WO2023074464A1

WO2023074464A1 - 移動式除染装置

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Publication number: WO2023074464A1
Application number: PCT/JP2022/038725
Authority: WO
Inventors: 康司川崎; 大輔角田; 嘉貴緒方; 和彦北洞; はるか二村; 志強郭; 司北野
Original assignee: 株式会社エアレックス
Priority date: 2021-10-25
Filing date: 2022-10-18
Publication date: 2023-05-04
Also published as: JPWO2023074464A1; KR20240089206A; CN118139652A; EP4424428A1

Abstract

除染対象室や室内の機器などを均一且つ完璧に除染することができ、特に広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染する場合においても有効な移動式除染装置を提供する。移動式除染装置は、除染液放出装置と、室内移動装置とを有している。除染液放出装置は、除染液タンクと、除染液をミスト化する１又は２以上のミスト発生装置と、当該ミスト発生装置の駆動を制御する駆動回路と、ミスト発生装置で発生した除染剤のミストを除染対象室の内部に放出する１又は２以上のミスト放出口とを備えている。室内移動装置は、除染対象室の内部に配設された走行路と、当該走行路に沿って除染液放出装置を走行させる走行装置とを備えている。

Description

移動式除染装置

　本発明は、除染用ミストを使用してアイソレーターなどの内部を除染する移動式除染装置に関するものである。特に、広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染する移動式除染装置に関するものである。

　医薬品或いは食品などを製造する製造現場、或いは、手術室などの医療現場においては、室内の無菌状態を維持することが重要である。特に医薬品製造の作業室である無菌室の除染においては、ＧＭＰ（ＧｏｏｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＰｒａｃｔｉｃｅ）に即した高度な除染バリデーションを完了させる必要がある。

　近年、無菌環境が要求される作業室（以下、除染対象室という）の除染には、過酸化水素ガスが広く採用されている。この過酸化水素ガスは、強力な滅菌効果を有し、安価で入手しやすく、且つ、最終的には酸素と水に分解する環境に優しい除染ガスとして有効である。しかし、過酸化水素ガスは従来、個々の除染対象室、例えば、無菌室、アイソレーター、グローブボックスなど小空間の除染に使用されてきた。一方、広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部の除染に過酸化水素ガスを用いるには、所定濃度の過酸化水素ガスを大量に安定して供給しなければならないという問題があった。

　特に、医薬品製造現場においては、例えば、医薬品をバイアル等に充填する設備や、バイアルに充填された医薬品を凍結乾燥するための設備などが連設された非常に大型の無菌アイソレーターが使用される。このような大型の無菌アイソレーターの内部を無菌環境に保つためには、これに対応して大型の除染設備が使用される。このような大型の除染設備に使用される除染ガス発生装置としては、例えば、下記特許文献１に示す殺菌液気化装置などが使用される。

　このような大型の除染ガス発生装置で発生した大量の過酸化水素ガスは、過酸化水素水を気化させたものであり過酸化水素ガスと水蒸気との混合ガスの状態である。この過酸化水素ガスは密度が低く、大口径のダクトを介して除染対象室に供給される。従って、除染ガス発生装置で所定の濃度に調整された過酸化水素ガスを除染対象室まで安定して供給するには、ダクト内での凝縮を防止するためにダクトをヒーターで十分に保温する必要がある。ヒーターによる保温が不十分であれば、供給する過酸化水素ガスがダクト中で凝縮して除染対象室への供給濃度と供給量が不十分となる。また、凝縮により生じた過酸化水素水は加温されており、ダクト内を腐食するという問題があった。

このように、大型の除染ガス発生装置において、大量の過酸化水素ガスを除染ガス発生装置から除染対象室に供給するには、大口径で大規模なダクト工事と、ダクトを保温するヒーター設備と、腐食に耐える材質のダクトが必要であるという問題があった。

　そこで、本発明者らは、上記問題を解決する方法として、以前に下記特許文献２に示す除染システムを提案した。この除染システムにおいては、過酸化水素水と圧縮空気とを混合した混合気液を小口径の混合気液供給配管で各除染対象室にそれぞれ供給する。これにより、大口径で大規模なダクト工事と、ダクトを保温するヒーター設備と、腐食に耐える材質のダクトを必要とせず、各除染対象室に正確な過酸化水素水を供給することができる。しかし、各除染対象室には、それぞれ除染用ガス発生器が必要となり、設備・薬液・エネルギーなどのコストが課題となる場合がある。

　一方、本発明者らは、従来の過酸化水素ガスに代えて過酸化水素ミストを使用した除染方法を下記特許文献３に示す除染装置で提案した。この除染装置においては、超音波振動場での過酸化水素ミスト除染（エアロゾル除染ともいう）を行うことにより、除染対象室に対する適正量の除染剤の供給で除染効果の完璧を図ると共に、エアレーションなどの作業時間を短縮して除染作業の効率化を図ることができる。

　この方法においては、大幅に少ない過酸化水素投入量で除染効果の完璧を図ることができるが、気流撹拌を行わないので広い領域を有する除染対象室の場合に過酸化水素ミストの粒子サイズの不均一な分布が問題となることがある。これにより、過酸化水素ミストの到達距離に不揃いが生じ、特に粒子サイズの大きな過酸化水素ミストが近距離に落下することとなる。特に、広くて平面アスペクト比が大きい除染対象室の場合には、除染装置の放出口の近傍に粒子サイズの大きな過酸化水素ミストが落下して床面を濡らすという課題がある。また、除染対象室の内部に配置した機器、或いは室内上部に吊り下げた機器等がある場合には、これらの機器の表面に多くの過酸化水素ミストが付着し、除染剤の分散を阻害するという課題があった。

特開２００３－３３９８２９号公報国際公開２０１５／１６６５５４号特開２０２０－１５６９７０号公報

　そこで、本発明は、上記の課題に対処して、除染対象室や室内の機器などを均一且つ完璧に除染することができ、特に広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染する場合においても有効な移動式除染装置を提供することを目的とする。

　上記課題の解決にあたり、本発明者らは、過酸化水素ミストを使用して広い領域を除染するために、除染装置の放出口を移動させることにより本発明の完成に至った。

　即ち、本発明に係る移動式除染装置（３０）は、請求項１の記載によれば、
　除染用ミストを使用して除染対象室（１１）の内部を除染する除染装置であって、
　除染液放出装置（５０）と、室内移動装置（６０）とを有し、
　前記除染液放出装置は、除染液タンク（５４）と、除染液をミスト化する１又は２以上のミスト発生装置（５１）と、当該ミスト発生装置の駆動を制御する駆動回路（５２）と、前記ミスト発生装置で発生した除染剤のミストを前記除染対象室の内部に放出する１又は２以上のミスト放出口（５５）とを備え、
　前記室内移動装置は、前記除染対象室の内部に配設された走行路（６１）と、当該走行路に沿って前記除染液放出装置を走行させる走行装置（６２）とを備えていることを特徴とする。

　また、本発明は、請求項２の記載によると、請求項１に記載の移動式除染装置において、
　予め除染液を貯留しておく外部貯留槽と、当該外部貯留槽（４１）と前記除染液放出装置との間で除染液を給液する給液配管（４３）とを備えた除染液供給装置（４０）を有し、
　前記除染液供給装置は、秤量装置と給液ポンプとを具備して、所定量の除染液を秤量し前記給液配管を介して前記除染液放出装置に給液することを特徴とする。

　また、本発明は、請求項３の記載によると、請求項２に記載の移動式除染装置において、
　前記除染液供給装置、除染液放出装置及び室内移動装置の作動を制御する作動制御装置（７０）を備え、
　前記作動制御装置は、予め設定されたプログラムに沿って、
　前記除染液供給装置が具備する前記秤量装置及び前記給液ポンプを制御して、所定量の除染液を秤量して前記除染液放出装置ヘの給液量を調整し、
　前記除染液放出装置が具備する前記駆動回路を制御して、ミストの放出量を調整し、
　前記室内移動装置が具備する前記走行装置を制御して、前記除染対象室の内部における前記除染液放出装置の位置を調整することにより、
　前記除染対象室の位置と当該位置におけるミスト放出量とを制御することを特徴とする。

　また、本発明は、請求項４の記載によると、請求項３に記載の移動式除染装置において、
　前記外部貯留槽と前記除染液放出装置とを連通する前記給液配管の管路に所定量の除染液を一時的に貯える給液ステーション（４５）を備え、
　前記作動制御装置は、前記除染液供給装置から前記給液ステーションへの給液、及び、当該給液ステーションから前記除染液放出装置への給液を制御することを特徴とする。

　また、本発明は、請求項５の記載によると、請求項１に記載の移動式除染装置において、
　前記除染液放出装置が具備する前記除染液タンクは、所定量の除染液を充填した交換可能なカートリッジ式タンクであることを特徴とする。

　また、本発明は、請求項６の記載によると、請求項１に記載の移動式除染装置において、
　前記除染液放出装置又は前記室内移動装置には、交換可能なカートリッジ式電源装置が具備されていることを特徴とする。

　また、本発明は、請求項７の記載によると、請求項１～６のいずれか１つに記載の移動式除染装置において、
　前記ミスト発生装置は、圧電振動子（５１ａ）と、当該圧電振動子の振動により除染液を霧化する複数の微細孔が表裏を貫通して設けられた多孔振動板（５１ｂ）とを備えた超音波霧化装置であって、
　当該多孔振動板が前記ミスト放出口を構成していることを特徴とする。

　なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

　上記構成によれば、移動式除染装置は、除染液放出装置と室内移動装置とを有している。除染液放出装置は、除染液タンクと、除染液をミスト化する１又は２以上のミスト発生装置と、当該ミスト発生装置の駆動を制御する駆動回路と、ミスト発生装置で発生した除染剤のミストを除染対象室の内部に放出する１又は２以上のミスト放出口とを備えている。室内移動装置は、除染対象室の内部に配設された走行路と、当該走行路に沿って除染液放出装置を走行させる走行装置とを備えていることを特徴とする。

　このことにより、除染対象室や室内の機器などを均一且つ完璧に除染することができ、特に広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染する場合においても有効な移動式除染装置を提供することができる。

　また、上記構成によれば、移動式除染装置は、予め除染液を貯留しておく外部貯留槽と、当該外部貯留槽と除染液放出装置との間で除染液を給液する給液配管とを備えた除染液供給装置を有している。除染液供給装置は、秤量装置と給液ポンプとを具備して、所定量の除染液を秤量し給液配管を介して除染液放出装置に給液する。このことにより、上記作用効果をより具体的に、且つより効果的に発揮することができる。

　また、上記構成によれば、移動式除染装置は、除染液供給装置、除染液放出装置及び室内移動装置の作動を制御する作動制御装置を備えていてもよい。作動制御装置は、予め設定されたプログラムに沿って、除染液供給装置が具備する秤量装置及び給液ポンプを制御して、所定量の除染液を秤量して除染液放出装置ヘの給液量を調整する。また、除染液放出装置が具備する前記駆動回路を制御して、ミストの放出量を調整する。また、室内移動装置が具備する走行装置を制御して、除染対象室の内部における除染液放出装置の位置を調整する。

　よって、作動制御装置に予め設定されたプログラムに沿って、除染対象室の位置と当該位置におけるミスト放出量とを制御することができる。このことにより、上記作用効果をより具体的に、且つより効果的に発揮することができる。

　また、上記構成によれば、移動式除染装置は、給液ステーションを備えていてもよい。この給液ステーションは、外部貯留槽と除染液放出装置とを連通する給液配管の管路にあって、所定量の除染液を一時的に貯える。また、作動制御装置は、除染液供給装置から給液ステーションへの給液、及び、給液ステーションから除染液放出装置への給液を制御する。このことにより、上記作用効果をより具体的に、且つより効果的に発揮することができる。

　また、上記構成によれば、除染液放出装置が具備する除染液タンクは、所定量の除染液を充填した交換可能なカートリッジ式タンクであってもよい。このことにより、広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染するだけでなく、小型のアイソレーターやパスボックスなどの除染においても、上記作用効果をより具体的に、且つより効果的に発揮することができる。

　また、上記構成によれば、除染液放出装置又は室内移動装置には、交換可能なカートリッジ式電源装置が具備されていてもよい。このことにより、広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染するだけでなく、小型のアイソレーターやパスボックスなどの除染においても、上記作用効果をより具体的に、且つより効果的に発揮することができる。

　また、上記構成によれば、ミスト発生装置は、超音波霧化装置であってもよい。この超音波霧化装置は、圧電振動子と、当該圧電振動子の振動により除染液を霧化する複数の微細孔が表裏を貫通して設けられた多孔振動板とを備えている。なお、当該多孔振動板がミスト放出口を構成している。このことにより、上記作用効果をより具体的に、且つより効果的に発揮することができる。

従来の方法でアイソレーター装置のチャンバーの内部を過酸化水素ミストで除染している状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。図１のチャンバーの内部にミスト放出装置と超音波振動盤とを増設した状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。図１のチャンバーの内部に物品が配置された状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。図２のチャンバーの内部に物品が配置された状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。本発明の第１実施形態に係る移動式除染装置を使用してアイソレーター装置のチャンバーの内部を過酸化水素ミストで除染している状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。図５の移動式除染装置に使用する除染液放出装置を示す図面であって、（Ｃ）平面図、（Ｄ）正面図である。図６の除染液放出装置のミスト発生装置を示す図面であって、（Ｅ）チャンバー内から見た正面図、（Ｆ）側面断面図である。第２実施形態の除染対象室を従来の方法で除染している状態を示す内部断面の平面図である。第２実施形態の除染対象室を本発明に係る移動式除染装置で除染している状態を示す内部断面の平面図である。第３実施形態の除染対象室を従来の方法で除染している状態を示す内部断面の平面図である。第３実施形態の除染対象室を本発明に係る移動式除染装置で除染している状態を示す内部断面の平面図である。

　まず、本発明に係る移動式除染装置を説明する前に、過酸化水素ミストを使用した従来の除染方法について説明する。また、以下に示す従来の除染方法及び本発明に係る移動式除染装置においては、除染剤として過酸化水素水を使用する。なお、使用する過酸化水素水の濃度は特に限定するものではないが、一般に、危険物などの取扱いを考慮して３０～３５重量％のものを使用することが好ましい。また、従来の除染方法及び本発明に係る移動式除染装置で使用する除染剤は、過酸化水素水に限るものではなく、過酢酸の水溶液など液状の除染剤であればよい。

　従来の除染方法及び本発明に係る移動式除染装置は、除染対象室としてクリーンルームやアイソレーター、或いは、これらの除染対象室に連設するパスボックスなどの内部、又は、これらの除染対象室の内部に配置された除染対象装置又は除染対象物品などを除染するために、これらの除染対象室の内部に除染剤を微細なミストに変換して供給する。

　本発明において「ミスト」とは、広義に解釈するものであって、微細化して空気中に浮遊する除染剤の液滴の状態、除染剤のガスと液滴が混在した状態、除染剤がガスと液滴との間で凝縮と蒸発との相変化を繰り返している状態などを含むものとする。また、粒径に関しても、場合によって細かく区分されるミスト・フォグ・液滴などを含んで広義に解釈する。

　図１は、従来の方法でアイソレーター装置のチャンバーの内部を過酸化水素ミストで除染している状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。なお、図１においては、アイソレーター装置のチャンバーの内部を上方から下方に向かって一方向流の空気が流れている。

　図１において、アイソレーター装置１０は、チャンバー１１と、給気用ブロワー１２と、排気用ブロワー１３とを備えている（電装及び機械室は図示せず）。チャンバー１１は、ステンレス製金属板で構成された箱体からなり、制限された吸気口及び排気口を除き作業者が作業を行う外部環境とは気密的に遮蔽されている。なお、図１のチャンバー１１は、図示左右に長い作業領域を有しているものとする（簡略のため長さ方向を短縮して記載）。

　また、チャンバー１１の内部の天井部には、給気用ブロワー１２から供給された空気を濾過して作業領域１４に供給するための複数の給気用ファン１５及びフィルタユニット１６と、作業領域１４の天井部にあって給気用フィルタユニット１６で濾過された清浄空気を整流して作業領域１４に供給するためのスクリーンメッシュ整流板１７とを備えている。

　チャンバー１１の側面壁１１ａ，１１ｂの内側（作業領域１４内）には、それぞれ内部壁面上部にミスト放出装置２０ａ，２０ｂと超音波振動盤２１ａ，２１ｂとが設けられている。また、アイソレーター装置１０の外部には、ミスト放出装置２０ａ，２０ｂに過酸化水素水を供給する外部貯留槽２２と秤量装置２３、給液配管２４ａ，２４ｂと給液ポンプ２５ａ，２５ｂが設けられている。

　図１においては、ミスト放出装置２０ａ，２０ｂから過酸化水素水ミストが放出され、超音波振動盤２１ａ，２１ｂから放出される超音波によってチャンバー１１の内部に拡散している。なお、図１のミスト放出装置２０ａ，２０ｂ及び超音波振動盤２１ａ，２１ｂは、いずれも固定式であって本発明とは異なり移動式のものではない。

　図１（Ａ）に示すように、ミスト放出装置２０ａ，２０ｂから放出された過酸化水素ミストは、放物線を描いて拡散しながら落下している。また、過酸化水素ミストの粒子サイズには分布があり、粒子サイズの大きな過酸化水素ミスト（図示Ｘａ，Ｘｂの部分）は、各ミスト放出装置２０ａ，２０ｂから離れた位置まで十分に到達できず、近傍の床面を濡らした状態（図示Ｙａ，Ｙｂの部分）となっている。一方、粒子サイズの小さな過酸化水素ミストも、チャンバー１１の中央部には十分に到達できていない。このような現象は、特に広くて平面アスペクト比が大きいチャンバーの場合に生じやすい。

　次に、過酸化水素ミストを使用した従来の除染方法において、ミスト放出装置を増設した場合について説明する。図２は、図１のチャンバーの内部にミスト放出装置と超音波振動盤とを増設した状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。図２においては、アイソレーター装置１０などの内容は図１と同じであり、符号も同じものを使用する。なお、図２において、チャンバー１１の背面壁１１ｃの内側（作業領域１４内）の内部壁面上部には、ミスト放出装置２０ｃと超音波振動盤２１ｃとが増設されている。また、ミスト放出装置２０ｃには、外部貯留槽２２から給液配管２４ｃと給液ポンプ２５ｃが設けられている。

　ミスト放出装置２０ｃと超音波振動盤２１ｃとを増設した図２のチャンバー１１においては、ミスト放出装置２０ｃからの過酸化水素ミストがチャンバー１１の中央部に到達できるようになった。しかし、過酸化水素ミストの粒子サイズの分布により、粒子サイズの大きな過酸化水素ミスト（図示Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃの部分、但しＸｃは見えず）は、各ミスト放出装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃから離れた位置まで十分に到達できず、近傍の床面を濡らした状態（図示Ｙａ，Ｙｂ，Ｙｃの部分）となっている。

　次に、過酸化水素ミストを使用した従来の除染方法において、チャンバーの内部に除染対象装置又は除染対象物品などが配置された場合について説明する。図３は、図１のチャンバーの内部に物品が配置された状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。図３においては、アイソレーター装置１０などの内容は図１と同じであり、符号も同じものを使用する。なお、図３において、チャンバー１１の内部には、側壁面１１ａの近くに物品１８ａ，１８ｂが配置されている。

　図３（Ａ）に示すように、ミスト放出装置２０ａ，２０ｂから放出された粒子サイズの大きな過酸化水素ミスト（図示Ｘａ，Ｘｂの部分）は、ミスト放出装置２０ａ，２０ｂから離れた位置まで十分に到達できず、近傍の床面を濡らした状態（図示Ｙａ，Ｙｂの部分）となっている。更に、ミスト放出装置２０ａから放出された粒子サイズの小さな過酸化水素ミストも、物品１８ａ，１８ｂの表面に衝突して付着凝縮し、これらの表面を濡らした状態（図示Ｚａ，Ｚｂの部分）となってチャンバー１１の中央部には到達できていない。

　同様に、図４は、図２のチャンバーの内部に物品が配置された状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。図４においては、アイソレーター装置１０などの内容は図１と同じであり、符号も同じものを使用する。なお、図４において、チャンバー１１の内部の中央部には、物品１８ｃが配置されている。

　図４（Ｂ）に示すように、ミスト放出装置２０ｃから放出された粒子サイズの小さな過酸化水素ミストも、物品１８ｃの表面に衝突して付着凝縮し、この表面を濡らした状態（図示Ｚｃの部分）となってチャンバー１１の表面壁１１ｄには到達できていない。

　上記課題を解決するために、本発明者らは、本発明に係る移動式除染装置を開発した。以下、本発明に係る移動式除染装置を各実施形態に基づいて説明する。なお、本発明は、下記に示す各実施形態に限定されるものではない。

　＜第１実施形態＞
　図５は、本発明の第１実施形態に係る移動式除染装置を使用してアイソレーター装置のチャンバーの内部を過酸化水素ミストで除染している状態を示す内部断面図であって、（Ａ）正面図、（Ｂ）平面図である。

　図５においては、アイソレーター装置１０などの内容は図１と同じであり、符号も同じものを使用する。なお、図５においては、図１の従来の除染方法において設けられたミスト放出装置及び超音波振動盤は設けられていない。その代わり、チャンバー１１の背面壁１１ｃの内側（作業領域１４内）の内部壁面上部、及び、アイソレーター装置１０の外部に移動式除染装置３０が設けられている。移動式除染装置３０は、除染液供給装置４０と除染液放出装置５０と室内移動装置６０と作動制御装置７０とを有している。

　除染液供給装置４０は、外部貯留槽４１と秤量装置４２、給液配管４３と給液ポンプ４４、及び、給液ステーション４５を備えている。なお、外部貯留槽４１と秤量装置４２、及び、給液配管４３と給液ポンプ４４は、アイソレーター装置１０の外部に設けられている。一方、給液ステーション４５は、チャンバー１１の側面壁１１ａの内側（作業領域１４内）の内部壁面上部に設けられている。なお、外部貯留槽４１と給液ステーション４５とは、給液配管４３によって連通している。これにより、給液ステーション４５には、秤量装置４２によって秤量された所定量の過酸化水素水が給液ポンプ４４によって給液される。

　除染液放出装置５０は、チャンバー１１の作業領域１４の内部を移動しながら過酸化水素ミストを放出する。なお、除染液放出装置５０の詳細については後述する。

　室内移動装置６０は、走行路６１と走行装置６２とを備えている。走行路６１は、チャンバー１１の背面壁１１ｃの内側（作業領域１４内）の内部壁面上部に、側面壁１１ａから側面壁１１ｂに亘って水平に設けられている。走行路６１の一方の末端（側面壁１１ａ側）は、給液ステーション４５に接続している。また、走行装置６２は、除染液放出装置５０の背面に一体的に接合され、除染液放出装置５０を走行路６１に沿って側面壁１１ａから側面壁１１ｂの間を走行させる。

　本第１実施形態においては、走行路６１及び走行装置６２の構造と走行機構に関しては、特に限定するものではない。例えば、サーボモーター、超音波モーター、ボールねじ等の機械駆動、磁気浮揚式によるリニアモーター駆動、ファンによるエア駆動、また、場合によっては移動バーの傾斜などによって除染液放出装置５０を走行させるようにしてもよい。なお、本第１実施形態においては、ＬＭガイド（ＬｉｎｅａｒＭｏｔｉｏｎＧｕｉｄｅ）を採用して、ＬＭレールを走行路６１とし、ＬＭブロックを走行装置６２とした。

　作動制御装置７０は、除染液供給装置４０の秤量装置４２と給液ポンプ４４、除染液放出装置５０の駆動回路（後述する）、室内移動装置６０の走行装置６２などの各作動、及び、これらの連携作動などを制御する。なお、作動制御装置７０による制御については後述する。

　ここで、除染液放出装置５０の詳細について説明する。図６は、移動式除染装置に使用する除染液放出装置を示す図面であって、（Ｃ）平面図、（Ｄ）正面図である。図６（Ｃ）において、除染液放出装置５０の背面には、室内移動装置６０の走行装置６２が一体的に接合されている。なお、図６（Ｃ）においては、Ｃ１の部分が走行装置６２の外表面の平面図であって、Ｃ２の部分が除染液放出装置５０の内部断面の平面図である。また、走行装置６２は、上述のように、ＬＭガイドのＬＭブロックであることから、一般的なものであってその詳細は省略する。

　図６（Ｃ）の内部断面図（Ｃ２の部分）において、除染液放出装置５０は、ミスト発生装置５１、駆動回路５２、バッテリー５３、過酸化水素水タンク５４、及び、ミスト放出口５５を備えている。ミスト発生装置５１は、駆動回路５２により作動し、過酸化水素水タンク５４から細管５４ａを介して送られてくる過酸化水素水を過酸化水素ミストに変換してミスト放出口５５からチャンバー１１の作業領域１４の内部に放出する。なお、過酸化水素水タンク５４への過酸化水素水の一時的な貯えは、除染液放出装置５０が走行路６１を走行して給液ステーション４５に接続した際に行われる。

　なお、駆動回路５２を動かすバッテリー５３は、交換可能なカートリッジ式、或いは充電式のいずれであってもよい。また、充電式の場合には、有線又はワイヤレス給電など、どのような方法でもよい。このバッテリー５３への充電は、除染液放出装置５０が走行装置６２の駆動により、給液ステーション４５に接続した際に行われる。

　また、除染液供給装置４０による過酸化水素水タンク５４への給液に代えて、除染液放出装置５０が具備する過酸化水素水タンク５４を過酸化水素水が充填された交換可能なカートリッジ式タンクにしてもよい。このように、バッテリー５３と過酸化水素水タンク５４とを交換可能なカートリッジ式にすることにより、充電装置や除染液供給装置を必要としないことから、小型のアイソレーターやパスボックスなどの除染に利用することができる。

　なお、除染液放出装置５０が有するミスト発生装置５１とミスト放出口５５の台数は、特に限定するものではない。本第１実施形態においては、除染液放出装置５０は、６台のミスト発生装置５１と６か所のミスト放出口５５とを備えている。なお、図６に示すように、除染液放出装置５０の正面に４か所のミスト放出口５５と、両側の斜め側面に各１か所のミスト放出口５５が設けられている。

　ここで、本第１実施形態で使用するミスト発生装置５１について説明する。図７は、除染液放出装置のミスト発生装置を示す図面であって、（Ｅ）チャンバー内から見た正面図、（Ｆ）側面断面図である。図７において、ミスト発生装置５１は、圧電振動子５１ａと多孔振動板５１ｂとを備えた超音波霧化装置であって、ミスト放出口５５に嵌め込まれている。

　多孔振動板５１ｂは、略円板状の本体に過酸化水素水を霧化する複数の微細孔が表裏を貫通して設けられている。圧電振動子５１ａは、略円環板状に形成されて多孔振動板５１ｂの外周に設けられ、多孔振動板５１ｂを膜振動させる。なお、圧電振動子５１ａの振動は、駆動回路５２が制御する。

　また、多孔振動板５１ｂは、その表面を除染対象であるチャンバー１１の内部に向け、裏面を除染液放出装置５０の内部に向けて取り付けられている。この状態において、過酸化水素水タンク５４から細管５４ａを介して送られてくる過酸化水素が多孔振動板５１ｂの裏面に吐出される。なお、図７（Ｆ）は、吐出の概要を示しており配管等は省略している。このように、過酸化水素水は、多孔振動板５１ｂの裏面に吐出され、超音波振動する多孔振動板５１ｂの複数の微細孔を介して微細な過酸化水素ミストとなって、除染対象であるチャンバー１１の内部に放出され除染効果を発揮する。

　ここで、多孔振動板５１ｂの微細孔の孔径及び穴数は、特に限定するものではなく、超音波霧化効果と過酸化水素ミストの十分な供給量を確保できるものであればよい。なお、通常は４～１１μｍ程度の孔径を有するものであることが好ましい。また、図７（Ｆ）においては、多孔振動板５１ｂの表面から水平方向（図示左方向）に向けて過酸化水素ミストを放出するように配設されているが、これに限るものではなく、下方に向けて或いは配設位置によっては上方に向けて放出するようにしてもよい。

　なお、本第１実施形態においては、ミスト発生装置５１として圧電振動子５１ａと多孔振動板５１ｂとを備えた超音波霧化装置を採用する。しかし、ミスト発生装置のミスト発生機構については、特に限定するものではない。例えば、液体を直接ミスト化する一流体スプレーノズル、ピエゾ高圧噴射装置、浸漬型超音波霧化装置、円盤型霧化装置、円盤メッシュ型霧化装置などであってもよい。また、高圧空気などで液体をミスト化するエジェクタや二流体スプレーノズルなどであってもよい。

　次に、作動制御装置７０による除染液供給装置４０、除染液放出装置５０及び室内移動装置６０の制御について図５を用いて説明する。作動制御装置７０による各装置の制御は、無線制御であってもよく有線制御であってもよい。なお、本第１実施形態においては、無線制御を採用する。

　まず、作動制御装置７０に予め設定されたプログラムに従って、除染液供給装置４０が作動する。具体的には、除染液供給装置４０が具備する秤量装置４２及び給液ポンプ４４を作動して、所定量の過酸化水素水を秤量して給液配管４３を介して給液ステーション４５に供給しておく。ここで、所定量の過酸化水素水とは、除染対象であるチャンバー１１の形状と容量及び除染液放出装置５０の能力によって予め設定されている。

　次に、作動制御装置７０に予め設定されたプログラムに従って、除染液放出装置５０及び室内移動装置６０が作動する。まず、除染液放出装置５０の背面に一体的に接合された室内移動装置６０の走行装置６２が走行路６１を走行して、その一方の末端（側面壁１１ａ側）に接続された給液ステーション４５に除染液放出装置５０が接合する。ここで、給液ステーション４５から、除染液放出装置５０の過酸化水素水タンク５４に過酸化水素水が充填される。本第１実施形態においては、この間に走行装置６２のバッテリー５３へワイヤレス給電が行われる。

　次に、除染液放出装置５０は、走行装置６２の作動により走行路６１を走行してチャンバー１１の内部を側面壁１１ａから側面壁１１ｂに亘って走行する。除染液放出装置５０の走行は、片道走行であってもよく、往復走行であってもよい。また、複数回トラバースしながら走行するようにしてもよい。更に、除染液放出装置５０の走行は、定速走行であってもよく、加減速できるようにしてもよい。なお、この間に、除染液放出装置５０は、作動制御装置７０に予め設定されたプログラムに従って、過酸化水素ミストを除染対象室であるチャンバー１１の内部に放出する。

　除染液放出装置５０の走行速度及び過酸化水素ミストの放出量は、作動制御装置７０に予め設定されたプログラムに従って作動する。また、除染対象であるチャンバー１１の形状と容量に対応して、所定の位置での走行速度及び過酸化水素ミストの放出量を調整するようにしてもよい。なお、除染液放出装置５０の走行速度は、特に限定するものではないが、例えば、数cm/sec～数十cm/secなどであってもよい。一方、過酸化水素ミストの放出量は、チャンバー１１の容量と位置、及び、除染液放出装置５０の走行速度などによって調整されるが、例えば、過酸化水素水の量として０．１～１０g/min程度としてもよい。

　このような構成において、本第１実施形態に係る移動式除染装置においては、広くて平面アスペクト比が大きいチャンバーの場合においても、粒子サイズの大きな過酸化水素ミストがミスト発生装置から離れた位置まで十分に到達できないということがない。よって、ミスト発生装置の近傍の床面を濡らすということもない。一方、粒子サイズの小さな過酸化水素ミストも、チャンバーの中央部には十分に到達できないということもない。また、チャンバーの内部に物品が配置された状態においても、過酸化水素ミストが物品の表面に衝突して付着凝縮し、これらの表面を濡らすということもない。

　また、除染液放出装置を増設することなく、除染液放出装置に供給する過酸化水素水の量を必要最小限に精度よく制御できるので、チャンバーの大きさに対応して効率的な除染を行うことができる。更に、このように正確な量の過酸化水素ミストを供給できるので、必要最小限の除染液の量で十分な除染効果を得ることができ、除染液の効率的利用を図ることができる。

　よって、本第１実施形態においては、除染対象室や室内の機器などを均一且つ完璧に除染することができ、特に広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染する場合においても有効な移動式除染装置を提供することができる。

　＜第２実施形態＞
　本第２実施形態においては、複数のアイソレーター装置が接続されたチャンバーの形状が複雑な除染対象室を対象として、移動式除染装置で効率よく除染する場合について説明する。

　まず、チャンバーの形状が複雑な除染対象室を従来の方法で除染する場合について説明する。図８は、第２実施形態の除染対象室を従来の方法で除染している状態を示す内部断面の平面図である。図８において、除染対象室１００は、形状と容量の異なる４つのチャンバー１１１ａ～１１１ｄが複雑に組み合わされている。なお、各チャンバーの境界は解放されて連通している。なお、各チャンバーの給気用ブロワーや排気用ブロワーなどの備品は省略する。

　各チャンバー１１１ａ～１１１ｄの正面壁１１２ａ～１１２ｄ及び背面壁１１３ａ～１１３ｄの内側（作業領域１１４ａ～１１４ｄ内）には、それぞれ内部壁面上部にミスト放出装置と超音波振動盤とが一体となった７台の固定式除染装置１２０ａ～１２０ｇが設けられている。また、除染対象室１００の外部には、固定式除染装置１２０ａ～１２０ｇに過酸化水素水を供給する外部貯留槽１２２と秤量装置１２３、給液配管１２４ａ～１２４ｇと給液ポンプ１２５ａ～１２５ｇが設けられている。

　図８においては、固定式除染装置１２０ａ～１２０ｇから過酸化水素水ミストが放出され、超音波によって除染対象室１００の内部に拡散している。なお、図８の固定式除染装置１２０ａ～１２０ｇは、いずれも固定式であって本第２実施形態における移動式のものではない。

　図８は平面図であり詳細に示していないが、固定式除染装置１２０ａ～１２０ｇから放出された過酸化水素ミストは、放物線を描いて拡散しながら落下している。また、過酸化水素ミストの粒子サイズには分布があり、粒子サイズの大きな過酸化水素ミスト（図示せず）は、各固定式除染装置１２０ａ～１２０ｇから離れた位置まで十分に到達できず、近傍の床面を濡らした状態（図示せず）となっている。一方、粒子サイズの小さな過酸化水素ミストも、各チャンバー１１１ａ～１１１ｄの中央部には十分に到達できていない。このような現象は、チャンバーの形状が複雑な除染対象室の場合に生じやすい。

　これに対して、図９は、第２実施形態の除染対象室を本発明に係る移動式除染装置で除染している状態を示す内部断面の平面図である。図９においては、除染対象室１００などの内容は図８と同じであり、符号も同じものを使用する。なお、図９においては、図８の従来の除染方法において設けられた固定式除染装置は設けられていない。その代わり、各チャンバー１１１ａ～１１１ｄの背面壁１１３ａ～１１３ｄの内側（作業領域１１４ａ～１１４ｄ内）の内部壁面上部、及び、除染対象室１００の外部に移動式除染装置１３０が設けられている。

　移動式除染装置１３０は、除染液供給装置１４０と除染液放出装置１５０と室内移動装置１６０と作動制御装置１７０とを有している。なお、図９では移動式除染装置１３０に２台の除染液放出装置１５０ａ，１５０ｂ及び２台の走行装置１６２ａ，１６２ｂを設けているが、１台であってもよい。

　除染液供給装置１４０は、外部貯留槽１４１と秤量装置１４２、給液配管１４３と給液ポンプ１４４、及び、給液ステーション１４５を備えている。なお、外部貯留槽１４１と秤量装置１４２、及び、給液配管１４３と給液ポンプ１４４は、除染対象室１００の外部に設けられている。一方、給液ステーション１４５は、チャンバー１１１ａの側面壁１１５ａの内側（作業領域１１４ａ内）の内部壁面上部に設けられている。なお、外部貯留槽１４１と給液ステーション１４５とは、給液配管１４３によって連通している。これにより、給液ステーション１４５には、秤量装置１４２によって秤量された所定量の過酸化水素水が給液ポンプ１４４によって給液される。

　除染液放出装置１５０ａ，１５０ｂは、各チャンバー１１１ａ～１１１ｄの作業領域１１４ａ～１１４ｄの内部を移動しながら過酸化水素ミストを放出する。なお、除染液放出装置１５０ａ，１５０ｂの構造は、上記第１実施形態と同様である。

　室内移動装置１６０は、走行路１６１と走行装置１６２ａ，１６２ｂとを備えている。走行路１６１は、各チャンバー１１１ａ～１１１ｄの背面壁１１３ａ～１１３ｄの内側（作業領域１１４ａ～１１４ｄ内）の内部壁面上部に、チャンバー１１１ａの側面壁１１５ａからチャンバー１１１ｄの側面壁１１５ｄに亘って水平に設けられている。走行路１６１の一方の末端（側面壁１１５ａ側）は、給液ステーション１４５に接続している。また、走行装置１６２ａ，１６２ｂは、除染液放出装置１５０ａ，１５０ｂの背面に一体的に接合され、除染液放出装置１５０ａ，１５０ｂを走行路１６１に沿って側面壁１１５ａから側面壁１１５ｄの間を走行させる。なお、走行路１６１及び走行装置１６２ａ，１６２ｂの構造と走行機構は、上記第１実施形態と同様である。

　作動制御装置１７０は、除染液供給装置１４０の秤量装置１４２と給液ポンプ１４４、除染液放出装置１５０ａ，１５０ｂの駆動回路（第１実施形態と同様）、室内移動装置１６０の走行装置１６２ａ，１６２ｂなどの各作動、及び、これらの連携作動などを制御する。なお、作動制御装置１７０による制御については、上記第１実施形態と同様である。

　このような構成において、本第２実施形態に係る移動式除染装置においては、複数のアイソレーター装置が接続され、除染対象であるチャンバーの形状が複雑な除染対象室を１台の移動式除染装置で効率よく除染することができる。また、除染液放出装置に供給する過酸化水素水の量を必要最小限に精度よく制御できるので、除染対象室の大きさに対応して効率的な除染を行うことができる。更に、このように正確な量の過酸化水素ミストを供給できるので、必要最小限の除染液の量で十分な除染効果を得ることができ、除染液の効率的利用を図ることができる。

　よって、本第２実施形態においては、除染対象室や室内の機器などを均一且つ完璧に除染することができ、特に広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染する場合においても有効な移動式除染装置を提供することができる。

　＜第３実施形態＞
　本第３実施形態においては、医薬品製造現場において、医薬品をバイアル等に充填する設備や、バイアルに充填された医薬品を凍結乾燥するための設備などが連設された非常に大型の無菌アイソレーターを除染対象室として、複数台の移動式除染装置で効率よく除染する場合について説明する。

　まず、上記の非常に大型の無菌アイソレーターからなる除染対象室を従来の方法で除染する場合について説明する。図１０は、第３実施形態の除染対象室を従来の方法で除染している状態を示す内部断面の平面図である。図１０において、除染対象室２００は、全体としてＬ字形に屈曲し、且つ、各作業領域２１４ａ～２１４ｇの形状も複雑な状態になっている。なお、各作業領域に設置された装置や物品、各作業領域の給気用ブロワーや排気用ブロワー、及び、各作業領域２１４ａ～２１４ｇに連設した凍結乾燥設備などについては省略する。

　除染対象室２００の内部壁面上部には、ミスト放出装置と超音波振動盤とが一体となった１６台の固定式除染装置２２０ａ～２２０ｐが設けられている。また、除染対象室２００の外部には、固定式除染装置２２０ａ～２２０ｐに過酸化水素水を供給する外部貯留槽２２２と秤量装置２２３、給液配管２２４ａ～２２４ｐと給液ポンプ（図示せず）が設けられている。

　図１０においては、固定式除染装置２２０ａ～２２０ｐから過酸化水素水ミストが放出され、超音波によって除染対象室２００の内部に拡散している。なお、図１０の固定式除染装置２２０ａ～２２０ｐは、いずれも固定式であって本第３実施形態における移動式のものではない。

　図１０には図示していないが、固定式除染装置２２０ａ～２２０ｐから放出された過酸化水素ミストは、放物線を描いて拡散しながら落下している。また、１６台の固定式除染装置２２０ａ～２２０ｐが設けられている場合であっても、粒子サイズの大きな過酸化水素ミスト（図示せず）は、各固定式除染装置２２０ａ～２２０ｐから離れた位置まで十分に到達できず、近傍の床面を濡らした状態（図示せず）となることがある。一方、粒子サイズの小さな過酸化水素ミスト（図示せず）も、各作業領域２１４ａ～２１４ｇの中央部には十分に到達できない場合がある。このような現象は、非常に大型の無菌アイソレーターからなる除染対象室の場合に生じやすい。

　これに対して、図１１は、第３実施形態の除染対象室を本発明に係る移動式除染装置で除染している状態を示す内部断面の平面図である。図１１においては、除染対象室２００などの内容は図１０と同じであり、符号も同じものを使用する。なお、図１１においては、図１０の従来の除染方法において設けられた固定式除染装置は設けられていない。その代わり、除染対象室２００の全域（作業領域２１４ａ～２１４ｇ）に亘って内部壁面上部、及び、除染対象室２００の外部に５台の移動式除染装置２３０ａ～２３０ｅが設けられている。移動式除染装置２３０ａ～２３０ｅは、除染液供給装置２４０（５台共有）と除染液放出装置２５０ａ～２５０ｅと室内移動装置２６０ａ～２６０ｅと作動制御装置２７０（５台共有）とを有している。

　除染液供給装置２４０は、外部貯留槽２４１と秤量装置２４２、給液配管２４３ａ～２４３ｄと給液ポンプ（図示せず）、及び、給液ステーション２４５ａ～２４５ｄを備えている。なお、外部貯留槽２４１と秤量装置２４２、及び、給液配管２４３ａ～２４３ｄと給液ポンプ（図示せず）は、除染対象室２００の外部に設けられている。一方、給液ステーション２４５ａ～２４５ｄは、作業領域２１４ａ～２１４ｇの内部壁面上部に分散して設けられている（図１１参照）。なお、外部貯留槽２４１と給液ステーション２４５ａ～２４５ｄとは、給液配管２４３ａ～２４３ｄによって連通している。これにより、給液ステーション２４５ａ～２４５ｄには、秤量装置２４２によって秤量された所定量の過酸化水素水が給液ポンプ（図示せず）によって給液される。

　５台の除染液放出装置２５０ａ～２５０ｅは、除染対象室２００の内部を移動しながら過酸化水素ミストを放出する。なお、除染液放出装置２５０ａ～２５０ｅの構造は、上記第１実施形態と同様である。

　５台の室内移動装置２６０ａ～２６０ｅは、５台の走行路２６１ａ～２６１ｅと走行装置２６２ａ～２６２ｅとを備えている。走行路２６１ａ～２６１ｅは、作業領域２１４ａ～２１４ｇの内部壁面上部に、全域に亘って水平に設けられている（図１１参照）。走行路２６１ａ～２６１ｅの所定の箇所には、給液ステーション２４５ａ～２４５ｄに接続している（図１１参照）。また、走行装置２６２ａ～２６２ｅは、除染液放出装置２５０ａ～２５０ｅの背面に一体的に接合され、除染液放出装置２５０ａ～２５０ｅを走行路２６１ａ～２６１ｅに沿って作業領域２１４ａ～２１４ｇの内部壁面上部を走行させる。なお、走行路２６１ａ～２６１ｅ及び走行装置２６１ａ～２６１ｅの構造と走行機構は、上記第１実施形態と同様である。

　作動制御装置２７０（５台共有）は、除染液供給装置２４０の秤量装置２４２と給液ポンプ（図示せず）、除染液放出装置２５０ａ～２５０ｅの駆動回路（第１実施形態と同様）、室内移動装置２６０ａ～２６０ｅの走行装置２６１ａ～２６１ｅなどの各作動、及び、これらの連携作動などを制御する。なお、作動制御装置２７０による制御については、上記第１実施形態と同様である。

　このような構成において、本第３実施形態に係る移動式除染装置においては、医薬品製造現場において、医薬品をバイアル等に充填する設備や、バイアルに充填された医薬品を凍結乾燥するための設備などが連設された非常に大型の無菌アイソレーターを除染対象室として、複数台の移動式除染装置で効率よく除染することができる。また、除染液放出装置に供給する過酸化水素水の量を必要最小限に精度よく制御できるので、除染対象室の大きさに対応して効率的な除染を行うことができる。更に、このように正確な量の過酸化水素ミストを供給できるので、必要最小限の除染液の量で十分な除染効果を得ることができ、除染液の効率的利用を図ることができる。

　よって、本第３実施形態においては、除染対象室や室内の機器などを均一且つ完璧に除染することができ、特に広い領域を有する除染対象室や複数の除染対象室の内部を除染する場合においても有効な移動式除染装置を提供することができる。

　なお、本発明の実施にあたり、上記各実施形態に限らず次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）上記各実施形態においては、広い領域や形状が複雑な除染対象室の除染について説明した。しかし、しかし、これに限定されるものではなく、小型のアイソレーターやパスボックスなどの除染に利用するようにしてもよい。
（２）上記各実施形態においては、移動式除染装置の除染液放出装置への過酸化水素水の供給に給液ステーションを介して行っている。しかし、これに限定されるものではなく、外部貯留槽から直接、除染液放出装置に供給するようにしてもよい。
（３）上記各実施形態においては、駆動回路用の電源装置（バッテリー）として、充電式のものを使用した。しかし、これに限定されるものではなく、いずれも交換可能なカートリッジ式のものを使用するようにしてもよい。
（４）上記各実施形態においては、広くて平面アスペクト比が大きいチャンバーや、複数のアイソレーター装置が接続されたチャンバーの形状が複雑な除染対象室や、非常に大型の無菌アイソレーターを除染対象室として、移動式除染装置で効率よく除染する場合について説明した。しかし、これに限定されるものではなく、パスボックスなどの比較的狭い空間においても、その内部を効率よく除染するために移動式除染装置を使用するようにしてもよい。
（５）上記各実施形態においては、移動式除染装置として使用するが、当該装置の除染液放出装置をパーティクルカウンターの吸引プローブに取り替えることにより、ＨＥＰＡフィルタのリーク試験に転用することができる。
（６）上記各実施形態においては、室内移動装置の走行路は、チャンバーの内部壁面上部に設けられている。しかし、これに限定されるものではなく、走行路をチャンバーの天井部中央に設けるようにしてもよい。この場合には、除染液放出装置のミスト放出口は、装置の正面だけではなく、表裏両面及び下面に設けるようにしてもよい。
（７）上記各実施形態においては、室内移動装置の走行路は、チャンバーの内部壁面上部に設けられている。しかし、これに限定されるものではなく、走行路をチャンバーの壁面下方或いは作業台表面など任意の位置に設けるようにしてもよい。
（８）上記各実施形態においては、除染液放出装置が具備する駆動回路がミスト発生装置の作動を制御する。一方、走行装置の駆動を制御する駆動装置は、走行装置に配備されているものとした。しかし、これに限定されるものではなく、走行装置の駆動を制御する駆動回路も除染液放出装置の内部に配備するようにしてもよい。更に、ミスト発生装置と駆動装置との両方を制御する駆動回路を除染液放出装置の内部又は駆動装置の内部に配備するようにしてもよい。
（９）上記各実施形態においては、除染液放出装置が具備する電源装置（バッテリー）は、駆動回路を作動させるものとした。しかし、これに限定されるものではなく、駆動回路を作動させる電源装置を走行装置の内部に配備するようにしてもよい。更に、ミスト発生装置と駆動装置との両方を作動させる電源装置を除染液放出装置の内部又は駆動装置の内部に配備するようにしてもよい。

１０…アイソレーター装置、１１…チャンバー、
１１ａ～１１ｄ，１１２ａ～１１２ｄ，１１３ａ～１１３ｄ…壁面、
１２…給気用ブロワー、１３…排気用ブロワー、
１４，１１４ａ～１１４ｄ，２１４ａ～２１４ｇ…作業領域、１５…給気用ファン、
１６…フィルタユニット、１７…スクリーンメッシュ整流板、
１８ａ～１８ｃ…物品、２０ａ～２０ｃ…ミスト放出装置、
２１ａ～２１ｃ…超音波振動盤、
２２，４１，１２２，１４１，２２２，２４１…外部貯留槽、
２３，１２３，２２３…秤量装置、
２４ａ～２４ｃ，４３，１２４ａ～１２４ｇ，１４３，２２４ａ～２２４ｐ，２４３ａ～２４３ｄ…給液配管、
２５ａ～２５ｃ，４４，１４４，１２５ａ～１２５ｇ…給液ポンプ、
３０，１３０，２３０ａ～２３０ｅ…移動式除染装置、
４０，１４０，２４０…除染液供給装置、４２，１４２，２４２…秤量装置、
４５，１４５，２４５ａ～２４５ｄ…給液ステーション、
５０，１５０ａ，１５０ｂ，２５０ａ～２５０ｅ…除染液放出装置、
５１…ミスト発生装置、５１ａ…圧電振動子、５１ｂ…多孔振動板、５２…駆動回路、
５３…バッテリー（電源装置）、５４…過酸化水素水タンク（除染液タンク）、
５４ａ…細管、５５…ミスト放出口、
６０，１６０，２６０ａ～２６０ｅ…室内移動装置、
６１，１６１，２６１ａ～２６１ｅ…走行路、
６２，１６２ａ，１６２ｂ，２６２ａ～２６２ｅ…走行装置、
７０，１７０，２７０…作動制御装置、１００，２００…除染対象室、
１１１ａ～１１１ｄ…チャンバー、
１２０ａ～１２０ｇ，２２０ａ～２２０ｐ…固定式除染装置。

Claims

　除染用ミストを使用して除染対象室の内部を除染する除染装置であって、
　除染液放出装置と、室内移動装置とを有し、
　前記除染液放出装置は、除染液タンクと、除染液をミスト化する１又は２以上のミスト発生装置と、当該ミスト発生装置の駆動を制御する駆動回路と、前記ミスト発生装置で発生した除染剤のミストを前記除染対象室の内部に放出する１又は２以上のミスト放出口とを備え、
　前記室内移動装置は、前記除染対象室の内部に配設された走行路と、当該走行路に沿って前記除染液放出装置を走行させる走行装置とを備えていることを特徴とする移動式除染装置。
　予め除染液を貯留しておく外部貯留槽と、当該外部貯留槽と前記除染液放出装置との間で除染液を給液する給液配管とを備えた除染液供給装置を有し、
　前記除染液供給装置は、秤量装置と給液ポンプとを具備して、所定量の除染液を秤量し前記給液配管を介して前記除染液放出装置に給液することを特徴とする請求項１に記載の移動式除染装置。
　前記除染液供給装置、除染液放出装置及び室内移動装置の作動を制御する作動制御装置を備え、
　前記作動制御装置は、予め設定されたプログラムに沿って、
　前記除染液供給装置が具備する前記秤量装置及び前記給液ポンプを制御して、所定量の除染液を秤量して前記除染液放出装置ヘの給液量を調整し、
　前記除染液放出装置が具備する前記駆動回路を制御して、ミストの放出量を調整し、
　前記室内移動装置が具備する前記走行装置を制御して、前記除染対象室の内部における前記除染液放出装置の位置を調整することにより、
　前記除染対象室の位置と当該位置におけるミスト放出量とを制御することを特徴とする請求項２に記載の移動式除染装置。
　前記外部貯留槽と前記除染液放出装置とを連通する前記給液配管の管路に所定量の除染液を一時的に貯える給液ステーションを備え、
　前記作動制御装置は、前記除染液供給装置から前記給液ステーションへの給液、及び、当該給液ステーションから前記除染液放出装置への給液を制御することを特徴とする請求項３に記載の移動式除染装置。
　前記除染液放出装置が具備する前記除染液タンクは、所定量の除染液を充填した交換可能なカートリッジ式タンクであることを特徴とする請求項１に記載の移動式除染装置。
　前記除染液放出装置又は前記室内移動装置には、交換可能なカートリッジ式電源装置が具備されていることを特徴とする請求項１に記載の移動式除染装置。
　前記ミスト発生装置は、圧電振動子と、当該圧電振動子の振動により除染液を霧化する複数の微細孔が表裏を貫通して設けられた多孔振動板とを備えた超音波霧化装置であって、
　当該多孔振動板が前記ミスト放出口を構成していることを特徴とする請求項１～６のいずれか１つに記載の移動式除染装置。