AT286935B - Verfahren zur Reinigung der Oberfläche eines Siliziumkristalls vor dem epitaktischen Abscheiden von anorganischem Material auf der gereinigten Oberfläche des Siliziumkristalls - Google Patents

Verfahren zur Reinigung der Oberfläche eines Siliziumkristalls vor dem epitaktischen Abscheiden von anorganischem Material auf der gereinigten Oberfläche des Siliziumkristalls

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DE19681769968 DE1769968C3 (de) 1968-08-14 Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von anorganischem Material auf der gereinigten Oberfläche eines SiIiciumkristalls

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