteilhafterweise weist die Bodenplatte zusätzlich zumindest eine vakuumdichte Durchführung auf, durch die Stromleitungen oder Gaszuleitungen hindurchgeführt werden können.

[0020] Da zum Bedampfen der Probe das aufzudampfende Material zunächst erhitzt und verdampft werden muss, ist das Kammerinnere zu Beginn nur teilweise oder nicht in ausreichender Konzentration mit dampfförmigen Material gefüllt. Daher ist in einer bevorzugten Ausführung der Erfindung zusätzlich zumindest eine Abblendvorrichtung vorgesehen. Diese Abblendvorrichtung, auch "Shutter" genannt, deckt in aktivierter Position die zu beschichtende Probe ab und verhindert so eine ungewollte Beschichtung der Probe während der Aufheizphase. Hat sich in der Vakuumkammer schließlich ein Prozessgleichgewicht mit im Wesentlichen konstanten 2/9 österreichisches Patentamt AT506187 B1 2010-03-15

Beschichtungsraten eingestellt, wird der Shutter beispielsweise weggeschwenkt oder -geklappt und die Probe wird beschichtet.

[0021] Um das Erreichen konstanter Beschichtungsraten feststellen zu können, ist bevorzugt in der Vakuumkammer zusätzlich zumindest eine Einrichtung zur Bestimmung der Aufdampfrate vorgesehen. Eine derartige Einrichtung ist beispielsweise ein Schwingquarz-Meßsystem.

[0022] In einer bevorzugten Ausführung der Erfindung sind der Deckel und/oder der Kammerteil der Vakuumkammer über ein Liftsystem anhebbar. Dies erleichtert das Öffnen der Kammer insbesondere in der Glove-Box, in der, wie der Name bereits besagt, mit in der Wand der Glo-ve-Box angeordneten Handschuhen hantiert werden muss.

[0023] Erfindungsgemäß weist das Liftsystem eine Führung mit einem Bügelarm zur Fixierung des Deckels auf dem Kammerteil auf, sowie zumindest zwei klammerartige Haltevorrichtungen, die entlang der Führung bewegbar sind, wobei in eine Haltevorrichtung der Deckel und in zumindest eine weitere Haltevorrichtung der Kammerteil einspannbar sind. Der an der vertikal angeordneten Führung befestigte Bügelarm presst hierbei den Deckel auf den Kammerteil und in weiterer Folge den Kammerteil gegen die Bodenplatte, während die klammerartigen Haltevorrichtungen ein Verschieben des Deckels und/oder des Kammerteils in horizontaler Richtung verhindern.

[0024] Um ein im Wesentlichen widerstandsfreies Gleiten des Bügelarms und der klammerartigen Haltevorrichtungen zu ermöglichen, sind die Haltevorrichtungen über zumindest ein Kunststoffgleitlager entlang der Führung bewegbar. Des Weiteren sind zusätzlich Einrichtungen zur Arretierung der Haltevorrichtungen vorgesehen, die bei eingespanntem Deckel und/oder Kammerteil diese in Position halten. Wird der Deckel beispielsweise durch eine Aufwärtsbewegung des Bügelarms entlang der Führung von dem Kammerteil abgehoben und anschließend in horizontaler Richtung verschwenkt, um beispielsweise einen ungehinderten Zugang zur Probenhalterung zu haben, so sorgt eine Arretierung für eine fixierte Position des Deckels.

[0025] Im Folgenden wird anhand eines nicht-einschränkenden Ausführungsbeispiels mit zugehörigen Figuren die Erfindung näher erläutert. Darin zeigen: [0026] Fig. 1 die erfindungsgemäße Vakuumkammer in einem Längsschnitt [0027] Fig. 2 eine weitere Ausführung der Erfindung und [0028] Fig. 3 die Vakuumkammer aus Fig. 1 mit Liftsystem in einer perspektivischen Ansicht.

[0029] Die in der Fig. 1 dargestellte Vakuumkammer 1 zum Beschichten und Bedampfen von Proben verfügt über eine Bodenplatte 2, einen Kammerteil 3 aus einem Aluminiumformrohr mit quadratischem Querschnitt, zum Beispiel mit den Querschnittsmaßen 150 mm x 150 mm x 5 mm, und einen Deckel 4. Die Bodenplatte 2 ist in der dargestellten Ausführung der Erfindung aus rost- und säurebeständigem Edelstahl gefertigt, weil hier zahlreiche Vakuumdurchführungen angeordnet sind, und eine Oberfläche aus Edelstahl beständiger gegen mechanische Beschädigungen ist. Im Zentrum der Bodenplatte 2 ist die Vakuumabsaugung in Form eines Vakuumflansches 5 angebracht, der über eine Vakuumleitung (nicht dargestellt) mit einer Vakuumpumpe, beispielsweise einer Turbopumpe in Verbindung steht. Innerhalb der Vakuumkammer 1 befindet sich auf der Bodenplatte 2 des Weiteren eine elektrisch beheizbare Aufnahme 6, die für das Verdampfen von Substanzen wie beispielsweise Metalle oder organische Verbindungen vorgesehen ist, mit denen die Probe beschichtet werden soll. Zwei vakuumdichte Stromdurchführungen 7, 7' sind elektrisch leitend mit der Aufnahme 6 beispielsweise über Kupferblöcke 8, 8' verbunden. Die Aufnahme 6 selbst ist aus Wolfram gefertigt, das einen hohen elektrischen Widerstandwert aufweist und sich bei Stromzufuhr erhitzt, wodurch die in der Aufnahme 6 befindliche Substanz verdampft wird.

[0030] Auf der Bodenplatte 2 ist der Kammerteil 3 aufgesetzt. Um die Stoßfläche von Bodenplatte 2 und Kammerteil 3 abzudichten, ist eine Dichtung 9, beispielsweise Viton®, zwischen Bodenplatte 2 und Kammerteil 3 vorgesehen. Um eine Verrutschen des Kammerteils 3 auf der Dichtung 9 zu vermeiden, ist der Kammerteil 3 zusätzlich von einer Schutzplatte 10 umgeben, 3/9 österreichisches Patentamt AT506187B1 2010-03-15 die mit dem Bodenteil 2 verschraubt ist. Mit Hilfe dieser Schrauben 11, 11' kann die Vakuumkammer 1 gleichzeitig auch mit der Bodenplatte einer Glove-Box verschraubt sein, in der die Vakuumkammer 1 eingesetzt wird.

[0031] Der Deckel 4 ist ebenfalls gegen den Kammerteil 3 mit Hilfe einer Dichtung 9' und einer Schutzplatte 10' abgedichtet. An dem Deckel 4 ist eine Probenhalterung 12 mit einem Schattenmaskenhalter 13 befestigt, die beim Abnehmen des Deckels 4 ebenfalls aus der Vakuumkammer 1 herausgenommen wird. Dadurch gestaltet sich das Einsetzen und Entnehmen der zu beschichtenden Probe und/oder einer allfälligen Schattenmaske besonders einfach.

[0032] Unterhalb der Probenhalterung 12 bzw. der Schattenmaskenhalters 13 ist eine Abblendvorrichtung angeordnet, die aus einer plattenförmigen Blende 14 besteht, wobei die Blende 14 aus einer im Wesentlichen parallel zu der Probenhalterung 12 verlaufenden, horizontalen Position in eine zweite, parallel zu der Kammerwand verlaufenden vertikalen Position verschwenk-bar ist. Die Verschwenkung der Blende 14 erfolgt über ein Gestänge 15, das über einen unterhalb der Bodenplatte 2 angeordneten Metallfaltenbalg 16 automatisch oder per Hand angetrieben wird. Die Blende 14 sorgt in waagrechter Position für eine beinahe vollständige Abschattung der Probe in der Probenhalterung 12, so dass eine ungewollte Beschichtung der Probe beispielsweise zu Beginn der Verdampfung der in der Aufnahme 6 befindlichen Substanz verhindert wird.

[0033] Zwischen Probenhalterung 12 und Bodenplatte 2, insbesondere unterhalb der Blende 14 ist schließlich noch in geeigneter Höhe eine Einrichtung zur Messung der Abscheidrate in der Vakuumkammer 1 untergebracht. Diese Messeinrichtung ist beispielsweise ein Schwingquarz-Messsystem 17.

[0034] In der Fig. 2 ist ein weitere Ausführung der Vakuumkammer 1 dargestellt, wobei diese in einer Glove-Box 18 untergebracht ist. Im Unterschied zu der vorhergehend beschriebenen Ausführung ist die Probenhalterung 12 nicht im Deckel 4 untergebracht, sondern auf einem, an der Bodenplatte 2 befestigten Gestell 19. Um die Probenhalterung 12 besser bestücken zu können, überragt sie den Kammerteil 3, während der Deckel 4 eine entsprechende Ausnehmung 20 aufweist, in die die Probenhalterung 12 hineinragt.

[0035] Die in der Fig. 2 dargestellte Ausführung der Erfindung ist geeignet, in einer Glove-Box 18 eingesetzt zu werden, wobei nach dem Belüften der Vakuumkammer 1 durch Entfernung der Bodenplatte 2 Änderungen in der Vakuumkammer 1 vorgenommen werden können, ohne dass die in der Glove-Box 18 herrschende Schutzgasatmosphäre beeinträchtigt wird. Hierfür ist eine Abdichtplatte 21 zwischen Bodenplatte 2 und Kammerteil 3 vorgesehen, die einerseits mit der den Kammerteil 3 umgebende Schutzplatte 10 vakuumdicht verschraubt und andererseits mittels von außen lösbarer Schrauben über einen Spannring 22 mit der Bodenplatte 2 verbunden ist.

[0036] Bei Abnahme der Bodenplatte 2 verhindern jeweils zwischen der Abdichtplatte 21 und dem Boden 23 der Glove-Box 18 angeordnete Dichtungen 24, in Form von O-Ringen aus beispielsweise Viton®, dass die Schutzgasatmosphäre nicht aus der Glove-Box 18 entweichen kann. Weitere Dichtungen 25 dichten die Abdichtplatte 21 zur Bodenplatte 2 hin ab.

[0037] Um nun die Vakuumkammer 1 zum Beschichten oder Bedampfen in der Glove-Box 18 auf einfache Weise mit Proben bestücken zu können, weist diese erfindungsgemäß ein Liftsystem 100 auf, das in der Fig. 3 dargestellt ist.

[0038] Das Liftsystem 100 weist eine Führung 101 auf, die beispielsweise in der Schutzplatte 10 verankert ist. Entlang dieser Führung 101 sind zwei übereinander liegende, getrennt voneinander verschiebbare Führungszylinder 102, 102' angeordnet, die über Kunststoffgleitlager 103 verfügen, die die Verschiebbarkeit der Führungszylinder 102, 102' entlang der Führung 101 verbessern. Der obere Führungszylinder 102 weist einen klammerartigen Haltearm 104 auf, der über je eine Flügelmutter 105 an zwei Seiten des Deckels 4 der Vakuumkammer 1 befestigt ist. Die Flügelmutter 105 greift dabei in ein Sackloch; selbstverständlich können auch andere Mittel zur Befestigung des Haltearms 104 an dem Deckel 4 vorgesehen sein. 4/9

Claims (15)

1. österreichisches Patentamt AT506187 B1 2010-03-15 [0039] Der Deckel 4 ist zusätzlich über einen Bügelarm 106 fixiert, durch den eine Spannschraube 107 geführt ist. Diese Spannschraube 107 presst den Deckel 4 gegen den Kammerteil 3, während eine mit der Schutzplatte 10 lösbar verbundene Führungsstange 108 den in der Führung 101 im Wesentlichen horizontal verdrehbaren Bügelarm 106 in seiner Position fixiert. [0040] Soll nun der Deckel 4 von dem Kammerteil 3 abgehoben werden, um beispielsweise die Vakuumkammer 1 mit einer neuen Probe zu beschicken, so wird zunächst die Spannschraube 107 gelöst und die Führungsstange 108 aus einem in der Schutzplatte 10 angeordneten Verschlusselement 109, beispielsweise einer Einrastvorrichtung, gelöst. Danach wird der Bügelarm 106 um die Längsachse der Führung 101 verschwenkt. [0041] Hernach wird der Führungszylinder 102 entlang der Führung 101 hochgezogen, wodurch der Deckel mitsamt der Dichtung 9' ebenfalls angehoben wird. Der Führungszylinder 102 weist einen Bolzen 110 auf, der in eine in der Führung 101 vorgesehene Nut 111 einrastet, wenn der Deckel 4 angehoben und horizontal verschwenkt wird. Dadurch verbleibt der Deckel 4 in der angehobenen Position und es können beispielsweise in der Vakuumkammer 1 Änderungen vorgenommen werden. [0042] Um eine einfachere Beschickung der Aufnahme 6 mit Beschichtungsmaterial zu ermöglichen, kann der Kammerteil 3 ebenfalls angehoben werden. Hierfür wird (bei angehobenem Deckel 4) der Führungszylinder 102', der über zwei Haltearme 104', 104" mit dem Kammerteil 3 verbunden ist, entlang der Führung 101 nach oben verschoben. Um den Kammerteil 3 in der angehobenen Position zu arretieren, ist wiederum ein bügelartiges Fixierungssystem 112 vorgesehen, das über ein Federsystem (nicht dargestellt) an der Führung 101 fixierbar ist. [0043] Sollen Deckel 4 bzw. Kammerteil 3 ausgetauscht werden, so müssen lediglich die Flügelmuttern 105 gelöst werden und Deckel 4 bzw. Kammerteil 3 können aus den Haltearmen 104, 104', 104" entnommen werden. [0044] Es versteht sich dass das dargestellte Ausführungsbeispiel, insbesondere das Liftsystem 100 in nicht-einschränkender Weise zu betrachten ist. Insbesondere kann das Liftsystem 100 auch mittels Motoren angetrieben sein. Ebenso können die Einbauten in der Vakuumkammer 1 variieren und an den jeweiligen Beschichtungsprozess angepasst sein. Patentansprüche 1. Vakuumkammer (1) zum Bedampfen oder Beschichten von Proben, mit einer Bodenplatte (2), einem Kammerteil (3) und einem Deckel (4), sowie mit zumindest einer in der Vakuumkammer (1) angeordneten Probenhalterung (12) und zumindest einer Absaugeinrichtung (5), dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerteil (3) aus einem Aluminiumformrohr mit viereckigem Querschnitt gefertigt ist.
2. 2. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerteil (3) einen quadratischen Querschnitt aufweist.
3. 3. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Deckel (4) auf dem Kammerteil (3) sowie der Kammerteil (3) von der Bodenplatte (2) abnehmbar angeordnet sind.
4. 4. Vakuumkammer (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Probenhalterung (12) an dem Deckel (4) angeordnet ist, die beim Verschließen der Vakuumkammer (1) mit dem Deckel (4) in die Vakuumkammer (1) hineinragt.
5. 5. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass auf der dem Deckel (4) abgewandten Seite der Probenhalterung (12) eine Maskierungseinrichtung (13) angeordnet ist.
6. 6. Vakuumkammer (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Bodenplatte (2) zumindest eine beheizbare Aufnahme (6) vorgesehen ist, in die das zu verdampfende Material einbringbar ist. 5/9 österreichisches Patentamt AT506187B1 2010-03-15
7. 7. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die beheizbare Aufnahme (6) aus Wolfram gefertigt ist.
8. 8. Vakuumkammer (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Absaugseinrichtung (5) in der Bodenplatte (2) angeordnet ist.
9. 9. Vakuumkammer (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Bodenplatte (2) zusätzlich zumindest eine weitere vakuumdichte Durchführung (7, 7) aufweist.
10. 10. Vakuumkammer (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass in der Vakuumkammer (1) zusätzlich zumindest eine Abblendvorrichtung (14) vorgesehen ist.
11. 11. Vakuumkammer (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass in der Vakuumkammer (1) zusätzlich zumindest eine Einrichtung zur Bestimmung der Aufdampfrate vorgesehen ist.
12. 12. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Einrichtung zur Bestimmung der Aufdampfrate ein Schwingquarz-Meßsystem (17) ist.
13. 13. Vakuumkammer (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Kammerteil (3) und/oder der Deckel (4) der Vakuumkammer (1) über ein Liftsystem (100) anhebbar sind.
14. 14. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Liftsystem (100) eine Führung (101) mit einem Bügelarm (106) zur Fixierung des Deckels (4) auf dem Kammerteil (3) aufweist und zumindest zwei klammerartige Haltevorrichtungen, die entlang der Führung (101) bewegbar sind, wobei in eine Haltevorrichtung (104) der Deckel (4) und in zumindest eine weitere Haltevorrichtung der Kammerteil (3) einspannbar sind.
15. 15. Vakuumkammer (1) nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtungen (104) über zumindest ein Kunststoffgleitlager (103) entlang der Führung (101) bewegbar sind, und zusätzlich Einrichtungen (110, 111, 112) zur Arretierung der Haltevorrichtungen (104) vorgesehen sind. Hierzu 3 Blatt Zeichnungen 6/9