WO2023063204A1 - モリブデンを含む粉末 - Google Patents

モリブデンを含む粉末 Download PDF

Info

Publication number
WO2023063204A1
WO2023063204A1 PCT/JP2022/037400 JP2022037400W WO2023063204A1 WO 2023063204 A1 WO2023063204 A1 WO 2023063204A1 JP 2022037400 W JP2022037400 W JP 2022037400W WO 2023063204 A1 WO2023063204 A1 WO 2023063204A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
less
molybdenum
particle size
powder
specific surface
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/037400
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
慎 渡辺
祐丞 芳野
Original Assignee
株式会社アライドマテリアル
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社アライドマテリアル filed Critical 株式会社アライドマテリアル
Priority to JP2023554461A priority Critical patent/JPWO2023063204A1/ja
Priority to CN202280068397.0A priority patent/CN118103158A/zh
Publication of WO2023063204A1 publication Critical patent/WO2023063204A1/ja

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/05Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/04Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from solid material, e.g. by crushing, grinding or milling
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C27/00Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
    • C22C27/04Alloys based on tungsten or molybdenum

Definitions

  • the present disclosure relates to powders containing molybdenum.
  • This application claims priority from Japanese Patent Application No. 2021-168283 filed on October 13, 2021. All the contents described in the Japanese patent application are incorporated herein by reference.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-36006
  • the molybdenum-containing powder of the present disclosure has an average particle size of 0.5 ⁇ m or more and 3.0 ⁇ m or less by the Fsss method, and a BET specific surface area of 0.3 m 2 /g or more and 5.5 m 2 /g or less by the gas absorption method. It has an aggregation coefficient of 5.5 or less calculated from the average particle diameter and BET specific surface area by the Fsss method, and an apparent density of 2.13 g/cm 3 or less measured according to JISZ2504 (2012).
  • ammonium molybdate or MoO 3 (molybdenum trioxide) powder is filled in a reduction boat (for example, a heat-resistant alloy boat), inserted into a reduction furnace in a hydrogen atmosphere, and reduced at a constant temperature. , to produce intermediate products.
  • the intermediate product is further heated at a high temperature to produce Mo powder.
  • a sintering temperature of about 1800 ° C to 2000 ° C is required to obtain a dense molybdenum sintered body by a general powder metallurgy method, and sintering at a high temperature is required. This leads to high sintering costs for molybdenum-containing powders produced by conventional methods.
  • the sintering (joining) temperature with materials containing molybdenum powder is generally higher than 1000 ° C.
  • Thermal expansion with ceramics other than molybdenum Due to the difference, problems such as warping of the fired workpiece may occur. The reason for this is considered to be the problem of shrinkage characteristics during sintering caused by variations in particle size of molybdenum powder and aggregation of particles.
  • molybdenum powder which has fine grains, less agglomeration, and good sinterability at low temperatures, is useful.
  • Patent Document 1 In the powder metallurgy method of Patent Document 1, an intermediate product produced when powder of ammonium molybdate or MoO 3 (molybdenum trioxide) is reduced is doped with K and P and reduced in a hydrogen atmosphere. A method for producing molybdenum powder having uniform grains having an apparent density of 2.2 or more and having no particles of 22 ⁇ m or less in the grain size distribution is described.
  • the Mo powder obtained by the method of Patent Document 1 has less agglomeration than the conventional molybdenum-containing powder, but is considered to have poor sinterability due to its large particle size. Further, Patent Document 1 describes improvement of the packing density of Mo powder, but does not mention sinterability at all.
  • the powder containing molybdenum of the present disclosure has an average particle size (hereinafter also referred to as Fsss average particle size) of 0.5 ⁇ m or more and 3.0 ⁇ m or less by the Fsss method, and a BET specific surface area (hereinafter, BET specific surface area ) is 0.3 m 2 /g or more and 5.5 m 2 /g or less, and the cohesion coefficient calculated from the average particle size by the Fsss method and the BET specific surface area is 5.5 or less.
  • Fsss average particle size average particle size
  • BET specific surface area a BET specific surface area
  • the present disclosure relates to a molybdenum-containing powder that is less agglomerated and has excellent sinterability, and it was found that an effect can be obtained by setting the following characteristic values within a predetermined range.
  • the required ranges are Fsss average particle size of 0.5 ⁇ m or more and 3.0 ⁇ m or less, BET specific surface area of 0.3 m 2 /g or more and 5.5 m 2 /g or less, aggregation The coefficient is 5.5 or less.
  • the aggregation coefficient ⁇ is expressed by the following formula.
  • d the BET particle diameter calculated from the BET specific surface area
  • the density
  • a more preferable range is an Fsss average particle size of 0.5 ⁇ m or more and 3.0 ⁇ m or less, a BET specific surface area of 0.3 m 2 /g or more and 5.5 m 2 /g or less, and an aggregation coefficient of 1.5 or more and 5.1 or less. .
  • a preferred range of molybdenum purity is 99.5% by mass or more.
  • a more preferable range is molybdenum purity of 99.9% by mass or more. Within this range, impurities are less likely to affect sinterability.
  • At least one of Al, Ca, Cr, Cu, Fe, Mg, Mn, Ni, Pb, Sn, Si, Na, K, As, P, and W can be included as a composition other than molybdenum.
  • the proportion of each composition is less than 0.1% by mass.
  • the analysis method is JISH1404 (2001) for Fe, Ca, Si, Al, and Mg, atomic absorption spectrometry for K, Na, and As (manufactured by Analytic Jena Japan: contrAA300), and ICP emission spectroscopy for P and other metals (manufactured by Shimadzu Corporation). : ICPS-8100) can be used.
  • the preferred range of particle size distribution is D90/D10 of 4.3 or less.
  • a more preferable range of D90/D10 is 1.5 or more and 4.0 or less. Within this range, the sinterability is further improved.
  • D90 represents the D90% diameter, and refers to the particle size at which the cumulative frequency of particles below this particle size in the particle size distribution graph is 90%.
  • D10 represents the D10% diameter, and refers to the particle size at which the cumulative frequency of particles smaller than this particle size in the particle size distribution graph is 10%. Within this range, the sinterability is further improved.
  • a preferable range of crystallite size is 1000 nm or less.
  • a more preferable range is a crystallite size of 75 nm or more and 980 nm or less. Within this range, the sinterability is further improved.
  • a preferable range of lattice strain is 0.018% or more.
  • a more preferable range is a lattice strain of 0.02% or more. Within this range, the sinterability is further improved.
  • a relative density of 70% or more can be achieved when sintered at 800°C, and a relative density of 85% or more can be achieved when sintered at 1400°C.
  • the apparent density measured according to JISZ2504 (2012) is 2.13 g/cm 3 or less, preferably the tap density measured according to JISZ2512 (2012) is 4.34 g/cm 3 or less.
  • Step 1 raw material sieving
  • step 2 single-step reduction
  • step 3 intermediate sieving
  • step 4 two-step reduction
  • step 5 final sieving
  • step 6 mortar crushing
  • Step 1 Raw material sieving The raw material MoO3 powder is sieved. The raw material is passed through a sieve with a predetermined mesh size to remove coarse particles and agglomerated powder, and to collect under-sieves. The opening of the sieve mesh is appropriately changed depending on the raw material and the target molybdenum powder particle size.
  • Step 2 One-step reduction (MoO 3 ⁇ MoO 2 )
  • MoO 3 sieved in step 1 is charged into a heat-resistant alloy boat, reduced to MoO 3 ⁇ MoO 2 and taken out.
  • Optimal reduction conditions temperature, hydrogen flow rate, boat filling amount, equipment to be used, etc. are appropriately selected according to the target particle size of the powder.
  • Step 3 Intermediate sieving The MoO 2 powder obtained in step 2 is sieved.
  • the MoO 2 powder is passed through a sieve with a predetermined mesh size to remove coarse particles and agglomerated powder, and the under-sieves are recovered.
  • the opening of the sieve mesh is appropriately changed according to the MoO 2 powder and the target molybdenum powder particle size.
  • Step 4 Two-step reduction ( MoO2 ⁇ Mo)
  • MoO2 ⁇ Mo The MoO 2 sieved in step 3 is charged into a heat-resistant alloy boat, reduced to MoO 2 ⁇ Mo and taken out.
  • Optimal reduction conditions temperature, hydrogen flow rate, boat filling amount, equipment to be used, etc. are appropriately selected according to the target particle size of the powder. Thus, a powder containing molybdenum is obtained.
  • Step 5 Final sieving The molybdenum-containing powder obtained in step 4 is sieved.
  • the molybdenum-containing powder is passed through a sieve with a predetermined mesh size to remove coarse particles and agglomerated powder, and to collect under-sieves.
  • the opening of the sieve mesh is appropriately changed according to the powder containing molybdenum and the target particle size of the molybdenum powder.
  • Step 6 Mortar Grinding The molybdenum-containing powder obtained in Step 5 is ground in a mortar. As a result, the slightly remaining agglomerated powder is crushed and lattice strain is introduced.
  • Step 1 Raw material sieving MoO3 powder with Fsss average particle size of 4 ⁇ m and molybdenum purity in MoO3 of 66.33% or more (99.5% or more in terms of Mo powder) is used as the raw material.
  • the Fsss average particle diameter is preferably 0.5 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less. If it exceeds this, the Fsss average particle size of the molybdenum-containing powder may become 3.0 ⁇ m or more. It should be noted that "possible” indicates that there is a slight possibility that such an event will occur, and does not mean that such an event will occur with a high probability.
  • Molybdenum purity in MoO 3 is preferably 66.33% or more (99.5% or more in terms of Mo powder).
  • the molybdenum purity in MoO 3 is 66.6% or higher (99.9% or higher in terms of Mo powder). This is because the more impurities contained in molybdenum, the more likely it is to affect the sinterability of molybdenum.
  • the opening is preferably 300 ⁇ m or less. If it exceeds this, coarse particles or agglomerated powder may not be removed.
  • Step 2 One-step reduction (MoO 3 ⁇ MoO 2 ) MoO 3 sieved in step 1 is packed into a heat-resistant alloy boat with a thickness of 35 mm. Using a pusher-type reducing furnace, MoO 2 is obtained by carrying out a reduction treatment under the conditions of a hydrogen flow rate of 5 m 3 /h and a reduction temperature of 500°C.
  • the thickness of MoO3 filled in the alloy boat is preferably 50 mm or less. If this is exceeded, the reduction of MoO 3 in the boat may not progress.
  • a hydrogen flow rate of 3 m 3 /h or more is preferable. If it is less than this, reduction of MoO 3 in the boat may not progress.
  • the reduction temperature is preferably 450° C. or higher and 650° C. or lower. If this is exceeded, the MoO3 raw material may melt because it approaches the melting point. If it is less than this, reduction of MoO 3 in the boat may not progress.
  • Step 3 Intermediate sieving The MoO 2 obtained in Step 2 is sieved with a mesh size of 75 ⁇ m to remove coarse particles and agglomerated powder, and to collect undersieving.
  • the opening is preferably 150 ⁇ m or less. If it exceeds this, coarse particles or agglomerated powder may not be removed.
  • Step 4 Two-stage reduction (reduction of MoO2 )
  • the MoO 2 after intermediate sieving in step 3 is packed into a heat-resistant alloy boat with a thickness of 20 mm.
  • a powder containing molybdenum is obtained by reduction treatment using a pusher-type reducing furnace under the conditions of a hydrogen flow rate of 10 m 3 /h and a reduction temperature of about 600 to 920°C.
  • the thickness of MoO2 filled in the heat-resistant alloy boat is preferably 50 mm or less. If this is exceeded, the reduction of MoO 2 in the boat may not progress.
  • a hydrogen flow rate of 5 m 3 /h or more is preferable. If it is less than this, reduction of MoO 2 in the boat may not progress.
  • the reduction temperature is preferably 600° C. or higher and 950° C. or lower. If it exceeds this, the Fsss average particle size of the molybdenum-containing powder may become 3.0 ⁇ m or more. If it is less than this, reduction of MoO 2 in the boat may not progress.
  • Step 5 Final sieving The obtained powder containing molybdenum is sieved with a mesh size of 45 ⁇ m or less (20 ⁇ m for sample No. 1) to remove coarse particles and agglomerated powder, and to collect undersieving.
  • the opening is 45 ⁇ m or less. If it exceeds this, coarse particles or aggregated powder may not be removed.
  • Step 6 Mortar Pulverization Mo powder obtained by the final sieving is pulverized in an automatic mortar. Add 500 g per batch and perform for 10 minutes.
  • step 4 two-stage reduction and the opening of the sieve mesh in step 5 final sieving were changed, and step 6 mortar pulverization was omitted. This gave powders containing molybdenum of sample numbers 1 to 33 and 41 to 60.
  • Powders containing molybdenum were evaluated as follows. ⁇ Method for measuring Fsss average particle size> The Fsss average particle diameter is measured by the Fisher method.
  • the equipment used is Fisher Scientific's Fisher Sub-Sieve Sizer Model 95. Fill the sample tube with a sample of true density, determine the porosity from the height of the sample, pass air of 1 MPa pressure through it, read the manometer water level with the numerical value on the calculator chart, and take the value as Fsss average particle size in ⁇ m. show.
  • the Fsss average particle size represents the average particle size of the powder, and the lower the value, the smaller the average particle size.
  • the BET specific surface area is measured by a gas adsorption method.
  • the device used is Macsorb HM Model-1208 manufactured by MOUNTECH. Nitrogen gas is adsorbed on the powder, and the BET specific surface area of the powder is measured from the amount of adsorbed gas molecules.
  • the unit of the BET specific surface area is m 2 /g, and the smaller the Fsss average particle size, the larger the BET specific surface area.
  • the aggregation coefficient is represented by the ratio of the Fsss average particle size ( ⁇ m) and the BET particle size ( ⁇ m) obtained from the BET specific surface area. The closer the cohesion coefficient is to 1, the less cohesion there is, and the larger the cohesion coefficient, the more cohesion there is. In principle, the cohesion coefficient takes a value of ⁇ 1.
  • the Fsss average particle diameter means the secondary particle diameter including aggregation, while the BET particle diameter obtained from the BET specific surface area means a value close to the primary particle diameter not including aggregation.
  • ⁇ Particle size distribution measurement method The particle size distribution is measured by a laser diffraction/scattering method. D90 and D10 are thus obtained.
  • the equipment used is Microtrack Bell's MT3300EX2, laser light diffraction/scattering type. Pure water was used as a solvent with a particle refractive index of 2.76 and a solvent refractive index of 1.33.
  • a larger value for D90/D10 indicates a broader particle size distribution, and a smaller value indicates a sharper (uniform particle) particle size distribution.
  • Lattice strain and crystallite size are measured by the X-ray diffraction method.
  • the equipment used is PANalytical's EMPYREAM.
  • EMPYREAM EMPYREAM.
  • the scattered X-rays show a diffraction pattern peculiar to the material depending on the arrangement state of the atoms and molecules of the material, and Rietveld analysis is performed by fitting this diffraction pattern using the nonlinear least-squares method. Obtain lattice strain and crystallite size.
  • the crystallite size indicates the smallest unit of a crystal grain that can be regarded as a single crystal. Smaller crystallite sizes tend to result in smaller particle diameters, while smaller particle diameters tend to increase the contact area between grains. Since sintering proceeds easily, the relative density of the sintered body can be improved.
  • “Final sieve opening” in Tables 1 and 2 refers to the sieve opening used in the final sieving in step 5.
  • “Pulverization in a mortar” indicates the presence or absence of the mortar crushing in step 6.
  • “Fsss”, “BET”, “aggregation coefficient”, “particle size distribution”, and “crystallite size” are the Fsss average particle size, BET specific surface area, and aggregation coefficient of the molybdenum-containing powder obtained through step 5 or 6. , particle size distribution D90/D10 and crystallite size.
  • a sintered body was produced using the molybdenum-containing powder shown in Tables 1 and 2, and the density was determined.
  • the method for measuring the density of the sintered body is as follows.
  • the sintered body for density measurement was produced by first putting 10 g of molybdenum-containing powder into a ⁇ 20 mm mold and press-molding it with a 30-t press so that a pressure of 50 MPa was applied. Next, sintering was performed in a hydrogen atmosphere at a sintering temperature of 800° C. for 2 hours or at a sintering temperature of 1400° C. for 2 hours to obtain a sintered body. After impregnating the sintered body with paraffin for about 10 minutes to fill voids in the sintered body, the density of the sintered body was measured using the Archimedes method.
  • Relative density after sintering at 800°C in Tables 3 and 4 refers to the relative density of the sintered body after sintering at a temperature of 800°C.
  • “Relative density after sintering at 1400°C” refers to the relative density of the sintered body after sintering at a temperature of 1400°C.
  • sample numbers 1 to 33 are powders containing molybdenum that are less agglomerated, have fine and uniform grains, and have a lot of lattice distortion, so they are easier to sinter at a lower temperature than before. This reduces the cost of sintering and also reduces the energy used, thus solving the energy problem.
  • the shrinkage rate can be controlled by the sintering temperature.
  • a sintered body that can be plastically worked by rolling or forging is required to have a relative density of 85% or more, and in order to manufacture it, it was necessary to sinter a molybdenum compact at 1800 ° C. or more. Since it can be manufactured at a temperature of 1400° C., it is possible to reduce the manufacturing cost.
  • sample numbers 28, 29, 30, 31, 32, and 33 where the Fsss average grain size exceeds 2.5 ⁇ m, it was determined that the relative density after sintering at 800° C. and the relative density after sintering at 1400° C. are effective in the present disclosure. It becomes a value close to the lower limit of 70% or more and 85% or more. Furthermore, in sample numbers 30 and 33, which have an Fsss average grain size of 2.5 ⁇ m and a BET specific surface area of less than 0.5, relative density after sintering at 800°C is 72% or less and It can be seen that the sinterability is lowered to a relative density of 85% or less after binding.
  • the Fsss average particle diameter is 0.5 ⁇ m or more and 2.5 ⁇ m or less
  • the BET specific surface area is 0.4 m 2 /g or more and 5.5 m 2 /g or less
  • the aggregation coefficient is 1.5 or more and 5.1 or less. more preferred.
  • Sample Nos. 8, 18, and 28, in which the particle size distribution D90/D10 exceeds 4.3, are slightly less sinterable than the samples in Tables 1 and 3, which have the same Fsss average particle size or BET specific surface area. It can be seen that it is declining. Therefore, the particle size distribution D90/D10 is preferably 4.3 or less.
  • the particle size distribution D90/D10 is more preferably 4.3 or less.
  • Sample Nos. 31 and 32 with a crystallite size exceeding 1000 nm have slightly lower sinterability than the samples in Tables 1 and 3 having the same Fsss average particle size or BET specific surface area. I understand. Therefore, the crystallite size is preferably 1000 nm or less.
  • sample number 33 whose crystallite size exceeds 980 nm, has slightly decreased sinterability compared to the samples in Tables 1 and 3, which have the same Fsss average particle size or BET specific surface area. I understand. Therefore, the crystallite size is more preferably 75 nm or more and 980 nm or less.
  • sample numbers 11, 17, 22, 24, and 32 with lattice strain less than 0.018% are slightly less than the samples in Tables 1 and 3, which have equivalent Fsss average grain sizes or BET specific surface areas. It can be seen that the sinterability is degraded. Therefore, the lattice strain is preferably 0.018% or more.
  • sample numbers 18, 28, and 31 with lattice strain less than 0.020% are slightly sinterable compared to the samples in Tables 1 and 3, which have comparable Fsss average grain size or BET specific surface area. is found to be declining. Therefore, the lattice strain is more preferably 0.020% or more.
  • the apparent density measured according to JISZ2504 (2012) is less than 1.96 g/ cm3 .
  • the tap density measured according to JISZ2512 (2012) is preferably 4.34 g/cm 3 or less.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

Fsss法による平均粒径が0.5μm以上3.0μm以下かつ、ガス吸収法によるBET比表面積が0.3m2/g以上5.5m2/g以下かつ、Fsss法による平均粒径およびガス吸着法によるBET比表面積から算出される凝集係数が5.5以下であり、JISZ2504(2012)に従って測定した見掛密度が2.13g/cm3以下である、モリブデンを含む粉末。

Description

モリブデンを含む粉末
 本開示は、モリブデンを含む粉末に関する。本出願は、2021年10月13日に出願した日本特許出願である特願2021-168283号に基づく優先権を主張する。当該日本特許出願に記載された全ての記載内容は、参照によって本明細書に援用される。
 従来、モリブデンを含む粉末は、たとえば特開平11-36006号公報(特許文献1)に開示されている。
特開平11-36006号公報
 本開示のモリブデンを含む粉末は、Fsss法による平均粒径が0.5μm以上3.0μm以下であり、ガス吸収法によるBET比表面積が0.3m/g以上5.5m/g以下であり、Fsss法による平均粒径およびBET比表面積から算出される凝集係数が5.5以下であり、JISZ2504(2012)に従って測定した見掛密度が2.13g/cm以下である。
[本開示が解決しようとする課題]
 従来のモリブデンを含む粉末は焼結性が悪いという問題があった。
 [本開示の実施形態の説明]
 最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
 従来の方法では、モリブデン酸アンモニウムもしくはMoO(三酸化モリブデン)の粉末を用いて還元用ボート(例えば耐熱合金ボートなど)に充填し、水素雰囲気中の還元炉に挿入し一定温度下で還元し、中間生成物を製造する。その中間生成物をさらに高温で加熱しMo粉末を製造する。この方法で製造されたモリブデン粉末の特徴として、一般的な粉末冶金法により緻密なモリブデン焼結体を得るための焼結温度は1800℃~2000℃程度が必要であり、高温での焼結処理が必須である。このため従来の方法で製造されたモリブデンを含む粉末の焼結コストが高くなる原因となる。
 他にもメタライズ等のモリブデン以外のセラミック等の物質との接合では一般的にモリブデン粉末を含む材質との焼結(接合)温度は1000℃以上と高くモリブデン以外のセラミック等の物質との熱膨張差により焼成後のワークに反りが発生するなどの問題が発生する場合がある。その要因としてはモリブデン粉末の粒径のばらつきや粒子の凝集が原因で発生する焼結時の収縮特性の問題が考えられる。
 従来の粉末冶金法におけるモリブデンを含む粉末の製造方法の場合、凝集が発生しやすい。従来方法で比較的焼結性の良い微粒モリブデン粉末を得るためには比較的低温で還元する必要があり、これにより粒成長が十分進まないことにより、特に凝集が多い傾向にある。焼結性を向上する目的で粒径を小さくすることと、この目的で製造された微粒モリブデン粉末の凝集の多さはトレードオフの関係にある。
 これらを考慮すると、微粒かつ凝集が少なく低温で焼結性が良い特性を持つモリブデン粉末が有用であると考えられている。
 特許文献1の粉末冶金法では、モリブデン酸アンモニウムもしくはMoO(三酸化モリブデン)の粉末を還元した際に生成される中間生成物にKとPをドープして水素雰囲気中で還元する。みかけ密度が2.2以上かつ粒度分布において22μm以下が存在しない均粒のモリブデン粉末の製造方法が記載されている。特許文献1の方法によるMo粉末は従来のモリブデンを含む粉末よりも凝集が少ないが粒径が大きいため焼結性が良くないと考えられる。また、特許文献1はMo粉末の充填密度の向上について記載されているが、焼結性については一切言及されていない。
 本開示のモリブデンを含む粉末は、Fsss法による平均粒径(以下、Fsss平均粒径ともいう)が0.5μm以上3.0μm以下であり、ガス吸収法によるBET比表面積(以下、BET比表面積ともいう)が0.3m/g以上5.5m/g以下であり、Fsss法による平均粒径およびBET比表面積から算出される凝集係数が5.5以下である。
 (1)物の説明
 本開示は凝集が少なく焼結性に優れたモリブデンを含む粉末に関するものであり以下の特性値を所定の範囲とすることで効果が得られることを見出した。
 Fsss平均粒径、BET比表面積および凝集係数に関して、必要範囲は、Fsss平均粒径0.5μm以上3.0μm以下、BET比表面積が0.3m/g以上5.5m/g以下、凝集係数5.5以下である。凝集係数γは以下の式で表される。
 γ=Fsss平均粒径/d=(Fsss平均粒径×BET比表面積×ρ)/6
 ここで、dはBET比表面積から算出したBET粒子径、ρは密度である。
 より好ましい範囲は、Fsss平均粒径が0.5μm以上3.0μm以下、BET比表面積が0.3m/g以上5.5m/g以下、凝集係数1.5以上5.1以下である。
 さらにより好ましい範囲は、Fsss平均粒径が0.5μm以上2.5μm以下、BET比表面積が0.4m/g以上5.5m/g以下、凝集係数1.5以上5.1以下である。この範囲であれば焼結性がより向上する。
 モリブデン純度の好ましい範囲は、99.5質量%以上である。より好ましい範囲はモリブデン純度99.9質量%以上である。この範囲であれば不純物が焼結性へ影響を与えるおそれが少ない。
 モリブデン以外の組成として、Al、Ca、Cr、Cu、Fe、Mg、Mn、Ni、Pb、Sn、Si、Na、K、As、P、Wのうち少なくとも1種類を含むことができる。各々の組成の割合が0.1質量%未満である。分析方法はFe、Ca、Si、Al、MgはJISH1404(2001)、K、Na、Asは原子吸光法(アナリティクイエナジャパン製:contrAA300)、P、その他金属はICP発光分光法(島津製作所製:ICPS-8100)を用いることができる。
 粒径分布の好ましい範囲はD90/D10が4.3以下である。より好ましい範囲は、D90/D10が1.5以上4.0以下である。この範囲であれば焼結性がより向上する。
 D90とはD90%径を表し、粒径分布グラフにおいてこの粒径以下の粒子の累積頻度が90%である粒径をいう。D10とはD10%径を表し、粒径分布グラフにおいてこの粒径以下の粒子の累積頻度が10%である粒径をいう。この範囲であれば焼結性がより向上する。
 結晶子サイズの好ましい範囲は、1000nm以下である。より好ましい範囲は結晶子サイズが75nm以上980nm以下である。この範囲であれば焼結性がより向上する。
 格子歪みの好ましい範囲は、0.018%以上である。より好ましい範囲は、格子歪みが0.02%以上である。この範囲であれば焼結性がより向上する。
 これらの効果として、800℃での焼結時、相対密度70%以上、1400℃での焼結時、相対密度85%以上を達成できる。
 JISZ2504(2012)に従って測定した見掛密度が2.13g/cm以下である、好ましくは、JISZ2512(2012)に従って測定したタップ密度は4.34g/cm以下である。
 (2)製造方法
 工程1(原料篩分)、工程2(一段還元)、工程3(中間篩分)、工程4(二段還元)、工程5(最終篩分)、工程6(乳鉢粉砕)に従ってモリブデンを含む粉末が製造される。
 工程1:原料篩分
 原料となるMoO粉末の篩分を行う。所定の目開きの篩網へ原料を通し、粗粒および凝集粉を除去し篩下を回収する。篩網の目開きは、原料および目標とするモリブデン粉末粒度により適宜変更する。
 工程2:一段還元(MoO→MoO
 工程1で篩分したMoOを耐熱合金ボートに充填し、MoO→MoOへ還元して取り出す。目標とする粉末の粒度により最適な還元条件(温度、水素流量、ボート充填量、使用設備など)を適宜選択する。
 工程3:中間篩分
 工程2で得られたMoO粉末の篩分を行う。所定の目開きの篩網へMoO粉末を通し、粗粒および凝集粉を除去し篩下を回収する。篩網の目開きは、MoO粉末および目標とするモリブデン粉末粒度により適宜変更する。
 工程4:二段還元(MoO→Mo)
 工程3で篩分したMoOを耐熱合金ボートに充填し、MoO→Moに還元して取り出す。目標とする粉末の粒度により最適な還元条件(温度、水素流量、ボート充填量、使用設備など)を適宜選択する。これにより、モリブデンを含む粉末を得る。
 工程5:最終篩分
 工程4で得られたモリブデンを含む粉末の篩分を行う。所定の目開きの篩網へモリブデンを含む粉末を通し、粗粒および凝集粉を除去し篩下を回収する。篩網の目開きは、モリブデンを含む粉末および目標とするモリブデン粉末粒度により適宜変更する。
 工程6:乳鉢粉砕
 工程5で得られたモリブデンを含む粉末を乳鉢で擦る。これによりわずかに残っている凝集粉の解砕が進むとともに、格子歪みが導入される。
 [本開示の実施形態の詳細]
 <実施例>
 試料番号1の製造
 工程1(原料篩分)、工程2(一段還元)、工程3(中間篩分)、工程4(二段還元)、工程5(最終篩分)、工程6(乳鉢粉砕)に従ってモリブデンを含む粉末を製造した。
 工程1:原料篩分
 原料にFsss平均粒径4μm、MoO中のモリブデン純度66.33%以上(Mo粉末換算で99.5%以上)のMoO粉末を使用する。目開き250μmで篩分して、粗粒および凝集粉を除去し篩下を回収する。
 Fsss平均粒径は、0.5μm以上、50μm以下が好ましい。これを超えると、モリブデンを含む粉末のFsss平均粒径が3.0μm以上になるおそれがある。なお、「おそれがある」とは、僅かながらそのようになる可能性があることを示し、高い確率でそのようになることを意味するものではない。
 MoO中のモリブデン純度66.33%以上(Mo粉末換算で99.5%以上)が好ましい。
 これ未満であると低純度となり工業製品に適さないおそれがある。
 なお、より好ましくはMoO中のモリブデン純度66.6%以上(Mo粉末換算で99.9%以上)がより好ましい。これはモリブデン中に含まれる不純物が多ければ多いほどモリブデンの焼結性へ影響を及ぼすおそれがあるためである。
 目開きは、300μm以下が好ましい。これを超えると、粗粒または凝集粉が除去できないおそれがある。
 工程2:一段還元(MoO→MoO
 工程1で篩分したMoOを耐熱合金ボートに厚み35mmで充填する。プッシャー式還元炉を用い水素流量5m/h、還元温度500℃の条件で還元処理を行いMoOを得る。
 合金ボートに充填されるMoOの厚みは50mm以下が好ましい。これを超えると、ボート内のMoOの還元が進まないおそれがある。
 水素流量は3m/h以上が好ましい。これ未満であると、ボート内のMoOの還元が進まないおそれがある。
 還元温度は450℃以上650℃以下が好ましい。これを超えると、融点近くになるためMoO原料が融解するおそれがある。これ未満であると、ボート内のMoOの還元が進まないおそれがある。
 工程3:中間篩分
 工程2で得られたMoOを目開き75μmで篩分して、粗粒および凝集粉を除去し篩下を回収する。
 目開きは、150μm以下が好ましい。これを超えると、粗粒または凝集粉が除去できないおそれがある。
 工程4 二段還元(MoOの還元)
 工程3の中間篩分後のMoOを耐熱合金ボートに厚み20mmで充填する。プッシャー式還元炉を用い水素流量10m/h、還元温度600~920℃程度の範囲の条件で還元処理を行いモリブデンを含む粉末を得る。
 耐熱合金ボートに充填されるMoOの厚みは50mm以下が好ましい。これを超えると、ボート内のMoOの還元が進まないおそれがある。
 水素流量は5m/h以上が好ましい。これ未満であると、ボート内のMoOの還元が進まないおそれがある。
 還元温度は600℃以上950℃以下が好ましい。これを超えると、モリブデンを含む粉末のFsss平均粒径が3.0μm以上になるおそれがある。これ未満であると、ボート内のMoOの還元が進まないおそれがある。
 工程5 最終篩分
 得られたモリブデンを含む粉末を目開き45μm以下(試料番号1では20μm)で篩分して、粗粒および凝集粉を除去し篩下を回収する。
 目開きは45μm以下が好ましい。これを超えると粗粒または凝集粉が除去できないおそれがある。
 工程6 乳鉢粉砕
 最終篩分で得られたMo粉を自動乳鉢で粉砕する。1バッチあたり500gを投入し10分間行う。
 試料番号2から33については、試料番号1の製造方法を基に工程4二段還元における還元条件(温度、水素流量、ボート充填量)および工程5最終篩分における篩網の目開きを変更した。
 比較例としての試料番号41から60については、工程4二段還元における還元条件(温度、水素流量、ボート充填量)および工程5最終篩分における篩網の目開きを変更し、工程6乳鉢粉砕をなしとした。これにより試料番号1から33および41から60のモリブデンを含む粉末を得た。
 モリブデンを含む粉末を以下のように評価した。
 <Fsss平均粒径の測定方法>
 Fsss平均粒径の測定はフィッシャー法により行う。
 使用装置はFisher Scientific社 Fisher Sub-Sieve Sizer Model95を用いる。真密度の試料を試料管に充填して試料高さより空隙率を求めこれに1MPa圧の空気を通過させマノメーター水位をキャルキュレータチャート上の数値で読み取りその値をFsss平均粒径として単位をμmで表す。Fsss平均粒径は粉体の平均粒子径を表し数値が低いほど平均粒子径が小さいことを示す。
 <BET比表面積>
 BET比表面積の測定はガス吸着法により測定を行う。使用装置はMOUNTECH社のMacsorb HM Model-1208を用いる。粉体に窒素ガスを吸着させ吸着したガス分子の量から粉体のBET比表面積を測定する。BET比表面積の単位はm/gで表しFsss平均粒径が小さいほどBET比表面積は大きくなる傾向にある。
 <凝集係数>
 凝集係数はFsss平均粒径(μm)とBET比表面積から求められるBET粒子径(μm)の比で表される。凝集係数は1に近いほど凝集が少ないことを示し、大きくなれば凝集が多いことを意味する。原理的に凝集係数は≧1の値をとる。
 Fsss平均粒径は凝集を含んだ二次粒子径を意味し、一方でBET比表面積から求められるBET粒子径は凝集を含まない一次粒子径に近い値を意味する。
 粒子が球形であると仮定した場合、BET比表面積(m/g)とBET粒子径(直径)d(μm)の間には以下の式が成り立つ。ただしρは密度(g/cm)を示す。
 BET比表面積=6/ρd
 つまりBET粒子径dはd=6/(ρ×BET比表面積)となる。
 よって凝集係数γはγ=Fsss平均粒径/d=(Fsss平均粒径×BET比表面積×ρ)/6となる。
 <粒度分布測定方法>
 粒度分布の測定はレーザー回折・散乱法により測定を行う。これにより、D90、D10を求める。
 使用装置はマイクロトラックベル社 MT3300EX2、レーザー光回折・散乱式を用いる。溶媒として純水を用い、粒子屈折率2.76、溶媒屈折率1.33とした。
 D90/D10は数値が大きいほどブロードな粒度分布を示し、また数値が小さいほどシャープ(均粒)な粒度分布であることを示す。
 <格子歪み、結晶子サイズ>
 格子歪み及び結晶子サイズはX線回折法により測定を行う。
 使用装置はPANalytical社 EMPYREAMを用いる。一定波長のX線を分析試料に照射すると散乱されたX線は、物質の原子・分子の配列状態によって物質特有の回折パターンを示しこの回折パターンから非線形の最小二乗法でフィッティングするリートベルト解析行い格子歪み、結晶子サイズを求める。
 結晶子サイズは結晶粒の中で単結晶としてみなすことができる最小単位の部分を示し、結晶子サイズが小さいと粒子径が小さくなる傾向があり、粒子径が小さいと粒同士の接触面積が大きくなり焼結が進みやすいため、焼結体の相対密度を向上させることができる。
 物質を原子レベルで見ると、原子が格子状に整列しておりこの格子に力を加えると、格子の形状が変化し歪みが発生する。この歪みを格子歪みと言う。
<見掛密度、タップ密度>
 見掛密度の分析方法はJISZ2504(2012)、タップ密度の分析方法はJISZ2512(2012)である。特許文献1における測定方法であるタングステン・モリブデン工業会規格TMS1101の測定方法と、上記のJISの測定方法とを比較すると測定結果はほぼ同じとなる。
 これらの結果を表1および表2に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 表1および2中「最終篩分目開き」とは、工程5の最終篩分で用いた篩の目開きをいう。「乳鉢粉砕」は工程6の乳鉢粉砕の有無を示す。「Fsss」、「BET」、「凝集係数」、「粒度分布」、「結晶子サイズ」は、工程5または6を経て得られたモリブデンを含む粉末のFsss平均粒径、BET比表面積、凝集係数、粒度分布D90/D10および結晶子サイズをいう。
 表1および2で示すモリブデンを含む粉末を用いて焼結体を作製し、密度を求めた。焼結体密度の測定方法は以下の通りである。
 密度測定のための焼結体の製作は、まずφ20mmの金型にモリブデンを含む粉末を10g投入し30tプレス機で50MPaの圧力がかかるようにプレス成型した。次に水素雰囲気中かつ焼結温度800℃で2時間、または焼結温度1400℃で2時間焼結を行い焼結体を得た。焼結体にパラフィンを10分程度浸透させ焼結体中の空隙を埋めた後、アルキメデス法を用いて焼結体密度を測定した。
 これらの結果を表3および表4に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 表3および4中の「800℃焼結後相対密度」とは温度800℃での焼結後の焼結体の相対密度をいう。「1400℃焼結後相対密度」とは温度1400℃での焼結後の焼結体の相対密度をいう。
 焼結温度800℃で焼結した場合に相対密度70%以上となると焼結性が良好であると判断した。焼結温度1400℃で焼結した場合に相対密度85%以上となると焼結性が良好であると判断した。
 試料番号1から33では、凝集が少なく、微粒・均粒で、格子歪みが多いため従来よりも低温で焼結しやすいモリブデンを含む粉末であることが分かった。これにより、焼結コストが安くなりまた使用するエネルギーも減るのでエネルギー問題の解決になる。
 低温で焼結できるため他物質との熱膨張差が小さく焼結しやすい。よってメタライズ用途などに用いる際、焼結温度により収縮率をコントロールすることができる。
 圧延や鍛造などの塑性加工可能な焼結体は相対密度85%以上を求められ、それを製造するためにはモリブデン成形体を1800℃以上で焼結する必要があったが、本開示品は温度1400℃で製造できるため製造コストの低減が可能である。
 凝集係数が5.1を超える試料番号4,10,18,28では、それらと同等のFsss平均粒径またはBET比表面積を有する表1および表3の試料と比較して若干焼結性が低下していることが分かる。そのため、凝集係数は1.5以上5.1以下であることがより好ましい。
 また、表1および表3の結果からFsss平均粒径が小さいほど、800℃焼結後相対密度および1400℃焼結後相対密度が高くなる傾向にあり、BET比表面積は大きくなる傾向がある。
 Fsss平均粒径が2.5μmを超える試料番号28,29,30,31,32,33では、800℃焼結後相対密度および1400℃焼結後相対密度が本開示で効果があると判断した70%以上、85%以上の下限に近い値となる。さらにFsss平均粒径が2.5μmかつBET比表面積が0.5未満の試料番号30,33では、試料番号27,29に比べてそれぞれ800℃焼結後相対密度が72%以下、1400℃焼結後相対密度が85%以下へ焼結性が低下していることが分かる。そのため、Fsss平均粒径は0.5μm以上2.5μm以下、BET比表面積は0.4m/g以上5.5m/g以下、凝集係数1.5以上5.1以下であることがさらにより好ましい。
 粒度分布D90/D10が4.3を超える試料番号8,18,28では、それらと同等のFsss平均粒径またはBET比表面積を有する表1および表3の試料と比較して若干焼結性が低下していることが分かる。そのため、粒度分布D90/D10は4.3以下であることが好ましい。
 さらに、粒度分布D90/D10が4.0を超える試料番号11,17,19,24では、それらと同等のFsss平均粒径またはBET比表面積を有する表1および表3の試料と比較してわずかに焼結性が低下していることが分かる。そのため、粒度分布D90/D10は4.3以下であることがより好ましい。
 結晶子サイズが1000nmを超える試料番号31,32では、それらと同等のFsss平均粒径またはBET比表面積を有する表1および表3の試料と比較して若干焼結性が低下していることが分かる。そのため、結晶子サイズは1000nm以下であることが好ましい。
 さらに、結晶子サイズが980nmを超える試料番号33は、それと同等のFsss平均粒径またはBET比表面積を有する表1および表3の試料と比較してわずかに焼結性が低下していることが分かる。そのため、結晶子サイズは75nm以上980nm以下がより好ましい。
 さらに、格子歪みが0.018%未満の試料番号11,17,22,24,32は、それらと同等のFsss平均粒径またはBET比表面積を有する表1および表3の試料と比較して若干焼結性が低下していることが分かる。そのため、格子歪みは0.018%以上が好ましい。
 さらに、格子歪みが0.020%未満の試料番号18,28,31は、それらと同等のFsss平均粒径またはBET比表面積を有する表1および表3の試料と比較してわずかに焼結性が低下していることが分かる。そのため、格子歪みは0.020%以上がより好ましい。
 表1および2から、JISZ2504(2012)に従って測定した見掛密度は、1.96g/cm未満である。JISZ2512(2012)に従って測定したタップ密度は4.34g/cm以下であることが好ましい。
 今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

Claims (6)

  1.  Fsss法による平均粒径が0.5μm以上3.0μm以下であり、ガス吸収法によるBET比表面積が0.3m/g以上5.5m/g以下であり、Fsss法による平均粒径およびガス吸着法によるBET比表面積から算出される凝集係数が5.5以下であり、JISZ2504(2012)に従って測定した見掛密度が2.13g/cm以下である、モリブデンを含む粉末。
  2.  モリブデン純度が99.5質量%以上で、残部が不可避不純物のみからなる、請求項1に記載のモリブデンを含む粉末。
  3.  粒度分布のD10%径、D90%径をそれぞれD10、D90としたときの比D90/D10が4.3以下である、請求項1または2に記載のモリブデンを含む粉末。
  4.  結晶子サイズが1000nm以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載のモリブデンを含む粉末。
  5.  格子歪みが0.018%以上である、請求項1~4のいずれか1項に記載のモリブデンを含む粉末。
  6.  JISZ2512(2012)に従って測定したタップ密度は4.34g/cm以下である、請求項1~5のいずれか1項に記載のモリブデンを含む粉末。
PCT/JP2022/037400 2021-10-13 2022-10-06 モリブデンを含む粉末 WO2023063204A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023554461A JPWO2023063204A1 (ja) 2021-10-13 2022-10-06
CN202280068397.0A CN118103158A (zh) 2021-10-13 2022-10-06 含钼的粉末

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021168283 2021-10-13
JP2021-168283 2021-10-13

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023063204A1 true WO2023063204A1 (ja) 2023-04-20

Family

ID=85988666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/037400 WO2023063204A1 (ja) 2021-10-13 2022-10-06 モリブデンを含む粉末

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPWO2023063204A1 (ja)
CN (1) CN118103158A (ja)
WO (1) WO2023063204A1 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1136006A (ja) * 1997-05-22 1999-02-09 Tokyo Tungsten Co Ltd 均粒モリブデン粉及びその製造方法
US20050034562A1 (en) * 2002-07-29 2005-02-17 Singh Raj P. Ammonium dodecamolybdomolybdate and method of making
US20110223054A1 (en) * 2008-10-17 2011-09-15 H.C. Starck Inc. Production of molybdenum metal powder
JP2019534832A (ja) * 2016-09-15 2019-12-05 ハー.ツェー.スタルク タングステン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 新規炭化タングステン粉体とその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1136006A (ja) * 1997-05-22 1999-02-09 Tokyo Tungsten Co Ltd 均粒モリブデン粉及びその製造方法
US20050034562A1 (en) * 2002-07-29 2005-02-17 Singh Raj P. Ammonium dodecamolybdomolybdate and method of making
US20110223054A1 (en) * 2008-10-17 2011-09-15 H.C. Starck Inc. Production of molybdenum metal powder
JP2019534832A (ja) * 2016-09-15 2019-12-05 ハー.ツェー.スタルク タングステン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 新規炭化タングステン粉体とその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2023063204A1 (ja) 2023-04-20
CN118103158A (zh) 2024-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5198121B2 (ja) 炭化タングステン粉末、炭化タングステン粉末の製造方法
JP6913996B2 (ja) 微粒炭化タングステン粉末の製造方法
TWI588282B (zh) A tungsten sintered sputtering target and a tungsten film formed using the target
JP2005314806A (ja) 高硬度で高導電性を有するナノ結晶銅金属及びナノ結晶銅合金の粉末、高硬度・高強度で高導電性を有する強靱なナノ結晶銅又は銅合金のバルク材並びにそれらの製造方法
JP4885065B2 (ja) スッパタリング用タングステン焼結体ターゲットの製造方法
WO2004099080A1 (en) Production of high-purity niobium monoxide and capacitor production therefrom
JP6768575B2 (ja) タングステンシリサイドターゲット及びその製造方法
JP5443757B2 (ja) 炭化タングステン粉末の製造方法と超硬材料の製造方法
JP7216656B2 (ja) 炭化タングステンを含む粉末
WO2023063204A1 (ja) モリブデンを含む粉末
JP2016532010A (ja) クロム金属粉末
KR102441218B1 (ko) 탄화텅스텐 분말
JP6845715B2 (ja) 硬質焼結体
JP6815574B1 (ja) 炭化タングステン粉末
JPH10298613A (ja) リン含有鉄粉
JP5750200B1 (ja) タングステン粉、コンデンサの陽極体、及び電解コンデンサ
WO2020172744A1 (en) Metallic iron powder
JP7329686B2 (ja) タングステンを含む粉末
WO2005092541A1 (ja) 高硬度で高導電性を有するナノ結晶銅金属及びナノ結晶銅合金の粉末、高硬度・高強度で高導電性を有する強靭なナノ結晶銅又は銅合金のバルク材並びにそれらの製造方法
JP4140176B2 (ja) 低熱膨張耐熱合金及びその製造方法
JP2020139176A (ja) 鋳造合金、母合金粉末の製造方法、および母合金粉末

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22880899

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2023554461

Country of ref document: JP