WO2023053342A1 - 光走査装置及びセンサ装置 - Google Patents

Abstract

第１樹脂体（３１０）は、第１枠体（２１０）の少なくとも一部分に設けられている。第１樹脂体（３１０）は、第１枠体（２１０）の第３方向（Ｚ）の正方向側の面の少なくとも一部分と、第１枠体（２１０）の第３方向（Ｚ）の負方向側の面の少なくとも一部分と、第１枠体（２１０）の第３方向（Ｚ）に垂直な方向側の内縁の少なくとも一部分と、第１枠体（２１０）の第３方向（Ｚ）に垂直な方向側の外縁の少なくとも一部分と、を覆っている。

Description

光走査装置及びセンサ装置

　本発明は、光走査装置及びセンサ装置に関する。

　近年、様々な光走査装置が開発されている。光走査装置は、レーザダイオード（ＬＤ）等の発光素子から出射された光を反射する可動反射体を備えている。可動反射体は、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ　Ｏｎ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板等の半導体基板を半導体製造技術によって加工して形成されることがある。これに対して、例えば特許文献１に記載されているように、金属を加工して可動反射体を形成することがある。また、特許文献１に記載されているように、金属を加工して、枠体及びトーションバーを形成することがある。枠体は、可動反射体を囲む領域の少なくとも一部分に設けられている。トーションバーは、可動反射体と枠体とに接続されている。

特開２０１０－２７７７号公報

　例えば特許文献１に記載されているように、金属を加工して、可動反射体、枠体及びトーションバーを形成することがある。しかしながら、この場合、可動反射体の回転運動、可動反射体の単振動、可動反射体の荷重、可動反射体、枠体及びトーションバーの少なくとも一部分の熱応力等の種々の条件によって、枠体に、塑性歪み、弾性歪み等の歪みが生じることがある。枠体に歪みが生じた場合、枠体に不要な振動が発生し得る。

　本発明が解決しようとする課題としては、枠体の不要な振動を抑制することが一例として挙げられる。

　請求項１に記載の発明は、
　可動反射体と、
　前記可動反射体を囲む領域の少なくとも一部分に位置する金属製の第１枠体と、
　前記可動反射体と前記第１枠体とに接続された金属製の第１トーションバーと、
　前記第１枠体の少なくとも一部分に設けられた第１樹脂体と、
を備える光走査装置。である。

　請求項１０に記載の発明は、
　前記光走査装置と、
　発光素子と、
　前記発光素子から出射され前記可動反射体によって反射されて前記光走査装置の外部に存在する物体によって反射又は散乱された光を検出する光検出素子と、
を備えるセンサ装置。である。

実施形態に係る光走査装置を可動反射体が位置する側から見た斜視図である。 実施形態に係る光走査装置を可動反射体が位置する側の反対側から見た斜視図である。 実施形態に係る光走査装置を可動反射体の回転軸に平行な方向から見た側面図である。 実施形態に係る光走査装置を第１枠体の回転軸に平行な方向から見た側面図である。 図３のＡ－Ａ断面図である。 実施形態に係る光走査装置の製造方法の一例を説明するための図である。 実施形態に係る光走査装置の製造方法の一例を説明するための図である。 変形例に係る光走査装置の斜視図である。 実施例に係るセンサ装置の構成を示す図である。

　以下、本発明の実施形態、変形例及び実施例について、図面を用いて説明する。すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

　図１は、実施形態に係る光走査装置１０を可動反射体１００が位置する側から見た斜視図である。図２は、実施形態に係る光走査装置１０を可動反射体１００が位置する側の反対側から見た斜視図である。図３は、実施形態に係る光走査装置１０を可動反射体１００の回転軸に平行な方向から見た側面図である。図４は、実施形態に係る光走査装置１０を第１枠体２１０の回転軸に平行な方向から見た側面図である。図５は、図３のＡ－Ａ断面図である。

　図１～図５において、第１方向Ｘ、第２方向Ｙ又は第３方向Ｚを示す矢印は、当該矢印の基端から先端に向かう方向が当該矢印によって示される方向の正方向であり、当該矢印の先端から基端に向かう方向が当該矢印によって示される方向の負方向であることを示している。図３及び図４において、第１方向Ｘ又は第２方向Ｙを示す黒点付き白丸は、紙面の奥から手前に向かう方向が当該白丸によって示される方向の正方向であり、紙面の手前から奥に向かう方向が当該白丸によって示される方向の負方向であることを示している。図５において、第３方向Ｚを示すＸ付き白丸は、紙面の手前から奥に向かう方向が当該白丸によって示される方向の正方向であり、紙面の奥から手前に向かう方向が当該白丸によって示される方向の負方向であることを示している。

　第１方向Ｘは、可動反射体１００が第１トーションバー２２０を回転軸として第１枠体２１０に対して回転する際の可動反射体１００の回転軸に平行な方向を示している。第１方向Ｘの正方向は、後述する第２バー２２４から第１バー２２２に向かう方向に平行な方向となっている。第１方向Ｘの負方向は、第１バー２２２から第２バー２２４に向かう方向に平行となっている。第２方向Ｙは、第１方向Ｘに直交している。第２方向Ｙは、第１枠体２１０が第２トーションバー２４０を回転軸として第２枠体２３０に対して回転する際の第１枠体２１０の回転軸に平行な方向を示している。第２方向Ｙの正方向は、後述する第４バー２４４から第３バー２４２に向かう方向に平行となっている。第２方向Ｙの負方向は、第３バー２４２から第４バー２４４に向かう方向に平行となっている。第３方向Ｚは、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの双方に直交している。第３方向Ｚの正方向は、可動反射体１００のうち反射面１１２が位置する側から可動反射体１００のうち反射面１１２が位置する側の反対側に向かう方向となっている。第３方向Ｚの負方向は、可動反射体１００のうち反射面１１２が位置する側の方向から可動反射体１００のうち反射面１１２が位置する側に向かう方向となっている。

　光走査装置１０は、可動反射体１００、第１枠体２１０、一対の第１トーションバー２２０、第２枠体２３０、一対の第２トーションバー２４０、第１樹脂体３１０、第２樹脂体３２０、第１磁石４１０、２つの第２磁石４２０、第１発光素子５００及び第１光検出素子６００を備えている。一対の第１トーションバー２２０は、第１バー２２２及び第２バー２２４を有している。一対の第２トーションバー２４０は、第３バー２４２及び第４バー２４４を有している。

　図５に示すように、可動反射体１００は、反射体１１０、第１支持部２５２、第２支持部２５４及び樹脂ステージ３５０を有している。

　本実施形態において、反射体１１０は、第３方向Ｚに厚みを有する円板形状となっている。反射体１１０は反射面１１２を有している。反射面１１２は、第３方向Ｚの正方向に向けられた平坦面となっている。可動反射体１００の形状は、本実施形態に係る形状に限定されない。

　第１支持部２５２は、金属製である。第１支持部２５２は、第１バー２２２の第１方向Ｘの負方向の端部に接続されている。第１支持部２５２は、可動反射体１００の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの正方向側に位置している。

　第２支持部２５４は、金属製である。第２支持部２５４は、第２バー２２４の第１方向Ｘの正方向の端部に接続されている。第２支持部２５４は、可動反射体１００の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの負方向側に位置している。本実施形態において、第２支持部２５４は、可動反射体１００の中心を第３方向Ｚに通過する中心軸に関して、第１支持部２５２と対称に配置されている。

　樹脂ステージ３５０は、第１支持部２５２の少なくとも一部分と、第２支持部２５４の少なくとも一部分と、に設けられている。具体的には、樹脂ステージ３５０のうち第１支持部２５２及び第２支持部２５４の第３方向Ｚの負方向側に位置する部分は、第１支持部２５２及び第２支持部２５４の第３方向Ｚの負方向側の面の少なくとも一部分を覆っている。また、樹脂ステージ３５０のうち第１支持部２５２及び第２支持部２５４の第３方向Ｚの正方向側に位置する部分は、第１支持部２５２及び第２支持部２５４の第３方向Ｚの正方向側の面の少なくとも一部分を覆っている。また、樹脂ステージ３５０のうち第１支持部２５２及び第２支持部２５４を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分は、第１支持部２５２及び第２支持部２５４のうち第３方向Ｚの垂直な方向に向けられた外縁の少なくとも一部分を覆っている。

　後述する図７に示すように、樹脂ステージ３５０の第３方向Ｚの正方向側の面には、３つの支持突起３５２が設けられている。反射体１１０は、３つの支持突起３５２上に載置されている。

　本実施形態によれば、第１支持部２５２及び第２支持部２５４に樹脂ステージ３５０が設けられていない場合と比較して、反射体１１０の搭載の精度を向上させることができる。具体的には、樹脂ステージ３５０が設けられていない場合、第１支持部２５２及び第２支持部２５４には反りが生じ得る。これに対して、樹脂ステージ３５０が設けられている場合、第１支持部２５２及び第２支持部２５４の反りを抑制することができる。また、第１支持部２５２及び第２支持部２５４には、バリが存在することがある。これに対して、樹脂ステージ３５０が設けられている場合、第１支持部２５２及び第２支持部２５４のバリを樹脂ステージ３５０によって覆うことができる。

　また、本実施形態においては、樹脂ステージ３５０は、第１磁石４１０及び第１光検出素子６００の取り付け位置を決定するためのガイド部材として機能することができる。したがって、樹脂ステージ３５０が第１支持部２５２及び第２支持部２５４に設けられていない場合と比較して、第１磁石４１０及び第１光検出素子６００をより簡易かつより精度良く設置することができる。

　また、本実施形態によれば、第１支持部２５２及び第２支持部２５４が電気的に絶縁された状態にしつつ、第１支持部２５２及び第２支持部２５４を樹脂ステージ３５０によって物理的に結合することができる。仮に、第１支持部２５２及び第２支持部２５４が連通していて第１支持部２５２及び第２支持部２５４が電気的に接続されている場合、後述するように、第１光検出素子６００のアノード及びカソードを第１支持部２５２及び第２支持部２５４に電気的に接続しても、第１光検出素子６００に電流を流すことができない。これに対して、本実施形態においては、第１光検出素子６００のアノード及びカソードを第１支持部２５２及び第２支持部２５４に電気的に接続して、第１光検出素子６００に電流を流すことができる。

　第１枠体２１０は、金属製である。第１枠体２１０は、可動反射体１００を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む領域の少なくとも一部分に位置している。

　第１バー２２２は、金属製である。図５に示すように、第１バー２２２は、第１支持部２５２の第１方向Ｘの正方向の端部の外縁と、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の内縁と、の間において、第１方向Ｘに延伸している。第１バー２２２の第１方向Ｘの負方向の一端は、第１支持部２５２の第１方向Ｘの正方向の端部の外縁に接続されている。第１バー２２２の第１方向Ｘの正方向の他端は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の内縁に接続されている。

　第２バー２２４は、金属製である。図５に示すように、第２バー２２４は、第２支持部２５４の第１方向Ｘの負方向の端部の外縁と、第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部の内縁と、の間において、第１方向Ｘに延伸している。第２バー２２４の第１方向Ｘの正方向の一端は、第２支持部２５４の第１方向Ｘの負方向の端部の外縁に接続されている。第２バー２２４の第１方向Ｘの負方向の他端は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部の内縁に接続されている。

　図２に示すように、可動反射体１００の第３方向Ｚの負方向側には、第１磁石４１０が取り付けられている。第１磁石４１０は、可動反射体１００の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの負方向側に位置している。不図示の磁気回路から発せられた磁束を第１磁石４１０が受けることで、可動反射体１００は、第１トーションバー２２０を回転軸として第１枠体２１０に対して揺動する。本実施形態において、第１トーションバー２２０は、高速駆動軸となっている。

　第２枠体２３０は、金属製である。第２枠体２３０は、第１枠体２１０を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む領域の少なくとも一部分に位置している。

　本実施形態において、第２枠体２３０の形状は、第１方向Ｘに延伸する一対の長辺を有し第２方向Ｙに延伸する一対の短辺を有する実質的な長方形となっている。第２枠体２３０の形状は、本実施形態に係る形状に限定されない。

　第３バー２４２は、金属製である。図５に示すように、第３バー２４２は、第１枠体２１０の第２方向Ｙの正方向の部分の第１方向Ｘの中心の外縁と、第２枠体２３０の第２方向Ｙの正方向の部分の第１方向Ｘの中心の内縁と、の間において、第２方向Ｙに延伸している。第３バー２４２の第２方向Ｙの負方向の一端は、第１枠体２１０の第２方向Ｙの正方向の部分の第１方向Ｘの中心の外縁に接続されている。第３バー２４２の第２方向Ｙの正方向の他端は、第２枠体２３０の第２方向Ｙの正方向の部分の第１方向Ｘの中心の内縁に接続されている。

　第４バー２４４は、金属製である。図５に示すように、第４バー２４４は、第１枠体２１０の第２方向Ｙの負方向の部分の第１方向Ｘの中心の外縁と、第２枠体２３０の第２方向Ｙの負方向の部分の第１方向Ｘの中心の内縁と、の間において、第２方向Ｙに延伸している。第３バー２４２の第２方向Ｙの正方向の一端は、第１枠体２１０の第２方向Ｙの負方向の部分の第１方向Ｘの中心の外縁に接続されている。第３バー２４２の第２方向Ｙの負方向の他端は、第２枠体２３０の第２方向Ｙの負方向の部分の第１方向Ｘの中心の内縁に接続されている。

　第１枠体２１０の第３方向Ｚの負方向側には、２つの第２磁石４２０が取り付けられている。２つの第２磁石４２０の一方は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部に位置している。２つの第２磁石４２０の他方は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部に位置している。不図示の磁気回路から発せられる磁束を２つの第２磁石４２０が受けることで、第１枠体２１０は、第２トーションバー２４０を回転軸として第２枠体２３０に対して揺動する。本実施形態において、第２トーションバー２４０は、低速駆動軸となっている。

　本実施形態において、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部に位置する第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の第２方向Ｙの幅と実質的に等しくなっている。例えば、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部に位置する第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の第２方向Ｙの幅の９５％以上１０５％以下となっている。第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の第２方向Ｙの両側には、駆動コイル等の不図示の磁気回路が配置されている。したがって、本実施形態によれば、当該第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅が第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の第２方向Ｙの幅より短い場合と比較して、磁気回路と第２磁石４２０とを近づけることができる。また、本実施形態によれば、当該第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅が第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の第２方向Ｙの幅より長い場合と比較して、第２磁石４２０の重量を軽くすることができる。第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅は、上述した例に限定されない。例えば、第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の第２方向Ｙの端部の幅より長くてもよい。この場合、第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅が第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の第２方向Ｙの幅以下である場合と比較して、磁気回路と第２磁石４２０とを近づけやすくすることができる。

　第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部に位置する第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部に位置する第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅と同様にして、第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部の第２方向Ｙの幅と実質的に等しくなっている。

　２つの第２磁石４２０が設けられる位置は、本実施形態に係る位置に限定されない。例えば、２つの第２磁石４２０のうち第１方向Ｘの正方向側に位置する第２磁石４２０は、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向側の端部より第１方向Ｘの負方向側に位置していてもよい。この場合、第２磁石４２０の第２方向Ｙの幅は、第１枠体２１０のうち第２磁石４２０が取り付けられた部分の第２方向Ｙの幅と実質的に等しくなっていてもよい。

　第１樹脂体３１０は、第１枠体２１０の少なくとも一部分に設けられている。第１樹脂体３１０は、第１枠体２１０の第３方向Ｚの正方向側の面の少なくとも一部分と、第１枠体２１０の第３方向Ｚの負方向側の面の少なくとも一部分と、第１枠体２１０の第３方向Ｚに垂直な方向側の内縁の少なくとも一部分と、第１枠体２１０の第３方向Ｚに垂直な方向側の外縁の少なくとも一部分と、を覆っている。本実施形態においては、第１樹脂体３１０が第１枠体２１０に設けられていない場合と比較して、第１枠体２１０の歪みを抑制することができる。

　本実施形態においては、第１樹脂体３１０が第１枠体２１０に設けられていない場合と比較して、第１枠体２１０の不要な振動を抑制することができる。具体的には、第１枠体２１０の材料と第１樹脂体３１０の材料とは異なっている。したがって、第１枠体２１０の共振周波数と第１樹脂体３１０の共振周波数とが異なっている。このため、第１樹脂体３１０が設けられていない場合と比較して、第１枠体２１０の共振モード、すなわち、不要な振動をダンピングすることができる。

　また、本実施形態においては、第１樹脂体３１０は、２つの第２磁石４２０の取り付け位置を決定するためのガイド部材として機能することができる。したがって、第１樹脂体３１０が第１枠体２１０に設けられていない場合と比較して、２つの第２磁石４２０をより簡易かつより精度良く設置することができる。

　第２樹脂体３２０は、第２枠体２３０の少なくとも一部分に設けられている。第２樹脂体３２０は、第２枠体２３０の第３方向Ｚの正方向側の面の少なくとも一部分と、第２枠体２３０の第３方向Ｚの負方向側の面の少なくとも一部分と、第２枠体２３０の第３方向Ｚに垂直な方向側の内縁の少なくとも一部分と、第２枠体２３０の第３方向Ｚに垂直な方向側の外縁の少なくとも一部分と、を覆っている。本実施形態においては、第２樹脂体３２０が第２枠体２３０に設けられていない場合と比較して、第２枠体２３０の歪みを抑制することができる。したがって、本実施形態においては、第２樹脂体３２０が第２枠体２３０に設けられていない場合と比較して、第２枠体２３０の不要な振動を抑制することができる。

　次に、図５を参照して、第１枠体２１０の形状の詳細について説明する。

　本実施形態において、第１枠体２１０のうち第１枠体２１０の回転軸に平行な方向に互いに対向する両部分の間の第２方向Ｙの距離は、第１枠体２１０の少なくとも一部分において当該回転軸から第１方向Ｘの正方向及び第１方向Ｘの負方向に向けて離れるにつれて減少している。

　具体的には、第１枠体２１０のうち反射体１１０の第２方向Ｙの両側に位置する部分の第２方向Ｙの間の距離は、反射体１１０の第１方向Ｘの中心から可動反射体１００の第１方向Ｘの正方向の端部及び可動反射体１００の第１方向Ｘの負方向の端部に向かうにつれて、可動反射体１００の第２方向Ｙの幅に沿って減少している。第１枠体２１０のうち第１バー２２２の第２方向Ｙの両側に位置する部分の第２方向Ｙの間の距離は、第１バー２２２の第１方向Ｘの負方向の一端から第１バー２２２の第１方向Ｘの正方向の他端にかけて一定となっている。第１枠体２１０のうち第２バー２２４の第２方向Ｙの両側に位置する部分の第２方向Ｙの間の距離は、第２バー２２４の第１方向Ｘの正方向の一端から第２バー２２４の第１方向Ｘの負方向の他端にかけて一定となっている。

　本実施形態と、第１枠体２１０のうち第１枠体２１０の回転軸に平行な方向に互いに対向する両部分の間の第２方向Ｙの間の距離が当該回転軸から第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向又は負方向の端部にかけて一定である場合と、を比較する。本実施形態においては、上述した場合と比較して、第１トーションバー２２０の第１方向Ｘの長さを長くすることが許容される。具体的には、次のとおりである。すなわち、第１トーションバー２２０の第１方向Ｘの長さを比較的長くすることが必要なことがある。一方、第１トーションバー２２０の第１方向Ｘの長さが長くなるほど、第１枠体２１０の第１方向Ｘの長さも長くなる。第１トーションバー２２０の第１方向Ｘの長さが長くなるほど、第２トーションバー２４０を回転軸として回転する第１枠体２１０の慣性モーメントが大きくなる。また、当該慣性モーメントは、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の質量と、第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部の質量と、が大きくなるほど大きくなる。本実施形態においては、上述した場合と比較して、第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の質量と、第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部の質量と、を小さくすることができる。したがって、本実施形態においては、上述した場合と比較して、上述した慣性モーメントを一定値以下に抑えるための第１トーションバー２２０の第１方向Ｘの長さを長くすることができる。

　第１枠体２１０の形状は、本実施形態に係る形状に限定されない。例えば、第１枠体２１０のうち第１枠体２１０の回転軸に平行な方向に互いに対向する両部分の間の第２方向Ｙの距離は、第１枠体２１０の回転軸から第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向又は負方向の端部にかけて一定であってもよい。

　次に、図５を参照して、４組の第１突起２１０ａ、４組の第２突起２３０ａ、２つの第３突起２１０ｂ、２つの第４突起２３０ｂ、２つの第５突起２５０ｃ及び２つの第６突起２１０ｃについて説明する。

　本実施形態において、各組の第１突起２１０ａは２つの突起を含んでいる。第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの正方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の外縁には、２組の第１突起２１０ａが設けられている。これら２組の第１突起２１０ａは、第１枠体２１０の当該部分の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの両側に位置している。各第１突起２１０ａの先端は、第１樹脂体３１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの正方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の外縁から露出している。第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの負方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の外縁には、他の２組の第１突起２１０ａが設けられている。これら２組の第１突起２１０ａは、第１枠体２１０の当該部分の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの両側に位置している。各第１突起２１０ａの先端は、第１樹脂体３１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの負方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の外縁から露出している。

　本実施形態において、各組の第２突起２３０ａは２つの突起を含んでいる。第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの正方向側に位置する部分の内縁には、２組の第２突起２３０ａが設けられている。これら２組の第２突起２３０ａは、第２枠体２３０の当該部分の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの両側に位置している。各第２突起２３０ａの先端は、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの正方向側に位置する部分の内縁から露出している。第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの負方向側に位置する部分の内縁には、２組の第２突起２３０ａが設けられている。これら２組の第２突起２３０ａは、第２枠体２３０の当該部分の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの両側に位置している。各第２突起２３０ａの先端は、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの負方向側に位置する部分の内縁から露出している。

　第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部の外縁には、第３突起２１０ｂが設けられている。この第３突起２１０ｂは、第１樹脂体３１０の第１方向Ｘの正方向の端部の外縁から露出している。第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部の外縁には、他の第３突起２１０ｂが設けられている。この第３突起２１０ｂは、第１樹脂体３１０の第１方向Ｘの負方向の端部の外縁から露出している。

　第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第１方向Ｘの正方向側に位置する部分の第２方向Ｙの中心の内縁には、第４突起２３０ｂが設けられている。この第４突起２３０ｂは、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第１方向Ｘの正方向側に位置する部分の第２方向Ｙの中心の内縁から露出している。第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第１方向Ｘの負方向側に位置する部分の第２方向Ｙの中心の内縁には、他の第４突起２３０ｂが設けられている。この第４突起２３０ｂは、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第１方向Ｘの負方向側に位置する部分の第２方向Ｙの中心の内縁から露出している。

　第１支持部２５２の第１方向Ｘの負方向側の端部には、第５突起２５０ｃが設けられている。この第５突起２５０ｃの先端は、樹脂ステージ３５０の第２方向Ｙの負方向側の外縁から露出している。第２支持部２５４の第１方向Ｘの正方向側には、他の第５突起２５０ｃが設けられている。この第５突起２５０ｃの先端は、樹脂ステージ３５０の第２方向Ｙの正方向側の外縁から露出している。

　第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの正方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の第１方向Ｘの中心の内縁には、第６突起２１０ｃが設けられている。この第６突起２１０ｃは、第１樹脂体３１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの正方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の第１方向Ｘの中心の内縁から露出している。第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの負方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の第１方向Ｘの中心の内縁には、他の第６突起２１０ｃが設けられている。この第６突起２１０ｃは、第１樹脂体３１０のうち可動反射体１００の第２方向Ｙの負方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分の第１方向Ｘの中心の内縁から露出している。

　これらの突起のうちの一部の突起は設けられていなくてもよい。例えば、２つの第３突起２１０ｂ及び２つの第４突起２３０ｂは設けられていなくてもよい。また、２つの第５突起２５０ｃ及び２つの第６突起２１０ｃは設けられていなくてもよい。

　次に、図５を参照して、第１端子２３０ｄ、第７突起２３０ｅ、第２端子２３０ｆ及び第８突起２３０ｇについて説明する。

　第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの正方向側に位置する部分の第１方向Ｘの中心の外縁には、第１端子２３０ｄが設けられている。第１端子２３０ｄの先端は、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの正方向側に位置する部分の第１方向Ｘの中心の外縁から露出している。

　第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの正方向側に位置していて第１方向Ｘの中心から第１方向Ｘの負方向側に位置する部分の外縁には、第７突起２３０ｅが設けられている。第７突起２３０ｅの先端は、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの正方向側に位置していて第１方向Ｘの中心から第１方向Ｘの負方向側に位置する部分の外縁から露出している。

　第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの負方向側に位置する部分の第１方向Ｘの中心の外縁には、第２端子２３０ｆが設けられている。第２端子２３０ｆの先端は、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの負方向側に位置する部分の第１方向Ｘの中心の外縁から露出している。

　第２枠体２３０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの負方向側に位置していて第１方向Ｘの中心から第１方向Ｘの正方向側に位置する部分の外縁には、第８突起２３０ｇが設けられている。第８突起２３０ｇの先端は、第２樹脂体３２０のうち第１枠体２１０に対して第２方向Ｙの負方向側に位置していて第１方向Ｘの中心から第１方向Ｘの正方向側に位置する部分の外縁から露出している。

　次に、２つの第１分断部２１２及び２つの第２分断部２３２について説明する。

　第１枠体２１０のうち可動反射体１００の回転軸の第２方向Ｙの正方向側には、第１分断部２１２が設けられている。本実施形態において、この第１分断部２１２は、第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第１方向Ｘの負方向かつ第２方向Ｙの正方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分に設けられている。第１枠体２１０のうち可動反射体１００の回転軸の第２方向Ｙの負方向側には、他の第１分断部２１２が設けられている。本実施形態において、この第１分断部２１２は、第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第１方向Ｘの正方向かつ第２方向Ｙの負方向の部分を第３方向Ｚに垂直な方向に囲む部分に設けられている。

　これら２つの第１分断部２１２が設けられていることで、第１バー２２２及び第２バー２２４が第１枠体２１０を介して電気的に接続されないようになっている。

　第２枠体２３０のうち第１枠体２１０の回転軸の第１方向Ｘの正方向側には、第２分断部２３２が設けられている。本実施形態において、この第２分断部２３２は、第２端子２３０ｆと第８突起２３０ｇとの間に設けられている。第２枠体２３０のうち第１枠体２１０の回転軸の第１方向Ｘの負方向側には、他の第２分断部２３２が設けられている。本実施形態において、この第２分断部２３２は、第１端子２３０ｄと第７突起２３０ｅとの間に設けられている。

　これら２つの第２分断部２３２が設けられていることで、第３バー２４２及び第４バー２４４が第２枠体２３０を介して電気的に接続されないようになっている。

　次に、図５を参照して、４つの第１幅広部３１０ａ、２つの第２幅広部３１０ｂ及び２つの第３幅広部３１０ｃについて説明する。

　第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の曲率が変化する部分には、第１幅広部３１０ａが設けられている。本実施形態において、第１幅広部３１０ａは、第１枠体２１０の外縁の外側に設けられている。これによって、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の曲率が変化する部分における樹脂の量が、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の当該部分の周辺における樹脂の量より多くなっている。第１枠体２１０のうち曲率が変化する部分には、第１枠体２１０のうち当該部分の周囲と比較して、第１樹脂体３１０に大きな応力が加わりやすい。したがって、本実施形態によれば、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の曲率が変化する部分に第１幅広部３１０ａが設けられていない場合と比較して、第１樹脂体３１０の強度を向上させることができる。

　本実施形態において、４つの第１幅広部３１０ａのうちの１つは、第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第１方向Ｘの正方向側及び第２方向Ｙの正方向側の外縁に沿って湾曲している部分と、第１バー２２２の第２方向Ｙの正方向側で第１方向Ｘに平行に直線状に延伸している部分と、の間に位置している。４つの第１幅広部３１０ａのうちの他の１つは、第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第１方向Ｘの負方向側及び第２方向Ｙの正方向側の外縁に沿って湾曲している部分と、第２バー２２４の第２方向Ｙの正方向側で第１方向Ｘに平行に直線状に延伸している部分と、の間に位置している。４つの第１幅広部３１０ａのうちの他の１つは、第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第１方向Ｘの負方向側及び第２方向Ｙの負方向側の外縁に沿って湾曲している部分と、第２バー２２４の第２方向Ｙの負方向側で第１方向Ｘに平行に直線状に延伸している部分と、の間に位置している。４つの第１幅広部３１０ａのうちの他の１つは、第１枠体２１０のうち可動反射体１００の第１方向Ｘの正方向側及び第２方向Ｙの負方向側の外縁に沿って湾曲している部分と、第１バー２２２の第２方向Ｙの負方向側で第１方向Ｘに平行に直線状に延伸している部分と、の間に位置している。

　第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の曲率が変化する部分における樹脂の量が、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の当該部分の周辺における樹脂の量より多くなるための構造は、本実施形態に限定されない。例えば、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の曲率が変化する部分における第３方向Ｚの厚みを、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の当該部分の周辺における第３方向Ｚの厚みより厚くしてもよい。

　図１に示すように、第１樹脂体３１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの正方向側かつ第２方向Ｙの負方向側に位置する第１幅広部３１０ａの第３方向Ｚの上面には、第１穴３１２ａが設けられている。第１樹脂体３１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの負方向側かつ第２方向Ｙの負方向側に位置する第１幅広部３１０ａの第３方向Ｚの上面には、他の第１穴３１２ａが設けられている。第１穴３１２ａが設けられた２つの第１幅広部３１０ａは、第１樹脂体３１０を形成する樹脂を、第１樹脂体３１０を成型する金型に注入するためのゲートとして設けられている。各第１穴３１２ａは、樹脂を注入するための注入口として残っている。

　本実施形態において、各第１穴３１２ａは、第３方向Ｚに第１枠体２１０と重なっていない。樹脂が注入されるゲートは、第１樹脂体３１０の全体の中で比較的大きな圧力が加わる。したがって、第１穴３１２ａが第３方向Ｚに第１枠体２１０と重なっている場合、第１枠体２１０が樹脂の圧力によって変形するおそれがある。これに対して、本実施形態によれば、第１穴３１２ａが第３方向Ｚに第１枠体２１０と重なっている場合と比較して、樹脂の圧力による第１枠体２１０の変形を抑制することができる。第１穴３１２ａが設けられる位置は、本実施形態に係る位置に限定されない。例えば、第１穴３１２ａは、第３方向Ｚに第１枠体２１０と重なっていてもよい。

　本実施形態において、２つの第１穴３１２ａは、第１樹脂体３１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して対称に配置されている。

　以下、必要に応じて、２つの第１穴３１２ａのうち第２方向Ｙの正方向側に位置する第１穴３１２ａを、一方の第１穴３１２ａという。必要に応じて、２つの第１穴３１２ａのうち第２方向Ｙの負方向側に位置する第１穴３１２ａを、他方の第１穴３１２ａという。必要に応じて、第１枠体２１０のうち第１枠体２１０の第２方向Ｙの中心に対して第２方向Ｙの正方向側に位置する部分を、第１枠体２１０の一方側部分という。必要に応じて、第１枠体２１０のうち第１枠体２１０の第２方向Ｙの中心に対して第２方向Ｙの負方向側に位置する部分を、第１枠体２１０の他方側部分という。必要に応じて、第１枠体２１０のうち第１バー２２２の第１方向Ｘの正方向の端部に接続された部分を、第１枠体２１０及び第１バー２２２の接続部という。必要に応じて、第１枠体２１０のうち第２バー２２４の第１方向Ｘの負方向の端部に接続された部分を、第１枠体２１０及び第２バー２２４の接続部という。

　一方の第１穴３１２ａは、第１枠体２１０及び第１バー２２２の接続部と、第１枠体２１０及び第２バー２２４の接続部と、から、第１枠体２１０の一方側部分のうち第１枠体２１０の周方向において等距離にある部分からずれて位置している。本実施形態において、第１枠体２１０及び第１バー２２２の接続部と、第１枠体２１０及び第２バー２２４の接続部と、から、第１枠体２１０の一方側部分のうち第１枠体２１０の周方向において等距離にある部分は、第１枠体２１０の一方側部分の第１方向Ｘの中心である。

　他方の第１穴３１２ａは、第１枠体２１０及び第１バー２２２の接続部と、第１枠体２１０及び第２バー２２４の接続部と、から、第１枠体２１０の他方側部分のうち第１枠体２１０の周方向において等距離にある部分からずれて位置している。本実施形態において、第１枠体２１０及び第１バー２２２の接続部と、第１枠体２１０及び第２バー２２４の接続部と、から、第１枠体２１０の他方側部分のうち第１枠体２１０の周方向において等距離にある部分は、第１枠体２１０の他方側部分の第１方向Ｘの中心である。

　本実施形態においては、第１樹脂体３１０を形成する樹脂を２つの第１穴３１２ａから注入した場合、当該樹脂のウエルドが、第１枠体２１０及び第１バー２２２の接続部と異なる部分と、第１枠体２１０及び第２バー２２４の接続部と異なる部分と、に形成されるようにすることができる。このため、当該ウエルドが、第１枠体２１０及び第１バー２２２の接続部と、第１枠体２１０及び第２バー２２４の接続部と、に形成される場合と比較して、第１樹脂体３１０の破損を抑制することができる。

　図１に示すように、第１樹脂体３１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの負方向側かつ第２方向Ｙの正方向側に位置する第１幅広部３１０ａの第３方向Ｚの上面には、第１穴３１２ａが設けられていない。第１樹脂体３１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの正方向側かつ第２方向Ｙの負方向側に位置する第１幅広部３１０ａの第３方向Ｚの上面には、第１穴３１２ａが設けられていない。第１穴３１２ａが設けられていない２つの第１幅広部３１０ａは、第１穴３１２ａが設けられた２つの第１幅広部３１０ａに対して、第１樹脂体３１０の第２方向Ｙの中心に関して対称に配置されている。したがって、第１穴３１２ａが設けられていない２つの第１幅広部３１０ａが設けられずに第１穴３１２ａが設けられた２つの第１幅広部３１０ａが設けられている場合と比較して、第１樹脂体３１０の平仄がとりやすくなっている。

　第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の第１方向Ｘの正方向の端部と第１バー２２２の第１方向Ｘの正方向の端部との接続部には、第２幅広部３１０ｂが設けられている。第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の第１方向Ｘの負方向の端部と第２バー２２４の第１方向Ｘの負方向の端部との接続部には、他の第２幅広部３１０ｂが設けられている。これによって、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第１トーションバー２２０との接続部における樹脂の量が、第１樹脂体３１０のうち当該接続部の周辺における樹脂の量より多くなっている。第１枠体２１０と第１トーションバー２２０との接続部には、第１枠体２１０のうち当該接続部の周囲と比較して、第１樹脂体３１０に大きな応力が加わりやすい。したがって、本実施形態によれば、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第１トーションバー２２０との接続部に第２幅広部３１０ｂが設けられていない場合と比較して、第１樹脂体３１０の強度を向上させることができる。

　第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第１トーションバー２２０との接続部における樹脂の量が、第１樹脂体３１０のうち当該接続部の周辺における樹脂の量より多くなるための構造は、本実施形態に限定されない。例えば、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第１トーションバー２２０との接続部における第３方向Ｚの厚みを、第１樹脂体３１０のうち当該接続部の周辺における第３方向Ｚの厚みより厚くしてもよい。

　第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の第２方向Ｙの正方向の端部と第３バー２４２の第２方向Ｙの負方向の端部との接続部には、第３幅広部３１０ｃが設けられている。第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０の第２方向Ｙの負方向の端部と第４バー２４４の第１方向Ｘの正方向の端部との接続部には、他の第３幅広部３１０ｃが設けられている。これによって、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第２トーションバー２４０との接続部における樹脂の量が、第１樹脂体３１０のうち当該接続部の周辺における樹脂の量より多くなっている。第１枠体２１０と第２トーションバー２４０との接続部には、第１枠体２１０のうち当該接続部の周囲と比較して、第１樹脂体３１０に大きな応力が加わりやすい。したがって、本実施形態によれば、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第２トーションバー２４０との接続部に第３幅広部３１０ｃが設けられていない場合と比較して、第１樹脂体３１０の強度を向上させることができる。

　第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第２トーションバー２４０との接続部における樹脂の量が、第１樹脂体３１０のうち当該接続部の周辺における樹脂の量より多くなるための構造は、本実施形態に限定されない。例えば、第１樹脂体３１０のうち第１枠体２１０と第２トーションバー２４０との接続部における第３方向Ｚの厚みを、第１樹脂体３１０のうち当該接続部の周辺における第３方向Ｚの厚みより厚くしてもよい。

　次に、図１及び図５を参照して、２つの第４幅広部３２０ａについて説明する。

　第２樹脂体３２０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの負方向側かつ第２方向Ｙの正方向側には、第４幅広部３２０ａが設けられている。第２樹脂体３２０の第１方向Ｘの正方向側かつ第２方向Ｙの負方向側には、他の第４幅広部３２０ａが設けられている。各第４幅広部３２０ａの第３方向Ｚの正方向側の面には、第２穴３２２ａが設けられている。本実施形態において、第４幅広部３２０ａは、第１トーションバー２２０の内縁の内側に設けられている。第４幅広部３２０ａは、第２樹脂体３２０を形成する樹脂を、第２樹脂体３２０を成型する金型に注入するためのゲートとして設けられている。各第２穴３２２ａは、樹脂を注入するための注入口として残っている。

　本実施形態において、各第２穴３２２ａは、第３方向Ｚに第２枠体２３０と重なっていない。したがって、第１穴３１２ａについて説明した理由と同様にして、第２穴３２２ａが第３方向Ｚに第２枠体２３０と重なっている場合と比較して、樹脂の圧力による第２枠体２３０の変形を抑制することができる。第２穴３２２ａが設けられる位置は、本実施形態に係る位置に限定されない。例えば、第２穴３２２ａは、第３方向Ｚに第２枠体２３０と重なっていてもよい。

　本実施形態において、２つの第２穴３２２ａは、第２樹脂体３２０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して対称に配置されている。

　以下、必要に応じて、２つの第２穴３２２ａのうち第１方向Ｘの正方向側に位置する第２穴３２２ａを、一方の第２穴３２２ａという。必要に応じて、２つの第２穴３２２ａのうち第１方向Ｘの負方向側に位置する第２穴３２２ａを、他方の第２穴３２２ａという。必要に応じて、第２枠体２３０のうち第２枠体２３０の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの正方向側に位置する部分を、第２枠体２３０の一方側部分という。必要に応じて、第２枠体２３０のうち第２枠体２３０の第１方向Ｘの中心に対して第１方向Ｘの負方向側に位置する部分を、第２枠体２３０の他方側部分という。必要に応じて、第２枠体２３０のうち第３バー２４２の第２方向Ｙの正方向の端部に接続された部分を、第２枠体２３０及び第３バー２４２の接続部という。必要に応じて、第２枠体２３０のうち第４バー２４４の第２方向Ｙの負方向の端部に接続された部分を、第２枠体２３０及び第４バー２４４の接続部という。

　一方の第２穴３２２ａは、第２枠体２３０及び第３バー２４２の接続部と、第２枠体２３０及び第４バー２４４の接続部と、から、第２枠体２３０の一方側部分のうち第２枠体２３０の周方向において等距離にある部分からずれて位置している。本実施形態において、第２枠体２３０及び第３バー２４２の接続部と、第２枠体２３０及び第４バー２４４の接続部と、から、第２枠体２３０の一方側部分のうち第２枠体２３０の周方向において等距離にある部分は、第２枠体２３０の一方側部分の第２方向Ｙの中心である。

　他方の第２穴３２２ａは、第２枠体２３０及び第３バー２４２の接続部と、第２枠体２３０及び第４バー２４４の接続部と、から、第２枠体２３０の他方側部分のうち第２枠体２３０の周方向において等距離にある部分からずれて位置している。本実施形態において、第２枠体２３０及び第３バー２４２の接続部と、第２枠体２３０及び第４バー２４４の接続部と、から、第２枠体２３０の他方側部分のうち第２枠体２３０の周方向において等距離にある部分は、第２枠体２３０の他方側部分の第２方向Ｙの中心である。

　本実施形態においては、第２樹脂体３２０を形成する樹脂を２つの第２穴３２２ａから注入した場合、当該樹脂のウエルドが、第２枠体２３０及び第３バー２４２の接続部と異なる部分と、第２枠体２３０及び第４バー２４４の接続部と異なる部分と、に形成されるようにすることができる。このため、当該ウエルドが、第２枠体２３０及び第３バー２４２の接続部と、第２枠体２３０及び第４バー２４４の接続部と、に形成される場合と比較して、第２樹脂体３２０の破損を抑制することができる。

　次に、第１発光素子５００について説明する。

　第１発光素子５００は、可動反射体１００のうち反射面１１２が位置する側の反対側に取り付けられている。仮に、第１発光素子５００が反射面１１２に取り付けられている場合、反射面１１２のうち第１発光素子５００が取り付けられている部分は光を反射することができない。これに対して、本実施形態によれば、反射面１１２が第１発光素子５００によって覆われなくすることができる。

　第１発光素子５００のアノード及びカソードの一方は、第１支持部２５２を介して第１バー２２２の少なくとも一部分に電気的に接続されている。第１発光素子５００のアノード及びカソードの他方は、第２支持部２５４を介して第２バー２２４の少なくとも一部分に電気的に接続されている。第１発光素子５００のアノードが第１支持部２５２を介して第１バー２２２の少なくとも一部分に電気的に接続され、第１発光素子５００のカソードが第２支持部２５４を介して第２バー２２４の少なくとも一部分に電気的に接続されている場合を検討する。この場合、第１端子２３０ｄから、第３バー２４２と、第１枠体２１０のうち第１枠体２１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの正方向側かつ第２方向Ｙの正方向側に位置する部分と、第１バー２２２と、第１支持部２５２と、第１発光素子５００と、第２支持部２５４と、第２バー２２４と、第１枠体２１０のうち第１枠体２１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの負方向側かつ第２方向Ｙの負方向側に位置する部分と、第４バー２４４と、を経由して、第２端子２３０ｆまで電流を流すことができる。

　次に、第１光検出素子６００について説明する。

　第１光検出素子６００は、第１発光素子５００に対して第３方向Ｚの負方向側に位置している。第１光検出素子６００は、第１光検出部６１２、第２光検出部６１４、第３光検出部６１６及び第４光検出部６１８を有している。

　図３に示すように、第１光検出部６１２及び第２光検出部６１４は、第１仮想平面ＩＰ１に対して第２方向Ｙの正方向側に位置している。第３光検出部６１６及び第４光検出部６１８は、第１仮想平面ＩＰ１に対して第２方向Ｙの負方向側に位置している。第１仮想平面ＩＰ１は、可動反射体１００の回転軸を通過して反射面１１２に垂直となっている。

　図４に示すように、第２光検出部６１４及び第３光検出部６１６は、第２仮想平面ＩＰ２に対して第１方向Ｘの負方向側に位置している。第１光検出部６１２及び第４光検出部６１８は、第２仮想平面ＩＰ２に対して第１方向Ｘの正方向側に位置している。第２仮想平面ＩＰ２は、第１枠体２１０の回転軸を通過して反射面１１２に垂直となっている。

　反射面１１２の法線が第３方向Ｚの正方向に平行となっている場合、第１発光素子５００から出射された光によって第１光検出素子６００に生成されるスポットの中心は、第１光検出素子６００のうち第１仮想平面ＩＰ１と第２仮想平面ＩＰ２との交差部分と一致している。また、反射面１１２の法線が第３方向Ｚの正方向に平行となっている場合、当該スポットのうちの第１光検出部６１２の照射面積と、当該スポットのうちの第２光検出部６１４の照射面積と、当該スポットのうちの第３光検出部６１６の照射面積と、当該スポットのうちの第４光検出部６１８の照射面積と、が互いに等しくなっている。当該スポットによって各光検出部に生成される信号の強度は、当該スポットのうち各光検出部の照射面積が大きくなるほど高くなる。

　本実施形態においては、第１発光素子５００から出射された光によって第１光検出部６１２、第２光検出部６１４、第３光検出部６１６及び第４光検出部６１８の各々に発生する信号の強度の割合に応じて、可動反射体１００の揺動を検出することができる。具体的には、第１枠体２１０が第２トーションバー２４０を回転軸として第２枠体２３０に対して揺動した場合における可動反射体１００の第２トーションバー２４０の周りの揺動角は、以下の式（１）によって示されるＸ＿ＴｉｌｔＥｒｒｏｒによって推定される。また、可動反射体１００が第１トーションバー２２０を回転軸として第１枠体２１０に対して揺動した場合における可動反射体１００の第１枠体２１０の周りの揺動角は、以下の式（２）によって示されるＹ＿ＴｉｌｔＥｒｒｏｒによって推定される。
　　Ｘ＿ＴｉｌｔＥｒｒｏｒ＝（Ａ＋Ｄ－Ｂ－Ｃ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）　　（１）
　　Ｙ＿ＴｉｌｔＥｒｒｏｒ＝（Ａ＋Ｂ－Ｃ－Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）　　（２）
ただし、Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤは、それぞれ、第１発光素子５００から出射された光によって第１光検出部６１２、第２光検出部６１４、第３光検出部６１６及び第４光検出部６１８の各々に発生する信号の強度である。

　上記式（１）においては、第１光検出部６１２において発生した信号の強度と第４光検出部６１８において発生した信号の強度との和と、第２光検出部６１４において発生した信号の強度と第３光検出部６１６において発生した信号の強度との和と、が比較されている。この比較より、第１枠体２１０が第２トーションバー２４０を回転軸として第２枠体２３０に対して揺動した場合における可動反射体１００の第２トーションバー２４０の周りの揺動角を推定することができる。

　上記式（２）においては、第１光検出部６１２において発生した信号の強度と第２光検出部６１４において発生した信号の強度との和と、第３光検出部６１６において発生した信号の強度と第４光検出部６１８において発生した信号の強度との和と、が比較されている。この比較より、可動反射体１００が第１トーションバー２２０を回転軸として第１枠体２１０に対して揺動した場合における可動反射体１００の第１トーションバー２２０の周りの揺動角を推定することができる。

　可動反射体１００の揺動の検出方法は、本実施形態に係る方法に限定されない。

　例えば、第１光検出素子６００は、単一の光検出部を有していてもよい。この例において、単一の光検出部は、例えば、第１仮想平面ＩＰ１に対して第１方向Ｘの正方向側に設けられている。この場合、単一の光検出部が第１発光素子５００から出射された光を検出した場合、反射面１１２の法線は、第３方向Ｚの正方向に対して第２方向Ｙの負方向に向けて傾いているといえる。一方、単一の光検出部が第１発光素子５００から出射された光を検出しない場合、反射面１１２の法線は、第３方向Ｚの正方向に対して第２方向Ｙの正方向に向けて傾いているといえる。

　また、第１発光素子５００は、反射面１１２に取り付けられていてもよい。この場合、第１光検出素子６００は、反射面１１２の第３方向Ｚの正方向側に設けられる。この例においても、第１発光素子５００及び第１光検出素子６００を用いて、可動反射体１００の揺動を検出することができる。

　図６及び図７は、実施形態に係る光走査装置１０の製造方法の一例を説明するための図である。この例において、実施形態に係る光走査装置１０は、以下のようにして製造される。

　まず、図６に示す金属体２００を準備する。金属体２００は、４つの第１連結部２６０ａ、２つの第２連結部２６０ｂ、２つの第３連結部２６０ｃ、第１折返し部２６０ｄ及び第２折返し部２６０ｆを有している。

　４つの第１連結部２６０ａは、第１枠体２１０の第３方向Ｚの垂直な方向側の外縁と、第２枠体２３０の第３方向Ｚに垂直な方向側の内縁と、に連結されている。これによって、第１枠体２１０は、第２トーションバー２４０だけでなく、４つの第１連結部２６０ａによっても、第２枠体２３０に支持されている。具体的には、各第１連結部２６０ａのうち第１枠体２１０の外縁に連結される一端は、第１突起２１０ａの先端に接続されている。各第１連結部２６０ａのうち第２枠体２３０の内縁に連結される他端は、第２突起２３０ａの先端に接続されている。各第１連結部２６０ａは、２つの第１幅狭部２６２ａを有している。２つの第１幅狭部２６２ａの一方は、第１連結部２６０ａのうち第１突起２１０ａの先端に接続される一端に設けられている。２つの第１幅狭部２６２ａの他方は、第１連結部２６０ａのうち第２突起２３０ａの先端に接続される他端に設けられている。

　２つの第２連結部２６０ｂは、第１枠体２１０の第３方向Ｚの垂直な方向側の外縁と、第２枠体２３０の第３方向Ｚに垂直な方向側の内縁と、に連結されている。これによって、第１枠体２１０は、第２トーションバー２４０だけでなく、２つの第２連結部２６０ｂによっても、第２枠体２３０に支持されている。具体的には、各第２連結部２６０ｂのうち第１枠体２１０の外縁に連結される一端は、第３突起２１０ｂの先端に接続されている。各第２連結部２６０ｂのうち第２枠体２３０の内縁に連結される他端は、第４突起２３０ｂの先端に接続されている。各第２連結部２６０ｂは、２つの第２幅狭部２６２ｂを有している。２つの第２幅狭部２６２ｂの一方は、第２連結部２６０ｂのうち第３突起２１０ｂの先端に接続される一端に設けられている。２つの第２幅狭部２６２ｂの他方は、第２連結部２６０ｂのうち第４突起２３０ｂの先端に接続される他端に設けられている。

　２つの第３連結部２６０ｃの一方は、第１支持部２５２の第１方向Ｘの負方向側の端部の外縁と、第１枠体２１０の第２方向Ｙの負方向の部分の内縁と、に連結されている。２つの第３連結部２６０ｃの他方は、第２支持部２５４の第１方向Ｘの正方向の端部の外縁と、第１枠体２１０の第２方向Ｙの正方向側の部分の内縁と、に連結されている。これによって、第１支持部２５２及び第２支持部２５４は、第１トーションバー２２０だけでなく、２つの第３連結部２６０ｃによっても、第１枠体２１０に支持されている。具体的には、各第３連結部２６０ｃのうち第１支持部２５２又は第２支持部２５４に連結される一端は、第５突起２５０ｃの先端に接続されている。各第３連結部２６０ｃのうち第１枠体２１０の内縁に連結される他端は、第６突起２１０ｃの先端に接続されている。各第３連結部２６０ｃは、２つの第３幅狭部２６２ｃを有している。２つの第３幅狭部２６２ｃの一方は、第３連結部２６０ｃのうち第５突起２５０ｃの先端に接続される一端に設けられている。２つの第３幅狭部２６２ｃの他方は、第３連結部２６０ｃのうち第６突起２１０ｃの先端に接続される他端に設けられている。

　第１折返し部２６０ｄは、第２枠体２３０の第２方向Ｙの正方向の外縁の外側において、第１端子２３０ｄと第７突起２３０ｅとの間で折り返している。第１折返し部２６０ｄは、２つの第４幅狭部２６２ｄを有している。２つの第４幅狭部２６２ｄの一方は、第１折返し部２６０ｄのうち第１端子２３０ｄの先端に接続される一端に設けられている。２つの第４幅狭部２６２ｄの他方は、第１折返し部２６０ｄのうち第７突起２３０ｅの先端に接続される他端に設けられている。

　第２折返し部２６０ｆは、第２枠体２３０の第２方向Ｙの負方向の外縁の外側において、第２端子２３０ｆと第８突起２３０ｇとの間で折り返している。第２折返し部２６０ｆは、２つの第５幅狭部２６２ｆを有している。２つの第５幅狭部２６２ｆの一方は、第２折返し部２６０ｆのうち第２端子２３０ｆの先端に接続される一端に設けられている。２つの第５幅狭部２６２ｆの他方は、第２折返し部２６０ｆのうち第８突起２３０ｇの先端に接続される他端に設けられている。

　次いで、図７に示すように、第１枠体２１０に第１樹脂体３１０を形成する。具体的には、第１樹脂体３１０を成型するための金型に第１枠体２１０を設置して、第１樹脂体３１０を形成する樹脂を第１枠体２１０の第３方向Ｚの正方向側から金型に注入する。樹脂は、第１樹脂体３１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの正方向側かつ第２方向Ｙの正方向側に位置する第１幅広部３１０ａと、第１樹脂体３１０の第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの中心に対して第１方向Ｘの負方向側かつ第２方向Ｙの負方向側に位置する第１幅広部３１０ａと、が形成される２箇所から注入される。樹脂が当該２箇所から注入されることで、各第１幅広部３１０ａの第３方向Ｚの正方向側の面には第１穴３１２ａが形成される。

　また、第２枠体２３０に第２樹脂体３２０を形成する。具体的には、第２樹脂体３２０を成型するための金型に第２枠体２３０を設置して、第２樹脂体３２０を形成する樹脂を第２枠体２３０の第３方向Ｚの正方向側から金型に注入する。樹脂は、２つの第４幅広部３２０ａが形成される２箇所から注入される。樹脂が当該２箇所から注入されることで、各第４幅広部３２０ａの第３方向Ｚの正方向側の面には第２穴３２２ａが形成される。

　また、第１支持部２５２及び第２支持部２５４に樹脂ステージ３５０を形成する。具体的には、樹脂ステージ３５０を成型するための金型に第１支持部２５２及び第２支持部２５４を設置して、樹脂ステージ３５０を形成する樹脂を金型に注入する。樹脂は、第１支持部２５２と第３方向Ｚに重なる箇所から注入される。樹脂が当該箇所から注入されることで、樹脂ステージ３５０の第３方向Ｚの正方向側の面には第３穴３５２ａが形成される。

　次いで、第１連結部２６０ａをレーザ溶断等の方法で除去する。具体的には、２つの第１幅狭部２６２ａをレーザ溶断等の方法によって切断する。これによって、第１突起２１０ａの先端が第１樹脂体３１０の第３方向Ｚに垂直な方向側の外縁の外側に残り、第２突起２３０ａの先端が第２樹脂体３２０の第３方向Ｚに垂直な方向側の内縁の外側に残る。この方法によれば、第１突起２１０ａの先端が第１樹脂体３１０の第３方向Ｚに垂直な外縁の外側に残らないように第１連結部２６０ａをレーザ溶断等の方法によって除去した場合と比較して、レーザ溶断等の方法によって発生する熱による第１樹脂体３１０の第３方向Ｚに垂直な方向側の外縁の損傷を抑制することができる。同様にして、第３突起２１０ｂの先端が第２樹脂体３２０の第３方向Ｚに垂直な外縁の外側に残らないように第１連結部２６０ａをレーザ溶断等の方法によって除去した場合と比較して、レーザ溶断等の方法によって発生する熱による第２樹脂体３２０の第３方向Ｚに垂直な方向側の内縁の損傷を抑制することができる。

　第１連結部２６０ａと同様にして、各第２連結部２６０ｂの２つの第２幅狭部２６２ｂをレーザ溶断等の方法によって切断することで、各第２連結部２６０ｂを除去する。また、各第３連結部２６０ｃの２つの第３幅狭部２６２ｃをレーザ溶断等の方法によって切断することで、各第３連結部２６０ｃを除去する。また、２つの第４幅狭部２６２ｄをレーザ溶断等の方法によって切断することで、第１折返し部２６０ｄを除去する。また、２つの第５幅狭部２６２ｆをレーザ溶断等の方法によって切断することで、第２折返し部２６０ｆを除去する。

　次いで、樹脂ステージ３５０の３つの支持突起３５２の第３方向Ｚの正方向側に反射体１１０を載置する。また、樹脂ステージ３５０の第３方向Ｚの負方向側に第１磁石４１０及び第１発光素子５００を設ける。また、第１樹脂体３１０の第３方向Ｚの負方向側に２つの第２磁石４２０を設ける。また、第１発光素子５００の第３方向Ｚの負方向側に第１光検出素子６００を設ける。

　このようにして、光走査装置１０が製造される。

　図８は、変形例に係る光走査装置１０Ａの斜視図である。本変形例に係る光走査装置１０Ａは、図１及び図２に示した第１発光素子５００及び第１光検出素子６００を備えていない。

　図９は、実施例に係るセンサ装置２０の構成を示す図である。

　センサ装置２０は、実施形態に係る光走査装置１０を備えている。センサ装置２０は、第２発光素子１２、第２光検出素子１４及びビームスプリッタ１６をさらに備えている。本実施例において、センサ装置２０は、ＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　Ａｎｄ　Ｒａｎｇｉｎｇ）である。

　第２発光素子１２は、例えば、レーザダイオード（ＬＤ）である。第２発光素子１２からビームスプリッタ１６及び可動反射体１００を経由して延びる実線矢印で示されるように、第２発光素子１２から出射された光は、ビームスプリッタ１６を透過して可動反射体１００によって反射される。可動反射体１００によって反射された光は、光走査装置１０の外部に存在する不図示の物体によって反射又は散乱される。

　第２光検出素子１４は、例えば、アバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）である。光走査装置１０及びビームスプリッタ１６を経由して第２光検出素子１４まで延びる実線矢印で示されるように、第２光検出素子１４は、第２発光素子１２から出射されて可動反射体１００によって反射されて光走査装置１０の外部に存在する不図示の物体によって反射又は散乱された光を検出する。本実施例において、第２光検出素子１４によって検出される光は、上記物体によって反射又は散乱されて、可動反射体１００及びビームスプリッタ１６によって反射されて、第２光検出素子１４に達している。

　センサ装置２０の構造は、本実施例に係る構造に限定されない。例えば、本実施例では、可動反射体１００によって反射されて光走査装置１０の外部に存在する物体に照射される光の光軸と、当該物体によって反射又は散乱された光の光軸と、が一致している。しかしながら、可動反射体１００によって反射されて光走査装置１０の外部に存在する物体に照射される光の光軸と、当該物体によって反射又は散乱された光の光軸と、は互いにずれていてもよい。この場合、当該物体によって反射又は散乱された光は、可動反射体１００での反射を経ずに、第２光検出素子１４に達する。

　以上、図面を参照して本発明の実施形態、変形例及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

１０　光走査装置
１０Ａ　光走査装置
１２　第２発光素子
１４　第２光検出素子
１６　ビームスプリッタ
２０　センサ装置
１００　可動反射体
１１０　反射体
１１２　反射面
２００　金属体
２１０　第１枠体
２１０ａ　第１突起
２１０ｂ　第３突起
２１０ｃ　第６突起
２１２　第１分断部
２２０　第１トーションバー
２２２　第１バー
２２４　第２バー
２３０　第２枠体
２３０ａ　第２突起
２３０ｂ　第４突起
２３０ｄ　第１端子
２３０ｅ　第７突起
２３０ｆ　第２端子
２３２　第２分断部
２４０　第２トーションバー
２４２　第３バー
２４４　第４バー
２５０ｃ　第５突起
２５２　第１支持部
２５４　第２支持部
２６０ａ　第１連結部
２６０ｂ　第２連結部
２６０ｃ　第３連結部
２６０ｄ　第１折返し部
２６０ｆ　第２折返し部
２６２ａ　第１幅狭部
２６２ｂ　第２幅狭部
２６２ｃ　第３幅狭部
２６２ｄ　第４幅狭部
２６２ｆ　第５幅狭部
３１０　第１樹脂体
３１０ａ　第１幅広部
３１０ｂ　第２幅広部
３１０ｃ　第３幅広部
３１２ａ　第１穴
３２０　第２樹脂体
３２０ａ　第４幅広部
３２２ａ　第２穴
３５０　樹脂ステージ
３５２　支持突起
３５２ａ　第３穴
４１０　第１磁石
４２０　第２磁石
５００　第１発光素子
６００　第１光検出素子
６１２　第１光検出部
６１４　第２光検出部
６１６　第３光検出部
６１８　第４光検出部
ＩＰ１　第１仮想平面
ＩＰ２　第２仮想平面
Ｘ　第１方向
Ｙ　第２方向
Ｚ　第３方向

Claims (10)

1. 　可動反射体と、
   　前記可動反射体を囲む領域の少なくとも一部分に位置する金属製の第１枠体と、
   　前記可動反射体と前記第１枠体とに接続された金属製の第１トーションバーと、
   　前記第１枠体の少なくとも一部分に設けられた第１樹脂体と、
   を備える光走査装置。
2. 　請求項１に記載の光走査装置において、
   　前記第１枠体を囲む領域の少なくとも一部分に位置する金属製の第２枠体と、
   　前記第１枠体と前記第２枠体とに接続された金属製の第２トーションバーと、
   　前記第２枠体の少なくとも一部分に設けられた第２樹脂体と、
   をさらに備える光走査装置。
3. 　請求項１又は２に記載の光走査装置において、
   　前記第１枠体のうち前記第１枠体の回転軸に平行な方向に互いに対向する両部分の間の距離が、前記第１枠体の少なくとも一部分において、前記回転軸から離れるにつれて減少している、光走査装置。
4. 　請求項１～３のいずれか一項に記載の光走査装置において、
   　前記第１枠体の外縁及び内縁の少なくとも一方に設けられ、先端が前記第１樹脂体から露出した突起をさらに備える光走査装置。
5. 　請求項１～４のいずれか一項に記載の光走査装置において、
   　前記第１樹脂体を形成する樹脂のウエルドが、前記第１枠体のうち前記第１トーションバーに接続された部分と異なる部分に形成されている、光走査装置。
6. 　請求項１～５のいずれか一項に記載の光走査装置において、
   　前記第１樹脂体のうち前記第１枠体の曲率が変化する部分における樹脂の量が、前記第１樹脂体のうち前記第１枠体の前記部分の周辺における樹脂の量より多くなっている、光走査装置。
7. 　請求項１～６のいずれか一項に記載の光走査装置において、
   　前記第１樹脂体のうち前記第１枠体と前記第１トーションバーとの接続部における樹脂の量が、前記第１樹脂体のうち前記接続部の周辺における樹脂の量より多くなっている、光走査装置。
8. 　請求項１～７のいずれか一項に記載の光走査装置において、
   　前記第１樹脂体のうち前記第１枠体と重ならない部分の表面に少なくとも１つの穴が設けられている、光走査装置。
9. 　請求項１～８のいずれか一項に記載の光走査装置において、
   　前記第１枠体に取り付けられた永久磁石をさらに備え、
   　前記第１枠体の回転軸に平行な方向における前記永久磁石の幅が、前記第１枠体のうち前記永久磁石が取り付けられた部分の前記第１枠体の回転軸に平行な方向における幅の９５％以上１０５％以下である、光走査装置。
10. 　請求項１～９のいずれか一項に記載の光走査装置と、
    　発光素子と、
    　前記発光素子から出射され前記可動反射体によって反射されて前記光走査装置の外部に存在する物体によって反射又は散乱された光を検出する光検出素子と、
    を備えるセンサ装置。

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