WO2023182084A1

WO2023182084A1 - 振動アクチュエータ

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Publication number: WO2023182084A1
Application number: PCT/JP2023/009950
Authority: WO
Inventors: 康太舟橋; 靖智津山; 晃原
Original assignee: フォスター電機株式会社
Priority date: 2022-03-25
Filing date: 2023-03-14
Publication date: 2023-09-28

Abstract

【課題】固定体による片持ち梁状の弾性支持部材の支持状態が不安定になり難い振動アクチュエータを提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも磁石を含んで磁気回路を構成する磁気回路構成部材及びコイル２０の一方を含む固定体２４と、固定体に一端である固定端２６Ａが固定された片持ち梁状の弾性支持部材２５と、弾性支持部材に形成された可動体支持部４５に固定され且つコイル及び磁気回路構成部材の他方を有し、コイルに電流が流れたときに弾性支持部材を撓ませながら所定方向に振動する可動体５５と、を備え、弾性支持部材の固定端と可動体支持部との間に位置する部位に高剛性部３１、３４、３７、４０が形成され、高剛性部の曲げ剛性は、高剛性部の周辺部の曲げ剛性より高い。

Description

振動アクチュエータ

　本開示は、振動アクチュエータに関する。

　特開２００２－１７７８８２号公報には、コイルを含む固定体と、固定体に一端である固定端が固定された片持ち梁状の弾性支持部材と、弾性支持部材に固定された磁石を有する可動体と、を備える振動アクチュエータが開示されている。コイルに電流が流れたときに、弾性支持部材を撓ませながら可動体（磁石）を所定方向に振動させる。

　特開２００２－１７７８８２号公報の振動アクチュエータでは、弾性支持部材が撓むときに固定端に力が掛かり易い。そのため、特開２００２－１７７８８２号公報の振動アクチュエータでは、固定体による弾性支持部材の支持状態が不安定になり易い。

　本開示は、固定体による片持ち梁状の弾性支持部材の支持状態が不安定になり難い振動アクチュエータを提供することを目的とする。

　請求項１に記載の振動アクチュエータは、少なくとも磁石を含んで磁気回路を構成する磁気回路構成部材及びコイルの一方を含む固定体と、前記固定体に一端である固定端が固定された片持ち梁状の弾性支持部材と、前記弾性支持部材に形成された可動体支持部に固定され、且つ、前記コイル及び前記磁気回路構成部材の他方を有し、前記コイルに電流が流れたときに前記弾性支持部材を撓ませながら所定方向に振動する可動体と、を備え、前記弾性支持部材の前記固定端と前記可動体支持部との間に位置する部位に高剛性部が形成され、前記高剛性部の曲げ剛性は、前記高剛性部の周辺部の曲げ剛性より高い。

　請求項１に記載の発明では、コイルに電流が流れて可動体が振動したときに弾性支持部材が撓む。さらに片持ち梁状の弾性支持部材の固定端と可動体支持部との間に位置する部位に、その周辺部よりも曲げ剛性が高い高剛性部が形成されている。そのため、可動体が振動したときに、可動体支持部と高剛性部との間の部位の撓み量に比べて、高剛性部と固定端との間の部位の撓み量が小さくなる。そのため弾性支持部材が撓むときに固定端に力が掛かり難い。従って、請求項１に記載の発明では、固定体による弾性支持部材の支持状態が不安定になり難い。

　請求項２に記載の振動アクチュエータは、請求項１において、前記コイルの軸線に対して直交する方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、自由状態にある前記弾性支持部材の前記高剛性部の前記軸線の方向の位置が、前記コイルの前記軸線の方向の中心部に対応する位置になる。

　請求項２に記載の発明では、可動体が振動するときに、可動体が固定体に接触し難くなる。

　請求項３に記載の振動アクチュエータは、請求項１又は請求項２において、前記可動体支持部に、前記可動体の振動方向の一方の端面が固定される。

　請求項３に記載の発明では、可動体支持部と可動体との間の接触面積を大きくできるので、可動体支持部と可動体を強固に固定できる。

　請求項４に記載の振動アクチュエータは、請求項１～３の何れか１項において、前記弾性支持部材が、前記コイルの軸線に対して直交する直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記固定端から直線的に延びる第１構成部と、前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第１構成部から前記第１構成部と交差する方向に延びる第２構成部と、前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第２構成部から前記第２構成部と交差する方向に延びる第３構成部と、前記第１構成部と前記第２構成部との間に形成された前記高剛性部である第１角部と、前記第２構成部と前記第３構成部との間に形成された前記高剛性部である第２角部と、を備え、前記第１角部及び前記第２角部が、前記固定端と前記可動体支持部との間に位置する。

　請求項４に記載の発明では、第１角部及び第２角部が固定端と可動体支持部との間に位置するので、弾性支持部材が撓むときに固定端に力が掛かり難い。従って、請求項４に記載の発明では、固定体による弾性支持部材の支持状態が不安定によりなり難い。さらに弾性支持部材全体が直線形状の場合と比べて、振動アクチュエータを小型化できる。

　請求項５に記載の振動アクチュエータは、請求項１～４の何れか１項において、前記弾性支持部材が、前記コイルの軸線に対して直交する直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに互いに交差するように接続する２つの構成部を備え、前記２つの構成部の間に前記高剛性部である立体リブが形成された。

　請求項５に記載の発明では、高剛性部の曲げ剛性がより高くなる。従って、請求項５に記載の発明では、固定体による弾性支持部材の支持状態が不安定によりなり難い。

　請求項６に記載の振動アクチュエータは、請求項１～５の何れか１項において、前記弾性支持部材が、前記コイルの軸線に対して直交する直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記固定端から直線的に延びる第１構成部を備え、前記第１構成部に、前記軸線と平行な第１立ち上げリブが設けられた。

　請求項６に記載の発明では、可動体が振動したときに、第１構成部が撓みにくくなる。従って、請求項６に記載の発明では、固定体による弾性支持部材の支持状態が不安定によりなり難い。

　請求項７に記載の振動アクチュエータは、請求項４において、前記第１構成部に、前記軸線と平行な第１立ち上げリブが設けられ、前記固定体が、取付対象物に取り付けられるベース部材を備え、前記コイルの軸線に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記ベース部材の前記第２構成部側の端部より、前記第１立ち上げリブの前記第２構成部側の端部が前記第２構成部側に位置する。

　請求項７に記載の発明では、可動体が振動したときに、弾性支持部材が撓むときに弾性支持部材に発生する力がベース部材に伝わり難くなる。そのため、取付対象物に対するベース部材の取付状態が維持され易い。

　請求項８に記載の振動アクチュエータは、請求項４において、前記第１構成部に、前記軸線と平行な第１立ち上げリブが設けられ、前記第１構成部、前記第２構成部、及び前記第１立ち上げリブが互いに対向する対向端部を有し、前記第１構成部、前記第２構成部、及び前記第１立ち上げリブの少なくとも一つの前記対向端部に第１切欠部が形成される。

　請求項８に記載の発明では、可動体が振動したときに、第１構成部、第２構成部、及び第１立ち上げリブの対後端部に応力集中が発生し難い。

　請求項９に記載の振動アクチュエータは、請求項４において、前記弾性支持部材が、前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第３構成部から前記第２構成部と平行をなすように延びる第４構成部と、前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第４構成部から前記第１構成部と平行をなすように延びる第５構成部と、前記軸線と平行であり、前記第５構成部から前記第１構成部側に延びる第２立ち上げリブと、を備え、前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブが互いに対向する対向端部を有し、前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブの少なくとも一つの前記対向端部に第２切欠部が形成される。

　請求項９に記載の発明では、可動体が振動したときに、第４構成部、第５構成部、及び第２立ち上げリブの対後端部に応力集中が発生し難い。

　請求項１０に記載の振動アクチュエータは、請求項８において、前記弾性支持部材が、前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第３構成部から前記第２構成部と平行をなすように延びる第４構成部と、前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第４構成部から前記第１構成部と平行をなすように延びる第５構成部と、前記軸線と平行であり、前記第５構成部から前記第１構成部側に延びる第２立ち上げリブと、を備え、前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブが互いに対向する対向端部を有し、前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブの少なくとも一つの前記対向端部に、前記第１切欠部より小さい第２切欠部が形成される。

　請求項１０に記載の発明では、可動体が振動したときに、第４構成部、第５構成部、及び第２立ち上げリブの対後端部に応力集中が発生することを効果的に防止できる。

　本開示の動アクチュエータによれば、固定体による片持ち梁状の弾性支持部材の支持状
態が不安定になり難い。

第１実施形態に係る振動アクチュエータを示す斜視図である。振動アクチュエータの分解斜視図である。図１の３－３線で切断した断面図である。振動アクチュエータの背面図である。弾性支持部材が下方へ撓んだときの図３と同様の断面図である。弾性支持部材が上方へ撓んだときの図３と同様の断面図である。第１実施形態の弾性支持部材とボイスコイルとの位置関係を示す模式図である。比較例の弾性支持部材とボイスコイルとの位置関係を示す模式図である。第２実施形態に係る振動アクチュエータを示す斜視図である。振動アクチュエータの分解斜視図である。図９の１１－１１線で切断した断面図である。弾性支持部材の展開図である。変形例の図３に相当する断面図である。別の変形例の図１０に相当する分解斜視図である。

　以下、第１実施形態に係る振動アクチュエータ１０について添付図面を参照しながら説明する。なお、各図に適宜示す矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは互いに直交する。さらに便宜上、Ｘ方向が前後方向であり、Ｙ方向が左右方向であり、Ｚ方向が上下方向であるものとする。振動アクチュエータ１０が後述する取付対象物（図示省略）に取り付けられたときの矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは、これらと異なる方向と平行になることがある。

　取付対象物には、例えば、タッチパネルとして構成された液晶パネル等の表示装置、及び、ゲーム機器又は家電製品のコントローラが含まれる。タッチパネルが取付対象物である場合、振動アクチュエータ１０が発生する振動が、タッチパネルに触れた使用者の指に伝達される。

　図１及び図２に示されるように振動アクチュエータ１０は、ベース部材１５、ボイスコイル（コイル）２０、弾性支持部材２５及び可動体５５を備える。

　ベース部材１５は、本体板１６と、本体板１６の厚み方向の一方の面に設けられた突部１７と、突部１７の一方の面に設けられたコイル取付部１８と、を備える。ベース部材１５は例えば金属製又は樹脂製である。本体板１６は、Ｚ方向に沿って見たときに長方形をなす平板である。突部１７のＺ方向に沿って見たときの形状は長方形である。コイル取付部１８のＺ方向に沿って見たときの形状は円形である。ベース部材１５には、本体板１６、突部１７及びコイル取付部１８を貫通する貫通孔１９が設けられている。さらに本体板１６には、コイル取付部１８より前方に位置する回路部１６Ａが設けられている。

　金属製の電線によって構成されたボイスコイル２０の形状は、Ｚ方向と平行な軸線２１（図２参照）を中心とする略円筒形状である。ボイスコイル２０の下端面がベース部材１５のコイル取付部１８に固定されている。このように一体化されたベース部材１５及びボイスコイル２０によって固定体２４が構成される。図３に示された符号２０Ｍは、ボイスコイル２０のＺ方向の中心部である。

　弾性支持部材２５は、弾性材料によって構成された一体成形品である。弾性支持部材２５の構成材料の一例はステンレスである。本実施形態のボイスコイル２０は、金型（図示省略）を用いた金属板に対するプレス成形によって形成される。図２に示されるように、弾性支持部材２５は、第１構成部２６、第２構成部３０、第１角部３１、第３構成部３３、第２角部３４、第４構成部３６、第３角部３７、第５構成部３９、第４角部４０、第６構成部４７、第５角部４８、第７構成部５０及び第６角部５１を備える。

　第１構成部２６は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。軸線２１に対して直交するＹ方向（直交方向）に見たときに、第１構成部２６はＸ方向に直線的に延びる。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第１構成部２６はＸＹ平面上に位置する。図３及び図４に示されるように、第１構成部２６のＸ方向寸法は本体板１６より大きく、第１構成部２６のＹ方向寸法は本体板１６と略同一である。第１構成部２６には突部１７とほぼ同じ平面形状の貫通孔２７が形成されている。さらに第１構成部２６のＹ方向の両側縁部にはＺ方向上方に延びる一対の第１立ち上げリブ２８が設けられている。各第１立ち上げリブ２８は、ＸＺ平面と平行であり、第１構成部２６の両側縁部全体に渡って設けられている。

　第１構成部２６の後縁部に第２構成部３０の下縁部が接続されている。第２構成部３０は平板であり、Ｘ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第２構成部３０はＹＺ平面上に位置する。即ち、第１構成部２６と第２構成部３０は互いに直交する。なお、弾性支持部材２５の説明における「直交」は、互いに交差する２つの部位（部材）同士がなす角度が９０°であること又は９０°と微小角度だけ異なる角度であることを意味する。第２構成部３０のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第１構成部２６と第２構成部３０の接続部はＹ方向に延びる第１角部（高剛性部）３１を構成する。第１角部３１の曲げ剛性は、その周辺部である第１構成部２６及び第２構成部３０より高い。

　第２構成部３０の上縁部に第３構成部３３の後縁部が接続されている。第３構成部３３は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第３構成部３３はＸＹ平面上に位置する。即ち、第２構成部３０と第３構成部３３は互いに直交する。第３構成部３３のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第２構成部３０と第３構成部３３の接続部はＹ方向に延びる第２角部（高剛性部）３４を構成する。第２角部３４の曲げ剛性は、その周辺部である第２構成部３０及び第３構成部３３より高い。

　第３構成部３３の前縁部に第４構成部３６の下縁部が接続されている。第４構成部３６は平板であり、Ｘ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第４構成部３６はＹＺ平面上に位置する。即ち、第３構成部３３と第４構成部３６は互いに直交する。第４構成部３６のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第３構成部３３と第４構成部３６の接続部はＹ方向に延びる第３角部（高剛性部）３７を構成する。第３角部３７の曲げ剛性は、その周辺部である第３構成部３３及び第４構成部３６より高い。

　第４構成部３６の上縁部に第５構成部３９の後縁部が接続されている。第５構成部３９は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第５構成部３９はＸＹ平面上に位置する。即ち、第４構成部３６と第５構成部３９は互いに直交する。第５構成部３９のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第４構成部３６と第５構成部３９の接続部はＹ方向に延びる第４角部（高剛性部）４０を構成する。第４角部４０の曲げ剛性は、その周辺部である第４構成部３６及び第５構成部３９より高い。

　さらに第４角部４０には左右一対の立体リブ４１が形成されている。立体リブ４１は上記プレス成形時に上記金型によって形成される。図１～図４に示されたように、各立体リブ４１は共に三角形状の平板である第１リブ構成部４２及び第２リブ構成部４３を有する。Ｘ方向及びＺ方向に沿って弾性支持部材２５を見たときに、第１リブ構成部４２と第２リブ構成部４３は互いに対称をなす。さらに第５構成部３９には円形の可動体支持孔４５が形成されている。

　第５構成部３９の前縁部に第６構成部４７の上縁部が接続されている。第６構成部４７は平板であり、Ｘ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第６構成部４７はＹＺ平面上に位置する。第６構成部４７のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第５構成部３９と第６構成部４７の接続部はＹ方向に延びる第５角部４８を構成する。

　第６構成部４７の下縁部に第７構成部５０の後縁部が接続されている。第７構成部５０は平板であり、Ｚ方向に見たときの形状は長方形である。弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、第７構成部５０はＸＹ平面上に位置する。第７構成部５０のＹ方向寸法は第１構成部２６と同一である。第６構成部４７と第７構成部５０の接続部はＹ方向に延びる第６角部５１を構成する。

　続いて可動体５５について説明する。可動体５５は、ヨーク５６、永久磁石（磁石）６２及びポールピース６３を備える。可動体５５の質量（重量）はボイスコイル２０より大きい。ヨーク５６、永久磁石（磁石）６２及びポールピース６３は、磁気回路を構成する磁気回路構成部材を構成する。なお、磁気回路構成部材は、少なくとも磁石６２を備えていればよい。

　ヨーク５６は、下側が開放された有底円筒状の部品であり、軟磁性体で構成されている。ヨーク５６は、Ｚ方向に見たときに円形をなす天板部５７と、天板部５７の外周縁から下方に突出する円筒部５８と、天板部５７の上面に設けられた円形の凸部５９と、を備える。

　永久磁石６２は、天板部５７より外径が小さい略円柱状の部材である。永久磁石６２の上面が天板部５７の下面に固定される。

　ポールピース６３は、永久磁石６２より大径の円盤状部材である。ポールピース６３は永久磁石６２の下面に固定される。

　一体化された可動体５５の凸部５９が下方から可動体支持孔４５に挿入され、且つ、天板部５７の上面（端面）が第５構成部３９の下面の一部である可動体支持部３９Ａに固定される。

　ベース部材１５及びボイスコイル２０からなる一体物である固定体２４は、弾性支持部材２５と一体化される。即ち、図３に示されるように、ボイスコイル２０が貫通孔２７を介して第１構成部２６と第５構成部３９との間の空間に配置され且つ突部１７が貫通孔２７内に位置する。さらに本体板１６の上面全体が第１構成部２６の下面に接触させられ、且つ、接着剤（図示省略）によって本体板１６の上面が第１構成部２６の一部である固定端２６Ａの下面に固定される。即ち、第１構成部２６における本体板１６の後縁部より前方に位置する部位が固定端２６Ａである。そのため弾性支持部材２５は、一つの固定端２６Ａを有する片持ち梁（片持ち支持）を構成する。図３に示されるように、第１構成部２６の固定端２６Ａより後方に位置する部位である突出部２６Ｂは、ベース部材１５より後方に位置する。

　図３に示されるように、ボイスコイル２０の内周側空間に永久磁石６２及びポールピース６３が位置する。さらに弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、ヨーク５６の円筒部５８とボイスコイル２０の外周面との間、及び、永久磁石６２及びポールピース６３とボイスコイル２０の内周面との間には、それぞれ環状の隙間が形成される。さらに弾性支持部材２５が自由状態にあるとき、ボイスコイル２０の中心部２０Ｍ並びに弾性支持部材２５の第２角部３４及び第３角部３７は、Ｘ方向及びＹ方向と平行な一つの仮想平面ＩＰ（図３参照）上に位置する。なお、ボイスコイル２０の中心部２０Ｍ並びに弾性支持部材２５の第２角部３４及び第３角部３７のＺ方向位置が、仮想平面ＩＰから僅かにずれてもよい。このように、ボイスコイル２０の中心部２０Ｍ並びに弾性支持部材２５の第２角部３４及び第３角部３７のＺ方向位置が仮想平面ＩＰと同じ構成、及び、仮想平面ＩＰから僅かにずれる構成の何れも、特許請求の範囲の「自由状態にある前記弾性支持部材の前記高剛性部の前記軸線の方向の位置が、前記コイルの前記軸線方向の中心部に対応する位置になる」に含まれる。

　さらにボイスコイル２０を構成する電線の両端部は回路部１６Ａに接続され、回路部１６Ａに一対の電線６６、６７の一端がそれぞれ接続される。電線６６、６７の他端は、制御装置（図示省略）を介して電源（図示省略）に接続される。さらにベース部材１５の本体板１６が上記取付対象物に固定される。

　（作用）
　次に、本実施形態の作用を説明する。

　本実施形態に係る振動アクチュエータ１０では、上記電源の電力がボイスコイル２０に通電されると、可動体５５がボイスコイル２０に対して軸線２１に沿って往復運動しようとする。例えば上記電源が交流電源の場合は、交流電源からボイスコイル２０へ所定の一方向に流れる電力が供給されたとき、磁気回路が発生する磁力によって、可動体５５がボイスコイル２０に対して下方へ移動するので、弾性支持部材２５が図５に示された位置ＰＤまで移動するように撓む。続いて、交流電源からボイスコイル２０へ他方向に流れる電力が供給されたときに、磁気回路が発生する磁力によって、弾性支持部材２５が図６で示された位置ＰＵまで移動するように撓む。このような要領によって電源の電力がボイスコイル２０へ供給されることにより、弾性支持部材２５は位置ＰＤと位置ＰＵの間を往復移動する。

　このように弾性支持部材２５が上下方向に撓むと、振動アクチュエータ１０のベース部材１５から上記取付対象物へ振動が伝わる。そのため、例えば上記取付対象物がタッチパネル（液晶パネル）の場合は、振動アクチュエータ１０からタッチパネルに伝わった振動が、タッチパネルからタッチパネルに触れた使用者の手に伝わる。

　さらに片持ち梁状の弾性支持部材２５の固定端２６Ａと可動体支持孔４５との間に位置する部位に第１角部３１、第２角部３４、第３角部３７及び第４角部４０が位置する。第１角部３１、第２角部３４、第３角部３７及び第４角部４０は、それらの周辺部に位置する平板状部である第１構成部２６、第２構成部３０、第３構成部３３、第４構成部３６及び第５構成部３９よりも曲げ剛性が高い。特に立体リブ４１が設けられた第４角部４０の曲げ剛性は、第１角部３１、第２角部３４及び第３角部３７よりも高い。そのため、例えば第５構成部３９は第４角部４０を回転中心として回転するように撓む。そのため可動体５５から弾性支持部材２５に伝わった力の一部が、第５構成部３９が撓むことによって吸収される。さらに第５構成部３９が吸収しきれなかった当該力の一部によって、第４構成部３６が第３角部３７を回転中心として回転するように撓む。さらに第５構成部３９及び第４構成部３６が吸収しきれなかった当該力の一部によって、第３構成部３３が第２角部３４を回転中心として回転するように撓む。即ち、本実施形態では、第２角部３４が実質的な回転中心となり且つ第５構成部３９、第４構成部３６及び第３構成部３３が撓むことによって、可動体５５から弾性支持部材２５に伝わった力の大部分が吸収される。従って、第２構成部３０及び第１構成部２６は殆ど撓まない。即ち、可動体５５が振動したときの第１構成部２６の撓み量は、第３構成部３３、第４構成部３６及び第５構成部３９の撓み量より小さい。そのため弾性支持部材２５が撓むときに固定端２６Ａに力が掛かり難い。さらに弾性支持部材２５が、第１構成部２６の両側部に位置する一対の第１立ち上げリブ２８を備える。そのため、第１構成部２６は第１立ち上げリブ２８が設けられていない場合と比べて曲げ剛性が高い。このように固定端２６Ａに力が掛かり難く且つ第１構成部２６の曲げ剛性高いので、固定端２６Ａが大きく撓むことにより本体板１６から固定端２６Ａが分離するおそれが小さい。即ち、弾性支持部材２５がＹ方向に見たときに直線状をなす片持ち梁形状の場合と比べて、本実施形態の本体板１６による弾性支持部材２５（固定端２６Ａ）の支持状態が不安定になり難い。

　さらに弾性支持部材２５に立体リブ４１が設けられていない場合と比べて、第５構成部３９の剛性が高い。そのため弾性支持部材２５が振動するときに、第５構成部３９が大きく湾曲するおそれが小さい。即ち、弾性支持部材８５が振動するときに可動体５５の天板部５７が第５構成部３９の可動体支持部３９Ａから分離し難い。

　さらに本実施形態の弾性支持部材２５は、第１角部３１、第２角部３４、第３角部３７、第４角部４０、第５角部４８及び第６角部５１を有する。そのため、Ｙ方向に見たときに直線状をなす片持ち梁形状の弾性支持部材と比べて、本実施形態の弾性支持部材２５及び振動アクチュエータ１０のＸ方向寸法は小さい。

　さらに図７に実線で示された符号２５Ｗは、弾性支持部材２５が自由状態にあるときの第３構成部３３、第３角部３７、第４構成部３６、第４角部４０、第５構成部３９、第５角部４８及び第６構成部４７からなる特定部位を模式的に表す。さらに符号５８Ｄは、弾性支持部材２５が自由状態にあるときの円筒部５８の前端部の下端部を表す。仮想線で示された符号２５Ｗ－ＰＤは、弾性支持部材２５が位置ＰＤに位置するときの特定部位２５Ｗを表す。符号５８Ｄ－ＰＤは、弾性支持部材２５が位置ＰＤに位置するときの下端部５８Ｄを表す。仮想線で示された符号２５Ｗ－ＰＵは、弾性支持部材２５が位置ＰＵに位置するときの特定部位２５Ｗを表す。符号５８Ｄ－ＰＵは、弾性支持部材２５が位置ＰＵに位置するときの下端部５８Ｄを表す。特定部位２５Ｗ（第３構成部３３）と、特定部位２５Ｗ－ＰＤ（第３構成部３３）とがなす角度、及び、特定部位２５Ｗ（第３構成部３３）と、特定部位２５Ｗ－ＰＵ（第３構成部３３）とがなす角度は角度θである。図７から明らかなように、下端部５８Ｄと下端部５８Ｄ－ＰＤとの間のＸ方向の距離、及び、下端部５８Ｄと下端部５８Ｄ－ＰＵとの間のＸ方向の距離はＬＸ１である。

　図８は比較例の振動アクチュエータの図７に対応する図である。図８に示された弾性支持部材２５Ｃは、本実施形態の弾性支持部材２５と同じ構造である。但し、可動体５５が振動したときに、弾性支持部材２５Ｃの第１角部３１が実質的な回転中心となり且つ第２構成部３０、第３構成部３３、第４構成部３６及び第５構成部３９が撓む。図８の符号２５ＷＣは、弾性支持部材２５Ｃが自由状態にあるときの第２構成部３０、第２角部３４、第３構成部３３、第３角部３７、第４構成部３６、第４角部４０、第５構成部３９、第５角部４８及び第６構成部４７からなる特定部位を模式的に表す。さらに一点鎖線で示された符号ＬＨ２は、弾性支持部材２５Ｃが自由状態にあるときに第１角部３１を通り且つＸ方向と平行な直線である。特定部位２５ＷＣ（第２構成部３０）と、弾性支持部材２５Ｃが位置ＰＤに位置するときの特定部位２５ＷＣ－ＰＤ（第２構成部３０）とがなす角度、及び、特定部位２５ＷＣ（第２構成部３０）と、弾性支持部材２５Ｃが位置ＰＵに位置するときの特定部位２５ＷＣ－ＰＵ（第２構成部３０）とがなす角度は角度θである。図８から明らかなように、変形例における下端部５８Ｄと下端部５８Ｄ－ＰＤとの間のＸ方向の距離はＬＸ２であり、下端部５８Ｄと下端部５８Ｄ－ＰＵとの間のＹ方向の距離はＬＸ３である。

　図７及び図８から明らかなように、距離ＬＸ１は、距離ＬＸ２、ＬＸ３より短い。即ち、弾性支持部材２５の実質的な回転中心が第２角部３４の場合は、可動体５５が振動するときの下端部５８ＤのＸ方向への移動量が、弾性支持部材２５の実質的な回転中心が第１角部３１の場合よりも小さくなる。さらに図示は省略されているが、可動体５５が振動するときの円筒部５８の後端部の下端部のＸ方向への移動量も、弾性支持部材２５の実質的な回転中心が第２角部３４の場合の方が弾性支持部材２５の実質的な回転中心が第１角部３１の場合より短い。そのため本実施形態では、可動体５５が振動するときに円筒部５８とボイスコイル２０とが接触し難い。換言すると、本実施形態では、円筒部５８とボイスコイル２０との間の環状隙間を小さくし且つボイスコイル２０と円筒部５８とが接触しないように振動アクチュエータ１０を構成できる。

　さらに本実施形態ではヨーク５６の天板部５７と第５構成部３９の下面とが接触し、且つ、天板部５７と第５構成部３９の下面とが互いに固定されている。即ち、天板部５７と第５構成部３９との間の接触面積が大きいので、弾性支持部材２５と可動体５５とを強固に固定できる。

　さらに第１構成部２６の固定端２６Ａより後方に位置する部位である突出部２６Ｂが、ベース部材１５（本体板１６）より後方に位置する。第１構成部２６には第１立ち上げリブ２８が設けられているため、第１構成部２６の曲げ剛性は、第１立ち上げリブ２８が設けられていない場合よりも高い。そのため可動体５５の振動が第１構成部２６に伝わったときに、この振動に起因して突出部２６Ｂに発生する応力は小さく、且つ、固定端２６Ａに応力が発生するおそれは殆どない。そのため可動体５５が振動したときに、固定端２６Ａがベース部材１５から分離するおそれが小さい。

　さらにボイスコイル２０より質量が大きい可動体５５が弾性支持部材２５と一緒に振動するので、ボイスコイル２０が弾性支持部材２５と一緒に振動する場合と比べて、振動アクチュエータ１０が大きな振動を発生できる。

　続いて第２実施形態に係る振動アクチュエータ７５について図９～図１２を参照しながら説明する。なお、第１実施形態と同じ部材及び類似する部材には同じ符号を付すにとどめて、その詳細な説明は省略する。

　図９及び図１０に示されるように振動アクチュエータ７５は、ボイスコイル２０、可動体５５、ベース部材８０、端子８３及び弾性支持部材８５を備える。

　本実施形態のベース部材８０は樹脂製であり、コイル取付部１８の上面には、コイル取付部１８より外径が小さく且つコイル取付部１８と同軸をなす円筒状のコイル巻付部８１が設けられている。さらにベース部材８０は、コイル巻付部８１の先端に設けられた鍔部８２を有する。鍔部８２の外径はコイル巻付部８１の外径より大きい。

　各回路部１６Ａには金属製の端子８３がそれぞれ固定されている。さらに各端子８３には電線６６、６７の一端がそれぞれ接続される。電線６６、６７の他端は、制御装置を介して電源に接続される。

　コイル巻付部８１の外周面には金属製の電線が巻き付けられており、この電線によりボイスコイル２０が構成されている。ボイスコイル２０の下端がコイル取付部１８と対向し、ボイスコイル２０の上端が鍔部８２の下面と対向している。このように一体化されたベース部材８０及びボイスコイル２０によって固定体２４が構成される。

　図１０に示されるように、弾性支持部材８５は、第１構成部２６、第１立ち上げリブ２８、第２構成部３０、第１角部３１、第３構成部３３、第２角部３４、第４構成部３６、第３角部３７、第５構成部３９、第４角部４０、及び第２立ち上げリブ８６を備える。即ち、弾性支持部材８５は、第６構成部４７、第５角部４８、第７構成部５０及び第６角部５１を具備しない。

　弾性支持部材８５は立体リブ４１を具備しない。その代わりに、弾性支持部材８５は、第５構成部３９のＹ方向の両側縁部に接続され且つＺ方向下方に延びる一対の第２立ち上げリブ８６を有する。各第２立ち上げリブ８６は、ＸＺ平面と平行であり、第５構成部３９の両側縁部全体に渡って設けられている。

　図９、図１０及び図１２に示されたように第１構成部２６、第１立ち上げリブ２８及び第２構成部３０には第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃがそれぞれ形成されている。より詳細には、第１構成部２６の後縁部の左右両端部（対向端部）に第１切欠部８８Ａが形成され、左右の第１立ち上げリブ２８の後縁部の下端部（対向端部）に第１切欠部８８Ｂが形成され、第２構成部３０の左右両側縁部の下端部（対向端部）に第１切欠部８８Ｃが形成されている。図１２に示されたように、第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃは中心角が略９０°の扇形形状である。さらに第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃの形状を規定する扇形の半径は所定の第１寸法である。右側の第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃは互いに対向しており、左側の第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃは互いに連続している。

　また第４構成部３６、第５構成部３９及び第２立ち上げリブ８６には第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃが形成されている。より詳細には、第５構成部３９の後縁部の左右両端部（対向端部）に第２切欠部８９Ａが形成され、左右の第２立ち上げリブ８６の後縁部の上端部（対向端部）に第２切欠部８９Ｂが形成され、第４構成部３６の左右両側縁部の上端部（対向端部）に第２切欠部８９Ｃが形成されている。図１２に示されたように、第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃは中心角が略９０°の扇形形状である。さらに第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃの形状を規定する扇形の半径は、第１寸法より小さい第２寸法である。即ち、第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃは第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃより小さい。右側の第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃは互いに連続しており、左側の第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃは互いに連続している。

　本実施形態の可動体５５の上端面には凸部５９の代わりに、円形凹部６０及び環状突条６１が設けられている。円形凹部６０は天板部５７の上面の中央部に形成されている。環状突条６１は円形凹部６０の外周側に位置するように天板部５７の上面に設けられている。環状突条６１の外径は可動体支持孔４５の径と略同一である。可動体５５のヨーク５６の環状突条６１が下方から可動体支持孔４５に挿入され、且つ、天板部５７の上面が第５構成部３９の可動体支持部３９Ａに固定される。

　（作用）
　次に、本実施形態の作用を説明する。

　第２実施形態に係る振動アクチュエータ７５においても、上記電源の電力がボイスコイル２０に通電されると、可動体５５がボイスコイル２０に対して軸線２１に沿って往復運動しようとする。そのため弾性支持部材８５は、第１実施形態の弾性支持部材２５と同様に位置ＰＤと位置ＰＵ（図９～図１２では図示省略）の間を往復移動する。

　さらに第５構成部３９の左右両側部に第２立ち上げリブ８６が設けられているので、第２立ち上げリブ８６が設けられていない場合と比べて第５構成部３９の剛性が高い。そのため弾性支持部材８５が振動するときに、第５構成部３９が大きく湾曲するおそれが小さい。即ち、弾性支持部材８５が振動するときに可動体５５の天板部５７が第５構成部３９の可動体支持部３９Ａから分離し難い。

　さらに第１実施形態の第１構成部２６の後縁部の左右両端部、左右の第１立ち上げリブ２８の後縁部の下端部、及び第２構成部３０の左右両側縁部の下端部は、弾性支持部材２５が振動するときに応力集中が発生し易い部位である。しかし第２実施形態のこれらの部位には第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃが形成されている。そのため第２実施形態の第１構成部２６の後縁部の左右両端部、左右の第１立ち上げリブ２８の後縁部の下端部、及び第２構成部３０の左右両側縁部の下端部は、第１実施形態と比べて弾性支持部材８５が振動するときに応力集中が発生し難い。

　さらに第２実施形態の第５構成部３９の後縁部の左右両端部、左右の第２立ち上げリブ８６の後縁部の上端部、及び第４構成部３６の左右両側縁部の上端部に第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃがそれぞれ形成されている。そのため第５構成部３９の後縁部の左右両端部、左右の第２立ち上げリブ８６の後縁部の上端部、及び第４構成部３６の左右両側縁部の上端部は、第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃが形成されていない場合と比べて、振動アクチュエータ７５が振動するときに応力集中が発生し難い。

　さらに第１構成部２６の後縁部の左右両端部、左右の第１立ち上げリブ２８の後縁部の下端部、及び第２構成部３０の左右両側縁部の下端部は、第５構成部３９の後縁部の左右両端部、左右の第２立ち上げリブ８６の後縁部の上端部、及び第４構成部３６の左右両側縁部の上端部よりも、固定端２６Ａに近い。そのため、弾性支持部材８５が振動するときに、第１構成部２６の後縁部の左右両端部、左右の第１立ち上げリブ２８の後縁部の下端部、及び第２構成部３０の左右両側縁部の下端部の応力は、第５構成部３９の後縁部の左右両端部、左右の第２立ち上げリブ８６の後縁部の上端部、及び第４構成部３６の左右両側縁部の上端部の応力よりも高くなり易い。しかし第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃの第１寸法は、第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃの第２寸法より大きい。そのため、第１構成部２６の後縁部の左右両端部、左右の第１立ち上げリブ２８の後縁部の下端部、及び第２構成部３０の左右両側縁部の下端部の応力は、振動アクチュエータ７５が振動するときに大きくなり難い。

　以上、第１実施形態及び第２実施形態に係る振動アクチュエータ１０、７５について説明したが、振動アクチュエータ１０、７５は本開示の要旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能である。

　例えば、弾性支持部材２５、８５の形状は上記各実施形態のものには限定されない。例えば、図１３に示された態様で振動アクチュエータ１０が構成されてもよい。この振動アクチュエータ１０のベース部材１５は、貫通孔１９より後方に位置する部位から後方へ延びる延長部１５Ａと、延長部１５Ａの後端部から上方へ延びる支持部１５Ｂと、を備える。またヨーク５６の円筒部５８の下端部の外周面には環状凹部５８Ｅが形成されている。さらに本変形例の弾性支持部材７０は自由状態にあるときＸ方向と平行に延びる直線形状をなす。さらに弾性支持部材７０には取付孔７１が形成され、取付孔７１の周縁部が環状凹部５８Ｅに嵌められている。さらに取付孔７１の周縁部の上面と環状凹部５８Ｅの天井面が互いに固定されている。弾性支持部材７０の後端部が支持部１５Ｂに固定（支持）されている。即ち、弾性支持部材７０は、支持部１５Ｂによって支持された一方の端部を固定端７０Ｅとする片持ち梁である。弾性支持部材７０には、左右方向両端部から上方に延在した立ち上がりリブ７２が設けられている。前後方向において、弾性支持部材７０の立ち上がりリブ７２が設けられた部分は、弾性支持部材７０の立ち上がりリブ７２が設けられていない部分より曲げ剛性の高い高剛性部を構成する。なお、弾性支持部材７０に立体リブを形成して、高剛性部を構成してもよいし、弾性支持部材の左右方向の幅を変化させて、高剛性部を構成してもよい。

　さらに固定端７０Ｅは、弾性支持部材７０の固定端７０Ｅより前方に位置する部位より曲げ剛性が高い高剛性部とすることもできる。さらに弾性支持部材７０が自由状態にあるとき、弾性支持部材７０のＺ方向位置が仮想平面ＩＰと同じか、又は、仮想平面ＩＰから僅かにずれる。このように弾性支持部材７０のＺ方向位置が仮想平面ＩＰと同じ構成及び弾性支持部材７０のＺ方向位置が仮想平面ＩＰから僅かにずれる構成の何れも、特許請求の範囲の「自由状態にある前記弾性支持部材の前記高剛性部の前記軸線の方向の位置が、前記コイルの前記軸線方向の中心部に対応する位置になる」に含まれる。

　さらに図１３の変形例の技術思想が振動アクチュエータ７５に適用されてもよい。

　第２実施形態の振動アクチュエータ７５を図１４の変形例の態様で実施しもよい。この変形例の弾性支持部材８５の第１構成部２６、第１立ち上げリブ２８及び第２構成部３０の各対向端部には、第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃの代わりに、直線形状の第１切欠部９０Ａ、９０Ｂ、９０Ｃが設けられている。同様に、第４構成部３６、第５構成部３９及び第２立ち上げリブ８６の各対向端部には、第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃの代わりに、直線形状の第２切欠部９１Ａ、９１Ｂ、９１Ｃが設けられている。この変形例の第１切欠部９０Ａ、９０Ｂ、９０Ｃは第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃと同様の作用効果を発揮し、第２切欠部９１Ａ、９１Ｂ、９１Ｃは第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃと同様の作用効果を発揮する。

　また、第１構成部２６、第１立ち上げリブ２８及び第２構成部３０の１つ又は２つの対向端部にのみ第１切欠部８８Ａ、８８Ｂ、８８Ｃ、９０Ａ、９０Ｂ、９０Ｃを形成してもよい。同様に、第４構成部３６、第５構成部３９及び第２立ち上げリブ８６の１つ又は２つの対向端部にのみ第２切欠部８９Ａ、８９Ｂ、８９Ｃ、９１Ａ、９１Ｂ、９１Ｃを形成してもよい。

　弾性支持部材は、ベース部材１５、８０に支持される一つの固定端を有し且つ前後方向に延びる片持ち梁形状であってもよい。但し、この弾性支持部材は、可動体５５を支持する部位である可動体支持部と固定端との間の所定部位に、当該所定部位の周辺部より曲げ剛性が高い高剛性部を有する。なお、所定部位の数はいくつであってもよい。この場合も、可動体５５が振動したときに高剛性部が実質的な回転中心となるので、弾性支持部材２５、８５が撓むときに固定端に力が掛かり難い。従って、ベース部材１５、８０による弾性支持部材の支持状態が不安定になり難い。

　高剛性部を構成する材料のヤング率（Ｅ）を、高剛性部の周辺部を構成する材料のヤング率より大きい材料により構成してもよい。

　ベース部材１５、８０に可動体５５に相当する部材を設けて、弾性支持部材２５、８５にボイスコイル２０を設けてもよい。

　ボイスコイル２０の外周側に永久磁石６２及びポールピース６３が位置するように、振動アクチュエータを構成してもよい。

　可動体５５とボイスコイル２０の形状は、上記態様に限定されず、例えば、直方体状に形成されてもよいし、その他の形状に形成されてもよい。

　２０２２年３月２５日に出願された日本国特許出願2022-050724号の開示は、その全体が参照により本明細書に取り込まれる。本明細書に記載されたすべての文献、特許出願、および技術規格は、個々の文献、特許出願、および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

１０　　　振動アクチュエータ
１５　　　ベース部材
２０　　　ボイスコイル（コイルの一例）
２０Ｍ　　中心部
２１　　　軸線
２４　　　固定体
２５　　　弾性支持部材
２５Ｃ　　弾性支持部材
２６　　　第１構成部
２６Ａ　　固定端
２８　　　第１立ち上げリブ
３０　　　第２構成部
３１　　　第１角部（高剛性部の一例）
３３　　　第３構成部
３４　　　第２角部（高剛性部の一例）
３６　　　第４構成部
３７　　　第３角部（高剛性部の一例）
３９　　　第５構成部
３９Ａ　　可動体支持部
４０　　　第４角部（高剛性部の一例）
４１　　　立体リブ（高剛性部の一例）
４５　　　可動体支持孔
５５　　　可動体
６２　　　永久磁石（磁石）
７０　　　弾性支持部材
７５　振動アクチュエータ
８０　ベース部材
８５　弾性支持部材
８６　第２立ち上げリブ
８８Ａ　８８Ｂ　８８Ｃ　第１切欠部
８９Ａ　８９Ｂ　８９Ｃ　第２切欠部
９０Ａ　９０Ｂ　９０Ｃ　第１切欠部
９１Ａ　９１Ｂ　９１Ｃ　第２切欠部

Claims

　少なくとも磁石を含んで磁気回路を構成する磁気回路構成部材及びコイルの一方を含む固定体と、
　前記固定体に一端である固定端が固定された片持ち梁状の弾性支持部材と、
　前記弾性支持部材に形成された可動体支持部に固定され、且つ、前記コイル及び前記磁気回路構成部材の他方を有し、前記コイルに電流が流れたときに前記弾性支持部材を撓ませながら所定方向に振動する可動体と、
　を備え、
　前記弾性支持部材の前記固定端と前記可動体支持部との間に位置する部位に高剛性部が形成され、
　前記高剛性部の曲げ剛性は、前記高剛性部の周辺部の曲げ剛性より高い、
　振動アクチュエータ。
　前記コイルの軸線に対して直交する方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、自由状態にある前記弾性支持部材の前記高剛性部の前記軸線の方向の位置が、前記コイルの前記軸線の方向の中心部に対応する位置になる請求項１に記載の振動アクチュエータ。
　前記可動体支持部に、前記可動体の振動方向の一方の端面が固定される請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。
　前記弾性支持部材が、
　前記コイルの軸線に対して直交する直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記固定端から直線的に延びる第１構成部と、
　前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第１構成部から前記第１構成部と交差する方向に延びる第２構成部と、
　前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第２構成部から前記第２構成部と交差する方向に延びる第３構成部と、
　前記第１構成部と前記第２構成部との間に形成された前記高剛性部である第１角部と、
　前記第２構成部と前記第３構成部との間に形成された前記高剛性部である第２角部と、
　を備え、
　前記第１角部及び前記第２角部が、前記固定端と前記可動体支持部との間に位置する請求項１～３の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。
　前記弾性支持部材が、前記コイルの軸線に対して直交する直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに互いに交差するように接続する２つの構成部を備え、
　前記２つの構成部の間に前記高剛性部である立体リブが形成された請求項１～４の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。
　前記弾性支持部材が、前記コイルの軸線に対して直交する直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記固定端から直線的に延びる第１構成部を備え、
　前記第１構成部に、前記軸線と平行な第１立ち上げリブが設けられた請求項１～５の何れか１項に記載の振動アクチュエータ。
　前記第１構成部に、前記軸線と平行な第１立ち上げリブが設けられ、
　前記固定体が、取付対象物に取り付けられるベース部材を備え、
　前記コイルの軸線に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記ベース部材の前記第２構成部側の端部より、前記第１立ち上げリブの前記第２構成部側の端部が前記第２構成部側に位置する請求項４に記載の振動アクチュエータ。
　前記第１構成部に、前記軸線と平行な第１立ち上げリブが設けられ、
　前記第１構成部、前記第２構成部、及び前記第１立ち上げリブが互いに対向する対向端部を有し、
　前記第１構成部、前記第２構成部、及び前記第１立ち上げリブの少なくとも一つの前記対向端部に第１切欠部が形成された請求項４に記載の振動アクチュエータ。
　前記弾性支持部材が、
　前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第３構成部から前記第２構成部と平行をなすように延びる第４構成部と、
　前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第４構成部から前記第１構成部と平行をなすように延びる第５構成部と、
　前記軸線と平行であり、前記第５構成部から前記第１構成部側に延びる第２立ち上げリブと、
　を備え、
　前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブが互いに対向する対向端部を有し、
　前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブの少なくとも一つの前記対向端部に第２切欠部が形成された請求項４に記載の振動アクチュエータ。
　前記弾性支持部材が、
　前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第３構成部から前記第２構成部と平行をなすように延びる第４構成部と、
　前記直交方向に沿って前記振動アクチュエータを見たときに、前記第４構成部から前記第１構成部と平行をなすように延びる第５構成部と、
　前記軸線と平行であり、前記第５構成部から前記第１構成部側に延びる第２立ち上げリブと、
　を備え、
　前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブが互いに対向する対向端部を有し、
　前記第４構成部、前記第５構成部、及び前記第２立ち上げリブの少なくとも一つの前記対向端部に、前記第１切欠部より小さい第２切欠部が形成された請求項８に記載の振動アクチュエータ。