WO2023157328A1 - 発電センサ - Google Patents

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WO2023157328A1
WO2023157328A1 PCT/JP2022/020118 JP2022020118W WO2023157328A1 WO 2023157328 A1 WO2023157328 A1 WO 2023157328A1 JP 2022020118 W JP2022020118 W JP 2022020118W WO 2023157328 A1 WO2023157328 A1 WO 2023157328A1
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WO
WIPO (PCT)
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magnetic
wire
axial direction
power generation
magnetic wire
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/020118
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English (en)
French (fr)
Inventor
栄男 小関
明彦 寳田
雅行 染谷
Original Assignee
オリエンタルモーター株式会社
栄男 小関
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by オリエンタルモーター株式会社, 栄男 小関 filed Critical オリエンタルモーター株式会社
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux

Definitions

  • This invention relates to a power generation sensor that generates power in response to changes in a magnetic field.
  • a magnetic wire with a large Barkhausen effect is known as a Wiegand wire or pulse wire.
  • This magnetic wire has a core and a skin that surrounds the core.
  • One of the core and skin is a soft (soft magnetic) layer in which the magnetization direction can be reversed even with a weak magnetic field, and the other of the core and skin is a hard (hard magnetic) layer that does not reverse the magnetization direction unless a strong magnetic field is applied. layer.
  • a power generation sensor can be configured by winding a coil around such a magnetic wire.
  • the soft layer When the hard layer and the soft layer are magnetized in the same direction along the axial direction of the wire, when the external magnetic field strength in the direction opposite to the magnetization direction increases and reaches a certain magnetic field strength, the soft layer The direction of magnetization is reversed. This reversal of magnetization direction starts at a portion of the magnetic wire and propagates through the wire, causing the magnetization direction of the soft layer to reverse all at once. At this time, the large Barkhausen effect appears and a pulse signal is induced in the coil wound on the magnetic wire. When the above-described external magnetic field strength further increases and reaches a certain magnetic field strength, the magnetization direction of the hard layer is reversed.
  • the magnetic field intensity when the magnetization direction of the soft layer is reversed is called “operating magnetic field”
  • the magnetic field intensity when the magnetization direction of the hard layer is reversed is called “stabilizing magnetic field”.
  • the output voltage obtained from the coil is constant regardless of the change speed of the input magnetic field (external magnetic field), and has hysteresis characteristics for the input magnetic field, so it has the characteristics of no chattering. Therefore, pulse signals generated from the coils are used in position detection devices and the like. Since the output from the coil has electric power, it is possible to configure a power generation type sensor (power generation sensor) that does not require external power supply.
  • a power generation type sensor power generation sensor
  • the magnetization direction of only the soft layer is reversed from the state in which the magnetization directions of the hard layer and the soft layer match. Even if the magnetization direction of only the soft layer is reversed in a state in which the magnetization directions of the hard layer and the soft layer do not match, no pulse signal is generated or, if generated, the pulse signal is very small.
  • the magnetization reversal of the soft layer extends to the entire magnetic wire from the state in which the magnetization direction of the entire magnetic wire is aligned. If the magnetization directions of the magnetic wires are partially misaligned, only a very small pulse signal is obtained. Therefore, it is preferable that a uniform magnetic field be applied to the entire magnetic wire.
  • Patent Documents 1 to 5 Details of power generation sensors and/or position detection devices using power generation sensors are described in Patent Documents 1 to 5.
  • Patent Literature 1 discloses a magnetic sensor that includes tubular soft magnetic magnets at both ends of a magnetic wire. It is described that this configuration can suppress the demagnetizing field generated in the magnetic wire and stabilize the pulse signal output. However, unless the magnetic field generating source has a structure capable of applying a magnetic field parallel to the axial direction of the magnetic wire to the entire magnetic wire, the large Barkhausen effect inherent in the magnetic wire cannot be sufficiently induced.
  • Patent Document 2 discloses a power generation element having soft magnetic bodies that are in contact with and press the magnetic wire at both ends of the magnetic wire. It is described that this configuration can suppress the demagnetizing field generated in the magnetic wire and stabilize the pulse signal output.
  • the effect of inducing and/or shielding the magnetic field leaking from the magnet forming the external magnetic field is small. Therefore, a magnetic field parallel to the axial direction of the magnetic wire is not applied to the entire axis of the magnetic wire. Therefore, the large Barkhausen effect inherent in the magnetic wire cannot be fully induced, and a high output cannot be expected.
  • Patent Documents 3 to 5 disclose techniques in which a magnetic field leaking from a magnet, which is a detection medium, can be applied to the entire axis of the magnetic wire in parallel with the axial direction of the magnetic wire in order to obtain high output.
  • Patent Document 3 discloses a rotation speed detector having a magnet attached to a rotating body that rotates about a rotation axis and a power generating element.
  • the power generation element has a structure in which ferrite beads are provided at both ends of a magnetic wire and a coil is wound around the magnetic wire between them.
  • the magnet has a plurality of magnetic poles arranged in the direction of rotation, and each magnetic pole has a first region and a second region with different strengths of magnetic force.
  • the magnet and the power generation element are arranged in a region offset from the rotation axis so as to face each other in a direction parallel to the rotation axis.
  • the ferrite bead is said to attract magnetic flux from the magnet to the magnetic wire, causing the magnetic flux to act on the magnetic wire through the ferrite bead.
  • the shape of the magnet and the space (air gap) between the magnet and the power generating element are carefully designed, and a magnetic field of appropriate strength is applied to the magnetic wire according to the rotation angle of the rotating shaft. must be done. Therefore, it is difficult to design for determining the arrangement of the power generation sensor, and the degree of freedom in designing the magnet shape is small.
  • Patent Document 4 discloses a rotation detection device that includes a magnetic field detection section in which a coil is wound around a magnetic wire.
  • Four permanent magnets are fixed to the outer periphery of a shaft that is rotatably supported by the housing, and three magnetic field detection units are arranged outside the rotation locus circle of the permanent magnets.
  • the three magnetic field detectors are arranged so that their axial directions are parallel to the tangential direction of the rotation locus circle and can face the permanent magnet along the radial direction of the rotation locus circle.
  • the magnetic field detector is fixed to a board, and the board is fixed to the housing.
  • a first magnetic member and a second magnetic member are further fixed to the substrate.
  • the first magnetic member is arranged away from the magnetic field detection section, and arranged so as to cover a portion facing the permanent magnet on one side in the axial direction of the magnetic field detection section.
  • the second magnetic member is arranged away from the magnetic field detection section and arranged to cover a portion facing the permanent magnet on the other side of the magnetic field detection section. It is explained that these magnetic members can form a predetermined magnetic path by inducing a magnetic field applied to the magnetic field detection section by a permanent magnet.
  • Patent Document 5 discloses an electric signal generator having a configuration in which a magnetic field from a magnet is induced by a first magnetic body and a third magnetic body having elongated notches for accommodating ends of a magnetically sensitive portion made of a magnetically sensitive wire. Unit is disclosed. Since the ends of the magnetism-sensitive portion are directly installed in the notches of the first magnetic body and the third magnetic body, the induction efficiency is improved. However, the first magnetic body and the third magnetic body do not have a structure capable of shielding the magnetic field that leaks from the magnet and reaches the axial central portion of the magnetism-sensitive portion. Therefore, the magnet must be covered by the side yoke as the second magnetic body. Therefore, the number of parts is large and the structure is large.
  • both ends of the first magnetic body and the third magnetic body are slanted inwardly or outwardly, and the slant angle and length must be designed according to the shape and arrangement of the magnets, which lacks versatility.
  • both ends of the magnetism-sensitive portion are adjusted (arranged on the basis of performance) by the cutout portions of the first magnetic body and the third magnetic body at the time of assembly. Therefore, the assembly of the device is complicated, and the performance of the device depends on the assembly accuracy.
  • one embodiment of the present invention provides a power generation sensor with a structure that can improve versatility.
  • an embodiment of the present invention can be easily combined with magnetic field sources (typically magnets) having different shapes and/or pole numbers and can obtain high output signals.
  • magnetic field sources typically magnets
  • An embodiment of the present invention comprises: a magnetic wire that exhibits a large Barkhausen effect by an alternating magnetic field applied in the axial direction; a coil wound around the magnetic wire;
  • a power generation sensor comprising a pair of magnetic flux conducting pieces which are composed of a pair of coupled soft magnetic parts and which are symmetrical with respect to a plane of symmetry set at the center position of the magnetic wire in the axial direction.
  • the pair of magnetic flux conducting pieces includes a pair of axially orthogonal portions extending parallel to each other in a direction orthogonal to the axial direction from both ends of the magnetic wire to which both ends of the magnetic wire are respectively fixed, and tips of the axially orthogonal portions.
  • the power generation sensor is configured to have a detection area on the side opposite to the magnetic wire with respect to the axially parallel portion.
  • the magnetic field in the detection area is guided to both ends of the magnetic wire by the magnetic flux conducting pieces made of soft magnetic material parts.
  • the magnetic flux conducting pieces made of soft magnetic material parts.
  • the magnetic flux from the detection region to the axially intermediate position of the magnetic wire is directed by the axially parallel portion. shielded.
  • the distance in the axial direction between the adjacent ends of the axially parallel portions of the pair of magnetic flux conducting pieces is 5% to 50% of the distance between the axially orthogonal portions at the coupling position with the magnetic wire, the magnetic shielding effect is excellent. is obtained.
  • the power generation sensor has a magnetic flux conducting piece, and the magnetic flux conducting piece and the magnetic wire are fixedly coupled to each other, a magnetic field generating source (typically a magnet) serving as a detection medium is present in the detection area. It should be arranged. Therefore, it is easy to combine magnetic field sources having different shapes and/or polarities, facilitating the design of devices (eg, position sensing devices) that utilize such combinations.
  • a magnetic field generating source typically a magnet
  • the pair of magnetic flux conducting pieces corrects a magnetic field generated in a space containing the pair of magnetic flux conducting pieces by a magnetic field generating source arranged in the detection region to a magnetic field in the axial direction. configured to apply to a wire;
  • the magnetic flux conducting pieces have a magnetic field correction function to correct the magnetic field from the magnetic field source located in the sensing area, thereby applying a magnetic field between the ends of the magnetic wire in its axial direction. be able to. As a result, the large Barkhausen effect can be fully exploited to generate a high-output pulse signal.
  • the axial distance of the spacing is 20% to 40% of the axial distance between the pair of axial orthogonal portions at the coupling position with the magnetic wire.
  • the axially orthogonal portion of the magnetic flux conducting piece has a wire placement portion in which a hole or groove penetrating in the axial direction is formed, and the magnetic wire is disposed in the axially orthogonal portion in the wire placement portion. and is fixed to the axis-perpendicular portion.
  • the magnetic wire passes through the portion perpendicular to the axis, so that the magnetic flux conducting piece and the both ends of the magnetic wire can be reliably magnetically coupled, and the fixation between them can be reliably performed. can do.
  • the axis-perpendicular portion can be configured, for example, to have a size approximately equal to the diameter of the coil.
  • the wire arrangement portion is offset in the direction away from the detection area when the magnetic flux conducting piece is viewed from the axial direction of the magnetic wire. It will be placed in an unbalanced (biased) position. With such a configuration, there is an advantage that the power generation sensor can be configured in a small size.
  • the thickness in the axial direction of the axially orthogonal portion at the coupling position with the magnetic wire is 10% to 20% of the total length of the magnetic wire. According to this configuration, the magnetic path in the axially orthogonal portion does not become too narrow, and the pickup efficiency of the large Barkhausen effect can be prevented from substantially deteriorating due to the axially orthogonal portion. Thereby, a power generation sensor capable of generating a high-output pulse signal can be realized.
  • the soft magnetic part is made of a material whose coercive force is equal to or less than the coercive force of the magnetic wire and whose magnetic permeability is 500 or higher.
  • Such materials have properties such as low magnetoresistance, low hysteresis, and low self-dielectric. As a result, even when a high-frequency alternating magnetic field generated when the magnetic field generating source moves at high speed is applied, there is little effect on the output characteristics of the power generation sensor.
  • the soft magnetic parts are preferably made of Ni-based ferrite or Mn-based ferrite.
  • the power generation sensor further includes an external terminal electrode for surface mounting provided on the axis-parallel portion of the magnetic flux conducting piece so as to face the detection area.
  • FIG. 1A is a perspective view of a power generation sensor according to the first embodiment
  • FIG. FIG. 1B is a front view looking in the direction of arrow 101 in FIG. 1A
  • 2A, 2B, and 2C show a first model of a rotation detection device using the power generation sensor of the first comparative example, the power generation sensor of the second comparative example, and the power generation sensor of the first embodiment, respectively.
  • 3A, 3B and 3C are schematic cross-sectional views showing the results of two-dimensional magnetic simulations for the arrangements shown in FIGS. 2A, 2B and 2C, respectively.
  • FIGS. 4A, 4B and 4C show the results of three-dimensional magnetic simulations for the arrangements (first model) shown in FIGS. 2A, 2B and 2C, respectively.
  • 5A and 5B show a second model of the rotation detection device using the power generation sensor of the second comparative example and the power generation sensor of the first embodiment, respectively.
  • 6A and 6B show the results of three-dimensional magnetic simulation in the arrangement shown in FIG. 5A (second model using the power generation sensor of the second comparative example).
  • FIG. 6C shows the result of three-dimensional magnetic simulation in the arrangement shown in FIG. 5B (second model using the power generation sensor of the first embodiment).
  • 7A and 7B show a third model of the rotation detection device using the power generation sensor of the first embodiment.
  • FIG. 8 shows the results of a three-dimensional magnetic simulation for the arrangement shown in FIG. 7B.
  • 9 shows the distance at the position of the magnetic wire between the pair of magnetic flux conducting pieces for the structures of the first model (see FIG.
  • FIG. 10 shows a modification of the first embodiment.
  • 11A is a perspective view of a power generation sensor according to a second embodiment;
  • FIG. 11B is a partially exploded perspective view of the power generation sensor according to the second embodiment;
  • FIG. 11C is a side view of the power generation sensor according to the second embodiment;
  • 12A and 12B are front views showing configuration examples of magnetic flux conducting pieces.
  • FIG. 12C is a perspective view showing a configuration of a modification of the magnetic flux conducting piece.
  • FIG. 13A is a perspective view showing a configuration of a modification of the power generation sensor according to the second embodiment
  • FIG. 13B is an exploded perspective view showing a configuration of a modification of the power generation sensor according to the second embodiment
  • FIG. 14A and 14B are a perspective view and a plan view, respectively, showing a first configuration example of a rotation detection device using a power generation sensor according to the second embodiment
  • 15A and 15B are a perspective view and a plan view, respectively, showing a second configuration example of the rotation detection device using the power generation sensor according to the second embodiment
  • 16A and 16B are a perspective view and a plan view, respectively, showing a third configuration example of the rotation detection device using the power generation sensor according to the second embodiment.
  • FIG. 1A and 1B show a power generation sensor 100 according to a first embodiment.
  • FIG. 1A is a perspective view of the power generation sensor 100
  • FIG. 1B is a front view seen in the direction of arrow 101 in FIG. 1A.
  • the power generation sensor 100 includes a magnetic wire 110 that exhibits a large Barkhausen effect, a coil 120 wound around the magnetic wire 110, and a pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 made of soft magnetic parts.
  • the coil 120 is wound around the magnetic wire 110 so as to expose the first end 111 and the second end 112 of the magnetic wire 110 with the same length.
  • the coil 120 is wound around the magnetic wire 110 between a pair of magnetic flux conducting pieces 130,131.
  • a pair of magnetic flux conducting pieces 130, 131 are magnetically coupled to the first end 111 and the second end 112 of the magnetic wire 110, respectively.
  • the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 have substantially the same shape and size. More specifically, the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 are arranged in the axial direction x (length direction, wire length direction) of the magnetic wire 110 at the center position (hereinafter referred to as “axis center position”) 113 . are symmetrical to each other with respect to a plane of symmetry 115 (virtual plane for explaining the geometric arrangement) perpendicular to the .
  • the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 has an axis-perpendicular portion 133 extending parallel to both ends 111 and 112 of the magnetic wire 110 in an orthogonal direction z orthogonal to the axial direction x, and an axially Axis-parallel portions 134 extending toward each other along x.
  • Both ends 111 and 112 of the magnetic wire 110 are fixed to the base ends of the axial orthogonal portions 133 of the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131, respectively. More specifically, wire placement portions 130a and 131a having holes or grooves penetrating in the axial direction x are provided at the proximal end portion of the axially orthogonal portion 133 .
  • FIG. 1A and the like show an example in which the wire arrangement portions 130a and 131a are formed of holes.
  • the grooves are preferably grooves extending along the orthogonal direction z so as to open to the end surface on the side opposite to the detection region 140, which will be described later.
  • the first end portion 111 and the second end portion 112 of the magnetic wire 110 are fixed to the axial orthogonal portion 133 in a state of passing through the axial orthogonal portion 133 at the wire placement portions 130a and 131a. More specifically, the ends 111 and 112 of the magnetic wire 110 are fixed to the axial orthogonal portion 133 by placing resin (not shown) in the holes or grooves forming the wire placement portions 130a and 131a. they are connected to each other. Thereby, the magnetic wire 110 and the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 are mechanically coupled to each other and magnetically coupled to each other.
  • the axially parallel portions 134 of the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 face each other with their proximal ends 134a facing each other across a plane of symmetry 115 passing through the axial center position 113 of the magnetic wire 110 . That is, their proximal ends 134a face each other and are spaced apart in the axial direction x.
  • the intermediate position of this interval in the axial direction x corresponds to the position of the axial center position 113 in the axial direction x. are equal.
  • the distance L of the interval in the axial direction x is 5% to 50%, more preferably 20%, of the distance D between the pair of axial orthogonal portions 133 at the joint position of the magnetic wire 110 and the axial orthogonal portion 133. ⁇ 40%.
  • the distance D is between the inner side surfaces 130b and 131b (the inner side surfaces of the perpendicular-to-axis portion 133) of the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 facing each other in the axial direction x at the coupling position with the magnetic wire 110. It is the distance in the axial direction x.
  • the power generation sensor 100 is configured such that the area opposite to the magnetic wire 110 with respect to the axis-parallel portion 134 is the detection area 140 .
  • a magnetic field source 400 for generating a magnetic field to be detected is arranged in the detection area 140 .
  • the magnetic field source 400 moves relative to the power generation sensor 100 so as to pass through the detection region 140 . That is, the detection area 140 is arranged on the moving path of the magnetic field generation source 400 .
  • the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 corrects the magnetic field generated in the space containing the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 by the magnetic field generating source 400 arranged in the detection region 140 into a magnetic field in the axial direction x to the magnetic wire 110. configured to apply
  • the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 made of soft magnetic parts have a substantially rectangular parallelepiped-shaped axially orthogonal portion 133 and a side of the axially orthogonal portion 133 facing the magnetic field generation source 400, that is, the detection region 140 side. It has a substantially rectangular parallelepiped-shaped axially parallel portion 134 that is connected to the tip portion that is the end of the shaft, and has an L-shape that is bent at right angles at the joint between the axially orthogonal portion 133 and the axially parallel portion 134. there is The axis-parallel portion 134 extends along the axial direction x so as to cover the magnetic wire 110 , ie shield between the magnetic wire 110 and the detection region 140 .
  • Axially parallel portions 134 of the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 having mutually symmetrical shapes extend toward the axial center of the magnetic wire 110, and their proximal ends 134a are near the axial center position 113 of the magnetic wire 110. are spaced apart and facing each other.
  • the proximal end 134a forms a plane orthogonal to the axial direction x, and the two planes forming the two proximal ends 134a are parallel to each other and face each other in the axial direction x.
  • the distance L in the direction x of the spacing between the two proximal ends 134a is the distance between the two planes forming the two proximal ends 134a.
  • the magnetic flux conducting pieces 130, 131 made of soft magnetic parts and the coil 120 are fixed to a case (not shown) covering them by adhesive resin, fitting, or other suitable fixing means. As described above, both ends 111 and 112 of the magnetic wire 110 are fixed by resin (not shown) to the wire arrangement portions 130a and 131a, which are two penetrating holes or grooves. Therefore, the power generation sensor 100 is configured by a structure in which the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131, the coil 120 and the magnetic wire 110 are fixed to each other and integrated.
  • FIGS. 1A and 1B show a first model of a rotation detection device using the power generation sensor 280 of the first comparative example, the power generation sensor 300 of the second comparative example, and the power generation sensor 100 of the first embodiment, respectively.
  • the rotation detection device includes a magnet 410 that rotates around a rotation axis 411, and power generation sensors 280 and 300 that are arranged such that the axial direction x is set so as to be orthogonal to the rotation axis 411 with the axis center position 113 aligned with the rotation axis 411. , 100. However, in each figure, illustration of the coil 120 (see FIGS. 1A and 1B) of the power generation sensors 280, 300, 100 is omitted. Magnetic wire 110 is spaced from magnet 410 in a direction parallel to axis of rotation 411 .
  • the magnet 410 is an example of the magnetic field source 400 .
  • the magnet 410 is a ring-shaped dipole magnet with a diameter smaller than the entire length of the magnetic wire 110, and has a form in which a magnetic field parallel to the axial direction x of the magnetic wire 110 is less likely to be applied to the entire magnetic wire 110. have.
  • the magnet 410 is a ring-shaped rotating body centered on a rotation axis 411, and half of the area along the circumferential direction is the north pole area and the remaining half area is the south pole area.
  • the magnetic wire 110 has a magnetic pole boundary line 410a of the N and S poles in plan view along the rotation axis 411 such that a stabilizing magnetic field is applied in the axial direction x of the magnetic wire 110.
  • 110 is arranged so as to be perpendicular to the axial direction x.
  • a power generation sensor 280 of a first comparative example shown in FIG. 2A does not include magnetic flux conducting pieces 130 and 131 made of soft magnetic parts, as compared with the first embodiment (see FIG. 2C).
  • the power generation sensor 300 of the second comparative example shown in FIG. are different from the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 in the first embodiment.
  • the soft magnetic parts 330 and 331 are configured in a cylindrical shape having a through hole through which the magnetic wire 110 is passed in the center, and do not have an L-shaped bent portion on the side facing the magnet 410. . That is, the soft magnetic parts 330 and 331 do not have a structure that can magnetically shield between the magnetic wire 110 and the magnet 410 .
  • the power generation sensor 300 of the second comparative example is comparable to the structure shown in FIG.
  • the distance L in the axial direction x between the pair of soft magnetic parts 330 and 331 is equal to the distance D between the magnetic wire 110 and the magnetic wire 110 at any position, and is 100% of this distance D.
  • the distance L in the axial direction x between the proximal ends 134a of the axis-parallel portions 134 is, for example, three times the distance D between the axis-perpendicular portions 133. 1, that is, 33%.
  • FIGS. 3A, 3B, and 3C are schematic cross-sectional views showing the results of two-dimensional magnetic simulations in the arrangements shown in FIGS. 2A, 2B, and 2C, respectively.
  • 2A, 2B and 2C the results of a two-dimensional magnetic simulation are shown for a vertical cross section passing through the axis of the magnetic wire 110.
  • FIG. 1 is schematic cross-sectional views showing the results of two-dimensional magnetic simulations in the arrangements shown in FIGS. 2A, 2B, and 2C, respectively.
  • 2A, 2B and 2C the results of a two-dimensional magnetic simulation are shown for a vertical cross section passing through the axis of the magnetic wire 110.
  • the magnetic flux distribution of the magnetic wire 110 In order for the magnetic flux distribution of the magnetic wire 110 to be uniform over the entire axial length range, it is desirable for the magnetic flux to enter from one end of the magnetic wire 110 and exit to the other end.
  • the magnetic flux from the magnetic field generating source enters from the detection area facing surface 134b of the axis-parallel portion 134 of one of the magnetic flux conducting pieces 130, is conducted through the magnetic flux conducting piece 130, and reaches the magnetic wire 110. to the first end 111 of the . Further, the magnetic flux from the second end 112 of the magnetic wire 110 is conducted through the other magnetic flux conducting piece 131, reaches its axis-parallel portion 134, and reaches the magnetic field generation source (magnet 410) from its detection area facing surface 134b.
  • the magnetic flux distribution is uniform over the entire length of the magnetic wire 110 . That is, over the entire length of the magnetic wire 110, a magnetic field parallel to the axial direction x and having a uniform strength can be formed.
  • the detection area facing surface 134b is a surface facing the detection area 140 and parallel to the axial direction x.
  • the magnetic field generated by the magnetic field generation source (magnet 410 ) arranged in the detection area 140 is directed to the axis of the magnetic wire 110 by the action of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 . It is applied to the magnetic wire 110 corrected in the direction x.
  • Figures 4A, 4B and 4C show the results of three-dimensional magnetic simulations in the arrangements (first model) shown in Figures 2A, 2B and 2C, respectively. Using these figures, the function of correcting the applied magnetic field in the axial direction x of the magnetic wire 110 even when the magnet 410 of the magnetic field generating source rotates around the rotation axis 411 will be described.
  • FIGS. 4A, 4B, and 4C are graphical representations of the magnetic field applied to the magnetic wire 110 at multiple rotation angles of the magnet 410 as the magnet 410 is rotated about the rotation axis 411.
  • FIG. The wire position on the horizontal axis represents the position of each part of the magnetic wire 110 in the axial direction x.
  • the section is divided into 10 equal parts, one end of the section is represented as "0" and the other end is represented as "10".
  • the corresponding wire positions are also labeled "0" through “10.”
  • the rotation angle of the magnet 410 is 0 degrees in the arrangements of FIGS. degree. 2A, the second comparative example in FIG. 2B, and the first embodiment in FIG. 2C are the same. Therefore, the wire positions shown in FIGS. Show the corresponding position.
  • the vertical axis represents magnetic field strength.
  • Figures 4A, 4B and 4C show the magnetic simulation results for the rotation angle range of the first quadrant, that is, the range from 0 degrees to 90 degrees.
  • a stabilized magnetic field is created in a ready state (a set state before outputting a positive signal) in which the magnetization directions of the hard layer and the soft layer match, and the soft layer is reversed to
  • An operating magnetic field that can reverse the magnetization direction of the soft layer (a negative signal is output) can be confirmed.
  • the magnetic field intensity was normalized so that the stabilization magnetic field was
  • the operating magnetic field is approximately ⁇ 0.5. That is, in FIGS.
  • the magnetization directions of both the hard layer and the soft layer are reversed.
  • the magnetization directions of both the hard layer and the soft layer are reversed.
  • the magnetization direction of the soft layer can be reversed at wire positions where the magnetic field strength (operating magnetic field) is ⁇ 0.5 or less (absolute value is 0.5 or more).
  • the magnetization direction of the soft layer can be reversed, but the magnetization direction of the hard layer cannot be reversed.
  • the magnetic field intensity differs greatly between the center portion and the center portion, which indicates that the direction of the magnetic field near both ends of the magnetic wire 110 is not along the axial direction x of the magnetic wire 110 .
  • the difference in magnetic field intensity with respect to the wire position is smaller than in the case of the first comparative example.
  • a stabilizing magnetic field absolute value greater than or equal to 1
  • the magnetization direction mismatch area between the hard and soft layers is about 20% (wires 0-1 and 9-10). position)
  • the matching area is the remaining 80%, which is an improvement over the first comparative example 1.
  • the operating magnetic field is applied thereafter, the reversal of the soft layer in the coincidence area of 80% only contributes to the output. small.
  • a relatively small magnetic field source (magnet 410) cannot form an alternating magnetic field parallel to the axial direction x of the magnetic wire 110 in the spatial region where the power generation sensor 100 is arranged. . Nevertheless, according to the power generation sensor 100 of the first embodiment, the alternating magnetic field generated by the movement of the magnetic field generation source (magnet 410) is corrected to a magnetic field parallel to the axial direction x of the magnetic wire 110, resulting in a magnetic field. Applied to wire 110 . As a result, a stabilizing magnetic field can be applied over the entire length of the magnetic wire 110, so that there is no mismatched region between the magnetization directions of the hard layer and the soft layer. Therefore, it is possible to fully bring out the characteristics of the magnetic wire 110, and output a stable high-output pulse signal.
  • FIGS. 5A and 5B show a second model of the rotation detection device using the power generation sensor 300 of the second comparative example and the power generation sensor 100 of the first embodiment, respectively.
  • the rotation detection device includes a magnet 410 that rotates around a rotation axis 411, and power generation sensors 300 and 100 that are arranged with their axial center positions 113 offset from the rotation axis 411 in the orthogonal direction.
  • the power generation sensors 300 and 100 are arranged with the axial direction x of the magnetic wire 110 set so as to be along the tangent line of an imaginary circle having the rotation axis 411 as the central axis.
  • illustration of the coil 120 see FIGS.
  • the magnetic wire 110 is arranged at a distance g from the magnet 410 in the direction parallel to the rotation axis 411 and faces the magnet 410 .
  • a magnet 410 which is a detection medium, is an example of the magnetic field generation source 400, and is a ring-shaped dipole magnet similar to the first model.
  • FIGS. 4A-4C show the results of three-dimensional magnetic simulation in the arrangement shown in FIG. 5A (second model using the power generation sensor 300 of the second comparative example).
  • FIG. 6C shows the result of a three-dimensional magnetic simulation in the arrangement shown in FIG. 5B (second model using the power generation sensor 100 of the first embodiment).
  • 6A-6C like FIGS. 4A-4C, are graphical representations of the magnetic field applied to magnetic wire 110 at multiple angles of rotation of magnet 410 with magnet 410 rotated about axis of rotation 411.
  • FIG. The wire position on the horizontal axis and the magnetic field strength on the vertical axis are the same as in FIGS. 4A to 4C, so the description is omitted.
  • FIG. 6A is the magnetic simulation result when the air gap g (distance between the magnet surface and the magnetic wire 110) of the power generation sensor 300 is the same as in FIG. 2B (see FIG. 4B for the corresponding magnetic simulation result).
  • the magnetic field strength is substantially uniform over the entire area of the magnetic wire 110 at all rotation angles.
  • the absolute value of the magnetic field strength is less than 1 at any rotation angle, the stabilizing magnetic field cannot be applied to the magnetic wire 110 .
  • FIG. 6B is a magnetic simulation when the air gap g of the power generation sensor 300 of the second comparative example is narrowed (closed to the magnet 410) to the position where the stabilizing magnetic field is applied to the magnetic wire 110 in the model of FIG. 5A. This is the result.
  • a stabilizing magnetic field absolute value of magnetic field strength greater than or equal to 1
  • the magnetization directions of the hard and soft layers are coincident.
  • the power generation sensors 300 and 100 are arranged in a spatial region where an alternating magnetic field with unwanted harmonic components superimposed thereon is generated by the movement of the magnetic field source (magnet 410). Nevertheless, according to the power generation sensor 100 of the first embodiment, the alternating magnetic field due to the motion of the magnetic field generating source (magnet 410) is corrected in the axial direction x of the magnetic wire 110 and applied over the entire length of the magnetic wire 110. be done. As a result, a non-matching region with different magnetization directions between the hard layer and the soft layer is substantially eliminated. Therefore, it is possible to fully bring out the characteristics of the magnetic wire 110, and output a stable high-output pulse signal.
  • Patent Document 3 provides a technique that uses magnets having regions of different magnetic field strengths to suppress the strength of the magnetic field that is not parallel to the axial direction x of the magnetic wire. This technique contributes to the improvement of the magnetic field strength as shown in FIG. 3 or FIG. 5 of Patent Document 3, but it requires improvement of the magnet, which is the detection medium.
  • the power generation sensor 100 of the first embodiment does not necessarily require improvement of the magnet, and can solve the problem in the configuration of Patent Document 3.
  • [Third model] 7A and 7B show a third model of a rotation detection device using the power generation sensor 100 of the first embodiment.
  • the second model shown in FIG. 5B described above uses a two-pole magnet 410 as a magnetic field generation source, and the power generation sensor 100 of the first embodiment is arranged offset from the rotation axis 411 of the magnet 410 .
  • the third model shown in FIGS. 7A and 7B is a rotation detection device in which the magnetic field generation source is multipolar. In the following, based on magnetic simulation results showing the strength of the magnetic field applied to the magnetic wire 110 when the multipolar magnet serving as the magnetic field generating source rotates, it will be explained that rotation can be detected by the multipolar magnet.
  • the magnetic field source is a magnet that forms four magnetic poles passing through the detection area 140 of the power generation sensor 100, that is, two north poles and two south poles.
  • a ring-shaped magnet 420 having four magnetic pole regions in which N pole regions and S pole regions are alternately arranged in the circumferential direction on the surface facing the power generation sensor 100 is used as a magnetic field generation source. is configured.
  • the ring-shaped magnet 420 rotates about a rotation axis 421 aligned with its central axis, thereby forming an alternating magnetic field in the detection area 140 of the power generation sensor 100 .
  • the magnetic field source is made up of four individual magnets 430 .
  • the four magnets 430 are arranged along the circumference centered on the rotation axis 431, and are, for example, permanent magnets of the same shape and size arranged at equal intervals in the circumferential direction of the circumference.
  • the four magnets 430 rotate about the rotation axis 431 while maintaining relative positions about the rotation axis 431 .
  • Each magnet 430 is arranged with its magnetization direction set parallel to the rotation axis 431 .
  • the four magnets 430 are arranged on the side facing the power generation sensor 100 such that the N poles and the S poles are alternately arranged along the direction of rotation. Therefore, when the four magnets 430 rotate around the rotation axis 431 , the north pole and the south pole alternately face the power generation sensor 100 , thereby forming an alternating magnetic field in the detection area 140 of the power generation sensor 100 .
  • the circumferential length ( ⁇ ) of one magnetic pole region is the magnetic pole pitch, which is the length from the circumferential center of the N pole region to the circumferential center of the S pole region. equal to ⁇ .
  • the circumferential length ( ⁇ ) of one magnetic pole is less than the pole pitch ⁇ , which is the circumferential distance between the circumferential center positions of adjacent magnets.
  • the power generation sensor 100 is arranged with the magnetic wire 110 offset from the rotational axes 421 and 431 of the magnets 420 and 430 in the radial direction of rotation. That is, the magnetic wire 110 is offset to a position facing the rotational trajectory of the magnets 420 and 430 along the direction parallel to the rotational axes 421 and 431 (perpendicular direction z).
  • the axial direction x of the magnetic wire 110 is set along the tangent line of virtual circles having the rotation axes 421 and 431 as the central axis, and the detection area 140 (see FIG. 1B) is defined by the magnets 420 and 430.
  • the magnetic pole pitch ⁇ is set to be equal to or less than the distance D between the axially orthogonal portions 133 of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131. In the configuration shown in FIGS.
  • FIG. 8 shows the results of a three-dimensional magnetic simulation with the arrangement shown in FIG. 7B.
  • FIG. 8 is a graphical representation of the magnetic field applied to the magnetic wire 110 at multiple angles of rotation with the four magnets 430 rotated about the axis of rotation 431 .
  • the wire position on the horizontal axis and the magnetic field strength on the vertical axis are the same as in FIGS. 4A to 4C, so the description is omitted.
  • the rotation angle was 0 degrees in the state shown in FIG. 7B, and 90 degrees in the state rotated by the magnetic pole pitch ⁇ .
  • the negative side stabilizing magnetic field (the magnetic field with the strength of -1 or less (absolute value 1 or more)) and the positive side stable magnetic field magnetic field (strength of +1 or more), negative side operating magnetic field (strength of -0.5 or less (absolute value 0.5 or more)), plus side operating magnetic field (strength of +0.5 or more ) and are applied.
  • a set state in which the magnetization directions of the hard layer and the soft layer are aligned before the output of the positive signal during the rotational movement in which the rotation angle changes from 0 degrees to 90 degrees, and its set state.
  • a state in which only the soft layer is inverted and a positive signal is output when an operating magnetic field is applied from and a set state (preparation state) in which the magnetization directions of the hard and soft layers match before the output of the negative signal.
  • a state in which an operating magnetic field is applied from the set state to invert only the soft layer and a negative signal is output is achieved. Therefore, while the four magnets 430 make one rotation (rotate 360 degrees) around the rotation axis 431, 2 pulses of the positive signal and 2 pulses of the negative signal are output, and a total of 4 pulses of the signal are output. I understand. Although illustration is omitted, the result of the three-dimensional magnetic simulation in the arrangement shown in FIG. 7A was also substantially the same as in FIG.
  • the alternating magnetic field formed in the detection area 140 by the movement of the magnets is a magnetic field.
  • a function to be corrected for the magnetic field in the axial direction x of the wire 110 is realized.
  • the configuration is simple by using the power generation sensor 100 of the first embodiment. become. That is, it is not necessary to specially design and prepare a magnetic body having a shape and arrangement according to the configuration of the rotation detecting device, as in Patent Documents 4 and 5.
  • the relationship with the interval (distance L) to be performed will be described.
  • the distance D is the distance in the axial direction x between the opposing inner side surfaces 130b and 131b of the pair of axially orthogonal portions 133 .
  • the distance L is the distance in the axial direction x between the proximal ends 134a of the pair of axially parallel portions 134. As shown in FIG.
  • the magnetic flux conducting pieces 130, 131 have mutually symmetrical shapes with respect to the plane of symmetry 115 passing through the axial center position 113 of the magnetic wire 110, when viewed from the detection area 140 (see FIG. 1B), the pair of proximal ends 134a face each other with the axial center position 113 interposed therebetween.
  • the distance D between the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 at the position of the magnetic wire 110 The relationship between the ratio of the distance L between the proximal ends 134a and the wave height of the pulse signal output from the coil 120 was confirmed.
  • the results are shown in FIG.
  • the horizontal axis of FIG. 9 represents the ratio (%) of the distance L to the distance (D), and the vertical axis of the figure represents the output wave height.
  • the output wave height is normalized with the maximum value of .
  • the wave heights of the pulse signals are the absolute values of the wave heights of the two positive and negative pulses that are output when the magnets 410 and 430 are rotated in the forward direction, and the two positive and negative pulses that are output when they are rotated in the reverse direction. is the average value of the absolute value of the wave height of
  • the large Barkhausen effect is reduced by several percentage points due to the features of the magnetic wire 110 . It is presumed that this is due to the influence of the magnetic path formed through the narrow interval between the proximal ends 134a of the axially parallel portions 134 (the distance L is small).
  • the output wave height of 0.85 when the ratio is 100% in the first model is the three-dimensional magnetic simulation result of FIG. corresponds to a slightly higher output than
  • the output wave height of 0.35 with a ratio of 100% in the third model is 3 in FIG. This corresponds to a slightly higher output than the dimensional magnetic simulation results. Therefore, the surface facing the magnetic field generation source (detection area facing surface 134b) is flatter than the cylindrical curved surface (see the configuration of the comparative example in FIGS. 2B and 5A) (the configuration of the power generation sensor 100 of the first embodiment). ) is found to be better.
  • the ratio is in the range of 5% to 50%, it is possible to cause the large Barkhausen effect of 90% or more of the magnetic wire 110 feature. Furthermore, if the ratio is in the range of 20% to 40%, it is possible to cause 100% of the large Barkhausen effect of the magnetic wire 110 feature.
  • the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 made of soft magnetic parts correct the alternating magnetic field generated in the detection region 140 by the magnetic field generating source in the axial direction x of the magnetic wire 110 and apply it to the magnetic wire 110. It has the function to Thereby, the signal induced in the coil 120, which is 110 turns of the magnetic wire, is of high power.
  • the power generation sensor 100 integrally provided with the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 having such a magnetic field correction function can correspond to various detection media.
  • the ratio of the distance L between the adjacent ends 134a of the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 facing each other at a position offset from the magnetic wire 110 toward the detection region 140 with respect to the distance D at the position of the magnetic wire 110 is calculated as described above.
  • the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 exhibit excellent magnetic field compensating functions as described above. Even if the axial length of the magnetic wire 110 is different, it is sufficient to design the magnetic wire 110 so as to keep the range of the ratio.
  • the first end 111 and the second end 112 of the magnetic wire 110 are exposed from the magnetic flux conducting pieces 130, 131 made of soft magnetic parts. However, the first end 111 and the second end 112 do not have to be exposed from the magnetic flux conducting pieces 130 , 131 . When exposed, the first end 111 and the second end 112 may or may not protrude from the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 in the axial direction x.
  • the projection length when projecting is not limited.
  • the diameter of the hole or the width of the groove constituting the wire placement portions 130a and 131a formed by penetrating the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 made of soft magnetic parts in the axial direction x does not apply stress to the magnetic wire 110 used. , it is preferable that the hole diameter or the groove width be larger than the extent that the magnetic wire 110 slides (sliding). Specifically, the diameter or width may be determined to be larger than several percent of the diameter of the magnetic wire 110 .
  • the wire arrangement portions 130a and 131a may be arranged on the side not facing the magnetic field generation source, that is, at positions offset in the direction away from the detection region 140. preferable. That is, as shown in FIG. 1A, the distance h from the magnetic wire 110 to one end of the axially orthogonal portion 133 (the end opposite to the detection region 140) and the surface of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 facing the detection region It is preferable that the distance H to 134b has a relationship of h ⁇ H.
  • the length h+H in the orthogonal direction z of the magnetic flux conducting pieces 130, 131 is shortened, and the size of the power generation sensor 100 in the orthogonal direction z can be reduced.
  • the width t of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 when viewed in the axial direction x is substantially equal to the diameter of the coil 120, the size of the power generation sensor 100 in the width direction y can be reduced. .
  • the power generation sensor 100 can be miniaturized.
  • the soft magnetic parts constituting the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 are preferably made of a magnetic material having a coercive force equal to or lower than the coercive force of the magnetic wire 110 and a high magnetic permeability (for example, 500 or more). is preferably a material containing Ni-based ferrite or Mn-based ferrite. These materials have excellent properties such as low hysteresis, low self-dielectricity, and low core loss. has the advantage of not affecting the output characteristics.
  • the thickness W of the axial orthogonal portion 133 is preferably 10% to 20% of the total length of the magnetic wire 110 .
  • the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 made of the soft magnetic parts of the first embodiment are L-shaped integrated pieces, but as shown in FIG.
  • the magnetic flux conducting pieces 130, 131 may be constructed by combining the portions 130-1, 130-2; 131-1, 131-2.
  • the two rectangular parallelepiped portions 130-1, 130-2; 131-1, 131-2 are preferably arranged and combined to form an L shape.
  • the end faces of rectangular parallelepiped portions 130-1 and 131-1 forming a portion orthogonal to the axis of ⁇ 2 may abut on the intermediate portion in the axial direction x (T-shaped arrangement).
  • the two rectangular parallelepiped portions 130-1, 130-2; It may be constructed using a material selected from the above-described material range.
  • the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 of the power generation sensor 100 of the first embodiment have a flat surface facing the magnetic field generation source (facing the detection region 140), this flat surface can be used as a surface mounting area. can.
  • 11A, 11B, and 11C are a perspective view, a partially exploded perspective view, and a side view, respectively, for explaining the configuration of the power generation sensor 200 according to the second embodiment.
  • the same reference numerals as in the first embodiment are used for the parts corresponding to the components of the first embodiment.
  • surface-mountable external terminal electrodes 240 and 241 are directly provided on magnetic flux conducting pieces 130 and 131 made of soft magnetic parts.
  • the external terminal electrodes 240 and 241 are provided on the surfaces of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 facing the magnetic field generating source. More specifically, the external terminal electrodes 240 and 241 are provided on the surface 134 b of the axis-parallel portion 134 facing the detection region, that is, the surface of the axis-parallel portion 134 opposite to the magnetic wire 110 . External terminal electrodes 240 and 241 are composed of, for example, a plated layer or conductive paste and a solder layer. In this embodiment, the external terminal electrodes 240 and 241 are provided so as to cover the entire surface 134b of the axis-parallel portion 134 facing the detection area. However, the external terminal electrodes 240 and 241 may be provided so as to cover only a partial area of the detection area facing surface 134 b of the axis-parallel portion 134 .
  • the power generation sensor 200 of this embodiment further includes a case 210 that houses the magnetic wire 110, the coil 120, and the magnetic flux conducting pieces 130,131.
  • the case 210 is formed in a box shape that opens toward the detection region facing surfaces 134b of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131, and the magnetic wire 110 and the coil are mounted in a state where the detection region facing surfaces 134b of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 are exposed. 120 and magnetic flux conducting pieces 130,131.
  • the magnetic wire 110 is secured to the magnetic flux conducting pieces 130,131.
  • both end portions 111 and 112 of the magnetic wire 110 are fixed by resin to wire placement portions 130a and 131a which are holes or grooves formed through the axial orthogonal portions 133 of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131.
  • Magnetic flux conducting pieces 130 and 131 and coil 120 are fixed to case 210 by, for example, adhesive resin and/or fitting.
  • the power generation sensor 200 having a completely integrated structure including the case 210 is realized.
  • FIG. 11B is a partially exploded perspective view showing a state before the case 210 is fitted
  • FIG. 11C is a side view seen in the axial direction x from the magnetic flux conducting piece 130 side with the case 210 removed.
  • the substantially rectangular parallelepiped axially orthogonal portion 133 includes protrusions 130x, 130y, 131x, and 131y projecting in the width direction y perpendicular to the axial direction x and parallel to the detection area facing surface 134b. provided on both sides of the In the illustrated example, these protrusions 130x, 130y, 131x, and 131y are arranged on the opposite side of the magnetic wire 110 from the detection region facing surface 134b.
  • Chamfered portions 133a are formed at both corners in the width direction y on the end surface of the axially orthogonal portion 133 opposite to the detection area facing surface 134b.
  • the chamfered portion 133a functions as a guide portion that makes the insertion of the case 210 smooth.
  • the case 210 is provided with holes 220x, 220y, 221x and 221y in which the protrusions 130x, 130y, 131x and 131y of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 are fitted respectively.
  • grooves 230 and 231 are provided in the case 210 so that both ends of the magnetic wire 110 do not contact each other when the magnetic wire 110 is incorporated into the case 210 .
  • the grooves 230 and 231 extend in a direction z perpendicular to the detection area facing surface 134b, and the case 210 is assembled so that both ends of the magnetic wire 110 are inserted into the grooves 230 and 231 from this direction z. .
  • FIG. 11C which is a side view seen from the axial direction x
  • the grooves 130c and 131c through which the terminal wire 120a for making electrical contact with the coil 120 passes are formed on the surface of the magnetic flux conducting piece 130 facing the detection area. 134b.
  • the terminal wire 120a is connected to the external terminal electrodes 240, 241 by solder layers in the grooves 130c, 131c.
  • the grooves 130c, 131c may also continue to the proximal end 134a of the axis-parallel portion 134, as shown in FIG. 11B.
  • FIG. 12A and 12B are front views of the magnetic flux conducting piece 130 viewed from the width direction y perpendicular to the axial direction x and parallel to the detection area facing surface 134b.
  • FIG. 12A shows an example in which the thickness W of the axially orthogonal portion 133 in the axial direction x is uniform. That is, the thickness W of the axially orthogonal portion 133 in the axial direction x is substantially the same on the side facing the detection area and on the opposite side, and the thickness W is constant in the area therebetween. Therefore, the axial orthogonal portion 133 has a straight shape along the orthogonal direction z.
  • FIG. 12A shows an example in which the thickness W of the axially orthogonal portion 133 in the axial direction x is uniform. That is, the thickness W of the axially orthogonal portion 133 in the axial direction x is substantially the same on the side facing the detection area and on the opposite side, and the thickness W is constant in the area therebetween. Therefore, the axial
  • the thickness W of the axial orthogonal portion 133 in the axial direction x is not uniform. That is, in this example, the thickness W of the axially orthogonal portion 133 in the axial direction x is small on the detection area facing surface 134b side and large on the opposite side, and the thickness W is linear in the area therebetween. is changing. Therefore, the axial orthogonal portion 133 has a tapered shape that tapers toward the detection area facing surface 134b along the orthogonal direction z when viewed from the front. That is, the axial orthogonal portion 133 has two planes that intersect with the axial direction x and are non-parallel to each other. Such a tapered axis-perpendicular portion 133 has a function of preventing slippage from the case 210 .
  • FIG. 12C is a perspective view showing a configuration of a modification of the magnetic flux conducting piece 131.
  • FIG. The axially parallel portion 134 of the magnetic flux conducting piece 131 has a surface curved along the outer circumference of the coil 120 on the surface facing the tubular coil 120 (the surface opposite to the detection area facing surface 134b).
  • 131z are formed.
  • Surface 131z may be a cylindrical surface or an elliptical cylindrical surface that matches the cylindrical shape of coil 120 .
  • the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 correct the alternating magnetic field formed in the detection region 140 in the axial direction x of the magnetic wire 110. without compromising functionality.
  • the axially perpendicular portion 133 and the axially parallel portion 134 do not need to have a strict rectangular parallelepiped shape, and may have substantially rectangular parallelepiped shapes within a range that does not impair the magnetic field correction function of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 .
  • Axis-perpendicular portion 133 and axis-parallel portion 134 are preferably configured in a substantially rectangular parallelepiped shape, but may be configured in another shape that provides the magnetic field correction function as described above.
  • FIGS. 11A and 11B are diagrams for explaining the configuration of a modification of the power generation sensor 200 according to the second embodiment.
  • the external terminal electrodes are composed of lead frames.
  • FIG. 13A is a perspective view of the lead frame type power generation sensor 200 before the case 210 is fitted.
  • the case structure is the same as the structure shown in FIGS. 11A and 11B.
  • FIG. 13B is an assembled view before the lead frames 250 and 251 are attached to the magnetic flux conducting pieces 130 and 131.
  • illustration of the magnetic wire 110 and the coil 120 is omitted in FIG. 13B.
  • the same reference numerals are given to the parts corresponding to those shown in FIGS. 11A to 11C.
  • the lead frames 250, 251 are formed to match the shape of the magnetic flux conducting pieces 130, 131. More specifically, the lead frames 250 and 251 are substantially symmetrical with respect to a plane of symmetry 115 perpendicular to the axial direction x at the axial center position 113 of the magnetic wire 110 .
  • the lead frames 250 and 251 have a side surface portion 252 orthogonal to the axial direction x along the outer surface of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131, and a top surface of the axis orthogonal portion 133 extending from one edge of the side surface portion 252 (axis parallel portion 134).
  • the magnetic flux conducting pieces 130, 131 are formed with recesses 136a, 136b, 136c for accommodating the lead frames 250, 251 therein.
  • a recessed portion 136a that accommodates the side surface portion 252 is formed in the outer surface of the axis-perpendicular portion 133
  • a recessed portion 136b that accommodates the top surface portion 253 is formed in the top surface of the axis-perpendicular portion 133
  • a bottom surface A recess 136c that accommodates the portion 254 is formed in the detection area facing surface 134b.
  • the lead frames 250, 251 are arranged so as to contact the magnetic flux conducting pieces 130, 131 on the bottom surfaces of the recesses 136a, 136b, 136c.
  • the bottom surfaces 254 of the lead frames 250 and 251 are accommodated in the recesses 136c and are flush with the detection area facing surfaces 134b of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131.
  • 1B) side has a flat surface that can be surface-mounted.
  • Holes 250a and 251a through which the magnetic wire 110 penetrates are formed in the side portions 252 of the lead frames 250 and 251, respectively.
  • Protrusions 250c, 250d, 251c, and 251d protruding inward toward the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 are formed on the top surface portion 253 and the bottom surface portion 254 of the lead frames 250 and 251, respectively.
  • These convex portions 250c, 250d, 251c, and 251d may be formed by convex punch marks, for example.
  • Grooves 130d and 131d along the axial direction x are formed at positions corresponding to the projections 250c and 251c on the top surface of the axially orthogonal portion 133. As shown in FIG.
  • the convex portions 250d and 251d are provided at positions corresponding to the grooves 130c and 131c formed in the detection area facing surface 134b. Protrusions 250c, 250d, 251c, 251d enter corresponding grooves 130d, 130c, 131d, 131c, respectively, to facilitate relative positioning between lead frames 250, 251 and magnetic flux conducting pieces 130, 131. 251 to the magnetic flux conducting pieces 130 and 131, it contributes to the improvement of mountability.
  • Projections 250b and 251b are provided on top surfaces 253 of the lead frames 250 and 251 for winding and connecting the coil terminal wires 120a. As a result, the coil terminal wires 120a are electrically connected to the lead frames 250 and 251, and the power generation sensor 200 can be surface-mounted by joining the bottom portions 254 of the lead frames 250 and 251 to a printed circuit board or the like.
  • the external terminal electrodes with the lead frames 250 and 251 that are in direct contact with the magnetic flux conducting pieces 130 and 131, the number of parts constituting the power generation sensor 200 is reduced, the structure is simple, and small size surface mounting is possible.
  • a power generation sensor 200 can be provided.
  • FIG. 14A and 14B show a first configuration example of a rotation detection device using the power generation sensor 200 according to the second embodiment, where FIG. 14A is a perspective view and FIG. 14B is a plan view.
  • This rotation detection device includes a ring magnet 440 as a magnetic field generation source and a power generation sensor 200 .
  • Ring magnet 440 is coupled to rotating shaft 441 so that rotating shaft 441 passes through its center, and rotates together with rotating shaft 441 around its axis.
  • the ring magnet 440 is a six-pole magnet having three north poles and three south poles, in which north poles and south poles are arranged alternately in the circumferential direction on a magnetic pole surface perpendicular to the rotating shaft 441 .
  • a substrate 500 is arranged so as to face the magnetic pole surface of the ring magnet 440 , and the power generation sensor 200 is arranged on the substrate 500 .
  • the power generation sensor 200 is surface-mounted on the substrate 500 , and the detection area facing surfaces 134 b of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 face the magnetic pole surfaces of the ring magnet 440 .
  • the magnetic wire 110 is positioned parallel to a tangential line 443 on the circumference 442 corresponding to the rotational trajectory of the ring magnet 440 and facing the tangent line 443 in the axial direction of the rotating shaft 441.
  • the power generation sensor 200 is arranged. That is, the power generation sensor 200 is arranged offset from the rotating shaft 441 in the radial direction of rotation, thereby forming a rotating shaft penetrating type rotation detecting device.
  • the power generation sensor 200 outputs 6 pulses per rotation of the rotating shaft 441 .
  • FIG. 15A and 15B show a second configuration example of the rotation detection device using the power generation sensor 200 according to the second embodiment, FIG. 15A being a perspective view thereof and FIG. 15B being a plan view thereof.
  • the power generation sensor 200 is mounted on the substrate 500 so that the center of the power generation sensor 200 coincides with the center of the rotating shaft 441 .
  • the 6-pole ring magnet 440 in which the S poles and the N poles are alternately arranged in the circumferential direction, has different polarities facing one and the other of the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131, so such an arrangement is possible.
  • this configuration example is not a rotating shaft penetrating type, it has the advantage of making the device itself more compact.
  • FIG. 16A and 16B show a third configuration example of the rotation detection device using the power generation sensor 200 according to the second embodiment, FIG. 16A being a perspective view thereof and FIG. 16B being a plan view thereof.
  • the power generation sensor 200 (more specifically, the magnetic wire 110) is located at a position that intersects the axis of the rotating shaft 441. center) is radially offset with respect to the axis of rotation 441 .
  • a portion of one magnetic flux conducting piece 130 faces the rotational trajectory of the pole face of ring magnet 440 of 440
  • the other magnetic flux conducting piece 131 does not face the rotational trajectory of the pole face of ring magnet 440 .
  • Such an arrangement does not substantially affect the pulse signal output from the power generation sensor 200, and a pulse signal substantially similar to that of the second configuration example can be obtained.
  • the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 correct the alternating magnetic field formed in the detection region 140 in the axial direction x of the magnetic wire 110 and apply the magnetic field correction to the magnetic wire 110. It becomes possible by having a function.
  • the power generation sensor 200 by appropriately determining the ratio of the distance L between the proximal ends 134a of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131 to the distance D between the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 at the position of the magnetic wire 110, the power generation sensor 200 The degree of freedom in the placement of is increased, and there is the advantage that the output pulse signal is not significantly affected.
  • the pair of magnetic flux conducting pieces 130 and 131 are configured symmetrically with respect to the plane of symmetry 115 set at the axial center position 113 of the magnetic wire 110. allows for differences within the range that does not affect the magnetic field correction function of the magnetic flux conducting pieces 130 and 131, and does not need to be geometrically strictly symmetrical.
  • the power generation sensor is used to detect the rotational position
  • the power generation sensor may be applied to a position detection device that detects linear motion.
  • power generation sensor 110 magnetic wire 111: first end 112: second end 113: axial center position
  • coil 130 magnetic flux conducting piece 130a: wire arrangement portion 131: magnetic flux conducting piece 131a: wire arrangement portion 133: Axis-perpendicular portion 134 : Axis-parallel portion 134 a : Proximal end 134 b : Detection region facing surface 140 : Detection region 200 :
  • Power generation sensor 240 External terminal electrode 241 : External terminal electrode 250 : Lead frame 251 : Lead frame 400 : Magnetic field source 410 : Magnet 420 : Magnet 430 : Magnet 440 : Ring magnet D : Distance L : Distance W x : Axial direction y : Width direction z : Orthogonal direction

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Abstract

発電センサは、軸方向に印加される交番磁界によって大バルクハウゼン効果を発現する磁性ワイヤと、磁性ワイヤに巻回されたコイルと、磁性ワイヤの両端部にそれぞれ磁気的に結合された一対の軟磁性体部品からなり、磁性ワイヤの軸方向の中心位置に設定される対称面に関して互いに対称な一対の磁束伝導片と、を含む。一対の磁束伝導片は、磁性ワイヤの両端部がそれぞれ固定され磁性ワイヤの両端部から軸方向に直交する方向に互いに平行に延びる一対の軸直交部と、軸直交部の先端部から軸方向に沿って互いに接近する方向に延び、近接端同士が軸方向に間隔を空けて対向する一対の軸平行部と、を備えている。近接端同士の間隔の軸方向の距離は、磁性ワイヤとの結合位置における一対の軸直交部の間の軸方向の距離の5%~50%である。発電センサは、軸平行部に対して磁性ワイヤとは反対側を検出領域とするように構成されている。

Description

発電センサ 関連出願
 この出願は、2022年2月16日提出の日本国特許出願2022-022293号に基づく優先権を主張しており、この出願の全内容はここに引用により組み込まれるものとする。
 この発明は、磁界の変化に応答して電力を発生する発電センサに関する。
 大バルクハウゼン効果(大バルクハウゼンジャンプ)を有する磁性ワイヤは、ウィーガンドワイヤまたはパルスワイヤの名で知られている。この磁性ワイヤは、芯部とその芯部を取り囲むように設けられた表皮部とを備えている。芯部および表皮部の一方は弱い磁界でも磁化方向の反転が起きるソフト(軟磁性)層であり、芯部および表皮部の他方は強い磁界を与えないと磁化方向が反転しないハード(硬磁性)層である。このような磁性ワイヤにコイルを巻回することにより、発電センサを構成することができる。
 ハード層とソフト層とがワイヤの軸方向に沿って同じ向きに磁化されているときに、その磁化方向とは反対方向の外部磁界強度が増加して或る磁界強度に達すると、ソフト層の磁化方向が反転する。この磁化方向の反転は、磁性ワイヤの或る部分を開始位置としてワイヤ全体に伝播し、ソフト層の磁化方向が一斉に反転する。このとき、大バルクハウゼン効果が発現し、磁性ワイヤに巻かれたコイルにパルス信号が誘発される。上述の外部磁界強度がさらに増加し、或る磁界強度に達すると、ハード層の磁化方向が反転する。
 この明細書では、ソフト層の磁化方向が反転するときの磁界強度を「動作磁界」といい、ハード層の磁化方向が反転するときの磁界強度を「安定化磁界」という。
 コイルから得られる出力電圧は、入力磁界(外部磁界)の変化スピードにかかわらず一定であり、入力磁界に対するヒステリシス特性を持つためチャタリングがない、などの特徴を有する。そのため、コイルから生成されるパルス信号は、位置検出装置などに使用される。コイルからの出力は電力を持つため、外部電力の供給を要しない発電型のセンサ(発電センサ)を構成できる。
 大バルクハウゼン効果が発現するためには、ハード層およびソフト層の磁化方向が一致している状態から、ソフト層のみの磁化方向が反転することが必要である。ハード層およびソフト層の磁化方向が不一致の状態で、ソフト層のみの磁化方向が反転したとしても、パルス信号は生じないか、あるいは生じたとしても非常に小さい。
 また、得られる電力を最大化するためには、磁性ワイヤ全体の磁化方向が揃っている状態から、ソフト層の磁化反転が磁性ワイヤ全体に及ぶことが重要である。磁性ワイヤの磁化方向が部分的に揃っていない場合には、非常に小さいパルス信号が得られるに過ぎない。そのため、磁性ワイヤの全体に一様な磁界がかかることが好ましい。
 発電センサおよび/または発電センサを用いた位置検出装置の技術が特許文献1~5に記載されている。
 特許文献1は、磁性ワイヤの両端に筒状の軟磁性磁石を備える磁気センサを開示している。この構成により、磁性ワイヤに発生する反磁界を抑制し、パルス信号出力を安定化できることが説明されている。しかし、磁界発生源を、磁性ワイヤの軸方向に平行な磁界を磁性ワイヤ全体に印加できる構造としなければ、磁性ワイヤの素性が有する大バルクハウゼン効果を十分に引き起こすことはできない。
 特許文献2は、磁性ワイヤの両端部に、磁性ワイヤに接し、かつ磁性ワイヤを押圧する軟磁性体を備えた発電素子を開示している。この構成により、磁性ワイヤに発生する反磁界を抑制し、パルス信号出力を安定化できることが説明されている。しかし、特許文献2に開示された軟磁性体の構造では、外部磁界を形成する磁石から漏洩する磁界を誘導および/またはシールドする効果が小さい。そのため、磁性ワイヤの軸方向と平行な磁界が磁性ワイヤの軸全体に印加されない。したがって、やはり、磁性ワイヤの素性が有する大バルクハウゼン効果を十分に引き起こすことができず、高出力は期待できない。
 特許文献3~5は、高出力を得るために、検出媒体である磁石から漏洩する磁界を磁性ワイヤの軸方向と平行な磁界が磁性ワイヤの軸全体に印加できるようにした技術を開示している。
 特許文献3は、回転軸を中心に回転する回転体に取り付けられる磁石と、発電素子とを有する回転数検出器を開示している。発電素子は、磁性ワイヤの両端部にフェライトビーズを設け、それらの間で磁性ワイヤにコイルを巻回した構造を有する。磁石は、回転方向に並べられた複数の磁極を有し、各磁極は、磁力の強さが異なる第1の領域および第2の領域を有する。磁石および発電素子は、回転軸からオフセットした領域において、回転軸と平行な方向に対向するように配置される。フェライトビーズは、磁石から磁性ワイヤに向かう磁束を引き寄せて、当該フェライトビーズを通じて磁性ワイヤへ磁束を作用させる、と説明されている。この作用を実現するためには、磁石形状および磁石と発電素子との間の間隔(エアギャップ)を注意深く設計し、回転軸の回転角度に応じて適切な強度の磁界が磁性ワイヤに印加されるようにしなければならない。そのため、発電センサの配置を決定するための設計が難しく、かつ磁石形状の設計自由度が少ない。
 特許文献4は、磁性ワイヤにコイルを巻回した磁界検出部を備える回転検出装置を開示している。ハウジングに回転可能に支持されたシャフトの外周に4つの永久磁石が固定され、永久磁石の回転軌跡円の外側に3つの磁界検出部が配置されている。3つの磁界検出部は、それらの軸方向を回転軌跡円の接線方向と平行とし、回転軌跡円の半径方向に沿って永久磁石と対向可能であるように配置されている。磁界検出部は、基板に固定され、その基板がハウジングに固定されている。基板には、さらに、第1磁性部材および第2磁性部材が固定されている。第1磁性部材は、磁界検出部から離れて配置され、磁界検出部の軸方向一方側において、永久磁石に対向する部分を覆うように配置されている。第2磁性部材は、磁界検出部から離れて配置され、磁界検出部の他方側において、永久磁石に対向する部分を覆うように配置されている。これらの磁性部材は、永久磁石により磁界検出部に付与される磁界を誘導し、所定の磁路を形成可能である、と説明されている。
 しかし、特許文献4の図1の構造においては、2つの磁性部材が磁性ワイヤの両端より離間して配置されているため、磁気的な結合が弱く誘導効率が高くない。
 特許文献4の図4の構造においては、側板部が追加され磁界検出部に対向する磁性部材の面積が増えているので、誘導効率が向上する。しかし、当該側板部は磁性ワイヤの両端から離れて配置されているため、効果は十分ではなく、永久磁石とは反対側から磁界検出部に対向する側板部も必要となる。また、特許文献4の図3A、図5で示されるように磁界が湾曲しており、磁性ワイヤの中間部で磁束が出入りするので、磁性ワイヤ全体の磁界強度は一様にならない。さらに、特許文献4の磁性部材は、永久磁石の形状および配置に合わせた形態としなければならないため、汎用性に欠ける。
 特許文献5は、感磁性ワイヤからなる感磁性部の端部を収容する細長い切欠き部を有する第1磁性体および第3磁性体によって、磁石からの磁界を誘導する構成を備えた電気信号発生ユニットを開示している。感磁性部の端部が第1磁性体および第3磁性体の切欠き部に直接設置されているため、誘導効率に奏効している。しかし、第1磁性体および第3磁性体は、磁石から漏洩して感磁性部の軸中央部に至る磁界を遮蔽できる構造ではない。そのため、第2磁性体としてのサイドヨークによって磁石をカバーしなければならない。したがって、部品点数が多く、かつ構造が大型になる。また、第1磁性体および第3磁性体の両端が内側または外側に傾斜しているが、傾斜角および長さを磁石の形状および配置に合わせて設計しなければならないため、汎用性に欠ける。また、組立調整時に感磁性部の両端部を第1磁性体および第3磁性体の切欠きに収容する必要がある。すなわち、感磁性部の両端は、組立時に、第1磁性体および第3磁性体の切欠き部で調整して配置(出来栄え基準で配置)することになる。したがって、装置の組立が煩雑であるうえに、装置性能が組立精度に依存する。
特開2006-73974号公報 国際公開第2021/200361号 特許6647478号公報 特許6407284号公報 特許6959588号公報
 このように、磁性ワイヤ全体に軸方向に平行な磁界を均一な強度で印加するには、発電センサを単に配置するだけでは足りず、発電センサと磁石との間に、検出装置全体の構成に応じて設計される様々な磁性体を配置する必要がある。具体的には、検出媒体である磁石の構造および/または配置に合わせた形状および配置の磁性部材が必要である。したがって、従来技術の構造は、総じて、汎用性に欠ける欠点がある。
 そこで、本発明の一実施形態は、汎用性を向上できる構造の発電センサを提供する。
 より具体的には、本発明の一実施形態は、異なる形状および/または極数を持つ磁界発生源(典型的には磁石)との組合せが容易であり、かつ高出力の信号を得ることができる発電センサを提供する。
 この発明の一実施形態は、軸方向に印加される交番磁界によって大バルクハウゼン効果を発現する磁性ワイヤと、前記磁性ワイヤに巻回されたコイルと、前記磁性ワイヤの両端部にそれぞれ磁気的に結合された一対の軟磁性体部品からなり、前記磁性ワイヤの前記軸方向の中心位置に設定される対称面に関して互いに対称な一対の磁束伝導片と、を含む、発電センサを提供する。前記一対の磁束伝導片は、前記磁性ワイヤの両端部がそれぞれ固定され前記磁性ワイヤの両端部から前記軸方向に直交する方向に互いに平行に延びる一対の軸直交部と、前記軸直交部の先端部から前記軸方向に沿って互いに接近する方向に延び、近接端同士が前記軸方向に間隔を空けて対向する一対の軸平行部と、を備えている。前記近接端同士の前記間隔の前記軸方向の距離は、前記磁性ワイヤとの結合位置における前記一対の軸直交部の間の前記軸方向の距離の5%~50%である。前記発電センサは、前記軸平行部に対して前記磁性ワイヤとは反対側を検出領域とするように構成されている。
 この構成によれば、検出領域の磁界は、軟磁性体部品からなる磁束伝導片によって磁性ワイヤの両端部に導かれる。そのうえ、検出領域と磁性ワイヤとの間には磁性ワイヤの軸方向に平行な軸平行部が位置しているので、検出領域から磁性ワイヤの軸方向途中位置へと向かう磁束は、軸平行部によって遮蔽される。とくに、一対の磁束伝導片の軸平行部の近接端同士の軸方向の距離が磁性ワイヤとの結合位置における軸直交部の間の距離の5%~50%であるので、優れた磁気遮蔽効果が得られる。したがって、磁性ワイヤの軸方向の広い範囲にわたってその軸方向の磁界を印加することができるので、大バルクハウゼン効果を十分に引き起こすことができ、高出力の信号を得ることができる発電センサを実現できる。
 しかも、発電センサが磁束伝導片を備えており、その磁束伝導片と磁性ワイヤとが互いに固定されて結合されているので、検出領域に検出媒体としての磁界発生源(典型的には磁石)が配置されるようにすればよい。したがって、異なる形状および/または極性を有する磁界発生源との組合せが容易であり、このような組合せを利用する装置(たとえば位置検出装置)の設計が容易になる。
 一つの実施形態では、前記一対の磁束伝導片は、前記検出領域に配置される磁界発生源が当該一対の磁束伝導片を含む空間に形成する磁界を前記軸方向の磁界に補正して前記磁性ワイヤに印加するように構成されている。この構成により、磁束伝導片が検出領域に配置される磁界発生源からの磁界を補正する磁界補正機能を有し、それにより、磁性ワイヤの両端部の間に、その軸方向の磁界を印加することができる。それにより、大バルクハウゼン効果を十分に引き出して、高出力のパルス信号を発生させることができる。
 一つの実施形態では、前記間隔の前記軸方向の距離が、前記磁性ワイヤとの結合位置における前記一対の軸直交部の間の前記軸方向の距離の20%~40%である。この構成により、磁性ワイヤが有する素性の大バルクハウゼン効果のほぼ完全に引き出すことができるので、一層高出力な発電センサを実現できる。
 一つの実施形態では、前記磁束伝導片の前記軸直交部は、前記軸方向に貫通する穴または溝が形成されたワイヤ配置部を有し、前記磁性ワイヤは前記ワイヤ配置部において前記軸直交部を貫通して、前記軸直交部に固定されている。
 この構成によれば、磁性ワイヤが軸直交部を貫通する構成とすることにより、磁束伝導片と磁性ワイヤの両端部とを確実に磁気結合することができ、かつそれらの間の固定を確実にすることができる。
 軸直交部は、たとえばコイルの径と同程度の大きさに構成することができる。この場合、磁性ワイヤと検出領域との間には軸平行部が配置されるので、磁性ワイヤの軸方向から磁束伝導片を見たときに、ワイヤ配置部は、検出領域から離れる方向にオフセットされた(偏った)位置に配置されることになる。このような構成により、発電センサを小型に構成できる利点がある。
 一つの実施形態では、前記磁性ワイヤとの結合位置における前記軸直交部の前記軸方向の厚みが、前記磁性ワイヤの全長の10%~20%である。この構成によれば、軸直交部における磁気通路が狭くなりすぎず、かつ軸直交部に起因して大バルクハウゼン効果のピックアップ効率が実質的に低下することを回避できる。それにより、高出力のパルス信号を生成可能な発電センサを実現できる。
 一つの実施形態では、前記軟磁性体部品は、保磁力が前記磁性ワイヤの保磁力以下であり、かつ透磁率が500以上の材料からなる。このような材料は、低磁気抵抗、低ヒステリシス、低自己誘電等の特性を有する。それにより、磁界発生源が高速に移動したときに生じる高周波の交番磁界が印加されたときでも、発電センサの出力特性に対する影響が少ない。具体的には、前記軟磁性体部品は、Ni系フェライトまたはMn系フェライトの材料からなることが好ましい。
 一つの実施形態では、前記発電センサは、前記検出領域に臨むように前記磁束伝導片の前記軸平行部に設けられた面実装用の外部端子電極をさらに含む。この構成により、発電センサの構成部品点数を少なくすることができ、構造が簡単で小型な面実装型の発電センサを提供できる。
 本発明における上述の、またはさらに他の目的、特徴および効果は、添付図面を参照して次に述べる実施形態の説明により明らかにされる。
図1Aは、第1実施形態に係る発電センサの斜視図である。 図1Bは、図1Aの矢印101の方向に見た正面図である。 図2A、図2Bおよび図2Cは、第1比較例の発電センサ、第2比較例の発電センサおよび第1実施形態の発電センサをそれぞれ用いた回転検出装置の第1モデルを示す。 図3A、図3Bおよび図3Cは、図2A、図2Bおよび図2Cにそれぞれ示す配置での2次元磁気シミュレーションの結果を示す図解的な断面図である。 図4A、図4Bおよび図4Cは、図2A、図2Bおよび図2Cにそれぞれ示す配置(第1モデル)での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。 図5Aおよび図5Bは、第2比較例の発電センサおよび第1実施形態の発電センサをそれぞれ用いた回転検出装置の第2モデルを示す。 図6Aおよび図6Bは、図5Aに示す配置(第2比較例の発電センサを用いた第2モデル)での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。図6Cは、図5Bに示す配置(第1実施形態の発電センサを用いた第2モデル)での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。 図7Aおよび図7Bは、第1実施形態の発電センサを用いた回転検出装置の第3モデルを示す。 図8は、図7Bに示す配置での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。 図9は、第1実施形態の発電センサを用いた第1モデル(図2C参照)および第3モデル(図7B参照)の構造について、一対の磁束伝導片の間の磁性ワイヤの位置での距離に対する近接端の間の距離の比率と、コイルから出力されるパルス信号の波高との関係を調べた結果を示す。 図10は、第1実施形態の変形例を示す。 図11Aは、第2実施形態に係る発電センサの斜視図である。 図11Bは、第2実施形態に係る発電センサの一部分解斜視図である。 図11Cは、第2実施形態に係る発電センサの側面図である。 図12Aおよび図12Bは磁束伝導片の構成例を示す正面図である。図12Cは、磁束伝導片の変形例の構成を示す斜視図である。 図13Aは、第2実施形態に係る発電センサの変形例の構成を示す斜視図である。 図13Bは、第2実施形態に係る発電センサの変形例の構成を示す分解斜視図である。 図14Aおよび図14Bは、それぞれ、第2実施形態に係る発電センサを用いた回転検出装置の第1の構成例を示す斜視図および平面図である。 図15Aおよび図15Bは、それぞれ、第2実施形態に係る発電センサを用いた回転検出装置の第2の構成例を示す斜視図および平面図である。 図16Aおよび図16Bは、それぞれ、第2実施形態に係る発電センサを用いた回転検出装置の第3の構成例を示す斜視図および平面図である。
 以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。ただし、本発明は、以下に説明する実施の形態によって限定されるものではない。
 [第1実施形態]
 図1Aおよび図1Bに、第1実施形態に基づく発電センサ100を示す。図1Aは発電センサ100の斜視図であり、図1Bは図1Aの矢印101の方向に見た正面図である。
 発電センサ100は、大バルクハウゼン効果を発現する磁性ワイヤ110と、磁性ワイヤ110に巻回されたコイル120と、軟磁性体部品からなる一対の磁束伝導片130,131とを含む。コイル120は、磁性ワイヤ110の第1端部111と第2端部112とを同じ長さで露出するように、磁性ワイヤ110に巻回されている。この実施形態では、コイル120は、一対の磁束伝導片130,131の間で磁性ワイヤ110に巻回されている。一対の磁束伝導片130,131は、磁性ワイヤ110の第1端部111および第2端部112にそれぞれ磁気的に結合している。
 一対の磁束伝導片130,131は、実質的に同形同大の構成を有している。より具体的には、一対の磁束伝導片130,131は、磁性ワイヤ110の軸方向x(長さ方向、線長方向)の中心位置(以下「軸中心位置」という。)113において軸方向xに直交する対称面115(幾何学的配置を説明するための仮想的な平面)に対して互いに対称に構成されている。一対の磁束伝導片130,131は、磁性ワイヤ110の両端部111,112から軸方向xに直交する直交方向zに互いに平行に延びる軸直交部133と、軸直交部133の先端部から軸方向xに沿って互いに接近する方向に延びる軸平行部134とを備えている。
 一対の磁束伝導片130,131の軸直交部133の基端部に、磁性ワイヤ110の両端部111,112がそれぞれ固定されている。より具体的には、軸直交部133の基端部には、軸方向xに貫通する穴または溝が形成されたワイヤ配置部130a,131aが設けられている。図1A等には、ワイヤ配置部130a,131aを穴で構成した例を示す。ワイヤ配置部130a,131aを溝で構成する場合には、当該溝は、後述する検出領域140とは反対側の端面に開放するように直交方向zに沿って延びる溝であることが好ましい。磁性ワイヤ110の第1端部111および第2端部112は、ワイヤ配置部130a,131aにおいて軸直交部133を貫通した状態で、当該軸直交部133に固定されている。さらに具体的には、ワイヤ配置部130a,131aを構成する穴または溝内に樹脂(図示省略)が配置されることにより、磁性ワイヤ110の端部111,112が軸直交部133に固定され、それらが互いに結合されている。これにより、磁性ワイヤ110と一対の磁束伝導片130,131とが、互いに機械的に結合され、かつ互いに磁気的に結合されている。
 一対の磁束伝導片130,131の軸平行部134は、それらの近接端134a同士が、磁性ワイヤ110の軸中心位置113を通る対称面115を挟んで互いに対向している。すなわち、それらの近接端134aは、軸方向xに間隔を空けて互いに対向している。この間隔の軸方向xの中間位置は、軸中心位置113の軸方向xの位置に相当しており、したがって、一対の軸平行部134の近接端134aから対称面115までの軸方向xの距離は等しい。当該間隔の軸方向xの距離Lは、磁性ワイヤ110と軸直交部133との結合位置における一対の軸直交部133の間の距離Dの5%~50%とされ、より好ましくは、20%~40%とされる。距離Dは、より具体的には、磁性ワイヤ110との結合位置において軸方向xに対向する一対の磁束伝導片130,131の内側面130b,131b(軸直交部133の内側面)の間の軸方向xの距離である。
 この発電センサ100は、軸平行部134に対して磁性ワイヤ110とは反対側の領域を検出領域140とするように構成されている。この検出領域140に、検出すべき磁界を発生する磁界発生源400が配置される。典型的には、磁界発生源400は、検出領域140を通過するように、発電センサ100に対して相対的に移動する。すなわち、磁界発生源400の移動経路上に検出領域140が配置される。一対の磁束伝導片130,131は、検出領域140に配置された磁界発生源400が当該磁束伝導片130,131を含む空間に形成する磁界を軸方向xの磁界に補正して磁性ワイヤ110に印加するように構成されている。
 さらに具体的に説明すると、軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131は、略直方体形状の軸直交部133と、軸直交部133の磁界発生源400に対向する側、すなわち検出領域140側の端部である先端部に連設された略直方体形状の軸平行部134とを有し、軸直交部133と軸平行部134との結合部で直角に曲がったL字形状を有している。軸平行部134は、磁性ワイヤ110を覆うように、すなわち、磁性ワイヤ110と検出領域140との間を遮蔽するように、軸方向xに沿って延びている。互いに対称な形状を有する一対の磁束伝導片130,131の軸平行部134は、磁性ワイヤ110の軸中央側に延びており、それらの近接端134aは、磁性ワイヤ110の軸中心位置113の付近で間隔を空けて互いに対向している。近接端134aは、軸方向xに直交する平面をなしており、2つの近接端134aをそれぞれ形成する2つの平面は互いに平行であり、それらが軸方向xに対峙している。2つの近接端134aの間の間隔の方向xの距離Lは、2つの近接端134aを形成する2つの平面の間の距離である。
 軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131とコイル120とは、それらを覆うケース(図示省略)に接着樹脂、嵌合、その他の適切な固定手段によって固定される。前述のとおり、磁性ワイヤ110の両端部111,112は、2つの貫通する穴または溝からなるワイヤ配置部130a,131aに樹脂(図示省略)によって固定されている。したがって、一対の磁束伝導片130,131、コイル120および磁性ワイヤ110が互いに固定されて一体化された構造によって発電センサ100が構成されている。
 [第1モデル]
 図2A、図2Bおよび図2Cは、第1比較例の発電センサ280、第2比較例の発電センサ300および前記第1実施形態の発電センサ100をそれぞれ用いた回転検出装置の第1モデルを示す。回転検出装置は、回転軸線411まわりに回転する磁石410と、回転軸線411に軸中心位置113を整合させて回転軸線411に直交するように軸方向xを設定して配置した発電センサ280,300,100とを含む。ただし、各図において、発電センサ280,300,100のコイル120(図1Aおよび図1B参照)の図示は省略してある。磁性ワイヤ110は、磁石410から、回転軸線411と平行な方向に間隔を空けて配置されている。
 磁石410は、磁界発生源400の一例である。この例では、磁石410は、磁性ワイヤ110の全長よりも径の小さいリング形状の2極磁石であり、磁性ワイヤ110の軸方向xに平行な磁界が磁性ワイヤ110の全体に印加されにくい形態を有している。磁石410は、回転軸線411を中心とするリング状の回転体であり、円周方向に沿う半分の領域がN極領域、残り半分の領域がS極領域である。
 図2A、図2Bおよび図2Cには、磁性ワイヤ110の軸方向xに安定化磁界が印加されるように、回転軸線411に沿って見る平面視において、NS極の磁極境界線410aが磁性ワイヤ110の軸方向xと垂直になるように配置した状態を示す。
 図2Aに示す第1比較例の発電センサ280は、第1実施形態(図2C参照)と比較すると、軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131を備えていない。図2Bに示す第2比較例の発電センサ300は、第1実施形態(図2C参照)と比較すると、磁性ワイヤ110の両端部に軟磁性体部品330,331を備えているものの、それらの構成は第1実施形態における磁束伝導片130,131とは異なる。具体的には、軟磁性体部品330,331は、中央に磁性ワイヤ110を通す貫通穴を持つ筒状に構成されており、磁石410に対向する側にL字形状に曲がった部位を持たない。すなわち、軟磁性体部品330,331は、磁性ワイヤ110と磁石410との間を磁気的に遮蔽できる構造になっていない。端的には、第2比較例の発電センサ300は、特許文献1の図6に表れている構造に匹敵する。一対の軟磁性体部品330,331の軸方向xの距離Lは、いずれの位置においても、磁性ワイヤ110との結合位置における両者間の距離Dに等しく、この距離Dの100%である。
 図2Cに示す第1実施形態の発電センサ100においては、軸平行部134の近接端134aの間の軸方向xの距離Lを、一例として、軸直交部133の間の距離Dの3分の1、すなわち、33%としてある。
 図3A、図3Bおよび図3Cは、図2A、図2Bおよび図2Cにそれぞれ示す配置での2次元磁気シミュレーションの結果を示す図解的な断面図である。具体的には、図2A、図2Bおよび図2Cの配置において、磁性ワイヤ110の軸線を通る鉛直断面での2次元磁気シミュレーションの結果を示す。
 磁性ワイヤ110の磁束分布が全軸長範囲で一様になるためには、磁束が、磁性ワイヤ110の一端から入り、もう一端に抜けていくのが望ましい。
 図3Aに示す第1比較例の磁気シミュレーション結果では、磁界発生源(磁石410)が生成する磁束の多くは、磁性ワイヤ110の軸方向途中位置から入り、軸方向途中位置で抜けて出る。そのため、磁性ワイヤ110の中央領域の磁束密度が両端領域よりも高くなる。
 図3Bに示す第2比較例の磁気シミュレーション結果から、円筒状の軟磁性体部品330に磁界発生源(磁石410)の磁束が誘引され、第1比較例よりも、磁性ワイヤ110の一端から、もう一端に抜けて出る磁束が増加していることが分かる。しかしながら、依然として磁性ワイヤ110の中央部に入り、軸方向途中位置で抜けて出る磁束が存在する。
 図3Cに示す第1実施形態の磁気シミュレーション結果から、L字形状の軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131に磁界発生源(磁石410)の磁束の大部分が誘引されていることが分かる。ごく一部が中央部の間隔(距離L)を経由して漏洩するが、ほとんどの磁束は磁性ワイヤ110の一端から他端に至る経路を通る。磁界発生源(磁石410)から磁性ワイヤ110の中央部に向かう磁束は、軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131、とくにその軸平行部134によってシールドされ、磁性ワイヤ110にその軸方向途中位置から入る磁束はない。より具体的には、磁界発生源(磁石410)からの磁束は、一方の磁束伝導片130の軸平行部134の検出領域対向面134bから入り、磁束伝導片130内を伝導されて磁性ワイヤ110の第1端部111に至る。また、磁性ワイヤ110の第2端部112からの磁束は、他方の磁束伝導片131を伝導されてその軸平行部134に至り、その検出領域対向面134bから磁界発生源(磁石410)に至っている。よって、磁性ワイヤ110の全長にわたって一様な磁束分布となる。すなわち、磁性ワイヤ110の全長に渡って、その軸方向xに平行で、かつ一様な強度の磁界を形成できる。なお、検出領域対向面134bは、検出領域140に対向する表面であり、軸方向xに平行な面である。
 このように、第1実施形態の発電センサ100においては、磁束伝導片130,131の働きによって、検出領域140に配置される磁界発生源(磁石410)が発生する磁界が、磁性ワイヤ110の軸方向xに補正されて、磁性ワイヤ110に印加される。
 図4A、図4Bおよび図4Cは、図2A、図2Bおよび図2Cにそれぞれ示す配置(第1モデル)での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。これらの図を用いて、磁界発生源の磁石410が回転軸線411まわりに回転したときでも、磁性ワイヤ110の軸方向xに印加磁界が補正される機能を説明する。
 図4A、図4Bおよび図4Cは、磁石410を回転軸線411まわりに回転させ、磁石410の複数の回転角度において磁性ワイヤ110に印加される磁界をグラフで表したものである。横軸のワイヤ位置は、磁性ワイヤ110の軸方向xの各部の位置を表す。具体的には、図2Bおよび図2Cの配置の場合における2つの磁束伝導片130,131の軸直交部133の軸方向xに対峙する2つの内側面130b,131b(図1B参照)の間の区間を10等分し、その区間の一端を「0」と表し、他端を「10」と表してある。図2Aの配置の場合にも、対応するワイヤ位置を「0」~「10」で表してある。また、磁石410の回転角度は、図2A~図2Cの配置を0度とし、それらの配置の平面視において、磁石410の磁極境界線410aが磁性ワイヤ110と平行になるときの回転角度を90度としてある。なお、図2Aの第1比較例、図2Bの第2比較例、および図2Cの第1実施形態における磁性ワイヤ110の全長は等しく、したがって、図4A、図4Bおよび図4Cに示すワイヤ位置は対応する位置を示す。縦軸は磁界強度を表す。
 図4A、図4Bおよび図4Cには、第一象限の回転角度範囲、すなわち、0度から90度の範囲の磁気シミュレーション結果を示してある。この第一象限の回転角度範囲にて、ハード層およびソフト層の磁化方向が一致する準備状態(プラス信号の出力前のセット状態)にできる安定化磁界と、ソフト層を反転させてハード層およびソフト層の磁化方向を反対にできる(マイナス信号が出力される)動作磁界とが確認できる。磁界強度は安定化磁界が|±1|以上となるように規格化した。動作磁界は約±0.5となる。つまり、図4A、図4Bおよび図4Cにおいて、-1.0以下(絶対値が1以上)の磁界強度(安定化磁界)となるワイヤ位置では、ハード層およびソフト層の両方の磁化方向を反転させることができる。また、図4A、図4Bおよび図4Cにおいて、-0.5以下(絶対値が0.5以上)の磁界強度(動作磁界)となるワイヤ位置では、ソフト層の磁化方向を反転させることができる。-0.5以下-1.0超(絶対値が0.5以上1.0未満)の磁界強度となるワイヤ位置では、ソフト層の磁化方向を反転させることができるが、ハード層の磁化方向は反転させることができない。
 図4Aに示す第1比較例を用いたモデルの3次元磁気シミュレーション結果では、いずれかのワイヤ位置で安定化磁界(絶対値が1以上)が印加される回転角度では、磁性ワイヤ110の両端付近と中央部とで磁界強度が大きく異なっており、このことは、磁性ワイヤ110の両端付近の磁界方向が磁性ワイヤ110の軸方向xに沿っていないことを示す。磁性ワイヤ110の両端付近、具体的には0~2および8~10のワイヤ位置では安定化磁界が印加されない。すなわち、約40%の領域で安定化磁界が印加されず、この領域でハード層とソフト層との磁化方向が不一致となり、一致領域は残りの60%である。そのため、その後に動作磁界が印加されたときには、一致領域60%におけるソフト層の反転が出力に寄与するに過ぎないので、パルス信号は非常に小さくなる。
 図4Bに示す第2比較例の発電センサ300を用いたモデルに対する3次元磁気シミュレーション結果では、ワイヤ位置に対する磁界強度の差は第1比較例の場合よりも小さくなる。いずれかのワイヤ位置で安定化磁界(絶対値が1以上)が印加される回転角度では、ハード層とソフト層との磁化方向の不一致領域が約20%(0~1および9~10のワイヤ位置)、一致領域が残りの80%であり、第1比較例1よりは改善はされる。しかし、その後に動作磁界が印加されたときには、一致領域80%でのソフト層の反転が出力に寄与するに過ぎないので、磁性ワイヤ110が持つ素性を完全に引き出すことができず、パルス信号は小さい。
 図4Cに示す第1実施形態の発電センサ100を用いたモデルに対する3次元磁気シミュレーション結果では、全ての回転角度で、磁性ワイヤ110の両端付近と中央部とで磁界強度の実質的な差がない。このことは、磁性ワイヤ110に印加される磁界が、いずれの回転角度においても、磁性ワイヤ110の全長に渡って、その軸方向xに平行であることを示す。換言すれば、磁石410が発生する磁界が、磁性ワイヤ110の軸方向xに平行な磁界に補正されて磁性ワイヤ110に印加されていることを示す。
 この第1モデルの構造においては、比較的小さな磁界発生源(磁石410)は、発電センサ100が配置される空間領域に、磁性ワイヤ110の軸方向xに平行な交番磁界を形成することができない。それにもかかわらず、第1実施形態の発電センサ100によれば、磁界発生源(磁石410)の運動によって生成される交番磁界が、磁性ワイヤ110の軸方向xに平行な磁界に補正されて磁性ワイヤ110に印加される。それにより、安定化磁界を磁性ワイヤ110の全長に渡って印加できるので、ハード層とソフト層との磁化方向の不一致領域がなくなる。したがって、磁性ワイヤ110が持つ素性を完全に引き出すことが可能となり、安定した高出力のパルス信号を出力できる。
 [第2モデル]
 図5Aおよび図5Bは、第2比較例の発電センサ300および前記第1実施形態の発電センサ100をそれぞれ用いた回転検出装置の第2モデルを示す。回転検出装置は、回転軸線411まわりに回転する磁石410と、回転軸線411からその直交方向に軸中心位置113をオフセットさせて配置した発電センサ300,100とを含む。発電センサ300,100は、回転軸線411を中心軸とする仮想的な円の接線に沿うように磁性ワイヤ110の軸方向xを設定して配置されている。ただし、各図において、発電センサ300,100のコイル120(図1Aおよび図1B参照)の図示は省略してある。磁性ワイヤ110は、磁石410から、回転軸線411と平行な方向に間隔gを空けて配置され、磁石410に対向している。検出媒体である磁石410は、磁界発生源400の一例であり、第1モデルと同様のリング形状の2極磁石である。
 図6Aおよび図6Bは、図5Aに示す配置(第2比較例の発電センサ300を用いた第2モデル)での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。また、図6Cは、図5Bに示す配置(第1実施形態の発電センサ100を用いた第2モデル)での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。図6A~6Cは、図4A~4Cと同様、磁石410を回転軸線411まわりに回転させ、磁石410の複数の回転角度において磁性ワイヤ110に印加される磁界をグラフで表したものである。横軸のワイヤ位置および縦軸の磁界強度は、図4A~4Cの場合と同様であるので説明を省略する。
 図6Aは、発電センサ300のエアギャップg(磁石面と磁性ワイヤ110との距離)を図2B(対応する磁気シミュレーション結果は図4Bを参照)と同じにしたときの磁気シミュレーション結果である。図6Aによると、全ての回転角度で、磁性ワイヤ110の全領域に渡り、磁界強度がほぼ均一になっている。しかし、いずれの回転角度でも、磁界強度の絶対値が1未満であるので、安定化磁界を磁性ワイヤ110に印加することができない。
 図6Bは、図5Aのモデルにおいて、磁性ワイヤ110に安定化磁界が印加される位置まで第2比較例の発電センサ300のエアギャップgを狭くした(磁石410に接近させた)場合の磁気シミュレーション結果である。図6Bによると、回転角度が0度のときに、2~8のワイヤ位置において安定化磁界(磁界強度の絶対値が1以上)を磁性ワイヤ110に印加できる。したがって、磁性ワイヤ110の全軸長範囲の約60%(ワイヤ位置の2~8)において、ハード層とソフト層との磁化方向が一致する。これをプラス信号出力前のセット状態(準備状態)として、その状態からソフト層が反転する動作磁界(磁界強度+0.5以上)が、第一象限内の回転角度である約60度において、ワイヤ位置「8」に印加されることが分かる。しかし、この回転角度(約60度)では、たとえばワイヤ位置0~6の区間には、その動作磁界を妨げる方向の磁界(負の磁界強度)が印加される。よってソフト層の反転は、高々20%程度(ワイヤ位置で6~8の範囲)で生じるに過ぎない。
 第一象限の回転角度範囲内におけるこのような現象は、磁石410の回転軌跡に対向する位置に生じる交番磁界が、磁性ワイヤ110の軸方向xの磁界成分と干渉する不所望な高調波成分を含むことに起因していると思われる。
 図6Cに示す第1実施形態の発電センサ100を用いたモデルの3次元磁気シミュレーション結果では、全ての回転角度で、磁性ワイヤ110の両端付近と中央部とで磁界強度の実質的な差がない。このことは、磁性ワイヤ110に印加される磁界が、いずれの回転角度においても、磁性ワイヤ110の全長に渡って、その軸方向xに平行であることを示す。換言すれば、磁石410が発生する磁界が、磁性ワイヤ110の軸方向xに平行な磁界に補正されて磁性ワイヤ110に印加されていることを示す。
 この第2モデルの構造においては、磁界発生源(磁石410)の運動によって不所望な高調波成分が重畳した交番磁界が生成される空間領域に発電センサ300,100が配置されている。それにもかかわらず、第1実施形態の発電センサ100によれば、磁界発生源(磁石410)の運動による交番磁界が磁性ワイヤ110の軸方向xに補正されて磁性ワイヤ110の全長に渡って印加される。それにより、ハード層とソフト層とで磁化方向の異なる不一致領域が実質的になくなる。したがって、磁性ワイヤ110が持つ素性を完全に引き出すことが可能となり、安定した高出力のパルス信号を出力できる。
 この第2モデルにより、発電センサ100を回転軸線411からオフセットすることにより、軸貫通型の装置を構成できる利点が生まれる。
 特許文献3は、異なる磁界強度の領域を有する磁石を利用し、磁性ワイヤの軸方向xと平行でない磁界の強度を抑制する技術を提供している。この技術は、特許文献3の図3または図5で示されているように磁界強度の改善に寄与するが、そのためには、検出媒体である磁石の改良を必要とする。これに対して、第1実施形態の発電センサ100は、磁石の改良を必ずしも必要しておらず、特許文献3の構成における課題を解決できる。
 [第3モデル]
 図7Aおよび図7Bは、第1実施形態の発電センサ100を用いた回転検出装置の第3モデルを示す。前述の図5Bに示す第2モデルは、2極磁石410を磁界発生源として使用し、第1実施形態の発電センサ100を磁石410の回転軸線411からオフセットして配置している。これに対して、図7Aおよび図7Bに示す第3モデルは、磁界発生源を多極にした回転検出装置である。以下では、磁界発生源の多極磁石が回転したときに磁性ワイヤ110に印加される磁界強度を表す磁気シミュレーション結果を踏まえ、多極磁石による回転の検出が可能であることを説明する。
 磁界発生源は、発電センサ100の検出領域140を通る4つの磁極、すなわち、2つのN極および2つのS極を構成する磁石である。具体的には、図7Aの構成では、発電センサ100に対向する表面にN極領域とS極領域とを周方向に交互に配置した4つの磁極領域を有するリング形状の磁石420で磁界発生源が構成されている。リング形状の磁石420は、その中心軸線と整合する回転軸線421まわりに回転し、それによって、発電センサ100の検出領域140に交番磁界を形成する。図7Bの構成では、磁界発生源は、4個の個別の磁石430で構成されている。4個の磁石430は、回転軸線431を中心とする円周に沿って配置されており、たとえば、その円周の周方向に等間隔で配置された同形同大の永久磁石である。4個の磁石430は、回転軸線431まわりの相対位置を保持しながら、回転軸線431のまわりを回転する。各磁石430は、着磁方向を回転軸線431と平行に設定して配置されている。4個の磁石430は、発電センサ100に対向する側にN極およびS極が回転方向に沿って交互に並ぶように配置されている。したがって、4個の磁石430が回転軸線431まわりに周回するとき、発電センサ100にN極およびS極が交互に対向し、それによって、発電センサ100の検出領域140に交番磁界が形成される。
 図7Aに示すリング形状の磁石420においては、1つの磁極領域の周方向の長さ(α)は、N極領域の周方向中心からS極領域の周方向中心までの長さである磁極ピッチλと等しい。図7Bに示す個別の磁石においては、1つの磁極の周方向の長さ(α)は、隣り合う磁石の周方向中心位置間の周方向の距離である磁極ピッチλより短い。
 発電センサ100は、磁石420,430の回転軸線421,431から磁性ワイヤ110を回転半径方向にオフセットさせて配置されている。すなわち、磁性ワイヤ110は、磁石420,430の回転軌跡に対して回転軸線421,431に平行な方向(直交方向z)に沿って対向する位置までオフセットされている。発電センサ100は、回転軸線421,431を中心軸とする仮想的な円の接線に沿うように磁性ワイヤ110の軸方向xを設定し、検出領域140(図1B参照)を磁石420,430の側に設定して配置されている。図7Aおよび図7Bのいずれの構成においても、磁極ピッチλは、磁束伝導片130,131の軸直交部133の間の距離D以下に設定されている。
 図8は、図7Bに示す配置での3次元磁気シミュレーションの結果を示す。図8は、4つの磁石430を回転軸線431まわりに回転させ、複数の回転角度において磁性ワイヤ110に印加される磁界をグラフで表したものである。横軸のワイヤ位置および縦軸の磁界強度は、図4A~4Cの場合と同様であるので説明を省略する。回転角度は、図7Bに示す状態を0度とし、磁極ピッチλだけ回転した状態を90度とした。
 図8から、全ての回転角度において、磁性ワイヤ110の両端付近と中央部とで磁界強度の実質的な差がないことが分かる。このことは、磁性ワイヤ110に印加される磁界が、いずれの回転角度においても、磁性ワイヤ110の全長に渡って、その軸方向xに平行であることを示す。換言すれば、磁石430が発生する磁界が、磁性ワイヤ110の軸方向xに平行な磁界に補正されて磁性ワイヤ110に印加されていることを示す。
 また、図8から、回転角度が0度から90度まで変化する回転運動の間に、マイナス側の安定化磁界(-1以下(絶対値1以上)の強度の磁界)と、プラス側の安定化磁界(+1以上の強度の磁界)と、マイナス側の動作磁界(-0.5以下(絶対値0.5以上)の強度の磁界)と、プラス側の動作磁界(+0.5以上の強度の磁界)と、が印加されることが分かる。換言すれば、回転角度が0度から90度まで変化する回転運動の間に、プラス信号の出力の前にハード層およびソフト層の磁化方向が一致するセット状態(準備状態)と、そのセット状態から動作磁界が印加されてソフト層のみが反転してプラス信号が出力される状態と、マイナス信号の出力の前にハード層およびソフト層の磁化方向が一致するセット状態(準備状態)と、そのセット状態から動作磁界が印加されてソフト層のみが反転してマイナス信号が出力される状態とが達成される。したがって、4個の磁石430が回転軸線431まわりを1回転(360度回転)する間に、プラス信号が2パルス、マイナス信号が2パルス出力され、合計で4パルスの信号が出力されることが分かる。図示は省略するが、図7Aに示す配置での3次元磁気シミュレーションの結果も図8と実質的に同様であった。
 このように、第2モデルよりも磁極ピッチが短くなる、多極構成の磁石420,430を磁界発生源とする第3モデルにおいても、その運動によって検出領域140に形成される交番磁界が、磁性ワイヤ110の軸方向xの磁界に補正される機能を実現される。
 第3モデルのように、軸貫通型で、1回転内で複数のパルス信号を出力できるように回転検出装置を構成する場合でも、第1実施形態の発電センサ100を用いることにより、構成が簡単になる。すなわち、特許文献4,5のように、回転検出装置の構成に応じた形状および配置の磁性体を特別に設計して準備することを要しない。
 次に、磁性ワイヤ110の位置で2つの磁束伝導片130,131の軸方向xの距離Dと、磁性ワイヤ110から検出領域140側にオフセットされた位置で2つの磁束伝導片130,131が対峙する間隔(距離L)との関係について説明する。距離Dは、具体的には、一対の軸直交部133の対向する内側面130b,131bの間の軸方向xの距離である。距離Lは、具体的には、一対の軸平行部134の近接端134a同士の軸方向xの距離である。磁束伝導片130,131が磁性ワイヤ110の軸中心位置113を通る対称面115に関して互いに対称な形状を有しているので、検出領域140(図1B参照)から見たときに、一対の近接端134aは、軸中心位置113を挟んで対向している。
 以下では、軸直交部133の間の距離Dに対する軸平行部134の近接端134a同士の間隔Lの比率についての実験結果について説明する。
 第1実施形態の発電センサ100を用いた第1モデル(図2C参照)および第3モデル(図7B参照)の構造について、磁性ワイヤ110の位置での磁束伝導片130,131間の距離Dに対する近接端134aの間の距離Lの比率と、コイル120から出力されるパルス信号の波高との関係を確認した。その結果を図9に示す。図9の横軸は距離(D)対する距離Lの比率(%)を表し、同図の縦軸は出力波高を表す。出力波高は、の最大値を1とし規格化して表してある。パルスの信号の波高は、磁石410,430を正転方向に回転させたときに出力される正負2パルスの波高の絶対値と、それらを反転方向に回転させたときに出力される正負2パルスの波高の絶対値との平均値である。
 図9より、磁性ワイヤ110の素性が有する大バルクハウゼン効果の100%を引き起こすことが可能となるのは、第1モデルでは、約15%から50%の比率であり、第3モデルでは、約20%から45%の比率であることが分かる。
 第1モデルおよび第3モデルのいずれにおいても、約5%の比率では、磁性ワイヤ110の素性から大バルクハウゼン効果が数%低下している。これは、軸平行部134の近接端134a同士の間隔が狭い(距離Lが小さい)ために、この狭い間隔を通って形成される磁気通路による影響であると推測される。
 第1モデルおよび第3モデルのいずれにおいても、約50%以上の比率になると、磁性ワイヤ110の素性よりも低い大バルクハウゼン効果となる。これは、磁石410,430と対向する軟磁性体部品の面積の減少によると推測される。すなわち、磁束伝導片130,131の軸平行部134が磁性ワイヤ110を磁石410,430から覆う面積が少なく、それにより、前述したシールド効果が減少することが影響していると推測される。
 第1モデルにおける比率100%のときの出力波高0.85は、ハード層とソフト層との磁化方向の一致領域が80%となる図4B(図2Bの構成に対応)の3次元磁気シミュレーション結果よりも若干高い出力に相当する。第3モデルにおける比率100%の出力波高0.35は、磁極ピッチは異なるが、ハード層とソフト層との磁化方向の一致領域が20%となる図6B(図5Aの構成に対応)の3次元磁気シミュレーション結果よりも若干高い出力に相当する。したがって、磁界発生源に対向する面(検出領域対向面134b)は、筒状の湾曲面(図2Bおよび図5Aの比較例の構成参照)よりも平面(第1実施形態の発電センサ100の構成を参照)の方が良いことが分かる。
 5%~50%の範囲の比率とすれば、磁性ワイヤ110の素性の90%以上の大バルクハウゼン効果を引き起こすことが可能となる。さらに20%~40%の範囲の比率とすれば、磁性ワイヤ110の素性が有する大バルクハウゼン効果の100%を引き起こすことが可能となる。
 以上のように、軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131は、磁界発生源が検出領域140に形成する交番磁界を、磁性ワイヤ110の軸方向xに補正して当該磁性ワイヤ110に印加する機能を有する。それにより、磁性ワイヤに110巻回されたコイル120に誘発される信号が高出力になる。このような磁界補正機能を有する磁束伝導片130,131を一体的に備えた発電センサ100は、多様な検出媒体に対応することができる。
 また、一対の磁束伝導片130,131の磁性ワイヤ110の位置における距離Dに対して、磁性ワイヤ110から検出領域140側にオフセットされた位置で対向する近接端134a同士の距離Lの比率を前述の範囲に定めることによって、磁束伝導片130,131は前述のような優れた磁界補正機能を発揮する。磁性ワイヤ110の軸長が異なる場合であっても、比率の範囲を守るように設計すれば足りるので、磁束伝導片130,131の形状設計は容易である。
 図1Aおよび図1Bに示すように、磁性ワイヤ110の第1端部111および第2端部112は、軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131より露出している。ただし、第1端部111および第2端部112は、磁束伝導片130,131から露出しなくてもよい。また、露出する場合に、第1端部111および第2端部112は、磁束伝導片130,131から軸方向xに突出していてもよく、突出していなくてもよい。突出する場合の突出長は限定されない。軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131に軸方向xに貫通して形成されるワイヤ配置部130a,131aを構成する穴の径または溝の幅は、使用する磁性ワイヤ110に応力がかからないように、磁性ワイヤ110が滑る(摺接する)程度の穴径または溝幅以上が好ましい。具体的には、磁性ワイヤ110の径の数%以内の大きめの径または幅に定めればよい。
 ワイヤ配置部130a,131aは、軸方向xに磁束伝導片130,131を見たときに、磁界発生源に対向しない側、すなわち、検出領域140から離れる方向にオフセットした位置に配置されることが好ましい。すなわち、図1Aに示すように、磁性ワイヤ110から軸直交部133の一端(検出領域140とは反対の端)までの距離hと、磁性ワイヤ110から磁束伝導片130,131の検出領域対向面134bまでの距離Hとが、h<Hの関係となることが好ましい。より好ましくは、距離hをコイル120の半径とほぼ等しくすることにより、磁束伝導片130,131の直交方向zの長さh+Hが短くなり、発電センサ100の直交方向zの大きさを小さくできる。また、磁束伝導片130,131を軸方向xに見たときの磁束伝導片130,131の幅tをコイル120の直径とほぼ等しくすれば、発電センサ100の幅方向yの大きさを小さくできる。こうして、発電センサ100を小型にすることができる。
 磁束伝導片130,131を構成する軟磁性体部品は、保磁力が磁性ワイヤ110の保磁力以下であり、かつ高透磁率(たとえば500以上)の磁性体で構成することが好ましく、具体的には、Ni系フェライトまたはMn系フェライトを含む材質が好ましい。これらの材質は、低ヒステリシス、低自己誘電、低鉄損等の優れた特性を備えており、そのため、磁界発生源が高速移動したときに生じる高周波の交番磁界が発電センサ100に印加されたときに、出力特性に影響が出ない利点がある。
 さらに、磁束伝導片130,131を貫通して形成される穴の幅、すなわち、軸直交部133の厚さW(図1A参照)は、大きすぎると、コイル120の配置幅が狭くなるので磁性ワイヤ110の大バルクハウゼン効果をピックアップする効率が低下し、小さすぎると、磁気通路が狭くなる。そのため、実験的知見より、厚さWは、磁性ワイヤ110の全長の10%~20%が好ましい。
 [第1実施形態の変形例]
 第1実施形態の軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131はL字形状の一体品であるが、図10のように、軸直交部133および軸平行部134をそれぞれ構成する2つの直方体部分130-1,130-2;131-1,131-2を組み合わせて磁束伝導片130,131を構成してもよい。この場合、2つの直方体部分130-1,130-2;131-1,131-2は、L字形状を成すように配置して組み合わせることが好ましい。ただし、2つの直方体部分130-1,130-2;131-1,131-2は、完全なL字形状を形成する必要はなく、たとえば、軸平行部134を成す直方体部分130-2;131-2の軸方向xの中間部に軸直交部をなす直方体部分130-1;131-1の端面が突き当たる配置(T字形配置)であってもよい。各磁束伝導片130,131を構成する2つの直方体部分130-1,130-2;131-1,131-2は、同一の軟磁性体材料で構成しても、異なった軟磁性体材料を用いて構成しても良く、前述の材質の範囲で選択した材料で構成することが好ましい。
 [第2実施形態]
 第1実施形態の発電センサ100の磁束伝導片130,131は、磁界発生源に対向する(検出領域140に対向する)平坦面を有しているので、この平面を面実装エリアとすることができる。
 図11A、図11Bおよび図11Cは、それぞれ、第2実施形態に係る発電センサ200の構成を説明するための斜視図、一部分解斜視図および側面図である。第2実施形態の説明において、前述の第1実施形態の構成部分に対応する各部には、第1実施形態と同じ参照符号を用いる。
 この第2実施形態の発電センサ200においては、面実装が可能な外部端子電極240,241を軟磁性体部品からなる磁束伝導片130,131に直接設けている。
 具体的には、外部端子電極240,241が磁束伝導片130,131の磁界発生源に対向する面に設けられている。より具体的には、外部端子電極240,241は、軸平行部134の検出領域対向面134b、すなわち、軸平行部134に対して磁性ワイヤ110とは反対側の面に設けられている。外部端子電極240,241は、たとえば、メッキ層または導電ペーストと半田層とからなる。外部端子電極240,241は、この実施形態では、軸平行部134の検出領域対向面134bの全域を覆うように設けられている。ただし、外部端子電極240,241は、軸平行部134の検出領域対向面134bの一部の領域のみを覆うように設けられてもよい。
 この実施形態の発電センサ200は、さらに、磁性ワイヤ110、コイル120および磁束伝導片130,131を収容するケース210を備えている。ケース210は、磁束伝導片130,131の検出領域対向面134b側に開口した箱形に形成されており、磁束伝導片130,131の検出領域対向面134bを露出した状態で磁性ワイヤ110、コイル120および磁束伝導片130,131を収容するように構成されている。前述のように、磁性ワイヤ110は磁束伝導片130,131に固定されている。具体的には、磁性ワイヤ110の両端部111,112は、磁束伝導片130,131の軸直交部133を貫通して形成された穴または溝からなるワイヤ配置部130a,131aに樹脂によって固定されている。そして、磁束伝導片130,131およびコイル120は、たとえば接着樹脂および/または嵌合によって、ケース210に固定されている。これにより、ケース210まで含めて一体化されて完結した構成の発電センサ200が実現されている。
 図11Bはケース210を嵌める前の状態を表す一部分解斜視図であり、図11Cはケース210を取り外した状態で磁束伝導片130の側から軸方向xに見た側面図である。この実施形態では、実質的に直方体形状の軸直交部133は、軸方向xに直交しかつ検出領域対向面134bに平行な幅方向yに突出した突起130x,130y,131x,131yを幅方向yの両側に備えている。これらの突起130x,130y,131x,131yは、図示の例では、磁性ワイヤ110に対して検出領域対向面134bとは反対側に配置されている。軸直交部133において検出領域対向面134bとは反対側の端面には、幅方向yの両端の角に面取り部133a(たとえばアール面取り部)が形成されている。面取り部133aは、ケース210の挿入をスムーズにするガイド部として機能する。
 ケース210には、磁束伝導片130,131の突起130x,130y,131x,131yがそれぞれ嵌る穴220x,220y,221x,221yが対応位置に設けてある。また、ケース210に組み込むときに磁性ワイヤ110の両端部が接触しないように、ケース210に溝230,231が設けてある。溝230,231は、検出領域対向面134bと直交する方向zに延びており、この方向zから溝230,231に磁性ワイヤ110の両端部が挿入されるように、ケース210の組み付けが行われる。
 軸方向xから見た側面図である図11Cに最も良く表れているとおり、コイル120との電気的コンタクトをとるための端末線120aが通る溝130c,131cが磁束伝導片130の検出領域対向面134bに設けてある。端末線120aは、溝130c,131cにおいて、半田層によって外部端子電極240,241に結線される。たとえば、製造工程においては、端末線120aを溝130c,131cに配置した後に、検出領域対向面134bに外部端子電極240,241を形成することが好ましい。図11Bに表れているように、溝130c,131cは、軸平行部134の近接端134aにも連続していてもよい。
 図12Aおよび図12Bは磁束伝導片130を軸方向xに直交し検出領域対向面134bに平行な幅方向yから見た正面図である。図12Aは、軸直交部133の軸方向xの厚さWが一様である例を示す。すなわち、軸直交部133の軸方向xの厚さWは、検出領域対向面側とその反対側とで実質的に等しく、かつそれらの間の領域でも厚さWは一定で或る。したがって、軸直交部133は直交方向zに沿って直線的なストレート形状を有する。一方、図12Bは、軸直交部133の軸方向xの厚さWが一様でない例を示す。すなわち、この例では、軸直交部133の軸方向xの厚さWは、検出領域対向面134b側では小さく、その反対側では大きくなっており、それらの間の領域では厚さWはリニアに変化している。したがって、軸直交部133は、正面視において、直交方向zに沿って検出領域対向面134bに向かうに従って先細るテーパ形状を有している。つまり、軸直交部133は、軸方向xに交差する2つの面が非平行な平面をなしている。このようなテーパ形状の軸直交部133は、ケース210からの抜け防止機能を有する。
 図12Cは、磁束伝導片131の変形例の構成を示す斜視図である。この磁束伝導片131の軸平行部134には、筒状のコイル120に対向する面(検出領域対向面134bとは反対側の面)に、コイル120の筒状の外周に沿って湾曲した面131zが形成されている。面131zは、コイル120の筒形状に整合する円筒面または楕円筒面であってもよい。この構成により、磁束伝導片131によってコイル120の位置決めおよび/または保持が可能になるので、コイル120の保持安定性が向上する。
 上記のような突起、傾斜面または湾曲面を磁束伝導片130,131に設けても、検出領域140に形成される交番磁界を磁性ワイヤ110の軸方向xに補正する磁束伝導片130,131の機能を損なわない。換言すれば、軸直交部133および軸平行部134は、厳密な直方体形状である必要はなく、磁束伝導片130,131の磁界補正機能を損なわない範囲の実質的な直方体形状であれば足りる。軸直交部133および軸平行部134は、実質的な直方体形状に構成することが好ましいが、前述のような磁界補正機能が得られる別の形状に構成されてもよい。
 [第2実施形態の変形例]
 図13Aおよび図13Bは、第2実施形態に係る発電センサ200の変形例の構成を説明するための図である。この変形例においては、外部端子電極がリードフレームで構成されている。図13Aはケース210を嵌める前のリードフレームタイプの発電センサ200の斜視図である。ケース構造は図11Aおよび図11Bに示した構造と同じである。図13Bはリードフレーム250,251が磁束伝導片130,131に装着される前の組図である。ただし、図13Bにおいては、磁性ワイヤ110およびコイル120の図示を省略してある。図11A~図11Cに示した各部の対応部分には同一参照符号を付して示す。
 リードフレーム250,251は、磁束伝導片130,131の形状に合うようにフォーミングされている。より具体的には、リードフレーム250,251は、磁性ワイヤ110の軸中心位置113において軸方向xに直交する対称面115に関して実質的に対称に構成されている。リードフレーム250,251は、磁束伝導片130,131の外側面に沿って軸方向xに直交する側面部252と、側面部252の一縁から軸直交部133の天面(軸平行部134とは反対側の面)に沿って軸方向xに内方へと延びた天面部253と、側面部252の他の一縁から検出領域対向面134bに沿って軸方向xに内方へと延びた底面部254とを含み、正面視において、内方に開くC字形(横向きU字形)に構成されている。磁束伝導片130,131には、リードフレーム250,251を収容する凹部136a,136b,136cが形成されている。具体的には、側面部252を収容する凹部136aが軸直交部133の外側面に形成されており、天面部253を収容する凹部136bが軸直交部133の天面に形成されており、底面部254を収容する凹部136cが検出領域対向面134bに形成されている。それにより、リードフレーム250,251は、凹部136a,136b,136cの底面において磁束伝導片130,131に接するように配置されている。リードフレーム250,251の底面部254は、凹部136cに収容されて磁束伝導片130,131の検出領域対向面134bと面一になり、磁界発生源に対向する側、すなわち、検出領域140(図1B参照)側に面実装可能な平坦面を構成している。
 リードフレーム250,251の側面部252には、磁性ワイヤ110が貫通する穴250a,251aが形成されている。リードフレーム250,251の天面部253および底面部254には、磁束伝導片130,131に向かって内側に突出する凸部250c,250d,251c,251dが形成されている。これらの凸部250c,250d,251c,251dは、たとえば凸状のポンチ痕で形成されていてもよい。軸直交部133の天面部には、凸部250c,251cに対応する位置に軸方向xに沿う溝130d,131dが形成されている。また、凸部250d,251dは、検出領域対向面134bに形成された溝130c,131cに対応する位置に設けられている。凸部250c,250d,251c,251dは、それぞれの対応する溝130d,130c,131d,131cに入り込み、リードフレーム250,251と磁束伝導片130,131との相対位置決めを容易にし、リードフレーム250,251を磁束伝導片130,131に装着するときの装着性の向上に寄与する。リードフレーム250,251の天面部253には、コイル端末線120aを絡げ結線するための突起250b,251bが設けられている。これにより、コイル端末線120aがリードフレーム250,251に電気的に接続され、リードフレーム250,251の底面部254をプリント基板等へ接合することによって、発電センサ200を面実装できる。
 このように、磁束伝導片130,131に直接接触するリードフレーム250,251で外部端子電極を構成することで、発電センサ200を構成する部品点数が減り、構造が簡単で小型な面実装可能な発電センサ200を提供できる。
 [第2実施形態の発電センサを用いた回転検出装置の例]
 図14Aおよび図14Bは、第2実施形態に係る発電センサ200を用いた回転検出装置の第1の構成例を示し、図14Aはその斜視図であり、図14Bはその平面図である。この回転検出装置は、磁界発生源としてのリング磁石440と、発電センサ200とを備えている。リング磁石440は、その中心を回転軸441が貫くように、回転軸441に結合されており、回転軸441とともにその軸線まわりに回転する。リング磁石440は、回転軸441に直交する磁極面にN極およびS極を周方向に交互に配置し、3個のN極および3個のS極を有する6極磁石である。リング磁石440の磁極面に対向するように基板500が配置されており、基板500上に発電センサ200が配置されている。発電センサ200は、基板500に面実装されており、磁束伝導片130,131の検出領域対向面134bがリング磁石440の磁極面に対向している。より具体的には、リング磁石440の回転軌跡に対応する円周442上での接線443に平行で、かつ当該接線443に対して回転軸441の軸線方向に対向して磁性ワイヤ110が位置するように、発電センサ200が配置されている。すなわち、発電センサ200は、回転軸441から回転半径方向にオフセットして配置されており、それにより、回転軸貫通型の回転検出装置が構成されている。発電センサ200からは、回転軸441の一回転あたり、6パルスが出力される。
 図15Aおよび図15Bは、第2実施形態に係る発電センサ200を用いた回転検出装置の第2の構成例を示し、図15Aはその斜視図であり、図15Bはその平面図である。この構成例では、発電センサ200の中心が回転軸441の中心となるように配置して基板500に実装されている。S極およびN極を周方向に交互配置した6極リング磁石440は、一対の磁束伝導片130,131の一方と他方に対して異極が対向するので、このような配置が可能となる。この構成例は回転軸貫通型ではないが、装置自体がより小型になる利点がある。
 図16Aおよび図16Bは、第2実施形態に係る発電センサ200を用いた回転検出装置の第3の構成例を示し、図16Aはその斜視図であり、図16Bはその平面図である。この構成例では、回転軸441の軸線と交差する位置に発電センサ200(より具体的には磁性ワイヤ110)が位置しているが、発電センサ200の中心(より具体的には磁性ワイヤ110の中心)は、回転軸441に対して回転半径方向にオフセットされている。この構成では、一方の磁束伝導片130の一部が440のリング磁石440の磁極面の回転軌跡に対向し、他方の磁束伝導片131は、リング磁石440の磁極面の回転軌跡に対向しない。このような配置でも、発電センサ200から出力されるパルス信号に実質的な影響はなく、第2の構成例と実質的に同様なパルス信号が得られる。
 これらの第1~第3の構成例は、磁束伝導片130,131が、検出領域140に形成される交番磁界を、磁性ワイヤ110の軸方向xに補正して磁性ワイヤ110に印加する磁界補正機能を有することにより、可能となる。とりわけ、磁性ワイヤ110の位置での一対の磁束伝導片130,131の間の距離Dに対する磁束伝導片130,131の近接端134aの間の距離Lの比率を適切に定めることにより、発電センサ200の配置の自由度が広がり、それにもかかわらず、出力されるパルス信号に大きな影響がない利点がある。それにより、第1~第3の構成例に例示した配置を含む様々な発電センサの配置を採用可能である。したがって、様々な構成の回転検出装置に容易に組み込むことができ、かつ安定した出力を得ることができる発電センサ200を提供できる。
 この発明の実施形態について説明してきたが、この発明は、さらに他の形態で実施することが可能である。
 たとえば、前述の実施形態では、一対の磁束伝導片130,131は、磁性ワイヤ110の軸中心位置113に設定された対称面115に対して対称に構成されているが、この場合の「対称」は、磁束伝導片130,131の磁界補正機能に影響のない範囲での相違を許容するものであり、幾何学的に厳密な対称である必要はない。
 また、前述の説明では、発電センサが回転位置の検出に用いられる例を示したが、直線運動を検出する位置検出装置に発電センサが適用されてもよい。
 本発明の実施形態について詳細に説明してきたが、これらは本発明の技術的内容を明らかにするために用いられた具体例に過ぎず、本発明はこれらの具体例に限定して解釈されるべきではなく、本発明の範囲は添付の請求の範囲によってのみ限定される。
100   :発電センサ
110   :磁性ワイヤ
111   :第1端部
112   :第2端部
113   :軸中心位置
120   :コイル
130   :磁束伝導片
130a  :ワイヤ配置部
131   :磁束伝導片
131a  :ワイヤ配置部
133   :軸直交部
134   :軸平行部
134a  :近接端
134b  :検出領域対向面
140   :検出領域
200   :発電センサ
240   :外部端子電極
241   :外部端子電極
250   :リードフレーム
251   :リードフレーム
400   :磁界発生源
410   :磁石
420   :磁石
430   :磁石
440   :リング磁石
D     :距離
L     :距離
W     :厚さ
x     :軸方向
y     :幅方向
z     :直交方向

Claims (7)

  1.  軸方向に印加される交番磁界によって大バルクハウゼン効果を発現する磁性ワイヤと、
     前記磁性ワイヤに巻回されたコイルと、
     前記磁性ワイヤの両端部にそれぞれ磁気的に結合された一対の軟磁性体部品からなり、前記磁性ワイヤの前記軸方向の中心位置に設定される対称面に関して互いに対称な一対の磁束伝導片と、を含み、
     前記一対の磁束伝導片は、前記磁性ワイヤの両端部がそれぞれ固定され前記磁性ワイヤの両端部から前記軸方向に直交する方向に互いに平行に延びる一対の軸直交部と、前記軸直交部の先端部から前記軸方向に沿って互いに接近する方向に延び、近接端同士が前記軸方向に間隔を空けて対向する一対の軸平行部と、を備え、
     前記間隔の前記軸方向の距離が、前記磁性ワイヤとの結合位置における前記一対の軸直交部の間の前記軸方向の距離の5%~50%であり、
     前記軸平行部に対して前記磁性ワイヤとは反対側を検出領域とするように構成された、発電センサ。
  2.  前記一対の磁束伝導片は、前記検出領域に配置される磁界発生源が当該一対の磁束伝導片を含む空間に形成する磁界を前記軸方向の磁界に補正して前記磁性ワイヤに印加するように構成されている、請求項1に記載の発電センサ。
  3.  前記間隔の前記軸方向の距離が、前記磁性ワイヤとの結合位置における前記一対の軸直交部の間の前記軸方向の距離の20%~40%である、請求項1または2に記載の発電センサ。
  4.  前記磁束伝導片の前記軸直交部は、前記軸方向に貫通する穴または溝が形成されたワイヤ配置部を有し、
     前記磁性ワイヤは前記ワイヤ配置部において前記軸直交部を貫通して、前記軸直交部に固定されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の発電センサ。
  5.  前記磁性ワイヤとの結合位置における前記軸直交部の前記軸方向の厚みが、前記磁性ワイヤの全長の10%~20%である、請求項1~4のいずれか一項に記載の発電センサ。
  6.  前記軟磁性体部品は、保磁力が前記磁性ワイヤの保磁力以下であり、かつ透磁率が500以上の材料からなる、請求項1~5のいずれか一項に記載の発電センサ。
  7.  前記検出領域に臨むように前記磁束伝導片の前記軸平行部に設けられた面実装用の外部端子電極をさらに含む、請求項1~6のいずれか一項に記載の発電センサ。
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