JP2001085774A - 波長可変レーザおよびレーザ発振波長切替方法 - Google Patents
波長可変レーザおよびレーザ発振波長切替方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】簡単、かつ、コンパクトな構成でレーザ発振波
長を切り替えることができる波長可変レーザを提供す
る。 【解決手段】所定の波長帯でレーザ発振可能な光共振器
内にフリー・スペクトル・レンジの異なるエタロン５、
６が設けられている。エタロン５は、第１および第２の
透過波長がそれぞれ第１および第２のレーザ発振波長と
なるように予め固定され、エタロン６は、透過波長の１
つがエタロン５の第１の透過波長と一致する第１の状態
と、透過波長の１つがエタロン５の第２の透過波長と一
致する第２の状態の２つの状態間で切り替えが可能に構
成されている。このエタロン６の状態の切り替えは、制
御器９および圧電アクチュエータ７によって制御され
る。
長を切り替えることができる波長可変レーザを提供す
る。 【解決手段】所定の波長帯でレーザ発振可能な光共振器
内にフリー・スペクトル・レンジの異なるエタロン５、
６が設けられている。エタロン５は、第１および第２の
透過波長がそれぞれ第１および第２のレーザ発振波長と
なるように予め固定され、エタロン６は、透過波長の１
つがエタロン５の第１の透過波長と一致する第１の状態
と、透過波長の１つがエタロン５の第２の透過波長と一
致する第２の状態の２つの状態間で切り替えが可能に構
成されている。このエタロン６の状態の切り替えは、制
御器９および圧電アクチュエータ７によって制御され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長可変レーザに
関し、特に、遠隔から特定の気体物質の濃度を測定する
差分吸収ライダの光源として使用される波長可変レーザ
に関する。さらには、そのような波長可変レーザにおけ
るレーザ発振波長切替方法に関する。
関し、特に、遠隔から特定の気体物質の濃度を測定する
差分吸収ライダの光源として使用される波長可変レーザ
に関する。さらには、そのような波長可変レーザにおけ
るレーザ発振波長切替方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】差分吸収ライダの光源には、一般に発振
波長のがわずかに異なる２台のレーザが使用されるが、
最近では、装置の小型化、可搬型化を目的として、１台
のレーザで２つの異なるレーザ発振波長を得られる波長
可変レーザを光源に用いることが検討されている。
波長のがわずかに異なる２台のレーザが使用されるが、
最近では、装置の小型化、可搬型化を目的として、１台
のレーザで２つの異なるレーザ発振波長を得られる波長
可変レーザを光源に用いることが検討されている。
【０００３】波長可変レーザの一例として、「Optics L
etters、第２４巻、第３号、１３３〜１３５頁」には、
発振波長の異なる２つの半導体レーザを用いてアイドラ
光の波長を切り替えるようにした光パラメトリック発振
器が開示されている。この光パラメトリック発振器で
は、各半導体レーザが交互に駆動されて、これら半導体
レーザからのレーザ光によりシグナル光に対して注入同
期が行われ、半導体レーザの切り替えに応じて注入光の
波長が切り替わることで、アイドラ光の波長が交互に切
り替わる。
etters、第２４巻、第３号、１３３〜１３５頁」には、
発振波長の異なる２つの半導体レーザを用いてアイドラ
光の波長を切り替えるようにした光パラメトリック発振
器が開示されている。この光パラメトリック発振器で
は、各半導体レーザが交互に駆動されて、これら半導体
レーザからのレーザ光によりシグナル光に対して注入同
期が行われ、半導体レーザの切り替えに応じて注入光の
波長が切り替わることで、アイドラ光の波長が交互に切
り替わる。
【０００４】上記のほか、特開平４−１５９７８６号公
報には、フリー・スペクトル・レンジ（free spectral
range：自由スペクトル領域）の異なる２つのエタロン
を用いてレーザの発振波長を調節する狭帯域エキシマレ
ーザ発振器が開示されている。この狭帯域エキシマレー
ザ発振器では、光共振器内に２つのエタロンが設けら
れ、これらエタロンのギャップ長や角度を自由に設定で
きるようになっている。
報には、フリー・スペクトル・レンジ（free spectral
range：自由スペクトル領域）の異なる２つのエタロン
を用いてレーザの発振波長を調節する狭帯域エキシマレ
ーザ発振器が開示されている。この狭帯域エキシマレー
ザ発振器では、光共振器内に２つのエタロンが設けら
れ、これらエタロンのギャップ長や角度を自由に設定で
きるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の波長可変レーザには以下のような問題がある。
発振波長の異なる２つの半導体レーザを用いるものにお
いては、２つの半導体レーザを光パラメトリック発振器
の共振器内に設けることは困難である。そのため、前述
の技術文献では、外部共振器によりレーザ発振波長を制
御するタイプの半導体レーザが用いられている。このよ
うな外部共振器構造には、装置の寸法が大きくなるとい
う問題がある。加えて、２つの半導体レーザを光パラメ
トリック発振器の共振器に結合させるための光学系や、
これらの半導体レーザを駆動するための制御系も必要と
なるため、装置が大掛かりで複雑になるという問題もあ
る。
た従来の波長可変レーザには以下のような問題がある。
発振波長の異なる２つの半導体レーザを用いるものにお
いては、２つの半導体レーザを光パラメトリック発振器
の共振器内に設けることは困難である。そのため、前述
の技術文献では、外部共振器によりレーザ発振波長を制
御するタイプの半導体レーザが用いられている。このよ
うな外部共振器構造には、装置の寸法が大きくなるとい
う問題がある。加えて、２つの半導体レーザを光パラメ
トリック発振器の共振器に結合させるための光学系や、
これらの半導体レーザを駆動するための制御系も必要と
なるため、装置が大掛かりで複雑になるという問題もあ
る。
【０００６】特開平４−１５９７８６号公報に記載のも
のにおいては、２つのエタロンのそれぞれに、透過特性
を目的とするレーザ発振波長を得られるように調整する
ための調整機構および制御系が必要となるので、コスト
が高くなり、装置も複雑になるという問題がある。加え
て、各エタロンの透過特性をそれぞれ調整する必要があ
るため、調整に手間がかかるという問題もある。
のにおいては、２つのエタロンのそれぞれに、透過特性
を目的とするレーザ発振波長を得られるように調整する
ための調整機構および制御系が必要となるので、コスト
が高くなり、装置も複雑になるという問題がある。加え
て、各エタロンの透過特性をそれぞれ調整する必要があ
るため、調整に手間がかかるという問題もある。
【０００７】本発明の目的は、上記各問題を解決し、簡
単、かつ、コンパクトな構成でレーザ発振波長を切り替
えることができる、波長可変レーザおよびレーザ発振波
長切替方法を提供することにある。
単、かつ、コンパクトな構成でレーザ発振波長を切り替
えることができる、波長可変レーザおよびレーザ発振波
長切替方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の波長可変レーザは、所定の波長帯でレーザ
発振可能な光共振器と、前記光共振器内部に設けられ
た、フリー・スペクトル・レンジの異なる第１および第
２のエタロンと、前記第２のエタロンの透過特性を調整
する調整手段とを有し、前記第１のエタロンは、第１お
よび第２の透過波長がそれぞれ第１および第２のレーザ
発振波長となるように予め固定され、前記第２のエタロ
ンは、透過波長の１つが前記第１のエタロンの第１の透
過波長と一致する第１の状態と、透過波長の１つが前記
第１のエタロンの第２の透過波長と一致する第２の状態
の２つの状態間で切り替えが可能に構成され、前記調整
手段によって前記第２のエタロンの状態の切り替えが行
われることを特徴とする。
め、本発明の波長可変レーザは、所定の波長帯でレーザ
発振可能な光共振器と、前記光共振器内部に設けられ
た、フリー・スペクトル・レンジの異なる第１および第
２のエタロンと、前記第２のエタロンの透過特性を調整
する調整手段とを有し、前記第１のエタロンは、第１お
よび第２の透過波長がそれぞれ第１および第２のレーザ
発振波長となるように予め固定され、前記第２のエタロ
ンは、透過波長の１つが前記第１のエタロンの第１の透
過波長と一致する第１の状態と、透過波長の１つが前記
第１のエタロンの第２の透過波長と一致する第２の状態
の２つの状態間で切り替えが可能に構成され、前記調整
手段によって前記第２のエタロンの状態の切り替えが行
われることを特徴とする。
【０００９】本発明のレーザ発振波長切替方法は、所定
の波長帯でレーザ発振可能な光共振器内部にフリー・ス
ペクトル・レンジの異なる第１および第２のエタロンを
設けて、これらエタロンの透過特性を調整することでレ
ーザ発振波長を切り替える方法であって、前記第１のエ
タロンを、第１および第２の透過波長がそれぞれ第１お
よび第２のレーザ発振波長となるように予め固定して、
前記第２のエタロンの状態を、透過波長の１つが前記第
１のエタロンの第１の透過波長と一致する第１の状態
と、透過波長の１つが前記第１のエタロンの第２の透過
波長と一致する第２の状態の２つの状態間で切り替える
ことを特徴とする。
の波長帯でレーザ発振可能な光共振器内部にフリー・ス
ペクトル・レンジの異なる第１および第２のエタロンを
設けて、これらエタロンの透過特性を調整することでレ
ーザ発振波長を切り替える方法であって、前記第１のエ
タロンを、第１および第２の透過波長がそれぞれ第１お
よび第２のレーザ発振波長となるように予め固定して、
前記第２のエタロンの状態を、透過波長の１つが前記第
１のエタロンの第１の透過波長と一致する第１の状態
と、透過波長の１つが前記第１のエタロンの第２の透過
波長と一致する第２の状態の２つの状態間で切り替える
ことを特徴とする。
【００１０】（作用）エタロンは、配置角度および厚さ
を調整することでその波長特性を長波長側または短波長
側へシフトさせることができる。本発明では、第１のエ
タロンは固定されているので、この第１のエタロンを透
過する波長のいずれかの波長でレーザ発振することとな
る。レーザ発振波長の切り替えは、第２のエタロンの透
過特性を調整することにより行われる。すなわち、第２
のエタロンを第１の状態となるように調整すると、第１
および第２のエタロンの波長特性の組み合わせにおけ
る、透過率の最大となる波長は第１の透過波長となり、
この第１の透過波長でレーザ発振することとなる。他
方、第２のエタロンを第２の状態となるように調整する
と、第１および第２のエタロンの波長特性の組み合わせ
における、透過率の最大となる波長は第２の透過波長と
なり、この第２の透過波長でレーザ発振することとな
る。
を調整することでその波長特性を長波長側または短波長
側へシフトさせることができる。本発明では、第１のエ
タロンは固定されているので、この第１のエタロンを透
過する波長のいずれかの波長でレーザ発振することとな
る。レーザ発振波長の切り替えは、第２のエタロンの透
過特性を調整することにより行われる。すなわち、第２
のエタロンを第１の状態となるように調整すると、第１
および第２のエタロンの波長特性の組み合わせにおけ
る、透過率の最大となる波長は第１の透過波長となり、
この第１の透過波長でレーザ発振することとなる。他
方、第２のエタロンを第２の状態となるように調整する
と、第１および第２のエタロンの波長特性の組み合わせ
における、透過率の最大となる波長は第２の透過波長と
なり、この第２の透過波長でレーザ発振することとな
る。
【００１１】上記のとおりの本発明によれば、前述した
従来例の光パラメトリック発振器において適用されてい
たような外部共振器構造をとることはないので、装置が
大掛かりなったり、複雑になったりすることはない。
従来例の光パラメトリック発振器において適用されてい
たような外部共振器構造をとることはないので、装置が
大掛かりなったり、複雑になったりすることはない。
【００１２】また、本発明によれば、第１のエタロン
は、固定であることから透過特性を調整するための調整
機構および制御系は必要ない。すなわち、本発明では、
透過特性を調整するための調整機構および制御系は第２
のエタロンについてのみ設ければよい。したがって、本
発明の構成は、調整機構および制御系が各エタロンに設
けられていた従来のもの（特開平４−１５９７８６号公
報に記載のもの）より簡単なものとなり、またコストも
低くなる。
は、固定であることから透過特性を調整するための調整
機構および制御系は必要ない。すなわち、本発明では、
透過特性を調整するための調整機構および制御系は第２
のエタロンについてのみ設ければよい。したがって、本
発明の構成は、調整機構および制御系が各エタロンに設
けられていた従来のもの（特開平４−１５９７８６号公
報に記載のもの）より簡単なものとなり、またコストも
低くなる。
【００１３】さらに、本発明によれば、第２のエタロン
を第１および第２の状態の２つの状態間で切り替えるだ
けでレーザ発振波長を切り替えることができるので、２
つのエタロンについて調整が行われる特開平４−１５９
７８６号公報に記載のものと比べて、そのレーザ発振波
長の切り替えは簡単かつ容易なものとなっている。
を第１および第２の状態の２つの状態間で切り替えるだ
けでレーザ発振波長を切り替えることができるので、２
つのエタロンについて調整が行われる特開平４−１５９
７８６号公報に記載のものと比べて、そのレーザ発振波
長の切り替えは簡単かつ容易なものとなっている。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１５】図１に、本発明の波長可変レーザの一実施
形態を示す。この波長可変レーザは、レーザ利得媒質１
０を挟んで反射鏡３および出力鏡４が対向配置されて光
共振器が構成され、その光共振器のレーザ利得媒質１０
と出力鏡４の間に、フリー・スペクトル・レンジ（free
spectral range：自由スペクトル領域）の異なる２つ
のエタロン５、６が設けられている。ここで、フリー・
スペクトル・レンジとは、エタロンを用いた分光におけ
る、スペクトルの重複なしに決定できる波長の範囲であ
る。この波長可変レーザには、エタロン６の透過波長を
調整するための機構として、圧電アクチュエータ７およ
び制御器９が設けられている。
形態を示す。この波長可変レーザは、レーザ利得媒質１
０を挟んで反射鏡３および出力鏡４が対向配置されて光
共振器が構成され、その光共振器のレーザ利得媒質１０
と出力鏡４の間に、フリー・スペクトル・レンジ（free
spectral range：自由スペクトル領域）の異なる２つ
のエタロン５、６が設けられている。ここで、フリー・
スペクトル・レンジとは、エタロンを用いた分光におけ
る、スペクトルの重複なしに決定できる波長の範囲であ
る。この波長可変レーザには、エタロン６の透過波長を
調整するための機構として、圧電アクチュエータ７およ
び制御器９が設けられている。
【００１６】エタロン５は、光学材料（ガラスや水晶な
ど）からなる平行平面板の両面に金属膜や誘電体多層膜
などのコーティングが施されたソリッド・エタロンであ
る。このエタロン５は、レーザ発振させたい第１および
第２のレーザ発振波長の差に等しいフリー・スペクトル
・レンジを有し、隣接する２つのスペクトルの波長がそ
れぞれ第１および第２のレーザ発振波長と一致するよう
に構成されている。すなわち、このエタロン５は、その
透過波長に第１および第２のレーザ発振波長が含まれる
状態で予め角度設定されて固定されている。
ど）からなる平行平面板の両面に金属膜や誘電体多層膜
などのコーティングが施されたソリッド・エタロンであ
る。このエタロン５は、レーザ発振させたい第１および
第２のレーザ発振波長の差に等しいフリー・スペクトル
・レンジを有し、隣接する２つのスペクトルの波長がそ
れぞれ第１および第２のレーザ発振波長と一致するよう
に構成されている。すなわち、このエタロン５は、その
透過波長に第１および第２のレーザ発振波長が含まれる
状態で予め角度設定されて固定されている。
【００１７】エタロン６は、一方の面に無反射コーティ
ング、他方の面に高反射コーティングがそれぞれ施され
た、光学材料（ガラスや水晶など）からなる２枚の平行
平面板が、高反射コーティングが施された面が向かい合
うように平行に支持されたものである。このエタロン６
の平行平面板間に形成される空隙の厚さは、圧電アクチ
ュエータ７によって調節される。この圧電アクチュエー
タ７による空隙の調節は、制御器９からの制御信号に基
づいて行われる。
ング、他方の面に高反射コーティングがそれぞれ施され
た、光学材料（ガラスや水晶など）からなる２枚の平行
平面板が、高反射コーティングが施された面が向かい合
うように平行に支持されたものである。このエタロン６
の平行平面板間に形成される空隙の厚さは、圧電アクチ
ュエータ７によって調節される。この圧電アクチュエー
タ７による空隙の調節は、制御器９からの制御信号に基
づいて行われる。
【００１８】次に、この波長可変レーザにおけるレーザ
発振波長の切り替え動作について説明する。
発振波長の切り替え動作について説明する。
【００１９】エタロン５のフリー・スペクトル・レンジ
は、エタロンの材料の厚さをＬ1、屈折率をｎ、レーザ
発振波長をλ0とすると、波長表示で Δλ1＝λ0 2／２ｎＬ1 （１） と表わせる。一方、エタロン６のフリー・スペクトル・
レンジは、空隙の厚さをＬ2とすると、波長表示で、 Δλ2＝λ0 2／２Ｌ2 （２） と表わせる。
は、エタロンの材料の厚さをＬ1、屈折率をｎ、レーザ
発振波長をλ0とすると、波長表示で Δλ1＝λ0 2／２ｎＬ1 （１） と表わせる。一方、エタロン６のフリー・スペクトル・
レンジは、空隙の厚さをＬ2とすると、波長表示で、 Δλ2＝λ0 2／２Ｌ2 （２） と表わせる。
【００２０】本形態では、エタロン５は第１および第２
のレーザ発振波長が透過するように予め固定されおり、
エタロン６の空隙の厚さＬ2が圧電アクチュエータ７に
より調節されることによってレーザ発振波長の切り替え
が行われる。
のレーザ発振波長が透過するように予め固定されおり、
エタロン６の空隙の厚さＬ2が圧電アクチュエータ７に
より調節されることによってレーザ発振波長の切り替え
が行われる。
【００２１】まず、エタロン６の透過波長の１つが第１
のレーザ発振波長と一致するように空隙の厚さＬ2を調
節する。この状態では、光共振器内で第１のレーザ発振
波長と同じ波長がエタロン５、６によって選択されて共
振する。その結果、第１のレーザ発振波長のレーザ出力
光が得られる。
のレーザ発振波長と一致するように空隙の厚さＬ2を調
節する。この状態では、光共振器内で第１のレーザ発振
波長と同じ波長がエタロン５、６によって選択されて共
振する。その結果、第１のレーザ発振波長のレーザ出力
光が得られる。
【００２２】レーザ発振波長を切り替える場合は、上記
のレーザ発振状態から、圧電アクチュエータ７によりエ
タロン６の空隙の厚さＬ2を ΔＬ＝（λ0 2／２）（Δλ1／Δλ2−１） （３） だけ変化させる。これにより、エタロン６の透過波長が
シフトして、透過波長の１つが第２のレーザ発振波長と
一致する。この状態では、光共振器内で第２のレーザ発
振波長と同じ波長がエタロン５、６によって選択されて
共振する。その結果、第２のレーザ発振波長のレーザ出
力光が得られる。
のレーザ発振状態から、圧電アクチュエータ７によりエ
タロン６の空隙の厚さＬ2を ΔＬ＝（λ0 2／２）（Δλ1／Δλ2−１） （３） だけ変化させる。これにより、エタロン６の透過波長が
シフトして、透過波長の１つが第２のレーザ発振波長と
一致する。この状態では、光共振器内で第２のレーザ発
振波長と同じ波長がエタロン５、６によって選択されて
共振する。その結果、第２のレーザ発振波長のレーザ出
力光が得られる。
【００２３】以上のようにして圧電アクチュエータ７を
用いてエタロン６の厚さを変えることにより、第１およ
び第２のレーザ発振波長のレーザ出力光を交互に切り替
えることができる。
用いてエタロン６の厚さを変えることにより、第１およ
び第２のレーザ発振波長のレーザ出力光を交互に切り替
えることができる。
【００２４】上述のレーザ発振波長の切り替え動作を図
２を参照してさらに詳細に説明する。
２を参照してさらに詳細に説明する。
【００２５】図２に示すように、レーザ利得媒質１０の
利得は、レーザ発振させたい第１の波長λ1と第２の波
長λ2を含む波長帯でレーザ発振可能なものとなってい
る。エタロン５は、第１の波長λ1と第２の波長λ2の差
に等しいフリー・スペクトル・レンジを持ち、隣接する
２つのスペクトルの波長がそれぞれ第１の波長λ1と第
２の波長λ2に一致するように構成されている。エタロ
ン６は、エタロン５に比較してフリー・スペクトル・レ
ンジが小さくなるように構成されている。
利得は、レーザ発振させたい第１の波長λ1と第２の波
長λ2を含む波長帯でレーザ発振可能なものとなってい
る。エタロン５は、第１の波長λ1と第２の波長λ2の差
に等しいフリー・スペクトル・レンジを持ち、隣接する
２つのスペクトルの波長がそれぞれ第１の波長λ1と第
２の波長λ2に一致するように構成されている。エタロ
ン６は、エタロン５に比較してフリー・スペクトル・レ
ンジが小さくなるように構成されている。
【００２６】第１の波長λ1のレーザ光を出力する場合
は、エタロン６の透過特性を、図２の（３）に示すよう
に透過波長の１つが第１の波長λ1と一致するように調
節する。これにより、光共振器では、エタロン５の透過
特性（図２の（２））とエタロン６の透過特性（図２の
（３））との組み合わせで波長選択が行われる。これら
エタロン５、６の波長選択特性の組み合わせでは、透過
率の最大となる波長はλ1となり、レーザ発振波長は図
２の（４）に示すようにλ1となる。
は、エタロン６の透過特性を、図２の（３）に示すよう
に透過波長の１つが第１の波長λ1と一致するように調
節する。これにより、光共振器では、エタロン５の透過
特性（図２の（２））とエタロン６の透過特性（図２の
（３））との組み合わせで波長選択が行われる。これら
エタロン５、６の波長選択特性の組み合わせでは、透過
率の最大となる波長はλ1となり、レーザ発振波長は図
２の（４）に示すようにλ1となる。
【００２７】上記のレーザ発振状態から、エタロン６の
空隙の厚さを所定波長分（ΔＬ＝（λ0 2／２）（Δλ1
／Δλ2−１））だけ変化させることにより、エタロン
６の透過特性を図２の（５）に示すように長波長側へシ
フトさせて、透過波長の１つが第２の波長λ2と一致す
るように調節する。これにより、光共振器では、エタロ
ン５の透過特性（図２の（２））とエタロン６の透過特
性（図２の（５））との組み合わせで波長選択が行われ
る。これらエタロン５、６の波長選択特性の組み合わせ
では、透過率の最大となる波長はλ2となり、レーザ発
振波長は図２の（６）に示すようにλ2となる。
空隙の厚さを所定波長分（ΔＬ＝（λ0 2／２）（Δλ1
／Δλ2−１））だけ変化させることにより、エタロン
６の透過特性を図２の（５）に示すように長波長側へシ
フトさせて、透過波長の１つが第２の波長λ2と一致す
るように調節する。これにより、光共振器では、エタロ
ン５の透過特性（図２の（２））とエタロン６の透過特
性（図２の（５））との組み合わせで波長選択が行われ
る。これらエタロン５、６の波長選択特性の組み合わせ
では、透過率の最大となる波長はλ2となり、レーザ発
振波長は図２の（６）に示すようにλ2となる。
【００２８】以上説明した形態では、エタロン６は２枚
の平行平面板により構成されているが、エタロン６をエ
タロン５のように１枚の平行平面板により構成してもよ
い。この場合のエタロン６の透過特性の調節は、エタロ
ン６の配置角度を調節することにより行う。
の平行平面板により構成されているが、エタロン６をエ
タロン５のように１枚の平行平面板により構成してもよ
い。この場合のエタロン６の透過特性の調節は、エタロ
ン６の配置角度を調節することにより行う。
【００２９】以下に、エタロン６を２枚の平行平面板に
より構成した例、１枚の平行平面板により構成した例を
それぞれ挙げて、その動作を具体的に説明する。
より構成した例、１枚の平行平面板により構成した例を
それぞれ挙げて、その動作を具体的に説明する。
【００３０】（実施例１）図３に、本発明の波長可変レ
ーザの第１の実施例を示す。この波長可変レーザは、メ
タンガスを検出する差分吸収ライダの光源に用いられる
レーザであって、光共振器を構成するレーザ利得媒質に
非線形光学結晶であるＫＴＡ（ＫＴｉＯＡｓＯ4）結晶
４が用いられ、該ＫＴＡ結晶４を照射するポンプ光とし
て発振波長が１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ１から出射さ
れるパルス光が用いられている以外は、前述の図１に示
したものとほぼ同じ構成で、光パラメトリック発振によ
り、メタンの吸収波長である３．４μｍ帯のレーザ光を
発生するように構成されている。
ーザの第１の実施例を示す。この波長可変レーザは、メ
タンガスを検出する差分吸収ライダの光源に用いられる
レーザであって、光共振器を構成するレーザ利得媒質に
非線形光学結晶であるＫＴＡ（ＫＴｉＯＡｓＯ4）結晶
４が用いられ、該ＫＴＡ結晶４を照射するポンプ光とし
て発振波長が１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ１から出射さ
れるパルス光が用いられている以外は、前述の図１に示
したものとほぼ同じ構成で、光パラメトリック発振によ
り、メタンの吸収波長である３．４μｍ帯のレーザ光を
発生するように構成されている。
【００３１】ＫＴＡ結晶４は、結晶方位がθ＝８０°、
φ＝９０°で、ＹＡＧレーザ１からのポンプ光が照射さ
れることにより、１．５５μｍのシグナル光と３．４０
μｍのアイドラ光を発生する。このＫＴＡ結晶４の配置
角度を微小変化させて上記角度θを制御することによっ
て３．４μｍ帯の波長を制御し、これによりメタンの吸
収線付近に合せることができる。
φ＝９０°で、ＹＡＧレーザ１からのポンプ光が照射さ
れることにより、１．５５μｍのシグナル光と３．４０
μｍのアイドラ光を発生する。このＫＴＡ結晶４の配置
角度を微小変化させて上記角度θを制御することによっ
て３．４μｍ帯の波長を制御し、これによりメタンの吸
収線付近に合せることができる。
【００３２】反射鏡３と出力鏡４との間が光パラメトリ
ック発振のための共振器となり、３．４μｍのアイドラ
光が共振する。反射鏡３は、１．０６４μｍの波長で低
反射となり、３．４μｍの波長では高反射となるように
構成されている。出力鏡４は、３．４μｍの波長で部分
反射となり、３．４μｍのアイドラ光がレーザ光として
取り出される。
ック発振のための共振器となり、３．４μｍのアイドラ
光が共振する。反射鏡３は、１．０６４μｍの波長で低
反射となり、３．４μｍの波長では高反射となるように
構成されている。出力鏡４は、３．４μｍの波長で部分
反射となり、３．４μｍのアイドラ光がレーザ光として
取り出される。
【００３３】エタロン５は、ふっ化カルシウム（ＣａＦ
2）よりなる平行平面板の両面に３．４μｍに対して高
反射となるコーティングが施されたもので、その厚さは
４．１０ｍｍ、フリー・スペクトル・レンジは１ｎｍで
ある。このエタロン５の透過波長の１つがメタンの吸収
線に一致するように配置されている。
2）よりなる平行平面板の両面に３．４μｍに対して高
反射となるコーティングが施されたもので、その厚さは
４．１０ｍｍ、フリー・スペクトル・レンジは１ｎｍで
ある。このエタロン５の透過波長の１つがメタンの吸収
線に一致するように配置されている。
【００３４】エタロン６は、ふっ化カルシウム（ＣａＦ
2）よりなる第１および第２の平行平面板からなる。第
１および第２の平行平面板はともに、一方の面に３．４
μｍの波長に対して低反射となるコーティングが施さ
れ、他方の面に３．４μｍの波長に対して高反射となる
コーティングが施されており、高反射コーティングが施
された面が向かい合うように平行に支持されている。こ
のエタロン６の平行平面板間に形成される空隙の厚さは
約７．２ｍｍで、フリー・スペクトル・レンジは０．８
ｎｍである。
2）よりなる第１および第２の平行平面板からなる。第
１および第２の平行平面板はともに、一方の面に３．４
μｍの波長に対して低反射となるコーティングが施さ
れ、他方の面に３．４μｍの波長に対して高反射となる
コーティングが施されており、高反射コーティングが施
された面が向かい合うように平行に支持されている。こ
のエタロン６の平行平面板間に形成される空隙の厚さは
約７．２ｍｍで、フリー・スペクトル・レンジは０．８
ｎｍである。
【００３５】本実施例では、まず、エタロン６の透過波
長の１つがエタロン５で波長選択されるメタンの吸収線
の波長と一致するように、制御器９が圧電アクチュエー
タを電圧制御することによりエタロン６の空隙の厚さに
微小変化を与える。ここで、エタロン６の空隙の変化量
はレーザ発振波長より小さくなるようにする。この調節
により、光共振器では、メタンの吸収線と同じ波長がエ
タロン５、６によって選択され、その波長でレーザ発振
する。
長の１つがエタロン５で波長選択されるメタンの吸収線
の波長と一致するように、制御器９が圧電アクチュエー
タを電圧制御することによりエタロン６の空隙の厚さに
微小変化を与える。ここで、エタロン６の空隙の変化量
はレーザ発振波長より小さくなるようにする。この調節
により、光共振器では、メタンの吸収線と同じ波長がエ
タロン５、６によって選択され、その波長でレーザ発振
する。
【００３６】レーザ発振波長を切り替える場合は、上記
のレーザ発振状態から、制御器９が圧電アクチュエータ
を電圧制御して、エタロン６の空隙の厚さを４２５ｎｍ
だけ大きくする。これにより、エタロン６の透過波長が
０．２ｎｍだけ長波長側へシフトすることとなり、エタ
ロン６の透過波長の１つが、エタロン５で波長選択され
る、（（メタンの吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長と一
致する。光共振器では、エタロン５、６によって（（メ
タンの吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長が選択され、そ
の波長でレーザ発振する。
のレーザ発振状態から、制御器９が圧電アクチュエータ
を電圧制御して、エタロン６の空隙の厚さを４２５ｎｍ
だけ大きくする。これにより、エタロン６の透過波長が
０．２ｎｍだけ長波長側へシフトすることとなり、エタ
ロン６の透過波長の１つが、エタロン５で波長選択され
る、（（メタンの吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長と一
致する。光共振器では、エタロン５、６によって（（メ
タンの吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長が選択され、そ
の波長でレーザ発振する。
【００３７】上述のようにして、制御器９が圧電アクチ
ュエータ７を電圧制御してエタロン６の空隙の厚さを切
り替えることにより、第１のレーザ発振波長（メタンの
吸収線の波長）と第２のレーザ発振波長（（メタンの吸
収線の波長）＋１ｎｍ）との間でレーザ発振波長の切り
替えが行われる。
ュエータ７を電圧制御してエタロン６の空隙の厚さを切
り替えることにより、第１のレーザ発振波長（メタンの
吸収線の波長）と第２のレーザ発振波長（（メタンの吸
収線の波長）＋１ｎｍ）との間でレーザ発振波長の切り
替えが行われる。
【００３８】（実施例２）図４に、本発明の波長可変レ
ーザの第２の実施例を示す。この波長可変レーザは、エ
タロン６に換えて１枚の平行平面板によりなるエタロン
６’が設けられ、圧電アクチュエータ７がエタロン６’
の配置角度を調節するように構成されている以外は、前
述の図３に示したものと同じ構成のものである。
ーザの第２の実施例を示す。この波長可変レーザは、エ
タロン６に換えて１枚の平行平面板によりなるエタロン
６’が設けられ、圧電アクチュエータ７がエタロン６’
の配置角度を調節するように構成されている以外は、前
述の図３に示したものと同じ構成のものである。
【００３９】エタロン６’はふっ化カルシウム（ＣａＦ
2）よりなる平行平面板の両面に３．４μｍに対して高
反射となるコーティングを施したソリッド・エタロンで
ある。このエタロン６’のフリー・スペクトル・レンジ
は、エタロンの厚さをＬ2、エタロン材料の屈折率を
ｎ、レーザ発振波長をλ0とすると、波長表示でΔλ2＝
λ0 2／２ｎＬ2 （４）
と表わせる。本実施例では、エタロン６’は、フリー・
スペクトル・レンジが０．８ｎｍ、その厚さが５．１２
ｍｍとされており、圧電アクチュエータ７によりその配
置角度が制御されてその透過特性が調節される。
2）よりなる平行平面板の両面に３．４μｍに対して高
反射となるコーティングを施したソリッド・エタロンで
ある。このエタロン６’のフリー・スペクトル・レンジ
は、エタロンの厚さをＬ2、エタロン材料の屈折率を
ｎ、レーザ発振波長をλ0とすると、波長表示でΔλ2＝
λ0 2／２ｎＬ2 （４）
と表わせる。本実施例では、エタロン６’は、フリー・
スペクトル・レンジが０．８ｎｍ、その厚さが５．１２
ｍｍとされており、圧電アクチュエータ７によりその配
置角度が制御されてその透過特性が調節される。
【００４０】次に、この波長可変レーザのレーザ発振波
長の切り替え動作を説明する。
長の切り替え動作を説明する。
【００４１】まず、制御器９が圧電アクチュエータ７を
電圧制御して、エタロン６’の透過波長の１つがエタロ
ン５で波長選択されるメタンの吸収線の波長と一致する
ように、エタロン６’の配置角度を微小変化（変化量が
レーザ発振波長より小さい）させる。この調節により、
光共振器では、メタンの吸収線と同じ波長がエタロン
５、６’によって選択され、その波長でレーザ発振す
る。
電圧制御して、エタロン６’の透過波長の１つがエタロ
ン５で波長選択されるメタンの吸収線の波長と一致する
ように、エタロン６’の配置角度を微小変化（変化量が
レーザ発振波長より小さい）させる。この調節により、
光共振器では、メタンの吸収線と同じ波長がエタロン
５、６’によって選択され、その波長でレーザ発振す
る。
【００４２】レーザ発振波長を切り替える場合は、上記
のレーザ発振状態から、制御器９が圧電アクチュエータ
７を電圧制御して、入射角度が小さくなる方向にエタロ
ン６’の配置角度を０．８８°だけ変化させる。この調
節により、エタロン６’の透過波長が０．２ｎｍだけ長
波長側へシフトすることとなり、エタロン６’の透過波
長の１つが、エタロン５で波長選択される、（（メタン
の吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長と一致する。これに
より、光共振器では、エタロン５、６’によって（（メ
タンの吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長が選択され、そ
の波長でレーザ発振する。
のレーザ発振状態から、制御器９が圧電アクチュエータ
７を電圧制御して、入射角度が小さくなる方向にエタロ
ン６’の配置角度を０．８８°だけ変化させる。この調
節により、エタロン６’の透過波長が０．２ｎｍだけ長
波長側へシフトすることとなり、エタロン６’の透過波
長の１つが、エタロン５で波長選択される、（（メタン
の吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長と一致する。これに
より、光共振器では、エタロン５、６’によって（（メ
タンの吸収線の波長）＋１ｎｍ）の波長が選択され、そ
の波長でレーザ発振する。
【００４３】上述のようにして、制御器９が圧電アクチ
ュエータ７を電圧制御してエタロン６’の配置角度を切
り替えることにより、（メタンの吸収線の波長）の第１
のレーザ発振波長と（（メタンの吸収線の波長）＋１ｎ
ｍ）の第２のレーザ発振波長との間でレーザ発振波長の
切り替えが行われる。
ュエータ７を電圧制御してエタロン６’の配置角度を切
り替えることにより、（メタンの吸収線の波長）の第１
のレーザ発振波長と（（メタンの吸収線の波長）＋１ｎ
ｍ）の第２のレーザ発振波長との間でレーザ発振波長の
切り替えが行われる。
【００４４】（他の実施形態）上述した形態では、エタ
ロン６（またはエタロン６’）は、フリー・スペクトル
・レンジがエタロン５のフリー・スペクトル・レンジよ
り小さくなるように構成されているが、反対にエタロン
６（またはエタロン６’）のフリー・スペクトル・レン
ジがエタロン５のフリー・スペクトル・レンジより大き
くなるように構成してもよい。この場合のレーザ発振波
長の切り替え動作を図５を参照して以下に詳細に説明す
る。
ロン６（またはエタロン６’）は、フリー・スペクトル
・レンジがエタロン５のフリー・スペクトル・レンジよ
り小さくなるように構成されているが、反対にエタロン
６（またはエタロン６’）のフリー・スペクトル・レン
ジがエタロン５のフリー・スペクトル・レンジより大き
くなるように構成してもよい。この場合のレーザ発振波
長の切り替え動作を図５を参照して以下に詳細に説明す
る。
【００４５】図５に示すように、レーザ利得媒質１０の
利得は、レーザ発振させたい第１の波長λ1と第２の波
長λ2を含む波長帯でレーザ発振可能なものとなってい
る。エタロン５は、第１の波長λ1と第２の波長λ2の差
に等しいフリー・スペクトル・レンジを持ち、隣接する
２つのスペクトルの波長がそれぞれ第１の波長λ1と第
２の波長λ2に一致するように構成されている。エタロ
ン６（またはエタロン６’）は、フリー・スペクトル・
レンジがエタロン５に比較して大きくなるように構成さ
れている。
利得は、レーザ発振させたい第１の波長λ1と第２の波
長λ2を含む波長帯でレーザ発振可能なものとなってい
る。エタロン５は、第１の波長λ1と第２の波長λ2の差
に等しいフリー・スペクトル・レンジを持ち、隣接する
２つのスペクトルの波長がそれぞれ第１の波長λ1と第
２の波長λ2に一致するように構成されている。エタロ
ン６（またはエタロン６’）は、フリー・スペクトル・
レンジがエタロン５に比較して大きくなるように構成さ
れている。
【００４６】第１の波長λ1のレーザ光を出力する場合
は、エタロン６（またはエタロン６’）の透過特性を、
図５の（３）に示すように透過波長の１つが第１の波長
λ1と一致するように調節する。これにより、光共振器
では、エタロン５の透過特性（図５の（２））とエタロ
ン６の透過特性（図５の（３））との組み合わせで波長
選択が行われる。これらエタロンの波長選択特性の組み
合わせでは、透過率の最大となる波長はλ1となり、レ
ーザ発振波長は図５の（４）に示すようにλ1となる。
上記のレーザ発振状態から、エタロン６の空隙の厚さ
（またはエタロン６’の配置角度）を所定波長分（ΔＬ
＝（λ0 2／２）（Δλ1／Δλ2−１））だけ変化させる
ことにより、エタロン６（またはエタロン６’）の透過
特性を図５の（５）に示すように短波長側へシフトさせ
て、透過波長の１つが第２の波長λ ２と一致するように
調節する。これにより、光共振器では、図５の（２）の
エタロン５の透過特性と図５の（５）のエタロン６（ま
たはエタロン６’）の透過特性との組み合わせで波長選
択が行われる。これらエタロンの波長選択特性の組み合
わせでは、透過率の最大となる波長はλ2となり、レー
ザ発振波長は図５の（６）に示すようにλ2となる。
は、エタロン６（またはエタロン６’）の透過特性を、
図５の（３）に示すように透過波長の１つが第１の波長
λ1と一致するように調節する。これにより、光共振器
では、エタロン５の透過特性（図５の（２））とエタロ
ン６の透過特性（図５の（３））との組み合わせで波長
選択が行われる。これらエタロンの波長選択特性の組み
合わせでは、透過率の最大となる波長はλ1となり、レ
ーザ発振波長は図５の（４）に示すようにλ1となる。
上記のレーザ発振状態から、エタロン６の空隙の厚さ
（またはエタロン６’の配置角度）を所定波長分（ΔＬ
＝（λ0 2／２）（Δλ1／Δλ2−１））だけ変化させる
ことにより、エタロン６（またはエタロン６’）の透過
特性を図５の（５）に示すように短波長側へシフトさせ
て、透過波長の１つが第２の波長λ ２と一致するように
調節する。これにより、光共振器では、図５の（２）の
エタロン５の透過特性と図５の（５）のエタロン６（ま
たはエタロン６’）の透過特性との組み合わせで波長選
択が行われる。これらエタロンの波長選択特性の組み合
わせでは、透過率の最大となる波長はλ2となり、レー
ザ発振波長は図５の（６）に示すようにλ2となる。
【００４７】以上説明した各形態において、エタロン５
は、その反射面の反射率をエタロン６のそれと比較して
高くなるようにして、波長に対する透過特性を急峻にす
ることが望ましい。このように構成することにより、レ
ーザ発振可能な波長がエタロン５により制限されること
となり、エタロン６の透過波長を厳密制御する必要がな
くなる。
は、その反射面の反射率をエタロン６のそれと比較して
高くなるようにして、波長に対する透過特性を急峻にす
ることが望ましい。このように構成することにより、レ
ーザ発振可能な波長がエタロン５により制限されること
となり、エタロン６の透過波長を厳密制御する必要がな
くなる。
【００４８】また、以上説明した本発明の波長可変レー
ザの構成は、図示された構成に限定されるものではな
く、エタロンの配置箇所や光共振器の構造などは設計に
応じて適宜変更することが可能である。例えば、エタロ
ンは反射鏡とレーザ利得媒質との間に設けてもよい。ま
た、光共振器を２枚以上の反射鏡と１枚の出力鏡で構成
したり、光共振器の反射鏡をエタロンで構成することも
できる。
ザの構成は、図示された構成に限定されるものではな
く、エタロンの配置箇所や光共振器の構造などは設計に
応じて適宜変更することが可能である。例えば、エタロ
ンは反射鏡とレーザ利得媒質との間に設けてもよい。ま
た、光共振器を２枚以上の反射鏡と１枚の出力鏡で構成
したり、光共振器の反射鏡をエタロンで構成することも
できる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
外部共振器構造をとることはないので、従来の外部共振
器構造をとるものと比較して、装置の構成を簡単かつコ
ンパクトなものにできるという効果がある。
外部共振器構造をとることはないので、従来の外部共振
器構造をとるものと比較して、装置の構成を簡単かつコ
ンパクトなものにできるという効果がある。
【００５０】また、本発明によれば、２つのエタロンの
うちの一方についてのみ透過特性を調整するための調整
機構および制御系を設ければよいので、各エタロンにつ
いて調整機構および制御系が設けられる従来のもの（特
開平４−１５９７８６号公報参照）と比べて、装置の構
成を簡単なものとすることができ、コストも低く抑える
ことができる。
うちの一方についてのみ透過特性を調整するための調整
機構および制御系を設ければよいので、各エタロンにつ
いて調整機構および制御系が設けられる従来のもの（特
開平４−１５９７８６号公報参照）と比べて、装置の構
成を簡単なものとすることができ、コストも低く抑える
ことができる。
【００５１】さらに、本発明によれば、２つのエタロン
のうちの一方のエタロンの状態を切り替えるだけでレー
ザ発振波長を切り替えることができるので、各エタロン
について調整が行われる従来のもの（特開平４−１５９
７８６号公報参照）と比べて、レーザ発振波長の切り替
えを簡単かつ容易に行うことができる。
のうちの一方のエタロンの状態を切り替えるだけでレー
ザ発振波長を切り替えることができるので、各エタロン
について調整が行われる従来のもの（特開平４−１５９
７８６号公報参照）と比べて、レーザ発振波長の切り替
えを簡単かつ容易に行うことができる。
【図１】本発明の波長可変レーザの一実施形態を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】本発明の波長可変レーザにおけるレーザ発振波
長の切り替え動作の一例を説明するための図である。
長の切り替え動作の一例を説明するための図である。
【図３】本発明の第１の実施例の波長可変レーザの構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図４】本発明の第２の実施例の波長可変レーザの構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図５】本発明の波長可変レーザにおけるレーザ発振波
長の切り替え動作の一例を説明するための図である。
長の切り替え動作の一例を説明するための図である。
１ ＹＡＧレーザ ２ レンズ ３ 反射鏡 ４ ＫＴＡ結晶 ５，６，６’ エタロン ７ 圧電アクチュエータ ８ 出力鏡 ９ 制御器 １０ レーザ利得媒質
Claims (11)
- 【請求項１】 所定の波長帯でレーザ発振可能な光共振
器と、 前記光共振器内部に設けられた、フリー・スペクトル・
レンジの異なる第１および第２のエタロンと、 前記第２のエタロンの透過特性を調整する調整手段とを
有し、 前記第１のエタロンは、第１および第２の透過波長がそ
れぞれ第１および第２のレーザ発振波長となるように予
め固定され、 前記第２のエタロンは、透過波長の１つが前記第１のエ
タロンの第１の透過波長と一致する第１の状態と、透過
波長の１つが前記第１のエタロンの第２の透過波長と一
致する第２の状態の２つの状態間で切り替えが可能に構
成され、 前記調整手段によって前記第２のエタロンの状態の切り
替えが行われることを特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の波長可変レーザにおい
て、 前記第１のエタロンのフリー・スペクトル・レンジが前
記第１および第２のレーザ発振波長の差に等しくなるよ
うに構成されるとともに、前記第２のエタロンのフリー
・スペクトル・レンジが前記第１のエタロンのフリー・
スペクトル・レンジよりも小さくなるように構成されて
いることを特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の波長可変レーザにおい
て、 前記第１のエタロンのフリー・スペクトル・レンジが前
記第１および第２のレーザ発振波長の差に等しくなるよ
うに構成されるとともに、前記第２のエタロンのフリー
・スペクトル・レンジが前記第１のエタロンのフリー・
スペクトル・レンジよりも大きくなるように構成されて
いることを特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項４】 請求項１に記載の波長可変レーザにおい
て、 前記第１のエタロンは、両面に反射膜が形成された平行
平面板より構成され、 前記第２のエタロンは、一方の面に無反射膜が形成さ
れ、他方の面に反射膜が形成された第１および第２の平
行平面板が、反射膜が形成された面が向かい合うように
平行に支持され、該平行平面板間に形成される空隙の厚
さが前記調整手段によって調整可能に構成されているこ
とを特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項５】 請求項４に記載の波長可変レーザにおい
て、 前記第１のエタロンを構成する平行平面板の反射膜の反
射率が、前記第２のエタロンを構成する第１および第２
の平行平面板の反射膜の反射率よりも高くなるように構
成されていることを特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項６】 請求項１に記載の波長可変レーザにおい
て、 前記第１および第２のエタロンはともに、両面に反射膜
が形成された平行平面板より構成され、該第２のエタロ
ンの配置角度が前記調整手段によって調整可能に構成さ
れていることを特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項７】 請求項６に記載の波長可変レーザにおい
て、 前記第１のエタロンを構成する平行平面板の反射膜の反
射率が前記第２のエタロンを構成する平行平面板の反射
膜の反射率よりも高くなるように構成されていることを
特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項８】 請求項１から７のいずれかに記載の波長
可変レーザにおいて、 前記光共振器を構成するレーザ利得媒質が非線形光学結
晶であり、該非線形光学結晶を所定の波長のポンプ波で
照射して得られるアイドラ光の一部が前記第１および第
２のエタロンを透過して共振するように構成されている
ことを特徴とする波長可変レーザ。 - 【請求項９】 所定の波長帯でレーザ発振可能な光共振
器内部にフリー・スペクトル・レンジの異なる第１およ
び第２のエタロンを設けて、これらエタロンの透過特性
を調整することでレーザ発振波長を切り替える方法であ
って、 前記第１のエタロンを、第１および第２の透過波長がそ
れぞれ第１および第２のレーザ発振波長となるように予
め固定して、前記第２のエタロンの状態を、透過波長の
１つが前記第１のエタロンの第１の透過波長と一致する
第１の状態と、透過波長の１つが前記第１のエタロンの
第２の透過波長と一致する第２の状態の２つの状態間で
切り替えることを特徴とするレーザ発振波長切替方法。 - 【請求項１０】 請求項９に記載のレーザ発振波長切替
方法において、 前記第１のエタロンとして、フリー・スペクトル・レン
ジが前記第１および第２のレーザ発振波長の差に等しく
なるように構成されたソリッド・エタロンを用い、前記
第２のエタロンとして、フリー・スペクトル・レンジが
前記第１のエタロンのフリー・スペクトル・レンジより
小さいものを用いることとし、前記第２のエタロンを前
記第１の状態とした後に、該第２のエタロンの透過特性
を所定波長分だけ長波長側へシフトさせて前記第２の状
態とすることを特徴とするレーザ発振波長切替方法。 - 【請求項１１】 請求項９に記載のレーザ発振波長切替
方法において、 前記第１のエタロンとして、フリー・スペクトル・レン
ジが前記第１および第２のレーザ発振波長の差に等しく
なるように構成されたものを用い、前記第２のエタロン
として、フリー・スペクトル・レンジが前記第１のエタ
ロンのフリー・スペクトル・レンジより大きいものを用
いることとし、前記第２のエタロンを前記第１の状態と
した後に、該第２のエタロンの透過特性を所定波長分だ
け短波長側へシフトさせて前記第２の状態とすることを
特徴とするレーザ発振波長切替方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25575499A JP2001085774A (ja) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | 波長可変レーザおよびレーザ発振波長切替方法 |
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|---|---|---|---|
| JP25575499A JP2001085774A (ja) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | 波長可変レーザおよびレーザ発振波長切替方法 |
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| JP2001085774A true JP2001085774A (ja) | 2001-03-30 |
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ID=17283174
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP25575499A Pending JP2001085774A (ja) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | 波長可変レーザおよびレーザ発振波長切替方法 |
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| JP (1) | JP2001085774A (ja) |
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1999
- 1999-09-09 JP JP25575499A patent/JP2001085774A/ja active Pending
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