WO2006000186A2 - Vorrichtung zur bereitstellung einer sonderatmosphäre mit einem medienanschluss - Google Patents

Vorrichtung zur bereitstellung einer sonderatmosphäre mit einem medienanschluss Download PDF

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Jens Melcher
Michael Hofmann
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    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
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    • H01J37/32458—Vessel

Definitions

  • the invention relates to a device for providing ei ⁇ ner special atmosphere with a media connection, in particular a device for coating substrates in a high vacuum with a coolant connection.
  • a coolant for example water
  • chamber a high-vacuum chamber
  • one or more chambers with devices for evaporating or atomizing the coating material are present in the coating area in a technically reasonable number and nature. Due to the geometry of this device, a portion of the evaporated or atomized target material does not reach the substrate, but stationary components arranged in the coating chamber.
  • these components are designed in such a way that, on the one hand, they can absorb large amounts of the target material in order to prevent particle formation due to detachment from the substrate. countries. On the other hand, these components must, if possible, be tempered, ie cooled. By maintaining a constant temperature, mechanical stresses in the applied layers should be minimized and the technological conditions for applying the layer should be kept constant.
  • coolant-carrying device parts can be fixed in the chamber.
  • angle profiles preferably made of aluminum, for clamping the target material are clamped to these device parts. During maintenance, only the angle profiles are exchanged.
  • the device parts located in the chamber such as evaporators, magnetrons, targets, or shutters, are arranged on an auxiliary frame, which can be removed in the interior of the chamber is stored.
  • the coolant is supplied to the device parts to be cooled via coolant lines which are likewise arranged on the auxiliary frame in order to be able to supply the device parts to be cooled with coolant.
  • the auxiliary frame with the device parts arranged thereon can be removed completely from the chamber by means of a hoist, i. the provided for receiving the vaporized or atomized target material sheets or angle profiles and the coolant-carrying device parts are handled together.
  • the coolant lines arranged in the interior of the chamber must be able to be decoupled from the coolant supply lines which supply them and which are arranged outside the chamber.
  • the inner coolant lines are connected to the outer coolant supply lines by known connection means, such as screwed connections or quick-release closures.
  • connection means such as screwed connections or quick-release closures.
  • these connecting means must be outside the chamber be arranged.
  • connection can be made on the one hand by a flange lying in the container bottom.
  • the disadvantage here is the poor accessibility of the flange, in addition made more difficult by lateral container stiffeners.
  • EP 1 019 946 B1 proposes a solution in which a coolant connection protrudes beyond the side wall of the container.
  • the auxiliary frame has on one longitudinal side a cross-over the Prozeß ⁇ chamber boom with supply ports at least for coolant.
  • This configuration eliminates within the process chamber located, to be dissolved in the expansion of components coolant connections, eliminating the risk of Aus ⁇ outlet of coolant within the process chamber due to non-dense connections.
  • a disadvantage of the proposed solution is that the chamber ceiling (i.e., the sealing surface of the container) and the lid closing off the container are unsymmetrical due to the feedthrough provided therein for the supply connection.
  • the device parts projecting beyond the chamber ceiling are exposed to the risk of damage when the cover is open.
  • the object of the invention is therefore to specify a device with a media connection, in particular a device for coating substrates in a high vacuum with a coolant connection, in which the operation of the coolant connection (coupling and releasing) is simplified with little technical effort becomes.
  • the device according to the invention for providing a special atmosphere contains a chamber which has a container with a wall, a closable opening and a sealing surface, comprises a cover and a media connection and is characterized da ⁇ that the media connection from a projecting into the interior of the chamber invagination of the wall of Benzol ⁇ ters with a the opening of the container facing bushing for receiving a connecting piece and a in the implementation the insertion insert can be used.
  • the indentation may be located anywhere on the wall, including any soil that may be present.
  • the device for coating plate-shaped substrates is formed, wherein the wall of the container is formed of a bottom and a side wall, the invagination on the side wall between sealing surface and bottom of the container is arranged, the device further comprises a cooling device comprises and the connecting piece after assembly of the cooling device in the interior of the chamber protrudes out of the chamber.
  • the connecting piece or / and the implementation of the indentation sealing means for sealing the chamber is advantageously designed as a conical seat of the connection nozzle in the passage. This prevents that penetrating outside air destroys the prevailing in the chamber vacuum or affects the protective atmosphere.
  • the sealant contains in a particularly advantageous embodiment of the invention, an O-ring made of an elastomer.
  • the connecting piece has a tendon coupling or a receptacle for a tendon coupling at its end protruding from the chamber.
  • any electrical connector hereby the time required for assembly and disassembly of the media supply system is substantially reduced compared to conventional connection means, such as, for example, cable glands.
  • the indentation is formed by a separate component, which is arranged in an opening provided for the wall and fastened with connecting means to the wall of the container.
  • This variant is particularly useful for retrofitting existing devices and is also to be used when it is not allowed to weld to the wall of the container.
  • the separate component can advantageously be cylindrical or cuboidal and have at its edge a flange for attachment to the wall of the container.
  • the cylindrical shape requires little material and offers a high compressive strength, while the cuboid shape offers more space for mounting the media feed line, is simpler and cheaper to manufacture and facilitates the sealing of the feedthrough, since a flat surface is available.
  • the connecting means are preferably bolts in order to make the installation of the indentation on the wall of the container simple and to obtain a detachable connection between the indentation and the container.
  • the device according to the invention for the provision of a special atmosphere with media connection can be used in many areas of the industrial economy and its use is not limited to the coating of substrates in a high vacuum. Rather, the device according to the invention can usefully be used wherever work processes have to take place in a high vacuum or under protective atmosphere.
  • the connection piece belonging to the media connection is not to be regarded as restricted to connections for liquid or gaseous media, but the connection piece can also serve to supply electrical supply lines or electronic measuring or control devices. lines into the chamber into or out of her out or a mechanical device, such as a linkage or a shaft to guide through the side wall of the chamber.
  • Fig. 2 shows a second embodiment of the invention
  • Fig. 3 shows a third embodiment of the invention.
  • FIG. 1 shows a first exemplary embodiment of the device according to the invention for providing a special atmosphere.
  • the device is designed for coating plate-shaped substrates. It consists of a chamber for receiving further device parts comprising a container 1 with a wall 2, a closable opening 6 and a sealing surface 5 and a media connection.
  • the wall 2 of the container 1 is formed from a bottom 4 and a side wall 3.
  • the media connection consists of a protruding into the interior of the chamber invagination 7 of the wall 2 of the container 1 and has a opening 6 of the container 1 facing passage 8 for receiving a connection stub 12, in which the connection piece 12 can be inserted.
  • the indentation 7 is arranged between the sealing surface 5 and the bottom 4 in the wall 2 of the container 1.
  • the device comprises a cooling device 14.
  • the connecting piece 12 projects out of the container 1.
  • the cooling device 14 is connected to a support frame 15 to which the magnetron environment of a magnetron, not shown, is attached.
  • the support frame 15 is used for easy removal of the magnetron environment from the coating chamber, ie the container 1, wherein connecting elements of the support frame 15 are released and this is lifted by means of a lifting device he ⁇ . Then, the maintenance work on the Tar ⁇ get environment outside the container while ensuring easy accessibility are performed.
  • FIG. 2 shows a second exemplary embodiment of the device according to the invention for providing a special atmosphere, which is likewise designed for coating plate-shaped substrates.
  • the connecting piece 12 and the passage 8 of the indentation 7 contain sealing means 9 for sealing the chamber in order to prevent the ingress of outside air.
  • the sealing means 9 is formed as a conical seat of the connecting stub 12 in the passage 8, which contains an O-ring made of an elastomer.
  • the connecting piece 12 has at its ra ⁇ from the container 1 ing end of a receptacle for a quick coupling 13.
  • the indentation 7 is formed by a separate component, which is arranged in a designated opening of the wall 2 and fixed with connecting means 11 on the wall 2 of the container 1.
  • the separate component is cuboid freshlybil ⁇ det and has at its edge a flange 10 for attachment to the wall 2 of the container 1.
  • the connecting means 11 are bolts, whereby the Ver ⁇ connection between the indentation 7 and container 1 is solvable.
  • Fig. 3 a third embodiment of the erfindungsge ⁇ MAESSEN device for providing a special atmosphere is shown.
  • the container 1 consists of a cylindrical vessel with a wall 2 and a flange which constitutes the sealing surface 5.
  • a recess 7 is arranged, which is connected un ⁇ releasably connected to the container 1.
  • the indentation 7 has a to the opening 6 of the container 1 facing bushing 8, in which a (not shown) connecting piece 12 is used.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre mit einem Medienanschluss, insbesondere eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten im Hochvakuum mit einem Kühlmittelanschluss. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre enthält eine Kammer, die einen Behälter mit einer Wandung, einer verschließbaren Öffnung und einer Dichtfläche, einen Deckel sowie einen Medienanschluss umfasst und ist dadurch gekennzeichnet, dass der Medienanschluss aus einer in das Innere der Kammer ragenden Einstülpung der Wandung des Behälters mit einer der Öffnung des Behälters zugewandten Durchführung zur Aufnahme eines Anschlussstutzens und einem in die Durchführung der Einstülpung einsetzbaren Anschlussstutzen besteht.

Description

Vorrichtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre mit einem Medienanschluss
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bereitstellung ei¬ ner Sonderatmosphäre mit einem Medienanschluss, insbesondere eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten im Hochvakuum mit einem Kühlmittelanschluss .
Bei vielen bekannten Arbeitsverfahren, die unter einer Sonder¬ atmosphäre wie unter einer Schutzatmosphäre oder im Hochvakuum ablaufen, beispielsweise den heutigen Verfahren zur Hochvakuum- beschichtung von Substraten, wie thermische Verdampfung oder Sputtern (Kathodenzerstäubung) , stellt sich das Problem, die entstehende Wärme abzuführen, um die technologischen Parameter konstant zu halten und so qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Hierfür muss ein Kühlmittel, beispielsweise Wasser, in die Prozesskammer, beispielsweise eine Hochvakuumkammer (nachfolgend Kammer genannt) eingebracht werden, die dazu dient, die Wärme von den in der Kammer befindlichen Vorrich¬ tungsteilen aufzunehmen und aus der Kammer herauszuführen.
Bei Vakuumbeschichtungsanlagen für plattenförmige Substrate sind im Beschichtungsbereich eine oder mehrere Kammern mit Ein¬ richtungen zum Verdampfen oder Zerstäuben des Beschichtungsma- terials, beispielsweise thermische Verdampfer oder Magnetronsputtereinrichtungen, in technisch sinnvoller Anzahl und Beschaffenheit vorhanden. Auf Grund der Geometrie dieser Einrichtung gelangt ein Anteil des verdampften oder zerstäubten Targetmaterials nicht auf das Substrat, sondern auf in der Be- schichtungskammer angeordnete stationäre Bauteile.
Diese Bauteile sind in der Regel so gestaltet, dass sie einer¬ seits große Mengen des Targetmaterials aufnehmen können, um ei¬ ne Partikelbildung durch Ablösen auf dem Substrat zu verhin- dern. Andererseits müssen diese Bauteile nach Möglichkeit tem¬ periert, d.h. gekühlt werden. Durch Beibehaltung einer konstan¬ ten Temperatur sollen mechanische Spannungen in den aufgebrach¬ ten Schichten minimiert und die technologischen Bedingungen zum Aufbringen der Schicht konstant gehalten werden.
Für die Anordnung der in der Kammer befindlichen Vorrichtungs¬ teile gibt es mehrere Varianten. Beispielsweise können Kühlmit¬ tel führende Vorrichtungsteile in der Kammer fixiert werden. An diese Vorrichtungsteile werden beispielsweise Winkelprofile, vorzugsweise aus Aluminium, zur Aufnahme des Targetmaterials geklemmt. Während der Wartung werden lediglich die Winkelprofi¬ le ausgetauscht.
Um die Reinigung und Wartung derartiger Vorrichtungen zu er¬ leichtern, sind in einer anderen Variante die in der Kammer be¬ findlichen Vorrichtungsteile, wie Verdampfer, Magnetrons, Tar¬ gets, oder Blenden an einem Hilfsgestell angeordnet, das im In¬ nern der Kammer herausnehmbar gelagert ist. Das Kühlmittel wird den zu kühlenden Vorrichtungsteilen über Kühlmittelleitungen zugeführt, die ebenfalls an dem Hilfsgestell angeordnet sind, um die zu kühlenden Vorrichtungsteile mit Kühlmittel versorgen zu können. Das Hilfsgestell mit den daran angeordneten Vorrich¬ tungsteilen ist mittels Hebezeug komplett aus der Kammer ent- fernbar, d.h. die zur Aufnahme des verdampften oder zerstäubten Targetmaterials vorgesehenen Bleche oder Winkelprofile und die Kühlmittel führenden Vorrichtungsteile werden zusammen gehand¬ habt.
Um die Herausnehmbarkeit des Hilfsgestells zu gewährleisten, müssen die im Innern der Kammer angeordneten Kühlmittelleitun¬ gen von den sie versorgenden, außerhalb der Kammer angeordneten KühlmittelZuführungen entkoppelbar sein. Hierzu sind die inne¬ ren Kühlmittelleitungen mit den äußeren KühlmittelZuführungen durch bekannte Verbindungsmittel, wie Versehraubungen oder Schnellverschlüsse, miteinander verbunden. Um zu vermeiden, dass Kühlmittel aus undichten Verbindungsmitteln in die Kammer eintritt, müssen diese Verbindungsmittel außerhalb der Kammer angeordnet sein.
Für den Kühlmittelanschluss der Variante mit Hilfsgestell kann der Anschluss einerseits durch einen im Behälterboden liegenden Flansch erfolgen. Nachteilig dabei ist die schlechte Erreich¬ barkeit des Flansches, zusätzlich erschwert durch seitliche Be¬ hälterversteifungen.
In EP 1 019 946 Bl wird eine Lösung vorgeschlagen, bei der ein Kühlmittelanschluss über die Seitenwand des Behälters ragt. Das Hilfsgestell weist an einer Längsseite einen über die Prozess¬ kammer greifenden Ausleger mit Versorgungsanschlüssen zumindest für Kühlmittel auf. Durch diese Gestaltung entfallen innerhalb der Prozesskammer befindliche, beim Ausbau von Einbauteilen zu lösende Kühlmittelverbindungen, wodurch die Gefahr eines Aus¬ tritts von Kühlmittel innerhalb der Prozesskammer infolge nicht dichter Verbindungen entfällt. Ein Nachteil der vorgeschlagenen Lösung besteht darin, dass die Kammerdecke (d.h. die Dichtflä¬ che des Behälters) und der den Behälter abschließende Deckel aufgrund der darin vorgesehenen Durchführung für den Versor- gungsanschluss unsymmetrisch sind. Außerdem sind die über die Kammerdecke hinausragenden Vorrichtungsteile bei geöffnetem De¬ ckel der Gefahr von Beschädigungen ausgesetzt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, eine Vorrichtung mit einem Medienanschluss, insbesondere eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten im Hochvakuum mit einem Kühlmittel¬ anschluss anzugeben, bei der die Bedienung des Kühlmittelan¬ schlusses (Ankoppeln und Lösen) mit geringem technischem Auf- wand vereinfacht wird.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bereitstellung einer Son¬ deratmosphäre enthält eine Kammer, die einen Behälter mit einer Wandung, einer verschließbaren Öffnung und einer Dichtfläche, einen Deckel sowie einen Medienanschluss umfasst und ist da¬ durch gekennzeichnet, dass der Medienanschluss aus einer in das Innere der Kammer ragenden Einstülpung der Wandung des Behäl¬ ters mit einer der Öffnung des Behälters zugewandten Durchfüh- rung zur Aufnahme eines Anschlussstutzens und einem in die Durchführung der Einstülpung einsetzbaren Anschlussstutzen be¬ steht.
Die Einstülpung kann an jeder beliebigen Stelle der Wandung, einschließlich eines eventuell vorhandenen Bodens, angeordnet sein.
In einer Ausgestaltung der Erfindung ist die Vorrichtung zum Beschichten von plattenförmigen Substraten ausgebildet, wobei die Wandung des Behälters aus einem Boden und einer Seitenwand gebildet ist, die Einstülpung an der Seitenwand zwischen Dicht¬ fläche und Boden des Behälters angeordnet ist, die Vorrichtung weiterhin eine Kühleinrichtung umfasst und der Anschlussstutzen nach der Montage der Kühleinrichtung im Innern der Kammer aus der Kammer hinaus ragt.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung enthalten der Anschlussstutzen oder/und die Durchführung der Einstülpung Dichtmittel zur Abdichtung der Kammer. Das Dichtmittel ist vor- teilhaft als Konussitz des AnschlussStutzens in der Durchfüh¬ rung ausgebildet. Hierdurch wird verhindert, dass eindringende Außenluft das in der Kammer herrschende Vakuum zerstört oder die Schutzatmosphäre beeinträchtigt.
Zur Verbesserung der Dichtungswirkung enthält das Dichtmittel in einer besonders vorteilhaften Ausführung der Erfindung einen O-Ring aus einem Elastomer.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist der Anschlussstutzen an seinem aus der Kammer ragenden Ende eine Sehne11kupplung oder eine Aufnahme für eine Sehne11kupplung auf. Unter Schnellkupplung soll im Sinne dieser Anmeldung auch jeder elektrische Steckverbinder angesehen werden. Hierdurch wird der Zeitaufwand bei der Montage und Demontage der Medien¬ zuführung gegenüber herkömmlichen Verbindungsmitteln, wie bei¬ spielsweise Versehraubungen, wesentlich herabgesetzt.
Vorteilhaft ist die Einstülpung durch ein separates Bauteil ge¬ bildet, das in einer dafür vorgesehenen Öffnung der Wandung an¬ geordnet und mit Verbindungsmitteln an der Wandung des Behäl¬ ters befestigt ist. Diese Variante ist besonders zweckmäßig zur Nachrüstung bereits existierender Vorrichtungen verwendbar und ist außerdem zu bevorzugen, wenn an der Wandung des Behälters nicht geschweißt werden darf.
Das separate Bauteil kann vorteilhaft zylindrisch oder quader¬ förmig ausgebildet sein und an seinem Rand einen Flansch zur Anbringung an der Wandung des Behälters aufweisen. Die zylind¬ rische Form benötigt wenig Material und bietet eine hohe Druck¬ festigkeit, während die Quaderform mehr Raum für die Montage der Medienzuleitung bietet, einfacher und kostengünstiger zu fertigen ist und die Abdichtung der Durchführung erleichtert, da eine ebene Fläche zur Verfügung steht.
Die Verbindungsmittel sind bevorzugt Schraubenbolzen, um die Montage der Einstülpung an der Wandung des Behälters einfach zu gestalten und eine lösbare Verbindung zwischen Einstülpung und Behälter zu erhalten.
Es sei ausdrücklich angemerkt, dass die erfindungsgemäße Vor¬ richtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre mit Medien- anschluss in vielen Bereichen der gewerblichen Wirtschaft ver- wendbar ist und ihr Einsatz nicht etwa auf die Beschichtung von Substraten im Hochvakuum beschränkt ist. Vielmehr ist die er- findungsgemäße Vorrichtung nutzbringend überall dort einsetz¬ bar, wo Arbeitsverfahren im Hochvakuum oder unter Schutzatmo¬ sphäre ablaufen müssen. In gleicher Weise ist der zu dem Me- dienanschluss gehörige Anschlussstutzen nicht als auf Anschlüs¬ se für flüssige oder gasförmige Medien beschränkt anzusehen, sondern der Anschlussstutzen kann ebenso dazu dienen, elektri¬ sche Versorgungsleitungen oder elektronische Mess- oder Steuer- leitungen in die Kammer hinein bzw. aus ihr hinaus zu führen oder eine mechanische Einrichtung, beispielsweise ein Gestänge oder eine Welle, durch die Seitenwand der Kammer zu führen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher er¬ läutert. Dabei zeigen
Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung und
Fig. 3 ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung.
In Fig. 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsge- mäßen Vorrichtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre dargestellt. In diesem Ausführungsbeispiel ist die Vorrichtung zum Beschichten von plattenförmigen Substraten ausgebildet. Sie besteht aus einer Kammer zur Aufnahme weiterer Vorrichtungstei¬ le, die einen Behälter 1 mit einer Wandung 2, einer verschließ- baren Öffnung 6 und einer Dichtfläche 5 sowie einen Medienan- schluss umfasst.
Die Wandung 2 des Behälters 1 ist aus einem Boden 4 und einer Seitenwand 3 gebildet.
Der Medienanschluss besteht aus einer in das Innere der Kammer ragenden Einstülpung 7 der Wandung 2 des Behälters 1 und weist eine der Öffnung 6 des Behälters 1 zugewandte Durchführung 8 zur Aufnahme eines AnschlussStutzens 12 auf, in die der An- schlussstutzen 12 einsetzbar ist.
Die Einstülpung 7 ist zwischen der Dichtfläche 5 und dem Boden 4 in der Wandung 2 des Behälters 1 angeordnet.
Weiterhin umfasst die Vorrichtung eine Kühleinrichtung 14. Nach der Montage der Kühleinrichtung 14 im Innern des Behälters 1 ragt der Anschlussstutzen 12 aus dem Behälter 1 hinaus. Die Kühleinrichtung 14 ist mit einem Tragrahmen 15 verbunden, an dem die Magnetronumgebung eines nicht näher dargestellten Magnetron befestigt ist. Der Tragrahmen 15 dient dem leichten Herausnehmen der Magnetronumgebung aus der Beschichtungskammer, d.h. dem Behälter 1, wobei Verbindungselemente des Tragrahmens 15 gelöst werden und dieser mittels einer Hebevorrichtung he¬ rausgehoben wird. Dann können die Wartungsarbeiten an der Tar¬ getumgebung außerhalb des Behälters unter Gewährleistung leich¬ ter Zugänglichkeit durchgeführt werden.
In Fig. 2 ist ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsge¬ mäßen Vorrichtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre dargestellt, die ebenfalls zum Beschichten von plattenförmigen Substraten ausgebildet ist.
Der Anschlussstutzen 12 und die Durchführung 8 der Einstülpung 7 enthalten Dichtmittel 9 zur Abdichtung der Kammer, um das Eindringen von Außenluft zu verhindern. Das Dichtmittel 9 ist als Konussitz des AnschlussStutzens 12 in der Durchführung 8 ausgebildet, der einen O-Ring aus einem Elastomer enthält.
Der Anschlussstutzen 12 weist an seinem aus dem Behälter 1 ra¬ genden Ende eine Aufnahme für eine Schnellkupplung 13 auf. Hierdurch wird der Zeitaufwand bei der Montage und Demontage der (nicht dargestellten) Medienzuführung gegenüber herkömmli¬ chen Verbindungsmitteln, wie beispielsweise Versehraubungen, wesentlich herabgesetzt.
Die Einstülpung 7 ist durch ein separates Bauteil gebildet, das in einer dafür vorgesehenen Öffnung der Wandung 2 angeordnet und mit Verbindungsmitteln 11 an der Wandung 2 des Behälters 1 befestigt ist. Das separate Bauteil ist quaderförmig ausgebil¬ det und weist an seinem Rand einen Flansch 10 zur Anbringung an der Wandung 2 des Behälters 1 auf.
Die Verbindungsmittel 11 sind Schraubenbolzen, wodurch die Ver¬ bindung zwischen Einstülpung 7 und Behälter 1 lösbar ist. In Fig. 3 ist ein drittes Ausführungsbeispiel der erfindungsge¬ mäßen Vorrichtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre dargestellt.
In diesem Ausführungsbeispiel besteht der Behälter 1 aus einem zylindrischen Kessel mit einer Wandung 2 und einem Flansch, der die Dichtfläche 5 darstellt. In der Wandung 2 des Behälters 1 ist eine Einstülpung 7 angeordnet, die mit dem Behälter 1 un¬ lösbar verbunden ist. Die Einstülpung 7 weist eine zur Öffnung 6 des Behälters 1 weisende Durchführung 8 auf, in die ein (nicht dargestellter) Anschlussstutzen 12 einsetzbar ist. Vorrichtung zur Bereitstellung einer SonderatmoSphäre mit einem Medienanschluss
Bezugszeichenliste
1 Behälter 2 Wandung 3 Seitenwand 4 Boden 5 Dichtfläche 6 Öffnung 7 Einstülpung 8 Durchführung 9 Dichtmittel 10 Flansch 11 Verbindungsmittel 12 Anschlussstutzen 13 Aufnahme für Schnellkupplung 14 Kühleinrichtung 15 Tragrahmen

Claims

Vorrichtung zur Bereitstellung einer SonderatmoSphäre mit einem MedienanschlussPatentansprüche
1. Vorrichtung zur Bereitstellung einer Sonderatmosphäre mit einer Kammer, die einen Behälter (1) mit einer Wan¬ dung (2) , einer verschließbaren Öffnung (6) und einer Dichtfläche (5), an der ein Deckel anbringbar ist, so¬ wie einen Medienanschluss umfasst, dadurch gekenn z e i chne t , dass der Medienanschluss aus einer in das Innere des Behälters (1) ragenden Einstül¬ pung (7) der Wandung (2) des Behälters (1) mit einer der Öffnung (6) des Behälters (1) zugewandten Durchfüh¬ rung (8) zur Aufnahme eines AnschlussStutzens (12) und einem in die Durchführung (8) der Einstülpung (7) ein¬ setzbaren Anschlussstutzen (12) besteht.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 zum Beschichten von plat- tenförmigen Substraten, dadurch gekennz ei chnet , dass die Wandung (2) des Behäl¬ ters (1) aus einem Boden (4) und einer Seitenwand (3) gebildet ist, die Einstülpung (7) an der Seitenwand (3) zwischen Dichtfläche (5) und Boden (4) des Behälters (1) angeordnet ist, die Vorrichtung weiterhin eine Kühleinrichtung (14) umfasst und der Anschlussstutzen (12) nach der Montage der Kühleinrichtung (14) im In¬ nern des Behälters (1) aus dem Behälter (1) hinaus ragt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennz ei chnet , dass der Anschlussstutzen (12) oder/und die Durchführung (8) der Einstülpung (7) Dichtmittel (9) zur Abdichtung des Behälters (1) ent- halten.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadur ch gekenn z e i chne t , dass das Dichtmittel (9) als Konussitz des Anschlussstutzens (12) in der Durchfüh¬ rung (8) ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennz ei chne t , dass das Dichtmittel (9) einen O-Ring aus einem Elastomer enthält.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennz ei chnet , dass der An¬ schlussstutzen (12) an seinem aus dem Behälter (1) ra- genden Ende eine Schnellkupplung oder eine Aufnahme für eine Schnellkupplung (13) aufweist.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennz e i chne t , dass die Einstül- pung (7) ein separates Bauteil ist, das in einer dafür vorgesehenen Öffnung der Wandung (2) angeordnet und mit Verbindungsmitteln (11) an der Wandung (2) des Behäl¬ ters (1) befestigt ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennz ei chnet , dass das separate Bauteil zy¬ lindrisch oder quaderförmig ausgebildet ist und an sei¬ nem Rand einen Flansch (10) zur Anbringung an der Wan¬ dung (2) des Behälters (1) aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet , dass die Verbindungsmittel (11) Schraubenbolzen sind.
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