WO2024070236A1

WO2024070236A1 - めっき装置

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Publication number: WO2024070236A1
Application number: PCT/JP2023/028661
Authority: WO
Inventors: 智和嶋田
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2022-09-27
Filing date: 2023-08-05
Publication date: 2024-04-04

Abstract

噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やしても、被めっき物が貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇し過ぎず、被めっき物に不良が発生することが抑制された、めっき装置を提供する。　被めっき物が含まれためっき液を貯留するめっき槽と、めっき槽に形成された、めっき液を噴射する噴射部と、を備え、噴射部から噴射されためっき液によって、めっき液に含まれた被めっき物が攪拌される、めっき装置であって、噴射部は、水平方向に拡がる底面と、底面から高さ方向に伸びる内壁と、内壁の上端に形成された開口とを有する内筒状であり、開口は、めっき槽にめっき液を噴射する第１噴射口であり、第１噴射口にメッシュ部材が設けられ、底面に、噴射部にめっき液を噴射する第２噴射口が設けられ、噴射部の高さ方向の途中に、底面と平行に、複数の孔が形成された流速制御板が設けられ、流速制御板は、平面方向に見たとき、中央部と、中央部の外側に設けられた周辺部と、を有し、中央部に形成された孔の各開口面積が、周辺部に形成された孔の各開口面積よりも小さく、流速制御板と、第１噴射口のメッシュ部材との間に、中空部を有する筒状部材が設けられたものとする。

Description

めっき装置

　本発明は、めっき装置に関する。

　電子部品の外部電極の形成などに、いわゆる噴流式のめっき装置が広く使用されている。特許文献１（特開２０２１－１３８９９９号公報）に、噴流式のめっき装置が開示されている。

　特許文献１に開示されためっき装置は、めっき槽を備えている。めっき槽の中に、第１電極である金属管（カソード）と、絶縁性の材質で作製された隔壁管と、第２電極（アノード）とが収容されている。なお、隔壁管には、めっき液は通過させるが、被めっき物やメディアなどは通過させない、複数の小さな孔が形成されている。

　隔壁管の内部に金属管が配置され、隔壁管の内側と金属管の外側との間に、めっき形成部が形成されている。めっき形成部は、被めっき物にめっきが施される領域（空間）をいう。隔壁管の外に、第２電極が配置されている。

　金属管の下方に、めっき液を噴射させる噴射口を有する噴射部が設けられている。噴射部は、金属管の内部に、めっき液の上昇流を発生させるためのものである。なお、特許文献１のめっき装置には開示されていないが、通常、噴射部の噴射口には、噴射が停止しているときに、被めっき物やメディアが噴射部の中に落ちないように、メッシュ部材が設けられる。

　特許文献１に開示されためっき装置は、めっき槽に、めっき液が収容される。続いて、めっき液が収容されためっき槽に、被めっき物と、導電性のメディアと、必要に応じて絶縁ボールとが投入される。ただし、めっき槽に、被めっき物、メディア、絶縁ボールを投入した後に、めっき槽に、めっき液を収容してもよい。なお、メディアは、めっき形成部における被めっき物へのめっきにおいて、第１電極である金属管と、被めっき物の表面のめっき形成領域（下地電極などが形成されている領域）との間を、電気的に接続するためのものである。絶縁ボールは、めっき装置の中を循環する被めっき物の流動性を高めるためのものである。

　被めっき物、メディア、絶縁ボールは、噴射部の噴射によって発生した、金属管の内部のめっき液の上昇流に乗って、金属管の内部を上昇し、金属管の上端から外に噴出され、めっき液の中で攪拌される。

　攪拌された被めっき物、メディア、絶縁ボールは、次に、めっき形成部の上側に堆積する。このとき、めっき形成部内には、既に別の被めっき物、メディア、絶縁ボールが堆積している。めっき形成部の上側に堆積した被めっき物、メディア、絶縁ボールは、続いて、めっき形成部の中を徐々に降下する。このとき、第１電極である金属管と、第２電極との間に電流が印加されることによって、被めっき物の表面のめっき形成領域に、めっき膜が形成される。

　めっき膜が形成された被めっき物、メディア、絶縁ボールは、めっき形成部の下端から押出され、再び、金属管の内部に発生しためっき液の上昇流に乗り、金属管の内部を上昇し、金属管の上端から外に噴出され、攪拌される。そして、攪拌された被めっき物、メディア、絶縁ボールは、前回と同様に、めっき形成部の上側に堆積し、続いて、めっき形成部の中を徐々に降下し、降下中に、被めっき物にめっき膜が形成される。

　被めっき物は、めっき膜が予め定められた厚さに達し、めっき工程が終了するまでに、めっき装置の中を、数回～数千回、循環する場合がある。

特開２０２１－１３８９９９号公報

　被めっき物へのめっきは、次の（ａ）、（ｂ）を満たす必要がある。
（ａ）各被めっき物に、予め定めた厚さ以上の厚さのめっき膜が形成されること。
（ｂ）同時にめっきされた複数の被めっき物の間において、形成されためっき膜の厚さのばらつきが小さいこと（予め定めた許容値内であること）。

　１回（１ロット）のめっき工程において、めっきを開始してから、めっきを終了するまでの時間を「総めっき時間」と定義したとき、総めっき時間が一定であれば、被めっき物がめっき形成部を１回通過するのに要する時間と、被めっき物がめっき形成部を通過する回数とを変化させても、各被めっき物に形成されるめっき膜の厚さは、ほぼ同じになる。なぜなら、被めっき物に形成されるめっき膜の厚さは、各被めっき物がめっき形成部を通過している合計の時間（めっき形成部を１回通過するのに要する時間×通過した回数）に依存するからである。なお、当然のことながら、総めっき時間が一定であるとき、被めっき物がめっき形成部を１回通過するのに要する時間を長くすると、被めっき物がめっき形成部を通過する回数は少なくなり、被めっき物がめっき形成部を１回通過するのに要する時間を短くすると、被めっき物がめっき形成部を通過する回数は多くなる。

　一方、総めっき時間が一定であるとき、被めっき物がめっき形成部を１回通過するのに要する時間を短くし、被めっき物がめっき装置を循環する回数を増やした場合の方が、被めっき物がめっき形成部を１回通過するのに要する時間を長くし、被めっき物がめっき装置を循環する回数を減らした場合よりも、複数の被めっき物の間において、形成されためっき膜の厚さのばらつきが小さくなる。すなわち、めっき形成部を被めっき物が１回通過する毎に、被めっき物に形成される（成長する）めっき膜の厚さは、被めっき物が、金属管の近くを通過するか、隔壁管の近くを通過するか、金属管と隔壁管の中間の近くを通過するかなどの条件によって変化するため、通過する回数を増やして平準化することによって、形成されるめっき膜の厚さのばらつきを小さくすることができるのである。

　めっき工程の生産性を考慮すると、総めっき時間は短いことが好ましい。限られた総めっき時間において、被めっき物がめっき形成部を通過する回数を増やすためには、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やせばよく、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やすためには、たとえば、噴射部に接続されたポンプの出力を大きくすればよい。

　しかしながら、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やすと、被めっき物に「割れ」や「欠け」が発生したり、被めっき物に形成されためっき膜に「剥がれ」が発生したりするなど、被めっき物に不良が発生する場合がある。これは、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やすと、第１電極である金属管を上昇する被めっき物の速度が速くなり過ぎ、金属管の上端から外に噴出された被めっき物が、めっき槽に貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇してしまい、デフレクタと呼ばれる反射板に衝突したり、あるいは、めっき液の中の高い位置からの降下（沈降）するときに、めっき槽の内壁に衝突したり、他の被めっき物と衝突したりすることが原因であると考えられる。すなわち、被めっき物を、メディアや絶縁ボールとともに、金属管の上端から外に排出するのは、これらを攪拌するためであるが、このとき、勢いが付き過ぎ、被めっき物が貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇してしまうと、被めっき物に不良が発生してしまう場合があった。

　そこで、本件発明は、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やしても、被めっき物が貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇し過ぎず、被めっき物に不良が発生することが抑制されためっき装置を提供することを目的とする。

　本発明の一実施態様にかかるめっき装置は、上記従来の課題を解決するため、被めっき物が含まれためっき液を貯留するめっき槽と、めっき槽に形成された、めっき液を噴射する噴射部と、を備え、噴射部から噴射されためっき液によって、めっき液に含まれた被めっき物が攪拌される、めっき装置であって、噴射部は、水平方向に拡がる底面と、底面から高さ方向に伸びる内壁と、内壁の上端に形成された開口とを有する内筒状であり、開口は、めっき槽にめっき液を噴射する第１噴射口であり、第１噴射口にメッシュ部材が設けられ、底面に、噴射部にめっき液を噴射する第２噴射口が設けられ、噴射部の高さ方向の途中に、底面と平行に、複数の孔が形成された流速制御板が設けられ、流速制御板は、平面方向に見たとき、中央部と、中央部の外側に設けられた周辺部と、を有し、中央部および周辺部に、それぞれ、複数の孔が形成され、流速制御板と、第１噴射口のメッシュ部材との間に、中空部を有する筒状部材が設けられたものとする。

　本発明の一実施態様にかかるめっき装置は、中央部に形成された孔と、周辺部に形成された孔とにおいて、各開口面積の大きさや、複数の孔の単位面積当たりの総開口面積や、単位面積当たりの孔の数などを調整することにより、中央部を通過するめっき液の速度を、周辺部を通過するめっき液の速度よりも、抑制することができる。

　この結果、本発明の一実施態様にかかるめっき装置は、たとえば、噴射部の直上に、中空部を有する筒状の金属管を配置したとき、金属管の中心部を通過するめっき液の速度が抑制されるため、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やしても、被めっき物が貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇し過ぎず、被めっき物に不良が発生することが抑制される。以下に、説明を補足する。

　たとえば第１電極である金属管の内部を通過する（上昇する）めっき液の速さは、金属管の断面の全域において均一であるわけではなく、金属管の中心部ほど速く、金属管の内壁に近い周辺部ほど遅い。金属管の内壁に近い周辺部では、めっき液の流れに抵抗（摩擦抵抗）が発生し、めっき液の速度が抑制されるからである。

　また、めっき装置のめっき槽の底面に内筒状の噴射部が設けられ、噴射部の上側に第１噴射口が設けられ、噴射部の底面に、噴射部内にめっき液を噴射する第２噴射口が設けられた場合であって、金属管の内径に比べて、第２噴射口の径が小さい場合も、金属管の中心部ほどめっき液が速くなり、金属管の内壁に近い周辺部ほどめっき液が遅くなる原因になる場合がある。

　一方、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やしたとき、金属管の上端から外に噴出された全ての被めっき物が、めっき槽に貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇するわけではない。めっき槽に貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇する被めっき物は、主に、めっき液の速度が速い金属管の中心部を、一気に通過（上昇）した被めっき物であると考えられる。

　本発明の一実施態様にかかるめっき装置は、流速制御板の中央部を通過するめっき液の速度が抑制されており、たとえば、噴射部の直上に、中空部を有する筒状の金属管を配置したとき、金属管の内部を通過するめっき液の速さが、金属管の中心部において抑制されるため、噴射部から噴射されるめっき液の流量を増やしても、被めっき物が貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇し過ぎず、被めっき物に不良が発生することが抑制される。

第１実施形態にかかるめっき装置１００の断面図である。めっき装置１００の断面図であり、図１の一点鎖線矢印Ａ-Ａ部分を示している。めっき装置１００の要部断面図である。めっき装置１００の要部斜視図である。図５（Ａ）は、めっき装置１００の流速制御板８と筒状部材１０の平面図である。図５（Ｂ）は、めっき装置１００の流速制御板８の変形例である流速制御板８’と、筒状部材１０の平面図である。図６（Ａ）は、めっき装置１００のメッシュ部材７の変形例であるメッシュ部材７’を示す平面図である。図６（Ｂ）は、めっき装置１００のメッシュ部材７の変形例であるメッシュ部材７”を示す平面図である。第２実施形態にかかるめっき装置２００の要部平面図である。

　以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。

　なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。

［第１実施形態］
　図１、図２、図３、図４（Ａ）、（Ｂ）に、第１実施形態にかかるめっき装置１００を示す。ただし、図１はめっき装置１００の断面図である。図２もめっき装置１００の断面図であり、図１の一点鎖線矢印で示したＡ-Ａ部分を示している。図３は、めっき装置１００の要部断面図である。図４は、めっき装置１００の要部斜視図であり、噴射部６を示している。図５（Ａ）は、めっき装置１００の流速制御板８と筒状部材１０の平面図である。図５（Ｂ）は、流速制御板８の変形例である流速制御板８’と、筒状部材１０の平面図である。

　めっき装置１００は、めっき槽１を備えている。めっき槽１は、上方が開口している。めっき槽１は、後述する、めっき液と、被めっき物と、メディアと、絶縁ボールとの混合物１９を貯留するためのものである。ただし、絶縁ボールは、必要なければ省略することも可能である。

　めっき装置１００は、めっき槽１の内部に、筒状の金属管２を備えている。金属管２は、中空部２ａを有している。金属管２は、第１電極であり、本実施形態においては、カソード電極である。本実施形態においては、金属管２は円筒状である。ただし、金属管２は、多角形の筒状であってもよい。金属管２の材質は任意であり、種々の金属を使用することができる。金属管２の外径、内径、長さなどの寸法は任意であり、適宜、設定することができる。

　本実施形態においては、金属管２の上部に、金属管２と一体的に、２本の棒状の導電性の支持部２ｂが形成されている。ただし、支持部２ｂの本数は任意であり、２本には限られない。

　めっき装置１００は、めっき槽１の内部に、絶縁性の材質で作製された、隔壁管３を備えている。隔壁管３は、中空部３ａを有している。本実施形態においては、隔壁管３は円筒状である。ただし、隔壁管３は、多角形の筒状であってもよい。隔壁管３には、めっき液は通過させるが、被めっき物と、メディアと、絶縁ボールとは通過させない複数の小さな孔３ｂが形成されている。孔３ｂは、第１電極である金属管２と、第２電極５との間に電流が印加されたときに、めっき液を媒介にして電流を通す。隔壁管３の材質は任意であり、たとえば、種々の樹脂を使用することができる。隔壁管３の外径、内径、長さなどの寸法は任意であり、適宜、設定することができる。

　隔壁管３の内径は、金属管２の外径よりも大きい。隔壁管３の中空部３ａ内に、金属管２が配置されている。隔壁管３の内側と金属管２の外側との間に、めっき形成部４が形成されている。めっき形成部４は、被めっき物にめっきが施される領域（空間）である。なお、図１、図２、図３においては、めっき形成部４を、網掛状に描写している。金属管２の外径と、隔壁管３の内径との間が、めっき形成部４になる。めっき形成部４の長さなどの寸法は任意であり、適宜、設定することができる。

　被めっき物と、メディアと、絶縁ボールとは、めっき形成部４の内部に堆積し、徐々に下方に降下する。この降下の途中に、被めっき物の表面にめっきが施される。

　めっき装置１００は、めっき槽１の内部に、第２電極５を備えている。本実施形態においては、第２電極５は、アノード電極である。本実施形態においては、第２電極５は、円筒状の金属からなる。第２電極５は、隔壁管３の外側に配置されている。第２電極５の材質は任意であり、種々の金属を使用することができる。

　めっき装置１００は、図２に示すように、平面方向にみたとき、金属管２と隔壁管３と第２電極５とが、それぞれの中心軸が一致するように、同心円状に配置されている。そのため、めっき装置１００は、めっき形成部４のどの領域においても、第１電極である金属管２と、第２電極５との間に、均質に電流が印加されるため、成膜されるめっき膜の厚さばらつきが抑制されている。

　めっき装置１００は、金属管２の下方に、噴射部６を備えている。噴射部６は、金属管２の内部に、めっき液の上昇流を発生させるためのものである。本実施形態においては、噴射部６は、水平方向に拡がる底面と、底面から高さ方向に伸びる内壁と、内壁の上端に形成された開口とを有する内筒状である。本実施形態においては、噴射部６の上記内筒状は、内円筒状である。ただし、噴射部６の上記内筒状は、内円筒状には限られず、他の形状であってもよい。噴射部６の内径や深さなどの寸法は任意であり、適宜、設定することができる。なお、噴射部６の内径の寸法は、金属管２の内径の寸法と、同じであることが好ましいが、異なっていても問題はない。

　噴射部６の上端に形成された開口に、第１噴射口６ａが形成されている。第１噴射口６ａの形状および寸法は任意であるが、本実施形態においては、直径２８ｍｍの円形とした。

　噴射部６の底面に、第２噴射口６ｂが形成されている。第２噴射口６ｂから、噴射部６の中に、めっき液が噴射される。第１噴射口６ａから、めっき槽１の中に、めっき液が噴射される。本実施形態においては、第２噴射口６ｂの開口面積が、第１噴射口６ａの開口面積よりも小さい。

　また、金属管２の内径と、第２噴射口６ｂの径とを比較した場合、第２噴射口６ｂの径が、金属管２の内径よりも小さい。このことも、金属管２の中心部のめっき液の速度が速くなる原因になるので、金属管２の中心部のめっき液の速度を抑制する対策が必要になる。

　噴射部６の第１噴射口６ａに、メッシュ部材７が設けられている。メッシュ部材７は、噴射部６の噴射が停止しているときに、被めっき物、メディア、絶縁ボールなどが噴射部６の中に落ちないように設けられている。本実施形態においては、噴射部６の第１噴射口６ａが円形であるので、メッシュ部材７も、平面方向に見て、円形である。

　本実施形態においては、メッシュ部材７は、全体が、目開きが９００μｍの１層のメッシュで構成されている。ただし、図６（Ａ）に示すメッシュ部材７’や、図６（Ｂ）に示すメッシュ部材７”のように、メッシュ部材を、メッシュ中央部７ａと、メッシュ中央部７ａの外側に設けられたメッシュ周辺部７ｂとで構成し、メッシュ中央部７ａを複数層（たとえば２層）のメッシュで構成し、メッシュ周辺部７ｂを１層のメッシュで構成してもよい。この場合、メッシュ中央部７ａの形状、寸法は、後述する流速制御板８の中央部８ａの形状、寸法や、後述する筒状部材１０の内径の形状、寸法と同じであることが好ましいが、違っていても問題はない。メッシュ部材７’は、メッシュ中央部７ａが円形であり、メッシュ部材７”は、メッシュ中央部７ａが矩形である。

　メッシュの「目開き」とは、縦方向の線と、横方向の線とが交差されたメッシュにおいて、隣接する線と線との間の寸法である（線径は含まない）。目開きは、オープニング（ＯＰ）や、オープニング寸法と呼ばれる場合がある。目開きといったとき、一般的には、１層のメッシュの目開きをいうが、本件出願書類においては、複数のメッシュが重ねられた場合には、複数のメッシュの総合的な目開きをいう場合がある。１層のメッシュの目開きと、そのメッシュを２層重ねた場合の目開き（あるいはそのメッシュと別のメッシュとを重ねた場合の目開き）とを比較した場合、後者の方が、前者よりも、小さい（細かい）ことになる。

　メッシュ部材７’、７”においては、メッシュ中央部７ａの目開きが、メッシュ周辺部７ｂの目開きよりも小さい。そのため、メッシュ部材７’、７”においては、メッシュ中央部７ａを通過するめっき液の速度が、メッシュ周辺部７ｂを通過するめっき液の速度よりも、抑制される。

　メッシュ部材７、７’、７”を構成するメッシュの材質は任意であるが、たとえばナイロンを使用することができる。メッシュを複数層に重ねて使用する場合には、メッシュとメッシュとを、たとえば、接着剤によって接合するか、あるいは、重ね合わせたうえで端部を固定すればよい。

　めっき装置１００は、噴射部６の高さ方向の途中に、噴射部６の底面と平行に、流速制御板８が設けられている。流速制御板８は、特に図５（Ａ）から分かるように、平面方向に見たとき、中央部８ａと、中央部８ａの外側に設けられた周辺部８ｂと、を有している。

　流速制御板８の形状および寸法は任意であるが、本実施形態においては、直径２８ｍｍの円板状とした。また、中央部８ａの形状および寸法も任意であるが、本実施形態においては、直径２０ｍｍの円形とした。

　流速制御板８の材質は任意であるが、たとえば、塩化ビニールを使用することができる。

　流速制御板８には、両主面間を貫通して、複数の孔９（９ａ、９ｂ）が形成されている。孔９（９ａ、９ｂ）の形状は任意であるが、本実施形態においては、平面方向に見て円形にした。なお、孔９（９ａ、９ｂ）が円形であれば、レーザ光の照射や、ドリルによる穿孔よって、孔９（９ａ、９ｂ）を容易に形成することができる。

　本実施形態においては、中央部８ａに形成された孔９ａの各開口面積が、周辺部８ｂに形成された孔９ｂの各開口面積よりも小さい。具体的には、中央部８ａに形成された孔９ａの直径は、それぞれ１．２ｍｍであり、周辺部８ｂに形成された孔９ｂの直径は、それぞれ３．０ｍｍである。

　なお、本実施形態においては、孔９ａが形成された中央部８ａのパターン形状と、孔９ｂが形成された周辺部８ｂのパターン形状とが、相似形になっている。より具体的には、中央部８ａに所定の間隔を空けてマトリックス状（碁盤の目状）に複数の直径１．２ｍｍの孔９ａを形成した。そして、その形状を維持したまま、孔の間隔も含めて、孔の径が直径３．０ｍｍになるまで拡大し、拡大した孔の間隔と、拡大した孔の直径を用いて、周辺部８ｂに孔９ｂを形成した。したがって、本実施形態においては、中央部８ａにおける、単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積と、周辺部８ｂにおける、単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積とは等しい。

　ただし、単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積と、周辺部８ｂにおける、単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積とは、必ずしも等しい必要はない。中央部８ａを通過するめっき液の速度を、より効果的に抑制するためには、中央部８ａにおける、単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積が、周辺部８ｂにおける、単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積よりも、小さいことが好ましい。ただし、逆に、中央部８ａにおける、単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積が、周辺部８ｂにおける、単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積より大きくても、中央部８ａに形成された孔９ａの各開口面積が、周辺部８ｂに形成された孔９ｂの各開口面積よりも、十分に小さければ、周辺部８ｂを通過するめっき液の速度に比べて、中央部８ａを通過するめっき液の速度を抑制することができる。

　本実施形態のめっき装置１００の流速制御板８は、中央部８ａに形成された孔９ａの各開口面積が、周辺部８ｂに形成された孔９ｂの各開口面積よりも小さいため、中央部８ａを通過するめっき液にかかる抵抗が、周辺部８ｂを通過するめっき液にかかる抵抗よりも大きい。そのため、中央部８ａを通過するめっき液の速度が抑制されている。すなわち、めっき液などの流体が孔を通過するとき、孔の開口面積が小さいほど流体にかかる抵抗は大きく、孔の開口面積が大きいほど流体にかかる抵抗は小さい。周辺部８ｂに形成された孔９ｂの各開口面積をできるだけ大きくし、中央部８ａに形成された孔９ａの各開口面積をできるだけ小さくすることにより、周辺部８ｂを通過するめっき液の速度に比べて、中央部８ａを通過するめっき液の速度を抑制することができる。

　なお、図５（Ａ）に示すめっき装置１００の流速制御板８は、中央部８ａにおける単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積と、周辺部８ｂにおける単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積とが等しくなっているが、図５（Ｂ）に示す変形例の流速制御板８’のように、中央部８ａにおける単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積を、周辺部８ｂにおける単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積より、小さくしてもよい。すなわち、変形例の流速制御板８’は、中央部８ａに形成された複数の孔９ａの中心どうしの間隔と、周辺部８ｂに形成された複数の孔９ｂの中心どうしの間隔とを同じ寸法にしたうえで、孔９ａの直径を１．２ｍｍにし、孔９ｂの直径を３．０ｍｍにした。

　図５（Ｂ）の変形例の流速制御板８’は、（I）中央部８ａに形成された孔９ａの各開口面積が、周辺部８ｂに形成された孔９ｂの各開口面積よりも小さいことと、（II）中央部８ａにおける単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積が、周辺部８ｂにおける単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積よりも小さいことの、相乗効果によって、中央部８ａを通過するめっき液の速度が、更に抑制されている。

　ただし、繰り返しになるが、中央部８ａにおける、単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積が、周辺部８ｂにおける、単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積と、同じであるか、または、小さいことは、必須の構成ではない。中央部８ａにおける、単位面積あたりの複数の孔９ａの総開口面積が、周辺部８ｂにおける、単位面積あたりの複数の孔９ｂの総開口面積より大きくても、中央部８ａに形成された孔９ａの各開口面積が、周辺部８ｂに形成された孔９ｂの各開口面積よりも、十分に小さければ、周辺部８ｂを通過するめっき液の速度に比べて、中央部８ａを通過するめっき液の速度を抑制することができる。

　めっき装置１００は、流速制御板８と、第１噴射口６ａのメッシュ部材７との間に、中空部を有する筒状部材１０が設けられている。筒状部材１０の形状および寸法は任意であるが、流速制御板８の中央部８ａの形状、寸法と同じであることが好ましい。ただし、違っていても問題はない。本実施形態においては、筒状部材１０を、内径２０ｍｍの円筒形にした。本実施形態においては、図５（Ａ）に示すように、流速制御板８と筒状部材１０とを平面方向に見たとき、筒状部材１０の内側に流速制御板８の中央部８ａが配置され、筒状部材１０の外側に流速制御板８の周辺部８ｂが配置されている。

　筒状部材１０は、流速制御板８で発生させた、中央部８ａを通過しためっき液の速度（遅い）と、周辺部８ｂを通過しためっき液の速度（速い）との差を、メッシュ部材７が設けられた噴射部６の第１噴射口６ａまで、そのまま維持させるために設けられている。すなわち、筒状部材１０がなければ、中央部８ａを通過した速度の遅いめっき液と、周辺部８ｂを通過した速度の速いめっき液とが途中で混ざってしまい、メッシュ部材７が設けられた噴射部６の第１噴射口６ａにおいて、第１噴射口６ａの中央部から噴射されるめっき液の速度を、第１噴射口６ａの周辺部から噴射されるめっき液の速度よりも、遅くするという効果が弱まってしまうからである。

　筒状部材１０の下端は、流速制御板８と接していることが好ましい。しなしながら、筒状部材１０の下端と流速制御板８との間に、隙間が空いていても問題はない。また、筒状部材１０の上端は、メッシュ部材７と接していることが好ましい。しかしながら、筒状部材１０の上端とメッシュ部材７との間に、隙間が空いても問題はない。

　めっき装置１００は、パイプで形成された循環ライン１１を備えている。循環ライン１１の一端が、めっき槽１に形成された吸液口１２に接続されている。循環ライン１１の他端が、噴射部６の第２噴射口６ｂに接続されている。循環ライン１１の途中に、ポンプ１３と、フィルタ１４とが設けられている。循環ライン１１は、ポンプ１３が駆動されると、吸液口１２からめっき液を吸液し、第２噴射口６ｂからめっき液を噴射する。

　めっき装置１００は、金属管２および隔壁管３の下方、噴射部６の上方に、混合部１５を備えている。混合部１５は、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されためっき液と、めっき形成部４を下降してきた被めっき物、メディア、絶縁ボールとが混合される領域である。混合部１５は、本実施形態においては、絶縁性の材料からなり、上面に、逆円錐台状の掘り込みが形成されている。なお、逆円錐台とは、上底面が下底面よりも大きい円錐台をいう。ただし、掘り込みの形状は任意であり、逆円錐台状に代えて、すり鉢状などであってもよい。

　混合部１５の底面に、噴射部６の第１噴射口６ａが配置されている。上述したとおり、噴射部６の第１噴射口６ａに、メッシュ部材７が設けられている。第１噴射口６ａにメッシュ部材７が設けられているため、噴射部６の噴射が停止しているときも、被めっき物、メディア、絶縁ボールなどは、噴射部６の中に落ちない。

　めっき装置１００は、金属管２および隔壁管３の上方に、誘導部１６を備えている。誘導部１６は、噴射部６の第１噴射口６ａからの噴射により、金属管２の中空部２ａの内部に形成された、めっき液の上昇流に乗って上昇し、金属管２の中空部２ａの上側の開口から噴出（排出）された、被めっき物、メディア、絶縁ボールが、攪拌され、攪拌された後に、めっき形成部４に誘導される領域である。誘導部１６は、絶縁性の材料からなり、本実施形態においては、逆円錐台状をしている。誘導部１６の底面から、金属管２の上端が突出している。誘導部１６の底面に、金属管２の中空部２ａの上端が開口している。誘導部１６の底面が、隔壁管３に接続されている。

　めっき装置１００は、めっき槽１の開口の上方に、絶縁性の反射板１７を備えている。反射板１７は、デフレクタと呼ばれる場合がある。反射板１７は、めっき液の飛散を抑制するなどの役割を果たす。また、反射板１７の下面には、金属管２の支持部２ｂが取付けられている。また、反射板１７の下面には、円筒状の抑制板１７ａが形成されている。抑制板１７ａは、誘導部１６内に配置されている。めっき液は誘導部１６の上縁から外に溢れ出す場合があるが、抑制板１７ａは、誘導部１６からめっき液のみが溢れ出すようにし、被めっき物、メディア、絶縁ボールが溢れ出すのを抑制している。

　めっき装置１００は、電源１８を備えている。電源１８は、一方のラインが第１電極である金属管２の支持部２ｂに接続され、他方のラインが第２電極５に接続されている。電源１８は、第１電極である金属管２と、第２電極５との間に、電流を印加する。

　以上の構造からなる第１実施形態にかかるめっき装置１００は、流速制御板８と筒状部材１０とを設けたことにより、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の速度が、制御されている（調整されている）。具体的には、流速制御板８の中央部８ａを通過し、更に筒状部材１０の内側を通過し、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の速度が、流速制御板８の周辺部８ｂを通過し、更に筒状部材１０の外側を通過し、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の速度よりも、抑制されている（減速されている）。

　上述したとおり、第１電極である金属管２の内部を上昇するめっき液の速さは、金属管２の中心部ほど速く、金属管２の内壁に近い周辺部ほど遅い。また、噴射部６から噴射されるめっき液の流量を増やしたとき、金属管２の上端から外に噴出された被めっき物のうち、めっき槽に貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇する被めっき物は、主に、めっき液の速度が速い金属管２の中心部を、一気に上昇した被めっき物であると考えられる。

　めっき装置１００では、筒状部材１０の内側を通過して噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の速度が、筒状部材１０の外側を通過して噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の速度よりも遅いため、金属管２の中心部を上昇するめっき液の速度が抑制されている。より具体的には、めっき装置１００は、噴射部６から噴射されるめっき液の噴射量が一定のとき、流速制御板８および筒状部材１０を設けない場合に比べて、金属管２の中心部を上昇するめっき液の速度を小さくすることができる。

　したがって、めっき装置１００は、噴射部６から噴射されるめっき液の噴射量を増やし、被めっき物がめっき形成部４を１回通過するのに要する時間を短くし、被めっき物がめっき装置を循環する回数を増やしても、被めっき物が貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇し過ぎない。そのため、めっき装置１００は、被めっき物が貯留されためっき液の中の高い位置まで上昇することに起因して、被めっき物に、割れや、欠けや、めっき膜の剥がれなどの、不良が発生することが抑制されている。

（めっき装置１００の使用例）
　以下に、めっき装置１００を使用した、めっき工程の一例を示す。

　まず、めっき槽１に、所望のめっき液を投入する。

　次に、めっき槽１内の誘導部１６に、それぞれ、所望の形状、所望の寸法、所望の個数からなる、被めっき物、メディア、絶縁ボールを投入する。めっき液の投入と、被めっき物、メディア、絶縁ボールの投入とは、順番を入れ替えてもよい。投入された被めっき物、メディア、絶縁ボールは、めっき形成部４内に堆積する。

　次に、ポンプ１３を駆動させて、噴射部６の第１噴射口６ａからめっき液を噴射させる。この結果、金属管２の内部に、めっき液の上昇流が発生する。そして、めっき形成部４内に堆積していた、被めっき物、メディア、絶縁ボールの一部が、めっき形成部４の下端から混合部１５に取り出され、噴射されためっき液と混ざり、上昇流に乗って、金属管２の内部を上昇する。

　金属管２の内部を上昇した、被めっき物、メディア、絶縁ボールは、金属管２の上端から外に噴出され、攪拌される。

　攪拌された被めっき物、メディア、絶縁ボールは、既に、めっき形成部４に堆積している、別の被めっき物、メディア、絶縁ボールの上側に堆積する。

　新たに堆積した被めっき物、メディア、絶縁ボールは、めっき形成部４に堆積していた被めっき物、メディア、絶縁ボールの一部が、めっき形成部４の下端から混合部１５に取り出されることによって、徐々に下降する。以上により、被めっき物、メディア、絶縁ボールが、めっき装置１００の内部を循環する。

　次に、電源１８を駆動し、第１電極である金属管２と、第２電極５との間に、電流を印加する。この結果、めっき形成部４において、被めっき物へのめっきが開始される。

　所定の時間が経過し、被めっき物に所望の厚さのめっき膜が形成されたところで、電源１８を停止させ、被めっき物へのめっきを停止する。続いて、ポンプ１３を停止させ、被めっき物、メディア、絶縁ボールが、めっき装置１００の内部を循環するのを停止させる。

　めっき槽１から、被めっき物、メディア、絶縁ボールを取り出し、被めっき物を選別することにより、めっき工程が完了する。

（実験）
　本願発明の有効性を確認するために、以下の実験を実施した。具体的には、上述しためっき装置１００を使用して実施例１、実施例２を実施し、本発明のめっき装置以外のめっき装置を使用して比較例１を実施した。なお、本実験においては、流速制御板８の中央部８ａの直径の寸法や、筒状部材１０の内径の寸法などが異なっていても、流速制御板８と筒状部材１０とを備えていれば、そのめっき装置は、めっき装置１００に属するものとする。

　実施例１に使用しためっき装置１００と、実施例２に使用しためっき装置１００とでは、流速制御板８の中央部８ａの直径の寸法、および、筒状部材１０の内径の寸法が異なっている。また、比較例１に使用した本発明のめっき装置以外のめっき装置は、めっき装置１００とは異なり、流速制御板８と筒状部材１０とを備えていない。

　実施例１のめっき装置１００、実施例２のめっき装置１００、比較例１のめっき装置は、流速制御板８、筒状部材１０以外の構成については共通しており、たとえば、めっき形成部４の長さは、いずれも２２０ｍｍである。

　まず、実施例１を実施した。実施例１に使用しためっき装置１００は、流速制御板８を直径２８ｍｍの円形にし、流速制御板８の中央部８ａを直径１５ｍｍの円形にした。また、実施例１に使用しためっき装置１００は、筒状部材１０を内径１５ｍｍの円筒形にした。

　また、実施例１に使用しためっき装置１００は、流速制御板８の中央部８ａに直径１．２ｍｍの複数の孔９ａを形成し、流速制御板８の周辺部８ｂに直径３．０ｍｍの複数の孔９ｂを形成した。なお、孔９ａが形成された中央部８ａのパターン形状と、孔９ｂが形成された周辺部８ｂのパターン形状とは、相似形になっている。すなわち、孔９ｂが形成された周辺部８ｂのパターン形状は、孔９ａが形成された中央部８ａのパターン形状を、孔と孔の間の間隔も含めて、孔の径が直径３．０ｍｍになるまで拡大したものである。

　めっき装置１００のめっき槽１に、めっき液を収容した。

　めっき装置１００のめっき槽１内の誘導部１６に、被めっき物、メディア、絶縁ボールを投入した。被めっき物、メディア、絶縁ボールの総配合量は、１７２０ｃｃとした。配合比は、被めっき物を１３７６ｃｃ（８０体積％）、メディアを８６ｃｃ（５体積％）、絶縁ボールを２５８ｃｃ（１５体積％）とした。

　ポンプ１３を低出力で駆動させて、噴射部６の第１噴射口６ａからめっき液を噴射させ、被めっき物、メディア、絶縁ボールを、混合部１５、金属管２の中空部２ａ、誘導部１６、めっき形成部４、混合部１５の順番に循環させた。徐々にポンプ１３の出力を上げ、被めっき物、メディア、絶縁ボールの循環する速度を上げた。そして、金属管２の中空部２ａの上端から排出された被めっき物のうち、貯留されためっき液の中で、比較的、高く上昇するもの（噴き上がる）ものが、所定の高さになったとろで、ポンプ１３の出力を上げるのを止め、ポンプ１３の出力を一定にした。具体的には、金属管２の中空部２ａの上端から排出された被めっき物のうち、貯留されためっき液の中で、比較的、高く上昇するものが、金属管２の上端と、めっき槽１に収容されためっき液の液面との間の１／２の高さになったところで、ポンプ１３の出力を一定にした。

　次に、電源１８を駆動し、第１電極である金属管２と、第２電極５との間に電流を印加し、めっき形成部４において、被めっき物へのめっきを開始した。

　この状態で、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の噴射量（めっき液の流量）を測定した。また、この状態で、各被めっき物が、めっき形成部４を１回通過するのに要する時間を測定した。

　実施例１において、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の噴射量は、３９Ｌ／分であった。また、各被めっき物が、めっき形成部４を１回通過するのに要する時間は、１０．５秒であった。

　次に、実施例２を実施した。実施例２に使用しためっき装置１００は、流速制御板８を直径２８ｍｍの円形にし、流速制御板８の中央部８ａを直径２０ｍｍの円形にし、筒状部材１０を内径２０ｍｍの円筒形にした。

　また、実施例２に使用しためっき装置１００も、実施例１と同様に、流速制御板８の中央部８ａに直径１．２ｍｍの複数の孔９ａを形成し、流速制御板８の周辺部８ｂに直径３．０ｍｍの複数の孔９ｂを形成した。なお、孔９ａが形成された中央部８ａのパターン形状と、孔９ｂが形成された周辺部８ｂのパターン形状とは、実施例１と同様に、相似形になっている。

　実施例２においても、実施例１と同じ条件で、めっき装置１００のめっき槽１に、めっき液を収容した。

　実施例２においても、実施例１と同じ条件で、めっき装置１００のめっき槽１内の誘導部１６に、被めっき物、メディア、絶縁ボールを投入した。

　実施例２においても、実施例１と同じ条件で、ポンプ１３を低出力で駆動させ、続いて、徐々にポンプ１３の出力を上げ、金属管２の中空部２ａの上端から排出された被めっき物のうち、貯留されためっき液の中で、比較的、高く上昇するものものが、金属管２の上端と、めっき槽１に収容されためっき液の液面との間の、１／２の高さになったところで、ポンプ１３の出力を一定にした。続いて、電源１８を駆動し、第１電極である金属管２と、第２電極５との間に電流を印加し、めっき形成部４において、被めっき物へのめっきを開始した。

　実施例２においても、この状態で、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の噴射量（めっき液の流量）を測定した。また、この状態で、各被めっき物が、めっき形成部４を１回通過するのに要する時間を測定した。

　実施例２において、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の噴射量は、４０Ｌ／分であった。また、各被めっき物が、めっき形成部４を１回通過するのに要する時間は、６．１秒であった。

　次に、比較例１を実施した。比較例１に使用しためっき装置は、上述したとおり、流速制御板８と筒状部材１０とを備えていない。比較例１に使用しためっき装置のその他の構成は、めっき装置１００と同じにした。

　比較例１においても、実施例１、２と同じ条件で、めっき装置１００のめっき槽１に、めっき液を収容した。

　比較例１においても、実施例１、２と同じ条件で、めっき装置１００のめっき槽１内の誘導部１６に、被めっき物、メディア、絶縁ボールを投入した。

　比較例１においても、実施例１、２と同じ条件で、ポンプ１３を低出力で駆動させ、続いて、徐々にポンプ１３の出力を上げ、金属管２の中空部２ａの上端から排出された被めっき物のうち、貯留されためっき液の中で、比較的、高く上昇するものものが、金属管２の上端と、めっき槽１に収容されためっき液の液面との間の、１／２の高さになったところで、ポンプ１３の出力を一定にした。続いて、電源１８を駆動し、第１電極である金属管２と、第２電極５との間に電流を印加し、めっき形成部４において、被めっき物へのめっきを開始した。

　比較例１においても、この状態で、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の噴射量（めっき液の流量）を測定した。また、この状態で、各被めっき物が、めっき形成部４を１回通過するのに要する時間を測定した。

　比較例１において、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の噴射量は、３４Ｌ／分であった。また、各被めっき物が、めっき形成部４を１回通過するのに要する時間は、１６．７秒であった。

　実施例１、実施例２、比較例１の詳細および実験結果を、表１に示す。

　表1から分かるように、金属管２の中空部２ａの上端から排出された被めっき物のうち、貯留されためっき液の中で、比較的、高く上昇するものものが、金属管２の上端と、めっき槽１に収容されためっき液の液面との間の、１／２の高さになったところでポンプ１３の出力を一定にする（維持する）という条件下において、実施例１、実施例２は、いずれも、比較例１よりも、めっき液の流量が多く、かつ、被めっき物がめっき形成部４を１回通過するのに要する時間が短かった。

　また、実施例１と実施例２とを比較した場合、流速制御板８の中央部８ａの直径、および、筒状部材１０の内径の寸法が大きい実施例２の方が、流速制御板８の中央部８ａの直径、および、筒状部材１０の内径の寸法が小さい実施例１よりも、めっき液の流量が多く、かつ、被めっき物がめっき形成部４を１回通過するのに要する時間が短かった。本発明を実施する場合、めっき液の速度が抑制される、流速制御板８の中央部８ａの直径の寸法、および、筒状部材１０の内径の寸法を、比較的、大きくした方が、めっき液の流量を多くでき、かつ、被めっき物がめっき形成部４を１回通過するのに要する時間を短くできるものと考えられる。

　以上より、本発明によれば、被めっき物の不良発生を抑制しつつ、めっき液の流量を増やし、被めっき物がめっき装置を循環する回数を増やすことによって、形成されるめっき膜の厚さばらつきを抑制できることができることが分かった。

［第２実施形態］
　図７に、第２実施形態にかかるめっき装置２００を示す。ただし、図７は、めっき装置２００の要部平面図である。具体的には、図７は、めっき装置２００の流速制御板２８と筒状部材１０との平面図である。

　第２実施形態にかかるめっき装置２００は、上述した第１実施形態にかかるめっき装置１００の構成の一部に変更を加えた。以下に、その変更点について説明する。

　第１実施形態にかかるめっき装置１００の流速制御板８は、中央部８ａに形成された孔９ａの各開口面積が、周辺部８ｂに形成された孔９ｂの各開口面積よりも小さかった。これに対し、第２実施形態にかかるめっき装置２００の流速制御板２８は、中央部２８ａに形成された孔２９ａの各開口面積が、周辺部２８ｂに形成された孔２９ｂの各開口面積と同じになっている。ただし、めっき装置２００の流速制御板２８は、中央部２８ａに形成された孔２９ａの単位面積あたりの数が、周辺部２８ｂに形成された孔２９ｂの単位面積あたりの数よりも少なくなっている。めっき装置のその他の構成は、めっき装置１００と同じにした。

　第２実施形態にかかるめっき装置２００の流速制御板２８は、中央部２８ａに形成された、複数の孔２９ａの単位面積当たりの総開口面積が、周辺部２８ｂに形成された、複数の孔２９ｂの単位面積当たりの総開口面積よりも小さい。

　第２実施形態にかかるめっき装置２００においても、流速制御板２８の中央部２８ａを通過し、更に筒状部材１０の内側を通過し、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の速度が、流速制御板２８の周辺部２８ｂを通過し、更に筒状部材１０の外側を通過し、噴射部６の第１噴射口６ａから噴射されるめっき液の速度よりも、抑制される（減速される）。したがって、めっき装置２００においても、めっき膜の厚さのばらつきを抑制するなどの目的で、噴射部６から噴射されるめっき液の噴射量を増やし、被めっき物がめっき形成部４を１回通過するのに要する時間を短くし、被めっき物がめっき装置を循環する回数を増やしても、被めっき物に不良が発生しにくい。

　以上、第１実施形態および第２実施形態にかかるめっき装置について説明した。しかしながら、本願発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。

　たとえば、上記実施形態では、メッシュ部材７が、全体にわたって１層のメッシュで構成されていたが、たとえば、図６（Ａ）に示すように、メッシュ部材７’を、メッシュ中央部７ａと、メッシュ中央部７ａの外側に設けられたメッシュ周辺部７ｂとで構成し、メッシュ中央部７ａを複数層のメッシュで構成し、メッシュ周辺部７ｂを１層のメッシュで構成してもよい。この場合には、メッシュ部材７’においても、メッシュ中央部７ａを通過するめっき液の速度を、メッシュ周辺部７ｂを通過するめっき液の速度よりも抑制することができ、本発明の効果を更に高めることができる。

　本発明の一実施態様にかかるめっき装置は、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。

　このめっき装置において、中央部に形成された孔の各開口面積が、周辺部に形成された孔の各開口面積よりも小さいことも好ましい。この場合には、中央部に形成された各孔を通過するめっき液にかかる抵抗が、周辺部に形成された各孔を通過するめっき液にかかる抵抗よりも大きくなるため、周辺部を通過するめっき液の速度に比べて、中央部を通過するめっき液の速度を抑制することができる。この場合において、中央部に形成された複数の孔の単位面積当たりの総開口面積が、周辺部に形成された複数の孔の単位面積当たりの総開口面積と同じか、または、小さいことも好ましい。この場合には、中央部を通過するめっき液の速度を更に抑制することができる。

　また、中央部に形成された孔の各開口面積と周辺部に形成された孔の各開口面積とは同じであるが、中央部に形成された孔の単位面積あたりの数が、周辺部に形成された孔の単位面積あたりの数よりも少ないことも好ましい。この場合には、周辺部を通過するめっき液の速度に比べて、中央部を通過するめっき液の速度を抑制することができる。

　中央部に形成された複数の孔の単位面積当たりの総開口面積が、周辺部に形成された複数の孔の単位面積当たりの総開口面積よりも小さいことも好ましい。この場合には、周辺部を通過するめっき液の速度に比べて、中央部を通過するめっき液の速度を抑制することができる。

　これらのめっき装置において、流速制御板と筒状部材とを、平面方向に見たとき、筒状部材の内側に、流速制御板の中央部が配置され、筒状部材の外側に、流速制御板の周辺部が配置されることも好ましい。この場合には、流速制御板で発生させた、中央部を通過しためっき液の速度と、周辺部を通過しためっき液の速度との差を、噴射部の第１噴射口まで、そのまま維持させることができる。

　流速制御板を、平面方向に見たとき、中央部に形成された孔、および、周辺部に形成された孔が、それぞれ、円形であることも好ましい。この場合には、流速制御板への孔の形成が容易になる。

　メッシュ部材は、平面方向に見たとき、メッシュ中央部と、メッシュ中央部の外側に設けられたメッシュ周辺部と、を有し、メッシュ中央部の目開きが、メッシュ周辺部の目開きよりも、小さいことも好ましい。この場合には、メッシュ部材においても、メッシュ中央部を通過するめっき液の速度を、メッシュ周辺部を通過するめっき液の速度よりも抑制することができる。この場合において、メッシュ周辺部のメッシュ部材が１層のメッシュからなり、メッシュ中央部のメッシュ部材が複数層のメッシュからなることも好ましい。

　噴射部の直上に、中空部を有する筒状の金属管が設けられることも好ましい。この場合には、金属管の内部を上昇するめっき液の速さを制御することができ、特に、金属管の内部の中心部を上昇する速度の速いめっき液の流れを抑制させる（減速させる）ことができる。

　絶縁性の材質で作製され、中空部を有する筒状で、めっき液は通過させるが被めっき物は通過させない複数の孔が形成された隔壁管と、第２電極と、を備え、金属管は、第１電極であり、金属管と、隔壁管と、第２電極とは、それぞれ、めっき槽に収容され、隔壁管の中空部内に、金属管が配置され、隔壁管の内側と金属管の外側との間に、めっき形成部が形成され、隔壁管の外側に、第２電極が配置され、噴射部は、金属管の下方に設けられ、被めっき物は、噴射部が噴射させためっき液の上昇流に乗って、金属管の中空部の中を上昇し、金属管の中空部の上端から外に排出されて、めっき液の中で攪拌された後に、めっき形成部の中を降下し、降下中に、第１電極である金属管と、第２電極との間に、電流が印加されることによって、めっきされることも好ましい。この場合には、金属管の内部を上昇するめっき液の速さを制御することができ、特に、金属管の内部の中心部を上昇する速度の速いめっき液の流れを抑制させる（減速させる）ことができる。なお、第１電極は、たとえば、カソード電極であり、第２電極は、たとえば、アノード電極である。

１・・・めっき槽
２・・・金属管（第１電極；カソード）
２ａ・・・中空部
２ｂ・・・支持部
３・・・隔壁管
３ａ・・・中空部
３ｂ・・・孔
４・・・めっき形成部
５・・・第２電極（アノード）
６・・・噴射部
６ａ・・・第１噴射口
６ｂ・・・第２噴射口
７、７’、７”・・・メッシュ部材
７ａ・・・メッシュ中央部
７ｂ・・・メッシュ周辺部
８、２８・・・流速制御板
８ａ、２８ａ・・・中央部
８ｂ、２８ｂ・・・周辺部
９、２９・・・孔
９ａ、２９ａ・・・孔（中央部８ａに形成されたもの）
９ｂ、２９ｂ・・・孔（周辺部８ｂに形成されたもの）
１０・・・筒状部材
１１・・・循環ライン
１２・・・吸液口
１３・・・ポンプ
１４・・・フィルタ
１５・・・混合部
１６・・・誘導部
１７・・・反射板（デフレクタ）
１７ａ・・・抑制板
１８・・・電源

Claims

　被めっき物が含まれためっき液を貯留するめっき槽と、
　前記めっき槽に形成された、前記めっき液を噴射する噴射部と、を備え、
　前記噴射部から噴射された前記めっき液によって、前記めっき液に含まれた前記被めっき物が攪拌される、めっき装置であって、
　前記噴射部は、水平方向に拡がる底面と、前記底面から高さ方向に伸びる内壁と、前記内壁の上端に形成された開口とを有する内筒状であり、
　前記開口は、前記めっき槽に前記めっき液を噴射する第１噴射口であり、
　前記第１噴射口にメッシュ部材が設けられ、
　前記底面に、前記噴射部に前記めっき液を噴射する第２噴射口が設けられ、
　前記噴射部の前記高さ方向の途中に、前記底面と平行に、複数の孔が形成された流速制御板が設けられ、
　前記流速制御板は、平面方向に見たとき、中央部と、前記中央部の外側に設けられた周辺部と、を有し、
　前記中央部および前記周辺部に、それぞれ、複数の前記孔が形成され、
　前記流速制御板と、前記第１噴射口の前記メッシュ部材との間に、中空部を有する筒状部材が設けられた、
　めっき装置。
　前記中央部に形成された前記孔の各開口面積が、前記周辺部に形成された前記孔の各開口面積よりも小さい、
　請求項１に記載されためっき装置。
　前記中央部に形成された複数の前記孔の単位面積当たりの総開口面積が、前記周辺部に形成された複数の前記孔の単位面積当たりの総開口面積と同じか、または、小さい、
　請求項２に記載されためっき装置。
　前記中央部に形成された前記孔の各開口面積と前記周辺部に形成された前記孔の各開口面積とは同じであるが、前記中央部に形成された前記孔の単位面積あたりの数が、前記周辺部に形成された前記孔の単位面積あたりの数よりも少ない、
　請求項１に記載されためっき装置。
　前記中央部に形成された複数の前記孔の単位面積当たりの総開口面積が、前記周辺部に形成された複数の前記孔の単位面積当たりの総開口面積よりも小さい、
　請求項１に記載されためっき装置。
　前記流速制御板と前記筒状部材とを、平面方向に見たとき、
　前記筒状部材の内側に、前記流速制御板の前記中央部が配置され、
　前記筒状部材の外側に、前記流速制御板の前記周辺部が配置された、
　請求項１ないし５のいずれか１項に記載されためっき装置。
　前記流速制御板を、平面方向に見たとき、
前記中央部に形成された前記孔、および、前記周辺部に形成された前記孔が、それぞれ、円形である、
　請求項１ないし６のいずれか１項に記載されためっき装置。
　前記メッシュ部材は、平面方向に見たとき、メッシュ中央部と、前記メッシュ中央部の外側に設けられたメッシュ周辺部と、を有し、
　前記メッシュ中央部の目開きが、前記メッシュ周辺部の目開きよりも、小さい、
　請求項１ないし７のいずれか１項に記載されためっき装置。
　前記メッシュ周辺部の前記メッシュ部材が１層のメッシュからなり、
　前記メッシュ中央部の前記メッシュ部材が複数層のメッシュからなる、
　請求項８に記載されためっき装置。
　前記噴射部の直上に、中空部を有する筒状の金属管が設けられた、
　請求項１ないし９のいずれか１項に記載されためっき装置。
　絶縁性の材質で作製され、中空部を有する筒状で、前記めっき液は通過させるが前記被めっき物は通過させない複数の孔が形成された隔壁管と、
　第２電極と、を備え、
　前記金属管は、第１電極であり、
　前記金属管と、前記隔壁管と、前記第２電極とは、それぞれ、前記めっき槽に収容され、
　前記隔壁管の前記中空部内に、前記金属管が配置され、前記隔壁管の内側と前記金属管の外側との間に、めっき形成部が形成され、
　前記隔壁管の外側に、前記第２電極が配置され、
　前記噴射部は、前記金属管の下方に設けられ、
　前記被めっき物は、
　前記噴射部が噴射させた前記めっき液の上昇流に乗って、前記金属管の前記中空部の中を上昇し、
　前記金属管の前記中空部の上端から外に排出されて、前記めっき液の中で攪拌された後に、
　前記めっき形成部の中を降下し、
　前記降下中に、前記第１電極である前記金属管と、前記第２電極との間に、電流が印加されることによって、めっきされる、
　請求項１０に記載されためっき装置。
　前記第１電極が、カソード電極であり、
　前記第２電極が、アノード電極である、
　請求項１１に記載されためっき装置。