JP2011249399A - レーザ光源、及びレーザ光源の調整システム - Google Patents
レーザ光源、及びレーザ光源の調整システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011249399A JP2011249399A JP2010118344A JP2010118344A JP2011249399A JP 2011249399 A JP2011249399 A JP 2011249399A JP 2010118344 A JP2010118344 A JP 2010118344A JP 2010118344 A JP2010118344 A JP 2010118344A JP 2011249399 A JP2011249399 A JP 2011249399A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonator
- light source
- wavelength
- light
- etalon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 60
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 57
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 35
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000011630 iodine Substances 0.000 claims description 28
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 27
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 27
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 10
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 20
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 27
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザ光源1は、共振器3から出射される光の強度を検出する強度検出部46と、レーザ光源1を制御する光源用制御手段6とを備える。光源用制御手段6は、光源制御部と、電流調整部とを備える。光源制御部は、強度検出部46から出力される信号に基づいて、強度検出部46に入射する光の強度が一定となるように、半導体レーザ21を駆動する電流を制御する。電流調整部は、半導体レーザ21を駆動する電流が最小値となるように、KTP結晶34の温度と、共振器3における共振器長との各パラメータを調整する。
【選択図】図1
Description
そして、共振器の温度を調整すると、エタロンの温度が変化するのでエタロンの波長透過特性を変化させることができる。また、共振器の温度を調整すると、熱膨張、及び熱収縮の影響で共振器における共振器長が変化するので、マルチモードで発振する光のモード間隔も変化することとなる。
さらに、共振器における共振器長を調整すると、マルチモードで発振する光のモード間隔を変化させることができる。
また、光源用制御手段は、電流調整部を備えるので、光源を駆動する電流を小さくすることができる。したがって、光源の消費電力を抑制することができ、光源の寿命を長くすることができる。
なお、非線形光学結晶の温度を調整すると、マルチモードで発振する光のスペクトラムが変化する。また、非線形光学結晶の温度を調整することに基づくマルチモードで発振する光のスペクトラムの変化は、共振器における共振器長を調整すること等に基づくマルチモードで発振する光のモード間隔の変化よりも大きい。したがって、レーザ光源を効率よく調整することができる。
なお、本発明によれば、電流調整部は、光源を駆動する電流が最小値となるように、各パラメータを調整するので、光源の消費電力を更に抑制することができ、光源の寿命を更に長くすることができる。
なお、スペクトラムのピーク波長とは、スペクトラムの極大値となる波長をいうものとし、スペクトラムのピーク波長が複数ある場合には、温度調整部は、最大のピーク波長と、ヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように共振器から出射される光を調整するように構成されることが好ましい。
〔レーザ光源の概略構成〕
図1は、本発明の一実施形態に係るレーザ光源1を示す模式図である。なお、図1では、レーザ光源1の光軸を一点鎖線で示している。
レーザ光源1は、図1に示すように、光を出射する光源2と、光源2から出射される光を励起光として基本波光をマルチモードで発振する共振器3と、共振器3から出射される光をレーザ光源1の外部に導光する導光手段4と、共振器3から出射される光を変調することでヨウ素の飽和吸収線を検出するための飽和吸収線検出手段5と、レーザ光源1を制御する光源用制御手段6とを備える。
光源2は、808nm付近の波長の光(励起光)を出射する半導体レーザ21と、半導体レーザ21から出射される励起光を平行化する平行化レンズ22とを備える。
ピエゾ素子37は、電圧を印加することで変形する素子であり、光源用制御手段6による制御の下、Nd:YVO4結晶33、及び共振器ミラー36の間の距離、すなわち共振器3における共振器長を調整する。
フィルタ41は、共振器3からの漏れ光である励起光を減衰させる機能を有している。また、フィルタ42は、レーザ光源1の光軸に対して傾斜した状態で配設され、共振器3からの漏れ光である基本波光を反射させる機能を有しているので、フィルタ42を反射した光は、レーザ光源1の光軸から離間する方向に導かれる。すなわち、1/2波長板43には、フィルタ41,42を透過する第2高調波光が入射する。
偏光ビームスプリッタ44は、偏光分離膜44Aを有している。そして、1/2波長板43から出射され、偏光ビームスプリッタ44に入射した光のうち、偏光分離膜44Aに対してP偏光の光は、偏光分離膜44Aを透過し、S偏光の光は、偏光分離膜44Aを反射する。
ビームスプリッタ45は、入射する光の一部を界面45Aにて反射させるとともに、他の一部を透過させるものである。
偏光ビームスプリッタ44にて反射されたS偏光の光は、ビームスプリッタ45に入射する。ビームスプリッタ45に入射した光のうち、ビームスプリッタ45を透過した光は、強度検出部46に入射する。そして、強度検出部46は、入射した光の強度を検出し、検出した光の強度に基づく信号を光源用制御手段6に出力する。すなわち、強度検出部46は、共振器3から出射される光の強度を検出する強度検出手段として機能する。また、ビームスプリッタ45にて反射された光は、レーザ光源1の外部に出射される。
偏光ビームスプリッタ51は、偏光分離膜51Aを有し、偏光ビームスプリッタ44と同様の機能を有している。また、1/4波長板52は、入射する光の直交する偏向成分の間に90°の位相差を与える機能を有している。
偏光ビームスプリッタ44を透過したP偏光の光は、偏光ビームスプリッタ51を透過し、1/4波長板52を介してヨウ素セル53に入射する。ヨウ素セル53を透過した光は、反射ミラー54にて反射され、ヨウ素セル53、及び1/4波長板52を透過して偏光ビームスプリッタ51に再び入射する。このとき、偏光ビームスプリッタ51に再び入射した光は、1/4波長板52を2度通過しているので、偏光方向が90度回転し、偏光分離膜51Aに対してS偏光の光となる。したがって、偏光ビームスプリッタ51に再び入射した光は、偏光分離膜51Aにて反射される。偏光ビームスプリッタ51にて反射された光は、強度検出部55に入射する。そして、強度検出部55は、入射した光の強度を検出し、検出した光の強度に基づく信号を光源用制御手段6に出力する。
また、光源用制御手段6は、図2に示すように、記憶部61と、光源制御部62と、電流調整部63と、異常判定部64と、読込調整部65とを備える。
記憶部61は、光源用制御手段6にて利用される情報を記憶するものである。
光源制御部62は、強度検出部46から出力される信号に基づいて、強度検出部46に入射する光の強度が一定となるように、半導体レーザ21を駆動する電流を制御する。
読込調整部65は、記憶部61に記憶された情報を読み込むことで各パラメータを調整し、共振器3から出射される光を調整する。なお、読込調整部65は、レーザ光源1を起動したとき等に各パラメータを調整する。
図3は、レーザ光源1の調整システム10を示す模式図である。
レーザ光源1の調整システム10は、図3に示すように、ビームスプリッタ45にて反射された光を分離するためのビームスプリッタ11と、ビームスプリッタ11にて分離された光のスペクトラム、及び波長を検出するための検出手段12と、レーザ光源1、及び検出手段12を制御する調整用制御手段13とを備える。
検出手段12は、光のスペクトラムを測定するスペクトラム検出手段としての光スペクトラムアナライザ121と、光の波長を測定する波長検出手段としての光波長計122とを備える。
共振器調整部132は、エタロン35を共振器3に取り付けた状態で光波長計122にて検出される波長と、強度検出部55から出力される信号に基づいて検出されるヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように、エタロン35の温度と、共振器3における共振器長との各パラメータを調整する。
図4は、レーザ光源1の調整処理を示すフローチャートである。図5は、レーザ光源1から出射される光のスペクトラムSと、エタロン35の波長透過特性Wとを示すグラフである。なお、図5では、縦軸をスペクトラムSの強度、及びエタロン35の透過率とし、横軸を波長としている。
レーザ光源1の調整処理を実行すると、図4に示すように、調整用制御手段13は、以下のステップS1〜S3を実行する。
ここで、共振器調整部132は、エタロン35の温度を調整することで、図5(B)に矢印で示すように、エタロン35の波長透過特性Wを変化させることができる。
したがって、共振器調整部132は、共振器3から出射される光の波長を変化させることなく各パラメータを調整することができ、図5(C)に示すように、光スペクトラムアナライザ121にて検出されるスペクトラムSのピーク波長と、光波長計122にて検出される波長、すなわちエタロン35を透過する波長と、強度検出部55から出力される信号に基づいて検出されるヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させることができる。
以上のステップS1〜S3を実行することで調整用制御手段13は調整処理を実行する。
(1)レーザ光源1は、光源用制御手段6を備え、光源用制御手段6は、光源制御部62を備えるので、レーザ光源1を使用する環境の温度の変化や、レーザ光源1の経年変化などの影響によって、レーザ光源1から出射される光の強度が変化してしまうことを抑制することができる。また、光源用制御手段6は、電流調整部63を備えるので、半導体レーザ21を駆動する電流を小さくすることができる。したがって、半導体レーザ21の消費電力を抑制することができ、半導体レーザ21の寿命を長くすることができる。ここで、共振器3から出射される光の中心波長は、ヨウ素の飽和吸収線に基づいて、安定化させているので、電流調整部63は、共振器3から出射される光の波長を変化させることなく各パラメータを調整することができる。したがって、レーザ光源1の温度特性、及び長期安定性を向上させることができる。
(3)電流調整部63は、半導体レーザ21を駆動する電流が最小値となるように、各パラメータを調整するので、半導体レーザ21の消費電力を更に抑制することができ、半導体レーザ21の寿命を更に長くすることができる。
(4)光源用制御手段6は、記憶部61と、読込調整部65とを備えるので、レーザ光源1を起動したとき等に共振器3から出射される光を迅速に調整することができ、高精度かつ適切に調整することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、電流調整部63は、半導体レーザ21を駆動する電流が最小値となるように、KTP結晶34の温度と、共振器3における共振器長との各パラメータを調整していたが、最小値となるように調整しなくてもよい。要するに、電流調整部は、光源を駆動する電流が小さくなるように各パラメータを調整すればよい。
前記実施形態では、光源用制御手段6は、記憶部61と、異常判定部64と、読込調整部65とを備えていたが、これらの機能を備えていなくてもよい。
前記実施形態では、波長検出手段として光波長計122を採用していたが、強度検出部55から出力される信号に基づいて検出されるヨウ素の飽和吸収線に基づいて、共振器3から出射される光の波長を検出することで波長検出手段を構成してもよい。
2…光源
3…共振器
6…光源用制御手段
10…調整システム
13…調整用制御手段
21…半導体レーザ(光源)
34…KTP結晶(非線形光学結晶)
35…エタロン
46…強度検出部(強度検出手段)
53…ヨウ素セル
61…記憶部
62…光源制御部
63…電流調整部
64…異常判定部
65…読込調整部
121…光スペクトラムアナライザ(スペクトラム検出手段)
122…光波長計(波長検出手段)
131…温度調整部
132…共振器調整部
Claims (4)
- 光源と、前記光源から出射される光を励起光として基本波光をマルチモードで発振する共振器と、前記共振器の内部の光軸上に配設され、前記基本波光を所定の波長の光に変換するための非線形光学結晶と、前記共振器の内部の光軸上に配設され、所定の波長の光を透過させることで前記共振器から出射される光をシングルモードにするエタロンと、前記共振器の光路後段に配設され、ヨウ素の飽和吸収線を検出するヨウ素セルとを備え、前記ヨウ素の飽和吸収線に基づいて、前記共振器から出射される光の中心波長を安定化させるレーザ光源であって、
前記共振器から出射される光の強度を検出する強度検出手段と、
前記レーザ光源を制御する光源用制御手段とを備え、
前記光源用制御手段は、
前記強度検出手段にて検出される光の強度を一定とするように、前記光源を駆動する電流を制御する光源制御部と、
前記光源を駆動する電流を小さくするように、前記非線形光学結晶の温度、前記共振器の光軸に対する前記エタロンの角度、及び前記エタロンの温度の少なくとも1つと、前記共振器における共振器長との各パラメータを調整する電流調整部とを備えることを特徴とするレーザ光源。 - 請求項1に記載のレーザ光源において、
前記電流調整部は、
前記光源を駆動する電流が最小値となるように、前記各パラメータを調整し、
前記光源用制御手段は、
前記最小値が所定の電流値を超える場合に前記レーザ光源の異常と判定する異常判定部を備えることを特徴とするレーザ光源。 - 請求項1または請求項2に記載のレーザ光源において、
前記光源用制御手段は、
前記電流調整部にて調整された前記各パラメータに係る情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された情報を読み込むことで前記各パラメータを調整し、前記共振器から出射される光を調整する読込調整部とを備えることを特徴とするレーザ光源。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のレーザ光源の調整システムであって、
前記共振器から出射される光のスペクトラムを検出するスペクトラム検出手段と、
前記共振器から出射される光の波長を検出する波長検出手段と、
前記レーザ光源、及び前記調整システムを制御する調整用制御手段とを備え、
前記調整用制御手段は、
前記エタロンを前記共振器から取り外した状態で前記スペクトラム検出手段にて検出されるスペクトラムのピーク波長と、前記ヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように、前記非線形光学結晶の温度のパラメータを調整する温度調整部と、
前記エタロンを前記共振器に取り付けた状態で前記波長検出手段にて検出される波長と、前記ヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように、前記共振器の光軸に対する前記エタロンの角度、及び前記エタロンの温度の少なくとも1つと、前記共振器における共振器長との各パラメータを調整する共振器調整部とを備えることを特徴とするレーザ光源の調整システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118344A JP5557601B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | レーザ光源の調整システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010118344A JP5557601B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | レーザ光源の調整システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011249399A true JP2011249399A (ja) | 2011-12-08 |
JP5557601B2 JP5557601B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=45414341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010118344A Expired - Fee Related JP5557601B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | レーザ光源の調整システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5557601B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017224806A (ja) * | 2016-06-14 | 2017-12-21 | 株式会社ミツトヨ | レーザ装置及び周波数偏移量特定方法 |
JP2019207989A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置 |
US11764541B2 (en) | 2018-11-08 | 2023-09-19 | Gigaphoton Inc. | Laser system and method for manufacturing electronic device |
US11804697B2 (en) | 2018-10-23 | 2023-10-31 | Gigaphoton Inc. | Laser system and electronic device manufacturing method |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000284192A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Anritsu Corp | 光周波数グリッド発生装置 |
JP2001085774A (ja) * | 1999-09-09 | 2001-03-30 | Nec Corp | 波長可変レーザおよびレーザ発振波長切替方法 |
JP2002151779A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-05-24 | Komatsu Ltd | レーザ装置及びシード光の最適化方法 |
JP2003158319A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Shimadzu Corp | 固体レーザ装置 |
JP2003347636A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-05 | Nec Corp | Qスイッチレーザ装置及びqスイッチ制御方法 |
JP2007019361A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Mitsutoyo Corp | 周波数安定化レーザ |
JP2008130848A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Mitsutoyo Corp | レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法 |
-
2010
- 2010-05-24 JP JP2010118344A patent/JP5557601B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000284192A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Anritsu Corp | 光周波数グリッド発生装置 |
JP2001085774A (ja) * | 1999-09-09 | 2001-03-30 | Nec Corp | 波長可変レーザおよびレーザ発振波長切替方法 |
JP2002151779A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-05-24 | Komatsu Ltd | レーザ装置及びシード光の最適化方法 |
JP2003158319A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Shimadzu Corp | 固体レーザ装置 |
JP2003347636A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-05 | Nec Corp | Qスイッチレーザ装置及びqスイッチ制御方法 |
JP2007019361A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Mitsutoyo Corp | 周波数安定化レーザ |
JP2008130848A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Mitsutoyo Corp | レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017224806A (ja) * | 2016-06-14 | 2017-12-21 | 株式会社ミツトヨ | レーザ装置及び周波数偏移量特定方法 |
JP2019207989A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置 |
JP7097236B2 (ja) | 2018-05-30 | 2022-07-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置 |
US11804697B2 (en) | 2018-10-23 | 2023-10-31 | Gigaphoton Inc. | Laser system and electronic device manufacturing method |
US11764541B2 (en) | 2018-11-08 | 2023-09-19 | Gigaphoton Inc. | Laser system and method for manufacturing electronic device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5557601B2 (ja) | 2014-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6836848B2 (ja) | レーザ光調整方法、及びレーザ光源装置 | |
US10215816B2 (en) | Magnetic field measuring apparatus | |
US7835411B2 (en) | Laser frequency stabilizing device, method and program | |
US7701984B2 (en) | Laser module and method of controlling wavelength of external cavity laser | |
WO2015015628A1 (ja) | 磁場計測装置 | |
US20070008995A1 (en) | Frequency-stabilized laser and frequency stabilizing method | |
EP2058907B1 (en) | Frequency-stabilized laser device, laser frequency stabilizing method, and laser frequency stabilizing program | |
JP5557601B2 (ja) | レーザ光源の調整システム | |
JP2011249400A (ja) | レーザ光源の調整システム、及びレーザ光源の調整方法 | |
JP2008130848A (ja) | レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法 | |
TWI675247B (zh) | 波長轉換裝置 | |
US10630046B2 (en) | Laser light source device and laser light adjusting method | |
JP6541241B2 (ja) | モード追跡を伴う光励起半導体レーザ | |
JP4111076B2 (ja) | 波長変換レーザ装置 | |
JP2011100812A (ja) | レーザ光源装置、及びレーザ光源の調整システム | |
JP6171256B2 (ja) | レーザ周波数安定化方法及びその装置 | |
JP2011158869A (ja) | 波長変換装置 | |
JP2013258248A (ja) | レーザ光調整方法、及びレーザ光源装置 | |
US20230178957A1 (en) | Solid-state laser system, phase matching method, and electronic device manufacturing method | |
JP2007287886A (ja) | レーザー装置及びそのレーザー装置を用いた検査装置 | |
US20220102931A1 (en) | Laser device and method for operating laser device | |
JP2010534415A (ja) | 波長監視における位置感知検出器 | |
JP5231554B2 (ja) | 周波数安定化レーザー装置及びレーザー周波数安定化方法 | |
JP6432802B2 (ja) | レーザ周波数安定化方法及びその装置 | |
JP2007123635A (ja) | レーザ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140603 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5557601 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |