WO2023188520A1 - 前処理方法、二酸化炭素回収方法、及びこれらの方法を実行する装置 - Google Patents

前処理方法、二酸化炭素回収方法、及びこれらの方法を実行する装置 Download PDF

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Abstract

前処理装置は、排気ガスから水分を除去可能な除湿塔を備える。前記除湿塔は、水分を吸着可能な水分吸着剤と、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤と、前記水分吸着剤及び前記酸性ガス吸着剤が充填される除湿容器と、を有する。前記水分吸着剤は、前記除湿容器内で前記酸性ガス吸着剤よりも、排気ガスが流出可能な第二口の側に充填されている。前記水分吸着剤は、アルミナを含む吸着剤である。前記酸性ガス吸着剤は、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含み、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２.５である吸着剤である。

Description

前処理方法、二酸化炭素回収方法、及びこれらの方法を実行する装置
　本開示は、前処理方法、二酸化炭素回収方法、及びこれらの方法を実行する装置に関する。
　本願は、２０２２年３月２９日に、日本国に出願された特願２０２２－０５３５６２号に基づき優先権を主張し、この内容をここに援用する。
　地球環境保全の観点から二酸化炭素の排出量を削減するため、排気ガス中に含まれている二酸化炭素を回収する設備が検討されている。
　排気ガスから二酸化炭素を回収する設備としては、例えば、以下の特許文献１に開示されている設備がある。この設備は、前処理装置と、二酸化炭素回収装置と、を備える。前処理装置は、排気ガスから水分を除去可能な除湿塔を有する。この除湿塔には、水分を吸着可能な水分吸着剤としての合成ゼオライトが充填されている。二酸化炭素回収装置は、二酸化炭素を吸着可能な二酸化炭素吸着剤としての合成ゼオライトが充填されている。
　合成ゼオライトは、水分及び二酸化炭素を吸着できる。このため、合成ゼオライトに水分及び二酸化炭素を含む排気ガスを通過させると、この合成ゼオライトは、この排気ガス中の水分及び二酸化炭素を吸着して、二酸化炭素の吸着効率が低下する。
　そこで、特許文献１に記載の設備では、前処理装置で、排気ガス中の水分を除去した後、二酸化炭素回収装置の二酸化炭素吸着剤で、水分が除去された前処理済みガス中の二酸化炭素を吸着するようにしている。
特開平０１－１０８１０６号公報
　前処理装置から排気された前処理済みガスから二酸化炭素を回収するためには、この前処理ずみガスの露点は、できる限り低い方が好ましい。言い換えると、前処理済みガス中の水分濃度は、できる限り低い方が好ましい。
　また、前処理装置が有する水分吸着剤は、その水分吸着性能が長期間に渡って維持されることが好ましい。
　そこで、本開示は、水分吸着剤を通過したガスの低露点化を図りつつも、この水分吸着剤の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる技術を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するための発明に係る一態様としての前処理装置は、
　二酸化炭素回収装置での処理前に、水分と二酸化炭素と酸性ガスとを含む排気ガスから水分を除去可能な前処理装置において、前記排気ガスから水分を除去可能な除湿塔と、前記除湿塔内に前記排気ガスを送ることが可能な送風機と、を備える。前記除湿塔は、水分を吸着可能な水分吸着剤と、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤と、前記水分吸着剤及び前記酸性ガス吸着剤が充填される除湿容器と、を有する。前記除湿容器は、前記送風機からの前記排気ガスが流入可能な第一口と、前記水分吸着剤及び前記酸性ガス吸着剤を通過したガスが前処理済みガスとして流出可能な第二口と、を有する。前記酸性ガス吸着剤は、前記除湿容器内の前記第一口の側に充填され、前記水分吸着剤は、前記除湿容器内で前記酸性ガス吸着剤よりも前記第二口の側に充填されている。前記水分吸着剤は、アルミナを含む吸着剤である。前記酸性ガス吸着剤は、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含み、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２．５である吸着剤である。
　代表的な水分吸着剤としては、ゼオライトとシリカゲルとがある。シリカゲルは、酸性ガスに対する耐性がある。このため、水分及び酸性ガスを含む排気ガスから水分を吸着するための吸着剤として、シリカゲルを用いても、このシリカゲルの除湿性能はあまり低下しない。一方で、水分及び酸性ガスを含む排気ガスから水分を吸着するための吸着剤として、ゼオライト等のアルミナを含む吸着剤を用いた場合、アルミナが酸性ガスと結合してしまって、この吸着剤の除湿性能が低下する。すなわち、アルミナを含む吸着剤は、酸性ガスに対する耐性がシリカゲルよりも低い。以上のように、酸性ガスに対する耐性の観点からは、アルミナの含有率に対してシリカの含有率が高い吸着剤が好ましい。
　一方で、ゼオライト等のアルミナを含む吸着剤は、シリカゲルに比べて、排気ガスを低露点にすることができる。言い換えると、アルミナを含む吸着剤は、シリカゲルに比べて、排気ガス中の水分濃度を低くすることができる。以上のように、ガスの低露点化の観点からは、シリカの含有率に対してアルミナの含有率が比較的高い吸着剤が好ましい。
　本態様では、二酸化炭素回収装置に送るガスの低露点化の観点から、水分吸着剤として、アルミナを含む吸着剤を用いる。
　但し、アルミナを含む水分吸着剤は、酸性ガスに対する耐性が低いため、本態様では、排気ガスを酸性ガス吸着剤に通過させ、排気ガス中の酸性ガスの多くを除去してから、このガスを水分吸着剤に通過させる。よって、酸性ガス吸着剤は、酸性ガスを吸着することで、本態様で用いる水分吸着剤をガードする役目を担っている。
　以上のように、本態様では、水分吸着剤として、アルミナを含む吸着剤を用いるので、二酸化炭素回収装置に送るガスを低露点化することができる。このアルミナを含む吸着剤は、前述したように、酸性ガスに対する耐性が低い。しかしながら、本態様では、前述したように、排気ガスを酸性ガス吸着剤に通過させて、排気ガス中の酸性ガスの多くを除いてから、このガスを水分吸着剤に通過させているので、水分吸着剤の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる。
　上記目的を達成するための発明に係る一態様としての二酸化炭素回収設備は、
　前記一態様における前処理装置と、前記二酸化炭素回収装置と、を備える。前記二酸化炭素回収装置は、前記前処理済みガスが流入可能で、前記前処理済みガス中の二酸化炭素を吸着可能な二酸化炭素吸着剤が充填されている二酸化炭素吸着塔と、前記二酸化炭素吸着塔内を真空吸引する吸引機と、を備える。
　本態様の前処理装置では、二酸化炭素回収装置に送るガスの露点を下げることができる、言い換えると、このガス中の水分濃度を少なくすることができる。このため、二酸化炭素吸着塔内の二酸化炭素吸着剤で二酸化炭素を効率的に吸着できる。二酸化炭素吸着剤に吸着された二酸化炭素は、二酸化炭素吸着塔内を吸引機で真空吸引することで回収される。
　上記目的を達成するための発明に係る一態様としての前処理方法は、
　二酸化炭素回収処理の前に、水分と二酸化炭素と酸性ガスとを含む排気ガスから水分を除去する前処理方法において、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤に前記排気ガスを通過させて、前記排気ガス中の酸性ガスを除去する酸性ガス除去工程と、水分を吸着可能な水分吸着剤に、前記酸性ガス除去工程を経た前記排気ガスである酸性ガス除去済みガスを通過させて、前記酸性ガス除去済みガス中の水分を除去し、水分除去後の前記酸性ガス除去済みガスである前処理済みガスを前記二酸化炭素回収処理させる除湿工程と、を実行する。前記酸性ガス吸着剤は、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含み、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２．５である吸着剤である。前記水分吸着剤は、アルミナを含む吸着剤である。
　本態様では、前記一態様における前処理装置と同様に、二酸化炭素回収処理されるガスを低露点化することができると共に、前処理で用いる水分吸着剤の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる。
　上記目的を達成するための発明に係る一態様としての二酸化炭素回収方法は、
　前記一態様における前処理方法を実行すると共に、前記二酸化炭素回収処理を実行する。前記二酸化炭素回収処理は、二酸化炭素を吸着可能な二酸化炭素吸着剤に前記前処理済みガスを通過させて、前記前処理済みガス中の前記二酸化炭素を前記二酸化炭素吸着剤に吸着させる二酸化炭素吸着工程と、前記二酸化炭素吸着剤から前記二酸化炭素を離脱させ、前記二酸化炭素を回収する二酸化炭素離脱工程と、を含む。
　本態様では、二酸化炭素回収処理させるガスの露点を下げることができる、言い換えると、このガス中の水分濃度を少なくすることができる。このため、二酸化炭素吸着工程で用いられる二酸化炭素吸着剤により二酸化炭素を効率的に吸着できる。二酸化炭素吸着剤に吸着された二酸化炭素は、二酸化炭素離脱工程の実行で回収される。
　本開示の一態様によれば、水分吸着剤を通過したガスの低露点化を図りつつも、この水分吸着剤の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる。
本開示に係る第一実施形態における二酸化炭素回収設備の系統図（その１）である。 本開示に係る第一実施形態における二酸化炭素回収設備の系統図（その２）である。 本開示に係る第一実施形態における二酸化炭素回収設備の動作を示すフローチャートである。 本開示に係る第二実施形態における二酸化炭素回収設備の系統図である。 本開示に係る第三実施形態における二酸化炭素回収設備の系統図である。 本開示に係る第三実施形態における二酸化炭素回収設備の動作を示すフローチャートである。 本開示に係る第四実施形態における二酸化炭素回収設備の系統図である。 本開示に係る第四実施形態における二酸化炭素回収設備の動作を示すフローチャートである。
　本開示に係る二酸化炭素回収設備の各種実施形態及び各種変形例について、図面を参照して以下に説明する。
　「第一実施形態」
　二酸化炭素回収設備の第一実施形態について、図１～図３を参照して説明する。
　本実施形態における二酸化炭素回収設備は、図１に示すように、排気ガス発生源１からの排気ガス中から二酸化炭素を回収する設備である。排気ガス発生源１としては、例えば、焼却炉、石炭焚きボイラー、ＬＮＧ焚きボイラー、製鉄所の高炉や転炉、セメント工場のキルン、ガスタービン等がある。これら排気ガス発生源１からの排気ガスには、窒素、酸素、二酸化炭素、水、酸性ガスが含まれる。酸性ガスとしては、ＨＣｌ、ＳＯｘ、ＮＯｘ等がある。排気ガスに含まれる酸性ガスの種類は、排気ガス発生源の種類に応じて異なる。
　この二酸化炭素回収設備は、前処理装置１０と、二酸化炭素回収装置５０と、を備える。前処理装置１０は、排気ガスから二酸化炭素回収装置５０での二酸化炭素回収を阻害する成分を除去する装置である。二酸化炭素回収装置５０は、前処理装置１０からの排気ガスから、主として二酸化炭素を回収する装置である。
　前処理装置１０は、二基の除湿塔１１を備える。二基の除湿塔１１は、いずれも、除湿容器１２と、除湿容器１２内に充填されている酸性ガス吸着剤１６及び水分吸着剤１７と、を有する。酸性ガス吸着剤１６は、ＨＣｌ、ＳＯｘ、ＮＯｘ等の酸性ガスを吸着可能な吸着剤である。また、水分吸着剤１７は、水分を吸着可能な吸着剤である。二基の除湿塔の除湿容器１２は、いずれも、第一口１２ｉと第二口１２ｏとを有する。第一口１２ｉは、除湿容器１２中で水分吸着剤１７及び酸性ガス吸着剤１６を基準にして一方の側に形成され、第二口１２ｏは、除湿容器１２中で水分吸着剤１７及び酸性ガス吸着剤１６を基準にして他方の側に形成されている。酸性ガス吸着剤１６は、除湿容器１２内での第一口１２ｉの側に充填され、水分吸着剤１７は、除湿容器１２内で酸性ガス吸着剤１６よりも第二口１２ｏの側に充填されている。なお、以下では、二基の除湿塔１１のうち、一基の除湿塔１１を第一除湿塔１１ａとし、残りの一基の除湿塔１１を第二除湿塔１１ｂとする。
　二酸化炭素回収装置５０は、三基の二酸化炭素吸着塔５１を備える。三基の二酸化炭素吸着塔５１は、いずれも、容器５２と、容器５２内に充填されている二酸化炭素吸着剤５３と、を有する。三基の二酸化炭素吸着塔５１の容器５２は、いずれも、第一口５２ｉと第二口５２ｏとを有する。第一口５２ｉは、容器５２中で二酸化炭素吸着剤５３を基準にして一方の側に形成され、第二口５２ｏは、容器５２中で二酸化炭素吸着剤５３を基準にして他方の側に形成されている。なお、以下では、三基の二酸化炭素吸着塔５１のうち、一基の二酸化炭素吸着塔５１を第一の二酸化炭素吸着塔５１ａとし、他の一基の二酸化炭素吸着塔５１を第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂとし、残りの一基の二酸化炭素吸着塔５１を第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃとする。
　前処理装置１０は、前述の第一除湿塔１１ａ及び第二除湿塔１１ｂの他、送風機６と、除湿真空ポンプ７と、排気ガスライン２０と、前処理済みガスライン３０と、水分リッチガスライン３４と、オフガスライン３７と、第一排気ガス弁４１ａと、第二排気ガス弁４１ｂと、除湿側第一前処理済みガス弁４３ａと、除湿側第二前処理済みガス弁４３ｂと、第一水分リッチガス弁４４ａと、第二水分リッチガス弁４４ｂと、除湿側第一オフガス弁４５ａと、除湿側第二オフガス弁４５ｂと、を有する。
　排気ガスライン２０は、主排気ガスライン２１と、第一排気ガスライン２２ａと、第二排気ガスライン２２ｂと、を有する。主排気ガスライン２１の一端は、排気ガス発生源１に接続されている。主排気ガスライン２１の他端には、第一排気ガスライン２２ａの一端及び第二排気ガスライン２２ｂの一端が接続されている。よって、第一排気ガスライン２２ａ及び第二排気ガスライン２２ｂは、主排気ガスライン２１から分岐したラインである。主排気ガスライン２１には、送風機６が設けられている。第一排気ガスライン２２ａの他端は、第一除湿塔１１ａの第一口１２ｉに接続され、第二排気ガスライン２２ｂの他端は、第二除湿塔１１ｂの第一口１２ｉに接続されている。第一排気ガスライン２２ａには、第一排気ガス弁４１ａが設けられている。第二排気ガスライン２２ｂには、第二排気ガス弁４１ｂが設けられている。
　前処理済みガスライン３０は、除湿側第一前処理済みガスライン３１ａと、除湿側第二前処理済みガスライン３１ｂと、主前処理済みガスライン３２と、回収側第一前処理済みガスライン３３ａと、回収側第二前処理済みガスライン３３ｂと、回収側第三前処理済みガスライン３３ｃと、を有する。除湿側第一前処理済みガスライン３１ａの一端は、第一除湿塔１１ａの第二口１２ｏに接続され、除湿側第二前処理済みガスライン３１ｂの一端は、第二除湿塔１１ｂの第二口１２ｏに接続されている。除湿側第一前処理済みガスライン３１ａには、除湿側第一前処理済みガス弁４３ａが設けられている。除湿側第二前処理済みガスライン３１ｂには、除湿側第二前処理済みガス弁４３ｂが設けられている。除湿側第一前処理済みガスライン３１ａの他端及び除湿側第二前処理済みガスライン３１ｂの他端には、主前処理済みガスライン３２の一端が接続されている。主前処理済みガスライン３２の他端には、回収側第一前処理済みガスライン３３ａの一端、回収側第二前処理済みガスライン３３ｂの一端、及び回収側第三前処理済みガスライン３３ｃの一端が接続されている。よって、回収側第一前処理済みガスライン３３ａ、回収側第二前処理済みガスライン３３ｂ、及び回収側第三前処理済みガスライン３３ｃは、主前処理済みガスライン３２から分岐したラインである。回収側第一前処理済みガスライン３３ａの他端は、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａの第一口５２ｉに接続されている。回収側第二前処理済みガスライン３３ｂの他端は、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂの第一口５２ｉに接続されている。回収側第三前処理済みガスライン３３ｃの他端は、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃの第一口５２ｉに接続されている。
　水分リッチガスライン３４は、第一水分リッチガスライン３５ａと、第二水分リッチガスライン３５ｂと、主水分リッチガスライン３６と、を有する。第一水分リッチガスライン３５ａの一端は、第一排気ガスライン２２ａ中で、第一排気ガス弁４１ａよりも第一除湿塔１１ａ側の位置に接続されている。第二水分リッチガスライン３５ｂの一端は、第二排気ガスライン２２ｂ中で、第二排気ガス弁４１ｂよりも第二除湿塔１１ｂ側の位置に接続されている。第一水分リッチガスライン３５ａには、第一水分リッチガス弁４４ａが設けられ、第二水分リッチガスライン３５ｂには、第二水分リッチガス弁４４ｂが設けられている。第一水分リッチガスライン３５ａの他端及び第二水分リッチガスライン３５ｂの他端には、主水分リッチガスライン３６の一端が接続されている。この主水分リッチガスライン３６の他端には、除湿真空ポンプ７の吸込口が接続されている。
　オフガスライン３７は、回収側第一オフガスライン３８ａと、回収側第二オフガスライン３８ｂと、回収側第三オフガスライン３８ｃと、主オフガスライン３８ｍと、除湿側第一オフガスライン３９ａと、除湿側第二オフガスライン３９ｂと、を有する。回収側第一オフガスライン３８ａの一端は、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａの第二口５２ｏに接続されている。回収側第二オフガスライン３８ｂの一端は、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂの第二口５２ｏに接続されている。回収側第三オフガスライン３８ｃの一端は、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃの第二口５２ｏに接続されている。回収側第一オフガスライン３８ａの他端、回収側第二オフガスライン３８ｂの他端、及び回収側第三オフガスライン３８ｃの他端は、主オフガスライン３８ｍの一端側の部分に接続されている。主オフガスライン３８ｍの他端には、除湿側第一オフガスライン３９ａの一端、及び除湿側第二オフガスライン３９ｂの一端が接続されている。除湿側第一オフガスライン３９ａの他端は、第一除湿塔１１ａの第二口１２ｏに接続されている。除湿側第二オフガスライン３９ｂの他端は、第二除湿塔１１ｂの第二口１２ｏに接続されている。除湿側第一オフガスライン３９ａには、除湿側第一オフガス弁４５ａが設けられている。除湿側第二オフガスライン３９ｂには、除湿側第二オフガス弁４５ｂが設けられている。
　二酸化炭素回収装置５０は、前述の第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ、及び第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃの他、送風機６と、前処理済みガスライン３０と、吸引機５５と、回収側第一前処理済みガス弁５６ａと、回収側第二前処理済みガス弁５６ｂと、回収側第三前処理済みガス弁５６ｃと、第一吸引弁５７ａと、第二吸引弁５７ｂと、第三吸引弁５７ｃと、回収側第一オフガス弁５８ａと、回収側第二オフガス弁５８ｂと、回収側第三オフガス弁５８ｃと、回収タンク６３と、吸引ライン６５と、オフガスライン３７と、吐出ライン６８と、を備える。
　二酸化炭素回収装置５０の構成要素のうち、送風機６、前処理済みガスライン３０、及びオフガスライン３７は、二酸化炭素回収装置５０の構成要素であると共に、前処理装置１０の構成要素でもある。
　回収側第一前処理済みガス弁５６ａは、前述の回収側第一前処理済みガスライン３３ａに設けられている。回収側第二前処理済みガス弁５６ｂは、前述の回収側第二前処理済みガスライン３３ｂに設けられている。回収側第三前処理済みガス弁５６ｃは、前述の回収側第三前処理済みガスライン３３ｃに設けられている。回収側第一オフガス弁５８ａは、前述の回収側第一オフガスライン３８ａに設けられている。回収側第二オフガス弁５８ｂは、前述の回収側第二オフガスライン３８ｂに設けられている。回収側第三オフガス弁５８ｃは、前述の回収側第三オフガスライン３８ｃに設けられている。
　吸引ライン６５は、第一吸引ライン６６ａと、第二吸引ライン６６ｂと、第三吸引ライン６６ｃと、主吸引ライン６７と、を有する。第一吸引ライン６６ａの一端は、回収側第一前処理済みガスライン３３ａ中で、回収側第一前処理済みガス弁５６ａよりも第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ側の位置に接続されている。第一吸引ライン６６ａには、第一吸引弁５７ａが設けられている。第二吸引ライン６６ｂの一端は、回収側第二前処理済みガスライン３３ｂ中で、回収側第二前処理済みガス弁５６ｂよりも第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ側の位置に接続されている。第二吸引ライン６６ｂには、第二吸引弁５７ｂが設けられている。第三吸引ライン６６ｃの一端は、回収側第三前処理済みガスライン３３ｃ中で、回収側第三前処理済みガス弁５６ｃよりも第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ側の位置に接続されている。第三吸引ライン６６ｃには、第三吸引弁５７ｃが設けられている。第一吸引ライン６６ａの他端、第二吸引ライン６６ｂの他端、及び第三吸引ライン６６ｃの他端は、主吸引ライン６７の一端側の部分に接続されている。主吸引ライン６７の他端は、吸引機５５の吸込口に接続されている。
　吸引機５５は、例えば、真空ポンプである。
　吐出ライン６８の一端は、吸引機５５の吐出口に接続されている。吐出ライン６８の他端には、回収タンク６３が接続されている。
　本実施形態では、酸性ガス吸着剤１６として、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含む吸着剤で（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２．５である吸着剤を用いる。本実施形態では、水分吸着剤１７として、アルミナを含む吸着剤を用いる。本実施形態では、二酸化炭素吸着剤として、例えば、ゼオライトを用いる。
　次に、以上で説明した二酸化炭素回収設備の動作について、図３に示すフローチャートに従って説明する。
　二酸化炭素回収設備は、前処理Ｓ１０と、二酸化炭素回収処理Ｓ２０とを実行する。前処理Ｓ１０は、前処理装置１０により実行され、二酸化炭素回収処理Ｓ２０は、二酸化炭素回収装置５０により実行される。
　前処理Ｓ１０では、酸性ガス除去工程Ｓ１１、除湿工程Ｓ１２及び再生工程Ｓ１３が実行される。仮に、第一除湿塔１１ａ内の水分吸着剤１７の水分吸着量が極めて少なく、第二除湿塔１１ｂ内の水分吸着剤１７の水分吸着量が多いとする。この場合、図１に示すように、第一排気ガス弁４１ａが開状態、第二排気ガス弁４１ｂが閉状態、除湿側第一前処理済みガス弁４３ａが開状態、除湿側第二前処理済みガス弁４３ｂが閉状態、第一水分リッチガス弁４４ａが閉状態、第二水分リッチガス弁４４ｂが開状態、除湿側第一オフガス弁４５ａが閉状態、除湿側第二オフガス弁４５ｂが開状態になる。
　この場合、排気ガス発生源１からの排気ガスは、主排気ガスライン２１、送風機６、第一排気ガスライン２２ａ、及び第一排気ガス弁４１ａを介して、第一除湿塔１１ａ内に流入する。第一除湿塔１１ａ内に流入した排気ガスは、まず、第一除湿塔１１ａ内の酸性ガス吸着剤１６を通過する。この排気ガスは、酸性ガス吸着剤１６を通過する過程で、排気ガス中に含まれている酸性ガスの多くが酸性ガス吸着剤１６に吸着される（酸性ガス除去工程Ｓ１１）。この酸性ガス吸着剤１６を通過した排気ガスである酸性ガス除去済みガスは、第一除湿塔１１ａ内の水分吸着剤１７を通過する。この酸性ガス除去済みガスは、水分吸着剤１７を通過する過程で、酸性ガス除去済みガス中に含まれている水分の多くが水分吸着剤１７に吸着され、残りは、前処理済みガスとして、第一除湿塔１１ａから排気される。すなわち、第一除湿塔１１ａでは、排気ガス中の酸性ガス及水分の除去が行われる。この前処理済みガスは、除湿側第一前処理済みガスライン３１ａ、除湿側第一前処理済みガス弁４３ａ、主前処理済みガスライン３２を介して、二酸化炭素回収装置５０へ送られる。
　さらに、この場合、二酸化炭素回収装置５０から、水分の少ないオフガスが、主オフガスライン３８ｍ、除湿側第二オフガスライン３９ｂ、除湿側第二オフガス弁４５ｂを介して、第二除湿塔１１ｂ内に流入する。第二除湿塔１１ｂ内に流入したオフガスは、第二除湿塔１１ｂ内の水分吸着剤１７を通過する。オフガスは、水分吸着剤１７を通過する過程で、この水分吸着剤１７から水分を離脱させる。この結果、このオフガスは、水分リッチなガスになる。この水分リッチなガスは、第二除湿塔１１ｂ内の酸性ガス吸着剤１６を通過する。この水分リッチなガスは、酸性ガス吸着剤１６を通過する過程で、この酸性ガス吸着剤１６から酸性ガスを離脱させる。この結果、水分リッチなガスは、水分及び酸性ガスがリッチなガスになる。水分及び酸性ガスがリッチなガスは、第二除湿塔１１ｂから排気される。すなわち、第二除湿塔１１ｂでは、水分吸着剤１７及び酸性ガス吸着剤１６の再生が行われる。水分及び酸性ガスがリッチなガスは、第二水分リッチガスライン３５ｂ、第二水分リッチガス弁４４ｂ、主水分リッチガスライン３６、及び除湿真空ポンプ７を介して、外部に放出される（再生工程Ｓ１３）。なお、水分及び酸性ガスがリッチなガスの放出先としては、大気であってもよいし、タンクであってもよい。
　以上のように、第一除湿塔１１ａで酸性ガス除去工程Ｓ１１及び除湿工程Ｓ１２が実行されると、第一除湿塔１１ａ内の水分吸着剤１７の水分吸着量が多くなり、第一除湿塔１１ａ内の酸性ガス吸着剤１６の酸性ガス吸着量が多くなる。また、第二除湿塔１１ｂで再生工程Ｓ１３が実行されると、第二除湿塔１１ｂ内の水分吸着剤１７の水分吸着量が極めて少なくなり、第二除湿塔１１ｂ内の酸性ガス吸着剤１６の酸性ガス吸着量が極めて少なくなる。
　また、仮に、第一除湿塔１１ａ内の水分吸着剤１７の水分吸着量が多く、第二除湿塔１１ｂ内の水分吸着剤１７の水分吸着量が極めて少ないとする。この場合、図２に示すように、第一排気ガス弁４１ａが閉状態、第二排気ガス弁４１ｂが開状態、除湿側第一前処理済みガス弁４３ａが閉状態、除湿側第二前処理済みガス弁４３ｂが開状態、第一水分リッチガス弁４４ａが開状態、第二水分リッチガス弁４４ｂが閉状態、除湿側第一オフガス弁４５ａが開状態、除湿側第二オフガス弁４５ｂが閉状態になる。
　この場合、排気ガス発生源１からの排気ガスは、主排気ガスライン２１、送風機６、第二排気ガスライン２２ｂ、及び第二排気ガス弁４１ｂを介して、第二除湿塔１１ｂ内に流入する。第二除湿塔１１ｂ内に流入した排気ガスは、まず、第二除湿塔１１ｂ内の酸性ガス吸着剤１６を通過する。この排気ガスは、酸性ガス吸着剤１６を通過する過程で、排気ガス中に含まれている酸性ガスの多くが酸性ガス吸着剤１６に吸着される（酸性ガス除去工程Ｓ１１）。この酸性ガス吸着剤１６を通過した排気ガスである酸性ガス除去済みガスは、第二除湿塔１１ｂ内の水分吸着剤１７を通過する。この酸性ガス除去済みガスは、水分吸着剤１７を通過する過程で、酸性ガス除去済みガス中に含まれている水分の多くが水分吸着剤１７に吸着され、残りは、前処理済みガスとして、第二除湿塔１１ｂから排気される。すなわち、第二除湿塔１１ｂでは、排気ガス中の酸性ガス及水分の除去が行われる。この前処理済みガスは、除湿側第二前処理済みガスライン３１ｂ、除湿側第二前処理済みガス弁４３ｂ、主前処理済みガスライン３２を介して、二酸化炭素回収装置５０へ送られる（除湿工程Ｓ１２）。
　さらに、この場合、二酸化炭素回収装置５０から、水分の少ないオフガスが、主オフガスライン３８ｍ、除湿側第一オフガスライン３９ａ、除湿側第一オフガス弁４５ａを介して、第一除湿塔１１ａ内に流入する。第一除湿塔１１ａ内に流入したオフガスは、第一除湿塔１１ａ内の水分吸着剤１７を通過する。オフガスは、水分吸着剤１７を通過する過程で、この水分吸着剤１７から水分を離脱させる。この結果、このオフガスは、水分リッチなガスになる。この水分リッチなガスは、第一除湿塔１１ａ内の酸性ガス吸着剤１６を通過する。この水分リッチなガスは、酸性ガス吸着剤１６を通過する過程で、この酸性ガス吸着剤１６から酸性ガスを離脱させる。この結果、水分リッチなガスは、水分及び酸性ガスがリッチなガスになる。水分及び酸性ガスがリッチなガスは、第一除湿塔１１ａから排気される。すなわち、第一除湿塔１１ａでは、水分吸着剤１７及び酸性ガス吸着剤１６の再生が行われる。水分及び酸性ガスがリッチなガスは、第一水分リッチガスライン３５ａ、第一水分リッチガス弁４４ａ、主水分リッチガスライン３６、及び除湿真空ポンプ７を介して、外部に放出される（再生工程Ｓ１３）。
　以上のように、前処理装置１０の第一除湿塔１１ａ及び第二除湿塔１１ｂでは、酸性ガス除去工程Ｓ１１後に、除湿工程Ｓ１２が実行され、除湿工程Ｓ１２後に再生工程Ｓ１３が実行され、再生工程Ｓ１３後に酸性ガス除去工程Ｓ１１が実行される。また、第一除湿塔１１ａで酸性ガス除去工程Ｓ１１及び除湿工程Ｓ１２が実行されている場合、第二除湿塔１１ｂで再生工程Ｓ１３が実行される。また、第二除湿塔１１ｂで酸性ガス除去工程Ｓ１１及び除湿工程Ｓ１２が実行されている場合、第一除湿塔１１ａで再生工程Ｓ１３が実行される。このため、本実施形態では、排気ガス中の酸性ガス及び水分を連続的に除去することができる。
　二酸化炭素回収処理Ｓ２０では、吸着工程Ｓ２１、離脱工程Ｓ２２、及び昇圧工程Ｓ２３が実行される。仮に、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内の二酸化炭素吸着剤５３及び第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量が極めて少なく、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量が多いとする。さらに、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内は負圧で、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内はほぼ大気圧であるとする。この場合、図１に示すように、回収側第一前処理済みガス弁５６ａが閉状態、回収側第二前処理済みガス弁５６ｂが開状態、回収側第三前処理済みガス弁５６ｃが閉状態、第一吸引弁５７ａが閉状態、第二吸引弁５７ｂが閉状態、第三吸引弁５７ｃが開状態、回収側第一オフガス弁５８ａが半開状態、回収側第二オフガス弁５８ｂが開状態、回収側第三オフガス弁５８ｃが閉状態になる。
　この場合、前処理装置１０からの前処理済みガスは、主前処理済みガスライン３２、回収側第二前処理済みガスライン３３ｂ、回収側第二前処理済みガス弁５６ｂを介して、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内に流入する。第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内に流入した前処理済みガスは、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内の二酸化炭素吸着剤５３を通過する過程で、前処理済みガス中に含まれている二酸化炭素の多くが二酸化炭素吸着剤５３に吸着され、残りはオフガスとして、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂから排気される。すなわち、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内の二酸化炭素吸着剤５３は、前処理済みガス中の二酸化炭素を吸着する（吸着工程Ｓ２１）。第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂから排気されたオフガスの一部は、回収側第二オフガスライン３８ｂ、回収側第二オフガス弁５８ｂ、主オフガスライン３８ｍを介して、再生工程Ｓ１３中の除湿塔１１に送られる。
　また、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂから排気されたオフガスの残りの一部は、回収側第二オフガスライン３８ｂ、回収側第二オフガス弁５８ｂ、主オフガスライン３８ｍ、回収側第一オフガスライン３８ａ、回収側第一オフガス弁５８ａを介して、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内に送られる。この結果、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内は、負圧からほぼ大気圧に昇圧される（昇圧工程Ｓ２３）。
　さらに、この場合、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内が、第三吸引ライン６６ｃ、第三吸引弁５７ｃ、及び主吸引ライン６７を介して、吸引機５５により真空吸引される。この結果、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内の二酸化炭素吸着剤５３に吸着していた二酸化炭素が離脱し、吸引機５５から吐出される。この二酸化炭素を含むガスは、吐出ライン６８を介して、回収タンク６３に送られる（離脱工程Ｓ２２）。
　以上のように、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂで吸着工程Ｓ２１が実行されると、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量が多くなる。また、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃで離脱工程Ｓ２２が実行されると、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量が極めて少なくなると共に、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内が負圧になる。また、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａで昇圧工程Ｓ２３が実行されると、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内がほぼ大気圧になる。なお、このとき、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量は極めて少ない。
　また、仮に、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内の二酸化炭素吸着剤５３及び第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量が極めて少なく、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量が多いとする。
さらに、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内はほぼ大気圧で、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内は負圧であるとする。この場合、図２に示すように、回収側第一前処理済みガス弁５６ａが開状態、回収側第二前処理済みガス弁５６ｂが閉状態、回収側第三前処理済みガス弁５６ｃが閉状態、第一吸引弁５７ａが閉状態、第二吸引弁５７ｂが開状態、第三吸引弁５７ｃが閉状態、回収側第一オフガス弁５８ａが開状態、回収側第二オフガス弁５８ｂが閉状態、回収側第三オフガス弁５８ｃが半開状態になる。
　この場合、前処理装置１０からの前処理済みガスは、主前処理済みガスライン３２、回収側第一前処理済みガスライン３３ａ、回収側第一前処理済みガス弁５６ａを介して、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内に流入する。第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内に流入した前処理済みガスは、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内の二酸化炭素吸着剤５３を通過する過程で、前処理済みガス中に含まれている二酸化炭素の多くが二酸化炭素吸着剤５３に吸着され、残りはオフガスとして、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａから排気される。すなわち、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ内の二酸化炭素吸着剤５３は、前処理済みガス中の二酸化炭素を吸着する（吸着工程Ｓ２１）。第一の二酸化炭素吸着塔５１ａから排気されたオフガスの一部は、回収側第一オフガスライン３８ａ、回収側第一オフガス弁５８ａ、主オフガスライン３８ｍを介して、再生工程Ｓ１３中の除湿塔１１に送られる。
　また、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａから排気されたオフガスの残りの一部は、回収側第一オフガスライン３８ａ、回収側第一オフガス弁５８ａ、主オフガスライン３８ｍ、回収側第三オフガスライン３８ｃ、回収側第三オフガス弁５８ｃを介して、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内に送られる。この結果、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃ内は、負圧からほぼ大気圧に昇圧される（昇圧工程Ｓ２３）。
　さらに、この場合、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内が、第二吸引ライン６６ｂ、第二吸引弁５７ｂ、及び主吸引ライン６７を介して、吸引機５５により真空吸引される。この結果、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内の二酸化炭素吸着剤５３に吸着していた二酸化炭素が離脱し、吸引機５５から吐出される。この二酸化炭素を含むガスは、吐出ライン６８を介して、回収タンク６３に送られる（離脱工程Ｓ２２）。
　以上のように、二酸化炭素回収装置５０の第一の二酸化炭素吸着塔５１ａ、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ、及び第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃでは、吸着工程Ｓ２１後に離脱工程Ｓ２２が実行され、離脱工程Ｓ２２後に昇圧工程Ｓ２３が実行され、昇圧工程Ｓ２３後に吸着工程Ｓ２１が実行される。また、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂで吸着工程Ｓ２１が実行されている場合、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃで離脱工程Ｓ２２が実行され、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａで昇圧工程Ｓ２３が実行される。また、第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂ内の二酸化炭素吸着剤５３の二酸化炭素吸着量が多くなると、この第二の二酸化炭素吸着塔５１ｂで離脱工程Ｓ２２が実行され、第三の二酸化炭素吸着塔５１ｃで昇圧工程Ｓ２３が実行され、第一の二酸化炭素吸着塔５１ａで吸着工程Ｓ２１が実行される。このため、本実施形態では、前処理済みガス中の二酸化炭素を連続的に回収することができる。
　本実施形態では、前述したように、離脱工程Ｓ２２後に昇圧工程Ｓ２３が実行される。離脱工程Ｓ２２後の二酸化炭素吸着塔５１内の真空度は高い。このため、仮に、真空度が高い状態のまま、吸着工程Ｓ２１を実行すると、二酸化炭素吸着塔５１内に排気ガスを送っても、二酸化炭素吸着剤５３中を排気ガスが吹き抜け、二酸化炭素の吸着効率が低下する。そこで、本実施形態では、離脱工程Ｓ２２後に昇圧工程Ｓ２３を実行し、その後に吸着工程Ｓ２１を実行する。
　さらに、本実施形態では、前処理装置１０が有する吸着剤の吸着剤交換処理Ｓ３０も実行する。この吸着剤交換処理Ｓ３０は、作業員が行う処理である。作業員は、酸性ガス吸着剤１６及び水分吸着剤１７が予め定められた交換条件を満たしたか否かを判定する（判定工程Ｓ３１）。
　この判定工程Ｓ３１では、例えば、除湿塔１１内の酸性ガス吸着剤１６の一部及び水分吸着剤１７の一部をサンプリングし、このサンプリングした吸着剤を分析する。吸着剤の分析方法としては、各種方法があるが、ここではＸ線マイクロアナライザ法で、サンプリングした吸着剤を分析する。このＸ線マイクロアナライザ法は、試料（サンプリングした吸着剤）に電子線を照射し、その際に発生する特性Ｘ線を計測して、元素分析を行う方法である。この分析の結果、サンプリングした吸着剤の劣化の程度が予め定められた程度以上の場合、交換条件を満たしたとする。
　また、この判定工程Ｓ３１では、以上のように吸着剤を分析せず、以前に吸着剤を交換してからの期間が予め定めた期間以上の場合に、交換条件を満たしたとしてもよい。また、この判定工程Ｓ３１では、以前に吸着剤を交換してから、交換後の吸着剤を通過した積算ガス量が予め定めた量以上の場合に、交換条件を満たしたとしてもよい。
　作業員は、交換条件を満たしたと判定すると、交換条件を満たした吸着剤を新たな吸着剤に交換する（交換工程Ｓ３２）。
　なお、吸着剤交換処理Ｓ３０は、二酸化炭素回収装置５０が有する吸着剤に対しても、以上と同様に行われる。
　ここで、ゼオライトについて説明する。ゼオライトは、結晶性アルミノケイ酸塩の総称である。このゼオライトの化学式は、以下のように表すことができる。
　Ｍｅ２／ｘＯ・Ａｌ２Ｏ３・ｍＳｉＯ２・ｎＨ２Ｏ　　　Ｍｅ：Ｘ価の陽イオン
　このため、ゼオライトは、シリカ（ＳｉＯ２）及びアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を含んでいる。
　ゼオライトの結晶構造は、一様ではなく、例えば、Ａタイプ、Ｘタイプ、Ｙタイプ、ＵＳＹ（Ultra-stable Y）タイプ、ベータタイプ等がある。また、以上の化学式で示されるＭｅとして、Ｎａイオン、Ｌｉイオン、Ｃａイオン等が用いられる。よって、ゼオライトには、その結晶構造の違いや、陽イオンの違いにより、各種タイプのゼオライトが存在する。
　ゼオライトのうち、アルミナに対してシリカが比較的少ないゼオライトは、ローシリカゼオライトと呼ばれる。このローシリカゼオライトは、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＜２のゼオライトである。ローシリカゼオライトとしては、例えば、Ａタイプゼオライトの一部、Ｘタイプゼオライトの一部等がある。また、ゼオライトのうち、アルミナに対してシリカが多いゼオライトは、ハイシリカゼオライトと呼ばれる。このハイシリカゼオライトは、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２．５のゼオライトである。ハイシリカゼオライトとしては、例えば、Ｙタイプ、ＵＳＹ（Ultra-stable Y）タイプ、ベータタイプ等がある。
　ゼオライトは、酸性ガスに接すると、ゼオライト中のアルミナが酸性ガスと結合し、このゼオライトの水分吸着性能が低下する。このため、ゼオライト中のアルミナが多い（（Ｓｉ／Ａｌ）mol比が小さい）ほど、酸性ガスに接した場合にその水分吸着性能が低下する傾向が高まる。すなわち、アルミナが多い（（Ｓｉ／Ａｌ）mol比が小さい）ゼオライトは、酸性ガスに対する耐性が低い。逆に、アルミナが少ない（（（Ｓｉ／Ａｌ）mol比が大きい）ゼオライトは、酸性ガスに対する耐性が高い。
　また、ゼオライト等のアルミナを含む吸着剤は、ハイシリカ吸着剤に比べて水分吸着力が強く、排気ガスを低露点にすることができる。言い換えると、アルミナを含む吸着剤は、ハイシリカ吸着剤に比べて、排気ガス中の水分濃度を低くすることができる。従って、ゼオライトでは、アルミナが多い（（Ｓｉ／Ａｌ）mol比が小さい）ほど、排気ガスの低露点化の性能が高くなる傾向がある。
　二酸化炭素吸着剤における二酸化炭素の吸着量安定化のためには、二酸化炭素吸着剤を通過するガスの露点が低い、言い換えると、このガス中の水分濃度が低いことが好ましい。
　そこで、本実施形態では、二酸化炭素回収装置５０に排気ガスを送る前に、前処理装置１０の水分吸着剤１７で、排気ガス中の水分を吸着する。
　代表的な水分吸着剤としては、以上で説明したゼオライトの他、シリカゲルがある。このシリカゲルは、酸性ガスに対する耐性がある。このため、水分及び酸性ガスを含む排気ガスから水分を吸着するための吸着剤として、シリカゲルを用いても、このシリカゲルの除湿性能はあまり低下しない。一方で、水分及び酸性ガスを含む排気ガスから水分を吸着するための吸着剤として、アルミナを含む吸着剤を用いた場合、アルミナが酸性ガスと結合してしまって、この吸着剤の除湿性能が低下する。すなわち、アルミナを含む吸着剤は、前述したように、酸性ガスに対する耐性が、シリカゲルよりも低い。以上のように、酸性ガスに対する耐性の観点からは、アルミナの含有率に対してシリカの含有率が高い吸着剤が好ましい。
　一方で、アルミナを含む吸着剤は、シリカゲルに比べて、排気ガスを低露点にすることができる。言い換えると、アルミナを含む吸着剤は、シリカゲルに比べて、排気ガス中の水分濃度を低くすることができる。以上のように、ガスの低露点化の観点からは、シリカの含有率に対してアルミナの含有率が比較的高い吸着剤が好ましい。
　本実施形態では、二酸化炭素回収装置５０に送るガスの低露点化の観点から、水分吸着剤１７として、前述したように、アルミナを含む吸着剤を用いる。アルミナを含む吸着剤としては、活性アルミナや以上で説明したゼオライト等がある。なお、水分吸着剤１７としてゼオライトを用いる場合、複数のタイプが存在するゼオライトのうち、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＜２のローシリカゼオライトの分類されるＸタイプゼオライトを用いることが好ましい。
　但し、アルミナを含む水分吸着剤１７は、酸性ガスに対する耐性が低いため、本実施形態では、排気ガスを酸性ガス吸着剤１６に通過させ、排気ガス中の酸性ガスの多くを除去してから、このガスを水分吸着剤１７に通過させる。よって、酸性ガス吸着剤１６は、酸性ガスを吸着することで、本実施形態で用いる水分吸着剤１７をガードする役目を担っている。酸性ガス吸着剤１６は、酸性ガスに対する耐性が高いことが望まれるため、本実施形態では、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含む吸着剤で（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２．５である吸着剤を用いる。シリカを含みアルミナを含まない吸着剤としてはシリカゲルがある。また、シリカとアルミナとを含む吸着剤で（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２．５である吸着剤としては、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２．５であるハイシリカゼオライトがある。なお、酸性ガス吸着剤１６として、ゼオライトを用いる場合、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞５で、ハイシリカゼオライトに分類されるＹタイプ、ＵＳＹタイプ、ベータタイプのゼオライトを用いることが好ましい。
　以上のように、本実施形態では、水分吸着剤１７として、アルミナを含む吸着剤を用いるので、二酸化炭素回収装置５０に送るガスを低露点化することができる。このアルミナを含む水分吸着剤１７は、酸性ガスに対する耐性が低い。しかしながら、本実施形態では、排気ガスを酸性ガス吸着剤１６に通過させて、排気ガス中の酸性ガスの多くを除いてから、このガスを水分吸着剤１７に通過させているので、水分吸着剤１７の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる。
　「第二実施形態」
　二酸化炭素回収設備の第二実施形態について、図４を参照して説明する。
　本実施形態における二酸化炭素回収設備は、図４に示すように、第一実施形態における二酸化炭素回収設備と同様、前処理装置１０Ａと、二酸化炭素回収装置５０と、を備える。本実施形態における二酸化炭素回収装置５０は、第一実施形態における二酸化炭素回収装置５０と同じである。一方、本実施形態における前処理装置１０Ａは、第一実施形態における前処理装置１０と異なる。
　第一実施形態における前処理装置１０の除湿容器１２は、一つの容器である。一方、本実施形態における前処理装置１０Ａの除湿塔１１Ａの除湿容器１２Ａは、酸性ガス吸着剤容器１３及び水分吸着剤容器１５の二つの容器で構成される。酸性ガス吸着剤容器１３には、酸性ガス吸着剤１６が充填されている。また、水分吸着剤容器１５には、水分吸着剤１７が充填されている。
　酸性ガス吸着剤容器１３は、送風機６からの排気ガスが流入可能な第一口１３ｉと、酸性ガス吸着剤１６を通過したガスである酸性ガス除去済みガスが流出可能な第二口１３ｏと、を有する。また、水分吸着剤容器１５は、酸性ガス除去済みガスが流入可能な第一口１５ｉと、水分吸着剤１７を通過したガスである前処理済みガスが流出可能な第二口１５ｏと、を有する。酸性ガス吸着剤容器１３の第一口１３ｉは、除湿容器１２Ａの第一口１２ｉである。また、水分吸着剤容器１５の第二口１５ｏは、除湿容器１２Ａの第二口１２ｏである。
　第一除湿塔１１Ａａの除湿容器１２Ａの一部を構成する酸性ガス吸着剤容器１３の第二口１３ｏと、第一除湿塔１１Ａａの除湿容器１２Ａの他の部を構成する水分吸着剤容器１５の第一口１５ｉとは、第一酸性ガス除去済みガスライン２６ａで接続されている。第二除湿塔１１Ａｂの除湿容器１２Ａの一部を構成する酸性ガス吸着剤容器１３の第二口１３ｏと、第二除湿塔１１Ａｂの除湿容器１２Ａの他の部を構成する水分吸着剤容器１５の第一口１５ｉとは、第二酸性ガス除去済みガスライン２６ｂで接続されている。
　以上のように、除湿容器１２Ａを二つの容器で構成しても、排気ガスを酸性ガス吸着剤１６に通してから水分吸着剤１７に通すことができるので、本実施形態でも第一実施形態と同様の効果を得ることができる。
　「第三実施形態」
　二酸化炭素回収設備の第三実施形態について、図５及び図６を参照して説明する。
　本実施形態における二酸化炭素回収設備は、図５に示すように、以上の各実施形態における二酸化炭素回収設備と同様、前処理装置１０Ｂと、二酸化炭素回収装置５０と、を備える。本実施形態における二酸化炭素回収装置５０は、以上の各実施形態における二酸化炭素回収装置５０と同じである。一方、本実施形態における前処理装置１０Ｂは、第一実施形態における前処理装置１０と異なる。
　第一実施形態における前処理装置１０の除湿容器１２は、一つの容器である。一方、本実施形態における前処理装置１０Ｂの除湿容器１２Ｂは、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂと水分吸着剤容器１５との三つの容器で構成される。第一酸性ガス吸着剤容器１３ａ及び第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂには、酸性ガス吸着剤１６が充填されている。また、水分吸着剤容器１５には、水分吸着剤１７が充填されている。
　第一酸性ガス吸着剤容器１３ａ及び第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂは、送風機６からの排気ガスが流入可能な第一口１３ｉと、酸性ガス吸着剤１６を通過したガスである酸性ガス除去済みガスが流出可能な第二口１３ｏと、を有する。また、水分吸着剤容器１５は、酸性ガス除去済みガスが流入可能な第一口１５ｉと、水分吸着剤１７を通過したガスである前処理済みガスが流出可能な第二口１５ｏと、を有する。第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの第一口１２ｉ及び第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの第一口１３ｉは、除湿容器１２Ｂの第一口１２ｉである。また、水分吸着剤容器１５の第二口１５ｏは、除湿容器１２Ｂの第二口１２ｏである。
　本実施形態における排気ガスライン２０Ｂは、主排気ガスライン２１と、第一排気ガスライン２２Ｂａと、第二排気ガスライン２２Ｂｂと、第一排気ガスライン２２Ｂａから分岐している第一分岐排気ガスライン２３ａａ及び第二分岐排気ガスライン２３ｂａと、第二排気ガスライン２２Ｂｂから分岐している第一分岐排気ガスライン２３ａｂ及び第二分岐排気ガスライン２３ｂｂと、を有する。主排気ガスライン２１の一端は、以上の各実施形態における主排気ガスライン２１の一端と同様、排気ガス発生源１に接続されている。第一排気ガスライン２２Ｂａ及び第二排気ガスライン２２Ｂｂの一端は、主排気ガスライン２１の他端に接続されている。第一排気ガスライン２２Ｂａには、第一排気ガス弁４１ａが設けられている。第二排気ガスライン２２Ｂｂには、第二排気ガス弁４１ｂが設けられている。
　第一排気ガスライン２２Ｂａの他端には、第一分岐排気ガスライン２３ａａの一端及び第二分岐排気ガスライン２３ｂａの一端が接続されている。第一分岐排気ガスライン２３ａａの他端は、第一除湿塔１１Ｂａの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの第一口１３ｉに接続されている。第二分岐排気ガスライン２３ｂａの他端は、第一除湿塔１１Ｂａの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの第一口１３ｉに接続されている。第一分岐排気ガスライン２３ａａには、第一分岐排気ガス弁４２ａａが設けられている。第二分岐排気ガスライン２３ｂａには、第二分岐排気ガス弁４２ｂａが設けられている。
　第二排気ガスライン２２Ｂｂの他端には、第一分岐排気ガスライン２３ａｂの一端及び第二分岐排気ガスライン２３ｂｂの一端が接続されている。第一分岐排気ガスライン２３ａｂの他端は、第二除湿塔１１Ｂｂの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの第一口１３ｉに接続されている。第二分岐排気ガスライン２３ｂｂの他端は、第二除湿塔１１Ｂｂの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの第一口１３ｉに接続されている。第一分岐排気ガスライン２３ａｂには、第一分岐排気ガス弁４２ａｂが設けられている。第二分岐排気ガスライン２３ｂｂには、第二分岐排気ガス弁４２ｂｂが設けられている。
　第一除湿塔１１Ｂａの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの第二口１３ｏと、第一除湿塔１１Ｂａの除湿容器１２Ｂの他の一部を構成する水分吸着剤容器１５の第一口１５ｉとは、第一ａ酸性ガス除去済みガスライン２６ａａで接続されている。第一除湿塔１１Ｂａの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの第二口１３ｏと、第一除湿塔１１Ｂａの除湿容器１２Ｂの他の一部を構成する水分吸着剤容器１５の第一口１５ｉとは、第一ｂ酸性ガス除去済みガスライン２６ａｂで接続されている。
　第二除湿塔１１Ｂｂの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの第二口１３ｏと、第二除湿塔１１Ｂｂの除湿容器１２Ｂの他の一部を構成する水分吸着剤容器１５の第一口１５ｉとは、第二ａ酸性ガス除去済みガスライン２６ｂａで接続されている。第二除湿塔１１Ｂｂの除湿容器１２Ｂの一部を構成する第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの第二口１３ｏと、第二除湿塔１１Ｂｂの除湿容器１２Ｂの他の一部を構成する水分吸着剤容器１５の第一口１５ｉとは、第二ｂ酸性ガス除去済みガスライン２６ｂｂで接続されている。
　本実施形態の前処理装置１０Ｂは、送風機６からの排気ガスを第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの第一口１３ｉに導ける第一状態と、送風機６からの排気ガスを第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの第一口１３ｉに導ける第二状態と、の間で状態切替可能に構成されている切替機構２９Ｂを有する。この切替機構２９Ｂは、前述した、第一分岐排気ガスライン２３ａａ，２３ａｂと、第二分岐排気ガスライン２３ｂａ，２３ｂｂと、第一分岐排気ガス弁４２ａａ，４２ａｂと、第二分岐排気ガス弁４２ｂａ，４２ｂｂと、を有して構成されている。
　次に、以上で説明した二酸化炭素回収設備の動作について、図６に示すフローチャートに従って説明する。
　二酸化炭素回収設備は、以上の各実施形態における二酸化炭素回収設備と同様に、前処理Ｓ１０Ｂと、二酸化炭素回収処理Ｓ２０とを実行する。前処理Ｓ１０Ｂは、前処理装置１０Ｂにより実行され、二酸化炭素回収処理Ｓ２０は、二酸化炭素回収装置５０により実行される。本実施形態における二酸化炭素回収処理Ｓ２０は、以上の各実施形態における二酸化炭素回収処理Ｓ２０と同じである。本実施形態における前処理Ｓ１０Ｂは、第一実施形態における前処理Ｓ１０と異なる。
　本実施形態における前処理Ｓ１０Ｂも、第一実施形態における前処理Ｓ１０と同様、酸性ガス除去工程Ｓ１１Ｂと、除湿工程Ｓ１２と、再生工程Ｓ１３と、を実行する。但し、本実施形態における酸性ガス除去工程Ｓ１１Ｂは、第一工程Ｓ１１Ｂａと、第二工程Ｓ１１Ｂｂと、を含む。第一工程Ｓ１１Ｂａでは、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６（第一酸性ガス吸着剤）に排気ガスを通過させて、排気ガス中の酸性ガスを除去する。第二工程Ｓ１１Ｂｂでは、第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂに充填されている酸性ガス吸着剤１６（第二酸性ガス吸着剤）に排気ガスを通過させて、排気ガス中の酸性ガスを除去する。
　本実施形態における除湿工程Ｓ１２では、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとのうち、酸性ガス除去工程Ｓ１１Ｂが実行された酸性ガス吸着剤容器からの酸性ガス除去済みガスから水分を水分吸着剤容器１５に充填されている水分吸着剤１７で除去する。
　本実施形態における再生工程Ｓ１３では、水分吸着剤容器１５に充填されている水分吸着剤１７が二酸化炭素回収装置５０からのオフガスで再生される。さらに、本実施形態における再生工程Ｓ１３では、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとのうち、酸性ガス除去工程Ｓ１１Ｂが実行された酸性ガス吸着剤容器に充填されている酸性ガス吸着剤１６が、水分吸着剤容器１５を通過したオフガスで再生される。
　さらに、本実施形態では、前処理装置１０Ｂが有する吸着剤の交換・切替処理Ｓ３０Ｂも実行する。この交換・切替処理Ｓ３０Ｂは、作業員が行う処理である。交換・切替処理Ｓ３０Ｂは、判定工程Ｓ３１Ｂと、交換・切替工程Ｓ３２Ｂとを含む。
　判定工程Ｓ３１Ｂでは、作業員が、酸性ガス吸着剤１６及び水分吸着剤１７が予め定められた交換・切替条件を満たしたか否かを判定する。
　この判定工程Ｓ３１Ｂでは、例えば、除湿塔１１Ｂ内の酸性ガス吸着剤１６の一部及び水分吸着剤１７の一部をサンプリングし、このサンプリングした吸着剤を分析する。この分析の結果、サンプリングした吸着剤の劣化の程度が予め定められた程度以上の場合、交換条件又は切替条件を満たしたとする。
　また、この判定工程Ｓ３１Ｂでは、以上のように吸着剤を分析せず、以前に吸着剤を交換してからの期間が予め定めた期間以上の場合に、交換条件又は切替条件を満たしたとしてもよい。また、この判定工程Ｓ３１Ｂでは、以前に吸着剤を交換してから、交換後の吸着剤を通過した積算ガス量が予め定めた量以上の場合に、交換条件又は切替条件を満たしたとしてもよい。
　作業員は、交換条件を満たしたと判定すると、交換条件を満たした吸着剤を新たな吸着剤に交換する。さらに、作業員は、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６と第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂに充填されている酸性ガス吸着剤１６とのうち、一方の酸性ガス吸着剤１６が切替条件を満たしたと判定すると、一方の酸性ガス吸着剤１６への排気ガスの流入を停止させ、他方の酸性ガス吸着剤１６へ酸性ガスを通過させる（交換・切替工程Ｓ３２Ｂ）。例えば、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６と第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂに充填されている酸性ガス吸着剤１６とのうち、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６が切替条件を満たしたと判定した場合、交換・切替工程Ｓ３２Ｂでは、第一分岐排気ガス弁４２ａａ，４２ａｂを閉状態にして、第二分岐排気ガス弁４２ｂａ，４２ｂｂを開状態にする。
　ここでは、作業員が、第一分岐排気ガス弁４２ａａ，４２ａｂを閉状態にして、第二分岐排気ガス弁４２ｂａ，４２ｂｂを開状態にする。しかしながら、制御装置が、第一分岐排気ガス弁４２ａａ，４２ａｂを閉状態にして、第二分岐排気ガス弁４２ｂａ，４２ｂｂを開状態にしてもよい。この場合、制御装置が判定工程Ｓ３１Ｂを実行し、この制御装置が、この判定工程Ｓ３１Ｂでの判定結果に応じて、第一分岐排気ガス弁４２ａａ，４２ａｂ及び第二分岐排気ガス弁４２ｂａ，４２ｂｂの開閉状態を制御する。
　以上のように、除湿容器１２Ｂを三つの容器で構成しても、排気ガスを酸性ガス吸着剤１６に通してから水分吸着剤１７に通すことができるので、本実施形態でも以上の各実施形態と同様の効果を得ることができる。
　また、本実施形態では、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとのうち、一方の容器に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化して切替条件を満たした場合、他方の容器に充填されている酸性ガス吸着剤１６で排気ガス中の酸性ガスを吸着できる。よって、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとのうち、一方の容器に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化しても、前処理装置１０Ｂでの前処理Ｓ１０Ｂを継続して実行することができる。
　「第四実施形態」
　二酸化炭素回収設備の第四実施形態について、図７及び図８を参照して説明する。
　本実施形態における二酸化炭素回収設備は、図７に示すように、以上の各実施形態における二酸化炭素回収設備と同様、前処理装置１０Ｃと、二酸化炭素回収装置５０と、を備える。本実施形態における二酸化炭素回収装置５０は、以上の各実施形態における二酸化炭素回収装置５０と同じである。一方、本実施形態における前処理装置１０Ｃは、第一実施形態における前処理装置１０と異なる。
　本実施形態における前処理装置１０Ｃは、第一実施形態における前処理装置１０に、第一酸性ガス吸着塔１８ａ、第二酸性ガス吸着塔１８ｂ、及び切替機構２９Ｃを追加した装置である。
　第一酸性ガス吸着塔１８ａ及び第二酸性ガス吸着塔１８ｂは、いずれも、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤１６と、酸性ガス吸着剤１６が充填される容器１９と、を有する。第一酸性ガス吸着塔１８ａの容器１９及び第二酸性ガス吸着塔１８ｂの容器１９は、いずれも、送風機６からの排気ガスが流入可能な第一口１９ｉと、酸性ガス吸着剤１６を通過したガスが流出可能な第二口１９ｏと、を有する。
　本実施形態の排気ガスライン２０Ｃは、主排気ガスライン２１と、第一分岐排気ガスライン２３ａと、第二分岐排気ガスライン２３ｂと、第一の一次処理済みガスライン２４ａと、第二の一次処理済みガスライン２４ｂと、合流ガスライン２５と、第一排気ガスライン２２Ｃａと、第二排気ガスライン２２Ｃｂと、を有する。主排気ガスライン２１の一端は、以上の各実施形態における主排気ガスライン２１の一端と同様、排気ガス発生源１に接続されている。主排気ガスライン２１の他端には、第一分岐排気ガスライン２３ａの一端及び第二分岐排気ガスライン２３ｂの一端が接続されている。第一分岐排気ガスライン２３ａの他端には、第一酸性ガス吸着塔１８ａの第一口１９ｉに接続されている。第二分岐排気ガスライン２３ｂの他端には、第二酸性ガス吸着塔１８ｂの第一口１９ｉに接続されている。第一分岐排気ガスライン２３ａには、第一分岐排気ガス弁４２ａが設けられている。第二分岐排気ガスライン２３ｂには、第二分岐排気ガス弁４２ｂが設けられている。第一の一次処理済みガスライン２４ａの一端は、第一酸性ガス吸着塔１８ａの第二口１９ｏに接続されている。第二の一次処理済みガスライン２４ｂの一端は、第二酸性ガス吸着塔１８ｂの第二口１９ｏに接続されている。第一の一次処理済みガスライン２４ａの他端及び第二の一次処理済みガスライン２４ｂの他端には、合流ガスライン２５の一端が接続されている。合流ガスライン２５の他端には、第一排気ガスライン２２Ｃａの一端及び第二排気ガスライン２２Ｃｂの一端が接続されている。第一排気ガスライン２２Ｃａの他端は、第一実施形態と同様、第一除湿塔１１ａの第一口１２ｉに接続されている。第二排気ガスライン２２Ｃｂの他端は、第一実施形態と同様、第二除湿塔１１ｂの第一口１２ｉに接続されている。第一排気ガスライン２２Ｃａには、第一実施形態と同様、第一排気ガス弁４１ａが設けられている。第二排気ガスライン２２Ｃｂには、第一実施形態と同様、第二排気ガス弁４１ｂが設けられている。
　切替機構２９Ｃは、送風機６からの排気ガスを第一酸性ガス吸着塔１８ａの第一口１９ｉに導ける第一状態と、送風機６からの排気ガスを第二酸性ガス吸着塔１８ｂの第一口１９ｉに導ける第二状態と、の間で切替可能に構成されている。具体的に、この切替機構２９Ｃは、第一分岐排気ガスライン２３ａと、第二分岐排気ガスライン２３ｂと、第一分岐排気ガス弁４２ａと、第二分岐排気ガス弁４２ｂと、を有して構成されている。
　次に、以上で説明した二酸化炭素回収設備の動作について、図８に示すフローチャートに従って説明する。
　二酸化炭素回収設備は、以上の各実施形態における二酸化炭素回収設備と同様に、前処理Ｓ１０Ｃと、二酸化炭素回収処理Ｓ２０とを実行する。前処理Ｓ１０Ｃは、前処理装置１０Ｃにより実行され、二酸化炭素回収処理Ｓ２０は、二酸化炭素回収装置５０により実行される。本実施形態における二酸化炭素回収処理Ｓ２０は、以上の各実施形態における二酸化炭素回収処理Ｓ２０と同じである。本実施形態における前処理Ｓ１０Ｃは、第一実施形態における前処理Ｓ１０と異なる。
　本実施形態における前処理Ｓ１０Ｃも、第一実施形態における前処理Ｓ１０と同様、酸性ガス除去工程Ｓ１１Ｃと、除湿工程Ｓ１２と、再生工程Ｓ１３と、を実行する。但し、本実施形態における酸性ガス除去工程１１Ｃは、一次酸性ガス除去工程Ｓ１１ＣＡと、二次酸性ガス除去工程Ｓ１１ＣＢと、を含む。
　一次酸性ガス除去工程Ｓ１１ＣＡは、第一工程Ｓ１１ＣＡａと、第二工程Ｓ１１ＣＡｂと、を含む。第一工程Ｓ１１ＣＡａでは、第一酸性ガス吸着塔１８ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６（第一酸性ガス吸着剤）に排気ガスを通過させて、排気ガス中の酸性ガスを除去する。第二工程Ｓ１１ＣＡｂでは、第二酸性ガス吸着塔１８ｂに充填されている酸性ガス吸着剤１６（第二酸性ガス吸着剤）に排気ガスを通過させて、排気ガス中の酸性ガスを除去する。
　二次酸性ガス除去工程Ｓ１１ＣＢでは、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとのうち、一次酸性ガス除去工程Ｓ１１ＣＡが実行された酸性ガス吸着塔からのガスから、除湿塔１１内の酸性ガス吸着剤１６で酸性ガスを除去する。
　除湿工程Ｓ１２では、除湿塔１１内の酸性ガス吸着剤１６で酸性ガスが除去されたガスである酸性ガス除去済みガスから、同じく除湿塔１１内の水分吸着剤１７で水分を除去する。
　本実施形態における再生工程Ｓ１３では、除湿塔１１に充填されている水分吸着剤１７が二酸化炭素回収装置５０からオフガスで再生される。
　さらに、本実施形態では、前処理装置１０Ｃが有する吸着剤の交換・切替処理Ｓ３０Ｃも実行する。この交換・切替処理Ｓ３０Ｃは、作業員が行う処理である。この交換・切替処理Ｓ３０Ｃは、判定工程Ｓ３１Ｃと、交換・切替工程Ｓ３２Ｃとを含む。
　判定工程Ｓ３１Ｃでは、作業員が、酸性ガス吸着剤１６及び水分吸着剤１７が予め定められた交換・切替条件を満たしたか否かを判定する。
　この判定工程Ｓ３１Ｃでは、例えば、酸性ガス吸着塔１８ａ，１８ｂ内の酸性ガス吸着剤１６の一部、除湿塔１１内の酸性ガス吸着剤１６の一部及び水分吸着剤１７の一部をサンプリングし、このサンプリングした吸着剤を分析する。この分析の結果、サンプリングした吸着剤の劣化の程度が予め定められた程度以上の場合、交換条件又は切替条件を満たしたとする。
　また、この判定工程Ｓ３１Ｃでは、以上のように吸着剤を分析せず、以前に吸着剤を交換してからの期間が予め定めた期間以上の場合に、交換条件又は切替条件を満たしたとしてもよい。また、この判定工程Ｓ３１Ｃでは、以前に吸着剤を交換してから、交換後の吸着剤を通過した積算ガス量が予め定めた量以上の場合に、交換条件又は切替条件を満たしたとしてもよい。
　作業員は、交換条件を満たしたと判定すると、交換条件を満たした吸着剤を新たな吸着剤に交換する。さらに、作業員は、第一酸性ガス吸着塔１８ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６と、第二酸性ガス吸着塔１８ｂに充填されている酸性ガス吸着剤１６とのうち、一方の酸性ガス吸着剤１６が切替条件を満たしたと判定すると、一方の酸性ガス吸着剤１６への排気ガスの流入を停止させ、他方の酸性ガス吸着剤１６へ酸性ガスを通過させる（交換・切替工程Ｓ３２Ｂ）。例えば、第一酸性ガス吸着塔１８ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６と第二酸性ガス吸着剤塔１８ｂに充填されている酸性ガス吸着剤１６とのうち、第一酸性ガス吸着塔１８ａに充填されている酸性ガス吸着剤１６が切替条件を満たしたと判定した場合、交換・切替工程Ｓ３２Ｂでは、第一分岐排気ガス弁４２ａを閉状態にして、第二分岐排気ガス弁４２ｂを開状態にする。
　ここでは、作業員が、第一分岐排気ガス弁４２ａを閉状態にして、第二分岐排気ガス弁４２ｂを開状態にする。しかしながら、制御装置が、第一分岐排気ガス弁４２ａを閉状態にして、第二分岐排気ガス弁４２ｂを開状態にしてもよい。この場合、制御装置が判定工程Ｓ３１Ｃを実行し、この制御装置が、この判定工程Ｓ３１Ｃでの判定結果に応じて、第一分岐排気ガス弁４２ａ及び第二分岐排気ガス弁４２ｂの開閉状態を制御する。
　以上のように、本実施形態においても、以上の各実施形態と同様に、排気ガスを酸性ガス吸着剤１６に通してから水分吸着剤１７に通すことができるので、本実施形態でも以上の各実施形態と同様の効果を得ることができる。
　また、本実施形態では、第一酸性ガス吸着塔１８ａと第二酸性ガス吸着塔１８ｂとのうち、一方の吸着塔に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化して切替条件を満たした場合、他方の吸着塔に充填されている酸性ガス吸着剤１６で排気ガス中の酸性ガスを吸着できる。よって、第一酸性ガス吸着塔１８ａと第二酸性ガス吸着塔１８ｂとのうち、一方の吸着塔に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化しても、前処理装置１０Ｃでの前処理Ｓ１０Ｃを継続して実行することができる。
　以上、本開示の実施形態について詳述したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容及びその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲において、種々の追加、変更、置き換え、部分的削除等が可能である。
「付記」
　以上の実施形態における前処理装置は、例えば、以下のように把握される。
（１）第一態様における前処理装置は、
　二酸化炭素回収装置５０での処理前に、水分と二酸化炭素と酸性ガスとを含む排気ガスから水分を除去可能な前処理装置１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおいて、前記排気ガスから水分を除去可能な除湿塔１１，１１Ａ，１１Ｂと、前記除湿塔１１，１１Ａ，１１Ｂ内に前記排気ガスを送ることが可能な送風機６と、を備える。前記除湿塔１１，１１Ａ，１１Ｂは、水分を吸着可能な水分吸着剤１７と、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤１６と、前記水分吸着剤１７及び前記酸性ガス吸着剤１６が充填される除湿容器１２，１２Ａ，１２Ｂと、を有する。前記除湿容器１２，１２Ａ，１２Ｂは、前記送風機６からの前記排気ガスが流入可能な第一口１２ｉと、前記水分吸着剤１７及び前記酸性ガス吸着剤１６を通過したガスが前処理済みガスとして流出可能な第二口１２ｏと、を有する。前記酸性ガス吸着剤１６は、前記除湿容器１２，１２Ａ，１２Ｂ内の前記第一口１２ｉの側に充填され、前記水分吸着剤１７は、前記除湿容器１２，１２Ａ，１２Ｂ内で前記酸性ガス吸着剤１６よりも前記第二口１２ｏの側に充填されている。前記水分吸着剤１７は、アルミナを含む吸着剤である。前記酸性ガス吸着剤１６は、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含み、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２.５である吸着剤である。
　代表的な水分吸着剤としては、ゼオライトとシリカゲルとがある。シリカゲルは、酸性ガスに対する耐性がある。このため、水分及び酸性ガスを含む排気ガスから水分を吸着するための吸着剤として、シリカゲルを用いても、このシリカゲルの除湿性能はあまり低下しない。一方で、水分及び酸性ガスを含む排気ガスから水分を吸着するための吸着剤として、ゼオライト等のアルミナを含む吸着剤を用いた場合、アルミナが酸性ガスと結合してしまって、この吸着剤の除湿性能が低下する。すなわち、アルミナを含む吸着剤は、酸性ガスに対する耐性がシリカゲルよりも低い。以上のように、酸性ガスに対する耐性の観点からは、アルミナの含有率に対してシリカの含有率が高い吸着剤が好ましい。
　一方で、ゼオライト等のアルミナを含む吸着剤は、シリカゲルに比べて、排気ガスを低露点にすることができる。言い換えると、アルミナを含む吸着剤は、シリカゲルに比べて、排気ガス中の水分濃度を低くすることができる。以上のように、ガスの低露点化の観点からは、シリカの含有率に対してアルミナの含有率が比較的高い吸着剤が好ましい。
　本態様では、二酸化炭素回収装置５０に送るガスの低露点化の観点から、水分吸着剤１７として、アルミナを含む吸着剤を用いる。
　但し、アルミナを含む水分吸着剤１７は、酸性ガスに対する耐性が低いため、本態様では、排気ガスを酸性ガス吸着剤１６に通過させ、排気ガス中の酸性ガスの多くを除去してから、このガスを水分吸着剤１７に通過させる。よって、酸性ガス吸着剤１６は、酸性ガスを吸着することで、本態様で用いる水分吸着剤１７をガードする役目を担っている。
　以上のように、本態様では、水分吸着剤１７として、アルミナを含む吸着剤を用いるので、二酸化炭素回収装置５０に送るガスを低露点化することができる。このアルミナを含む吸着剤は、前述したように、酸性ガスに対する耐性が低い。しかしながら、本態様では、前述したように、排気ガスを酸性ガス吸着剤１６に通過させて、排気ガス中の酸性ガスの多くを除いてから、このガスを水分吸着剤１７に通過させているので、水分吸着剤１７の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる。
（２）第二態様における前処理装置は、
　前記第一態様における前処理装置１０Ａ，１０Ｂにおいて、前記除湿容器１２Ａ，１２Ｂは、前記酸性ガス吸着剤１６が充填される酸性ガス吸着剤容器１３，１３ａ，１３ｂと、前記水分吸着剤１７が充填される水分吸着剤容器１５と、を有する。前記酸性ガス吸着剤容器１３，１３ａ，１３ｂは、前記送風機６からの前記排気ガスが流入可能な第一口１３ｉと、前記酸性ガス吸着剤１６を通過したガスが酸性ガス除去済みガスとして流出可能な第二口１３ｏと、を有する。前記水分吸着剤容器１５は、前記酸性ガス除去済みガスが流入可能な第一口１５ｉと、前記水分吸着剤１７を通過したガスが流出可能な第二口１５ｏと、を有する。前記酸性ガス吸着剤容器１３の前記第一口１３ｉは、前記除湿容器１２Ａ，１２Ｂの前記第一口１２ｉである。前記水分吸着剤容器１５の前記第二口１５ｏは、前記除湿容器１２Ａ，１２Ｂの前記第二口１２ｏである。
（３）第三態様における前処理装置は、
　前記第二態様における前処理装置１０Ｂにおいて、切替機構２９Ｂをさらに備える。前記酸性ガス吸着剤容器１３ａ，１３ｂは、前記酸性ガス吸着剤１６が充填される第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと、前記酸性ガス吸着剤１６が充填される第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとを有する。前記第一酸性ガス吸着剤容器１３ａ及び前記第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂは、いずれも、前記酸性ガス吸着剤容器１３ａ，１３ｂの前記第一口１２ｉとして機能する第一口１２ｉと、前記酸性ガス吸着剤容器１３ａ，１３ｂの前記第二口１２ｏとして機能する第二口１２ｏと、を有する。前記切替機構２９Ｂは、前記送風機６からの前記排気ガスを前記第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの前記第一口１３ｉに導ける第一状態と、前記送風機６からの前記排気ガスを前記第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの前記第一口１３ｉに導ける第二状態と、の間で切替可能に構成されている。前記第一酸性ガス吸着剤容器１３ａの前記第二口１３ｏから流出したガス及び前記第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂの前記第二口１３ｏから流出したガスが、前記水分吸着剤容器１５の前記第一口１５ｉから前記水分吸着剤容器１５内に流入可能に構成されている。
　本態様では、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとのうち、一方の容器に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化した場合、他方の容器に充填されている酸性ガス吸着剤１６で排気ガス中の酸性ガスを吸着できる。よって、第一酸性ガス吸着剤容器１３ａと第二酸性ガス吸着剤容器１３ｂとのうち、一方の容器に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化しても、前処理装置１０Ｂでの前処理Ｓ１０Ｂを継続して実行することができる。
（４）第四態様における前処理装置は、
　前記第一態様における前処理装置１０Ｃにおいて、第一酸性ガス吸着塔１８ａと第二酸性ガス吸着塔１８ｂと切替機構２９Ｃとをさらに備える。前記第一酸性ガス吸着塔１８ａ及び前記第二酸性ガス吸着塔１８ｂは、いずれも、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤１６と、前記酸性ガス吸着剤１６が充填される容器１９と、を有する。前記第一酸性ガス吸着塔１８ａの前記容器１９及び前記第二酸性ガス吸着塔１８ｂの前記容器１９は、いずれも、前記送風機６からの前記排気ガスが流入可能な第一口１９ｉと、前記酸性ガス吸着剤１６を通過したガスが流出可能な第二口１９ｏと、を有する。前記切替機構２９Ｃは、前記送風機６からの前記排気ガスを前記第一酸性ガス吸着塔１８ａの前記第一口１９ｉに導ける第一状態と、前記送風機６からの前記排気ガスを前記第二酸性ガス吸着塔１８ｂの前記第一口１９ｉに導ける第二状態と、の間で切替可能に構成されている。前記第一酸性ガス吸着塔１８ａの前記第二口１９ｏから流出したガス及び前記第二酸性ガス吸着塔１８ｂの前記第二口１９ｏから流出したガスが、前記除湿塔１１の前記第一口１２ｉから前記除湿塔１１内に流入可能に構成されている。
　本態様では、第一酸性ガス吸着塔１８ａと第二酸性ガス吸着塔１８ｂとのうち、一方の吸着塔に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化した場合、他方の吸着塔に充填されている酸性ガス吸着剤１６で排気ガス中の酸性ガスを吸着できる。よって、第一酸性ガス吸着塔１８ａと第二酸性ガス吸着塔１８ｂとのうち、一方の吸着塔に充填されている酸性ガス吸着剤１６が劣化しても、前処理装置１０Ｃでの前処理Ｓ１０Ｃを継続して実行することができる。
（５）第五態様における前処理装置は、
　前記第一態様から前記第四態様のうちのいずれか一態様における前処理装置１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおいて、前記水分吸着剤１７は、活性アルミナ又はゼオライトである。
（６）第六態様における前処理装置は、
　前記第一態様から前記第四態様のうちのいずれか一態様における前処理装置１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおいて、前記水分吸着剤１７は、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＜２．５のゼオライトである。
（７）第七態様における前処理装置は、
　前記第一態様から前記第六態様のうちのいずれか一態様における前処理装置１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおいて、前記酸性ガス吸着剤１６は、シリカゲル又ハイシリカゼオライトである。
　以上の実施形態における二酸化炭素回収設備は、例えば、以下のように把握される。
（８）第八態様における二酸化炭素回収設備は、
　前記第一態様から前記第七態様のうちのいずれか一態様における前処理装置１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、前記二酸化炭素回収装置５０と、を備える。前記二酸化炭素回収装置５０は、前記前処理済みガスが流入可能で、前記前処理済みガス中の二酸化炭素を吸着可能な二酸化炭素吸着剤５３が充填されている二酸化炭素吸着塔５１と、前記二酸化炭素吸着塔５１内を真空吸引する吸引機５５と、を備える。
　本態様の前処理装置１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃでは、二酸化炭素回収装置５０に送るガスの露点を下げることができる、言い換えると、このガス中の水分濃度を少なくすることができる。このため、二酸化炭素吸着塔５１内の二酸化炭素吸着剤５３で二酸化炭素を効率的に吸着できる。二酸化炭素吸着剤５３に吸着された二酸化炭素は、二酸化炭素吸着塔５１内を吸引機５５で真空吸引することで回収される。
　以上の実施形態における前処理方法は、例えば、以下のように把握される。
（９）第九態様における前処理方法は、
　二酸化炭素回収処理Ｓ２０の前に、水分と二酸化炭素と酸性ガスとを含む排気ガスから水分を除去する前処理方法において、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤１６に前記排気ガスを通過させて、前記排気ガス中の酸性ガスを除去する酸性ガス除去工程Ｓ１１、Ｓ１１Ｂ，Ｓ１１Ｃと、水分を吸着可能な水分吸着剤１７に、前記酸性ガス除去工程Ｓ１１、Ｓ１１Ｂ，Ｓ１１Ｃを経た前記排気ガスである酸性ガス除去済みガスを通過させて、前記酸性ガス除去済みガス中の水分を除去し、水分除去後の前記酸性ガス除去済みガスである前処理済みガスを前記二酸化炭素回収処理Ｓ２０させる除湿工程Ｓ１２と、を実行する。前記酸性ガス吸着剤１６は、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含み、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２.５である吸着剤である。前記水分吸着剤１７は、アルミナを含む吸着剤である。
　本態様では、第一態様における前処理装置１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと同様に、二酸化炭素回収処理Ｓ２０されるガスを低露点化することができると共に、前処理Ｓ１０，Ｓ１０Ｂ，Ｓ１０Ｃで用いる水分吸着剤１７の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる。
（１０）第十態様における前処理方法は、
　前記第九態様における前処理方法において、前記酸性ガス除去工程Ｓ１１Ｂは、酸性ガスを吸着可能な第一酸性ガス吸着剤１６に前記排気ガスを通過させて、前記排気ガス中の酸性ガスを除去する第一工程Ｓ１１Ｂａと、酸性ガスを吸着可能な第二酸性ガス吸着剤１６に前記排気ガスを通過させて、前記排気ガス中の酸性ガスを除去する第二工程Ｓ１１Ｂｂと、を含む。前記第一酸性ガス吸着剤１６と前記第二酸性ガス吸着剤１６とのうち、いずれか一方の酸性吸着剤が劣化しているか否かを判定する判定工程Ｓ３１Ｂと、前記判定工程Ｓ３１Ｂで、前記一方の酸性ガス吸着剤１６が劣化していると判定されると、前記第一工程Ｓ１１Ｂａと前記第二工程Ｓ１１Ｂｂとのうち、前記一方の酸性ガス吸着剤１６に前記排気ガスを通過させている一方の工程を終了させ、他方の工程を実行させる切替工程３２Ｂと、をさらに実行する。
　本態様では、第一酸性ガス吸着剤１６と第二酸性ガス吸着剤１６とのうち、一方の酸性ガス吸着剤１６が劣化した場合、他方の酸性ガス吸着剤１６で排気ガスの酸性ガスを吸着できるので、前処理Ｓ１０Ｂを継続して実行することができる。
（１１）第十一態様における前処理方法は、
　前記第九態様又は前記第十態様における前処理方法において、前記酸性ガス吸着剤１６が劣化しているか否かを判定する判定工程Ｓ３１，Ｓ３１Ｂ，Ｓ３２Ｃと、前記判定工程Ｓ３１，Ｓ３１Ｂ，Ｓ３１Ｃで、前記酸性ガス吸着剤１６が劣化していると判定されると、前記酸性ガス吸着剤１６を新たな酸性ガス吸着剤１６に替える交換工程Ｓ３２，Ｓ３２Ｂ，Ｓ３２Ｃと、をさらに実行する。
（１２）第十二態様における前処理方法は、
　前記第九態様から前記第十一態様のうちのいずれか一態様における前処理方法において、前記水分吸着剤１７は、活性アルミナ又はゼオライトである。
（１３）第十三態様における前処理方法は、
　前記第九態様から前記第十一態様のうちのいずれか一態様における前処理方法において、前記水分吸着剤１７は、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＜２.５のゼオライトである。
（１４）第十四態様における前処理方法は、
　前記第九態様から前記第十三態様のうちのいずれか一態様における前処理方法において、前記酸性ガス吸着剤１６は、シリカゲル又ハイシリカゼオライトである。
　以上の実施形態における二酸化炭素回収方法は、例えば、以下のように把握される。
（１５）第十五態様における二酸化炭素回収方法は、
　前記第九態様から前記第十四態様のうちのいずれか一態様における前処理方法を実行すると共に、前記二酸化炭素回収処理Ｓ２０を実行する。前記二酸化炭素回収処理Ｓ２０は、二酸化炭素を吸着可能な二酸化炭素吸着剤５３に前記前処理済みガスを通過させて、前記前処理済みガス中の前記二酸化炭素を前記二酸化炭素吸着剤５３に吸着させる二酸化炭素吸着工程Ｓ２１と、前記二酸化炭素吸着剤５３から前記二酸化炭素を離脱させ、前記二酸化炭素を回収する二酸化炭素離脱工程Ｓ２２と、を含む。
　本態様では、二酸化炭素回収処理Ｓ２０させるガスの露点を下げることができる、言い換えると、このガス中の水分濃度を少なくすることができる。このため、二酸化炭素吸着工程Ｓ２１で用いられる二酸化炭素吸着剤５３により二酸化炭素を効率的に吸着できる。
二酸化炭素吸着剤５３に吸着された二酸化炭素は、二酸化炭素離脱工程Ｓ２２の実行で回収される。
　本開示の一態様によれば、水分吸着剤を通過したガスの低露点化を図りつつも、この水分吸着剤の水分吸着性能を長期間に渡って維持することができる。
１：排気ガス発生源
６：送風機
７：除湿真空ポンプ
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ：前処理装置
１１，１１Ａ，１１Ｂ：除湿塔
１１ａ，１１Ａａ，１１Ｂａ：第一除湿塔
１１ｂ，１１Ａｂ，１１Ｂｂ：第二除湿塔
１２，１２Ａ，１２Ｂ：除湿容器
１２ｉ：第一口
１２ｏ：第二口
１３：酸性ガス吸着剤容器
１３ａ：第一酸性ガス吸着剤容器
１３ｂ：第二酸性ガス吸着剤容器
１３ｉ：第一口
１３ｏ：第二口
１５：水分吸着剤容器
１５ｉ：第一口
１５ｏ：第二口
１６：酸性ガス吸着剤
１７：水分吸着剤
１８ａ：第一酸性ガス吸着塔
１８ｂ：第二酸性ガス吸着塔
１９：容器
１９ｉ：第一口
１９ｏ：第二口
２０，２０Ｂ，２０Ｃ：排気ガスライン
２１：主排気ガスライン
２２ａ，２２Ｂａ，２２Ｃａ：第一排気ガスライン
２２ｂ，２２Ｂｂ,２２Ｃｂ：第二排気ガスライン
２３ａ，２３ａａ，２３ａｂ：第一分岐排気ガスライン
２３ｂ，２３ｂａ，２３ｂｂ：第二分岐排気ガスライン
２４ａ：第一の一次処理済みガスライン
２４ｂ：第二の一次処理済みガスライン
２５：合流ガスライン
２６ａ：第一酸性ガス除去済みガスライン
２６ａａ：第一ａ酸性ガス除去済みガスライン
２６ａｂ：第一ｂ酸性ガス除去済みガスライン
２６ｂ：第二酸性ガス除去済みガスライン
２６ｂａ：第二ａ酸性ガス除去済みガスライン
２６ｂｂ：第二ｂ酸性ガス除去済みガスライン
２９Ｂ，２９Ｃ：切替機構
３０：前処理済みガスライン
３１ａ：除湿側第一前処理済みガスライン
３１ｂ：除湿側第二前処理済みガスライン
３２：主前処理済みガスライン
３３ａ：回収側第一前処理済みガスライン
３３ｂ：回収側第二前処理済みガスライン
３３ｃ：回収側第三前処理済みガスライン
３４：水分リッチガスライン
３５ａ：第一水分リッチガスライン
３５ｂ：第二水分リッチガスライン
３６：主水分リッチガスライン
３７：オフガスライン
３８ａ：回収側第一オフガスライン
３８ｂ：回収側第二オフガスライン
３８ｃ：回収側第三オフガスライン
３８ｍ：主オフガスライン
３９ａ：除湿側第一オフガスライン
３９ｂ：除湿側第二オフガスライン
４１ａ：第一排気ガス弁
４１ｂ：第二排気ガス弁
４２ａ，４２ａａ，４２ａｂ：第一分岐排気ガス弁
４２ｂ，４２ｂａ，４２ｂｂ：第二分岐排気ガス弁
４３ａ：除湿側第一前処理済みガス弁
４３ｂ：除湿側第二前処理済みガス弁
４４ａ：第一水分リッチガス弁
４４ｂ：第二水分リッチガス弁
４５ａ：除湿側第一オフガス弁
４５ｂ：除湿側第二オフガス弁
５０：二酸化炭素回収装置
５１：二酸化炭素吸着塔
５１ａ：第一の二酸化炭素吸着塔
５１ｂ：第二の二酸化炭素吸着塔
５１ｃ：第三の二酸化炭素吸着塔
５２：容器
５２ｉ：第一口
５２ｏ：第二口
５３：二酸化炭素吸着剤
５５：吸引機
５６ａ：回収側第一前処理済みガス弁
５６ｂ：回収側第二前処理済みガス弁
５６ｃ：回収側第三前処理済みガス弁
５７ａ：第一吸引弁
５７ｂ：第二吸引弁
５７ｃ：第三吸引弁
５８ａ：回収側第一オフガス弁
５８ｂ：回収側第二オフガス弁
５８ｃ：回収側第三オフガス弁
６３：回収タンク
６５：吸引ライン
６６ａ：第一吸引ライン
６６ｂ：第二吸引ライン
６６ｃ：第三吸引ライン
６７：主吸引ライン
６８：吐出ライン

Claims (15)

  1. 　二酸化炭素回収装置での処理前に、水分と二酸化炭素と酸性ガスとを含む排気ガスから水分を除去可能な前処理装置において、
    　前記排気ガスから水分を除去可能な除湿塔と、
    　前記除湿塔内に前記排気ガスを送ることが可能な送風機と、
    　を備え、
    　前記除湿塔は、水分を吸着可能な水分吸着剤と、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤と、前記水分吸着剤及び前記酸性ガス吸着剤が充填される除湿容器と、を有し、
    　前記除湿容器は、前記送風機からの前記排気ガスが流入可能な第一口と、前記水分吸着剤及び前記酸性ガス吸着剤を通過したガスが前処理済みガスとして流出可能な第二口と、を有し、
    　前記酸性ガス吸着剤は、前記除湿容器内の前記第一口の側に充填され、前記水分吸着剤は、前記除湿容器内で前記酸性ガス吸着剤よりも前記第二口の側に充填され、
    　前記水分吸着剤は、アルミナを含む吸着剤であり、
    　前記酸性ガス吸着剤は、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含み、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２.５である吸着剤である、
    　前処理装置。
  2. 　請求項１に記載の前処理装置において、
    　前記除湿容器は、前記酸性ガス吸着剤が充填される酸性ガス吸着剤容器と、前記水分吸着剤が充填される水分吸着剤容器と、を有し、
    　前記酸性ガス吸着剤容器は、前記送風機からの前記排気ガスが流入可能な第一口と、前記酸性ガス吸着剤を通過したガスが酸性ガス除去済みガスとして流出可能な第二口と、を有し、
    　前記水分吸着剤容器は、前記酸性ガス除去済みガスが流入可能な第一口と、前記水分吸着剤を通過したガスが流出可能な第二口と、を有し、
    　前記酸性ガス吸着剤容器１３の前記第一口は、前記除湿容器の前記第一口であり、
    　前記水分吸着剤容器の前記第二口は、前記除湿容器の前記第二口である、
    　前処理装置。
  3. 　請求項２に記載の前処理装置において、
    　切替機構をさらに備え、
    　前記酸性ガス吸着剤容器は、前記酸性ガス吸着剤が充填される第一酸性ガス吸着剤容器と、前記酸性ガス吸着剤が充填される第二酸性ガス吸着剤容器とを有し、
    　前記第一酸性ガス吸着剤容器及び前記第二酸性ガス吸着剤容器は、いずれも、前記酸性ガス吸着剤容器の前記第一口として機能する第一口と、前記酸性ガス吸着剤容器の前記第二口として機能する第二口と、を有し、
    　前記切替機構は、前記送風機からの前記排気ガスを前記第一酸性ガス吸着剤容器の前記第一口に導ける第一状態と、前記送風機からの前記排気ガスを前記第二酸性ガス吸着剤容器の前記第一口に導ける第二状態と、の間で切替可能に構成され、
    　前記第一酸性ガス吸着剤容器の前記第二口から流出したガス及び前記第二酸性ガス吸着剤容器の前記第二口から流出したガスが、前記水分吸着剤容器の前記第一口から前記水分吸着剤容器内に流入可能に構成されている、
    　前処理装置。
  4. 　請求項１に記載の前処理装置において、
    　第一酸性ガス吸着塔と第二酸性ガス吸着塔と切替機構とをさらに備え、
    　前記第一酸性ガス吸着塔及び前記第二酸性ガス吸着塔は、いずれも、酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤と、前記酸性ガス吸着剤が充填される容器と、を有し、
    　前記第一酸性ガス吸着塔の前記容器及び前記第二酸性ガス吸着塔の前記容器は、いずれも、前記送風機からの前記排気ガスが流入可能な第一口と、前記酸性ガス吸着剤を通過したガスが流出可能な第二口と、を有し、
    　前記切替機構は、前記送風機からの前記排気ガスを前記第一酸性ガス吸着塔の前記第一口に導ける第一状態と、前記送風機からの前記排気ガスを前記第二酸性ガス吸着塔の前記第一口に導ける第二状態と、の間で切替可能に構成され、
    　前記第一酸性ガス吸着塔の前記第二口から流出したガス及び前記第二酸性ガス吸着塔の前記第二口から流出したガスが、前記除湿塔の前記第一口から前記除湿塔内に流入可能に構成されている、
    　前処理装置。
  5. 　請求項１から４のいずれか一項に記載の前処理装置において、
    　前記水分吸着剤は、活性アルミナ又はゼオライトである、
    　前処理装置。
  6. 　請求項１から４のいずれか一項に記載の前処理装置において、
    　前記水分吸着剤は、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＜２.５のゼオライトである、
    　前処理装置。
  7. 　請求項１から６のいずれか一項に記載の前処理装置において、
    　前記酸性ガス吸着剤は、シリカゲル又ハイシリカゼオライトである、
    　前処理装置。
  8. 　請求項１から７のいずれか一項に記載の前処理装置と、
    　前記二酸化炭素回収装置と、
    　を備え、
    　前記二酸化炭素回収装置は、
    　前記前処理済みガスが流入可能で、前記前処理済みガス中の二酸化炭素を吸着可能な二酸化炭素吸着剤が充填されている二酸化炭素吸着塔と、
    　前記二酸化炭素吸着塔内を真空吸引する吸引機と、
    　を備える、
    　二酸化炭素回収設備。
  9. 　二酸化炭素回収処理の前に、水分と二酸化炭素と酸性ガスとを含む排気ガスから水分を除去する前処理方法において、
    　酸性ガスを吸着可能な酸性ガス吸着剤に前記排気ガスを通過させて、前記排気ガス中の酸性ガスを除去する酸性ガス除去工程と、
    　水分を吸着可能な水分吸着剤に、前記酸性ガス除去工程を経た前記排気ガスである酸性ガス除去済みガスを通過させて、前記酸性ガス除去済みガス中の水分を除去し、水分除去後の前記酸性ガス除去済みガスである前処理済みガスを前記二酸化炭素回収処理させる除湿工程と、
    　を実行し、
    　前記酸性ガス吸着剤は、シリカを含みアルミナを含まない吸着剤、又は、シリカとアルミナとを含み、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＞２.５である吸着剤であり、
    　前記水分吸着剤は、アルミナを含む吸着剤である、
    　前処理方法。
  10. 　請求項９に記載の前処理方法において、
    　前記酸性ガス除去工程は、酸性ガスを吸着可能な第一酸性ガス吸着剤に前記排気ガスを通過させて、前記排気ガス中の酸性ガスを除去する第一工程と、酸性ガスを吸着可能な第二酸性ガス吸着剤に前記排気ガスを通過させて、前記排気ガス中の酸性ガスを除去する第二工程と、を含み、
    　前記第一酸性ガス吸着剤と前記第二酸性ガス吸着剤とのうち、いずれか一方の酸性吸着剤が劣化しているか否かを判定する判定工程と、
    　前記判定工程で、前記一方の酸性ガス吸着剤が劣化していると判定されると、前記第一工程と前記第二工程とのうち、前記一方の酸性ガス吸着剤に前記排気ガスを通過させている一方の工程を終了させ、他方の工程を実行させる切替工程と、
    　をさらに実行する、
    　前処理方法。
  11. 　請求項９又は１０に記載の前処理方法において、
    　前記酸性ガス吸着剤が劣化しているか否かを判定する判定工程と、
    　前記判定工程で、前記酸性ガス吸着剤が劣化していると判定されると、前記酸性ガス吸着剤を新たな酸性ガス吸着剤に替える交換工程と、
    　をさらに実行する、
    　前処理方法。
  12. 　請求項９から１１のいずれか一項に記載の前処理方法において、
    　前記水分吸着剤は、活性アルミナ又はゼオライトである、
    　前処理方法。
  13. 　請求項９から１１のいずれか一項に記載の前処理方法において、
    　前記水分吸着剤は、（Ｓｉ／Ａｌ）mol比＜２.５のゼオライトである、
    　前処理方法。
  14. 　請求項９から１３のいずれか一項に記載の前処理方法において、
    　前記酸性ガス吸着剤は、シリカゲル又ハイシリカゼオライトである、
    　前処理方法。
  15. 　請求項９から１４のいずれか一項に記載の前処理方法を実行すると共に、
    　前記二酸化炭素回収処理を実行し、
    　前記二酸化炭素回収処理は、
    　二酸化炭素を吸着可能な二酸化炭素吸着剤に前記前処理済みガスを通過させて、前記前処理済みガス中の前記二酸化炭素を前記二酸化炭素吸着剤に吸着させる二酸化炭素吸着工程と、
    　前記二酸化炭素吸着剤から前記二酸化炭素を離脱させ、前記二酸化炭素を回収する二酸化炭素離脱工程と、
    　を含む、
    　二酸化炭素回収方法。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08117541A (ja) * 1994-10-18 1996-05-14 Nippon Steel Corp 吸着剤の寿命・劣化の判定方法
JP2007308600A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス精製装置およびメタンの製造方法
JP2017018917A (ja) * 2015-07-14 2017-01-26 吸着技術工業株式会社 バイオガスからｃｈ４を吸着分離するための方法及び装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08117541A (ja) * 1994-10-18 1996-05-14 Nippon Steel Corp 吸着剤の寿命・劣化の判定方法
JP2007308600A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス精製装置およびメタンの製造方法
JP2017018917A (ja) * 2015-07-14 2017-01-26 吸着技術工業株式会社 バイオガスからｃｈ４を吸着分離するための方法及び装置

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