WO2023032109A1 - 表示装置、表示装置の製造方法 - Google Patents

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WO2023032109A1
WO2023032109A1 PCT/JP2021/032212 JP2021032212W WO2023032109A1 WO 2023032109 A1 WO2023032109 A1 WO 2023032109A1 JP 2021032212 W JP2021032212 W JP 2021032212W WO 2023032109 A1 WO2023032109 A1 WO 2023032109A1
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emitting layer
pixel electrode
light
light emitting
layer
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PCT/JP2021/032212
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French (fr)
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孝太 安達
豪 鎌田
康 浅岡
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シャープ株式会社
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    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/02Details
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/14Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source

Definitions

  • the present disclosure relates to a display device and a manufacturing method of the display device.
  • a display device is manufactured by patterning a second light-emitting layer on a patterned first light-emitting layer. Overlapping parts may shift. As a result, the edge of the first pixel electrode cannot be covered, and current concentration occurs at the edge of the first pixel electrode, possibly degrading the display device.
  • a main object of the present disclosure is to provide a display device capable of suppressing deterioration and a method for manufacturing the display device.
  • a display device includes a pixel electrode, a counter electrode provided over the pixel electrode, and a functional layer provided between the pixel electrode and the counter electrode, wherein the function
  • the layer has a first portion overlapping an end portion of the pixel electrode and a second portion overlapping a central portion of the pixel electrode, the thickness of the first portion being greater than the thickness of the second portion. thick.
  • a method of manufacturing a display device is a method of manufacturing a display device in which a functional layer is provided between a pixel electrode and a counter electrode provided on the upper layer of the pixel electrode, the method comprising: a) a pixel forming a photosensitive composition layer containing a functional material on an electrode; b) exposing and developing the photosensitive composition layer; and forming the functional layer having a second portion overlapping a central portion, wherein the thickness of the first portion is greater than the thickness of the second portion.
  • a method of manufacturing a display device includes: a plurality of pixel electrodes including a first pixel electrode and a second pixel electrode; a counter electrode provided in an upper layer of the plurality of pixel electrodes; and a light-emitting layer including a first light-emitting layer containing a first light-emitting material and a second light-emitting layer containing a second light-emitting material, provided between the pixel electrode and the counter electrode.
  • the combined thickness of the layer portion is thicker than the thickness of the first and second
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of a laminated structure of a display device according to Embodiment 1; FIG. It is a figure which shows typically an example of the lamination structure of the display apparatus concerning a 1st modification. It is a figure which shows typically an example of the lamination structure of the display apparatus concerning a 2nd modification.
  • FIG. 10 is a diagram schematically showing an example of a laminated structure of a display device according to Embodiment 2; FIG. 10 is a diagram for explaining steps in an example of a method for manufacturing a display device according to Embodiment 2; FIG. 10 is a diagram for explaining steps in an example of a method for manufacturing a display device according to Embodiment 2; FIG.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining steps in an example of a method for manufacturing a display device according to Embodiment 2;
  • FIG. 11 is a diagram schematically showing an example of a laminated structure of a display device according to Embodiment 3;
  • FIG. 11 is a diagram for explaining steps in an example of a method for manufacturing a display device according to Embodiment 3;
  • FIG. 11 is a diagram for explaining steps in an example of a method for manufacturing a display device according to Embodiment 3;
  • FIG. 11 is a diagram for explaining steps in an example of a method for manufacturing a display device according to Embodiment 3;
  • FIG. 11 is a diagram for explaining steps in an example of a method for manufacturing a display device according to Embodiment 3;
  • the display device 100 is a device that emits light.
  • the display device 100 may be, for example, a lighting device (for example, a backlight) that emits light such as white light, or displays an image (including, for example, character information, etc.) by emitting light. It may be a display device that In this embodiment, an example in which the display device 100 includes one light emitting element for one pixel in the display device will be described.
  • a display device can be configured by arranging a plurality of pixels in a matrix.
  • the display device 100 has, for example, a structure in which an insulating layer 2, a pixel electrode 3, an intermediate layer 4, and a counter electrode 5 are laminated on a substrate 1 in this order.
  • One pixel (corresponding to one light emitting element) is shown in FIG. 1, and the display device 100 includes at least one light emitting element.
  • the substrate 1 is made of, for example, glass, and functions as a support that supports the above layers.
  • a switching element 6 such as a thin film transistor (TFT) is provided on the substrate 1 .
  • the insulating layer 2 is provided on the substrate 1.
  • the insulating layer 2 planarizes the upper surface of the substrate 1 on which the switching elements 6 are provided.
  • a contact hole 7 is provided in the insulating layer 2 .
  • the substrate 1 on which the switching elements 6 and the insulating layer 2 are formed can be called an array substrate.
  • the pixel electrode 3 is provided on the insulating layer 2 .
  • the pixel electrode 3 is connected to the switching element 6 through the contact hole 7 . That is, the contact hole 7 is provided with the pixel electrode 3 .
  • an insulator 8 is provided on the pixel electrode 3 provided in the contact hole 7 .
  • contact hole 7 is filled with insulator 8 as an insulating portion.
  • the surface on which the pixel electrode 3 is formed is flattened by the insulator 8, and each layer formed on the pixel electrode 3, particularly the intermediate layer 4, can be formed flatter. Furthermore, the insulator 8 can suppress current concentration in the vicinity of the contact hole 7 .
  • the counter electrode 5 is provided on the upper layer of the pixel electrode 3 .
  • the counter electrode 5 faces the pixel electrode 3 .
  • the pixel electrode 3 and the counter electrode 5 are made of, for example, a conductive material such as metal or transparent conductive oxide.
  • a conductive material such as metal or transparent conductive oxide.
  • the metal include Al, Cu, Au, and Ag.
  • the transparent conductive oxide include indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), aluminum zinc oxide (ZnO:Al(AZO)), and boron zinc oxide. (ZnO:B(BZO)) and the like.
  • the pixel electrode 3 and the counter electrode 5 may be a laminate including, for example, at least one metal layer and/or at least one transparent conductive oxide layer.
  • a light transmissive material can be used.
  • a transparent conductive material can be used as the light transmissive material.
  • ITO indium tin oxide
  • IZO indium zinc oxide
  • SnO 2 tin oxide
  • FTO fluorine-doped tin oxide
  • these materials have high visible light transmittance, the luminous efficiency of the light-emitting element is improved.
  • a light reflective material can be used.
  • a metal material can be used as the light-reflecting material.
  • Al (aluminum), Ag (silver), Cu (copper), Au (gold), or the like can be used as the light-reflecting material. These materials have a high visible light reflectance, and therefore have an improved luminous efficiency.
  • the intermediate layer 4 is provided between the pixel electrode 3 and the counter electrode 5 .
  • the intermediate layer 4 includes at least one functional layer.
  • the intermediate layer 4 is composed of one functional layer, and the functional layer is a light-emitting layer.
  • a functional layer is formed in a region including at least part of the light emitting region.
  • the light-emitting layer emits light by the first charge supplied from the pixel electrode 3 and the second charge supplied from the counter electrode 5 . This causes the light emitting element to emit light.
  • the second charge has a polarity opposite to that of the first charge.
  • At least one functional layer included in the intermediate layer 4 includes a first portion 4a and a second portion 4b.
  • the thickness of the first portion 4a is thicker than the thickness of the second portion 4b.
  • the first portion 4a is provided, for example, in a layer above the end of the pixel electrode 3. As shown in FIG. That is, the first portion 4a overlaps the edge of the pixel electrode 3 in plan view. Also, the first portion 4 a is provided so as to cover the end portion of the pixel electrode 3 .
  • the second portion 4b is provided, for example, in the upper layer of the central portion of the pixel electrode 3. That is, the second portion 4b overlaps the central portion of the pixel electrode 3 in plan view.
  • the second portion 4b becomes a light-emitting region
  • the first portion 4a becomes a non-light-emitting region or a region not intended to emit light.
  • the first portion 4a becomes a non-light-emitting region because it is thick and it is difficult for charges to be supplied from the pixel electrode 3 and the counter electrode 5.
  • the thickness of the first portion 4a is thicker than the thickness of the second portion 4b
  • current concentration at the edge of the pixel electrode 3 can be suppressed.
  • peeling of the pixel electrode 3 is less likely to occur. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the edge portions of the pixel electrodes 3, suppress the decrease in the light emitting area of the light emitting element, and suppress the decrease in luminance.
  • the first portion 4a preferably overlaps the contact hole 7 and the insulator 8. As a result, current concentration in the vicinity of contact hole 7 can be suppressed.
  • the functional layer is a light-emitting layer
  • the luminescent layer contains a luminescent material.
  • light-emitting materials include quantum dots.
  • Quantum dots are, for example, semiconductor fine particles having a particle size of 100 nm or less, MgS, MgSe, MgTe, CaS, CaSe, CaTe, SrS, SrSe, SrTe, BaS, BaSe, BaTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, CdS, II-VI group semiconductor compounds such as CdSe, CdTe, HgS, HgSe and HgTe, and/or crystals of III-V group semiconductor compounds such as GaAs, GaP, InN, InAs, InP and InSb, and/or Si, It can have crystals of group IV semiconductor compounds such as Ge.
  • the quantum dots may have a core/shell structure in which the above semiconductor crystal is used as a core and the core is overcoated with a shell material having a high bandgap.
  • a light-emitting layer as a functional layer can be formed, for example, using a photosensitive composition containing a light-emitting material.
  • Examples of the method for forming the light-emitting layer as the functional layer include the following methods.
  • the photosensitive composition layer is subjected to halftone exposure in which the exposure amount is adjusted for the portions corresponding to the first portion 4a and the second portion 4b, and then developed.
  • the photosensitive composition is a negative photosensitive composition
  • the exposure amount of the portion corresponding to the first portion 4a is made larger than the exposure amount of the portion corresponding to the second portion 4b.
  • the photosensitive composition is a positive photosensitive composition
  • the exposure amount of the portion corresponding to the first portion 4a is made smaller than the exposure amount of the portion corresponding to the second portion 4b.
  • the thickness of the first portion 4a can be made thicker than the thickness of the second portion 4b.
  • the intermediate layer 4 is not limited to being composed of a single functional layer. Another example of the intermediate layer 4 will be described below with reference to FIGS.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the laminated structure in the display device 101 of the first modified example.
  • the display device 101 of the first modified example is an example of the display device 100 of the first embodiment in which the intermediate layer 4 includes the first charge transport layer 41 and the light emitting layer 42 as functional layers.
  • the light-emitting layer 42 is the same as the light-emitting layer that is the functional layer of the display device 100 .
  • the first charge transport layer 41 is provided between the pixel electrode 3 and the light emitting layer 42 .
  • the first charge transport layer 41 transports the first charge from the pixel electrode 3 to the light emitting layer 42 .
  • the first charge transport layer 41 can be a hole transport layer or an electron transport layer.
  • the first charges are holes
  • the second charges are electrons
  • the first charge transport layer 41 is a hole transport layer.
  • the first charges are electrons
  • the second charges are holes
  • the first charge transport layer 41 is an electron transport layer.
  • the hole-transporting layer and the electron-transporting layer may be one layer or multiple layers.
  • Materials forming the hole transport layer include, for example, one or more of Zn, Cr, Ni, Ti, Nb, Al, Si, Mg, Ta, Hf, Zr, Y, La, and Sr.
  • PVK poly(N-vinylcarbazole)
  • PVK poly(2,7-(9,9-di-n-octylfluorene)-(1,4-phenylene-((4-second-butylphenyl)imino )-1,4-phenylene
  • TFB poly(triphenylamine) derivative
  • PEDOT-PSS poly(3,4-ethylenedioxythiophene)/poly(4-styrenesulfonic acid)
  • These hole-transporting organic materials may be used singly or in combination of two or more.
  • Electron-transporting materials such as zinc oxide (eg, ZnO), titanium oxide (eg, TiO 2 ), strontium titanium oxide (eg, SrTiO 3 ), and the like are used as materials for forming the electron-transporting layer. These electron-transporting materials may be used singly or in combination of two or more.
  • Materials for forming these hole transport layer and electron transport layer are appropriately selected according to the configuration and characteristics of the display device 101 .
  • one display device may be configured by combining a plurality of the above light-emitting elements.
  • a display device that emits a plurality of colors can be configured by making the light emission colors of the light emitting layers different.
  • FIG. 3 is a diagram schematically showing a laminated structure in the display device 102 of the second modified example.
  • the intermediate layer 4 in the display device 100 of Embodiment 1 includes three functional layers of the first charge transport layer 41, the light emitting layer 42a, and the second charge transport layer 43.
  • the first charge transport layer 41 the first charge transport layer 41
  • the light emitting layer 42a the light emitting layer 42a
  • the second charge transport layer 43 the second charge transport layer 43.
  • the second charge transport layer 43 is provided between the light emitting layer 42a and the counter electrode.
  • the second charge transport layer 43 transports the second charge from the counter electrode 5 to the light emitting layer 42a.
  • the second charge transport layer 42 is thicker in the portion corresponding to the first portion 4a than in the portion corresponding to the second portion 4b.
  • the light-emitting layer 42a is made of, for example, the same material as the light-emitting layer 42, but has a different shape.
  • the light-emitting layer 42a has substantially the same shape as the second portion 4b of the second charge transport layer 43 in plan view.
  • the first charge transport layer 41 and the second charge transport layer 43 can be a hole transport layer or an electron transport layer, respectively.
  • the first charges are holes
  • the second charges are electrons
  • the first charge transport layer 41 is a hole transport layer
  • the second charges are Transport layer 43 is an electron transport layer.
  • the first charge is an electron
  • the second charge is a hole
  • the first charge transport layer 41 is an electron transport layer
  • the second charge transport layer 41 is an electron transport layer.
  • the charge transport layer is the hole transport layer.
  • the hole-transporting layer and the electron-transporting layer can be, for example, one layer or multiple layers.
  • a layered structure having a layer having a hole-injecting ability closest to the anode can be mentioned.
  • the electron transport layer is multilayered, for example, a laminated structure having a layer having an electron injection ability closest to the cathode can be mentioned.
  • FIG. 4 is a diagram schematically showing an example of the laminated structure of the display device 200 according to this embodiment.
  • a display device 200 is one pixel in the display device.
  • a display device can be configured by arranging a plurality of pixels in a matrix.
  • the display device 200 includes, for example, a red light emitting element 20R that emits red light, a green light emitting element 20G that emits green light, and a blue light emitting element 20B that emits blue light.
  • the red light emitting element 20R has an emission center wavelength of the first wavelength, and emits light at, for example, about 630 nm.
  • the green light emitting element 20G emits light at a second wavelength shorter than the first wavelength, such as about 530 nm, for example.
  • the blue light emitting element 20B emits light at a third wavelength, which is shorter than the second wavelength, such as about 440 nm, for example.
  • the substrate 21 is made of, for example, glass, and functions as a support that supports the above layers.
  • the substrate 21 may be, for example, a TFT array substrate on which TFTs (Thin Film Transistors) or the like are formed.
  • the red pixel electrode 23R is arranged on the substrate 21.
  • the red pixel electrode 23R is the same as the pixel electrode 3 in the first embodiment, for example.
  • the red light emitting layer 24R is arranged on the red pixel electrode 23R.
  • the red light emitting layer 24R has a first emission center wavelength and emits light at, for example, about 630 nm.
  • the red light-emitting layer 24R includes, for example, a red light-emitting material that emits light having a central emission wavelength of the first wavelength, for example, about 630 nm.
  • the red light-emitting material is the same as the light-emitting material in the first embodiment.
  • the red light emitting layer 24R includes a red light emitting layer portion 24Ra that overlaps with the end portion of the red pixel electrode 23R, and a red light emitting layer portion 24Rb that overlaps with the central portion of the red pixel electrode 23R.
  • the red light emitting layer portion 24Rb becomes a light emitting region of the red light emitting element 20R.
  • the laminate of the red light-emitting layer portion 24Ra and the blue light-emitting layer portion 24Bcr covers the end portion of the red pixel electrode 23R. Therefore, the red pixel electrode 23R is less likely to be peeled off. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the edge portion of the red pixel electrode 23R, and it is possible to suppress the decrease in the light emitting area and the decrease in luminance in the red light emitting element 20R.
  • the green light emitting element 20G has the same configuration as the red light emitting element 20R. However, it differs in that the red light emitting layer 24R is changed to the green light emitting layer 24G.
  • the green light emitting element 20G has, for example, a structure in which a green pixel electrode 23G, a green light emitting layer 24G, a blue light emitting layer portion 24Bcg, and a counter electrode 5 are laminated on a substrate 21 in this order.
  • the green pixel electrode 23G is arranged on the substrate 21 .
  • the green pixel electrode 23G is, for example, the same as the red pixel electrode 23R.
  • the green light-emitting layer 24G is arranged on the green pixel electrode 23G.
  • the green light emitting layer 24G has a second emission center wavelength, and emits light at, for example, about 530 nm.
  • the green light-emitting layer 24G contains, for example, a green light-emitting material that emits light at, for example, about 530 nm, with an emission central wavelength of the second wavelength.
  • the green light-emitting material is the same as the light-emitting material in the first embodiment.
  • the green light-emitting layer 24G includes a green light-emitting layer portion 24Ga that overlaps with the end portion of the green pixel electrode 23G, and a green light-emitting layer portion 24Gb that overlaps with the central portion of the green pixel electrode 23G.
  • the green light emitting layer portion 24Gb becomes a light emitting region of the green light emitting element 20G.
  • the blue light emitting layer portion 24Bcg is arranged on the green light emitting layer 24G. More specifically, in the green light emitting element 20G, the blue light emitting layer portion 24Bcg is arranged on the green light emitting layer portion 24Ga. The blue light-emitting layer portion 24Bcg overlaps the end portion of the green pixel electrode 23G and the green light-emitting layer portion 24Ga.
  • functional layers are configured by the green light emitting layer 24G and the blue light emitting layer portion 24Bcg.
  • a laminate of the green light-emitting layer portion 24Ga and the blue light-emitting layer portion 24Bcg in the functional layer is stacked with the end portion of the green pixel electrode 23G and is thicker than the green light-emitting layer portion 24Gb. Therefore, it is possible to suppress current concentration at the edge of the green pixel electrode 23G in the green light emitting element 20G.
  • the laminate of the green light emitting layer portion 24Ga and the blue light emitting layer portion 24Bcg covers the edge of the green pixel electrode 23G. Therefore, peeling of the green pixel electrode 23G is less likely to occur. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the edge portion of the green pixel electrode 23G, thereby suppressing the decrease in the light emitting area and the decrease in luminance in the green light emitting element 20G.
  • the counter electrode 5 is arranged on the green light emitting layer 24G and the blue light emitting layer 24B. More specifically, it is arranged on the green light emitting layer portion 24Gb in the green light emitting layer 24G and on the blue light emitting layer portion 24Bcg in the blue light emitting layer 24B arranged on the green light emitting layer portion 24Ga.
  • the blue light emitting element 20B has the same configuration as the red light emitting element 20R. However, it differs in that the red light emitting layer 24R is changed to the blue light emitting layer 24B.
  • the blue light emitting element 20B has, for example, a structure in which a blue pixel electrode 23B, a blue light emitting layer 24B, and a counter electrode 5 are laminated in this order on a substrate 21.
  • the blue pixel electrode 23B is arranged on the substrate 21.
  • the blue pixel electrode 23B is, for example, the same as the red pixel electrode 23R.
  • the blue light emitting layer 24B is arranged on the blue pixel electrode 23B.
  • the blue light-emitting layer 24B has a third emission center wavelength, and emits light at, for example, about 440 nm.
  • the blue light-emitting layer 24B contains, for example, a blue light-emitting material that emits light at a third wavelength, for example, about 440 nm.
  • the blue light-emitting material is the same as the light-emitting material in the first embodiment.
  • the blue light-emitting layer 24B overlaps the blue light-emitting layer portion 24Ba overlapping with the end portion of the blue pixel electrode 23B, the blue light-emitting layer portion 24Bb overlapping with the central portion of the blue pixel electrode 23B, and the end portion of the red pixel electrode 23R. It includes a blue light emitting layer portion 24Bcr and a blue light emitting layer portion 24Bcg that overlaps with the edge of the green pixel electrode 23G.
  • the blue light emitting layer portion 24Bb serves as a light emitting region of the blue light emitting element 20B.
  • the blue light emitting layer 24B constitutes a functional layer.
  • the blue light emitting layer portion 24Ba in the functional layer is thicker than the blue light emitting layer portion 24Bb. Therefore, it is possible to suppress current concentration at the end portion of the blue pixel electrode 23B in the blue light emitting element 20B.
  • the blue light-emitting layer portion 24Ba covers the end portion of the blue pixel electrode 23B, the blue pixel electrode 23B is less likely to be peeled off. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the edge portions of the blue pixel electrode 23B, and it is possible to suppress the decrease in the light emitting area and the decrease in luminance in the blue light emitting element 20B.
  • the counter electrode 5 is arranged on the blue light emitting layer 24 . More specifically, it is arranged on the green light emitting layer portion 24Gb in the green light emitting layer 24G and on the blue light emitting layer portion 24Bcg in the blue light emitting layer 24B arranged on the green light emitting layer portion 24Ga.
  • the pixel electrode 23R for red, the pixel electrode 23G for green, and the pixel electrode 23B for blue are formed on the substrate 21, the pixel electrode 23R for red, the pixel electrode 23G for green, and the pixel electrode 23B for blue are formed.
  • the pixel electrode 23R for red, the pixel electrode 23G for green, and the pixel electrode 23B for blue can be formed by conventionally known various methods such as sputtering and vacuum deposition.
  • a red light emitting layer 24R is formed on the red pixel electrode 23R, and a green light emitting layer 24G is formed on the green pixel electrode 23G.
  • a photosensitive composition containing a red light-emitting material for forming the red light-emitting layer 24R is applied on the red pixel electrode 23R, and exposed and developed to form the red light-emitting layer 24R. be able to.
  • the red light-emitting layer 24R includes a red light-emitting layer portion 24Ra overlapping with the end portion of the red pixel electrode 23R and a red light-emitting layer portion 24Rb overlapping with the central portion of the red pixel electrode 23R.
  • the green light emitting layer 24G can be formed by applying a photosensitive composition containing a green light emitting material for forming the green light emitting layer 24G onto the green pixel electrode 23G, and exposing and developing.
  • the green light-emitting layer 24G includes a green light-emitting layer portion 24Ga that overlaps with the edge of the green pixel electrode 23G and a green light-emitting layer portion 24Gb that overlaps with the central portion of the green pixel electrode 23G.
  • a positive photosensitive blue light emitting layer 24B-0 is formed on the red light emitting layer 24R and the green light emitting layer 24G. Then, using a halftone mask 50, the formed positive photosensitive blue light emitting layer 24B-0 is exposed. Specifically, predetermined portions of the red light emitting element 20R and the green light emitting element 20G are exposed, and predetermined portions of the blue light emitting element 20B are halftone exposed. Due to this exposure, the predetermined portion of the blue light emitting element 20B is exposed less than the predetermined portion corresponding to the red light emitting element 20R and the green light emitting element 20G.
  • the blue light emitting layer 24B has an unexposed blue light emitting layer portion 24Ba, blue light emitting layer portions 24Bcr and 24Bcg, and a blue light emitting layer portion 24Bb corresponding to the halftone exposed portion.
  • the red light emitting element 20R a laminate of the red light emitting layer 24R and the blue light emitting layer 24B is formed.
  • the thickness of the layered body of the red light emitting layer portion 24Ra and the blue light emitting layer portion 24Bcr is greater than the thickness of the red light emitting layer portion 24Rb.
  • a blue light emitting layer 24B having a blue light emitting layer portion 24Ba and a blue light emitting layer portion 24Bb is formed as a functional layer. As described above, the thickness of the blue light emitting layer portion 24Ba is greater than the thickness of the blue light emitting layer portion 24Bb.
  • the blue light emitting layer 24B can be formed by one exposure and development. Further, even if the halftone mask 50 is displaced during halftone exposure, the area of the light emitting region of each light emitting element does not change because the area of the exposed region does not change.
  • the counter electrode 5 is formed on the blue light emitting layer 24B.
  • the counter electrode 5 can be formed by conventionally known various methods such as a sputtering method and a vacuum deposition method. Thereby, the display device 200 shown in FIG. 4 can be manufactured.
  • the positive photosensitive blue light emitting layer 24B-0 was used when forming the blue light emitting layer 24B, but a negative photosensitive blue light emitting layer may be used. At this time, the portions corresponding to the blue light emitting layer portions 24Bcr and 24Bcg are exposed, and the portion corresponding to the blue light emitting layer portion 24Bb is halftone exposed.
  • a display device can be configured by arranging a plurality of pixels (a plurality of light emitting elements) in a matrix.
  • the display device 300 is obtained by changing the light emitting elements 20R, 20G, and 20B of each color in the display device 200 of Embodiment 2 to light emitting elements 30R, 30G, and 30B having different lamination structures.
  • the red light emitting element 30R has, for example, a structure in which a red pixel electrode 23R, a red light emitting layer 24R, a green light emitting layer portion 24Gcr, a blue light emitting layer portion 24Bcr, and a counter electrode 5 are laminated in this order on a substrate 21.
  • the red pixel electrode 23R is arranged on the substrate 21.
  • the red light emitting layer 24R is arranged on the red pixel electrode 23R.
  • the red light emitting layer 24R includes a red light emitting layer portion 24Ra that overlaps with the end portion of the red pixel electrode 23R, and a red light emitting layer portion 24Rb that overlaps with the central portion of the red pixel electrode 23R.
  • the red light emitting layer portion 24Rb becomes a light emitting region of the red light emitting element 20R.
  • the green light emitting layer portion 24Gcr is arranged on the red light emitting layer 24R. More specifically, the green light emitting layer portion 24Gcr is part of the green light emitting layer 24G and overlaps the red light emitting layer portion 24Ra.
  • the red light emitting layer 24R constitutes a functional layer.
  • a laminate of the red light emitting layer portion 24Ra, the green light emitting layer portion 24Gcr, and the blue light emitting layer portion 24Bcr is stacked with the end portion of the red pixel electrode 23R and is thicker than the red light emitting layer portion 24Rb. Therefore, it is possible to suppress current concentration at the end portion of the red pixel electrode 23R.
  • the laminate of the red light emitting layer portion 24Ra, the green light emitting layer portion 24Gcr and the blue light emitting layer portion 24Bcr covers the end portion of the red pixel electrode 23R. Therefore, the red pixel electrode 23R is less likely to be peeled off. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the edge portion of the red pixel electrode 23R, and it is possible to suppress the decrease in the light emitting area and the decrease in luminance in the red light emitting element 30R.
  • the counter electrode 5 is arranged on the red light emitting layer 24R, the green light emitting layer 24G and the blue light emitting layer 24B. More specifically, it is arranged on a laminate of the red light emitting layer portion 24Ra, the green light emitting layer portion 24Gcr and the blue light emitting layer portion 24Bcr.
  • the green light emitting element 30G has, for example, a structure in which a green pixel electrode 23G, a green light emitting layer 24G, a blue light emitting layer portion 24Bcg, and a counter electrode 5 are laminated on a substrate 21 in this order.
  • the green pixel electrode 23G is arranged on the substrate 21 .
  • the green light-emitting layer 24G is arranged on the green pixel electrode 23G.
  • the green light-emitting layer 24G includes a green light-emitting layer portion 24Ga overlapping with the edge of the green pixel electrode 23G and a green light-emitting layer portion 24Gb overlapping with the central portion of the green pixel electrode 23G.
  • the thickness of the green light emitting layer portion 24Ga is thicker than the thickness of the green light emitting layer portion 24Gb.
  • the green light emitting layer portion 24Gb becomes a light emitting region of the green light emitting element 20G.
  • the blue light emitting layer portion 24Bcg is arranged on the green light emitting layer 24G. More specifically, the blue light-emitting layer portion 24Bcg is part of the blue light-emitting layer 24B and is arranged on the green light-emitting layer portion 24Ga. The blue light emitting layer portion 24Bcg overlaps with the green light emitting layer portion 24Ga.
  • the green light emitting layer 24G constitutes a functional layer.
  • the green light emitting layer portion 24Ga in the functional layer is thicker than the green light emitting layer portion 24Gb. Therefore, it is possible to suppress current concentration at the edge of the green pixel electrode 23G in the green light emitting element 30G.
  • the laminate of the green light emitting layer portion 24Ga and the blue light emitting layer portion 24Bcg covers the edge of the green pixel electrode 23G. Therefore, the green pixel electrode 23G is less likely to be peeled off, and current concentration at the edge of the green pixel electrode 23G can be suppressed. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the edge portion of the green pixel electrode 23G, thereby suppressing the decrease in the light emitting area and the decrease in luminance in the green light emitting element 30G.
  • the counter electrode 5 is arranged on the green light emitting layer 24G and the blue light emitting layer 24B. More specifically, it is arranged on the green light emitting layer portion 24Gb and on the blue light emitting layer portion 24Bcg arranged on the green light emitting layer portion 24Ga.
  • the blue light emitting element 30B has, for example, a structure in which a blue pixel electrode 23B, a green light emitting layer portion 24Gcb, a blue light emitting layer 24B, and a counter electrode 5 are laminated in this order on a substrate 21.
  • the blue pixel electrode 23B is arranged on the substrate 21.
  • the green light-emitting layer portion 24Gcb is arranged on the blue pixel electrode 23B.
  • the green light-emitting layer portion 24Gcb overlaps the edge of the blue pixel electrode 23B.
  • the blue light emitting layer 24B is arranged on the green light emitting layer portion 24Gcb and the blue pixel electrode 23B.
  • the blue light emitting layer 24B has a blue light emitting layer portion 24Ba and a blue light emitting layer portion 24Bb.
  • the blue light emitting layer portion 24Ba is arranged on the green light emitting layer portion 24G.
  • the blue light-emitting layer portion 24Ba overlaps with the end portion of the blue pixel electrode 23b.
  • the blue light-emitting layer portion 24Bb overlaps the central portion of the blue pixel electrode 23b.
  • the blue light emitting layer portion 24Bb serves as a light emitting region of the blue light emitting element 20B.
  • the laminate of the green light-emitting layer portion 24Gcb and the blue light-emitting layer portion 24Ba covers the end portion of the blue pixel electrode 23B. Therefore, the blue pixel electrode 23B is less likely to come off. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the edge portions of the blue pixel electrode 23B, and it is possible to suppress the decrease in the light emitting area and the decrease in luminance in the blue light emitting element 30B.
  • the counter electrode 5 is arranged on the blue light emitting layer 24B. More specifically, it is arranged on the blue light emitting layer portion 24Bb in the blue light emitting layer 24B and on the laminate of the green light emitting layer portion 24Gcb and the blue light emitting layer portion 24Ba.
  • the pixel electrode 23R for red, the pixel electrode 23G for green, and the pixel electrode 23B for blue are formed on the substrate 21, the pixel electrode 23R for red, the pixel electrode 23G for green, and the pixel electrode 23B for blue are formed.
  • the pixel electrode 23R for red, the pixel electrode 23G for green, and the pixel electrode 23B for blue can be formed by conventionally known various methods such as sputtering and vacuum deposition.
  • a predetermined portion of the blue light emitting element 30B of the positive photosensitive green light emitting layer 24G-0 is exposed and developed to remove a predetermined portion of the blue light emitting element 30B.
  • a photosensitive green light emitting layer 24G-1 is formed.
  • a positive photosensitive blue light emitting layer 24B-0 is formed on the positive photosensitive green light emitting layer 24G-1. Then, using a halftone mask 70, the positive photosensitive blue light emitting layer 24B-0 and the positive photosensitive green light emitting layer 24G-1 are exposed. Specifically, a predetermined portion of the red light emitting element 30R is exposed, and a predetermined portion of the green light emitting element 30G is halftone exposed. Due to this exposure, the predetermined portion of the green light emitting element 30G has a smaller amount of exposure than the predetermined portion of the red light emitting element 30R.
  • the exposure amount is adjusted to such an extent that the positive photosensitive blue light emitting layer 24B-0 is removed. Furthermore, for a predetermined portion of the green light emitting element 30G, the exposure amount is adjusted to the extent that a portion of the positive photosensitive green light emitting layer 24G-1 is removed.
  • a blue light emitting layer 24B and a green light emitting layer 24G are formed as shown in FIG. 7D.
  • the blue light emitting layer 24B includes an unexposed blue light emitting layer portion 24Bb and blue light emitting layer portions 24Bcr and 24Bcg.
  • the green light-emitting layer 24G includes unexposed green light-emitting layer portions 24Ga and 24Gcr and a halftone-exposed green light-emitting layer portion 24Gb.
  • the green light emitting layer portions 24Ga and 24Gcr are thicker than the green light emitting layer portion 24Gb.
  • the red light emitting element 30R a laminate of the red light emitting layer 24R, the green light emitting layer portion 24Gcr, and the blue light emitting layer portion 24Bcr is formed.
  • the laminate of the red light emitting layer portion 24a, the green light emitting layer portion 24Gcr, and the blue light emitting layer portion 24Bcr overlaps the end portion of the red pixel electrode 23R.
  • the green light emitting layer portion 24Gcr and the blue light emitting layer portion 24Bcr are formed by one exposure and development. It is possible to align the area to be treated. Therefore, when a plurality of pixels are formed at the same time, it is easy to keep the area of the light emitting region in each pixel constant, and the yield in manufacturing the display device can be improved.
  • a green light emitting layer 24G is formed as a functional layer.
  • the laminate of the green light emitting layer portion 24Gcb and the blue light emitting layer portion 24Bcg overlaps the edge of the green pixel electrode 23G.
  • the green light emitting layer portion 24Ga and the blue light emitting layer portion 24Bcg are formed by one exposure and development. It is possible to align the area to be treated. Therefore, when a plurality of pixels are formed at the same time, it is easy to keep the area of the light emitting region in each pixel constant, and the yield in manufacturing the display device can be improved.
  • the blue light emitting element 30B a laminate of a green light emitting layer 24G and a blue light emitting layer 24B is formed.
  • the laminate of the green light emitting layer 24Gcb and the blue light emitting layer portion 24Ba overlaps the edge of the blue pixel electrode 23B.
  • the blue light emitting element 30B can be easily manufactured by only forming the blue light emitting layer 24B after forming the green light emitting layer portion 24Gcb.
  • the counter electrode 5 is formed on the blue light emitting layer 24B.
  • the counter electrode 5 can be formed by conventionally known various methods such as a sputtering method and a vacuum deposition method. Thereby, the display device 300 shown in FIG. 6 can be manufactured.
  • the present disclosure is not limited to the above-described embodiments, but has substantially the same configuration as the configuration shown in the above-described embodiment, a configuration having the same effect, or a configuration capable of achieving the same purpose. may be replaced.
  • the light-emitting layer serves as a functional layer in a first portion that overlaps with the end portion of the pixel electrode and a second portion that overlaps with the central portion of the pixel electrode. and the thickness of the first portion is thicker than the thickness of the second portion, but the charge transport layer is used as a functional layer instead of or together with the light emitting layer to have the thickness of the first portion.
  • the thickness may be formed to be thicker than the thickness of the second portion.
  • a light-emitting material is included as a functional material for exerting the function of the functional layer, but when the functional layer is a charge-transporting layer, a charge-transporting material is included as the functional material.
  • the functional layer is formed by halftone exposure to form the first portion and the second portion thicker than the first portion.
  • a lift-off method using For example, in Embodiment 3, when the blue light emitting layer 24B is lifted off in the red pixel and the green pixel, the blue light emitting layer 24B does not need to contain a photosensitive material.
  • the red light emitting element, the green light emitting element, and the blue light emitting element are formed in this order, but the order in which the light emitting elements are formed is not limited to this order.
  • the red light-emitting layer may be formed after forming the blue light-emitting layer, or the red light-emitting layer may be formed on the blue light-emitting layer.
  • the wavelength of the light-emitting layer formed first is the first wavelength
  • the wavelength of the light-emitting layer formed second is the second wavelength
  • the wavelength of the light-emitting layer formed third is the third wavelength.
  • the first wavelength, the second wavelength, and the third wavelength is also changed.

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Abstract

表示装置は、画素電極と、前記画素電極の上層に設けられた対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に設けられた機能層と、を含み、前記機能層は、前記画素電極の端部と重なる第1部分と、前記画素電極の中央部と重なる第2部分と、を有し、前記第1部分の厚さは、前記第2部分の厚さよりも厚い。

Description

表示装置、表示装置の製造方法
 本開示は、表示装置、表示装置の製造方法に関する。
 例えば、特許文献1には、第1画素電極全体に重なる第1発光層を有する第1画素と、第1画素と隣接し、第2画素電極全体に重なる第2発光層を有する第2画素と、を有し、第1画素電極の端部に第2発光層が重なる表示装置が開示されている。
国際公開WO2020/049738号公報
 しかしながら、特許文献1においては、例えば、パターニングされた第1発光層上で、第2発光層をパターニングすることにより表示装置が製造されるため、第2発光層における第1画素電極の端部と重なる部分がずれる場合がある。これにより、第1画素電極の端部をカバーできず、第1画素電極の端部に電流集中が起こり、表示装置が劣化する可能性があった。
 本開示の主な目的は、劣化を抑制することができる表示装置および表示装置の製造方法を提供することにある。
 本開示における一形態の表示装置は、画素電極と、前記画素電極の上層に設けられた対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間に設けられた機能層と、を含み、前記機能層は、前記画素電極の端部と重なる第1部分と、前記画素電極の中央部と重なる第2部分と、を有し、前記第1部分の厚さは、前記第2部分の厚さよりも厚い。
 本開示における一形態の表示装置の製造方法は、画素電極と、前記画素電極の上層に設けられた対向電極との間に機能層が設けられた表示装置の製造方法であって、a)画素電極上に、機能材料を含む感光性組成物層を形成する工程と、b)前記感光性組成物層を露光、現像し、前記画素電極の端部と重なる第1部分と、前記画素電極の中央部と重なる第2部分と、を有する前記機能層を形成する工程と、を含み、前記第1部分の厚さは、前記第2部分の厚さよりも厚い。
 さらに、本開示における別の形態の表示装置の製造方法は、第1画素電極および第2画素電極を含む複数の画素電極と、前記複数の画素電極の上層に設けられた対向電極と、前記複数の画素電極と前記対向電極との間に設けられ、第1発光材料を含む第1発光層および第2発光材料を含む第2発光層を含む発光層と、を含む表示装置の製造方法であって、a)前記複数の画素電極上に、前記第1発光材料を含む第1感光性組成物層を形成した後、露光、現像して、前記第1画素電極の端部と重なる第1の第1発光層部および前記第1画素電極の中央部と重なる第1の第2発光層部を含む第1発光層を形成する工程と、b)前記第1発光層上に、前記第2発光材料を含む第2感光性組成物層を形成した後、露光、現像して、前記第1画素電極の端部および前記第1の第1発光層部と重なる第2の第1発光層部および前記第2画素電極の中央部と重なる第2の第2発光層部を含む第2発光層を形成する工程と、を含み、前記第1の第1発光層部と前記第2の第1発光層部とを合わせた厚さは、前記第1の第2発光層部の厚さよりも厚い。
実施形態1にかかる表示装置の積層構造の一例を模式的に示す図である。 第1変形例にかかる表示装置の積層構造の一例を模式的に示す図である。 第2変形例にかかる表示装置の積層構造の一例を模式的に示す図である。 実施形態2にかかる表示装置の積層構造の一例を模式的に示す図である。 実施形態2に係る表示装置の製造方法の一例における工程を説明するための図である。 実施形態2に係る表示装置の製造方法の一例における工程を説明するための図である。 実施形態2に係る表示装置の製造方法の一例における工程を説明するための図である。 実施形態3にかかる表示装置の積層構造の一例を模式的に示す図である。 実施形態3に係る表示装置の製造方法の一例における工程を説明するための図である。 実施形態3に係る表示装置の製造方法の一例における工程を説明するための図である。 実施形態3に係る表示装置の製造方法の一例における工程を説明するための図である。 実施形態3に係る表示装置の製造方法の一例における工程を説明するための図である。
 以下、本開示の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、図面については、同一又は同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。以下に説明する実施形態は、本開示の単なる例示である。本開示は、下記の実施形態に何ら限定されない。
 〔実施形態1〕
 図1は、本実施形態に係る表示装置100の積層構造の一例を模式的に示す図である。
 表示装置100は、光を出射する装置である。表示装置100は、例えば、白色光等の光を出射する照明装置(例えば、バックライト等)であってもよいし、光を出射することにより画像(例えば、文字情報等を含む。)を表示する表示装置であってもよい。本実施形態では、表示装置100が、表示装置における1つの画素を1つの発光素子で構成する例について説明する。例えば、複数の画素をマトリクス状に配列することにより表示装置を構成することができる。
 図1に示すように、表示装置100は、例えば、基板1上に,絶縁層2、画素電極3、中間層4、対向電極5が順に積層された構造を有する。図1では1つの画素(1つの発光素子に対応する)が示されており、表示装置100は少なくとも1つの発光素子を含む。
 基板1は、例えばガラス等からなり、上記各層を支持する支持体として機能する。基板1上には、例えば、薄膜トランジスタ(TFT)等のスイッチング素子6が設けられている。
 絶縁層2は、基板1上に設けられている、絶縁層2は、スイッチング素子6が設けられた基板1の上面を平坦化する。絶縁層2には、コンタクトホール7が設けられている。なお、スイッチング素子6および絶縁層2が形成された基板1をアレイ基板ということができる。
 画素電極3は、絶縁層2上に設けられている。画素電極3は、コンタクトホール7を介して、スイッチング素子6と接続されている。つまり、コンタクトホール7には、画素電極3が設けられている。さらに、コンタクトホール7に設けられた画素電極3上には絶縁体8が設けられていることが好ましい。言い換えれば、コンタクトホール7は、絶縁部として絶縁体8で充填されている。この絶縁体8により、画素電極3が形成された面が平坦化され、画素電極3上に形成される各層、特に中間層4をより平坦に形成することができる。さらに、絶縁体8により、コンタクトホール7付近における電流集中を抑制することができる。
 対向電極5は、画素電極3の上層に設けられている。対向電極5は、画素電極3と対向する。
 画素電極3および対向電極5は、例えば、金属や透明導電性酸化物等の導電材料により構成される。上記金属としては、例えば、Al、Cu、Au、Ag等が挙げられる。上記透明導電性酸化物としては、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)、アルミニウム亜鉛酸化物(ZnO:Al(AZO))、ホウ素亜鉛酸化物(ZnO:B(BZO))等が挙げられる。なお、画素電極3および対向電極5は、例えば、少なくとも1層の金属層および/または少なくとも1層の透明導電性酸化物層を含む積層体であってもよい。
 対向電極5は、例えば、光透過性材料を用いることができる。光透過性材料としては、例えば、透明な導電性材料を用いることができる。光透過性材料としては、具体的には、例えば、ITO(インジウムスズ酸化物)、IZO(インジウム亜鉛酸化物)、SnO(酸化スズ)、FTO(フッ素ドープ酸化スズ)等を用いることができる。これらの材料は可視光の透過率が高いため、発光素子の発光効率が向上する。
 画素電極3は、例えば、光反射性材料を用いることができる。光反射性材料としては、例えば、金属材料を用いることができる。光反射性材料としては、具体的には、例えば、Al(アルミニウム)、Ag(銀)、Cu(銅)、Au(金)等を用いることができる。これらの材料は、可視光の反射率が高いため、発光効率が向上する。
 中間層4は、画素電極3と対向電極5との間に設けられている。中間層4は、少なくとも1層の機能層を含む。表示装置100では中間層4が1層の機能層からなり、機能層が発光層である。機能層は少なくとも発光領域の一部を含む領域に形成される。発光層は、画素電極3から供給された第1電荷および対向電極5から供給された第2電荷により発光する。これにより、発光素子は発光する。なお、第2電荷は、第1電荷と逆の極性を有する。
 中間層4に含まれる少なくとも1層の機能層は、第1部分4a、第2部分4bを含む。第1部分4aの厚さは、第2部分4bの厚さよりも厚い。
 第1部分4aは、例えば、画素電極3の端部の上層に設けられている。つまり、第1部分4aは、平面視で画素電極3の端部と重なる。また、第1部分4aは、画素電極3の端部を覆うように設けられている。
 第2部分4bは、例えば、画素電極3の中央部の上層に設けられている。つまり、第2部分4bは、平面視で画素電極3の中央部と重なる。
 発光素子が発光する際、第2部分4bが発光領域となり、第1部分4aが非発光領域又は発光させることを意図していない領域となる。第1部分4aは、膜厚が厚く、画素電極3および対向電極5から電荷が供給されにくくなるために非発光領域となる。上記のとおり、第1部分4aの厚さが第2部分4bの厚さよりも厚いため、画素電極3の端部への電流集中を抑制することができる。さらに、画素電極3は、端部が第1部分4aで覆われているため、剥がれが起こりにくくなる。これにより、画素電極3の端部における劣化を抑制することができ、発光素子における発光面積の低下を抑制し、輝度低下を抑制することができる。
 さらに、第1部分4aは、コンタクトホール7および絶縁体8と重なることが好ましい。これにより、コンタクトホール7付近における電流集中を抑制することができる。
 ここで、一例として、機能層が発光層である場合について説明する。
 発光層は、発光材料を含む。発光材料としては、例えば、量子ドット等が挙げられる。量子ドットは、例えば、100nm以下の粒子サイズを有する半導体微粒子であり、MgS、MgSe、MgTe、CaS、CaSe、CaTe、SrS、SrSe、SrTe、BaS、BaSe、BaTe、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、HgTe等のII-VI族半導体化合物、及び/又は、GaAs、GaP、InN、InAs、InP、InSb等のIII-V族半導体化合物の結晶、及び/又は、Si、Ge等のIV族半導体化合物の結晶を有することができる。また、量子ドットは、例えば、上記の半導体結晶をコアとして、当該コアをバンドギャップの高いシェル材料でオーバーコートしたコア/シェル構造を有していてもよい。
 機能層としての発光層は、例えば、発光材料を含む感光性組成物を用いて形成することができる。上記機能層としての発光層の形成方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。
 まず、画素電極3、絶縁体8上、発光材料を含む感光性組成物を塗布、乾燥させることにより、感光性組成物層を形成する。
 ついで、感光性組成物層を露光、現像し、第1部分4aに相当する画素電極3の端部と重なる第1発光層部と、第2部分4bに相当する画素電極の中央部と重なる第2発光層部と、を有する発光層を形成する。
 より具体的には、例えば、感光性組成物層を、第1部分4a、第2部分4bに相当する部分とで露光量を調整したハーフトーン露光し、現像を行う。例えば、上記感光性組成物がネガ型感光性組成物である場合、第1部分4aに相当する部分の露光量を、第2部分4bに相当する部分の露光量よりも多くする。また、例えば、上記感光性組成物がポジ型感光性組成物である場合、第1部分4aに相当する部分の露光量を、第2部分4bに相当する部分の露光量よりも少なくする。これにより、第1部分4aの厚さを、第2部分4bの厚さよりも厚くすることができる。
 中間層4は、1層の機能層からなる場合に限られない。以下、中間層4の他の例について、図2、3に基づいて説明する。
<第1変形例>
 図2は、第1変形例の表示装置101における積層構造を模式的に示す図である。
 第1変形例の表示装置101は、実施形態1の表示装置100において、中間層4が第1電荷輸送層41及び発光層42を機能層として含む例である。発光層42は、表示装置100の機能層である発光層と同様である。
 第1電荷輸送層41は、画素電極3と発光層42との間に設けられている。第1電荷輸送層41は、画素電極3からの第1電荷を発光層42に輸送する。
 第1電荷輸送層41は、正孔輸送層または電子輸送層となり得る。例えば、画素電極3が陽極、対向電極5が陰極の場合、第1電荷が正孔であり、第2電荷が電子であり、第1電荷輸送層41は正孔輸送層である。また、例えば、画素電極3が陰極、対向電極5が陽極の場合、第1電荷が電子であり、第2電荷が正孔であり、第1電荷輸送層41が電子輸送層である。例えば、正孔輸送層および電子輸送層は、1層でも多層でもよい。正孔輸送層が多層である場合、例えば、最も陽極側に、正孔注入能を有する層を有する積層構造が挙げられる。また、電子輸送層が多層である場合、例えば、最も陰極側に、電子注入能を有する層を有する積層構造が挙げられる。
 正孔輸送層を形成する材料としては、例えば、Zn、Cr、Ni、Ti、Nb、Al、Si、Mg、Ta、Hf、Zr、Y、La、Srのうちのいずれか1つ以上を含む酸化物、窒化物、または炭化物からなる群から選択される一種以上を含む材料や、4,4´,4´´-トリス(9-カルバゾイル)トリフェニルアミン(TCTA)、4,4´-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニル-アミノ]-ビフェニル(NPB)、亜鉛フタロシアニン(ZnPC)、ジ[4-(N,N-ジトリルアミノ)フェニル]シクロヘキサン(TAPC)、4,4´-ビス(カルバゾール-9-イル)ビフェニル(CBP)、2,3,6,7,10,11-ヘキサシアノ-1,4,5,8,9,12-ヘキサアザトリフェニレン(HATCN)、MoOなどの材料や、ポリ(N-ビニルカルバゾール)(PVK)、ポリ(2,7-(9,9-ジ-n-オクチルフルオレン)-(1,4-フェニレン-((4-第2ブチルフェニル)イミノ)-1,4-フェニレン(TFB)、ポリ(トリフェニルアミン)誘導体(Poly-TPD)、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(4-スチレンスルホン酸)(PEDOT-PSS)などの正孔輸送性有機材料等が挙げられる。これら正孔輸送性材料は、一種類のみを用いてもよく、適宜、二種類以上を混合して用いてもよい。
 電子輸送層を形成する材料としては、例えば、酸化亜鉛(例えばZnO)、酸化チタン(例えばTiO)、酸化ストロンチウムチタン(例えばSrTiO)等の電子輸送性材料が用いられる。これら電子輸送性材料は、一種類のみを用いてもよく、適宜、二種類以上を混合して用いてもよい。
 これらの正孔輸送層および電子輸送層を形成する材料は、表示装置101の構成や特性に応じて、適宜選択される。
 また、複数の上記発光素子を組み合わせて1つの表示装置を構成してもよい。その際、発光層における発光色の異ならせることにより、複数の色を発する表示装置を構成することもできる。
<第2変形例>
 図3は、第2変形例の表示装置102における積層構造を模式的に示す図である。
 第2変形例の表示装置102は、実施形態1の表示装置100において、中間層4が、第1電荷輸送層41、発光層42a、及び第2電荷輸送層43の3層の機能層を含む例である。
 第2電荷輸送層43は、発光層42aと対向電極との間に設けられている。第2電荷輸送層43は、対向電極5からの第2電荷を発光層42aに輸送する。さらに、第2電荷輸送層42は、第1部分4aに相当する部分の厚さが、第2部分4bに相当する部分の厚さよりも厚い。
 発光層42aは、例えば発光層42と同様の材料により形成されるが、形状が異なる。発光層42aは、第2電荷輸送層43における第2部分4bと平面視でほぼ同じ形状となっている。
 第1電荷輸送層41および第2電荷輸送層43は、それぞれ正孔輸送層または電子輸送層となり得る。例えば、画素電極3が陽極、対向電極5が陰極の場合、第1電荷が正孔であり、第2電荷が電子であり、第1電荷輸送層41は正孔輸送層であり、第2電荷輸送層43は電子輸送層である。また、例えば、画素電極3が陰極、対向電極5が陽極の場合、第1電荷が電子であり、第2電荷が正孔であり、第1電荷輸送層41が電子輸送層であり、第2電荷輸送層が正孔輸送層である。正孔輸送層および電子輸送層は、例えば、1層でも多層でもよい。正孔輸送層が多層である場合、例えば、最も陽極側に、正孔注入能を有する層を有する積層構造が挙げられる。また、電子輸送層が多層である場合、例えば、最も陰極側に、電子注入能を有する層を有する積層構造が挙げられる。
 〔実施形態2〕
 図4は、本実施形態に係る表示装置200の積層構造の一例を模式的に示す図である。
 本実施形態では、表示装置200が、表示装置における1つの画素である例について説明する。例えば、複数の画素をマトリクス状に配列することにより表示装置を構成することができる。
 図4に示すように、表示装置200は、例えば、赤色に発光する赤色発光素子20R、緑色に発光する緑色発光素子20G、青色に発光する青色発光素子20Bを含む。赤色発光素子20Rは、発光中心波長が第1波長であり、例えば約630nmで発光する。緑色発光素子20Gは、発光中心波長が第1波長よりも短波長である第2波長であり、例えば約530nmで発光する。青色発光素子20Bは、発光中心波長が第2波長よりも短波長である第3波長であり、例えば、約440nmで発光する。
 赤色発光素子20Rは、例えば、基板21上に、赤色用画素電極23R、赤色発光層24R、青色発光層部24Bcr、対向電極5がこの順番で積層された構造を有する。
 基板21は、例えばガラス等からなり、上記各層を支持する支持体として機能する。基板21は、例えば、TFT(Thin Film Transistor)等が形成されたTFTアレイ基板であってよい。
 赤色用画素電極23Rは、基板21上に配される。赤色用画素電極23Rは、例えば、実施形態1における画素電極3と同様である。
 赤色発光層24Rは、赤色用画素電極23R上に配される。赤色発光層24Rは、発光中心波長が第1波長であり、例えば約630nmで発光する。赤色発光層24Rは、例えば、発光中心波長が第1波長であり、例えば約630nmで発光する赤色発光材料を含む。赤色発光材料は、実施形態1における発光材料と同様である。
 赤色発光層24Rは、赤色用画素電極23Rの端部と重なる赤色発光層部24Raと、赤色用画素電極23Rの中央部と重なる赤色発光層部24Rbと、を含む。赤色発光層部24Rbは、赤色発光素子20Rの発光領域となる。
 青色発光層部24Bcrは、赤色発光層24R上に配される。より具体的には、赤色発光素子20Rにおいては、青色発光層24Bの一部である青色発光層部24Bcrが配されている。青色発光層部24Bcrは、赤色用画素電極23Rの端部および赤色発光層部24Raと重なっている。
 赤色発光素子20Rにおいては、赤色発光層24Rにより、機能層が構成されている。そして、青色発光層部24Bcrの積層体は、赤色用画素電極23Rの端部と積層され、赤色発光層部24Rbよりも厚くなっている。そのため、赤色用画素電極23Rの端部への電流集中を抑制することができる。
 さらに、赤色発光層部24Raおよび青色発光層部24Bcrの積層体は、赤色用画素電極23Rの端部を覆っている。そのため、赤色用画素電極23Rは、剥がれが起こりにくくなる。これにより、赤色用画素電極23Rの端部における劣化を抑制することができ、赤色発光素子20Rにおいて、発光面積の低下を抑制し、輝度低下を抑制することができる。
 対向電極5は、赤色発光層24Rおよび青色発光層24B上に配される。より具体的には赤色発光層24Rにおける赤色発光層部24Rb上、および赤色発光層部24Raと青色発光層部24Bcrとの積層体上に配される。
 続いて、緑色発光素子20Gについて説明する。
 緑色発光素子20Gは、赤色発光素子20Rと同様の構成である。ただし、赤色発光層24Rを緑色発光層24Gに変更した点で異なる。
 緑色発光素子20Gは、例えば、基板21上に、緑色用画素電極23G、緑色発光層24G、青色発光層部24Bcg、対向電極5がこの順番で積層された構造を有する。
 緑色用画素電極23Gは、基板21上に配される。緑色用画素電極23Gは、例えば、赤色用画素電極23Rと同様である。
 緑色発光層24Gは、緑色用画素電極23G上に配される。緑色発光層24Gは、発光中心波長が第2波長であり、例えば約530nmで発光する。緑色発光層24Gは、例えば、発光中心波長が第2波長であり、例えば約530nmで発光する緑色発光材料を含む。緑色発光材料は、実施形態1における発光材料と同様である。
 緑色発光層24Gは、緑色用画素電極23Gの端部と重なる緑色発光層部24Gaと、緑色用画素電極23Gの中央部と重なる緑色発光層部24Gbと、を含む。緑色発光層部24Gbは、緑色発光素子20Gの発光領域となる。
 青色発光層部24Bcgは、緑色発光層24G上に配される。より具体的には、緑色発光素子20Gにおいては、青色発光層部24Bcgが緑色発光層部24Ga上に配されている。青色発光層部24Bcgは、緑色用画素電極23Gの端部および緑色発光層部24Gaと重なっている。
 緑色発光素子20Gにおいては、緑色発光層24Gおよび青色発光層部24Bcgにより、機能層が構成されている。そして、機能層における緑色発光層部24Gaおよび青色発光層部24Bcgの積層体は、緑色用画素電極23Gの端部と積層され、緑色発光層部24Gbよりも厚くなっている。そのため、緑色発光素子20Gにおける緑色用画素電極23Gの端部への電流集中を抑制することができる。
 さらに、緑色発光層部24Gaおよび青色発光層部24Bcgの積層体は、緑色用画素電極23Gの端部を覆っている。そのため、緑色用画素電極23Gは、剥がれが起こりにくくなる。これにより、緑色用画素電極23Gの端部における劣化を抑制することができ、緑色発光素子20Gにおいて、発光面積の低下を抑制し、輝度低下を抑制することができる。
 対向電極5は、緑色発光層24Gおよび青色発光層24B上に配される。より具体的には緑色発光層24Gにおける緑色発光層部24Gb上、および緑色発光層部24Ga上に配された青色発光層24Bにおける青色発光層部24Bcg上に配される。
 続いて、青色発光素子20Bについて説明する。
 青色発光素子20Bは、赤色発光素子20Rと同様の構成である。ただし、赤色発光層24Rを青色発光層24Bに変更した点で異なる。
 青色発光素子20Bは、例えば、基板21上に、青色用画素電極23B、青色発光層24B、対向電極5がこの順番で積層された構造を有する。
 青色用画素電極23Bは、基板21上に配される。青色用画素電極23Bは、例えば、赤色用画素電極23Rと同様である。
 青色発光層24Bは、青色用画素電極23B上に配される。青色発光層24Bは、発光中心波長が第3波長であり、例えば約440nmで発光する。青色発光層24Bは、例えば、発光中心波長が第3波長であり、例えば約440nmで発光する青色発光材料を含む。青色発光材料は、実施形態1における発光材料と同様である。
 青色発光層24Bは、青色用画素電極23Bの端部と重なる青色発光層部24Baと、青色用画素電極23Bの中央部と重なる青色発光層部24Bbと、赤色用画素電極23Rの端部と重なる青色発光層部24Bcrと、緑色用画素電極23Gの端部と重なる青色発光層部24Bcgと、を含む。青色発光層部24Bbは、青色発光素子20Bの発光領域となる。
 青色発光素子20Bにおいては、青色発光層24Bにより、機能層が構成されている。そして、機能層における青色発光層部24Baは、青色発光層部24Bbよりも厚くなっている。そのため、青色発光素子20Bにおける青色用画素電極23Bの端部への電流集中を抑制することができる。
 さらに、青色発光層部24Baは、青色用画素電極23Bの端部を覆っているため、青色用画素電極23Bは、剥がれが起こりにくくなる。これにより、青色用画素電極23Bの端部における劣化を抑制することができ、青色発光素子20Bにおいて、発光面積の低下を抑制し、輝度低下を抑制することができる。
 対向電極5は、青色発光層24上に配される。より具体的には緑色発光層24Gにおける緑色発光層部24Gb上、および緑色発光層部24Ga上に配された青色発光層24Bにおける青色発光層部24Bcg上に配される。
 以下に、本実施形態に係る表示装置200の製造方法の一例について、図4、図5A~図5Cを参照して説明する。
 まず、基板21上に、赤色用画素電極23R、緑色用画素電極23G、青色用画素電極23Bを形成する。赤色用画素電極23R、緑色用画素電極23G、青色用画素電極23Bは、例えば、スパッタ法、真空蒸着法等、従来公知の各種方法により形成することができる。
 次いで、図5Aに示すように、赤色用画素電極23R上に赤色発光層24Rを、緑色用画素電極23G上に緑色発光層24Gを形成する。具体的には、例えば、赤色発光層24Rを形成するための赤色発光材料を含む感光性組成物を赤色用画素電極23R上に塗布し、露光・現像することにより、赤色発光層24Rを形成することができる。赤色発光層24Rは、赤色用画素電極23Rの端部と重なる赤色発光層部24Raおよび赤色用画素電極23Rの中央部と重なる赤色発光層部24Rbを含む。
 同様に、緑色発光層24Gを形成するための緑色発光材料を含む感光性組成物を緑色用画素電極23G上に塗布し、露光・現像することにより、緑色発光層24Gを形成することができる。緑色発光層24Gは、緑色用画素電極23Gの端部と重なる緑色発光層部24Gaおよび緑色用画素電極23Gの中央部と重なる緑色発光層部24Gbを含む。
 次いで、図5Bに示すように、赤色発光層24Rおよび緑色発光層24G上にポジ型感光性青色発光層24B-0を形成する。そして、ハーフトーンマスク50を用いて、形成したポジ型感光性青色発光層24B-0を露光する。具体的には、赤色発光素子20Rおよび緑色発光素子20Gにおける所定の部分を露光するとともに、青色発光素子20Bにおける所定の部分をハーフトーン露光する。この露光により、青色発光素子20Bの所定の部分は、赤色発光素子20Rおよび緑色発光素子20Gに対応する所定の部分に比べて少ない露光量となる。
 露光後、現像することにより、図5Cに示すように、青色発光層24Bを形成する。青色発光層24Bは、露光されていない青色発光層部24Baおよび青色発光層部24Bcr・24Bcg、ハーフトーン露光された部分に相当する青色発光層部24Bbと、を有する。
 これにより、赤色発光素子20Rにおいては、赤色発光層24Rと青色発光層24Bの積層体が形成される。そして、赤色発光素子20Rにおいては、赤色発光層部24Raと青色発光層部24Bcrとの積層体の厚さは、赤色発光層部24Rbの厚さよりも厚くなる。
 また、緑色発光素子20Gにおいては、緑色発光層24Gと青色発光層24Bの積層体が形成される。そして、緑色発光素子20Gにおいては、緑色発光層部24Gaと青色発光層部24Bcgとの積層体の厚さは、緑色発光層部24Gbの厚さよりも厚くなる。
 さらに、青色発光素子20Bにおいては、機能層としての、青色発光層部24Baと青色発光層部24Bbを有する青色発光層24Bが形成される。上記のとおり、青色発光層部24Baの厚さは、青色発光層部24Bbの厚さよりも厚くなる。
 上記のように、ハーフトーン露光を行っているため、青色発光層24Bを1回の露光・現像で形成することができる。また、ハーフトーン露光の際に、ハーフトーンマスク50がずれたとしても、露光領域の面積が変わらないため、各発光素子における発光領域の面積が変わらなくすることができる。
 続いて、青色発光層24B上に対向電極5を形成する。対向電極5は、例えば、スパッタ法、真空蒸着法等、従来公知の各種方法により形成することができる。これにより、図4に示す表示装置200を製造することができる。
 なお、上記では、青色発光層24Bを形成する際に、ポジ型感光性青色発光層24B-0を用いたが、ネガ型で感光性青色発光層を用いてもよい。この際、青色発光層部24Bcr・24Bcgに相当する部分を露光し、青色発光層部24Bbに相当する部分をハーフトーン露光すればよい。
 〔実施形態3〕
 図6は、本実施形態に係る表示装置300の積層構造の一例を模式的に示す図である。
 本実施形態では、1つの発光素子が、表示装置における1つの画素を構成する例について説明する。例えば、表示装置は、複数の画素(複数の発光素子)をマトリクス状に配列することにより構成することができる。
 表示装置300は、実施形態2における表示装置200における各色の発光素子20R・20G・20Bを、積層構造が異なる発光素子30R・30G・30Bに変更したものである。
 赤色発光素子30Rは、例えば、基板21上に、赤色用画素電極23R、赤色発光層24R、緑色発光層部24Gcr、青色発光層部24Bcr、対向電極5がこの順番で積層された構造を有する。
 赤色用画素電極23Rは、基板21上に配される。
 赤色発光層24Rは、赤色用画素電極23R上に配される。赤色発光層24Rは、赤色用画素電極23Rの端部と重なる赤色発光層部24Raと、赤色用画素電極23Rの中央部と重なる赤色発光層部24Rbと、を含む。赤色発光層部24Rbは、赤色発光素子20Rの発光領域となる。
 緑色発光層部24Gcrは、赤色発光層24R上に配される。より具体的には、緑色発光層部24Gcrは、緑色発光層24Gの一部であり、赤色発光層部24Raと重なっている。
 青色発光層部24Bcrは、緑色発光層部24Gcrおよび赤色発光層24R上に配される。より具体的には、青色発光層部24Bcrは、青色発光層24Bの一部であり、緑色発光層部24Gcr、赤色発光層部24Raと重なっている。
 赤色発光素子30Rにおいては、赤色発光層24Rにより、機能層が構成されている。そして、赤色発光層部24Ra、緑色発光層部24Gcrおよび青色発光層部24Bcrの積層体は、赤色用画素電極23Rの端部と積層され、赤色発光層部24Rbよりも厚くなっている。そのため、赤色用画素電極23Rの端部への電流集中を抑制することができる。
 さらに、赤色発光層部24Ra、緑色発光層部24Gcrおよび青色発光層部24Bcrの積層体は、赤色用画素電極23Rの端部を覆っている。そのため、赤色用画素電極23Rは、剥がれが起こりにくくなる。これにより、赤色用画素電極23Rの端部における劣化を抑制することができ、赤色発光素子30Rにおいて、発光面積の低下を抑制し、輝度低下を抑制することができる。
 対向電極5は、赤色発光層24R、緑色発光層24Gおよび青色発光層24B上に配される。より具体的には、赤色発光層部24Ra、緑色発光層部24Gcrおよび青色発光層部24Bcrの積層体上に配される。
 続いて、緑色発光素子30Gについて説明する。
 緑色発光素子30Gは、例えば、基板21上に、緑色用画素電極23G、緑色発光層24G、青色発光層部24Bcg、対向電極5がこの順番で積層された構造を有する。
 緑色用画素電極23Gは、基板21上に配される。
 緑色発光層24Gは、緑色用画素電極23G上に配される。緑色発光層24Gは、緑色用画素電極23Gの端部と重なる緑色発光層部24Gaと、緑色用画素電極23Gの中央部と重なる緑色発光層部24Gbと、を含む。また、例えば、緑色発光層部24Gaの厚さは、緑色発光層部24Gbの厚さよりも厚い。緑色発光層部24Gbは、緑色発光素子20Gの発光領域となる。
 青色発光層部24Bcgは、緑色発光層24G上に配される。より具体的には、青色発光層部24Bcgは、青色発光層24Bの一部であり、緑色発光層部24Ga上に配されている。青色発光層部24Bcgは、緑色発光層部24Gaと重なっている。
 緑色発光素子20Gにおいては、緑色発光層24Gにより、機能層が構成されている。そして、機能層における緑色発光層部24Gaは、緑色発光層部24Gbよりも厚くなっている。そのため、緑色発光素子30Gにおける緑色用画素電極23Gの端部への電流集中を抑制することができる。
 さらに、緑色発光層部24Gaおよび青色発光層部24Bcgの積層体は、緑色用画素電極23Gの端部を覆っている。そのため、緑色用画素電極23Gは、剥がれが起こりにくく、緑色用画素電極23Gの端部への電流集中を抑制することができる。これにより、緑色用画素電極23Gの端部における劣化を抑制することができ、緑色発光素子30Gにおいて、発光面積の低下を抑制し、輝度低下を抑制することができる。
 対向電極5は、緑色発光層24Gおよび青色発光層24B上に配される。より具体的には緑色発光層部24Gb上、および緑色発光層部24Ga上に配された青色発光層部24Bcg上に配される。
 続いて、青色発光素子30Bについて説明する。
 青色発光素子30Bは、例えば、基板21上に、青色用画素電極23B、緑色発光層部24Gcb、青色発光層24B、対向電極5がこの順番で積層された構造を有する。
 青色用画素電極23Bは、基板21上に配される。
 緑色発光層部24Gcbは、青色用画素電極23B上に配される。緑色発光層部24Gcbは、青色用画素電極23Bの端部と重なっている。
 青色発光層24Bは、緑色発光層部24Gcbおよび青色用画素電極23B上に配される。青色発光層24Bは、青色発光層部24Baおよび青色発光層部24Bbを有する。
 青色発光層部24Baは、緑色発光層部24G上に配される。青色発光層部24Baは、青色用画素電極23bの端部と重なる。青色発光層部24Bbは、青色用画素電極23bの中央部と重なる。青色発光層部24Bbは、青色発光素子20Bの発光領域となる。
 青色発光素子30Bにおいては、緑色発光層部24Gcbおよび青色発光層24Bにより、機能層が構成されている。そして、機能層における緑色発光層部24Gcbおよび青色発光層部24Baの積層体は、青色発光層部24Bbよりも厚くなっている。そのため、青色発光素子30Bにおける青色用画素電極23Bの端部への電流集中を抑制することができる。
 さらに、緑色発光層部24Gcbおよび青色発光層部24Baの積層体は、青色用画素電極23Bの端部を覆っている。そのため、青色用画素電極23Bは、剥がれが起こりにくくなる。これにより、青色用画素電極23Bの端部における劣化を抑制することができ、青色発光素子30Bにおいて、発光面積の低下を抑制し、輝度低下を抑制することができる。
 対向電極5は、青色発光層24B上に配される。より具体的には青色発光層24Bにおける青色発光層部24Bb上、および緑色発光層部24Gcbと青色発光層部24Baとの積層体上に配される。
 以下に、本実施形態に係る表示装置300の製造方法の一例について、図6、図7A~図7Dを参照して説明する。
 まず、基板21上に、赤色用画素電極23R、緑色用画素電極23G、青色用画素電極23Bを形成する。赤色用画素電極23R、緑色用画素電極23G、青色用画素電極23Bは、例えば、スパッタ法、真空蒸着法等、従来公知の各種方法により形成することができる。
 次いで、図7Aに示すように、赤色用画素電極23R上に赤色発光層24Rを形成し、ポジ型感光性緑色発光層24G-0を形成する。なお、赤色発光層24Rは、赤色用画素電極23Rの端部と重なる赤色発光層部24Raと、赤色用画素電極23Rの中央部と重なる赤色発光層部24Rbと、を含む。
 次いで、図7Bに示すように、ポジ型感光性緑色発光層24G-0の青色発光素子30Bにおける所定の部分を露光・現像することにより、青色発光素子30Bにおける所定の部分が除去されたポジ型感光性緑色発光層24G-1を形成する。
 次いで、図7Cに示すように、ポジ型感光性緑色発光層24G-1上に、ポジ型感光性青色発光層24B-0を形成する。そして、ハーフトーンマスク70を用いて、ポジ型感光性青色発光層24B-0およびポジ型感光性緑色発光層24G-1を露光する。具体的には、赤色発光素子30Rにおける所定の部分を露光するとともに、緑色発光素子30Gにおける所定の部分をハーフトーン露光する。この露光により、緑色発光素子30Gの所定の部分は、赤色発光素子30Rの所定の部分に比べて少ない露光量となる。なお、緑色発光素子30Gにおける所定の部分については、ポジ型感光性青色発光層24B-0が除去される程度の露光量に調整する。さらに、緑色発光素子30Gにおける所定の部分については、ポジ型感光性緑色発光層24G-1の一部が除去される程度の露光量に調整する。
 露光後、現像することにより、図7Dに示すように、青色発光層24B、緑色発光層24Gを形成する。青色発光層24Bは、露光されていない青色発光層部24Bb、および青色発光層部24Bcr・24Bcgを含む。また、緑色発光層24Gは、露光されていない緑色発光層部24Ga・24Gcr、およびハーフトーン露光された緑色発光層部24Gbを含む。緑色発光層部24Ga・24Gcrの厚さは、緑色発光層部24Gbよりも厚い。
 これにより、赤色発光素子30Rにおいては、赤色発光層24R、緑色発光層部24Gcr、青色発光層部24Bcrの積層体が形成される。そして、赤色発光素子30Rにおいては、赤色発光層部24a、緑色発光層部24Gcr、青色発光層部24Bcrの積層体が赤色用画素電極23Rの端部と重なっている。そして、上記のように、緑色発光層部24Gcr、青色発光層部24Bcrは、一回の露光・現像で形成されるため、緑色発光層部24Gcr、青色発光層部24Bcrの端面を揃えるとともに、除去される面積を揃えることができる。そのため、複数の画素を同時に形成した場合に、各画素における発光領域の面積を一定に維持しやすく、表示装置の製造時の歩留まりを向上させることができる。
 また、緑色発光素子30Gにおいては、機能層としての、緑色発光層24Gが形成される。そして、緑色発光素子30Gにおいては、緑色発光層部24Gcb、青色発光層部24Bcgの積層体が緑色用画素電極23Gの端部と重なっている。そして、上記のように、緑色発光層部24Ga、青色発光層部24Bcgは、一回の露光・現像で形成されるため、緑色発光層部24Ga、青色発光層部24Bcgの端面を揃えるとともに、除去される面積を揃えることができる。そのため、複数の画素を同時に形成した場合に、各画素における発光領域の面積を一定に維持しやすく、表示装置の製造時の歩留まりを向上させることができる。
 さらに、青色発光素子30Bにおいては、緑色発光層24G、青色発光層24Bの積層体が形成される。そして、青色発光素子30Bにおいては、緑色発光層24Gcb、青色発光層部24Baの積層体が青色用画素電極23Bの端部と重なっている。上記のように、青色発光素子30Bは、緑色発光層部24Gcbを形成したのち、青色発光層24Bを形成するだけであり、容易に製造することができる。
 続いて、青色発光層24B上に対向電極5を形成する。対向電極5は、例えば、スパッタ法、真空蒸着法等、従来公知の各種方法により形成することができる。これにより、図6に示す表示装置300を製造することができる。
 本開示は、上記実施の形態に限定されるものではなく、上記実施形態で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えてもよい。
 例えば、上記実施形態2及び3では、表示装置に含まれる少なくとも1つの発光素子において、発光層が機能層として画素電極の端部と重なる第1部分と、画素電極の中央部と重なる第2部分と、を有し、第1部分の厚さが第2部分の厚さよりも厚くなる例について示されたが、発光層に代わり、又は発光層と共に電荷輸送層が機能層として第1部分の厚さが第2部分の厚さよりも厚くなるように形成されても良い。機能層が発光層である場合には当該機能層の機能を発揮させるための機能材料として発光材料が含まれるが、機能層が電荷輸送層である場合には機能材料として電荷輸送性材料が含まれる。
 また、上記実施形態では機能層がハーフトーン露光により、第1部分と、第1部分の厚さより厚い第2部分とが形成されているが、当該機能層以外の層はリフトオフ法、撥液レジストを用いたリフトオフ法など、公知の様々な方法により形成されても良い。例えば、実施形態3では、青色発光層24Bが赤色画素及び緑色画素においてリフトオフされて形成される場合には、青色発光層24Bに感光性材料が含まれなくても良い。
 さらに、上記実施形態では、赤色発光素子、緑色発光素子、青色発光素子の順で形成される例が示されているが、発光素子の形成順はこの順に限られない。例えば、青色発光層を形成した後に赤色発光層を形成しても良く、赤色発光層が青色発光層の上層に形成されていても良い。また、上記実施形態では初めに形成される発光層の波長を第1波長、2番目に形成される発光層の波長を第2波長、3番目に形成される発光層の波長を第3波長とし、第1波長、第2波長、第3波長の順で短くなる場合について示されたが、発光層の形成順が変わる場合には、これに伴って第1波長、第2波長、第3波長の長短も変わる。

Claims (12)

  1.  画素電極と、
     前記画素電極の上層に設けられた対向電極と、
     前記画素電極と前記対向電極との間に設けられた機能層と、を含み、
     前記機能層は、前記画素電極の端部と重なる第1部分と、前記画素電極の中央部と重なる第2部分と、を有し、
     前記第1部分の厚さは、前記第2部分の厚さよりも厚い、
    表示装置。
  2.  前記第1部分は、前記画素電極の端部を覆っている、請求項1に記載の表示装置。
  3.  前記機能層は、発光層であり、
     前記発光層は、前記第1部分に対応し、前記画素電極の端部と重なる第1発光層部と、前記第2部分に対応し、前記画素電極の中央部と重なる第2発光層部と、を有し、
     前記第1発光層部の厚さが、前記第2発光層部の厚さよりも厚い、
    請求項1または2に記載の表示装置。
  4.  前記発光層は、発光中心波長が第1波長で発光する第1発光材料を含む第1発光層と、発光中心波長が第2波長で発光する第2発光材料を含む第2発光層と、を含み、
     前記画素電極は、第1画素電極および第2画素電極を含み、
     前記第1発光層は、前記第1画素電極の端部と重なる第1の第1発光層部と、前記第1画素電極の中央部と重なる第1の第2発光層部と、を含み、
     前記第1発光層部は、前記第1の第1発光層部と、前記第2発光層において前記第1画素電極の端部と重なる第2の第1発光層部と、を含み、
     前記第1発光層部の厚さは、前記第1の第2発光層部の厚さよりも厚い、
    請求項3に記載の表示装置。
  5.  前記第2発光層は、前記第2の第1発光層部と、前記第2画素電極の中央部と重なる第2の第2発光層部と、前記第2画素電極の端部と重なる第3の第1発光層部を含み、
     前記第3の第1発光層部の厚さは、前記第2の第2発光層部の厚さよりも厚い、
    請求項4に記載の表示装置。
  6.  前記第2波長は、前記第1波長よりも短い、請求項4または5に記載の表示装置。
  7.  前記機能層は、前記発光層の上層に設けられた電荷輸送層を含み、
     前記電荷輸送層は、前記第1部分に対応し、前記画素電極の端部と重なる第1電荷輸送層部と、前記第2部分に対応し、前記画素電極の中央部と重なる第2電荷輸送層部と、を有し、
     前記第1電荷輸送層部の厚さが、前記第2電荷輸送層部の厚さよりも厚い、
    請求項1~6のいずれか1項に記載の表示装置。
  8.  前記画素電極の下層に設けられた絶縁層をさらに備え、
     前記画素電極は、前記絶縁層に設けられたコンタクトホールを介して、前記絶縁層の下層に設けられたスイッチング素子に接続されており、
     前記第1部分は、前記コンタクトホールが形成された領域に延在している、
    請求項1~7のいずれか1項に記載の表示装置。
  9.  前記コンタクトホールに充填された絶縁部を有する、
    請求項8に記載の表示装置。
  10.  画素電極と、前記画素電極の上層に設けられた対向電極との間に機能層が設けられた表示装置の製造方法であって、
     a)画素電極上に、機能材料を含む感光性組成物層を形成する工程と、
     b)前記感光性組成物層を露光、現像し、前記画素電極の端部と重なる第1部分と、前記画素電極の中央部と重なる第2部分と、を有する前記機能層を形成する工程と、
    を含み、
     前記第1部分の厚さは、前記第2部分の厚さよりも厚い、表示装置の製造方法。
  11.  第1画素電極および第2画素電極を含む複数の画素電極と、前記複数の画素電極の上層に設けられた対向電極と、前記複数の画素電極と前記対向電極との間に設けられ、第1発光材料を含む第1発光層および第2発光材料を含む第2発光層を含む発光層と、を含む表示装置の製造方法であって、
     a)前記複数の画素電極上に、前記第1発光材料を含む第1感光性組成物層を形成した後、露光、現像して、前記第1画素電極の端部と重なる第1の第1発光層部および前記第1画素電極の中央部と重なる第1の第2発光層部を含む第1発光層を形成する工程と、
     b)前記第1発光層上に、前記第2発光材料を含む第2感光性組成物層を形成した後、露光、現像して、前記第1画素電極の端部および前記第1の第1発光層部と重なる第2の第1発光層部および前記第2画素電極の中央部と重なる第2の第2発光層部を含む第2発光層を形成する工程と、を含み、
     前記第1の第1発光層部と前記第2の第1発光層部とを合わせた厚さは、前記第1の第2発光層部の厚さよりも厚い、
    を含む表示装置の製造方法。
  12.  工程b)において、前記第2感光性組成物層を露光、現像して、前記第2画素電極の端部と重なる第3の第1発光層部を同時に形成し、
     前記第3の第1発光層部の厚さは、前記第2の発光層部の厚さよりも厚い、
    請求項11に記載の表示装置の製造方法。
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