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Vorrichtung zum Magazinieren von runden oder vieleckigen, scheibenförmigen Körpern
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Magazinieren ven runden oder vieleckigen, scheibenförmigen Körpern für Halbleiteranordnungen, insbesondere Siliziumscheiben.
Es sind Vorrichtungen bekanntgeworden, mit denen eine geordnete Zufuhr von Scheiben halbleitenden Materials zu den Legierungsformen erreicht wird. Eine dieser Vorrichtungen besteht unter anderem aus einem kippbaren Behälter, in dessen Innenwand Führungskanäle angeordnet sind, in die durch das Kippen des Behälters die scheibenförmigen Halbleiterkörper fallen. Die Scheiben werden dann durch Saugluft festgehalten und nachdem die Vorrichtung in eine bestimmte Lage gekippt worden ist, werden sie durch einen Pressluftstoss in eine bereitstehende Legierungsform gestossen. Da die Vorrichtung mit tausenden von scheibenför- migen Halbleiterkörpem beschickt wird, werden sehr viele im Behälter verbleiben. Durch die dauernden Kippbewegungen unterliegen sie einem erheblichen Abrieb.
Diese Vorrichtung kann daher für abriebemp- findliche Teile nicht zur Verwendung kommen. Weiterhin ist eine Vorrichtung bekanntgeworden, mit der Gegenstände gestapelt werden. Dazu werden die Gegenstände in Reihen nebeneinander und in einem bestimmten Abstand hintereinander geordnet mittels Transportband der Stapeleinrichtung zugeführt.
Quer zu diesem Transportband ist ein um Rollen laufendes endloses Band mit daran befestigten Stapel-
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schub der beiden Bänder ist so geregelt, dass ein antransportierter Gegenstand dann in eine Öffnung der Tisch- platte fällt, wenneinStapelbehälterdaruntersteht. Jeder Stapelbehälterbesitzt eineninder Höhe verstellbaren Boden. Ein am Boden befestigter Stift liegt auf einer stufenförmig ausgebildeten Führungsschiene auf, so dass beim Auflaufen des Stiftes auf die Führungsschiene der Boden zwangsläufig soweit abgesenkt wird, dass ein Gegenstand aufgenommen werden kann. Bei der zweiten Öffnung wird wieder abgesenkt, damit ein wei. terer Gegenstand aufgenommen werden kann. Dieses wiederholt sich, bis die Behälter gefüllt sind.
Mit dieser Vorrichtung können jedoch die nur wenige Millimeter im Durchmesser und wenige Zehntel starken Halbleiterscheiben nicht magaziniert werden. Die Halbleiterscheiben dürfen nach der Reinigung in chemischen Bädern nicht wieder berührt werden, denn die kleinste Verunreinigung bedeutet Ausschuss.
Diese winzigen Halbleiterscheiben können daher nicht geordnet in die Vorrichtung gegeben werden.
Die Möglichkeit zu schaffen, Teiledie abriebempfindlich sind, zu magazinieren, ist Zweck der Erfindung.
Es stand die Aufgabe, eine Vorrichtung zu entwickeln, mit der in kurzer Zeit abriebempfindliche, scheibenförmige Teile in mehreren Lagen übereinander magaziniert werden können.
Erfindungsgemäss wird bei einer Vorrichtung zum Magazinieren von runden oder vieleckigen, scheibenförmigen Körpern für Halbleiteranordnungen, insbesondere Siliziumscheiben, im wesentlichen bestehend aus einem vorzugsweise rechteckig gestalteten Rahmen, in welchem ein mit Schächten versehenes auswechselbares Lochplattenmagazin einführbar ist, auf dessen Oberfläche die zu magazinierenden Körper dosiert, aber ungeordnet aufgegeben werden, vorgeschlagen,
dass auf einer Achse die Vorrich-
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tung hin-und herbewegbar und schwenkbar gelagert ist und dass die in den Magazinschächten befindlichen Böden während des Bewegungsvorganges gemeinsam zentral verstellbar sind und dass der der Einschiebeöffnung des Lochplattenmagazins gegenüberliegenden Stirnseite innerhalb des Rahmens eine Fläche mit darin eingearbeiteten Nuten angeordnet ist.
In vorteilhafter Weise ist längs der Magazinschächte eine automatisch verstellbare Führungsschiene vorgesehen und die mit einem Vibrator in Verbindung stehende Vorrichtung quer zur Längsausdehnung spitzwinkelig geneigt angeordnet.
Die erfindungsgemässe Vorrichtung wird an Hand von Zeichnungen, in denen Ausführungsbeispiele dargestellt sind, näher erläutert.
Es zeigen Fig. 1 eine Ansicht der erfindungsgemässen Vorrichtung, Fig. 2 einen Schnitt durch einen Magazinschacht, Fig. 3 ein Lochplattenmagazin und Fig. 4 eine Vorrichtung mit Führungsleiste.
Die Vorrichtung besteht aus einem rechteckig gestalteten Rahmen 1. In den Rahmen 1 ist von einer Stirnseite 2 aus ein Lochplattenmagazin 3 einschiebbar. An der entgegengesetzten Stirnseite ist innerhalb des Rahmens 1 eine Fläche 4, in die Nuten 5 eingearbeitet sind, angeordnet. Die Fläche 4 dient zur Aufnahme von scheibenförmigen Körpern 7, die nicht von den Magazinschächten 6 aufgenommen worden sind.
Das Lochplattenmagazin 3 besteht aus einer mit den Magazinschächten 6 versehenen oberen Platte 8 und einer mit Stiften 9 (Fig. 2) versehenen unteren Platte 10. Die Stifte 9 sind in die Magazinschächte 6 einschiebbar, die obere Stirnfläche der Stifte, das ist die Fläche, die in den Magazinschächten sichtbar ist, stellt den verstellbaren Boden der Magazinschächte 6 dar.
Die Platten 8, 10 werden durch Schrauben 12, die gleichzeitig als Führung und Begrenzung dienen, und zum Teil von Druckfedern 11 umgeben sind, zusammengehalten. Die Druckfedern 11 spreizen die Platten 8, 10 bis zum Anschlag, d. h. bis zu den Muttern 13 auseinander.
Durch eine nicht dargestellte Verstelleinrichtung werden die Platten 8, 10 zunächst soweit zusammengedrückt, dass nur ein scheibenförmiger Körper 7 aufnehmbar ist. Das ist notwendig, damit die scheibenförmigen Körper 7 nicht hochkant in die Magazinschächte 6 fallen, womit ein geordnetes Magazinieren verhindert würde.
Durch bekannte, in den Zeichnungen nicht dargestellte und in der Beschreibung nicht näher erläuterte Antriebe werden der Vorrichtung Bewegungen zugeordnet. Zu diesem Zweck ist quer zur Längsausdehnung des Rahmens eine Achse 14 angeordnet. Die Vorrichtung lässt sich auf der Achse 14 hin-und herschieben und gleichzeitig schwenken. Die relativ kurze Hin- und Herbewegung, als Schüttelbewegung bezeichnet, wird sehr schnell, der Schwenkvorgang dagegen langsam, durchgeführt. Durch eine nicht weiter beschriebene bekannte automatische Verstelleinrichtung werden die Böden der Magazinschächte 6 zeitabhängig einstellbar während des Füllvorganges gesenkt. Die scheibenförmigen Körper 7 werden der Vorrichtung dosiert, aber geordnet zugeführt.
DieaufderMagazinplatte 3 befindlichen scheibenförmigen Körper 7 werden durch die Rüttelund Schüttelbewegungen den Magazinschächten 6 zugeführt und von diesen aufgenommen. Ist der Füllprozess beendet, hört die Schwenkbewegung in der unteren Endlage der Fläche auf. Mittels der Schüttelbewegung werden alle noch nicht magazinierten scheibenförmigen Körper 7 durch die Nuten 5 auf die Fläche 4 geschoben und der Antrieb stillgesetzt. Die Magazinschächte 6 sind gefüllt. Das Lochplattenmagazin 3 wird gegen ein leeres ausgetauscht. Nach Wiedereinsetzen der Schüttelbewe- gungen werden weitere scheibenförmigeKörper 7 auf das neueingesetzte Lochplattenmagazin 3 dosiert eingegeben. Die Zuführung kann auch kontinuierlich erfolgen.
Die Vorrichtung kann auch dahingehend abgewandelt sein, dass in Längsausdehnung des Lochplattenmagazins 3 eine verstellbare Führungsschiene 15 angeordnet ist. Diese Vorrichtung führt jedoch keine Schwenkbewegung aus, sondern ist nur mit einem Vibrator verbunden.
Die Vorrichtung ist quer zur Längsausdehnung so geneigt, dass die erste Magazinschachtreihe 16 anhöchsterStelle liegt. Durch eine Fördereinrichtung kontinuierlich eingegebene scheibenförmige Körper bewegen sich an der Führungsschiene 15 entlang und füllen die Magazinschächte 6, einezeit- abhängige Verstelleinrichtung senkt die Führungsschiene 15 von der ersten Magazinschachtreihe bis zur letzten ab.
Überschüssige scheibenförmige Körper werden über eine Rücklaufrinne 17 der Fördereinrichtung wieder zugeführt. Bei dieser abgewandelten Vorrichtung sind die Böden der Magazinschächte ebenfalls verstellbar. VolleLochplattenmagazinewerden nach Stillsetzung der Fördereinrichtung gegen leere ausgewechselt.