WO2024063447A1 - 검사용 푸셔장치 - Google Patents

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WO2024063447A1
WO2024063447A1 PCT/KR2023/013896 KR2023013896W WO2024063447A1 WO 2024063447 A1 WO2024063447 A1 WO 2024063447A1 KR 2023013896 W KR2023013896 W KR 2023013896W WO 2024063447 A1 WO2024063447 A1 WO 2024063447A1
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WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
inspection
pusher
top plate
base
operating lever
Prior art date
Application number
PCT/KR2023/013896
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
김원균
방성환
박준형
정영배
Original Assignee
주식회사 아이에스시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이에스시 filed Critical 주식회사 아이에스시
Publication of WO2024063447A1 publication Critical patent/WO2024063447A1/ko

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer

Definitions

  • the present invention relates to a pusher device for inspection, which can increase the stability and reliability of inspection in which a large pressing force is generated even with a small force.
  • the pusher device for inspection presses the device to be inspected, such as a semiconductor chip manufactured in various shapes, and allows the device to be inspected to come into contact with the terminal of the inspection device placed on the lower side, so that the inspection device can be inspected for abnormalities. It is a device.
  • This pusher device for inspection consists of an electric pusher device that transmits pressing force to the device to be inspected by an electric driving means and a manual pusher device that applies pressing force depending on the force of the operator. Since the manual pusher device has a simpler structure than the electric pusher device, it is mainly used when the installation space is narrow due to height restrictions.
  • FIG. 1 to 3 show a manual pusher device 1, and this inspection pusher device 1 is disposed on the top plate 2 and the upper side of the inspection substrate 92 and has an inspection target device ( A base 3 in which 90 is stored, a pusher part 4 installed on the top plate 2 to press the test device stored in the base 3, and the base 3 and the top plate 2 ) and includes a latch means (5) for firmly coupling them together.
  • This test pusher device 1 lowers the top plate 2 with the test subject device 90 stored inside the base 3, so that the pusher unit 4 moves the test subject device 90 to the test substrate. After making close contact with the (92) side, a predetermined electrical test is performed.
  • the latch means (5) is used to securely couple the top plate (2) to the base (3).
  • the latch means (5) is hinged to the top plate (2) using the principle of a lever. In the process of being coupled to the base (3), force is applied to the upper part of the latch means (5) so that the hooks at the bottom of the latch are spread apart. After the top plate (2) is placed in the desired position, the force applied to the latch is removed and the hook at the bottom of the latch is fixed to the base (3) by the elastic restoring force caused by the spring.
  • This fine-pitch semiconductor device 90 has a large number of terminals, so a large pressing force is required to bring all of the numerous terminals into close contact with the inspection substrate 92. If a large pressing force is required, a spring with high elastic reaction force must be used to fix the locking position of the latch hanging on the base (3). However, springs with high elastic repulsion force have the problem that workers must apply excessive force to operate the latch.
  • the present invention was created to solve the above-mentioned problems. More specifically, it provides an inspection pusher device that generates a large pressing force even with a small amount of force and is easy to install and mount, thereby increasing the reliability of inspection of the device to be inspected.
  • the purpose is to provide
  • the pusher device for inspection of the present invention for achieving the above-described object includes a base installed on the upper part of the inspection device, a receiving space inside which a device to be inspected is formed, and a locking portion provided on the outer circumferential surface;
  • top plate disposed on the upper part of the base, having a storage hole formed at a position corresponding to the receiving space, and a fixing part provided on the outer peripheral surface;
  • a pusher that is inserted into the storage hole of the top plate, coupled to the top plate, and capable of pressing the test target device stored in the receiving space toward the test device;
  • the fastening means is,
  • An operating lever provided on one side with a first grip portion and the other side hinged to the engaging portion of the base, and an operating lever hinged to the operating lever and having a free end that can be engaged with the engaging portion of the base by the operation of the operating lever. It includes a hook latch movable between a locking position and a release position where the free end is separated from the locking portion,
  • the operating lever In the locked position, the operating lever is disposed substantially parallel to the hook latch.
  • the operating lever and the fixing part of the top plate are hingedly connected by a first hinge shaft
  • the operating lever and the hook latch may be hingedly connected by a second hinge shaft.
  • the free ends of the second hinge shaft, the first hinge shaft, and the hook latch may be substantially linearly connected and aligned in the vertical direction.
  • the first hinge shaft may be located below the second hinge shaft.
  • the hook latch By moving the second hinge shaft in the horizontal direction, the hook latch can be moved from the locked position to the unlocked position.
  • the operating lever and the hook latch may be arranged to form a predetermined inclination angle with respect to each other.
  • the operating lever is,
  • It includes a first gripping part and an operating part extending from the first gripping part and connected to the first hinge shaft and the second hinge shaft,
  • the first gripping part may be bent outward from the end of the operating part.
  • the hook latch is,
  • It includes a hook body provided at a free end and connected to a second hinge shaft, and a second grip portion disposed on the upper side of the hook body,
  • the second holding portion may be configured to be bent outward from the hook body.
  • a first spring may be provided between the first gripping part and the second gripping part to elastically bias the first gripping part away from the second gripping part.
  • the operating lever may be elastically biased from the release position toward the locking position by the second spring.
  • the locking part of the base is,
  • It may include a pair of supports protruding from one side of the base and spaced apart from each other, and a hook pin that is inserted into the supports and into which a hook latch is engaged.
  • the locking part of the base is,
  • It may include a hook bar that protrudes from one side of the base, extends in the horizontal direction, and has a cross-sectional shape into which a hook latch is inserted into the bottom surface.
  • the inspection pusher device of the present invention to achieve the above-described purpose,
  • test pusher device used for electrical connection between the test subject device and the test device and to press the test subject device toward the test device
  • a base installed on the upper part of the inspection device and provided with a locking portion on the outer peripheral surface;
  • a top plate disposed on the upper part of the base, having a storage hole formed thereon, and having a fixing part on the outer peripheral surface;
  • a pusher coupled to the top plate within a storage hole of the top plate
  • the fastening means is,
  • An operating lever in which a first hinge shaft is connected to one free end that is hinged to the fixed part of the top plate and a second hinge shaft is connected to the other side, one side of which is engaged with a locking portion of the base, and the other side of which is connected to the second hinge shaft. It includes a hook latch that is coupled and operates in conjunction with the operating lever,
  • the operating lever and the hook latch are arranged in a line on a straight line connecting the first hinge shaft and the second hinge shaft.
  • the pusher is,
  • a pusher body at least a portion of which is inserted into the storage hole of the top plate
  • It is disposed on the upper side of the pusher body and may include a heat transfer portion disposed on the top plate and having a plurality of heat transfer fins protruding upward.
  • the base is provided with a receiving space inside which the device to be inspected is accommodated,
  • the pusher body may include a first part that contacts the test device accommodated in the receiving space, and a second part that is disposed above the first part and has a larger area than the first part.
  • a through hole penetrating in the vertical direction is provided in a portion of the second part that protrudes in the horizontal direction from the first part, and a bolt passes through the through hole and is fastened to the top plate to couple the pusher to the top plate.
  • the bolt includes a bolt head and a pillar part that has an outer diameter smaller than the bolt head and is fastened to the top plate, and a third spring is disposed between the bolt head and the top plate to be inserted into the pillar part, so that the pusher is inspected.
  • the device can be flexibly pressurized.
  • the operating lever and the hook latch are arranged not to be parallel to each other.
  • the inclination angle may increase as the hook latch moves from the locked position to the unlocked position.
  • the inspection pusher device has the advantage of increasing the ease of installation by additionally installing an operating lever hinged to the hook latch, thereby generating a large acting force with a small amount of force.
  • the inspection pusher device has the advantage of being able to withstand a large reaction force because the operating lever and the hook latch are configured to exert maximum force in a straight line position parallel to each other.
  • the present invention is fastened in a two-stage manner in which the operating lever rotates inward while the hook latch is hung on the base, thereby improving the fixing force, and thus has the advantage of being able to stably test multiple semiconductor devices at the same time.
  • Figure 1 is a perspective view of a pusher device for inspection according to the prior art.
  • Figure 2 is a cross-sectional view of the inspection pusher device of Figure 1.
  • Figure 3 is an operating diagram of the inspection pusher device of Figure 1.
  • Figure 4 is an exploded perspective view of a pusher device for inspection according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a combined perspective view of Figure 4.
  • Figure 6 is a plan view of the inspection pusher device of Figure 5.
  • Figure 7 is a side view of the inspection pusher device of Figure 5 as seen from one side.
  • Figure 8 is a side view of the inspection pusher device of Figure 5 as seen from the other side.
  • Figure 9 is a rear view of the inspection pusher device of Figure 5 viewed from below.
  • Figure 10 is a cross-sectional view taken along line X-X of Figure 6.
  • Figure 11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI of Figure 6.
  • Figure 12 is a partially exploded perspective view of the inspection pusher device of Figure 5.
  • FIGS 13 to 15 are diagrams showing the operation of the inspection pusher device of Figure 4.
  • Figure 16 is a diagram showing a pusher device for inspection according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 17 is a cross-sectional view of Figure 16.
  • Embodiments of the present disclosure are illustrated for the purpose of explaining the technical idea of the present disclosure.
  • the scope of rights according to the present disclosure is not limited to the embodiments presented below or the specific description of these embodiments.
  • a component when referred to as being “connected” or “connected” to another component, it means that the component can be directly connected or connected to the other component, or as a new component. It should be understood that it can be connected or connected through other components.
  • the direction indicator “upward” used in the present disclosure is based on the direction in which the pusher device is positioned with respect to the inspection substrate, and the direction indicator “downward” refers to the direction opposite to upward.
  • the direction indicator “vertical direction” used in the present disclosure includes an upward direction and a downward direction, but should be understood not to mean a specific one of the upward direction and the downward direction.
  • the embodiments described below and the examples shown in the accompanying drawings relate to the pusher device 10 for inspection used for electrical connection between the inspection apparatus and the device to be inspected 90.
  • the pusher device 10 for inspection in the embodiments may be used to electrically connect the inspection device and the device 90 to be inspected when the device 90 to be inspected is inspected.
  • the pusher device 10 for inspection in the embodiments may be used for a burn-in test of the device under inspection 90 in a post-process during the manufacturing process of the device under inspection 90. According to the burn-in test, thermal stress is applied to the device under test 90 at a high temperature of about 80°C to 125°C.
  • the device under test 90 operates at a high temperature and with a high electric field applied, so the device under test 90 that cannot withstand the test conditions of the burn-in test generates a defect. Accordingly, the device under test 90 that may cause an initial defect can be inspected through the burn-in test. Examples of inspections to which the inspection pusher device 10 of the embodiments are applied are not limited to the burn-in test described above.
  • the test pusher device 10 is mounted on the test device and is configured to accommodate the test target device 90 therein and press the test target device 90 toward the test device. Specifically, the test pusher device 10 accommodates the test subject device 90 therein and places it on the test device. The test of the device under test 90 is performed by a test device via a test socket mounted on the test device.
  • the device under test 90 may be a semiconductor package, but is not limited thereto.
  • a semiconductor package is a semiconductor device in which a semiconductor IC chip, multiple lead frames, and multiple terminals are packaged in a hexahedral shape using a resin material.
  • the semiconductor IC chip may be a memory IC chip or a non-memory IC chip.
  • As the terminal, a pin, solder ball, etc. may be used.
  • the device under test 90 has a plurality of hemispherical terminals 91 on its lower side.
  • the test device may be configured to perform a burn-in test of the device under test 90.
  • the inspection device has an inspection board 92 on which a test socket is mounted.
  • the inspection board 92 may have a plurality of terminals 91 capable of outputting electrical test signals and receiving response signals.
  • the terminal 91 of the device under test 90 is electrically connected to the terminal 91 of the corresponding test board 92 through a test socket. That is, the test socket electrically connects the terminal 91 of the device under test 90 and the pad 93 of the corresponding test board 92 in the vertical direction VD, thereby connecting the terminal 91 and the pad 93. ) transmits the electrical test signal and response signal.
  • the pusher device 10 for inspection includes a base 20, a top plate 30, a pusher 40, and a fastening means 50.
  • the base 20 is disposed on the upper side of the inspection substrate 92, and is specifically positioned on the upper side of the inspection substrate 92 in the vertical direction (VD).
  • the base 20 is formed in an approximately hexahedral shape and has a flat upper and lower surfaces.
  • the base 20 may be detachably mounted on the inspection board 92 of the inspection device.
  • a pair of fitting pins 21 are provided at the center of the upper surface of the base 20. The fitting pin 21 functions to align the top plate 30 so that it is positioned in the correct position during the process of seating the top plate 30 on the upper part of the base 20.
  • the base 20 is formed with a plurality of receiving spaces 22 in which the test target device 90 is accommodated. Specifically, a total of four receiving spaces 22 (2 x 2) are formed in the base 20, and the test subject device 90 can be seated in each receiving space 22.
  • a pair of locking portions 23 facing each other in the first horizontal direction HD1 are formed on the base 20.
  • the locking portion 23 protrudes outward from the outer peripheral surface of the base 20 and is configured to engage the hook latch 52.
  • the locking portion 23 includes a pair of supports 231 that protrude from one side of the base 20 and are spaced apart from each other, and a hook pin 232 that is inserted into the supports 231 and into which the hook latch 52 is inserted. ) includes.
  • the hook portion 522b of the hook latch 52 is configured to be inserted into the hook pin 232.
  • the hook portion 522b has a hook shape.
  • the hook portion 522b is formed at the free end of the hook latch 52.
  • An insert 70 is disposed inside the receiving space 22. This insert 70 functions to accurately guide the position of the test subject device 90 inserted into the receiving space 22.
  • the insert 70 is configured to have an approximately square frame shape. Since four receiving spaces 22 are formed in one base 20, four inserts 70 are prepared and inserted into the receiving spaces 22.
  • An elastic conductive sheet 80 on which the device under test 90 is seated is provided inside the insert 70 when the device under test 90 is inspected.
  • the elastic conductive sheet 80 electrically connects the terminal 91 of the device under test 90 and the test board 92 to each other, and is also called a test socket.
  • This elastic conductive sheet 80 functions to prevent damage to the inspection substrate by preventing the impact force applied from the descending inspection target device from being directly transmitted to the inspection substrate.
  • the elastic conductive sheet 80 may be made of an elastic polymer material, and the elastic conductive sheet 80 may have elasticity in the vertical direction (VD) and the horizontal direction (HD). When an external force is applied to the elastic conductive sheet 80 downward in the vertical direction (VD), the elastic conductive sheet 80 may be elastically deformed in the downward and horizontal directions (HD).
  • the external force may be generated when the pusher 40 pushes the device under test 90 toward the elastic conductive sheet 80. Due to this external force, the terminal 91 of the device to be inspected 90 and the elastic conductive sheet 80 may be brought into contact in the vertical direction (VD), and the pad of the elastic conductive sheet 80 and the inspection substrate 92 ( 93) may be contacted in the vertical direction (VD). When the external force is removed, the elastic conductive sheet 80 can be restored to its original shape.
  • the elastic conductive sheet 80 includes a plurality of elastic conductive portions 81.
  • the elastic conductive portion 81 contacts the terminal 91 of the device to be tested 90 in the vertical direction VD.
  • the elastic conductive portion 81 electrically connects the terminal 91 of the device to be inspected 90 and the pad 93 of the inspection substrate 92.
  • the elastic conductive portion 81 is in contact with the terminal 91 of the device under test 90 at its upper end and is in contact with the upper end of the pad 93 of the test substrate 92 at its lower end. Accordingly, the elastic conductive portion 81 forms a conductive path in the vertical direction between the corresponding pad 93 and the terminal 91.
  • the test signal of the test device may be transmitted from the test substrate 92 to the device under test 90 through the elastic conductive portion 81, and the response signal of the device under test 90 may be transmitted from the terminal 91 to the elastic conductive portion. It can be transmitted to the inspection board 92 through (81).
  • the elastic conductive portion 81 may have a cylindrical shape extending in the vertical direction (VD). In this cylindrical shape, the diameter at the middle may be smaller than the diameter at the top and bottom.
  • the planar arrangement of the elastic conductive parts 81 may vary depending on the planar arrangement of the terminal 91 of the device under test 90. In one embodiment, the elastic conductive parts 81 may be arranged in a pair of matrix form, but are not limited to this arrangement form.
  • the elastic conductive sheet 80 includes an elastic insulating portion 82 that separates and insulates the plurality of elastic conductive portions 81 in the horizontal direction (HD).
  • the elastic conductive sheet 80 includes a frame member (not shown) coupled to the elastic insulating part 82 along the circumference of the elastic insulating part 82 and supporting the elastic insulating part 82.
  • the elastic insulating portion 82 may form a square elastic region of the elastic conductive sheet 80.
  • the plurality of elastic conductive parts 81 are spaced apart and insulated from each other at equal or unequal intervals in the horizontal direction (HD) by the elastic insulating part 82.
  • the elastic insulating portion 82 is formed as one elastic body, and the plurality of elastic conductive portions 81 are embedded in the elastic insulating portion 82 in the thickness direction (vertical direction VD) of the elastic insulating portion 82. .
  • the elastic insulating portion 82 made of an elastic material maintains the elastic conductive portion 81 in its shape.
  • the elastic insulating portion 82 is made of an elastic polymer material and has elasticity in the vertical direction (VD) and horizontal direction (HD).
  • the elastic insulation portion 82 may be made of a hardened silicone rubber material.
  • liquid silicone rubber may be injected into a mold for forming the elastic conductive sheet 80 and hardened, thereby forming the elastic insulating portion 82.
  • a liquid silicone rubber material for forming the elastic insulating portion 82 addition-type liquid silicone rubber, condensation-type liquid silicone rubber, liquid silicone rubber containing a vinyl group or a hydroxy group, etc. may be used.
  • the liquid silicone rubber material may include dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, methylphenyl vinyl silicone raw rubber, etc.
  • a silicone rubber material with excellent heat resistance properties may be used so that the test socket of one embodiment can be applied to a burn-in test.
  • the elastic conductive portion 81 includes a plurality of conductive metal particles 811 that are electrically contactable in the vertical direction VD.
  • the conductive metal particles 811 may be formed by covering the surface of the core particle with a highly conductive metal.
  • the core particle may be made of a metal material such as iron, nickel, or cobalt, or may be made of an elastic resin material.
  • gold, silver, rhodium, platinum, chromium, etc. can be used.
  • Conductive metal particles 811 in contact with each other in a vertical direction form a conductive path of the elastic conductive portion 81.
  • the conductive metal particles 811 may be maintained in the shape of the elastic conductive portion 81 by the elastic polymer material forming the elastic insulating portion 82.
  • the top plate 30 is disposed on the upper part of the base 20, has a storage hole 311 formed at a position corresponding to the receiving space 22, and has a fixing part 32 on the outer peripheral surface.
  • the top plate 30 has a hexahedral shape similar to the base 20.
  • the external dimensions of the top plate 30 are configured to be the same as the external dimensions of the base 20.
  • a plurality of storage units 31 are arranged in a grid shape in the first horizontal direction HD1 and the second horizontal direction HD2.
  • Each storage unit 31 is disposed at an upward position corresponding to the storage space 22.
  • the receiving portion 31 is formed in the form of a groove concave downward from the upper surface of the top plate 30, and is configured so that the second portion 422 of the pusher 40 is seated on the bottom surface of the receiving portion 31. .
  • a storage hole 311 through which the first part 421 of the pusher 40 passes is provided at the center of the storage portion 31.
  • a first through hole 312 penetrating in the vertical direction is formed around the storage hole 311.
  • the pillar portion 442 of the bolt 44 is inserted and configured to pass through the first through hole 312.
  • a fixing part 32 facing in the first horizontal direction HD1 is protruded.
  • the fixing portion 32 is provided to protrude outward from both outer surfaces of the top plate 30. Two fixing parts 32 arranged on each outer surface are spaced apart from each other based on the center of the outer surface.
  • a first shaft hole 321 penetrating in the second horizontal direction HD2 is formed in the fixing part 32.
  • the first hinge shaft 60 is configured to be fitted and coupled to the first shaft hole 321.
  • a fitting groove (not shown) is formed in the bottom of the top plate 30.
  • the fitting groove is disposed in a position corresponding to the fitting pin 21 of the base 20, and the fitting protrusion is coupled to the fitting groove to align the top plate 30 with respect to the base 20. It becomes possible.
  • the pusher 40 is inserted into the storage hole 311 of the top plate 30, is coupled to the top plate 30, and moves the test subject device 90 stored in the receiving space 22 toward the test device. It can be pressurized.
  • This pusher 40 when the top plate 30 is fixed to the base 20 by the fastening means 50, presses the device under test 90 toward the test device to press the terminal ( 91) provides pressing force so that they can come into close contact with the inspection board 93.
  • This pusher 40 consists of a pusher portion 41, a bolt 44, and a third spring 45.
  • the pusher unit 41 includes a pusher body 42 and a heat transfer unit 43.
  • At least a portion of the pusher body 42 protrudes downward through the storage hole 311 of the top plate 30, and its lower end is in contact with the upper surface of the device to be inspected 90 seated inside the base. It is configured to provide pressing force to the device to be inspected (90).
  • This pusher body 42 has a first part 421 in contact with the test device 90 accommodated in the receiving space 22, is disposed on the upper side of the first part 421, and is provided with the first part 421. It includes a second portion 422 having an area larger than 421.
  • the first part 421 has a smaller cross-sectional area than the storage hole 311 so that it can be inserted into the storage hole 311 of the top plate 30 and has an approximately hexahedral shape.
  • the second part 422 has a larger area than the first part 421 and is provided in the shape of a square plate on top of the first part 421.
  • An insertion portion 422a is formed in a portion of the second portion 422 that protrudes outward from the first portion 421.
  • the insertion portion 422a has a first large-diameter groove concave downward from the upper surface of the first portion 421, extends downward from the first large-diameter groove, and has an area smaller than the first large-diameter groove. It consists of a first small diameter hole penetrating the second part (422).
  • the first large diameter groove has an inner diameter corresponding to the bolt head 441 of the bolt 44, and the pillar portion 442 of the bolt 44 is inserted into and penetrates the first small diameter hole.
  • the heat transfer unit 43 is disposed on the upper side of the pusher main body 42 and has a plurality of heat transfer fins protruding from the upper surface of the pusher main body 42. This heat transfer unit 43 is used to remove heat from the device under test 90 or to supply heat to the device under test 90 when the pusher body 42 contacts the device under test 90 . That is, in the burn-in test, heat must be applied to the device under test 90, and the heat received from the high temperature air is transferred to the device under test 90 through the heat transfer unit 43.
  • the bolt 44 includes a bolt head 441 and a pillar portion 442 that has an outer diameter smaller than the bolt head 441 and is coupled to the top plate 30.
  • the pillar portion 442 passes through the insertion portion 422a and is inserted into the first through hole 312 of the top plate 30.
  • the insertion portion 422a is fixed to the first through hole 312 by screwing.
  • the third spring 45 is inserted into the pillar portion 442 between the bolt head 441 and the top plate 30.
  • the third spring 45 elastically presses the pusher 40 against the device to be inspected (90).
  • This third spring 45 is a compression coil spring, and is located between the bolt head 441 and the second part 422 of the pusher body 42 in a state inserted into the outer periphery of the pillar portion 442 and the pusher portion ( 41) provides a pressing force so that the device under test 90 can be pressed toward the inspection substrate.
  • the pusher 40 can provide a soft pressing force to the device to be inspected 90.
  • the fastening means 50 fixes the top plate 30 to the base 20 and includes an operating lever 51, a hook latch 52, a first spring 53, and a second spring ( 54).
  • This fastening means 50 generates a large fastening force with a small amount of force.
  • the fastening means 50 is configured to exert maximum fastening force when the hook latch 52 is located in the locked position.
  • the hook latch 52 can be moved from the locked position to the unlocked position or from the unlocked position to the locked position with a small amount of force by the fastening means 50.
  • the hook latch 52 is configured so that it cannot be moved from the locked position to the released position by external force once fastened.
  • the operating lever 51 has a first hinge shaft 60 connected to one free end that is hinged to the fixing portion 32 of the top plate 30, and a second hinge shaft 61 connected to the other side. .
  • This operating lever 51 includes a first gripping portion 511 and an operating portion 512 extending from the first gripping portion 511 and connected to the first hinge shaft 60 and the second hinge shaft 61. Includes.
  • the first gripping part 511 is a part that protrudes outward and has a structure that can be gripped by the operator's hand.
  • the operating unit 512 is formed by bending at a right angle from the first gripping unit 511, has a rectangular cross-section, and is configured to extend long in the second horizontal direction HD2.
  • a 2-1 shaft hole 512a extending long in the second horizontal direction is formed on the upper part of the operating unit 512, and a 1-1 shaft hole 512a extending long in the second horizontal direction is formed on the lower side of the operating unit 512.
  • a hole 512b is formed.
  • the second hinge shaft 61 is inserted into the 2-1 shaft hole 512a, and the first hinge shaft 60 is inserted into the 1-1 shaft hole 512b.
  • the operating part 512 is hingedly connected to the fixing part 32 of the top plate 30 by the first hinge shaft 60 and is configured to rotate, and the operating lever 51 is connected by the second hinge shaft 61. ) and the hook latch 52 are configured so that they can be hinged together.
  • the operating lever 51 rotates in a direction away from the top plate 30, that is, outward, with the first hinge shaft 60 as the center of rotation. It is structured so that it can be done. Specifically, the operating lever 51, which is erected in the vertical direction (VD) while pressing the first gripping portion 511 so that the second hinge shaft 61 can move in the horizontal direction at the locking position, is connected to the first hinge shaft 60. ) and moves to the release position.
  • VD vertical direction
  • the operating lever 51 and the hook latch 52 which are erected in the vertical direction (VD) in the locking position, are configured to be arranged in a V-shaped manner in the releasing position.
  • the hook latch 52 is hinged to the operating lever 51 and has a locking position where the free end can be engaged with the locking portion 23 of the base 20 by the operation of the operating lever 51. , the free end is movable between release positions where it is separated from the locking portion (23).
  • This hook latch 52 includes a second gripping portion 521 and a hook body 522.
  • the second gripping part 521 is disposed at a position facing the first gripping part 511, and is a part that the worker can hold by hand together with the first gripping part 511.
  • the hook body 522 is bent and extended at a right angle from the second grip portion 521, has a rectangular cross-section, and is configured to extend long in the second horizontal direction HD2.
  • a 2-2 shaft hole 522a extending long in the second horizontal direction HD2 is formed at the upper end of the hook body 522, and a hook portion 522b in the form of a hook bent inward is formed at the lower free end. It is structured to provide.
  • the second hinge shaft 61 is inserted into the 2-2 shaft hole 522a, and thus is hinged to the upper part of the operation lever 51 by the second hinge shaft 61.
  • the operating part 512 and the hook body 522 are arranged in a vertical direction at the locking position where the top plate 30 is fixedly coupled to the base 20, and the lower end of the hook body 522 is aligned with the base 20. ) is configured to be engaged with the engaging portion 23.
  • the operating unit 512 having a rectangular bar-shaped cross section and the hook body 522 are erected in the vertical direction (VD) at the hooked position.
  • VD vertical direction
  • the free ends of the second hinge shaft 61, the first hinge shaft 60, and the hook latch are arranged substantially in a straight line and are configured to be aligned in the vertical direction.
  • the first hinge shaft 60 is located below the second hinge shaft 61, and the locking portion 23 of the base 20 is located straight below it.
  • the operating lever 51 and the hook latch 52 are arranged linearly, that is, substantially parallel to each other, so that even if a large force is applied to the locking portion 23, the operating lever 51 and the hook latch 52 remain in place. It becomes difficult to move (52) in the release direction.
  • the first spring 53 is disposed between the first gripping part 511 and the second gripping part 521, and moves the first gripping part 511 in a direction away from the second gripping part 521. This is to create an elastic bias. Specifically, the first spring 53 can maintain the locked state by positioning the first gripping part 511 away from the second gripping part 521 so that the operating lever 51 can be positioned in the vertical direction. Let it happen.
  • the second spring 54 is a torsion spring whose one end is fixed to the operating lever 51 and the other end is fixed to the back of the top plate 30 when inserted into the first hinge shaft.
  • the second spring 54 is configured to elastically bias the operating lever 51 from the release position to the locking position. Specifically, it is configured to provide a rotational force to prevent it from moving from the locked position to the unlocked position.
  • the inspection pusher device 10 operates as follows.
  • Figure 13 shows the state before the top plate 30 is coupled to the base 20.
  • the hook latch 52 is in the unlocked position.
  • the worker closes the first gripping part 511 and the second gripping part 521 by hand so that the hook part 522b at the bottom of the hook latch 52 is held in the first horizontal direction as much as possible so as not to get caught in the catching part 23. Maintain the separation distance.
  • the top plate 30 is coupled to the base 20.
  • the terminal 91 of the device under test 90 is configured to be pressed toward the inspection substrate 93 by the pusher 40.
  • the terminal 91 of the device to be inspected 90 is pressed against the upper surface of the elastic conductive portion 81 of the elastic anisotropic sheet, and the terminals 91 of all devices to be inspected 90 are pressed against the elastic conductive portion 81. It is configured to be in close contact with the upper surface, and the pad 93 of the inspection board and the terminal 91 of the device to be inspected 90 are in an electrically conductive state.
  • the first holding part 511 is rotated clockwise away from the top plate 30, that is, outward, so that the hook part 522b of the hook latch 52 is caught by the base 20. It causes wealth (23) to be caught.
  • the operating lever 51 when the operator rotates the first gripping part 511 counterclockwise in the direction approaching the top plate 30, that is, inward, the operating lever 51 is connected to the first hinge.
  • the operating lever 51 may be erected in the vertical direction (VD) while rotating around the shaft 60.
  • the hook latch 52 hinged to the operating lever 51 is also vertically positioned on the same straight line (S) as the operating lever 51 with the lower hook portion 522b hanging on the catching portion 23. It is erected in the direction (VD).
  • the top plate 30 can sufficiently withstand the external force that tries to separate it from the base 20.
  • an electrical test is performed on the test device 90 by applying a predetermined electrical signal from the test device.
  • the hook latch 52 is connected to the base 20 by proceeding in the reverse order of fastening. so that it can be separated from
  • the hook latch is fixed to the base using the lever principle, and when the operating lever is raised, the distance between axes becomes the minimum value, allowing the upper device to be positioned at a certain height.
  • the present invention unlike the existing one, has an additional operating lever, enabling stable installation with little force even when a large pressing force is required and enabling stable inspection.
  • the present invention is a two-stage method in which the hook latch is fastened to the locking portion of the base and then rotated inward to fix the operating lever, the fixing force is improved and it has the advantage of making it possible to stably test multiple semiconductor devices at the same time.
  • the locking portion of the base is made of a cylindrical hook pin on a pair of supports, but this is not limited.
  • the locking portion 23' is connected to the base ( 20), it protrudes from one side, extends in the horizontal direction, and is configured to have a square cross-sectional shape.
  • the hook portion 522b of the hook latch 52 is configured to be inserted into the bottom of the engaging portion 23'.
  • the shape of the engaging portion is not limited to this and may have various shapes such as a polygonal cross-section or an oval shape.

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Abstract

베이스; 상기 베이스의 상부에 배치되는 탑플레이트; 상기 탑플레이트의 수납홀에 삽입되는 푸셔; 전기적 검사과정에서 푸셔가 피검사 디바이스를 가압할 수 있도록 상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되, 상기 체결수단은, 작동레버와, 상기 작동레버에 힌지연결되는 후크래치를 포함하고, 걸림위치에서 상기 작동레버는 상기 후크래치에 실질적으로 평행하게 배치되는 검사용 푸셔장치에 대한 것이다.

Description

검사용 푸셔장치
본 발명은 검사용 푸셔장치에 대한 것으로서, 적은 힘으로도 큰 가압력이 발생되는 검사의 안정성 및 신뢰성을 높일 수 있는 검사용 푸셔장치에 대한 것이다.
검사용 푸셔장치는 다양한 형태로 제작된 반도체칩과 같은 피검사 디바이스를 가압하고 피검사 디바이스가 하측에 배치된 검사장치의 단자와 접촉되도록 하여 피검사 디바이스에 대한 이상 유무에 대한 검사가 이루어지도록 하는 장치이다.
이러한 검사용 푸셔장치는 전동식 구동수단에 의하여 피검사 디바이스에 가압력이 전달되는 전동식 푸셔장치와, 작업자의 힘에 의존하여 가압력을 부여하는 수동식 푸셔장치로 이루어진다. 수동식 푸셔장치는, 전동식 푸셔장치에 비해서 그 구조가 간단하므로 높이제약 등으로 인하여 설치공간이 협소한 경우에 주로 사용된다.
도 1 내지 도 3은 수동식 푸셔장치(1)는 도시하고 있으며, 이러한 검사용 푸셔장치(1)는, 탑플레이트(2)와, 검사 기판(92)의 상측에 배치되며 내부에 피검사 디바이스(90)가 수납되는 베이스(3)와, 상기 탑플레이트(2)에 설치되어 베이스(3)에 수납된 피검사 디바이스를 가압하는 푸셔부(4) 및, 상기 베이스(3)와 탑플레이트(2)를 서로 견고하게 결합하기 위한 래치수단(5)을 포함하여 구성된다.
이러한 검사용 푸셔장치(1)는, 베이스(3) 내부에 피검사 디바이스(90)가 수납된 상태에서 탑플레이트(2)를 하강시켜 푸셔부(4)가 피검사 디바이스(90)를 검사 기판(92) 측으로 밀착접촉되도록 한 후에 소정의 전기적 검사를 수행된다.
이때 탑플레이트(2)를 베이스(3)에 고정결합하기 위해서는 래치수단(5)을 이용하게 된다. 래치수단(5)은 지렛대의 원리를 이용하여 탑플레이트(2)에 힌지연결되는 것이다. 베이스(3)에 결합되는 과정에서 래치수단(5)의 상부에 힘을 가하여 래치 하단의 후크가 서로 벌어지게 한다. 탑플레이트(2)가 원하는 위치에 배치된 후에는 래치에 가해진 힘을 제거하여 스프링에 의한 탄성복원력에 의하여 래치 하단의 후크가 베이스(3)에 걸려 고정되도록 한다.
최근에는 미세피치의 반도체 디바이스(90)에 대한 전기적 검사를 수행해야 한다. 이러한 미세피치의 반도체 디바이스(90)는 단자 개수가 많아서 수많은 단자가 모두 검사 기판(92)에 긴밀하게 접촉시키게 하기 위해서 큰 가압력을 필요로 하게 된다. 큰 가압력이 필요한 경우에는 베이스(3)에 걸려 있는 래치의 잠금위치를 고정시킬 수 있도록 탄성반발력이 높은 스프링을 사용해야 한다. 그런데 탄성반발력이 높은 스프링은 작업자가 래치를 작동시키는데 과도한 힘을 가해야 하는 문제가 있게 된다.
반도체 디바이스(90)를 제조하는 공정의 특성상 각 단자간 높이편차도 있다. 또한 반도체 디바이스(90)를 누를 때 검사 기판(92)의 상측에 배치된 테스트 소켓의 반발력에 의해 디바이스(90)가 휘는 문제 등이 있다. 특히 단자들이 모두 테스트 소켓의 도전부에 접촉시키기 위한 최소 가압력(하중, force)이 있는데, 단자수가 많을수록 최소 가압력이 커야 하기 때문에 푸셔장치(1)의 래치를 베이스(3)에 체결하기가 어렵게 되는 문제가 있게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 적은 힘으로도 큰 가압력이 발생되어 설치 및 장착이 용이하여 피검사 디바이스에 대한 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 검사용 푸셔장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는, 검사장치의 상부에 설치되며 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 형성되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;
상기 베이스의 상부에 배치되며 상기 수용공간과 대응되는 위치에 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련되는 탑플레이트;
상기 탑플레이트의 수납홀에 삽입되어 상기 탑플레이트에 결합되고 상기 수용공간 내에 수납된 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압할 수 있는 푸셔;
전기적 검사과정에서 푸셔가 피검사 디바이스를 가압할 수 있도록 상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,
상기 체결수단은,
일측에 제1파지부가 마련되고 타측이 상기 베이스의 걸림부에 힌지결합되는 작동레버와, 상기 작동레버에 힌지연결되고 작동레버의 동작에 의하여 자유단이 상기 베이스의 걸림부에 걸림결합될 수 있는 걸림위치와, 자유단이 걸림부에서 분리되는 해제위치 사이에서 이동가능한 후크래치를 포함하고,
걸림위치에서 상기 작동레버는 상기 후크래치에 실질적으로 평행하게 배치된다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 작동레버와 탑플레이트의 고정부는 제1힌지 샤프트에 의하여 힌지연결되고,
상기 작동레버와 후크래치는 제2힌지 샤프트에 의하여 힌지연결될 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 걸림위치에서, 제2힌지 샤프트, 제1힌지 샤프트 및 후크래치의 자유단은 실질적으로 직선적으로 연결되어 상하방향으로 정렬될 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트는 상기 제2힌지 샤프트의 하측에 위치할 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
제2힌지 샤프트를 수평 방향으로 이동시킴으로서 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 이동할 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 소정의 경사각을 이루도록 배치될 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 작동레버는,
제1파지부와, 제1파지부에서 연장되며 제1힌지 샤프트 및 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동부를 포함하되,
상기 제1파지부는 상기 작동부의 끝단에서 외측으로 절곡되어 구성될 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 후크래치는,
자유단에 걸림부가 마련되고 제2힌지 샤프트가 연결되는 후크본체와, 상기 후크본체의 상측에 배치되는 제2파지부를 포함하되,
상기 제2파지부는, 상기 후크본체에서 외측으로 절곡되어 구성될 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 제1파지부와 제2파지부 사이에는 상기 제1파지부를 제2파지부에 대하여 멀어지도록 탄성바이어스시키는 제1스프링이 마련될 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 작동레버는 제2스프링에 의하여 해제위치에서 걸림위치를 향하여 탄성바이어스 될 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 베이스의 걸림부는,
베이스의 일측면에서 서로 이격되어 돌출되는 한 쌍의 지지대와, 상기 지지대에 끼워지고 후크래치가 끼워걸리는 후크핀을 포함할 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 베이스의 걸림부는,
상기 베이스의 일측면에서 돌출되어 수평 방향으로 연장되며 단면형상을 가지면 저면에 후크래치가 끼워걸리는 후크바를 포함할 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는,
피검사 디바이스와 검사장치의 전기적 연결을 위하여 사용되며 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
검사장치의 상부에 설치되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;
상기 베이스의 상부에 배치되고 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련된 탑플레이트;
상기 탑플레이트의 수납홀 내에서 상기 탑플레이트에 결합되는 푸셔;
상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,
상기 체결수단은,
탑플레이트의 고정부에 힌지연결되는 일측 자유단에 제1힌지 샤프트가 연결되고 타측에는 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동레버와, 일측은 베이스의 걸림부에 걸림결합되고 타측은 제2힌지 샤프트에 결합되어 상기 작동레버에 연동하여 동작하는 후크래치를 포함하되,
후크래치의 일측이 베이스의 걸림부에 걸림결합되는 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트와 제2힌지 샤프트를 연결하는 직선상에 작동레버와 후크래치가 일렬배치된다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 푸셔는,
적어도 일부분이 상기 탑플레이트의 수납홀 내에 삽입되는 푸셔본체와,
상기 푸셔본체의 상측에 배치되며 탑플레이트 상부에 배치되며 상측으로 다수의 열전달핀이 돌출형성되는 열전달부를 포함할 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 베이스는, 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 마련되고,
상기 푸셔본체는, 상기 수용공간에 수용되는 피검사 디바이스와 접촉하는 제1부분과, 상기 제1부분의 상측에 배치되며 상기 제1부분보다 큰 면적을 가지는 제2부분을 포함할 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 제2부분에서 제1부분보다 수평 방향으로 돌출된 부분에는 상하방향으로 관통하는 관통공이 마련되고, 볼트가 상기 관통공을 통과하여 탑플레이트에 체결되어 푸셔를 탑플레이트에 결합시킬 수 있다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 볼트는 볼트머리와, 상기 볼트머리보다 작은 외경을 가지며 탑플레이트에 체결되는 기둥부를 포함하되, 상기 볼트머리와, 탑플레이트 사이에는 기둥부에 끼워지는 제3스프링이 배치되어 있어서 푸셔를 피검사 디바이스에 탄력적으로 가압시킬 수 있다.
상기 후크래치가 베이스의 걸림부에서 분리되는 해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 평행하지 않도록 배치된다.
상기 검사용 푸셔장치에서,
상기 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 갈수록 경사각이 커질 수 있다.
본 발명에 따른 검사용 푸셔장치는, 후크래치에 힌지연결된 작동레버를 추가로 설치하여 적은 힘으로도 큰 작용력이 발생되어 설치의 용이성을 높일 수 있는 장점이 있다.
본 발명에 따른 검사용 푸셔장치는, 작동레버와 후크래치가 서로 평행한 직선위치에서 최대 힘을 발휘하도록 구성하고 있어서 큰 반력에 대해서도 견딜 수 있는 장점을 가진다.
본 발명은 후크래치가 베이스에 걸린 상태에서 작동레버가 내측으로 회전하는 이단 방식으로 체결되고 있어 고정력이 향상되며, 이에 따라 다수의 반도체 디바이스를 동시에 안정적으로 테스트하는 것이 가능한 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 검사용 푸셔장치의 사시도.
도 2는 도 1의 검사용 푸셔장치의 단면도.
도 3은 도 1의 검사용 푸셔장치의 작동도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치의 분리사시도.
도 5는 도 4의 결합사시도.
도 6은 도 5의 검사용 푸셔장치의 평면도.
도 7은 도 5의 검사용 푸셔장치를 일측에서 바로본 일측면도.
도 8은 도 5의 검사용 푸셔장치를 타측에서 바로본 타측면도.
도 9는 도 5의 검사용 푸셔장치를 아래에서 바라본 배면도.
도 10은 도 6의 Ⅹ-Ⅹ 단면도.
도 11은 도 6의 ⅩI-ⅩI 단면도.
도 12는 도 5의 검사용 푸셔장치의 일부 분리사시도.
도 13 내지 도 15는 도 4의 검사용 푸셔장치의 작동모습을 나타내는 도면.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 푸셔장치를 나타내는 도면.
도 17은 도 16의 단면도.
본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.
본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 푸셔장치가 검사 기판에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.
첨부한 도면에 도시된 예들을 참조하여, 실시예들이 설명된다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.
이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 검사 장치와 피검사 디바이스(90) 간의 전기적 접속을 위해 사용되는 검사용 푸셔장치(10)에 관련된다. 실시예들의 검사용 푸셔장치(10)는 피검사 디바이스(90)의 검사 시에 검사 장치와 피검사 디바이스(90)의 전기적 접속을 위해 사용될 수 있다. 일 예로, 실시예들의 검사용 푸셔장치(10)는, 피검사 디바이스(90)의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스(90)의 번인 테스트(burn-in test)를 위해 사용될 수 있다. 번인 테스트에 의하면, 피검사 디바이스(90)에 약 80℃ 내지 125℃의 높은 온도로 열적 스트레스가 가해진다. 번인 테스트 도중, 피검사 디바이스(90)는 높은 온도와 높은 전계가 인가된 상태에서 동작하므로, 번인 테스트의 테스트 조건을 견딜 수 없는 피검사 디바이스(90)는 불량을 발생시킨다. 이에 따라, 번인 테스트를 통해, 초기 불량을 일으킬 수 있는 피검사 디바이스(90)가 검사될 수 있다. 실시예들의 검사용 푸셔장치(10)가 적용되는 검사의 예가 전술한 번인 테스트에 한정되지는 않는다.
일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치(10)는, 검사장치의 위에 탑재되며, 피검사 디바이스(90)를 내부에 수용하면서 피검사 디바이스(90)를 검사 장치 측으로 가압하도록 구성된다. 구체적으로 검사용 푸셔장치(10)는 피검사 디바이스(90)를 그 내부에 수용하여 검사장치에 위치시킨다. 피검사 디바이스(90)의 검사는 검사장치의 위에 탑재된 테스트 소켓을 매개로 하여 검사장치에 의해 수행된다.
피검사 디바이스(90)는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임(lead frame)과 다수의 단자를 수지 재료를 사용하여 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스이다. 상기 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다. 상기 단자로서, 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 피검사 디바이스(90)는 그 하측에 반구형의 다수의 단자(91)를 가진다.
검사 장치는 피검사 디바이스(90)의 번인 테스트를 수행하도록 구성될 수 있다. 검사 장치는 테스트 소켓이 장착되는 검사 기판(92)을 가진다. 검사 기판(92)은 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자(91)를 가질 수 있다. 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 테스트 소켓을 통해 대응하는 검사 기판(92)의 단자(91)와 전기적으로 접속된다. 즉, 테스트 소켓이 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 이것에 대응하는 검사 기판(92)의 패드(93)를 수직 방향(VD)으로 전기적 접속시켜, 단자(91)와 패드(93)의 사이에서 전기적 테스트 신호와 응답 신호를 전달한다.
이러한 본 발명에 따른 검사용 푸셔장치(10)는, 베이스(20), 탑플레이트(30), 푸셔(40), 체결수단(50)을 포함하여 구성된다.
상기 베이스(20)는 검사 기판(92)의 상측에 배치되는 것으로서, 구체적으로 검사 기판(92)의 상부에 수직 방향(VD)으로 위치된다.
상기 베이스(20)는 대략 육면체 형상으로 형성되며 평평한 상면과 하면을 가진다. 베이스(20)는 검사 장치의 검사 기판(92)에 탈착 가능하게 장착될 수 있다. 베이스(20)의 상면 중앙에는 한 쌍의 끼워맞춤 핀(21)이 마련된다. 끼워맞춤 핀(21)은 탑플레이트(30)가 베이스(20) 상부에 안착하는 과정에서 상기 탑플레이트(30)가 정위치에 놓일 수 있게 정렬시키는 기능을 수행한다.
상기 베이스(20)에는 그 내부에 피검사 디바이스(90)가 수용되는 수용공간(22)이 복수개 형성된다. 구체적으로 베이스(20)에는 2 × 2개의 총 4개의 수용공간(22)이 형성되어 있으며 각각의 수용공간(22)에 피검사 디바이스(90)가 안착될 수 있게 된다.
상기 베이스(20)에는 제1 수평 방향(HD1) 방향으로 대향하는 한 쌍의 걸림부(23)가 형성되어 있게 된다. 걸림부(23)는 베이스(20)의 외주면에서 외측으로 돌출되어 있으며 후크래치(52)가 걸림결합될 수 있도록 구성된다.
상기 걸림부(23)는, 베이스(20)의 일측면에서 서로 이격되어 돌출되는 한 쌍의 지지대(231)와, 상기 지지대(231)에 끼워지고 후크래치(52)가 끼워걸리는 후크핀(232)을 포함한다. 후크핀(232)에는 후크래치(52)의 후크부(522b)가 끼워걸릴 수 있도록 구성된다. 상기 후크부(522b)는 갈고리 형상을 가진다. 후크부(522b)는 후크래치(52)의 자유단에 형성되어 있게 된다.
상기 수용공간(22) 내부에는 인서트(70)가 배치된다. 이러한 인서트(70)는 수용공간(22) 내에 삽입되는 피검사 디바이스(90)의 위치를 정확하게 가이드하는 기능을 수행하는 것이다. 인서트(70)은 대략 사각프레임 형태로 이루어지도록 구성된다. 하나의 베이스(20)에는 4개의 수용공간(22)이 형성되어 있으므로 4개의 인서트(70)를 마련하여 수용공간(22) 내부에 삽입한다.
상기 인서트(70) 내부에는 피검사 디바이스(90)의 검사 시에, 피검사 디바이스(90)가 안착되는 탄성 도전 시트(80)가 마련된다. 탄성 도전 시트(80)는 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 검사 기판(92)을 서로 전기적으로 접속시키는 것으로서, 테스트 소켓이라고도 한다. 이러한 탄성 도전 시트(80)는 하강하는 피검사 디바이스로부터 가해지는 충격력이 그대로 검사 기판으로 전달되지 않게 하여 검사 기판을 파손을 방지하는 기능을 수행한다.
탄성 도전 시트(80)의 대부분은 탄성 고분자 물질로 이루어질 수 있으며, 탄성 도전 시트(80)는 수직 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성을 가질 수 있다. 외력이 수직 방향(VD)에서의 하방으로 탄성 도전 시트(80)에 가해지면, 탄성 도전 시트(80)는 하방 방향과 수평 방향(HD)으로 탄성 변형될 수 있다.
상기 외력은, 푸셔(40)가 피검사 디바이스(90)를 탄성 도전 시트(80) 측으로 눌러서 발생될 수 있다. 이러한 외력에 의해, 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 탄성 도전 시트(80)가 수직 방향(VD)으로 접촉될 수 있고, 탄성 도전 시트(80)와 검사 기판(92)의 패드(93)가 수직 방향(VD)으로 접촉될 수 있다. 상기 외력이 제거되면, 탄성 도전 시트(80)는 그 원래 형상으로 복원될 수 있다.
탄성 도전 시트(80)는 복수의 탄성 도전부(81)를 구비한다. 탄성 도전부(81)는 피검사 디바이스(90)의 단자(91)에 수직 방향(VD)으로 접촉된다. 탄성 도전부(81)은 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 검사 기판(92)의 패드(93)를 전기적으로 접속시킨다. 탄성 도전부(81)는 그 상단에서 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 접촉되고 그 하단에서 검사 기판(92)의 패드(93)의 상단과 접촉된다. 이에 따라, 탄성 도전부(81)가, 이에 대응하는 패드(93)와 단자(91)의 사이에서 수직 방향으로 도전로를 형성한다. 검사 장치의 테스트 신호는 검사 기판(92)로부터 탄성 도전부(81)를 통해 피검사 디바이스(90)에 전달될 수 있고, 피검사 디바이스(90)의 응답 신호는 단자(91)로부터 탄성 도전부(81)를 통해 검사 기판(92)에 전달될 수 있다.
탄성 도전부(81)는 수직 방향(VD)으로 연장하는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이러한 원기둥 형상에 있어서, 중간에서의 직경은 상단 및 하단에서의 직경보다 작을 수 있다. 탄성 도전부(81)들의 평면 배열은 피검사 디바이스(90)의 단자(91)의 평면 배열에 따라 다양할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 탄성 도전부(81)들은 한 쌍의 행렬 형태로 배열될 수 있으나, 이러한 배열 형태로 한정되지는 않는다.
일 실시예에 있어서, 탄성 도전 시트(80)는 복수의 탄성 도전부(81)를 수평 방향(HD)으로 이격 및 절연시키는 탄성 절연부(82)를 구비한다. 또한, 탄성 도전 시트(80)는 탄성 절연부(82)의 둘레를 따라 탄성 절연부(82)에 결합되어 탄성 절연부(82)를 지지하는 프레임 부재(미도시)을 구비한다.
탄성 절연부(82)는 탄성 도전 시트(80)의 사각형의 탄성 영역을 형성할 수 있다. 복수의 탄성 도전부(81)는 탄성 절연부(82)에 의해 수평 방향(HD)으로 등간격 또는 부등간격으로 서로 간에 이격되고 절연된다. 탄성 절연부(82)는 하나의 탄성체로서 형성되어 있으며, 복수의 탄성 도전부(81)는 탄성 절연부(82)의 두께 방향(수직 방향(VD))에서 탄성 절연부(82)에 박혀 있다. 탄성체로 이루어지는 탄성 절연부(82)는 탄성 도전부(81)를 그 형상으로 유지시킨다. 탄성 절연부(82)는 탄성 고분자 재료로 이루어지며, 수직 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성력을 가진다.
상세하게는, 탄성 절연부(82)는 경화된 실리콘 러버 재료로 이루어질 수 있다. 예컨대, 액상의 실리콘 러버가 탄성 도전 시트(80)를 성형하기 위한 성형 금형 내에 주입되고 경화됨으로써, 탄성 절연부(82)가 형성될 수 있다. 탄성 절연부(82)를 성형하기 위한 액상의 실리콘 러버 재료로서, 부가형 액상 실리콘 고무, 축합형 액상 실리콘 고무, 비닐기나 히드록시기를 포함하는 액상 실리콘 고무 등이 사용될 수 있다. 구체적인 예로서, 상기 액상 실리콘 러버 재료는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 포함할 수 있다. 또한, 탄성 절연부(82)를 구성하는 실리콘 러버 재료로는, 일 실시예의 테스트 소켓이 번인 테스트에 적용될 수 있도록, 내열 특성이 우수한 실리콘 러버 재료가 사용될 수 있다.
탄성 도전부(81)는 수직 방향(VD)으로 도전 가능하게 접촉된 다수의 도전성 금속 입자(811)를 포함한다. 도전성 금속 입자(811)는 코어 입자의 표면을 고전도성 금속으로 피복하여 이루어질수 있다. 코어 입자는 철, 니켈, 코발트 등의 금속 재료로 이루어지거나, 탄성을 지닌 수지 재료로 이루어질 수 있다. 코어 입자의 표면에 피복되는 고전도성 금속으로는, 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등이 사용될 수 있다. 수직 방향으로 도전 가능하게 접촉된 도전성 금속 입자(811)들이 탄성 도전부(81)의 도전로를 형성한다. 일 예로, 탄성 절연부(82)를 이루는 탄성 고분자 재료에 의해 도전성 금속 입자(811)들이 탄성 도전부(81)의 형상으로 유지될 수 있다.
상기 탑플레이트(30)는, 상기 베이스(20)의 상부에 배치되며 상기 수용공간(22)과 대응되는 위치에 수납홀(311)이 형성되고 외주면에 고정부(32)가 마련되는 것이다.
상기 탑플레이트(30)는, 베이스(20)와 유사하게 육면체 형태로 이루어진다. 탑플레이트(30)의 외부 치수는 베이스(20)의 외부 치수와 동일하도록 구성된다. 상기 탑플레이트(30)에는 제1수평 방향(HD1) 및 제2수평 방향(HD2)으로 복수개의 수납부(31)가 격자형태로 배치되어 있게 된다. 각각의 수납부(31)는 수용공간(22)과 대응되는 상방향 위치에 배치된다. 상기 수납부(31)는 탑플레이트(30)의 상면에서 하측으로 오목하게 들어간 홈형태로 이루어지고 수납부(31)의 바닥면에 푸셔(40)의 제2부분(422)이 안착되도록 구성된다. 상기 수납부(31)의 중앙에는 푸셔(40)의 제1부분(421)이 통과하는 수납홀(311)이 마련되어 있게 된다.
상기 수납부(31)의 바닥면으로서 수납홀(311) 주변부에는 상하방향으로 관통되는 제1통공(312)이 형성된다. 상기 제1통공(312)에는 볼트(44)의 기둥부(442)가 삽입되어 통과하도록 구성된다.
상기 탑플레이트(30)의 가장자리 외측면에는 제1수평 방향(HD1)으로 대향하는 고정부(32)가 돌출형성되어 있게 된다.
상기 고정부(32)는 탑플레이트(30)의 양쪽 외측면에서 바깥쪽으로 돌출되어 마련된다. 각 외측면에 배치된 고정부(32)는 2개가 외측면 중앙을 기준으로 서로 이격되어 배치된다.
상기 고정부(32)에는 제2수평 방향(HD2)으로 관통되는 제1샤프트 홀(321)이 형성되어 있게 된다. 상기 제1샤프트 홀(321)에는 제1힌지 샤프트(60)가 끼워져 결합되도록 구성된다.
상기 탑플레이트(30)의 저면 바닥부에는 끼워맞춤 홈(미도시)이 형성되어 있게 된다. 상기 끼워맞춤 홈은 상기 베이스(20)의 끼워맞춤 핀(21)과 대응되는 위치에 배치되며 끼워맞춤 홈에 끼워맞춤 돌기가 결합됨으로서 베이스(20)에 대한 탑플레이트(30)의 위치맞춤이 될 수 있게 된다.
상기 푸셔(40)는, 상기 탑플레이트(30)의 수납홀(311)에 삽입되어 상기 탑플레이트(30)에 결합되고 상기 수용공간(22) 내에 수납된 피검사 디바이스(90)를 검사장치 측으로 가압할 수 있는 것이다.
이러한 푸셔(40)는, 체결수단(50)에 의하여 탑플레이트(30)가 베이스(20)에 고정되었을 때, 피검사 디바이스(90)를 검사 장치 측으로 가압하여 피검사 디바이스(90)의 단자(91)들이 검사 기판(93)에 밀착접촉될 수 있도록 가압력을 제공하는 것이다.
이러한 푸셔(40)는, 푸셔부(41)와, 볼트(44) 및 제3스프링(45)으로 이루어진다.
상기 푸셔부(41)는, 푸셔본체(42)와 열전달부(43)를 포함하여 구성된다.
상기 푸셔본체(42)는, 적어도 일부분이 상기 탑플레이트(30)의 수납홀(311)을 관통하여 하방으로 돌출되는 것으로서, 하단이 베이스 내부에 안착된 피검사 디바이스(90)의 상면에 접촉되어 상기 피검사 디바이스(90)에 가압력을 제공하도록 구성된다.
이러한 푸셔본체(42)는, 상기 수용공간(22)에 수용되는 피검사 디바이스(90)와 접촉하는 제1부분(421)과, 상기 제1부분(421)의 상측에 배치되며 상기 제1부분(421)보다 큰 면적을 가지는 제2부분(422)을 포함한다.
상기 제1부분(421)은, 탑플레이트(30)의 수납홀(311)의 내부에 삽입될 수 있도록 수납홀(311)보다 작은 단면적을 가지고 있으며 대략 육면체 형태로 이루어진다.
상기 제2부분(422)은 상기 제1부분(421)보다 큰 면적을 가지고 있으며 상기 제1부분(421)의 상부에 사각판 형태로 마련된다. 상기 제2부분(422)에서 제1부분(421)의 외측으로 돌출된 부분에는 삽입부(422a)가 형성된다. 구체적으로 상기 삽입부(422a)는 제1부분(421)의 상면에서 하방향으로 오목한 제1대경홈과, 상기 제1대경홈에서 하방향으로 연장되고 제1대경홈보다 작은 면적을 가지면서 제2부분(422)을 관통하는 제1소경구멍으로 이루어진다.
제1대경홈은 볼트(44)의 볼트머리(441)와 대응되는 내경을 가지는 것이며, 제1소경구멍에는 볼트(44)의 기둥부(442)가 삽입되어 관통되도록 구성된다.
상기 열전달부(43)는, 푸셔본체(42)의 상측에 배치되며 푸셔본체(42)의 상면에서 다수개의 열전달핀이 돌출형성되는 것이다. 이러한 열전달부(43)는 푸셔본체(42)가 피검사 디바이스(90)와 접촉시 피검사 디바이스(90)의 열을 제거하거나 피검사 디바이스(90)로 열을 공급하기 위한 것이다. 즉, 번인 테스트에서는 피검사 디바이스(90)에 열을 가해야 하는데, 고온의 공기로부터 전달받은 열은 열전달부(43)을 통해서 피검사 디바이스(90)로 전달된다.
상기 볼트(44)는, 볼트머리(441)와, 상기 볼트머리(441)보다 작은 외경을 가지며 탑플레이트(30)에 결합되는 기둥부(442)를 포함한다.
상기 볼트머리(441)가 푸셔(40)몸체의 상측에 위치한 상태에서, 기둥부(442)가 삽입부(422a)를 통과하여 탑플레이트(30)의 제1통공(312)에 삽입된다. 상기 삽입부(422a)는 제1통공(312)에 나사결합으로 고정된다.
상기 제3스프링(45)은 볼트머리(441)와, 탑플레이트(30) 사이에서 기둥부(442)에 끼워지는 것이다. 제3스프링(45)는 푸셔(40)를 피검사 디바이스(90)에 탄력적으로 가압한다. 이러한 제3스프링(45)은 압축코일 스프링으로서, 기둥부(442)의 외주에 끼워진 상태에서 볼트머리(441)와, 푸셔본체(42)의 제2부분(422) 사이에 위치하면서 푸셔부(41)가 피검사 디바이스(90)를 검사기판을 향하여 가압될 수 있도록 가압력을 제공한다.
제3스프링(45)에 의하여 푸셔(40)는 소프트하게 피검사 디바이스(90)에 가압력을 제공할 수 있다.
상기 체결수단(50)은, 상기 탑플레이트(30)를 상기 베이스(20)에 고정결합하는 것으로서, 작동레버(51)와, 후크래치(52), 제1스프링(53) 및 제2스프링(54)을 포함하여 구성된다.
이러한 체결수단(50)은, 적은 힘으로서 큰 체결력이 발생되도록 하는 것이다. 구체적으로 체결수단(50)은 후크래치(52)가 걸림위치에 위치될 때 최대한 체결력이 발휘될 수 있도록 구성된다. 체결수단(50)에 의하여 적은 힘으로 후크래치(52)를 걸림위치에서 해제위치로 이동시키거나 해제위치에서 걸림위치로 이동시킬 수 있다. 작업자가 작은 힘을 가해도 체결수단을 동작시키는 것은 가능하지만, 일단 체결된 후에는 외력에 의하여 후크레치(52)가 걸림위치에서 해제위치로 이동되지 않도록 구성된다.
상기 작동레버(51)는, 탑플레이트(30)의 고정부(32)에 힌지연결되는 일측 자유단에 제1힌지 샤프트(60)가 연결되고 타측에는 제2힌지 샤프트(61)가 연결되는 것이다.
이러한 작동레버(51)는, 제1파지부(511)와, 제1파지부(511)에서 연장되며 제1힌지 샤프트(60) 및 제2힌지 샤프트(61)가 연결되는 작동부(512)를 포함한다.
제1파지부(511)는, 외측으로 돌출된 부분으로서 작업자의 손이 파지될 수 있는 구조를 가지게 된다.
상기 작동부(512)는, 제1파지부(511)에서 직각으로 절곡되어 형성된 것으로서, 직사각형태의 단면을 가지면서 제2수평 방향(HD2)으로 길게 연장되도록 구성된다. 작동부(512)의 상부에는 제2수평 방향으로 길게 연장된 제2-1샤프트 홀(512a)이 형성되고, 작동부(512)의 하측에는 제2수평 방향으로 길게 연장된 제1-1샤프트 홀(512b)이 형성되어 있게 된다.
상기 제2-1샤프트 홀(512a)에는 제2힌지 샤프트(61)가 끼워져 삽입되고, 제1-1샤프트 홀(512b)에는 제1힌지 샤프트(60)가 끼워져 삽입된다.
제1힌지 샤프트(60)에 의하여 작동부(512)는 탑플레이트(30)의 고정부(32)에 힌지연결되어 회전할 수 있도록 구성되고, 제2힌지 샤프트(61)에 의하여 작동레버(51)와 후크래치(52)를 서로 힌지결합될 수 있도록 구성된다.
작업자가 제1파지부(511)를 손으로 파지한 후에 하측으로 가압하면 작동레버(51)는 제1힌지 샤프트(60)를 회전중심으로 하여 탑플레이트(30)로부터 멀어지는 방향, 즉 외측으로 회전할 수 있도록 구성된다. 구체적으로 걸림위치에서 제2힌지 샤프트(61)가 수평 방향으로 이동할 수 있도록 제1파지부(511)를 눌러 가압하면서 수직 방향(VD)방향으로 세워진 작동레버(51)는 제1힌지 샤프트(60)를 기준으로 회전하게 되면서 해제위치로 이동하게 되는 것이다.
걸림위치에서 수직 방향(VD)으로 세워진 작동레버(51)와, 후크래치(52)는 해제위치에서 V 형태로 서로 엇갈린 상태로 배치될 수 있도록 구성된다.
상기 후크래치(52)는, 상기 작동레버(51)에 힌지연결되고 작동레버(51)의 동작에 의하여 자유단이 상기 베이스(20)의 걸림부(23)에 걸림결합될 수 있는 걸림위치와, 자유단이 걸림부(23)에서 분리되는 해제위치 사이에서 이동가능한 것이다.
이러한 후크래치(52)는, 제2파지부(521)와, 후크본체(522)를 포함한다.
상기 제2파지부(521)는, 상기 제1파지부(511)와 대면하는 위치에 배치되는 것으로서, 제1파지부(511)와 함께 작업자가 손으로 파지할 수 있는 부분이다.
후크본체(522)는, 제2파지부(521)에서 직각으로 절곡되어 연장되는 것으로서 직사각 단면을 가지면서 제2수평 방향(HD2)으로 길게 연장되도록 구성된다.
상기 후크본체(522)의 상단에는 제2수평 방향(HD2)으로 길게 연장되는 제2-2샤프트 홀(522a)이 형성되고, 하단인 자유단에는 내측으로 절곡된 후크 형태의 후크부(522b)가 마련되도록 구성된다.
상기 제2-2샤프트 홀(522a)에 제2힌지 샤프트(61)가 삽입되도록 구성되며 이에 따라서 제2힌지 샤프트(61)에 의하여 작동레버(51)의 상부에 힌지결합되도록 구성된다.
탑플레이트(30)를 베이스(20)에 고정결합시키는 걸림위치에서 작동부(512)와, 후크본체(522)를 상하방향으로 일렬배치되도록 구성되며, 후크본체(522)의 하단은 베이스(20)의 걸림부(23)에 걸림결합되도록 구성된다.
이때, 직사각 바 형태의 단면을 가지는 작동부(512)와, 후크본체(522)는 걸림위치에서 수직 방향(VD)으로 세워진다. 구체적으로 걸림위치에서 제2힌지 샤프트(61), 제1힌지 샤프트(60) 및 후크 래치의 자유단은 실질적으로 직선적으로 배치되어 있으며 상하방향으로 정렬되도록 구성된다. 이때 제1힌지 샤프트(60)는 제2힌지 샤프트(61)의 하측에 위치하고 있으며, 베이스(20)의 걸림부(23)는 그 아래에 직선적으로 위치하게 된다.
즉, 걸림위치에서 작동레버(51)와, 후크래치(52)가 서로 직선적으로, 즉 실질적으로 평행하게 배치되어 있게 됨으로서 걸림부(23)에 큰 힘이 가해져도 작동레버(51)와 후크래치(52)를 해제방향으로 이동시키기 어렵게 된다.
상기 제1스프링(53)은, 제1파지부(511)와 제2파지부(521) 사이에 배치되어, 상기 제1파지부(511)를 상기 제2파지부(521)에 대하여 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 것이다. 구체적으로 제1스프링(53)은, 제1파지부(511)를 제2파지부(521)에 대하여 멀어지도록 위치시켜 작동레버(51)가 수직 방향으로 위치될 수 있게 함으로서 걸림상태를 유지할 수 있도록 한다.
상기 제2스프링(54)은, 제1힌지샤프트에 끼워진 상태에서 일단은 작동레버(51)에 고정되고 타단은 탑플레이트(30)의 배면에 걸려 고정되는 토션스프링으로서, 제2스프링(54)은 상기 작동레버(51)가 해제위치에서 걸림위치로 탄성바이어스 시키도록 구성된다. 구체적으로 걸림위치에서 해제위치로 이동하지 않도록 회전력을 부여하도록 구성된다.
이러한 본 발명에 따른 검사용 푸셔장치(10)는 다음과 같은 작동한다.
먼저, 도 13에서는 탑플레이트(30)가 베이스(20)에 결합되기 전 상태를 도시하고 있게 된다. 이때, 후크래치(52)는 해제위치에 놓여져 있다. 작업자가 제1파지부(511)와, 제2파지부(521)를 손으로 오므려서 후크래치(52)의 하단의 후크부(522b)가 걸림부(23)에 걸리지 않도록 최대한 제1수평 방향으로 이격거리를 유지하게 한다.
이후에, 도 14에 도시된 바와 같이, 탑플레이트(30)를 베이스(20)에 결합시킨다. 이때 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 푸셔(40)에 의하여 검사 기판(93) 측으로 가압되도록 구성된다. 구체적으로 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 탄성 이방 시트의 탄성 도전부(81) 상면에 눌려 있게 되고, 모든 피검사 디바이스(90)의 단자(91)가 탄성 도전부(81)의 상면에 밀착 접촉되도록 구성되어 있게 되며, 검사기판의 패드(93)와, 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 전기적으로 도통가능한 상태에 놓이게 된다. 이러한 결합상태를 유지하기 위하여 제1파지부(511)를 시계방향으로 탑플레이트(30)로부터 멀어지는 방향, 즉 외측으로 회전시켜 후크래치(52)의 후크부(522b)가 베이스(20)의 걸림부(23)에 걸리게 한다.
이후에는 도 15에 도시된 바와 같이, 작업자가 제1파지부(511)를 시계방향과 반대방향으로 탑플레이트(30)에 접근하는 방향, 즉 내측으로 회전시키면 작동레버(51)는 제1힌지 샤프트(60)를 중심으로 회전하면서 작동레버(51)가 수직 방향(VD)방향으로 세워질 수 있다. 이와 동시에 작동레버(51)에 힌지연결된 후크래치(52)도 걸림부(23)에 하단의 후크부(522b)가 걸려 있는 상태에서 작동레버(51)와 동일직선상(S)에 놓이도록 수직 방향(VD)으로 세워지게 된다.
작동레버(51)와 후크래치(52)는 직선상에 놓여져 있으며 서로 평행한 위치에 배치되어 있으므로 탑플레이트(30)가 베이스(20)에서 분리되려는 외력에 충분하게 견딜 수 있게 된다.
이후에, 검사 장치로부터 소정의 전기적 신호를 인가하여 피검사 디바이스(90)에 대한 전기적 검사를 수행하게 되는데, 검사가 완료된 후에는 체결과는 역순으로 진행함으로서 후크래치(52)가 베이스(20)에서 분리될 수 있도록 한다.
본 발명은, 지렛대 원리로 후크래치가 베이스에 고정되고, 작동레버를 올리게 되면 축간 거리가 최소 값이 되어 상단의 기구물을 일정 높이에 위치시킬 수 있게 된다.
또한 작동레버의 하부 방향 이동범위가 기존 래치보다 길기 때문에, 후크래치를 베이스의 후크에 우선 걸어 체결해 놓고, 작동레버를 회전시켜 고정하면 적은 힘으로 체결이 가능한 장점이 있다.
이와 같이 본 발명은 기존과 달리 작동레버를 추가로 구비함으로서 가압력이 크게 필요한 경우에도 적은 힘으로도 안정적인 장착을 가능하게 하며 안정적인 검사를 가능하게 한다.
또한 본 발명은 베이스의 걸림부에 후크래치가 걸린후 작동레버를 내측으로 회전시켜 고정하는 이단 방식이기 때문에, 고정력이 향상되어 다수의 반도체 디바이스를 동시에 안정적으로 테스트하는 것이 가능해지는 장점이 있다.
이러한 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.
상술한 실시예에서는 베이스의 걸림부가 한 쌍의 지지대에 원기둥 형태의 후크핀으로 이루어지는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이 걸림부(23')가 상기 베이스(20)의 일측면에서 돌출되어 수평 방향으로 연장되며 사각단면형상을 가지도록 구성된다. 이때 후크래치(52)의 후크부(522b)는 걸림부(23')의 저면에 끼워지도록 구성된다.
다만, 걸림부의 형상은 이에 한정되는 것은 아니며 다각단면이나 타원형 등 다양한 형태를 가질 수 있다.
이상에서는 본 발명의 검사용 푸셔장치에 대해서 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니며 균등한 범위 내라면 확정해석되는 것이 가능함은 물론이다.

Claims (19)

  1. 피검사 디바이스와 검사장치의 전기적 연결을 위하여 사용되며 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
    검사장치의 상부에 설치되며 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 형성되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;
    상기 베이스의 상부에 배치되며 상기 수용공간과 대응되는 위치에 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련되는 탑플레이트;
    상기 탑플레이트의 수납홀에 삽입되어 상기 탑플레이트에 결합되고 상기 수용공간 내에 수납된 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압할 수 있는 푸셔;
    전기적 검사과정에서 푸셔가 피검사 디바이스를 가압할 수 있도록 상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,
    상기 체결수단은,
    일측에 제1파지부가 마련되고 타측이 상기 베이스의 걸림부에 힌지결합되는 작동레버와, 상기 작동레버에 힌지연결되고 작동레버의 동작에 의하여 자유단이 상기 베이스의 걸림부에 걸림결합될 수 있는 걸림위치와, 자유단이 걸림부에서 분리되는 해제위치 사이에서 이동가능한 후크래치를 포함하고,
    걸림위치에서 상기 작동레버는 상기 후크래치에 실질적으로 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 작동레버와 탑플레이트의 고정부는 제1힌지 샤프트에 의하여 힌지연결되고,
    상기 작동레버와 후크래치는 제2힌지 샤프트에 의하여 힌지연결되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 걸림위치에서, 제2힌지 샤프트, 제1힌지 샤프트 및 후크래치의 자유단은 실질적으로 직선적으로 연결되어 상하방향으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트는 상기 제2힌지 샤프트의 하측에 위치하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  5. 제2항에 있어서,
    제2힌지 샤프트를 수평 방향으로 이동시킴으로서 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  6. 제5항에 있어서,
    해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 소정의 경사각을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 작동레버는,
    제1파지부와, 제1파지부에서 연장되며 제1힌지 샤프트 및 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동부를 포함하되,
    상기 제1파지부는 상기 작동부의 끝단에서 외측으로 절곡되어 구성된 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 후크래치는,
    자유단에 걸림부가 마련되고 제2힌지 샤프트가 연결되는 후크본체와, 상기 후크본체의 상측에 배치되는 제2파지부를 포함하되,
    상기 제2파지부는, 상기 후크본체에서 외측으로 절곡되어 구성된 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1파지부와 제2파지부 사이에는 상기 제1파지부를 제2파지부에 대하여 멀어지도록 탄성바이어스시키는 제1스프링이 마련된 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 작동레버는 제2스프링에 의하여 해제위치에서 걸림위치로 탄성바이어스 되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 베이스의 걸림부는,
    베이스의 일측면에서 서로 이격되어 돌출되는 한 쌍의 지지대와, 상기 지지대에 끼워지고 후크래치가 끼워걸리는 후크핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 베이스의 걸림부는,
    상기 베이스의 일측면에서 돌출되어 수평 방향으로 연장되며 사각단면형상을 가지고 저면에 후크래치가 끼워걸리는 후크바를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  13. 피검사 디바이스와 검사장치의 전기적 연결을 위하여 사용되며 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
    검사장치의 상부에 설치되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;
    상기 베이스의 상부에 배치되고 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련된 탑플레이트;
    상기 탑플레이트의 수납홀 내에서 상기 탑플레이트에 결합되는 푸셔;
    상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,
    상기 체결수단은,
    탑플레이트의 고정부에 힌지연결되는 일측 자유단에 제1힌지 샤프트가 연결되고 타측에는 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동레버와, 일측은 베이스의 걸림부에 걸림결합되고 타측은 제2힌지 샤프트에 결합되어 상기 작동레버에 연동하여 동작하는 후크래치를 포함하되,
    후크래치의 일측이 베이스의 걸림부에 걸림결합되는 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트와 제2힌지 샤프트를 연결하는 직선상에 작동레버와 후크래치가 일렬배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 푸셔는,
    적어도 일부분이 상기 탑플레이트의 수납홀 내에 삽입되는 푸셔본체와,
    상기 푸셔본체의 상측에 배치되며 다수의 열전달핀이 돌출형성되는 열전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 베이스는, 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 마련되고,
    상기 푸셔본체는, 상기 수용공간에 수용되는 피검사 디바이스와 접촉하는 제1부분과, 상기 제1부분의 상측에 배치되며 상기 제1부분보다 큰 면적을 가지는 제2부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  16. 제15항에 있어서,
    제2부분에서 제1부분보다 수평 방향으로 돌출된 부분에는 상하방향으로 관통하는 관통공이 마련되고, 볼트가 상기 관통공을 통과하여 탑플레이트에 체결되어 푸셔를 탑플레이트에 결합시키는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 볼트는 볼트머리와, 상기 볼트머리보다 작은 외경을 가지며 탑플레이트에 결합되는 기둥부를 포함하되,
    상기 볼트머리와, 탑플레이트 사이에는 기둥부에 끼워지는 제3스프링이 배치되어 있어서 푸셔를 피검사 디바이스에 탄력적으로 가압시키는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 후크래치가 베이스의 걸림부에서 분리되는 해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 평행하지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 갈수록 경사각이 커지는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
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