WO2022162914A1

WO2022162914A1 - バルクフィーダおよび部品供給制御システム

Info

Publication number: WO2022162914A1
Application number: PCT/JP2021/003419
Authority: WO
Inventors: 祐輔山▲崎▼; 裕司川崎; 年弘野々村
Original assignee: 株式会社Fuji
Priority date: 2021-01-29
Filing date: 2021-01-29
Publication date: 2022-08-04
Also published as: EP4287804A4; US20240076134A1; CN116803226A; JPWO2022162914A1; JP7487350B2; EP4287804A1

Abstract

バルクフィーダは、フィーダ本体と、フィーダ本体に対して振動可能に設けられ、複数の部品が搬送される搬送路を形成された軌道部材と、複数の部品が搬送路に沿って搬送されるように軌道部材に振動を付与する加振装置と、加振装置の加振により振動する軌道部材の振動状態を示す振動値を検出する振動センサと、を備える。

Description

バルクフィーダおよび部品供給制御システム

　本発明は、バルクフィーダおよび部品供給制御システムに関するものである。

　部品供給制御システムは、バルクフィーダを用いた部品供給を制御する。バルクフィーダは、基板に部品を装着する部品装着機に装備され、バルク状態の部品を供給する。特許文献１には、搬送路に振動を付与して複数の部品を搬送する構成が開示されている。このような搬送動作によって、バルクフィーダは、吸着ノズルが部品を採取できるように上方に開口した供給領域において部品を供給する。

特開２０１１－１１４０８４号公報

　このようなバルクフィーダは、例えば部品装着機の制御装置から部品供給を要求され、規定の搬送動作を実行する。しかしながら、バルクフィーダの動作環境の変動などに起因して、バルクフィーダが外部指令に応じて予め設定された動作を行ったとしても、良好な部品供給が維持されるとは限らない。また、バルクフィーダを用いた部品供給を制御するシステムには、良好な部品の供給状態を維持し、生産性向上の要請がある。

　本明細書は、実際の供給動作に関する有用な情報を取得することができるバルクフィーダ、およびバルクフィーダにおける部品の供給状態を良好にし、バルクフィーダを装備された部品装着機の生産性向上を図ることができる部品供給制御システムを提供することを目的とする。

　本明細書は、フィーダ本体と、前記フィーダ本体に対して振動可能に設けられ、複数の部品が搬送される搬送路を形成された軌道部材と、複数の前記部品が前記搬送路に沿って搬送されるように前記軌道部材に振動を付与する加振装置と、前記加振装置の加振により振動する前記軌道部材の振動状態を示す振動値を検出する振動センサと、を備えるバルクフィーダを開示する。

　本明細書は、バルクフィーダと、前記振動センサによる検出結果に基づいて、前記軌道部材を含む振動体の固有振動数を特定する周波数特定部と、前記周波数特定部による特定結果に基づいて、前記バルクフィーダにおける前記部品の搬送動作を制御する搬送制御部と、を備える部品供給制御システムを開示する。

　このような構成によると、加振された軌道部材の実際の振動状態を示す振動値を検出することによって、実際の供給動作に関する有用な情報を取得することができる。また、このようなバルクフィーダを備え、軌道部材を含む振動体の固有振動数に基づいて搬送動作を制御することによって、バルクフィーダにおける部品の供給状態を良好にできる。よって、バルクフィーダを装備された部品装着機の生産性向上を図ることができる。

バルクフィーダを装備された部品装着機を模式的に示す平面図である。バルクフィーダの外観を示す斜視図である。バルクフィーダの要部を模式的に示す側面図である。図２のＩＶ方向から見た平面図である。部品供給制御システムを適用された部品装着機を示すブロック図である。振動体の周波数と振幅との関係を示すグラフである。部品供給制御処理を示すフローチャートである。校正処理を示すフローチャートである。

　バルクフィーダ３０を用いた部品供給を制御する部品供給制御システム８０について、図面を参照して説明する。バルクフィーダ３０は、例えば基板９１に部品９２を装着する部品装着機１０に装備され、バルク状態（それぞれの姿勢が不規則なばら状態）の部品９２を供給する。

　１．部品装着機１０の構成
　部品装着機１０は、例えば他の部品装着機１０を含む複数種類の対基板作業機とともに、基板製品を生産する生産ラインを構成する。上記の生産ラインを構成する対基板作業機には、印刷機や検査装置、リフロー炉などが含まれ得る。
　１－１．基板搬送装置
　部品装着機１０は、図１に示すように、基板搬送装置１１を備える。基板搬送装置１１は、基板９１を搬送方向へと順次搬送するとともに、基板９１を機内の所定位置に位置決めする。

　１－２．部品供給装置１２
　部品装着機１０は、部品供給装置１２を備える。部品供給装置１２は、基板９１に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、複数のスロット１２１にフィーダ１２２をそれぞれ装備される。フィーダ１２２には、例えば多数の部品が収納されたキャリアテープを送り移動させて、部品を採取可能に供給するテープフィーダが適用される。また、フィーダ１２２には、バルク状態で収容された部品を採取可能に供給するバルクフィーダ３０が適用される。バルクフィーダ３０の詳細については後述する。

　１－３．部品移載装置１３
　部品装着機１０は、部品移載装置１３を備える。部品移載装置１３は、部品供給装置１２により供給された部品を基板９１上の所定の装着位置に移載する。部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３１、移動台１３２、装着ヘッド１３３、および吸着ノズル１３４を備える。ヘッド駆動装置１３１は、直動機構により移動台１３２を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させる。装着ヘッド１３３は、図示しないクランプ部材により移動台１３２に着脱可能に固定され、機内において水平方向に移動可能に設けられる。

　装着ヘッド１３３は、回転可能に且つ昇降可能に複数の吸着ノズル１３４を支持する。吸着ノズル１３４は、フィーダ１２２により供給される部品９２を採取して保持する保持部材である。吸着ノズル１３４は、供給される負圧エアにより、フィーダ１２２により供給される部品を吸着する。装着ヘッド１３３に取り付けられる保持部材としては、部品を把持することにより保持するチャックなどが採用され得る。

　１－４．部品カメラ１４、基板カメラ１５
　部品装着機１０は、部品カメラ１４、および基板カメラ１５を備える。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、ＣＭＯＳなどの撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、制御信号に基づいて撮像を行い、当該撮像により取得した画像データを送出する。部品カメラ１４は、吸着ノズル１３４に保持された部品を下方から撮像可能に構成される。基板カメラ１５は、装着ヘッド１３３と一体的に水平方向に移動可能に移動台１３２に設けられる。基板カメラ１５は、基板９１を上方から撮像可能に構成される。

　また、基板カメラ１５は、基板９１の表面を撮像対象とする他に、移動台１３２の可動範囲であれば種々の機器などを撮像対象にできる。例えば、基板カメラ１５は、本実施形態において、図４に示すように、バルクフィーダ３０が部品９２を供給する供給領域Ａｓやバルクフィーダ３０の上部に設けられた基準マーク３４４をカメラ視野に収めて撮像することができる。このように、基板カメラ１５は、種々の画像処理に用いられる画像データを取得するために、異なる撮像対象の撮像に兼用され得る。

　１－５．制御装置１６
　部品装着機１０は、図１に示すように、制御装置１６を備える。制御装置１６は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路、および記憶装置により構成される。制御装置１６は、制御装置１６には、装着処理の制御に用いられる制御プログラムなどの各種データが記憶される。制御プログラムは、装着処理において基板９１に装着される部品の装着位置、装着角度、および装着順序を示す。

　制御装置１６は、複数の保持部材（吸着ノズル１３４）のそれぞれに保持された部品の保持状態の認識処理を実行する。具体的には、制御装置１６は、部品カメラ１４の撮像により取得された画像データを画像処理し、装着ヘッド１３３の基準位置に対する各部品の位置および角度を認識する。なお、制御装置１６は、部品カメラ１４の他に、例えば装着ヘッド１３３に一体的に設けられるヘッドカメラユニットなどが部品を側方、下方、または上方から撮像して取得された画像データを画像処理するようにしてもよい。

　制御装置１６は、制御プログラムに基づいて、装着ヘッド１３３による部品の装着動作を制御して装着処理を実行する。ここで、装着処理には、採取動作と装着動作とが含まれるＰＰサイクル（ピックアンドプレースサイクル）を複数回に亘って繰り返す処理が含まれる。上記の「採取動作」とは、部品供給装置１２により供給された部品を吸着ノズル１３４により採取する動作である。

　本実施形態において、制御装置１６は、上記の採取動作の実行に際して、バルクフィーダ３０を含む部品供給装置１２の動作を制御する。バルクフィーダ３０の動作を対象とした制御には、例えばバルクフィーダ３０による部品９２の供給動作、および後述するシャッタ３７の開閉動作の制御が含まれる。

　制御装置１６は、状態認識部８１を備える。状態認識部８１は、カメラ（本実施形態において、基板カメラ１５）の撮像により取得した画像データに基づいて、バルクフィーダ３０の供給領域Ａｓにおける複数の部品９２の供給状態を認識する。供給状態の認識処理には、供給領域Ａｓに採取可能な部品９２があるか否かを認識し、採取可能な部品９２がある場合にはその部品９２の位置および角度を認識する処理が含まれる。そして、制御装置１６は、供給状態の認識処理の結果に基づいて、採取動作における装着ヘッド１３３の動作を制御する。

　また、上記の「装着動作」とは、採取した部品を基板９１における所定の装着位置に、所定の装着角度で装着する動作である。制御装置１６は、装着処理において、各種センサから出力される情報や画像処理の結果、制御プログラムなどに基づき、装着ヘッド１３３の動作を制御する。これにより、装着ヘッド１３３に支持された複数の吸着ノズル１３４の位置および角度が制御される。

　２．バルクフィーダ３０の構成
　バルクフィーダ３０は、部品装着機１０に装備されて部品供給装置１２の一部として機能する。バルクフィーダ３０は、キャリアテープのように整列されていないバルク状態で収容された部品９２を供給する。そのため、バルクフィーダ３０は、テープフィーダと異なりキャリアテープを用いないため、キャリアテープの装填や使用済みテープの回収などを省略できる点でメリットがある。

　バルクフィーダ３０には、例えば平面状の供給領域Ａｓに不規則な姿勢で部品９２を供給するタイプがある。しかしながら、供給領域Ａｓにおいて部品９２同士が接触するほど接近していたり堆積（上下方向に重なり合っている状態）していたり、部品９２の幅方向が上下方向となるような横立ち姿勢であったりすると、部品装着機１０は、これらの部品９２を採取対象にすることができない。そこで、採取可能な部品９２の割合を増加すべく、バルクフィーダ３０には、供給領域Ａｓにおいて部品９２を整列させた状態で供給するタイプがある。本実施形態では、部品９２を整列させるタイプのバルクフィーダ３０を例示して説明する。

　２－１．フィーダ本体３１
　バルクフィーダ３０は、図２に示すように、扁平な箱状に形成されたフィーダ本体３１を備える。フィーダ本体３１の前部には、コネクタ３１１および２つのピン３１２が設けられる。フィーダ本体３１は、部品供給装置１２のスロット１２１にセットされると、コネクタ３１１を介して給電されるとともに、制御装置１６と通信可能な状態となる。２つのピン３１２は、スロット１２１に設けられたガイド穴に挿入され、フィーダ本体３１がスロット１２１にセットされる際の位置決めに用いられる。

　２－２．受容部材３２
　フィーダ本体３１には、複数の部品９２をバルク状態で収容する部品ケース７０が受容部材３２を介して着脱可能に取り付けられる。部品ケース７０は、バルクフィーダ３０の外部機器である。フィーダ本体３１には、種々のタイプの部品ケース７０から装着処理に適合する１つが選択されて取り付けられる。部品ケース７０の前部には、外部へ部品９２を排出する排出口７１が形成される。

　受容部材３２は、フィーダ本体３１に対して振動可能に設けられ、取り付けられた部品ケース７０を支持する。受容部材３２は、部品ケース７０から排出された部品９２を受容する受容領域Ａｒを形成される。本実施形態において、受容部材３２は、受容領域Ａｒにおいて水平面に対して前側に傾斜した傾斜部３２１を有する。この傾斜部３２１は、部品ケース７０の排出口７１の下方に位置し、且つ平面状をなす。受容部材３２は、受容領域Ａｒの上方に延伸する部品９２の流路を形成され、この流路が上方に開口する送出部３２２を形成される。

　２－３．ブラケット３３、軌道部材３４、ロックユニット３５
　バルクフィーダ３０は、ブラケット３３および軌道部材３４を備える。ブラケット３３は、フィーダ本体３１に対して振動可能に設けられる。ブラケット３３は、フィーダ本体３１の前後方向に延伸するブロック状に形成され、上面に軌道部材３４を取り付けられる。ブラケット３３は、後述する加振装置４０の支持部材４１により支持される。軌道部材３４は、複数の部品９２が搬送される搬送路Ｒ、および搬送路Ｒに連通して複数の部品９２を採取可能に上方に開口する供給領域Ａｓを形成される。

　バルクフィーダ３０は、ロックユニット３５を備える。ロックユニット３５は、軌道部材３４がブラケット３３に取り付けられた状態で、軌道部材３４をロックする。軌道部材３４は、ロックユニット３５によりロックされると、フィーダ本体３１に対してブラケット３３と一体的に振動する状態となる。軌道部材３４は、ロックユニット３５のアンロックによりブラケット３３から取り外し可能な状態となる。

　２－４．軌道部材３４の詳細構成、カバー３６、シャッタ３７、連結部材３８
　軌道部材３４は、フィーダ本体３１の前後方向（図４の左右方向）に延伸するように形成される。軌道部材３４の幅方向（図４の上下方向）の両縁には、上方に突出する一対の側壁３４１が形成される。一対の側壁３４１は、軌道部材３４の先端部３４２とともに搬送路Ｒの周縁を囲い、搬送路Ｒを搬送される部品９２の漏出を防止する。先端部３４２の上面には、供給領域Ａｓの基準位置を示す円形の基準マーク３４４が左右一対で付される。

　本実施形態において、軌道部材３４には、整列部材５０が交換可能に取り付けられる。整列部材５０は、複数の部品９２を個々に収容する複数のキャビティ５１を有する。詳細には、複数のキャビティ５１は、供給領域Ａｓにおいてマトリックス状に配列される。例えば、整列部材５０は、規則的に搬送方向に８個、搬送路Ｒの幅方向に１０個それぞれ配列された計８０個のキャビティ５１を有する。複数のキャビティ５１のそれぞれは、上方に開口し、部品９２の厚み方向が上下方向となる姿勢で部品９２を収容する。

　キャビティ５１の開口は、上方視における部品９２の外形状よりも僅かに大きくなる寸法に設定される。キャビティ５１の深さは、部品９２の種類（形状、質量など）に応じて設定される。軌道部材３４には、種々のタイプの軌道部材３４から、部品９２の種類や、キャビティ５１の必要数、機能性に基づいて選択された１つが取り付けられる。

　ここで、軌道部材３４の「供給領域Ａｓ」とは、部品９２をバルク状態で供給する領域であって、装着ヘッド１３３に支持された吸着ノズル１３４により部品９２を採取可能な領域である。また、軌道部材３４の「搬送路Ｒ」とは、受容領域Ａｒから軌道部材３４へと流通した部品９２が供給領域Ａｓへと搬送される部品９２の通り道である。

　バルクフィーダ３０は、カバー３６を備える。カバー３６は、軌道部材３４に固定され、搬送路Ｒの上方を覆う。カバー３６は、上面に複数の排気口３６１が形成されている。排気口３６１には、目地が部品９２の外形寸法より小さいメッシュが張られている。このような構成により、カバー３６は、搬送路Ｒからの部品９２の飛び出しを防止しつつ、排気口３６１からエアを外部に排出することができるように構成されている。

　バルクフィーダ３０は、軌道部材３４の上部に設けられ、供給領域Ａｓの開口を閉塞可能なシャッタ３７を備える。バルクフィーダ３０は、シャッタ３７を開閉することによって部品９２の飛び出しや供給領域Ａｓへの異物混入を防止することができる。本実施形態において、シャッタ３７は、開閉動作により開状態、閉状態、および中間状態を切り換えられる。シャッタ３７の閉状態とは、シャッタ３７が軌道部材３４に接触し、供給領域Ａｓの開口が完全に閉塞された状態である。このとき、シャッタ３７は、図４の破線で示すように、軌道部材３４の一対の基準マーク３４４よりもフィーダ本体３１の後側に位置し、上方視において一対の基準マーク３４４を視認および撮像可能とする。

　また、シャッタ３７の開状態とは、供給領域Ａｓの開口が閉塞されておらず、且つ供給領域Ａｓの主要範囲（本実施形態において複数のキャビティ５１が設けられた範囲）を露出させた状態である。このとき、吸着ノズル１３４は、何れのキャビティ５１に対して部品９２の採取動作を実行することができる。シャッタ３７の中間状態とは、閉状態と開状態の間の状態であって、シャッタ３７が軌道部材３４から少なくとも加振装置４０の加振により振動する軌道部材３４の振幅よりも離間し且つ供給領域Ａｓの開口から部品９２の飛び出しを規制する状態である。シャッタ３７は、図略の駆動装置により開閉動作を行い、駆動装置の駆動状態に応じて閉状態、開状態、および中間状態とされる。

　軌道部材３４は、後部において下方に延伸する部品９２の流路を形成され、この流路が下方に開口する導入部３４３を有する。導入部３４３は、受容部材３２の送出部３２２と上下方向に対向する。バルクフィーダ３０は、管状をなす連結部材３８を備える。連結部材３８は、受容部材３２の送出部３２２および軌道部材３４の導入部３４３を連結する。本実施形態において、連結部材３８は、密着コイルばねであり、全体として可撓性を有する。

　上記のような構成により、連結部材３８は、受容領域Ａｒと搬送路Ｒとの間を複数の部品９２を流通可能に連結する。また、連結部材３８は、フィーダ本体３１に対する受容部材３２の振動および軌道部材３４の振動に応じて変形することにより振動を吸収する。連結部材３８は、互いに独立して振動する受容部材３２および軌道部材３４の間で伝達される振動を軽減または遮断する。

　２－５．エア供給装置３９
　バルクフィーダ３０は、エア供給装置３９を備える。エア供給装置３９は、受容領域Ａｒの下方から正圧エアを供給して、受容部材３２から連結部材３８を介して軌道部材３４まで複数の部品９２を流通させる。本実施形態において、エア供給装置３９は、外部から供給される正圧エアを、後述するフィーダ制御装置６０の指令に基づいて受容領域Ａｒの下方から供給または遮断する。

　エア供給装置３９が正圧エアを供給すると、受容領域Ａｒに滞留していた複数の部品９２は、正圧エアにより上方に吹き上げられる。正圧エアおよび複数の部品９２は、受容部材３２の送出部３２２、連結部材３８、および導入部３４３の順に流通し、軌道部材３４の搬送路Ｒに到達する。ここで、正圧エアは、カバー３６の排気口３６１から外部に排気される。また、複数の部品９２は、自重により軌道部材３４の搬送路Ｒに落下する。

　２－６．加振装置４０
　バルクフィーダ３０は、フィーダ本体３１に設けられる加振装置４０を備える。加振装置４０は、複数の部品９２が搬送路Ｒに沿って搬送されるように軌道部材３４に振動を付与する。具体的には、加振装置４０は、複数の支持部材４１、複数の圧電素子４２、振動センサ４３、および給電装置４４を有する。複数の支持部材４１は、フィーダ本体３１とブラケット３３を直接的または間接的に連結して、ブラケット３３を支持する。

　本実施形態において、複数の支持部材４１には、部品９２の前側搬送に用いられる前進用支持部材４１Ａと、後側搬送に用いられる後退用支持部材４１Ｂとがある。前進用支持部材４１Ａおよび後退用支持部材４１Ｂは、それぞれ鉛直方向に対する傾斜方向が互いに相違する。複数の圧電素子４２は、給電装置４４から給電される電力に応じた周波数で振動する振動子である。複数の圧電素子４２は、複数の支持部材４１のそれぞれに貼付されている。

　複数の圧電素子４２の少なくとも一部が振動すると、ブラケット３３を介して軌道部材３４に振動が付与される。また、圧電素子４２に印加する電圧に応じて、軌道部材３４の振幅が変動する。振動センサ４３は、加振装置４０の加振により振動する軌道部材３４の振動状態を示す振動値を検出する。上記の振動状態を示す振動値としては、振幅や周波数、減衰時間、振動軌跡（振動に伴う特定部位の移動軌跡）などを適用することができる。本実施形態において、振動センサ４３は、圧電素子４２が給電されて振動したときに、軌道部材３４の実際の振動の周波数または振幅を検出する。

　本実施形態において、振動センサ４３は、軌道部材３４と一体的に振動するブラケット３３を支持する複数の支持部材４１にそれぞれ設けられている。より詳細には、圧電素子４２および振動センサ４３は、前進用支持部材４１Ａおよび後退用支持部材４１Ｂのそれぞれに設けられている。前進用支持部材４１Ａに設けられた振動センサ４３は、この前進用支持部材４１Ａに設けられた圧電素子４２が給電され、ブラケット３３を介して軌道部材３４に振動を付与している際に、振動値として実際の周波数または振幅を検出する。

　ここで、加振装置４０が軌道部材３４に振動を付与すると、軌道部材３４は、側方視において楕円運動する。これにより、搬送路Ｒにある複数の部品９２は、軌道部材３４の楕円運動の回転方向に応じて前方且つ上方の外力、または後方且つ上方の外力を加えられる。これにより、複数の部品９２は、軌道部材３４の前側に搬送されたり、後側に搬送されたりすることになる。

　給電装置４４は、後述するフィーダ制御装置６０の指令に基づいて、圧電素子４２に供給する電力の周波数、および印加電圧を変動させる。これにより、軌道部材３４に付与される振動の周波数および振幅が調整され、軌道部材３４の楕円運動の回転方向が定まる。軌道部材３４の振動の周波数や振幅、振動による楕円運動の回転方向が変動すると、搬送される部品９２の搬送速度、部品９２の分散度合い、および搬送方向などが変動する。

　そこで、加振装置４０は、搬送効率を向上させるために、個体差のある振動特性（固有振動数を含む）に対応した電力供給（周波数、印加電圧）を予め設定される。例えば、バルクフィーダ３０は、実行予定の供給動作に用いられる軌道部材３４が取り付けられた状態、即ちブラケット３３に対して軌道部材３４がロックユニット３５によりロックされた状態において、校正処理を実行される。上記の校正処理の詳細については後述する。

　２－７．フィーダ制御装置６０
　バルクフィーダ３０は、フィーダ制御装置６０を備える。フィーダ制御装置６０は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。フィーダ制御装置６０は、バルクフィーダ３０がスロット１２１にセットされた状態において、コネクタ３１１を介して給電され、また部品装着機１０の制御装置１６と通信可能な状態となる。

　フィーダ制御装置６０は、図２に示すように、記憶部６１を有する。記憶部６１は、フラッシュメモリなどにより構成される。記憶部６１には、部品供給処理の制御に用いられるプログラムや搬送パラメータなどの各種データが記憶される。上記の「搬送パラメータ」は、部品供給処理において部品９２を搬送する際に、軌道部材３４に付与する振動が適正となるように加振装置４０の動作を制御するためのパラメータであり、例えば部品９２の種類ごとに関連付けて予め設定される。

　フィーダ制御装置６０は、加振制御部６２を有する。加振制御部６２は、加振装置４０の動作を制御して、部品９２の搬送動作を実行する。詳細には、加振制御部６２は、搬送動作を実行する場合に、加振装置４０の給電装置４４に対して指令を送出する。これにより、給電装置４４が圧電素子４２に所定の電力を供給することにより、ブラケット３３を介して軌道部材３４に振動が付与される。そして、搬送路Ｒ上の部品９２が搬送方向に移動するように外力を受けて搬送される。

　上記のようなバルクフィーダ３０の構成によると、加振された軌道部材３４の実際の振動状態を示す振動値を検出することによって、バルクフィーダ３０における実際の供給動作に関する有用な情報を取得することができる。この振動値は、バルクフィーダ３０が意図した動作を行っているか否かの診断に用いることができるとともに、以下に示すように、効率的な供給動作を行うために軌道部材３４に付与すべき振動の周波数の特定に用いることができる。さらには、振動値は、振動環境の変化に対応するために実行されるバルクフィーダ３０の校正処理に用いることができる。各処理の詳細については後述する。

　３．部品供給制御システム８０の構成
　部品供給制御システム８０は、上記のバルクフィーダ３０を用いた部品供給を制御する。本実施形態において、部品供給制御システム８０は、図５に示すように、制御装置１６に組み込まれ、スロット１２１に装備されたバルクフィーダ３０と通信可能に構成される。部品供給制御システム８０は、バルクフィーダ３０における良好な部品９２の供給状態の維持を図るべく、部品供給を制御する。

　３－１．状態認識部８１
　部品供給制御システム８０は、図５に示すように、状態認識部８１を備える。状態認識部８１は、上記のように、基板カメラ１５の撮像により取得した画像データに基づいて、バルクフィーダ３０の供給領域Ａｓにおける複数の部品９２の供給状態を認識する。より詳細には、状態認識部８１は、先ず、バルクフィーダ３０が複数の部品９２を振動により供給領域Ａｓまで搬送した状態において供給領域Ａｓを撮像して取得された画像データに基づいて、供給状態の認識処理を行う。

　供給領域Ａｓには、バルク状態の部品９２が多数存在し、例えばキャビティ５１に正常な姿勢で収容されるもの、キャビティ５１の外部にあるもの、互いに接触したり堆積したりするもの、横立ち姿勢であるものなどが存在し得る。そして、状態認識部８１は、画像処理によって認識される個々の部品９２それぞれについて、採取可能であるか否かの供給状態を認識する。または、状態認識部８１は、複数のキャビティ５１ごとに供給状態を認識する。

　上記の「供給状態」には、キャビティ５１に部品９２が存在し且つ採取可能である状態、キャビティ５１に部品９２が存在し且つ採取不可である状態、およびキャビティ５１に部品９２が存在しない状態が含まれる。ここで、供給領域Ａｓには、例えばキャビティ５１の数に対して過剰に部品９２が搬送されることなどに起因して、複数の部品９２が密集した部品群が形成されることがある。状態認識部８１は、画像データに基づいて、部品群の位置および大きさを部品群状態としてさらに割り出してもよい。

　３－２．周波数特定部８２
　部品供給制御システム８０は、図５に示すように、周波数特定部８２を備える。周波数特定部８２は、振動センサ４３による検出結果に基づいて、軌道部材３４を含む振動体の固有振動数を特定する。ここで、上記の振動体とは、加振装置４０による加振によって軌道部材３４と一体的に振動する部材の集合体である。本実施形態において、振動体は、軌道部材３４、ブラケット３３、ロックユニット３５、およびカバー３６により構成される。

　ここで、本明細書における「固有振動数」は、振動体が支持部材４１に支持され、連結部材３８などの他部材と接触している組み付け状態を前提とした振動数であり、外力（加振装置４０による加振）により共振が発生した際の振動数に相当する。本実施形態において、周波数特定部８２は、加振装置４０に異なる複数種類の周波数の振動を軌道部材３４にそれぞれ付与させ、振動センサ４３により検出された軌道部材３４の振幅が最大となったときの振動数を固有振動数とする。

　加振装置４０が振動を付与した際の振動体は、例えば連結部材３８から反作用を受けるものの、このような抵抗力も含めた振動環境において、上記の固有振動数で共振する。図６の曲線Ｌ１，Ｌ２は、加振装置４０が付与する振動の周波数と、軌道部材３４の実際の振動の振幅との関係を示す。例えば、図６の曲線Ｌ１に示すように、所定の周波数Ｆｎ１で軌道部材３４の振動は、最大の振幅Ｍａｘ１となる。

　本実施形態において、周波数特定部８２は、先ず軌道部材３４（振動体）に異なる複数種類の周波数の振動を付与する。この複数種類の周波数は、所定の周波数帯を規定数で等分した周波数であってもよいし、設計上の周波数を基準に所定数だけ加算または減算した周波数であってもよい。周波数特定部８２は、それぞれの周波数の振動を付与された軌道部材３４の振幅を取得し、最大の振幅Ｍａｘ１で振動した周波数Ｆｎ１を固有振動数とする。上記の周波数は、現在の振動環境において、振動体に共振を発生させる周波数である。

　なお、固有振動数は、振動体に接触する部材（連結部材３８など）、および加振装置４０の構造の変更によっても数Ｈｚに亘り変動し得る。具体的には、本実施形態にて例示する加振装置４０は、前側搬送に用いられる前進用支持部材４１Ａと、後側搬送に用いられる後退用支持部材４１Ｂとを有し、それぞれに設けられた圧電素子４２に給電して加振する。そのため、例えば後退用支持部材４１Ｂは、ブラケット３３に接触する部材であるため、前側搬送の際の振動体の振動に影響する。

　図６の曲線Ｌ１，Ｌ２は、前側搬送と後側搬送とでは振動体の固有振動数（周波数Ｆｎ１，Ｆｎ２）が相違することを示す。なお、それぞれの振動体の構成が実質的に相違する場合には、図６に示すように、それぞれの固有振動数（周波数Ｆｎ１，Ｆｎ２）における振動体の最大の振幅Ｍａｘ１，Ｍａｘ２は、互いに相違し得る。そこで、本実施形態において、周波数特定部８２は、加振装置４０に前側搬送および後側搬送に対応した振動を軌道部材３４にそれぞれ付与させ、前側搬送および後側搬送の搬送動作にそれぞれ用いられる二種類の固有振動数（周波数Ｆｎ１，Ｆｎ２）を特定する。

　ここで、振動体の固有振動数は、軌道部材３４や整列部材５０の交換に伴って変動し得る。そこで、周波数特定部８２は、例えばバルクフィーダ３０に電源が投入されたときに振動体の固有振動数を特定してもよい。また、振動体の固有振動数は、バルクフィーダ３０の経年変化によって徐々に変動し得る。そこで、周波数特定部８２は、バルクフィーダ３０に電源が投入されてから所定時間が経過したとき、またはバルクフィーダ３０による部品９２の搬送動作が所定回数を超えたときに、振動体の固有振動数を特定してもよい。

　また、固有振動数の特定処理には、軌道部材３４に実際に振動を付与する必要があり、任意のタイミングで実行すると部品装着機１０における装着処理の実行に影響し得る。そこで、周波数特定部８２は、装着処理に影響しない部品供給装置１２の休止期間に固有振動数の特定処理を実行するとよい。本実施形態において、周波数特定部８２は、部品装着機１０に対して基板９１が搬入または搬出されている期間に、固有振動数を特定する特定処理の少なくとも一部を実行する。周波数特定部８２は、特定した振動体の固有振動数（前進用および後退用）を制御装置１６に記憶させる。

　３－３．校正部８３
　部品供給制御システム８０は、図５に示すように、校正部８３を備える。校正部８３は、加振装置４０の動作を校正する校正処理を実行する。校正部８３は、周波数特定部８２により特定された固有振動数に基づいて振動子（圧電素子４２）に供給する電力を調整し、軌道部材３４が固有振動数で振動する際に振動子（圧電素子４２）に供給される電力（換言すると、印加電圧に対する電流値）を取得する。校正部８３は、振動体の固有振動数が前進用および後退用のそれぞれで特定されている場合には、それぞれに対応する電力を取得する。

　具体的には、校正部８３は、先ず、軌道部材３４を含む振動体が加振装置４０の加振により一体的に振動する際の振動特性としての固有振動数を、制御装置１６より取得する。次に、校正部８３は、所定の電力を所定の期間だけ圧電素子４２に供給するように加振装置４０の給電装置４４に指令する。これにより、上記の期間において、振動センサ４３による検出値に基づいて軌道部材３４の実際の振動の周波数が測定される。

　続いて、校正部８３は、振動に関する測定結果としての周波数に基づいて、給電装置４４による圧電素子４２への電力を調整する。このとき、校正部８３は、測定された実際の周波数と、先に取得した固有振動数との差分に基づいて、圧電素子４２への電力を調整する。校正部８３は、上記のような測定と調整を繰り返すことにより、振動体が固有振動数で振動する際に圧電素子４２に供給される電力を取得する。

　なお、上記のような手法の他に、校正部８３は、例えば所定の期間に供給される電力を段階的に変更するように指令し、それぞれの期間で測定された周波数と既知の固有振動数とを比較してもよい。そして、校正部８３は、固有振動数に最も近い振動数となった期間において供給されていた電力を取得する。このようにして、校正部８３は、現在のバルクフィーダ３０の構成において、固有振動数で振動させるために必要な電力を取得する。

　そして、校正部８３は、上記の電力を部品９２の搬送時における基準電力として、バルクフィーダ３０に設定する（記憶部６１に記憶させる）。これにより、バルクフィーダ３０は、外部からの指令に基づいて部品９２の搬送動作を行う場合に、設定された基準電力を給電装置４４が圧電素子４２に供給するように制御する。なお、バルクフィーダ３０は、搬送動作の形態（送り動作、戻り動作など）に応じて、基準電力に所定の補正などを加えることがある。

　なお、振動体の固有振動数は、上記のようにバルクフィーダ３０ごとに固有であり、バルクフィーダ３０に取り付けられる軌道部材３４や整列部材５０に応じて変動し得る。そのため、少なくとも軌道部材３４が交換された後には、上記の固有振動数の特定処理を行うことが好ましい。この固有振動数の特定処理によって、現在のバルクフィーダ３０の固有振動数が特定され、且つ供給すべき電力が取得される。しかしながら、その他の外乱に起因して、取得された電力を供給しても振動体が特定された固有振動数で振動しないことがある。

　例えば、バルクフィーダ３０における振動体の振動状態は、スロット１２１によるバルクフィーダ３０の固定状態に応じて変動する。つまり、バルクフィーダ３０は、何れのスロット１２１に装備されるかによって、同一の電力を圧電素子４２に供給しても振動体の実際の周波数が変動することがある。さらには、バルクフィーダ３０の稼働時間などによって、適正な電力が変動し得ることを考慮して、校正部８３は、例えば一定の期間経過後や電源投入時に、現状に対応すべく校正処理を実行することが好ましい。

　３－４．搬送制御部８５
　部品供給制御システム８０は、図５に示すように、搬送制御部８５を備える。搬送制御部８５は、バルクフィーダ３０における部品９２の搬送動作を制御する。ここで、バルクフィーダ３０における部品９２の搬送動作には、送り動作および戻し動作が含まれる。上記の「送り動作」は、軌道部材３４の後側から前側に部品９２を搬送する動作であって、供給領域Ａｓに連通する搬送路Ｒから複数の部品９２を供給領域Ａｓ側に前進させる動作である。また、「戻し動作」は、軌道部材３４の前側から後側に部品９２を搬送する動作であって、供給領域Ａｓから複数の部品９２を搬送路Ｒ側に後退させる動作である。

　搬送制御部８５は、状態認識部８１により認識された供給領域Ａｓにおける部品９２の供給状態に基づいて、上記の送り動作および戻し動作の実行回数、実行時間などを制御する。例えば、搬送制御部８５は、供給領域Ａｓにおいて採取可能な部品９２の数、および供給領域Ａｓにおいて採取の可否に関係なく存在する部品９２の概数に基づいて、搬送動作の制御において複数の搬送パターンを切り換える。上記の複数の搬送パターンには、通常搬送と、補給搬送と、除去搬送とが含まれる。

　上記の「通常搬送」とは、予め設定された一定時間だけ送り動作および戻し動作を実行する搬送パターンである。この通常搬送では、例えば送り動作と戻し動作が交互に２回以上繰り返し実行されることがある。上記の「補給搬送」とは、通常搬送より前進させる部品９２の数量または送り動作の実行時間を多くする搬送パターンである。また、上記の「除去搬送」とは、通常搬送より後退させる部品９２の数量または戻し動作の実行時間を少なくする搬送パターンである。

　なお、搬送制御部８５は、周波数特定部８２による特定結果に基づいて、バルクフィーダ３０における部品９２の搬送動作を制御する。例えば、搬送制御部８５は、搬送動作を指令する際に、搬送パターンおよび周波数（または圧電素子４２に供給する電力）を指定してもよい。または、周波数特定部８２による特定結果を予めバルクフィーダ３０の記憶部６１に記憶させ、搬送制御部８５は、単に搬送パターンのみを指定してもよい。これにより、搬送制御部８５は、バルクフィーダ３０における部品９２の搬送動作において、周波数特定部８２により特定された固有振動数の振動が軌道部材３４に付与されるように制御する。

　４．部品供給制御システム８０によるフィーダ制御
　部品供給制御システム８０は、部品装着機１０による装着処理の実行中に、バルクフィーダ３０による供給状態に応じたフィーダ制御を行う。上記のフィーダ制御には、搬送動作の制御、およびシャッタ３７の開閉動作の制御が含まれる。ここで、部品装着機１０の制御装置１６は、バルクフィーダ３０がスロット１２１にセットされた後に、キャリブレーション処理を実行し、機内における供給領域Ａｓの位置を認識する。

　詳細には、制御装置１６は、先ずフィーダ制御装置６０に対してシャッタ３７を閉状態とするように指令する。これにより、複数の基準マーク３４４が上方から撮像可能な状態となる。制御装置１６は、基板カメラ１５をバルクフィーダ３０の複数の基準マーク３４４の上方に移動させて、基板カメラ１５の撮像により画像データを取得する。そして、制御装置１６は、画像処理により画像データに含まれる複数の基準マーク３４４の位置、および撮像した際の基板カメラ１５の位置に基づいて、機内におけるバルクフィーダ３０の位置、即ち供給領域Ａｓの位置を認識する。

　続いて、周波数特定部８２は、図７に示すように、前側搬送の搬送動作に用いられる固有振動数Ｆｎ１を特定する（Ｓ１１）。その後に、周波数特定部８２は、後側搬送に用いられる固有振動数Ｆｎ２を特定する（Ｓ１２）。上記の固有振動数の特定処理では、例えば、所定の周波数帯の下限から上限まで０．２５Ｈｚずつ異なる複数種類の周波数の振動を、軌道部材３４にそれぞれ付与する。そして、周波数特定部８２は、それぞれの周波数の振動を付与された軌道部材３４の振幅を取得し、最大の振幅で振動した周波数を固有振動数とする。周波数特定部８２は、特定した振動体の二種類の固有振動数（前進用および後退用）を制御装置１６およびバルクフィーダ３０の記憶部６１に記憶させる（Ｓ１３）。

　周波数特定部８２は、上記のようにバルクフィーダ３０に電源が投入されたときに固有振動数の特定処理を実行する。また、周波数特定部８２は、軌道部材３４や整列部材５０が交換されたり、バルクフィーダ３０による部品９２の搬送動作が所定回数を超えたりしたときに、固有振動数の特定処理を実行してもよい。なお、周波数特定部８２は、バルクフィーダ３０に電源が投入されたとしても、電源の遮断中に軌道部材３４や整列部材５０が交換されていない場合には、固有振動数の特定処理の実行を省略してもよい。

　搬送制御部８５は、装着処理においてバルクフィーダ３０から部品９２を採取する前に、バルクフィーダ３０に部品９２の搬送を指令する。これにより、バルクフィーダ３０は、必要に応じて部品ケース７０から部品９２を排出させるとともに軌道部材３４まで部品９２を流通させる。その後に、バルクフィーダ３０は、シャッタ３７を中間状態に維持し、部品９２の搬送動作を行う。これにより、複数のキャビティ５１に部品９２が収容され、余分な部品９２が供給領域Ａｓから搬送路Ｒ側へと退避される。

　状態認識部８１は、供給状態の認識処理に際して、バルクフィーダ３０にシャッタ３７を開状態にするように指令する。状態認識部８１は、基板カメラ１５を供給領域Ａｓの上方に移動させて、基板カメラ１５の撮像により画像データを取得する。そして、状態認識部８１は、画像データを対象とした画像処理により、採取可能な部品９２の位置および角度を供給状態として認識する。

　制御装置１６は、ＰＰサイクルにおける採取動作を実行する直前に、バルクフィーダ３０にシャッタ３７を開状態にするように指令する。また、制御装置１６は、採取動作が終了し、ＰＰサイクルにおける装着動作を実行する期間にバルクフィーダ３０に対して、設定した搬送パターンにて部品９２の搬送を指令する。バルクフィーダ３０は、部品９２の搬送を指令された場合には、設定された搬送パターンの搬送動作を行う。

　このように、バルクフィーダ３０は、供給領域Ａｓにおける部品９２の供給状態に応じた搬送動作を行うことになる。これにより、初期設定により良好に部品９２が供給された状態であれば通常搬送が実行され、また搬送動作の直後において採取可能な部品９２が比較的少ない場合には補給搬送が実行される。なお、この補給搬送では、併せて部品ケース７０から部品９２を排出し、搬送路Ｒまで複数の部品９２を流通させる処理が搬送制御部８５の指令に応じて実行されることがある。

　さらに、現在の供給状態が部品９２の過剰補給を示している場合、または部品群が存在している場合には、除去搬送が実行される。これにより、供給領域Ａｓにおける部品９２の数量が適宜調整される。このような搬送動作は、部品９２がキャビティ５１に適正な姿勢で収容されることを促進し、供給領域Ａｓにおいて採取可能な部品９２を増加させることができる。このように、バルクフィーダ３０における部品９２の供給状態を良好にすることで、部品装着機１０の生産性向上を図ることができる。

　状態認識部８１は、バルクフィーダ３０による部品９２の搬送動作が終了した後に、状態認識処理を再度実行する。これにより、搬送動作後における供給領域Ａｓの現在の供給状態が認識される。また、校正部８３は、所定のタイミングで校正処理を実行する。例えば、校正部８３は、バルクフィーダ３０に電源が投入された後であって、且つ固有振動数の特定処理の実行が省略された場合に、必要に応じて校正処理を実行する。

　校正部８３は、図８に示すように、規定の電力を所定の期間だけ圧電素子４２に供給するように加振装置４０の給電装置４４に指令する（Ｓ２１）。上記の規定の電力は、初期値として基準電力が設定される。これにより、上記の期間において軌道部材３４に振動が付与される。次に、校正部８３は、振動センサ４３による検出値に基づいて測定された軌道部材３４の実際の振動の周波数と、振動体の固有振動数との差分が許容範囲にあるか否かを判定する（Ｓ２２）。

　校正部８３は、上記の差分が許容範囲にない場合に（Ｓ２２：Ｎｏ）、給電装置４４が次に供給する規定の電力を調整する（Ｓ２３）。具体的には、校正部８３は、例えば固有振動数と実際の振動数の大小関係に基づいて、基準電力をインクリメントまたはデクリメントさせて規定の電力とする。校正部８３は、上記のＳ２１－Ｓ２３を繰り返し、実際の振動の周波数と振動体の固有振動数との差分が許容範囲にある場合に（Ｓ２２：Ｙｅｓ）、その際に圧電素子４２に供給される電力を取得する。

　校正部８３は、上記の電力を部品９２の搬送時における基準電力として、バルクフィーダ３０に設定する（Ｓ２４）。つまり、校正部８３は、校正結果として固有振動数で振動を付与する際に圧電素子４２に供給すべき電力を、バルクフィーダ３０の記憶部６１に記憶させる。なお、校正部８３は、例えばバルクフィーダ３０が装備されるスロット１２１の変更、前回の校正処理の実行時から一定期間が経過している場合に、校正処理が必要であると判定して実行する。部品供給制御システムは、実行予定のＰＰサイクルが全て終了して部品９２の供給が不要となった場合に、上記の制御処理を終了する。

　このような部品供給制御システム８０の構成によると、軌道部材３４を含む振動体の固有振動数に基づいて搬送動作を制御することによって、バルクフィーダ３０における部品９２の供給状態を良好にできる。よって、バルクフィーダ３０を装備された部品装着機１０の生産性向上を図ることができる。

　５．実施形態の変形態様
　５－１．部品供給制御システム８０について
　実施形態において、部品供給制御システム８０の各部８１－８３，８５（状態認識部８１、周波数特定部８２、校正部８３、および搬送制御部８５）は、部品装着機１０の制御装置１６に組み込まれる構成を例示して説明した。これに対して、各部８１－８３，８５の一部または全部は、制御装置１６の外部装置に組み込まれる構成としてもよい。例えば、状態認識部８１は、移動台１３２に一体的に移動可能に設けられ、基板カメラ１５の撮像動作を制御する撮像ユニットに組み込まれる構成としてもよい。

　また、周波数特定部８２、校正部８３、および搬送制御部８５は、複数のスロット１２１に装備されたフィーダ１２２と、制御装置１６との通信を仲介する部品供給装置１２に組み込まれてもよい。その他に、各部８１－８３，８５は、バルクフィーダ３０の自己制御機能として、バルクフィーダ３０のフィーダ制御装置６０に組み込まれてもよい。さらに、各部８１－８３，８５は、部品装着機１０と通信可能に接続されるホストコンピュータや専用機器などに組み込まれてもよい。何れの態様においても実施形態と同様の効果を奏する。

　なお、部品供給制御システム８０は、校正部８３を有しない構成を採用することができる。このような態様において、周波数特定部８２は、実施形態において例示したように校正部８３による校正処理を実行するタイミングで、振動体の固有振動数を特定する処理を実行する。これにより、現状における固有振動数および圧電素子４２（振動子）に供給すべき電力を取得することができる。但し、スロット１２１の変更など固有振動数の変動がないまたは少ない場合には、実施形態にて例示したように、校正処理を実行可能とすべく校正部８３を備える構成が好適である。

　５－２．振動センサ４３および周波数特定部８２について
　実施形態において、振動センサ４３は、振動値として実際の周波数または振幅を検出するものとした。この振動センサ４３は、外力に応じた電気信号を出力するものである。よって、電気信号を解析することによって、実際の周波数および振幅を測定することができる。これに対して、振動センサ４３は、上記のような構成の他に、例えば振動する軌道部材３４の変位量を測定する変位計であるものとしてもよい。

　上記のような態様において、周波数特定部８２は、振動センサ４３により測定された軌道部材３４の変位量および変位量の時間変化を解析して、軌道部材３４の周波数や振幅を取得してもよい。また、周波数特定部８２は、圧電素子４２への給電が遮断されてから軌道部材３４が停止するまでの振動の減衰時間や、振動を付与された軌道部材３４の特定部位の移動軌跡が、複数種類の周波数ごとに相違することに基づいて、振動体の固有振動数を特定してもよい。

　５－３．軌道部材３４について
　実施形態において、バルクフィーダ３０の軌道部材３４は、複数のキャビティ５１を形成された整列部材５０を備える構成とした。これに対して、整列部材５０を省略した構成としてもよい。つまり、軌道部材３４の供給領域Ａｓには、搬送路Ｒの上面より低い位置で部品９２が分散される凹状部や、搬送路Ｒの上面と均一な平面状部が形成され、バルク状態で部品９２が供給されるようにしてもよい。但し、部品供給処理の効率化や、供給領域Ａｓにおける供給状態の認識処理における画像処理の負荷を軽減する観点からは、実施形態にて例示した構成が好適である。

　１０：部品装着機、　１２：部品供給装置、　１３：部品移載装置、　１５：基板カメラ、　１６：制御装置、　３０：バルクフィーダ、　３１：フィーダ本体、　３４：軌道部材、　４０：加振装置、　４１：支持部材、　４１Ａ：前進用支持部材、　４１Ｂ：後退用支持部材、　４２：圧電素子（振動子）、　４３：振動センサ、　４４：給電装置、　５０：整列部材、　５１：キャビティ、　６０：フィーダ制御装置、　８０：部品供給制御システム、　８１：状態認識部、　８２：周波数特定部、　８３：校正部、　８５：搬送制御部、　９１：基板、　９２：部品、Ａｓ：供給領域、　Ｒ：搬送路

Claims

　フィーダ本体と、
　前記フィーダ本体に対して振動可能に設けられ、複数の部品が搬送される搬送路を形成された軌道部材と、
　複数の前記部品が前記搬送路に沿って搬送されるように前記軌道部材に振動を付与する加振装置と、
　前記加振装置の加振により振動する前記軌道部材の振動状態を示す振動値を検出する振動センサと、
　を備えるバルクフィーダ。
　前記加振装置は、
　前記軌道部材を支持する支持部材と、
　前記支持部材に設けられ、供給される電力に応じて振動する振動子と、を有し、
　前記振動センサは、前記支持部材に設けられ、前記軌道部材の実際の振動の周波数または振幅を前記振動値として検出する、請求項１に記載のバルクフィーダ。
　請求項１または２に記載のバルクフィーダと、
　前記振動センサによる検出結果に基づいて、前記軌道部材を含む振動体の固有振動数を特定する周波数特定部と、
　前記周波数特定部による特定結果に基づいて、前記バルクフィーダにおける前記部品の搬送動作を制御する搬送制御部と、
　を備える部品供給制御システム。
　前記加振装置は、
　前記軌道部材を支持する支持部材と、
　前記支持部材に設けられ、供給される電力に応じて振動する振動子と、を有し、
　前記振動センサは、前記支持部材に設けられ、前記軌道部材の実際の振動の振幅を前記振動値として検出し、
　前記周波数特定部は、前記加振装置に異なる複数種類の周波数の振動を前記軌道部材にそれぞれ付与させ、前記振動センサにより検出された前記軌道部材の振幅が最大となったときの振動数を前記固有振動数とする、請求項３に記載の部品供給制御システム。
　前記支持部材には、前記搬送路の前側に前記部品を搬送させる前側搬送に用いられる前進用支持部材と、前記搬送路の後側に前記部品を搬送させる後側搬送に用いられる後退用支持部材が含まれ、
　前記振動子および前記振動センサは、前記前進用支持部材および前記後退用支持部材のそれぞれに設けられ、
　前記周波数特定部は、前記加振装置に前記前側搬送および前記後側搬送に対応した振動を前記軌道部材にそれぞれ付与させ、前記前側搬送および前記後側搬送の搬送動作にそれぞれ用いられる二種類の前記固有振動数を特定する、請求項４に記載の部品供給制御システム。
　前記周波数特定部により特定された前記固有振動数に基づいて前記振動子に供給する電力を調整し、前記軌道部材が前記固有振動数で振動する際に前記振動子に供給される電力を取得する校正部をさらに備える、請求項４または５に記載の部品供給制御システム。
　前記周波数特定部は、前記バルクフィーダに電源が投入されたとき、前記バルクフィーダに電源が投入されてから所定時間が経過したとき、または前記バルクフィーダによる前記部品の搬送動作が所定回数を超えたときに、前記固有振動数を特定する、請求項３－６の何れか一項に記載の部品供給制御システム。
　前記周波数特定部は、前記バルクフィーダにより供給された前記部品を基板に装着する部品装着機に対して前記基板が搬入または搬出されている期間に、前記固有振動数を特定する特定処理の少なくとも一部を実行する、請求項３－７の何れか一項に記載の部品供給制御システム。
　前記搬送制御部は、前記バルクフィーダにおける前記部品の搬送動作において、前記周波数特定部により特定された前記固有振動数の振動が前記軌道部材に付与されるように制御する、請求項３－８の何れか一項に記載の部品供給制御システム。