WO2022144678A1 - 光デバイス、表示装置、及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

良好な特性の光デバイスを提供する。駆動電圧の低い光デバイスを提供する。消費電力の低い光デバイスを提供する。 第1の電極と、第2の電極と、活性層と、キャリア輸送層と、を有する光デバイスとする。活性層は、第1の電極と第2の電極の間に位置する。活性層は、第1の有機化合物と、第2の有機化合物と、を有し、第1の有機化合物は、一般式(G1)で表され、第2の有機化合物は、一般式(G2-1)で表される。キャリア輸送層は、第2の電極と活性層との間に位置し、キャリア輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である。

Description

光デバイス、表示装置、及び電子機器
 本発明の一態様は、光デバイスに関する。本発明の一態様は、表示装置に関する。
 なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本発明の一態様の技術分野として、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置(例えば、タッチセンサなど)、入出力装置(例えば、タッチパネルなど)、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法を一例として挙げることができる。
 近年、表示装置は、スマートフォン、タブレット型端末、ラップトップPCなどの情報端末機器、テレビジョン装置、モニタ装置など、様々な機器に用いられている。また、タッチパネルとしての機能、または、認証のために指紋を撮像する機能など、画像を表示するだけでなく、様々な機能が付加された表示装置が求められている。
 表示装置として、例えば、発光デバイスを有する発光装置が開発されている。エレクトロルミネッセンス(EL:Electroluminescence)現象を利用した発光デバイス(ELデバイス、EL素子ともいう)は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流定電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、表示装置に応用されている。例えば、特許文献1に、有機ELデバイス(有機EL素子ともいう)が適用された、可撓性を有する発光装置が開示されている。
特開2014−197522号公報
 本発明の一態様は、良好な特性の光デバイスを提供することを課題の一とする。または、駆動電圧の低い光デバイスを提供することを課題の一とする。または、消費電力の低い光デバイスを提供することを課題の一とする。または、生産性の高い光デバイスを提供することを課題の一とする。または、利便性の高い光デバイスを提供することを課題の一とする。または、多機能の光デバイスを提供することを課題の一とする。または、新規な光デバイスを提供することを課題の一とする。または、新規な表示装置を提供することを課題の一とする。または、新規な電子機器を提供することを課題の一とする。
 なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
 本発明の一態様は、第1の電極と、第2の電極と、活性層と、キャリア輸送層と、を有する光デバイスである。活性層は、第1の電極と第2の電極の間に位置する。活性層は、第1の有機化合物と、第2の有機化合物と、を有し、第1の有機化合物は、一般式(G1)で表され、第2の有機化合物は、一般式(G2−1)で表される。キャリア輸送層は、第2の電極と活性層との間に位置し、キャリア輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
 上記一般式(G1)において、Dは置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のチオフェンを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換のフランを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリーレン基を表し、A及びAはそれぞれ独立に水素、重水素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、または1乃至3の置換基を有するビニル基を表し、当該置換基は、シアノ基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、またはニトロ基であり、m、n、kはそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、m、n、及びkの少なくとも1つは1乃至3の整数を表す。
 上記一般式(G2−1)において、R乃至R10はそれぞれ独立に水素、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、mは1乃至5の整数を表す。
 前述の光デバイスにおいて、mは、2以上であり、複数のRは、互いに異なってもよい。
 前述の光デバイスにおいて、mは、2以上であり、複数のR10は、互いに異なってもよい。
 前述の光デバイスにおいて、R乃至R及びR乃至Rのうち少なくとも1組の隣り合う基は、互いに結合して環を形成しもよい。
 前述の光デバイスにおいて、第2の有機化合物は、構造式(201)または(202)で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
 本発明の一態様は、第1の電極と、第2の電極と、活性層と、キャリア輸送層と、を有する光デバイスである。活性層は、第1の電極と第2の電極の間に位置する。活性層は、第1の有機化合物と、第2の有機化合物と、を有し、第1の有機化合物は、一般式(G1)で表され、第2の有機化合物は、一般式(G2−2)または構造式(310)で表される。キャリア輸送層は、第2の電極と活性層との間に位置し、キャリア輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
 上記一般式(G1)において、Dは置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のチオフェンを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換のフランを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリーレン基を表し、A及びAはそれぞれ独立に水素、重水素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、または1乃至3の置換基を有するビニル基を表し、当該置換基は、シアノ基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、またはニトロ基であり、m、n、kはそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、m、n、及びkの少なくとも1つは1乃至3の整数を表す。
 上記一般式(G2−2)において、Mは金属、酸化金属、またはハロゲン化金属を表し、mは1または2であり、R11乃至R26はそれぞれ独立に水素、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
 前述の光デバイスにおいて、第2の有機化合物は、構造式(301)乃至構造式(305)のいずれか一で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
 本発明の一態様は、第1の電極と、第2の電極と、活性層と、キャリア輸送層と、を有する光デバイスである。活性層は、第1の電極と第2の電極の間に位置する。活性層は、第1の有機化合物と、第2の有機化合物と、を有し、第1の有機化合物は、一般式(G1)で表され、第2の有機化合物は、一般式(G2−3)で表される。キャリア輸送層は、第2の電極と活性層との間に位置し、キャリア輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
 上記一般式(G1)において、Dは置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のチオフェンを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換のフランを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリーレン基を表し、A及びAはそれぞれ独立に水素、重水素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、または1乃至3の置換基を有するビニル基を表し、当該置換基は、シアノ基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、またはニトロ基であり、m、n、kはそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、m、n、及びkの少なくとも1つは1乃至3の整数を表す。
 上記一般式(G2−3)において、R30乃至R49はそれぞれ独立に水素、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
 前述の光デバイスにおいて、第2の有機化合物は、構造式(401)で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
 前述の光デバイスにおいて、Dは、一般式(g1−1−1)乃至一般式(g1−1−4)のいずれか一で表される。Ar及びArは、それぞれ独立に置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のフェニレン基、または置換もしくは無置換のナフタレン−ジイル基である。A及びAは、それぞれ独立に一般式(g1−2)で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
 上記一般式(g1−1−1)乃至一般式(g1−1−4)、及び一般式(g1−2)において、R101及びR102の一方はAr及びArの一方と結合し、R103及びR104の一方はAr及びArの他方と結合し、R105及びR106の一方はAr及びArの一方と結合し、R107及びR108の一方はAr及びArの他方と結合し、R109及びR110の一方はAr及びArの一方と結合し、R111及びR112の一方はAr及びArの他方と結合し、R113乃至R116のいずれか2つの一方がArと結合し、他方がArと結合し、R101乃至R116のうち、残りが、それぞれ独立に水素、重水素、炭素数1乃至6の直鎖アルキル基、炭素数3乃至10のシクロアルキル基、炭素数1乃至6の直鎖アルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、炭素数1乃至6の直鎖ハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R117乃至R119はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R117乃至R119の少なくとも1つはシアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R120はAr及びArの一方または双方と結合し、X乃至X14はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n11は0乃至10の整数を表し、n12及びn13はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表す。
 前述の光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、一般式(G1−1)乃至一般式(G1−3)のいずれか一で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
 上記一般式(G1—1)乃至一般式(G1−3)において、X15乃至X30はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n14及びn17はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表し、n15、n16、n18、n19乃至n22はそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、n20乃至n22の少なくとも1つは1乃至3の整数を表し、R127乃至R132、及びR139乃至R150はそれぞれ独立に水素、重水素、炭素数1乃至6の直鎖アルキル基、炭素数3乃至10のシクロアルキル基、炭素数1乃至6の直鎖アルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、炭素数1乃至6の直鎖ハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R121乃至R126、及びR133乃至R138、及びR160乃至R165はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R121乃至R126の少なくとも1つと、R133乃至R138の少なくとも1つと、R160乃至R165の少なくとも1つはシアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表す。
 前述の光デバイスにおいて、第1の有機化合物は、構造式(101)または(102)のいずれか一で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
 前述の光デバイスにおいて、キャリア輸送層は、電子輸送性材料を有する。
 前述の光デバイスにおいて、正孔輸送層を有してもよい。正孔輸送層は、第1の電極と活性層との間に位置し、正孔輸送層は、正孔輸送性材料を有する。正孔輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である。
 前述の光デバイスにおいて、キャリア輸送層は、正孔輸送性材料を有する。
 前述の光デバイスにおいて、電子輸送層を有してもよい。電子輸送層は、第1の電極と活性層との間に位置し、電子輸送層は、電子輸送性材料を有する。電子輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である。
 前述の光デバイスにおいて、活性層は、第1の層と、第2の層を有してもよい。第1の層は、第2の層と接する領域を有し、第1の層は、第1の有機化合物を有し、第2の層は、第2の有機化合物を有する。
 前述の光デバイスにおいて、第1の発光層を有してもよい。第1の発光層は、第1の電極と活性層との間に位置する。
 前述の光デバイスにおいて、第1の発光層を有してもよい。第1の発光層は、キャリア輸送層と活性層との間に位置する。
 本発明の一態様は、前述の光デバイスと、発光デバイスと、を有する表示装置である。発光デバイスは、第3の電極と、第2の発光層と、第2の電極と、を有する。第2の発光層は、第3の電極と第2の電極の間に位置し、第2の発光層は、第1の有機化合物とは異なる第3の有機化合物を有する。
 前述の表示装置において、さらにトランジスタ、または基板の少なくとも一と、を有してもよい。
 本発明の一態様は、前述の表示装置と、マイク、カメラ、操作用ボタン、接続端子、またはスピーカの少なくとも一と、を有する電子機器である。
 本発明の一態様によれば、良好な特性の光デバイスを提供できる。または、駆動電圧の低い光デバイスを提供できる。または、消費電力の低い光デバイスを提供できる。または、生産性の高い光デバイスを提供できる。または、利便性の高い光デバイスを提供できる。または、多機能の光デバイスを提供できる。または、新規な光デバイスを提供できる。または、新規な表示装置を提供できる。または、新規な電子機器を提供できる。
 なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
図1A乃至図1Eは、受光デバイスの一例を示す断面図である。
図2A乃至図2Dは、受発光デバイスの一例を示す断面図である。
図3A及び図3Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図4A及び図4Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図5A及び図5Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図6A乃至図6Dは、表示装置の一例を示す断面図である。
図7A乃至図7D、図7Fは、表示装置の一例を示す断面図である。図7E、図7Gは、表示装置が撮像した画像の例を示す図である。図7H乃至図7Kは、画素の一例を示す上面図である。
図8A乃至図8Gは、画素の一例を示す上面図である。
図9A乃至図9Cは、表示装置の一例を示す断面図である。
図10Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図10B、図10Cは、樹脂層の上面レイアウトの一例を示す図である。
図11は、表示装置の一例を示す斜視図である。
図12は、表示装置の一例を示す断面図である。
図13は、表示装置の一例を示す断面図である。
図14Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図14Bは、トランジスタの一例を示す断面図である。
図15A、図15Bは、画素回路の一例を示す回路図である。
図16A、図16Bは、電子機器の一例を示す図である。
図17A乃至図17Dは、電子機器の一例を示す図である。
図18A乃至図18Fは、電子機器の一例を示す図である。
図19Aは、受光デバイスの電流−電圧特性を示す図である。図19Bは、外部量子効率を示す図である。
図20A及び図20Bは、受光デバイスの特性を示す図である。
図21A及び図21Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図22A及び図22Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図23A及び図23Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図24A及び図24Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図25A及び図25Bは、受光デバイスの外部量子効率を示す図である。
図26A及び図26Bは、受光デバイスの外部量子効率を示す図である。
図27A及び図27Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図28A及び図28Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図29A及び図29Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図30A及び図30Bは、受光デバイスの電流密度−電圧特性を示す図である。
図31A及び図31Bは、受光デバイスの外部量子効率を示す図である。
図32A及び図32Bは、受光デバイスの外部量子効率を示す図である。
図33は、受光デバイスの信頼性を示す図である。
 実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
 なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
 図面において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解を簡単にするため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
 なお、「膜」という言葉と、「層」という言葉とは、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能である。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能である。
(実施の形態1)
 本実施の形態では、本発明の一態様である光デバイスについて、説明する。ここでは、光デバイスとして受光デバイス(受光素子ともいう)、及び受発光デバイス(受発光素子ともいう)を例に挙げて、説明する。
<受光デバイス>
 本発明の一態様である受光デバイスの構成例を、図1Aに示す。図1Aは、受光デバイス10の構成を示す断面図である。受光デバイス10は、第1の電極11と、第2の電極13と、第1の電極11及び第2の電極13に挟まれた層15と、を有する。層15は、少なくとも活性層を有する。受光デバイス10は、活性層に入射した光によって生じた電荷を、電流として取り出すことができる。このとき、第1の電極11と第2の電極13の間に、電圧を印加してもよい。受光デバイス10は、可視光または近赤外光を検出する機能を有する。
 受光デバイス10は、例えば、pn型またはpin型のフォトダイオード構造を適用することができる。受光デバイス10は、受光デバイス10に入射する光を検出し、電荷を発生させる光電変換素子(光電変換デバイスともいう)として機能する。受光デバイス10に入射する光量に基づき、受光デバイス10から発生する電荷量が決まる。
[活性層]
 受光デバイス10は、図1Bに示すように、層15が活性層23を有する構成とすることができる。活性層23は、半導体を含む。当該半導体として、シリコンなどの無機半導体、及び、有機化合物を含む有機半導体が挙げられる。活性層23が有する半導体として、有機半導体を好適に用いることができる。受光デバイス10として、有機半導体を含む層を有する有機フォトダイオードを好適に用いることができる。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、有機フォトダイオードを有する受光デバイス10は様々な装置に適用できる。
 活性層23は、n型半導体の材料と、p型半導体の材料と、を有する。活性層23は、n型半導体の材料と、p型半導体の材料との混合層を有する構成(バルクヘテロ接合構造)とすることができる。例えば、活性層23は、n型半導体の材料と、p型半導体の材料を共蒸着して形成することができる。バルクヘテロ接合構造を用いることにより、高い光電変換効率を有する光デバイスとすることができる。
 活性層23が有するn型半導体の材料として、電子受容性の有機半導体材料を用いることができる。n型半導体の材料は、一般式(G1)で表される有機化合物を用いることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
 一般式(G1)中、Dは置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のチオフェンを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換のフランを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリーレン基を表し、A及びAはそれぞれ独立に水素、重水素、ニトロ基、置換または無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、または1乃至3の置換基を有するビニル基を表し、当該置換基は、シアノ基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、またはニトロ基であり、m、n、kはそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、m、n、及びkの少なくとも1つは1乃至3の整数を表す。
 なお、本明細書等において、置換もしくは無置換のZ基と記す場合、当該Z基は、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、及びハロゲンのいずれか一以上で置換されていてもよい。当該アリール基または当該ヘテロアリール基は、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、及びハロゲンのいずれか一以上で置換されていてもよい。
 mが2または3の場合、複数のArは全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。同様に、nが2または3の場合、複数のDは全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。また、nが2または3の場合、複数のArは全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。
 一般式(G1)で表される有機化合物は、沸点が比較的低く、蒸着温度を低くすることができる。ここで、蒸着温度が高いと、活性層23より前に形成されている膜が変質し、受光デバイス10の特性が悪化してしまう場合がある。また、蒸着温度が高いと、生産性が悪化してしまう場合がある。本発明の一態様は、活性層23に一般式(G1)で表される有機化合物を用いることにより、他の膜が変質してしまうことを抑制でき、良好な特性を有する光デバイスとすることができる。また、受光デバイス10の生産性を高めることができる。
 上記一般式(G1)において、Dは、例えば、下記一般式(g1−1−1)乃至一般式(g1−1−4)で表される基を適用することができる。また、A及びAは、例えば、一般式(g1−2)で表される基を適用することができる。なお、D、A及びAに用いることができる基は、これらに限られない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000020
 一般式(g1−1−1)乃至一般式(g1−1−4)、及び一般式(g1−2)中、R101及びR102の一方はAr及びArの一方と結合し、R103及びR104の一方はAr及びArの他方と結合し、R105及びR106の一方はAr及びArの一方と結合し、R107及びR108の一方はAr及びArの他方と結合し、R109及びR110の一方はAr及びArの一方と結合し、R111及びR112の一方はAr及びArの他方と結合し、R113乃至R116のいずれか2つの一方がArと結合し、他方がArと結合し、R101乃至R116のうち、残りが、それぞれ独立に水素、重水素、炭素数1乃至6の直鎖アルキル基、炭素数3乃至10のシクロアルキル基、炭素数1乃至6の直鎖アルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、炭素数1乃至6の直鎖ハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R117乃至R119はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R117乃至R119の少なくとも1つはシアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R120はAr及びArの一方または双方と結合し、X乃至X14はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n11は0乃至10の整数を表し、n12及びn13はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表す。
 n11が2以上の場合、複数のXはそれぞれ独立に酸素または硫黄を表す。同様に、n12が2以上の場合、複数のX及び複数のXはそれぞれ独立に酸素または硫黄を表す。また、n13が2以上の場合、複数のX及び複数のX10はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表す。
 上記一般式(G1)において、Dは、例えば、下記構造式(D−1)乃至構造式(D−21)、下記構造式(D−23)乃至構造式(D−25)、下記構造式(D−27)乃至構造式(D−51)で表される基を適用することができる。なお、Dとして用いることができる基はこれらに限られない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000021
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000022
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000023
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000024
 上記Ar及びArとして用いることができる、置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基としては、例えば、置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基などが挙げられる。上記Ar及びArとして用いることができる、炭素数6乃至30のアリーレン基としては、例えば、置換もしくは無置換のフェニレン基、置換もしくは無置換のナフタレン−ジイル基などが挙げられる。上記Ar及びArは、例えば、下記構造式(Ar−1)乃至構造式(Ar−10)で表される基を適用することができる。なお、Ar及びArに用いることができる基は、これらに限られない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000025
 上記一般式(G1)において、A及びAは、例えば、下記構造式(A−1)乃至構造式(A−25)で表される基を適用することができる。なお、A及びAに用いることができる基は、これらに限られない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000026
 活性層23が有するn型半導体の材料として、一般式(G1−1)乃至一般式(G1−3)のいずれか一で表される有機化合物を用いることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000027
 一般式(G1—1)乃至一般式(G1−3)中、X15乃至X30はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n14及びn17はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表し、n15、n16、n18、n19乃至n22はそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、n20乃至n22の少なくとも1つは1乃至3の整数を表し、R127乃至R132、及びR139乃至R150はそれぞれ独立に水素、重水素、炭素数1乃至6の直鎖アルキル基、炭素数3乃至10のシクロアルキル基、炭素数1乃至6の直鎖アルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、炭素数1乃至6の直鎖ハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R121乃至R126、及びR133乃至R138、及びR160乃至R165はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表す。
 n14が2以上の場合、複数のX16及び複数のX17はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表す。n15乃至n22のそれぞれが2以上である場合においても同様であり、X18乃至X30のいずれか一以上が複数ある場合、それぞれ独立に酸素または硫黄を表す。
 n15が2以上の場合、複数のR129は全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。同様に、n15が2以上の場合、複数のR130は全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。n16、n18乃至n22のそれぞれが2以上である場合においても同様であり、R131乃至R150のいずれか一以上が複数ある場合、全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。
 具体的には、活性層23が有するn型半導体の材料として、構造式(100)~構造式(137)に示される有機化合物を挙げることができる。なお、本発明の一態様に用いることができる有機化合物はこれらに限定されない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000028
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000029
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000030
 活性層273が有するn型半導体の材料として、フラーレン(例えばC60、C70等)、フラーレン誘導体等の電子受容性の有機半導体材料が挙げられる。フラーレンは、サッカーボールのような形状を有し、当該形状はエネルギー的に安定である。フラーレンは、HOMO準位及びLUMO準位の双方が深い(低い)。フラーレンは、LUMO準位が深いため、電子受容性(アクセプター性)が極めて高い。通常、ベンゼンのように、平面にπ電子共役(共鳴)が広がると、電子供与性(ドナー性)が高くなるが、フラーレンは球体形状であるため、π電子が大きく広がっているにも関わらず、電子受容性が高くなる。電子受容性が高いと、電荷分離を高速に効率よく起こすため、受光デバイスとして有益である。C60、C70ともに可視光領域に広い吸収帯を有しており、特にC70はC60に比べてπ電子共役系が大きく、長波長領域にも広い吸収帯を有するため好ましい。
 n型半導体の材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、クマリン誘導体、ローダミン誘導体、トリアジン誘導体、キノン誘導体等が挙げられる。
 活性層23が有するp型半導体の材料として、電子供与性の有機半導体材料を用いることができる。p型半導体の材料は、一般式(G2−1)で表される有機化合物を用いることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000031
 一般式(G2−1)中、R乃至R10はそれぞれ独立に水素、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、mは1乃至5の整数を表す。
 なお、R乃至R及びR乃至Rは、隣り合う基が互いに結合して環を形成していてもよい。また、mが2以上の場合、複数のRは全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。同様に、mが2以上の場合、複数のR10は全て同じであってもよく、一部が異なっていてもよく、全て異なっていてもよい。
 一般式(G2−1)で表される有機化合物は、沸点が比較的低く、蒸着温度を低くすることができる。本発明の一態様は、活性層23に一般式(G2−1)で表される有機化合物を用いることにより、他の膜が変質してしまうことを抑制でき、良好な特性を有する受光デバイス10とすることができる。また、受光デバイス10の生産性を高めることができる。
 上記一般式(G2−1)において、R乃至R10は、例えば、下記構造式(R−1)乃至構造式(R−78)で表される基を適用することができる。なお、R乃至R10として用いることができる基はこれらに限られない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000032
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000033
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000034
 具体的には、活性層23が有するp型半導体の材料として、構造式(201)~構造式(216)に示される有機化合物を挙げることができる。なお、本発明の一態様に用いることができる有機化合物はこれらに限定されない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000035
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000036
 活性層23が有するp型半導体の材料として、電子供与性の有機半導体材料を用いることができる。p型半導体の材料は、一般式(G2−2)または構造式(310)で表される有機化合物を用いることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000037
 一般式(G2−2)中、Mは金属、酸化金属、またはハロゲン化金属を表し、mは1または2であり、R11乃至R26はそれぞれ独立に水素、重水素、置換または無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換または無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換または無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
 一般式(G2−2)または構造式(310)で表される有機化合物は、沸点が比較的低く、蒸着温度を低くすることができる。本発明の一態様は、活性層23に一般式(G2−2)または構造式(310)で表される有機化合物を用いることにより、他の膜が変質してしまうことを抑制でき、良好な特性を有する光デバイスとすることができる。また、受光デバイス10の生産性を高めることができる。
 上記R11乃至R26として、例えば、前述の構造式(R−1)乃至構造式(R−78)で表される基が挙げられる。
 具体的には、活性層23が有するp型半導体の材料として、構造式(301)~構造式(313)に示される有機化合物を挙げることができる。なお、本発明の一態様に用いることができる有機化合物はこれらに限定されない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000038
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000039
 活性層23が有するp型半導体の材料として、電子供与性の有機半導体材料を用いることができる。p型半導体の材料は、一般式(G2−3)で表される有機化合物を用いることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000040
 一般式(G2−3)中、R30乃至R49はそれぞれ独立に水素、重水素、置換または無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換または無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換または無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換または無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。
 一般式(G2−3)で表される有機化合物は、沸点が比較的低く、蒸着温度を低くすることができる。本発明の一態様は、活性層23に一般式(G2−3)で表される有機化合物を用いることにより、他の膜が変質してしまうことを抑制でき、良好な特性を有する受光デバイスとすることができる。また、受光デバイス10の生産性を高めることができる。
 上記R30乃至R49として、例えば、前述の構造式(R−1)乃至構造式(R−78)で表される基が挙げられる。
 具体的には、活性層23が有するp型半導体の材料として、構造式(401)~構造式(403)に示される有機化合物を挙げることができる。なお、本発明の一態様に用いることができる有機化合物はこれらに限定されない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000041
 活性層23が有するp型半導体の材料としては、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)、スズフタロシアニン(SnPc)、キナクリドン等の電子供与性の有機半導体材料が挙げられる。
 p型半導体の材料としては、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体、芳香族アミン骨格を有する化合物等が挙げられる。さらに、p型半導体の材料としては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ピレン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、ピロール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、インドール誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、インドロカルバゾール誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、キナクリドン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。
 電子供与性の有機半導体材料のHOMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のHOMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。電子供与性の有機半導体材料のLUMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のLUMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。
 電子受容性の有機半導体材料として、球状のフラーレンを用い、電子供与性の有機半導体材料として、平面に近い形状の有機半導体材料を用いることが好ましい。似た形状の分子同士は集まりやすい傾向にあり、同種の分子が凝集すると、分子軌道のエネルギー準位が近いため、キャリア輸送性を高めることができる。
 活性層23が、一般式(G1)で表される有機化合物と、一般式(G2−1)、一般式(G2−2)、一般式(G2−3)、または構造式(310)で表される有機化合物と、を有することで、後述する正孔輸送層21の材料及び厚さ、並びに、電子輸送層25の材料及び厚さの影響を受けにくくなり、受光デバイスの駆動電圧を低くすることができる。また、信頼性の高い受光デバイスを実現することができる。これにより、受光デバイスに用いる材料の選択の幅を広げることができ、デバイス設計の自由度を高めることができる。
[キャリア輸送層]
 受光デバイス10は、層15がキャリア輸送層を有してもよい。キャリア輸送層は、キャリア輸送性材料を含む層である。図1Bに示す受光デバイス10は、キャリア輸送層として正孔輸送層21と、電子輸送層25と、を有する例を示している。図1Bに示す受光デバイス10は、第1の電極11上に、正孔輸送層21、活性層23、及び電子輸送層25がこの順で積層された構造を有する。正孔輸送層21、活性層23、及び電子輸送層25はそれぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。なお、図1Bでは、受光デバイス10が、正孔輸送層21及び電子輸送層25を有する例を示したが、本発明の一態様はこれに限られない。受光デバイス10が、正孔輸送層21または電子輸送層25の一方のみを有する構成としてもよい。
 受光デバイス10において、正孔輸送層21は、活性層23に入射した光によって発生した正孔を陽極に輸送する層である。正孔輸送層21は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料は、10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料は、π電子過剰型複素芳香族化合物(例えばカルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体など)、または芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する化合物)等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
 正孔輸送層21の膜厚は、5nm以上500nm以下が好ましく、さらには10nm以上400nm以下が好ましく、さらには10nm以上300nm以下が好ましく、さらには10nm以上200nm以下が好ましい。
 正孔輸送層21の膜厚を厚くすると、受光デバイス10の駆動電圧が高くなり、消費電力が大きくなってしまう場合がある。本発明の一態様である受光デバイス10は、正孔輸送層21の膜厚を厚くしても駆動電圧が高くなることを抑制できる。したがって、消費電力の小さい受光デバイスとすることができる。さらに、正孔輸送層21の膜厚を前述の範囲とすることで、良好な特性を有し、かつ低い消費電力の受光デバイスとすることができる。
 受光デバイス10の駆動電圧は、−5V以上5V以下であることが好ましく、さらには−4V以上4V以下であることが好ましく、さらには−3V以上3V以下であることが好ましく、さらには−2V以上2V以下であることが好ましく、さらには−1V以上1V以下であることが好ましい。また、受光デバイス10の駆動電圧は、0Vに近いほど好ましい。駆動電圧は、例えば、ある一定の値以上の電流が流れる電圧とすることができる。例えば、20nA以上の電流が流れる電圧を、駆動電圧とすることができる。
 受光デバイス10において、電子輸送層25は、活性層23に入射した光によって発生した電子を陰極に輸送する層である。電子輸送層25は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料は、1×10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料は、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。
 電子輸送層25の膜厚は、5nm以上500nm以下が好ましく、さらには10nm以上400nm以下が好ましく、さらには10nm以上300nm以下が好ましく、さらには20nm以上300nm以下が好ましい。
 電子輸送層25の膜厚を厚くすると、受光デバイス10の駆動電圧が高くなり、消費電力が大きくなってしまう場合がある。本発明の一態様である受光デバイス10は、電子輸送層25の膜厚を厚くしても駆動電圧が高くなることを抑制できる。したがって、消費電力の小さい受光デバイスとすることができる。さらに、電子輸送層25の膜厚を前述の範囲とすることで、良好な特性を有し、かつ低い消費電力の受光デバイスとすることができる。
[第1の電極、第2の電極]
 第1の電極11と第2の電極13のうち、光が入射する側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。図1A等では、第2の電極13に可視光を透過する導電膜を用いた受光デバイス10を例に、受光デバイス10に入射する光を白抜き矢印で模式的に示している。
 なお、本実施の形態、及び図1A等では、第1の電極11が陽極として機能し、第2の電極13が陰極として機能する場合を例に挙げて説明したが、本発明の一態様はこれに限られない。第1の電極11が陰極として機能し、第2の電極13が陽極として機能してもよい。この場合、正孔輸送層21、活性層23、及び電子輸送層25の積層順は逆になる。
 活性層23は、図1Cに示すように、第1の層23aと、第2の層23bとの積層構造としてもよい。第1の層23aは、第2の層23bと接する領域を有し、第1の電極11と第2の層23bとの間に位置する。図1Cでは、陽極として機能する第1の電極11側に第1の層23aを設け、陰極として機能する第2の電極13側に第2の層23bを設ける例を示している。第1の層23aはp型半導体の材料を有し、第2の層23bはn型半導体の材料を有する構成(バイレイヤー構造)とすることができる。例えば、第1の層23aは、前述の活性層23に用いることができるp型半導体の材料を用いることができる。第2の層23bは、前述の活性層23に用いることができるn型半導体の材料を用いることができる。バイレイヤー構造を用いることにより、リーク電流を抑制できる場合がある。したがって、高いSN比を有する光デバイスとすることができる。なお、活性層23に適用する構成(バルクヘテロ接合構造、またはバイレイヤー構造)は、適宜選択すればよい。また、活性層23にバルクヘテロ接合構造、及びバイレイヤー構造以外の構成を適用してもよい。
 受光デバイス10は、図1Dに示すように、正孔輸送層21が、層21aと、層21a上の層21bと、の積層構造を有してもよい。また、電子輸送層25が、層25aと、層25a上の層25bと、の積層構造を有してもよい。
 受光デバイス10は、図1Eに示すように、正孔輸送層21、電子輸送層25、及び活性層23がそれぞれ、積層構造を有してもよい。
<受発光デバイス>
 本発明の一態様である受発光デバイスの構成例を、図2Aに示す。図2Aは、受発光デバイス10Aの構成を示す断面図である。受発光デバイス10Aは、第1の電極11と、第2の電極13と、第1の電極11及び第2の電極13に挟まれた層15と、を有する。層15は、少なくとも活性層23と、発光層39と、を有する。
 受発光デバイス10Aは、光を発する機能(発光機能)と、受光する機能(受光機能)と、の双方を有する。受発光デバイス10Aは、自身が発する光よりも短波長の光を検出することができる。図2A等では、第2の電極13に可視光を透過する導電膜を用いた受発光デバイス10Aを例に、受発光デバイス10Aに入射する光、及び受発光デバイス10Aから射出する光をそれぞれ白抜き矢印で模式的に示している。
 受発光デバイス10Aは、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製することができる。例えば、前述の受光デバイス10に、発光層39を追加することで、受発光デバイス10Aを作製することができる。受発光デバイス10Aは、有機EL素子と有機フォトダイオードで共通の構成にできる層を一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
 有機EL素子は、薄型、軽量、及び大面積のデバイスとすることが容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、有機EL素子を用いた受発光デバイス10Aは様々な装置に適用できる。
 図2Aに示す受発光デバイス10Aは、層15が、正孔注入層31、正孔輸送層21、活性層23、発光層39、電子輸送層25、及び電子注入層35を有する。受発光デバイス10Aは、第1の電極11上に、正孔注入層31、正孔輸送層21、活性層23、発光層39、電子輸送層25、電子注入層35がこの順で積層された構造を有する。正孔注入層31、正孔輸送層21、活性層23、発光層39、電子輸送層25、電子注入層35はそれぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
[発光層]
 発光層39は、発光物質を含む層である。発光層39は、1種または複数種の発光物質を有することができる。発光物質として、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。
 発光物質として、蛍光材料、燐光材料、熱活性化遅延蛍光(TADF:Thermally Activated Delayed Fluorescence)材料、量子ドット材料などが挙げられる。
 蛍光材料として、例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、ナフタレン誘導体などが挙げられる。
 燐光材料として、例えば、4H−トリアゾール骨格、1H−トリアゾール骨格、イミダゾール骨格、ピリミジン骨格、ピラジン骨格、またはピリジン骨格を有する有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、白金錯体、希土類金属錯体等が挙げられる。
 発光層39は、発光物質(ゲスト材料)に加えて、1種または複数種の有機化合物(ホスト材料、アシスト材料等)を有していてもよい。1種または複数種の有機化合物として、正孔輸送性材料及び電子輸送性材料の一方または双方を用いることができる。また、1種または複数種の有機化合物として、バイポーラ性材料、またはTADF材料を用いてもよい。
 発光層39は、例えば、燐光材料と、励起錯体を形成しやすい組み合わせである正孔輸送性材料及び電子輸送性材料と、を有することが好ましい。このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質(燐光材料)へのエネルギー移動であるExTET(Exciplex−Triplet Energy Transfer)を用いた発光を効率よく得ることができる。発光物質の最も低エネルギー側の吸収帯の波長と重なるような発光を呈する励起錯体を形成するような組み合わせを選択することで、エネルギー移動がスムーズとなり、効率よく発光を得ることができる。この構成により、受発光デバイス10Aの高効率、低電圧駆動、長寿命を同時に実現できる。
 励起錯体を形成する材料の組み合わせは、正孔輸送性材料のHOMO準位(最高被占有軌道準位)が電子輸送性材料のHOMO準位以上の値であると好ましい。正孔輸送性材料のLUMO準位(最低空軌道準位)が電子輸送性材料のLUMO準位以上の値であると好ましい。材料のLUMO準位及びHOMO準位は、サイクリックボルタンメトリ(CV)測定によって測定される材料の電気化学特性(還元電位及び酸化電位)から導出することができる。
 励起錯体の形成は、例えば正孔輸送性材料の発光スペクトル、電子輸送性材料の発光スペクトル、及びこれら材料を混合した混合膜の発光スペクトルを比較し、混合膜の発光スペクトルが、各材料の発光スペクトルよりも長波長シフトする(または長波長側に新たなピークを持つ)現象を観測することにより確認することができる。または、正孔輸送性材料の過渡フォトルミネッセンス(PL)、電子輸送性材料の過渡PL、及びこれら材料を混合した混合膜の過渡PLを比較し、混合膜の過渡PL寿命が、各材料の過渡PL寿命よりも長寿命成分を有する、または遅延成分の割合が大きくなるなどの過渡応答の違いを観測することにより、確認することができる。また、上述の過渡PLは過渡エレクトロルミネッセンス(EL)と読み替えても構わない。すなわち、正孔輸送性材料の過渡EL、電子輸送性材料の過渡EL、及びこれらの混合膜の過渡ELを比較し、過渡応答の違いを観測することによっても、励起錯体の形成を確認することができる。
 正孔注入層31は、第1の電極11から正孔輸送層21に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、芳香族アミン化合物、または正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料を用いることができる。
 電子注入層35は、第2の電極13から電子輸送層25に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
 なお、受発光デバイス10Aが有する層は、受発光デバイス10Aが、受光デバイスとして機能する場合と、発光デバイスとして機能する場合とで、機能が異なることがある。本明細書中では、受発光デバイス10Aが発光デバイスとして機能する場合における機能に基づいて構成要素を呼称する場合がある。例えば、正孔注入層は、受発光デバイスが発光デバイスとして機能する際には、正孔注入層として機能し、受発光デバイスが受光デバイスとして機能する際には、正孔輸送層として機能する。同様に、電子注入層は、受発光デバイスが発光デバイスとして機能する際には、電子注入層として機能し、受発光デバイスが受光デバイスとして機能する際には、電子輸送層として機能する。また、受発光デバイスが有する層は、受発光デバイスが、受光デバイスとして機能する場合と、発光デバイスとして機能する場合と、で、機能が同一であることもある。正孔輸送層は、発光デバイス及び受光デバイスのいずれとして機能する場合においても、正孔輸送層として機能し、電子輸送層は、発光デバイス及び受光デバイスのいずれとして機能する場合においても、電子輸送層として機能する。
 例えば、受発光デバイス10Aが受光デバイスとして機能する場合、正孔注入層31は正孔輸送層として機能し、発光デバイスとして機能する場合、正孔注入層31は正孔注入層として機能する。受発光デバイス10Aが受光デバイスとして機能する場合、電子注入層35は電子輸送層として機能し、発光デバイスとして機能する場合、電子注入層35は電子注入層として機能する。
 なお、図1D等に示した受光デバイス10において、層21aは、正孔注入層31に用いることができる材料を用いることができる。また、層25bは、電子注入層35に用いることができる材料を用いることができる。
 受発光デバイス10Aは、図2Bに示すように、第1の電極11上に、正孔注入層31、正孔輸送層21、発光層39、活性層23、電子輸送層25、電子注入層35がこの順で積層された構造としてもよい。
 活性層23は、図2C及び図2Dに示すように、第1の層23aと、第2の層23bとの積層構造としてもよい。第1の層23a及び第2の層23bについては、前述の記載を参照できるため、詳細な記載は省略する。
 活性層23が、一般式(G1)で表される有機化合物と、一般式(G2−1)、一般式(G2−2)、または一般式(G2−3)で表される有機化合物と、を有することで、正孔輸送層21の材料及び厚さ、並びに、電子輸送層25の材料及び厚さの影響を受けにくくなり、受発光デバイスの駆動電圧を低くすることができる。また、信頼性の高い受発光デバイスを実現することができる。これにより、受発光デバイスに用いる材料の選択の幅を広げることができ、デバイス設計の自由度を高めることができる。
 本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態2)
 本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置について、説明する。
 本発明の一態様の表示装置は、受光デバイスと、発光デバイス(発光素子ともいう)とを、有する。本発明の一態様の表示装置に、実施の形態1に示した受光デバイスまたは受発光デバイスの一方または双方を好適に用いることができる。
 本発明の一態様の表示装置は、受光デバイスを用いて、光を検出する機能を有する。受光デバイスは、イメージセンサに用いることができる。例えば、当該表示装置は、受光デバイスを用いて、画像を撮像することができる。例えば、本実施の形態に示す表示装置は、スキャナとして用いることができる。
 例えば、イメージセンサを用いて、指紋、掌紋などの生体情報に係るデータを取得することができる。つまり、本発明の一態様である表示装置に、生体認証用センサを内蔵させることができる。表示装置が生体認証用センサを内蔵することで、表示装置とは別に生体認証用センサを設ける場合に比べて、電子機器の部品点数を少なくでき、小型、かつ軽量の電子機器を実現できる。
 受光デバイスは、例えば、タッチセンサに用いることができる。本実施の形態に示す表示装置は、受光デバイスを用いて、対象物のタッチ操作を検出することができる。
 発光デバイスは、OLED(Organic Light Emitting Diode)、またはQLED(Quantum−dot Light Emitting Diode)などのEL素子(ELデバイスともいう)を用いることが好ましい。EL素子が有する発光物質として、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、無機化合物(量子ドット材料など)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(TADF)材料)などが挙げられる。また、発光デバイスとして、マイクロLED(Light Emitting Diode)などのLEDを用いることもできる。
 本発明の一態様では、発光デバイスとして有機EL素子(有機ELデバイスともいう)を用い、受光デバイスとして有機フォトダイオードを好適に用いることができる。有機EL素子及び有機フォトダイオードは、同一基板上に形成することができる。したがって、有機EL素子を用いた表示装置に、有機フォトダイオードを内蔵することができる。
 有機EL素子及び有機フォトダイオードを構成する全ての層を作り分けようとすると、成膜工程が非常に多くなる。有機フォトダイオードは、有機EL素子と共通の構成にできる層が多いため、共通の構成にできる層は一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
 例えば、一対の電極のうち一方(共通電極)を、受光デバイス及び発光デバイスで共通の層とすることができる。また、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受光デバイス及び発光デバイスで共通の層とすることが好ましい。また、例えば、受光デバイスが活性層を有し、発光デバイスが発光層を有する以外は、受光デバイスと発光デバイスとで同一の構成にすることもできる。つまり、発光デバイスの発光層を、活性層に置き換えるのみで、受光デバイスを作製することもできる。このように、受光デバイス及び発光デバイスが共通の層を有することで、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。また、表示装置の既存の製造装置及び製造方法を用いて、受光デバイスを有する表示装置を作製することができる。
 なお、受光デバイスと発光デバイスが共通で有する層は、発光デバイスにおける機能と受光デバイスにおける機能とが異なる場合がある。本明細書中では、発光デバイスにおける機能に基づいて構成要素を呼称する場合がある。例えば、正孔注入層は、発光デバイスにおいて正孔注入層として機能し、受光デバイスにおいて正孔輸送層として機能する。同様に、電子注入層は、発光デバイスにおいて電子注入層として機能し、受光デバイスにおいて電子輸送層として機能する。また、受光デバイスと発光デバイスが共通で有する層は、発光デバイスにおける機能と受光デバイスにおける機能とが同一である場合もある。正孔輸送層は、発光デバイス及び受光デバイスのいずれにおいても、正孔輸送層として機能し、電子輸送層は、発光デバイス及び受光デバイスのいずれにおいても、電子輸送層として機能する。
 次に、受発光デバイスと発光デバイスとを有する表示装置について、説明する。
 本発明の一態様の表示装置において、いずれかの色を呈する副画素は、発光デバイスの代わりとして、受発光デバイスを有し、その他の色を呈する副画素は、発光デバイスを有する。受発光デバイスは、光を発する機能(発光機能)と、受光する機能(受光機能)と、の双方を有する。例えば、画素が、赤色の副画素、緑色の副画素、青色の副画素の3つの副画素を有する場合、少なくとも1つの副画素が受発光デバイスを有し、他の副画素は発光デバイスを有する構成とする。したがって、本発明の一態様の表示装置の表示部は、受発光デバイスと発光デバイスとの双方を用いて画像を表示する機能を有する。
 受発光デバイスが、発光デバイスと受光デバイスとを兼ねることで、画素に含まれる副画素の数を増やさずに、画素に受光機能を付与することができる。これにより、画素の開口率(各副画素の開口率)、及び、表示装置の精細度を維持したまま、表示装置の表示部に、撮像機能及びセンシング機能の一方または双方を付加することができる。したがって、本発明の一態様の表示装置は、発光デバイスを有する副画素とは別に、受光デバイスを有する副画素を設ける場合に比べ、画素の開口率を高くでき、また、高精細化が容易である。
 本発明の一態様の表示装置は、表示部に、受発光デバイスと発光デバイスがマトリクス状に配置されており、当該表示部で画像を表示することができる。また、表示部は、イメージセンサ、またはタッチセンサに用いることができる。本発明の一態様の表示装置は、発光デバイスをセンサの光源として利用することができる。したがって、表示装置と別に受光部及び光源を設けなくてよく、電子機器の部品点数を削減することができる。
 本発明の一態様の表示装置では、表示部が有する発光デバイスが発した光を対象物が反射(または散乱)した際、受発光デバイスがその反射光(または散乱光)を検出できるため、暗い場所でも、撮像またはタッチ操作の検出が可能である。
 受発光デバイスは、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製することができる。例えば、有機EL素子の積層構造に、有機フォトダイオードの活性層を追加することで、受発光デバイスを作製することができる。さらに、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製する受発光デバイスは、有機EL素子と共通の構成にできる層を一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
 例えば、一対の電極のうち一方(共通電極)を、受発光デバイス及び発光デバイスで共通の層とすることができる。また、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受発光デバイス及び発光デバイスで共通の層とすることが好ましい。また、例えば、受光デバイスの活性層の有無以外は、受発光デバイスと発光デバイスとで同一の構成にすることもできる。つまり、発光デバイスに、受光デバイスの活性層を加えるのみで、受発光デバイスを作製することもできる。このように、受発光デバイス及び発光デバイスが共通の層を有することで、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。また、表示装置の既存の製造装置及び製造方法を用いて、受発光デバイスを有する表示装置を作製することができる。
 本実施の形態の表示装置は、発光デバイス及び受発光デバイスを用いて、画像を表示する機能を有する。つまり、発光デバイス及び受発光デバイスは、表示素子として機能する。
 本実施の形態の表示装置は、受発光デバイスを用いて、光を検出する機能を有する。受発光デバイスは、受発光デバイス自身が発する光よりも短波長の光を検出することができる。
 受発光デバイスをイメージセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光デバイスを用いて、画像を撮像することができる。例えば、本実施の形態の表示装置は、スキャナとして用いることができる。
 受発光デバイスをタッチセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光デバイスを用いて、対象物のタッチ操作を検出することができる。
 受発光デバイスは、受発光デバイスに入射する光を検出し電荷を発生させる光電変換素子として機能する。受発光デバイスに入射する光量に基づき、受発光デバイスから発生する電荷量が決まる。
 受発光デバイスは、上記発光デバイスの構成に、受光デバイスの活性層を追加することで作製することができる。
 受発光デバイスには、例えば、pn型またはpin型のフォトダイオードの活性層を用いることができる。
 特に、受発光デバイスには、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードの活性層を用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、有機フォトダイオードを有する受発光デバイスは様々な装置に適用できる。
 本発明の一態様の表示装置の構成について、説明する。
 本発明の一態様の表示装置は、発光デバイスが形成されている基板とは反対方向に光を射出するトップエミッション型、発光デバイスが形成されている基板側に光を射出するボトムエミッション型、両面に光を射出するデュアルエミッション型のいずれであってもよい。
 本実施の形態では、トップエミッション型の表示装置を例に挙げて説明する。
<表示装置の構成例1>
 本発明の一態様である表示装置の構成例を、図3Aに示す。図3Aは、表示装置280Aの構成例を示す断面図である。図3Aに示す表示装置280Aは、受光デバイス270PD、赤色(R)の光を発する発光デバイス270R、緑色(G)の光を発する発光デバイス270G、及び、青色(B)の光を発する発光デバイス270Bを有する。
 受光デバイス270PDは、表示装置280Aの外部から入射される光を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。
 受光デバイス270PDは、第1の電極271、正孔注入層281、正孔輸送層282、活性層273、電子輸送層284、電子注入層285、及び第2の電極275をこの順で積層して有する。
 受光デバイス270PDは、実施の形態1に示した受光デバイス10の構成を適用することができる。なお、受光デバイス270PDにおいて、第1の電極271は、実施の形態1に示した受光デバイス10の第1の電極11に相当する。正孔注入層281は、層21aに相当する。正孔輸送層282は、層21bに相当する。活性層273は、活性層23に相当する。電子輸送層284は、層25aに相当する。電子注入層285は、層25bに相当する。第2の電極275は、第2の電極13に相当する。
 発光デバイス270は、第1の電極271と第2の電極275との間に電圧を印加することで、第2の電極275側に光を射出する電界発光デバイスである。
 各発光デバイス270は、第1の電極271、正孔注入層281、正孔輸送層282、発光層、電子輸送層284、電子注入層285、及び第2の電極275をこの順で積層して有する。発光デバイス270Rは、発光層283Rを有し、発光デバイス270Gは、発光層283Gを有し、発光デバイス270Bは、発光層283Bを有する。発光層283Rは、赤色の光を発する発光物質を有し、発光層283Gは、緑色の光を発する発光物質を有し、発光層283Bは、青色の光を発する発光物質を有する。例えば、第1の電極271は画素電極として機能し、第2の電極275は共通電極として機能する。
 なお、本明細書等において、特に説明のない限り、要素(発光デバイス、発光層など)を複数有する構成を説明する場合であっても、各々の要素に共通する事項を説明する場合には、アルファベットを省略して説明する。例えば、発光デバイス270R及び発光デバイス270G等に共通する事項を説明する場合に、発光デバイス270と記す場合がある。発光層283R及び発光層283G等に共通する事項を説明する場合に、発光層283と記す場合がある。
 本実施の形態では、発光デバイス270及び受光デバイス270PDのいずれにおいても、第1の電極271が陽極として機能し、第2の電極275が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受光デバイス270PDは、第1の電極271と第2の電極275との間に逆バイアスをかけて駆動することで、受光デバイス270PDに入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
 本実施の形態の表示装置では、受光デバイス270PDの活性層273に有機化合物を用いる。受光デバイス270PDは、活性層273以外の層を、発光デバイス270と共通の構成にすることができる。そのため、発光デバイス270の作製工程に、活性層273を成膜する工程を追加するのみで、発光デバイス270の形成と並行して受光デバイス270PDを形成することができる。また、発光デバイス270と受光デバイス270PDとを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光デバイス270PDを内蔵することができる。
 活性層273が有する半導体として、特に、有機半導体を用いることが好ましい。有機半導体を用いることで、発光層283と、活性層273と、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、共通の製造装置を用いることができる。
 表示装置280Aでは、受光デバイス270PDの活性層273と、発光デバイス270の発光層283と、を作り分ける以外は、受光デバイス270PDと発光デバイス270が共通の構成である例を示す。ただし、受光デバイス270PDと発光デバイス270の構成はこれに限定されない。受光デバイス270PDと発光デバイス270は、活性層273と発光層283のほかにも、互いに作り分ける層を有していてもよい。受光デバイス270PDと発光デバイス270は、共通で用いられる層(共通層)を1層以上有することが好ましい。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光デバイス270PDを内蔵することができる。
 表示装置280Aが有する発光デバイス270には、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光デバイス270が有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極(半透過・半反射電極)を有することが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極(反射電極)を有することが好ましい。発光デバイスがマイクロキャビティ構造を有することで、発光層から得られる発光を両電極間で共振させ、発光デバイスから射出される光を強めることができる。
 なお、半透過・半反射電極は、反射電極と可視光に対する透過性を有する電極(透明電極ともいう)との積層構造とすることができる。
 透明電極の光の透過率は、40%以上とする。例えば、発光デバイスには、可視光(波長400nm以上750nm未満の光)の透過率が40%以上である電極を用いることが好ましい。半透過・半反射電極の可視光の反射率は、10%以上95%以下、好ましくは30%以上80%以下とする。反射電極の可視光の反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、1×10−2Ωcm以下が好ましい。なお、発光デバイスが近赤外光(波長750nm以上1300nm以下の光)を発する場合、これらの電極の近赤外光の透過率または反射率は、可視光の透過率または反射率と同様に、上記の数値範囲を満たすことが好ましい。
 発光デバイス270は少なくとも発光層283を有する。発光デバイス270は、発光層283以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。
 例えば、発光デバイス270及び受光デバイス270PDは、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層のうち1層以上を共通の構成とすることができる。また、発光デバイス270及び受光デバイス270PDは、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層のうち1層以上を互いに作り分けることができる。
 正孔注入層は、陽極から正孔輸送層に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料として、芳香族アミン化合物、または正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料を用いることができる。
 発光デバイス270において、正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。
 正孔輸送層282の膜厚は、5nm以上500nm以下が好ましく、さらには10nm以上400nm以下が好ましく、さらには10nm以上300nm以下が好ましく、さらには10nm以上200nm以下が好ましい。
 受光デバイスにおいて、正孔輸送層282の膜厚を厚くすると、受光デバイス270PDの駆動電圧が高くなり、消費電力が大きくなってしまう場合がある。また、受光デバイス270PDの消費電力が大きくなることにともない、表示装置280Aの消費電力が大きくなってしまう場合がある。本発明の一態様である受光デバイス270PDは、正孔輸送層282の膜厚を厚くしても駆動電圧が高くなることを抑制できる。したがって、消費電力の小さい受光デバイスとすることができる。さらに、正孔輸送層282の膜厚を前述の範囲とすることで、良好な特性を有し、かつ低い消費電力の受光デバイスとすることができる。したがって、良好な特性を有し、かつ低い消費電力の表示装置とすることができる。
 例えば、正孔輸送層282の膜厚を用いて、マイクロキャビティ構造の光路長(キャビティ長)を調整することができる。本発明の一態様である受光デバイスは、正孔輸送層282の膜厚を厚くしても駆動電圧が高くなることを抑制できるため、光路長(キャビティ長)を調整と、消費電力の低さを両立させることができる。
 発光デバイス270において、電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。
 電子輸送層284の膜厚は、5nm以上500nm以下が好ましく、さらには10nm以上400nm以下が好ましく、さらには10nm以上300nm以下が好ましく、さらには20nm以上300nm以下が好ましい。
 受光デバイスにおいて、電子輸送層284の膜厚を厚くすると、受光デバイス270PDの駆動電圧が高くなり、消費電力が大きくなってしまう場合がある。また、受光デバイス270PDの消費電力が大きくなることにともない、表示装置280Aの消費電力が大きくなってしまう場合がある。本発明の一態様である受光デバイス270PDは、電子輸送層284の膜厚を厚くしても駆動電圧が高くなることを抑制できる。したがって、消費電力の小さい受光デバイスとすることができる。さらに、電子輸送層284の膜厚を前述の範囲とすることで、良好な特性を有し、かつ低い消費電力の受光デバイスとすることができる。したがって、良好な特性を有し、かつ低い消費電力の表示装置とすることができる。
 電子注入層は、陰極から電子輸送層に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料として、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料として、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
<表示装置の構成例2>
 図3Aに示した表示装置280Aと異なる構成を、図3Bに示す。図3Bに示す表示装置280Bは、電子輸送層284が、第1の電子輸送層284aと、第2の電子輸送層284bとの積層構造を有する点で、表示装置280Aと主に異なる。第1の電子輸送層284aは活性層273側に位置し、第2の電子輸送層284bは電子注入層285側に位置する。
 なお、図3Bでは、電子輸送層284が、第1の電子輸送層284aと、第2の電子輸送層284bとの2層構造である例を示したが、本発明の一態様はこれに限られない。電子輸送層284が3層以上の積層構造を有してもよく、また、第1の電子輸送層284aと第2の電子輸送層284bがそれぞれ、積層構造を有してもよい。
<表示装置の構成例3>
 図3Aに示した表示装置280Aと異なる構成を、図4Aに示す。図4Aに示す表示装置280Cは、受光デバイス270PDと発光デバイス270Rが同一の構成である点で、表示装置280Aと主に異なる。
 受光デバイス270PDと発光デバイス270Rは、活性層273と発光層283Rを共通して有する。
 ここで、受光デバイス270PDは、検出したい光よりも長波長の光を発する発光デバイスと共通の構成にすることが好ましい。例えば、青色の光を検出する構成の受光デバイス270PDは、発光デバイス270R及び発光デバイス270Gの一方または双方と同様の構成にすることができる。例えば、緑色の光を検出する構成の受光デバイス270PDは、発光デバイス270Rと同様の構成にすることができる。
 受光デバイス270PDと、発光デバイス270Rと、を共通の構成にすることで、受光デバイス270PDと、発光デバイス270Rと、が互いに作り分ける層を有する構成に比べて、成膜工程の数及びマスクの数を削減することができる。したがって、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。
 受光デバイス270PD及び発光デバイス270Rのいずれか一以上に、実施の形態1に示した受発光デバイス10Aの構成を適用することができる。受光デバイス270PD及び発光デバイス270Rの双方に、受発光デバイス10Aの構成を適用してもよい。
 受光デバイス270PDと、発光デバイス270Rと、を共通の構成にすることで、受光デバイス270PDと、発光デバイス270Rと、が互いに作り分ける層を有する構成に比べて、位置ずれに対するマージンを狭くできる。これにより、画素の開口率を高めることができ、表示装置の光取り出し効率を高めることができる。これにより、発光デバイスの寿命を延ばすことができる。また、表示装置は、高い輝度を表現することができる。また、本発明の一態様である表示装置を適用することで、高精細度の表示装置を実現することができる。
 発光層283Rは、赤色の光を発する発光材料を有する。活性層273は、赤色よりも短波長の光(例えば、緑色の光及び青色の光の一方または双方)を吸収する有機化合物を有する。活性層273は、赤色の光を吸収しにくく、かつ、赤色よりも短波長の光を吸収する有機化合物を有することが好ましい。これにより、発光デバイス270Rからは赤色の光が効率よく取り出され、受光デバイス270PDは、高い精度で赤色よりも短波長の光を検出することができる。
 表示装置280Cでは、発光デバイス270R及び受光デバイス270PDが同一の構成である例を示すが、発光デバイス270R及び受光デバイス270PDは、それぞれ異なる厚さの光学調整層を有していてもよい。
<表示装置の構成例4>
 図4Aに示した表示装置280Cと異なる構成を、図4Bに示す。図4Bに示す表示装置280Dは、電子輸送層284が、第1の電子輸送層284aと、第2の電子輸送層284bとの積層構造を有する点で、表示装置280Aと主に異なる。
 第1の電子輸送層284a、及び第2の電子輸送層284bについては、前述の記載を参照できるため、詳細な説明は省略する。
<表示装置の構成例5>
 図4Aに示した表示装置280C、及び図4Bに示した表示装置280Dは、第1の電極281側に活性層273を設け、第2の電極275側に発光層283Rを設ける例を示したが、本発明の一態様はこれに限られない。表示装置280Cと異なる構成を、図5Aに示す。表示装置280Dと異なる構成を、図5Bに示す。表示装置280E及び表示装置280Fは、活性層273と発光層283Rの構成が異なる点で、表示装置280C及び表示装置280Dと主に異なる。
 表示装置280E及び表示装置280Fは、第1の電極281側に発光層283Rを有し、第2の電極275側に活性層273を有する。
<表示装置の構成例6>
 図3Aに示した表示装置280Aと異なる構成を、図6A及び図6Bに示す。図6A、図6Bに示す表示装置280Gは、赤色(R)の光を発し、かつ、受光機能を有する受発光デバイス270RPD、緑色(G)の光を発する発光デバイス270G、及び、青色(B)の光を発する発光デバイス270Bを有する。
 各発光デバイスは、第1の電極271、正孔注入層281、正孔輸送層282、発光層、電子輸送層284、電子注入層285、及び第2の電極275をこの順で積層して有する。発光デバイス270Gは、発光層283Gを有し、発光デバイス270Bは、発光層283Bを有する。発光層283Gは、緑色の光を発する発光物質を有し、発光層283Bは、青色の光を発する発光物質を有する。
 受発光デバイス270RPDは、第1の電極271、正孔注入層281、正孔輸送層282、活性層273、発光層283R、電子輸送層284、電子注入層285、及び第2の電極275をこの順で積層して有する。
 なお、表示装置280Gが有する受発光デバイス270RPDは、表示装置280Cが有する発光デバイス270R及び受光デバイス270PDと同一の構成である。また、表示装置280Gが有する発光デバイス270G、270Bについても、表示装置280Cが有する発光デバイス270G、270Bと同一の構成である。
 図6Aでは、受発光デバイス270RPDが発光デバイスとして機能する場合を示す。図6Aでは、発光デバイス270Bが青色の光を発し、発光デバイス270Gが緑色の光を発し、受発光デバイス270RPDが赤色の光を発している例を示す。
 図6Bでは、受発光デバイス270RPDが受光デバイスとして機能する場合を示す。図6Bでは、発光デバイス270Bが発する青色の光と、発光デバイス270Gが発する緑色の光と、を、受発光デバイス270RPDが検出している例を示す。
 発光デバイス270B、発光デバイス270G、及び受発光デバイス270RPDは、それぞれ、第1の電極271及び第2の電極275を有する。本実施の形態では、第1の電極271が陽極として機能し、第2の電極275が陰極として機能する場合を例に挙げて説明する。
 本実施の形態では、発光デバイスと同様に、受発光デバイス270RPDにおいても、第1の電極271が陽極として機能し、第2の電極275が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受発光デバイス270RPDは、第1の電極271と第2の電極275との間に逆バイアスをかけて駆動することで、受発光デバイス270RPDに入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
 なお、図6A、図6Bに示す受発光デバイス270RPDは、発光デバイスに、活性層273を追加した構成ということができる。つまり、発光デバイスの作製工程に、活性層273を成膜する工程を追加するのみで、発光デバイスの形成と並行して受発光デバイス270RPDを形成することができる。また、発光デバイスと受発光デバイスとを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示部に撮像機能及びセンシング機能の一方または双方を付与することができる。
 なお、発光層283Rと活性層273との積層順は限定されない。図6A、図6Bでは、正孔輸送層282上に活性層273が設けられ、活性層273上に発光層283Rが設けられている例を示す。正孔輸送層282上に発光層283Rが設けられ、発光層283R上に活性層273が設けられていてもよい。
 図6A、図6Bに示すように、活性層273と発光層283Rとは、互いに接していてもよい。また、活性層273と発光層283Rとの間にバッファ層が挟まれていてもよい。バッファ層は、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層、正孔ブロック層、及び電子ブロック層等のうち少なくとも1層を用いることができる。
 活性層273と発光層283Rとの間にバッファ層を設けることで、発光層283Rから活性層273に励起エネルギーが移動することを抑制できる。また、バッファ層を用いて、マイクロキャビティ構造の光路長(キャビティ長)を調整することもできる。したがって、活性層273と発光層283Rとの間にバッファ層を有する受発光デバイスからは、高い発光効率を得ることができる。
 受発光デバイスは、正孔注入層281、正孔輸送層282、電子輸送層284、及び電子注入層285のうち少なくとも1層を有していなくてもよい。また、受発光デバイスは、正孔ブロック層、電子ブロック層など、他の機能層を有していてもよい。
 受発光デバイスは、活性層273及び発光層283Rを有さず、発光層と活性層を兼ねる層を有していてもよい。発光層と活性層を兼ねる層として、例えば、活性層273に用いることができるn型半導体と、活性層273に用いることができるp型半導体と、発光層283Rに用いることができる発光物質と、の3つの材料を含む層を用いることができる。
 なお、n型半導体とp型半導体との混合材料の吸収スペクトルの最も低エネルギー側の吸収帯と、発光物質の発光スペクトル(PLスペクトル)の最大ピークと、は互いに重ならないことが好ましく、十分に離れていることがより好ましい。
 受発光デバイスにおいて、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
 受発光デバイスを構成する各層の機能及び材料は、発光デバイス及び受光デバイスを構成する各層の機能及び材料と同様であるため、詳細な説明は省略する。
<表示装置の構成例7>
 図6A及び図6Bに示した表示装置280Gと異なる構成を、図6C及び図6Dに示す。
 図6C及び図6Dに示す表示装置280Hは、は、第1の電極281側に発光層283Rを有し、第2の電極275側に活性層273を有する。
 本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
 本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置の詳細について、説明する。
 本発明の一態様の表示装置は、表示部に、受光デバイス及び発光デバイスを有する。本発明の一態様の表示装置に、実施の形態1に示した受光デバイスを好適に用いることができる。本発明の一態様の表示装置は、表示部に受光デバイスと、発光デバイスとを、有し、発光デバイスを用いて画像を表示する機能を有し、さらに、撮像機能及びセンシング機能の一方または双方も有する。
 または、本発明の一態様の表示装置は、受発光デバイス(受発光デバイスともいう)と発光デバイスとを有する。
 まず、受光デバイスと発光デバイスとを有する表示装置について、説明する。
 本発明の一態様の表示装置は、表示部に、複数の画素がマトリクス状に配置される。また、画素は、発光デバイス及び受光デバイスを有する。つまり、本発明の一態様である表示装置は、表示部に、発光デバイスがマトリクス状に配置されており、当該表示部で画像を表示することができる。また、当該表示部には、受光デバイスがマトリクス状に配置されており、表示部は、撮像機能及びセンシング機能の一方または双方も有する。表示部は、イメージセンサ及びタッチセンサの一方または双方に用いることができる。つまり、表示部で光を検出することで、画像を撮像すること、または対象物(指、またはペンなど)のタッチ操作を検出することができる。さらに、本発明の一態様の表示装置は、発光デバイスをセンサの光源として利用することができる。したがって、表示装置と別に受光部及び光源を設ける必要がなく、電子機器の部品点数を削減することができる。
 本発明の一態様の表示装置では、表示部が有する発光デバイスが発した光を対象物が反射(または散乱)した際、受光デバイスがその反射光(または散乱光)を検出できるため、暗い場所でも、撮像またはタッチ操作の検出が可能である。
 本発明の一態様の表示装置は、発光デバイスを用いて、画像を表示する機能を有する。つまり、発光デバイスは、表示デバイス(表示素子ともいう)として機能する。
 本発明の一態様では、発光デバイスとして有機EL素子(有機ELデバイスともいう)を用い、受光デバイスとして有機フォトダイオードを用いる。有機EL素子及び有機フォトダイオードは、同一基板上に形成することができる。したがって、有機EL素子を用いた表示装置に有機フォトダイオードを内蔵することができる。
 以下では、本発明の一態様の表示装置について、説明する。
<表示装置の構成例1>
 本発明の一態様の表示装置の断面図を、図7A乃至図7D、及び図7Fに示す。
 図7Aに示す表示装置200Aは、基板201と基板209との間に、受光デバイスを有する層203、機能層205、及び、発光デバイスを有する層207を有する。
 表示装置200Aは、発光デバイスを有する層207から、赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)の光が射出される構成である。
 受光デバイスを有する層203に含まれる受光デバイスは、表示装置200Aの外部から入射した光を検出することができる。
 図7Bに示す表示装置200Bは、基板201と基板209との間に、受発光デバイスを有する層204、機能層205、及び、発光デバイスを有する層207を有する。
 表示装置200Bは、発光デバイスを有する層207から、緑色(G)の光及び青色(B)の光が射出され、受発光デバイスを有する層204から赤色(R)の光が射出される構成である。なお、本発明の一態様の表示装置において、受発光デバイスを有する層204が発する光の色は、赤色に限定されない。また、発光デバイスを有する層207が発する光の色も、緑色と青色の組み合わせに限定されない。
 受発光デバイスを有する層204に含まれる受発光デバイスは、表示装置200Bの外部から入射した光を検出することができる。当該受発光デバイスは、例えば、緑色(G)の光及び青色(B)の光のうち一方または双方を検出することができる。
 機能層205は、受光デバイスまたは受発光デバイスを駆動する回路、及び、発光デバイスを駆動する回路を有する。機能層205には、スイッチ、トランジスタ、容量、抵抗、配線、端子などを設けることができる。なお、発光デバイス及び受光デバイスをパッシブマトリクス方式で駆動させる場合には、スイッチまたはトランジスタを設けない構成としてもよい。
 本発明の一態様の表示装置は、表示装置に触れている指などの対象物を検出する機能(タッチパネルとしての機能)を有していてもよい。例えば、図7Cに示すように、発光デバイスを有する層207において発光デバイスが発した光を、表示装置200Aに触れた指202が反射することで、受光デバイスを有する層203における受光デバイスがその反射光を検出する。これにより、表示装置200Aに指202が触れたことを検出することができる。また、表示装置200Bでは、発光デバイスを有する層207において発光デバイスが発した光を、表示装置200Bに触れた指が反射することで、受発光デバイスを有する層204における受発光デバイスがその反射光を検出することができる。なお、以下では、発光デバイスの発光が対象物により反射される場合を例に挙げて説明するが、光は対象物により散乱される場合もある。
 本発明の一態様の表示装置は、図7Dに示すように、表示装置に近接している(接触していない)対象物を検出または撮像する機能を有していてもよい。
 本発明の一態様の表示装置は、指202の指紋を検出する機能を有していてもよい。図7Eに、本発明の一態様の表示装置で撮像した画像のイメージ図を示す。図7Eには、撮像範囲263内に、指202の輪郭を破線で、接触部261の輪郭を一点鎖線で示している。接触部261内において、受光デバイス(または受発光デバイス)に入射する光量の違いによって、コントラストの高い指紋262の画像を撮像することができる。
 本発明の一態様の表示装置は、ペンタブレットとしても機能させることができる。図7Fには、スタイラス208の先端を基板209に触れた状態で、破線矢印の方向に滑らせている様子を示している。
 図7Fに示すように、スタイラス208の先端と、基板209の接触面で散乱される散乱光が、当該接触面と重なる部分に位置する受光デバイス(または受発光デバイス)に入射することで、スタイラス208の先端の位置を高精度に検出することができる。
 図7Gに、本発明の一態様の表示装置で検出したスタイラス208の軌跡266の例を示している。本発明の一態様の表示装置は、高い位置精度でスタイラス208等の被検出体の位置検出が可能であるため、描画アプリケーション等において、高精細な描画を行うことも可能である。また、静電容量式のタッチセンサ、または電磁誘導型のタッチペン等を用いた場合とは異なり、絶縁性の高い被検出体であっても位置検出が可能であるため、スタイラス208の先端部の材料は問われず、様々な筆記用具(例えば筆、ガラスペン、羽ペンなど)を用いることもできる。
 画素の配列について、説明する。
 本発明の一態様の表示装置は、マトリクス状に配置された複数の画素を有する。1つの画素は、複数の副画素を有する。1つの副画素は、1つの発光デバイス、1つの受発光デバイス、または1つの受光デバイスを有する。
 複数の画素は、それぞれ、発光デバイスを有する副画素、受光デバイスを有する副画素、及び、受発光デバイスを有する副画素のうち1つまたは複数を有する。
 例えば、画素は、発光デバイスを有する副画素を複数(例えば、3つまたは4つ)有し、受光デバイスを有する副画素を1つ有する。
 なお、受光デバイスは、全ての画素に設けられていてもよく、一部の画素に設けられていてもよい。また、1つの画素が複数の受光デバイスを有していてもよい。また、1つの受光デバイスが複数の画素にわたって設けられていてもよい。受光デバイスの精細度と発光デバイスの精細度は互いに異なっていてもよい。
 画素が発光デバイスを有する副画素を3つ有する場合、当該3つの副画素として、R、G、Bの3色の副画素、黄色(Y)、シアン(C)、及びマゼンタ(M)の3色の副画素などが挙げられる。画素が発光デバイスを有する副画素を4つ有する場合、当該4つの副画素として、R、G、B、白色(W)の4色の副画素、R、G、B、Yの4色の副画素などが挙げられる。
 図7H、図7I、図7J、図7Kに、発光デバイスを有する副画素を複数有し、受光デバイスを有する副画素を1つ有する画素の一例を示す。なお、本実施の形態で示す副画素の配列は図示した順序に限定されない。例えば、副画素(B)と副画素(G)の位置を逆にしても構わない。
 図7H、図7I、図7Jに示す画素は、いずれも、受光機能を有する副画素(PD)、赤色の光を呈する副画素(R)、緑色の光を呈する副画素(G)、及び、青色の光を呈する副画素(B)を有する。
 図7Hに示す画素には、マトリクス配列が適用されており、図7Iに示す画素には、ストライプ配列が適用されている。また、図7Jは、横1列に、赤色の光を呈する副画素(R)、緑色の光を呈する副画素(G)、及び、青色の光を呈する副画素(B)が配置され、その下に受光機能を有する副画素(PD)が配置されている例である。つまり、図7Jにおいて、副画素(R)、副画素(G)、及び副画素(B)は互いに同じ行に配置され、副画素(PD)とは異なる行に配置される。
 図7Kに示す画素は、図7Jに示す画素の構成に加えて、R、G、B以外の光を呈する副画素(X)を有する。R、G、B以外の光として、白色(W)、黄色(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、赤外光(IR)等の光が挙げられる。副画素Xが赤外光を呈する場合、受光機能を有する副画素(PD)は、赤外光を検出する機能を有することが好ましい。受光機能を有する副画素(PD)は、可視光及び赤外光の双方を検出する機能を有していてもよい。センサの用途に応じて、受光デバイスが検出する光の波長を決定することができる。
 または、例えば、画素は、発光デバイスを有する副画素を複数有し、受発光デバイスを有する副画素を1つ有する。
 受発光デバイスを有する表示装置は、画素に受光機能を組み込むために画素配列を変更する必要がないため、開口率及び精細度を低減させずに、表示部に撮像機能及びセンシング機能の一方または双方を付加することができる。
 なお、受発光デバイスは、全ての画素に設けられていてもよく、一部の画素に設けられていてもよい。また、1つの画素が複数の受発光デバイスを有していてもよい。
 図8A~図8Dに、発光デバイスを有する副画素を複数有し、受発光デバイスを有する副画素を1つ有する画素の一例を示す。
 図8Aに示す画素は、ストライプ配列が適用され、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)、緑色の光を呈する副画素(G)、及び、青色の光を呈する副画素(B)を有する。画素が、R、G、Bの3つの副画素からなる表示装置において、Rの副画素に用いる発光デバイスを、受発光デバイスに置き換えることで、画素に受光機能を有する表示装置を作製することができる。
 図8Bに示す画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)、緑色の光を呈する副画素(G)、及び、青色の光を呈する副画素(B)を有する。副画素(RPD)は、副画素(G)と副画素(B)とは異なる列に配置される。副画素(G)と副画素(B)とは、同じ列に交互に配置され、一方が奇数行に設けられ、他方が偶数行に設けられる。なお、他の色の副画素と異なる列に配置される副画素は、赤色(R)に限られず、緑色(G)または青色(B)であってもよい。
 図8Cに示す画素は、マトリクス配列が適用され、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)、緑色の光を呈する副画素(G)、青色の光を呈する副画素(B)、及び、R、G、B以外の光を呈する副画素(X)を有する。画素が、R、G、B、Xの4つの副画素からなる表示装置においても、Rの副画素に用いる発光デバイスを、受発光デバイスに置き換えることで、画素に受光機能を有する表示装置を作製することができる。
 図8Dには、2つの画素を示しており、点線で囲まれた3つの副画素により1つの画素が構成されている。図8Dに示す画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)、緑色の光を呈する副画素(G)、及び、青色の光を呈する副画素(B)を有する。図8Dに示す左の画素では、副画素(RPD)と同じ行に副画素(G)が配置され、副画素(RPD)と同じ列に副画素(B)が配置されている。図8Dに示す右の画素では、副画素(RPD)と同じ行に副画素(G)が配置され、副画素(G)と同じ列に副画素(B)が配置されている。図8Dに示す画素レイアウトでは、奇数行と偶数行のいずれにおいても、副画素(RPD)、副画素(G)、及び副画素(B)が繰り返し配置されており、かつ、各列において、奇数行と偶数行では互いに異なる色の副画素が配置される。
 図8Eには、ペンタイル配列が適用された4つの画素を示しており、隣接する2つの画素は組み合わせの異なる2色の光を呈する副画素を有する。なお、図8Eに示す副画素の形状は、当該副画素が有する発光デバイスまたは受発光デバイスの上面形状を示している。図8Fは、図8Eに示す画素配列の変形例である。
 図8Eに示す左上の画素と右下の画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)、及び、緑色の光を呈する副画素(G)を有する。図8Eに示す左下の画素と右上の画素は、緑色の光を呈する副画素(G)、及び、青色の光を呈する副画素(B)を有する。
 図8Fに示す左上の画素と右下の画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)、及び、緑色の光を呈する副画素(G)を有する。図8Fに示す左下の画素と右上の画素は、赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)、及び、青色の光を呈する副画素(B)を有する。
 図8Eでは、各画素に緑色の光を呈する副画素(G)が設けられている。一方、図8Fでは、各画素に赤色の光を呈し、かつ、受光機能を有する副画素(RPD)が設けられている。各画素に受光機能を有する副画素が設けられているため、図8Fに示す構成では、図8Eに示す構成に比べて、高い精細度で撮像を行うことができる。これにより、例えば、生体認証の精度を高めることができる。
 発光デバイス及び受発光デバイスの上面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形、角の丸い多角形等とすることができる。副画素(G)が有する発光デバイスの上面形状について、図8Eでは円形である例を示し、図8Fでは正方形である例を示している。各色の発光デバイス及び受発光デバイスの上面形状は、互いに異なっていてもよく、一部または全ての色で同じであってもよい。
 各色の副画素の開口率は、互いに異なっていてもよく、一部または全ての色で同じであってもよい。例えば、各画素に設けられる副画素(図8Eでは副画素(G)、図8Fでは副画素(RPD))の開口率を、他の色の副画素の開口率に比べて小さくしてもよい。
 図8Gは、図8Fに示す画素配列の変形例である。具体的には、図8Gの構成は、図8Fの構成を45°回転させることで得られる。図8Fでは、2つの副画素により1つの画素が構成されることとして説明したが、図8Gに示すように、4つの副画素により1つの画素が構成されていると捉えることもできる。
 図8Gでは、点線で囲まれた4つの副画素により1つの画素が構成されることとして説明を行う。1つの画素は、2つの副画素(RPD)と、1つの副画素(G)と、1つの副画素(B)と、を有する。このように、1つの画素が、受光機能を有する副画素を複数有することで、高い精細度で撮像を行うことができる。したがって、生体認証の精度を高めることができる。例えば、撮像の精細度を、表示の精細度のルート2倍とすることができる。
 図8Fまたは図8Gに示す構成が適用された表示装置は、p個(pは2以上の整数)の第1の発光デバイスと、q個(qは2以上の整数)の第2の発光デバイスと、r個(rはpより大きく、qより大きい整数)の受発光デバイスと、を有する。pとrはr=2pを満たす。また、p、q、rはr=p+qを満たす。第1の発光デバイスと第2の発光デバイスのうち一方が緑色の光を発し、他方が青色の光を発する。受発光デバイスは、赤色の光を発し、かつ、受光機能を有する。
 例えば、受発光デバイスを用いて、タッチ操作の検出を行う場合、光源からの発光がユーザーに視認されにくいことが好ましい。青色の光は、緑色の光よりも視認性が低いため、青色の光を発する発光デバイスを光源とすることが好ましい。したがって、受発光デバイスは、青色の光を受光する機能を有することが好ましい。
 以上のように、本実施の形態の表示装置には、様々な配列の画素を適用することができる。
 以下では、本発明の一態様の表示装置の詳細な構成について、図9及び図10を用いて、説明する。
<表示装置の構成例2>
[表示装置の構成例2−1]
 本発明の一態様である表示装置の構成例を、図9Aに示す。図9Aは、表示装置100Aの断面図である。
 表示装置100Aは、受光デバイス110及び発光デバイス190を有する。
 発光デバイス190は、画素電極191、バッファ層192、発光層193、バッファ層194、及び共通電極115をこの順で積層して有する。バッファ層192は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を有することができる。発光層193は、有機化合物を有する。バッファ層194は、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を有することができる。発光デバイス190は、可視光121を発する機能を有する。なお、表示装置100Aは、さらに、赤外光を発する機能を有する発光デバイスを有していてもよい。
 受光デバイス110は、画素電極191、バッファ層182、活性層183、バッファ層184、及び共通電極115をこの順で積層して有する。バッファ層182は、正孔輸送層を有することができる。活性層183は、有機化合物を有する。バッファ層184は、電子輸送層を有することができる。受光デバイス110は、可視光を検出する機能を有する。なお、受光デバイス110は、さらに、赤外光を検出する機能を有していてもよい。
 本実施の形態では、発光デバイス190及び受光デバイス110のいずれにおいても、画素電極191が陽極として機能し、共通電極115が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受光デバイス110を、画素電極191と共通電極115との間に逆バイアスをかけて駆動することで、表示装置100Aは、受光デバイス110に入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
 画素電極191、バッファ層182、バッファ層192、活性層183、発光層193、バッファ層184、バッファ層194、及び共通電極115は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
 画素電極191は、絶縁層214上に位置する。各画素電極191は、同一の材料及び同一の工程で形成することができる。画素電極191の端部は、隔壁216によって覆われている。互いに隣り合う2つの画素電極191は隔壁216によって互いに電気的に絶縁されている(電気的に分離されている、ともいう)。
 隔壁216は、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料として、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。隔壁216は、可視光を透過する層である。隔壁216のかわりに、可視光を遮る隔壁を設けてもよい。
 共通電極115は、受光デバイス110と発光デバイス190に共通で用いられる層である。
 受光デバイス110及び発光デバイス190が有する一対の電極の材料及び膜厚等は等しくすることができる。これにより、表示装置の作製コストの削減及び作製工程の簡略化ができる。
 表示装置100Aは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受光デバイス110、発光デバイス190、トランジスタ131、及びトランジスタ132等を有する。
 受光デバイス110において、それぞれ画素電極191及び共通電極115の間に位置するバッファ層182、活性層183、及びバッファ層184は、有機層(有機化合物を含む層)ということもできる。画素電極191は可視光を反射する機能を有することが好ましい。共通電極115は可視光を透過する機能を有する。なお、受光デバイス110が赤外光を検出する構成である場合、共通電極115は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極191は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
 受光デバイス110は、光を検出する機能を有する。具体的には、受光デバイス110は、表示装置100Aの外部から入射される光122を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。光122は、発光デバイス190の発光を対象物が反射した光ということもできる。また、光122は、表示装置100Aに設けられたレンズなどを介して受光デバイス110に入射してもよい。
 発光デバイス190において、それぞれ画素電極191及び共通電極115の間に位置するバッファ層192、発光層193、及びバッファ層194は、まとめてEL層ということもできる。なお、EL層は、少なくとも発光層193を有する。上述の通り、画素電極191は可視光を反射する機能を有することが好ましい。また、共通電極115は可視光を透過する機能を有する。なお、表示装置100Aが、赤外光を発する発光デバイスを有する構成である場合、共通電極115は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極191は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
 本実施の形態の表示装置が有する発光デバイスには、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。
 バッファ層192またはバッファ層194は、光学調整層としての機能を有していてもよい。バッファ層192またはバッファ層194の膜厚を異ならせることで、各発光デバイスにおいて、特定の色の光を強めて取り出すことができる。
 発光デバイス190は、可視光を発する機能を有する。具体的には、発光デバイス190は、画素電極191と共通電極115との間に電圧を印加することで、基板152側に光を射出する電界発光デバイスである(可視光121参照)。
 受光デバイス110が有する画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ131が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
 発光デバイス190が有する画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ132が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
 トランジスタ131とトランジスタ132とは、同一の層(図9Aでは基板151)上に接している。
 受光デバイス110と電気的に接続される回路の少なくとも一部は、発光デバイス190と電気的に接続される回路と同一の材料及び同一の工程で形成されることが好ましい。これにより、2つの回路を別々に形成する場合に比べて、表示装置の厚さを薄くすることができ、また、作製工程を簡略化できる。
 受光デバイス110及び発光デバイス190は、それぞれ、保護層116に覆われていることが好ましい。図9Aでは、保護層116が、共通電極115上に接して設けられている。保護層116を設けることで、受光デバイス110及び発光デバイス190に水などの不純物が入り込むことを抑制し、受光デバイス110及び発光デバイス190の信頼性を高めることができる。また、接着層142によって、保護層116と基板152とが貼り合わされている。
 基板152の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。遮光層158は、発光デバイス190と重なる位置、及び、受光デバイス110と重なる位置に開口を有する。
 ここで、発光デバイス190の発光が対象物によって反射された光を受光デバイス110は検出する。しかし、発光デバイス190の発光が、表示装置100A内で反射され、対象物を介さずに、受光デバイス110に入射されてしまう場合がある。遮光層158は、このような迷光の影響を抑制することができる。例えば、遮光層158が設けられていない場合、発光デバイス190が発した光123は、基板152で反射され、反射光124が受光デバイス110に入射することがある。遮光層158を設けることで、反射光124が受光デバイス110に入射することを抑制できる。これにより、ノイズを低減し、受光デバイス110を用いたセンサの感度を高めることができる。
 遮光層158は、発光デバイスからの発光を遮る材料を用いることができる。遮光層158は、可視光を吸収することが好ましい。遮光層158として、例えば、金属材料、又は、顔料(カーボンブラックなど)もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。遮光層158は、赤色のカラーフィルタ、緑色のカラーフィルタ、及び青色のカラーフィルタの積層構造であってもよい。
[表示装置の構成例2−2]
 図9B、図9Cに表示装置100Bの断面図を示す。なお、以降の表示装置の説明において、先に説明した表示装置と同様の構成については、説明を省略することがある。
 表示装置100Bは、発光デバイス190B、発光デバイス190G、及び受発光デバイス190RPDを有する。
 発光デバイス190Bは、画素電極191、バッファ層192B、発光層193B、バッファ層194B、及び共通電極115をこの順で積層して有する。発光デバイス190Bは、青色の光121Bを発する機能を有する。
 発光デバイス190Gは、画素電極191、バッファ層192G、発光層193G、バッファ層194G、及び共通電極115をこの順で積層して有する。発光デバイス190Gは、緑色の光121Gを発する機能を有する。
 受発光デバイス190RPDは、画素電極191、バッファ層192R、活性層183、発光層193R、バッファ層194R、及び共通電極115をこの順で積層して有する。受発光デバイス190RPDは、赤色の光121Rを発する機能と、光122を検出する機能と、を有する。
 図9Bでは、受発光デバイス190RPDが発光デバイスとして機能する場合を示す。図9Bでは、発光デバイス190Bが青色の光を発し、発光デバイス190Gが緑色の光を発し、受発光デバイス190RPDが赤色の光を発している例を示す。
 図9Cでは、受発光デバイス190RPDが受光デバイスとして機能する場合を示す。図9Cでは、発光デバイス190Bが発する青色の光と、発光デバイス190Gが発する緑色の光と、を、受発光デバイス190RPDが検出している例を示す。
 表示装置100Bは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受発光デバイス190RPD、発光デバイス190G、発光デバイス190B、及びトランジスタ132等を有する。
 画素電極191は、絶縁層214上に位置する。互いに隣り合う2つの画素電極191は隔壁216によって互いに電気的に絶縁されている。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ132が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
 受発光デバイス及び発光デバイスは、それぞれ、保護層116に覆われていることが好ましい。また、接着層142によって、保護層116と基板152とが貼り合わされている。基板152の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。
[表示装置の構成例2−3]
 図10Aに表示装置100Cの断面図を示す。
 表示装置100Cは、受光デバイス110及び発光デバイス190を有する。
 発光デバイス190は、画素電極191、共通層112、発光層193、共通層114、及び共通電極115をこの順で有する。共通層112は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を有することができる。発光層193は、有機化合物を有する。共通層114は、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を有することができる。発光デバイス190は、可視光を発する機能を有する。なお、表示装置100Cは、さらに、赤外光を発する機能を有する発光デバイスを有していてもよい。
 受光デバイス110は、画素電極191、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115をこの順で積層して有する。活性層183は、有機化合物を有する。受光デバイス110は、可視光を検出する機能を有する。なお、受光デバイス110は、さらに、赤外光を検出する機能を有していてもよい。
 画素電極191、共通層112、活性層183、発光層193、共通層114、及び共通電極115は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
 画素電極191は、絶縁層214上に位置する。互いに隣り合う2つの画素電極191は隔壁216によって互いに電気的に絶縁されている。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ132が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
 共通層112、共通層114、及び共通電極115は、受光デバイス110と発光デバイス190に共通で用いられる層である。受光デバイス110と発光デバイス190を構成する層の少なくとも一部を共通の構成とすることで、表示装置の作製工程を削減でき、好ましい。
 表示装置100Cは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受光デバイス110、発光デバイス190、トランジスタ131、及びトランジスタ132等を有する。
 受光デバイス110及び発光デバイス190は、それぞれ、保護層116に覆われていることが好ましい。また、接着層142によって、保護層116と基板152とが貼り合わされている。
 基板152の基板151側の面には、樹脂層159が設けられている。樹脂層159は、発光デバイス190と重なる位置に設けられ、受光デバイス110と重なる位置には設けられない。
 樹脂層159は、例えば、図10Bに示すように、発光デバイス190と重なる位置に設けられ、かつ、受光デバイス110と重なる位置に開口159pを有する構成とすることができる。または、樹脂層159は、例えば、図10Cに示すように、発光デバイス190と重なる位置に島状に設けられ、かつ、受光デバイス110と重なる位置には設けられない構成とすることができる。
 基板152の基板151側の面及び樹脂層159の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。遮光層158は、発光デバイス190と重なる位置、及び、受光デバイス110と重なる位置に開口を有する。
 ここで、発光デバイス190の発光が対象物によって反射された光を受光デバイス110は検出する。しかし、発光デバイス190の発光が、表示装置100C内で反射され、対象物を介さずに、受光デバイス110に入射されてしまう場合がある。遮光層158は、このような迷光を吸収し、受光デバイス110に入射する迷光を低減することができる。例えば、遮光層158は、樹脂層159を通過し基板152の基板151側の面で反射した迷光123aを吸収することができる。また、遮光層158は、樹脂層159に届く前に迷光123bを吸収することができる。これにより、受光デバイス110に入射する迷光を低減することができる。したがって、ノイズを低減し、受光デバイス110を用いたセンサの感度を高めることができる。特に、遮光層158が発光デバイス190から近い位置にあると、迷光をより低減できるため好ましい。また、遮光層158が発光デバイス190から近い位置にあると、表示の視野角依存性を抑制できるため、表示品位の向上の観点からも好ましい。
 遮光層158を設けることで、受光デバイス110が光を検出する範囲を制御することができる。遮光層158が受光デバイス110から離れた位置にあると、撮像範囲が狭くなり、撮像の解像度を高めることができる。
 樹脂層159が開口を有する場合、遮光層158は、当該開口の少なくとも一部、及び当該開口にて露出している樹脂層159の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
 樹脂層159が島状に設けられている場合、遮光層158は、樹脂層159の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
 このように、樹脂層159の形状に沿って遮光層158が設けられるため、遮光層158から発光デバイス190(具体的には、発光デバイス190の発光領域)までの距離は、遮光層158から受光デバイス110(具体的には、受光デバイス110の受光領域)までの距離に比べて短くなる。これにより、センサのノイズを低減しつつ、撮像の解像度を高め、かつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
 樹脂層159は、発光デバイス190の発光を透過する層である。樹脂層159の材料として、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。なお、基板152と遮光層158との間に設ける構造物は、樹脂層に限定されず、無機絶縁膜などを用いてもよい。当該構造物の厚さが厚いほど、遮光層から受光デバイスまでの距離と、遮光層から発光デバイスまでの距離と、に差が生じる。樹脂などの有機絶縁膜は厚く形成することが容易であるため、当該構造物として好適である。
 遮光層158から受光デバイス110までの距離と、遮光層158から発光デバイス190までの距離と、を比較するために、例えば、遮光層158の受光デバイス110側の端部から共通電極115までの最短距離L1と、遮光層158の発光デバイス190側の端部から共通電極115までの最短距離L2と、を用いることができる。最短距離L1に比べて、最短距離L2が短いことで、発光デバイス190からの迷光を抑制し、受光デバイス110を用いたセンサの感度を高めることができる。また、表示の視野角依存性を抑制することができる。最短距離L2に比べて、最短距離L1が長いことで、受光デバイス110の撮像範囲を狭くすることができ、撮像の解像度を高めることができる。
 接着層142における、発光デバイス190と重なる部分に比べて、受光デバイス110と重なる部分が厚い構成とすることでも、遮光層158から受光デバイス110までの距離と、遮光層158から発光デバイス190までの距離と、に差を生じさせることができる。
 以下では、図11~図14を用いて、本発明の一態様の表示装置の、より詳細な構成について説明する。
[表示装置の構成例2−4]
 図11に表示装置100Dの斜視図を示し、図12に、表示装置100Dの断面図を示す。
 表示装置100Dは、基板152と基板151とが貼り合わされた構成を有する。図11では、基板152を破線で明示している。
 表示装置100Dは、表示部162、回路164、配線165等を有する。図11では表示装置100DにIC(集積回路)173及びFPC172が実装されている例を示している。そのため、図11に示す構成は、表示装置100D、IC、及びFPCを有する表示モジュールということもできる。
 回路164として、例えば走査線駆動回路を用いることができる。
 配線165は、表示部162及び回路164に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC172を介して外部から、またはIC173から配線165に入力される。
 図11では、COG(Chip On Glass)方式またはCOF(Chip on Film)方式等により、基板151にIC173が設けられている例を示す。IC173は、例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するICを適用できる。なお、表示装置100D及び表示モジュールは、ICを設けない構成としてもよい。また、ICを、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
 図12に、図11で示した表示装置100Dの、FPC172を含む領域の一部、回路164を含む領域の一部、表示部162を含む領域の一部、及び、端部を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。
 図12に示す表示装置100Dは、基板151と基板152の間に、トランジスタ241、トランジスタ245、トランジスタ246、トランジスタ247、発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPD等を有する。
 基板152と保護層116は接着層142によって貼り合わされている。発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDの封止には、固体封止構造または中空封止構造などが適用できる。図12では、基板152、接着層142、及び絶縁層214に囲まれた空間が、接着層142によって封止されているおり、固体封止構造が適用されている。
 発光デバイス190Bは、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、発光層193B、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ247が有する導電層222bと接続されている。トランジスタ247は、発光デバイス190Bの駆動を制御する機能を有する。画素電極191の端部は、隔壁216によって覆われている。画素電極191は可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
 発光デバイス190Gは、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、発光層193G、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ246が有する導電層222bと接続されている。トランジスタ246は、発光デバイス190Gの駆動を制御する機能を有する。
 受発光デバイス190RPDは、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、活性層183、発光層193R、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ245が有する導電層222bと電気的に接続されている。トランジスタ245は、受発光デバイス190RPDの駆動を制御する機能を有する。
 発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDが発する光は、基板152側に射出される。また、受発光デバイス190RPDには、基板152及び接着層142を介して、光が入射する。基板152及び接着層142には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
 発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDが有する画素電極191は同一の材料及び同一の工程で作製することができる。共通層112、共通層114、及び共通電極115は、発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDに共通して用いられる。受発光デバイス190RPDは、赤色の光を呈する発光デバイスの構成に活性層183を追加した構成である。また、発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDは、活性層183と各色の発光層193の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置100Dの表示部162に受光機能を付加することができる。
 基板152の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。遮光層158は、発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDのそれぞれと重なる位置に開口を有する。遮光層158を設けることで、受発光デバイス190RPDが光を検出する範囲を制御することができる。上述の通り、受発光デバイス190RPDと重なる位置に設けられる遮光層の開口の位置を調整することで、受発光デバイスに入射する光を制御することが好ましい。また、遮光層158を有することで、対象物を介さずに、発光デバイス190から受発光デバイス190RPDに光が直接入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。
 トランジスタ241、トランジスタ245、トランジスタ246、及びトランジスタ247は、いずれも基板151上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の材料及び同一の工程により作製することができる。
 基板151上には、絶縁層211、絶縁層213、絶縁層215、及び絶縁層214がこの順で設けられている。絶縁層211は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層213は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層215は、トランジスタを覆って設けられる。絶縁層214は、トランジスタを覆って設けられ、平坦化層としての機能を有する。なお、ゲート絶縁層の数及びトランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、それぞれ単層であっても2層以上であってもよい。
 トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水または水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア層として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、表示装置の信頼性を高めることができる。
 絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215は、それぞれ、無機絶縁膜を用いることが好ましい。無機絶縁膜として、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化窒化ハフニウム膜、窒化酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の絶縁膜を2以上積層して用いてもよい。なお、基板151とトランジスタとの間に下地膜を設けてもよい。当該下地膜にも上記の無機絶縁膜を用いることができる。
 ここで、有機絶縁膜は、無機絶縁膜に比べてバリア性が低いことが多い。そのため、有機絶縁膜は、表示装置100Dの端部近傍に開口を有することが好ましい。これにより、表示装置100Dの端部から有機絶縁膜を介して不純物が入り込むことを抑制することができる。または、有機絶縁膜の端部が表示装置100Dの端部よりも内側にくるように有機絶縁膜を形成し、表示装置100Dの端部に有機絶縁膜が露出しないようにしてもよい。
 平坦化層として機能する絶縁層214には、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料として、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。
 発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDを覆う保護層116を設けることで、発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDに水などの不純物が入り込むことを抑制し、発光デバイス190B、発光デバイス190G、受発光デバイス190RPDの信頼性を高めることができる。
 図12に示す領域228では、絶縁層214に開口が形成されている。これにより、絶縁層214に有機絶縁膜を用いる場合であっても、絶縁層214を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制できる。したがって、表示装置100Dの信頼性を高めることができる。
 表示装置100Dの端部近傍の領域228において、絶縁層214の開口を介して、絶縁層215と保護層116とが互いに接することが好ましい。特に、絶縁層215が有する無機絶縁膜と保護層116が有する無機絶縁膜とが互いに接することが好ましい。これにより、有機絶縁膜を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制することができる。したがって、表示装置100Dの信頼性を高めることができる。
 保護層116は単層であっても積層構造であってもよい。例えば、保護層116は、有機絶縁膜と無機絶縁膜との積層構造であってもよい。このとき、有機絶縁膜の端部よりも無機絶縁膜の端部を外側に延在させることが好ましい。
 トランジスタ241、トランジスタ245、トランジスタ246、及びトランジスタ247は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、ソース及びドレインとして機能する導電層222a及び導電層222b、半導体層231、ゲート絶縁層として機能する絶縁層213、並びに、ゲートとして機能する導電層223を有する。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを付している。絶縁層211は、導電層221と半導体層231との間に位置する。絶縁層213は、導電層223と半導体層231との間に位置する。
 本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタ、スタガ型のトランジスタ、逆スタガ型のトランジスタ等を用いることができる。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルが形成される半導体層の上下にゲートが設けられていてもよい。
 トランジスタ241、トランジスタ245、トランジスタ246、及びトランジスタ247には、チャネルが形成される半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。または、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御してもよい。
 トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
 トランジスタの半導体層は、金属酸化物(酸化物半導体ともいう)を有することが好ましい。または、トランジスタの半導体層は、シリコンを有していてもよい。シリコンとして、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン(低温ポリシリコン、単結晶シリコンなど)などが挙げられる。
 半導体層は、例えば、インジウムと、M(Mは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、及びマグネシウムから選ばれた一種または複数種)と、亜鉛と、を有することが好ましい。特に、Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、及びスズから選ばれた一種または複数種であることが好ましい。
 特に、半導体層として、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を含む酸化物(IGZOとも記す)を用いることが好ましい。
 半導体層がIn−M−Zn酸化物の場合、当該In−M−Zn酸化物におけるInの原子数比はMの原子数比以上であることが好ましい。このようなIn−M−Zn酸化物の金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1またはその近傍の組成、In:M:Zn=1:1:1.2またはその近傍の組成、In:M:Zn=2:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=3:1:2またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:4.1またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:7またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:8またはその近傍の組成、In:M:Zn=6:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:2:5またはその近傍の組成、等が挙げられる。なお、近傍の組成とは、所望の原子数比の±30%の範囲を含む。
 例えば、原子数比がIn:Ga:Zn=4:2:3またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を4としたとき、Gaの原子数比が1以上3以下であり、Znの原子数比が2以上4以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=5:1:6またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を5としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が5以上7以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=1:1:1またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を1としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が0.1より大きく2以下である場合を含む。
 回路164が有するトランジスタと、表示部162が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路164が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。同様に、表示部162が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。
 基板151の、基板152が重ならない領域には、接続部244が設けられている。接続部244では、配線165が導電層166及び接続層242を介してFPC172と電気的に接続されている。接続部244の上面は、画素電極191と同一の導電膜を加工して得られた導電層166が露出している。これにより、接続部244とFPC172とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
 基板152の外側には各種光学部材を配置することができる。光学部材として、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層、及び集光フィルム等が挙げられる。また、基板152の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜、衝撃吸収層等を配置してもよい。
 基板151及び基板152には、それぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂などを用いることができる。基板151及び基板152に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。
 接着層は、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤として、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
 接続層は、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
 発光デバイス190G、190B、及び受発光デバイス190RPDの構成及び材料などは、上述の記載を参照できる。
 トランジスタのゲート、ソース及びドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる材料として、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、及びタングステンなどの金属、並びに、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
 透光性を有する導電材料として、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、及びチタンなどの金属材料、または該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすることが好ましい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層、発光デバイス及び受光デバイス(または受発光デバイス)が有する導電層(画素電極、共通電極として機能する導電層)にも用いることができる。
 各絶縁層に用いることのできる絶縁材料として、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
[表示装置の構成例2−5]
 図13及び図14Aに、表示装置100Eの断面図を示す。表示装置100Eの斜視図は表示装置100D(図6)と同様である。図13には、表示装置100Eの、FPC172を含む領域の一部、回路164の一部、及び、表示部162の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。図14Aには、表示装置100Eの、表示部162の一部を切断したときの断面の一例を示す。図13では、表示部162のうち、特に、受光デバイス110と赤色の光を発する発光デバイス190Rを含む領域を切断したときの断面の一例を示す。図14Aでは、表示部162のうち、特に、緑色の光を発する発光デバイス190Gと青色の光を発する発光デバイス190Bを含む領域を切断したときの断面の一例を示す。
 図13及び図14Aに示す表示装置100Eは、基板153と基板154の間に、トランジスタ243、トランジスタ248、トランジスタ249、トランジスタ240、発光デバイス190R、発光デバイス190G、発光デバイス190B、及び受光デバイス110等を有する。
 樹脂層159と共通電極115とは接着層142を介して接着されており、表示装置100Eには、固体封止構造が適用されている。
 基板153と絶縁層212とは接着層155によって貼り合わされている。基板154と絶縁層157とは接着層156によって貼り合わされている。
 表示装置100Eの作製方法は、まず、絶縁層212、各トランジスタ、受光デバイス110、各発光デバイス等が設けられた第1の作製基板と、絶縁層157、樹脂層159、及び遮光層158等が設けられた第2の作製基板と、を接着層142によって貼り合わせる。そして、第1の作製基板を剥離し露出した面に基板153を貼り、第2の作製基板を剥離し露出した面に基板154を貼ることで、第1の作製基板上及び第2の作製基板上に形成した各構成要素を、基板153及び基板154に転置する。基板153及び基板154は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置100Eの可撓性を高めることができる。
 絶縁層212及び絶縁層157には、それぞれ、絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215に用いることができる無機絶縁膜を用いることができる。
 発光デバイス190Rは、絶縁層214b側から画素電極191、共通層112、発光層193R、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214bに設けられた開口を介して、導電層169と接続されている。導電層169は、絶縁層214aに設けられた開口を介して、トランジスタ248が有する導電層222bと接続されている。導電層222bは、絶縁層215に設けられた開口を介して、低抵抗領域231nと接続される。つまり、画素電極191は、トランジスタ248と電気的に接続されている。トランジスタ248は、発光デバイス190Rの駆動を制御する機能を有する。
 同様に、発光デバイス190Gは、絶縁層214b側から画素電極191、共通層112、発光層193G、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、導電層169及びトランジスタ249の導電層222bを介して、トランジスタ249の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極191は、トランジスタ249と電気的に接続されている。トランジスタ249は、発光デバイス190Gの駆動を制御する機能を有する。
 そして、発光デバイス190Bは、絶縁層214b側から画素電極191、共通層112、発光層193B、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、導電層169及びトランジスタ240の導電層222bを介して、トランジスタ240の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極191は、トランジスタ240と電気的に接続されている。トランジスタ240は、発光デバイス190Bの駆動を制御する機能を有する。
 受光デバイス110は、絶縁層214b側から画素電極191、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。
 画素電極191の端部は、隔壁216によって覆われている。画素電極191は可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
 発光デバイス190R、190G、190Bが発する光は、基板154側に射出される。また、受光デバイス110には、基板154及び接着層142を介して、光が入射する。基板154には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
 各画素電極191は同一の材料及び同一の工程で作製することができる。共通層112、共通層114、及び共通電極115は、受光デバイス110及び発光デバイス190R、190G、190Bに共通して用いられる。受光デバイス110と各色の発光デバイスとは、活性層183と発光層の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置100Eに受光デバイス110を内蔵することができる。
 絶縁層157の基板153側の面には、樹脂層159及び遮光層158が設けられている。樹脂層159は、発光デバイス190R、190G、190Bと重なる位置に設けられ、受光デバイス110と重なる位置には設けられない。遮光層158は、絶縁層157の基板153側の面、樹脂層159の側面、及び樹脂層159の基板153側の面を覆って設けられる。遮光層158は、受光デバイス110と重なる位置、及び発光デバイス190R、190G、190Bのそれぞれと重なる位置に開口を有する。遮光層158を設けることで、受光デバイス110が光を検出する範囲を制御することができる。また、遮光層158を有することで、対象物を介さずに、発光デバイス190R、190G、190Bから受光デバイス110に光が直接入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。樹脂層159が設けられていることで、遮光層158から各色の発光デバイスまでの距離は、遮光層158から受光デバイス110までの距離に比べて短い。これにより、センサのノイズを低減しつつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
 図13に示すように、隔壁216は、受光デバイス110と発光デバイス190Rとの間に開口を有する。当該開口を埋めるように、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、受光デバイス110と発光デバイス190Rとの間に位置する。遮光層219aは、発光デバイス190Rが発した光を吸収する。これにより、受光デバイス110に入射する迷光を抑制することができる。
 スペーサ219bは、隔壁216上に設けられ、発光デバイス190Gと発光デバイス190Bとの間に位置する。スペーサ219bの上面は、遮光層219aの上面よりも遮光層158に近いことが好ましい。例えば、隔壁216の高さ(厚さ)とスペーサ219bの高さ(厚さ)の和は、遮光層219aの高さ(厚さ)よりも大きいことが好ましい。これにより、接着層142を充填することが容易となる。図14Aに示すように、スペーサ219bと遮光層158とが重なる部分において、遮光層158は共通電極115(または保護層)と接していてもよい。
 基板153の、基板154が重ならない領域には、接続部244が設けられている。接続部244では、配線165が導電層167、導電層166、及び接続層242を介してFPC172と電気的に接続されている。導電層167は、導電層169と同一の導電膜を加工して得ることができる。接続部244の上面は、画素電極191と同一の導電膜を加工して得られた導電層166が露出している。これにより、接続部244とFPC172とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
 トランジスタ243、トランジスタ248、トランジスタ249、及びトランジスタ240は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、チャネル形成領域231i及び一対の低抵抗領域231nを有する半導体層、一対の低抵抗領域231nの一方と接続する導電層222a、一対の低抵抗領域231nの他方と接続する導電層222b、ゲート絶縁層として機能する絶縁層225、ゲートとして機能する導電層223、並びに、導電層223を覆う絶縁層215を有する。絶縁層211は、導電層221とチャネル形成領域231iとの間に位置する。絶縁層225は、導電層223とチャネル形成領域231iとの間に位置する。
 導電層222a及び導電層222bは、それぞれ、絶縁層215に設けられた開口を介して低抵抗領域231nと接続される。導電層222a及び導電層222bのうち、一方はソースとして機能し、他方はドレインとして機能する。
 図13及び図14Aにおいて、絶縁層225は、半導体層231のチャネル形成領域231iと重なり、低抵抗領域231nとは重ならない。例えば、導電層223をマスクに絶縁層225が加工することで、図13及び図14Aに示す構造を作製できる。図13及び図14Aでは、絶縁層225及び導電層223を覆って絶縁層215が設けられ、絶縁層215の開口を介して、導電層222a及び導電層222bがそれぞれ低抵抗領域231nと接続されている。さらに、トランジスタを覆う絶縁層を設けてもよい。
 一方、図14Bでは、絶縁層225が半導体層の上面及び側面を覆う例を示す。導電層222a及び導電層222bは、それぞれ、絶縁層225及び絶縁層215に設けられた開口を介して低抵抗領域231nと接続される。
 以上のように、本発明の一態様の表示装置は、2つの発光デバイスの受光デバイス(または受発光デバイス)までの距離の差と、当該2つの発光デバイスの受光デバイス(または受発光デバイス)と重なる遮光層の開口までの距離の差とが互いに異なる。このような構成とすることで、受光デバイスまたは受発光デバイスは、2つの発光デバイスの一方に由来する光を、他方に由来する光に比べて多く受光することができる。したがって、例えば、本発明の一態様の表示装置では、受光デバイスまたは受発光デバイスに、光源として用いる発光デバイスに由来する光を多く入射させることができる。
<画素回路の例>
 本発明の一態様の表示装置は、表示部に、受光デバイスを有する第1の画素回路と、発光デバイスを有する第2の画素回路と、を有する。第1の画素回路と第2の画素回路は、それぞれ、マトリクス状に配置される。
 図15Aに、受光デバイスを有する第1の画素回路の一例を示し、図15Bに、発光デバイスを有する第2の画素回路の一例を示す。
 図15Aに示す画素回路PIX1は、受光デバイスPD、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、トランジスタM4、及び容量C1を有する。ここでは、受光デバイスPDとして、フォトダイオードを用いた例を示している。
 受光デバイスPDは、カソードが配線V1と電気的に接続し、アノードがトランジスタM1のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM1は、ゲートが配線TXと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が容量C1の一方の電極、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方、及びトランジスタM3のゲートと電気的に接続する。トランジスタM2は、ゲートが配線RESと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線V2と電気的に接続する。トランジスタM3は、ソースまたはドレインの一方が配線V3と電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方がトランジスタM4のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM4は、ゲートが配線SEと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT1と電気的に接続する。
 配線V1、配線V2、及び配線V3には、それぞれ定電位が供給される。受光デバイスPDを逆バイアスで駆動させる場合には、配線V2に、配線V1の電位よりも低い電位を供給する。トランジスタM2は、配線RESに供給される信号により制御され、トランジスタM3のゲートに接続するノードの電位を、配線V2に供給される電位にリセットする機能を有する。トランジスタM1は、配線TXに供給される信号により制御され、受光デバイスPDに流れる電流に応じて上記ノードの電位が変化するタイミングを制御する機能を有する。トランジスタM3は、上記ノードの電位に応じた出力を行う増幅トランジスタとして機能する。トランジスタM4は、配線SEに供給される信号により制御され、上記ノードの電位に応じた出力を配線OUT1に接続する外部回路で読み出すための選択トランジスタとして機能する。
 図15Bに示す画素回路PIX2は、発光デバイスEL、トランジスタM5、トランジスタM6、トランジスタM7、及び容量C2を有する。ここでは、発光デバイスELとして、発光ダイオードを用いた例を示している。特に、発光デバイスELとして、有機EL素子を用いることが好ましい。
 トランジスタM5は、ゲートが配線VGと電気的に接続し、ソースまたはドレインの一方が配線VSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が、容量C2の一方の電極、及びトランジスタM6のゲートと電気的に接続する。トランジスタM6のソースまたはドレインの一方は配線V4と電気的に接続し、他方は、発光デバイスELのアノード、及びトランジスタM7のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM7は、ゲートが配線MSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT2と電気的に接続する。発光デバイスELのカソードは、配線V5と電気的に接続する。
 配線V4及び配線V5には、それぞれ定電位が供給される。発光デバイスELのアノード側を高電位に、カソード側をアノード側よりも低電位にすることができる。トランジスタM5は、配線VGに供給される信号により制御され、画素回路PIX2の選択状態を制御するための選択トランジスタとして機能する。また、トランジスタM6は、ゲートに供給される電位に応じて発光デバイスELに流れる電流を制御する駆動トランジスタとして機能する。トランジスタM5が導通状態のとき、配線VSに供給される電位がトランジスタM6のゲートに供給され、その電位に応じて発光デバイスELの発光輝度を制御することができる。トランジスタM7は配線MSに供給される信号により制御され、トランジスタM6と発光デバイスELとの間の電位を、配線OUT2を介して外部に出力する機能を有する。
 受光デバイスPDのカソードが電気的に接続される配線V1と、発光デバイスELのカソードが電気的に接続される配線V5は、同一の層、同一の電位とすることができる。
 本発明の一態様の表示装置では、画素回路PIX1及び画素回路PIX2に含まれるトランジスタの全てに、チャネルが形成される半導体層に金属酸化物(酸化物半導体ともいう)を有するトランジスタ(以下、OSトランジスタともいう)を用いることが好ましい。OSトランジスタは、オフ電流が極めて小さく、当該トランジスタと直列に接続された容量に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。また、OSトランジスタを用いることで、表示装置の消費電力を低減することができる。
 または、本発明の一態様の表示装置では、画素回路PIX1及び画素回路PIX2に含まれるトランジスタ全てに、チャネルが形成される半導体層にシリコンを有するトランジスタ(以下、Siトランジスタともいう)を用いることが好ましい。シリコンとして、単結晶シリコン、多結晶シリコン、非晶質シリコン等が挙げられる。特に、半導体層に低温ポリシリコン(LTPS(Low Temperature Poly−Silicon))を有するトランジスタ(以下、LTPSトランジスタともいう)を用いることが好ましい。LTPSトランジスタは、電界効果移動度が高く高速動作が可能である。
 さらに、LTPSトランジスタなどのSiトランジスタを用いることで、CMOS回路で構成される各種回路を、表示部と同一基板に作りこむことが容易となる。これにより、表示装置に実装される外部回路を簡略化することができ、部品コスト、実装コストを削減することができる。
 または、本発明の一態様の表示装置では、画素回路PIX1に、2種類のトランジスタを用いることが好ましい。具体的には、画素回路PIX1は、OSトランジスタと、LTPSトランジスタと、を有することが好ましい。トランジスタに求められる機能に応じて、半導体層の材料を変えることで、画素回路PIX1の品質を高め、センシング及び撮像の精度を高めることができる。このとき、画素回路PIX2には、OSトランジスタ及びLTPSトランジスタのうち一方を用いてもよく、双方を用いてもよい。
 さらに、画素に2種類のトランジスタ(例えば、OSトランジスタとLTPSトランジスタ)を用いた場合でも、LTPSトランジスタを用いることで、CMOS回路で構成される各種回路を、表示部と同一基板に作りこむことが容易となる。これにより、表示装置に実装される外部回路を簡略化することができ、部品コスト、実装コストを削減することができる。
 シリコンよりもバンドギャップが広く、かつキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、極めて小さいオフ電流を実現することができる。そのため、その小さいオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。そのため、特に容量C1または容量C2に直列に接続されるトランジスタM1、トランジスタM2、及びトランジスタM5には、OSトランジスタを用いることが好ましい。
 トランジスタM3には、Siトランジスタを用いることが好ましい。これにより、撮像データの読み出し動作を高速に行うことができる。
 なお、表示部に、受光デバイスを有する第1の画素回路と、発光デバイスを有する第2の画素回路と、を有する表示装置は、画像表示を行うモード、撮像を行うモード、画像表示と撮像とを同時に行うモードのいずれでも駆動することができる。画像表示を行うモードでは、例えば、発光デバイスを用いてフルカラーの画像を表示することができる。また、撮像を行うモードでは、例えば、発光デバイスを用いて撮像用画像(例えば、緑単色、青単色など)を表示し、受光デバイスを用いて撮像を行うことができる。撮像を行うモードでは、例えば、指紋認証などを行うことができる。また、画像表示と撮像とを同時に行うモードでは、例えば、一部の画素では、発光デバイスを用いて撮像用画像を表示し、かつ、受光デバイスを用いて撮像を行い、残りの画素では、発光デバイスを用いて、フルカラーの画像を表示することができる。
 なお、図15A、図15Bにおいて、トランジスタをnチャネル型のトランジスタとして表記しているが、pチャネル型のトランジスタを用いることもできる。また、トランジスタは、シングルゲートに限らず、さらに、バックゲートを有していてもよい。
 受光デバイスPD、または発光デバイスELと重なる位置に、トランジスタ及び容量の一方又は双方を有する層を1つまたは複数設けることが好ましい。これにより、各画素回路の実効的な占有面積を小さくでき、高精細な表示部を実現できる。
 本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態4)
 本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したOSトランジスタに用いることができる金属酸化物(酸化物半導体ともいう)について説明する。
 金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズなどが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウム、コバルトなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
 金属酸化物は、スパッタリング法、有機金属化学気相成長(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法などの化学気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、または原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法などにより形成することができる。
<結晶構造の分類>
 酸化物半導体の結晶構造として、アモルファス(completely amorphousを含む)、CAAC(c−axis−aligned crystalline)、nc(nanocrystalline)、CAC(cloud−aligned composite)、単結晶(single crystal)、及び多結晶(poly crystal)等が挙げられる。
 なお、膜または基板の結晶構造は、X線回折(XRD:X−Ray Diffraction)スペクトルを用いて評価することができる。例えば、GIXD(Grazing−Incidence XRD)測定で得られるXRDスペクトルを用いて評価することができる。なお、GIXD法は、薄膜法またはSeemann−Bohlin法ともいう。
 例えば、石英ガラス基板では、XRDスペクトルのピークの形状がほぼ左右対称である。一方で、結晶構造を有するIGZO膜では、XRDスペクトルのピークの形状が左右非対称である。XRDスペクトルのピークの形状が左右非対称であることは、膜中または基板中の結晶の存在を明示している。別言すると、XRDスペクトルのピークの形状で左右対称でないと、膜または基板は非晶質状態であるとは言えない。
 膜または基板の結晶構造は、極微電子線回折法(NBED:Nano Beam Electron Diffraction)によって観察される回折パターン(極微電子線回折パターンともいう)にて評価することができる。例えば、石英ガラス基板の回折パターンでは、ハローが観察され、石英ガラスは、非晶質状態であることが確認できる。また、室温成膜したIGZO膜の回折パターンでは、ハローではなく、スポット状のパターンが観察される。このため、室温成膜したIGZO膜は、結晶状態でもなく、非晶質状態でもない、中間状態であり、非晶質状態であると結論することはできないと推定される。
<酸化物半導体の構造>
 なお、酸化物半導体は、構造に着目した場合、上記とは異なる分類となる場合がある。例えば、酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体は、例えば、上述のCAAC−OS、及びnc−OSがある。また、非単結晶酸化物半導体には、多結晶酸化物半導体、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)、非晶質酸化物半導体、などが含まれる。
 ここで、上述のCAAC−OS、nc−OS、及びa−like OSの詳細について、説明を行う。
[CAAC−OS]
 CAAC−OSは、複数の結晶領域を有し、当該複数の結晶領域はc軸が特定の方向に配向している酸化物半導体である。なお、特定の方向とは、CAAC−OS膜の厚さ方向、CAAC−OS膜の被形成面の法線方向、またはCAAC−OS膜の表面の法線方向である。また、結晶領域とは、原子配列に周期性を有する領域である。なお、原子配列を格子配列とみなすと、結晶領域とは、格子配列の揃った領域でもある。さらに、CAAC−OSは、a−b面方向において複数の結晶領域が連結する領域を有し、当該領域は歪みを有する場合がある。なお、歪みとは、複数の結晶領域が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。つまり、CAAC−OSは、c軸配向し、a−b面方向には明らかな配向をしていない酸化物半導体である。
 なお、上記複数の結晶領域のそれぞれは、1つまたは複数の微小な結晶(最大径が10nm未満である結晶)で構成される。結晶領域が1つの微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の最大径は10nm未満となる。また、結晶領域が多数の微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の大きさは、数十nm程度となる場合がある。
 In−M−Zn酸化物(元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズ、チタンなどから選ばれた一種、または複数種)において、CAAC−OSは、インジウム(In)、及び酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛(Zn)、及び酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能である。よって、(M,Zn)層にはインジウムが含まれる場合がある。また、In層には元素Mが含まれる場合がある。なお、In層にはZnが含まれる場合もある。当該層状構造は、例えば、高分解能TEM(Transmission Electron Microscope)像において、格子像として観察される。
 CAAC−OS膜に対し、例えば、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut−of−plane XRD測定では、c軸配向を示すピークが2θ=31°またはその近傍に検出される。なお、c軸配向を示すピークの位置(2θの値)は、CAAC−OSを構成する金属元素の種類、組成などにより変動する場合がある。
 例えば、CAAC−OS膜の電子線回折パターンにおいて、複数の輝点(スポット)が観測される。なお、あるスポットと別のスポットとは、試料を透過した入射電子線のスポット(ダイレクトスポットともいう)を対称中心として、点対称の位置に観測される。
 上記特定の方向から結晶領域を観察した場合、当該結晶領域内の格子配列は、六方格子を基本とするが、単位格子は正六角形とは限らず、非正六角形である場合がある。また、上記歪みにおいて、五角形、七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、CAAC−OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリー)を確認することはできない。即ち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC−OSが、a−b面方向において酸素原子の配列が稠密でないこと、または金属原子が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためと考えられる。
 なお、明確な結晶粒界が確認される結晶構造は、いわゆる多結晶(polycrystal)と呼ばれる。結晶粒界は、再結合中心となり、キャリアが捕獲されトランジスタのオン電流の低下、電界効果移動度の低下などを引き起こす可能性が高い。よって、明確な結晶粒界が確認されないCAAC−OSは、トランジスタの半導体層に好適な結晶構造を有する結晶性の酸化物の一つである。なお、CAAC−OSを構成するには、Znを有する構成が好ましい。例えば、In−Zn酸化物、及びIn−Ga−Zn酸化物は、In酸化物よりも結晶粒界の発生を抑制できるため好適である。
 CAAC−OSは、結晶性が高く、明確な結晶粒界が確認されない酸化物半導体である。よって、CAAC−OSは、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入または欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC−OSは不純物及び欠陥(酸素欠損など)の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、CAAC−OSを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。また、CAAC−OSは、製造工程における高い温度(所謂サーマルバジェット)に対しても安定である。従って、OSトランジスタにCAAC−OSを用いると、製造工程の自由度を広げることが可能となる。
[nc−OS]
 nc−OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。別言すると、nc−OSは、微小な結晶を有する。なお、当該微小な結晶の大きさは、例えば、1nm以上10nm以下、特に1nm以上3nm以下であることから、当該微小な結晶をナノ結晶ともいう。また、nc−OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。従って、nc−OSは、分析方法によっては、a−like OS、または非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。例えば、nc−OS膜に対し、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut−of−plane XRD測定では、結晶性を示すピークが検出されない。また、nc−OS膜に対し、ナノ結晶よりも大きいプローブ径(例えば50nm以上)の電子線を用いる電子線回折(制限視野電子線回折ともいう。)を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、nc−OS膜に対し、ナノ結晶の大きさと近いかナノ結晶より小さいプローブ径(例えば1nm以上30nm以下)の電子線を用いる電子線回折(ナノビーム電子線回折ともいう。)を行うと、ダイレクトスポットを中心とするリング状の領域内に複数のスポットが観測される電子線回折パターンが取得される場合がある。
[a−like OS]
 a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。a−like OSは、鬆または低密度領域を有する。即ち、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、結晶性が低い。また、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、膜中の水素濃度が高い。
<酸化物半導体の構成>
 次に、上述のCAC−OSの詳細について、説明を行う。なお、CAC−OSは材料構成に関する。
[CAC−OS]
 CAC−OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つまたは複数の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
 さらに、CAC−OSとは、第1の領域と、第2の領域と、に材料が分離することでモザイク状となり、当該第1の領域が、膜中に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。つまり、CAC−OSは、当該第1の領域と、当該第2の領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。
 ここで、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSを構成する金属元素に対するIn、Ga、及びZnの原子数比のそれぞれを、[In]、[Ga]、及び[Zn]と表記する。例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSにおいて、第1の領域は、[In]が、CAC−OS膜の組成における[In]よりも大きい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、CAC−OS膜の組成における[Ga]よりも大きい領域である。または、例えば、第1の領域は、[In]が、第2の領域における[In]よりも大きく、且つ、[Ga]が、第2の領域における[Ga]よりも小さい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、第1の領域における[Ga]よりも大きく、且つ、[In]が、第1の領域における[In]よりも小さい領域である。
 具体的には、上記第1の領域は、インジウム酸化物、インジウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。また、上記第2の領域は、ガリウム酸化物、ガリウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。つまり、上記第1の領域を、Inを主成分とする領域と言い換えることができる。また、上記第2の領域を、Gaを主成分とする領域と言い換えることができる。
 なお、上記第1の領域と、上記第2の領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
 In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSとは、In、Ga、Zn、及びOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とする領域と、一部にInを主成分とする領域とが、それぞれモザイク状であり、これらの領域がランダムに存在している構成をいう。よって、CAC−OSは、金属元素が不均一に分布した構造を有していると推測される。
 CAC−OSは、例えば基板を加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC−OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
 例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、Inを主成分とする領域(第1の領域)と、Gaを主成分とする領域(第2の領域)とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
 ここで、第1の領域は、第2の領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、第1の領域を、キャリアが流れることにより、金属酸化物としての導電性が発現する。従って、第1の領域が、金属酸化物中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
 一方、第2の領域は、第1の領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、第2の領域が、金属酸化物中に分布することで、リーク電流を抑制することができる。
 従って、CAC−OSをトランジスタに用いる場合、第1の領域に起因する導電性と、第2の領域に起因する絶縁性とが、相補的に作用することにより、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC−OSに付与することができる。つまり、CAC−OSとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。導電性の機能と絶縁性の機能とを分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。よって、CAC−OSをトランジスタに用いることで、高いオン電流(Ion)、高い電界効果移動度(μ)、及び良好なスイッチング動作を実現することができる。
 CAC−OSを用いたトランジスタは、信頼性が高い。従って、CAC−OSは、表示装置をはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
 酸化物半導体は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a−like OS、CAC−OS、nc−OS、CAAC−OSのうち、二種以上を有していてもよい。
<酸化物半導体を有するトランジスタ>
 続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
 上記酸化物半導体をトランジスタに用いることで、高い電界効果移動度のトランジスタを実現することができる。また、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。
 トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。例えば、酸化物半導体のキャリア濃度は1×1017cm−3以下、好ましくは1×1015cm−3以下、さらに好ましくは1×1013cm−3以下、より好ましくは1×1011cm−3以下、さらに好ましくは1×1010cm−3未満であり、1×10−9cm−3以上である。なお、酸化物半導体膜のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体膜中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性と言う。なお、キャリア濃度の低い酸化物半導体を、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶ場合がある。
 高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
 酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル形成領域が形成されるトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
 従って、トランジスタの電気特性を安定にするためには、酸化物半導体中の不純物濃度を低減することが有効である。また、酸化物半導体中の不純物濃度を低減するためには、近接する膜中の不純物濃度も低減することが好ましい。不純物は、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
<不純物>
 ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
 酸化物半導体において、第14族元素の一つであるシリコンまたは炭素が含まれると、酸化物半導体において欠陥準位が形成される。このため、酸化物半導体におけるシリコンまたは炭素の濃度と、酸化物半導体との界面近傍のシリコンまたは炭素の濃度(二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
 酸化物半導体にアルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。従って、アルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
 酸化物半導体において、窒素が含まれると、キャリアである電子が生じ、キャリア濃度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を半導体に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。または、酸化物半導体において、窒素が含まれると、トラップ準位が形成される場合がある。この結果、トランジスタの電気特性が不安定となる場合がある。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中の窒素濃度を、5×1019atoms/cm未満、好ましくは5×1018atoms/cm以下、より好ましくは1×1018atoms/cm以下、さらに好ましくは5×1017atoms/cm以下にする。
 酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、SIMSにより得られる水素濃度を、1×1020atoms/cm未満、好ましくは1×1019atoms/cm未満、より好ましくは5×1018atoms/cm未満、さらに好ましくは1×1018atoms/cm未満にする。
 不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
 本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態5)
 本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図16~図18を用いて説明する。
 本発明の一態様の電子機器は、表示部で撮像を行うこと、またはタッチ操作を検出することができる。これにより、電子機器の機能性及び利便性を高めることができる。
 本発明の一態様の電子機器として、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
 本発明の一態様の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
 本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。
 図16Aに示す電子機器6500は、スマートフォンとして用いることのできる携帯情報端末機である。
 電子機器6500は、筐体6501、表示部6502、電源ボタン6503、操作用ボタン6504、スピーカ6505、マイク6506、カメラ6507、及び光源6508等を有する。表示部6502はタッチパネル機能を備える。
 表示部6502に、実施の形態2で示した表示装置、または実施の形態3で示した表示装置を適用することができる。
 図16Bは、筐体6501のマイク6506側の端部を含む断面概略図である。
 筐体6501の表示面側には透光性を有する保護部材6510が設けられ、筐体6501と保護部材6510に囲まれた空間内に、表示パネル6511、光学部材6512、タッチセンサパネル6513、プリント基板6517、バッテリ6518等が配置されている。
 保護部材6510には、表示パネル6511、光学部材6512、及びタッチセンサパネル6513が接着層(図示しない)により固定されている。
 表示部6502よりも外側の領域において、表示パネル6511の一部が折り返されており、当該折り返された部分にFPC6515が接続されている。FPC6515には、IC6516が実装されている。FPC6515は、プリント基板6517に設けられた端子に接続されている。
 表示パネル6511には本発明の一態様のフレキシブルディスプレイを適用することができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル6511が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリ6518を搭載することもできる。また、表示パネル6511の一部を折り返して、画素部の裏側にFPC6515との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。
 表示パネル6511に、実施の形態2で示した表示装置を用いることで、表示部6502で撮像を行うことができる。例えば、表示パネル6511で指紋を撮像し、指紋認証を行うことができる。
 表示部6502が、さらに、タッチセンサパネル6513を有することで、表示部6502に、タッチパネル機能を付与することができる。タッチセンサパネル6513は、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、光学方式、感圧方式など様々な方式を用いることができる。または、表示パネル6511を、タッチセンサとして機能させてもよく、その場合、タッチセンサパネル6513を設けなくてもよい。
 図17Aにテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
 表示部7000に、実施の形態2で示した表示装置を適用することができる。
 図17Aに示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチ、または別体のリモコン操作機7111により行うことができる。または、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることでテレビジョン装置7100を操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キーまたはタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される映像を操作することができる。
 なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
 図17Bに、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
 表示部7000に、実施の形態2で示した表示装置を適用することができる。
 図17C、図17Dに、デジタルサイネージの一例を示す。
 図17Cに示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、及びスピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
 図17Dは円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
 表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
 表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に画像または動画を表示するだけでなく、ユーザーが直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
 図17C、図17Dに示すように、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400は、ユーザーが所持するスマートフォン等の情報端末機7311または情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311または情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311または情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
 図17C、図17Dにおいて、情報端末機7311または情報端末機7411の表示部に、実施の形態2で示した表示装置を適用することができる。
 デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311または情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザーが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
 図18A~図18Fに示す電子機器は、筐体9000、表示部9001、スピーカ9003、操作キー9005(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子9006、センサ9007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン9008、等を有する。
 図18A~図18Fに示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画または動画を撮影し、記録媒体(外部またはカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
 図18A~図18Fに示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。
 図18Aは、携帯情報端末9101を示す斜視図である。携帯情報端末9101は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末9101は、スピーカ9003、接続端子9006、センサ9007等を設けてもよい。また、携帯情報端末9101は、文字及び画像情報をその複数の面に表示することができる。図18Aでは3つのアイコン9050を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報9051を表示部9001の他の面に表示することもできる。情報9051の一例として、電子メール、SNS、電話などの着信の通知、電子メール及びSNSなどの題名、送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、アンテナ受信の強度などがある。または、情報9051が表示されている位置にはアイコン9050などを表示してもよい。
 図18Bは、携帯情報端末9102を示す斜視図である。携帯情報端末9102は、表示部9001の3面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報9052、情報9053、情報9054がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えばユーザーは、洋服の胸ポケットに携帯情報端末9102を収納した状態で、携帯情報端末9102の上方から観察できる位置に表示された情報9053を確認することもできる。ユーザーは、携帯情報端末9102をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。
 図18Cは、腕時計型の携帯情報端末9200を示す斜視図である。携帯情報端末9200は、例えばスマートウォッチ(登録商標)として用いることができる。また、表示部9001はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末9200は、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末9200は、接続端子9006により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うこと、及び充電を行うこともできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。
 図18D~図18Fは、折り畳み可能な携帯情報端末9201を示す斜視図である。また、図18Dは携帯情報端末9201を展開した状態、図18Fは折り畳んだ状態、図18Eは図18Dと図18Fの一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末9201は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末9201が有する表示部9001は、ヒンジ9055によって連結された3つの筐体9000に支持されている。例えば、表示部9001は、曲率半径0.1mm以上150mm以下で曲げることができる。
 本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
 本実施例では、受光デバイスを作製し、その特性を評価した結果について説明する。なお、以降の実施例で作製した受光デバイスは、いずれも発光デバイスと構造の共通化を図った構成であり、発光デバイスの発光層を受光デバイスの活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。また、発光デバイスの発光層を追加することで、受発光デバイスとして機能可能な積層構造を有する。
 本実施例では、本発明の一態様である受光デバイス(デバイスA)と、比較例の受光デバイス(比較デバイスB)を作製した。
 本実施例で用いる材料の化学式を、以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000042
 本実施例で作製した受光デバイスの具体的な構成を、表1及び表2に示す。受光デバイスの構成は、図1Eで例示した受光デバイス10を援用できる。本実施例で作製した受光デバイスは、活性層23の構成以外は同様の構成を用いた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000043
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000044
 第1の電極11は、銀とパラジウムと銅の合金(APC:Ag−Pd−Cu)をスパッタリング法により、膜厚100nmとなるように成膜し、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)をスパッタリング法により、膜厚が100nmとなるように成膜することで、形成した。
 次いで、第1の電極11が形成された基材を水で洗浄し、200℃で1時間焼成した後、UVオゾン処理を370秒行った。その後、10−4Pa程度まで内部が減圧された真空蒸着装置に基板を導入し、真空蒸着装置内の加熱室において、170℃で30分間の真空焼成を行った。その後、基板を30分程度放冷した。
 正孔輸送層として機能する層21aは、N,N−ビス(4−ビフェニル)−6−フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2−d]フラン−8−アミン(略称:BBABnf)と、分子量672でフッ素を含む電子アクセプター材料(OCHD−003)とを、重量比がBBABnf:OCHD−003=1:0.1となるように共蒸着することで、形成した。層21aは、膜厚が10nmとなるように形成した。
 正孔輸送層として機能する層21bは、BBABnfを膜厚が40nmとなるように蒸着することで、形成した。
 本発明の一態様であるデバイスAの活性層23は、上記構造式(126)で表される2,2’−(5,5’−(チエノ[3,2−b]チオフェン−2,5−ジイル)ビス(チオフェン−5,2−ジイル))ビス(メタン−1−イル−1−イリデン)ジマロノニトリル(略称:FT2TDMN)と、上記構造式(201)で表されるRubreneとを、重量比が5:5となるように共蒸着することで、形成した。活性層23は、膜厚が60nmとなるように形成した。
 比較例である比較デバイスBの活性層23は、フラーレンC70と、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(略称:DBP)とを、重量比がC70:DBP=9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層23は、膜厚が60nmとなるように形成した。
 なお、比較デバイスBの活性層23に用いたフラーレンC70の蒸着温度は約600℃、DBPの蒸着温度は約400℃である。これに対し、本発明の一態様であるデバイスAの活性層23に用いたFT2TDMNの蒸着温度は約250℃、Rubreneの蒸着温度は約200℃と低温である。したがって、本発明の一態様である光デバイスの構成を用いることにより、生産性高く光デバイスを作製することができる。
 電子輸送層として機能する層25aは、2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)を、膜厚が10nmとなるように蒸着し、続いて、2,9−ビス(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)を、膜厚が10nmとなるように蒸着することで、形成した。
 電子輸送層として機能する層25bは、フッ化リチウム(LiF)を、膜厚が1nmとなるように蒸着することで、形成した。
 第2の電極13は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との体積比を10:1とし、膜厚が10nmとなるように共蒸着して成膜し、インジウム錫酸化物(ITO)をスパッタリング法により、膜厚が40nmとなるように成膜することで、形成した。
 以上により、活性層23の構成が異なるデバイスA及び比較デバイスBをそれぞれ作製した。
<電流−電圧特性>
 続いて、各受光デバイスの電流−電圧特性を測定した。測定は、波長525nmの単色光を放射照度12.5μW/cmで照射したとき(Photoと表記)と、暗状態(Darkと表記)とで、それぞれ行った。デバイスA及び比較デバイスBの電流−電圧特性を、図19Aに示す。図19Aにおいて、横軸に電圧Vを、縦軸に電流Iを示している。
 図19Aに示すように、いずれの受光デバイスも、良好な飽和特性を示すことが確認できた。
 外部量子効率(EQE:External Quantum Efficiency)の波長依存性を、図19Bに示す。EQEは、電圧を−4Vとし、放射照度を12.5μW/cmとして、波長を変えて測定した。図19Bにおいて、横軸に波長λを、縦軸にEQEを示している。
 図19Bに示すように、いずれの受光デバイスも、波長450nm以上650nm以下の領域に受光感度を有することを確認できた。
 本実施例では、受光デバイスを作製し、その特性を評価した結果について説明する。
 本実施例では、本発明の一態様である受光デバイス(デバイス1a乃至デバイス1d、デバイス2a乃至デバイス2d)と、比較例の受光デバイス(比較デバイス1A乃至比較デバイス1C、比較デバイス2A乃至比較デバイス2C)を作製した。
 本実施例で用いる材料の化学式を、以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000045
 本実施例で作製した受光デバイスの具体的な構成を、表3及び表4に示す。受光デバイスの構成は、図1Eで例示した受光デバイス10を援用できる。本実施例で作製した受光デバイスは、活性層23及び層25aの構成以外は同様の構成を用いた。
 なお、本実施例の受光デバイスは、活性層23と層25aの構成を変えた以外は、実施例1の受光デバイスと同様である。そのため、本実施例の受光デバイスの作製方法について、実施例1の受光デバイスと同様の部分については実施例1を参照できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000046
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000047
 第1の電極11、層21a、及び層21bを形成した。第1の電極11、層21a、及び層21bの形成については、実施例1の記載を参照できるため、詳細な記載は省略する。
 本発明の一態様であるデバイス1a乃至デバイス1d、デバイス2a乃至デバイス2dの活性層23は、上記構造式(126)で表されるFT2TDMNと、上記構造式(201)で表されるRubreneとを、重量比が9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層23は、膜厚が60nmとなるように形成した。
 比較例である比較デバイス1A乃至比較デバイス1C、比較デバイス2A乃至比較デバイス2Cの活性層23は、フラーレンC70と、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(略称:DBP)とを、重量比がC70:DBP=9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層23は、膜厚が60nmとなるように形成した。
 本発明の一態様であるデバイス1a乃至デバイス1d、及び比較例である比較デバイス1A乃至比較デバイス1Cにおいて、電子輸送層として機能する層25aは、2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)を蒸着し、続いて、2,9−ビス(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)を、膜厚が10nmとなるように蒸着することで、形成した。
 本発明の一態様であるデバイス2a乃至デバイス2d、及び比較例である比較デバイス2A乃至比較デバイス2Cにおいて、電子輸送層として機能する層25aは、2−[4’−(9−フェニル−9H−カルバゾール−3−イル)−3,1’−ビフェニル−1−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mpPCBPDBq)を蒸着し、続いて、2,9−ビス(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)を、膜厚が10nmとなるように蒸着することで、形成した。
 電子輸送層として機能する層25b、及び第2の電極13を形成した。層25b、及び第2の電極13の形成については、実施例1の記載を参照できるため、詳細な記載は省略する。
 以上により、活性層23及び層25aの構成が異なるデバイス1a乃至デバイス1d、デバイス2a乃至デバイス2d、比較デバイス1A乃至比較デバイス1C、及び比較デバイス2A乃至比較デバイス2Cをそれぞれ作製した。
<電流−電圧特性>
 続いて、各受光デバイスの電流−電圧特性を測定した。測定は、波長525nmの単色光を放射照度12.5μW/cmで照射して行った。電流−電圧特性において、電流が20nA以上となった時の電圧と、層25aの膜厚との関係を、図20A及び図20Bに示す。電流が20nA以上となった時の電圧は、受光デバイスの駆動電圧に相当する値である。
 図20Aは、本発明の一態様であるデバイス1a乃至デバイス1d、デバイス2a乃至デバイス2dのデータを示し、図20Bは、比較例の比較デバイス1A乃至比較デバイス1D、比較デバイス2A乃至比較デバイス2Dのデータを示している。図20A及び図20Bにおいて、横軸に層25aの膜厚Xを、縦軸に20nA以上となった時の電圧Drを示している。
 図20Aに示すように、本発明の一態様である受光デバイスは、層25aの材料、及び膜厚に対する電圧Drの変化が小さいことを確認できた。一方、図20Bに示すように、比較例である受光デバイスは、層25aの材料、及び膜厚に対する電圧Drの変化が大きいことを確認できた。また、比較例の受光デバイスと比較して、本発明の一態様である受光デバイスは電圧Drの絶対値が約0.35Vから約0.60Vと小さく、駆動電圧が低いことを確認できた。
 本実施例では、受光デバイスを作製し、その特性を評価した結果について説明する。
 本実施例では、本発明の一態様である受光デバイス(デバイス3a乃至デバイス3d、デバイス4a乃至デバイス4d、デバイス5a乃至デバイス5d、デバイス6a乃至デバイス6d)を作製した。
 なお、本実施例の受光デバイスは、活性層23と層25aの構成を変えた以外は、実施例1の受光デバイスと同様である。そのため、本実施例の受光デバイスの作製方法について、実施例1の受光デバイスと同様の部分については実施例1を参照できる。
 本実施例で用いる材料の化学式を、以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000048
 本実施例で作製した受光デバイスの具体的な構成を、表5及び表6に示す。受光デバイスの構成は、図1Eで例示した受光デバイス10を援用できる。本実施例で作製した受光デバイスは、活性層23及び層25aの構成以外は同様の構成を用いた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000049
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000050
 第1の電極11、層21a、及び層21bを形成した。第1の電極11、層21a、及び層21bの形成については、実施例1の記載を参照できるため、詳細な記載は省略する。
 活性層23は、上記構造式(126)で表されるFT2TDMNと、上記構造式(201)で表されるRubreneとを、重量比が7:3となるように共蒸着することで、形成した。試料で活性層23の膜厚を異ならせた。
 電子輸送層として機能する層25aは、2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)を蒸着し、続いて、2,9−ビス(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)と、Liqとを、膜厚が10nm、重量比が1:1となるように共蒸着することで、形成した。試料で2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)の膜厚を異ならせた。
 第2の電極13は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との体積比を10:1とし、膜厚が10nmとなるように共蒸着して成膜することで、形成した。
 以上により、活性層23及び層25aの構成が異なるデバイス3a乃至デバイス3d、デバイス4a乃至デバイス4d、デバイス5a乃至デバイス5d、デバイス6a乃至デバイス6dをそれぞれ作製した。
<電流密度−電圧特性>
 続いて、各受光デバイスの電流密度−電圧特性を測定した。測定は、波長525nmの単色光を放射照度12.5μW/cmで照射したとき(Photoと表記)と、暗状態(Darkと記載)とで、それぞれ行った。デバイス3a乃至デバイス3dの電流密度−電圧特性を、図21A及び図21Bに示す。デバイス4a乃至デバイス4dの電流密度−電圧特性を、図22A及び図22Bに示す。デバイス5a乃至デバイス5dの電流密度−電圧特性を、図23A及び図23Bに示す。デバイス6a乃至デバイス6dの電流密度−電圧特性を、図24A及び図24Bに示す。図21A乃至図24Bにおいて、横軸に電圧Vを、縦軸に電流密度Jを示している。
 図21A乃至図24Bに示すように、いずれの受光デバイスも、良好な飽和特性を示すことが確認できた。
 デバイス3a乃至デバイス3dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図25Aに示す。デバイス4a乃至デバイス4dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図25Bに示す。デバイス5a乃至デバイス5dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図26Aに示す。デバイス6a乃至デバイス6dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図26Bに示す。EQEは、電圧を−4Vとし、放射照度を12.5μW/cmとして、波長を変えて測定した。図25A乃至図26Bにおいて、横軸に波長λを、縦軸にEQEを示している。
 図25A乃至図26Bに示すように、活性層23の膜厚が60nm以上の場合、層25aの膜厚による受光感度の変化が小さいことを確認できた。
 本実施例では、受光デバイスを作製し、その特性を評価した結果について説明する。
 本実施例では、本発明の一態様である受光デバイス(デバイス7a乃至デバイス7d、デバイス8a乃至デバイス8d、デバイス9a乃至デバイス9d、デバイス10a乃至デバイス10d)を作製した。
 本実施例で用いる材料の化学式を、以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000051
 本実施例で作製した受光デバイスの具体的な構成を、表7及び表8に示す。受光デバイスの構成は、図1Eで例示した受光デバイス10を援用できる。本実施例で作製した受光デバイスは、活性層23及び層21bの構成以外は同様の構成を用いた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000052
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000053
 第1の電極11、及び層21aを形成した。第1の電極11、及び層21aの形成については、実施例1の記載を参照できるため、詳細な記載は省略する。
 デバイス6a乃至デバイス6d、及びデバイス7a乃至デバイス7dにおいて、正孔輸送層として機能する層21bは、N−(1,1’−ビフェニル−4−イル)−N−[4−(9−フェニル−9H−カルバゾール−3−イル)フェニル]−9,9−ジメチル−9H−フルオレン−2−アミン(略称:PCBBiF)を蒸着することで、形成した。試料により層21bの膜厚を異ならせた。
 デバイス8a乃至デバイス8d、及びデバイス9a乃至デバイス9dにおいて、正孔輸送層として機能する層21bは、BBABnfを蒸着することで、形成した。試料により層21bの膜厚を異ならせた。
 活性層23は、上記構造式(126)で表されるFT2TDMNと、上記構造式(201)で表されるRubreneとを、重量比が7:3となるように共蒸着することで、形成した。試料で活性層23の膜厚を異ならせた。
 電子輸送層として機能する層25aは、2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)を膜厚が15nmとなるように蒸着し、続いて、2,9−ビス(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)と、Liqとを、膜厚が25nm、重量比が1:1となるように共蒸着することで、形成した。
 第2の電極13は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との体積比を10:1とし、膜厚が10nmとなるように共蒸着して成膜することで、形成した。
 以上により、活性層23及び層21bの構成が異なるデバイス6a乃至デバイス6d、デバイス7a乃至デバイス7d、デバイス8a乃至デバイス8d、デバイス9a乃至デバイス9dをそれぞれ作製した。
<電流密度−電圧特性>
 続いて、各受光デバイスの電流密度−電圧特性を測定した。測定は、波長525nmの単色光を放射照度12.5μW/cmで照射したとき(Photoと表記)と、暗状態(Darkと記載)とで、それぞれ行った。デバイス7a乃至デバイス7dの電流密度−電圧特性を、図27A及び図27Bに示す。デバイス8a乃至デバイス8dの電流密度−電圧特性を、図28A及び図28Bに示す。デバイス9a乃至デバイス9dの電流密度−電圧特性を、図29A及び図29Bに示す。デバイス10a乃至デバイス10dの電流密度−電圧特性を、図30A及び図30Bに示す。図27A乃至図30Bにおいて、横軸に電圧Vを、縦軸に電流密度Jを示している。
 図27A乃至図30Bに示すように、いずれの受光デバイスも、良好な飽和特性を示すことが確認できた。
 デバイス7a乃至デバイス7dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図31Aに示す。デバイス8a乃至デバイス8dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図31Bに示す。デバイス9a乃至デバイス9dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図32Aに示す。デバイス10a乃至デバイス10dの外部量子効率(EQE)の波長依存性を、図32Bに示す。EQEは、電圧を−4Vとし、放射照度を12.5μW/cmとして、波長を変えて測定した。図31A乃至図32Bにおいて、横軸に波長λを、縦軸にEQEを示している。
 図31A乃至図32Bに示すように、層21bの膜厚が40nm以上で、良好な受光感度を得られることを確認できた。
 本実施例では、受光デバイスを作製し、その信頼性を評価した結果について説明する。
 本実施例では、本発明の一態様である受光デバイス(デバイス11a乃至デバイス11d)を作製した。
 本実施例で用いる材料の化学式を、以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000054
 本実施例で作製した受光デバイスの具体的な構成を、表9及び表10に示す。受光デバイスの構成は、図1Eで例示した受光デバイス10を援用できる。本実施例で作製した受光デバイスは、層25aの構成以外は同様の構成を用いた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000055
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000056
 第1の電極11、及び層21aを形成した。第1の電極11、及び層21aの形成については、実施例1の記載を参照できるため、詳細な記載は省略する。
 正孔輸送層として機能する層21bは、BBABnfを蒸着することで、形成した。層21bは、膜厚が40nmとなるように形成した。
 活性層23は、上記構造式(126)で表されるFT2TDMNと、上記構造式(201)で表されるRubreneとを、重量比が9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層23は、膜厚が60nmとなるように形成した。
 電子輸送層として機能する層25aは、2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)を蒸着し、続いて、2,9−ビス(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)と、Liqとを、膜厚が25nm、重量比が1:1となるように共蒸着することで、形成した。試料で、2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)の膜厚を異ならせた。
 第2の電極13は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との体積比を10:1とし、膜厚が10nmとなるように共蒸着して成膜することで、形成した。
 以上により、層25aの構成が異なるデバイス11a乃至デバイス11dをそれぞれ作製した。
<信頼性>
 続いて、各受光デバイスの信頼性を評価した。信頼性の評価は、白色LEDを用いて、5000Kの光を100kluxの照度で受光デバイスに照射し、電圧を−4V、温度25℃の条件で保持したときの、電流を測定した。各受光デバイスの測定結果を、図33に示す。図33において、横軸に時間(Time)を、縦軸に規格化した電流値(Normalized current)を示している。なお、規格化した電流値は、初期の電流値を1とした時の値である。
 図33に示すように、いずれの受光デバイスも高い信頼性を有することが確認できた。特に、層25aの膜厚が40nmであるデバイス11bと、層25aの膜厚が70nmであるデバイス11cで良好な信頼性が得られることを確認できた。
MS:配線、PD:受光デバイス、RES:配線、SE:配線、TX:配線、VG:配線、VS:配線、10a:デバイス、10A:受発光デバイス、10d:デバイス、10:受光デバイス、11:第1の電極、13:第2の電極、15:層、21a:層、21b:層、21:正孔輸送層、23a:第1の層、23b:第2の層、23:活性層、25a:層、25b:層、25:電子輸送層、31:正孔注入層、35:電子注入層、39:発光層、100A:表示装置、100B:表示装置、100C:表示装置、100D:表示装置、100E:表示装置、110:受光デバイス、112:共通層、114:共通層、115:共通電極、116:保護層、121B:光、121G:光、121R:光、121:可視光、122:光、123a:迷光、123b:迷光、123:光、124:反射光、131:トランジスタ、132:トランジスタ、142:接着層、151:基板、152:基板、153:基板、154:基板、155:接着層、156:接着層、157:絶縁層、158:遮光層、159p:開口、159:樹脂層、162:表示部、164:回路、165:配線、166:導電層、167:導電層、169:導電層、172:FPC、173:IC、182:バッファ層、183:活性層、184:バッファ層、190B:発光デバイス、190G:発光デバイス、190R:発光デバイス、190RPD:受発光デバイス、190:発光デバイス、191:画素電極、192B:バッファ層、192G:バッファ層、192R:バッファ層、192:バッファ層、193B:発光層、193G:発光層、193R:発光層、193:発光層、194B:バッファ層、194G:バッファ層、194R:バッファ層、194:バッファ層、200A:表示装置、200B:表示装置、201:基板、202:指、203:層、204:層、205:機能層、207:層、208:スタイラス、209:基板、211:絶縁層、212:絶縁層、213:絶縁層、214a:絶縁層、214b:絶縁層、214:絶縁層、215:絶縁層、216:隔壁、219a:遮光層、219b:スペーサ、221:導電層、222a:導電層、222b:導電層、223:導電層、225:絶縁層、228:領域、231i:チャネル形成領域、231n:低抵抗領域、231:半導体層、240:トランジスタ、241:トランジスタ、242:接続層、243:トランジスタ、244:接続部、245:トランジスタ、246:トランジスタ、247:トランジスタ、248:トランジスタ、249:トランジスタ、261:接触部、262:指紋、263:撮像範囲、266:軌跡、270B:発光デバイス、270G:発光デバイス、270PD:受光デバイス、270R:発光デバイス、270RPD:受発光デバイス、270:発光デバイス、271:第1の電極、273:活性層、275:第2の電極、280A:表示装置、280B:表示装置、280C:表示装置、280D:表示装置、280E:表示装置、280F:表示装置、280G:表示装置、280H:表示装置、281:正孔注入層、282:正孔輸送層、283B:発光層、283G:発光層、283R:発光層、283:発光層、284a:第1の電子輸送層、284b:第2の電子輸送層、284:電子輸送層、285:電子注入層、6500:電子機器、6501:筐体、6502:表示部、6503:電源ボタン、6504:ボタン、6505:スピーカ、6506:マイク、6507:カメラ、6508:光源、6510:保護部材、6511:表示パネル、6512:光学部材、6513:タッチセンサパネル、6515:FPC、6516:IC、6517:プリント基板、6518:バッテリ、7000:表示部、7100:テレビジョン装置、7101:筐体、7103:スタンド、7111:リモコン操作機、7200:ノート型パーソナルコンピュータ、7211:筐体、7212:キーボード、7213:ポインティングデバイス、7214:外部接続ポート、7300:デジタルサイネージ、7301:筐体、7303:スピーカ、7311:情報端末機、7400:デジタルサイネージ、7401:柱、7411:情報端末機、9000:筐体、9001:表示部、9003:スピーカ、9005:操作キー、9006:接続端子、9007:センサ、9008:マイクロフォン、9050:アイコン、9051:情報、9052:情報、9053:情報、9054:情報、9055:ヒンジ、9101:携帯情報端末、9102:携帯情報端末、9200:携帯情報端末、9201:携帯情報端末

Claims (22)

  1.  第1の電極と、第2の電極と、活性層と、キャリア輸送層と、を有し、
     前記活性層は、前記第1の電極と前記第2の電極の間に位置し、
     前記活性層は、第1の有機化合物と、第2の有機化合物と、を有し、
     前記第1の有機化合物は、一般式(G1)で表され、
     前記第2の有機化合物は、一般式(G2−1)で表され、
     前記キャリア輸送層は、前記第2の電極と前記活性層との間に位置し、
     前記キャリア輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     (一般式(G1)において、Dは置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のチオフェンを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換のフランを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリーレン基を表し、A及びAはそれぞれ独立に水素、重水素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、または1乃至3の置換基を有するビニル基を表し、前記置換基は、シアノ基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、またはニトロ基であり、m、n、kはそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、m、n、及びkの少なくとも1つは1乃至3の整数を表す。また、一般式(G2−1)において、R乃至R10はそれぞれ独立に水素、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表し、mは1乃至5の整数を表す。)
  2.  請求項1において、
     前記mは、2以上であり、
     複数の前記Rは、互いに異なる、光デバイス。
  3.  請求項1または請求項2において、
     前記mは、2以上であり、
     複数の前記R10は、互いに異なる、光デバイス。
  4.  請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
     前記R乃至前記R及び前記R乃至前記Rのうち少なくとも1組の隣り合う基は、互いに結合して環を形成している、光デバイス。
  5.  請求項1において、
     前記第2の有機化合物は、構造式(201)または(202)で表される光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
  6.  第1の電極と、第2の電極と、活性層と、キャリア輸送層と、を有し、
     前記活性層は、前記第1の電極と前記第2の電極の間に位置し、
     前記活性層は、第1の有機化合物と、第2の有機化合物と、を有し、
     前記第1の有機化合物は、一般式(G1)で表され、
     前記第2の有機化合物は、一般式(G2−2)または構造式(310)で表され、
     前記キャリア輸送層は、前記第2の電極と前記活性層との間に位置し、
     前記キャリア輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     (一般式(G1)において、Dは置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のチオフェンを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換のフランを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリーレン基を表し、A及びAはそれぞれ独立に水素、重水素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、または1乃至3の置換基を有するビニル基を表し、前記置換基は、シアノ基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、またはニトロ基であり、m、n、kはそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、m、n、及びkの少なくとも1つは1乃至3の整数を表す。また、一般式(G2−2)において、Mは金属、酸化金属、またはハロゲン化金属を表し、mは1または2であり、R11乃至R26はそれぞれ独立に水素、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。)
  7.  請求項6において、
     前記第2の有機化合物は、構造式(301)乃至構造式(305)のいずれか一で表される光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
  8.  第1の電極と、第2の電極と、活性層と、キャリア輸送層と、を有し、
     前記活性層は、前記第1の電極と前記第2の電極の間に位置し、
     前記活性層は、第1の有機化合物と、第2の有機化合物と、を有し、
     前記第1の有機化合物は、一般式(G1)で表され、
     前記第2の有機化合物は、一般式(G2−3)で表され、
     前記キャリア輸送層は、前記第2の電極と前記活性層との間に位置し、
     前記キャリア輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
     (一般式(G1)において、Dは置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のチオフェンを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換のフランを含む炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に置換もしくは無置換の炭素数4乃至30のヘテロアリーレン基、または置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリーレン基を表し、A及びAはそれぞれ独立に水素、重水素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、または1乃至3の置換基を有するビニル基を表し、前記置換基は、シアノ基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、またはニトロ基であり、m、n、kはそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、m、n、及びkの少なくとも1つは1乃至3の整数を表す。また、一般式(G2−3)において、R30乃至R49はそれぞれ独立に水素、重水素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数3乃至10のシクロアルキル基、ハロゲン、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、シアノ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、または置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基を表す。)
  9.  請求項8において、
     前記第2の有機化合物は、構造式(401)で表される光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
  10.  請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
     前記Dは、一般式(g1−1−1)乃至一般式(g1−1−4)のいずれか一で表され、
     前記Ar及び前記Arは、それぞれ独立に置換もしくは無置換のチオフェン−ジイル基、置換もしくは無置換のフラン−ジイル基、置換もしくは無置換のフェニレン基、または置換もしくは無置換のナフタレン−ジイル基であり、
     前記A及び前記Aは、それぞれ独立に一般式(g1−2)で表される光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
     (ただし、一般式(g1−1−1)乃至一般式(g1−1−4)、及び一般式(g1−2)において、R101及びR102の一方はAr及びArの一方と結合し、R103及びR104の一方はAr及びArの他方と結合し、R105及びR106の一方はAr及びArの一方と結合し、R107及びR108の一方はAr及びArの他方と結合し、R109及びR110の一方はAr及びArの一方と結合し、R111及びR112の一方はAr及びArの他方と結合し、R113乃至R116のいずれか2つの一方がArと結合し、他方がArと結合し、R101乃至R116のうち、残りが、それぞれ独立に水素、重水素、炭素数1乃至6の直鎖アルキル基、炭素数3乃至10のシクロアルキル基、炭素数1乃至6の直鎖アルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、炭素数1乃至6の直鎖ハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R117乃至R119はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R117乃至R119の少なくとも1つはシアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R120はAr及びArの一方または双方と結合し、X乃至X14はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n11は0乃至10の整数を表し、n12及びn13はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表す。)
  11.  請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
     前記第1の有機化合物は、一般式(G1−1)乃至一般式(G1−3)のいずれか一で表される光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
     (一般式(G1—1)乃至一般式(G1−3)において、X15乃至X30はそれぞれ独立に酸素または硫黄を表し、n14及びn17はそれぞれ独立に0乃至4の整数を表し、n15、n16、n18、n19乃至n22はそれぞれ独立に0乃至3の整数を表し、n20乃至n22の少なくとも1つは1乃至3の整数を表し、R127乃至R132、及びR139乃至R150はそれぞれ独立に水素、重水素、炭素数1乃至6の直鎖アルキル基、炭素数3乃至10のシクロアルキル基、炭素数1乃至6の直鎖アルコキシ基、置換もしくは無置換の炭素数6乃至30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素数2乃至30のヘテロアリール基、炭素数1乃至6の直鎖ハロゲン化アルキル基、またはハロゲンを表し、R121乃至R126、及びR133乃至R138、及びR160乃至R165はそれぞれ独立に水素、重水素、シアノ基、フッ素、塩素、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表し、R121乃至R126の少なくとも1つと、R133乃至R138の少なくとも1つと、R160乃至R165の少なくとも1つはシアノ基、フッ素、塩素、ニトロ基、置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のハロゲン化アルキル基、または置換もしくは無置換の炭素数1乃至6のアルコキシ基を表す。)
  12.  請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
     前記第1の有機化合物は、構造式(101)または(102)のいずれか一で表される光デバイス。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
  13.  請求項1乃至請求項12のいずれか一において、
     前記キャリア輸送層は、電子輸送性材料を有する光デバイス。
  14.  請求項13において、
     正孔輸送層を有し、
     前記正孔輸送層は、前記第1の電極と前記活性層との間に位置し、
     前記正孔輸送層は、正孔輸送性材料を有し、
     前記正孔輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である光デバイス。
  15.  請求項1乃至請求項12のいずれか一において、
     前記キャリア輸送層は、正孔輸送性材料を有する光デバイス。
  16.  請求項15において、
     電子輸送層を有し、
     前記電子輸送層は、前記第1の電極と前記活性層との間に位置し、
     前記電子輸送層は、電子輸送性材料を有し、
     前記電子輸送層の膜厚は、10nm以上300nm以下である光デバイス。
  17.  請求項1乃至請求項16のいずれか一において、
     前記活性層は、第1の層と、第2の層を有し、
     前記第1の層は、前記第2の層と接する領域を有し、
     前記第1の層は、前記第1の有機化合物を有し、
     前記第2の層は、前記第2の有機化合物を有する光デバイス。
  18.  請求項1乃至請求項17のいずれか一において、
     第1の発光層を有し、
     前記第1の発光層は、前記第1の電極と前記活性層との間に位置する光デバイス。
  19.  請求項1乃至請求項17のいずれか一において、
     第1の発光層を有し、
     前記第1の発光層は、前記キャリア輸送層と前記活性層との間に位置する光デバイス。
  20.  請求項1乃至請求項19のいずれか一に記載の光デバイスと、発光デバイスと、を有し、
     前記発光デバイスは、第3の電極と、第2の発光層と、前記第2の電極と、を有し、
     前記第2の発光層は、前記第3の電極と前記第2の電極の間に位置し、
     前記第2の発光層は、前記第1の有機化合物とは異なる第3の有機化合物を有する、表示装置。
  21.  請求項20において、
     さらに、トランジスタ、または基板の少なくとも一と、を有する表示装置。
  22.  請求項20または請求項21に記載の表示装置と、マイク、カメラ、操作用ボタン、接続端子、またはスピーカの少なくとも一と、を有する電子機器。
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