WO2023100354A1 - 部品実装機及び基板の製造方法 - Google Patents

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WO2023100354A1
WO2023100354A1 PCT/JP2021/044488 JP2021044488W WO2023100354A1 WO 2023100354 A1 WO2023100354 A1 WO 2023100354A1 JP 2021044488 W JP2021044488 W JP 2021044488W WO 2023100354 A1 WO2023100354 A1 WO 2023100354A1
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axis
power
motor
power supply
housing
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PCT/JP2021/044488
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English (en)
French (fr)
Inventor
晋吾 藤村
俊宏 児玉
Original Assignee
株式会社Fuji
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P1/00—Arrangements for starting electric motors or dynamo-electric converters
    • H02P1/16—Arrangements for starting electric motors or dynamo-electric converters for starting dynamo-electric motors or dynamo-electric converters
    • H02P1/54—Arrangements for starting electric motors or dynamo-electric converters for starting dynamo-electric motors or dynamo-electric converters for starting two or more dynamo-electric motors
    • H02P1/58—Arrangements for starting electric motors or dynamo-electric converters for starting dynamo-electric motors or dynamo-electric converters for starting two or more dynamo-electric motors sequentially
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components

Definitions

  • the present disclosure relates to technology for controlling driving of a plurality of motor-driven fans provided in a component mounter.
  • Patent Document 1 when starting to energize a plurality of DC motors from a single DC power supply, the energization is sequentially started with a time difference, so that the large current energization operation at the time of starting does not occur repeatedly. Apparatus is described for doing so.
  • An object of the present disclosure is to provide a technique that enables start-up while suppressing the amount of current supplied to a plurality of motor-driven fans provided in a component mounter.
  • the component mounter of the present disclosure includes a housing, a plurality of motor-driven fans provided in the housing for discharging heat inside the housing to the outside, and a plurality of motor-driven fans. a power supply for supplying power to the fan, and a control section for controlling the power supply so that the power is supplied while shifting the start timing by a predetermined time when starting power supply from the power supply to the plurality of motor-driven fans.
  • FIG. 1 is a perspective view of a component mounter of this embodiment
  • FIG. 1 is a top view of a component mounter of this embodiment
  • FIG. It is an external appearance perspective view of a beam member.
  • 4 is an external perspective view of a head and a beam member
  • FIG. 3 is an external perspective view of a Y-axis moving device and a Y-axis cooling device
  • FIG. 2 is a connection electric circuit diagram of a plurality of exhaust fans provided in the component mounter of FIG. 1
  • FIG. 2 is a block diagram simply showing a control configuration of the component mounter of FIG. 1
  • FIG. FIG. 8 is a flow chart showing the procedure of exhaust fan control processing executed by the control device of FIG. 7, particularly by the CPU
  • FIG. FIG. 4 is a diagram showing changes in current flowing through a DC motor of an exhaust fan when the exhaust fan is started.
  • FIG. 1 is a perspective view of a component mounter 10 of this embodiment
  • FIG. 2 is a top view of the component mounter 10 of this embodiment.
  • the horizontal direction is the X-axis (second axis) direction
  • the front-rear direction is the Y-axis (first axis) direction
  • the vertical direction is the Z-axis direction.
  • the directions in the other figures are oriented similarly to the directions shown in FIG.
  • the component mounter 10 of this embodiment picks up components supplied from the feeder F and mounts them on the board S, as shown in FIGS.
  • This component mounter 10 includes a base 12, a substrate transfer device 70 (see FIG. 7), first and second heads 20a and 20b, first and second beam members 21a and 21b, first and second It comprises two X-axis moving devices 30a, 30b and first and second Y-axis moving devices 50a, 50b. These are housed in the housing 11 .
  • Belt-shaped support bases 13 extending in the front-rear direction are provided on both the left and right sides of the upper stage of the base 12 . Further, the housing 11 also accommodates a control device 90 (see FIG. 7) that controls the entire mounter 10 .
  • An operation panel 14 that can be operated by an operator and can display various information is installed on the front surface of the housing 11 .
  • the first head 20a and the second head 20b may be simply referred to as the head 20 in some cases.
  • the first beam member 21a and the second beam member 21b may be simply referred to as beam members 21 in some cases.
  • the first X-axis moving device 30 a and the second X-axis moving device 30 b may be simply referred to as the X-axis moving device 30 .
  • the first Y-axis moving device 50 a and the second Y-axis moving device 50 b may be simply referred to as the Y-axis moving device 50 .
  • the substrate transport device 70 has a pair of front and rear conveyor belts, and a motor that circulates the conveyor belts.
  • the substrate conveying device 70 conveys the substrate S on the conveyor belt from left to right by driving the conveyor belt with a motor.
  • the first and second heads 20a and 20b have nozzles for picking up components. As shown in FIGS. 1 and 2, the first head 20a is supported by a first beam member 21a so as to be movable left and right (X-axis). The second head 20b is supported by the second beam member 21b so as to be movable left and right (X-axis).
  • the first and second beam members 21a and 21b are long members extending left and right (X-axis), and are arranged parallel to each other and shared by a pair of left and right Y-axis linear guides 51. (Guide rails) and can move back and forth (Y-axis) along the pair of Y-axis linear guides 51 .
  • the first and second beam members 21a and 21b are formed in the shape of a square cylinder, and on the side surfaces facing each other, a pair of upper and lower X-axis linear guides extending in parallel to each other in the left and right direction are provided. 31 (guide rail) is joined.
  • the pair of upper and lower X-axis linear guides 31 are joined to the beam member 21 by, for example, a combination of adhesion and screw joint or pin joint.
  • Y-axis block members 22 are fixed to both ends of the beam member 21, and the beam member 21 moves on Y-axis linear guides 51 corresponding to the respective Y-axis block members 22 at both ends of the beam member 21. , move forward and backward (Y-axis).
  • the first X-axis moving device 30a moves the first head 20a left and right (X-axis).
  • the second X-axis moving device 30b moves the second head 20b left and right (X-axis).
  • the first and second X-axis moving devices 30a and 30b include the above-described pair of upper and lower X-axis linear guides 31, the X-axis linear motor 32, and a plurality of It has four (four) X-axis guide nuts 36 , an X-axis linear scale 38 , and an X-axis cooling device 40 .
  • the X-axis linear motor 32 of the first X-axis moving device 30a is supplied with power through a first X-axis power cable supported by a first X-axis cableveyor (cableveyor is a registered trademark) 16a.
  • first X-axis cableveyor (cableveyor is a registered trademark) 16a.
  • the first X-axis cable bearer 16a extends to the left and right (X-axis) and has one end fixed to the first beam member 21a so as to follow the left and right movement of the first head 20a, and the other end to the first head 20a.
  • the X-axis linear motor 32 of the second X-axis moving device 30b operates by being supplied with power through the second X-axis power cable supported by the second X-axis cable bear 16b.
  • the second X-axis cable bearer 16b extends to the left and right (X-axis) and has one end fixed to the second beam member 21b so as to follow the left and right movement of the second head 20b, and the other end to the second head 20b. fixed to
  • the X-axis linear motor 32 is arranged so as to face the X-axis stator 33 attached to the side surface of the beam member 21 with a predetermined gap in the front-rear direction. It is configured as a flat linear motor having an X-axis mover 34 .
  • the X-axis stator 33 is arranged between a pair of upper and lower X-axis linear guides 31 on the side surface of the beam member 21 so that the polarities of the N pole and S pole are alternately different along the X-axis linear guide 31. It has multiple permanent magnets.
  • the X-axis mover 34 includes 3 ⁇ n (n is a natural number, for example, 3) cores formed by laminating electromagnetic steel sheets, and 3 ⁇ n coils wound around the corresponding cores. , have The X-axis mover 34 is supported by X-axis guide nuts 36 arranged on a pair of upper and lower X-axis linear guides 31, respectively. axis). As shown in FIG. 3, in this embodiment, two X-axis guide nuts 36 are arranged on each of the pair of upper and lower X-axis linear guides 31, and the X-axis mover 34 has four X-axis guide nuts 36 in total. supported by
  • an X-axis cooling device 40 is interposed, as shown in FIG.
  • the X-axis cooling device 40 dissipates the heat generated by energizing the coil of the X-axis mover 34 by heat exchange with air.
  • the first Y-axis moving device 50a moves the first beam member 21a forward and backward (Y-axis).
  • the second Y-axis moving device 50b moves the second beam member 21b back and forth (Y-axis).
  • the first and second Y-axis moving devices 50a and 50b include a pair of left and right Y-axis linear guides 51, Y-axis linear motors 52 provided on each side, A plurality of Y-axis guide nuts 56 are slidably attached to a pair of left and right Y-axis linear guides 51 and support the Y-axis block member 22 , and a Y-axis cooling device 60 .
  • the left and right Y-axis linear motors 52 of the first Y-axis moving device 50a operate by being supplied with power via the first Y-axis power cable supported by the first Y-axis cable bear 17a.
  • the first Y-axis cable bearer 17 a is installed above the right Y-axis linear guide 51 of the pair of left and right Y-axis linear guides 51 .
  • the first Y-axis cable bear 17a extends in the front-rear direction and has one end arranged substantially in the center in the front-rear direction so as to follow the front-rear movement of the first beam member 21a, and is connected to the first Y-axis power cable.
  • the other end is fixed to the Y-axis block member 22 on the right side of the first beam member 21a.
  • the first Y-axis power cable extends from the right Y-axis block member 22 through the inside of the first beam member 21 a to the left Y-axis block member 22 , and is fixed to the right Y-axis block member 22 .
  • Electric power is supplied to the Y-axis linear motor 52 (Y-axis mover 54) and the left Y-axis linear motor 52 (Y-axis mover 54) fixed to the left Y-axis block member 22, respectively.
  • the left and right Y-axis linear motors 52 of the second Y-axis moving device 50b operate by being supplied with power via the second Y-axis power cable supported by the second Y-axis cable bear 17b.
  • the second Y-axis cable bearer 17 b is installed above the left Y-axis linear guide 51 of the pair of left and right Y-axis linear guides 51 .
  • the second Y-axis cable bear 17b extends in the front-rear direction and has one end disposed substantially in the front-rear direction so as to follow the front-rear movement of the second beam member 21b, and is connected to the second Y-axis power cable.
  • the other end is fixed to the Y-axis block member 22 on the left side of the second beam member 21b.
  • the second Y-axis power cable extends from the left Y-axis block member 22 through the inside of the second beam member 21b to the right Y-axis block member 22, and is fixed to the left Y-axis block member 22.
  • Power is supplied to the Y-axis linear motor 52 (Y-axis mover 54) and the right Y-axis linear motor 52 (Y-axis mover 54) fixed to the right Y-axis block member 22, respectively.
  • the first Y-axis cable bearer 17a is arranged on the left side
  • the second Y-axis cable bearer 17b is arranged on the right side.
  • a pair of left and right Y-axis linear guides 51 are arranged to extend forward and backward on the upper surfaces of the left and right support bases 13, as shown in FIG.
  • the Y-axis linear motor 52 is opposed to a Y-axis stator 53 fixed to the support base 13 so as to extend forward and backward, with a predetermined space therebetween. and a Y-axis mover 54 fixed to the Y-axis block member 22 so as to form a flat linear motor.
  • the Y-axis stator 53 has a plurality of permanent magnets arranged horizontally along the Y-axis linear guide 51 on the same plane as the Y-axis linear guide 51 so that the polarities of N poles and S poles are alternately different. .
  • the permanent magnets of the Y-axis stator 53 and the permanent magnets of the X-axis stator 33 are used in common.
  • the Y-axis mover 54 includes 3 ⁇ m (m is a natural number, for example, value 5) cores formed by laminating electromagnetic steel sheets, and 3 ⁇ m coils wound around the corresponding cores. , have The Y-axis mover 54 moves back and forth (Y-axis) by applying a three-phase alternating current to 3 ⁇ m coils.
  • exhaust fans 15i to 15k are installed at the upper four corners of the housing 11, respectively.
  • Each of the exhaust fans 15i to 15k discharges the air inside the machine including the air discharged from each X-axis cooling device 40 and each Y-axis cooling device 60 to the outside of the machine.
  • seven exhaust fans 15a to 15g are installed on both the left and right sides of the upper stage of the base 12. Each of the exhaust fans 15a to 15g discharges the air inside the machine to the outside of the machine.
  • FIG. 6 shows a connection electric circuit diagram of the exhaust fans 15a to 15k.
  • the eleven exhaust fans 15a to 15k are divided into three groups of first to third groups G1 to G3 in this embodiment.
  • Four exhaust fans 15a to 15d belong to the first group G1
  • three exhaust fans 15e to 15g belong to the second group G2
  • four exhaust fans 15e to 15g belong to the third group G3.
  • Exhaust fans 15h to 15k belong.
  • a power supply voltage of 24 V is supplied from the AC/DC power supply 80 via SW1 to the exhaust fans 15a to 15d belonging to the first group G1.
  • the exhaust fans 15e to 15g belonging to the second group G2 are supplied with a power supply voltage of 24V from the AC/DC power supply 81 via SW2.
  • the exhaust fans 15h to 15k belonging to the third group G3 are supplied with a power supply voltage of 24V from the AC/DC power supply 81 via SW3. Therefore, the AC/DC power supply 81 supplies a power supply voltage of 24 V to each of the exhaust fans 15e to 15g and the exhaust fans 15h to 15k belonging to the second group G2 and the third group G3.
  • An AC voltage of 200 to 230V ⁇ 10V (commercial AC voltage) is supplied to the AC/DC power supply 80, converted to a DC voltage of 24V, and output.
  • an AC voltage of 200 to 230V ⁇ 10V is also supplied to the AC/DC power supply 81, converted to a DC voltage of 24V, and output to two systems.
  • SW1 to SW3 are configured so that switching from OFF to ON and switching from ON to OFF can be performed independently. This switching control is performed by the SW controller 85 shown in FIG. 7, which will be described next.
  • the control device 90 is configured as a microprocessor centered around a CPU 91, and in addition to the CPU 91, it also includes a ROM 92, an HDD 93, a RAM 94, an input/output interface 95, and the like. These are connected via a bus 96 .
  • the control device 90 is connected to the substrate transfer device 70, the head 20, the X-axis moving device 30, the Y-axis moving device 50 and the SW controller 85 via an input/output interface 95, and exchanges various signals.
  • the SW controller 85 performs ON/OFF control of each of the SW1 to SW3 in accordance with instructions from the CPU 91 .
  • FIG. 8 shows the procedure of exhaust fan control processing executed by the control device 90, particularly the CPU 91.
  • the exhaust fan control process is started when a power switch (not shown) of the mounter 10 is turned on. Henceforth, in description of the procedure of each process, a step is described with "S".
  • the CPU 91 first instructs the SW controller 85 to switch SW1 from OFF to ON (S10). In response to this, the SW controller 85 switches SW1 from off to on. When the switch SW1 is turned on, the exhaust fans 15a to 15d belonging to the first group G1 are supplied with the power supply voltage of 24V from the AC/DC power supply 80 substantially at the same time.
  • the CPU 91 instructs the SW controller 85 to switch SW2 from OFF to ON (S12).
  • the SW controller 85 switches SW2 from off to on.
  • the power supply voltage of 24V is supplied from the AC/DC power supply 81 to the exhaust fans 15e to 15g belonging to the second group G2 at substantially the same time.
  • FIG. 9 shows changes in the current flowing through the DC motor (not shown) of the exhaust fan 15e when one of the exhaust fans 15a to 15k, for example, the exhaust fan 15e, is started by supplying a voltage of 24V. shows an example.
  • the exhaust fans 15a to 15k have the same characteristics. will show a current transition similar to the current transition of .
  • time Tb is the time between time Ta and time Tc, as shown in FIG. That is, the time Tb is the time before the peak current is exceeded and the steady current is reached.
  • the CPU 91 waits until the time Tb has elapsed (S14). is switched from off to on (S16). In response to this, the SW controller 85 switches SW3 from OFF to ON.
  • SW3 When SW3 is turned on, the power supply voltage of 24V is supplied from the AC/DC power supply 81 to the exhaust fans 15h to 15k belonging to the third group G3 substantially at the same time. Therefore, when the current flowing through the DC motors of the exhaust fans 15e to 15g belonging to the second group G2 starts to decay from the peak current, 24V is applied to the DC motors of the exhaust fans 15h to 15k belonging to the third group G3. Power supply voltage is supplied.
  • the time Tb differs depending on the model adopted as the exhaust fans 15a to 15k, and cannot be fixedly determined, so it is determined by experiments or the like. Also, the closer the time Tb is to the time Ta, the shorter the startup time of the exhaust fans 15h to 15k belonging to the third group G3, but the DC motors of the exhaust fans 15e to 15g belonging to the second group G2. Since the exhaust fans 15h to 15k belonging to the third group G3 are activated when the current flowing through is closer to the peak current, it is necessary to use an AC/DC power supply 81 with a larger capacity.
  • the AC/DC power supply 80 supplies the power supply voltage only to the exhaust fans belonging to one group.
  • the AC/DC power supply 80 employs a power supply with a capacity that allows this.
  • the component mounter 10 of the present embodiment includes a housing 11, a plurality of exhaust fans 15e to 15k provided in the housing 11 for discharging heat inside the housing 11 to the outside, An AC/DC power supply 81 that supplies power to each of the plurality of exhaust fans 15e to 15k, and when starting power supply from the AC/DC power supply 81 to the plurality of exhaust fans 15e to 15k, the start timing is set for a predetermined time. and a CPU 91 that controls to supply power while shifting.
  • the component mounter 10 of the present embodiment when power supply from the AC/DC power supply 81 to the plurality of exhaust fans 15e to 15k is started, power is supplied while shifting the start timing by a predetermined time. Therefore, it is possible to start up while suppressing the amount of electric current supplied to the plurality of exhaust fans 15e to 15k provided in the component mounter 10. FIG. As a result, the capacity of the AC/DC power supply 81 can be suppressed, so that it is possible to reduce the cost and save the installation space.
  • the exhaust fans 15e to 15k are examples of “motor driven fans”.
  • the AC/DC power supply 81 is an example of "power supply”.
  • CPU91 is an example of a "control part.”
  • the predetermined time is a time Tb including an elapsed time Ta from the start of power supply to the exhaust fan 15e to which power is to be supplied among the plurality of exhaust fans 15e to 15k until the peak current is generated.
  • the plurality of exhaust fans 15e to 15k are divided into a plurality of groups G2 and G3, and the CPU 91 controls the supply while shifting the start timing by a predetermined time for each of the divided groups G2 and G3.
  • the CPU 91 controls the supply while shifting the start timing by a predetermined time for each of the divided groups G2 and G3.
  • Each of the plurality of exhaust fans 15e to 15k has a DC motor and drives the fan by the DC motor, and the AC/DC power supply 81 converts commercial AC voltage into DC voltage and supplies power. DC converter.
  • the AC/DC power supply 80 adopts one system output, and the AC/DC power supply 81 adopts two system output, but the AC/DC power supply is not limited to this. 80 may also adopt one that outputs two systems. Also, the number of output signals is not limited to two, and three or more outputs may be employed.
  • the power supply voltage is supplied to the exhaust fans in the group substantially at the same time.
  • the predetermined time to be shifted for each group may be different from the predetermined time to be shifted within the group.
  • the predetermined time to be shifted within the group is made shorter than the predetermined time to be shifted for each group.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Control Of Multiple Motors (AREA)

Abstract

部品実装機１０は、筐体１１と、筐体１１内に設けられ、筐体１１内の熱を外部に排出する複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋと、複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋのそれぞれに電力供給するＡＣ／ＤＣ電源８１と、ＡＣ／ＤＣ電源８１から複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋに電力供給を開始するときに、その開始タイミングを所定時間ずらしながら電力供給して行くように制御するＣＰＵ９１と、を備えている。

Description

部品実装機及び基板の製造方法
　本開示は、部品実装機に設けられた複数個のモータ駆動ファンの駆動を制御する技術に関するものである。
　特許文献１には、単一の直流電源から複数個の直流モータに通電を開始するときに、時間差を設けて順次通電を開始するようにし、起動時の大電流通電動作が重複して生じないようにした装置が記載されている。
特開昭５８－２１８８８１号公報
　しかし、特許文献１に記載の装置では、時間差が明確に特定されていないので、どの位の時間差で順次通電を開始するかは不明である。また、特許文献１の実施例には、複数個の直流モータをコンピュータの空冷用ファンモータ群に適用した例が記載されているが、部品実装機のモータ駆動ファンに適用した例は記載されていない。
　本開示は、部品実装機に設けられた複数個のモータ駆動ファンへの電流供給量を抑制しつつ起動を開始させることが可能となる技術を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するため、本開示の部品実装機は、筐体と、筐体内に設けられ、筐体内の熱を外部に排出する複数個のモータ駆動ファンと、複数個のモータ駆動ファンのそれぞれに電力供給する電源と、電源から複数個のモータ駆動ファンに電力供給を開始するときに、その開始タイミングを所定時間ずらしながら電力供給して行くように制御する制御部と、を備えている。
　本開示によれば、部品実装機に設けられた複数個のモータ駆動ファンへの電流供給量を抑制しつつ起動を開始させることが可能となる。
本実施形態の部品実装機の斜視図である。 本実施形態の部品実装機の上面図である。 ビーム部材の外観斜視図である。 ヘッド及びビーム部材の外観斜視図である。 Ｙ軸移動装置およびＹ軸冷却装置の外観斜視図である。 図１の部品実装機に設けられた複数の排気ファンの接続電気回路図である。 図１の部品実装機の制御構成を簡易的に示したブロック図である。 図７の制御装置、特にＣＰＵが実行する排気ファン制御処理の手順を示すフローチャートである。 排気ファンの起動時に排気ファンの直流モータに流れる電流の推移を示す図である。
　以下、本開示の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本実施形態の部品実装機１０の斜視図であり、図２は、本実施形態の部品実装機１０の上面図である。なお、図１中、左右方向をＸ軸（第２軸）方向とし、前後方向をＹ軸（第１軸）方向とし、上下方向をＺ軸方向とした。他の図の方向も、図１に示す方向と同様に方向付けられている。
　本実施形態の部品実装機１０は、図１，図２に示すように、フィーダＦから供給される部品をピックアップして基板Ｓ上に実装するものである。この部品実装機１０は、基台１２と、基板搬送装置７０（図７参照）と、第１及び第２ヘッド２０ａ，２０ｂと、第１及び第２ビーム部材２１ａ、２１ｂと、第１及び第２Ｘ軸移動装置３０ａ，３０ｂと、第１及び第２Ｙ軸移動装置５０ａ，５０ｂと、を備える。これらは、筐体１１内に収容されている。基台１２上段における左右両側には、前後に延在する帯状の支持台１３が設けられている。さらに筐体１１内には、部品実装機１０全体を制御する制御装置９０（図７参照）も収容されている。また、筐体１１の前面には、作業者によって操作されると共に各種情報の表示が可能な操作パネル１４が設置されている。なお、第１ヘッド２０ａと第２ヘッド２０ｂとは、単にヘッド２０と呼ぶ場合がある。第１ビーム部材２１ａと第２ビーム部材２１ｂは、単にビーム部材２１と呼ぶ場合がある。第１Ｘ軸移動装置３０ａと第２Ｘ軸移動装置３０ｂは、単にＸ軸移動装置３０と呼ぶ場合がある。第１Ｙ軸移動装置５０ａと第２Ｙ軸移動装置５０ｂは、単にＹ軸移動装置５０と呼ぶ場合がある。
　基板搬送装置７０は、前後一対のコンベアベルトと、コンベアベルトを周回駆動するモータと、を有する。基板搬送装置７０は、モータによりコンベアベルトを駆動することで、コンベアベルト上の基板Ｓを左から右へと搬送する。
　第１及び第２ヘッド２０ａ，２０ｂは、部品を吸着するノズルを有する。図１及び図２に示すように、第１ヘッド２０ａは、左右（Ｘ軸）に移動可能に第１ビーム部材２１ａに支持される。第２ヘッド２０ｂは、左右（Ｘ軸）に移動可能に第２ビーム部材２１ｂに支持される。
　第１及び第２ビーム部材２１ａ，２１ｂ（ビーム部材２１）は、左右（Ｘ軸）に延在する長尺部材であり、互いに平行に配置されると共に互いに共用する左右一対のＹ軸リニアガイド５１（ガイドレール）に架け渡されて当該一対のＹ軸リニアガイド５１に沿って前後（Ｙ軸）に移動可能である。第１及び第２ビーム部材２１ａ，２１ｂは、図２～図４に示すように、四角筒状に形成され、互いに向かい合う側面には、左右に互いに平行に延在する上下一対のＸ軸リニアガイド３１（ガイドレール）が接合されている。上下一対のＸ軸リニアガイド３１は、例えば、接着とねじ接合やピン接合との併用によりビーム部材２１に接合されている。また、ビーム部材２１の両端部には、それぞれＹ軸ブロック部材２２が固定され、ビーム部材２１は、両端部において各Ｙ軸ブロック部材２２がそれぞれ対応するＹ軸リニアガイド５１上を移動することにより、前後（Ｙ軸）に移動する。
　第１Ｘ軸移動装置３０ａは、第１ヘッド２０ａを左右（Ｘ軸）に移動させるものである。第２Ｘ軸移動装置３０ｂは、第２ヘッド２０ｂを左右（Ｘ軸）に移動させるものである。第１及び第２Ｘ軸移動装置３０ａ，３０ｂ（Ｘ軸移動装置３０）は、図３及び図４に示すように、上述した上下一対のＸ軸リニアガイド３１と、Ｘ軸リニアモータ３２と、複数個（４個）のＸ軸ガイドナット３６と、Ｘ軸リニアスケール３８と、Ｘ軸冷却装置４０と、を有する。
　図１に示すように、第１Ｘ軸移動装置３０ａのＸ軸リニアモータ３２は、第１Ｘ軸ケーブルベア（ケーブルベアは登録商標）１６ａに支持された第１Ｘ軸電源ケーブルを介して電力の供給を受けて動作する。第１Ｘ軸ケーブルベア１６ａは、左右（Ｘ軸）に延在すると共に第１ヘッド２０ａの左右の移動に追従するように、一端が第１ビーム部材２１ａに固定され、他端が第１ヘッド２０ａに固定される。また、第２Ｘ軸移動装置３０ｂのＸ軸リニアモータ３２は、第２Ｘ軸ケーブルベア１６ｂに支持された第２Ｘ軸電源ケーブルを介して電力の供給を受けて動作する。第２Ｘ軸ケーブルベア１６ｂは、左右（Ｘ軸）に延在すると共に第２ヘッド２０ｂの左右の移動に追従するように、一端が第２ビーム部材２１ｂに固定され、他端が第２ヘッド２０ｂに固定される。
　Ｘ軸リニアモータ３２は、本実施形態では、ビーム部材２１の側面に貼り付けられたＸ軸固定子３３と、Ｘ軸固定子３３と前後に所定の間隔をおいて対向するように配置されるＸ軸可動子３４とを有するフラット形リニアモータとして構成される。Ｘ軸固定子３３は、ビーム部材２１の側面における上下一対のＸ軸リニアガイド３１の間に、当該Ｘ軸リニアガイド３１に沿ってＮ極、Ｓ極の極性が交互に異なるように配列された複数の永久磁石を有する。Ｘ軸可動子３４は、それぞれ電磁鋼板を積層してなる３×ｎ個（ｎは自然数であり、例えば値３）のコアと、対応するコアにそれぞれ巻回された３×ｎ個のコイルと、を有する。Ｘ軸可動子３４は、上下一対のＸ軸リニアガイド３１にそれぞれ配置されたＸ軸ガイドナット３６により支持されており、３×ｎ個のコイルに三相交流電流を印加することにより左右（Ｘ軸）に移動する。図３に示すように、本実施形態では、Ｘ軸ガイドナット３６は、上下一対のＸ軸リニアガイド３１に２個ずつ配置され、Ｘ軸可動子３４は、計４個のＸ軸ガイドナット３６に支持される。
　また、ヘッド２０とＸ軸可動子３４との間には、図４に示すように、Ｘ軸冷却装置４０が介在する。Ｘ軸冷却装置４０は、Ｘ軸可動子３４のコイルへの通電により発生した熱をエアとの熱交換により放熱するものである。
　第１Ｙ軸移動装置５０ａは、第１ビーム部材２１ａを前後（Ｙ軸）に移動させるものである。第２Ｙ軸移動装置５０ｂは、第２ビーム部材２１ｂを前後（Ｙ軸）に移動させるものである。第１及び第２Ｙ軸移動装置５０ａ，５０ｂ（Ｙ軸移動装置５０）は、図２に示すように、左右一対のＹ軸リニアガイド５１と、左右にそれぞれ設けられたＹ軸リニアモータ５２と、左右一対のＹ軸リニアガイド５１にそれぞれ複数個ずつ摺動可能に装着されると共にＹ軸ブロック部材２２を支持するＹ軸ガイドナット５６と、Ｙ軸冷却装置６０と、を有する。
　図１に示すように、第１Ｙ軸移動装置５０ａの左右のＹ軸リニアモータ５２は、第１Ｙ軸ケーブルベア１７ａに支持された第１Ｙ軸電源ケーブルを介して電力の供給を受けて動作する。第１Ｙ軸ケーブルベア１７ａは、左右一対のＹ軸リニアガイド５１のうち右側のＹ軸リニアガイド５１の上方に設置される。そして、第１Ｙ軸ケーブルベア１７ａは、前後に延在すると共に第１ビーム部材２１ａの前後の移動に追従するように、一端が前後方向における略中央に配置されると共に第１Ｙ軸電源ケーブルが接続される図示しない右側の電源ボックスに固定され、他端が第１ビーム部材２１ａの右側のＹ軸ブロック部材２２に固定される。第１Ｙ軸電源ケーブルは、右側のＹ軸ブロック部材２２から第１ビーム部材２１ａの内部を通って左側のＹ軸ブロック部材２２まで延びており、右側のＹ軸ブロック部材２２に固定される右側のＹ軸リニアモータ５２（Ｙ軸可動子５４）と左側のＹ軸ブロック部材２２に固定される左側のＹ軸リニアモータ５２（Ｙ軸可動子５４）とにそれぞれ電力を供給する。
　また、第２Ｙ軸移動装置５０ｂの左右のＹ軸リニアモータ５２は、第２Ｙ軸ケーブルベア１７ｂに支持された第２Ｙ軸電源ケーブルを介して電力の供給を受けて動作する。第２Ｙ軸ケーブルベア１７ｂは、左右一対のＹ軸リニアガイド５１のうち左側のＹ軸リニアガイド５１の上方に設置される。そして、第２Ｙ軸ケーブルベア１７ｂは、前後に延在すると共に第２ビーム部材２１ｂの前後の移動に追従するように、一端が前後方向における略中央に配置されると共に第２Ｙ軸電源ケーブルが接続される図示しない左側の電源ボックスに固定され、他端が第２ビーム部材２１ｂの左側のＹ軸ブロック部材２２に固定される。第２Ｙ軸電源ケーブルは、左側のＹ軸ブロック部材２２から第２ビーム部材２１ｂの内部を通って右側のＹ軸ブロック部材２２まで延びており、左側のＹ軸ブロック部材２２に固定される左側のＹ軸リニアモータ５２（Ｙ軸可動子５４）と右側のＹ軸ブロック部材２２に固定される右側のＹ軸リニアモータ５２（Ｙ軸可動子５４）とにそれぞれ電力を供給する。
　このように、本実施形態では、第１Ｙ軸ケーブルベア１７ａを左側に、第２Ｙ軸ケーブルベア１７ｂを右側にそれぞれ配置しているため、左右一対のＹ軸リニアガイド５１を共用する第１及び第２ヘッド２０ａ，２０ｂの移動に際して、第１Ｙ軸ケーブルベア１７ａと第２Ｙ軸ケーブルベア１７ｂとが互いに干渉するのを防止することができる。
　左右一対のＹ軸リニアガイド５１は、図２に示すように、左右の支持台１３の上面に前後に延在するように配置されている。
　Ｙ軸リニアモータ５２は、図５に示すように、前後に延在するように支持台１３に固定されるＹ軸固定子５３と、Ｙ軸固定子５３と上下に所定の間隔をおいて対向するようにＹ軸ブロック部材２２に固定されるＹ軸可動子５４と、を有するフラット形リニアモータとして構成される。Ｙ軸固定子５３は、Ｙ軸リニアガイド５１と同一平面上に当該Ｙ軸リニアガイド５１に沿ってＮ極、Ｓ極の極性が交互に異なるように平置き配置された複数の永久磁石を有する。本実施形態では、Ｙ軸固定子５３の永久磁石は、Ｘ軸固定子３３の永久磁石と共通のものが用いられている。部品の共通化によりコストを低減することができる。Ｙ軸可動子５４は、それぞれ電磁鋼板を積層してなる３×ｍ個（ｍは自然数であり、例えば値５）のコアと、対応するコアにそれぞれ巻回された３×ｍ個のコイルと、を有する。Ｙ軸可動子５４は、３×ｍ個のコイルに三相交流電流を印加することにより前後（Ｙ軸）に移動する。
　また、図１に示すように、筐体１１の上部四隅には、それぞれ排気ファン１５ｉ～１５ｋが設置されている。各排気ファン１５ｉ～１５ｋは、各Ｘ軸冷却装置４０や各Ｙ軸冷却装置６０から排出されたエアを含む機内のエアを機外へ排出する。
　さらに、基台１２上段における左右両側には、７個の排気ファン１５ａ～１５ｇが設置されている。各排気ファン１５ａ～１５ｇは、機内のエアを機外へ排出する。
　図６は、排気ファン１５ａ～１５ｋの接続電気回路図を示している。図６に示すように、１１個の排気ファン１５ａ～１５ｋは、本実施例では、第１～第３グループＧ１～Ｇ３の３つのグループに分けられている。そして、第１グループＧ１には、４個の排気ファン１５ａ～１５ｄが所属し、第２グループＧ２には、３個の排気ファン１５ｅ～１５ｇが所属し、第３グループＧ３には、４個の排気ファン１５ｈ～１５ｋが所属する。
　第１グループＧ１に所属する排気ファン１５ａ～１５ｄには、ＳＷ１を介してＡＣ／ＤＣ電源８０から２４Ｖの電源電圧が供給される。第２グループＧ２に所属する排気ファン１５ｅ～１５ｇには、ＳＷ２を介してＡＣ／ＤＣ電源８１から２４Ｖの電源電圧が供給される。第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋには、ＳＷ３を介してＡＣ／ＤＣ電源８１から２４Ｖの電源電圧が供給される。したがって、ＡＣ／ＤＣ電源８１は、第２グループＧ２と第３グループＧ３のそれぞれに所属する排気ファン１５ｅ～１５ｇと排気ファン１５ｈ～１５ｋに２４Ｖずつ電源電圧を供給する。
　ＡＣ／ＤＣ電源８０には、交流電圧２００～２３０Ｖ±１０Ｖ（商用交流電圧）が供給され、２４Ｖの直流電圧に変換して出力する。同様に、ＡＣ／ＤＣ電源８１にも、交流電圧２００～２３０Ｖ±１０Ｖが供給され、２４Ｖの直流電圧に変換して２系統出力する。
　ＳＷ１～ＳＷ３は、それぞれ独立してオフからオンへの切替とオンからオフへの切替ができるように構成されている。この切替制御は、次に説明する図７のＳＷコントローラ８５によってなされる。
　制御装置９０は、図７に示すように、ＣＰＵ９１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵ９１の他に、ＲＯＭ９２やＨＤＤ９３、ＲＡＭ９４、入出力インタフェース９５などを備える。これらはバス９６を介して接続されている。制御装置９０は、入出力インタフェース９５を介して、基板搬送装置７０、ヘッド２０、Ｘ軸移動装置３０、Ｙ軸移動装置５０及びＳＷコントローラ８５と接続され、各種信号のやりとりがなされる。ＳＷコントローラ８５は、ＣＰＵ９１からの指示に応じて、上記ＳＷ１～ＳＷ３それぞれのオン／オフ制御を行う。
　図８は、制御装置９０、特にＣＰＵ９１が実行する排気ファン制御処理の手順を示している。排気ファン制御処理は、部品実装機１０の電源スイッチ（図示せず）がオンされたことを契機に開始される。以降、各処理の手順の説明において、ステップを「Ｓ」と表記する。
　図８において、まずＣＰＵ９１は、ＳＷコントローラ８５に対して、ＳＷ１をオフからオンに切り替えるように指示する（Ｓ１０）。これに応じてＳＷコントローラ８５は、ＳＷ１をオフからオンに切り替える。ＳＷ１がオンされると、第１グループＧ１に所属する排気ファン１５ａ～１５ｄには、略同時にＡＣ／ＤＣ電源８０から２４Ｖの電源電圧が供給される。
　次にＣＰＵ９１は、ＳＷコントローラ８５に対して、ＳＷ２をオフからオンに切り替えるように指示する（Ｓ１２）。これに応じてＳＷコントローラ８５は、ＳＷ２をオフからオンに切り替える。ＳＷ２がオンされると、第２グループＧ２に所属する排気ファン１５ｅ～１５ｇには、略同時にＡＣ／ＤＣ電源８１から２４Ｖの電源電圧が供給される。
　図９は、排気ファン１５ａ～１５ｋのうちのいずれか１つ、例えば排気ファン１５ｅに２４Ｖの電圧を供給して起動させたときの排気ファン１５ｅの直流モータ（図示せず）に流れる電流の推移の一例を示している。なお、本実施形態では、排気ファン１５ａ～１５ｋとして同じ特性のものを用いているので、他の排気ファン１５ａ～１５ｄ，１５ｆ～１５ｋも、排気ファン１５ｅと同じ条件で起動させれば、図９の電流推移と同様の電流推移を示すことになる。
　図９において、時間“０”で排気ファン１５ｅに２４Ｖの電圧を供給すると、排気ファン１５ｅの直流モータには、時間Ｔａ（図示例では、略０．５ｓ）でピーク電流（図示例では、略１．１４Ａ）が流れた後減衰し、時間Ｔｃ（図示例では、略１．５ｓ）で定常電流（図示例では、略０．６Ａ）となる。
　図８に戻り、次にＣＰＵ９１は、時間Ｔｂ経過したか否かを判断する（Ｓ１４）。ここで、時間Ｔｂは、図９に示すように、時間Ｔａと時間Ｔｃとの間の時間である。つまり、時間Ｔｂは、ピーク電流を超えかつ定常電流になる前の時間である。
　Ｓ１４の判断において、時間Ｔｂ経過しない場合には（Ｓ１４：ＮＯ）、時間Ｔｂ経過するまで待機し（Ｓ１４）、時間Ｔｂ経過すると（Ｓ１４：ＹＥＳ）、ＣＰＵ９１は、ＳＷコントローラ８５に対して、ＳＷ３をオフからオンに切り替えるように指示する（Ｓ１６）。これに応じてＳＷコントローラ８５は、ＳＷ３をオフからオンに切り替える。ＳＷ３がオンされると、第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋには、略同時にＡＣ／ＤＣ電源８１から２４Ｖの電源電圧が供給される。したがって、第２グループＧ２に所属する排気ファン１５ｅ～１５ｇの各直流モータに流れる電流がピーク電流から減衰に向かうときに、第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋの各直流モータに２４Ｖの電源電圧が供給される。これにより、第２グループＧ２に所属する排気ファン１５ｅ～１５ｇの各直流モータに流れる電流のピークと、第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋの各直流モータに流れる電流のピークとが重ならないので、ＡＣ／ＤＣ電源８１として、両電流のピークが重なる場合と比較して、容量の小さい電源を用いることができる。容量の小さい電源を用いると、容量の大きい電源を用いるときより、コストダウンと設置場所の省スペース化を図ることができる。
　なお、時間Ｔｂは、排気ファン１５ａ～１５ｋとして採用した機種によって異なり、固定的には決められないので、実験等により決めることになる。また、時間Ｔｂを時間Ｔａに近づければ近づけるほど、第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋの起動時間は短くなるが、第２グループＧ２に所属する排気ファン１５ｅ～１５ｇの各直流モータに流れる電流がピーク電流により近い状態で、第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋが起動するので、ＡＣ／ＤＣ電源８１としてより容量の大きいものを用いる必要がある。これに対して、時間Ｔｂを時間Ｔｃに近づければ近づけるほど、第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋの起動時間は長くなるが、第２グループＧ２に所属する排気ファン１５ｅ～１５ｇの各直流モータに流れる電流が定常電流により近い状態で、第３グループＧ３に所属する排気ファン１５ｈ～１５ｋが起動するので、ＡＣ／ＤＣ電源８１としてより容量の小さいものを用いることができる。つまり、起動時間とＡＣ／ＤＣ電源８１の容量とは、トレードオフの関係となる。
　なお、本実施の形態では、ＡＣ／ＤＣ電源８０は、１つのグループに所属する排気ファンについてのみ電源電圧を供給しているので、グループ内の排気ファン１５ａ～１５ｄ同士では、ピーク電流は重なるものの、ＡＣ／ＤＣ電源８０としては、それを許容する容量の電源を採用している。
　以上説明したように、本実施形態の部品実装機１０は、筐体１１と、筐体１１内に設けられ、筐体１１内の熱を外部に排出する複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋと、複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋのそれぞれに電力供給するＡＣ／ＤＣ電源８１と、ＡＣ／ＤＣ電源８１から複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋに電力供給を開始するときに、その開始タイミングを所定時間ずらしながら電力供給して行くように制御するＣＰＵ９１と、を備えている。
　このように、本実施形態の部品実装機１０では、ＡＣ／ＤＣ電源８１から複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋに電力供給を開始するときに、その開始タイミングを所定時間ずらしながら電力供給して行くので、部品実装機１０に設けられた複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋへの電流供給量を抑制しつつ起動を開始させることが可能となる。これにより、ＡＣ／ＤＣ電源８１の容量を抑えることができるので、コストダウンと設置場所の省スペース化を図ることが可能となる。
　ちなみに、本実施形態において、排気ファン１５ｅ～１５ｋは、「モータ駆動ファン」の一例である。ＡＣ／ＤＣ電源８１は、「電源」の一例である。ＣＰＵ９１は、「制御部」の一例である。
　また、所定時間は、複数の排気ファン１５ｅ～１５ｋのうち、電力供給対象の排気ファン１５ｅに電力供給を開始してからピーク電流が発生するまでの経過時間Ｔａを含む時間Ｔｂである。これにより、時間Ｔｂとして、ピーク電流から減衰に向かう時間をとることができるので、ＡＣ／ＤＣ電源８１の容量を抑えつつ、後続する排気ファンの起動時間を短縮化することが可能になる。
　また、複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋは、複数個のグループＧ２，Ｇ３に分割され、ＣＰＵ９１は、開始タイミングを所定時間ずらしながら供給して行く制御を、分割されたグループＧ２，Ｇ３毎に行い、１つのグループに属する排気ファン１５ｅ～１５ｇ，１５ｈ～１５ｋが複数個ある場合には、そのグループに属する複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｇ，１５ｈ～１５ｋに同時的に電力供給を行う。これにより、複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋを１つずつ開始タイミングを所定時間ずらしながら電源供給して行くより、複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋ全体の起動時間を短縮化することが可能となる。
　また、複数個の排気ファン１５ｅ～１５ｋのそれぞれは、直流モータを有し、直流モータによりファンを駆動し、ＡＣ／ＤＣ電源８１は、商用交流電圧を直流電圧に変換して電力供給するＡＣ－ＤＣコンバータである。
　なお、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
　（１）上記実施形態では、ＡＣ／ＤＣ電源８０として、１系統出力するものを採用し、ＡＣ／ＤＣ電源８１として、２系統出力するものを採用したが、これに限らず、ＡＣ／ＤＣ電源８０も２系統出力するものを採用してもよい。また、２系統に限らず、３系統以上出力するものを採用してもよい。
　（２）上記実施形態では、グループ内の排気ファンには略同時に電源電圧を供給するようにしたが、これに限らず、グループ内の排気ファンでも、所定時間ずらしながら電源電圧を供給するようにしてもよい。この場合、グループ毎にずらす所定時間と、グループ内でずらす所定時間とを異ならせてもよい。異ならせる態様としては、グループ内でずらす所定時間をグループ毎にずらす所定時間より短くすることが考えられる。
　（３）上記実施形態では、第２グループＧ２に所属する排気ファンを排気ファン１５ｅ～１５ｇの３個とし、第３グループＧ３に所属する排気ファンを排気ファン１５ｈ～１５ｋの４個としたが、この数に意味がある訳ではない。もちろん、排気ファンの、例えば電流特性が異なれば、グループ毎に所属する排気ファンの個数に意味はあり得る。
　（４）上記実施形態では、本発明を部品実装機１０に適用した一例を説明したが、本実施形態の部品実装機１０、印刷機、印刷検査機及び部品外観検査等を含む対基板作業機に本発明を適用してもよい。対基板作業機にも、多くの排気ファンが設けられており、これらの排気ファンへの電流供給量を抑制しつつ起動を開始させたいという課題は共通するからである。
　１０…部品実装機、１１…筐体、１５ａ～１５ｋ…排気ファン、８０，８１…ＡＣ／ＤＣ電源、８５…ＳＷコントローラ、９０…制御装置、９１…ＣＰＵ。

Claims (6)

  1. 　筐体と、
    　前記筐体内に設けられ、前記筐体内の熱を外部に排出する複数個のモータと、
    　前記複数個のモータのそれぞれに電力供給する電源と、
    　前記電源から前記複数個のモータに電力供給を開始するときに、その開始タイミングを所定時間ずらしながら電力供給して行くように制御する制御部と、
    を備えた対基板作業機。
  2. 　請求項１に記載の対基板作業機は、
    　筐体と、
    　前記筐体内に設けられ、前記筐体内の熱を外部に排出する複数個のモータ駆動ファンと、
    　前記複数個のモータ駆動ファンのそれぞれに電力供給する電源と、
    　前記電源から前記複数個のモータ駆動ファンに電力供給を開始するときに、その開始タイミングを所定時間ずらしながら電力供給して行くように制御する制御部と、
    を備えた部品実装機
    を含む。
  3. 　前記所定時間は、前記複数のモータ駆動ファンのうち、電力供給対象のモータ駆動ファンに電力供給を開始してからピーク電流が発生するまでの経過時間を含む時間である、
    請求項２に記載の部品実装機。
  4. 　前記複数個のモータ駆動ファンは、複数個のグループに分割され、
    　前記制御部は、前記開始タイミングを前記所定時間ずらしながら供給して行く制御を、前記分割されたグループ毎に行い、１つのグループに属するモータ駆動ファンが複数個ある場合には、そのグループに属する複数個のモータ駆動ファンに同時的に電力供給を行う、
    請求項２又は３に記載の部品実装機。
  5. 　前記複数個のモータ駆動ファンのそれぞれは、直流モータを有し、前記直流モータによりファンを駆動し、
    　前記電源は、商用交流電圧を直流電圧に変換して電力供給するＡＣ－ＤＣコンバータである、
    請求項２～４のいずれか１項に記載の部品実装機。
  6. 　筐体と、前記筐体内に設けられ、前記筐体内の熱を外部に排出する複数個のモータと、前記複数個のモータのそれぞれに電力を供給する電源と、を備え、前記電源から前記複数個のモータに電力供給を開始するときに、その開始タイミングを所定時間ずらしながら電力供給して行くように制御する対基板作業機による基板の製造方法。
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