JP6709588B2 - レーザー光源装置及び干渉計 - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開2015−52585号公報
20・・光路長調整器、25・・ドライバ、26・・電極、27・・光学媒体、30・・フィルタ、32・・光共振器、33・・光学結晶体、34・・半透過膜、35・・反射体、36・・反射面、37・・反射防止膜、38・・共振長
40・・SOI基板、41・・シリコン層、42・・絶縁層、43・・シリコン層、45・・固定部、46・・可動端、47・・固定端、48・・間隔調整部、49・・端子
50・・偏向器、52・・光学媒体、54・・振動子、56・・電極
60・・回折格子、62・・反射部、65・・アウトプットカプラ
70・・共振経路、72・・第1端、74・・第2端、75・・VIPA、76・・ガラス体、77・・反射膜、78・・反射膜、80・・周波数走査マイクロ波信号発生器
90・・制御部、92・・カプラ、94・・光ファイバ、96・・光位相変調器、97・・サーキュレータ、98・・ファイバポート、99・・空間光学系
100、102、104、106、108、110、112、114、116、118、120、122、124・・レーザー光源装置
150、152、154、156、158、160、162、164、166、168、170、172、174・・レーザー光源システム
210・・干渉計、212・・スプリッター、214・・光検出器、216・・被測定対象、218・・移動ステージ、250・・SS干渉計システム、310・・シングルショット干渉計、320・・干渉部、322・・スプリッター、324・・反射部、326・・SPM、327・・レンズ、328・・スプリッター、350・・シングルショット干渉計システム
Claims (11)
- 入射する光の一部を出射する分光素子と、
光学媒体と振動子とを有しており、振動子によって前記光学媒体内に発生した音響周波数に応じて設定される偏向角度で光を出射する音響光学偏向器と、
離散した複数の周波数成分を通過させるエタロンフィルタと
を備え、
前記分光素子、前記音響光学偏向器及び前記エタロンフィルタは、共振経路に設けられており、前記エタロンフィルタは、光共振器であり、
更に、前記光共振器の共振長を制御して、前記離散した複数の周波数成分の間隔を調整する間隔調整部を備える、
レーザー光源装置。 - 入射する光の一部を出射する分光素子と、
光学媒体と振動子とを有しており、振動子によって前記光学媒体内に発生した音響周波数に応じて設定される偏向角度で光を出射する音響光学偏向器と、
離散した複数の周波数成分を通過させるエタロンフィルタと
を備え、
前記分光素子、前記音響光学偏向器及び前記エタロンフィルタは、共振経路に設けられており、
前記分光素子は、VIPA(Virtually Imaged Phase Array)である、レーザー光源装置。 - 入射する光の一部を出射する分光素子と、
光学媒体と振動子とを有しており、振動子によって前記光学媒体内に発生した音響周波数に応じて設定される偏向角度で光を出射する音響光学偏向器と、
離散した複数の周波数成分を通過させるエタロンフィルタと
を備え、
前記分光素子、前記音響光学偏向器及び前記エタロンフィルタは、共振経路に設けられており、
レーザー光源の発振波長に対応する光を増幅する光増幅媒質と、
前記共振経路の外部にレーザー光を取り出すカプラと、をさらに備えており、
前記共振経路においては、前記光増幅媒質と、前記カプラと、エタロンフィルタと、音響光学偏向器および前記分光素子を含む空間光学系とが、光ファイバを用いて光学的にリング状に結合されている、レーザー光源装置。 - 前記音響光学偏向器は、前記偏向角度を順次変化させる
請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザー光源装置。 - 前記振動子は、制御信号に応じて、前記光学媒体内に音響種周波数を発生させ、
前記音響光学偏向器は、前記音響周波数に応じて前記光学媒体内の屈折率が変化し、前記屈折率に応じた前記偏向角度で光を出射する、
請求項1から4のいずれか一項に記載のレーザー光源装置。 - 前記音響光学偏向器における前記偏向角度を、時間に対して連続的に変化させる前記制御信号を生成する制御部を更に備える
請求項5に記載のレーザー光源装置。 - 前記共振経路に設けられ、印加された電流により屈折率が変化する電気光学結晶を含んでおり、前記共振経路の光路長を調整する光路長調整器を更に備え、
前記制御部は、前記音響光学偏向器における前記偏向角度の変化に同期して、前記光路長調整器における前記光路長を制御する
請求項6に記載のレーザー光源装置。 - 前記分光素子は回折格子であり、
前記回折格子に対向して配置された反射部と、
レーザー光源の発振波長に対応する光を増幅する光増幅媒質と
をさらに備え、
前記エタロンフィルタは、前記回折格子と前記反射部との間に配置され、かつ、前記音響光学偏向器は前記光増幅媒質と前記回折格子との間に設けられる、または、
前記エタロンフィルタ及び前記音響光学偏向器は、前記光増幅媒質と前記回折格子との間に配置され、かつ、前記音響光学偏向器は前記エタロンフィルタよりも前記回折格子の側に設けられる
請求項1または3に記載のレーザー光源装置。 - 入射する光の一部を出射する分光素子と、
光学媒体と振動子とを有しており、入力される制御信号に基づいて前記振動子によって前記光学媒体内に発生した音響周波数に応じて前記光学媒体内の屈折率が変化し、前記屈折率に応じた偏向角度で光を出射する音響光学偏向器と、
前記音響光学偏向器における前記偏向角度を、離散的な前記偏向角度に順次設定する前記制御信号を生成する制御部と
を備え、
前記分光素子及び前記音響光学偏向器は、共振経路に設けられており、
前記分光素子は、VIPA(Virtually Imaged Phase Array)である、レーザー光源装置。 - 前記共振経路に設けられ、印加された電流により屈折率が変化する電気光学結晶を含んでおり、前記共振経路の光路長を調整する光路長調整器を更に備え、
前記制御部は、前記音響光学偏向器における前記偏向角度の変化に同期して、前記光路長調整器における前記光路長を制御する
請求項9に記載のレーザー光源装置。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載のレーザー光源装置と、
前記レーザー光源装置から出射された光の一部を被測定対象へ透過させて、かつ、前記被測定対象から反射された光と前記レーザー光源装置から出射された光の他の一部とを合波するスプリッターと、
前記スプリッターで合波された光を受光する光検出器と
を備える干渉計。
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JP2015126634A JP6709588B2 (ja) | 2015-06-24 | 2015-06-24 | レーザー光源装置及び干渉計 |
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