WO2023171354A1 - センサ - Google Patents

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WO2023171354A1
WO2023171354A1 PCT/JP2023/006115 JP2023006115W WO2023171354A1 WO 2023171354 A1 WO2023171354 A1 WO 2023171354A1 JP 2023006115 W JP2023006115 W JP 2023006115W WO 2023171354 A1 WO2023171354 A1 WO 2023171354A1
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WO
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sensor
adhesive member
main surface
adhesive
viewed
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Application number
PCT/JP2023/006115
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English (en)
French (fr)
Inventor
克己 大西
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Priority to JP2024506031A priority Critical patent/JP7548468B2/ja
Publication of WO2023171354A1 publication Critical patent/WO2023171354A1/ja

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices

Definitions

  • the present invention relates to a sensor that detects deformation of an object to be measured.
  • a displacement sensor described in Patent Document 1 As an invention related to a conventional sensor, for example, a displacement sensor described in Patent Document 1 is known.
  • This displacement sensor includes an elastic body and a flat membrane piezoelectric element.
  • the flat membrane piezoelectric element is attached to the first main surface of the elastic body.
  • a flat membrane type piezoelectric element includes a piezoelectric sheet and has a structure in which electrodes are formed on both sides of the piezoelectric sheet.
  • This displacement sensor is attached to the object to be measured using an adhesive member, and detects deformation of the object to be measured.
  • an object of the present invention is to provide a sensor that can improve the sensitivity of detecting deformation of an object to be measured.
  • a sensor includes: a sensor section having a first upper main surface and a first lower main surface arranged in the vertical direction, a left side surface and a right side surface arranged in the left-right direction, and having a longitudinal direction extending in the left-right direction; one or more first adhesive members having a lower surface;
  • the sensor section is a piezoelectric film having a second upper main surface and a second lower main surface arranged in the vertical direction; an upper electrode provided on the second upper main surface; an electrode member provided on the second lower main surface, The electrode member has a lower electrode,
  • the first adhesive member includes a left adhesive portion having a first lower surface and a right adhesive portion having a second lower surface, The left adhesive part is in contact with the left side surface,
  • the first lower surface has a portion that does not overlap with the sensor section in a region to the left of the sensor section when viewed in the up-down direction, The right adhesive part is not in contact with the first lower main surface and is in contact with the right end part of the sensor part,
  • direction is defined as follows.
  • the direction in which the first upper main surface US1 and the first lower main surface LS1 of the sensor 1 are lined up is defined as the up-down direction.
  • the direction in which the long side of the sensor 1 extends is defined as the left-right direction.
  • the direction in which the short side of the sensor 1 extends when viewed in the vertical direction is defined as the front-back direction.
  • the up-down direction, the left-right direction, and the front-back direction are orthogonal to each other. Note that the definition of direction in this specification is an example. Therefore, the direction in which the sensor 1 is actually used does not need to match the direction in this specification.
  • the vertical direction in FIG. 1 may be reversed.
  • the left and right directions in FIG. 1 may be reversed.
  • the front and rear directions in FIG. 1 may be reversed.
  • X and Y are parts or members of the sensor 1.
  • each part of X is defined as follows.
  • the upper part of X means the upper half of X.
  • the upper end of X means the upper end of X.
  • the upper end of X means the upper end of X and its vicinity. This definition also applies to directions other than the upward direction.
  • X is located above Y
  • X is located directly above Y. Therefore, when viewed in the vertical direction, X overlaps Y.
  • "X is located above Y” means that X is located directly above Y, and that X is located diagonally above Y. Therefore, when viewed in the vertical direction, X may or may not overlap Y. This definition also applies to directions other than the upward direction.
  • X and Y are electrically connected means that electricity is conducted between X and Y. Therefore, X and Y may be in contact with each other, or X and Y may not be in contact with each other. When X and Y are not in contact with each other, a conductive Z is placed between X and Y.
  • the sensitivity for detecting deformation of the object to be measured can be improved.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a sensor 1 and an object to be measured 2 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from below.
  • FIG. 3 is a plan view of the sensor section 3 according to the first embodiment viewed from below.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of the sensor section 3 according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a plan view of the sensor 1 according to the first embodiment viewed from above.
  • FIG. 6 is a sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from the front.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a sensor 1 and an object to be measured 2 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from below.
  • FIG. 3 is a plan view of the sensor section 3 according to the first embodiment viewed
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from the left.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view of a sensor and an object to be measured 2 according to a comparative example.
  • FIG. 9 is a sectional view of the sensor and the object to be measured 2 according to the comparative example when the object to be measured 2 is deformed, viewed from the front.
  • FIG. 10 is a model diagram of an experiment in which vibration was applied by the piezo actuator 5 to the sensor and the measured object 2 according to the comparative example.
  • FIG. 11 is a model diagram of an experiment in which vibrations were applied to the sensor 1 and the object to be measured 2 by the piezo actuator 5.
  • FIG. 12 is an example of a detection signal in the first embodiment.
  • FIG. 13 is a sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment when the object to be measured 2 is deformed, viewed from the front.
  • FIG. 14 is a plan view of the sensor 1a and the object to be measured 2 according to the first modification, viewed from below.
  • FIG. 15 is a sectional view of the sensor 1a and the object to be measured 2 according to the first modification as viewed from the front.
  • FIG. 16 is a plan view of the sensor 1b and the object to be measured 2 according to the second modified example, viewed from below.
  • FIG. 17 is a sectional view of the sensor 1b and the object to be measured 2 according to the second modified example, viewed from the front.
  • FIG. 14 is a plan view of the sensor 1a and the object to be measured 2 according to the first modification, viewed from below.
  • FIG. 15 is a sectional view of the sensor 1a and the object to be measured 2 according to the first modification as viewed from the front.
  • FIG. 16 is
  • FIG. 18 is a plan view of the sensor 1c and the object to be measured 2 according to the third modification, viewed from below.
  • FIG. 19 is a sectional view of the sensor 1c and the object to be measured 2 according to the third modification as viewed from the front.
  • FIG. 20 is a plan view of the sensor 1d and the object to be measured 2 according to the second embodiment, viewed from below.
  • FIG. 21 is a plan view of the sensor 1d according to the second embodiment viewed from above.
  • FIG. 22 is a sectional view of the sensor 1d and the object to be measured 2 according to the second embodiment, viewed from the front.
  • FIG. 23 is a plan view of the sensor 1e and the object to be measured 2 according to the fourth modification, viewed from below.
  • FIG. 24 is a sectional view of the sensor 1e and the object to be measured 2 according to the fourth modification, viewed from the front.
  • FIG. 25 is an exploded perspective view of the sensor 1f and the object to be measured 2 according to the third embodiment.
  • FIG. 26 is a plan view of the sensor 1f and the object to be measured 2 according to the third embodiment, viewed from below.
  • FIG. 27 is a plan view of the sensor 1f according to the third embodiment viewed from above.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a sensor 1 and an object to be measured 2 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from below.
  • FIG. 3 is a plan view of the sensor section 3 according to the first embodiment viewed from below.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of the sensor section 3 according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a plan view of the sensor 1 according to the first embodiment viewed from above.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a sensor 1 and an object to be measured 2 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from below.
  • FIG. 3 is a plan view of the sensor section 3 according to the first embodiment viewed from below.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of the sensor section 3 according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from the front.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment, viewed from the left.
  • the sensor 1 is a sensor that detects deformation of the object to be measured 2.
  • the object to be measured 2 has, for example, a plate shape.
  • the object to be measured 2 has an upper main surface and a lower main surface that are arranged in the vertical direction.
  • the senor 1 includes a sensor section 3 and a first adhesive member 4.
  • the sensor section 3 when the object to be measured 2 bends upward or downward, the sensor section 3 also bends upward or downward. Thereby, the sensor section 3 outputs a detection signal according to the deformation of the object to be measured 2.
  • the sensor section 3 has a first upper main surface US1 and a first lower main surface LS1 that are arranged in the vertical direction.
  • the first upper main surface US1 is located above the first lower main surface LS1.
  • the sensor section 3 has a left side surface and a right side surface that are arranged in the left-right direction.
  • the left side is located to the left of the right side.
  • the sensor part 3 has a front side surface and a rear side surface that are lined up in the front-rear direction.
  • the anterior aspect is located in front of the posterior aspect.
  • the sensor section 3 has a rectangular shape when viewed in the vertical direction.
  • the sensor section 3 has a longitudinal direction extending in the left-right direction. Further, the sensor section 3 has a transversal direction extending in the front-rear direction. That is, the length of the sensor section 3 in the left-right direction is longer than the length of the sensor section 3 in the front-back direction.
  • the sensor section 3 includes a piezoelectric film 14, an upper electrode 15a, and an electrode member 13, as shown in FIG.
  • the piezoelectric film 14 has a sheet shape. Therefore, as shown in FIG. 4, the piezoelectric film 14 has a second upper main surface US2 and a second lower main surface LS2 that are arranged in the vertical direction. The length of the piezoelectric film 14 in the left-right direction is longer than the length of the piezoelectric film 14 in the front-back direction. In this embodiment, the piezoelectric film 14 has a rectangular shape with long sides extending in the left-right direction when viewed in the up-down direction. The piezoelectric film 14 generates an electric charge according to the amount of deformation of the piezoelectric film 14. In this embodiment, the piezoelectric film 14 is a PLA film. Below, the piezoelectric film 14 will be explained in more detail.
  • the piezoelectric film 14 has a characteristic that the polarity of the charge generated when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction is opposite to the polarity of the charge generated when the piezoelectric film 14 is stretched in the front-back direction.
  • the piezoelectric film 14 is a film formed from a chiral polymer.
  • the chiral polymer is, for example, polylactic acid (PLA), particularly L-type polylactic acid (PLLA).
  • PLLA which is a chiral polymer, has a main chain having a helical structure.
  • PLLA has piezoelectricity in which molecules are oriented by being uniaxially stretched.
  • the piezoelectric film 14 has a piezoelectric constant of d14.
  • the uniaxial stretching direction (orientation direction) of the piezoelectric film 14 forms an angle of 45 degrees with respect to each of the front-back direction and the left-right direction.
  • This 45 degrees includes, for example, an angle including approximately 45 degrees ⁇ 10 degrees.
  • the piezoelectric film 14 generates electric charge when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction or in the front-back direction.
  • the polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction is different from the polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when the piezoelectric film 14 is stretched in the front-back direction.
  • the piezoelectric film 14 when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction, it generates a positive charge. For example, when the piezoelectric film 14 is stretched in the front-back direction, it generates a negative charge.
  • the magnitude of the charge depends on the amount of deformation of the piezoelectric film 14 due to expansion or compression. More precisely, the magnitude of the charge is proportional to the differential value of the amount of deformation of the piezoelectric film 14 due to expansion or compression.
  • the upper electrode 15a is a ground electrode. Upper electrode 15a is connected to ground.
  • the upper electrode 15a is provided on the second upper main surface US2 of the piezoelectric film 14, as shown in FIG.
  • the upper electrode 15a covers the entire second upper main surface US2 of the piezoelectric film 14.
  • the upper electrode 15a includes an adhesive layer (not shown). The upper electrode 15a is fixed to the second upper main surface US2 of the piezoelectric film 14 by this adhesive layer.
  • the electrode member 13 is provided on the second lower main surface LS2 of the piezoelectric film 14, as shown in FIG. Further, the electrode member 13 includes a lower electrode 15b and a flexible printed circuit board 19.
  • the lower electrode 15b is a signal electrode. A detection signal is output from the lower electrode 15b.
  • the lower electrode 15b is provided on the upper main surface of a flexible printed circuit board 19, which will be described later, as shown in FIG. That is, the lower electrode 15b is a conductor layer provided on the upper main surface of the uppermost insulator layer among a plurality of insulator layers of the flexible printed circuit board 19, which will be described later.
  • the flexible printed circuit board 19 is a flexible circuit board.
  • the flexible printed circuit board 19 has an upper main surface and a lower main surface that are arranged in the vertical direction.
  • the flexible printed circuit board 19 includes a signal line, a ground line, and a plurality of insulating layers.
  • the plurality of insulator layers are stacked in the vertical direction.
  • the signal line and the ground line are conductor layers provided on the insulator layer.
  • the signal line is electrically connected to the lower electrode 15b.
  • a detection signal output from the lower electrode 15b is transmitted to the signal line.
  • the ground line is electrically connected to the upper electrode 15a.
  • the ground line is connected to ground potential.
  • the first adhesive member 4 fixes the sensor section 3 to the object to be measured 2, as shown in FIG.
  • the first adhesive member 4 is, for example, a single-sided tape, a double-sided tape, a thermosetting adhesive, a thermoplastic adhesive, or a UV-curing adhesive.
  • the first adhesive member 4 has a rectangular shape with long sides extending in the left-right direction when viewed in the vertical direction, as shown in FIG. Further, the first adhesive member 4 covers the entire first upper main surface US1, left side surface, right side surface, front side surface, and rear side surface of the sensor section 3. Thereby, as shown in FIG. 2, the outer edge of the first adhesive member 4 surrounds the sensor section 3 when viewed in the vertical direction.
  • the first adhesive member 4 is provided across the left side surface, the first upper main surface US1, and the right side surface of the sensor section 3, as shown in FIG.
  • the first adhesive member 4 has an upper surface US4 and a lower surface LS4 that are arranged in the vertical direction.
  • the lower surface LS4 is located below the upper surface US4. Further, the normal direction of the lower surface LS4 is downward.
  • the first adhesive member 4 includes a left adhesive portion 4L having a first lower surface LS4L and a right adhesive portion 4R having a second lower surface LS4R.
  • the left adhesive part 4L is the left part of the first adhesive member 4, as shown in FIG.
  • the right adhesive part 4R is the right part of the first adhesive member 4.
  • the first lower surface LS4L is the left side of the lower surface LS4.
  • the second lower surface LS4R is the right part of the lower surface LS4. Therefore, the normal direction of each of the first lower surface LS4L and the second lower surface LS4R is downward.
  • the left adhesive part 4L overlaps with the left part of the sensor part 3 when viewed in the vertical direction, as shown in FIG. Further, the left adhesive portion 4L is in contact with the left end portion of the sensor portion 3. More specifically, the left adhesive portion 4L is in contact with the left side surface of the sensor portion 3, as shown in FIG. Further, the left adhesive portion 4L is in contact with each of the front side surface and the rear side surface of the sensor section 3.
  • the left adhesive portion 4L is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor portion 3, as shown in FIG. More specifically, the first lower surface LS4L is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor section 3. However, the left adhesive portion 4L is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor portion 3, as shown in FIG.
  • the first lower surface LS4L does not overlap in the area PLF in front of the left end of the sensor unit 3, the area PLL to the left of the left end of the sensor unit 3, and the area PLB after the left end of the sensor unit 3 when viewed in the vertical direction. It has a part.
  • the first lower surface LS4L has a portion P1 that does not overlap with the sensor section 3 in the region PLL to the left of the sensor section 3 when viewed in the vertical direction.
  • the portion P1 is in contact with the upper main surface of the object to be measured 2. Thereby, the left end portion of the sensor section 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.
  • the right adhesive part 4R overlaps with the right part of the sensor part 3 when viewed in the vertical direction, as shown in FIG. Further, the right adhesive portion 4R is in contact with the right end portion of the sensor portion 3. More specifically, the right adhesive part 4R is in contact with the right side surface of the sensor part 3, as shown in FIG. Moreover, the right adhesive part 4R is in contact with each of the front side surface and the rear side surface of the sensor part 3.
  • the right adhesive part 4R is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor part 3, as shown in FIG. More specifically, the second lower surface LS4R is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor section 3. However, the right adhesive portion 4R is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor portion 3, as shown in FIG.
  • the second lower surface LS4R includes the sensor portion in a region PRF in front of the right end portion of the sensor portion 3, a region PRR to the right of the right end portion of the sensor portion 3, and a region PRB after the right end portion of the sensor portion 3 when viewed in the vertical direction. It has a portion P2 that does not overlap with 3.
  • the second lower surface LS4R has a portion that does not overlap with the sensor section 3 in the right region PRR of the sensor section 3 when viewed in the vertical direction.
  • Portion P2 is in contact with the upper main surface of object 2 to be measured. Thereby, the right end portion of the sensor section 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view of a sensor and an object to be measured 2 according to a comparative example.
  • FIG. 9 is a sectional view of the sensor and the object to be measured 2 according to the comparative example when the object to be measured 2 is deformed, viewed from the front.
  • FIG. 10 is a model diagram of an experiment in which vibration was applied by the piezo actuator 5 to the sensor and the measured object 2 according to the comparative example.
  • FIG. 11 is a model diagram of an experiment in which vibrations were applied to the sensor 1 and the object to be measured 2 by the piezo actuator 5.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view of a sensor and an object to be measured 2 according to a comparative example.
  • FIG. 9 is a sectional view of the sensor and the object to be measured 2 according to the comparative example when the object to be measured 2 is deformed, viewed from the front.
  • FIG. 10 is a model diagram of an experiment in which vibration was applied by the piezo actuator 5 to the sensor and the measured
  • FIG. 12 is an example of a detection signal in the first embodiment. Note that in FIG. 12, the horizontal axis indicates the time value, and the vertical axis indicates the value of the detection signal.
  • FIG. 13 is a sectional view of the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the first embodiment when the object to be measured 2 is deformed, viewed from the front.
  • the first adhesive member 4 is a double-sided tape.
  • the first adhesive member 4 fixes the sensor section 3 to the object to be measured 2 . More specifically, the first adhesive member 4 is provided on the first lower main surface LS1 of the sensor section 3, as shown in FIG. Thereby, the sensor section 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2 via the first adhesive member 4.
  • the sensor section 3 and the first adhesive member 4 also bend upward or downward, as shown in FIG.
  • the object to be measured 2 expands in a direction perpendicular to the vertical direction.
  • the direction perpendicular to the up-down direction is, for example, the left-right direction.
  • the sensor section 3 and the first adhesive member 4 are fixed to the upper main surface of the object to be measured 2 . Therefore, the sensor section 3 and the first adhesive member 4 extend, for example, in the left-right direction. That is, the piezoelectric film 14 extends, for example, in the left-right direction.
  • the absolute value of the detection signal output by the sensor section 3 increases.
  • the first adhesive member 4 has a structure that is easily deformed, the first adhesive member 4 tends to deform so as to contract in the left-right direction, as shown in FIG. Therefore, the amount of elongation of the piezoelectric film 14 decreases. As a result, the amount of increase in the absolute value of the detection signal output by the sensor section 3 decreases.
  • the inventor of the present application conducted an experiment in order to suppress the decrease in the absolute value of the detection signal. Specifically, as shown in FIGS. 10 and 11, sinusoidal vibrations are applied to the sensor and the object to be measured 2 and the sensor 1 and the object to be measured 2 according to the comparative example, respectively, by the piezo actuator 5, The detection signal output by the sensor according to the comparative example and the detection signal output by sensor 1 were investigated.
  • the material of the object to be measured 2 is SUS (Stainless Used Steel).
  • the shape of the support member 6 and the support member 7 is a cylinder. Further, the axial direction of the cylinder is the front-back direction.
  • the support member 6 and the support member 7 support the object to be measured 2 on the top surface S7 of the desk, as shown in FIGS. 9 and 10.
  • the detection signal output by the sensor according to the comparative example and the detection signal output by sensor 1 were each converted into voltage signals by a charge amplifier (not shown), and the voltage signals were converted to voltage signals by an AD converter (not shown). ) is converted into a digital signal.
  • the detection signal Since the piezo actuator 5 gives sine wave vibration, the detection signal has a sine wave shape, as shown in FIG. Note that in FIG. 12, the reference value is set by an AD converter. The difference between the detection signal and the reference value is proportional to the differential value of the amount of deformation of the piezoelectric film 14 due to expansion or compression.
  • the difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal was 0.523V.
  • the difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal was 0.818V.
  • the difference VPP between the maximum value of the detection signal of the sensor 1 and the minimum value of the detection signal is approximately 56% larger than the difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal of the sensor according to the comparative example. In this way, the sensor 1 can improve the sensitivity of detecting deformation of the object 2 to be measured.
  • the inventor of the present invention considered the reason why the sensitivity for detecting deformation of the object to be measured 2 can be improved in the sensor 1 as follows. If the first adhesive member 4 has a structure that easily deforms, in the sensor according to the comparative example, the first adhesive member 4 tends to deform so as to contract in the left-right direction. Therefore, the deformation of the object to be measured 2 is not efficiently transmitted to the sensor section 3. As a result, the amount of stretching of the piezoelectric film 14 in the left-right direction decreases. As a result, the difference VPP between the maximum value of the detection signal and the minimum value of the detection signal output by the sensor section 3 decreases.
  • the way force is applied to the first adhesive member 4 changes.
  • deformation of the first adhesive member 4 is suppressed, and deformation of the object to be measured 2 is efficiently transmitted to the sensor section 3. Therefore, the amount of expansion of the piezoelectric film 14 in the left-right direction is greater than the amount of expansion of the piezoelectric film 14 in the left-right direction of the sensor according to the comparative example. Therefore, the amount of charge generated by the piezoelectric film 14 increases.
  • the sensitivity for detecting deformation of the object to be measured 2 can be improved.
  • FIG. 14 is a plan view of the sensor 1a and the object to be measured 2 according to the first modification, viewed from below.
  • FIG. 15 is a sectional view of the sensor 1a and the object to be measured 2 according to the first modification as viewed from the front.
  • the sensor 1a according to the first modification only the parts that are different from the sensor 1 according to the first embodiment will be explained, and the rest will be omitted.
  • the sensor 1a differs from the sensor 1 in that the first adhesive member 4 does not cover the front and rear sides of the sensor section 3.
  • the first adhesive member 4 covers the entire first upper main surface US1, left side surface, and right side surface of the sensor section 3, as shown in FIG. Therefore, as shown in FIG. 15, the first adhesive member 4 is provided across the left side surface, the first upper main surface US1, and the right side surface of the sensor section 3. On the other hand, the first adhesive member 4 is not in contact with either the front side surface or the rear side surface of the sensor section 3.
  • the sensor 1a as described above also has the same effects as the sensor 1.
  • FIG. 16 is a plan view of the sensor 1b and the object to be measured 2 according to the second modified example, viewed from below.
  • FIG. 17 is a sectional view of the sensor 1b and the object to be measured 2 according to the second modified example, viewed from the front.
  • the sensor 1b according to the second modification only the parts that are different from the sensor 1 according to the first embodiment will be explained, and the rest will be omitted.
  • the sensor 1b differs from the sensor 1 in that the first adhesive member 4 does not cover the right side surface of the sensor section 3.
  • the first adhesive member 4 covers the entire first upper main surface US1, left side, front side, and rear side of the sensor section 3, as shown in FIG. Therefore, as shown in FIG. 17, the first adhesive member 4 is provided across the left side surface and the first upper main surface US1 of the sensor section 3. On the other hand, the first adhesive member 4 is not in contact with the right side surface of the sensor section 3.
  • the sensor 1b as described above also has the same effects as the sensor 1.
  • FIG. 18 is a plan view of the sensor 1c and the object to be measured 2 according to the third modification, viewed from below.
  • FIG. 19 is a sectional view of the sensor 1c and the object to be measured 2 according to the third modification as viewed from the front.
  • the sensor 1c according to the third modification only the parts that are different from the sensor 1 according to the first embodiment will be explained, and the rest will be omitted.
  • the sensor 1c differs from the sensor 1 in that the first adhesive member 4 does not cover the first upper main surface US1 of the sensor section 3.
  • the first adhesive member 4 covers the entire left side, right side, front side, and rear side of the sensor section 3, as shown in FIG. That is, the first adhesive member 4 has a ring shape that goes around the sensor section 3 once when viewed in the vertical direction. Thereby, the inner edge of the first adhesive member 4 surrounds the sensor section 3 when viewed in the vertical direction. On the other hand, the first adhesive member 4 is not in contact with the first upper main surface US1 of the sensor section 3.
  • the sensor 1c as described above also has the same effects as the sensor 1.
  • FIG. 20 is a plan view of the sensor 1d and the object to be measured 2 according to the second embodiment, viewed from below.
  • FIG. 21 is a plan view of the sensor 1d according to the second embodiment viewed from above.
  • FIG. 22 is a sectional view of the sensor 1d and the object to be measured 2 according to the second embodiment, viewed from the front.
  • the sensor 1d according to the second embodiment only the parts that are different from the sensor 1 according to the first embodiment will be explained, and the rest will be omitted.
  • the sensor 1d differs from the sensor 1 in that the left adhesive part 4L is the left adhesive member 41 and the right adhesive part 4R is the right adhesive member 42.
  • the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 are separate members.
  • the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 each fix the sensor section 3 to the object to be measured 2.
  • Each of the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 is, for example, a single-sided tape, a double-sided tape, a thermosetting adhesive, a thermoplastic adhesive, or a UV-curing adhesive.
  • each of the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 has a rectangular shape with long sides extending in the front-rear direction when viewed in the up-down direction, as shown in FIG.
  • the left adhesive member 41 overlaps the left part of the sensor section 3 when viewed in the vertical direction. Further, in this embodiment, the left adhesive member 41 is provided across the left side surface and the first upper main surface US1 of the sensor section 3, as shown in FIG.
  • the left adhesive member 41 has a third upper surface US41 and a third lower surface LS41 that are arranged in the vertical direction.
  • the third lower surface LS41 is located below the third upper surface US41. Further, the normal direction of the third lower surface LS41 is downward.
  • the left adhesive member 41 is in contact with the left end of the sensor section 3. More specifically, the left adhesive member 41 is in contact with the left side surface of the sensor section 3, as shown in FIG. Furthermore, the left adhesive member 41 is in contact with each of the front side and rear side of the sensor section 3.
  • the left adhesive member 41 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor section 3. More specifically, the third lower surface LS41 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor section 3. However, the left adhesive member 41 is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor section 3, as shown in FIG.
  • the third lower surface LS41 does not overlap in the area PLF in front of the left end of the sensor unit 3, the area PLL to the left of the left end of the sensor unit 3, and the area PLB after the left end of the sensor unit 3 when viewed in the vertical direction. It has a part. Therefore, the third lower surface LS41 has a portion P1 that does not overlap with the sensor section 3 in the left region PLL of the sensor section 3.
  • the portion P1 is in contact with the upper main surface of the object to be measured 2. Thereby, the left end portion of the sensor section 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.
  • the right adhesive member 42 overlaps the right part of the sensor section 3 when viewed in the vertical direction. Further, in this embodiment, the right adhesive member 42 is provided across the right side surface and the first upper main surface US1 of the sensor section 3, as shown in FIG.
  • the right adhesive member 42 has a fourth upper surface US42 and a fourth lower surface LS42 that are arranged in the vertical direction.
  • the fourth lower surface LS42 is located below the fourth upper surface US42. Further, the normal direction of the fourth lower surface LS42 is downward.
  • the right adhesive member 42 is in contact with the right end of the sensor section 3. More specifically, the right adhesive member 42 is in contact with the right side surface of the sensor section 3, as shown in FIG. Further, the right adhesive member 42 is in contact with each of the front side surface and the rear side surface of the sensor section 3.
  • the right adhesive member 42 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor section 3, as shown in FIG. More specifically, the fourth lower surface LS42 is in contact with the first upper main surface US1 of the sensor section 3. However, the right adhesive member 42 is not in contact with the first lower main surface LS1 of the sensor section 3, as shown in FIG.
  • the fourth lower surface LS42 does not overlap in the area PRF in front of the right end of the sensor unit 3, the area PRR to the right of the right end of the sensor unit 3, and the area PRB after the right end of the sensor unit 3 when viewed in the vertical direction. It has a part. Therefore, the fourth lower surface LS42 has a portion P2 that does not overlap with the sensor section 3 in the right region PRR of the sensor section 3. Portion P2 is in contact with the upper main surface of object 2 to be measured. Thereby, the right end portion of the sensor section 3 is fixed to the upper main surface of the object to be measured 2.
  • the sensor 1d as described above also has the same effect as the sensor 1. Moreover, according to the sensor 1d, the usage amount of the first adhesive member 4 can be suppressed.
  • FIG. 23 is a plan view of the sensor 1e and the object to be measured 2 according to the fourth modification, viewed from below.
  • FIG. 24 is a sectional view of the sensor 1e and the object to be measured 2 according to the fourth modification, viewed from the front.
  • the sensor 1e according to the fourth modification only the parts different from the sensor 1d according to the second embodiment will be explained, and the rest will be omitted.
  • the left adhesive member 41 is not in contact with the front and rear surfaces of the sensor section 3, and the right adhesive member 42 is in contact with the front and rear surfaces of the sensor section 3. It is different from the sensor 1d in that it is not in contact with each of the sensors.
  • the sensor 1e as described above also has the same effect as the sensor 1d.
  • FIG. 25 is an exploded perspective view of the sensor 1f and the object to be measured 2 according to the third embodiment.
  • FIG. 26 is a plan view of the sensor 1f and the object to be measured 2 according to the third embodiment, viewed from below.
  • FIG. 27 is a plan view of the sensor 1f according to the third embodiment viewed from above.
  • the sensor 1f according to the third embodiment only the parts that are different from the sensor 1 according to the first embodiment will be explained, and the rest will be omitted.
  • the sensor 1f differs from the sensor 1 in that it further includes a second adhesive member 9.
  • the second adhesive member 9 fixes the sensor section 3 to the object to be measured 2.
  • the second adhesive member 9 is, for example, a double-sided tape, a thermosetting adhesive, a thermoplastic adhesive, or a UV curing adhesive.
  • the second adhesive member 9 has a rectangular shape with long sides extending in the left-right direction when viewed in the up-down direction.
  • the second adhesive member 9 has an upper surface US9 and a lower surface LS9 that are arranged in the vertical direction.
  • the lower surface LS9 is located below the upper surface US9.
  • the second adhesive member 9 is provided on the first lower main surface LS1 of the sensor section 3. Thereby, the second adhesive member 9 fixes the first lower main surface LS1 of the sensor section 3 to the upper main surface of the object to be measured 2.
  • the outer edge of the first upper main surface US1 of the sensor section 3 surrounds the second adhesive member 9 when viewed in the vertical direction. Further, as shown in FIG. 27, the outer edge of the first lower main surface LS1 of the sensor section 3 surrounds the second adhesive member 9 when viewed in the vertical direction.
  • the sensor 1f as described above also has the same effect as the sensor 1. Furthermore, according to the sensor 1f, the sensor section 3 can be more firmly fixed to the object to be measured 2.
  • the sensor according to the present invention is not limited to sensors 1, 1a to 1f, and can be modified within the scope of the gist. Furthermore, the structures of the sensors 1, 1a to 1f may be combined arbitrarily.
  • the object to be measured 2 does not have to have a plate shape.
  • the sensors 1, 1a to 1f may include a plurality of first adhesive members 4.
  • the sensor section 3 does not have to have a rectangular shape when viewed in the vertical direction. In this case, the sensor section 3 only needs to have a longitudinal direction extending in the left-right direction.
  • the length of the piezoelectric film 14 in the left-right direction may be the same as the length of the piezoelectric film 14 in the front-back direction.
  • the piezoelectric film 14 may be a PVDF (polyvinylidene fluoride) film. Moreover, the piezoelectric film 14 may be a piezoelectric ceramic.
  • the polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when the piezoelectric film 14 is stretched in the left-right direction is the same as the polarity of the charge generated by the piezoelectric film 14 when the piezoelectric film 14 is stretched in the front-back direction. It's okay.
  • angles formed by the uniaxial stretching direction (orientation direction) of the piezoelectric film 14 and each of the front-rear direction and left-right direction are not limited to 45 degrees.
  • the upper electrode 15a may be a signal electrode
  • the lower electrode 15b may be a ground electrode.
  • the lower electrode 15b may be provided between the upper main surface and the lower main surface of the flexible printed circuit board 19. That is, the lower electrode 15b may be located within the flexible printed circuit board 19.
  • the flexible printed circuit board 19 is not an essential component.
  • the second lower surface LS4R is a region PRF in front of the right end of the sensor section 3, a region PRR to the right of the right end of the sensor section 3, or a region behind the right end of the sensor section 3 when viewed in the vertical direction. It is sufficient that the area PRB has a non-overlapping portion P2.
  • the outer edge of the first adhesive member 4 does not have to surround the sensor section 3 when viewed in the vertical direction.
  • the first adhesive member 4 may be in contact with the front side surface or the rear side surface of the sensor section 3.
  • the first adhesive member 4 does not need to cover the front side surface or the rear side surface of the sensor section 3.
  • the fourth lower surface LS42 includes a region PRF in front of the right end of the sensor section 3, a region PRR to the right of the right end of the sensor section 3, or a region behind the right end of the sensor section 3 when viewed in the vertical direction. It is sufficient that the area PRB has non-overlapping parts.
  • each of the left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 does not have to have a rectangular shape with long sides extending in the front-rear direction when viewed in the up-down direction.
  • the left adhesive member 41 does not need to be provided across the left side surface and the first upper main surface US1 of the sensor section 3.
  • the right adhesive member 42 does not need to be provided across the right side surface of the sensor section 3 and the first upper main surface US1.
  • the outer edge of the first lower main surface LS1 of the sensor portion 3 does not have to surround the second adhesive member 9 when viewed in the vertical direction.
  • the second adhesive member 9 may be surrounded by the inner edge of the first adhesive member 4 when viewed in the vertical direction.
  • left adhesive member 41 and the right adhesive member 42 may be in contact with each other.

Landscapes

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Abstract

センサは、第１上主面、第１下主面、左側面及び右側面を有し、かつ、左右方向に延びる長手方向を有しているセンサ部と、下面を有する第１接着部材と、を備えており、センサ部は、第２上主面及び第２下主面を有している圧電フィルムと、第２上主面に設けられている上電極と、第２下主面に設けられている電極部材と、を含んでおり、電極部材は、下電極を有し、第１接着部材は、第１下面を有する左接着部及び第２下面を有する右接着部を含んでおり、左接着部は、左側面に接し、第１下面は、上下方向に視て、センサ部の左の領域においてセンサ部と重ならない部分を有し、右接着部は、第１下主面に接しておらず、かつ、センサ部の右端部に接し、第２下面は、上下方向に視て、右端部の前、右又は後の領域においてセンサ部と重ならない部分を有する。

Description

センサ
　本発明は、被測定物の変形を検知するセンサに関する。
　従来のセンサに関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の変位センサが知られている。この変位センサは、弾性体及び平膜型圧電素子を備えている。平膜型圧電素子は、弾性体の第１主面に取り付けられる。また、平膜型圧電素子は、圧電性シートを含み、圧電性シートの両面に電極が形成された構造を有している。この変位センサは、接着部材により被測定物に取り付けられ、被測定物の変形を検知する。
国際公開第２０１２／１３７８９７号
　ところで、特許文献１に記載の変位センサにおいて、被測定物の変形を検知する感度を向上したいという要望がある。
　そこで、本発明の目的は、被測定物の変形を検知する感度を向上することができるセンサを提供することである。
　本発明の一形態に係るセンサは、
　上下方向に並ぶ第１上主面及び第１下主面と左右方向に並ぶ左側面及び右側面を有し、かつ、前記左右方向に延びる長手方向を有しているセンサ部と、
　下面を有する１以上の第１接着部材と、を備えており、
　前記センサ部は、
　前記上下方向に並ぶ第２上主面及び第２下主面を有している圧電フィルムと、
　前記第２上主面に設けられている上電極と、
　前記第２下主面に設けられている電極部材と、を含んでおり、
　前記電極部材は、下電極を有し、
　前記第１接着部材は、第１下面を有する左接着部及び第２下面を有する右接着部を含んでおり、
　前記左接着部は、前記左側面に接し、
　前記第１下面は、前記上下方向に視て、前記センサ部の左の領域において前記センサ部と重ならない部分を有し、
　前記右接着部は、前記第１下主面に接しておらず、かつ、前記センサ部の右端部に接し、
　前記第２下面は、前記上下方向に視て、前記右端部の前、右又は後の領域において前記センサ部と重ならない部分を有する。
　本明細書において、方向を以下のように定義する。センサ１において、センサ１の第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１が並ぶ方向を上下方向と定義する。また、上下方向に視て、センサ１の長辺が延びる方向を左右方向と定義する。上下方向に視て、センサ１の短辺が延びる方向を前後方向と定義する。上下方向、左右方向及び前後方向は、互いに直交している。なお、本明細書における方向の定義は、一例である。従って、センサ１の実使用時における方向と本明細書における方向とが一致している必要はない。また、図１において上下方向が反転してもよい。図１において左右方向が反転してもよい。図１において前後方向が反転してもよい。
　以下では、Ｘ，Ｙは、センサ１の部品又は部材である。本明細書において、特に断りのない場合には、Ｘの各部について以下のように定義する。Ｘの上部とは、Ｘの上半分を意味する。Ｘの上端とは、Ｘの上方向の端を意味する。Ｘの上端部とは、Ｘの上端及びその近傍を意味する。この定義は、上方向以外の方向にも適用される。
　また、「Ｘは、Ｙの上に位置している。」とは、ＸがＹの真上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Ｘは、Ｙと重なっている。「Ｘは、Ｙより上に位置している。」とは、ＸがＹの真上に位置していること、及び、ＸがＹの斜め上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Ｘは、Ｙと重なっていてもよいし、Ｙと重なっていなくてもよい。この定義は、上方向以外の方向にも適用される。
　本明細書において、「ＸとＹとが電気的に接続される」とは、ＸとＹとの間で電気が導通していることを意味する。従って、ＸとＹとが接触していてもよいし、ＸとＹとが接触していなくてもよい。ＸとＹとが接触していない場合には、ＸとＹとの間に導電性を有するＺが配置されている。
　本発明に係るセンサによれば、被測定物の変形を検知する感度を向上することができる。
図１は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２の分解斜視図である。 図２は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を下方向に視た平面図である。 図３は、第１の実施形態に係るセンサ部３を下方向に視た平面図である。 図４は、第１の実施形態に係るセンサ部３のＡ－Ａにおける断面図である。 図５は、第１の実施形態に係るセンサ１を上方向に視た平面図である。 図６は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図７は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を左方向に視た断面図である。 図８は、比較例に係るセンサ及び被測定物２の分解斜視図である。 図９は、被測定物２が変形したときの比較例に係るセンサ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図１０は、比較例に係るセンサ及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。 図１１は、センサ１及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。 図１２は、第１の実施形態における検知信号の一例である。 図１３は、被測定物２が変形したときの第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図１４は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。 図１５は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図１６は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。 図１７は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図１８は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。 図１９は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図２０は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。 図２１は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄを上方向に視た平面図である。 図２２は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図２３は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。 図２４は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。 図２５は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２の分解斜視図である。 図２６は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。 図２７は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆを上方向に視た平面図である。
　［第１の実施形態］
　以下に、本発明の第１の実施形態に係るセンサ１の構成について図面を参照しながら説明する。図１は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２の分解斜視図である。図２は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図３は、第１の実施形態に係るセンサ部３を下方向に視た平面図である。図４は、第１の実施形態に係るセンサ部３のＡ－Ａにおける断面図である。図５は、第１の実施形態に係るセンサ１を上方向に視た平面図である。図６は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。図７は、第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を左方向に視た断面図である。
　センサ１は、被測定物２の変形を検出するセンサである。被測定物２は、例えば、板形状を有している。本実施形態では、被測定物２は、上下方向に並ぶ上主面及び下主面を有している。
　センサ１は、図１に示すように、センサ部３及び第１接着部材４を備えている。例えば、被測定物２が上方向又は下方向に撓むと、センサ部３も上方向又は下方向に撓む。これにより、センサ部３は、被測定物２の変形に応じた検知信号を出力する。
　センサ部３は、図１に示すように、上下方向に並ぶ第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１を有している。第１上主面ＵＳ１は、第１下主面ＬＳ１の上に位置している。また、センサ部３は、左右方向に並ぶ左側面及び右側面を有している。左側面は、右側面の左に位置している。また、センサ部３は、前後方向に並ぶ前側面及び後側面を有している。前側面は、後側面の前に位置している。
　センサ部３は、図２に示すように、上下方向に視て、矩形状を有している。センサ部３は、左右方向に延びる長手方向を有している。また、センサ部３は、前後方向に延びる短手方向を有している。すなわち、センサ部３の左右方向の長さは、センサ部３の前後方向の長さより長い。
　センサ部３は、図３に示すように、圧電フィルム１４、上電極１５ａ及び電極部材１３を含んでいる。圧電フィルム１４は、シート形状を有している。従って、圧電フィルム１４は、図４に示すように、上下方向に並ぶ第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２を有している。圧電フィルム１４の左右方向の長さは、圧電フィルム１４の前後方向の長さより長い。本実施形態では、圧電フィルム１４は、上下方向に視て、左右方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。圧電フィルム１４は、圧電フィルム１４の変形量に応じた電荷を発生する。本実施形態では、圧電フィルム１４は、ＰＬＡフィルムである。以下に、圧電フィルム１４について、より詳細に説明する。
　圧電フィルム１４は、圧電フィルム１４が左右方向に伸張されたときに発生する電荷の極性が、圧電フィルム１４が前後方向に伸張されたときに発生する電荷の極性と逆となる特性を有している。具体的には、圧電フィルム１４は、キラル高分子から形成されるフィルムである。キラル高分子とは、例えば、ポリ乳酸（ＰＬＡ）、特にＬ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）である。キラル高分子からなるＰＬＬＡは、主鎖が螺旋構造を有する。ＰＬＬＡは、一軸延伸されて分子が配向する圧電性を有する。圧電フィルム１４は、ｄ１４の圧電定数を有している。圧電フィルム１４の一軸延伸方向（配向方向）は、前後方向及び左右方向のそれぞれに対して４５度の角度を形成している。この４５度は、例えば、４５度±１０度程度を含む角度を含む。これにより、圧電フィルム１４は、圧電フィルム１４が左右方向に伸張されること又は前後方向に伸張されることにより、電荷を発生する。圧電フィルム１４が左右方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性は、圧電フィルム１４が前後方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性と異なる。圧電フィルム１４は、例えば、左右方向に伸張されると正の電荷を発生する。圧電フィルム１４は、例えば、前後方向に伸張されると負の電荷を発生する。電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１４の変形量に依存する。より正確には、電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１４の変形量の微分値に比例する。
　上電極１５ａは、グランド電極である。上電極１５ａは、グランドに接続される。上電極１５ａは、図４に示すように、圧電フィルム１４の第２上主面ＵＳ２に設けられている。上電極１５ａは、圧電フィルム１４の第２上主面ＵＳ２の全体を覆っている。上電極１５ａは、図示しない粘着層を含んでいる。そして、この粘着層により、上電極１５ａが圧電フィルム１４の第２上主面ＵＳ２に固定されている。
　電極部材１３は、図４に示すように、圧電フィルム１４の第２下主面ＬＳ２に設けられている。また、電極部材１３は、下電極１５ｂ及びフレキシブルプリント基板１９を有している。
　下電極１５ｂは、信号電極である。下電極１５ｂから検知信号が出力される。本実施形態では、下電極１５ｂは、図４に示すように、後述するフレキシブルプリント基板１９の上主面に設けられている。すなわち、下電極１５ｂは、後述するフレキシブルプリント基板１９の複数の絶縁体層の内の最も上に位置する絶縁体層の上主面に設けられている導体層である。
　フレキシブルプリント基板１９は、可撓性を有する回路基板である。フレキシブルプリント基板１９は、上下方向に並ぶ上主面及び下主面を有している。フレキシブルプリント基板１９は、信号線、グランド線及び複数の絶縁体層を含んでいる。複数の絶縁体層は、上下方向に積層されている。信号線及びグランド線は、絶縁体層に設けられている導体層である。信号線は、下電極１５ｂと電気的に接続されている。信号線には、下電極１５ｂが出力する検知信号が伝送される。グランド線は、上電極１５ａと電気的に接続されている。グランド線は、グランド電位に接続されている。
　第１接着部材４は、図１に示すように、センサ部３を被測定物２に固定する。第１接着部材４は、例えば、片面テープ、両面テープ、熱硬化接着剤、熱可塑性接着剤又はＵＶ硬化接着剤である。本実施形態では、第１接着部材４は、図１に示すように、上下方向に視て、左右方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。また、第１接着部材４は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１、左側面、右側面、前側面及び後側面の全体を覆っている。これにより、第１接着部材４の外縁は、図２に示すように、上下方向に視て、センサ部３を囲んでいる。また、本実施形態では、第１接着部材４は、図６に示すように、センサ部３の左側面、第１上主面ＵＳ１及び右側面に跨って設けられる。
　第１接着部材４は、図１に示すように、上下方向に並ぶ上面ＵＳ４及び下面ＬＳ４を有している。下面ＬＳ４は、上面ＵＳ４の下に位置している。また、下面ＬＳ４の法線方向は、下方向である。
　第１接着部材４は、図１に示すように、第１下面ＬＳ４Ｌを有する左接着部４Ｌ及び第２下面ＬＳ４Ｒを有する右接着部４Ｒを含んでいる。左接着部４Ｌは、図１に示すように、第１接着部材４の左部である。右接着部４Ｒは、第１接着部材４の右部である。第１下面ＬＳ４Ｌは、下面ＬＳ４の左部である。第２下面ＬＳ４Ｒは、下面ＬＳ４の右部である。従って、第１下面ＬＳ４Ｌ及び第２下面ＬＳ４Ｒのそれぞれの法線方向は、下方向である。
　本実施形態では、左接着部４Ｌは、図１に示すように、上下方向に視て、センサ部３の左部と重なっている。また、左接着部４Ｌは、センサ部３の左端部に接している。より詳細には、左接着部４Ｌは、図６に示すように、センサ部３の左側面に接している。また、左接着部４Ｌは、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれに接している。
　左接着部４Ｌは、図１に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。より詳細には、第１下面ＬＳ４Ｌは、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。しかし、左接着部４Ｌは、図５に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に接していない。第１下面ＬＳ４Ｌは、上下方向に視て、センサ部３の左端部の前の領域ＰＬＦ、センサ部３の左端部の左の領域ＰＬＬ及びセンサ部３の左端部の後の領域ＰＬＢにおいて重ならない部分を有している。従って、第１下面ＬＳ４Ｌは、上下方向に視て、センサ部３の左の領域ＰＬＬにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ１を有している。部分Ｐ１は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の左端部は、被測定物２の上主面に固定される。
　本実施形態では、右接着部４Ｒは、図１に示すように、上下方向に視て、センサ部３の右部と重なっている。また、右接着部４Ｒは、センサ部３の右端部に接している。より詳細には、右接着部４Ｒは、図６に示すように、センサ部３の右側面に接している。また、右接着部４Ｒは、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれに接している。
　右接着部４Ｒは、図１に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。より詳細には、第２下面ＬＳ４Ｒは、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接している。しかし、右接着部４Ｒは、図５に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に接していない。第２下面ＬＳ４Ｒは、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ及びセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ２を有している。従って、第２下面ＬＳ４Ｒは、上下方向に視て、センサ部３の右の領域ＰＲＲにおいてセンサ部３と重ならない部分を有している。部分Ｐ２は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の右端部は、被測定物２の上主面に固定される。
　ところで、センサ１は、被測定物２の変形を検知する感度を向上できる構造を有している。以下にこの構造について説明する。図８は、比較例に係るセンサ及び被測定物２の分解斜視図である。図９は、被測定物２が変形したときの比較例に係るセンサ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。図１０は、比較例に係るセンサ及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。図１１は、センサ１及び被測定物２に対し、ピエゾアクチュエータ５により振動を与えた実験のモデル図である。図１２は、第１の実施形態における検知信号の一例である。なお、図１２において、横軸は、時刻の値を示し、かつ、縦軸は、検知信号の値を示す。図１３は、被測定物２が変形したときの第１の実施形態に係るセンサ１及び被測定物２を前方向に視た断面図である。
　まず、比較例に係るセンサについて説明する。比較例に係るセンサでは、第１接着部材４は、両面テープである。第１接着部材４は、センサ部３を被測定物２に固定する。より詳細には、第１接着部材４は、図８に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に設けられる。これにより、センサ部３は、第１接着部材４を介して、被測定物２の上主面に固定される。
　次に、比較例に係るセンサの問題点について説明する。被測定物２が上方向又は下方向に撓むと、図９に示すように、センサ部３及び第１接着部材４も上方向又は下方向に撓む。このとき、被測定物２は、上下方向に直交する方向に伸張する。上下方向に直交する方向は、例えば、左右方向である。センサ部３及び第１接着部材４は、被測定物２の上主面に固定される。そのため、センサ部３及び第１接着部材４は、例えば、左右方向に伸張する。すなわち、圧電フィルム１４は、例えば、左右方向に伸張する。その結果、センサ部３が出力する検知信号の絶対値は、上昇する。
　しかし、第１接着部材４が変形しやすい構造を有していると、第１接着部材４は、図９に示すように、左右方向に縮むように変形しようとする。そのため、圧電フィルム１４の伸張量は、減少する。その結果、センサ部３が出力する検知信号の絶対値の上昇量は、減少する。
　そこで、本願発明者は、検知信号の絶対値の減少を抑制するために、実験を行った。具体的には、比較例に係るセンサ及び被測定物２とセンサ１及び被測定物２のそれぞれに対し、図１０及び図１１に示すように、ピエゾアクチュエータ５により正弦波の振動を与えて、比較例に係るセンサが出力する検知信号とセンサ１が出力する検知信号とを調べた。なお、本実験では、被測定物２の材料は、ＳＵＳ（Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ　Ｕｓｅｄ　Ｓｔｅｅｌ）である。また、支持部材６及び支持部材７の形状は、円柱である。また、その円柱の軸方向は、前後方向である。また、支持部材６及び支持部材７は、図９及び図１０に示すように、被測定物２を机の上面Ｓ７に支持している。なお、本実験では、比較例に係るセンサが出力する検知信号及びセンサ１が出力する検知信号のそれぞれをチャージアンプ（図示せず）により電圧信号に変換し、その電圧信号をＡＤコンバータ（図示せず）によりデジタル信号に変換している。
　ピエゾアクチュエータ５により正弦波の振動を与えているため、検知信号は、図１２に示すように、正弦波状である。なお、図１２において、基準値は、ＡＤコンバータにより設定される。検知信号と基準値との差が伸張又は圧縮による圧電フィルム１４の変形量の微分値に比例する。比較例に係るセンサでは、検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、０．５２３Ｖであった。一方、センサ１では、検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、０．８１８Ｖであった。センサ１の検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、比較例に係るセンサの検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰに対して、約５６％大きい。このように、センサ１は、被測定物２の変形を検知する感度を向上できる。
　ここで、本願発明者は、センサ１において、被測定物２の変形を検知する感度を向上できる理由について以下のように考えた。第１接着部材４が変形しやすい構造を有していると、比較例に係るセンサでは、第１接着部材４が左右方向に縮むように変形しようとする。そのため、被測定物２の変形がセンサ部３に効率良く伝わらない。これにより、圧電フィルム１４の左右方向の伸張量は、減少する。その結果、センサ部３が出力する検知信号の極大値と検知信号の極小値との差ＶＰＰは、減少する。
　一方、センサ１のように、第１接着部材４がセンサ部３の第１下主面ＬＳ１に接しないようにすると、第１接着部材４に対する力の加わり方が変化する。これにより、第１接着部材４が変形することが抑制されて、被測定物２の変形がセンサ部３に効率良く伝わる。そのため、圧電フィルム１４の左右方向の伸張量は、比較例に係るセンサの圧電フィルム１４の左右方向の伸張量より大きくなる。従って、圧電フィルム１４が発生する電荷量は、大きくなる。その結果、センサ１によれば、被測定物２の変形を検知する感度を向上することができる。
　［第１の変形例］
　以下に第１の変形例に係るセンサ１ａについて図を参照しながら説明する。図１４は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図１５は、第１の変形例に係るセンサ１ａ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第１の変形例に係るセンサ１ａについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。
　センサ１ａは、第１接着部材４がセンサ部３の前側面及び後側面を覆っていない点において、センサ１と相違する。
　本変形例では、第１接着部材４は、図１４に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１、左側面及び右側面の全体を覆っている。従って、第１接着部材４は、図１５に示すように、センサ部３の左側面、第１上主面ＵＳ１及び右側面に跨って設けられる。一方、第１接着部材４は、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれに接していない。
　以上のようなセンサ１ａにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。
　［第２の変形例］
　以下に第２の変形例に係るセンサ１ｂについて図を参照しながら説明する。図１６は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図１７は、第２の変形例に係るセンサ１ｂ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第２の変形例に係るセンサ１ｂについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。
　センサ１ｂは、第１接着部材４がセンサ部３の右側面を覆っていない点において、センサ１と相違する。
　本変形例では、第１接着部材４は、図１６に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１、左側面、前側面及び後側面の全体を覆っている。従って、第１接着部材４は、図１７に示すように、センサ部３の左側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられる。一方、第１接着部材４は、センサ部３の右側面に接していない。
　以上のようなセンサ１ｂにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。
　［第３の変形例］
　以下に第３の変形例に係るセンサ１ｃについて図を参照しながら説明する。図１８は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図１９は、第３の変形例に係るセンサ１ｃ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第３の変形例に係るセンサ１ｃについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。
　センサ１ｃは、第１接着部材４がセンサ部３の第１上主面ＵＳ１を覆っていない点において、センサ１と相違する。
　本変形例では、第１接着部材４は、図１８に示すように、センサ部３の左側面、右側面、前側面及び後側面の全体を覆っている。すなわち、第１接着部材４は、上下方向に視て、センサ部３の周りを１周する環形状を有している。これにより、第１接着部材４の内縁は、上下方向に視て、センサ部３を囲んでいる。一方、第１接着部材４は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１に接していない。
　以上のようなセンサ１ｃにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。
　［第２の実施形態］
　以下に第２の実施形態に係るセンサ１ｄについて図を参照しながら説明する。図２０は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図２１は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄを上方向に視た平面図である。図２２は、第２の実施形態に係るセンサ１ｄ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第２の実施形態に係るセンサ１ｄについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。
　センサ１ｄは、左接着部４Ｌが左接着部材４１である点及び右接着部４Ｒが右接着部材４２である点において、センサ１と相違する。左接着部材４１と右接着部材４２とは、別の部材である。
　左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、センサ部３を被測定物２に固定する。
左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、例えば、片面テープ、両面テープ、熱硬化接着剤、熱可塑性接着剤又はＵＶ硬化接着剤である。本実施形態では、左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、図２０に示すように、上下方向に視て、前後方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。
　左接着部材４１は、図２０に示すように、上下方向に視て、センサ部３の左部と重なっている。また、本実施形態では、左接着部材４１は、図２２に示すように、センサ部３の左側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられる。
　左接着部材４１は、図２０に示すように、上下方向に並ぶ第３上面ＵＳ４１及び第３下面ＬＳ４１を有している。第３下面ＬＳ４１は、第３上面ＵＳ４１の下に位置している。また、第３下面ＬＳ４１の法線方向は、下方向である。
　左接着部材４１は、センサ部３の左端部に接している。より詳細には、左接着部材４１は、図２２に示すように、センサ部３の左側面と接している。また、左接着部材４１は、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接している。
　左接着部材４１は、図２２に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。より詳細には、第３下面ＬＳ４１は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。しかし、左接着部材４１は、図２１に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１と接していない。第３下面ＬＳ４１は、上下方向に視て、センサ部３の左端部の前の領域ＰＬＦ、センサ部３の左端部の左の領域ＰＬＬ及びセンサ部３の左端部の後の領域ＰＬＢにおいて重ならない部分を有している。従って、第３下面ＬＳ４１は、センサ部３の左の領域ＰＬＬにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ１を有している。部分Ｐ１は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の左端部は、被測定物２の上主面に固定される。
　右接着部材４２は、図２０に示すように、上下方向に視て、センサ部３の右部と重なっている。また、本実施形態では、右接着部材４２は、図２２に示すように、センサ部３の右側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられる。
　右接着部材４２は、図２０に示すように、上下方向に並ぶ第４上面ＵＳ４２及び第４下面ＬＳ４２を有している。第４下面ＬＳ４２は、第４上面ＵＳ４２の下に位置している。また、第４下面ＬＳ４２の法線方向は、下方向である。
　右接着部材４２は、センサ部３の右端部に接している。より詳細には、右接着部材４２は、図２２に示すように、センサ部３の右側面と接している。また、右接着部材４２は、センサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接している。
　右接着部材４２は、図２２に示すように、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。より詳細には、第４下面ＬＳ４２は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１と接している。しかし、右接着部材４２は、図２１に示すように、センサ部３の第１下主面ＬＳ１と接していない。第４下面ＬＳ４２は、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ及びセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいて重ならない部分を有している。従って、第４下面ＬＳ４２は、センサ部３の右の領域ＰＲＲにおいてセンサ部３と重ならない部分Ｐ２を有している。部分Ｐ２は、被測定物２の上主面に接する。これにより、センサ部３の右端部は、被測定物２の上主面に固定される。
　以上のようなセンサ１ｄにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。また、センサ１ｄによれば、第１接着部材４の使用量を抑制することができる。
　［第４の変形例］
　以下に第４の変形例に係るセンサ１ｅについて図を参照しながら説明する。図２３は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図２４は、第４の変形例に係るセンサ１ｅ及び被測定物２を前方向に視た断面図である。なお、第４の変形例に係るセンサ１ｅについては、第２の実施形態に係るセンサ１ｄと異なる部分のみ説明し、後は省略する。
　センサ１ｅは、図２３及び図２４に示すように、左接着部材４１がセンサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接していない点及び右接着部材４２がセンサ部３の前側面及び後側面のそれぞれと接していない点において、センサ１ｄと相違する。
　以上のようなセンサ１ｅにおいても、センサ１ｄと同じ効果を奏する。
　［第３の実施形態］
　以下に第３の実施形態に係るセンサ１ｆについて図を参照しながら説明する。図２５は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２の分解斜視図である。図２６は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆ及び被測定物２を下方向に視た平面図である。図２７は、第３の実施形態に係るセンサ１ｆを上方向に視た平面図である。なお、第３の実施形態に係るセンサ１ｆについては、第１の実施形態に係るセンサ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。
　センサ１ｆは、第２接着部材９を更に備えている点において、センサ１と相違する。
　第２接着部材９は、センサ部３を被測定物２に固定する。第２接着部材９は、例えば、両面テープ、熱硬化接着剤、熱可塑性接着剤又はＵＶ硬化接着剤である。本実施形態では、第２接着部材９は、図２５に示すように、上下方向に視て、左右方向に延びる長辺を有する矩形状を有している。
　第２接着部材９は、図２５に示すように、上下方向に並ぶ上面ＵＳ９及び下面ＬＳ９を有している。下面ＬＳ９は、上面ＵＳ９の下に位置している。第２接着部材９は、センサ部３の第１下主面ＬＳ１に設けられる。これにより、第２接着部材９は、センサ部３の第１下主面ＬＳ１を被測定物２の上主面に固定する。
　センサ部３の第１上主面ＵＳ１の外縁は、図２６に示すように、上下方向に視て、第２接着部材９を囲んでいる。また、センサ部３の第１下主面ＬＳ１の外縁は、図２７に示すように、上下方向に視て、第２接着部材９を囲んでいる。
　以上のようなセンサ１ｆにおいても、センサ１と同じ効果を奏する。また、センサ１ｆによれば、センサ部３をより強固に被測定物２に固定することができる。
　［その他の実施形態］
　本発明に係るセンサは、センサ１，１ａ～１ｆに限らず、その要旨の範囲において変更可能である。また、センサ１，１ａ～１ｆの構造を任意に組み合わせてもよい。
　なお、被測定物２は、板形状を有していなくてもよい。
　なお、センサ１，１ａ～１ｆは、複数の第１接着部材４を備えていてもよい。
　なお、センサ部３は、上下方向に視て、矩形状を有していなくてもよい。この場合、センサ部３は、左右方向に延びる長手方向を有していればよい。
　なお、圧電フィルム１４の左右方向の長さは、圧電フィルム１４の前後方向の長さと同じであってもよい。
　なお、圧電フィルム１４は、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）フィルムであってもよい。また、圧電フィルム１４は、圧電セラミックであってもよい。
　なお、圧電フィルム１４が左右方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性は、圧電フィルム１４が前後方向に伸張されたときに圧電フィルム１４が発生する電荷の極性と同じであってもよい。
　なお、圧電フィルム１４の一軸延伸方向（配向方向）と前後方向及び左右方向のそれぞれとが形成する角度は、４５度に限られない。
　なお、上電極１５ａが信号電極であり、下電極１５ｂがグランド電極であってもよい。
　なお、下電極１５ｂは、フレキシブルプリント基板１９の上主面と下主面との間に設けられていてもよい。すなわち、下電極１５ｂは、フレキシブルプリント基板１９内に位置していてもよい。
　なお、フレキシブルプリント基板１９は、必須の構成要件ではない。
　なお、センサ１において、第２下面ＬＳ４Ｒは、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ又はセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいて重ならない部分Ｐ２を有していればよい。
　なお、センサ１において、第１接着部材４の外縁は、上下方向に視て、センサ部３を囲んでいなくてもよい。
　なお、センサ１ａにおいて、第１接着部材４は、センサ部３の前側面又は後側面に接していてもよい。
　なお、センサ１ｂにおいて、第１接着部材４は、センサ部３の前側面又は後側面を覆っていなくてもよい。
　なお、センサ１ｄにおいて、第４下面ＬＳ４２は、上下方向に視て、センサ部３の右端部の前の領域ＰＲＦ、センサ部３の右端部の右の領域ＰＲＲ又はセンサ部３の右端部の後の領域ＰＲＢにおいて重ならない部分を有していればよい。
　なお、センサ１ｄにおいて、左接着部材４１及び右接着部材４２のそれぞれは、上下方向に視て、前後方向に延びる長辺を有する矩形状を有していなくてもよい。
　なお、センサ１ｄにおいて、左接着部材４１は、センサ部３の左側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられなくてもよい。
　なお、センサ１ｄにおいて、右接着部材４２は、センサ部３の右側面及び第１上主面ＵＳ１に跨って設けられなくてもよい。
　なお、センサ１ｆにおいて、センサ部３の第１下主面ＬＳ１の外縁は、上下方向に視て、第２接着部材９を囲んでいなくてもよい。第２接着部材９は、上下方向に視て、第１接着部材４の内縁に囲まれていてもよい。
　なお、左接着部材４１と右接着部材４２とは、互いに接していてもよい。
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ：センサ
２：被測定物
３：センサ部
４：第１接着部材
４Ｌ：左接着部
４Ｒ：右接着部
５：ピエゾアクチュエータ
６，７：支持部材
９：第２接着部材
１３：電極部材
１４：圧電フィルム
１５ａ：上電極
１５ｂ：下電極
１９：フレキシブルプリント基板
４１：左接着部材
４２：右接着部材
ＬＳ１：第１下主面
ＬＳ２：第２下主面
ＬＳ４，ＬＳ９：下面
ＬＳ４１：第３下面
ＬＳ４２：第４下面
ＬＳ４Ｌ：第１下面
ＬＳ４Ｒ：第２下面
Ｐ１，Ｐ２：部分
ＵＳ１：第１上主面
ＵＳ２：第２上主面
Ｓ７，ＵＳ４，ＵＳ９：上面
ＵＳ４１：第３上面
ＵＳ４２：第４上面

Claims (11)

  1. 　上下方向に並ぶ第１上主面及び第１下主面と左右方向に並ぶ左側面及び右側面を有し、かつ、前記左右方向に延びる長手方向を有しているセンサ部と、
    　下面を有する１以上の第１接着部材と、を備えており、
    　前記センサ部は、
    　前記上下方向に並ぶ第２上主面及び第２下主面を有している圧電フィルムと、
    　前記第２上主面に設けられている上電極と、
    　前記第２下主面に設けられている電極部材と、を含んでおり、
    　前記電極部材は、下電極を有し、
    　前記第１接着部材は、第１下面を有する左接着部及び第２下面を有する右接着部を含んでおり、
    　前記左接着部は、前記左側面に接し、
    　前記第１下面は、前記上下方向に視て、前記センサ部の左の領域において前記センサ部と重ならない部分を有し、
    　前記右接着部は、前記第１下主面に接しておらず、かつ、前記センサ部の右端部に接し、
    　前記第２下面は、前記上下方向に視て、前記右端部の前、右又は後の領域において前記センサ部と重ならない部分を有する、
    　センサ。
  2. 　前記第１接着部材は、前記左側面及び前記第１上主面に跨って設けられる、
    　請求項１に記載のセンサ。
  3. 　前記第１接着部材は、前記左側面、前記第１上主面及び前記右側面に跨って設けられる、
    　請求項１又は請求項２に記載のセンサ。
  4. 　前記左接着部は、左接着部材であり、
    　前記右接着部は、右接着部材であり、
    　前記左接着部材と前記右接着部材とは、別の部材である、
    　請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のセンサ。
  5. 　前記左接着部材は、前記左側面及び前記第１上主面に跨って設けられる、
    　請求項４に記載のセンサ。
  6. 　前記右接着部材は、前記右側面及び前記第１上主面に跨って設けられる、
    　請求項４又は請求項５に記載のセンサ。
  7. 　前記電極部材は、フレキシブルプリント基板を、更に有している、
    　請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のセンサ。
  8. 　前記第１接着部材の外縁は、前記上下方向に視て、前記センサ部を囲んでいる、
    　請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のセンサ。
  9. 　前記第１接着部材の内縁は、前記上下方向に視て、前記センサ部を囲んでいる、
    　請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のセンサ。
  10. 　第２接着部材を、更に備えており、
    　前記第２接着部材は、前記第１下主面に設けられる、
    　請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のセンサ。
  11. 　前記第１下主面の外縁は、前記上下方向に視て、前記第２接着部材を囲んでいる、
    　請求項１０に記載のセンサ。
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