KR20240041640A - 검사용 푸셔장치 - Google Patents

Abstract

피검사 디바이스와 검사장치의 전기적 연결을 위하여 사용되며 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서, 검사장치의 상부에 설치되며 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 형성되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스; 상기 베이스의 상부에 배치되며 상기 수용공간과 대응되는 위치에 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련되는 탑플레이트; 상기 탑플레이트의 수납홀에 삽입되어 상기 탑플레이트에 결합되고 상기 수용공간 내에 수납된 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압할 수 있는 푸셔; 전기적 검사과정에서 푸셔가 피검사 디바이스를 가압할 수 있도록 상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되, 상기 체결수단은, 일측에 제1파지부가 마련되고 타측이 상기 베이스의 걸림부에 힌지결합되는 작동레버와, 상기 작동레버에 힌지연결되고 작동레버의 동작에 의하여 자유단이 상기 베이스의 걸림부에 걸림결합될 수 있는 걸림위치와, 자유단이 걸림부에서 분리되는 해제위치 사이에서 이동가능한 후크래치를 포함하고, 걸림위치에서 상기 작동레버는 상기 후크래치에 실질적으로 평행하게 배치되는 검사용 푸셔장치에 대한 것이다.

Description

검사용 푸셔장치{Pusher for electrical test}

본 발명은 검사용 푸셔장치에 대한 것으로서, 적은 힘으로도 큰 가압력이 발생되는 검사의 안정성 및 신뢰성을 높일 수 있는 검사용 푸셔장치에 대한 것이다.

검사용 푸셔장치는 다양한 형태로 제작된 반도체칩과 같은 피검사 디바이스를 가압하고 피검사 디바이스가 하측에 배치된 검사장치의 단자와 접촉되도록 하여 피검사 디바이스에 대한 이상 유무에 대한 검사가 이루어지도록 하는 장치이다.

이러한 검사용 푸셔장치는 전동식 구동수단에 의하여 피검사 디바이스에 가압력이 전달되는 전동식 푸셔장치와, 작업자의 힘에 의존하여 가압력을 부여하는 수동식 푸셔장치로 이루어진다. 수동식 푸셔장치는, 전동식 푸셔장치에 비해서 그 구조가 간단하므로 높이제약 등으로 인하여 설치공간이 협소한 경우에 주로 사용된다.

도 1 내지 도 3은 수동식 푸셔장치(1)는 도시하고 있으며, 이러한 검사용 푸셔장치(1)는, 탑플레이트(2)와, 검사 기판(92)의 상측에 배치되며 내부에 피검사 디바이스(90)가 수납되는 베이스(3)와, 상기 탑플레이트(2)에 설치되어 베이스에 수납된 피검사 디바이스를 가압하는 푸셔부(4) 및, 상기 베이스(3)와 탑플레이트(2)를 서로 견고하게 결합하기 위한 래치수단(5)을 포함하여 구성된다.

이러한 검사용 푸셔장치(1)는, 베이스(3) 내부에 피검사 디바이스(90)가 수납된 상태에서 탑플레이트(2)를 하강시켜 푸셔부(4)가 피검사 디바이스(90)를 검사 기판(92) 측으로 밀착접촉되도록 한 후에 소정의 전기적 검사를 수행하게 된다. \

이때 탑플레이트(2)를 베이스(3)에 고정결합하기 위해서는 래치수단(5)을 이용하게 된다. 래치수단(5)은 지렛대의 원리를 이용하여 탑플레이트(2)에 힌지연결되는 것으로서, 베이스(3)에 삽입되는 과정에서는 래치수단(5)의 상부에 힘을 가하여 래치의 하단 후크가 서로 벌어지게 하고, 탑플레이트(2)가 원하는 위치에 배치된 후에는 래치에 가해진 힘을 제거하여 스프링에 의한 탄성복원력에 의하여 래치 하단의 후크가 베이스(3)에 걸려 고정되도록 한다.

그런데, 최근에는 미세피치의 반도체 디바이스(90)에 대한 전기적 검사를 수행해야 하는데, 미세피치의 반도체 디바이스(90)는 단자 개수가 많아서 수많은 단자가 모두 검사 기판(92)에 긴밀하게 접촉시키게 하기 위해서 큰 가압력이 필요로 하게 된다. 이와 같은 큰 가압력이 필요한 경우에는 베이스(3)에 걸려 있는 래치의 잠금위치를 고정시킬 수 있도록 탄성반발력이 높은 스프링을 사용해야 하는데, 이와 같이 탄성반발력이 높은 스프링은 작업자가 래치를 작동시키는데 과도한 힘이 필요로 하게 된다는 문제가 있게 된다.

구체적으로, 반도체 디바이스(90) 제조공정 특성상 단자간 높이편차도 있고 반도체 디바이스(90)를 누를 때 검사 기판(92)의 상측에 배치된 테스트 소켓의 반발력에 의해 디바이스(90)가 휘는 문제 등이 있어 전체 단자를 모두 테스트 소켓 도전부에 접촉시키기 위해서 필요한 최소치의 가압력(하중, force)이 있는데, 단자수가 많을수록 필요한 가압력이 크기 때문에 푸셔장치(1)의 래치를 베이스(3)에 체결하기가 어렵게 되는 문제가 있게 된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 적은 힘으로도 큰 가압력이 발생되어 설치 및 장착이 용이하여 피검사 디바이스에 대한 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 검사용 푸셔장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는, 검사장치의 상부에 설치되며 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 형성되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;

상기 베이스의 상부에 배치되며 상기 수용공간과 대응되는 위치에 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련되는 탑플레이트;

상기 탑플레이트의 수납홀에 삽입되어 상기 탑플레이트에 결합되고 상기 수용공간 내에 수납된 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압할 수 있는 푸셔;

전기적 검사과정에서 푸셔가 피검사 디바이스를 가압할 수 있도록 상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,

상기 체결수단은,

일측에 제1파지부가 마련되고 타측이 상기 베이스의 걸림부에 힌지결합되는 작동레버와, 상기 작동레버에 힌지연결되고 작동레버의 동작에 의하여 자유단이 상기 베이스의 걸림부에 걸림결합될 수 있는 걸림위치와, 자유단이 걸림부에서 분리되는 해제위치 사이에서 이동가능한 후크래치를 포함하고,

걸림위치에서 상기 작동레버는 상기 후크래치에 실질적으로 평행하게 배치된다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 작동레버와 탑플레이트의 고정부는 제1힌지 샤프트에 의하여 힌지연결되고,

상기 작동레버와 후크래치는 제2힌지 샤프트에 의하여 힌지연결될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 걸림위치에서, 제2힌지 샤프트, 제1힌지 샤프트 및 후크래치의 자유단은 실질적으로 직선적으로 연결되어 상하방향으로 정렬될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트는 상기 제2힌지 샤프트의 하측에 위치할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

제2힌지 샤프트를 수평 방향으로 이동시킴으로서 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 이동할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 소정의 경사각을 이루도록 배치될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 작동레버는,

제1파지부와, 제1파지부에서 연장되며 제1힌지 샤프트 및 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동부를 포함하되,

상기 제1파지부는 상기 작동부의 끝단에서 외측으로 절곡되어 구성될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 후크래치는,

자유단에 걸림부가 마련되고 제2힌지 샤프트가 연결되는 후크본체와, 상기 후크본체의 상측에 배치되는 제2파지부를 포함하되,

상기 제2파지부는, 상기 후크본체에서 외측으로 절곡되어 구성될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 제1파지부와 제2파지부 사이에는 상기 제1파지부를 제2파지부에 대하여 멀어지도록 탄성바이어스시키는 제1스프링이 마련될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 작동레버는 제2스프링에 의하여 해제위치에서 걸림위치를 향하여 탄성바이어스 될 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 베이스의 걸림부는,

베이스의 일측면에서 서로 이격되어 돌출되는 한 쌍의 지지대와, 상기 지지대에 끼워지고 후크래치가 끼워걸리는 후크핀을 포함할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 베이스의 걸림부는,

상기 베이스의 일측면에서 돌출되어 수평 방향으로 연장되며 단면형상을 가지면 저면에 후크래치가 끼워걸리는 후크바를 포함할 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 푸셔장치는,

피검사 디바이스와 검사장치의 전기적 연결을 위하여 사용되며 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,

검사장치의 상부에 설치되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;

상기 베이스의 상부에 배치되고 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련된 탑플레이트;

상기 탑플레이트의 수납홀 내에서 상기 탑플레이트에 결합되는 푸셔;

상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,

상기 체결수단은,

탑플레이트의 고정부에 힌지연결되는 일측 자유단에 제1힌지 샤프트가 연결되고 타측에는 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동레버와, 일측은 베이스의 걸림부에 걸림결합되고 타측은 제2힌지 샤프트에 결합되어 상기 작동레버에 연동하여 동작하는 후크래치를 포함하되,

후크래치의 일측이 베이스의 걸림부에 걸림결합되는 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트와 제2힌지 샤프트를 연결하는 직선상에 작동레버와 후크래치가 일렬배치된다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 푸셔는,

적어도 일부분이 상기 탑플레이트의 수납홀 내에 삽입되는 푸셔본체와,

상기 푸셔본체의 상측에 배치되며 탑플레이트 상부에 배치되며 상측으로 다수의 열전달핀이 돌출형성되는 열전달부를 포함할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 베이스는, 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 마련되고,

상기 푸셔본체는, 상기 수용공간에 수용되는 피검사 디바이스와 접촉하는 제1부분과, 상기 제1부분의 상측에 배치되며 상기 제1부분보다 큰 면적을 가지는 제2부분을 포함할 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 제2부분에서 제1부분보다 수평 방향으로 돌출된 부분에는 상하방향으로 관통하는 관통공이 마련되고, 볼트가 상기 관통공을 통과하여 탑플레이트에 체결되어 푸셔를 탑플레이트에 결합시킬 수 있다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 볼트는 볼트머리와, 상기 볼트머리보다 작은 외경을 가지며 탑플레이트에 체결되는 기둥부를 포함하되, 상기 볼트머리와, 탑플레이트 사이에는 기둥부에 끼워지는 제3스프링이 배치되어 있어서 푸셔를 피검사 디바이스에 탄력적으로 가압시킬 수 있다.

상기 후크래치가 베이스의 걸림부에서 분리되는 해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 평행하지 않도록 배치된다.

상기 검사용 푸셔장치에서,

상기 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 갈수록 경사각이 커질 수 있다.

본 발명에 따른 검사용 푸셔장치는, 후크래치에 힌지연결된 작동레버를 추가로 설치하여 적은 힘으로도 큰 작용력이 발생되어 설치의 용이성을 높일 수 있는 장점이 있다.

본 발명에 따른 검사용 푸셔장치는, 작동레버와 후크래치가 서로 평행한 직선위치에서 최대 힘을 발휘하도록 구성하고 있어서 큰 반력에 대해서도 견딜 수 있는 장점을 가진다.

본 발명은 후크래치가 베이스에 걸린 상태에서 작동레버가 내측으로 회전하는 이단 방식으로 체결되고 있어서 고정력이 향상되며, 이에 따라 다수의 반도체 디바이스를 동시에 안정적으로 테스트하는 것이 가능하다.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 푸셔장치의 사시도.
도 2는 도 1의 검사용 푸셔장치의 단면도.
도 3은 도 1의 검사용 푸셔장치의 작동도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치의 분리사시도.
도 5는 도 4의 결합사시도.
도 6은 도 5의 검사용 푸셔장치의 평면도.
도 7은 도 5의 검사용 푸셔장치를 일측에서 바로본 일측면도.
도 8은 도 5의 검사용 푸셔장치를 타측에서 바로본 타측면도.
도 9는 도 5의 검사용 푸셔장치를 아래에서 바라본 배면도.
도 10은 도 6의 Ⅹ-Ⅹ 단면도.
도 11은 도 6의 ⅩI-ⅩI 단면도.
도 12는 도 5의 검사용 푸셔장치의 일부 분리사시도.
도 13 내지 도 15는 도 4의 검사용 푸셔장치의 작동모습을 나타내는 도면.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 푸셔장치를 나타내는 도면.
도 17은 도 16의 단면도.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 푸셔장치가 검사 기판에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.

첨부한 도면에 도시된 예들을 참조하여, 실시예들이 설명된다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 검사 장치와 피검사 디바이스(90) 간의 전기적 접속을 위한 검사용 푸셔장치(10)에 관련된다. 실시예들의 검사용 푸셔장치(10)는 피검사 디바이스(90)의 검사 시에 검사 장치와 피검사 디바이스(90)의 전기적 접속을 위해 사용될 수 있다. 일 예로, 실시예들의 검사용 푸셔장치(10)는, 피검사 디바이스(90)의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스(90)의 번인 테스트(burn-in test)를 위해 사용될 수 있다. 번인 테스트에 의하면, 피검사 디바이스(90)에 약 80℃ 내지 125℃의 높은 온도로 열적 스트레스가 가해진다. 번인 테스트 도중, 피검사 디바이스(90)는 높은 온도와 높은 전계가 인가된 상태에서 동작하므로, 번인 테스트의 테스트 조건을 견딜 수 없는 피검사 디바이스(90)는 불량을 발생시킨다. 이에 따라, 번인 테스트를 통해, 초기 불량을 일으킬 수 있는 피검사 디바이스(90)가 검사될 수 있다. 실시예들의 검사용 푸셔장치(10)가 적용되는 검사의 예가 전술한 번인 테스트에 한정되지는 않는다.

일 실시예에 따른 검사용 푸셔장치(10)는, 검사장치의 위에 탑재되며, 피검사 디바이스(90)를 내부에 수용하면서 피검사 디바이스(90)를 검사 장치 측으로 가압하도록 구성된다. 구체적으로 검사용 푸셔장치(10)는 피검사 디바이스(90)를 그 내부에 수용하여, 검사장치에 위치시킨다. 피검사 디바이스(90)의 검사는 검사장치의 위에 탑재된 테스트 소켓을 매개로 하여 검사장치에 의해 수행된다.

피검사 디바이스(90)는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임(lead frame)과 다수의 단자를 수지 재료를 사용하여 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스이다. 상기 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다. 상기 단자로서, 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 피검사 디바이스(90)는 그 하측에 반구형의 다수의 단자(91)를 가진다.

검사 장치는 피검사 디바이스(90)의 번인 테스트를 수행하도록 구성될 수 있다. 검사 장치는 테스트 소켓이 장착되는 검사 기판(92)을 가진다. 검사 기판(92)은 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자(91)를 가질 수 있다. 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 테스트 소켓을 통해 대응하는 검사 기판(92)의 단자(91)와 전기적으로 접속된다. 즉, 테스트 소켓이 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 이것에 대응하는 검사 기판(92)의 패드(93)를 수직 방향(VD)으로 전기적 접속시켜, 단자(91)와 패드(93)의 사이에서 전기적 테스트 신호와 응답 신호를 전달한다.

이러한 본 발명에 따른 검사용 푸셔장치(10)는, 베이스(20), 탑플레이트(30), 푸셔(40), 체결수단(50)을 포함하여 구성된다.

상기 베이스(20)는 검사 기판(92)의 상측에 배치되는 것으로서, 구체적으로 검사 기판(92)의 상부에 수직 방향(VD)으로 위치된다.

상기 베이스(20)는 대략 육면체 형상으로 형성되며 평평한 상면과 하면을 가진다. 베이스(20)는 검사 장치의 검사 기판(92)에 탈착 가능하게 장착될 수 있다. 베이스(20)의 상면 중앙에는 한 쌍의 끼워맞춤 핀(21)이 마련된다. 끼워맞춤 핀(21)은 탑플레이트(30)가 베이스(20) 상부에 안착하는 과정에서 상기 탑플레이트(30)가 정위치에 놓일 수 있게 정렬시키는 기능을 수행한다.

상기 베이스(20)에는 내부에 피검사 디바이스(90)가 수용되는 수용공간(22)이 복수개 형성된다. 구체적으로 베이스(20)에는 2 ㅧ 2개의 총 4개의 수용공간(22)이 형성되어 있으며 각각의 수용공간(22)에 피검사 디바이스(90)가 안착될 수 있게 된다.

상기 베이스(20)에는 제1 수평 방향(HD1) 방향으로 대향하는 한 쌍의 걸림부(23)가 형성되어 있게 된다. 걸림부(23)는 베이스(20)의 외주면에서 외측으로 돌출되어 있으며 후크래치(52)가 걸림결합될 수 있도록 구성된다.

상기 걸림부(23)는, 베이스(20)의 일측면에서 서로 이격되어 돌출되는 한 쌍의 지지대(231)와, 상기 지지대(231)에 끼워지고 후크래치(52)가 끼워걸리는 후크핀(232)을 포함한다. 후크핀(232)에는 갈고리 형태의 후크래치(52)의 후크부(522b)가 끼워걸릴 수 있도록 구성된다. 이때 후크부(522b)는 후크래치(52)의 자유단에 형성되어 있게 된다.

상기 수용공간(22) 내부에는 인서트(70)가 배치된다. 이러한 인서트(70)는 수용공간(22) 내에 삽입되는 피검사 디바이스(90)의 위치를 정확하게 가이드하는 기능을 수행하는 것으로서, 대략 사각프레임 형태로 이루어지도록 구성된다. 하나의 베이스(20)에는 4개의 수용공간(22)이 형성되어 있으므로 4개의 인서트(70)를 마련하여 수용공간(22) 내부에 삽입하도록 구성된다.

상기 인서트(70) 내부에는 피검사 디바이스(90)의 검사 시에, 피검사 디바이스(90)가 안착되는 탄성 도전 시트(80)가 마련된다. 탄성 도전 시트(80)는 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 검사 기판(92)을 서로 전기적으로 접속시킨다. 이러한 탄성 도전 시트(80)는 하강하는 피검사 디바이스로부터 가해지는 충격력이 그대로 검사 기판으로 전달되지 않게 하여 검사 기판을 파손을 방지하는 기능을 수행한다.

탄성 도전 시트(80)의 대부분은 탄성 고분자 물질로 이루어질 수 있으며, 탄성 도전 시트(80)는 수직 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성을 가질 수 있다. 외력이 수직 방향(VD)에서의 하방으로 탄성 도전 시트(80)에 가해지면, 탄성 도전 시트(80)는 하방 방향과 수평 방향(HD)으로 탄성 변형될 수 있다.

상기 외력은, 푸셔(40)가 피검사 디바이스(90)를 탄성 도전 시트(80) 측으로 눌러서 발생될 수 있다. 이러한 외력에 의해, 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 탄성 도전 시트(80)가 수직 방향(VD)으로 접촉될 수 있고, 탄성 도전 시트(80)와 검사 기판(92)의 패드(93)가 수직 방향(VD)으로 접촉될 수 있다. 상기 외력이 제거되면, 탄성 도전 시트(80)는 그 원래 형상으로 복원될 수 있다.

탄성 도전 시트(80)는 복수의 탄성 도전부(81)를 구비하며, 탄성 도전부(81)는 피검사 디바이스(90)의 단자(91)에 수직 방향(VD)으로 접촉되어 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 검사 기판(92)의 패드(93)를 전기적으로 접속시킨다. 탄성 도전부(81)는 그 상단에서 피검사 디바이스(90)의 단자(91)와 접촉되고 그 하단에서 검사 기판(92)의 패드(93)의 상단과 접촉된다. 이에 따라, 탄성 도전부(81)가, 이에 대응하는 패드(93)와 단자(91)의 사이에서 수직 방향으로 도전로를 형성한다. 따라서, 검사 장치의 테스트 신호는 검사 기판(92)로부터 탄성 도전부(81)를 통해 피검사 디바이스(90)에 전달될 수 있고, 피검사 디바이스(90)의 응답 신호는 단자(91)로부터 탄성 도전부(81)를 통해 검사 기판(92)에 전달될 수 있다.

탄성 도전부(81)는 수직 방향(VD)으로 연장하는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이러한 원기둥 형상에 있어서, 중간에서의 직경은 상단 및 하단에서의 직경보다 작을 수 있다. 탄성 도전부(81)들의 평면 배열은 피검사 디바이스(90)의 단자(91)의 평면 배열에 따라 다양할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 탄성 도전부(81)들은 한 쌍의 행렬 형태로 배열될 수 있으나, 이러한 배열 형태로 한정되지는 않는다.

일 실시예에 있어서, 탄성 도전 시트(80)는 복수의 탄성 도전부(81)를 수평 방향(HD)으로 이격 및 절연시키는 탄성 절연부(82)를 구비한다. 또한, 탄성 도전 시트(80)는 탄성 절연부(82)의 둘레를 따라 탄성 절연부(82)에 결합되어 탄성 절연부(82)를 지지하는 프레임 부재(미도시)을 구비한다.

탄성 절연부(82)는 탄성 도전 시트(80)의 사각형의 탄성 영역을 형성할 수 있다. 복수의 탄성 도전부(81)는 탄성 절연부(82)에 의해 수평 방향(HD)으로 등간격 또는 부등간격으로 서로 간에 이격되고 절연된다. 탄성 절연부(82)는 하나의 탄성체로서 형성되어 있으며, 복수의 탄성 도전부(81)는 탄성 절연부(82)의 두께 방향(수직 방향(VD))에서 탄성 절연부(82)에 박혀 있다. 탄성체로 이루어지는 탄성 절연부(82)는 탄성 도전부(81)를 그 형상으로 유지시킨다. 탄성 절연부(82)는 탄성 고분자 재료로 이루어지며, 수직 방향(VD)과 수평 방향(HD)으로 탄성력을 가진다.

상세하게는, 탄성 절연부(82)는 경화된 실리콘 러버 재료로 이루어질 수 있다. 예컨대, 액상의 실리콘 러버가 탄성 도전 시트(80)를 성형하기 위한 성형 금형 내에 주입되고 경화됨으로써, 탄성 절연부(82)가 형성될 수 있다. 탄성 절연부(82)를 성형하기 위한 액상의 실리콘 러버 재료로서, 부가형 액상 실리콘 고무, 축합형 액상 실리콘 고무, 비닐기나 히드록시기를 포함하는 액상 실리콘 고무 등이 사용될 수 있다. 구체적인 예로서, 상기 액상 실리콘 러버 재료는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 포함할 수 있다. 또한, 탄성 절연부(82)를 구성하는 실리콘 러버 재료로는, 일 실시예의 테스트 소켓이 번인 테스트에 적용될 수 있도록, 내열 특성이 우수한 실리콘 러버 재료가 사용될 수 있다.

탄성 도전부(81)는 수직 방향(VD)으로 도전 가능하게 접촉된 다수의 도전성 금속 입자(811)를 포함한다. 도전성 금속 입자(811)는 코어 입자의 표면을 고전도성 금속으로 피복하여 이루어질수 있다. 코어 입자는 철, 니켈, 코발트 등의 금속 재료로 이루어지거나, 탄성을 지닌 수지 재료로 이루어질 수 있다. 코어 입자의 표면에 피복되는 고전도성 금속으로는, 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등이 사용될 수 있다. 수직 방향으로 도전 가능하게 접촉된 도전성 금속 입자(811)들이 탄성 도전부(81)의 도전로를 형성한다. 일 예로, 탄성 절연부(82)를 이루는 탄성 고분자 재료에 의해 도전성 금속 입자(811)들이 탄성 도전부(81)의 형상으로 유지될 수 있다.

상기 탑플레이트(30)는, 상기 베이스(20)의 상부에 배치되며 상기 수용공간(22)과 대응되는 위치에 수납홀(311)이 형성되고 외주면에 고정부(32)가 마련되는 것이다.

상기 탑플레이트(30)는, 베이스(20)와 유사하게 육면체 형태로 이루어진다. 탑플레이트(30)의 외부 치수는 베이스(20)의 외부 치수와 동일하도록 구성된다. 상기 탑플레이트(30)에는 제1수평 방향(HD1) 및 제2수평 방향(HD2)으로 복수개의 수납부(31)가 격자형태로 배치되어 있게 된다. 각각의 수납부(31)는 수용공간(22)과 대응되는 상방향 위치에 배치된다. 상기 수납부(31)는 탑플레이트(30)의 상면에서 하측으로 오목하게 들어간 홈형태로 이루어지고 수납부(31)의 바닥면에 푸셔(40)의 제2부분(422)이 안착되도록 구성된다. 상기 수납부(31)의 중앙에는 푸셔(40)의 제1부분(421)이 통과하는 수납홀(311)이 마련되어 있게 된다.

상기 수납부(31)의 바닥면으로서 수납홀(311) 주변부에는 상하방향으로 관통되는 제1통공(312)이 형성되어 있게 되며, 상기 제1통공(312)에 볼트(44)의 기둥부(442)가 삽입되어 통과하도록 구성된다.

상기 탑플레이트(30)의 가장자리 외측면에는 제1수평 방향(HD1)으로 대향하는 고정부(32)가 돌출형성되어 있게 된다.

상기 고정부(32)는 탑플레이트(30)의 양쪽 외측면에서 바깥쪽으로 돌출되어 마련된다. 각 외측면에 배치된 고정부(32)는 2개가 외측면 중앙을 기준으로 서로 이격되어 배치된다.

상기 고정부(32)에는 제2수평 방향(HD2)으로 관통되는 제1샤프트 홀(321)이 형성되어 있게 된다. 상기 제1샤프트 홀(321)에는 제1힌지 샤프트(60)가 끼워져 결합되도록 구성된다.

상기 탑플레이트(30)의 저면 바닥부에는 끼워맞춤 홈(미도시)이 형성되어 있게 된다. 상기 끼워맞춤 홈은 상기 베이스(20)의 끼워맞춤 핀(21)과 대응되는 위치에 배치되며 끼워맞춤 홈에 끼워맞춤 돌기가 결합됨으로서 베이스(20)에 대한 탑플레이트(30)의 위치맞춤이 될 수 있게 된다.

상기 푸셔(40)는, 상기 탑플레이트(30)의 수납홀(311)에 삽입되어 상기 탑플레이트(30)에 결합되고 상기 수용공간(22) 내에 수납된 피검사 디바이스(90)를 검사장치 측으로 가압할 수 있는 것이다.

이러한 푸셔(40)는, 체결수단(50)에 의하여 탑플레이트(30)가 베이스(20)에 고정되었을 때, 피검사 디바이스(90)를 검사 장치 측으로 가압하여 피검사 디바이스(90)의 단자(91)들이 검사 기판(93)에 밀착접촉될 수 있도록 가압력을 제공하는 것이다.

이러한 푸셔(40)는, 푸셔부(41)와, 볼트(44) 및 제3스프링(45)으로 이루어진다.

상기 푸셔부(41)는, 푸셔본체(42)와 열전달부(43)를 포함하여 구성된다.

상기 푸셔본체(42)는, 적어도 일부분이 상기 탑플레이트(30)의 수납홀(311)을 관통하여 하방으로 돌출되는 것으로서, 하단이 베이스 내부에 안착된 피검사 디바이스(90)의 상면에 접촉되어 상기 피검사 디바이스(90)에 가압력을 제공하도록 구성된다.

이러한 푸셔본체(42)는, 상기 수용공간(22)에 수용되는 피검사 디바이스(90)와 접촉하는 제1부분(421)과, 상기 제1부분(421)의 상측에 배치되며 상기 제1부분(421)보다 큰 면적을 가지는 제2부분(422)을 포함한다.

상기 제1부분(421)은, 탑플레이트(30)의 수납홀(311)보다 내부에 삽입될 수 있도록 수납홀(311)보다 작은 단면적을 가지고 있으며 대략 육면체 형태로 이루어진다.

상기 제2부분(422)은 상기 제1부분(421)보다 큰 면적을 가지고 있으며 상기 제1부분(421)의 상부에 사각판 형태로 마련된다. 상기 제2부분(422)에서 제1부분(421)의 외측으로 돌출된 부분에는 삽입부(422a)가 형성된다. 구체적으로 상기 삽입부(422a)는 제1부분(421)의 상면에서 하방향으로 오목한 제1대경홈과, 상기 제1대경홈에서 하방향으로 연장되고 제1대경홈보다 작은 면적을 가지면서 제2부분(422)을 관통하는 제1소경구멍으로 이루어진다.

제1대경홈은 볼트(44)의 볼트머리(441)와 대응되는 내경을 가지는 것이며, 제1소경구멍에는 볼트(44)의 기둥부(442)가 삽입되어 관통되도록 구성된다.

상기 열전달부(43)는, 푸셔본체(42)의 상측에 배치되며 푸셔본체(42)의 상면에서 다수개의 열전달핀이 돌출형성되는 것이다. 이러한 열전달부(43)는 푸셔본체(42)가 피검사 디바이스(90)와 접촉시 피검사 디바이스(90)의 열을 제거하거나 피검사 디바이스(90)로 열을 공급하기 위한 것이다. 즉, 번인 테스트에서는 피검사 디바이스(90)에 열을 가해야 하는데, 외부의 고온의 공기로부터 전달받은 열을 피검사 디바이스(90)로 공급할 수 있게 된다.

상기 볼트(44)는, 볼트머리(441)와, 상기 볼트머리(441)보다 작은 외경을 가지며 탑플레이트(30)에 결합되는 기둥부(442)를 포함한다.

상기 볼트머리(441)는 푸셔(40)몸체의 상측에 위치한 상태에서, 기둥부(442)가 삽입부(422a)를 통과하여 탑플레이트(30)의 제1통공(312)에 삽입되어 나사결합되도록 구성된다.

상기 제3스프링(45)은 볼트머리(441)와, 탑플레이트(30) 사이에서 기둥부(442)에 끼워지는 것이며, 푸셔(40)를 피검사 디바이스(90)에 탄력적으로 가압시키는 것이다. 구체적으로 제3스프링(45)은 압축코일 스프링으로서, 기둥부(442)에 끼워진 상태에서 볼트머리(441)와, 푸셔본체(42)의 제2부분(422) 사이에 위치하면서 푸셔부(41)가 피검사 디바이스(90)를 검사기판을 향하여 가압될 수 있도록 가압력을 제공한다.

제3스프링(45)에 의하여 푸셔(40)는 소프트하게 피검사 디바이스(90)에 가압력을 제공할 수 있게 되는 것이다.

상기 체결수단(50)은, 상기 탑플레이트(30)를 상기 베이스(20)에 고정결합하는 것으로서, 작동레버(51)와, 후크래치(52), 제1스프링(53) 및 제2스프링(54)을 포함하여 구성된다.

이러한 체결수단(50)은, 적은 힘으로서 큰 체결력이 발생되도록 하는 것이다. 구체적으로 체결수단(50)은 후크래치(52)가 걸림위치에 위치될 때 최대한 체결력이 발휘될 수 있도록 구성되며, 후크래치(52)를 걸림위치에서 해제위치로 이동시키거나 해제위치에서 걸림위치로 이동시킬 때에는 적은 힘만을 가해도 작동가능하게 한다. 즉, 작업자가 가하는 작은 힘에 의해서 체결수단을 동작시키는 것은 가능하지만, 일단 체결된 후에는 외력에 의하여 걸림위치에서 해제위치로 이동되지 않도록 구성된다.

상기 작동레버(51)는, 탑플레이트(30)의 고정부(32)에 힌지연결되는 일측 자유단에 제1힌지 샤프트(60)가 연결되고 타측에는 제2힌지 샤프트(61)가 연결되는 것이다.

이러한 작동레버(51)는, 제1파지부(511)와, 제1파지부(511)에서 연장되며 제1힌지 샤프트(60) 및 제2힌지 샤프트(61)가 연결되는 작동부(512)를 포함한다.

제1파지부(511)는, 외측으로 돌출된 부분으로서 작업자의 손이 파지될 수 있는 구조를 가지게 된다.

상기 작동부(512)는, 제1파지부(511)에서 직각으로 절곡되어 형성된 것으로서, 직사각형태의 단면을 가지면서 제2수평 방향(HD2)으로 길게 연장되도록 구성된다. 작동부(512)의 상부에는 제2수평 방향으로 길게 연장된 제2-1샤프트 홀(512a)이 형성되고, 작동부(512)의 하측에는 제2수평 방향으로 길게 연장된 제1-1샤프트 홀(512b)이 형성되어 있게 된다.

상기 제2-1샤프트 홀(512a)에는 제2힌지 샤프트(61)가 끼워져 삽입되고, 제1-1샤프트 홀(512b)에는 제1힌지 샤프트(60)가 끼워져 삽입된다.

제1힌지 샤프트(60)에 의하여 작동부(512)는 탑플레이트(30)의 고정부(32)에 힌지연결되어 회전할 수 있도록 구성되고, 제2힌지 샤프트(61)에 의하여 작동레버(51)와 후크래치(52)를 서로 힌지결합될 수 있도록 구성된다.

작업자가 제1파지부(511)를 손으로 파지한 후에 하측으로 가압하면 작동레버(51)는 제1힌지 샤프트(60)를 회전중심으로 하여 탑플레이트(30)로부터 멀어지는 방향, 즉 외측으로 회전할 수 있도록 구성된다. 구체적으로 걸림위치에서 제2힌지 샤프트(61)가 수평 방향으로 이동할 수 있도록 제1파지부(511)를 눌러 가압하면서 수직 방향(VD)방향으로 세워진 작동레버(51)는 제1힌지 샤프트(60)를 기준으로 회전하게 되면서 해제위치로 이동하게 되는 것이다.

걸림위치에서 수직 방향(VD)으로 세워진 작동레버(51)와, 후크래치(52)는 해제위치에서 V 형태로 서로 엇갈린 상태로 배치될 수 있도록 구성된다.

상기 후크래치(52)는, 상기 작동레버(51)에 힌지연결되고 작동레버(51)의 동작에 의하여 자유단이 상기 베이스(20)의 걸림부(23)에 걸림결합될 수 있는 걸림위치와, 자유단이 걸림부(23)에서 분리되는 해제위치 사이에서 이동가능한 것이다.

이러한 후크래치(52)는, 제2파지부(521)와, 후크본체(522)를 포함한다.

상기 제2파지부(521)는, 상기 제1파지부(511)와 대면하는 위치에 배치되는 것으로서, 제1파지부(511)와 함께 작업자가 손으로 파지할 수 있는 부분이다.

후크본체(522)는, 제2파지부(521)에서 직각으로 절곡되어 연장되는 것으로서 직사각 단면을 가지면서 제2수평 방향(HD2)으로 길게 연장되도록 구성된다.

상기 후크본체(522)의 상단에는 제2수평 방향(HD2)으로 길게 연장되는 제2-2샤프트 홀(522a)이 형성되고, 하단인 자유단에는 내측으로 절곡된 후크 형태의 후크부(522b)가 마련되도록 구성된다.

상기 제2-2샤프트 홀(522a)에 제2힌지 샤프트(61)가 삽입되도록 구성되며 이에 따라서 제2힌지 샤프트(61)에 의하여 작동레버(51)의 상부에 힌지결합되도록 구성된다.

탑플레이트(30)를 베이스(20)에 고정결합시키는 걸림위치에서 작동부(512)와, 후크본체(522)를 상하방향으로 일렬배치되도록 구성되며, 후크본체(522)의 하단은 베이스(20)의 걸림부(23)에 걸림결합되도록 구성된다.

이때, 직사각 바 형태의 단면을 가지는 작동부(512)와, 후크본체(522)는 걸림위치에서 수직 방향(VD)으로 세워진다. 구체적으로 걸림위치에서 제2힌지 샤프트(61), 제1힌지 샤프트(60) 및 후크 래치의 자유단은 실질적으로 직선적으로 배치되어 있으며 상하방향으로 정렬되도록 구성된다. 이때 제1힌지 샤프트(60)는 제2힌지 샤프트(61)의 하측에 위치하고 있으며, 베이스(20)의 걸림부(23)는 그 아래에 직선적으로 위치하게 된다.

즉, 걸림위치에서 작동레버(51)와, 후크래치(52)가 서로 직선적으로, 즉 실질적으로 평행하게 배치되어 있게 됨으로서 걸림부(23)에 큰 힘이 가해져도 작동레버(51)와 후크래치(52)를 해제방향으로 이동시키기 어렵게 된다.

상기 제1스프링(53)은, 제1파지부(511)와 제2파지부(521) 사이에 배치되어, 상기 제1파지부(511)를 상기 제2파지부(521)에 대하여 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 것이다. 구체적으로 제1스프링(53)은, 제1파지부(511)를 제2파지부(521)에 대하여 멀어지도록 위치시켜 작동레버(51)가 수직 방향으로 위치될 수 있게 함으로서 걸림상태를 유지할 수 있도록 한다.

상기 제2스프링(54)은, 제1힌지샤프트에 끼워진 상태에서 일단은 작동레버(51)에 고정되고 타단은 탑플레이트(30)의 배면에 걸려 고정되는 토션스프링으로서, 제2스프링(54)은 상기 작동레버(51)가 해제위치에서 걸림위치로 탄성바이어스 시키도록 구성된다. 구체적으로 걸림위치에서 해제위치로 이동하지 않도록 회전력을 부여하도록 구성된다.

이러한 본 발명에 따른 검사용 푸셔장치(10)는 다음과 같은 작동한다.

먼저, 도 13에서는 탑플레이트(30)가 베이스(20)에 결합되기 전 상태를 도시하고 있게 된다. 이때, 후크래치(52)는 해제위치에 놓여져 있다. 작업자가 제1파지부(511)와, 제2파지부(521)를 손으로 오므려서 후크래치(52)의 하단의 후크부(522b)가 걸림부(23)에 걸리지 않도록 최대한 제1수평 방향으로 이격거리를 유지하게 한다.

이후에, 도 14에 도시된 바와 같이, 탑플레이트(30)를 베이스(20)에 결합시킨다. 이때 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 푸셔(40)에 의하여 검사 기판(93) 측으로 가압되도록 구성된다. 구체적으로 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 탄성 이방 시트의 탄성 도전부(81) 상면에 눌려 있게 되고, 모든 피검사 디바이스(90)의 단자(91)가 탄성 도전부(81)의 상면에 밀착 접촉되도록 구성되어 있게 되며, 검사기판의 패드(93)와, 피검사 디바이스(90)의 단자(91)는 전기적으로 도통가능한 상태에 놓이게 된다. 이러한 결합상태를 유지하기 위하여 제1파지부(511)를 시계방향으로 탑플레이트(30)로부터 멀어지는 방향, 즉 외측으로 회전시켜 후크래치(52)의 후크부(522b)가 베이스(20)의 걸림부(23)에 걸리게 한다.

이후에는 도 15에 도시된 바와 같이, 작업자가 제1파지부(511)를 시계방향과 반대방향으로 탑플레이트(30)에 접근하는 방향, 즉 내측으로 회전시키면 작동레버(51)는 제1힌지 샤프트(60)를 중심으로 회전하면서 작동레버(51)가 수직 방향(VD)방향으로 세워질 수 있다. 이와 동시에 작동레버(51)에 힌지연결된 후크래치(52)도 걸림부(23)에 하단의 후크부(522b)가 걸려 있는 상태에서 작동레버(51)와 동일직선상(S)에 놓이도록 수직 방향(VD)으로 세워지게 된다.

작동레버(51)와 후크래치(52)는 직선상에 놓여져 있으며 서로 평행한 위치에 배치되어 있으므로 탑플레이트(30)가 베이스(20)에서 분리되려는 외력에 충분하게 견딜 수 있게 된다.

이후에, 검사 장치로부터 소정의 전기적 신호를 인가하여 피검사 디바이스(90)에 대한 전기적 검사를 수행하게 되는데, 검사가 완료된 후에는 체결과는 역순으로 진행함으로서 후크래치(52)가 베이스(20)에서 분리될 수 있도록 한다.

본 발명은, 지렛대 원리로 후크래치가 베이스에 고정되고, 작동레버를 올리게 되면 축간 거리가 최소 값이 되어 상단의 기구물을 일정 높이에 위치시킬 수 있게 된다.

또한 작동레버의 하부 방향 이동범위가 기존 래치보다 길기 때문에, 후크래치를 베이스의 후크에 우선 걸어 체결해 놓고, 작동레버를 회전시켜 고정하면 적은 힘으로 체결이 가능한 장점이 있다.

이와 같이 본 발명은 기존과 달리 작동레버를 추가로 구비함으로서 가압력이 크게 필요한 경우에도 적은 힘으로도 안정적인 장착을 가능하게 하며 안정적인 검사를 가능하게 한다.

또한 본 발명은 베이스의 걸림부에 후크래치가 걸린후 작동레버를 내측으로 회전시켜 고정하는 이단 방식이기 때문에, 고정력이 향상되어 다수의 반도체 디바이스를 동시에 안정적으로 테스트하는 것이 가능해지는 장점이 있다.

이러한 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.

상술한 실시예에서는 베이스의 걸림부가 한 쌍의 지지대에 원기둥 형태의 후크핀으로 이루어지는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이 걸림부(23')가 상기 베이스(20)의 일측면에서 돌출되어 수평 방향으로 연장되며 사각단면형상을 가지도록 구성된다. 이때 후크래치(52)의 후크부(522b)는 걸림부(23')의 저면에 끼워지도록 구성된다.

다만, 걸림부의 형상은 이에 한정되는 것은 아니며 다각단면이나 타원형 등 다양한 형태를 가질 수 있다.

이상에서는 본 발명의 검사용 푸셔장치에 대해서 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니며 균등한 범위 내라면 확정해석되는 것이 가능함은 물론이다.

10...검사용 푸셔장치 20...베이스
21...끼워맞춤 핀 22...수용공간
23...걸림부 231...지지대
232...후크핀 30...탑플레이트
31...수납부 311...수납홀
312...제1통공 32...고정부
321...제1샤프트 홀 40...푸셔
41...푸셔부 42...푸셔본체
421...제1부분 422...제2부분
422a...삽입부 43...열전달부
44...볼트 441...볼트머리
442...기둥부 45...제3스프링
50...체결수단 51...작동레버
511...제1파지부 512...작동부
512a...제2-1샤프트 홀 512b...제1-1샤프트 홀
52...후크래치 521...제2파지부
522...후크본체 522a...제2-2샤프트 홀
522b...후크부 53...제1스프링
54...제2스프링 60...제1힌지 샤프트
61...제2힌지 샤프트 70...인서트
80...탄성 도전 시트 81...탄성 도전부
82...탄성 절연부 90...피검사 디바이스
91...단자 92...검사 기판
93...패드

Claims (19)

1. 피검사 디바이스와 검사장치의 전기적 연결을 위하여 사용되며 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
   검사장치의 상부에 설치되며 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 형성되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;
   상기 베이스의 상부에 배치되며 상기 수용공간과 대응되는 위치에 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련되는 탑플레이트;
   상기 탑플레이트의 수납홀에 삽입되어 상기 탑플레이트에 결합되고 상기 수용공간 내에 수납된 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압할 수 있는 푸셔;
   전기적 검사과정에서 푸셔가 피검사 디바이스를 가압할 수 있도록 상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,
   상기 체결수단은,
   일측에 제1파지부가 마련되고 타측이 상기 베이스의 걸림부에 힌지결합되는 작동레버와, 상기 작동레버에 힌지연결되고 작동레버의 동작에 의하여 자유단이 상기 베이스의 걸림부에 걸림결합될 수 있는 걸림위치와, 자유단이 걸림부에서 분리되는 해제위치 사이에서 이동가능한 후크래치를 포함하고,
   걸림위치에서 상기 작동레버는 상기 후크래치에 실질적으로 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 작동레버와 탑플레이트의 고정부는 제1힌지 샤프트에 의하여 힌지연결되고,
   상기 작동레버와 후크래치는 제2힌지 샤프트에 의하여 힌지연결되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 걸림위치에서, 제2힌지 샤프트, 제1힌지 샤프트 및 후크래치의 자유단은 실질적으로 직선적으로 연결되어 상하방향으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트는 상기 제2힌지 샤프트의 하측에 위치하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
5. 제2항에 있어서,
   제2힌지 샤프트를 수평 방향으로 이동시킴으로서 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
6. 제5항에 있어서,
   해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 소정의 경사각을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
7. 제2항에 있어서,
   상기 작동레버는,
   제1파지부와, 제1파지부에서 연장되며 제1힌지 샤프트 및 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동부를 포함하되,
   상기 제1파지부는 상기 작동부의 끝단에서 외측으로 절곡되어 구성된 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 후크래치는,
   자유단에 걸림부가 마련되고 제2힌지 샤프트가 연결되는 후크본체와, 상기 후크본체의 상측에 배치되는 제2파지부를 포함하되,
   상기 제2파지부는, 상기 후크본체에서 외측으로 절곡되어 구성된 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 제1파지부와 제2파지부 사이에는 상기 제1파지부를 제2파지부에 대하여 멀어지도록 탄성바이어스시키는 제1스프링이 마련된 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
10. 제1항에 있어서,
    상기 작동레버는 제2스프링에 의하여 해제위치에서 걸림위치로 탄성바이어스 되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
11. 제1항에 있어서,
    상기 베이스의 걸림부는,
    베이스의 일측면에서 서로 이격되어 돌출되는 한 쌍의 지지대와, 상기 지지대에 끼워지고 후크래치가 끼워걸리는 후크핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
12. 제1항에 있어서,
    상기 베이스의 걸림부는,
    상기 베이스의 일측면에서 돌출되어 수평 방향으로 연장되며 사각단면형상을 가지고 저면에 후크래치가 끼워걸리는 후크바를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
13. 피검사 디바이스와 검사장치의 전기적 연결을 위하여 사용되며 피검사 디바이스를 검사장치 측으로 가압하기 위한 검사용 푸셔장치에 있어서,
    검사장치의 상부에 설치되고 외주면에 걸림부가 마련되는 베이스;
    상기 베이스의 상부에 배치되고 수납홀이 형성되며 외주면에 고정부가 마련된 탑플레이트;
    상기 탑플레이트의 수납홀 내에서 상기 탑플레이트에 결합되는 푸셔;
    상기 탑플레이트를 상기 베이스에 고정결합하는 체결수단을 포함하되,
    상기 체결수단은,
    탑플레이트의 고정부에 힌지연결되는 일측 자유단에 제1힌지 샤프트가 연결되고 타측에는 제2힌지 샤프트가 연결되는 작동레버와, 일측은 베이스의 걸림부에 걸림결합되고 타측은 제2힌지 샤프트에 결합되어 상기 작동레버에 연동하여 동작하는 후크래치를 포함하되,
    후크래치의 일측이 베이스의 걸림부에 걸림결합되는 걸림위치에서, 제1힌지 샤프트와 제2힌지 샤프트를 연결하는 직선상에 작동레버와 후크래치가 일렬배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
14. 제13항에 있어서,
    상기 푸셔는,
    적어도 일부분이 상기 탑플레이트의 수납홀 내에 삽입되는 푸셔본체와,
    상기 푸셔본체의 상측에 배치되며 다수의 열전달핀이 돌출형성되는 열전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
15. 제14항에 있어서,
    상기 베이스는, 내부에 피검사 디바이스가 수용되는 수용공간이 마련되고,
    상기 푸셔본체는, 상기 수용공간에 수용되는 피검사 디바이스와 접촉하는 제1부분과, 상기 제1부분의 상측에 배치되며 상기 제1부분보다 큰 면적을 가지는 제2부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
16. 제15항에 있어서,
    제2부분에서 제1부분보다 수평 방향으로 돌출된 부분에는 상하방향으로 관통하는 관통공이 마련되고, 볼트가 상기 관통공을 통과하여 탑플레이트에 체결되어 푸셔를 탑플레이트에 결합시키는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
17. 제16항에 있어서,
    상기 볼트는 볼트머리와, 상기 볼트머리보다 작은 외경을 가지며 탑플레이트에 결합되는 기둥부를 포함하되,
    상기 볼트머리와, 탑플레이트 사이에는 기둥부에 끼워지는 제3스프링이 배치되어 있어서 푸셔를 피검사 디바이스에 탄력적으로 가압시키는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
18. 제13항에 있어서,
    상기 후크래치가 베이스의 걸림부에서 분리되는 해제위치에서, 작동레버와 후크래치는 서로 평행하지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.
19. 제18항에 있어서,
    상기 후크래치가 걸림위치에서 해제위치로 갈수록 경사각이 커지는 것을 특징으로 하는 검사용 푸셔장치.

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