WO2024019249A1 - 입자 측정 디바이스 - Google Patents

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WO2024019249A1
WO2024019249A1 PCT/KR2023/003689 KR2023003689W WO2024019249A1 WO 2024019249 A1 WO2024019249 A1 WO 2024019249A1 KR 2023003689 W KR2023003689 W KR 2023003689W WO 2024019249 A1 WO2024019249 A1 WO 2024019249A1
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WO
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resonance space
resonance
adjustment plate
space adjustment
case
Prior art date
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Ceased
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PCT/KR2023/003689
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English (en)
French (fr)
Inventor
이민주
이희정
한성필
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongwoo Fine Chem Co Ltd
Original Assignee
Dongwoo Fine Chem Co Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry

Definitions

  • the present invention relates to particle measurement devices.
  • the present invention relates to a particle measurement device that effectively measures liquid samples containing nanoparticles.
  • a substance in which a substance is evenly dispersed in the form of molecules or ions in a liquid is referred to as a solution.
  • a solution fine particles larger than ordinary molecules or ions and with a diameter of about 1 nm to 1000 nm are dispersed without aggregation or precipitation.
  • the state it is in is called the colloidal state, and things in this colloidal state are called colloids.
  • Patent Document 1 KR 10-2010-0040457 A
  • the present invention aims to solve the above-mentioned problems and other problems.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device that effectively measures nanoparticles.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device that effectively fixes a flow cell through which a liquid sample containing nanoparticles flows.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device that effectively suppresses twisting forces.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device that effectively measures acoustic waves generated from nanoparticles.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device that amplifies a specific frequency band among generated acoustic waves.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device including a resonant plate that resonates in a specific frequency band.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device that forms a resonance space inside which an acoustic wave resonates.
  • Another object of the present invention is to provide a particle measurement device that adjusts at least one of the shape and size of the resonance space.
  • a mount unit for fixing the flow cell And a case disposed behind the mount unit and forming a resonance space open front and rear, including a resonance unit, wherein the resonance unit is disposed behind the mount unit and forms the resonance space; And located inside the case, a particle measurement device including a resonance space adjustment module that adjusts at least one of the shape and size of the resonance space may be provided.
  • a particle measurement device that effectively measures nanoparticles can be provided.
  • a particle measurement device that effectively fixes a flow cell through which a liquid sample containing nanoparticles flows can be provided.
  • a particle measurement device that effectively suppresses twisting force can be provided.
  • a particle measurement device that effectively measures acoustic waves generated from nanoparticles can be provided.
  • a particle measurement device that amplifies a specific frequency band among the generated acoustic waves can be provided.
  • a particle measurement device including a resonant plate that resonates in a specific frequency band can be provided.
  • a particle measurement device forming a resonance space within which an acoustic wave resonates may be provided.
  • a particle measurement device that adjusts at least one of the shape and size of the resonance space can be provided.
  • FIGS. 1 to 3 are diagrams showing the particle measurement device according to an embodiment of the present invention as seen from various directions.
  • Figure 4 is an exploded perspective view of a particle measurement device according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a diagram showing a flow cell according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the flow cell of FIG. 5 taken along lines C1-C2.
  • Figures 7 and 8 are views showing the fixing module and the resonance unit according to an embodiment of the present invention as viewed from different angles.
  • Figure 9 is a perspective view showing the first fixing module of Figure 1.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view of the fixed module of FIG. 9 taken along line B1-B2.
  • FIGS 11 and 12 are views showing the bridge module according to an embodiment of the present invention as seen from different directions.
  • Figure 13 is a diagram showing a particle measurement device according to an embodiment of the present invention as seen from above.
  • Figure 14 is a diagram showing a sliding bar installed in the first and second side cases according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 15 is a diagram showing a resonance unit in which a sliding slit is formed in the upper case.
  • FIG. 16 is a diagram showing a cross section of FIG. 15 taken along line D1-D2.
  • FIG. 17 is a diagram showing a sliding bar connected to the sliding opening shown in FIG. 15.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view of FIG. 17 taken along line E1-E2.
  • FIG. 19 is a view showing the sliding bar shown in FIG. 18 before being brought into close contact with the resonance plate.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of the resonance unit and the mount unit shown in FIG. 7 taken along line A1-A2.
  • FIG. 21 is a cross-sectional view of the resonance unit and the mount unit shown in FIG. 7 taken along the line A1-A2, and is a view showing the resonance space adjustment plate being moved by a plate mover.
  • FIG. 22 is a cross-sectional view of the resonance unit and the mount unit shown in FIG. 7 taken along the line A1-A2, and is a view showing the resonance space adjustment plate being bent according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 23 is a diagram showing a case according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 24 is a cross-sectional view of the case shown in FIG. 23 taken along line D1-D2.
  • Figure 25 is a diagram showing the movement of the resonance space adjustment plate shown in Figure 24.
  • a specific process sequence may be performed differently from the described sequence.
  • two processes described in succession may be performed substantially at the same time, or may be performed in an order opposite to that in which they are described.
  • membranes, regions, components, etc. when membranes, regions, components, etc. are connected, not only are the membranes, regions, and components directly connected, but also other membranes, regions, and components are interposed between the membranes, regions, and components. This includes cases where it is indirectly connected.
  • membranes, regions, components, etc. when membranes, regions, components, etc. are said to be electrically connected, not only are the membranes, regions, components, etc. directly electrically connected, but also other membranes, regions, components, etc. are interposed between them. This also includes cases of indirect electrical connection.
  • FIGS. 1 to 3 are diagrams showing the particle measurement device 10 according to an embodiment of the present invention as seen from various directions.
  • Figure 1 the front, right, and top sides of particle measurement device 10 can be observed.
  • Figure 2 the front, left, and bottom sides of particle measurement device 10 can be observed.
  • Figure 3 the right side, top side, and back side of particle measurement device 10 can be observed.
  • Figure 4 is an exploded perspective view of the particle measurement device 10 according to an embodiment of the present invention.
  • a Cartesian coordinate system may be used herein to indicate the orientation of particle measurement device 10.
  • the negative Y-axis direction may represent the front of particle measurement device 10.
  • a positive Y-axis direction may indicate the rear of particle measurement device 10.
  • a negative X-axis direction may indicate a left direction of particle measurement device 10.
  • a positive X-axis direction may indicate a right direction of particle measurement device 10.
  • a negative Z-axis direction may indicate a downward direction of particle measurement device 10.
  • a positive Z-axis direction may indicate an upward direction of particle measurement device 10.
  • the particle measurement device 10 may include a flow cell 1000.
  • the flow cell 1000 may have a shape extending in one direction.
  • the flow cell 1000 may have a shape extending from bottom to top.
  • the flow cell 1000 may be a passage through which liquid flows.
  • liquid may flow from the bottom to the top of the flow cell 1000.
  • Liquid flowing in the flow cell 1000 may include nanoparticles. Nanoparticles contained in the liquid flowing in the flow cell 1000 may be the object that the particle measurement device 10 wishes to measure.
  • At least a portion of the flow cell 1000 may transmit light or electromagnetic waves.
  • at least a portion of the light or electromagnetic wave incident on the front of the flow cell 1000 may pass through the flow cell 1000 and proceed from the back of the flow cell 1000 to the rear of the flow cell 1000. .
  • Particle measurement device 10 may include a mount unit 2000.
  • the mount unit 2000 may be coupled to the flow cell 1000.
  • the flow cell 1000 may be fixed to the mount unit 2000.
  • the mount unit 2000 may include a fixing module 2100.
  • the fixation module 2100 may be coupled to the flow cell 1000 or may fix the flow cell 1000.
  • the fixing module 2100 may be located on the left and right sides of the flow cell 1000.
  • a plurality of fixing modules 2100 may be provided.
  • the fixing module 2100 may include a first fixing module 2100a and a second fixing module 2100b.
  • the fixing module 2100 may mean at least one of the first fixing module 2100a and the second fixing module 2100b.
  • the first fixed module 2100a may face the left side of the flow cell 1000.
  • the second fixed module 2100b may face the right side of the flow cell 1000.
  • the flow cell 1000 may be disposed between the first fixed module 2100a and the second fixed module 2100b.
  • the mount unit 2000 may include a bridge module 2500.
  • the bridge module 2500 may be coupled to the first fixing module 2100a and the second fixing module 2100b.
  • the bridge module 2500 may connect the first fixing module 2100a and the second fixing module 2100b.
  • a plurality of bridge modules 2500 may be provided.
  • the bridge module 2500 may include an upper bridge module 2501 and a lower bridge module 2502.
  • the bridge module 2500 may mean at least one of the upper bridge module 2501 and the lower bridge module 2502.
  • the upper bridge module 2501 may be coupled to the upper part of the fixing module 2100.
  • the upper bridge module 2501 may be coupled to the upper end of the first fixing module 2100a and the upper end of the second fixing module 2100b.
  • the lower bridge module 2502 may be coupled to the lower end of the fixing module 2100.
  • the lower bridge module 2502 may be coupled to the lower end of the first fixing module 2100a and the lower end of the second fixing module 2100b.
  • the bridge module 2500 can suppress twisting of the fixing module 2100.
  • the bridge module 2500 can prevent the first fixing module 2100a and the second fixing module 2100b from spreading.
  • the bridge module 2500 may provide coupling force between the fixed module 2100 and the flow cell 1000.
  • the bridge module 2500 may be connected to the flow cell 1000.
  • the bridge module 2500 may be connected to the flow cell 1000.
  • the bridge module 2500 may include a flow cell extension pipe 2535.
  • the flow cell extension pipe 2535 may be a passage through which liquid flowing in the flow cell 1000 flows. 1-3, only a portion of the flow cell extension pipe 2535 may be displayed.
  • Particle measurement device 10 may include a resonance unit 3000.
  • the resonance unit 3000 may form a space inside.
  • the internal space of the resonance unit 3000 may be referred to as “resonance space.”
  • the resonance unit 3000 may include a first side case 3100.
  • the first side case 3100 may be placed behind the first fixing module 2100a.
  • the first side case 3100 may be connected or coupled to the first fixing module 2100a.
  • the first side case 3100 may have a shape extending backward from the first fixing module 2100a.
  • the resonance unit 3000 may include a second side case 3200.
  • the second side case 3200 may be placed behind the second fixing module 2100b.
  • the second side case 3200 may be connected or coupled to the second fixing module 2100b.
  • the second side case 3200 may have a shape extending backward from the second fixing module 2100b.
  • the first side case 3100 and the second side case 3200 may face each other.
  • the first side case 3100 and the second side case 3200 may be spaced apart from each other.
  • the first side case 3100 and the second side case 3200 may be horizontally spaced apart from each other.
  • the first side case 3100 and the second side case 3200 may face a resonance space.
  • the side cases 3100 and 3200 may refer to at least one of the first side case 3100 and the second side case 3200.
  • the resonance unit 3000 may include a rear case 3400.
  • the rear case 3400 may include a rear case plate 3410.
  • the rear case plate 3410 may form the rear of the resonance unit 3000.
  • the rear case plate 3410 may have the shape of a plate.
  • the rear case plate 3410 may face the resonance space.
  • the rear case 3400 may include a rear case opening 3420.
  • the rear case opening 3420 may be formed in the rear case plate 3410.
  • the rear case opening 3420 may be formed to penetrate the rear case plate 3410 in the front-to-back direction.
  • the rear case opening 3420 may communicate with the resonance space 3420.
  • the resonance unit 3000 may include a resonance module 3700.
  • the resonance module 3700 may include a resonance plate 3710.
  • the resonance plate 3710 may be in contact with the side cases 3100 and 3200.
  • the resonance plate 3710 may form the outer surface of the resonance unit 3000.
  • the resonance plate 3710 may form at least a portion of the upper surface of the resonance unit 3000.
  • the resonance plate 3710 may form at least a portion of the lower surface of the resonance unit 3000.
  • the resonance module 3700 may be formed in the side cases 3100 and 3200.
  • the resonance module 3700 may be formed in the rear case 3400.
  • the resonance module 3700 may be located in a resonance space.
  • the resonance module 3700 may be disposed between the first side case 3100 and the second side case 3200.
  • the resonance module 3700 may be placed in front of the rear case plate 3410.
  • a laser beam may be incident on the front of the flow cell 1000.
  • the laser beam may be incident on the flow cell 1000 in a pulse manner. At least a portion of the laser beam incident on the front of the flow cell 1000 may reach the inside of the flow cell 1000. At least a portion of the laser beam that reaches the inside of the flow cell 1000 may pass through the rear case opening 3420 and proceed to the rear of the resonance unit 3000.
  • the laser beam that reaches the inside of the flow cell 1000 may apply energy to the liquid (or liquid sample) flowing in the flow cell 1000.
  • particles contained in a liquid sample may receive energy from a laser beam.
  • the size of particles contained in a liquid sample may be at the nanometer level.
  • particles contained in a liquid sample can be referred to as “nanoparticles.”
  • a shock wave may be generated.
  • plasma may be generated in the space where the liquid sample reacts to the laser beam.
  • an acoustic wave may be generated and travel to the rear of the flow cell 1000.
  • the properties of acoustic waves may depend on the state of the nanoparticles.
  • the state of the nanoparticles may be a state related to at least one of the number density of the nanoparticles, the size distribution of the nanoparticles, and the shape of the nanoparticles. Therefore, by measuring and analyzing acoustic waves, information about nanoparticles can be obtained.
  • the resonance unit 3000 can resonate acoustic waves.
  • the resonance plate 3710 of the resonance unit 3000 can resonate an acoustic wave.
  • the resonance plate 3710 may resonate with a portion of the acoustic wave corresponding to the natural frequency of the resonance plate 3710. Therefore, the acoustic wave can be effectively measured by matching the natural frequency of the resonance plate 3710 to the frequency band of the acoustic wave to be measured.
  • the natural frequency of the resonance plate 3710 may be determined by at least one of the material, elasticity, length, thickness, and width of the resonance plate 3710. For example, the natural frequency of the resonance plate 3710 can be adjusted by adjusting the length of the resonance plate 3710.
  • the length of the resonance plate 3710 may be based on the front-to-back direction.
  • the length of the resonance plate 3710 may mean the distance from the fixed end of the resonance plate 3710 to the free end.
  • the natural frequency of the resonance plate 3710 can be adjusted by adjusting the distance from the fixed end to the free end of the resonance plate 3710.
  • the resonance space of the resonance unit 3000 may resonate an acoustic wave.
  • the frequency of the resonating portion of the acoustic wave can be adjusted.
  • FIG. 5 is a diagram showing a flow cell 1000 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the flow cell of FIG. 5 taken along lines C1-C2.
  • the flow cell 1000 may have a shape extending in one direction.
  • the flow cell 1000 may extend from the top and continue to the bottom.
  • the top of the flow cell 1010 may form the top of the flow cell 1000.
  • the bottom of the flow cell 1020 may form the bottom of the flow cell 1000.
  • the flow cell 1000 may have a hollow portion formed therein.
  • the flow cell hollow portion 1050 may be a hollow portion formed inside the flow cell 1000.
  • the flow cell hollow portion 1050 may be connected to the top 1010 of the flow cell and the bottom 1020 of the flow cell.
  • the flow cell hollow portion 1050 may be open at the top of the flow cell 1010.
  • the flow cell hollow portion 1050 may be open at the bottom of the flow cell 1020.
  • the flow cell hollow portion 1050 may be a passage through which a liquid sample flows.
  • the liquid sample may flow into the flow cell hollow portion 1050 from the bottom 1020 of the flow cell, flow upward, and be discharged from the top 1010 of the flow cell to the outside of the flow cell 1000.
  • the flow cell 1000 may form an outer surface.
  • the cell outer surface 1100 may refer to the outer surface of the flow cell 1000.
  • the cell outer surface 1100 may include a first cell coupling surface 1110.
  • the first cell coupling surface 1110 may be in close contact with the first fixing module 2100a (see FIG. 1).
  • the cell outer surface 1100 may include a second cell coupling surface 1120.
  • the second cell coupling surface 1120 may be in close contact with the second fixing module 2100b (see FIG. 1).
  • the cell coupling surfaces 1110 and 1120 may refer to at least one of the first cell coupling surface 1110 and the second cell coupling surface 1120.
  • the cell outer surface 1100 may include a cell entrance surface 1130.
  • the cell entrance surface 1130 may form the front face of the flow cell 1000.
  • the cell incident surface 1130 may be a surface on which a laser beam is incident.
  • the cell outer surface 1100 may include a cell transmission surface 1140.
  • the cell transmission surface 1140 may form the rear face of the flow cell 1000.
  • the cell transmission surface 1140 may be a surface through which a laser beam passes and travels outward.
  • the cell inner surface 1200 may form a flow cell hollow portion 1050.
  • the cell inner surface 1200 may include a first cell inner surface 1210 and a second cell inner surface 1220.
  • the first cell inner surface 1210 may correspond to the first cell coupling surface 1110.
  • the second cell inner surface 1220 may correspond to the second cell coupling surface 1120.
  • the cell inner surface 1200 may include a third cell inner surface 1230 and a fourth cell inner surface 1240.
  • the third cell inner surface 1230 may correspond to the cell entrance surface 1130.
  • the fourth cell inner surface 1240 may correspond to the cell transmission surface 1140.
  • Figures 7 and 8 are views showing the fixing module and the resonance unit according to an embodiment of the present invention as viewed from different angles.
  • the resonance unit 3000 may include a front beam 3300.
  • the front beam 3300 may form the front part of the resonance unit 3000.
  • the front beam 3300 may connect the first side case 3100 and the second side case 3200.
  • the front beam 3300 may be coupled to the first side case 3100 and the second side case 3200, respectively.
  • the front beam 3300 may be located behind the fixing module 2100.
  • front beam 3300 may include an upper front beam 3310.
  • the upper front beam 3310 may be coupled or connected to the top of the side cases 3100 and 3200.
  • the lower front beam 3320 may be coupled or connected to the bottom of the side cases 3100 and 3200.
  • the upper front beam 3310, the lower front beam 3320, the first fixing module 2100a, and the second fixing module 2100b may form an opening.
  • the opening formed by the upper front beam 3310, lower front beam 3320, first fixed module 2100a, and second fixed module 2100b may be closed by the flow cell 1000 (see FIG. 1). .
  • the first side case 3100 may have a shape extending rearward from the first fixing module 2100a.
  • the first side case 3100 and the first fixing module 2100a may be formed integrally.
  • the second side case 3200 may have a shape extending rearward from the second fixing module 2100b.
  • the second side case 3200 and the second fixing module 2100b may be formed integrally.
  • One end of the resonance plate 3710 may be coupled to the front beam 3300.
  • the front end of the resonance plate 3710 may be coupled to the upper front beam 3310.
  • the front end of the resonance plate 3710 may be coupled to the lower front beam 3320.
  • At least one of the front and rear ends of the resonance plate 3710 may be coupled to or fixed to the cases 3100, 3200, 3300, and 3400.
  • the cases 3100, 3200, 3300, and 3400 may refer to at least one of the first side case 3100, the second side case 3200, the front beam 3300, and the rear case 3400.
  • the front end of the resonance plate 3710 may be coupled and fixed to the upper front beam 3300, and the rear end of the resonance plate 3710 may be separated from the cases 3100, 3200, 3300, and 3400.
  • the front end of the resonance plate 3710 may be a fixed end, and the rear end of the resonance plate 3710 may be a free end.
  • the front end of the resonance plate 3710 may be coupled and fixed to the upper front beam 3300, and the rear end of the resonance plate 3710 may be coupled to and fixed to the top of the rear case 3400. In this case, both the front and rear ends of the resonance plate 3710 may be fixed ends.
  • the combination and arrangement of the fixed and free ends of the resonance plate 3710 may affect the natural frequency of the resonance plate 3710.
  • the combination and arrangement of the fixed and free ends of the resonance plate 3710 can be adjusted according to the frequency band of the acoustic wave to be measured.
  • Cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500 include a first side case 3100, a second side case 3200, a front beam 3300, a rear case 3400, and an upper case 3500 (see FIG. 15). ), and may include at least one of the lower cases (not shown).
  • Cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500 may form a resonance space. Cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500 may face a resonant space. The cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500 and the resonance module 3700 may form a resonance space. The resonance module 3700 may be coupled to the cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500.
  • FIG. 9 is a perspective view showing the first fixing module 2100a of FIG. 1.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view of the fixed module of FIG. 9 taken along line B1-B2.
  • the structure of the second fixing module 2100b may be similar to the structure of the first fixing module 2100a.
  • the first fixing module 2100a and the second fixing module 2100b may differ from each other in the extending directions of the fixing body upper protrusion 2150 and the fixing body lower protrusion 2160.
  • the fixation module 2100 may include a fixation body 2110.
  • the fixing body 2110 may form the overall shape of the fixing module 2100.
  • the fixed body 2110 may extend downward from the top and extend to the bottom.
  • the fixed body 2110 may have the shape of a square pillar.
  • the fixed body 2110 may form an outer surface.
  • the outer surface of the fixed body 2110 may be divided into four.
  • the fixed body 2110 may include a fixed body coupling surface 2111.
  • the fixed body coupling surface 2111 may form a portion of the outer surface of the fixed body 2110.
  • the fixed body coupling surface 2111 may be coupled to the cell coupling surfaces 1110 and 1120 (see FIG. 6).
  • the shape of the fixed body coupling surface 2111 may correspond to the shape of the cell coupling surfaces 1110 and 1120 (see FIG. 6).
  • the fixing body coupling surface 2111 of the first fixing module 2100a may be coupled to face the first cell coupling surface 1110 (see FIG. 6).
  • the fixing body coupling surface 2111 of the second fixing module 2100b may be coupled to face the second cell coupling surface 1120 (see FIG. 6).
  • the fixed body 2110 may include a fixed body front 2112.
  • the fixed body front 2112 may form the front of the fixed body 2110.
  • the fixed body 2110 may include a rear fixed body 2113.
  • the fixed body rear 2113 may form the rear of the fixed body 2110.
  • the rear fixed body 2113 may be coupled to the side cases 3100 and 3200 (see FIGS. 7 and 8).
  • the rear surface 2113 of the fixing body of the first fixing module 2100a may not be formed.
  • the rear of the fixing body of the second fixing module (2100b, see FIG. 1) ( 2113) may not be formed.
  • the fixed body 2110 may include a fixed body side 2114.
  • the fixed body side 2114 may be located opposite the fixed body coupling surface 2111.
  • the fixation module 2100 may include a fixation body upper protrusion 2150.
  • the fixed body upper protrusion 2150 may be formed to protrude upward from the top of the fixed body 2100.
  • the fixed body upper protrusion 2150 may form a step with the top of the fixed body 2100.
  • the fixed body upper protrusion 2150 may have a shape extending in one direction.
  • the upper protrusion 2150 of the fixed body of the first fixed module 2100a may have a horizontally extending shape.
  • the upper protrusion 2150 of the fixed body of the first fixed module 2100a may have a shape extending in the front-back direction.
  • the upper protrusion 2150 of the fixed body of the second fixed module 2100b may have a horizontally extending shape.
  • the upper protrusion 2150 of the fixed body of the second fixed module 2100b may have a shape extending in the left and right directions. In other words, the direction in which the fixed body upper protrusion 2150 of the first fixing module 2100a extends may be crossed or intersect the direction in which the fixed body upper protrusion 2150 of the second fixing module 2100b extends. .
  • the fixation module 2100 may include a fixation body lower protrusion 2160.
  • the fixed body lower protrusion 2160 may be formed to protrude downward from the bottom of the fixed body 2100.
  • the fixed body lower protrusion 2160 may form a step with the lower end of the fixed body 2100.
  • the fixed body protrusions 2150 and 2160 may refer to at least one of the fixed body upper protrusion 2150 and the fixed body lower protrusion 2160.
  • the fixed body lower protrusion 2160 may have a horizontally extending shape.
  • the direction in which the fixed body lower protrusion 2160 extends horizontally may be crossed or intersects the direction in which the fixed body upper protrusion 2150 extends.
  • the fixed body lower protrusion 2160 of the first fixing module 2100a may have a shape extending in the left and right directions.
  • the fixed body lower protrusion 2160 of the second fixing module 2100b may have a shape extending in the front-back direction.
  • the direction in which the fixed body lower protrusion 2160 of the first fixing module 2100a extends may be crossed or intersect with the direction in which the fixed body lower protrusion 2160 of the second fixing module 2100b extends.
  • the fixed body upper protrusion 2150 may include an upper protrusion coupling hole 2155. Through the upper protrusion coupling hole 2155, the fixed body upper protrusion 2150 can be coupled to the upper bridge module 2501 (see FIG. 1).
  • the fixed body lower protrusion 2160 may include a lower protrusion coupling hole (not shown).
  • the fixed body lower protrusion 2160 may be coupled to the lower bridge module 2502 (see FIG. 1) through a lower protrusion coupling hole (not shown).
  • the protrusion coupling hole 2155 may refer to at least one of the upper protrusion coupling hole 2155 and the lower protrusion coupling hole (not shown).
  • FIGS 11 and 12 are views showing the bridge module 2500 according to an embodiment of the present invention as seen from different directions.
  • the upper bridge module 2501 can be observed.
  • the structure of the lower bridge module 2502 may be similar to that of the upper bridge module 2501.
  • the upper bridge module 2501 and the lower bridge module 2502 may differ from each other in the extending directions of the first bridge groove 2515 and the second bridge groove 2525.
  • the bridge module 2500 may include a bridge body 2505.
  • the bridge body 2505 may form the overall shape of the bridge module 2500.
  • the bridge body 2505 may form a bridge body coupling surface 2506.
  • the bridge body coupling surface 2506 may face the fixing module 2100 (see FIG. 1).
  • the bridge body 2505 may include a bridge body opposing surface 2507.
  • the bridge body opposing surface 2507 may be located opposite the bridge body coupling surface 2506.
  • the bridge module 2500 may include a first bridge part 2510.
  • the first bridge part 2510 may be a part of the bridge body 2505.
  • the first bridge part 2510 may be coupled to the first fixing module 2100a (see FIG. 1).
  • the first bridge part 2510 may include a first bridge groove 2515.
  • the first bridge groove 2515 may be coupled to the fixing body protrusions 2150 and 2160 (see FIG. 9) of the first fixing module 2100a (see FIG. 1).
  • the first bridge groove 2515 may be formed by being recessed in the bridge body coupling surface 2506.
  • the first bridge part 2510 may include a first bridge fastening hole 2513.
  • the first bridge fastening hole 2513 may be formed by being recessed in the bridge body opposing surface 2507.
  • the first bridge fastening hole 2513 may communicate with the first bridge groove 2515.
  • the first bridge fastening hole 2513 may communicate with the protrusion coupling hole 2155 (see FIG. 9) of the first fixing module 2100a (see FIG. 1).
  • the screw inserted into the first bridge fastening hole 2513 is a protrusion coupling hole (2155, see FIG. 9) of the fixed body protrusions (2150, 2160, see FIG. 9) located in the first bridge groove 2515. It can be inserted and fixed. Through this process, the first fixing module 2100a (see FIG. 9) and the bridge module 2500 can be combined.
  • the bridge module 2500 may include a second bridge part 2520.
  • the second bridge part 2520 may be another part of the bridge body 2505.
  • the second bridge part 2520 may be coupled to the second fixing module 2100b (see FIG. 1).
  • the second bridge part 2520 may include a second bridge groove 2525.
  • the second bridge groove 2525 may be coupled to the fixing body protrusions 2150 and 2160 (see FIG. 9) of the second fixing module 2100b (see FIG. 1).
  • the second bridge groove 2525 may be formed by being recessed in the bridge body coupling surface 2506.
  • the second bridge part 2520 may include a second bridge fastening hole 2523.
  • the second bridge fastening hole 2523 may be formed by being recessed in the bridge body opposing surface 2507.
  • the second bridge fastening hole 2523 may communicate with the second bridge groove 2525.
  • the second bridge fastening hole 2523 may communicate with the protrusion coupling hole 2155 (see FIG. 9) of the second fixing module 2100b (see FIG. 1).
  • the screw inserted into the second bridge fastening hole 2523 is a protrusion coupling hole (2155, see FIG. 9) of the fixed body protrusions (2150, 2160, see FIG. 9) located in the second bridge groove (2525). It can be inserted and fixed. Through this process, the second fixing module 2100b (see FIG. 9) and the bridge module 2500 can be combined.
  • the bridge fastening holes 2513 and 2523 may refer to at least one of the first bridge fastening hole 2513 and the second bridge fastening hole 2523.
  • the bridge module 2500 may include a third bridge part 2530.
  • the third bridge part 2530 may be another part of the bridge body 2505.
  • the third bridge part 2530 may be located between the first bridge part 2510 and the second bridge part 2520.
  • the third bridge part 2530 may be coupled to the flow cell 1000 (see FIG. 1).
  • the third bridge part 2530 may include a third bridge hollow portion 2531.
  • the third bridge hollow portion 2531 may be formed in the third bridge part 2530.
  • the third bridge hollow portion 2531 may extend from the bridge body coupling surface 2506 and be connected to the bridge body opposing surface 2507.
  • the third bridge hollow portion 2531 may be in communication with the flow cell hollow portion 1050 (see FIG. 5).
  • the third bridge part 2530 may include a third bridge mounting opening 2533.
  • the third bridge mounting opening 2533 may be formed on the bridge body coupling surface 2506.
  • the third bridge mounting opening 2533 may be coupled to the flow cell 1000 (see FIG. 1).
  • the third bridge mounting opening 2533 may be connected to the third bridge hollow portion 2531.
  • the third bridge mounting opening 2533 may be located between the first bridge groove 2515 and the second bridge groove 2525.
  • the third bridge part 2530 may include a third bridge external opening 2534.
  • the third bridge external opening 2534 may be formed on the bridge body opposing surface 2507.
  • the third bridge external opening 2534 may be connected to the flow cell extension pipe 2535 (see FIG. 1).
  • the third bridge external opening 2534 may be located between the first bridge fastening hole 2513 and the second bridge fastening hole 2523.
  • the third bridge external opening 2534 may be connected to the third bridge hollow part 2531.
  • the direction in which the upper fixing body protrusion 2150 extends may be different in the first fixing module 2100a and the second fixing module 2100b.
  • directions in which the fixed body lower protrusion 2160 extends may be different in the first fixing module 2100a and the second fixing module 2100b.
  • the flow cell 1000 may receive a twisting force. Due to the above arrangement of the fixed body protrusions 2150 and 2160, the twisting force received by the flow cell 1000 (see FIG. 1) can be minimized.
  • Figure 13 is a diagram showing a particle measurement device according to an embodiment of the present invention as seen from above.
  • the resonance plate 3710 may be disposed between the top of the first side case 3100 and the top of the second side case 3200.
  • Resonant plate 3710 may be fastened to the upper front beam 3310 (see FIG. 7).
  • the front end of the resonance plate 3710 may be fastened to the upper front beam 3310 (see FIG. 7).
  • the front end of the resonance plate 3710 may be coupled to the upper front beam 3310 (see FIG. 7) by the resonance plate fixing part 3720.
  • the front end of the resonance plate 3710 may be a fixed end.
  • the resonance plate fixing part 3720 may be a bolt or screw.
  • the resonance plate 3710 may be disposed between the first side case 3100 and the second side case 3200.
  • the resonance plate 3710 may be separated from the first side case 3100 and the second side case 3200.
  • the resonance plate 3710 may be separated from the rear case 3400. That is, the rear end of the resonance plate 3710 may be a free end.
  • the first side case 3100 may include a first side fastening hole 3110.
  • the first side fastening hole 3110 may be formed at the top of the first side case 3100.
  • a plurality of first side fastening holes 3110 may be provided.
  • the plurality of first side fastening holes 3110 may be arranged to be spaced apart in the front-back direction.
  • the second side case 3200 may include a second side fastening hole 3210.
  • the second side fastening hole 3210 may be formed at the top of the second side case 3200.
  • a plurality of second side fastening holes 3210 may be provided.
  • the plurality of second side fastening holes 3210 may be arranged to be spaced apart in the front-back direction.
  • the side fastening holes 3110 and 3210 may refer to at least one of the first side fastening hole 3110 and the second side fastening hole 3210.
  • Figure 14 is a diagram showing the sliding bar 3810 installed in the first and second side cases according to an embodiment of the present invention.
  • the sliding module 3800 may include a sliding bar 3810.
  • the sliding bar 3810 may be located on one side of the resonance plate 3710.
  • at least a portion of the sliding bar 3810 may be located on the upper surface of the resonance plate 3710.
  • the sliding bar 3810 may include a sliding bar body 3811.
  • the sliding bar body 3811 may form the overall shape of the sliding bar 3810.
  • the sliding bar body 3811 may form a shape that extends from one end and continues to the other end.
  • the sliding bar body 3811 can divide one surface of the resonance plate 3710 into the front and back directions. That is, the sliding bar body 3811 can cross the resonance plate 3710 in the horizontal direction.
  • Sliding bar holes 3812 may be formed at both ends of the sliding bar body 3811.
  • the sliding bar hole 3812 located at one end of the sliding bar body 3811 may correspond to the first side fastening hole 3110.
  • the sliding bar hole 3812 located at the other end of the sliding bar body 3811 may correspond to the second side fastening hole 3210.
  • the sliding bar body 3812 connects the first side case 3100 and the second side case 3200. You can connect.
  • the sliding bar body 3812 When bolts are sequentially inserted and fastened into the sliding bar hole 3812 and the side fastening holes 3110 and 3210, the sliding bar body 3812 can contact one surface of the resonance plate 3710.
  • the resonance plate 3710 may not vibrate at the point where it contacts the sliding bar body 3812. That is, the resonance plate 3710 may form a fixed end at a position in contact with the sliding bar body 3812. Therefore, by adjusting the position where the sliding bar body 3812 is disposed, the natural frequency of the resonance plate 3710 can be adjusted.
  • FIG. 15 is a diagram showing a resonance unit in which a sliding slit is formed in the upper case.
  • FIG. 16 is a diagram showing a cross section of FIG. 15 taken along line D1-D2.
  • the resonance unit 3000 may include an upper case 3500.
  • the upper case 3500 may include an upper case plate 3510.
  • the upper case plate 3510 may form at least a portion of the upper face of the resonance unit 3000.
  • the upper case plate 3510 may be connected to the side cases 3100 and 3200 and the rear case 3400.
  • the upper case 3500 may include a receiving opening (not shown).
  • a receiving opening (not shown) may be formed in the upper case plate 3510.
  • the receiving opening (not shown) can accommodate the resonance plate 3710.
  • the upper case 3500 may include a sliding opening 3520.
  • the sliding opening 3520 may include a first sliding opening 3521 and a second sliding opening 3522.
  • the sliding opening 3520 may mean at least one of the first sliding opening 3521 and the second sliding opening 3522.
  • the first sliding opening 3521 may be adjacent to the first side case 3100.
  • the second sliding opening 3522 may be adjacent to the second side case 3200.
  • the first sliding opening 3521 may be disposed between the first side case 3100 and the second sliding opening 3522.
  • the first sliding opening 3521 may be formed between the first side case 3100 and the resonance plate 3710.
  • the second sliding opening 3522 may be disposed between the first sliding opening 3521 and the second side case 3200.
  • the second sliding opening 3522 may be formed between the second side case 3200 and the resonance plate 3710.
  • the sliding opening 3520 may form an elongated shape in one direction.
  • the sliding opening 3520 may have an extended shape in one direction.
  • the sliding opening 3520 may have a shape extending in the front-back direction.
  • FIG. 17 is a diagram showing a sliding bar connected to the sliding opening shown in FIG. 15.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view of FIG. 17 taken along line E1-E2.
  • a plurality of sliding bars 3810 may be provided.
  • the sliding bar 3810 may include a first sliding bar 3810a and a second sliding bar 3810b.
  • the sliding bar 3810 may refer to at least one of the first sliding bar 3810a and the second sliding bar 3810b.
  • the first sliding bar 3810a may be located on one surface of the resonance plate 3710.
  • the second sliding bar 3810b may be located on the other side of the resonance plate 3710.
  • the resonance plate 3710 may be located between the first sliding bar 3810a and the second sliding bar 3810b.
  • Holes may be formed at both ends of the sliding bar 3810. Holes formed at both ends of the sliding bar 3810 may communicate with the sliding opening 3520.
  • the hole formed at one end of the sliding bar 3810 may be referred to as the “first fixing hole.”
  • the hole formed at the other end of the sliding bar 3810 may be referred to as a “second fixing hole.”
  • Screw threads may be formed on the outer surfaces of the holes formed at both ends of the sliding bar 3810.
  • the threads formed on the outer surface of the holes formed at both ends of the sliding bar 3810 may be referred to as “sliding bar threads.”
  • the sliding module 3800 may include a fixing part 3820.
  • the fixing part 3820 may be accommodated in the sliding opening 3520.
  • the fixed part 3820 can move in the sliding opening 3520 and along the sliding opening 3520.
  • the fixing part 3820 coupled to the first fixing hole of the sliding bar 3810 may be referred to as a “first fixing part.”
  • the fixing part 3820 coupled to the second fixing hole of the sliding bar 3810 may be referred to as a “second fixing part.”
  • the first fixing part may be received and coupled to the first sliding opening 3521.
  • the second fixing part may be received and coupled to the second sliding opening 3522.
  • the fixing part 3820 may include bolts or screws.
  • a thread may be formed on the outer surface of the fixing part 3820.
  • the threads formed on the outer surface of the fixing part 3820 may be referred to as “fixed part threads.”
  • the sliding bar thread can be combined with the fixed part thread.
  • the sliding opening 3520 may be exposed to the outside except for a portion obscured by the sliding bar 3810.
  • the sliding module 3800 may include a shielding member (not shown) that blocks the sliding opening 3520 exposed to the outside.
  • FIG. 19 is a view showing the sliding bar shown in FIG. 18 before being brought into close contact with the resonance plate. In FIG. 19, only the sliding module may be displayed for convenience of explanation.
  • the sliding bar 3810 may form a shape bent toward the resonance plate 3710.
  • the first sliding bar 3810a and the second sliding bar 3810b may form a shape curved toward the resonance plate 3710.
  • the sliding bar 3810 may have elasticity. When the fixed part 3820 rotates, the sliding bar thread and the fixed part thread engage, allowing the end of the sliding bar 3810 to move. For example, when the fixing part 3820 rotates, the end of the sliding bar 3810 may move toward the upper case plate 3510 (see FIG. 17).
  • the sliding bar 3810 When the end of the first sliding bar 3810a and the end of the second sliding bar 3810b move toward the upper case plate 3510 (see FIG. 17), the sliding bar 3810 may become flatter. Since the sliding bar 3810 has elasticity, the sliding bar 3810 can provide elastic force to the resonance plate 3710.
  • the resonance plate 3710 may be coupled to the sliding bar 3810 in close contact with the elastic force of the sliding bar 3810. Accordingly, the resonance plate 3710 can form a fixed end at a position in contact with the sliding bar 3810. As the fixed part 3820 moves in the sliding opening 3520 and along the sliding opening 3520, the natural frequency of the resonant plate 3710 can be adjusted.
  • the sliding bar 3810 may be provided singly.
  • the sliding bar 3810 may be placed on the upper surface of the resonance plate 3710.
  • the sliding bar 3810 may be disposed on the lower surface of the resonance plate 3710.
  • the sliding bar 3810 Before the sliding bar 3810 comes into close contact with the resonance plate 3710, the sliding bar 3810 may form a shape curved toward the resonance plate 3710. For example, the sliding bar 3810 may form a convex shape toward the resonance plate 3710.
  • the resonance plate 3710 may be spaced apart from the cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500.
  • the resonance plate 3710 may be located in a resonance space.
  • a “connection member” may be formed that connects one end of the resonance plate 3710 and the cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500.
  • One end of the resonance plate 3710 may be fixed to a connection member to form a fixed end.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of the resonance unit and the mount unit shown in FIG. 7 taken along line A1-A2.
  • a cross section of the flow cell 1000 may be displayed together for convenience of explanation.
  • the resonance unit 3000 may form a resonance space therein.
  • the resonance unit 3000 may include a lower case (not shown).
  • the resonance space may be formed by the side cases 3100 and 3200, the lower case (not shown), the bridge module 2000 (see FIG. 1), the rear case 3400, and the upper part.
  • the upper part may include at least one of a resonance plate (3710, see FIG. 1) and an upper case (3400, see FIG. 17).
  • the resonance unit 3000 may include a resonance space adjustment module 3900.
  • the resonance space adjustment module 3900 may include a resonance space adjustment plate 3910.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may be located between the first side case 3100 and the second side case 3200.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may be disposed adjacent to the side cases 3100 and 3200.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may be located on or coupled to the inner surface of the case (3100, 3200, 3300, 3400, 3500).
  • the resonance space adjustment plate 3910 may be movably coupled to the inner surface of the cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may be provided in plural numbers.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may include a first resonance space adjustment plate 3911 and a second resonance space adjustment plate 3912.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may refer to at least one of the first resonance space adjustment plate 3911 and the second resonance space adjustment plate 3912.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 and the second resonance space adjustment plate 3912 may be spaced apart from each other.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 and the second resonance space adjustment plate 3912 may face each other.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 and the second resonance space adjustment plate 3912 may be moved away from or closer to each other.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 may be adjacent to the first side case 3100.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 may be located between the first side case 3100 and the second resonance space adjustment plate 3912.
  • the second resonance space adjustment plate 3912 may be adjacent to the second side case 3200.
  • the second resonance space adjustment plate 3912 may be located between the second side case 3200 and the first resonance space adjustment plate 3911.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may face the resonance space. In other words, the shape and/or size of the resonance space may be changed by the resonance space adjustment plate 3910.
  • the resonance plate 3710 may be coupled to the side cases 3100 and 3200.
  • the side cases 3100 and 3200 may include a receiving opening as an opening.
  • the resonance plate 3710 may be located in the receiving opening of the side cases 3100 and 3200.
  • One end of the resonance plate 3710 may be coupled to and fixed to the side cases 3100 and 3200.
  • FIG. 21 is a cross-sectional view of the resonance unit and the mount unit shown in FIG. 7 taken along the line A1-A2, and is a view showing the resonance space adjustment plate 3910 being moved by the plate mover 3920.
  • a cross section of the flow cell 1000 may be displayed together for convenience of explanation.
  • the resonance space adjustment module 3900 may include a plate mover 3920.
  • the plate mover 3920 may be coupled to or fixed to the cases 3100, 3200, 3300, 3400, and 3500.
  • the plate mover 3920 may be connected to or coupled to the resonance space adjustment plate 3910 to move the resonance space adjustment plate 3910.
  • the plate mover 3920 may include a connection shaft 3921.
  • the connection shaft 3921 may be connected to the resonance space adjustment plate 3910 and the side cases 3100 and 3200, respectively.
  • the resonance space adjustment plate 3910 can move along the connection axis 3921.
  • the shape and/or size of the resonance space may change.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 and the second space adjustment plate 3912 may be closer to or farther away from each other.
  • the resonance space shown in FIG. 21 may be smaller in size and narrower in width.
  • the resonance frequency of the resonance space can be adjusted by adjusting the position of the resonance space adjustment plate 3910.
  • FIG. 22 is a cross-sectional view of the resonance unit and the mount unit shown in FIG. 7 taken along the line A1-A2, and is a view showing the resonance space adjustment plate 3910 being bent according to an embodiment of the present invention.
  • a cross section of the flow cell 1000 may be displayed together for convenience of explanation.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 may be bent toward the second resonance space adjustment plate 3912.
  • the second resonance space adjustment plate 3912 may be bent toward the first resonance space adjustment plate 3911.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 may be divided into two segments.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 may include a first front resonance space adjustment plate 3911f and a first rear resonance space adjustment plate 3911r.
  • the first front resonance space adjustment plate 3911f and the first rear resonance space adjustment plate 3911r may be connected to each other.
  • the second resonance space adjustment plate 3912 may be divided into two segments.
  • the second resonance space adjustment plate 3912 may include a second front resonance space adjustment plate 3912f and a second rear resonance space adjustment plate 3912r.
  • the second front resonance space adjustment plate 3912f and the second rear resonance space adjustment plate 3912r may be connected to each other.
  • the first front resonance space adjustment plate 3911f and the second front resonance space adjustment plate 3912f may face each other, for example, as shown in FIG. 20 .
  • the first front The resonance space adjustment plate 3911f and the second front resonance space adjustment plate 3912f may face each other at an angle.
  • the first rear resonance space adjustment plate 3911r and the second rear resonance space adjustment plate 3912r may face each other, for example, as shown in FIG. 20 .
  • the front resonance space adjustment plates 3911f and 3912f may include or mean at least one of the first front resonance space adjustment plate 3911f and the second front resonance space adjustment plate 3912f.
  • the rear resonance space adjustment plates 3911r and 3912r may include or mean at least one of the first rear resonance space adjustment plate 3911r and the second rear resonance space adjustment plate 3912r.
  • the space adjustment plate 3910 may be bent at the boundary of the front resonance space adjustment plates 3911f and 3912f and the rear resonance space adjustment plates 3911r and 3912r.
  • the space adjustment plate 3910 can be convex toward the resonant space.
  • the first rear The resonance space adjustment plate 3911r and the second rear resonance space adjustment plate 3912r may face each other at an angle.
  • the first resonance space adjustment plate 3911 When the first resonance space adjustment plate 3911 is bent toward the second resonance space adjustment plate 3912 or the second resonance space adjustment plate 3912 is bent toward the first resonance space adjustment plate 3911, the first resonance space adjustment plate 3911 is bent toward the second resonance space adjustment plate 3912.
  • the width between the space adjustment plate 3911 and the second resonance space adjustment plate 3912 may become smaller or larger as it goes from the flow cell 1000 to the rear case opening 3420. Therefore, the amplification effect of the acoustic wave can increase.
  • the resonance space is It can be divided into two.
  • the resonance space may be divided into a first resonance space and a second resonance space.
  • the first resonance space may be a portion of the resonance space located between the first front resonance space adjustment plate (3911f) and the second front space adjustment plate (3912f).
  • the second resonance space may be a portion of the resonance space located between the first rear resonance space adjustment plate 3911r and the second rear space adjustment plate 3912r.
  • Figure 23 is a diagram showing a case according to an embodiment of the present invention.
  • the cases 3100, 3200, 3300, 3400, 3500, and 3600 may include an upper case 3500 and a lower case 3600.
  • the upper case 3500 may connect the top of the first side case 3100 and the top of the second side case 3200.
  • the upper case 3500 may form the upper surface of the resonance unit 3000.
  • the lower case 3600 may connect the lower end of the first side case 3100 and the lower end of the second side case 3200.
  • the lower case 3600 may face the upper case 3500 below the upper case 3500.
  • the lower case 3600 may form the lower surface of the resonance unit 3000.
  • FIG. 24 is a cross-sectional view of the case shown in FIG. 23 taken along line D1-D2.
  • Figure 25 is a diagram showing the movement of the resonance space adjustment plate shown in Figure 24.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may be located on the inner surface of the case (3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600).
  • the resonance space adjustment plate 3910 may contact the inner surface of the first side case 3100.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may form both ends.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may include a first end 3910j and a second end 3910k.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may form a shape that extends from the first end 3910j and continues to the second end 3910k.
  • the resonance space adjustment plate 3910 can be moved on the inner surface of the case (3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600).
  • first end 3910j of the resonance space adjustment plate 3910 may be movably in contact with the inner surface of the first side case 3100.
  • the first side case 3100 that the first end 3910j of the resonance space adjustment plate 3910 contacts may be referred to as a “first case.”
  • the second end 3910k of the resonance space adjustment plate 3910 may be movably in contact with the inner surface of the lower case 3600.
  • the lower case 3600 that the second end 3910k of the resonance space adjustment plate 3910 contacts may be referred to as a “second case.”
  • the first case and the second case may be connected to each other to form an angle.
  • the resonance space adjustment plate 3910 is in contact with the inner surface of the cases 3100, 3200, 3300, 3400, 3500, and 3600, and is positioned based on the cases 3100, 3200, 3300, 3400, 3500, and 3600. You can change your attitude.
  • the resonance space adjustment plate 3910 is in contact with the inner side of the case (3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600) and adjusts the attitude based on the case (3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600).
  • at least one of the shape and size of the resonance space may be changed.
  • the resonance frequency of the resonance unit 3000 may be changed.
  • the resonance space adjustment plate 3910 may have elasticity.
  • the first end 3910j of the resonance space adjustment plate 3910 is fixed to the first side case 3100, and the first end 3910j of the resonance space adjustment plate 3910 is fixed to the lower case 3600. It can be movably accessed along the inner side of the. Accordingly, at least one of the shape and size of the resonance space may be changed, and the resonance frequency of the resonance unit 3000 may be changed.

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Abstract

입자 측정 디바이스가 개시된다. 본 발명의 입자 측정 디바이스는, 유동셀을 고정하는 마운트 유닛; 그리고 상기 마운트 유닛의 뒤에 배치되고, 전후로 개방된 공명 공간을 형성하는, 공명 유닛을 포함하고, 상기 공명 유닛은, 상기 마운트 유닛의 뒤에 배치되어 상기 공명 공간을 형성하는 케이스; 그리고 상기 케이스의 내부에 위치하며, 상기 공명 공간의 형상과 크기 중 적어도 하나를 조절하는, 공명 공간 조절 모듈을 포함할 수 있다.

Description

입자 측정 디바이스
본 발명은 입자 측정 디바이스에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 나노 입자가 포함된 액체 시료를 효과적으로 측정하는 입자 측정 디바이스에 관한 것이다.
디스플레이 및 반도체 등 고정밀도가 요구되는 제품의 제조 공정에 사용되는 각종 유무기 화학물질들은 제조 수율 하락을 방지하기 위해 현재보다 높은 고순도 케미칼(chemical)을 요구하고 있으며 고순도 케미칼의 품질을 확인하기 위해 높은 수준의 분석 기술들이 개발되고 새로이 적용되고 있다. 이 중 입자에 대한 분석의 중요도는 점점 증가하고 있으며, 10 나노 수준의 작은 입자도 반도체 제조 공정의 수율 하락 및 고집적화에도 영향을 줄 수 있기 때문에 품질의 관리를 위한 안정적인 분석법의 개발이 요구됨과 더불어 공정과정에서 발생할 수 있는 불량의 원인들까지 해석이 가능하도록 기술의 확장성이 보장되어야 한다.
일반적으로, 물질이 분자 또는 이온 상태로 액체 중에 고르게 분산해 있는 것을 용액이라고 지칭하며, 이러한 용액에 보통의 분자나 이온보다 크고, 지름이 1nm~1000nm 정도의 미립자가 응집되거나, 침전되지 않고 분산되어 있는 상태를 콜로이드 상태라고 하며, 이렇게 콜로이드 상태로 되어 있는 것들을 콜로이드(Colloid)라고 부른다.
용액 중에 존재하는 미세 콜로이드 연구는 분석하고자 하는 물질의 물리 화학적 특성의 정보를 얻거나 분리 분석기의 검출력을 향상시키는데 집중되고 있다. 최근까지의 콜로이드 입자의 분석은 100nm 크기의 한계를 가지며 100nm이하의 콜로이드 입자의 정확한 분석을 위해서는 고농도의 시료가 필요하다는 점에서 기술의 개발이 요구된다.
콜로이드 나노입자를 측정하는 방법으로 광 산란 세기를 이용하여 입자의 크기를 확인하는 광 산란 분석법이 일반적으로 사용되고 있다. 그러나 100 nm 보다 크기가 작은 미세 나노 입자를 측정하는 경우에는 산란광이 발생해도 낮은 농도인 경우 검출할 수 있는 확률이 급격히 낮아져 신뢰성 있는 결과를 얻기 어렵고, 입자의 농도가 수 ppm(parts per million) 이상이여야 하는 한계가 있다. 입자의 크기가 크면 산란 세기가 큰 반면 작을수록 광 산란할 수 있는 면적이 줄어들기 때문에 산란광의 세기가 약해서 측정이 어렵다. 때문에 상대적으로 많은 수의 입자가 산란에 기여할 수 있어야 하므로 ppm 미만의 농도에서는 감도가 많이 떨어진다.
나노 입자에 레이저 빔을 조사하여 레이저 유도 플라즈마(Laser Induced Breakdown)가 발생되면 충격파로 이어질 수 있다. 충격파의 소리 신호를 측정하여 나노 입자를 측정하는 경우, 소리 신호 외에 노이즈가 동시에 측정되기 쉬워서 소리 신호를 증폭시킬 필요성이 있다.
(특허문헌 1) KR 10-2010-0040457 A
본 발명은 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 나노 입자를 효과적으로 측정하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 나노 입자가 포함된 액체 시료가 유동하는 유동셀을 효과적으로 고정하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 비틀림 힘을 효과적으로 억제하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 나노 입자로부터 발생되는 어쿠스틱 웨이브를 효과적으로 측정하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 발생된 어쿠스틱 웨이브 중 특정 주파수 대역을 증폭하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 특정 주파수 대역에 공진하는 공진 플레이트를 포함하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 내부에 어쿠스틱 웨이브가 공명하는 공명 공간을 형성하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
본 발명은 공명 공간의 형상 및 크기 중 적어도 하나를 조절하는 입자 측정 디바이스를 제공하는 것을 다른(another) 목적으로 한다.
상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 유동셀을 고정하는 마운트 유닛; 그리고 상기 마운트 유닛의 뒤에 배치되고, 전후로 개방된 공명 공간을 형성하는, 공명 유닛을 포함하고, 상기 공명 유닛은, 상기 마운트 유닛의 뒤에 배치되어 상기 공명 공간을 형성하는 케이스; 그리고 상기 케이스의 내부에 위치하며, 상기 공명 공간의 형상과 크기 중 적어도 하나를 조절하는, 공명 공간 조절 모듈을 포함하는, 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명에 따른 입자 측정 디바이스의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 나노 입자를 효과적으로 측정하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 나노 입자가 포함된 액체 시료가 유동하는 유동셀을 효과적으로 고정하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 비틀림 힘을 효과적으로 억제하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 나노 입자로부터 발생되는 어쿠스틱 웨이브를 효과적으로 측정하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 발생된 어쿠스틱 웨이브 중 특정 주파수 대역을 증폭하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 특정 주파수 대역에 공진하는 공진 플레이트를 포함하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 내부에 어쿠스틱 웨이브가 공명하는 공명 공간을 형성하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 공명 공간의 형상 및 크기 중 적어도 하나를 조절하는 입자 측정 디바이스가 제공될 수 있다.
본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시 예와 같은 특정 실시 예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.
도 1 내지 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 디바이스를 여러 방향에서 바라본 모습을 각각 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 디바이스의 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유동셀을 나타낸 도면이다.
도 6은, 도 5의 유동셀을 C1-C2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 7 및 도 8은, 본 발명의 일 실시예에 따른 고정 모듈과 공명 유닛을 서로 다른 각도에서 바라본 모습을 나타낸 도면이다.
도 9는 도 1의 제1 고정 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 10은 도 9의 고정 모듈을 B1-B2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 11 및 도 12는, 본 발명의 일 실시예에 따른 브릿지 모듈을 서로 다른 방향에서 바라본 모습을 나타낸 도면이다.
도 13은, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 디바이스를 위에서 바라본 모습을 나타낸 도면이다.
도 14는, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 바가 제1 및 제2 사이드 케이스에 설치된 모습을 나타낸 도면이다.
도 15는, 상부 케이스에 슬라이딩 슬릿이 형성된 공명 유닛을 나타낸 도면이다.
도 16은, 도 15를 D1-D2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 17은 도 15에 도시된 슬라이딩 개구부에 슬라이딩 바가 연결된 모습을 나타낸 도면이다.
도 18은 도 17을 E1-E2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 19는, 도 18에 도시된 슬라이딩 바가 공명 플레이트에 밀착되기 이전 모습을 나타낸 도면이다.
도 20은 도 7에 도시된 공명 유닛과 마운트 유닛을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 21은, 도 7에 도시된 공명 유닛과 마운트 유닛을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면으로서 플레이트 무버에 의해 공명 공간 조절 플레이트가 이동한 모습을 나타낸 도면이다.
도 22는 도 7에 도시된 공명 유닛과 마운트 유닛을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면으로서 본 발명의 일 실시예에 따라 공명 공간 조절 플레이트가 굽어진 모습을 나타낸 도면이다.
도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스를 나타낸 도면이다.
도 24는 도 23에 도시된 케이스를 D1-D2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 25는 도 24에 도시된 공명 공간 조절 플레이트가 이동한 모습을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1 내지 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 디바이스(10)를 여러 방향에서 바라본 모습을 각각 나타낸 도면이다. 예를 들어, 도 1에서, 입자 측정 디바이스(10)의 정면, 우측면, 상면이 관찰될 수 있다. 예를 들어, 도 2에서, 입자 측정 디바이스(10)의 정면, 좌측면, 하면이 관찰될 수 있다. 예를 들어, 도 3에서, 입자 측정 디바이스(10)의 우측면, 상면, 후면이 관찰될 수 있다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 디바이스(10)의 분해사시도이다.
본 명세서에서 카테시안 좌표계가 입자 측정 디바이스(10)의 방향을 표시하는데 이용될 수 있다.
예를 들어, 음(negative)의 Y축 방향은 입자 측정 디바이스(10)의 전방을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 양(positive)의 Y축 방향은 입자 측정 디바이스(10)의 후방을 나타낼 수 있다.
예를 들어, 음(negative)의 X축 방향은 입자 측정 디바이스(10)의 왼쪽 방향을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 양(positive)의 X축 방향은 입자 측정 디바이스(10)의 오른쪽 방향을 나타낼 수 있다.
예를 들어, 음(negative)의 Z축 방향은 입자 측정 디바이스(10)의 아래 방향을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 양(positive)의 Z축 방향은 입자 측정 디바이스(10)의 위 방향을 나타낼 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 입자 측정 디바이스(10)는 유동셀(1000)을 포함할 수 있다. 유동셀(1000)은 일방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 유동셀(1000)은, 예를 들어, 아래에서 위로 연장된 형상을 형성할 수 있다.
유동셀(1000)은, 액체가 유동하는 통로일 수 있다. 예를 들어, 유동셀(1000)의 하단에서 상단으로 액체가 유동할 수 있다. 유동셀(1000)에서 유동하는 액체는, 나노 입자를 포함할 수 있다. 유동셀(1000)에서 유동하는 액체에 포함된 나노 입자는, 입자 측정 디바이스(10)가 측정하고자 하는 대상일 수 있다.
유동셀(1000)의 적어도 일부는 빛 또는 전자기파를 투과할 수 있다. 예를 들어, 유동셀(1000)의 전면에 입사된 빛 또는 전자기파의 적어도 일부는, 유동셀(1000)을 통과하여, 유동셀(1000)의 후면에서 유동셀(1000)의 후방으로 진행할 수 있다.
입자 측정 디바이스(10)는 마운트 유닛(2000)을 포함할 수 있다. 마운트 유닛(2000)은, 유동셀(1000)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 유동셀(1000)은 마운트 유닛(2000)에 고정될 수 있다.
마운트 유닛(2000)은, 고정 모듈(2100)을 포함할 수 있다. 고정 모듈(2100)은, 유동셀(1000)에 결합되거나 유동셀(1000)을 고정할 수 있다. 예를 들어, 고정 모듈(2100)은, 유동셀(1000)의 좌우 측면에 위치할 수 있다.
고정 모듈(2100)은 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 고정 모듈(2100)은 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 고정 모듈(2100)은 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
제1 고정 모듈(2100a)은, 유동셀(1000)의 좌측면을 마주할 수 있다. 제2 고정 모듈(2100b)은, 유동셀(1000)의 우측면을 마주할 수 있다. 유동셀(1000)은, 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b)의 사이에 배치될 수 있다.
마운트 유닛(2000)은, 브릿지 모듈(2500)을 포함할 수 있다. 브릿지 모듈(2500)은, 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b)에 결합될 수 있다. 브릿지 모듈(2500)은, 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b)을 연결할 수 있다.
브릿지 모듈(2500)은 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 브릿지 모듈(2500)은, 상부 브릿지 모듈(2501)과 하부 브릿지 모듈(2502)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 브릿지 모듈(2500)은, 상부 브릿지 모듈(2501)과 하부 브릿지 모듈(2502) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
상부 브릿지 모듈(2501)은, 고정 모듈(2100)의 상단부에 결합될 수 있다. 예를 들어, 상부 브릿지 모듈(2501)은, 제1 고정 모듈(2100a)의 상단부와 제2 고정 모듈(2100b)의 상단부에 결합될 수 있다.
하부 브릿지 모듈(2502)은, 고정 모듈(2100)의 하단부에 결합될 수 있다. 예를 들어, 하부 브릿지 모듈(2502)은, 제1 고정 모듈(2100a)의 하단부와 제2 고정 모듈(2100b)의 하단부에 결합될 수 있다.
브릿지 모듈(2500)은, 고정 모듈(2100)의 비틀림을 억제할 수 있다. 브릿지 모듈(2500)은, 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b)의 벌어짐을 억제할 수 있다. 브릿지 모듈(2500)은, 고정 모듈(2100)과 유동셀(1000) 사이의 결합력을 제공할 수 있다.
브릿지 모듈(2500)은 유동셀(1000)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 브릿지 모듈(2500)은 유동셀(1000)에 연통될 수 있다. 브릿지 모듈(2500)은, 유동셀 연장 파이프(2535)를 포함할 수 있다. 유동셀 연장 파이프(2535)는, 유동셀(1000)에서 유동하는 액체가 유동하는 통로일 수 있다. 도 1 내지 도 3에서, 유동셀 연장 파이프(2535)의 일부만 표시될 수 있다.
입자 측정 디바이스(10)는 공명 유닛(3000)을 포함할 수 있다. 공명 유닛(3000)은, 내부에 공간을 형성할 수 있다. 공명 유닛(3000)의 내부 공간은, “공명 공간”이라 칭할 수 있다.
공명 유닛(3000)은, 제1 사이드 케이스(3100)를 포함할 수 있다. 제1 사이드 케이스(3100)는, 제1 고정 모듈(2100a)의 뒤에 배치될 수 있다. 제1 사이드 케이스(3100)는 제1 고정 모듈(2100a)에 연결되거나 결합될 수 있다. 예를 들어, 제1 사이드 케이스(3100)는, 제1 고정 모듈(2100a)에서 뒤로 연장된 형상을 형성할 수 있다.
공명 유닛(3000)은, 제2 사이드 케이스(3200)를 포함할 수 있다. 제2 사이드 케이스(3200)는, 제2 고정 모듈(2100b)의 뒤에 배치될 수 있다. 제2 사이드 케이스(3200)는 제2 고정 모듈(2100b)에 연결되거나 결합될 수 있다. 예를 들어, 제2 사이드 케이스(3200)는, 제2 고정 모듈(2100b)에서 뒤로 연장된 형상을 형성할 수 있다.
제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)는, 서로 마주할 수 있다. 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)는, 서로 이격될 수 있다. 예를 들어, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)는, 수평으로 서로 이격될 수 있다.
제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)는, 공명 공간을 마주할 수 있다. 사이드 케이스(3100, 3200)는, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
공명 유닛(3000)은, 후방 케이스(3400)를 포함할 수 있다. 후방 케이스(3400)는, 후방 케이스 플레이트(3410)를 포함할 수 있다. 후방 케이스 플레이트(3410)는, 공명 유닛(3000)의 후면을 형성할 수 있다. 후방 케이스 플레이트(3410)는, 플레이트(plate)의 형상을 형성할 수 있다. 후방 케이스 플레이트(3410)는, 공명 공간을 마주할 수 있다.
후방 케이스(3400)는, 후방 케이스 개구부(3420)를 포함할 수 있다. 후방 케이스 개구부(3420)는, 후방 케이스 플레이트(3410)에 형성될 수 있다. 후방 케이스 개구부(3420)는, 후방 케이스 플레이트(3410)의 전후 방향으로 관통되어 형성될 수 있다. 후방 케이스 개구부(3420)는, 공명 공간(3420)에 연통될 수 있다.
공명 유닛(3000)은, 공명 모듈(3700)을 포함할 수 있다. 공명 모듈(3700)은, 공명 플레이트(3710)를 포함할 수 있다. 공명 플레이트(3710)는, 사이드 케이스(3100, 3200)에 접할 수 있다. 공명 플레이트(3710)는, 공명 유닛(3000)의 외면을 형성할 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)는, 공명 유닛(3000)의 상면 중 적어도 일부를 형성할 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)는, 공명 유닛(3000)의 하면 중 적어도 일부를 형성할 수 있다.
다른 예를 들어, 공명 모듈(3700)은, 사이드 케이스(3100, 3200)에 형성될 수 있다. 다른 예를 들어, 공명 모듈(3700)은, 후방 케이스(3400)에 형성될 수 있다.
다른 예를 들어, 공명 모듈(3700)은, 공명 공간에 위치할 수 있다. 예를 들어, 공명 모듈(3700)은, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)의 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 공명 모듈(3700)은, 후방 케이스 플레이트(3410)의 전방에 배치될 수 있다.
입자 측정 디바이스(10)의 작동 원리를 살펴볼 수 있다. 레이저 빔이 유동셀(1000)의 전면에 입사될 수 있다. 레이저 빔은, 펄스(pulse) 방식으로 유동셀(1000)에 입사될 수 있다. 유동셀(1000)의 전면에 입사되는 레이저 빔의 적어도 일부는, 유동셀(1000)의 내부에 도달할 수 있다. 유동셀(1000)의 내부에 도달한 레이저 빔의 적어도 일부는, 후방 케이스 개구부(3420)를 통과하여 공명 유닛(3000)의 후방으로 진행할 수 있다.
유동셀(1000)의 내부에 도달한 레이저 빔은, 유동셀(1000)에서 유동하는 액체(또는 액체 시료)에 에너지를 가할 수 있다. 예를 들어, 액체 시료에 포함된 입자는, 레이저 빔으로부터 에너지를 받을 수 있다. 액체 시료에 포함된 입자의 크기는, 나노 미터 수준일 수 있다. 이런 맥락에서 액체 시료에 포함된 입자는, “나노 입자”라 칭할 수 있다.
액체 시료에 포함된 나노 입자가 레이저 빔으로부터 에너지를 전달받으면, 충격파(shock wave)가 발생할 수 있다. 예를 들어, 액체 시료가 레이저 빔으로부터 에너지를 전달받으면, 액체 시료가 레이저 빔에 반응한 공간에서 플라즈마(plasma)가 발생할 수 있다.
예를 들어, 유동셀(1000)의 내부에서 플라즈마가 발생하거나 충격파가 발생하면, 어쿠스틱 웨이브(acoustic wave)가 발생하여 유동셀(1000)의 후방으로 진행할 수 있다.
어쿠스틱 웨이브의 특성은, 나노 입자의 상태에 의존할 수 있다. 나노 입자의 상태는, 나노 입자의 수밀도, 나노 입자의 크기 분포, 나노 입자의 형상 중 적어도 하나에 관한 상태일 수 있다. 따라서, 어쿠스틱 웨이브를 측정하고 분석함으로써, 나노 입자의 정보를 획득할 수 있다.
어쿠스틱 웨이브를 효과적으로 측정하기 위해서, 어쿠스틱 웨이브의 진폭을 증가시킬 필요가 발생할 수 있다. 공명 유닛(3000)은 어쿠스틱 웨이브를 공명 시킬 수 있다.
예를 들어, 공명 유닛(3000)의 공명 플레이트(3710)는, 어쿠스틱 웨이브를 공명 시킬 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)는, 어쿠스틱 웨이브 중에서 공명 플레이트(3710)의 고유 진동수(natural frequency)에 대응되는 부분에 대하여 공진(resonance)할 수 있다. 따라서, 공명 플레이트(3710)의 고유 주파수를 측정하고자 하는 어쿠스틱 웨이브의 주파수 대역에 대응시킴으로써, 어쿠스틱 웨이브를 효과적으로 측정할 수 있다.
공명 플레이트(3710)의 고유 주파수는, 공명 플레이트(3710)의 재료(material), 탄성, 길이, 두께, 폭 중 적어도 하나에 의해 결정될 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 길이를 조절함으로써 공명 플레이트(3710)의 고유 주파수를 조절할 수 있다.
공명 플레이트(3710)의 길이는, 전후 방향 기준일 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 길이는, 공명 플레이트(3710)의 고정단(fixed end)에서 자유단(free end) 까지의 거리를 의미할 수 있다. 달리 말하면, 공명 플레이트(3710)의 고정단(fixed end)에서 자유단(free end) 까지의 거리를 조절함으로써, 공명 플레이트(3710)의 고유 주파수를 조절할 수 있다.
다른 예를 들어, 공명 유닛(3000)의 공명 공간은, 어쿠스틱 웨이브를 공명 시킬 수 있다. 예를 들어, 공명 유닛(3000)의 공명 공간의 형상 및 크기 중 적어도 하나를 조절함으로써, 어쿠스틱 웨이브 중 공명되는 부분의 주파수를 조절할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유동셀(1000)을 나타낸 도면이다. 도 6은, 도 5의 유동셀을 C1-C2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 유동셀(1000)은 일방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 유동셀(1000)은, 상단에서 연장되어 하단으로 이어질 수 있다. 예를 들어, 유동셀 상단(1010)은 유동셀(1000)의 상단을 형성할 수 있다. 예를 들어, 유동셀 하단(1020)은 유동셀(1000)의 하단을 형성할 수 있다.
유동셀(1000)은 내부에 중공부를 형성할 수 있다. 예를 들어, 유동셀 중공부(1050)는, 유동셀(1000)의 내부에 형성된 중공부일 수 있다. 유동셀 중공부(1050)는, 유동셀 상단(1010) 및 유동셀 하단(1020)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 유동셀 중공부(1050)는 유동셀 상단(1010)에서 개방될 수 있다. 예를 들어, 유동셀 중공부(1050)는 유동셀 하단(1020)에서 개방될 수 있다.
유동셀 중공부(1050)는, 액체 시료가 유동하는 통로일 수 있다. 예를 들어, 액체 시료는, 유동셀 하단(1020)에서 유동셀 중공부(1050)에 유입되어 위로 유동하여, 유동셀 상단(1010)에서 유동셀(1000)의 외부로 배출될 수 있다.
유동셀(1000)은 외측면을 형성할 수 있다. 예를 들어, 셀 외면(1100)은, 유동셀(1000)의 외측면을 의미할 수 있다. 셀 외면(1100)은, 제1 셀 결합면(1110)을 포함할 수 있다. 제1 셀 결합면(1110)은, 제1 고정 모듈(2100a, 도 1 참조)을 마주하며 밀착될 수 있다. 셀 외면(1100)은, 제2 셀 결합면(1120)을 포함할 수 있다. 제2 셀 결합면(1120)은, 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)을 마주하며 밀착될 수 있다. 셀 결합면(1110, 1120)은, 제1 셀 결합면(1110)과 제2 셀 결합면(1120) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
셀 외면(1100)은, 셀 입사면(1130)을 포함할 수 있다. 셀 입사면(1130)은, 유동셀(1000)의 전면(front face)을 형성할 수 있다. 셀 입사면(1130)은, 레이저 빔이 입사되는 면일 수 있다. 셀 외면(1100)은, 셀 투과면(1140)을 포함할 수 있다. 셀 투과면(1140)은, 유동셀(1000)의 후면(rear face)을 형성할 수 있다. 셀 투과면(1140)은, 레이저 빔이 투과되어 외부로 진행하는 면일 수 있다.
셀 내면(1200)은, 유동셀 중공부(1050)를 형성할 수 있다. 셀 내면(1200)은, 제1 셀 내면(1210)과 제2 셀 내면(1220)을 포함할 수 있다. 제1 셀 내면(1210)은, 제1 셀 결합면(1110)에 대응될 수 있다. 제2 셀 내면(1220)은, 제2 셀 결합면(1120)에 대응될 수 있다. 셀 내면(1200)은, 제3 셀 내면(1230)과 제4 셀 내면(1240)을 포함할 수 있다. 제3 셀 내면(1230)은, 셀 입사면(1130)에 대응될 수 있다. 제4 셀 내면(1240)은, 셀 투과면(1140)에 대응될 수 있다.
도 7 및 도 8은, 본 발명의 일 실시예에 따른 고정 모듈과 공명 유닛을 서로 다른 각도에서 바라본 모습을 나타낸 도면이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 공명 유닛(3000)은 전방 빔(3300)을 포함할 수 있다. 전방 빔(3300)은, 공명 유닛(3000)의 앞부분을 형성할 수 있다. 전방 빔(3300)은, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)를 연결할 수 있다. 전방 빔(3300)은, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)에 각각 결합될 수 있다. 전방 빔(3300)은 고정 모듈(2100)의 후방에 위치할 수 있다.
전방 빔(3300)은 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 전방 빔(3300)은 상부 전방 빔(3310)을 포함할 수 있다. 상부 전방 빔(3310)은, 사이드 케이스(3100, 3200)의 상단에 결합되거나 연결될 수 있다. 예를 들어, 하부 전방 빔(3320)은, 사이드 케이스(3100, 3200)의 하단에 결합되거나 연결될 수 있다.
상부 전방 빔(3310), 하부 전방 빔(3320), 제1 고정 모듈(2100a), 그리고 제2 고정 모듈(2100b)은, 개구부를 형성할 수 있다. 상부 전방 빔(3310), 하부 전방 빔(3320), 제1 고정 모듈(2100a), 그리고 제2 고정 모듈(2100b)이 형성하는 개구부는, 유동셀(1000, 도 1 참조)에 의해 닫힐 수 있다.
제1 사이드 케이스(3100)는, 제1 고정 모듈(2100a)에서 후방으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 사이드 케이스(3100)와 제1 고정 모듈(2100a)은, 일체로 형성될 수 있다.
제2 사이드 케이스(3200)는, 제2 고정 모듈(2100b)에서 후방으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제2 사이드 케이스(3200)와 제2 고정 모듈(2100b)은, 일체로 형성될 수 있다.
전방 빔(3300)에 공명 플레이트(3710)의 일단이 결합될 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 전단부는, 상부 전방 빔(3310)에 결합될 수 있다. 다른 예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 전단부는, 하부 전방 빔(3320)에 결합될 수 있다.
공명 플레이트(3710)의 전단부와 후단부 중 적어도 하나는, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400)에 결합되거나 고정될 수 있다. 케이스(3100, 3200, 3300, 3400)는, 제1 사이드 케이스(3100), 제2 사이드 케이스(3200), 전방 빔(3300), 그리고 후방 케이스(3400) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 전단부는 상부 전방 빔(3300)에 결합되어 고정되고, 공명 플레이트(3710)의 후단부는 케이스(3100, 3200, 3300, 3400)에 분리된 상태일 수 있다. 이 경우, 공명 플레이트(3710)의 전단부는 고정단이고, 공명 플레이트(3710)의 후단부는 자유단일 수 있다.
예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 전단부는 상부 전방 빔(3300)에 결합되어 고정되고, 공명 플레이트(3710)의 후단부는 후방 케이스(3400)의 상단에 결합되어 고정될 수 있다. 이 경우, 공명 플레이트(3710)의 전단부와 후단부는 모두 고정단일 수 있다.
공명 플레이트(3710)의 고정단과 자유단의 조합 및 배치는, 공명 플레이트(3710)의 고유 주파수(natural frequency)에 영향을 미칠 수 있다. 공명 플레이트(3710)의 고정단과 자유단의 조합 및 배치는, 측정하고자 하는 어쿠스틱 웨이브의 주파수 대역에 따라 조절될 수 있다.
케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)는, 제1 사이드 케이스(3100), 제2 사이드 케이스(3200), 전방 빔(3300), 후방 케이스(3400), 상부 케이스(3500, 도 15 참조), 그리고 하부 케이스(미도시) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)는, 공명 공간을 형성할 수 있다. 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)는 공명 공간을 마주할 수 있다. 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)와 공명 모듈(3700)은, 공명 공간을 형성할 수 있다. 공명 모듈(3700)은, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)에 결합될 수 있다.
도 9는 도 1의 제1 고정 모듈(2100a)을 나타낸 사시도이다. 도 10은 도 9의 고정 모듈을 B1-B2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 제1 고정 모듈(2100a)이 관찰될 수 있다. 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)의 구조는, 제1 고정 모듈(2100a)의 구조와 유사할 수 있다. 예를 들어, 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)은, 고정 바디 상부 돌기(2150)와 고정 바디 하부 돌기(2160)의 연장된 방향에서 서로 다를 수 있다.
고정 모듈(2100)은 고정 바디(2110)를 포함할 수 있다. 고정 바디(2110)는, 고정 모듈(2100)의 전체적인 형상을 형성할 수 있다. 고정 바디(2110)는 상단에서 아래로 연장되어 하단으로 이어져 형성될 수 있다.
고정 바디(2110)는, 사각 기둥의 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 고정 바디(2110)는, 외측면을 형성할 수 있다. 예를 들어, 고정 바디(2110)의 외측면은, 4개로 구분될 수 있다.
예를 들어, 고정 바디(2110)는 고정 바디 결합면(2111)을 포함할 수 있다. 고정 바디 결합면(2111)은 고정 바디(2110)의 외측면 중 일부를 형성할 수 있다. 고정 바디 결합면(2111)은, 셀 결합면(1110, 1120, 도 6 참조)을 마주하며 결합될 수 있다. 고정 바디 결합면(2111)의 형상은, 셀 결합면(1110, 1120, 도 6 참조)의 형상에 대응될 수 있다.
예를 들어, 제1 고정 모듈(2100a)의 고정 바디 결합면(2111)은, 제1 셀 결합면(1110, 도 6 참조)을 마주하며 결합될 수 있다. 예를 들어, 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)의 고정 바디 결합면(2111)은, 제2 셀 결합면(1120, 도 6 참조)을 마주하며 결합될 수 있다.
고정 바디(2110)는 고정 바디 전면(2112)을 포함할 수 있다. 고정 바디 전면(2112)은 고정 바디(2110)의 전면을 형성할 수 있다. 고정 바디(2110)는 고정 바디 후면(2113)을 포함할 수 있다.
고정 바디 후면(2113)은 고정 바디(2110)의 후면을 형성할 수 있다. 고정 바디 후면(2113)은 사이드 케이스(3100, 3200, 도 7 및 도 8 참조)에 결합될 수 있다.
예를 들어, 제1 고정 모듈(2100a)이 제1 사이드 케이스(3100, 도 7 참조)와 일체로 형성되는 경우, 제1 고정 모듈(2100a)의 고정 바디 후면(2113)은 형성되지 않을 수 있다.
예를 들어, 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)이 제2 사이드 케이스(3200, 도 8 참조)와 일체로 형성되는 경우, 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)의 고정 바디 후면(2113)은 형성되지 않을 수 있다.
고정 바디(2110)는, 고정 바디 측면(2114)을 포함할 수 있다. 고정 바디 측면(2114)은, 고정 바디 결합면(2111)의 맞은편에 위치할 수 있다.
고정 모듈(2100)은, 고정 바디 상부 돌기(2150)를 포함할 수 있다. 고정 바디 상부 돌기(2150)는, 고정 바디(2100)의 상단에서 위로 돌출되어 형성될 수 있다. 고정 바디 상부 돌기(2150)는, 고정 바디(2100)의 상단과 단차를 형성할 수 있다.
도 7 및 도 9를 참조하면, 고정 바디 상부 돌기(2150)는, 일 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 고정 모듈(2100a)의 고정 바디 상부 돌기(2150)는, 수평으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 고정 모듈(2100a)의 고정 바디 상부 돌기(2150)는, 전후 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다.
예를 들어, 제2 고정 모듈(2100b)의 고정 바디 상부 돌기(2150)는, 수평으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제2 고정 모듈(2100b)의 고정 바디 상부 돌기(2150)는, 좌우 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 달리 말하면, 제1 고정 모듈(2100a)의 고정 바디 상부 돌기(2150)가 연장된 방향은, 제2 고정 모듈(2100b)의 고정 바디 상부 돌기(2150)가 연장된 방향과 엇갈리거나 교차할 수 있다.
고정 모듈(2100)은, 고정 바디 하부 돌기(2160)를 포함할 수 있다. 고정 바디 하부 돌기(2160)는, 고정 바디(2100)의 하단에서 아래로 돌출되어 형성될 수 있다. 고정 바디 하부 돌기(2160)는, 고정 바디(2100)의 하단과 단차를 형성할 수 있다.
고정 바디 돌기(2150, 2160)는, 고정 바디 상부 돌기(2150)와 고정 바디 하부 돌기(2160) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
도 7 및 도 9를 참조하면, 고정 바디 하부 돌기(2160)는, 수평으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 고정 바디 하부 돌기(2160)가 수평으로 연장된 방향은, 고정 바디 상부 돌기(2150)가 연장된 방향과 엇갈리거나 교차할 수 있다. 예를 들어, 제1 고정 모듈(2100a)의 고정 바디 하부 돌기(2160)는, 좌우 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다.
예를 들어, 제2 고정 모듈(2100b)의 고정 바디 하부 돌기(2160)는, 전후 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다. 달리 말하면, 제1 고정 모듈(2100a)의 고정 바디 하부 돌기(2160)가 연장된 방향은, 제2 고정 모듈(2100b)의 고정 바디 하부 돌기(2160)가 연장된 방향과 엇갈리거나 교차할 수 있다.
고정 바디 상부 돌기(2150)는 상부 돌기 결합홀(2155)을 포함할 수 있다. 상부 돌기 결합홀(2155)을 통해, 고정 바디 상부 돌기(2150)는 상부 브릿지 모듈(2501, 도 1 참조)에 결합될 수 있다.
고정 바디 하부 돌기(2160)는 하부 돌기 결합홀(미도시)을 포함할 수 있다. 하부 돌기 결합홀(미도시)을 통해, 고정 바디 하부 돌기(2160)는 하부 브릿지 모듈(2502, 도 1 참조)에 결합될 수 있다. 돌기 결합홀(2155)은, 상부 돌기 결합홀(2155)과 하부 돌기 결합홀(미도시) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
도 11 및 도 12는, 본 발명의 일 실시예에 따른 브릿지 모듈(2500)을 서로 다른 방향에서 바라본 모습을 나타낸 도면이다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 상부 브릿지 모듈(2501)이 관찰될 수 있다. 하부 브릿지 모듈(2502, 도 1 참조)의 구조는, 상부 브릿지 모듈(2501)의 구조와 유사할 수 있다. 예를 들어, 상부 브릿지 모듈(2501)과 하부 브릿지 모듈(2502, 도 1 참조)은, 제1 브릿지 그루브(2515)와 제2 브릿지 그루브(2525)의 연장된 방향에서 서로 다를 수 있다.
브릿지 모듈(2500)은 브릿지 바디(2505)를 포함할 수 있다. 브릿지 바디(2505)는, 브릿지 모듈(2500)의 전체적인 형상을 형성할 수 있다. 브릿지 바디(2505)는, 브릿지 바디 결합면(2506)을 형성할 수 있다. 브릿지 바디 결합면(2506)은, 고정 모듈(2100, 도 1 참조)을 마주할 수 있다. 브릿지 바디(2505)는, 브릿지 바디 대향면(2507)을 포함할 수 있다. 브릿지 바디 대향면(2507)은, 브릿지 바디 결합면(2506)의 맞은편에 위치할 수 있다.
브릿지 모듈(2500)은 제1 브릿지 파트(2510)를 포함할 수 있다. 제1 브릿지 파트(2510)는, 브릿지 바디(2505)의 일부일 수 있다. 제1 브릿지 파트(2510)는, 제1 고정 모듈(2100a, 도 1 참조)에 결합될 수 있다.
제1 브릿지 파트(2510)는, 제1 브릿지 그루브(2515)를 포함할 수 있다. 제1 브릿지 그루브(2515)는, 제1 고정 모듈(2100a, 도 1 참조)의 고정 바디 돌기(2150, 2160, 도 9 참조)에 결합될 수 있다. 제1 브릿지 그루브(2515)는, 브릿지 바디 결합면(2506)에서 함몰되어 형성될 수 있다.
제1 브릿지 파트(2510)는, 제1 브릿지 체결홀(2513)을 포함할 수 있다. 제1 브릿지 체결홀(2513)은, 브릿지 바디 대향면(2507)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제1 브릿지 체결홀(2513)은, 제1 브릿지 그루브(2515)에 연통될 수 있다. 제1 브릿지 체결홀(2513)은, 제1 고정 모듈(2100a, 도 1 참조)의 돌기 결합홀(2155, 도 9 참조)에 연통될 수 있다.
제1 브릿지 체결홀(2513)에 삽입된 나사(screw)는, 제1 브릿지 그루브(2515)에 위치하는 고정 바디 돌기(2150, 2160, 도 9 참조)의 돌기 결합홀(2155, 도 9 참조)에 삽입되어 고정될 수 있다. 이 과정을 통해, 제1 고정 모듈(2100a, 도 9 참조)과 브릿지 모듈(2500)이 결합될 수 있다.
브릿지 모듈(2500)은 제2 브릿지 파트(2520)를 포함할 수 있다. 제2 브릿지 파트(2520)는, 브릿지 바디(2505)의 다른 일부일 수 있다. 제2 브릿지 파트(2520)는, 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)에 결합될 수 있다.
제2 브릿지 파트(2520)는, 제2 브릿지 그루브(2525)를 포함할 수 있다. 제2 브릿지 그루브(2525)는, 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)의 고정 바디 돌기(2150, 2160, 도 9 참조)에 결합될 수 있다. 제2 브릿지 그루브(2525)는, 브릿지 바디 결합면(2506)에서 함몰되어 형성될 수 있다.
제2 브릿지 파트(2520)는, 제2 브릿지 체결홀(2523)을 포함할 수 있다. 제2 브릿지 체결홀(2523)은, 브릿지 바디 대향면(2507)에서 함몰되어 형성될 수 있다. 제2 브릿지 체결홀(2523)은, 제2 브릿지 그루브(2525)에 연통될 수 있다. 제2 브릿지 체결홀(2523)은, 제2 고정 모듈(2100b, 도 1 참조)의 돌기 결합홀(2155, 도 9 참조)에 연통될 수 있다.
제2 브릿지 체결홀(2523)에 삽입된 나사(screw)는, 제2 브릿지 그루브(2525)에 위치하는 고정 바디 돌기(2150, 2160, 도 9 참조)의 돌기 결합홀(2155, 도 9 참조)에 삽입되어 고정될 수 있다. 이 과정을 통해, 제2 고정 모듈(2100b, 도 9 참조)과 브릿지 모듈(2500)이 결합될 수 있다. 브릿지 체결홀(2513, 2523)은, 제1 브릿지 체결홀(2513)과 제2 브릿지 체결홀(2523) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
브릿지 모듈(2500)은 제3 브릿지 파트(2530)를 포함할 수 있다. 제3 브릿지 파트(2530)는, 브릿지 바디(2505)의 또 다른 일부일 수 있다. 제3 브릿지 파트(2530)는, 제1 브릿지 파트(2510)와 제2 브릿지 파트(2520)의 사이에 위치할 수 있다.
제3 브릿지 파트(2530)는, 유동셀(1000, 도 1 참조)에 결합될 수 있다. 제3 브릿지 파트(2530)는, 제3 브릿지 중공부(2531)를 포함할 수 있다. 제3 브릿지 중공부(2531)는, 제3 브릿지 파트(2530)에 형성될 수 있다. 제3 브릿지 중공부(2531)는, 브릿지 바디 결합면(2506)에서 연장되어 브릿지 바디 대향면(2507)에 연결될 수 있다. 제3 브릿지 중공부(2531)는, 유동셀 중공부(1050, 도 5 참조)에 연통될 수 있다.
제3 브릿지 파트(2530)는, 제3 브릿지 장착 개구부(2533)를 포함할 수 있다. 제3 브릿지 장착 개구부(2533)는, 브릿지 바디 결합면(2506)에 형성될 수 있다. 제3 브릿지 장착 개구부(2533)는, 유동셀(1000, 도 1 참조)에 결합될 수 있다. 제3 브릿지 장착 개구부(2533)는, 제3 브릿지 중공부(2531)에 연결될 수 있다. 제3 브릿지 장착 개구부(2533)는, 제1 브릿지 그루브(2515)와 제2 브릿지 그루브(2525)의 사이에 위치할 수 있다.
제3 브릿지 파트(2530)는, 제3 브릿지 외부 개구부(2534)를 포함할 수 있다. 제3 브릿지 외부 개구부(2534)는, 브릿지 바디 대향면(2507)에 형성될 수 있다. 제3 브릿지 외부 개구부(2534)는, 유동셀 연장 파이프(2535, 도 1 참조)에 연결될 수 있다. 제3 브릿지 외부 개구부(2534)는, 제1 브릿지 체결홀(2513)과 제2 브릿지 체결홀(2523)의 사이에 위치할 수 있다. 제3 브릿지 외부 개구부(2534)는, 제3 브릿지 중공부(2531)에 연결될 수 있다.
도 9 내지 도 12를 참조하면, 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b)에서, 고정 바디 상부 돌기(2150)가 연장된 방향이 서로 다를 수 있다. 또는 제1 고정 모듈(2100a)과 제2 고정 모듈(2100b)에서, 고정 바디 하부 돌기(2160)가 연장된 방향이 서로 다를 수 있다.
이로 인한 효과를 살펴보면, 볼트가 브릿지 체결홀(2513, 2523)과 돌기 결합홀(2155)에 삽입되어 결합될 때 회전하므로, 유동셀(1000, 도 1 참조)이 비틀리는 힘을 받을 수 있다. 고정 바디 돌기(2150, 2160)의 위와 같은 배치로 인하여, 유동셀(1000, 도 1 참조)이 받는 비틀리는 힘이 최소화될 수 있다.
도 13은, 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 디바이스를 위에서 바라본 모습을 나타낸 도면이다.
도 13을 참조하면, 공명 플레이트(3710)는 제1 사이드 케이스(3100)의 상단과 제2 사이드 케이스(3200)의 상단 사이에 배치될 수 있다. 공명 플레이트(3710)는 상부 전방 빔(3310, 도 7 참조)에 체결될 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 전단부는, 상부 전방 빔(3310, 도 7 참조)에 체결될 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)의 전단부는, 공명 플레이트 고정 파트(3720)에 의해 상부 전방 빔(3310, 도 7 참조)에 결합될 수 있다. 공명 플레이트(3710)의 전단부는 고정단일 수 있다. 공명 플레이트 고정 파트(3720)는, 볼트 또는 나사일 수 있다.
공명 플레이트(3710)는, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)의 사이에 배치될 수 있다. 공명 플레이트(3710)는, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)로부터 분리된 상태일 수 있다. 공명 플레이트(3710)는, 후방 케이스(3400)로부터 분리된 상태일 수 있다. 즉, 공명 플레이트(3710)의 후단부는 자유단일 수 있다.
제1 사이드 케이스(3100)는 제1 사이드 체결홀(3110)을 포함할 수 있다. 제1 사이드 체결홀(3110)은, 제1 사이드 케이스(3100)의 상단에 형성될 수 있다. 제1 사이드 체결홀(3110)은, 복수로 제공될 수 있다. 복수의 제1 사이드 체결홀(3110)은, 전후 방향으로 이격되어 배치될 수 있다.
제2 사이드 케이스(3200)는 제2 사이드 체결홀(3210)을 포함할 수 있다. 제2 사이드 체결홀(3210)은, 제2 사이드 케이스(3200)의 상단에 형성될 수 있다. 제2 사이드 체결홀(3210)은, 복수로 제공될 수 있다. 복수의 제2 사이드 체결홀(3210)은, 전후 방향으로 이격되어 배치될 수 있다. 사이드 체결홀(3110, 3210)은, 제1 사이드 체결홀(3110)과 제2 사이드 체결홀(3210) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
도 14는, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이딩 바(3810)가 제1 및 제2 사이드 케이스에 설치된 모습을 나타낸 도면이다.
도 14를 참조하면, 슬라이딩 모듈(3800)은 슬라이딩 바(3810)를 포함할 수 있다. 슬라이딩 바(3810)는, 공명 플레이트(3710)의 일면에 위치할 수 있다. 예를 들어, 슬라이딩 바(3810)의 적어도 일부는, 공명 플레이트(3710)의 상면에 위치할 수 있다.
슬라이딩 바(3810)는, 슬라이딩 바 바디(3811)를 포함할 수 있다. 슬라이딩 바 바디(3811)는, 슬라이딩 바(3810)의 전체적인 형상을 형성할 수 있다. 슬라이딩 바 바디(3811)는, 일단에서 연장되어 타단에 이어지는 형상을 형성할 수 있다.
슬라이딩 바 바디(3811)는, 공명 플레이트(3710)의 일면을 전후 방향으로 구분할 수 있다. 즉 슬라이딩 바 바디(3811)는, 공명 플레이트(3710)를 횡방향으로 가로지를 수 있다.
슬라이딩 바 바디(3811)의 양단에 슬라이딩 바 홀(3812)이 형성될 수 있다. 슬라이딩 바 바디(3811)의 일단에 위치하는 슬라이딩 바 홀(3812)은, 제1 사이드 체결홀(3110)에 대응될 수 있다. 슬라이딩 바 바디(3811)의 타단에 위치하는 슬라이딩 바 홀(3812)은, 제2 사이드 체결홀(3210)에 대응될 수 있다.
볼트(bolt)가 슬라이딩 바 홀(3812)과 사이드 체결홀(3110, 3210)에 차례로 삽입되어 체결되면, 슬라이딩 바 바디(3812)는 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)를 연결할 수 있다.
볼트(bolt)가 슬라이딩 바 홀(3812)과 사이드 체결홀(3110, 3210)에 차례로 삽입되어 체결되면, 슬라이딩 바 바디(3812)는 공명 플레이트(3710)의 일면에 접할 수 있다. 공명 플레이트(3710)는 슬라이딩 바 바디(3812)와 접하는 지점에서 진동하지 않을 수 있다. 즉 공명 플레이트(3710)는, 슬라이딩 바 바디(3812)와 접하는 위치에서 고정단을 형성할 수 있다. 따라서 슬라이딩 바 바디(3812)가 배치되는 위치를 조절함으로써, 공명 플레이트(3710)의 고유 주파수(natural frequency)가 조절될 수 있다.
도 15는, 상부 케이스에 슬라이딩 슬릿이 형성된 공명 유닛을 나타낸 도면이다. 도 16은, 도 15를 D1-D2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 공명 유닛(3000)은 상부 케이스(3500)를 포함할 수 있다. 상부 케이스(3500)는, 상부 케이스 플레이트(3510)를 포함할 수 있다. 상부 케이스 플레이트(3510)는, 공명 유닛(3000)의 상면(upper face) 중 적어도 일부를 형성할 수 있다. 상부 케이스 플레이트(3510)는, 사이드 케이스(3100, 3200) 및 후방 케이스(3400)에 연결될 수 있다.
상부 케이스(3500)는, 수용 개구부(미도시)를 포함할 수 있다. 수용 개구부(미도시)는 상부 케이스 플레이트(3510)에 형성될 수 있다. 수용 개구부(미도시)는, 공명 플레이트(3710)를 수용할 수 있다.
상부 케이스(3500)는 슬라이딩 개구부(3520)를 포함할 수 있다. 슬라이딩 개구부(3520)는, 제1 슬라이딩 개구부(3521)와 제2 슬라이딩 개구부(3522)를 포함할 수 있다. 슬라이딩 개구부(3520)는, 제1 슬라이딩 개구부(3521)와 제2 슬라이딩 개구부(3522) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
제1 슬라이딩 개구부(3521)는, 제1 사이드 케이스(3100)에 인접할 수 있다. 제2 슬라이딩 개구부(3522)는, 제2 사이드 케이스(3200)에 인접할 수 있다.
제1 슬라이딩 개구부(3521)는, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 슬라이딩 개구부(3522)의 사이에 배치될 수 있다. 제1 슬라이딩 개구부(3521)는, 제1 사이드 케이스(3100)와 공명 플레이트(3710)의 사이에 형성될 수 있다.
제2 슬라이딩 개구부(3522)는, 제1 슬라이딩 개구부(3521)와 제2 사이드 케이스(3200)의 사이에 배치될 수 있다. 제2 슬라이딩 개구부(3522)는, 제2 사이드 케이스(3200)와 공명 플레이트(3710)의 사이에 형성될 수 있다.
슬라이딩 개구부(3520)는, 일 방향으로 길쭉한(elongated) 형상을 형성할 수 있다. 또는, 슬라이딩 개구부(3520)는, 일 방향으로 연장된(extended) 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 슬라이딩 개구부(3520)는, 전후 방향으로 연장된 형상을 형성할 수 있다.
도 17은 도 15에 도시된 슬라이딩 개구부에 슬라이딩 바가 연결된 모습을 나타낸 도면이다. 도 18은 도 17을 E1-E2로 자른 단면을 나타낸 도면이다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 슬라이딩 바(3810)는 복수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 슬라이딩 바(3810)는, 제1 슬라이딩 바(3810a)와 제2 슬라이딩 바(3810b)를 포함할 수 있다. 슬라이딩 바(3810)는, 제1 슬라이딩 바(3810a)와 제2 슬라이딩 바(3810b) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
제1 슬라이딩 바(3810a)는 공명 플레이트(3710)의 일면에 위치할 수 있다. 제2 슬라이딩 바(3810b)는 공명 플레이트(3710)의 타면에 위치할 수 있다. 공명 플레이트(3710)는, 제1 슬라이딩 바(3810a)와 제2 슬라이딩 바(3810b)의 사이에 위치할 수 있다.
슬라이딩 바(3810)의 양단에 홀(hole)이 형성될 수 있다. 슬라이딩 바(3810)의 양단에 형성된 홀은, 슬라이딩 개구부(3520)와 연통될 수 있다. 슬라이딩 바(3810)의 일단부에 형성된 홀은, “제1 고정 홀”이라 칭할 수 있다. 슬라이딩 바(3810)의 타단부에 형성된 홀은, “제2 고정 홀”이라 칭할 수 있다.
슬라이딩 바(3810)의 양단에 형성된 홀의 외면에 나사산이 형성될 수 있다. 슬라이딩 바(3810)의 양단에 형성된 홀의 외면에 형성된 나사산은, “슬라이딩 바 나사산”이라 칭할 수 있다.
슬라이딩 모듈(3800)은, 고정 파트(3820)를 포함할 수 있다. 고정 파트(3820)는, 슬라이딩 개구부(3520)에 수용될 수 있다. 고정 파트(3820)는 슬라이딩 개구부(3520)에서 슬라이딩 개구부(3520)를 따라 이동할 수 있다.
슬라이딩 바(3810)의 제1 고정 홀에 결합되는 고정 파트(3820)는, “제1 고정 파트”라 칭할 수 있다. 슬라이딩 바(3810)의 제2 고정 홀에 결합되는 고정 파트(3820)는, “제2 고정 파트”라 칭할 수 있다. 제1 고정 파트는 제1 슬라이딩 개구부(3521)에 수용되어 결합될 수 있다. 제2 고정 파트는 제2 슬라이딩 개구부(3522)에 수용되어 결합될 수 있다.
고정 파트(3820)는, 볼트 또는 나사를 포함할 수 있다. 고정 파트(3820)의 외면에 나사산이 형성될 수 있다. 고정 파트(3820)의 외면에 형성된 나사산은, “고정 파트 나사산”이라 칭할 수 있다. 슬라이딩 바 나사산은, 고정 파트 나사산과 결합될 수 있다.
도 17 및 도 18을 참조하면, 슬라이딩 개구부(3520)는 슬라이딩 바(3810)에 의해 가려진 부분을 제외하고 외부에 노출될 수 있다. 슬라이딩 모듈(3800)은, 외부에 노출된 슬라이딩 개구부(3520)를 막는, 차폐 부재(미도시)를 포함할 수 있다.
도 19는, 도 18에 도시된 슬라이딩 바가 공명 플레이트에 밀착되기 이전 모습을 나타낸 도면이다. 도 19에서 설명의 편의를 위하여 슬라이딩 모듈만 표시될 수 있다.
도 18 및 19를 참조하면, 슬라이딩 바(3810)가 공명 플레이트(3710)에 밀착되기 이전에, 슬라이딩 바(3810)는 공명 플레이트(3710)를 향해 휘어진 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 제1 슬라이딩 바(3810a)와 제2 슬라이딩 바(3810b)는, 공명 플레이트(3710)를 향해 휘어진 형상을 형성할 수 있다.
슬라이딩 바(3810)는, 탄성을 가질 수 있다. 고정 파트(3820)가 회전하면, 슬라이딩 바 나사산과 고정 파트 나사산이 맞물려, 슬라이딩 바(3810)의 단부가 이동할 수 있다. 예를 들어, 고정 파트(3820)가 회전하면, 슬라이딩 바(3810)의 단부가 상부 케이스 플레이트(3510, 도 17 참조)를 향해 이동할 수 있다.
제1 슬라이딩 바(3810a)의 단부와 제2 슬라이딩 바(3810b)의 단부가 상부 케이스 플레이트(3510, 도 17 참조)를 향해 이동하면, 슬라이딩 바(3810)는 보다 평평해질 수 있다. 슬라이딩 바(3810)는 탄성을 가지므로, 슬라이딩 바(3810)는 탄성력을 공명 플레이트(3710)에 제공할 수 있다.
즉, 슬라이딩 바(3810)의 탄성력에 의해, 공명 플레이트(3710)는 슬라이딩 바(3810)에 밀착되어 결합될 수 있다. 따라서 공명 플레이트(3710)는, 슬라이딩 바(3810)에 접하는 위치에서 고정단을 형성할 수 있다. 고정 파트(3820)가 슬라이딩 개구부(3520)에서 슬라이딩 개구부(3520)를 따라 이동함에 따라, 공명 플레이트(3710)의 고유 주파수(natural frequency)는 조절될 수 있다.
도 17 내지 도 19를 참조하면, 슬라이딩 바(3810)는 단수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 슬라이딩 바(3810)는, 공명 플레이트(3710)의 상면에 배치될 수 있다. 다른 예를 들어, 슬라이딩 바(3810)는, 공명 플레이트(3710)의 하면에 배치될 수 있다.
슬라이딩 바(3810)가 공명 플레이트(3710)에 밀착되기 이전에, 슬라이딩 바(3810)는 공명 플레이트(3710)를 향해 휘어진 형상을 형성할 수 있다. 예를 들어, 슬라이딩 바(3810)는, 공명 플레이트(3710)를 향해 볼록한 형상을 형성할 수 있다.
다른 예를 들어, 공명 플레이트(3710)는, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)에서 이격될 수 있다. 예를 들어, 공명 플레이트(3710)는, 공명 공간에 위치할 수 있다. 이 경우, 공명 플레이트(3710)의 일단부와 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)를 연결하는 “연결 부재”가 형성될 수 있다. 공명 플레이트(3710)의 일단부는 연결 부재에 고정되어 고정단을 형성할 수 있다.
도 20은 도 7에 도시된 공명 유닛과 마운트 유닛을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면이다. 도 20에서 설명의 편의를 위하여 유동셀(1000)의 단면이 같이 표시될 수 있다.
도 20을 참조하면, 공명 유닛(3000)은, 내부에 공명 공간을 형성할 수 있다. 공명 유닛(3000)은 하부 케이스(미도시)를 포함할 수 있다. 공명 공간은, 사이드 케이스(3100, 3200), 하부 케이스(미도시), 브릿지 모듈(2000, 도 1 참조), 후방 케이스(3400), 그리고 상부 파트에 의해 형성될 수 있다. 여기서 상부 파트는, 공명 플레이트(3710, 도 1 참조)와 상부 케이스(3400, 도 17 참조) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
공명 유닛(3000)은, 공명 공간 조절 모듈(3900)을 포함할 수 있다. 공명 공간 조절 모듈(3900)은, 공명 공간 조절 플레이트(3910)를 포함할 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 사이드 케이스(3200)의 사이에 위치할 수 있다.
공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 사이드 케이스(3100, 3200)에 인접하여 배치될 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)의 내측면에 위치하거나 결합될 수 있다. 예를 들어, 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)의 내측면에 이동 가능하게 결합될 수 있다.
공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 복수로 제공될 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)와 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)를 포함할 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)와 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912) 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.
제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)와 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는, 서로 이격될 수 있다. 예를 들어, 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)와 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는, 서로 마주할 수 있다. 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)와 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는, 서로 멀어지거나 근접하도록 이동할 수 있다.
제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)는 제1 사이드 케이스(3100)에 인접할 수 있다. 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)는, 제1 사이드 케이스(3100)와 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)의 사이에 위치할 수 있다.
제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는 제2 사이드 케이스(3200)에 인접할 수 있다. 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는, 제2 사이드 케이스(3200)와 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)의 사이에 위치할 수 있다.
공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 공명 공간을 마주할 수 있다. 달리 말하면, 공명 공간 조절 플레이트(3910)에 의해 공명 공간의 형상 또는/및 크기가 달라질 수 있다.
도 1 내지 도 20을 참조하면, 도면에 도시되지 않았으나, 공명 플레이트(3710)는 사이드 케이스(3100, 3200)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 사이드 케이스(3100, 3200)는, 개구부로서 수용 개구부를 포함할 수 있다. 공명 플레이트(3710)는, 사이드 케이스(3100, 3200)의 수용 개구부에 위치할 수 있다. 공명 플레이트(3710)의 일단은 사이드 케이스(3100, 3200)에 결합되어 고정될 수 있다.
도 21은, 도 7에 도시된 공명 유닛과 마운트 유닛을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면으로서 플레이트 무버(3920)에 의해 공명 공간 조절 플레이트(3910)가 이동한 모습을 나타낸 도면이다. 도 21에서 설명의 편의를 위하여 유동셀(1000)의 단면이 같이 표시될 수 있다.
도 20 및 도 21을 참조하면, 공명 공간 조절 모듈(3900)은, 플레이트 무버(3920)를 포함할 수 있다. 플레이트 무버(3920)는, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500)에 결합되거나 고정될 수 있다. 플레이트 무버(3920)는, 공명 공간 조절 플레이트(3910)에 연결되거나 결합되어, 공명 공간 조절 플레이트(3910)를 이동시킬 수 있다.
플레이트 무버(3920)는, 연결 축(3921)을 포함할 수 있다. 연결 축(3921)은, 공명 공간 조절 플레이트(3910)와 사이드 케이스(3100, 3200)에 각각 연결될 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 연결 축(3921)을 따라 이동할 수 있다.
공명 공간 조절 플레이트(3910)가 이동하면, 공명 공간의 형상 또는/및 크기가 달라질 수 있다. 예를 들어, 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)와 제2 공간 조절 플레이트(3912)는, 서로 가까워지거나 멀어질 수 있다. 예를 들어, 도 20에 도시된 공명 공간에 대비하여, 도 21에 도시된 공명 공간은 그 크기가 작아지고 그 폭은 좁아질 수 있다.
공명 공간의 형상 또는/및 크기가 달라지면, 공명 공간의 공진 주파수가 달라질 수 있다. 따라서 공명 공간 조절 플레이트(3910)의 위치를 조절함으로써 공명 공간의 공진 주파수를 조절할 수 있다.
도 22는 도 7에 도시된 공명 유닛과 마운트 유닛을 A1-A2로 자른 단면을 나타낸 도면으로서 본 발명의 일 실시예에 따라 공명 공간 조절 플레이트(3910)가 굽어진 모습을 나타낸 도면이다. 도 22에서 설명의 편의를 위하여 유동셀(1000)의 단면이 같이 표시될 수 있다.
도 20과 도 22를 참조하면, 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)는 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)를 향해 굽어질 수 있다. 예를 들어, 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)를 향해 굽어질 수 있다.
제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)는 2개의 세그먼트로 구분될 수 있다. 예를 들어, 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)는, 제1 전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f)와 제1 후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r)를 포함할 수 있다. 제1 전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f)와 제1 후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r)는, 서로 연결될 수 있다.
제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는 2개의 세그먼트로 구분될 수 있다. 예를 들어, 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)는, 제2 전방 공명 공간 조절 플레이트(3912f)와 제2 후방 공명 공간 조절 플레이트(3912r)를 포함할 수 있다. 제2 전방 공명 공간 조절 플레이트(3912f)와 제2 후방 공명 공간 조절 플레이트(3912r)는, 서로 연결될 수 있다.
제1 전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f)와 제2 전방 공명 공간 조절 플레이트(3912f)는, 예를 들어 도 20에 도시된 바와 같이, 서로 정면으로 마주할 수 있다.
제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)가 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)를 향해 굽어지거나 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)가 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)를 향해 굽어지면, 제1 전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f)와 제2 전방 공명 공간 조절 플레이트(3912f)는 비스듬하게 마주할 수 있다.
제1 후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r)와 제2 후방 공명 공간 조절 플레이트(3912r)는, 예를 들어 도 20에 도시된 바와 같이, 서로 정면으로 마주할 수 있다.
전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f, 3912f)는, 제1 전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f)와 제2 전방 공명 공간 조절 플레이트(3912f) 중 적어도 하나를 포함하거나 의미할 수 있다.
후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r, 3912r)는, 제1 후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r)와 제2 후방 공명 공간 조절 플레이트(3912r) 중 적어도 하나를 포함하거나 의미할 수 있다.
공간 조절 플레이트(3910)는, 전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f, 3912f)와 후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r, 3912r)의 경계에서 굽어질 수 있다. 예를 들어, 공간 조절 플레이트(3910)는, 공명 공간을 향하여 볼록해질 수 있다.
제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)가 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)를 향해 굽어지거나 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)가 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)를 향해 굽어지면, 제1 후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r)와 제2 후방 공명 공간 조절 플레이트(3912r)는 비스듬하게 마주할 수 있다.
제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)가 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)를 향해 굽어지거나 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)가 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)를 향해 굽어지면, 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)와 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912) 사이의 폭은, 유동셀(1000)에서 후방 케이스 개구부(3420)로 가면서, 작아졌다 커질 수 있다. 따라서 어쿠스틱 웨이브의 증폭 효과가 커질 수 있다.
제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)가 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)를 향해 굽어지거나 제2 공명 공간 조절 플레이트(3912)가 제1 공명 공간 조절 플레이트(3911)를 향해 굽어지면, 공명 공간은 2개로 구분될 수 있다. 예를 들어, 공명 공간은 제1 공명 공간과 제2 공명 공간으로 구분될 수 있다.
제1 공명 공간은, 공명 공간 중에서 제1 전방 공명 공간 조절 플레이트(3911f)와 제2 전방 공간 조절 플레이트(3912f)의 사이에 위치하는 부분일 수 있다.
제2 공명 공간은, 공명 공간 중에서 제1 후방 공명 공간 조절 플레이트(3911r)와 제2 후방 공간 조절 플레이트(3912r)의 사이에 위치하는 부분일 수 있다.
도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 케이스를 나타낸 도면이다.
도 23을 참조하면, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600)는, 상부 케이스(3500)와 하부 케이스(3600)를 포함할 수 있다. 상부 케이스(3500)는, 제1 사이드 케이스(3100)의 상단과 제2 사이드 케이스(3200)의 상단을 연결할 수 있다. 상부 케이스(3500)는, 공명 유닛(3000)의 상면을 형성할 수 있다.
하부 케이스(3600)는, 제1 사이드 케이스(3100)의 하단과 제2 사이드 케이스(3200)의 하단을 연결할 수 있다. 하부 케이스(3600)는 상부 케이스(3500)의 아래에서 상부 케이스(3500)를 마주할 수 있다. 하부 케이스(3600)는 공명 유닛(3000)의 하면을 형성할 수 있다.
도 24는 도 23에 도시된 케이스를 D1-D2로 자른 단면을 나타낸 도면이다. 도 25는 도 24에 도시된 공명 공간 조절 플레이트가 이동한 모습을 나타낸 도면이다.
도 24를 참조하면, 공명 공간 조절 플레이트(3910)는 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600)의 내측면에 위치할 수 있다. 예를 들어, 공명 공간 조절 플레이트(3910)는 제1 사이드 케이스(3100)의 내측면에 접할 수 있다.
공명 공간 조절 플레이트(3910)는 양단부를 형성할 수 있다. 예를 들어, 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 제1 단부(3910j)와 제2 단부(3910k)를 포함할 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 제1 단부(3910j)에서 연장되어 제2 단부(3910k)로 이어진 형상을 형성할 수 있다.
도 25를 참조하면, 공명 공간 조절 플레이트(3910)는 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600)의 내측면 상에서 이동할 수 있다.
예를 들어, 공명 공간 조절 플레이트(3910)의 제1 단부(3910j)는 제1 사이드 케이스(3100)의 내측면에 이동 가능하게 접할 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)의 제1 단부(3910j)가 접하는 제1 사이드 케이스(3100)는, “제1 케이스”라 칭할 수 있다.
예를 들어, 공명 공간 조절 플레이트(3910)의 제2 단부(3910k)는 하부 케이스(3600)의 내측면에 이동 가능하게 접할 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)의 제2 단부(3910k)가 접하는 하부 케이스(3600)는, “제2 케이스”라 칭할 수 있다. 제1 케이스와 제2 케이스는, 서로 이어져 각도를 형성할 수 있다.
달리 말하면, 공명 공간 조절 플레이트(3910)는, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600)의 내측면에 접하면서, 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600)를 기준으로 자세(attitude)를 변경할 수 있다. 공명 공간 조절 플레이트(3910)가 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600)의 내측면에 접하면서 케이스(3100, 3200, 3300, 3400, 3500, 3600)를 기준으로 자세(attitude)를 변경하면, 공명 공간의 형상 및 크기 중 적어도 하나가 변경될 수 있다. 이로써 공명 유닛(3000)의 공진 주파수가 변경될 수 있다.
다른 예를 들면, 공명 공간 조절 플레이트(3910)는 신축성을 가질 수 있다. 예를 들어, 공명 공간 조절 플레이트(3910)의 제1 단부(3910j)는 제1 사이드 케이스(3100)에 고정되고, 공명 공간 조절 플레이트(3910)의 제1 단부(3910j)는 하부 케이스(3600)의 내측면을 따라 이동 가능하게 접할 수 있다. 이로써, 공명 공간의 형상 및 크기 중 적어도 하나가 변경될 수 있고, 공명 유닛(3000)의 공진 주파수가 변경될 수 있다.
앞에서 설명된 본 발명의 어떤 실시예 또는 다른 실시예들은 서로 배타적이거나 구별되는 것은 아니다. 앞서 설명된 본 발명의 어떤 실시예들 또는 다른 실시예들은 각각의 구성 또는 기능이 병용되거나 조합될 수 있다.
본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다. 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니 되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.

Claims (16)

  1. 유동셀을 고정하는 마운트 유닛; 그리고
    상기 마운트 유닛의 뒤에 배치되고, 전후로 개방된 공명 공간을 형성하는, 공명 유닛을 포함하고,
    상기 공명 유닛은,
    상기 마운트 유닛의 뒤에 배치되어 상기 공명 공간을 형성하는 케이스; 그리고
    상기 케이스의 내부에 위치하며, 상기 공명 공간의 형상과 크기 중 적어도 하나를 조절하는, 공명 공간 조절 모듈을 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 모듈은,
    상기 케이스의 내측면에 이동 가능하게 결합되는 공명 공간 조절 플레이트를 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트가 이동하면, 상기 공명 공간의 상기 형상과 상기 크기 중 적어도 하나가 조절되는,
    입자 측정 디바이스.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 모듈은,
    상기 케이스에 고정되고, 상기 공명 공간 조절 플레이트에 결합되어 상기 공명 공간 조절 플레이트를 이동시키는, 플레이트 무버를 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  5. 제4항에 있어서,
    플레이트 무버는,
    상기 케이스에 고정되는 연결 축을 포함하고,
    상기 플레이트 무버는 상기 연결 축에 이동 가능하게 결합되는,
    입자 측정 디바이스.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트는,
    서로 마주하는 제1 공명 공간 조절 플레이트와 제2 공명 공간 조절 플레이트를 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  7. 제6항에 있어서,
    제1 공명 공간 조절 플레이트와 제2 공명 공간 조절 플레이트는,
    서로 가까워지거나 멀어지도록 이동 가능한,
    입자 측정 디바이스.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트의 적어도 일부는,
    상기 공명 공간을 향하여 이동 가능한,
    입자 측정 디바이스.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트는,
    상기 공명 공간을 향하여 볼록하게 굽힘 가능한,
    입자 측정 디바이스.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트는,
    서로 연결된, 전방 공명 공간 조절 플레이트 및 후방 공명 공간 조절 플레이트를 포함하는,
    입자 측정 디바이스.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트는,
    상기 전방 공명 공간 조절 플레이트와 상기 후방 공명 공간 조절 플레이트 사이의 경계에서 굽힘 가능한,
    입자 측정 디바이스.
  12. 제2항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트는,
    상기 케이스의 내측면을 따라 이동 가능한,
    입자 측정 디바이스.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 케이스는,
    서로 이어져 각도를 형성하는 제1 케이스와 제2 케이스를 포함하고,
    상기 공명 공간 조절 플레이트의 일단부는 상기 제1 케이스에 이동 가능하게 접하고,
    상기 공명 공간 조절 플레이트의 타단부는 상기 제2 케이스에 이동 가능하게 접하는,
    입자 측정 디바이스.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트는,
    상기 케이스의 내측면을 따라 이동하면, 상기 케이스를 기준으로 자세(attitude)를 변경하는,
    입자 측정 디바이스.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 케이스는,
    서로 이어져 각도를 형성하는 제1 케이스와 제2 케이스를 포함하고,
    상기 공명 공간 조절 플레이트의 일단부는 상기 제1 케이스에 고정되고,
    상기 공명 공간 조절 플레이트의 타단부는 상기 제2 케이스에 이동 가능하게 접하는,
    입자 측정 디바이스.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 공명 공간 조절 플레이트는 신축성을 가지는,
    입자 측정 디바이스.
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