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Halter
Die Erfindung betrifft einen Halter zur Verwendung bei der Massenfertigung von Halbleitervorrich- tungen, wie z. B. Transistoren, welcher einen Satz sich von einer Oberfläche des Halters erstreckender
Eintrittsöffnungen aufweist, zur Halterung der Anschlussdrähte einer Halbleitervorrichtung, wobei die in die Eintrittsöffnungen zu bringenden Drähte in ihrer gehalterten Lage für eine Messung auf elektrische Daten zugänglich bleiben. Ein solcher Halter ist aus der französischen Patentschrift Nr. 1, 146, 700 be- kannt. Mit den darin gezeigten Haltern besteht die Möglichkeit, einen Transistor derart festzuhalten, dass nachher noch eine Prüfung auf seine elektrischen Daten vorgenommen werden kann.
Bei den in der französischen Patentschrift Nr. l, 146, 700 gezeigten Haltern wird der mit seinen An- schlussdrähten hineingesteckte Transistor ähnlich wie ein mehrpoliger Stecker hantierbar. so dass eine
Prüfung auf seine elektrischen Daten vorgenommen werden kann, indem die ganze Einrichtung mit den herausragenden Drahtenden in den Gegenstecker eines Messgerätes gesteckt wird. Halter dieser Art stam- men aus einer Zeit, da die Massenherstellung von Transistoren noch nicht völlig mechanisiert und au- tomatisiert war. Bei der automatischen Herstellung und Prüfung werden die Transistoren reihenweise an verschiedenen Einrichtungen vorbeigeführt, wobei jeweils ein Transistor geprüft werden soll.
Die schlaff heraushängenden Drahtenden bei den Haltern gemäss der französischen Patentschrift sind dann nicht steif genug, um mit einer Steckdose oder einer ähnlichen Kontaktvorrichtung zusammenzuarbeiten.
Die Erfindung bezweckt nun einen Halter zu schaffen, welcher sich insbesondere für die Verwendung bei der Massenherstellung von Transistoren eignet, wobei die Messung auf elektrische Daten zweckvoll an den Drähten vorgenommen werden kann.
Der erfindungsgemässe Halter ist dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Halter der beschriebenen
Art derart reihenförmig zu einem Block vereinigt sind, dass in diesem Block eine Vielzahl Halbleitervor- richtungen in Teilung liegend gehaltert werden können, wobei in diesem Block, welcher eine Führung für eine Schiene aufweist, mindestens die zu messenden Drähte praktisch ganz im Block aufgenommen und gehaltertsind, bei welchem Block für jeden zu messenden Draht eine zweite Öffnung vorhanden ist, wel- che sich von einer andern Oberfläche her erstreckt und durch welche zweite Öffnung hindurch mit dem im
Block aufgenommenen Draht ein elektrischer Kontakt herstellbar ist.
Bei diesem Halter sind also meh - rere Halter der beschriebenen Art sinnvoll vereinigt und die Transistoren werden an ihren Drähten derart in dem Block gelagert, dass sie gut festgehalten und praktisch ganz im Block gelagert werden. Wenn durch die zweiten Öffnungen hindurch nun ein elektrischer Kontakt hergestellt wird, z. B. mittels eines Mess- stiftes, dann kann der zu messende an sich schlaffe Draht, der im Halter gestützt ist, von der Seite her berührt werden, ohne dass dieser Draht verbogen wird. Der Umstand, dass die Anschlussdrähte des Transi- stors an und für sich sehr biegsam sind, kann sich dadurch nicht mehr störend auswirken.
Die Erfindung gibt noch einige weitere Ausführungsformen vom erfindungsgemässen Halter.
Bei der einen Ausführungsform verläuft die die Längsachsen der Eintrittsöffnungen enthaltende Ebene parallel zur Längsrichtung des Halters, wobei zu jeder Eintrittsöffnung eine zweite Öffnung gehört, durch welche mit einem in die Eintrittsöffnung gebrachten Draht ein elektrischer Kontakt herstellbar ist, bei welchem Halter sich von der Eintrittsöffnung her eine Bohrung anschliesst, welche derart verläuft, dass ein
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darin eingebrachter Draht elastisch gespannt gelagert ist. Der zu messende Draht kann dann wieder von der Seite her von einem durch die zweite Öffnung gehenden Messstift berührt werden. Zweckmässig nehmen dabei, wie gesagt, die in die Eintrittsöffnungen gebrachten Drähte eine elastisch gekrümmte Lage ein.
Bei einer andern Ausführungsform sind für jede festzuhaltende Halbleitervorrichtung drei erste Öffnungen vorhanden, welche in einer Ebene quer zur Längsrichtung des Halters liegen, wobei die in die beiden Öffnungen, die sich in der Nähe der Seiten des Halters befinden, hineingebrachten Drähte von seitlich angeordneten zweiten Öffnungen im Halter für eine elektrische Messung zugänglich sind, während die mittlere erste Öffnung mit einer im Halter vorgesehenen Kammer in Verbindung steht, in der federnde Kontakte angeordnet sind, die einen in jede mittlere Öffnung eingesteckten Draht axial festzuhalten vermögen, und des weiteren seitlich an dieser Kammer eine Seitenöffnung vorgesehen ist, durch welche hindurch mit dem mittels der federnden Kontakte gleichsam verlängerten mittleren Draht einer Halbleitervorrichtung ein elektrischer Kontakt herstellbar ist.
Bei einer solchen Anordnung der Öffnung sind die beiden äussersten Drähte wieder ohne Schwierigkeiten für einen Messstift zugänglich. Der mittlere Draht jedoch, welcher dieselbe Länge hat wie die andern Drähte, ist dann nicht ohne weiteres von der Seite aus berührbar. Dazu ist bei dieser Ausführungsform dann auch eine Kammer vorgesehen, in der federnde Kontakte angeordnet sind. Diese Kontakte, in die der mittlere Draht eingesteckt wird, bilden dann gleichsam eine Verlängerung des mittleren Drahtes, welcher also axial ergriffen und gehaltert wird.
Dieser Draht ist somit indirekt auch leicht von der Seite aus von einem Messstift berührbar.
Die Erfindung wird an Hand einiger Ausführungsformen von Halterbauarten näher erläutert, die in den Zeichnungen dargestellt sind, in denen die Fig. 1 und 2 Seitenansichten einer ersten Ausführungsform des Halters nach der Erfindung zeigen, Fig. 3 eine Draufsicht auf den Halter nach Fig. 1 ist, Fig. 4 ein längs
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strecken sich von der oberen Fläche des Halters her. Die Längsachsen der Öffnungen 3 liegen in einer ge- meinsamen Ebene parallel zur Längsrichtung des Halters. Die Öffnungen sind in Fig. 1 durch gestrichelte Linien angegeben und sind in Fig. 2 der Deutlichkeit halber weggelassen. Jede erste Öffnung 3 weist ei- nen trichterförmigen Teil 4 und einen zylindrischen Teil 5 auf, der in offener Verbindung mit einer zweiten Öffnung 6 steht, die sich von der Oberfläche 7 des Halters her erstreckt.
Die Mittelpunkte 8 von je drei Öffnungen 3 liegen bei dieser Ausführungsform in einer bestimmten Teilung in der Längsrichtung des Halters.
Die obere Fläche des Halters ist mit rechteckigen Ansätzen 9 versehen, die sowohl zwischen den je aus drei Öffnungen 3 bestehenden Öffnungsgruppen als auch an den Enden des Halters liegen. Die Ansätze 9 an den Enden fluchten mit den Stirnflächen des Halters und die Abmessung dieser Ansätze in der Längsrichtung des Halters ist die Hälfte der entsprechenden Abmessung der übrigen Ansätze. Auf diese Weise sind die Mittelpunkte 8 an den Enden des Halters um eine halbe Teilung von den zugeordneten Enden entfernt.
An der Seite 10 (Fig. 2) des Halters sind Verstellmittel 11 vorgesehen. Sie können, wenn der Halter schrittweise in seiner Längsrichtung bewegt wird, mit einer Sperrklinke zusammenarbeiten. Dabei ist die Teilung der Verstellmittel 11 gleich der Teilung zwischen den Mittelpunkten 8. Die Verstellmittel 11 weisen einen dreieckigen waagrechten Querschnitt auf (Fig. 3). Der untere Teil des Halters 1 besteht aus einer Führung 12, die in eine- Schiene einer Maschine passt. Mehrere nacheinander angeordnete Halter sind schrittweise über diese Führung bewegbar.
Dadurch, dass die Wand 13 eine schräge Lage hat, kann ein in eine Öffnung 3 eingesteckter und aus einer Öffnung 6 herausragender Gegenstand eine gekrümmte Lage einnehmen und festgehalten werden.
Dergeschilderte Halterist bestimmt zur Verwendung bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen, z. B. Transistoren, wobei drei aus einem Gegenstand hervortretende Metalleiter in die ersten Öffnungen 3 eingestecktwerden und, während sie aus den zweiten Öffnungen 6 herausragen, eine elastisch gekrümmte Lage einnehmen. Wenn der Gegenstand im Halter festgehalten wird, wird er z. B. einer Reihe von Bearbeitungen unterworfen, z. B. wird auf ihm ein Halbleiterkörper angebracht. Um eine im Halter festgehaltene Halbleitervorrichtung während der Herstellung prüfen zu können, werden gesonderte elektrische Kontakte mit den aus den zweiten Öffnungen 6 herausragenden Metalleitern gemacht.
Der Halter lässt sich auf einfache Weise als ein einheitliches Werkstück aus Kunststoff fertigen.
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Bei einer andern Halterbauart nach den Fig. 5-7 besteht der Halter aus zwei aus Kunststoff, z. B.
Nylon, gepressten Teilen 22 und 23, die durch Schrauben 24 aneinander befestigt sind. In der Längsrichtung des Halters liegen zehn Festhaltemittel. Jedes Festhaltemittel weist drei erste Öffnungen 26, 27 und 28 auf, wobei die die Längsachsen dieser Öffnungen enthaltende Ebene sich quer zur Längsrich- ) tung des Halters erstreckt. In der Längsrichtung des Halters betrachtet liegen die Öffnungen 27 wieder in einer bestimmten Teilung.
Die zwei äusseren ersten Öffnungen 26 und 28 haben einen kreisförmigen Querschnitt und stehen mit zweiten Öffnungen 29 bzw. 30 in Verbindung, die sich in den Flächen 31 bzw. 32 des Halters befinden.
Die zweiten Öffnungen sind durch auf jeder Seite vorgesehene Wände 33 voneinander getrennt. Die mittlere erste Öffnung 27 hat auch einen kreisförmigen Querschnitt und besteht aus zwei halbkreisförmigen Aussparungen 34,35 in den Teilen 22 bzw. 23. Die Öffnungen 27 stehen mit einer Kammer 36 in Verbindung, die Öffnungen 37 aufweist. Die ersten Öffnungen haben sich nach auswärts erweiternde Oberteile 38, um das Einstecken von Gegenständen zu erleichtern.
In jeder Kammer 36 befindet sich weiter ein nachgiebiges Glied 39, das aus einem Phosphorbronzestreifen besteht. Der Teil 40 dieses Gliedes umschliesst einen aus Messing hergestellten Teil 41, der in Form eines umgekehrten T gestaltet ist, während die Teile 42 dieses Gliedes nachgiebige Zungen bilden, die einen in die mittlere Öffnung eingesteckten Gegenstand festzuhalten imstande sind. Der Halter ist unten durch eine Platte 45, die mit Schrauben 46 an der Unterseite des Halters befestigt ist, verschlossen.
Dadurch, dass ein Stift in eine der Öffnungen 37 eingesteckt wird, kann über den Teil 40 ein elektrischer Kontakt mit einem in die Öffnung 27 eingeführten Draht hergestellt werden. An der Stelle der Öffnungen 29 bzw. 30 kann ein direkter elektrischer Kontakt mit den in die Öffnungen 26 bzw. 28 eingeführten Drähten hergestellt werden.
Bei dieser Halterbauart können gleichfalls Verstellmittel vorgesehen sein. Hiezu dient die Nut 43, in der gegebenenfalls eine Zahnstange untergebracht werden kann.
PATENTANSPRÜCHE : 1. Halter zur Verwendung bei der Massenfertigung von Halbleitervorrichtungen, wie z. B. Tranisto- ren, welcher einen Satz sich von einer Oberfläche des Halters erstreckender Eintrittsöffnungen aufweist, zur Halterung der Anschlussdrähte einer Halbleitervorrichtung, wobei die in die Eintrittsöffnungen zu bringenden Drähte in ihrer gehalterten Lage für eine Messung auf elektrische Daten zugänglich bleiben, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Halter derart reihenartig zu einem Block (1) vereinigt sind, dass in diesem Block eine Vielzahl Halbleitervorrichtungen in Teilung liegend gehaltert werden können, wobei in diesem Block, welcher eine Führung (12, 44) für eine Schiene aufweist, mindestens die zu messenden Drähte praktisch ganz im Block aufgenommen und gehaltert sind, bei welchem Block für jeden zu messenden Draht eine zweite Öffnung (6,29, 30)
vorhanden ist, welche sich von einer andern Oberfläche (7,31, 32) her erstreckt und durch welche zweite Öffnung hindurch mit dem im Block aufgenommenen Draht ein elektrischer Kontakt herstellbar ist.