JP2011091209A - 波長走査型レーザ光源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザ11、MEMSミラー13、回折格子15を設け、MEMSミラーを高速で偏向させて回折格子への入射角を変化させる。MEMSミラー13と回折格子15との間隔を適宜設定することによって、外部共振器長の変化と、選択波長の変化とを同期させる。こうすれば高速でMEMSミラー13を駆動し、狭線幅を保ちながら波長を高速に走査することができる。
【選択図】図1
Description
L=L1+H/cos(θ)
で表され、前記HとL1の比H/L1は式(12)
で与えられる値を中心として±30%の範囲となるようにしてもよい。
L=L3+L4/2+H/cos(θ)
で表され、前記HとL3+L4/2との比は式(13)で与えられる値を中心として±30%の範囲となるようにしてもよい。
図1は本発明の第1の実施の形態による波長走査型レーザ光源の基本構成を示す図である。本図においてゲイン素子として半導体レーザ11を用いる。この例では半導体レーザ11の一端11aをミラー面として外部共振器を構成する第1の反射部とし、他方の面11bにはARコート(反射防止コート)を施す。そして半導体レーザ11の面11bからの出射光をコリメートレンズ12を介してMEMSミラー13に導く。MEMSミラー13は駆動部14からの信号に応じて紙面に垂直な軸に沿って一定の角度範囲で光の偏向方向を変化させる光偏向部である。駆動部14はサイン波又はのこぎり波状の交流電圧又は交番電圧を印加することにより、MEMSミラー13を振動させて光の偏向方向を変化させるものである。そしてこの偏向した光を受光する位置に回折格子15を設ける。回折格子15は一定の格子ピッチで連続的に三角波状の格子が形成された光学素子であり、この実施の形態では、リトロー配置によって入射方向が変わっても入射光は同じ光路を通って投射方向に戻るように構成されている。そしてこの入射角度によって選択波長が変化する。回折格子15は外部共振器の第2の反射部と光バンドパスフィルタとの機能を備えたものである。
a(sinθ+sinδ)=kλ ・・・(1)
ここでkは次数であり、0,±1,±2・・・の値となる。aは回折格子の格子ピッチ(μm)、即ち単位長さ当たりの格子線数(回折格子定数)Λ(本/mm)の逆数である。
λG(θ)=2asinθ ・・・(2)
λL=2L/n0 ・・・(3)
尚n0は外部共振器モードの波長λでの次数である。そしてMEMSミラー13の偏向によって、外部共振器長が図3(c)に示すようにL’に変化し、同時に回折格子15の選択波長が図3(d)に示すように変化する。ここで同じ次数n0で決まる波長λL’は次式に示されるものとなる。
λL’=2L’/n0 ・・・(4)
L=L1+L2(θ) ・・・(5)
更に半導体レーザ11からMEMSミラー13までの光軸に沿ったライン上で、MEMSミラー13の反射点と回折格子15の面までの距離をHとすると、外部共振器長Lは次式で示される。
L=L1+H/cosθ ・・・(6)
λH=2asinθH
λL=2asinθL ・・・(7)
ここで長波と短波とで縦モードの次数nL,nHが同じになるとすると、以下の式(8)が得られる。
nL=nH=2L(θL)/λL=2L(θH)/λH ・・・(8)
更にこの式(8)を式(3)〜(6)を用いてHについて解き、式(7)を代入すると、次式(9)が得られる。
dλG/dθ=2acosθc
dλL/dθ=λcHtanθc/(L1cosθc+H)・・・(10)
と表される。ここでλc=2asinθcである。これらの二つの式を等しいとすると、次式(11)が得られる。
支持基板21には、図6に示すように、第1,第2の質量部31A,31B,36の回動を許容するように、開口部24が形成されている。この開口部24は、第1,第2の質量部31A,31B,36が回動(振動)する際に、支持基板21に接触するのを防止する逃げ部を構成する。この開口部24を設けることにより、MEMSミラー13全体の大型化を防止しつつ、質量部31A,31B,36の振れ角(振幅)をより大きく設定することができる。なお、質量部31A,31B,36の回動を許容できれば、支持基板21に、開口部24に代えて凹部を形成し、これを逃げ部としてもよい。
前述した図1,図2では、半導体レーザの反射面と回折格子とによって外部共振器を構成しているが、光ファイバループを用いて外部共振器を構成するようにしてもよい。図7は第2の実施の形態による外部共振器型の波長走査型レーザ光源を示す概略図である。本図に示すように、光ファイバループ61には半導体増幅器62と光サーキュレータ63及び光カップラ64が設けられている。光サーキュレータ63は光ファイバループの一端に入射する光をコリメートレンズ67を介して波長可変フィルタ65に与え、選択された光を光ファイバループに戻すものである。波長可変フィルタ65は図1のものと同様に、MEMSミラー13、駆動部14及び回折格子15を含んで構成されている。これらの構成については前述した第1の実施の形態と同様である。この実施の形態ではMEMSミラー13の反射点から光サーキュレータ63までの光学長をL3と光ファイバループの全長をL4とすると、L3+L4/2が前述したL1に相当する。即ち、外部共振器長Lは次式で示されることとなる。
L=L4/2+L3+H/cosθ
従って式(9),(11)のL1を(L3+L4/2)で置き換えた式(12),(13)により、必要な値が得られる。
11a ミラー面
11b ARコート
12 コリメートレンズ
13 MEMSミラー
14 駆動部
15 回折格子
61 光ファイバループ
62 半導体増幅器
63 光サーキュレータ
64 光カップラ
65 波長可変フィルタ
Claims (4)
- 発振する波長に対する利得を有するゲイン媒体と、
前記ゲイン媒体を含む外部共振器の一端を構成する反射部と、
前記ゲイン媒体からの光ビームを偏向するMEMSミラーと、
前記MEMSミラーに交流電圧及び交番電圧のいずれかを印加することによって光ビームを偏向させる駆動部と、
前記MEMSミラーからの光を同一行路でゲイン媒体の側に回折して戻す回折格子と、を具備し、
前記外部共振器長は数10cm以上、10m以下とし、
前記MEMSミラーは、
支持基板と、
前記支持基板上に設けられたスペーサと、
前記スペーサを介して前記支持基板に固定された一対の第1の支持部と、
前記一対の第1の支持部に対し夫々回動可能とするように、前記第1の支持部に第1の弾性連結部を介して連結され、可動側櫛歯状電極を有する一対の第1の質量部と、
前記第1の質量部に対し回動可能とするように、前記第1の質量部に第2の弾性連結部を介して連結され、その表面をミラー面とする第2の質量部と、
前記スペーサを介して前記支持基板に固定された第2の支持部と、
前記スペーサを介さずに前記支持基板に固着されている固着部と、
前記固着部に一体形成または接続され、第1の質量部の前記可動側櫛歯状電極に間隔を隔てて噛み合う少なくとも一対の固定側櫛歯状電極と、
前記固着部を前記第2の支持部に直接的または間接的に接続する接続部とを具備し、
前記固着部は、前記接続部を撓ませながら前記第2の支持部に対し前記支持基板側に変位した状態で前記支持基板に固着し、これにより、前記固定側櫛歯状電極を前記可動側櫛歯状電極に対し前記支持基板の板厚方向でずれるように初期変位させたものであり、
駆動部は、前記MEMSミラーの前記可動側櫛歯状電極と前記固定側櫛歯状電極との間に電圧を印加することによって、前記第1の質量部を回動させ、これに伴い前記第2の質量部を回動させるものであり、
前記回折格子への入射角によって決まる外部共振器モードの波長変化と前記回折格子により選択される回折波長の波長変化とが同期し、外部共振器モードの少なくとも60%が波長変化に応じてそのまま移動するようにした波長走査型レーザ光源。 - 発振する波長に対する利得を有するゲイン媒体と、
前記ゲイン媒体を含む光ファイバループと、
前記光ファイバループの光の抽出するサーキュレータと、
前記サーキュレータから得られた光ビームを外部からの信号によって偏向するMEMSミラーと、
前記MEMSミラーに交流電圧及び交番電圧のいずれかを印加することによって光ビームを偏向させる駆動部と、
前記MEMSミラーからの光を同一行路でゲイン媒体の側に回折して戻す回折格子と、を具備し、
前記外部共振器長は数10cm以上、10m以下とし、
前記MEMSミラーは、
支持基板と、
前記支持基板上に設けられたスペーサと、
前記スペーサを介して前記支持基板に固定された一対の第1の支持部と、
前記一対の第1の支持部に対し夫々回動可能とするように、前記第1の支持部に第1の弾性連結部を介して連結され、可動側櫛歯状電極を有する一対の第1の質量部と、
前記第1の質量部に対し回動可能とするように、前記第1の質量部に第2の弾性連結部を介して連結され、その表面をミラー面とする第2の質量部と、
前記スペーサを介して前記支持基板に固定された第2の支持部と、
前記スペーサを介さずに前記支持基板に固着されている固着部と、
前記固着部に一体形成または接続され、第1の質量部の前記可動側櫛歯状電極に間隔を隔てて噛み合う少なくとも一対の固定側櫛歯状電極と、
前記固着部を前記第2の支持部に直接的または間接的に接続する接続部とを具備し、
前記固着部は、前記接続部を撓ませながら前記第2の支持部に対し前記支持基板側に変位した状態で前記支持基板に固着し、これにより、前記固定側櫛歯状電極を前記可動側櫛歯状電極に対し前記支持基板の板厚方向でずれるように初期変位させたものであり、
駆動部は、前記MEMSミラーの前記可動側櫛歯状電極と前記固定側櫛歯状電極との間に電圧を印加することによって、前記第1の質量部を回動させ、これに伴い前記第2の質量部を回動させるものであり、
前記回折格子への入射角によって決まる外部共振器モードの波長変化と前記回折格子により選択される回折波長の波長変化とが同期し、外部共振器モードの少なくとも60%が波長変化に応じてそのまま移動するようにした波長走査型レーザ光源。
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