WO2022003504A1 - 表示装置、表示モジュール、及び電子機器 - Google Patents

表示装置、表示モジュール、及び電子機器 Download PDF

Info

Publication number
WO2022003504A1
WO2022003504A1 PCT/IB2021/055589 IB2021055589W WO2022003504A1 WO 2022003504 A1 WO2022003504 A1 WO 2022003504A1 IB 2021055589 W IB2021055589 W IB 2021055589W WO 2022003504 A1 WO2022003504 A1 WO 2022003504A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
layer
light emitting
light
pixel electrode
display device
Prior art date
Application number
PCT/IB2021/055589
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
久保田大介
中村太紀
初見亮
杉澤希
Original Assignee
株式会社半導体エネルギー研究所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社半導体エネルギー研究所 filed Critical 株式会社半導体エネルギー研究所
Priority to KR1020237001451A priority Critical patent/KR20230035041A/ko
Priority to JP2022533254A priority patent/JPWO2022003504A1/ja
Priority to US18/012,513 priority patent/US20230247873A1/en
Priority to CN202180047713.1A priority patent/CN115997246A/zh
Publication of WO2022003504A1 publication Critical patent/WO2022003504A1/ja

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic radiation-sensitive element covered by group H10K30/00
    • H10K39/30Devices controlled by radiation
    • H10K39/32Organic image sensors
    • H10K39/34Organic image sensors integrated with organic light-emitting diodes [OLED]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/302Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements characterised by the form or geometrical disposition of the individual elements
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/02Details
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/123Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/60OLEDs integrated with inorganic light-sensitive elements, e.g. with inorganic solar cells or inorganic photodiodes
    • H10K59/65OLEDs integrated with inorganic image sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H10K59/353Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels characterised by the geometrical arrangement of the RGB subpixels
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/40OLEDs integrated with touch screens

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a display device, a display module, and an electronic device.
  • One aspect of the present invention relates to a display device including a light emitting element (also referred to as a light emitting device) and a light receiving element (also referred to as a light receiving device).
  • One aspect of the present invention relates to a display device having an authentication function.
  • One aspect of the present invention relates to a touch panel.
  • One aspect of the present invention relates to a system including a display device.
  • one aspect of the present invention is not limited to the above technical fields.
  • the technical fields of one aspect of the present invention disclosed in the present specification and the like include semiconductor devices, display devices, light emitting devices, power storage devices, storage devices, electronic devices, lighting devices, input devices, input / output devices, image pickup devices, and the like.
  • the driving method of the above or the manufacturing method thereof can be mentioned.
  • a semiconductor device refers to a device in general that can function by utilizing semiconductor characteristics.
  • display devices are expected to be applied to various applications.
  • applications of a large display device include a television device for home use (also referred to as a television or television receiver), digital signage (electronic signage), PID (Public Information Display), and the like.
  • a television device for home use also referred to as a television or television receiver
  • digital signage electronic signage
  • PID Public Information Display
  • smartphones and tablet terminals equipped with a touch panel are being developed.
  • a light emitting element also referred to as an EL element
  • EL electroluminescence
  • Patent Document 1 discloses a flexible light emitting device to which an organic EL element is applied.
  • One aspect of the present invention is to provide a display device having a photodetection function.
  • one of the problems is to provide a display device having a light detection function and having high reliability.
  • one of the issues is to provide a multifunctional display device.
  • one of the issues is to provide a display device having high display quality.
  • Another issue is to provide a display device having high photodetection sensitivity.
  • one of the issues is to provide a new display device.
  • one aspect of the present invention is to provide a display device having high photodetection accuracy.
  • one of the problems is to provide a display device capable of capturing a clear image.
  • one of the problems is to provide a display device having a function as a touch panel.
  • One aspect of the present invention is a display device having a light receiving element, a light emitting element, a conductive layer, and a first wiring.
  • the light receiving element has a first pixel electrode, a common layer on the first pixel electrode, an active layer on the common layer, and a common electrode on the active layer.
  • the light emitting element has a second pixel electrode, a common layer on the second pixel electrode, a light emitting layer on the common layer, and a common electrode on the light emitting layer.
  • the conductive layer is provided on the same surface as the first pixel electrode and the second pixel electrode, is located between the first pixel electrode and the second pixel electrode, and is electrically connected to the common layer. It is electrically connected to the first wiring to which the potential of 1 is given.
  • the common layer has a portion that overlaps with the first pixel electrode, a portion that overlaps with the second pixel electrode, and a portion that overlaps with the conductive layer.
  • the common electrode has a portion that overlaps with the first pixel electrode and a portion that overlaps with the second pixel electrode.
  • the first wiring is provided on a surface different from the conductive layer.
  • first transistor and a second transistor.
  • first pixel electrode is given a second potential equal to or lower than the first potential via the first transistor.
  • second pixel electrode is provided with a third potential equal to or higher than the first potential via the second transistor.
  • common electrode is given a first potential.
  • the first pixel electrode is given a fourth potential equal to or higher than the first potential via the first transistor.
  • the second pixel electrode is provided with a fifth potential equal to or higher than the first potential via the second transistor.
  • the fifth potential is preferably higher than the fourth potential.
  • the conductive layer has a first annular portion.
  • the first pixel electrode is preferably located inside the first portion.
  • the second pixel electrode is located inside the first portion.
  • the conductive layer has an annular first portion, an annular second portion, and a third. It is preferable to have a portion and. At this time, in a plan view, it is preferable that one of the plurality of first pixel electrodes is located inside the first portion. Further, in a plan view, it is preferable that the other one of the plurality of first pixel electrodes is located inside the second portion. Further, in a plan view, the third portion is preferably located between the first portion and the second portion. Alternatively, in a plan view, one of the plurality of second pixel electrodes is preferably located inside the first portion. Further, in a plan view, it is preferable that the other one of the plurality of second pixel electrodes is located inside the second portion. Further, in a plan view, the third portion is preferably located between the first portion and the second portion.
  • the plurality of first pixel electrodes and the plurality of second pixel electrodes are provided, the plurality of first pixel electrodes are arranged in the first direction, and the plurality of second pixels are arranged.
  • the electrodes are preferably arranged in the first direction.
  • the conductive layer is elongated in the first direction, and preferably has a portion located between the plurality of first pixel electrodes and the plurality of second pixel electrodes.
  • the conductive layer is provided over the display area and the non-display area, and is electrically connected to the first wiring in the non-display area. It is more preferred that the conductive layer be electrically connected to the first wire in the display area. Alternatively, it is preferable that the conductive layer is provided in the display area and is electrically connected to the first wiring in the display area.
  • the first wiring has a portion that overlaps with the first pixel electrode and a portion that overlaps with the second pixel electrode.
  • the first wiring preferably has a portion located between the first pixel electrode and the second pixel electrode.
  • One aspect of the present invention is a module having a display device having any of the above configurations and to which a connector such as a flexible printed circuit board (hereinafter referred to as FPC) or TCP (Tape Carrier Package) is attached.
  • FPC flexible printed circuit board
  • TCP Tape Carrier Package
  • a module such as a module in which an integrated circuit (IC) is mounted by a COG (Chip On Glass) method, a COF (Chip On Film) method, or the like.
  • One aspect of the present invention is an electronic device having the above-mentioned module and at least one of an antenna, a battery, a housing, a camera, a speaker, a microphone, and an operation button.
  • a display device having a light detection function it is possible to provide a display device having a light detection function.
  • a display device having a light detection function and having high reliability Alternatively, a multifunctional display device can be provided.
  • a display device having high display quality it is possible to provide a display device having high photodetection sensitivity.
  • a new display device can be provided.
  • a display device having high light detection accuracy it is possible to provide a display device capable of capturing a clear image.
  • a display device having a function as a touch panel it is possible to provide a display device having a function as a touch panel.
  • FIG. 1A and 1B are diagrams showing a configuration example of a display device.
  • FIG. 2A is a schematic diagram showing the relationship between voltage and current density.
  • FIG. 2B is a diagram illustrating a potential applied to the display device.
  • 3A to 3D are views showing a configuration example of a display device.
  • 4A to 4C are views showing a configuration example of a display device.
  • 5A and 5B are diagrams showing a configuration example of a display device.
  • 6A to 6C are diagrams showing a configuration example of a display device.
  • 7A and 7B are diagrams showing a configuration example of the display device.
  • FIG. 8A is a diagram showing a configuration example of the display device.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view showing a configuration example of the display device.
  • FIG. 9A and 9B are diagrams showing a configuration example of the display device.
  • 10A and 10B are sectional views showing a configuration example of a display device.
  • 11A and 11B are sectional views showing a configuration example of a display device.
  • FIG. 12 is a diagram showing a configuration example of the display device.
  • 13A and 13B are diagrams showing a configuration example of the display device.
  • 14A, 14B and 14D are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • 14C and 14E are diagrams showing an example of an image captured by the display device.
  • 14F to 14H are top views showing an example of pixels.
  • FIG. 15A is a cross-sectional view showing a configuration example of the display device.
  • 15B to 15D are top views showing an example of pixels.
  • 16A is a cross-sectional view showing a configuration example of the display device.
  • 16B to 16I are top views showing an example of pixels.
  • 17A and 17B are diagrams showing a configuration example of a display device.
  • 18A to 18G are views showing a configuration example of a display device.
  • 19A to 19C are diagrams showing a configuration example of a display device.
  • 20A and 20B are diagrams showing a configuration example of a display device.
  • 21A and 21B are diagrams showing a configuration example of a display device.
  • FIG. 22 is a diagram showing a configuration example of the display device.
  • FIG. 23A is a diagram showing a configuration example of the display device.
  • 23B and 23C are diagrams showing a configuration example of a transistor.
  • 24A and 24B are diagrams showing a configuration example of pixels.
  • 24C to 24E are diagrams showing a configuration example of a pixel circuit.
  • 25A and 25B are diagrams showing a configuration example of an electronic device.
  • 26A to 26D are views showing a configuration example of an electronic device.
  • 27A to 27F are views showing a configuration example of an electronic device.
  • the display panel which is one aspect of the display device, has a function of displaying (outputting) an image or the like on the display surface. Therefore, the display panel is an aspect of the output device.
  • a connector such as FPC (Flexible Printed Circuit) or TCP (Tape Carrier Package) is attached to the board of the display panel, or an IC is used on the board by a COG (Chip On Glass) method or the like.
  • FPC Flexible Printed Circuit
  • TCP Transmission Carrier Package
  • COG Chip On Glass
  • the touch panel which is one aspect of the display device, has a function of displaying an image or the like on the display surface, and the display surface is touched, pressed, or approached by a detected object such as a finger or a stylus. It has a function as a touch sensor for detection. Therefore, the touch panel is one aspect of the input / output device.
  • the touch panel can also be referred to as, for example, a display panel with a touch sensor (or a display device) or a display panel with a touch sensor function (or a display device).
  • the touch panel may be configured to have a display panel and a touch sensor panel. Alternatively, it may be configured to have a function as a touch sensor inside or on the surface of the display panel.
  • a touch panel board on which a connector, an IC, etc. are mounted may be referred to as a touch panel module, a display module, or simply a touch panel.
  • the device of one aspect of the present invention has a plurality of light receiving elements and a plurality of light emitting elements.
  • the light receiving element functions as a photoelectric conversion element that detects light incident on the light receiving element and generates an electric charge.
  • the device of one aspect of the present invention functions as an image pickup device because it can take an image with a plurality of light receiving elements. At this time, the light emitting element can be used as a light source for imaging. Further, one aspect of the present invention functions as a display device because an image can be displayed by a plurality of light emitting elements. Therefore, one aspect of the present invention can be said to be a display device having an image pickup function or an image pickup device having a display function.
  • the display unit has a function of displaying an image and a function of a light receiving unit. Since the image can be captured by a plurality of light receiving elements provided in the display unit, the display device can function as an image sensor, a touch panel, or the like. That is, it is possible to capture an image on the display unit, detect that an object is approaching or touching the object, and the like.
  • the display device can be used as an image scanner.
  • the light emitting element provided in the display unit can be used as a light source for receiving light, it is not necessary to provide a light source separately from the display device, and the display has high functionality without increasing the number of electronic parts.
  • the device can be realized.
  • the light receiving element when the object reflects (or scatters) not only the external light but also the light emitted by the light emitting element of the display unit, the light receiving element reflects the reflected light (or scattered light). Since it can be detected, it is possible to take an image and detect a touch operation (including non-contact) even in a dark place.
  • the display device can capture a fingerprint or a palm print when a finger, a palm, or the like is brought into contact with the display unit. Therefore, the electronic device provided with the display device according to one aspect of the present invention can perform personal authentication by using the captured images such as fingerprints and palm prints. As a result, it is not necessary to separately provide an image pickup device for fingerprint authentication, palm print authentication, etc., and the number of parts of the electronic device can be reduced. Further, since the light receiving elements are arranged in a matrix in the display unit, it is possible to take an image of a fingerprint, a palm print, or the like at any place on the display unit, and it is possible to realize a highly convenient electronic device.
  • an EL element such as an OLED (Organic Light Emitting Diode) or a QLED (Quantum-dot Light Emitting Diode).
  • the light-emitting substance of the EL element includes a substance that emits fluorescence (fluorescent material), a substance that emits phosphorescence (phosphorescent material), and a substance that exhibits thermally activated delayed fluorescence (Thermally Activated Fluorescence: TADF) material. ), Inorganic compounds (quantum dot materials, etc.) and the like.
  • the light receiving element for example, a pn type or pin type photodiode can be used.
  • the light receiving element functions as a photoelectric conversion element that detects light incident on the light receiving element and generates an electric charge.
  • the amount of electric charge generated is determined according to the amount of incident light.
  • Organic photodiodes can be easily made thinner, lighter, and have a larger area, and have a high degree of freedom in shape and design, so that they can be applied to various display devices.
  • an organic compound for the active layer of the light receiving element.
  • the other electrode of the light emitting element and the other electrode of the light receiving element are electrodes (also referred to as common electrodes) formed by a continuous (continuous) conductive layer.
  • the light emitting element and the light receiving element have a common layer.
  • the common layer is a layer commonly used for both the light emitting element and the light receiving element. It is more preferable that the common layer is continuously (consecutively) provided over both the light emitting element and the light receiving element.
  • the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer is a common layer between the light receiving element and the light emitting element.
  • the light receiving element and the light emitting element may have the same configuration except that the light receiving element has an active layer and the light emitting element has a light emitting layer. That is, a light receiving element can be manufactured only by replacing the light emitting layer of the light emitting element with an active layer.
  • a display device having a light receiving element can be manufactured by using the existing manufacturing device and manufacturing method of the display device.
  • a common layer is provided between the pixel electrode (also referred to as the first pixel electrode) of the light receiving element and the active layer, and between the pixel electrode (also referred to as the second pixel electrode) of the light emitting element and the light emitting layer.
  • a current flowing from the second pixel electrode to the first pixel electrode may be generated through the common layer due to the difference in the potential applied to each pixel electrode. ..
  • a side leak current such a current flowing between the pixel electrodes via the common layer is referred to as a side leak current.
  • the side leak current becomes noise of the light receiving element and becomes a factor of lowering the S / N ratio (Signal-to-Noise ratio). Therefore, a clear image may not be captured due to the side leak current. Therefore, it is desirable to suppress side leaks while reducing the number of separate coatings by providing a common layer.
  • the light emitting element and the light receiving element each have diode characteristics.
  • a current flows through the light emitting element when a forward bias voltage is applied, and the light emitting element emits light.
  • a reverse bias voltage is applied to the light receiving element, an electric charge corresponding to the intensity of the light received by the photoelectric conversion is generated. Therefore, when a common electrode is used between the light emitting element and the light receiving element, what is the potential given to the first pixel electrode when the light receiving element performs photoelectric conversion and the potential given to the second pixel electrode when the light emitting element emits light?
  • the potential given to the common electrode one may be high and the other may be low, resulting in a large potential difference. Due to this potential difference, a side leak current may occur between the first pixel electrode and the second pixel electrode.
  • the common electrode is the cathode of the light receiving element and the light emitting element
  • the first pixel electrode of the light receiving element has a lower potential than the common electrode
  • the second pixel electrode of the light emitting element has a higher potential than the common electrode.
  • the side leak current flows from the second pixel electrode toward the first pixel electrode through the common layer.
  • different transistors are connected to each pixel electrode. In that case, it is possible to apply an arbitrary potential to the pixel electrode via the transistor.
  • one aspect of the present invention is such that a conductive layer electrically connected to the common layer is provided between the first pixel electrode and the second pixel electrode.
  • the conductive layer is located on the path of the side leak current flowing from the second pixel electrode to the first pixel electrode, and is provided so that the side leak current flows. As a result, the side leak current can be cut off.
  • the conductive layer is provided on the same surface as the first pixel electrode and the second pixel electrode. Further, the conductive layer is electrically connected to the wiring (also referred to as the first wiring), and it is preferable that the first potential is applied through the wiring.
  • the first potential is applied through the wiring.
  • the conductive layer may be provided between the first pixel electrode and the second pixel electrode in a plan view. Specifically, the conductive layer can be provided on a straight line connecting the first pixel electrode and the second pixel electrode at the shortest distance.
  • the common layer that causes the side leak current is an ideally uniform film, the side leak current tends to flow along the straight line connecting the pixel electrodes at the shortest. Therefore, by arranging the conductive layer at such a position, the side leak current that can flow between the first pixel electrode and the second pixel electrode can be effectively cut off.
  • the conductive layer has an annular portion and the first pixel electrode is located inside the above-mentioned annular portion. Further, it is preferable that the conductive layer is electrically connected to the wiring at the display unit. With this configuration, since the first pixel electrode is surrounded by the conductive layer, the current path from the second pixel electrode can be blocked by the conductive layer. Therefore, the side leak current can be effectively suppressed. Further, the conductive layer has an annular first portion, an annular second portion, and a third portion, and the third portion is located between the annular first portion and the second portion. It may be configured to be used.
  • one of the plurality of first pixel electrodes may be located inside the first portion, and the other one may be located inside the second portion.
  • the conductive layer is provided over the display unit or the display unit and the non-display unit, and is electrically connected to the wiring at the display unit or the non-display unit.
  • the first pixel electrode located inside the above-mentioned annular conductive layer may be replaced with the second pixel electrode.
  • the second pixel electrode since the second pixel electrode is surrounded by the conductive layer, the current path from the second pixel electrode can be blocked by the conductive layer. Therefore, the side leak current can be effectively suppressed.
  • each pixel electrode is arranged in the first direction.
  • the conductive layer is stretched in the first direction and is provided between the plurality of first pixel electrodes and the plurality of second pixel electrodes.
  • the conductive layer is electrically connected to the wiring at the display portion or the non-display portion.
  • the conductive layer it is preferable to use a highly conductive conductive material. Further, the same material can be used for the conductive layer and the pixel electrode. By forming the conductive layer, the first pixel electrode, and the second pixel electrode in the same process using the same film, the manufacturing process can be simplified.
  • a conductive material having high reflectance of visible light and high conductivity such as aluminum and silver. Also, aluminum and alloys containing one or more selected from titanium, neodymium, nickel, and lanthanum can be used.
  • the wiring is provided on a surface different from the conductive layer.
  • the conductive material that can be used for wiring include metals such as aluminum, titanium, chromium, nickel, copper, yttrium, zirconium, molybdenum, silver, tantalum, and tungsten, and alloys containing the metal as a main component. Can be mentioned. Further, for wiring, a film containing these materials can be used as a single layer or as a laminated structure.
  • FIG. 1A shows a schematic cross-sectional view of the display unit of the uniform display device 10A of the present invention.
  • the display device 10A has a light receiving element 20, a light emitting element 30, a conductive layer 40, wiring 50, and the like.
  • the light receiving element 20, the light emitting element 30, and the conductive layer 40 are provided on the same surface between the substrate 11 and the substrate 12. Further, the light receiving element 20, the light emitting element 30, and the conductive layer 40 are each located on the insulating layer 13.
  • the wiring 50 is provided on the substrate 11 and is provided on a surface different from the light receiving element 20, the light emitting element 30, and the conductive layer 40. As shown in FIG. 1A, it is preferable that the wiring 50 is provided below the light receiving element 20, the light emitting element 30, and the conductive layer 40 (on the substrate 11 side).
  • the light receiving element 20 has a function of receiving light 90 incident from the substrate 12 side and converting it into an electric signal.
  • the light receiving element 20 functions as a photoelectric conversion element.
  • the light receiving element 20 has a structure in which a pixel electrode 41, a common layer 61, a light receiving layer 21, and a common electrode 60 are laminated. Further, it is preferable that the transistor 51 electrically connected to the pixel electrode 41 is provided on the substrate 11. The pixel electrode 41 is electrically connected to the source or drain of the transistor 51 through an opening provided in the insulating layer 13. Further, it is preferable to have a common layer 62 between the light receiving layer 21 and the common electrode 60. Further, it is preferable that the common electrode 60 is covered with the protective layer 63.
  • the light emitting element 30 has a function of emitting light 80 to the substrate 12 side.
  • the light emitting element 30 has a structure in which a pixel electrode 42, a common layer 61, a light emitting layer 31, and a common electrode 60 are laminated. Further, it is preferable that the transistor 52 electrically connected to the pixel electrode 42 is provided on the substrate 11. The pixel electrode 42 is electrically connected to the source or drain of the transistor 52 through an opening provided in the insulating layer 13. Further, it is preferable to have a common layer 62 between the light emitting layer 31 and the common electrode 60. Further, it is preferable that the common electrode 60 is covered with the protective layer 63.
  • the light emitting element 30 can be, for example, a light emitting element that emits any one of red (R), green (G), and blue (B). Alternatively, it may be a light emitting element that emits light such as white (W) or yellow (Y). The light emitting element 30 may have two or more peaks in its light emission spectrum.
  • the conductive layer 40 has a function of preventing the side leak current from flowing into the pixel electrode 41.
  • the conductive layer 40 is electrically connected to the common layer 61. Further, a common layer 61 and a common electrode 60 are laminated on the conductive layer 40. Further, the conductive layer 40 is electrically connected to the wiring 50 at the display unit or the non-display unit, and a first potential is applied.
  • the wiring 50 is provided on the substrate 11 and is provided on a surface different from the light receiving element 20, the light emitting element 30, and the conductive layer 40.
  • the partition wall 14 has a function of electrically insulating (also referred to as electrically separating) the pixel electrode 41, the pixel electrode 42, and the conductive layer 40 from each other.
  • the ends of the pixel electrode 41, the pixel electrode 42, and the conductive layer 40 are covered with the partition wall 14.
  • An organic insulating film is suitable as the partition wall 14.
  • Examples of the material that can be used for the organic insulating film include acrylic resin, polyimide resin, epoxy resin, polyamide resin, polyimideamide resin, siloxane resin, benzocyclobutene resin, phenol resin, and precursors of these resins. ..
  • the partition wall 14 is a layer that transmits visible light. Instead of the partition wall 14, a partition wall that blocks visible light may be provided.
  • the pixel electrode 41, the pixel electrode 42, and the conductive layer 40 are formed by processing the same conductive film.
  • the common layer 61 has a portion overlapping each of the pixel electrode 41, the pixel electrode 42, and the conductive layer 40.
  • the common layer 62 and the common electrode 60 have a portion that overlaps with the pixel electrode 41 via the light receiving layer 21 and the common layer 61, a portion that overlaps with the pixel electrode 42 via the light emitting layer 31 and the common layer 61, and a common layer 61. It has a portion that overlaps with the conductive layer 40 via the above.
  • FIG. 1B shows a cross-sectional view of the display unit of the display device 10B.
  • the wiring 50 does not necessarily have to be provided in the display unit.
  • the wiring 50 is preferably formed by using the same conductive film as the electrodes constituting the transistor 51 and the transistor 52.
  • the wiring 50 is formed by processing the same conductive film as the gate electrode, back gate electrode, source electrode, drain electrode, or other electrode or wiring of the transistor 51 and the transistor 52. As a result, the wiring 50 can be formed without increasing the number of steps.
  • FIG. 2A schematically shows the relationship between the current density (J) and the voltage (V) of the current flowing in the organic thin film.
  • J current density
  • V voltage
  • the organic thin film used for the common layer 61 has a low carrier density, the current flowing through the layer has a voltage dependence as shown in FIG. 2A. Since the light receiving element is driven by negative bias and the light emitting element is driven by positive bias, the potential difference between the pixel electrodes becomes very large, and the side leak current flowing between the pixel electrodes via the common layer 61 has a child rule. May apply. That is, a large amount of side leak current may occur between the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42.
  • one aspect of the present invention is such that the conductive layer 40 is arranged between the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42.
  • the conductive layer 40 is arranged between the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42.
  • the potential of the conductive layer 40 is set so that the side leak current generated between the pixel electrode 41 and the conductive layer 40 is extremely smaller than the side leak current that can occur between the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42. do. From FIG. 2A, by setting the potential difference between the pixel electrode 41 of the light receiving element 20 and the conductive layer 40 in the range of the voltage A or less, the magnitude of the side leak current between the pixel electrode 41 and the conductive layer 40 can be determined as an ohm current. Can be within the range of. Therefore, the side leak current can be effectively suppressed.
  • the voltage A can be estimated by measuring the current-voltage characteristic between the pixel electrode 41 and the conductive layer 40.
  • the voltage A is a value determined by the material of the common layer 61, the laminated structure of the common layer 61, the thickness of the common layer 61, the distance between the two electrodes, and the like.
  • FIG. 2B shows a schematic diagram of an example of the potential applied to the pixel electrode 41, the pixel electrode 42, and the conductive layer 40.
  • the vertical axis indicates the potential (V)
  • the vertical arrow indicates the range of potential that each pixel electrode, the conductive layer 40, or the like can take.
  • a potential of 100 is applied to the common electrode 60.
  • the potential 101 is a potential that can be applied to the conductive layer 40, and can take a value from the potential 101L to the potential 101H.
  • the potential 102 is a potential that can be applied to the pixel electrode 41 of the light receiving element 20, and can take a value from the potential 102L to the potential 102H.
  • the potential 103 is a potential that can be applied to the pixel electrode 42 of the light emitting element 30, and can take a value from the potential 103L to the potential 103H.
  • the potential 102H is set to the potential of 100 or less when the common electrode 60 is used as the cathode.
  • the potential 103L is set to the potential of 100 or more.
  • the potential 101H is set to the potential 103H or less.
  • the potential 101 given to the conductive layer 40 has the same value as the potential 100.
  • the potential applied to the common electrode 60 and the conductive layer 40 the same, the number of circuits for generating the potential can be reduced.
  • the potential 101 given to the conductive layer 40 is set within the range of the potential 102 plus or minus A with respect to the potential 102. Within this range, the side leak current flowing to the first pixel electrode can be suppressed within the ohm current range. Therefore, the noise of the light receiving element can be effectively reduced, and clear imaging becomes possible.
  • the uniformity of the present invention can capture an image by a plurality of light receiving elements. Further, an image can be displayed by a plurality of light emitting elements.
  • a full-color display device can be realized by arranging light emitting elements of, for example, three colors of red (R), green (G), and blue (B) in one pixel of the display device.
  • R red
  • G green
  • B blue
  • FIGS. 9A and 9B, and FIGS. 12 to 13B show configuration examples of a planar layout such as a pixel electrode 41, a pixel electrode 42, and a conductive layer 40.
  • the pixel electrode 41 is a pixel electrode of a light receiving element
  • the pixel electrode 42R is a pixel electrode of a red light emitting element
  • the pixel electrode 42G is a pixel electrode of a green light emitting element
  • the pixel electrode 42B is a pixel of a blue light emitting element. It is an electrode.
  • the pixel electrode 42R, the pixel electrode 42G, and the pixel electrode 42B are not distinguished, they may be referred to as the pixel electrode 42.
  • FIGS. 3A to 4C are examples in which three light emitting elements and one light receiving element are arranged in a row.
  • FIG. 3A shows the display device 110A.
  • the pixel electrode 41 is located inside the annular conductive layer 40 in a plan view.
  • the wiring 50 is provided under the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42.
  • the conductive layer 40 is electrically connected to the wiring 50 via a connecting portion 55 that overlaps with the conductive layer 40.
  • the electric potential 101 is applied to the conductive layer 40 via the wiring 50.
  • the display device 110B shown in FIG. 3B is mainly different from the display device 110A in that the wiring 50 does not overlap the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42. Therefore, since the parasitic capacitance between the wiring 50 and each pixel electrode can be reduced, high-speed driving can be realized.
  • the display device 110C shown in FIG. 3C is mainly different from the display device 110A in that it has a rod-shaped (also referred to as a strip-shaped) conductive layer 40.
  • the conductive layer 40 is located between the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42.
  • the shape of the rod-shaped conductive layer 40 may be linear or curved.
  • the wiring 50 may be configured so as not to overlap with the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42.
  • the display device 110E shown in FIG. 4A is mainly different from the display device 110A in that the pixel electrode 42R, the pixel electrode 42G, and the pixel electrode 42B are located inside the annular conductive layer 40.
  • the pixel electrode 41 is separated from the pixel electrode 42 by the conductive layer 40, so that the pixel electrode 42 is transferred from the pixel electrode 42 to the pixel electrode 41.
  • the flowing side leak current can be effectively cut off. Therefore, the noise of the light receiving element is reduced, and clear imaging becomes possible.
  • FIG. 4A an example in which the wiring 50 overlaps the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42 is shown, but as in the display device 110F shown in FIG. 4B, these may be configured not to overlap.
  • the wiring 50 can also be arranged in an area (non-display unit) outside the display unit.
  • the alternate long and short dash line shown in FIG. 4C indicates the boundary between the display unit 120 and the non-display unit 121 of the display device 110G.
  • the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42 are located on the display unit 120.
  • the conductive layer 40 is electrically connected to the wiring 50 via the connecting portion 55 located in the non-display portion 121. Further, the conductive layer 40 is located between the adjacent pixel electrodes 41 and 42, and is provided over the display unit 120 and the non-display unit 121. Further, the wiring 50 does not overlap with the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42, and is provided in the non-display portion 121.
  • the display device 110G since the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42 are separated by the conductive layer 40, clear imaging becomes possible. Further, since the wiring 50 is arranged in the non-display unit 121, the pixels of the display unit 120 can be miniaturized, and a higher-definition image can be displayed. Further, since the connection portion 55 of the plurality of conductive layers 40 can be provided in one wiring 50, the circuit can be simplified.
  • the non-display unit 121 is provided so as to surround the display unit 120. Further, it is preferable that the wiring 50 is provided in each of the pair of portions of the non-display unit 121 that sandwich the display unit 120. At this time, FIG. 4C corresponds to one of the pair of non-display portions 121. Further, at this time, the other of the pair of portions may be configured to be upside down in FIG. 4C.
  • FIGS. 5A to 6C are examples in which three light emitting elements are arranged in a row and one horizontally long light receiving element is arranged below the three light emitting elements.
  • FIG. 5A shows the display device 110H.
  • the pixel electrode 41 of the display device 110H is located inside the annular conductive layer 40, similarly to the display device 110A. Further, as in the display device 110J shown in FIG. 5B, the wiring 50 may be configured so as not to overlap the pixel electrode 41.
  • FIG. 6A shows the display device 110K.
  • the pixel electrode 42R, the pixel electrode 42G, and the pixel electrode 42B of the display device 110K are located inside the annular conductive layer 49, like the display device 110E, and like the display device 110L shown in FIG. 6B.
  • the wiring 50 may be configured so as not to overlap the pixel electrode 42.
  • the display device 110M shown in FIG. 6C is mainly different from the display device 110G in that three light emitting elements and one horizontally long light receiving element are repeatedly arranged in a row below the display device 110M. ing.
  • FIGS. 7A and 7B The configuration example shown in FIGS. 7A and 7B is an example in which a green light emitting element, a red light emitting element, and a light receiving element are arranged in a vertical row, and vertically long blue light emitting elements are arranged on the horizontal side thereof. ..
  • FIG. 7A shows the display device 110N.
  • the pixel electrode 41 of the display device 110N is located inside the annular conductive layer 40, similarly to the display device 110A.
  • FIG. 7B shows the display device 110P.
  • the alternate long and short dash line shown in FIG. 7B indicates the boundary between the display unit 120 and the non-display unit 121 of the display device 110P.
  • the conductive layer 40 is electrically connected to the wiring 50 via the connecting portion 55 that overlaps with the conductive layer 40 of the non-display portion 121 as compared with the display device 110N. Further, the conductive layer 40 has an annular first portion 40a and a second portion 40b, and is provided over the display unit 120 and the non-display unit 121. Further, the wiring 50 is mainly different in that it is located in the non-display portion 121.
  • the first portion 40a has an annular portion, and the pixel electrode 41 is located inside the annular portion. Further, the second portion 40b is located between the pair of first portions 40a and connects them. Further, the conductive layer 40 is provided over the display unit 120 and the non-display unit 121, and is electrically connected to the wiring 50 via the connection unit 55 that overlaps with the conductive layer 40 of the non-display unit 121.
  • the pixel electrode 41 is separated from the pixel electrode 42 by the conductive layer 40, clear imaging becomes possible.
  • the wiring 50 is arranged in the non-display unit, the pixels of the display unit can be miniaturized, and a higher-definition image can be displayed. Further, since the connection portion 55 of the plurality of conductive layers 40 can be provided in one wiring 50, the circuit can be simplified, which is preferable.
  • FIGS. 8A, 9, 12, and 13 The configuration example shown in FIGS. 8A, 9, 12, and 13 is an example in which three light emitting elements and one light receiving element are repeatedly arranged in a matrix.
  • the alternate long and short dash line shown in the figure indicates the boundary between the display unit 120 and the non-display unit 121 of each display device.
  • FIG. 8A shows the display device 110Q.
  • the pixel electrode 41 of the display device 110Q is located inside the annular conductive layer 40, similarly to the display device 110A.
  • FIG. 8B corresponds to a cross-sectional view of a cut surface in the alternate long and short dash line AB shown in FIG. 8A.
  • the wiring 50 is located between the substrate 11, the pixel electrode 41, and the conductive layer 40. Further, the wiring 50 is provided on the substrate 11 from one non-display unit 121 to the other non-display unit 121 via the display unit 120, and is provided with the pixel electrode 41, the conductive layer 40, and the light receiving layer 21, respectively. It has overlapping parts. Further, the conductive layer 40 is electrically connected to the wiring 50 via the connecting portion 55. Further, although the transistor connected to the pixel electrode 41 and the pixel electrode 42 and the wiring 50 are located on the same surface, they are provided so as not to interfere with each other.
  • the display device 110R shown in FIG. 9A is mainly different from the display device 110Q of FIG. 8A in that the conductive layer 40 has a first portion 40a and a second portion 40b.
  • the first portion 40a has an annular portion, and the pixel electrode 41 is located inside the annular portion. Further, the second portion 40b is located between the pair of first portions 40a and connects them. With such a configuration, the number of wirings 50 of the display unit 120 can be reduced to less than half as compared with the case where the first portion 40a is not connected by the second portion 40b, and the space of the display unit can be effectively utilized. can. Therefore, it is possible to miniaturize the pixels or increase the aperture ratio of the pixel electrodes.
  • FIG. 9B shows the display device 110S.
  • the pixel electrode 41 of the display device 110S is located inside the annular first portion 40a of the conductive layer 40, similarly to the display device 110P.
  • FIGS. 10A and 10B correspond to cross-sectional views of the cut surface in the alternate long and short dash line CD shown in FIG. 9A.
  • the second portion 40b is located between the pair of first portions 40a.
  • FIG. 10A is an example in which the partition wall 14 is not provided on the second portion 40b of the conductive layer 40
  • FIG. 10B is an example in which the partition wall 14 is provided on the second portion 40b.
  • the partition wall 14 may be configured to cover not only the end portion of the first portion 40a but also a part of the upper portion of the second portion 40b. That is, the first portion 40a or the second portion 40b and the common layer 61 may be electrically connected at two or more places.
  • FIG. 11A and 11B correspond to cross-sectional views of the cut surface in the alternate long and short dash line EF shown in FIG. 9B.
  • the cross-sectional view of FIG. 11A is different from that of FIG. 10A and the cross-sectional view of FIG. 11B is mainly different from that of FIG. 10B in that the wiring 50 is not provided in the display unit 120.
  • the display device 110T shown in FIG. 12 is mainly different from the display device 110S in that the pixel electrode 42G is located inside the first annular portion 40a.
  • the light emitting element provided in the display unit 120 can be used as a light source at the time of imaging.
  • a green light emitting element is used as the light source
  • the pixel electrode 42G may be located inside the annular first portion 40a, as in the display device 110T.
  • the pixel electrode 42R may be configured to be located inside the first portion 40a.
  • the pixel electrode 42B may be configured to be located inside the first portion 40a.
  • the display device 110U shown in FIG. 13A is an example in which the shape of the second portion 40b of the display device 110S is modified.
  • the second portion 40b is provided so as not to be in contact with the pixel electrode 41 or the pixel electrode 42.
  • the second portion 40b may have a shape having one or more inflection points, such as the display device 110U.
  • the second portion 40b may have a V-shaped, L-shaped, or U-shaped upper surface shape in a part thereof.
  • the display device 110W shown in FIG. 13B is a configuration example in which the display device 110Q and the display device 110S are combined.
  • the pixel electrode 41 is located inside the annular conductive layer 40X.
  • the conductive layer 40Y has a first portion 40a and a second portion 40b.
  • the first portion 40a has an annular portion
  • the pixel electrode 41 is located inside the annular portion.
  • the second portion 40b is located between the pair of first portions 40a.
  • the conductive layer 40X is electrically connected to the wiring 50X via the connection portion 55a located in the display portion 120.
  • the conductive layer 40Y is electrically connected to the wiring 50 via the connecting portion 55b located in the non-display portion 121.
  • a potential 101 is applied to the conductive layer 40X via the wiring 50X and to the conductive layer 40Y via the wiring 50Y.
  • This embodiment can be carried out by appropriately combining at least a part thereof with other embodiments described in the present specification.
  • the display unit of the display device has a light receiving element and a light emitting element.
  • the display unit has a function of displaying an image using a light emitting element. Further, the display unit has one or both of a function of capturing an image using a light receiving element and a function of sensing.
  • the display device may be configured to include a light receiving / emitting element (also referred to as a light receiving / emitting device) and a light emitting element.
  • a light receiving / emitting element also referred to as a light receiving / emitting device
  • a light emitting element also referred to as a light emitting device
  • the above-described first embodiment can be referred to.
  • the display device can capture an image by using the light receiving element.
  • the display device can be used as a scanner.
  • the electronic device to which the display device of one aspect of the present invention is applied can acquire data related to biological information such as fingerprints or palm prints by using the function as an image sensor. That is, the display device can incorporate a biometric authentication sensor. By incorporating the biometric authentication sensor in the display device, the number of parts of the electronic device can be reduced, and the size and weight of the electronic device can be reduced as compared with the case where the biometric authentication sensor is provided separately from the display device. ..
  • the display device can detect the touch operation of the object by using the light receiving element.
  • an organic EL element (also referred to as an organic EL device) is used as a light emitting element, and an organic photodiode is used as a light receiving element.
  • the organic EL element and the organic photodiode can be formed on the same substrate. Therefore, an organic photodiode can be built in a display device using an organic EL element.
  • one of the pair of electrodes can be a common layer for the light receiving element and the light emitting element.
  • the light receiving element and the light emitting element may have the same configuration except that the light receiving element has an active layer and the light emitting element has a light emitting layer. That is, a light receiving element can be manufactured only by replacing the light emitting layer of the light emitting element with an active layer.
  • a display device having a light receiving element can be manufactured by using the existing manufacturing device and manufacturing method of the display device.
  • the layer common to the light receiving element and the light emitting element may have different functions in the light emitting element and those in the light receiving element.
  • the components are referred to based on the function in the light emitting element.
  • the hole injection layer functions as a hole injection layer in a light emitting device and as a hole transport layer in a light receiving element.
  • the electron injection layer functions as an electron injection layer in the light emitting device and as an electron transport layer in the light receiving element.
  • the layer common to the light receiving element and the light emitting element may have the same function in the light emitting element and the function in the light receiving element.
  • the hole transport layer functions as a hole transport layer in both the light emitting element and the light receiving element
  • the electron transport layer functions as an electron transport layer in both the light emitting element and the light receiving element.
  • the sub-pixel exhibiting any color has a light-receiving element instead of the light-emitting element, and the sub-pixel exhibiting another color has a light-emitting element.
  • the light receiving / receiving element has both a function of emitting light (light emitting function) and a function of receiving light (light receiving function). For example, when a pixel has three sub-pixels, a red sub-pixel, a green sub-pixel, and a blue sub-pixel, at least one sub-pixel has a light-receiving element and the other sub-pixel has a light-emitting element. It is composed. Therefore, the display unit of the display device according to one aspect of the present invention has a function of displaying an image by using both the light receiving / receiving element and the light emitting element.
  • the light receiving / receiving element also serves as a light emitting element and a light receiving element, it is possible to impart a light receiving function to the pixels without increasing the number of sub-pixels included in the pixels.
  • one or both of the imaging function and the sensing function can be added to the display unit of the display device while maintaining the aperture ratio of the pixels (aperture ratio of each sub-pixel) and the fineness of the display device. .. Therefore, in the display device of one aspect of the present invention, the aperture ratio of the pixel can be increased and the definition can be easily increased as compared with the case where the sub-pixel having the light receiving element is provided separately from the sub-pixel having the light emitting element. be.
  • a light emitting / receiving element and a light emitting element are arranged in a matrix in the display unit, and an image can be displayed on the display unit.
  • the display unit can be used for an image sensor, a touch sensor, and the like.
  • the light emitting element can be used as a light source of the sensor. Therefore, it is possible to capture an image and detect a touch operation even in a dark place.
  • the light receiving / receiving element can be manufactured by combining an organic EL element and an organic photodiode.
  • a light receiving / receiving element can be manufactured by adding an active layer of an organic photodiode to a laminated structure of an organic EL element.
  • the increase in the film forming process can be suppressed by forming a film in a batch of layers having the same configuration as the organic EL element.
  • one of the pair of electrodes can be a common layer for the light receiving / receiving element and the light emitting element.
  • it is preferable that at least one of the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer is a common layer for the light receiving / receiving element and the light emitting element.
  • the light receiving element and the light emitting element may have the same configuration except for the presence or absence of the active layer of the light receiving element. That is, the light receiving / receiving element can be manufactured only by adding the active layer of the light receiving element to the light emitting element.
  • a display device having a light receiving / receiving element can be manufactured by using the existing manufacturing device and manufacturing method of the display device.
  • the layer of the light receiving / receiving element may have different functions depending on whether the light receiving / receiving element functions as a light receiving element or a light emitting element. In the present specification, components are referred to based on the function when the light receiving / receiving element functions as a light emitting element.
  • the display device of the present embodiment has a function of displaying an image by using a light emitting element and a light receiving / receiving element. That is, the light emitting element and the light receiving / receiving element function as display elements.
  • the display device of the present embodiment has a function of detecting light by using a light receiving / receiving element.
  • the light receiving / receiving element can detect light having a shorter wavelength than the light emitted by the light receiving / emitting element itself.
  • the display device of the present embodiment can capture an image by using the light receiving / receiving element. Further, when the light receiving / receiving element is used for the touch sensor, the display device of the present embodiment can detect the touch operation of the object by using the light receiving / receiving element.
  • the light receiving / receiving element functions as a photoelectric conversion element.
  • the light-receiving element can be manufactured by adding an active layer of the light-receiving element to the configuration of the light-emitting element.
  • an active layer of a pn type or pin type photodiode can be used.
  • Organic photodiodes can be easily made thinner, lighter, and have a larger area, and have a high degree of freedom in shape and design, so that they can be applied to various display devices.
  • a side leak current may occur between the light receiving / receiving element and the light emitting element through the common layer. Therefore, in a plan view, a conductive layer electrically connected to the common layer is provided between the light receiving / receiving element and the light emitting element.
  • the method and shape of the conductive layer can be the same as when the light receiving element is used, and various configurations exemplified in the first embodiment can be applied.
  • FIG. 14A shows a schematic view of the display panel 200.
  • the display panel 200 includes a substrate 201, a substrate 202, a light receiving element 212, a light emitting element 211R, a light emitting element 211G, a light emitting element 211B, a functional layer 203, and the like.
  • the light emitting element 211R, the light emitting element 211G, the light emitting element 211B, and the light receiving element 212 are provided between the substrate 201 and the substrate 202.
  • the light emitting element 211R, the light emitting element 211G, and the light emitting element 211B emit red (R), green (G), or blue (B) light, respectively.
  • R red
  • G green
  • B blue
  • the light emitting element 211R, the light emitting element 211G, and the light emitting element 211B when not distinguished, they may be referred to as a light emitting element 211.
  • the display panel 200 has a plurality of pixels arranged in a matrix.
  • One pixel has one or more sub-pixels.
  • One sub-pixel has one light emitting element.
  • the pixel has a configuration having three sub-pixels (three colors of R, G, B, or three colors of yellow (Y), cyan (C), and magenta (M), etc.), or sub-pixels. (4 colors of R, G, B, white (W), 4 colors of R, G, B, Y, etc.) can be applied.
  • the pixel has a light receiving element 212.
  • the light receiving element 212 may be provided on all pixels or may be provided on some pixels. Further, one pixel may have a plurality of light receiving elements 212.
  • FIG. 14A shows how the finger 220 is approaching the surface of the substrate 202.
  • a part of the light emitted by the light emitting element 211G is reflected by the finger 220.
  • the display panel 200 can function as a non-contact type touch panel. Since the finger 220 can be detected even when it comes into contact with the substrate 202, the display panel 200 also functions as a contact type touch panel (also simply referred to as a touch panel).
  • the functional layer 203 has a circuit for driving the light emitting element 211R, the light emitting element 211G, the light emitting element 211B, and a circuit for driving the light receiving element 212.
  • the functional layer 203 is provided with a switch, a transistor, a capacitance, wiring, and the like.
  • a switch, a transistor, or the like may not be provided.
  • FIG. 14B schematically shows an enlarged view of the contact portion in a state where the finger 220 is in contact with the substrate 202. Further, FIG. 14B shows the light emitting elements 211 and the light receiving elements 212 arranged alternately.
  • Fingerprints are formed on the finger 220 by the concave portions and the convex portions. Therefore, as shown in FIG. 14B, the convex portion of the fingerprint touches the substrate 202.
  • Light reflected from a certain surface or interface includes specular reflection and diffuse reflection.
  • the positively reflected light is highly directional light having the same incident angle and reflected angle
  • the diffusely reflected light is light having low angle dependence of intensity and low directional light.
  • the light reflected from the surface of the finger 220 is dominated by the diffuse reflection component of the specular reflection and the diffuse reflection.
  • the light reflected from the interface between the substrate 202 and the atmosphere is dominated by the specular reflection component.
  • the intensity of the light reflected by the contact surface or the non-contact surface between the finger 220 and the substrate 202 and incident on the light receiving element 212 located directly under these is the sum of the specular reflected light and the diffuse reflected light. ..
  • the specular reflected light (indicated by the solid line arrow) becomes dominant, and since these contact with each other in the convex portion, the diffuse reflected light from the finger 220 (indicated by the solid line arrow) becomes dominant. (Indicated by the dashed arrow) becomes dominant. Therefore, the intensity of the light received by the light receiving element 212 located directly below the concave portion is higher than that of the light receiving element 212 located directly below the convex portion. This makes it possible to capture the fingerprint of the finger 220.
  • a clear fingerprint image can be obtained by setting the arrangement interval of the light receiving element 212 to be smaller than the distance between the two convex portions of the fingerprint, preferably the distance between the adjacent concave portions and the convex portions. Since the distance between the concave portion and the convex portion of the human fingerprint is approximately 200 ⁇ m, for example, the arrangement spacing of the light receiving element 212 is 400 ⁇ m or less, preferably 200 ⁇ m or less, more preferably 150 ⁇ m or less, still more preferably 100 ⁇ m or less, still more preferably. It is 50 ⁇ m or less, 1 ⁇ m or more, preferably 10 ⁇ m or more, and more preferably 20 ⁇ m or more.
  • FIG. 14C shows an example of a fingerprint image captured by the display panel 200.
  • the contour of the finger 220 is shown by a broken line and the contour of the contact portion 221 is shown by a dashed line within the imaging range 223.
  • a fingerprint 222 with high contrast can be imaged by the difference in the amount of light incident on the light receiving element 212 in the contact portion 221.
  • the fingerprint can be captured by capturing the uneven shape of the fingerprint of the finger 220.
  • the display panel 200 can also function as a touch panel, a pen tablet, or the like.
  • FIG. 14D shows a state in which the tip of the stylus 225 is slid in the direction of the broken line arrow with the tip of the stylus 225 close to the substrate 202.
  • the diffuse reflected light diffused at the tip of the stylus 225 is incident on the light receiving element 212 located at the portion overlapping the tip, so that the position of the tip of the stylus 225 is detected with high accuracy. Can be done.
  • FIG. 14E shows an example of the locus 226 of the stylus 225 detected by the display panel 200. Since the display panel 200 can detect the position of the object to be detected such as the stylus 225 with high position accuracy, it is also possible to perform high-definition drawing in a drawing application or the like. Further, unlike the case of using a capacitance type touch sensor or an electromagnetic induction type touch pen, the position can be detected even with a highly insulating object to be detected, so that the material of the tip of the stylus 225 is used. However, various writing instruments (for example, a brush, a glass pen, a quill pen, etc.) can be used.
  • various writing instruments for example, a brush, a glass pen, a quill pen, etc.
  • FIGS. 14F to 14H show an example of pixels applicable to the display panel 200.
  • the pixels shown in FIGS. 14F and 14G have a red (R) light emitting element 211R, a green (G) light emitting element 211G, a blue (B) light emitting element 211B, and a light receiving element 212, respectively.
  • Each pixel has a pixel circuit for driving a light emitting element 211R, a light emitting element 211G, a light emitting element 211B, and a light receiving element 212.
  • FIG. 14F is an example in which three light emitting elements and one light receiving element are arranged in a 2 ⁇ 2 matrix.
  • FIG. 14G is an example in which three light emitting elements are arranged in a row and one horizontally long light receiving element 212 is arranged below the three light emitting elements.
  • the pixel shown in FIG. 14H is an example having a white (W) light emitting element 211W.
  • W white
  • four light emitting elements are arranged in a row, and a light receiving element 212 is arranged below the four light emitting elements.
  • the pixel configuration is not limited to the above, and various arrangement methods can be adopted.
  • the display panel 200A shown in FIG. 15A has a light emitting element 211IR in addition to the configuration exemplified in FIG. 14A.
  • the light emitting element 211IR is a light emitting element that emits infrared light IR.
  • the infrared light IR emitted from the light emitting element 211IR is reflected by the finger 220, and a part of the reflected light is incident on the light receiving element 212.
  • the position information of the finger 220 can be acquired.
  • 15B to 15D show an example of pixels applicable to the display panel 200A.
  • FIG. 15B is an example in which three light emitting elements are arranged in a row, and the light emitting element 211IR and the light receiving element 212 are arranged side by side on the lower side thereof.
  • FIG. 15C is an example in which four light emitting elements including the light emitting element 211IR are arranged in a row, and the light receiving element 212 is arranged below the four light emitting elements.
  • FIG. 15D is an example in which three light emitting elements and a light receiving element 212 are arranged on all sides around the light emitting element 211IR.
  • the positions of the light emitting elements and the light emitting element and the light receiving element can be exchanged with each other.
  • the display panel 200B shown in FIG. 16A has a light emitting element 211B, a light emitting element 211G, and a light emitting / receiving element 213R.
  • the light emitting / receiving element 213R has a function as a light emitting element that emits red (R) light and a function as a photoelectric conversion element that receives visible light.
  • FIG. 16A shows an example in which the light emitting / receiving element 213R receives the green (G) light emitted by the light emitting element 211G.
  • the light emitting / receiving element 213R may receive the blue (B) light emitted by the light emitting element 211B. Further, the light receiving / receiving element 213R may receive both green light and blue light.
  • the light receiving / receiving element 213R receives light having a shorter wavelength than the light emitted by itself.
  • the light receiving / receiving element 213R may be configured to receive light having a wavelength longer than the light emitted by itself (for example, infrared light).
  • the light receiving / receiving element 213R may be configured to receive light having the same wavelength as the light emitted by itself, but in that case, the light emitted by itself may also be received, and the luminous efficiency may decrease. Therefore, it is preferable that the light receiving / receiving element 213R is configured so that the peak of the light emitting spectrum and the peak of the absorption spectrum do not overlap as much as possible.
  • the light emitted by the light receiving / receiving element is not limited to red light. Further, the light emitted by the light emitting element is not limited to the combination of green light and blue light.
  • the light receiving / receiving element may be an element that emits green or blue light and receives light having a wavelength different from the light emitted by itself.
  • the light emitting / receiving element 213R also serves as a light emitting element and a light receiving element, so that the number of elements arranged in one pixel can be reduced. Therefore, it becomes easy to increase the definition, the aperture ratio, and the resolution.
  • 16B to 16I show an example of pixels applicable to the display panel 200B.
  • FIG. 16B is an example in which the light emitting / receiving element 213R, the light emitting element 211G, and the light emitting element 211B are arranged in a row.
  • FIG. 16C is an example in which the light emitting element 211G and the light emitting element 211B are arranged alternately in the vertical direction, and the light emitting / receiving element 213R is arranged next to them.
  • FIG. 16D is an example in which three light emitting elements (light emitting element 211G, light emitting element 211B, and light emitting element 211X and one light receiving / emitting element are arranged in a 2 ⁇ 2 matrix. , G, B.
  • Examples of light other than R, G, and B include white (W), yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and infrared light (IR).
  • W white
  • Y yellow
  • C cyan
  • M magenta
  • IR infrared light
  • the light emitting / receiving element has a function of detecting infrared light or detects both visible light and infrared light. It is preferable to have a function.
  • the wavelength of light detected by the light receiving / receiving element can be determined according to the application of the sensor.
  • FIG. 16E shows two pixels. The area including the three elements surrounded by the dotted line corresponds to one pixel.
  • Each pixel has a light emitting element 211G, a light emitting element 211B, and a light emitting / receiving element 213R.
  • the light emitting element 211G is arranged in the same row as the light receiving / emitting element 213R
  • the light emitting element 211B is arranged in the same column as the light receiving / emitting element 213R.
  • the light emitting element 211G is arranged in the same row as the light emitting / receiving element 213R, and the light emitting element 211B is arranged in the same column as the light emitting element 211G.
  • the light receiving / receiving element 213R, the light emitting element 211G, and the light emitting element 211B are repeatedly arranged in both the odd row and the even row, and in each column, in the odd row and the even row, the light emitting element 213R and the light emitting element 211B are repeatedly arranged.
  • Light emitting elements or light receiving and receiving elements having different colors are arranged.
  • FIG. 16F shows four pixels to which a pentile arrangement is applied, and two adjacent pixels have a light emitting element or a light receiving / receiving element that emits light of two colors having different combinations. Note that FIG. 16F shows the top surface shape of the light emitting element or the light receiving / receiving element.
  • the upper left pixel and the lower right pixel shown in FIG. 16F have a light emitting / receiving element 213R and a light emitting element 211G. Further, the upper right pixel and the lower left pixel have a light emitting element 211G and a light emitting element 211B. That is, in the example shown in FIG. 16F, a light emitting element 211G is provided for each pixel.
  • the upper surface shapes of the light emitting element and the light receiving / receiving element are not particularly limited, and may be a circle, an ellipse, a polygon, a polygon with rounded corners, or the like.
  • FIG. 16F and the like show an example in which the upper surface shapes of the light emitting element and the light receiving / receiving element are squares (diamonds) inclined by approximately 45 degrees.
  • the upper surface shapes of the light emitting element and the light receiving / receiving element of each color may be different from each other, or may be the same for some or all colors.
  • the size of the light emitting element of each color and the light emitting region (or the light receiving / emitting region) of the light receiving / receiving element may be different from each other, or may be the same for some or all colors.
  • the area of the light emitting region of the light emitting element 211G provided in each pixel may be smaller than the light emitting region (or the light receiving / receiving region) of another element.
  • FIG. 16G is a modification of the pixel arrangement shown in FIG. 16F. Specifically, the configuration of FIG. 16G is obtained by rotating the configuration of FIG. 16F by 45 degrees. In FIG. 16F, it has been described that one pixel has two elements, but as shown in FIG. 16G, it can be considered that one pixel is composed of four elements.
  • FIG. 16H is a modification of the pixel arrangement shown in FIG. 16F.
  • the upper left pixel and the lower right pixel shown in FIG. 16H have a light emitting / receiving element 213R and a light emitting element 211G.
  • the upper right pixel and the lower left pixel have a light emitting / receiving element 213R and a light emitting element 211B. That is, in the example shown in FIG. 16H, a light receiving / receiving element 213R is provided for each pixel. Since the light receiving / receiving element 213R is provided in each pixel, the configuration shown in FIG. 16H can perform imaging with higher definition than the configuration shown in FIG. 16F. Thereby, for example, the accuracy of biometric authentication can be improved.
  • FIG. 16I is a modification of the pixel array shown in FIG. 16H, and is a configuration obtained by rotating the pixel array by 45 degrees.
  • one pixel is composed of four elements (two light emitting elements and two light receiving and emitting elements).
  • the definition of imaging can be double the route of definition of display.
  • p is an integer of 2 or more) first light emitting element and q (q is an integer of 2 or more) the second light emitting element.
  • r is an integer larger than p and larger than q.
  • One of the first light emitting element and the second light emitting element emits green light, and the other emits blue light.
  • the light receiving / receiving element emits red light and has a light receiving function.
  • the light emitted from the light source is hard to be visually recognized by the user. Since blue light has lower visibility than green light, it is preferable to use a light emitting element that emits blue light as a light source. Therefore, it is preferable that the light receiving / receiving element has a function of receiving blue light. Not limited to this, a light emitting element as a light source can be appropriately selected according to the sensitivity of the light receiving / receiving element.
  • pixels of various arrangements can be applied to the display device of the present embodiment.
  • the display device of one aspect of the present invention is a top emission type that emits light in the direction opposite to the substrate on which the light emitting element is formed, a bottom emission type that emits light on the substrate side on which the light emitting element is formed, and both sides. It may be any of the dual emission types that emit light to the light.
  • a top emission type display device will be described as an example.
  • the display device 280A shown in FIG. 17A includes a light receiving element 270PD, a light emitting element 270R that emits red (R) light, a light emitting element 270G that emits green (G) light, and a light emitting element 270B that emits blue (B) light.
  • a light receiving element 270PD includes a light receiving element 270PD, a light emitting element 270R that emits red (R) light, a light emitting element 270G that emits green (G) light, and a light emitting element 270B that emits blue (B) light.
  • Each light emitting element has a pixel electrode 271, a hole injection layer 281, a hole transport layer 282, a light emitting layer, an electron transport layer 284, an electron injection layer 285, and a common electrode 275 stacked in this order.
  • the light emitting element 270R has a light emitting layer 283R
  • the light emitting element 270G has a light emitting layer 283G
  • the light emitting element 270B has a light emitting layer 283B.
  • the light emitting layer 283R has a light emitting substance that emits red light
  • the light emitting layer 283G has a light emitting substance that emits green light
  • the light emitting layer 283B has a light emitting substance that emits blue light.
  • the light emitting element is an electroluminescent element that emits light to the common electrode 275 side by applying a voltage between the pixel electrode 271 and the common electrode 275.
  • the light receiving element 270PD has a pixel electrode 271, a hole injection layer 281, a hole transport layer 282, an active layer 273, an electron transport layer 284, an electron injection layer 285, and a common electrode 275 stacked in this order.
  • the light receiving element 270PD is a photoelectric conversion element that receives light incident from the outside of the display device 280A and converts it into an electric signal.
  • the pixel electrode 271 functions as an anode and the common electrode 275 functions as a cathode in both the light emitting element and the light receiving element. That is, the light receiving element can detect the light incident on the light receiving element, generate an electric charge, and take it out as a current by driving the light receiving element by applying a reverse bias between the pixel electrode 271 and the common electrode 275.
  • an organic compound is used for the active layer 273 of the light receiving element 270PD.
  • the light receiving element 270PD can have a layer other than the active layer 273 having the same configuration as the light emitting element. Therefore, the light receiving element 270PD can be formed in parallel with the formation of the light emitting element only by adding the step of forming the active layer 273 to the manufacturing process of the light emitting element. Further, the light emitting element and the light receiving element 270PD can be formed on the same substrate. Therefore, the light receiving element 270PD can be built in the display device without significantly increasing the manufacturing process.
  • the display device 280A shows an example in which the light receiving element 270PD and the light emitting element have a common configuration except that the active layer 273 of the light receiving element 270PD and the light emitting layer 283 of the light emitting element are separately made.
  • the configuration of the light receiving element 270PD and the light emitting element is not limited to this.
  • the light receiving element 270PD and the light emitting element may have layers that are separated from each other.
  • the light receiving element 270PD and the light emitting element preferably have one or more layers (common layers) that are commonly used. As a result, the light receiving element 270PD can be built in the display device without significantly increasing the manufacturing process.
  • a conductive film that transmits visible light is used for the electrode on the side that extracts light. Further, it is preferable to use a conductive film that reflects visible light for the electrode on the side that does not take out light.
  • a micro-optical resonator (microcavity) structure is applied to the light emitting element of the display device of the present embodiment. Therefore, it is preferable that one of the pair of electrodes of the light emitting element has an electrode having transparency and reflectivity for visible light (semi-transmissive / semi-reflecting electrode), and the other is an electrode having reflectivity for visible light (semi-transmissive / semi-reflecting electrode). It is preferable to have a reflective electrode). Since the light emitting element has a microcavity structure, the light emitted from the light emitting layer can be resonated between both electrodes to enhance the light emitted from the light emitting element.
  • the semi-transmissive / semi-reflective electrode can have a laminated structure of a reflective electrode and an electrode having transparency to visible light (also referred to as a transparent electrode).
  • the light transmittance of the transparent electrode shall be 40% or more.
  • the reflectance of visible light of the semi-transmissive / semi-reflective electrode is 10% or more and 95% or less, preferably 30% or more and 80% or less.
  • the reflectance of visible light of the reflecting electrode is 40% or more and 100% or less, preferably 70% or more and 100% or less.
  • the resistivity of these electrodes is preferably 1 ⁇ 10 ⁇ 2 ⁇ cm or less.
  • the transmittance or reflectance of the near-infrared light of these electrodes is the same as the transmittance or reflectance of visible light. It is preferable to satisfy the above numerical range.
  • the light emitting element has at least a light emitting layer 283.
  • the light emitting element includes a substance having a high hole injecting property, a substance having a high hole transporting property, a hole blocking material, a substance having a high electron transporting property, a substance having a high electron injecting property, and an electron blocking material.
  • a layer containing a bipolar substance (a substance having high electron transport property and hole transport property) and the like may be further provided.
  • the light emitting element and the light receiving element may have a common configuration of one or more of the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer. Further, the light emitting element and the light receiving element can form one or more of the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer.
  • the hole injection layer is a layer that injects holes from the anode into the hole transport layer, and is a layer that contains a material having high hole injection properties.
  • a material having high hole injectability a composite material containing a hole transporting material and an acceptor material (electron accepting material), an aromatic amine compound, or the like can be used.
  • the hole transport layer is a layer that transports holes injected from the anode to the light emitting layer by the hole injection layer.
  • the hole transport layer is a layer that transports holes generated based on the light incident in the active layer to the anode.
  • the hole transport layer is a layer containing a hole transport material.
  • As the hole transporting material a substance having a hole mobility of 1 ⁇ 10 -6 cm 2 / Vs or more is preferable. It should be noted that any substance other than these can be used as long as it is a substance having a higher hole transport property than electrons.
  • a material having high hole transporting property such as a ⁇ -electron excess type heteroaromatic compound (for example, a carbazole derivative, a thiophene derivative, a furan derivative, etc.) and an aromatic amine (a compound having an aromatic amine skeleton).
  • a ⁇ -electron excess type heteroaromatic compound for example, a carbazole derivative, a thiophene derivative, a furan derivative, etc.
  • an aromatic amine a compound having an aromatic amine skeleton
  • the electron transport layer is a layer that transports electrons injected from the cathode to the light emitting layer by the electron injection layer.
  • the electron transport layer is a layer that transports electrons generated based on the light incident in the active layer to the cathode.
  • the electron transport layer is a layer containing an electron transport material.
  • the electron transporting material a substance having an electron mobility of 1 ⁇ 10 -6 cm 2 / Vs or more is preferable. In addition, any substance other than these can be used as long as it is a substance having a higher electron transport property than holes.
  • Examples of the electron transporting material include a metal complex having a quinoline skeleton, a metal complex having a benzoquinoline skeleton, a metal complex having an oxazole skeleton, a metal complex having a thiazole skeleton, and the like, as well as an oxadiazole derivative, a triazole derivative, and an imidazole derivative.
  • ⁇ electron deficiency including oxazole derivative, thiazole derivative, phenanthroline derivative, quinoline derivative having quinoline ligand, benzoquinoline derivative, quinoxalin derivative, dibenzoquinoxalin derivative, pyridine derivative, bipyridine derivative, pyrimidine derivative, and other nitrogen-containing heteroaromatic compounds
  • a material having high electron transport property such as a type complex aromatic compound can be used.
  • the electron injection layer is a layer for injecting electrons from the cathode into the electron transport layer, and is a layer containing a material having high electron injectability.
  • a material having high electron injectability an alkali metal, an alkaline earth metal, or a compound thereof can be used.
  • a composite material containing an electron transporting material and a donor material (electron donating material) can also be used.
  • the light emitting layer 283 is a layer containing a light emitting substance.
  • the light emitting layer 283 can have one or more kinds of light emitting substances.
  • a substance exhibiting a luminescent color such as blue, purple, bluish purple, green, yellowish green, yellow, orange, and red is appropriately used.
  • a substance that emits near-infrared light can also be used.
  • Examples of the light emitting substance include fluorescent materials, phosphorescent materials, TADF materials, quantum dot materials, and the like.
  • fluorescent material examples include pyrene derivatives, anthracene derivatives, triphenylene derivatives, fluorene derivatives, carbazole derivatives, dibenzothiophene derivatives, dibenzofuran derivatives, dibenzoquinoxalin derivatives, quinoxalin derivatives, pyridine derivatives, pyrimidine derivatives, phenanthrene derivatives, naphthalene derivatives and the like. Be done.
  • an organic metal complex having a 4H-triazole skeleton, a 1H-triazole skeleton, an imidazole skeleton, a pyrimidine skeleton, a pyrazine skeleton, or a pyridine skeleton (particularly an iridium complex), or a phenylpyridine derivative having an electron-withdrawing group is arranged.
  • examples thereof include an organic metal complex (particularly an iridium complex), a platinum complex, and a rare earth metal complex as a rank.
  • the light emitting layer 283 may have one or more kinds of organic compounds (host material, assist material, etc.) in addition to the light emitting substance (guest material).
  • organic compounds host material, assist material, etc.
  • guest material As one or more kinds of organic compounds, one or both of a hole transporting material and an electron transporting material can be used. Further, a bipolar material or a TADF material may be used as one or more kinds of organic compounds.
  • the light emitting layer 283 preferably has, for example, a phosphorescent material and a hole transporting material and an electron transporting material which are combinations that easily form an excited complex.
  • ExTET Exciplex-Triplet Energy Transfer
  • a combination that forms an excited complex that emits light that overlaps with the wavelength of the absorption band on the lowest energy side of the luminescent material energy transfer becomes smooth and light emission can be obtained efficiently.
  • high efficiency, low voltage drive, and long life of the light emitting element can be realized at the same time.
  • the HOMO level (maximum occupied orbital level) of the hole transporting material is equal to or higher than the HOMO level of the electron transporting material.
  • the LUMO level (minimum empty orbital level) of the hole transporting material is a value equal to or higher than the LUMO level of the electron transporting material.
  • the LUMO and HOMO levels of a material can be derived from the electrochemical properties (reduction potential and oxidation potential) of the material as measured by cyclic voltammetry (CV) measurements.
  • the emission spectrum of the hole transporting material, the emission spectrum of the electron transporting material, and the emission spectrum of the mixed film in which these materials are mixed are compared, and the emission spectrum of the mixed film is the emission spectrum of each material. It can be confirmed by observing the phenomenon of shifting the wavelength longer than the spectrum (or having a new peak on the long wavelength side).
  • the transient photoluminescence (PL) of the hole-transporting material, the transient PL of the electron-transporting material, and the transient PL of the mixed membrane in which these materials are mixed are compared, and the transient PL lifetime of the mixed membrane is the transient of each material.
  • transient PL may be read as transient electroluminescence (EL). That is, the formation of the excited complex was confirmed by comparing the transient EL of the hole transporting material, the transient EL of the material having electron transporting property, and the transient EL of the mixed membrane of these, and observing the difference in the transient response. can do.
  • EL transient electroluminescence
  • the active layer 273 contains a semiconductor.
  • the semiconductor include an inorganic semiconductor such as silicon and an organic semiconductor containing an organic compound.
  • an organic semiconductor is used as the semiconductor included in the active layer 273 is shown.
  • the light emitting layer 283 and the active layer 273 can be formed by the same method (for example, vacuum vapor deposition method), and the manufacturing apparatus can be shared, which is preferable.
  • n-type semiconductor material contained in the active layer 273 examples include electron-accepting organic semiconductor materials such as fullerenes (for example, C 60 , C 70, etc.) and fullerenes derivatives.
  • Fullerenes have a soccer ball-like shape, and the shape is energetically stable. Fullerenes are deep (low) in both HOMO and LUMO levels. Since fullerenes have a deep LUMO level, they have extremely high electron acceptor properties. Normally, when ⁇ -electron conjugation (resonance) spreads on a plane like benzene, the electron donating property (donor property) increases, but since fullerenes have a spherical shape, ⁇ -electrons are widely spread.
  • C 60 and C 70 have a wide absorption band in the visible light region, and C 70 is particularly preferable because it has a larger ⁇ -electron conjugated system than C 60 and has a wide absorption band in the long wavelength region.
  • Examples of the material for the n-type semiconductor include a metal complex having a quinoline skeleton, a metal complex having a benzoquinoline skeleton, a metal complex having an oxazole skeleton, a metal complex having a thiazole skeleton, an oxadiazole derivative, a triazole derivative, and an imidazole derivative.
  • Examples of the material of the p-type semiconductor contained in the active layer 273 include copper (II) phthalocyanine (Cupper (II) phthalocyanine; CuPc), tetraphenyldibenzoperichanhene (DBP), zinc phthalocyanine (Zinc Phthalocyanine; CuPc), and zinc phthalocyanine (Zinc Phthalocyanine; CuPc).
  • Examples thereof include electron-donating organic semiconductor materials such as phthalocyanine (SnPc) and quinacridone.
  • Examples of the material for the p-type semiconductor include a carbazole derivative, a thiophene derivative, a furan derivative, a compound having an aromatic amine skeleton, and the like. Further, as the material of the p-type semiconductor, naphthalene derivative, anthracene derivative, pyrene derivative, triphenylene derivative, fluorene derivative, pyrrole derivative, benzofuran derivative, benzothiophene derivative, indole derivative, dibenzofuran derivative, dibenzothiophene derivative, indolocarbazole derivative, Examples thereof include porphyrin derivative, phthalocyanine derivative, naphthalocyanine derivative, quinacridone derivative, polyphenylene vinylene derivative, polyparaphenylene derivative, polyfluorene derivative, polyvinylcarbazole derivative, polythiophene derivative and the like.
  • the HOMO level of the electron-donating organic semiconductor material is preferably shallower (higher) than the HOMO level of the electron-accepting organic semiconductor material.
  • the LUMO level of the electron-donating organic semiconductor material is preferably shallower (higher) than the LUMO level of the electron-accepting organic semiconductor material.
  • spherical fullerene As the electron-accepting organic semiconductor material and to use an organic semiconductor material having a shape close to a plane as the electron-donating organic semiconductor material. Molecules with similar shapes tend to gather together, and when molecules of the same type aggregate, the energy levels of the molecular orbitals are close, so carrier transportability can be improved.
  • the active layer 273 is preferably formed by co-depositing an n-type semiconductor and a p-type semiconductor.
  • the active layer 273 may be formed by laminating an n-type semiconductor and a p-type semiconductor.
  • Either a low molecular weight compound or a high molecular weight compound can be used for the light emitting element and the light receiving element, and may contain an inorganic compound.
  • the layers constituting the light emitting element and the light receiving element can be formed by a vapor deposition method (including a vacuum vapor deposition method), a transfer method, a printing method, an inkjet method, a coating method, or the like, respectively.
  • the display device 280B shown in FIG. 17B is different from the display device 280A in that the light receiving element 270PD and the light emitting element 270R have the same configuration.
  • the light receiving element 270PD and the light emitting element 270R have an active layer 273 and a light emitting layer 283R in common.
  • the light receiving element 270PD has a common configuration with a light emitting element that emits light having a longer wavelength than the light to be detected.
  • the light receiving element 270PD having a configuration for detecting blue light can have the same configuration as one or both of the light emitting element 270R and the light emitting element 270G.
  • the light receiving element 270PD having a configuration for detecting green light can have the same configuration as the light emitting element 270R.
  • the number of film forming steps and the number of masks are compared with the configuration in which the light receiving element 270PD and the light emitting element 270R have layers separately formed from each other. Can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the manufacturing process and manufacturing cost of the display device.
  • the margin for misalignment can be narrowed as compared with the configuration in which the light receiving element 270PD and the light emitting element 270R have layers that are separately formed from each other. ..
  • the aperture ratio of the pixels can be increased, and the light extraction efficiency of the display device can be increased.
  • the life of the light emitting element can be extended.
  • the display device can express high brightness. It is also possible to increase the definition of the display device.
  • the light emitting layer 283R has a light emitting material that emits red light.
  • the active layer 273 has an organic compound that absorbs light having a wavelength shorter than that of red (for example, one or both of green light and blue light).
  • the active layer 273 preferably has an organic compound that does not easily absorb red light and absorbs light having a wavelength shorter than that of red. As a result, red light is efficiently extracted from the light emitting element 270R, and the light receiving element 270PD can detect light having a wavelength shorter than that of red with high accuracy.
  • the display device 280B an example in which the light emitting element 270R and the light receiving element 270PD have the same configuration is shown, but the light emitting element 270R and the light receiving element 270PD may have optical adjustment layers having different thicknesses.
  • the display device 280C shown in FIGS. 18A and 18B has a light emitting / receiving element 270SR, a light emitting element 270G, and a light emitting element 270B that emit red (R) light and have a light receiving function.
  • the display device 280A or the like can be used for the configuration of the light emitting element 270G and the light emitting element 270B.
  • the pixel electrode 271, the hole injection layer 281, the hole transport layer 282, the active layer 273, the light emitting layer 283R, the electron transport layer 284, the electron injection layer 285, and the common electrode 275 are laminated in this order.
  • the light emitting / receiving element 270SR has the same configuration as the light emitting element 270R and the light receiving element 270PD exemplified in the display device 280B.
  • FIG. 18A shows a case where the light receiving / receiving element 270SR functions as a light emitting element.
  • FIG. 18A shows an example in which the light emitting element 270B emits blue light, the light emitting element 270G emits green light, and the light receiving / receiving element 270SR emits red light.
  • FIG. 18B shows a case where the light receiving / receiving element 270SR functions as a light receiving element.
  • FIG. 18B shows an example in which the light emitting / receiving element 270SR receives the blue light emitted by the light emitting element 270B and the green light emitted by the light emitting element 270G.
  • the light emitting element 270B, the light emitting element 270G, and the light receiving / receiving element 270SR each have a pixel electrode 271 and a common electrode 275.
  • a case where the pixel electrode 271 functions as an anode and the common electrode 275 functions as a cathode will be described as an example.
  • the light emitting / receiving element 270SR has a configuration in which an active layer 273 is added to the light emitting element. That is, the light emitting / receiving element 270SR can be formed in parallel with the formation of the light emitting element only by adding the step of forming the active layer 273 to the manufacturing process of the light emitting element. Further, the light emitting element and the light receiving / receiving element can be formed on the same substrate. Therefore, one or both of the imaging function and the sensing function can be imparted to the display unit without significantly increasing the number of manufacturing steps.
  • the stacking order of the light emitting layer 283R and the active layer 273 is not limited.
  • 18A and 18B show an example in which the active layer 273 is provided on the hole transport layer 282 and the light emitting layer 283R is provided on the active layer 273.
  • the stacking order of the light emitting layer 283R and the active layer 273 may be changed.
  • the light receiving / receiving element may not have at least one of the hole injection layer 281, the hole transport layer 282, the electron transport layer 284, and the electron injection layer 285. Further, the light receiving / receiving element may have other functional layers such as a hole block layer and an electron block layer.
  • a conductive film that transmits visible light is used for the electrode on the side that extracts light. Further, it is preferable to use a conductive film that reflects visible light for the electrode on the side that does not take out light.
  • each layer constituting the light emitting / receiving element Since the functions and materials of each layer constituting the light emitting / receiving element are the same as the functions and materials of each layer constituting the light emitting element and the light receiving element, detailed description thereof will be omitted.
  • FIGS. 18C to 18G show an example of a laminated structure of light emitting and receiving elements.
  • the light receiving / receiving element shown in FIG. 18C includes a first electrode 277, a hole injection layer 281, a hole transport layer 282, a light emitting layer 283R, an active layer 273, an electron transport layer 284, an electron injection layer 285, and a second electrode. It has 278.
  • FIG. 18C is an example in which the light emitting layer 283R is provided on the hole transport layer 282 and the active layer 273 is laminated on the light emitting layer 283R.
  • the active layer 273 and the light emitting layer 283R may be in contact with each other.
  • the buffer layer preferably has hole transporting property and electron transporting property.
  • the buffer layer at least one of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, a hole block layer, an electron block layer and the like can be used.
  • FIG. 18D shows an example in which the hole transport layer 282 is used as the buffer layer.
  • the optical path length (cavity length) of the microcavity structure can be adjusted by using the buffer layer. Therefore, high luminous efficiency can be obtained from a light receiving / receiving element having a buffer layer between the active layer 273 and the light emitting layer 283R.
  • FIG. 18E is an example having a laminated structure in which the hole transport layer 282-1, the active layer 273, the hole transport layer 282-2, and the light emitting layer 283R are laminated in this order on the hole injection layer 281.
  • the hole transport layer 282-2 functions as a buffer layer.
  • the hole transport layer 282-1 and the hole transport layer 281-2 may contain the same material or may contain different materials. Further, instead of the hole transport layer 281-2, a layer that can be used for the buffer layer described above may be used. Further, the positions of the active layer 273 and the light emitting layer 283R may be exchanged.
  • the light-receiving element shown in FIG. 18F is different from the light-receiving element shown in FIG. 18A in that it does not have a hole transport layer 282.
  • the light receiving / receiving element may not have at least one of the hole injection layer 281, the hole transport layer 282, the electron transport layer 284, and the electron injection layer 285. Further, the light receiving / receiving element may have other functional layers such as a hole block layer and an electron block layer.
  • the light-receiving element shown in FIG. 18G is different from the light-receiving element shown in FIG. 18A in that it does not have the active layer 273 and the light-emitting layer 283R but has a layer 289 that also serves as the light-emitting layer and the active layer.
  • Examples of the layer that serves as both the light emitting layer and the active layer include an n-type semiconductor that can be used for the active layer 273, a p-type semiconductor that can be used for the active layer 273, and a light emitting substance that can be used for the light emitting layer 283R.
  • a layer containing the three materials of, can be used.
  • the absorption band on the lowest energy side of the absorption spectrum of the mixed material of the n-type semiconductor and the p-type semiconductor and the maximum peak of the emission spectrum (PL spectrum) of the light emitting substance do not overlap each other, and are sufficient. It is more preferable that they are separated.
  • Display device configuration example 2 Hereinafter, a detailed configuration of the display device according to one aspect of the present invention will be described. Here, in particular, an example of a display device having a light receiving element and a light emitting element will be described.
  • FIG. 19A shows a cross-sectional view of the display device 300A.
  • the display device 300A includes a substrate 351 and a substrate 352, a light receiving element 310, a conductive layer 360, and a light emitting element 390.
  • the light emitting element 390 has a pixel electrode 391, a buffer layer 312, a light emitting layer 393, a buffer layer 314, and a common electrode 315 stacked in this order.
  • the buffer layer 312 can have one or both of the hole injecting layer and the hole transporting layer.
  • the light emitting layer 393 has an organic compound.
  • the buffer layer 314 can have one or both of an electron injecting layer and an electron transporting layer.
  • the light emitting element 390 has a function of emitting visible light 321.
  • the display device 300A may further have a light emitting element having a function of emitting infrared light.
  • the light receiving element 310 has a pixel electrode 311, a buffer layer 312, an active layer 313, a buffer layer 314, and a common electrode 315 stacked in this order.
  • the active layer 313 has an organic compound.
  • the light receiving element 310 has a function of detecting visible light.
  • the light receiving element 310 may further have a function of detecting infrared light.
  • the buffer layer 312, the buffer layer 314, and the common electrode 315 are layers common to the light emitting element 390 and the light receiving element 310, and are provided over them.
  • the buffer layer 312, the buffer layer 314, and the common electrode 315 have a portion that overlaps with the active layer 313 and the pixel electrode 311 and a portion that overlaps with the light emitting layer 393 and the pixel electrode 391, and a portion that does not overlap with each other.
  • the pixel electrode functions as an anode and the common electrode 315 functions as a cathode. That is, by driving the light receiving element 310 by applying a reverse bias between the pixel electrode 311 and the common electrode 315, the display device 300A detects the light incident on the light receiving element 310, generates an electric charge, and causes a current. Can be taken out as.
  • the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391, the buffer layer 312, the active layer 313, the buffer layer 314, the light emitting layer 393, and the common electrode 315 may each have a single layer structure or a laminated structure.
  • the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391 are located on the insulating layer 414, respectively. Each pixel electrode can be formed of the same material and in the same process. The ends of the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391 are covered with an insulating layer 416. Two pixel electrodes adjacent to each other are electrically insulated from each other by an insulating layer 416 (also referred to as being electrically separated).
  • An organic insulating film is suitable as the insulating layer 416.
  • Examples of the material that can be used for the organic insulating film include acrylic resin, polyimide resin, epoxy resin, polyamide resin, polyimideamide resin, siloxane resin, benzocyclobutene resin, phenol resin, and precursors of these resins. ..
  • the insulating layer 416 is a layer that transmits visible light. Instead of the insulating layer 416, a partition wall that blocks visible light may be provided.
  • the common electrode 315 is a layer commonly used for the light receiving element 310 and the light emitting element 390.
  • the material and film thickness of the pair of electrodes included in the light receiving element 310 and the light emitting element 390 can be made the same. This makes it possible to reduce the manufacturing cost of the display device and simplify the manufacturing process.
  • the conductive layer 360 is located between the pixel electrode 391 and the pixel electrode 311 in a plan view.
  • the conductive layer 360 is formed by processing the same conductive film as either or both of the pixel electrode 391 and the pixel electrode 311.
  • the conductive layer 360 has a region in contact with the buffer layer 312 in the opening of the insulating layer 416. Further, the conductive layer 360 is electrically connected to a wiring to which a predetermined potential is applied in a region (not shown).
  • the display device 300A has a light receiving element 310, a light emitting element 390, a transistor 331, a transistor 332, and the like between a pair of substrates (board 351 and substrate 352).
  • the buffer layer 312, the active layer 313, and the buffer layer 314 located between the pixel electrode 311 and the common electrode 315 can also be said to be an organic layer (a layer containing an organic compound).
  • the pixel electrode 311 preferably has a function of reflecting visible light.
  • the common electrode 315 has a function of transmitting visible light.
  • the common electrode 315 has a function of transmitting infrared light.
  • it is preferable that the pixel electrode 311 has a function of reflecting infrared light.
  • the light receiving element 310 has a function of detecting light.
  • the light receiving element 310 is a photoelectric conversion element that receives light 322 incident from the outside of the display device 300A and converts it into an electric signal.
  • the light 322 can also be said to be light reflected by an object from the light emitted by the light emitting element 390. Further, the light 322 may be incident on the light receiving element 310 via a lens or the like provided in the display device 300A.
  • the buffer layer 312, the light emitting layer 393, and the buffer layer 314 located between the pixel electrode 391 and the common electrode 315 can be collectively referred to as an EL layer.
  • the EL layer has at least a light emitting layer 393.
  • the pixel electrode 391 preferably has a function of reflecting visible light.
  • the common electrode 315 has a function of transmitting visible light.
  • the display device 300A has a configuration having a light emitting element that emits infrared light
  • the common electrode 315 has a function of transmitting infrared light.
  • it is preferable that the pixel electrode 391 has a function of reflecting infrared light.
  • a micro-optical resonator (microcavity) structure is applied to the light emitting element of the display device of the present embodiment.
  • the light emitting element 390 may have an optical adjustment layer between the pixel electrode 391 and the common electrode 315.
  • the light emitting element 390 has a function of emitting visible light.
  • the light emitting element 390 is an electroluminescent element that emits light (here, visible light 321) to the substrate 352 side by applying a voltage between the pixel electrode 391 and the common electrode 315.
  • the pixel electrode 311 of the light receiving element 310 is electrically connected to the source or drain of the transistor 331 via an opening provided in the insulating layer 414.
  • the pixel electrode 391 of the light emitting element 390 is electrically connected to the source or drain of the transistor 332 through an opening provided in the insulating layer 414.
  • the transistor 331 and the transistor 332 are in contact with each other on the same layer (the substrate 351 in FIG. 19A).
  • At least a part of the circuit electrically connected to the light receiving element 310 is formed of the same material and the same process as the circuit electrically connected to the light emitting element 390.
  • the thickness of the display device can be reduced and the manufacturing process can be simplified as compared with the case where the two circuits are formed separately.
  • the light receiving element 310 and the light emitting element 390 are each covered with a protective layer 395.
  • the protective layer 395 is provided in contact with the common electrode 315.
  • impurities such as water can be suppressed from entering the light receiving element 310 and the light emitting element 390, and the reliability of the light receiving element 310 and the light emitting element 390 can be improved.
  • the protective layer 395 and the substrate 352 are bonded to each other by the adhesive layer 342.
  • a light-shielding layer 358 is provided on the surface of the substrate 352 on the substrate 351 side.
  • the light-shielding layer 358 has openings at positions overlapping with the light-emitting element 390 and at positions overlapping with the light-receiving element 310.
  • the light receiving element 310 detects the light emitted by the light emitting element 390 and reflected by the object.
  • the light emitted from the light emitting element 390 may be reflected in the display device 300A and may be incident on the light receiving element 310 without passing through the object.
  • the light-shielding layer 358 can suppress the influence of such stray light.
  • the light shielding layer 358 is not provided, the light 323 emitted by the light emitting element 390 may be reflected by the substrate 352, and the reflected light 324 may be incident on the light receiving element 310.
  • the light-shielding layer 358 it is possible to suppress the reflected light 324 from being incident on the light receiving element 310. As a result, noise can be reduced and the sensitivity of the sensor using the light receiving element 310 can be increased.
  • the light-shielding layer 358 a material that blocks light emitted from the light-emitting element can be used.
  • the light-shielding layer 358 preferably absorbs visible light.
  • a metal material, a resin material containing a pigment (carbon black or the like) or a dye, or the like can be used to form a black matrix.
  • the light-shielding layer 358 may have a laminated structure of a red color filter, a green color filter, and a blue color filter.
  • the display device 300B shown in FIG. 19B is mainly different from the display device 300A in that it has a lens 349.
  • the lens 349 is provided on the substrate 351 side of the substrate 352.
  • the light 322 incident from the outside is incident on the light receiving element 310 via the lens 349. It is preferable to use a material having high transparency to visible light for the lens 349 and the substrate 352.
  • the range of light incident on the light receiving element 310 can be narrowed. As a result, it is possible to suppress the overlap of the imaging ranges between the plurality of light receiving elements 310, and it is possible to capture a clear image with less blurring.
  • the lens 349 can collect the incident light. Therefore, the amount of light incident on the light receiving element 310 can be increased. This makes it possible to increase the photoelectric conversion efficiency of the light receiving element 310.
  • the display device 300C shown in FIG. 19C is mainly different from the display device 300A in that the shape of the light-shielding layer 358 is different.
  • the light-shielding layer 358 is provided so that the opening overlapping with the light-receiving element 310 is located inside the light-receiving region of the light-receiving element 310 in a plan view.
  • the area of the opening of the light-shielding layer 358 is 80% or less, 70% or less, 60% or less, 50% or less, or 40% or less of the area of the light-receiving area of the light-receiving element 310, and is 1% or more and 5 It can be% or more, or 10% or more.
  • the smaller the area of the opening of the light-shielding layer 358 the clearer the image can be captured.
  • the area of the opening is too small, the amount of light reaching the light receiving element 310 may decrease, and the light receiving sensitivity may decrease. Therefore, it is preferable to set appropriately within the above-mentioned range.
  • the above-mentioned upper limit value and lower limit value can be arbitrarily combined.
  • the light receiving region of the light receiving element 310 can be rephrased as an opening of the insulating layer 416.
  • the center of the opening overlapping the light receiving element 310 of the light shielding layer 358 may be deviated from the center of the light receiving region of the light receiving element 310 in a plan view. Further, in a plan view, the opening of the light-shielding layer 358 may not overlap with the light-receiving region of the light-receiving element 310. As a result, only the obliquely oriented light transmitted through the opening of the light shielding layer 358 can be received by the light receiving element 310. As a result, the range of light incident on the light receiving element 310 can be more effectively limited, and a clear image can be captured.
  • the display device 300D shown in FIG. 20A is mainly different from the display device 300A in that the buffer layer 312 is not a common layer.
  • the light receiving element 310 has a pixel electrode 311, a buffer layer 312, an active layer 313, a buffer layer 314, and a common electrode 315.
  • the light emitting element 390 has a pixel electrode 391, a buffer layer 392, a light emitting layer 393, a buffer layer 314, and a common electrode 315.
  • the active layer 313, the buffer layer 312, the light emitting layer 393, and the buffer layer 392 each have an island-shaped upper surface shape.
  • the buffer layer 312 and the buffer layer 392 may contain different materials or may contain the same material.
  • the buffer layer By forming the buffer layer separately for the light emitting element 390 and the light receiving element 310 in this way, the degree of freedom in selecting the material of the buffer layer used for the light emitting element 390 and the light receiving element 310 is increased, so that optimization becomes easier. .. Further, by using the buffer layer 314 and the common electrode 315 as the common layer, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced as compared with the case where the light emitting element 390 and the light receiving element 310 are manufactured separately.
  • the conductive layer 360 has a region in which the conductive layer 360 is in contact with the buffer layer 314 at the opening of the insulating layer 416. This makes it possible to cut off the side leak current that can flow between the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391 via the buffer layer 314.
  • the display device 300E shown in FIG. 20B is mainly different from the display device 300A in that the buffer layer 314 is not a common layer.
  • the light receiving element 310 has a pixel electrode 311, a buffer layer 312, an active layer 313, a buffer layer 314, and a common electrode 315.
  • the light emitting element 390 has a pixel electrode 391, a buffer layer 312, a light emitting layer 393, a buffer layer 394, and a common electrode 315.
  • the active layer 313, the buffer layer 314, the light emitting layer 393, and the buffer layer 394 each have an island-shaped upper surface shape.
  • the buffer layer 314 and the buffer layer 394 may contain different materials or may contain the same material.
  • the buffer layer By forming the buffer layer separately for the light emitting element 390 and the light receiving element 310 in this way, the degree of freedom in selecting the material of the buffer layer used for the light emitting element 390 and the light receiving element 310 is increased, so that optimization becomes easier. .. Further, by using the buffer layer 312 and the common electrode 315 as the common layer, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced as compared with the case where the light emitting element 390 and the light receiving element 310 are manufactured separately.
  • Display device configuration example 3 Hereinafter, a detailed configuration of the display device according to one aspect of the present invention will be described. Here, in particular, an example of a display device having a light emitting / receiving element and a light emitting element will be described.
  • FIG. 21A shows a cross-sectional view of the display device 300G.
  • the display device 300G includes a light emitting / receiving element 390SR, a light emitting element 390G, a light emitting element 390B, and a conductive layer 360.
  • the light emitting / receiving element 390SR has a function as a light emitting element that emits red light 321R and a function as a photoelectric conversion element that receives light 322.
  • the light emitting element 390G can emit green light 321G.
  • the light emitting element 390B can emit blue light 321B.
  • the light receiving / receiving element 390SR has a pixel electrode 311, a buffer layer 312, an active layer 313, a light emitting layer 393R, a buffer layer 314, and a common electrode 315.
  • the light emitting element 390G has a pixel electrode 391G, a buffer layer 312, a light emitting layer 393G, a buffer layer 314, and a common electrode 315.
  • the light emitting element 390B has a pixel electrode 391B, a buffer layer 312, a light emitting layer 393B, a buffer layer 314, and a common electrode 315.
  • the buffer layer 312, the buffer layer 314, and the common electrode 315 are layers (common layers) common to the light emitting / receiving element 390SR, the light emitting element 390G, and the light emitting element 390B, and are provided over these.
  • the active layer 313, the light emitting layer 393R, the light emitting layer 393G, and the light emitting layer 393B each have an island-shaped upper surface shape.
  • FIG. 21 shows an example in which the laminated body of the active layer 313 and the light emitting layer 393R, the light emitting layer 393G, and the light emitting layer 393B are provided separately from each other, they have a region where two adjacent regions overlap each other. You may.
  • one of the buffer layer 312 and the buffer layer 314 can be configured not to be used as a common layer.
  • the pixel electrode 311 is electrically connected to one of the source and drain of the transistor 331.
  • the pixel electrode 391G is electrically connected to one of the source and drain of the transistor 332G.
  • the pixel electrode 391B is electrically connected to one of the source and drain of the transistor 332B.
  • the conductive layer 360 is located between the pixel electrode 391G and the pixel electrode 311 in a plan view. Although not shown here, the conductive layer 360 can also be arranged between the pixel electrode 391B and the pixel electrode 311. The conductive layer 360 is formed by processing the same conductive film as any one, two, or all of the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391G, and the pixel electrode 391B.
  • the display device 300H shown in FIG. 21B is mainly different from the display device 300G in that the configuration of the light receiving / receiving element 390SR is different.
  • the light-receiving element 390SR has a light-receiving layer 318R in place of the active layer 313 and the light-emitting layer 393R.
  • the light emitting / receiving layer 318R is a layer having both a function as a light emitting layer and a function as an active layer.
  • a layer containing the above-mentioned light emitting substance, an n-type semiconductor, and a p-type semiconductor can be used.
  • Display device configuration example 4 Hereinafter, a more specific configuration of the display device according to one aspect of the present invention will be described.
  • FIG. 22 shows a perspective view of the display device 400
  • FIG. 23A shows a cross-sectional view of the display device 400.
  • the display device 400 has a configuration in which a substrate 353 and a substrate 354 are bonded together.
  • the substrate 354 is clearly indicated by a broken line.
  • the display device 400 has a display unit 362, a circuit 364, wiring 365, and the like.
  • FIG. 22 shows an example in which an IC (integrated circuit) 373 and an FPC 372 are mounted on the display device 400. Therefore, the configuration shown in FIG. 22 can be said to be a display module having a display device 400, an IC, and an FPC.
  • a scanning line drive circuit can be used.
  • the wiring 365 has a function of supplying signals and electric power to the display unit 362 and the circuit 364.
  • the signal and power are input to the wiring 365 from the outside via the FPC 372, or are input to the wiring 365 from the IC 373.
  • FIG. 22 shows an example in which the IC 373 is provided on the substrate 353 by the COG (Chip On Glass) method, the COF (Chip On Film) method, or the like.
  • the IC 373 an IC having, for example, a scanning line drive circuit or a signal line drive circuit can be applied.
  • the display device 400 and the display module may be configured without an IC. Further, the IC may be mounted on the FPC by the COF method or the like.
  • 23A shows a part of the area including the FPC 372, a part of the area including the circuit 364, a part of the area including the display unit 362, and one of the areas including the end portion of the display device 400 shown in FIG. An example of the cross section when each part is cut is shown.
  • the display device 400 shown in FIG. 23A has a transistor 408, a transistor 409, a transistor 410, a light emitting element 390, a light receiving element 310, a conductive layer 360, and the like between the substrate 353 and the substrate 354.
  • the substrate 354 and the protective layer 395 are adhered to each other via the adhesive layer 342, and a solid sealing structure is applied to the display device 400.
  • the substrate 353 and the insulating layer 412 are bonded to each other by the adhesive layer 355.
  • a manufacturing substrate provided with an insulating layer 412, each transistor, a light receiving element 310, a light emitting element 390, etc., and a substrate 354 provided with a light shielding layer 358 or the like are bonded by an adhesive layer 342. to paste together.
  • the substrate 353 is attached to the exposed surface by peeling off the fabrication substrate by using the adhesive layer 355, so that each component formed on the fabrication substrate is transposed to the substrate 353. It is preferable that the substrate 353 and the substrate 354 each have flexibility. This makes it possible to increase the flexibility of the display device 400.
  • the light emitting element 390 has a laminated structure in which the pixel electrode 391, the buffer layer 312, the light emitting layer 393, the buffer layer 314, and the common electrode 315 are laminated in this order from the insulating layer 414 side.
  • the pixel electrode 391 is connected to one of the source and the drain of the transistor 408 via an opening provided in the insulating layer 414.
  • the transistor 408 has a function of controlling the current flowing through the light emitting element 390.
  • the light receiving element 310 has a laminated structure in which the pixel electrode 311, the buffer layer 312, the active layer 313, the buffer layer 314, and the common electrode 315 are laminated in this order from the insulating layer 414 side.
  • the pixel electrode 311 is connected to one of the source and the drain of the transistor 409 via an opening provided in the insulating layer 414.
  • the transistor 409 has a function of controlling the transfer of the electric charge stored in the light receiving element 310.
  • the light emitted by the light emitting element 390 is emitted to the substrate 354 side. Further, light is incident on the light receiving element 310 via the substrate 354 and the adhesive layer 342. It is preferable to use a material having high transparency to visible light for the substrate 354.
  • the conductive layer 360 is located between the pixel electrode 391 and the pixel electrode 311 in a plan view.
  • the conductive layer 360 has a region in contact with the buffer layer 312 in the opening of the insulating layer 416. Further, the conductive layer 360 is electrically connected to a wiring to which a predetermined potential is applied in a region (not shown).
  • the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391, and the conductive layer 360 can be manufactured by the same material and the same process.
  • the buffer layer 312, the buffer layer 314, and the common electrode 315 are commonly used in the light receiving element 310 and the light emitting element 390.
  • the light receiving element 310 and the light emitting element 390 can all have the same configuration except that the configurations of the active layer 313 and the light emitting layer 393 are different. As a result, the light receiving element 310 and the conductive layer 360 can be incorporated in the display device 400 without significantly increasing the number of manufacturing steps.
  • a light-shielding layer 358 is provided on the surface of the substrate 354 on the substrate 353 side.
  • the light-shielding layer 358 has an opening at a position overlapping each of the light-emitting element 390 and the light-receiving element 310.
  • the range in which the light-receiving element 310 detects light can be controlled. As described above, it is preferable to control the light incident on the light receiving element 310 by adjusting the position and area of the opening of the light shielding layer provided at the position overlapping with the light receiving element 310.
  • the light-shielding layer 358 it is possible to suppress the direct incident of light from the light-emitting element 390 to the light-receiving element 310 without the intervention of an object. Therefore, it is possible to realize a sensor with low noise and high sensitivity.
  • the ends of the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391 are covered with an insulating layer 416.
  • the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391 include a material that reflects visible light, and the common electrode 315 contains a material that transmits visible light.
  • the transistor 408, the transistor 409, and the transistor 410 are all formed on the substrate 353. These transistors can be manufactured by the same material and the same process.
  • An insulating layer 412, an insulating layer 411, an insulating layer 425, an insulating layer 415, an insulating layer 418, and an insulating layer 414 are provided on the substrate 353 in this order via an adhesive layer 355.
  • a part of the insulating layer 411 and the insulating layer 425 functions as a gate insulating layer of each transistor.
  • the insulating layer 415 and the insulating layer 418 are provided so as to cover the transistor.
  • the insulating layer 414 is provided so as to cover the transistor and has a function as a flattening layer.
  • the number of gate insulating layers and the number of insulating layers covering the transistors are not limited, and may be a single layer or two or more layers, respectively.
  • the insulating layer can function as a barrier layer.
  • an inorganic insulating film as the insulating layer 411, the insulating layer 412, the insulating layer 425, the insulating layer 415, and the insulating layer 418, respectively.
  • the inorganic insulating film for example, a silicon nitride film, a silicon nitride film, a silicon oxide film, a silicon nitride film, an aluminum oxide film, an aluminum nitride film, or the like can be used.
  • hafnium oxide film hafnium oxide film, hafnium oxide film, hafnium nitride oxide film, yttrium oxide film, zirconium oxide film, gallium oxide film, tantalum oxide film, magnesium oxide film, lanthanum oxide film, cerium oxide film, neodymium oxide film, etc. You may use it. Further, two or more of the above-mentioned insulating films may be laminated and used.
  • the organic insulating film often has a lower barrier property than the inorganic insulating film. Therefore, it is preferable that the organic insulating film has an opening near the end of the display device 400. In the region 428 shown in FIG. 23A, an opening is formed in the insulating layer 414. As a result, it is possible to prevent impurities from entering from the end of the display device 400 via the organic insulating film.
  • the organic insulating film may be formed so that the end portion of the organic insulating film is inside the end portion of the display device 400 so that the organic insulating film is not exposed at the end portion of the display device 400.
  • the insulating layer 418 and the protective layer 395 are in contact with each other through the opening of the insulating layer 414.
  • the inorganic insulating film of the insulating layer 418 and the inorganic insulating film of the protective layer 395 are in contact with each other.
  • An organic insulating film is suitable for the insulating layer 414 that functions as a flattening layer.
  • the material that can be used for the organic insulating film include acrylic resin, polyimide resin, epoxy resin, polyamide resin, polyimideamide resin, siloxane resin, benzocyclobutene resin, phenol resin, and precursors of these resins. ..
  • the protective layer 395 that covers the light emitting element 390 and the light receiving element 310 By providing the protective layer 395 that covers the light emitting element 390 and the light receiving element 310, impurities such as water can be suppressed from entering the light emitting element 390 and the light receiving element 310, and the reliability of these can be improved.
  • the protective layer 395 may be a single layer or a laminated structure.
  • the protective layer 395 may have a laminated structure of an organic insulating film and an inorganic insulating film. At this time, it is preferable to extend the end portion of the inorganic insulating film to the outside rather than the end portion of the organic insulating film.
  • FIG. 23B shows a cross-sectional view of the transistor 408, the transistor 409, and the transistor 401a that can be used for the transistor 410.
  • the transistor 401a is provided on the insulating layer 412 (not shown) as a conductive layer 421 that functions as a first gate, an insulating layer 411 that functions as a first gate insulating layer, a semiconductor layer 431, and a second gate insulating layer. It has an insulating layer 425 that functions, and a conductive layer 423 that functions as a second gate.
  • the insulating layer 411 is located between the conductive layer 421 and the semiconductor layer 431.
  • the insulating layer 425 is located between the conductive layer 423 and the semiconductor layer 431.
  • the semiconductor layer 431 has a region 431i and a pair of regions 431n.
  • the region 431i functions as a channel forming region.
  • One of the pair of regions 431n functions as a source and the other functions as a drain.
  • the region 431n has a higher carrier concentration and higher conductivity than the region 431i.
  • the conductive layer 422a and the conductive layer 422b are respectively connected to the region 431n via openings provided in the insulating layer 418, the insulating layer 415, and the insulating layer 425.
  • FIG. 23C shows a cross-sectional view of a transistor 408, a transistor 409, and a transistor 401b that can be used for the transistor 410. Further, FIG. 23C shows an example in which the insulating layer 415 is not provided. In the transistor 401b, the insulating layer 425 is processed in the same manner as the conductive layer 423, and the insulating layer 418 and the region 431n are in contact with each other.
  • the transistor structure of the display device of the present embodiment is not particularly limited.
  • a planar type transistor, a stagger type transistor, an inverted stagger type transistor and the like can be used.
  • either a top gate type or a bottom gate type transistor structure may be used.
  • gates may be provided above and below the semiconductor layer on which the channel is formed.
  • Transistors may be driven by connecting two gates and supplying them with the same signal.
  • the threshold voltage of the transistor may be controlled by giving a potential for controlling the threshold voltage to one of the two gates and giving a potential for driving to the other.
  • the crystallinity of the semiconductor material used for the transistor is also not particularly limited, and is an amorphous semiconductor, a single crystal semiconductor, or a semiconductor having crystallinity (a microcrystalline semiconductor, a polycrystalline semiconductor, or a semiconductor having a partially crystalline region). Either may be used. It is preferable to use a semiconductor having crystallinity because deterioration of transistor characteristics can be suppressed.
  • the semiconductor layer of the transistor preferably has a metal oxide (also referred to as an oxide semiconductor).
  • the semiconductor layer of the transistor may have silicon. Examples of silicon include amorphous silicon and crystalline silicon (low temperature polysilicon, single crystal silicon, etc.).
  • the semiconductor layers include, for example, indium and M (M is gallium, aluminum, silicon, boron, yttrium, tin, copper, vanadium, berylium, titanium, iron, nickel, germanium, zirconium, molybdenum, lanthanum, cerium, neodymium, etc. It is preferred to have one or more selected from hafnium, tantalum, tungsten, and gallium) and zinc.
  • M is preferably one or more selected from aluminum, gallium, yttrium, and tin.
  • an oxide containing indium (In), gallium (Ga), and zinc (Zn) also referred to as IGZO
  • IGZO oxide containing indium (In), gallium (Ga), and zinc (Zn)
  • the atomic number ratio of In in the In-M-Zn oxide is equal to or higher than the atomic number ratio of M.
  • the atomic number ratio of In is 4
  • the atomic number ratio of Ga is 1 or more and 3 or less.
  • the case where the atomic number ratio of Zn is 2 or more and 4 or less is included.
  • the atomic number ratio of Ga is larger than 0.1 when the atomic number ratio of In is 5. This includes cases where the number of atoms is 2 or less and the atomic number ratio of Zn is 5 or more and 7 or less.
  • the atomic number ratio of Ga is larger than 0.1 when the atomic number ratio of In is 1. This includes the case where the number of atoms of Zn is 2 or less and the atomic number ratio of Zn is larger than 0.1 and 2 or less.
  • the transistor 410 included in the circuit 364 and the transistor 408 and the transistor 409 included in the display unit 362 may have the same structure or different structures.
  • the structures of the plurality of transistors included in the circuit 364 may all be the same, or may have two or more types.
  • the structures of the plurality of transistors included in the display unit 362 may be all the same, or may have two or more types.
  • connection portion 404 is provided in a region of the substrate 353 where the substrates 354 do not overlap.
  • the wiring 365 is electrically connected to the FPC 372 via the conductive layer 366 and the connection layer 442.
  • the upper surface of the connecting portion 404 is exposed to the conductive layer 366 obtained by processing the same conductive film as the pixel electrode 311 and the pixel electrode 391.
  • the connection portion 404 and the FPC 372 can be electrically connected via the connection layer 442.
  • optical members can be arranged on the outside of the substrate 354.
  • the optical member include a polarizing plate, a retardation plate, a light diffusing layer (diffusing film, etc.), an antireflection layer, a light collecting film, and the like.
  • an antistatic film for suppressing the adhesion of dust, a water-repellent film for preventing the adhesion of dirt, a hard coat film for suppressing the occurrence of scratches due to use, a shock absorbing layer, etc. are arranged on the outside of the substrate 354. You may.
  • the present invention is not limited to this, and glass, quartz, ceramic, sapphire, resin and the like can be used for the substrate 353 and the substrate 354, respectively.
  • various curable adhesives such as a photocurable adhesive such as an ultraviolet curable type, a reaction curable adhesive, a thermosetting adhesive, and an anaerobic adhesive can be used.
  • these adhesives include epoxy resin, acrylic resin, silicone resin, phenol resin, polyimide resin, imide resin, PVC (polyvinyl chloride) resin, PVB (polyvinyl butyral) resin, EVA (ethylene vinyl acetate) resin and the like.
  • a material having low moisture permeability such as an epoxy resin is preferable.
  • a two-component mixed type resin may be used.
  • an adhesive sheet or the like may be used.
  • an anisotropic conductive film (ACF: Anisotropic Conducive Film), an anisotropic conductive paste (ACP: Anisotropic Connective Paste), or the like can be used.
  • ACF Anisotropic Conducive Film
  • ACP Anisotropic Connective Paste
  • Materials that can be used for conductive layers such as gates, sources and drains of transistors, as well as various wiring and electrodes that make up display devices include aluminum, titanium, chromium, nickel, copper, yttrium, zirconium, molybdenum, and silver. Examples thereof include metals such as tantanium and tungsten, and alloys containing the metal as a main component. A film containing these materials can be used as a single layer or as a laminated structure.
  • a conductive oxide such as indium oxide, indium tin oxide, indium zinc oxide, zinc oxide, zinc oxide containing gallium, or graphene can be used.
  • a metal material such as gold, silver, platinum, magnesium, nickel, tungsten, chromium, molybdenum, iron, cobalt, copper, palladium, and titanium, or an alloy material containing the metal material can be used.
  • a nitride of the metal material for example, titanium nitride
  • the laminated film of the above material can be used as the conductive layer.
  • a laminated film of an alloy of silver and magnesium and an indium tin oxide because the conductivity can be enhanced.
  • conductive layers such as various wirings and electrodes constituting the display device, or conductive layers (conductive layers functioning as pixel electrodes or common electrodes) of light emitting elements and light receiving elements (or light receiving and emitting elements). be able to.
  • Examples of the insulating material that can be used for each insulating layer include resins such as acrylic resin and epoxy resin, and inorganic insulating materials such as silicon oxide, silicon oxide, silicon nitride, silicon nitride, and aluminum oxide.
  • This embodiment can be carried out by appropriately combining at least a part thereof with other embodiments described in the present specification.
  • FIG. 24A shows a block diagram of the pixels of the display device according to one aspect of the present invention.
  • the pixel has an OLED, an OPD (Organic Photo Diode), a sensor circuit (denoted as a Sensing Circuit), a driving transistor (denoted as a Driving Transistor), and a selection transistor (denoted as a Switching Transistor).
  • the light emitted from the OLED is reflected by the object (denoted as Object), and the reflected light is received by the OPD, so that the object can be imaged.
  • One aspect of the present invention can function as a touch sensor, an image sensor, an image scanner, or the like.
  • One aspect of the present invention can be applied to biometric authentication by imaging fingerprints, palm prints, blood vessels (veins, etc.) and the like. It is also possible to capture an image of the surface of a printed matter or an article on which a photograph, characters, etc. are described and acquire it as image information.
  • the drive transistor and the selection transistor form a drive circuit for driving the OLED.
  • the drive transistor has a function of controlling the current flowing through the OLED, and the OLED can emit light with a brightness corresponding to the current.
  • the selection transistor has a function of controlling the selection and non-selection of pixels.
  • the magnitude of the current flowing through the drive transistor and the OLED is controlled by the value (for example, voltage value) of the video data (denoted as Video Data) input from the outside via the selection transistor, and the OLED is made to emit light with the desired emission brightness. be able to.
  • the sensor circuit corresponds to a drive circuit for controlling the operation of OPD.
  • a reset operation that resets the potential of the electrode of the OPD by the sensor circuit, an exposure operation that accumulates an electric charge in the OPD according to the amount of emitted light, and a transfer operation that transfers the electric charge accumulated in the OPD to a node in the sensor circuit.
  • a read operation that outputs a signal (for example, voltage or current) according to the magnitude of the electric charge to an external read circuit as sensing data (denoted as Sensoring Data), and the like can be controlled.
  • the pixel shown in FIG. 24B is mainly different from the above in that it has a memory unit (Memory) connected to the drive transistor.
  • a memory unit Memory
  • Weight data (Weight Data) is given to the memory unit.
  • the drive transistor is given data obtained by adding the video data input via the selection transistor and the weight data held in the memory unit.
  • the brightness of the OLED can be changed from the brightness when only the video data is given. Specifically, it is possible to increase or decrease the brightness of the OLED. For example, by increasing the brightness of the OLED, it is possible to increase the light receiving sensitivity of the sensor.
  • FIG. 24C shows an example of a pixel circuit that can be used in the sensor circuit.
  • the pixel circuit PIX1 shown in FIG. 24C has a light receiving element PD, a transistor M1, a transistor M2, a transistor M3, a transistor M4, and a capacitance C1.
  • a photodiode is used as the light receiving element PD.
  • the cathode is electrically connected to the wiring V1 and the anode is electrically connected to either the source or the drain of the transistor M1.
  • the gate is electrically connected to the wiring TX, and the other of the source or drain is electrically connected to one electrode of the capacitance C1, one of the source or drain of the transistor M2, and the gate of the transistor M3.
  • the gate is electrically connected to the wiring RES, and the other of the source or the drain is electrically connected to the wiring V2.
  • one of the source and the drain is electrically connected to the wiring V3 and the other of the source and the drain is electrically connected to one of the source and the drain of the transistor M4.
  • the gate is electrically connected to the wiring SE, and the other of the source or the drain is electrically connected to the wiring OUT1.
  • a constant potential is supplied to the wiring V1, the wiring V2, and the wiring V3, respectively.
  • the transistor M2 is controlled by a signal supplied to the wiring RES, and has a function of resetting the potential of the node connected to the gate of the transistor M3 to the potential supplied to the wiring V2.
  • the transistor M1 is controlled by a signal supplied to the wiring TX, and has a function of controlling the timing of transferring the electric charge accumulated in the light receiving element PD to the node.
  • the transistor M3 functions as an amplification transistor that outputs according to the potential of the node.
  • the transistor M4 is controlled by a signal supplied to the wiring SE, and functions as a selection transistor for reading an output corresponding to the potential of the node by an external circuit connected to the wiring OUT1.
  • the light receiving element PD corresponds to the above OPD. Further, the potential or current output from the wiring OUT1 corresponds to the sensing data.
  • FIG. 24D shows an example of a pixel circuit for driving the OLED.
  • the pixel circuit PIX2 shown in FIG. 24D has a light emitting element EL, a transistor M5, a transistor M6, a transistor M7, and a capacitance C2.
  • a light emitting diode is used as the light emitting element EL.
  • the light emitting element EL corresponds to the OLED
  • the transistor M5 corresponds to the selection transistor
  • the transistor M6 corresponds to the drive transistor.
  • the wiring VS corresponds to the wiring to which the video data is input.
  • the gate is electrically connected to the wiring VG, one of the source or the drain is electrically connected to the wiring VS, and the other of the source or the drain is the one electrode of the capacitance C2 and the gate of the transistor M6. Connect electrically.
  • One of the source or drain of the transistor M6 is electrically connected to the wiring V4, and the other is electrically connected to the anode of the light emitting element EL and one of the source or drain of the transistor M7.
  • the gate is electrically connected to the wiring MS, and the other of the source or the drain is electrically connected to the wiring OUT2.
  • the cathode of the light emitting element EL is electrically connected to the wiring V5.
  • a constant potential is supplied to the wiring V4 and the wiring V5, respectively.
  • the anode side of the light emitting element EL can have a high potential, and the cathode side can have a lower potential than the anode side.
  • the transistor M5 is controlled by a signal supplied to the wiring VG, and functions as a selection transistor for controlling the selection state of the pixel circuit PIX2. Further, the transistor M6 functions as a drive transistor that controls the current flowing through the light emitting element EL according to the potential supplied to the gate. When the transistor M5 is in a conductive state, the potential supplied to the wiring VS is supplied to the gate of the transistor M6, and the emission luminance of the light emitting element EL can be controlled according to the potential.
  • the transistor M7 is controlled by a signal supplied to the wiring MS, and has a function of setting a potential between the transistor M6 and the light emitting element EL as a potential given to the wiring OUT2 and a potential between the transistor M6 and the light emitting element EL. It has one or both of the functions of outputting to the outside via the wiring OUT2.
  • FIG. 24E shows an example of a pixel circuit including a memory unit, which can be applied to the configuration illustrated in FIG. 24B.
  • the pixel circuit PIX3 shown in FIG. 24E has a configuration in which the transistor M8 and the capacitance C3 are added to the pixel circuit PIX2. Further, in the pixel circuit PIX3, the wiring VS in the pixel circuit PIX2 is the wiring VS1 and the wiring VG is the wiring VG1.
  • the gate is electrically connected to the wiring VG2
  • one of the source and the drain is electrically connected to the wiring VS2
  • the other is electrically connected to one electrode of the capacitance C3.
  • the other electrode is electrically connected to the gate of the transistor M6, one electrode of the capacitance C2, and the other of the source and drain of the transistor M5.
  • Wiring VS1 corresponds to the wiring to which the above video data is given.
  • the wiring VS2 corresponds to the wiring to which the weight data is given.
  • the node to which the gate of the transistor M6 is connected corresponds to the memory unit.
  • the first potential is written from the wiring VS1 to the node to which the gate of the transistor M6 is connected via the transistor M5. After that, by putting the transistor M5 in a non-conducting state, the node is in a floating state. Subsequently, a second potential is written from the wiring VS2 to one electrode of the capacitance C3 via the transistor M8. As a result, due to the capacitive coupling of the capacitance C3, the potential of the node changes from the first potential to the third potential according to the second potential. Then, a current corresponding to the third potential flows through the transistor M6 and the light emitting element EL, so that the light emitting element EL emits light with brightness corresponding to the potential.
  • an image may be displayed by causing the light emitting element to emit light in a pulse shape.
  • the organic EL element is suitable because it has excellent frequency characteristics.
  • the frequency can be, for example, 1 kHz or more and 100 MHz or less.
  • a driving method also referred to as a Duty drive in which the pulse width is changed to emit light may be used.
  • a channel is formed in each of the transistor M1, the transistor M2, the transistor M3, and the transistor M4 of the pixel circuit PIX1, the transistor M5, the transistor M6, and the transistor M7 of the pixel circuit PIX2, and the transistor M8 of the pixel circuit PIX3. It is preferable to apply a transistor using a metal oxide (oxide semiconductor) to the semiconductor layer to be formed.
  • a metal oxide oxide semiconductor
  • transistor M1 it is also possible to use a transistor in which silicon is applied to a semiconductor in which a channel is formed for the transistor M1 to the transistor M8.
  • silicon having high crystallinity such as single crystal silicon and polycrystalline silicon because high field effect mobility can be realized and higher speed operation becomes possible.
  • transistors M1 to M8 a transistor to which an oxide semiconductor is applied to one or more of the transistors M1 to be used, and a transistor to which silicon is applied may be used in addition to the transistor M1 to the transistor M8.
  • a transistor to which an oxide semiconductor having a remarkably low off-current is applied to the transistor M1, the transistor M2, the transistor M5, the transistor M7, and the transistor M8 which function as a switch for holding an electric charge it is preferable to use a transistor to which an oxide semiconductor having a remarkably low off-current is applied to the transistor M1, the transistor M2, the transistor M5, the transistor M7, and the transistor M8 which function as a switch for holding an electric charge.
  • a transistor in which silicon is applied to one or more other transistors can be used.
  • the transistor is described as an n-channel type transistor in the pixel circuit PIX1, the pixel circuit PIX2, and the pixel circuit PIX3, a p-channel type transistor can also be used.
  • the configuration may be a mixture of n-channel type transistors and p-channel type transistors.
  • This embodiment can be carried out by appropriately combining at least a part thereof with other embodiments described in the present specification.
  • the metal oxide preferably contains at least indium or zinc. In particular, it is preferable to contain indium and zinc. In addition to them, it is preferable that aluminum, gallium, yttrium, tin and the like are contained. It may also contain one or more selected from boron, silicon, titanium, iron, nickel, germanium, zirconium, molybdenum, lanthanum, cerium, neodymium, hafnium, tantalum, tungsten, magnesium, cobalt and the like. ..
  • a sputtering method a chemical vapor deposition (CVD) method such as a metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) method, and an atomic layer deposition (ALD) method can be used.
  • CVD chemical vapor deposition
  • MOCVD metalorganic chemical vapor deposition
  • ALD atomic layer deposition
  • the crystal structure of the oxide semiconductor includes amorphous (including compactly atomous), CAAC (c-axis-aligned crystalline), nc (nanocrystalline), CAC (crowd-aligned crystal), single crystal (single crystal), and single crystal (single crystal). (Poly crystal) and the like.
  • the crystal structure of the film or substrate can be evaluated using an X-ray diffraction (XRD: X-Ray Diffraction) spectrum.
  • XRD X-Ray Diffraction
  • it can be evaluated using the XRD spectrum obtained by GIXD (Grazing-Incidence XRD) measurement.
  • GIXD Gram-Incidence XRD
  • the GIXD method is also referred to as a thin film method or a Seemann-Bohlin method.
  • the shape of the peak of the XRD spectrum is almost symmetrical.
  • the shape of the peak of the XRD spectrum is asymmetrical.
  • the asymmetrical shape of the peaks in the XRD spectrum indicates the presence of crystals in the membrane or substrate. In other words, the film or substrate cannot be said to be in an amorphous state unless the shape of the peak of the XRD spectrum is symmetrical.
  • the crystal structure of the film or the substrate can be evaluated by a diffraction pattern (also referred to as a microelectron diffraction pattern) observed by a micro electron diffraction method (NBED: Nano Beam Electron Diffraction).
  • a diffraction pattern also referred to as a microelectron diffraction pattern
  • NBED Nano Beam Electron Diffraction
  • halos are observed, and it can be confirmed that the quartz glass is in an amorphous state.
  • a spot-like pattern is observed instead of a halo. Therefore, it is presumed that the IGZO film formed at room temperature is neither in a crystalline state nor in an amorphous state, is in an intermediate state, and cannot be concluded to be in an amorphous state.
  • oxide semiconductors may be classified differently from the above.
  • oxide semiconductors are divided into single crystal oxide semiconductors and other non-single crystal oxide semiconductors.
  • the non-single crystal oxide semiconductor include the above-mentioned CAAC-OS and nc-OS.
  • the non-single crystal oxide semiconductor includes a polycrystal oxide semiconductor, a pseudo-amorphous oxide semiconductor (a-like OS: atomous-like oxide semiconductor), an amorphous oxide semiconductor, and the like.
  • CAAC-OS CAAC-OS
  • nc-OS nc-OS
  • a-like OS the details of the above-mentioned CAAC-OS, nc-OS, and a-like OS will be described.
  • CAAC-OS is an oxide semiconductor having a plurality of crystal regions, the plurality of crystal regions having the c-axis oriented in a specific direction.
  • the specific direction is the thickness direction of the CAAC-OS film, the normal direction of the surface to be formed of the CAAC-OS film, or the normal direction of the surface of the CAAC-OS film.
  • the crystal region is a region having periodicity in the atomic arrangement. When the atomic arrangement is regarded as a lattice arrangement, the crystal region is also a region in which the lattice arrangement is aligned. Further, the CAAC-OS has a region in which a plurality of crystal regions are connected in the ab plane direction, and the region may have distortion.
  • the strain refers to a region in which a plurality of crystal regions are connected in which the orientation of the lattice arrangement changes between a region in which the lattice arrangement is aligned and a region in which another grid arrangement is aligned. That is, CAAC-OS is an oxide semiconductor that is c-axis oriented and not clearly oriented in the ab plane direction.
  • Each of the plurality of crystal regions is composed of one or a plurality of minute crystals (crystals having a maximum diameter of less than 10 nm).
  • the maximum diameter of the crystal region is less than 10 nm.
  • the size of the crystal region may be about several tens of nm.
  • CAAC-OS has indium (In) and oxygen. It tends to have a layered crystal structure (also referred to as a layered structure) in which a layer (hereinafter, In layer) and a layer having elements M, zinc (Zn), and oxygen (hereinafter, (M, Zn) layer) are laminated. There is. Indium and element M can be replaced with each other. Therefore, the (M, Zn) layer may contain indium. In addition, the In layer may contain the element M. The In layer may contain Zn.
  • the layered structure is observed as a lattice image in, for example, a high-resolution TEM (Transmission Electron Microscope) image.
  • the position of the peak indicating the c-axis orientation may vary depending on the type and composition of the metal elements constituting CAAC-OS.
  • a plurality of bright spots are observed in the electron diffraction pattern of the CAAC-OS film. Note that a certain spot and another spot are observed at point-symmetrical positions with the spot of the incident electron beam passing through the sample (also referred to as a direct spot) as the center of symmetry.
  • the lattice arrangement in the crystal region is based on a hexagonal lattice, but the unit lattice is not limited to a regular hexagon and may be a non-regular hexagon. Further, in the above strain, it may have a lattice arrangement such as a pentagon or a heptagon.
  • a clear grain boundary cannot be confirmed even in the vicinity of strain. That is, it can be seen that the formation of grain boundaries is suppressed by the distortion of the lattice arrangement. This is because CAAC-OS can tolerate distortion due to the fact that the arrangement of oxygen atoms is not dense in the ab plane direction and the bond distance between the atoms changes due to the replacement of metal atoms. it is conceivable that.
  • CAAC-OS for which no clear crystal grain boundary is confirmed, is one of the crystalline oxides having a crystal structure suitable for the semiconductor layer of the transistor.
  • a configuration having Zn is preferable.
  • In-Zn oxide and In-Ga-Zn oxide are more suitable than In oxide because they can suppress the generation of grain boundaries.
  • CAAC-OS is an oxide semiconductor with high crystallinity and no clear grain boundaries can be confirmed. Therefore, it can be said that CAAC-OS is unlikely to cause a decrease in electron mobility due to grain boundaries. Further, since the crystallinity of the oxide semiconductor may be deteriorated due to the mixing of impurities, the generation of defects, etc., CAAC-OS can be said to be an oxide semiconductor having few impurities and defects (oxygen deficiency, etc.). Therefore, the oxide semiconductor having CAAC-OS has stable physical properties. Therefore, the oxide semiconductor having CAAC-OS is resistant to heat and has high reliability. CAAC-OS is also stable against high temperatures (so-called thermal budgets) in the manufacturing process. Therefore, if CAAC-OS is used for the OS transistor, the degree of freedom in the manufacturing process can be expanded.
  • nc-OS has periodicity in the atomic arrangement in a minute region (for example, a region of 1 nm or more and 10 nm or less, particularly a region of 1 nm or more and 3 nm or less).
  • nc-OS has tiny crystals. Since the size of the minute crystal is, for example, 1 nm or more and 10 nm or less, particularly 1 nm or more and 3 nm or less, the minute crystal is also referred to as a nanocrystal.
  • nc-OS has no regularity in crystal orientation between different nanocrystals. Therefore, no orientation is observed in the entire film.
  • nc-OS may be indistinguishable from a-like OS or amorphous oxide semiconductor depending on the analysis method.
  • a peak indicating crystallinity is not detected in the Out-of-plane XRD measurement using a ⁇ / 2 ⁇ scan.
  • electron beam diffraction also referred to as selected area electron diffraction
  • a diffraction pattern such as a halo pattern is performed. Is observed.
  • electron diffraction also referred to as nanobeam electron diffraction
  • an electron beam having a probe diameter for example, 1 nm or more and 30 nm or less
  • An electron diffraction pattern in which a plurality of spots are observed in a ring-shaped region centered on a direct spot may be acquired.
  • the a-like OS is an oxide semiconductor having a structure between nc-OS and an amorphous oxide semiconductor.
  • the a-like OS has a void or low density region. That is, a-like OS has lower crystallinity than nc-OS and CAAC-OS. In addition, a-like OS has a higher hydrogen concentration in the membrane than nc-OS and CAAC-OS.
  • CAC-OS relates to the material composition.
  • CAC-OS is, for example, a composition of a material in which the elements constituting the metal oxide are unevenly distributed in a size of 0.5 nm or more and 10 nm or less, preferably 1 nm or more and 3 nm or less, or in the vicinity thereof.
  • the metal oxide one or more metal elements are unevenly distributed, and the region having the metal element has a size of 0.5 nm or more and 10 nm or less, preferably 1 nm or more and 3 nm or less, or a size in the vicinity thereof.
  • the mixed state is also called a mosaic shape or a patch shape.
  • the CAC-OS has a structure in which the material is separated into a first region and a second region to form a mosaic, and the first region is distributed in the film (hereinafter, also referred to as a cloud shape). It is said.). That is, the CAC-OS is a composite metal oxide having a structure in which the first region and the second region are mixed.
  • the atomic number ratios of In, Ga, and Zn with respect to the metal elements constituting CAC-OS in the In-Ga-Zn oxide are expressed as [In], [Ga], and [Zn].
  • the first region is a region where [In] is larger than [In] in the composition of the CAC-OS film.
  • the second region is a region in which [Ga] is larger than [Ga] in the composition of the CAC-OS film.
  • the first region is a region where [In] is larger than [In] in the second region and [Ga] is smaller than [Ga] in the second region.
  • the second region is a region in which [Ga] is larger than [Ga] in the first region and [In] is smaller than [In] in the first region.
  • the first region is a region in which indium oxide, indium zinc oxide, or the like is the main component.
  • the second region is a region containing gallium oxide, gallium zinc oxide, or the like as a main component. That is, the first region can be rephrased as a region containing In as a main component. Further, the second region can be rephrased as a region containing Ga as a main component.
  • CAC-OS in In-Ga-Zn oxide is a region containing Ga as a main component and a part of In as a main component in a material composition containing In, Ga, Zn, and O. Each of the regions is a mosaic, and these regions are randomly present. Therefore, it is presumed that CAC-OS has a structure in which metal elements are non-uniformly distributed.
  • CAC-OS can be formed by a sputtering method, for example, under the condition that the substrate is not heated.
  • a sputtering method one or more selected from an inert gas (typically argon), an oxygen gas, and a nitrogen gas may be used as the film forming gas. good.
  • an inert gas typically argon
  • oxygen gas typically argon
  • a nitrogen gas may be used as the film forming gas. good.
  • the flow rate ratio of the oxygen gas to the total flow rate of the film-forming gas at the time of film formation is low. Is preferably 0% or more and 10% or less.
  • EDX Energy Dispersive X-ray spectroscopy
  • the first region is a region having higher conductivity than the second region. That is, when the carrier flows through the first region, the conductivity as a metal oxide is developed. Therefore, high field effect mobility ( ⁇ ) can be realized by distributing the first region in the metal oxide in a cloud shape.
  • the second region is a region having higher insulating properties than the first region. That is, the leakage current can be suppressed by distributing the second region in the metal oxide.
  • the CAC-OS when used for a transistor, the conductivity caused by the first region and the insulating property caused by the second region act complementarily to switch the function (On / Off). Function) can be added to the CAC-OS. That is, the CAC-OS has a conductive function in a part of the material and an insulating function in a part of the material, and has a function as a semiconductor in the whole material. By separating the conductive function and the insulating function, both functions can be maximized. Therefore, by using CAC-OS for the transistor, high on-current ( Ion ), high field effect mobility ( ⁇ ), and good switching operation can be realized.
  • Ion on-current
  • high field effect mobility
  • CAC-OS is most suitable for various semiconductor devices including display devices.
  • Oxide semiconductors have various structures, and each has different characteristics.
  • the oxide semiconductor of one aspect of the present invention has two or more of amorphous oxide semiconductor, polycrystalline oxide semiconductor, a-like OS, CAC-OS, nc-OS, and CAAC-OS. You may.
  • the oxide semiconductor as a transistor, a transistor with high field effect mobility can be realized. In addition, a highly reliable transistor can be realized.
  • the carrier concentration of the oxide semiconductor is 1 ⁇ 10 17 cm -3 or less, preferably 1 ⁇ 10 15 cm -3 or less, more preferably 1 ⁇ 10 13 cm -3 or less, and more preferably 1 ⁇ 10 11 cm ⁇ . It is 3 or less, more preferably less than 1 ⁇ 10 10 cm -3 , and more preferably 1 ⁇ 10 -9 cm -3 or more.
  • the impurity concentration in the oxide semiconductor film may be lowered to lower the defect level density.
  • a low impurity concentration and a low defect level density is referred to as high-purity intrinsic or substantially high-purity intrinsic.
  • An oxide semiconductor having a low carrier concentration may be referred to as a high-purity intrinsic or substantially high-purity intrinsic oxide semiconductor.
  • the trap level density may also be low.
  • the charge captured at the trap level of the oxide semiconductor takes a long time to disappear, and may behave as if it were a fixed charge. Therefore, a transistor in which a channel forming region is formed in an oxide semiconductor having a high trap level density may have unstable electrical characteristics.
  • Impurities include hydrogen, nitrogen, alkali metals, alkaline earth metals, iron, nickel, silicon and the like.
  • the concentration of silicon or carbon in the oxide semiconductor and the concentration of silicon or carbon near the interface with the oxide semiconductor are determined. 2 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 or less, preferably 2 ⁇ 10 17 atoms / cm 3 or less.
  • the oxide semiconductor contains an alkali metal or an alkaline earth metal
  • defect levels may be formed and carriers may be generated. Therefore, a transistor using an oxide semiconductor containing an alkali metal or an alkaline earth metal tends to have a normally-on characteristic. Therefore, the concentration of the alkali metal or alkaline earth metal in the oxide semiconductor obtained by SIMS is set to 1 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 or less, preferably 2 ⁇ 10 16 atoms / cm 3 or less.
  • the nitrogen concentration in the oxide semiconductor obtained by SIMS is less than 5 ⁇ 10 19 atoms / cm 3 , preferably 5 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 or less, and more preferably 1 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 or less. , More preferably 5 ⁇ 10 17 atoms / cm 3 or less.
  • hydrogen contained in an oxide semiconductor reacts with oxygen bonded to a metal atom to become water, which may form an oxygen deficiency.
  • oxygen deficiency When hydrogen enters the oxygen deficiency, electrons that are carriers may be generated.
  • a part of hydrogen may be combined with oxygen that is bonded to a metal atom to generate an electron as a carrier. Therefore, a transistor using an oxide semiconductor containing hydrogen tends to have a normally-on characteristic. Therefore, it is preferable that hydrogen in the oxide semiconductor is reduced as much as possible.
  • the hydrogen concentration obtained by SIMS is less than 1 ⁇ 10 20 atoms / cm 3 , preferably less than 1 ⁇ 10 19 atoms / cm 3 , and more preferably 5 ⁇ 10 18 atoms / cm. Less than 3 , more preferably less than 1 ⁇ 10 18 atoms / cm 3 .
  • This embodiment can be carried out by appropriately combining at least a part thereof with other embodiments described in the present specification.
  • the electronic device of one aspect of the present invention can perform imaging on the display unit, detect a touch operation, and the like. As a result, the functions and convenience of the electronic device can be enhanced.
  • the electronic device of one aspect of the present invention includes, for example, a television device, a desktop or notebook personal computer, a monitor for a computer, a digital signage, a large game machine such as a pachinko machine, or the like, and a relatively large screen.
  • a television device for example, a television device, a desktop or notebook personal computer, a monitor for a computer, a digital signage, a large game machine such as a pachinko machine, or the like, and a relatively large screen.
  • digital cameras, digital video cameras, digital photo frames, mobile phones, portable game machines, mobile information terminals, sound reproduction devices, and the like can be mentioned.
  • the electronic device of one aspect of the present invention includes sensors (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, voice, time, hardness, electric field, current, It may have the ability to measure voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, odor or infrared rays).
  • the electronic device of one aspect of the present invention can have various functions. For example, a function to display various information (still images, moving images, text images, etc.) on the display unit, a touch panel function, a calendar, a function to display a date or time, a function to execute various software (programs), wireless communication. It can have a function, a function of reading a program or data recorded on a recording medium, and the like.
  • the electronic device 6500 shown in FIG. 25A is a portable information terminal that can be used as a smartphone.
  • the electronic device 6500 has a housing 6501, a display unit 6502, a power button 6503, a button 6504, a speaker 6505, a microphone 6506, a camera 6507, a light source 6508, and the like.
  • the display unit 6502 has a touch panel function.
  • the display device shown in the first embodiment or the second embodiment can be applied to the display unit 6502.
  • FIG. 25B is a schematic cross-sectional view including the end portion of the housing 6501 on the microphone 6506 side.
  • a translucent protective member 6510 is provided on the display surface side of the housing 6501, and a display panel 6511, an optical member 6512, a touch sensor panel 6513, and a print are provided in a space surrounded by the housing 6501 and the protective member 6510.
  • a substrate 6517, a battery 6518, and the like are arranged.
  • a display panel 6511, an optical member 6512, and a touch sensor panel 6513 are fixed to the protective member 6510 by an adhesive layer (not shown).
  • the FPC 6515 is connected to the folded back portion.
  • the IC6516 is mounted on the FPC6515.
  • the FPC6515 is connected to a terminal provided on the printed circuit board 6517.
  • a flexible display according to one aspect of the present invention can be applied to the display panel 6511. Therefore, an extremely lightweight electronic device can be realized. Further, since the display panel 6511 is extremely thin, it is possible to mount a large-capacity battery 6518 while suppressing the thickness of the electronic device. Further, by folding back a part of the display panel 6511 and arranging the connection portion with the FPC 6515 on the back side of the pixel portion, an electronic device having a narrow frame can be realized.
  • an image can be taken by the display unit 6502.
  • the display panel 6511 can capture a fingerprint and perform fingerprint authentication.
  • the display unit 6502 further includes the touch sensor panel 6513, so that the display unit 6502 can be provided with a touch panel function.
  • the touch sensor panel 6513 various methods such as a capacitance method, a resistance film method, a surface acoustic wave method, an infrared method, an optical method, and a pressure sensitive method can be used.
  • the display panel 6511 may function as a touch sensor, in which case the touch sensor panel 6513 may not be provided.
  • FIG. 26A shows an example of a television device.
  • the display unit 7000 is incorporated in the housing 7101.
  • a configuration in which the housing 7101 is supported by the stand 7103 is shown.
  • the display device shown in the first embodiment or the second embodiment can be applied to the display unit 7000.
  • the operation of the television device 7100 shown in FIG. 26A can be performed by an operation switch provided in the housing 7101 or a separate remote control operation machine 7111.
  • the display unit 7000 may be provided with a touch sensor, and the television device 7100 may be operated by touching the display unit 7000 with a finger or the like.
  • the remote control operation machine 7111 may have a display unit for displaying information output from the remote control operation machine 7111.
  • the channel and volume can be operated by the operation keys or the touch panel provided on the remote controller 7111, and the image displayed on the display unit 7000 can be operated.
  • the television device 7100 is configured to include a receiver, a modem, and the like.
  • a general television broadcast can be received by the receiver.
  • information communication is performed in one direction (sender to receiver) or two-way (sender and receiver, or between receivers, etc.). It is also possible.
  • FIG. 26B shows an example of a notebook personal computer.
  • the notebook personal computer 7200 has a housing 7211, a keyboard 7212, a pointing device 7213, an external connection port 7214, and the like.
  • a display unit 7000 is incorporated in the housing 7211.
  • the display device shown in the first embodiment or the second embodiment can be applied to the display unit 7000.
  • FIGS. 26C and 26D show an example of digital signage.
  • the digital signage 7300 shown in FIG. 26C has a housing 7301, a display unit 7000, a speaker 7303, and the like. Further, it may have an LED lamp, an operation key (including a power switch or an operation switch), a connection terminal, various sensors, a microphone, and the like.
  • FIG. 26D is a digital signage 7400 attached to a columnar pillar 7401.
  • the digital signage 7400 has a display unit 7000 provided along the curved surface of the pillar 7401.
  • the wider the display unit 7000 the more information that can be provided at one time. Further, the wider the display unit 7000 is, the easier it is to be noticed by people, and for example, the advertising effect of the advertisement can be enhanced.
  • the touch panel By applying the touch panel to the display unit 7000, not only the image or moving image can be displayed on the display unit 7000, but also the user can operate it intuitively, which is preferable. In addition, when used for the purpose of providing information such as route information or traffic information, usability can be improved by intuitive operation.
  • the digital signage 7300 or the digital signage 7400 can be linked with the information terminal 7311 or the information terminal 7411 such as a smartphone owned by the user by wireless communication.
  • the information of the advertisement displayed on the display unit 7000 can be displayed on the screen of the information terminal 7311 or the information terminal 7411. Further, by operating the information terminal 7311 or the information terminal 7411, the display of the display unit 7000 can be switched.
  • the display device shown in the first embodiment or the second embodiment can be applied to the display unit of the information terminal 7311 or the information terminal 7411.
  • the digital signage 7300 or the digital signage 7400 can be made to execute a game using the screen of the information terminal 7311 or the information terminal 7411 as an operation means (controller). As a result, an unspecified number of users can participate in and enjoy the game at the same time.
  • the electronic devices shown in FIGS. 27A to 27F include a housing 9000, a display unit 9001, a speaker 9003, an operation key 9005 (including a power switch or an operation switch), a connection terminal 9006, and a sensor 9007 (force, displacement, position, speed). , Acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, voice, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, smell or infrared It has a function to perform), a microphone 9008, and the like.
  • the electronic devices shown in FIGS. 27A to 27F have various functions. For example, a function to display various information (still images, moving images, text images, etc.) on the display unit, a touch panel function, a function to display a calendar, date or time, etc., a function to control processing by various software (programs), It can have a wireless communication function, a function of reading out and processing a program or data recorded on a recording medium, and the like.
  • the functions of electronic devices are not limited to these, and can have various functions.
  • the electronic device may have a plurality of display units.
  • the electronic device even if the electronic device is provided with a camera or the like, it has a function of shooting a still image or a moving image and saving it on a recording medium (external or built in the camera), a function of displaying the shot image on a display unit, and the like. good.
  • FIGS. 27A to 27F The details of the electronic devices shown in FIGS. 27A to 27F will be described below.
  • FIG. 27A is a perspective view showing a mobile information terminal 9101.
  • the mobile information terminal 9101 can be used as, for example, a smartphone.
  • the mobile information terminal 9101 may be provided with a speaker 9003, a connection terminal 9006, a sensor 9007, and the like. Further, the mobile information terminal 9101 can display characters, image information, and the like on a plurality of surfaces thereof.
  • FIG. 27A shows an example in which three icons 9050 are displayed. Further, the information 9051 indicated by the broken line rectangle can be displayed on the other surface of the display unit 9001. Examples of information 9051 include notification of incoming calls such as e-mail, SNS, and telephone, titles such as e-mail and SNS, sender name, date and time, time, remaining battery level, and antenna reception strength. Alternatively, an icon 9050 or the like may be displayed at the position where the information 9051 is displayed.
  • FIG. 27B is a perspective view showing a mobile information terminal 9102.
  • the mobile information terminal 9102 has a function of displaying information on three or more surfaces of the display unit 9001.
  • information 9052, information 9053, and information 9054 are displayed on different surfaces.
  • the user can check the information 9053 displayed at a position that can be observed from above the mobile information terminal 9102 with the mobile information terminal 9102 stored in the chest pocket of the clothes.
  • the user can check the display without taking out the mobile information terminal 9102 from the pocket, and can determine, for example, whether or not to receive a call.
  • FIG. 27C is a perspective view showing a wristwatch-type mobile information terminal 9200.
  • the display unit 9001 is provided with a curved display surface, and can display along the curved display surface.
  • the mobile information terminal 9200 can also make a hands-free call by, for example, communicating with a headset capable of wireless communication.
  • the mobile information terminal 9200 can also perform data transmission and charge with other information terminals by means of the connection terminal 9006.
  • the charging operation may be performed by wireless power supply.
  • FIGD to 27F are perspective views showing a foldable mobile information terminal 9201.
  • 27D is a perspective view of the mobile information terminal 9201 in an unfolded state
  • FIG. 27F is a folded state
  • FIG. 27E is a perspective view of a state in which one of FIGS. 27D and 27F is in the process of changing to the other.
  • the mobile information terminal 9201 is excellent in portability in the folded state, and is excellent in the listability of the display due to the wide seamless display area in the unfolded state.
  • the display unit 9001 included in the portable information terminal 9201 is supported by three housings 9000 connected by a hinge 9055.
  • the display unit 9001 can be bent with a radius of curvature of 0.1 mm or more and 150 mm or less.
  • This embodiment can be carried out by appropriately combining at least a part thereof with other embodiments described in the present specification.

Abstract

光検出機能を有する表示装置を提供する。光検出感度の高い表示装置を提供する。 表示装置は、受光素子と、発光素子と、導電層と、第1の配線と、を有する。受光素子は、第1の画素電極、共通層、活性層、及び、共通電極を有する。発光素子は、第2の画素電極、共通層、発光層、及び、共通電極を有する。導電層は、第1の画素電極及び第2の画素電極と同一面上に設けられ、第1の画素電極及び第2の画素電極の間に位置し、共通層と電気的に接続され、第1の電位が与えられる第1の配線と電気的に接続される。共通層は、第1の画素電極と重なる部分と、第2の画素電極と重なる部分と、導電層と重なる部分と、を有する。共通電極は、第1の画素電極と重なる部分と、第2の画素電極と重なる部分と、を有する。第1の配線は、導電層とは異なる面上に設けられる。

Description

表示装置、表示モジュール、及び電子機器
 本発明の一態様は、表示装置、表示モジュール、及び電子機器に関する。本発明の一態様は、発光素子(発光デバイスともいう)と受光素子(受光デバイスともいう)とを備える表示装置に関する。本発明の一態様は、認証機能を備える表示装置に関する。本発明の一態様は、タッチパネルに関する。本発明の一態様は、表示装置を備えるシステムに関する。
 なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、撮像装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法、を一例として挙げることができる。半導体装置は、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。
 近年、表示装置は様々な用途への応用が期待されている。例えば、大型の表示装置の用途としては、家庭用のテレビジョン装置(テレビまたはテレビジョン受信機ともいう)、デジタルサイネージ(Digital Signage:電子看板)、PID(Public Information Display)等が挙げられる。また、携帯情報端末として、タッチパネルを備えるスマートフォン、タブレット端末の開発が進められている。
 表示装置としては、例えば、発光素子を有する発光装置が開発されている。エレクトロルミネッセンス(Electroluminescence、以下ELと記す)現象を利用した発光素子(EL素子とも記す)は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流定電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、表示装置に応用されている。例えば、特許文献1に、有機EL素子が適用された、可撓性を有する発光装置が開示されている。
特開2014−197522号公報
 本発明の一態様は、光検出機能を有する表示装置を提供することを課題の一とする。または、光検出機能を有し、かつ、信頼性の高い表示装置を提供することを課題の一とする。または、多機能の表示装置を提供することを課題の一とする。または、表示品位の高い表示装置を提供することを課題の一とする。または、光検出感度の高い表示装置を提供することを課題の一とする。または、新規な表示装置を提供することを課題の一とする。
 また、本発明の一態様は、光検出精度の高い表示装置を提供することを課題の一とする。または、明瞭な画像の撮像が可能な表示装置を提供することを課題の一とする。または、タッチパネルとしての機能を有する表示装置を提供することを課題の一とする。
 なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
 本発明の一態様は、受光素子と、発光素子と、導電層と、第1の配線と、を有する表示装置である。受光素子は、第1の画素電極、第1の画素電極上の共通層、共通層上の活性層、及び、活性層上の共通電極を有する。発光素子は、第2の画素電極、第2の画素電極上の共通層、共通層上の発光層、及び、発光層上の共通電極を有する。導電層は、第1の画素電極及び第2の画素電極と同一面上に設けられ、第1の画素電極及び第2の画素電極の間に位置し、共通層と電気的に接続され、第1の電位が与えられる第1の配線と電気的に接続される。共通層は、第1の画素電極と重なる部分と、第2の画素電極と重なる部分と、導電層と重なる部分と、を有する。共通電極は、第1の画素電極と重なる部分と、第2の画素電極と重なる部分と、を有する。第1の配線は、導電層とは異なる面上に設けられる。
 また、上記において、第1のトランジスタと、第2のトランジスタとを有することが好ましい。また、第1の画素電極には、第1のトランジスタを介して第1の電位以下の第2の電位が与えられることが好ましい。また、第2の画素電極には、第2のトランジスタを介して第1の電位以上の第3の電位が与えられることが好ましい。さらに、共通電極には、第1の電位が与えられることが好ましい。
 または、上記において、第1の画素電極には、第1のトランジスタを介して第1の電位以上の第4の電位が与えられることが好ましい。また、第2の画素電極には、第2のトランジスタを介して第1の電位以上の第5の電位が与えられることが好ましい。また、第5の電位は、第4の電位よりも高いことが好ましい。
 また、上記において、導電層は、環状の第1の部分を有することが好ましい。このとき、平面視において、第1の画素電極は、第1の部分の内側に位置することが好ましい。または、第2の画素電極が、第1の部分の内側に位置することが好ましい。
 また、上記において、複数の第1の画素電極と、複数の第2の画素電極と、を有するとき、導電層は、環状の第1の部分と、環状の第2の部分と、第3の部分と、を有することが好ましい。このとき、平面視において、複数の第1の画素電極の中の1つは、第1の部分の内側に位置することが好ましい。また、平面視において、複数の第1の画素電極の他の1つは、第2の部分の内側に位置することが好ましい。また、平面視において、第3の部分は、第1の部分と第2の部分の間に位置することが好ましい。または、平面視において、複数の第2の画素電極の中の1つは、第1の部分の内側に位置することが好ましい。また、平面視において、複数の第2の画素電極の他の1つは、第2の部分の内側に位置することが好ましい。また、平面視において、第3の部分は、第1の部分と第2の部分の間に位置することが好ましい。
 また、上記において、複数の第1の画素電極と、複数の第2の画素電極と、を有するとき、複数の第1の画素電極は、第1の方向に配列し、複数の第2の画素電極は、第1の方向に配列していることが好ましい。また、導電層は、第1の方向に延伸しており、複数の第1の画素電極と複数の第2の画素電極の間に位置する部分を有することが好ましい。
 また、上記において、表示領域と、非表示領域と、を有することが好ましい。複数の第1の画素電極及び複数の第2の画素電極は、表示領域に設けられることが好ましい。このとき、導電層は、表示領域と非表示領域にかけて設けられ、非表示領域で第1の配線と電気的に接続されることが好ましい。導電層は、表示領域で第1の配線と電気的に接続されることがさらに好ましい。または、導電層は、表示領域に設けられ、表示領域で第1の配線と電気的に接続されることが好ましい。
 また、上記において、第1の配線は、第1の画素電極と重なる部分、及び、第2の画素電極と重なる部分を有することが好ましい。または、第1の配線は、第1の画素電極と第2の画素電極の間に位置する部分を有することが好ましい。
 本発明の一態様は、上記いずれかの構成の表示装置を有し、フレキシブルプリント回路基板(Flexible Printed Circuit、以下、FPCと記す)もしくはTCP(Tape Carrier Package)等のコネクターが取り付けられたモジュール、またはCOG(Chip On Glass)方式もしくはCOF(Chip On Film)方式等により集積回路(IC)が実装されたモジュール等のモジュールである。
 本発明の一態様は、上記のモジュールと、アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する電子機器である。
 本発明の一態様によれば、光検出機能を有する表示装置を提供できる。または、光検出機能を有し、かつ、信頼性の高い表示装置を提供できる。または、多機能の表示装置を提供できる。または、表示品位の高い表示装置を提供できる。または、光検出感度の高い表示装置を提供できる。または、新規な表示装置を提供できる。
 また、本発明の一態様によれば、光検出精度の高い表示装置を提供できる。または、明瞭な画像の撮像が可能な表示装置を提供できる。または、タッチパネルとしての機能を有する表示装置を提供できる。
 なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
図1A及び図1Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図2Aは電圧と電流密度の関係を示す模式図である。図2Bは、表示装置に印加する電位を説明する図である。
図3A乃至図3Dは、表示装置の構成例を示す図である。
図4A乃至図4Cは、表示装置の構成例を示す図である。
図5A及び図5Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図6A乃至図6Cは、表示装置の構成例を示す図である。
図7A及び図7Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図8Aは、表示装置の構成例を示す図である。図8Bは、表示装置の構成例を示す断面図である。
図9A及び図9Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図10A及び図10Bは、表示装置の構成例を示す断面図である。
図11A及び図11Bは、表示装置の構成例を示す断面図である。
図12は、表示装置の構成例を示す図である。
図13A及び図13Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図14A、図14B及び図14Dは、表示装置の一例を示す断面図である。図14C、図14Eは、表示装置で撮像した画像の例を示す図である。図14F乃至図14Hは、画素の一例を示す上面図である。
図15Aは、表示装置の構成例を示す断面図である。図15B乃至図15Dは、画素の一例を示す上面図である。
図16Aは、表示装置の構成例を示す断面図である。図16B乃至図16Iは、画素の一例を示す上面図である。
図17A及び図17Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図18A乃至図18Gは、表示装置の構成例を示す図である。
図19A乃至図19Cは、表示装置の構成例を示す図である。
図20A及び図20Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図21A及び図21Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図22は、表示装置の構成例を示す図である。
図23Aは、表示装置の構成例を示す図である。図23B及び図23Cは、トランジスタの構成例を示す図である。
図24A及び図24Bは、画素の構成例を示す図である。図24C乃至図24Eは、画素回路の構成例を示す図である。
図25A及び図25Bは、電子機器の構成例を示す図である。
図26A乃至図26Dは、電子機器の構成例を示す図である。
図27A乃至図27Fは、電子機器の構成例を示す図である。
 以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
 なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
 なお、本明細書で説明する各図において、各構成要素の大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
 なお、本明細書等における「第1」、「第2」等の序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではない。
 本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示(出力)する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。
 また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)もしくはTCP(Tape Carrier Package)などのコネクターが取り付けられたもの、または基板にCOG(Chip On Glass)方式等によりICが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュール、または単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。
 なお、本明細書等において、表示装置の一態様であるタッチパネルは表示面に画像等を表示する機能と、表示面に指、スタイラスなどの被検出体が触れる、押圧する、または近づくことなどを検出するタッチセンサとしての機能と、を有する。したがってタッチパネルは入出力装置の一態様である。
 タッチパネルは、例えばタッチセンサ付き表示パネル(または表示装置)、タッチセンサ機能つき表示パネル(または表示装置)とも呼ぶことができる。タッチパネルは、表示パネルとタッチセンサパネルとを有する構成とすることもできる。または、表示パネルの内部または表面にタッチセンサとしての機能を有する構成とすることもできる。
 また、本明細書等では、タッチパネルの基板に、コネクター、ICなどが実装されたものを、タッチパネルモジュール、表示モジュール、または単にタッチパネルなどと呼ぶ場合がある。
(実施の形態1)
 本実施の形態では、本発明の一態様の構成例について説明する。
 本発明の一態様のデバイスは、複数の受光素子と、複数の発光素子を有する。受光素子は、受光素子に入射する光を検出し電荷を発生させる光電変換素子として機能する。
 本発明の一態様のデバイスは、複数の受光素子によって撮像することができるため、撮像装置として機能する。このとき、発光素子は、撮像のための光源として用いることができる。また、本発明の一態様は、複数の発光素子によって画像を表示することが可能なため、表示装置として機能する。したがって、本発明の一態様は、撮像機能を有する表示装置、または表示機能を有する撮像装置ということができる。
 例えば、本発明の一態様の表示装置において、表示部に発光素子がマトリクス状に配置され、さらに表示部には、受光素子がマトリクス状に配置される。そのため、表示部は、画像を表示する機能と、受光部としての機能を有する。表示部に設けられる複数の受光素子により画像を撮像することができるため、表示装置は、イメージセンサ、タッチパネルなどとして機能することができる。すなわち、表示部で画像を撮像すること、対象物が近づくことまたは接触することを検出することなどができる。例えば、表示装置は、イメージスキャナとして用いることができる。さらに、表示部に設けられる発光素子は、受光の際の光源として利用することができるため、表示装置とは別に光源を設ける必要がなく、電子部品の部品点数を増やすことなく機能性の高い表示装置を実現できる。
 本発明の一態様の表示装置では、外光だけでなく、表示部が有する発光素子が発した光を対象物が反射(または散乱)した際、受光素子がその反射光(または散乱光)を検出できるため、暗い場所でも、撮像、及びタッチ操作(非接触を含む)の検出などが可能である。
 また、本発明の一態様の表示装置は、表示部に指、掌などを接触させた場合に、指紋または掌紋を撮像することができる。そのため、本発明の一態様の表示装置を備える電子機器は、撮像した指紋、掌紋などの画像を用いて、個人認証を実行することができる。これにより、指紋認証、掌紋認証などのための撮像装置を別途設ける必要がなく、電子機器の部品点数を削減することができる。また、表示部にはマトリクス状に受光素子が配置されているため、表示部のどの場所であっても指紋、掌紋などの撮像を行うことができ、利便性に優れた電子機器を実現できる。
 発光素子としては、OLED(Organic Light Emitting Diode)、QLED(Quantum−dot Light Emitting Diode)などのEL素子を用いることが好ましい。EL素子が有する発光物質としては、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(Thermally Activated Delayed Fluorescence:TADF)材料)、無機化合物(量子ドット材料など)などが挙げられる。
 受光素子としては、例えば、pn型またはpin型のフォトダイオードを用いることができる。受光素子は、受光素子に入射する光を検出し電荷を発生させる光電変換素子として機能する。光電変換素子は、入射する光量に応じて、発生する電荷量が決まる。特に、受光素子として、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードを用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な表示装置に適用できる。
 また、受光素子の活性層に、有機化合物を用いることが好ましい。このとき、発光素子の一方の電極と、受光素子の一方の電極(それぞれは、画素電極ともいう)とを、同一面上に設けることが好ましい。さらに、発光素子の他方の電極と受光素子の他方の電極とを、連続した(一続きの)導電層により形成される電極(共通電極ともいう)とすることがより好ましい。さらに、発光素子と受光素子とが、共通層を有することがより好ましい。共通層は、発光素子と受光素子の両方に共通して用いられる層である。共通層は、発光素子と受光素子の両方に亘って連続して(一続きに)設けられることがより好ましい。
 例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受光素子と発光素子との間で共通の層とすることが好ましい。また、例えば、受光素子が活性層を有し、発光素子が発光層を有する以外は、受光素子と発光素子とで同一の構成にすることもできる。つまり、発光素子の発光層を、活性層に置き換えるのみで、受光素子を作製することもできる。このように、受光素子及び発光素子が共通の層を有することで、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。また、表示装置の既存の製造装置及び製造方法を用いて、受光素子を有する表示装置を作製することができる。
 一方、受光素子の画素電極(第1の画素電極ともいう)と活性層の間、発光素子の画素電極(第2の画素電極ともいう)と発光層の間に、それぞれ共通層を設け、かつ、発光素子と受光素子が共通電極を有する場合、それぞれの画素電極に印加される電位の違いによって、第2の画素電極から第1の画素電極に共通層を介して流れる電流が生じることがある。以下では、共通層を介して画素電極間に流れるこのような電流を、サイドリーク電流とよぶ。受光素子は、受光した光を電気信号に変換して出力するため、サイドリーク電流は受光素子のノイズとなり、S/N比(Signal−to−Noise ratio)を低下させる要因となる。そのため、サイドリーク電流により、明瞭な画像の撮像ができなくなる場合がある。したがって、共通層を設けることで塗分け回数を削減しつつ、サイドリークを抑制することが望ましい。
 発光素子と受光素子とは、それぞれダイオード特性を有する。発光素子は、順バイアス電圧が印加されることで電流が流れ、発光する。一方、受光素子は、逆バイアス電圧が印加されることで、光電変換により受光した光の強度に応じた電荷が発生する。そのため、発光素子と受光素子とで共通電極を用いる場合、受光素子で光電変換する際に第1の画素電極に与える電位と、発光素子を発光させる際に第2の画素電極に与える電位とは、共通電極に与える電位を基準として、一方が高く、他方が低くなり、大きな電位差が生じる場合がある。この電位差により、第1の画素電極と第2の画素電極との間にサイドリーク電流が生じる場合がある。
 例えば、共通電極を、受光素子及び発光素子のカソードとした場合、受光素子の第1の画素電極には共通電極より低い電位が、発光素子の第2の画素電極には共通電極より高い電位が、それぞれ与えられる。このとき、サイドリーク電流は、第2の画素電極から第1の画素電極に向かって、共通層を介して流れることになる。なお、それぞれの画素電極には、異なるトランジスタが接続されることが好ましい。その場合、トランジスタを介して画素電極に任意の電位を印加することが可能である。
 そこで、本発明の一態様は、第1の画素電極と第2の画素電極との間に、共通層と電気的に接続される導電層を設ける構成とする。導電層は、第2の画素電極から第1の画素電極に向かって流れるサイドリーク電流の経路上に位置し、当該サイドリーク電流が流れ込むように設けられる。これにより、サイドリーク電流を遮断することができる。
 当該導電層は、第1の画素電極と第2の画素電極と同一面上に設けられることが好ましい。また、導電層は、配線(第1の配線ともいう)と電気的に接続されており、配線を介して第1の電位が印加されることが好ましい。第1の電位を、第2の画素電極に印加される電位より低く設定することで、第2の画素から第1の画素に向かって流れるサイドリーク電流を、導電層に流すことができる。その結果、サイドリーク電流を効果的に抑制することができ、受光素子のノイズが低減され、検出精度を高めることができる。
 第1の電位は、第1の画素電極に印加する電位に近いほど、好ましい。これにより、第1の画素電極と導電層との電位差が小さくなり、第1の画素電極と導電層の間の共通層を介して流れるサイドリーク電流を十分に抑制することができる。さらに、共通電極にも導電層と同じ第1の電位を与えることが好ましい。これにより、共通電極に電位を与える回路と導電層に電位を与える回路を共通にできるため、回路構成を簡略化できる。
 導電層は、平面視において、第1の画素電極と、第2の画素電極との間に設ければよい。具体的には、第1の画素電極と第2の画素電極とを最短で結ぶ直線上に、導電層を設けることができる。サイドリーク電流の要因となる共通層が理想的に均一な膜である場合、サイドリーク電流は画素電極間を最短で結ぶ上記直線に沿って流れやすい。そのため、このような位置に導電層を配置することで、第1の画素電極と第2の画素電極との間に流れうるサイドリーク電流を効果的に遮断することができる。
 また、導電層は環状の部分を有し、前述の環状の部分の内側に第1の画素電極が位置する構成とすることが好ましい。また、導電層は、表示部で配線と電気的に接続していることが好ましい。この構成により、第1の画素電極は導電層に囲まれるため、第2の画素電極からの電流経路を導電層によって遮断することができる。そのため、サイドリーク電流を効果的に抑制できる。また、導電層は、環状の第1の部分と、環状の第2の部分と、第3の部分を有し、第3の部分は環状の第1の部分と第2の部分の間に位置する構成としてもよい。このとき、複数の第1の画素電極の中の1つは、第1の部分の内側に位置し、他の1つは、第2の部分の内側に位置する構成としてもよい。また、導電層は、表示部または表示部及び非表示部に亘って設けられ、表示部または非表示部で配線と電気的に接続していることが好ましい。この構成により、第1の画素電極は導電層に囲まれるため、上述のとおり、サイドリーク電流を効果的に抑制できる。また、表示部の配線を減らすことができ、画素の微細化が可能になる。
 なお、上述の環状の導電層の内側に位置する第1の画素電極を、第2の画素電極と入れ替えた構成としてもよい。これにより、第2の画素電極は導電層に囲まれるため、第2の画素電極からの電流経路を導電層によって遮断することができる。そのため、サイドリーク電流を効果的に抑制できる。
 本発明の一態様では、複数の第1の画素電極と複数の第2の画素電極を有し、それぞれの画素電極は第1の方向に配列される。また、導電層は、第1の方向に延伸され、複数の第1の画素電極と複数の第2の画素電極の間に亘って設けられる構成とすることが好ましい。また、導電層は、表示部または非表示部で配線と電気的に接続していることが好ましい。これらの構成により、複数の第1の画素電極と複数の第2の画素電極とを、連続した一の導電層で区切ることができ、基板上のレイアウトを簡略化できる。
 導電層としては、導電性の高い導電性材料を用いることが好ましい。また、導電層と画素電極は同一の材料を用いることができる。導電層と、第1の画素電極と、第2の画素電極とを、それぞれ同一の膜を用いて同一工程で形成することで、作製工程を簡略化できる。導電層、第1の画素電極、及び第2の画素電極には、アルミニウム、銀などの、可視光の反射率が高く、且つ導電性の高い導電性材料を用いることが好ましい。また、アルミニウムと、チタン、ネオジム、ニッケル、及びランタンから選ばれる一または複数を含む合金を用いることもできる。または、銀と、イットリウム、マグネシウム、イッテルビウム、アルミニウム、チタン、ガリウム、亜鉛、インジウム、タングステン、マンガン、スズ、鉄、ニッケル、銅、パラジウム、イリジウム、及び金から選ばれる一または複数と、を含む合金を用いてもよい。
 配線は、導電層とは異なる面上に設けられている。配線に用いることのできる導電性材料としては、例えばアルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、及びタングステンなどの金属、並びに、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。また、配線は、これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
 以下では、本発明の一態様の表示装置について、図面を用いてより具体的に説明する。
[表示装置の構成例1]
 図1Aに、本発明の一様態の表示装置10Aの表示部の断面概略図を示す。
 表示装置10Aは、受光素子20、発光素子30、導電層40、配線50等を有する。
 受光素子20、発光素子30、及び導電層40は、基板11と基板12の間の同一面上に設けられている。また、受光素子20、発光素子30、及び導電層40は、それぞれ絶縁層13上に位置する。配線50は基板11上に設けられており、受光素子20、発光素子30、及び導電層40とは異なる面上に設けられている。図1Aに示すように、配線50は、受光素子20、発光素子30、及び導電層40よりも下方(基板11側)に設けられることが好ましい。
 受光素子20は、基板12側から入射される光90を受光し、電気信号に変換する機能を有する。受光素子20は、光電変換素子として機能する。
 受光素子20は、画素電極41、共通層61、受光層21、及び共通電極60を積層した構造を有する。また、基板11上には画素電極41に電気的に接続するトランジスタ51が設けられることが好ましい。画素電極41は絶縁層13に設けられた開口を介して、トランジスタ51が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。また、受光層21と共通電極60との間に共通層62を有することが好ましい。さらに、共通電極60は保護層63に覆われることが好ましい。
 発光素子30は基板12側に光80を射出する機能を有する。
 発光素子30は、画素電極42、共通層61、発光層31、及び共通電極60を積層した構造を有する。また、基板11上には画素電極42に電気的に接続するトランジスタ52が設けられることが好ましい。画素電極42は、絶縁層13に設けられた開口を介して、トランジスタ52が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。また、発光層31と共通電極60との間に共通層62を有することが好ましい。さらに、共通電極60は保護層63に覆われることが好ましい。
 発光素子30は、例えば赤色(R)、緑色(G)、または青色(B)のうち、いずれか一の光を発する発光素子とすることができる。または、白色(W)、黄色(Y)などの光を発する発光素子であってもよい。発光素子30は、その発光スペクトルにおいて、2以上のピークを有していてもよい。
 導電層40はサイドリーク電流が画素電極41に流入することを防ぐ機能を有する。導電層40は、共通層61と電気的に接続される。また、導電層40上には、共通層61及び共通電極60が積層されている。また、導電層40は、表示部または非表示部で配線50と電気的に接続され、第1の電位を印加される。上述のとおり、配線50は基板11上に設けられており、受光素子20、発光素子30、及び導電層40とは異なる面上に設けられている。
 隔壁14は、画素電極41、画素電極42、及び導電層40をそれぞれ互いに電気的に絶縁する(電気的に分離する、ともいう)機能を有する。画素電極41、画素電極42、及び導電層40の端部は、隔壁14によって覆われている。
 隔壁14としては、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。隔壁14は、可視光を透過する層である。隔壁14のかわりに、可視光を遮る隔壁を設けてもよい。
 ここで、上記画素電極41、画素電極42、及び導電層40は、同一の導電膜を加工して形成されることが好ましい。また、共通層61は、画素電極41、画素電極42、及び導電層40のそれぞれと重なる部分を有する。また、共通層62と共通電極60は、受光層21と共通層61を介して画素電極41と重なる部分と、発光層31と共通層61を介して画素電極42と重なる部分と、共通層61を介して導電層40と重なる部分と、を有する。このような構成とすることで、受光素子20と発光素子30は、受光層21と発光層31以外を共通の工程で作製することが可能となり、作製コストを低減することができる。
 図1Bには、表示装置10Bの表示部の断面図を示している。このように、配線50は、表示部に必ずしも設けられなくてもよい。
 配線50は、トランジスタ51及びトランジスタ52を構成する電極と同一の導電膜を用いて形成されることが好ましい。例えば、トランジスタ51及びトランジスタ52のゲート電極、バックゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、またはこれ以外の電極若しくは配線と、同一の導電膜を加工することにより、配線50が形成されることが好ましい。これにより、工程を増やすことなく配線50を形成することができる。
[電位の設定]
 上述のように、画素電極41と画素電極42に印加される電位の違いによって、画素電極42から画素電極41に共通層61を介してサイドリーク電流が生じることがある。ここで、図2Aに、有機薄膜内を流れる電流の電流密度(J)と、電圧(V)の関係を、模式的に示す。ある電圧Aよりも低い電圧では、電圧に比例したオーム電流(主としてオームの法則に従って流れる電流)が流れるが、ある電圧Aを超えると、チャイルド則に従って、電圧の二乗に比例した電流が流れる。共通層61に用いる有機薄膜はキャリア密度が低いため、層中を流れる電流は図2Aのような電圧依存性を有する。受光素子は負バイアス駆動であり、発光素子は正バイアス駆動であるため、画素電極間にかかる電位差は非常に大きくなり、共通層61を介して画素電極間を流れるサイドリーク電流は、チャイルド則が適用されることがある。すなわち、画素電極41と画素電極42の間に、多量のサイドリーク電流が生じることがある。
 そこで、本発明の一態様は、画素電極41と画素電極42の間に、導電層40を配置する構成とする。導電層40に適切な電位を印加することで、画素電極41と画素電極42の間に生じたサイドリーク電流を、導電層40に流すことができる。
 このとき、画素電極41と導電層40の間に生じるサイドリーク電流は、画素電極41と画素電極42の間に生じうるサイドリーク電流に比べ、極めて小さくなるように、導電層40の電位を設定する。図2Aより、受光素子20の画素電極41と導電層40の電位差を、電圧A以下の範囲に設定することで、画素電極41と導電層40の間のサイドリーク電流の大きさを、オーム電流の範囲内とすることができる。したがって、サイドリーク電流を効果的に抑制することができる。
 電圧Aは、画素電極41と導電層40との間での電流−電圧特性を測定することにより見積もることができる。例えば電圧Aは、共通層61の材料、共通層61の積層構成、共通層61の厚さ、2つの電極間の距離などで決まる値である。
 図2Bに、画素電極41、画素電極42、及び導電層40に印加する電位の一例についての模式図を示す。図2Bにおいて、縦軸は電位(V)を示し、縦方向の矢印は各画素電極または導電層40等が取りうる電位の範囲を示している。
 共通電極60には電位100が印加される。また、電位101は、導電層40に印加されうる電位であり、電位101Lから電位101Hまでの値を取りうる。電位102は受光素子20の画素電極41に印加されうる電位であり、電位102Lから電位102Hまでの値を取りうる。電位103は、発光素子30の画素電極42に印加されうる電位であり、電位103Lから電位103Hまでの値を取りうる。
 受光素子20は逆バイアス駆動とするため、共通電極60をカソードとしたとき、電位102Hは電位100以下に設定される。また、発光素子30は順バイアス駆動とするため、電位103Lは電位100以上に設定される。また、画素電極42から画素電極41へのサイドリーク電流を抑制するため、電位101Hを、電位103H以下に設定する。このような構成とすることで、導電層40から画素電極41へ流れるサイドリーク電流は、導電層40を設けない場合に画素電極42から画素電極41へ流れるサイドリーク電流より小さくなる。つまり、画素電極42から画素電極41へ流れるサイドリーク電流を、導電層40で遮断することができる。
 さらに、導電層40に与える電位101は、電位100と同値であると好ましい。共通電極60と導電層40に印加する電位を同じにすることで、電位を生成するための回路の数を少なくすることができる。また、導電層40に与える電位101は電位102を基準にして、電位102プラスマイナスAの範囲内に設定されることが、さらに好ましい。この範囲内であれば、第1の画素電極へ流れるサイドリーク電流をオーム電流範囲内に抑えることができる。したがって、受光素子のノイズを効果的に減らすことができ、明瞭な撮像が可能になる。
[画素電極と導電層の配置方法]
 上述のように、本発明の一様態は、複数の受光素子により、画像を撮像することができる。さらに、複数の発光素子により、画像を表示することができる。表示装置が有する1つの画素に、例えば赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3色の発光素子を配置することで、フルカラーの表示装置を実現できる。以下では、表示装置が有する画素電極と導電層の配置方法の一例について説明する。
 図3A~図8A、図9A及び図9B、図12~図13Bに、画素電極41、画素電極42、及び導電層40等の平面レイアウトの構成例を示す。画素電極41は受光素子の画素電極であり、画素電極42Rは赤色の発光素子の画素電極であり、画素電極42Gは緑色の発光素子の画素電極であり、画素電極42Bは青色の発光素子の画素電極である。なお以下では、画素電極42R、画素電極42G及び画素電極42Bを区別しない場合に、画素電極42と表記する場合がある。
 図3A~図4Cに示す構成例は、一列に、3つの発光素子と、1つの受光素子が配列している例である。
 図3Aに、表示装置110Aを示す。表示装置110Aは、平面視において、環状の導電層40の内側に画素電極41が位置している。また、画素電極41と画素電極42の下に配線50を有する。導電層40は、導電層40と重なる接続部55を介して、配線50と電気的に接続される。また、導電層40は配線50を介して電位101が印加される。このような構成により、画素電極41は、導電層40によって、画素電極42と隔てられているため、導電層40により画素電極42から画素電極41へ流れるサイドリーク電流を効果的に遮断できる。したがって、受光素子のノイズが減り、明瞭な撮像が可能になる。また、配線50が画素電極41と画素電極42に重なる構成であるため、表示部のスペースを有効活用できる。そのため、画素の微細化、画素電極の高開口率化が可能になる。
 図3B示す表示装置110Bは、表示装置110Aと比較して、配線50が画素電極41と画素電極42に重ならない点で、主に相違している。したがって、配線50とそれぞれの画素電極との寄生容量を低減できるため、高速駆動を実現できる。
 図3Cに示す表示装置110Cは、棒状(短冊状ともいう)の導電層40を有する点で、表示装置110Aと主に相違している。導電層40は、画素電極41と画素電極42の間に位置する。棒状の導電層40の形状は、直線状でもよいし、曲線状でもよい。
 また、図3Dに示す表示装置110Dのように、配線50が画素電極41及び画素電極42と重ならない構成としてもよい。
 図4Aに示す表示装置110Eは、表示装置110Aと比較して、環状の導電層40の内側に画素電極42R、画素電極42G、及び画素電極42Bが位置する点で、主に相違している。このように、発光素子の画素電極42を導電層40で囲むような構成においても、画素電極41は、導電層40によって、画素電極42と隔てられているため、画素電極42から画素電極41へ流れるサイドリーク電流を効果的に遮断できる。したがって、受光素子のノイズが減り、明瞭な撮像が可能になる。
 また、図4Aでは、配線50が画素電極41と画素電極42に重なる例を示したが、図4Bに示す表示装置110Fのように、これらが重ならない構成としてもよい。
 上記では、配線50を表示部に配置する例を示したが、配線50を表示部よりも外側の領域(非表示部)に配置することもできる。図4Cに示す一点鎖線は、表示装置110Gの表示部120と非表示部121の境界を示している。画素電極41と画素電極42は表示部120に位置する。
 図4Cに示す表示装置110Gは、一列に配置した3つの発光素子と1つの受光素子が、縦方向に繰り返されて配列している。また、非表示部121に位置する接続部55を介して、導電層40が配線50と電気的に接続されている。また、導電層40は、隣接する画素電極41と画素電極42の間に位置し、且つ表示部120と非表示部121に亘って設けられている。また、配線50は、画素電極41と画素電極42とに重ならず、非表示部121に設けられる。
 表示装置110Gは、導電層40によって、画素電極41と画素電極42とが隔てられているため、明瞭な撮像が可能になる。また、非表示部121に配線50を配置する構成であるため、表示部120の画素の微細化が可能になり、より、高精細な画像を表示できる。また、1つの配線50に、複数の導電層40の接続部55を設けることができるため、回路を簡略化することができる。
 なお、ここでは示さないが、非表示部121は、表示部120を囲むように設けられていることが好ましい。また、非表示部121のうち、表示部120を挟む一対の部分のそれぞれに配線50が設けられることが好ましい。このとき図4Cは、非表示部121の当該一対の部分の一方に対応する。さらにこのとき、当該一対の部分の他方は、図4Cの上下が反転した構成とすることができる。
 図5A~図6Cに示す構成例は、一列に、3つの発光素子と、その下側に、横長の1つの受光素子が配列している例である。
 図5Aに表示装置110Hを示す。表示装置110Hの画素電極41は、表示装置110Aと同様に、環状の導電層40の内側に位置している。また、図5Bに示す表示装置110Jのように、配線50が画素電極41に重ならない構成としてもよい。
 図6Aに表示装置110Kを示す。表示装置110Kの画素電極42R、画素電極42G、及び画素電極42Bは、表示装置110Eと同様に、環状の導電層の49の内側に位置している、また、図6Bに示す表示装置110Lのように、配線50が画素電極42に重ならない構成としてもよい。
 図6Cに示す表示装置110Mは、表示装置110Gと比較して、一列に、3つの発光素子と、その下側に、横長の1つの受光素子が繰り返し配列している点で、主に相違している。
 図7A及び図7Bに示す構成例は、縦一列に、緑色の発光素子、赤色の発光素子、及び受光素子が配列し、その横側に縦長の青色の発光素子が配列している例である。
 図7Aに表示装置110Nを示す。表示装置110Nの画素電極41は、表示装置110Aと同様に、環状の導電層40の内側に位置している。
 図7Bに、表示装置110Pを示す。図7Bに示す一点鎖線は、表示装置110Pの表示部120と非表示部121の境界を示している。
 表示装置110Pは、表示装置110Nと比較して、非表示部121の導電層40と重なる接続部55を介して、導電層40が配線50と電気的に接続されている。また、導電層40が環状の第1の部分40aと第2の部分40bを有し、且つ、表示部120と非表示部121に亘って設けられている。また、配線50は、非表示部121に位置する点で主に相違している。
 第1の部分40aは環状の部分を有し、その内側には画素電極41が位置している。また、第2の部分40bは一対の第1の部分40aの間に位置し、これらを繋いでいる。さらに、導電層40は表示部120と非表示部121に亘って設けられ、非表示部121の導電層40と重なる接続部55を介して、配線50と電気的に接続されている。
 このような構成により、画素電極41は導電層40によって、画素電極42と隔てられているため、明瞭な撮像が可能になる。また、非表示部に配線50を配置する構成であるため、表示部の画素の微細化が可能になり、より高精細な画像を表示できる。また、1つの配線50に、複数の導電層40の接続部55を設けることができるため、回路を簡略化でき、好ましい。
 図8A、図9、図12、図13に示す構成例は、マトリクス状に、3つの発光素子及び1つの受光素子が繰り返し配置されている例である。図中に示す一点鎖線は、各表示装置の表示部120と非表示部121の境界を示している。
 図8Aに表示装置110Qを示す。表示装置110Qの画素電極41は、表示装置110Aと同様に、環状の導電層40の内側に位置している。
 図8Bは、図8Aの中に示す二点鎖線A−Bにおける切断面の断面図に相当する。
 上記断面図では、基板11、画素電極41、及び導電層40の間に配線50が位置している。また、配線50は、一方の非表示部121から表示部120を介して他方の非表示部121に亘って、基板11上に設けられ、画素電極41、導電層40、及び受光層21とそれぞれ重なる部分を有している。さらに、導電層40は、接続部55を介して、配線50と電気的に接続される。また、画素電極41及び画素電極42とそれぞれ接続されるトランジスタと、配線50とは同一面上に位置するが、互いに干渉しないように設けられている。
 図9Aに示す表示装置110Rは、図8Aの表示装置110Qと比較して、導電層40が第1の部分40aと第2の部分40bとを有する点で主に相違している。
 第1の部分40aは環状の部分を有し、環状の部分の内側には画素電極41が位置している。また、第2の部分40bは一対の第1の部分40aの間に位置し、これらを繋いでいる。このような構成により、第2の部分40bで第1の部分40aを繋がない場合と比較して、表示部120の配線50の数を半分以下に減らすことができ、表示部のスペースを有効活用できる。そのため、画素の微細化、または画素電極の開口率の増大が可能になる。
 図9Bに表示装置110Sを示す。表示装置110Sの画素電極41は、表示装置110Pと同様に、導電層40の環状の第1の部分40aの内側に位置している。
 図10A及び図10Bは、図9A中に示す二点鎖線C−Dにおける切断面の断面図に相当する。図10A及び図10Bの断面図では、一対の第1の部分40aの間に第2の部分40bが位置している。
 図10Aは、導電層40の第2の部分40b上に隔壁14を設けない例、図10Bは、第2の部分40b上に隔壁14を設けた例である。図10Bのように、隔壁14は第1の部分40aの端部だけでなく、第2の部分40bの上部の一部を覆う構成としてもよい。すなわち、第1の部分40aまたは第2の部分40bと共通層61とは、2か所以上で電気的に接続されていてもよい。
 図11A及び図11Bは、図9B中に示す二点鎖線E−Fにおける切断面の断面図に相当する。図11Aの断面図は図10Aと、図11Bの断面図は図10Bとそれぞれ比較して、表示部120に配線50が設けられない点で主に相違している。
 図12に示す表示装置110Tは、表示装置110Sと比較して、環状の第1の部分40aの内側に画素電極42Gが位置する点で、主に相違している。
 表示部120に設けられる発光素子は、撮像の際の光源として利用することができる。光源として、緑色の発光素子を用いる場合、画素電極42Gから画素電極41へのサイドリーク電流が生じることがある。したがって、表示装置110Tのように、環状の第1の部分40aの内側に画素電極42Gを位置する構成としてもよい。導電層40で、画素電極42Gを囲む構成にすることで、上述のサイドリーク電流を抑制することができる。また、光源として、赤色の発光素子を用いる場合は、画素電極42Rを第1の部分40aの内側に位置する構成としてもよい。同様に、光源として、青色の発光素子を用いる場合は、画素電極42Bを第1の部分40aの内側に位置する構成としてもよい。
 図13Aに示す表示装置110Uは、表示装置110Sの第2の部分40bの形状を変形した例である。第2の部分40bは、画素電極41または画素電極42に接しないように設けられる。例えば、第2の部分40bは、表示装置110Uのように、1以上の変曲点を有する形状でもよい。例えば、第2の部分40bは、その一部に、V字状、L字状、またはU字状の上面形状を有していてもよい。
 図13Bに示す表示装置110Wは、表示装置110Qと表示装置110Sとの配置を組み合わせた構成例である。表示装置110Wは、環状の導電層40Xの内側に、画素電極41が位置している。さらに、導電層40Yは、第1の部分40aと第2の部分40bとを有する。第1の部分40aは環状の部分を有し、環状の部分の内側には画素電極41が位置している。また、第2の部分40bは一対の第1の部分40aの間に位置している。
 また、導電層40Xは、表示部120に位置する接続部55aを介して配線50Xと電気的に接続される。導電層40Yは、非表示部121に位置する接続部55bを介して、配線50と電気的に接続される。また、導電層40Xは配線50Xを介して、導電層40Yは配線50Yを介して、それぞれ電位101が印加される。このような構成により、画素電極41は、導電層40によって、画素電極42と隔てられているため、画素電極42から画素電極41へのサイドリーク電流を導電層40で遮断できる。
 本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態2)
 本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置のより具体的な構成例について説明する。なお、以降において、上記実施の形態1と一部重複する部分がある。
 本発明の一態様の表示装置の表示部は、受光素子と発光素子を有する。表示部は、発光素子を用いて画像を表示する機能を有する。さらに、当該表示部は、受光素子を用いて撮像する機能及びセンシングする機能の一方または双方を有する。
 または、本発明の一態様の表示装置は、受発光素子(受発光デバイスともいう)と発光素子とを有する構成としてもよい。
 受光素子と発光素子とを有する表示装置の概要については、上記実施の形態1を援用できる。
 例えば、受光素子をイメージセンサに用いる場合、表示装置は、受光素子を用いて、画像を撮像することができる。例えば、表示装置は、スキャナとして用いることができる。
 本発明の一態様の表示装置が適用された電子機器は、イメージセンサとしての機能を用いて、指紋または掌紋などの生体情報に係るデータを取得することができる。つまり、表示装置に、生体認証用センサを内蔵させることができる。表示装置が生体認証用センサを内蔵することで、表示装置とは別に生体認証用センサを設ける場合に比べて、電子機器の部品点数を少なくでき、電子機器の小型化及び軽量化が可能である。
 また、受光素子をタッチセンサに用いる場合、表示装置は、受光素子を用いて、対象物のタッチ操作を検出することができる。
 本発明の一態様では、発光素子として有機EL素子(有機ELデバイスともいう)を用い、受光素子として有機フォトダイオードを用いる。有機EL素子及び有機フォトダイオードは、同一基板上に形成することができる。したがって、有機EL素子を用いた表示装置に有機フォトダイオードを内蔵することができる。
 有機EL素子及び有機フォトダイオードを構成する全ての層を作り分ける場合、成膜工程数が膨大になってしまう。しかしながら有機フォトダイオードは、有機EL素子と共通の構成にできる層が多いため、共通の構成にできる層は一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
 例えば、一対の電極のうち一方(共通電極)を、受光素子及び発光素子で共通の層とすることができる。また、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受光素子及び発光素子で共通の層とすることが好ましい。また、例えば、受光素子が活性層を有し、発光素子が発光層を有する以外は、受光素子と発光素子とで同一の構成にすることもできる。つまり、発光素子の発光層を、活性層に置き換えるのみで、受光素子を作製することもできる。このように、受光素子及び発光素子が共通の層を有することで、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。また、表示装置の既存の製造装置及び製造方法を用いて、受光素子を有する表示装置を作製することができる。
 なお、受光素子と発光素子に共通する層は、発光素子における機能と受光素子における機能とが異なる場合がある。本明細書中では、発光素子における機能に基づいて構成要素を呼称する。例えば、正孔注入層は、発光素子において正孔注入層として機能し、受光素子において正孔輸送層として機能する。同様に、電子注入層は、発光素子において電子注入層として機能し、受光素子において電子輸送層として機能する。また、受光素子と発光素子に共通する層は、発光素子における機能と受光素子における機能とが同一である場合もある。正孔輸送層は、発光素子及び受光素子のいずれにおいても、正孔輸送層として機能し、電子輸送層は、発光素子及び受光素子のいずれにおいても、電子輸送層として機能する。
 次に、受発光素子と発光素子を有する表示装置について説明する。なお、上記と同様の機能、作用、効果等については、説明を省略することがある。
 本発明の一態様の表示装置において、いずれかの色を呈する副画素は、発光素子の代わりに受発光素子を有し、その他の色を呈する副画素は、発光素子を有する。受発光素子は、光を発する機能(発光機能)と、受光する機能(受光機能)と、の双方を有する。例えば、画素が、赤色の副画素、緑色の副画素、青色の副画素の3つの副画素を有する場合、少なくとも1つの副画素が受発光素子を有し、他の副画素は発光素子を有する構成とする。したがって、本発明の一態様の表示装置の表示部は、受発光素子と発光素子との双方を用いて画像を表示する機能を有する。
 受発光素子が、発光素子と受光素子を兼ねることで、画素に含まれる副画素の数を増やさずに、画素に受光機能を付与することができる。これにより、画素の開口率(各副画素の開口率)、及び、表示装置の精細度を維持したまま、表示装置の表示部に、撮像機能及びセンシング機能の一方または双方を付加することができる。したがって、本発明の一態様の表示装置は、発光素子を有する副画素とは別に、受光素子を有する副画素を設ける場合に比べ、画素の開口率を高くでき、また、高精細化が容易である。
 本発明の一態様の表示装置は、表示部に、受発光素子と発光素子がマトリクス状に配置されており、当該表示部で画像を表示することができる。また、表示部は、イメージセンサ及びタッチセンサなどに用いることができる。本発明の一態様の表示装置は、発光素子をセンサの光源として利用することができる。そのため暗い場所でも、撮像及びタッチ操作の検出が可能である。
 受発光素子は、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製することができる。例えば、有機EL素子の積層構造に、有機フォトダイオードの活性層を追加することで、受発光素子を作製することができる。さらに、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製する受発光素子は、有機EL素子と共通の構成にできる層を一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
 例えば、一対の電極のうち一方(共通電極)を、受発光素子及び発光素子で共通の層とすることができる。また、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受発光素子及び発光素子で共通の層とすることが好ましい。また、例えば、受光素子の活性層の有無以外は、受発光素子と発光素子とで同一の構成にすることもできる。つまり、発光素子に、受光素子の活性層を加えるのみで、受発光素子を作製することもできる。このように、受発光素子及び発光素子が共通の層を有することで、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。また、表示装置の既存の製造装置及び製造方法を用いて、受発光素子を有する表示装置を作製することができる。
 なお、受発光素子が有する層は、受発光素子が、受光素子として機能する場合と、発光素子として機能する場合と、で、機能が異なることがある。本明細書中では、受発光素子が発光素子として機能する場合における機能に基づいて構成要素を呼称する。
 本実施の形態の表示装置は、発光素子及び受発光素子を用いて、画像を表示する機能を有する。つまり、発光素子及び受発光素子は、表示素子として機能する。
 本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、光を検出する機能を有する。受発光素子は、受発光素子自身が発する光よりも短波長の光を検出することができる。
 受発光素子をイメージセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、画像を撮像することができる。また、受発光素子をタッチセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、対象物のタッチ操作を検出することができる。
 受発光素子は、光電変換素子として機能する。受発光素子は、上記発光素子の構成に、受光素子の活性層を追加することで作製することができる。受発光素子には、例えば、pn型またはpin型のフォトダイオードの活性層を用いることができる。
 特に、受発光素子には、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードの活性層を用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な表示装置に適用できる。
 ここで、受発光素子と発光素子との間でも、共通層を介してサイドリーク電流が生じる場合がある。そのため、平面視において、受発光素子と発光素子との間に、共通層と電気的に接続される導電層を設ける構成とする。導電層の配置方法及び形状などについては、受光素子を用いた場合と同様にすることができ、上記実施の形態1で例示した様々な構成を適用することができる。
 以下では、本発明の一態様の表示装置について、図面を用いてより具体的に説明する。
[表示装置の構成例1]
〔構成例1−1〕
 図14Aに、表示パネル200の模式図を示す。表示パネル200は、基板201、基板202、受光素子212、発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、機能層203等を有する。
 発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、及び受光素子212は、基板201と基板202の間に設けられている。発光素子211R、発光素子211G、発光素子211Bは、それぞれ赤色(R)、緑色(G)、または青色(B)の光を発する。なお以下では、発光素子211R、発光素子211G及び発光素子211Bを区別しない場合に、発光素子211と表記する場合がある。
 表示パネル200は、マトリクス状に配置された複数の画素を有する。1つの画素は、1つ以上の副画素を有する。1つの副画素は、1つの発光素子を有する。例えば、画素には、副画素を3つ有する構成(R、G、Bの3色、または、黄色(Y)、シアン(C)、及びマゼンタ(M)の3色など)、または、副画素を4つ有する構成(R、G、B、白色(W)の4色、または、R、G、B、Yの4色など)を適用できる。さらに、画素は、受光素子212を有する。受光素子212は、全ての画素に設けられていてもよく、一部の画素に設けられていてもよい。また、1つの画素が複数の受光素子212を有していてもよい。
 図14Aには、基板202の表面に指220が近づいている様子を示している。発光素子211Gが発する光の一部は、指220で反射される。そして、反射光の一部が、受光素子212に入射されることにより、指220が基板202の上方に近づいていることを検出することができる。すなわち、表示パネル200は非接触型のタッチパネルとして機能することができる。なお、指220が基板202に接触した場合でも検出できるため、表示パネル200は、接触型のタッチパネル(単にタッチパネルともいう)としても機能する。
 機能層203は、発光素子211R、発光素子211G、発光素子211Bを駆動する回路、及び、受光素子212を駆動する回路を有する。機能層203には、スイッチ、トランジスタ、容量、配線などが設けられる。なお、発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、及び受光素子212をパッシブマトリクス方式で駆動させる場合には、スイッチ及びトランジスタなどを設けない構成としてもよい。
 表示パネル200は、指220の指紋を撮像する機能を有することが好ましい。図14Bには、基板202に指220が触れている状態における接触部の拡大図を模式的に示している。また、図14Bには、交互に配列した発光素子211と受光素子212を示している。
 指220は凹部及び凸部により指紋が形成されている。そのため、図14Bに示すように指紋の凸部が基板202に触れている。
 ある表面または界面から反射される光には、正反射と拡散反射とがある。正反射光は入射角と反射角が一致する、指向性の高い光であり、拡散反射光は、強度の角度依存性が低い、指向性の低い光である。指220の表面から反射される光は、正反射と拡散反射のうち拡散反射の成分が支配的となる。一方、基板202と大気との界面から反射される光は、正反射の成分が支配的となる。
 指220と基板202との接触面または非接触面で反射され、これらの直下に位置する受光素子212に入射される光の強度は、正反射光と拡散反射光とを足し合わせたものとなる。上述のように指220の凹部では基板202と指220が接触しないため、正反射光(実線矢印で示す)が支配的となり、凸部ではこれらが接触するため、指220からの拡散反射光(破線矢印で示す)が支配的となる。したがって、凹部の直下に位置する受光素子212で受光する光の強度は、凸部の直下に位置する受光素子212よりも高くなる。これにより、指220の指紋を撮像することができる。
 受光素子212の配列間隔は、指紋の2つの凸部間の距離、好ましくは隣接する凹部と凸部間の距離よりも小さい間隔とすることで、鮮明な指紋の画像を取得することができる。人の指紋の凹部と凸部の間隔は概ね200μmであることから、例えば受光素子212の配列間隔は、400μm以下、好ましくは200μm以下、より好ましくは150μm以下、さらに好ましくは100μm以下、さらに好ましくは50μm以下であって、1μm以上、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上とする。
 表示パネル200で撮像した指紋の画像の例を図14Cに示す。図14Cには、撮像範囲223内に、指220の輪郭を破線で、接触部221の輪郭を一点鎖線で示している。接触部221内において、受光素子212に入射する光量の違いによって、コントラストの高い指紋222を撮像することができる。
 なお、指220と基板202とが接していない場合であっても、指220の指紋の凹凸形状を撮像することで、指紋の撮像を行うこともできる。
 表示パネル200は、タッチパネルまたはペンタブレットなどとしても機能させることができる。図14Dには、スタイラス225の先端を基板202に近づけた状態で、破線矢印の方向に滑らせている様子を示している。
 図14Dに示すように、スタイラス225の先端で拡散される拡散反射光が、当該先端と重なる部分に位置する受光素子212に入射することで、スタイラス225の先端の位置を高精度に検出することができる。
 図14Eには、表示パネル200で検出したスタイラス225の軌跡226の例を示している。表示パネル200は、高い位置精度でスタイラス225等の被検出体の位置検出が可能であるため、描画アプリケーション等において、高精細な描画を行うことも可能である。また、静電容量式のタッチセンサまたは電磁誘導型のタッチペン等を用いた場合とは異なり、絶縁性の高い被検出体であっても位置検出が可能であるため、スタイラス225の先端部の材料は問われず、様々な筆記用具(例えば筆、ガラスペン、羽ペンなど)を用いることもできる。
 ここで、図14F乃至図14Hに、表示パネル200に適用可能な画素の一例を示す。
 図14F、及び図14Gに示す画素は、それぞれ赤色(R)の発光素子211R、緑色(G)の発光素子211G、青色(B)の発光素子211Bと、受光素子212を有する。画素は、それぞれ発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、及び受光素子212を駆動するための画素回路を有する。
 図14Fは、2×2のマトリクス状に、3つの発光素子と1つの受光素子が配置されている例である。図14Gは、一列に、3つの発光素子が配列し、その下側に、横長の1つの受光素子212が配置されている例である。
 図14Hに示す画素は、白色(W)の発光素子211Wを有する例である。ここでは、4つの発光素子が一列に配置され、その下側に受光素子212が配置されている。
 なお、画素の構成は上記に限られず、様々な配置方法を採用することができる。
〔構成例1−2〕
 以下では、可視光を呈する発光素子と、赤外光を呈する発光素子と、受光素子と、を備える構成の例について説明する。
 図15Aに示す表示パネル200Aは、図14Aで例示した構成に加えて、発光素子211IRを有する。発光素子211IRは、赤外光IRを発する発光素子である。またこのとき、受光素子212には、少なくとも発光素子211IRが発する赤外光IRを受光することのできる素子を用いることが好ましい。また、受光素子212として、可視光と赤外光の両方を受光することのできる素子を用いることがより好ましい。
 図15Aに示すように、基板202に指220が近づくと、発光素子211IRから発せられた赤外光IRが指220により反射され、当該反射光の一部が受光素子212に入射されることにより、指220の位置情報を取得することができる。
 図15B乃至図15Dに、表示パネル200Aに適用可能な画素の一例を示す。
 図15Bは、一列に3つの発光素子が配列し、その下側に、発光素子211IRと、受光素子212とが横に並んで配置されている例である。また、図15Cは、発光素子211IRを含む4つの発光素子が一列に配列し、その下側に、受光素子212が配置されている例である。
 また、図15Dは、発光素子211IRを中心にして、四方に3つの発光素子と、受光素子212が配置されている例である。
 なお、図15B乃至図15Dに示す画素において、発光素子同士、及び発光素子と受光素子とは、それぞれの位置を交換可能である。
〔構成例1−3〕
 以下では、可視光を呈する発光素子と、可視光を呈し、且つ可視光を受光する受発光素子と、を備える構成の例について説明する。
 図16Aに示す表示パネル200Bは、発光素子211B、発光素子211G、及び受発光素子213Rを有する。受発光素子213Rは、赤色(R)の光を発する発光素子としての機能と、可視光を受光する光電変換素子としての機能と、を有する。図16Aでは、受発光素子213Rが、発光素子211Gが発する緑色(G)の光を受光する例を示している。なお、受発光素子213Rは、発光素子211Bが発する青色(B)の光を受光してもよい。また、受発光素子213Rは、緑色の光と青色の光の両方を受光してもよい。
 例えば、受発光素子213Rは、自身が発する光よりも短波長の光を受光することが好ましい。または、受発光素子213Rは、自身が発する光よりも長波長の光(例えば赤外光)を受光する構成としてもよい。受発光素子213Rは、自身が発する光と同程度の波長を受光する構成としてもよいが、その場合は自身が発する光をも受光してしまい、発光効率が低下してしまう恐れがある。そのため、受発光素子213Rは、発光スペクトルのピークと、吸収スペクトルのピークとができるだけ重ならないように構成されることが好ましい。
 また、ここでは受発光素子が発する光は、赤色の光に限られない。また、発光素子が発する光も、緑色の光と青色の光の組み合わせに限定されない。例えば受発光素子として、緑色または青色の光を発し、且つ、自身が発する光とは異なる波長の光を受光する素子とすることができる。
 このように、受発光素子213Rが、発光素子と受光素子とを兼ねることにより、一画素に配置する素子の数を減らすことができる。そのため、高精細化、高開口率化及び高解像度化などが容易となる。
 図16B乃至図16Iに、表示パネル200Bに適用可能な画素の一例を示す。
 図16Bは、受発光素子213R、発光素子211G、及び発光素子211Bが一列に配列されている例である。図16Cは、発光素子211Gと発光素子211Bが縦方向に交互に配列し、これらの横に受発光素子213Rが配置されている例である。
 図16Dは、2×2のマトリクス状に、3つの発光素子(発光素子211G、発光素子211B、及び発光素子211Xと一つの受発光素子が配置されている例である。発光素子211Xは、R、G、B以外の光を呈する素子である。R、G、B以外の光としては、白色(W)、黄色(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、赤外光(IR)、紫外光(UV)等の光が挙げられる。発光素子211Xが赤外光を呈する場合、受発光素子は、赤外光を検出する機能、または、可視光及び赤外光の双方を検出する機能を有することが好ましい。センサの用途に応じて、受発光素子が検出する光の波長を決定することができる。
 図16Eには、2つ分の画素を示している。点線で囲まれた3つの素子を含む領域が1つの画素に相当する。画素はそれぞれ発光素子211G、発光素子211B、及び受発光素子213Rを有する。図16Eに示す左の画素では、受発光素子213Rと同じ行に発光素子211Gが配置され、受発光素子213Rと同じ列に発光素子211Bが配置されている。図16Eに示す右の画素では、受発光素子213Rと同じ行に発光素子211Gが配置され、発光素子211Gと同じ列に発光素子211Bが配置されている。図16Eに示す画素レイアウトでは、奇数行と偶数行のいずれにおいても、受発光素子213R、発光素子211G、及び発光素子211Bが繰り返し配置されており、かつ、各列において、奇数行と偶数行では互いに異なる色の発光素子または受発光素子が配置される。
 図16Fには、ペンタイル配列が適用された4つの画素を示しており、隣接する2つの画素は組み合わせの異なる2色の光を呈する発光素子または受発光素子を有する。なお、図16Fでは、発光素子または受発光素子の上面形状を示している。
 図16Fに示す左上の画素と右下の画素は、受発光素子213Rと発光素子211Gを有する。また右上の画素と左下の画素は、発光素子211Gと発光素子211Bを有する。すなわち、図16Fに示す例では、各画素に発光素子211Gが設けられている。
 発光素子及び受発光素子の上面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形、角の丸い多角形等とすることができる。図16F等では、発光素子及び受発光素子の上面形状として、略45度傾いた正方形(ひし形)である例を示している。なお、各色の発光素子及び受発光素子の上面形状は、互いに異なっていてもよく、一部または全ての色で同じであってもよい。
 また、各色の発光素子及び受発光素子の発光領域(または受発光領域)のサイズは、互いに異なっていてもよく、一部または全ての色で同じであってもよい。例えば図16Fにおいて、各画素に設けられる発光素子211Gの発光領域の面積を他の素子の発光領域(または受発光領域)よりも小さくしてもよい。
 図16Gは、図16Fに示す画素配列の変形例である。具体的には、図16Gの構成は、図16Fの構成を45度回転させることで得られる。図16Fでは、1つの画素に2つの素子を有するとして説明したが、図16Gに示すように、4つの素子により1つの画素が構成されていると捉えることもできる。
 図16Hは、図16Fに示す画素配列の変形例である。図16Hに示す左上の画素と右下の画素は、受発光素子213Rと発光素子211Gを有する。また右上の画素と左下の画素は、受発光素子213Rと発光素子211Bを有する。すなわち、図16Hに示す例では、各画素に受発光素子213Rが設けられている。各画素に受発光素子213Rが設けられているため、図16Hに示す構成は、図16Fに示す構成に比べて、高い精細度で撮像を行うことができる。これにより、例えば、生体認証の精度を高めることができる。
 図16Iは、図16Hで示す画素配列の変形例であり、当該画素配列を45度回転させることで得られる構成である。
 図16Iでは、4つの素子(2つの発光素子と2つの受発光素子)により1つの画素が構成されることとして説明を行う。このように、1つの画素が、受光機能を有する受発光素子を複数有することで、高い精細度で撮像を行うことができる。したがって、生体認証の精度を高めることができる。例えば、撮像の精細度を、表示の精細度のルート2倍とすることができる。
 図16Hまたは図16Iに示す構成が適用された表示装置は、p個(pは2以上の整数)の第1の発光素子と、q個(qは2以上の整数)の第2の発光素子と、r個(rはpより大きく、qより大きい整数)の受発光素子と、を有する。pとrはr=2pを満たす。また、p、q、rはr=p+qを満たす。第1の発光素子と第2の発光素子のうち一方が緑色の光を発し、他方が青色の光を発する。受発光素子は、赤色の光を発し、かつ、受光機能を有する。
 例えば、受発光素子を用いて、タッチ操作の検出を行う場合、光源からの発光がユーザーに視認されにくいことが好ましい。青色の光は、緑色の光よりも視認性が低いため、青色の光を発する発光素子を光源とすることが好ましい。したがって、受発光素子は、青色の光を受光する機能を有することが好ましい。なお、これに限られず、受発光素子の感度に応じて、光源とする発光素子を適宜選択することができる。
 以上のように、本実施の形態の表示装置には、様々な配列の画素を適用することができる。
[デバイス構造]
 次に、本発明の一態様の表示装置に用いることができる、発光素子、受光素子、及び受発光素子の詳細な構成について説明する。
 本発明の一態様の表示装置は、発光素子が形成されている基板とは反対方向に光を射出するトップエミッション型、発光素子が形成されている基板側に光を射出するボトムエミッション型、両面に光を射出するデュアルエミッション型のいずれであってもよい。
 本実施の形態では、トップエミッション型の表示装置を例に挙げて説明する。
 なお、本明細書等において、特に説明のない限り、要素(発光素子、発光層など)を複数有する構成を説明する場合であっても、各々の要素に共通する事項を説明する場合には、アルファベットを省略して説明する。例えば、発光層283R及び発光層283G等に共通する事項を説明する場合に、発光層283と記す場合がある。
 図17Aに示す表示装置280Aは、受光素子270PD、赤色(R)の光を発する発光素子270R、緑色(G)の光を発する発光素子270G、及び、青色(B)の光を発する発光素子270Bを有する。
 各発光素子は、画素電極271、正孔注入層281、正孔輸送層282、発光層、電子輸送層284、電子注入層285、及び共通電極275をこの順で積層して有する。発光素子270Rは、発光層283Rを有し、発光素子270Gは、発光層283Gを有し、発光素子270Bは、発光層283Bを有する。発光層283Rは、赤色の光を発する発光物質を有し、発光層283Gは、緑色の光を発する発光物質を有し、発光層283Bは、青色の光を発する発光物質を有する。
 発光素子は、画素電極271と共通電極275との間に電圧を印加することで、共通電極275側に光を射出する電界発光素子である。
 受光素子270PDは、画素電極271、正孔注入層281、正孔輸送層282、活性層273、電子輸送層284、電子注入層285、及び共通電極275をこの順で積層して有する。
 受光素子270PDは、表示装置280Aの外部から入射される光を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。
 本実施の形態では、発光素子及び受光素子のいずれにおいても、画素電極271が陽極として機能し、共通電極275が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受光素子は、画素電極271と共通電極275との間に逆バイアスをかけて駆動することで、受光素子に入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
 本実施の形態の表示装置では、受光素子270PDの活性層273に有機化合物を用いる。受光素子270PDは、活性層273以外の層を、発光素子と共通の構成にすることができる。そのため、発光素子の作製工程に、活性層273を成膜する工程を追加するのみで、発光素子の形成と並行して受光素子270PDを形成することができる。また、発光素子と受光素子270PDとを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子270PDを内蔵することができる。
 表示装置280Aでは、受光素子270PDの活性層273と、発光素子の発光層283と、を作り分ける以外は、受光素子270PDと発光素子が共通の構成である例を示す。ただし、受光素子270PDと発光素子の構成はこれに限定されない。受光素子270PDと発光素子は、活性層273と発光層283のほかにも、互いに作り分ける層を有していてもよい。受光素子270PDと発光素子は、共通で用いられる層(共通層)を1層以上有することが好ましい。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子270PDを内蔵することができる。
 画素電極271と共通電極275のうち、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
 本実施の形態の表示装置が有する発光素子には、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光素子が有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極(半透過・半反射電極)を有することが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極(反射電極)を有することが好ましい。発光素子がマイクロキャビティ構造を有することで、発光層から得られる発光を両電極間で共振させ、発光素子から射出される光を強めることができる。
 なお、半透過・半反射電極は、反射電極と可視光に対する透過性を有する電極(透明電極ともいう)との積層構造とすることができる。
 透明電極の光の透過率は、40%以上とする。例えば、発光素子には、可視光(波長400nm以上750nm未満の光)の透過率が40%以上である電極を用いることが好ましい。半透過・半反射電極の可視光の反射率は、10%以上95%以下、好ましくは30%以上80%以下とする。反射電極の可視光の反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、1×10−2Ωcm以下が好ましい。なお、発光素子が近赤外光(波長750nm以上1300nm以下の光)を発する場合、これらの電極の近赤外光の透過率または反射率は、可視光の透過率または反射率と同様に、上記の数値範囲を満たすことが好ましい。
 発光素子は少なくとも発光層283を有する。発光素子は、発光層283以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、電子ブロック材料、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。
 例えば、発光素子及び受光素子は、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層のうち1層以上を共通の構成とすることができる。また、発光素子及び受光素子は、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層のうち1層以上を互いに作り分けることができる。
 正孔注入層は、陽極から正孔輸送層に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料、または芳香族アミン化合物などを用いることができる。
 発光素子において、正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。受光素子において、正孔輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した正孔を陽極に輸送する層である。正孔輸送層は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料としては、1×10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物(例えばカルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体など)、芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する化合物)等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
 発光素子において、電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。受光素子において、電子輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した電子を陰極に輸送する層である。電子輸送層は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料としては、1×10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。
 電子注入層は、陰極から電子輸送層に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
 発光層283は、発光物質を含む層である。発光層283は、1種または複数種の発光物質を有することができる。発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。
 発光物質としては、蛍光材料、燐光材料、TADF材料、量子ドット材料などが挙げられる。
 蛍光材料としては、例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、ナフタレン誘導体などが挙げられる。
 燐光材料としては、例えば、4H−トリアゾール骨格、1H−トリアゾール骨格、イミダゾール骨格、ピリミジン骨格、ピラジン骨格、またはピリジン骨格を有する有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、白金錯体、希土類金属錯体等が挙げられる。
 発光層283は、発光物質(ゲスト材料)に加えて、1種または複数種の有機化合物(ホスト材料、アシスト材料等)を有していてもよい。1種または複数種の有機化合物としては、正孔輸送性材料及び電子輸送性材料の一方または双方を用いることができる。また、1種または複数種の有機化合物として、バイポーラ性材料、またはTADF材料を用いてもよい。
 発光層283は、例えば、燐光材料と、励起錯体を形成しやすい組み合わせである正孔輸送性材料及び電子輸送性材料と、を有することが好ましい。このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質(燐光材料)へのエネルギー移動であるExTET(Exciplex−Triplet Energy Transfer)を用いた発光を効率よく得ることができる。発光物質の最も低エネルギー側の吸収帯の波長と重なるような発光を呈する励起錯体を形成するような組み合わせを選択することで、エネルギー移動がスムーズとなり、効率よく発光を得ることができる。この構成により、発光素子の高効率、低電圧駆動、長寿命を同時に実現できる。
 励起錯体を形成する材料の組み合わせとしては、正孔輸送性材料のHOMO準位(最高被占有軌道準位)が電子輸送性材料のHOMO準位以上の値であると好ましい。正孔輸送性材料のLUMO準位(最低空軌道準位)が電子輸送性材料のLUMO準位以上の値であると好ましい。材料のLUMO準位及びHOMO準位は、サイクリックボルタンメトリ(CV)測定によって測定される材料の電気化学特性(還元電位及び酸化電位)から導出することができる。
 励起錯体の形成は、例えば正孔輸送性材料の発光スペクトル、電子輸送性材料の発光スペクトル、及びこれら材料を混合した混合膜の発光スペクトルを比較し、混合膜の発光スペクトルが、各材料の発光スペクトルよりも長波長シフトする(または長波長側に新たなピークを持つ)現象を観測することにより確認することができる。または、正孔輸送性材料の過渡フォトルミネッセンス(PL)、電子輸送性材料の過渡PL、及びこれら材料を混合した混合膜の過渡PLを比較し、混合膜の過渡PL寿命が、各材料の過渡PL寿命よりも長寿命成分を有する、または遅延成分の割合が大きくなるなどの過渡応答の違いを観測することにより、確認することができる。また、上述の過渡PLは過渡エレクトロルミネッセンス(EL)と読み替えても構わない。すなわち、正孔輸送性材料の過渡EL、電子輸送性を有する材料の過渡EL、及びこれらの混合膜の過渡ELを比較し、過渡応答の違いを観測することによっても、励起錯体の形成を確認することができる。
 活性層273は、半導体を含む。当該半導体としては、シリコンなどの無機半導体、及び、有機化合物を含む有機半導体が挙げられる。本実施の形態では、活性層273が有する半導体として、有機半導体を用いる例を示す。有機半導体を用いることで、発光層283と、活性層273と、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、製造装置を共通化できるため好ましい。
 活性層273が有するn型半導体の材料としては、フラーレン(例えばC60、C70等)、フラーレン誘導体等の電子受容性の有機半導体材料が挙げられる。フラーレンは、サッカーボールのような形状を有し、当該形状はエネルギー的に安定である。フラーレンは、HOMO準位及びLUMO準位の双方が深い(低い)。フラーレンは、LUMO準位が深いため、電子受容性(アクセプター性)が極めて高い。通常、ベンゼンのように、平面にπ電子共役(共鳴)が広がると、電子供与性(ドナー性)が高くなるが、フラーレンは球体形状であるため、π電子が大きく広がっているにも関わらず、電子受容性が高くなる。電子受容性が高いと、電荷分離を高速に効率よく起こすため、受光素子として有益である。C60、C70ともに可視光領域に広い吸収帯を有しており、特にC70はC60に比べてπ電子共役系が大きく、長波長領域にも広い吸収帯を有するため好ましい。
 また、n型半導体の材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、クマリン誘導体、ローダミン誘導体、トリアジン誘導体、キノン誘導体等が挙げられる。
 活性層273が有するp型半導体の材料としては、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)、スズフタロシアニン(SnPc)、キナクリドン等の電子供与性の有機半導体材料が挙げられる。
 また、p型半導体の材料としては、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体、芳香族アミン骨格を有する化合物等が挙げられる。さらに、p型半導体の材料としては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ピレン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、ピロール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、インドール誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、インドロカルバゾール誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、キナクリドン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。
 電子供与性の有機半導体材料のHOMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のHOMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。電子供与性の有機半導体材料のLUMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のLUMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。
 電子受容性の有機半導体材料として、球状のフラーレンを用い、電子供与性の有機半導体材料として、平面に近い形状の有機半導体材料を用いることが好ましい。似た形状の分子同士は集まりやすい傾向にあり、同種の分子が凝集すると、分子軌道のエネルギー準位が近いため、キャリア輸送性を高めることができる。
 例えば、活性層273は、n型半導体とp型半導体と共蒸着して形成することが好ましい。または、活性層273は、n型半導体とp型半導体とを積層して形成してもよい。
 発光素子及び受光素子には低分子系化合物及び高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。発光素子及び受光素子を構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
 図17Bに示す表示装置280Bは、受光素子270PDと発光素子270Rが同一の構成である点で、表示装置280Aと異なる。
 受光素子270PDと発光素子270Rは、活性層273と発光層283Rを共通して有する。
 ここで、受光素子270PDは、検出したい光よりも長波長の光を発する発光素子と共通の構成にすることが好ましい。例えば、青色の光を検出する構成の受光素子270PDは、発光素子270R及び発光素子270Gの一方または双方と同様の構成にすることができる。例えば、緑色の光を検出する構成の受光素子270PDは、発光素子270Rと同様の構成にすることができる。
 受光素子270PDと、発光素子270Rと、を共通の構成にすることで、受光素子270PDと、発光素子270Rと、が互いに作り分ける層を有する構成に比べて、成膜工程の数及びマスクの数を削減することができる。したがって、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。
 また、受光素子270PDと、発光素子270Rと、を共通の構成にすることで、受光素子270PDと、発光素子270Rと、が互いに作り分ける層を有する構成に比べて、位置ずれに対するマージンを狭くできる。これにより、画素の開口率を高めることができ、表示装置の光取り出し効率を高めることができる。これにより、発光素子の寿命を延ばすことができる。また、表示装置は、高い輝度を表現することができる。また、表示装置の高精細度化も可能である。
 発光層283Rは、赤色の光を発する発光材料を有する。活性層273は、赤色よりも短波長の光(例えば、緑色の光及び青色の光の一方または双方)を吸収する有機化合物を有する。活性層273は、赤色の光を吸収しにくく、かつ、赤色よりも短波長の光を吸収する有機化合物を有することが好ましい。これにより、発光素子270Rからは赤色の光が効率よく取り出され、受光素子270PDは、高い精度で赤色よりも短波長の光を検出することができる。
 また、表示装置280Bでは、発光素子270R及び受光素子270PDが同一の構成である例を示すが、発光素子270R及び受光素子270PDは、それぞれ異なる厚さの光学調整層を有していてもよい。
 図18A、図18Bに示す表示装置280Cは、赤色(R)の光を発し、かつ、受光機能を有する受発光素子270SR、発光素子270G、及び、発光素子270Bを有する。発光素子270Gと発光素子270Bの構成は、上記表示装置280A等を援用できる。
 受発光素子270SRは、画素電極271、正孔注入層281、正孔輸送層282、活性層273、発光層283R、電子輸送層284、電子注入層285、及び共通電極275をこの順で積層して有する。受発光素子270SRは、上記表示装置280Bで例示した発光素子270R及び受光素子270PDと同一の構成である。
 図18Aでは、受発光素子270SRが発光素子として機能する場合を示す。図18Aでは、発光素子270Bが青色の光を発し、発光素子270Gが緑色の光を発し、受発光素子270SRが赤色の光を発している例を示す。
 図18Bでは、受発光素子270SRが受光素子として機能する場合を示す。図18Bでは、受発光素子270SRが、発光素子270Bが発する青色の光と、発光素子270Gが発する緑色の光を受光している例を示す。
 発光素子270B、発光素子270G、及び受発光素子270SRは、それぞれ、画素電極271及び共通電極275を有する。本実施の形態では、画素電極271が陽極として機能し、共通電極275が陰極として機能する場合を例に挙げて説明する。受発光素子270SRは、画素電極271と共通電極275との間に逆バイアスをかけて駆動することで、受発光素子270SRに入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
 受発光素子270SRは、発光素子に、活性層273を追加した構成ということができる。つまり、発光素子の作製工程に、活性層273を成膜する工程を追加するのみで、発光素子の形成と並行して受発光素子270SRを形成することができる。また、発光素子と受発光素子とを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示部に撮像機能及びセンシング機能の一方または双方を付与することができる。
 発光層283Rと活性層273との積層順は限定されない。図18A、図18Bでは、正孔輸送層282上に活性層273が設けられ、活性層273上に発光層283Rが設けられている例を示す。発光層283Rと活性層273の積層順を入れ替えてもよい。
 また、受発光素子は、正孔注入層281、正孔輸送層282、電子輸送層284、及び電子注入層285のうち少なくとも1層を有していなくてもよい。また、受発光素子は、正孔ブロック層、電子ブロック層など、他の機能層を有していてもよい。
 受発光素子において、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
 受発光素子を構成する各層の機能及び材料は、発光素子及び受光素子を構成する各層の機能及び材料と同様であるため、詳細な説明は省略する。
 図18C乃至図18Gに、受発光素子の積層構造の例を示す。
 図18Cに示す受発光素子は、第1の電極277、正孔注入層281、正孔輸送層282、発光層283R、活性層273、電子輸送層284、電子注入層285、及び第2の電極278を有する。
 図18Cは、正孔輸送層282上に発光層283Rが設けられ、発光層283R上に活性層273が積層された例である。
 図18A~図18Cに示すように、活性層273と発光層283Rとは、互いに接していてもよい。
 また、活性層273と発光層283Rとの間には、バッファ層が設けられることが好ましい。このとき、バッファ層は、正孔輸送性及び電子輸送性を有することが好ましい。例えば、バッファ層には、バイポーラ性の物質を用いることが好ましい。または、バッファ層として、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層、正孔ブロック層、及び電子ブロック層等のうち少なくとも1層を用いることができる。図18Dには、バッファ層として正孔輸送層282を用いる例を示す。
 活性層273と発光層283Rとの間にバッファ層を設けることで、発光層283Rから活性層273に励起エネルギーが移動することを抑制できる。また、バッファ層を用いて、マイクロキャビティ構造の光路長(キャビティ長)を調整することもできる。したがって、活性層273と発光層283Rとの間にバッファ層を有する受発光素子からは、高い発光効率を得ることができる。
 図18Eは、正孔注入層281上に正孔輸送層282−1、活性層273、正孔輸送層282−2、発光層283Rの順で積層された積層構造を有する例である。正孔輸送層282−2は、バッファ層として機能する。正孔輸送層282−1と正孔輸送層281−2とは、同じ材料を含んでいてもよいし、異なる材料を含んでいてもよい。また、正孔輸送層281−2の代わりに、上述したバッファ層に用いることのできる層を用いてもよい。また、活性層273と、発光層283Rの位置を入れ替えてもよい。
 図18Fに示す受発光素子は、正孔輸送層282を有さない点で、図18Aに示す受発光素子と異なる。このように、受発光素子は、正孔注入層281、正孔輸送層282、電子輸送層284、及び電子注入層285のうち少なくとも1層を有していなくてもよい。また、受発光素子は、正孔ブロック層、電子ブロック層など、他の機能層を有していてもよい。
 図18Gに示す受発光素子は、活性層273及び発光層283Rを有さず、発光層と活性層を兼ねる層289を有する点で、図18Aに示す受発光素子と異なる。
 発光層と活性層を兼ねる層としては、例えば、活性層273に用いることができるn型半導体と、活性層273に用いることができるp型半導体と、発光層283Rに用いることができる発光物質と、の3つの材料を含む層を用いることができる。
 なお、n型半導体とp型半導体との混合材料の吸収スペクトルの最も低エネルギー側の吸収帯と、発光物質の発光スペクトル(PLスペクトル)の最大ピークと、は互いに重ならないことが好ましく、十分に離れていることがより好ましい。
[表示装置の構成例2]
 以下では、本発明の一態様の表示装置の詳細な構成について説明する。ここでは特に、受光素子と発光素子を有する表示装置の例について説明する。
〔構成例2−1〕
 図19Aに、表示装置300Aの断面図を示す。表示装置300Aは、基板351、基板352、受光素子310、導電層360、及び発光素子390を有する。
 発光素子390は、画素電極391、バッファ層312、発光層393、バッファ層314、及び共通電極315をこの順で積層して有する。バッファ層312は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を有することができる。発光層393は、有機化合物を有する。バッファ層314は、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を有することができる。発光素子390は、可視光321を発する機能を有する。なお、表示装置300Aは、さらに、赤外光を発する機能を有する発光素子を有していてもよい。
 受光素子310は、画素電極311、バッファ層312、活性層313、バッファ層314、及び共通電極315をこの順で積層して有する。活性層313は、有機化合物を有する。受光素子310は、可視光を検出する機能を有する。なお、受光素子310は、さらに、赤外光を検出する機能を有していてもよい。
 バッファ層312、バッファ層314、及び共通電極315は、発光素子390及び受光素子310に共通の層であり、これらにわたって設けられる。バッファ層312、バッファ層314、及び共通電極315は、活性層313及び画素電極311と重なる部分と、発光層393及び画素電極391と重なる部分と、いずれとも重ならない部分と、を有する。
 本実施の形態では、発光素子390及び受光素子310のいずれにおいても、画素電極が陽極として機能し、共通電極315が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受光素子310を、画素電極311と共通電極315との間に逆バイアスをかけて駆動することで、表示装置300Aは、受光素子310に入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
 画素電極311、画素電極391、バッファ層312、活性層313、バッファ層314、発光層393、及び共通電極315は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
 画素電極311及び画素電極391は、それぞれ絶縁層414上に位置する。各画素電極は、同一の材料及び同一の工程で形成することができる。画素電極311及び画素電極391の端部は、絶縁層416によって覆われている。互いに隣り合う2つの画素電極は絶縁層416によって互いに電気的に絶縁されている(電気的に分離されている、ともいう)。
 絶縁層416としては、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。絶縁層416は、可視光を透過する層である。絶縁層416のかわりに、可視光を遮る隔壁を設けてもよい。
 共通電極315は、受光素子310と発光素子390に共通で用いられる層である。
 受光素子310及び発光素子390が有する一対の電極の材料及び膜厚等は等しくすることができる。これにより、表示装置の作製コストの削減及び作製工程の簡略化ができる。
 導電層360は、平面視において、画素電極391と画素電極311との間に位置する。導電層360は、画素電極391及び画素電極311のいずれか一方または双方と、同一の導電膜を加工して形成される。導電層360は、絶縁層416の開口部において、バッファ層312と接する領域を有する。また、導電層360は、図示しない領域において、所定の電位が与えられる配線と電気的に接続されている。
 表示装置300Aは、一対の基板(基板351及び基板352)間に、受光素子310、発光素子390、トランジスタ331、及びトランジスタ332等を有する。
 受光素子310において、画素電極311及び共通電極315の間に位置するバッファ層312、活性層313、及びバッファ層314は、有機層(有機化合物を含む層)ということもできる。画素電極311は可視光を反射する機能を有することが好ましい。共通電極315は可視光を透過する機能を有する。なお、受光素子310が赤外光を検出する構成である場合、共通電極315は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極311は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
 受光素子310は、光を検出する機能を有する。具体的には、受光素子310は、表示装置300Aの外部から入射される光322を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。光322は、発光素子390の発光を対象物が反射した光ということもできる。また、光322は、表示装置300Aに設けられたレンズなどを介して受光素子310に入射してもよい。
 発光素子390において、画素電極391及び共通電極315の間に位置するバッファ層312、発光層393、及びバッファ層314は、まとめてEL層ということもできる。なお、EL層は、少なくとも発光層393を有する。上述の通り、画素電極391は可視光を反射する機能を有することが好ましい。また、共通電極315は可視光を透過する機能を有する。なお、表示装置300Aが、赤外光を発する発光素子を有する構成である場合、共通電極315は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極391は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
 本実施の形態の表示装置が有する発光素子には、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。発光素子390は、画素電極391と共通電極315との間に光学調整層を有していてもよい。微小共振器構造が適用されることで、各発光素子から、特定の色の光を強めて取り出すことができる。
 発光素子390は、可視光を発する機能を有する。具体的には、発光素子390は、画素電極391と共通電極315との間に電圧を印加することで、基板352側に光(ここでは可視光321)を射出する電界発光素子である。
 受光素子310が有する画素電極311は、絶縁層414に設けられた開口を介して、トランジスタ331が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。発光素子390が有する画素電極391は、絶縁層414に設けられた開口を介して、トランジスタ332が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
 トランジスタ331とトランジスタ332とは、同一の層(図19Aでは基板351)上に接している。
 受光素子310と電気的に接続される回路の少なくとも一部は、発光素子390と電気的に接続される回路と同一の材料及び同一の工程で形成されることが好ましい。これにより、2つの回路を別々に形成する場合に比べて、表示装置の厚さを薄くすることができ、また、作製工程を簡略化できる。
 受光素子310及び発光素子390は、それぞれ、保護層395に覆われていることが好ましい。図19Aでは、保護層395が、共通電極315上に接して設けられている。保護層395を設けることで、受光素子310及び発光素子390に水などの不純物が入り込むことを抑制し、受光素子310及び発光素子390の信頼性を高めることができる。また、接着層342によって、保護層395と基板352とが貼り合わされている。
 基板352の基板351側の面には、遮光層358が設けられている。遮光層358は、発光素子390と重なる位置、及び、受光素子310と重なる位置に開口を有する。
 ここで、発光素子390の発光が対象物によって反射された光を受光素子310は検出する。しかし、発光素子390の発光が、表示装置300A内で反射され、対象物を介さずに、受光素子310に入射されてしまう場合がある。遮光層358は、このような迷光の影響を抑制することができる。例えば、遮光層358が設けられていない場合、発光素子390が発した光323は、基板352で反射され、反射光324が受光素子310に入射することがある。遮光層358を設けることで、反射光324が受光素子310に入射することを抑制できる。これにより、ノイズを低減し、受光素子310を用いたセンサの感度を高めることができる。
 遮光層358としては、発光素子からの発光を遮る材料を用いることができる。遮光層358は、可視光を吸収することが好ましい。遮光層358として、例えば、金属材料、又は、顔料(カーボンブラックなど)もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。遮光層358は、赤色のカラーフィルタ、緑色のカラーフィルタ、及び青色のカラーフィルタの積層構造であってもよい。
〔構成例2−2〕
 図19Bに示す表示装置300Bは、レンズ349を有する点で、上記表示装置300Aと主に相違している。
 レンズ349は、基板352の基板351側に設けられている。外部から入射される光322は、レンズ349を介して受光素子310に入射される。レンズ349及び基板352には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
 レンズ349を介して受光素子310に光が入射することで、受光素子310に入射する光の範囲を狭くすることができる。これにより、複数の受光素子310間で、撮像範囲が重なることを抑制でき、ぼやけの少ない鮮明な画像を撮像できる。
 また、レンズ349は、入射された光を集光できる。したがって、受光素子310に入射される光の量を増やすことができる。これにより、受光素子310の光電変換効率を高めることができる。
〔構成例2−3〕
 図19Cに示す表示装置300Cは、遮光層358の形状が異なる点で、上記表示装置300Aと主に相違している。
 遮光層358は、平面視において、受光素子310と重なる開口部が、受光素子310の受光領域よりも内側に位置するように設けられている。遮光層358の受光素子310と重なる開口部の径が小さいほど、受光素子310に入射する光の範囲を狭くすることができる。これにより、複数の受光素子310間で、撮像範囲が重なることを抑制でき、ぼやけの少ない鮮明な画像を撮像できる。
 例えば、遮光層358の開口部の面積を、受光素子310の受光領域の面積の80%以下、70%以下、60%以下、50%以下、または40%以下であって、1%以上、5%以上、または10%以上とすることができる。遮光層358の開口部の面積が小さいほど鮮明な画像を撮像することができる。一方、当該開口部の面積が小さすぎると、受光素子310に到達する光の光量が減少し、受光感度が低下する恐れがある。そのため、上述した範囲内で適宜設定することが好ましい。なお、上述した上限値及び下限値は、任意に組み合わせることができる。また、受光素子310の受光領域は、絶縁層416の開口部と言い換えることができる。
 なお、遮光層358の受光素子310と重なる開口部の中心が、平面視において、受光素子310の受光領域の中心からずれていてもよい。さらには、平面視において、遮光層358の開口部が、受光素子310の受光領域と重ならない構成としてもよい。これにより、遮光層358の開口部を透過した斜め向きの光のみを、受光素子310で受光することができる。これにより、受光素子310に入射する光の範囲をより効果的に限定することができ、鮮明な画像を撮像できる。
〔構成例2−4〕
 図20Aに示す表示装置300Dは、バッファ層312が共通層でない点で、上記表示装置300Aと主に相違している。
 受光素子310は、画素電極311、バッファ層312、活性層313、バッファ層314、及び共通電極315を有する。発光素子390は、画素電極391、バッファ層392、発光層393、バッファ層314、共通電極315を有する。活性層313、バッファ層312、発光層393、及びバッファ層392は、それぞれ島状の上面形状を有する。
 バッファ層312と、バッファ層392とは、異なる材料を含んでもよいし、同じ材料を含んでもよい。
 このように、発光素子390と受光素子310とでバッファ層を作り分けることで、発光素子390及び受光素子310に用いるバッファ層の材料の選択の自由度が高まるため、より最適化が容易となる。また、バッファ層314及び共通電極315を共通層とすることで、発光素子390と受光素子310とを別々に作製する場合に比べて、作製工程が簡略化され、製造コストを削減できる。
 導電層360は、導電層360は、絶縁層416の開口部において、バッファ層314と接する領域を有する。これにより、バッファ層314を介して画素電極311と画素電極391との間に流れうるサイドリーク電流を遮断することができる。
〔構成例2−5〕
 図20Bに示す表示装置300Eは、バッファ層314が共通層でない点で、上記表示装置300Aと主に相違している。
 受光素子310は、画素電極311、バッファ層312、活性層313、バッファ層314、及び共通電極315を有する。発光素子390は、画素電極391、バッファ層312、発光層393、バッファ層394、共通電極315を有する。活性層313、バッファ層314、発光層393、及びバッファ層394は、それぞれ島状の上面形状を有する。
 バッファ層314と、バッファ層394とは、異なる材料を含んでもよいし、同じ材料を含んでもよい。
 このように、発光素子390と受光素子310とでバッファ層を作り分けることで、発光素子390及び受光素子310に用いるバッファ層の材料の選択の自由度が高まるため、より最適化が容易となる。また、バッファ層312及び共通電極315を共通層とすることで、発光素子390と受光素子310とを別々に作製する場合に比べて、作製工程が簡略化され、製造コストを削減できる。
[表示装置の構成例3]
 以下では、本発明の一態様の表示装置の詳細な構成について説明する。ここでは特に、受発光素子と発光素子を有する表示装置の例について説明する。
 なお、以下では、上記と重複する部分については上記を援用し、説明を省略する場合がある。
〔構成例3−1〕
 図21Aに、表示装置300Gの断面図を示す。表示装置300Gは、受発光素子390SR、発光素子390G、発光素子390B、及び導電層360を有する。
 受発光素子390SRは、赤色の光321Rを発する発光素子としての機能と、光322を受光する光電変換素子としての機能と、を有する。発光素子390Gは、緑色の光321Gを発することができる。発光素子390Bは、青色の光321Bを発することができる。
 受発光素子390SRは、画素電極311、バッファ層312、活性層313、発光層393R、バッファ層314、及び共通電極315を有する。発光素子390Gは、画素電極391G、バッファ層312、発光層393G、バッファ層314、及び共通電極315を有する。発光素子390Bは、画素電極391B、バッファ層312、発光層393B、バッファ層314、及び共通電極315を有する。
 バッファ層312、バッファ層314、及び共通電極315は、受発光素子390SR、発光素子390G、及び発光素子390Bに共通の層(共通層)であり、これらにわたって設けられる。活性層313、発光層393R、発光層393G、発光層393Bは、それぞれ島状の上面形状を有する。なお、図21において、活性層313と発光層393Rの積層体、発光層393G、及び発光層393Bは、それぞれ離隔して設けられる例を示しているが、隣接する2つが重なる領域を有していてもよい。
 なお、上記表示装置300D、または表示装置300Eと同様に、バッファ層312及びバッファ層314の一方を、共通層として用いない構成とすることができる。
 画素電極311は、トランジスタ331のソース及びドレインの一方と電気的に接続される。画素電極391Gは、トランジスタ332Gのソース及びドレインの一方と電気的に接続される。画素電極391Bは、トランジスタ332Bのソース及びドレインの一方と電気的に接続される。
 導電層360は、平面視において、画素電極391Gと画素電極311との間に位置する。なお、ここでは図示しないが、画素電極391Bと画素電極311との間にも、導電層360を配置することができる。導電層360は、画素電極311、画素電極391G、及び画素電極391Bのいずれか1つ、2つ、または全てと、同一の導電膜を加工して形成される。
 このような構成とすることで、より高精細な表示装置を実現することができる。
〔構成例3−2〕
 図21Bに示す表示装置300Hは、受発光素子390SRの構成が異なる点で、上記表示装置300Gと主に相違している。
 受発光素子390SRは、活性層313と発光層393Rに置き換えて、受発光層318Rを有する。
 受発光層318Rは、発光層としての機能と、活性層としての機能を兼ね備える層である。例えば、上述した発光物質と、n型半導体と、p型半導体とを含む層を用いることができる。
 このような構成とすることで、作製工程をより簡略化できるため、低コスト化が容易となる。
[表示装置の構成例4]
 以下では、本発明の一態様の表示装置の、より具体的な構成について説明する。
 図22に表示装置400の斜視図を示し、図23Aに、表示装置400の断面図を示す。
 表示装置400は、基板353と基板354とが貼り合わされた構成を有する。図22では、基板354を破線で明示している。
 表示装置400は、表示部362、回路364、配線365等を有する。図22では表示装置400にIC(集積回路)373及びFPC372が実装されている例を示している。そのため、図22に示す構成は、表示装置400、IC、及びFPCを有する表示モジュールということもできる。
 回路364としては、例えば走査線駆動回路を用いることができる。
 配線365は、表示部362及び回路364に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC372を介して外部から配線365に入力されるか、またはIC373から配線365に入力される。
 図22では、COG(Chip On Glass)方式またはCOF(Chip On Film)方式等により、基板353にIC373が設けられている例を示す。IC373は、例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するICを適用できる。なお、表示装置400及び表示モジュールは、ICを設けない構成としてもよい。また、ICを、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
 図23Aに、図22で示した表示装置400の、FPC372を含む領域の一部、回路364を含む領域の一部、表示部362を含む領域の一部、及び、端部を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。
 図23Aに示す表示装置400は、基板353と基板354の間に、トランジスタ408、トランジスタ409、トランジスタ410、発光素子390、受光素子310、導電層360等を有する。
 基板354と保護層395とは接着層342を介して接着されており、表示装置400には、固体封止構造が適用されている。
 基板353と絶縁層412とは接着層355によって貼り合わされている。
 表示装置400の作製方法としては、まず、絶縁層412、各トランジスタ、受光素子310、発光素子390等が設けられた作製基板と、遮光層358等が設けられた基板354とを接着層342によって貼り合わせる。そして、作製基板を剥離し露出した面に、接着層355を用いて基板353を貼り合わせることで、作製基板上に形成した各構成要素を、基板353に転置する。基板353及び基板354は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置400の可撓性を高めることができる。
 発光素子390は、絶縁層414側から画素電極391、バッファ層312、発光層393、バッファ層314、及び共通電極315の順に積層された積層構造を有する。画素電極391は、絶縁層414に設けられた開口を介して、トランジスタ408のソース及びドレインの一方と接続されている。トランジスタ408は、発光素子390に流れる電流を制御する機能を有する。
 受光素子310は、絶縁層414側から画素電極311、バッファ層312、活性層313、バッファ層314、及び共通電極315の順に積層された積層構造を有する。画素電極311は、絶縁層414に設けられた開口を介して、トランジスタ409のソース及びドレインの一方と接続されている。トランジスタ409は、受光素子310に蓄積された電荷の転送を制御する機能を有する。
 発光素子390が発する光は、基板354側に射出される。また、受光素子310には、基板354及び接着層342を介して、光が入射する。基板354には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
 導電層360は、平面視において、画素電極391と画素電極311との間に位置する。導電層360は、絶縁層416の開口部において、バッファ層312と接する領域を有する。また、導電層360は、図示しない領域において、所定の電位が与えられる配線と電気的に接続されている。
 画素電極311、画素電極391、及び導電層360は、同一の材料及び同一の工程で作製することができる。バッファ層312、バッファ層314、及び共通電極315は、受光素子310及び発光素子390に共通して用いられる。受光素子310と発光素子390とは、活性層313と発光層393の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置400に受光素子310及び導電層360を内蔵することができる。
 基板354の基板353側の面には、遮光層358が設けられている。遮光層358は、発光素子390、受光素子310のそれぞれと重なる位置に開口を有する。遮光層358を設けることで、受光素子310が光を検出する範囲を制御することができる。上述の通り、受光素子310と重なる位置に設けられる遮光層の開口の位置及び面積を調整することで、受光素子310に入射する光を制御することが好ましい。また、遮光層358を有することで、対象物を介さずに、発光素子390から受光素子310に光が直接入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。
 画素電極311及び画素電極391の端部は、絶縁層416によって覆われている。画素電極311及び画素電極391は可視光を反射する材料を含み、共通電極315は可視光を透過する材料を含む。
 トランジスタ408、トランジスタ409、及びトランジスタ410は、いずれも基板353上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の材料及び同一の工程により作製することができる。
 基板353上には、接着層355を介して絶縁層412、絶縁層411、絶縁層425、絶縁層415、絶縁層418、及び絶縁層414がこの順で設けられている。絶縁層411及び絶縁層425は、それぞれその一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層415及び絶縁層418は、トランジスタを覆って設けられる。絶縁層414は、トランジスタを覆って設けられ、平坦化層としての機能を有する。なお、ゲート絶縁層の数及びトランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、それぞれ単層であっても2層以上であってもよい。
 トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水及び水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア層として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、表示装置の信頼性を高めることができる。
 絶縁層411、絶縁層412、絶縁層425、絶縁層415、及び絶縁層418としては、それぞれ、無機絶縁膜を用いることが好ましい。無機絶縁膜としては、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などを用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化窒化ハフニウム膜、窒化酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の絶縁膜を2以上積層して用いてもよい。
 ここで、有機絶縁膜は、無機絶縁膜に比べてバリア性が低いことが多い。そのため、有機絶縁膜は、表示装置400の端部近傍に開口を有することが好ましい。図23Aに示す領域428では、絶縁層414に開口が形成されている。これにより、表示装置400の端部から有機絶縁膜を介して不純物が入り込むことを抑制することができる。または、有機絶縁膜の端部が表示装置400の端部よりも内側にくるように有機絶縁膜を形成し、表示装置400の端部に有機絶縁膜が露出しないようにしてもよい。
 表示装置400の端部近傍の領域428において、絶縁層414の開口を介して、絶縁層418と保護層395とが互いに接することが好ましい。特に、絶縁層418が有する無機絶縁膜と保護層395が有する無機絶縁膜とが互いに接することが好ましい。これにより、有機絶縁膜を介して外部から表示部362に不純物が入り込むことを抑制することができる。したがって、表示装置400の信頼性を高めることができる。
 平坦化層として機能する絶縁層414には、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。
 発光素子390、受光素子310を覆う保護層395を設けることで、発光素子390、受光素子310に水などの不純物が入り込むことを抑制し、これらの信頼性を高めることができる。
 保護層395は単層であっても積層構造であってもよい。例えば、保護層395は、有機絶縁膜と無機絶縁膜との積層構造であってもよい。このとき、有機絶縁膜の端部よりも無機絶縁膜の端部を外側に延在させることが好ましい。
 図23Bに、トランジスタ408、トランジスタ409、及びトランジスタ410に用いることのできるトランジスタ401aの断面図を示す。
 トランジスタ401aは絶縁層412(図示しない)上に設けられ、第1のゲートとして機能する導電層421、第1のゲート絶縁層として機能する絶縁層411、半導体層431、第2のゲート絶縁層として機能する絶縁層425、並びに、第2のゲートとして機能する導電層423を有する。絶縁層411は、導電層421と半導体層431との間に位置する。絶縁層425は、導電層423と半導体層431との間に位置する。
 半導体層431は、領域431iと、一対の領域431nとを有する。領域431iはチャネル形成領域として機能する。一対の領域431nは、一方がソースとして機能し、他方がドレインとして機能する。領域431nは、領域431iよりもキャリア濃度が高く、導電性が高い。導電層422a及び導電層422bは、絶縁層418、絶縁層415、及び絶縁層425に設けられた開口を介して、領域431nとそれぞれ接続されている。
 図23Cには、トランジスタ408、トランジスタ409、及びトランジスタ410に用いることのできるトランジスタ401bの断面図を示している。また図23Cでは、絶縁層415が設けられない例を示している。トランジスタ401bは、絶縁層425が導電層423と同様に加工され、絶縁層418と領域431nとが接している。
 なお、本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタ、スタガ型のトランジスタ、逆スタガ型のトランジスタ等を用いることができる。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルが形成される半導体層の上下にゲートが設けられていてもよい。
 トランジスタ408、トランジスタ409、及びトランジスタ410には、チャネルが形成される半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。または、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御してもよい。
 トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、単結晶半導体、または結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
 トランジスタの半導体層は、金属酸化物(酸化物半導体ともいう)を有することが好ましい。または、トランジスタの半導体層は、シリコンを有していてもよい。シリコンとしては、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン(低温ポリシリコン、単結晶シリコンなど)などが挙げられる。
 半導体層は、例えば、インジウムと、M(Mは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、及びマグネシウムから選ばれた一種または複数種)と、亜鉛と、を有することが好ましい。特に、Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、及びスズから選ばれた一種または複数種であることが好ましい。
 特に、半導体層として、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を含む酸化物(IGZOとも記す)を用いることが好ましい。
 半導体層がIn−M−Zn酸化物の場合、当該In−M−Zn酸化物におけるInの原子数比はMの原子数比以上であることが好ましい。このようなIn−M−Zn酸化物の金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1またはその近傍の組成、In:M:Zn=1:1:1.2またはその近傍の組成、In:M:Zn=2:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=3:1:2またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:4.1またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:7またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:8またはその近傍の組成、In:M:Zn=6:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:2:5またはその近傍の組成、等が挙げられる。なお、近傍の組成とは、所望の原子数比の±30%の範囲を含む。
 例えば、原子数比がIn:Ga:Zn=4:2:3またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を4としたとき、Gaの原子数比が1以上3以下であり、Znの原子数比が2以上4以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=5:1:6またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を5としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が5以上7以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=1:1:1またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を1としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が0.1より大きく2以下である場合を含む。
 回路364が有するトランジスタ410と、表示部362が有するトランジスタ408及びトランジスタ409は、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路364が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。同様に、表示部362が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。
 基板353の、基板354が重ならない領域には、接続部404が設けられている。接続部404では、配線365が導電層366及び接続層442を介してFPC372と電気的に接続されている。接続部404の上面は、画素電極311及び画素電極391と同一の導電膜を加工して得られた導電層366が露出している。これにより、接続部404とFPC372とを接続層442を介して電気的に接続することができる。
 基板354の外側には各種光学部材を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層、及び集光フィルム等が挙げられる。また、基板354の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜、衝撃吸収層等を配置してもよい。
 基板353及び基板354に、可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。また、これに限られず、基板353及び基板354にそれぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂などを用いることができる。
 接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
 接続層としては、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
 トランジスタのゲート、ソース及びドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、及びタングステンなどの金属、並びに、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
 また、透光性を有する導電材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、及びチタンなどの金属材料、または、該金属材料を含む合金材料などを用いることができる。または、該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすることが好ましい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層、または発光素子及び受光素子(または受発光素子)が有する導電層(画素電極または共通電極などとして機能する導電層)などにも用いることができる。
 各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
 本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
 本実施の形態では、本発明一態様の表示装置に用いることのできる回路について説明する。
 図24Aに、本発明の一態様の表示装置の画素にかかるブロック図を示す。
 画素は、OLEDと、OPD(Organic Photo Diode)と、センサ回路(Sensing Circuitと表記)と、駆動トランジスタ(Driving Transistorと表記)と、選択トランジスタ(Switching Transistorと表記)を有する。
 OLEDから発せられた光は、対象物(Objectと表記)で反射され、その反射光をOPDにより受光することで、対象物を撮像することができる。本発明の一態様は、タッチセンサ、イメージセンサ、イメージスキャナ等として機能することができる。本発明の一態様は、指紋、掌紋、血管(静脈等)などを撮像することで、生体認証に適用することができる。また、写真、文字などが記載された印刷物、または物品などの表面を撮像し、画像情報として取得することもできる。
 駆動トランジスタと選択トランジスタは、OLEDを駆動するための駆動回路を構成する。駆動トランジスタは、OLEDに流れる電流を制御する機能を有し、OLEDは当該電流に応じた輝度で発光することができる。選択トランジスタは、画素の選択、非選択を制御する機能を有する。外部から選択トランジスタを介して入力されるビデオデータ(Video Dataと表記)の値(例えば電圧値)により、駆動トランジスタ及びOLEDに流れる電流の大きさが制御され、所望の発光輝度でOLEDを発光させることができる。
 センサ回路は、OPDの動作を制御するための駆動回路に相当する。センサ回路により、OPDの電極の電位をリセットするリセット動作、照射される光の光量に応じてOPDに電荷を蓄積させる露光動作、OPDに蓄積された電荷をセンサ回路内のノードに転送する転送動作、及び当該電荷の大きさに応じた信号(例えば電圧または電流)を外部の読み出し回路に、センシングデータ(Sensing Dataと表記)として出力する読み出し動作、などの動作を制御することができる。
 図24Bに示す画素は、駆動トランジスタに接続されるメモリ部(Memory)を有する点で、上記と主に相違している。
 メモリ部には、重みデータ(Weight Data)が与えられる。駆動トランジスタには、選択トランジスタを介して入力されるビデオデータと、メモリ部に保持される重みデータとを足し合わせたデータが与えられる。メモリ部に保持する重みデータにより、OLEDの輝度を、ビデオデータのみが与えられるときの輝度から変化させることができる。具体的には、OLEDの輝度を高める、または輝度を低下させることが可能となる。例えば、OLEDの輝度を高めることで、センサの受光感度を高めることが可能となる。
 図24Cに、上記センサ回路に用いることのできる画素回路の一例を示している。
 図24Cに示す画素回路PIX1は、受光素子PD、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、トランジスタM4、及び容量C1を有する。ここでは、受光素子PDとして、フォトダイオードを用いた例を示している。
 受光素子PDは、カソードが配線V1と電気的に接続し、アノードがトランジスタM1のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM1は、ゲートが配線TXと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が容量C1の一方の電極、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方、及びトランジスタM3のゲートと電気的に接続する。トランジスタM2は、ゲートが配線RESと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線V2と電気的に接続する。トランジスタM3は、ソースまたはドレインの一方が配線V3と電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方がトランジスタM4のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM4は、ゲートが配線SEと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT1と電気的に接続する。
 配線V1、配線V2、及び配線V3には、それぞれ定電位が供給される。受光素子PDを逆バイアスで駆動させる場合には、配線V2に、配線V1の電位よりも低い電位を供給する。トランジスタM2は、配線RESに供給される信号により制御され、トランジスタM3のゲートに接続するノードの電位を、配線V2に供給される電位にリセットする機能を有する。トランジスタM1は、配線TXに供給される信号により制御され、受光素子PDに蓄積された電荷を上記ノードに転送するタイミングを制御する機能を有する。トランジスタM3は、上記ノードの電位に応じた出力を行う増幅トランジスタとして機能する。トランジスタM4は、配線SEに供給される信号により制御され、上記ノードの電位に応じた出力を配線OUT1に接続する外部回路で読み出すための選択トランジスタとして機能する。
 ここで、受光素子PDが、上記OPDに相当する。また、配線OUT1から出力される電位または電流が、上記センシングデータに相当する。
 図24Dに、上記OLEDを駆動させるための画素回路の一例を示す。
 図24Dに示す画素回路PIX2は、発光素子EL、トランジスタM5、トランジスタM6、トランジスタM7、及び容量C2を有する。ここでは、発光素子ELとして、発光ダイオードを用いた例を示している。特に、発光素子ELとして、有機EL素子を用いることが好ましい。
 発光素子ELが、上記OLEDに相当し、トランジスタM5が、上記選択トランジスタに相当し、トランジスタM6が、上記駆動トランジスタに相当する。また配線VSが、上記ビデオデータが入力される配線に相当する。
 トランジスタM5は、ゲートが配線VGと電気的に接続し、ソースまたはドレインの一方が配線VSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が、容量C2の一方の電極、及びトランジスタM6のゲートと電気的に接続する。トランジスタM6のソースまたはドレインの一方は配線V4と電気的に接続し、他方は、発光素子ELのアノード、及びトランジスタM7のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM7は、ゲートが配線MSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT2と電気的に接続する。発光素子ELのカソードは、配線V5と電気的に接続する。
 配線V4及び配線V5には、それぞれ定電位が供給される。発光素子ELのアノード側を高電位に、カソード側をアノード側よりも低電位にすることができる。トランジスタM5は、配線VGに供給される信号により制御され、画素回路PIX2の選択状態を制御するための選択トランジスタとして機能する。また、トランジスタM6は、ゲートに供給される電位に応じて発光素子ELに流れる電流を制御する駆動トランジスタとして機能する。トランジスタM5が導通状態のとき、配線VSに供給される電位がトランジスタM6のゲートに供給され、その電位に応じて発光素子ELの発光輝度を制御することができる。トランジスタM7は配線MSに供給される信号により制御され、トランジスタM6と発光素子ELとの間の電位を配線OUT2に与えられる電位とする機能と、トランジスタM6と発光素子ELとの間の電位を、配線OUT2を介して外部に出力する機能の、一方または双方を有する。
 図24Eに、図24Bで例示した構成に適用可能な、メモリ部を備える画素回路の一例を示す。
 図24Eに示す画素回路PIX3は、上記画素回路PIX2に、トランジスタM8と容量C3を加えた構成を有する。また、画素回路PIX3では、上記画素回路PIX2における配線VSを配線VS1に、配線VGを配線VG1としている。
 トランジスタM8は、ゲートが配線VG2と電気的に接続し、ソース及びドレインの一方が配線VS2と電気的に接続し、他方が容量C3の一方の電極と電気的に接続する。容量C3は、他方の電極がトランジスタM6のゲート、容量C2の一方の電極、及びトランジスタM5のソース及びドレインの他方と電気的に接続する。
 配線VS1が、上記ビデオデータが与えられる配線に相当する。配線VS2が、上記重みデータが与えられる配線に相当する。トランジスタM6のゲートが接続されるノードが、上記メモリ部に相当する。
 画素回路PIX3の動作方法の例について説明する。まず、配線VS1から、トランジスタM5を介してトランジスタM6のゲートが接続されるノードに第1の電位を書き込む。その後、トランジスタM5を非導通状態とすることで、当該ノードがフローティング状態となる。続いて、配線VS2から、トランジスタM8を介して容量C3の一方の電極に第2の電位を書き込む。これにより、容量C3の容量結合によって、第2の電位に応じて上記ノードの電位が第1の電位から変化して第3の電位となる。そして、トランジスタM6及び発光素子ELには、第3の電位に応じた電流が流れることで、当該電位に応じた輝度で発光素子ELが発光する。
 なお、本実施の形態の表示装置では、発光素子をパルス状に発光させることで、画像を表示してもよい。発光素子の駆動時間を短縮することで、表示パネルの消費電力の低減、及び、発熱の抑制を図ることができる。特に、有機EL素子は周波数特性が優れているため、好適である。周波数は、例えば、1kHz以上100MHz以下とすることができる。また、パルス幅を変化させて発光させる駆動方法(Duty駆動ともいう)を用いてもよい。
 ここで、画素回路PIX1が有するトランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、及びトランジスタM4、画素回路PIX2が有するトランジスタM5、トランジスタM6、及びトランジスタM7、画素回路PIX3が有するトランジスタM8には、それぞれチャネルが形成される半導体層に金属酸化物(酸化物半導体)を用いたトランジスタを適用することが好ましい。
 また、トランジスタM1乃至トランジスタM8に、チャネルが形成される半導体にシリコンを適用したトランジスタを用いることもできる。特に単結晶シリコン、多結晶シリコンなどの結晶性の高いシリコンを用いることで、高い電界効果移動度を実現することができ、より高速な動作が可能となるため好ましい。
 また、トランジスタM1乃至トランジスタM8のうち、一以上に酸化物半導体を適用したトランジスタを用い、それ以外にシリコンを適用したトランジスタを用いる構成としてもよい。
 例えば、電荷を保持するためのスイッチとして機能するトランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM5、トランジスタM7、トランジスタM8には、オフ電流が著しく低い酸化物半導体を適用したトランジスタを用いることが好ましい。このとき、他の一以上のトランジスタにシリコンを適用したトランジスタを用いる構成とすることができる。
 なお、画素回路PIX1、画素回路PIX2、画素回路PIX3において、トランジスタをnチャネル型のトランジスタとして表記しているが、pチャネル型のトランジスタを用いることもできる。または、nチャネル型のトランジスタとpチャネル型のトランジスタが混在した構成としてもよい。
 本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態4)
 本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したトランジスタに用いることができる金属酸化物(酸化物半導体ともいう)について説明する。
 金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズなどが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウム、コバルトなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
 また、金属酸化物は、スパッタリング法、有機金属化学気相成長(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法などの化学気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法などにより形成することができる。
<結晶構造の分類>
 酸化物半導体の結晶構造としては、アモルファス(completely amorphousを含む)、CAAC(c−axis−aligned crystalline)、nc(nanocrystalline)、CAC(cloud−aligned composite)、単結晶(single crystal)、及び多結晶(poly crystal)等が挙げられる。
 なお、膜または基板の結晶構造は、X線回折(XRD:X−Ray Diffraction)スペクトルを用いて評価することができる。例えば、GIXD(Grazing−Incidence XRD)測定で得られるXRDスペクトルを用いて評価することができる。なお、GIXD法は、薄膜法またはSeemann−Bohlin法ともいう。
 例えば、石英ガラス基板では、XRDスペクトルのピークの形状がほぼ左右対称である。一方で、結晶構造を有するIGZO膜では、XRDスペクトルのピークの形状が左右非対称である。XRDスペクトルのピークの形状が左右非対称であることは、膜中または基板中の結晶の存在を明示している。別言すると、XRDスペクトルのピークの形状で左右対称でないと、膜または基板は非晶質状態であるとは言えない。
 また、膜または基板の結晶構造は、極微電子線回折法(NBED:Nano Beam Electron Diffraction)によって観察される回折パターン(極微電子線回折パターンともいう)にて評価することができる。例えば、石英ガラス基板の回折パターンでは、ハローが観察され、石英ガラスは、非晶質状態であることが確認できる。また、室温成膜したIGZO膜の回折パターンでは、ハローではなく、スポット状のパターンが観察される。このため、室温成膜したIGZO膜は、結晶状態でもなく、非晶質状態でもない、中間状態であり、非晶質状態であると結論することはできないと推定される。
<<酸化物半導体の構造>>
 なお、酸化物半導体は、構造に着目した場合、上記とは異なる分類となる場合がある。例えば、酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、上述のCAAC−OS、及びnc−OSがある。また、非単結晶酸化物半導体には、多結晶酸化物半導体、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)、非晶質酸化物半導体、などが含まれる。
 ここで、上述のCAAC−OS、nc−OS、及びa−like OSの詳細について、説明を行う。
[CAAC−OS]
 CAAC−OSは、複数の結晶領域を有し、当該複数の結晶領域はc軸が特定の方向に配向している酸化物半導体である。なお、特定の方向とは、CAAC−OS膜の厚さ方向、CAAC−OS膜の被形成面の法線方向、またはCAAC−OS膜の表面の法線方向である。また、結晶領域とは、原子配列に周期性を有する領域である。なお、原子配列を格子配列とみなすと、結晶領域とは、格子配列の揃った領域でもある。さらに、CAAC−OSは、a−b面方向において複数の結晶領域が連結する領域を有し、当該領域は歪みを有する場合がある。なお、歪みとは、複数の結晶領域が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。つまり、CAAC−OSは、c軸配向し、a−b面方向には明らかな配向をしていない酸化物半導体である。
 なお、上記複数の結晶領域のそれぞれは、1つまたは複数の微小な結晶(最大径が10nm未満である結晶)で構成される。結晶領域が1つの微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の最大径は10nm未満となる。また、結晶領域が多数の微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の大きさは、数十nm程度となる場合がある。
 また、In−M−Zn酸化物(元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズ、チタンなどから選ばれた一種、または複数種)において、CAAC−OSは、インジウム(In)、及び酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛(Zn)、及び酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能である。よって、(M,Zn)層にはインジウムが含まれる場合がある。また、In層には元素Mが含まれる場合がある。なお、In層にはZnが含まれる場合もある。当該層状構造は、例えば、高分解能TEM(Transmission Electron Microscope)像において、格子像として観察される。
 CAAC−OS膜に対し、例えば、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut−of−plane XRD測定では、c軸配向を示すピークが2θ=31°またはその近傍に検出される。なお、c軸配向を示すピークの位置(2θの値)は、CAAC−OSを構成する金属元素の種類、組成などにより変動する場合がある。
 また、例えば、CAAC−OS膜の電子線回折パターンにおいて、複数の輝点(スポット)が観測される。なお、あるスポットと別のスポットとは、試料を透過した入射電子線のスポット(ダイレクトスポットともいう)を対称中心として、点対称の位置に観測される。
 上記特定の方向から結晶領域を観察した場合、当該結晶領域内の格子配列は、六方格子を基本とするが、単位格子は正六角形とは限らず、非正六角形である場合がある。また、上記歪みにおいて、五角形、七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、CAAC−OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリー)を確認することはできない。即ち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC−OSが、a−b面方向において酸素原子の配列が稠密でないこと、金属原子が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためと考えられる。
 なお、明確な結晶粒界が確認される結晶構造は、いわゆる多結晶(polycrystal)と呼ばれる。結晶粒界は、再結合中心となり、キャリアが捕獲されトランジスタのオン電流の低下、電界効果移動度の低下などを引き起こす可能性が高い。よって、明確な結晶粒界が確認されないCAAC−OSは、トランジスタの半導体層に好適な結晶構造を有する結晶性の酸化物の一つである。なお、CAAC−OSを構成するには、Znを有する構成が好ましい。例えば、In−Zn酸化物、及びIn−Ga−Zn酸化物は、In酸化物よりも結晶粒界の発生を抑制できるため好適である。
 CAAC−OSは、結晶性が高く、明確な結晶粒界が確認されない酸化物半導体である。よって、CAAC−OSは、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入、欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC−OSは不純物、及び欠陥(酸素欠損など)の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、CAAC−OSを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。また、CAAC−OSは、製造工程における高い温度(所謂サーマルバジェット)に対しても安定である。従って、OSトランジスタにCAAC−OSを用いると、製造工程の自由度を広げることが可能となる。
[nc−OS]
 nc−OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。別言すると、nc−OSは、微小な結晶を有する。なお、当該微小な結晶の大きさは、例えば、1nm以上10nm以下、特に1nm以上3nm以下であることから、当該微小な結晶をナノ結晶ともいう。また、nc−OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。従って、nc−OSは、分析方法によっては、a−like OSまたは非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。例えば、nc−OS膜に対し、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut−of−plane XRD測定では、結晶性を示すピークが検出されない。また、nc−OS膜に対し、ナノ結晶よりも大きいプローブ径(例えば50nm以上)の電子線を用いる電子線回折(制限視野電子線回折ともいう。)を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、nc−OS膜に対し、ナノ結晶の大きさと近いかナノ結晶より小さいプローブ径(例えば1nm以上30nm以下)の電子線を用いる電子線回折(ナノビーム電子線回折ともいう。)を行うと、ダイレクトスポットを中心とするリング状の領域内に複数のスポットが観測される電子線回折パターンが取得される場合がある。
[a−like OS]
 a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。a−like OSは、鬆または低密度領域を有する。即ち、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、結晶性が低い。また、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、膜中の水素濃度が高い。
<<酸化物半導体の構成>>
 次に、上述のCAC−OSの詳細について、説明を行う。なお、CAC−OSは材料構成に関する。
[CAC−OS]
 CAC−OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つまたは複数の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
 さらに、CAC−OSとは、第1の領域と、第2の領域と、に材料が分離することでモザイク状となり、当該第1の領域が、膜中に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。つまり、CAC−OSは、当該第1の領域と、当該第2の領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。
 ここで、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSを構成する金属元素に対するIn、Ga、及びZnの原子数比のそれぞれを、[In]、[Ga]、及び[Zn]と表記する。例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSにおいて、第1の領域は、[In]が、CAC−OS膜の組成における[In]よりも大きい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、CAC−OS膜の組成における[Ga]よりも大きい領域である。または、例えば、第1の領域は、[In]が、第2の領域における[In]よりも大きく、且つ、[Ga]が、第2の領域における[Ga]よりも小さい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、第1の領域における[Ga]よりも大きく、且つ、[In]が、第1の領域における[In]よりも小さい領域である。
 具体的には、上記第1の領域は、インジウム酸化物、インジウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。また、上記第2の領域は、ガリウム酸化物、ガリウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。つまり、上記第1の領域を、Inを主成分とする領域と言い換えることができる。また、上記第2の領域を、Gaを主成分とする領域と言い換えることができる。
 なお、上記第1の領域と、上記第2の領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
 また、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSとは、In、Ga、Zn、及びOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とする領域と、一部にInを主成分とする領域とが、それぞれモザイク状であり、これらの領域がランダムに存在している構成をいう。よって、CAC−OSは、金属元素が不均一に分布した構造を有していると推測される。
 CAC−OSは、例えば基板を加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC−OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
 また、例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、Inを主成分とする領域(第1の領域)と、Gaを主成分とする領域(第2の領域)とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
 ここで、第1の領域は、第2の領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、第1の領域を、キャリアが流れることにより、金属酸化物としての導電性が発現する。従って、第1の領域が、金属酸化物中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
 一方、第2の領域は、第1の領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、第2の領域が、金属酸化物中に分布することで、リーク電流を抑制することができる。
 従って、CAC−OSをトランジスタに用いる場合、第1の領域に起因する導電性と、第2の領域に起因する絶縁性とが、相補的に作用することにより、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC−OSに付与することができる。つまり、CAC−OSとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。導電性の機能と絶縁性の機能とを分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。よって、CAC−OSをトランジスタに用いることで、高いオン電流(Ion)、高い電界効果移動度(μ)、及び良好なスイッチング動作を実現することができる。
 また、CAC−OSを用いたトランジスタは、信頼性が高い。従って、CAC−OSは、表示装置をはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
 酸化物半導体は、多様な構造を取り、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a−like OS、CAC−OS、nc−OS、CAAC−OSのうち、二種以上を有していてもよい。
<酸化物半導体を有するトランジスタ>
 続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
 上記酸化物半導体をトランジスタに用いることで、高い電界効果移動度のトランジスタを実現することができる。また、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。
 トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。例えば、酸化物半導体のキャリア濃度は1×1017cm−3以下、好ましくは1×1015cm−3以下、さらに好ましくは1×1013cm−3以下、より好ましくは1×1011cm−3以下、さらに好ましくは1×1010cm−3未満であり、1×10−9cm−3以上である。なお、酸化物半導体膜のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体膜中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性と言う。なお、キャリア濃度の低い酸化物半導体を、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶ場合がある。
 また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
 また、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル形成領域が形成されるトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
 従って、トランジスタの電気特性を安定にするためには、酸化物半導体中の不純物濃度を低減することが有効である。また、酸化物半導体中の不純物濃度を低減するためには、近接する膜中の不純物濃度も低減することが好ましい。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
<不純物>
 ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
 酸化物半導体において、第14族元素の一つであるシリコン、炭素などが含まれると、酸化物半導体において欠陥準位が形成される。このため、酸化物半導体におけるシリコンまたは炭素の濃度と、酸化物半導体との界面近傍のシリコン、または炭素の濃度(二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
 また、酸化物半導体にアルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。従って、アルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
 また、酸化物半導体において、窒素が含まれると、キャリアである電子が生じ、キャリア濃度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を半導体に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。または、酸化物半導体において、窒素が含まれると、トラップ準位が形成される場合がある。この結果、トランジスタの電気特性が不安定となる場合がある。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中の窒素濃度を、5×1019atoms/cm未満、好ましくは5×1018atoms/cm以下、より好ましくは1×1018atoms/cm以下、さらに好ましくは5×1017atoms/cm以下にする。
 また、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、SIMSにより得られる水素濃度を、1×1020atoms/cm未満、好ましくは1×1019atoms/cm未満、より好ましくは5×1018atoms/cm未満、さらに好ましくは1×1018atoms/cm未満にする。
 不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
 本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態5)
 本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図25~図27を用いて説明する。
 本発明の一態様の電子機器は、表示部で撮像を行うこと、タッチ操作を検出することなどができる。これにより、電子機器の機能や利便性などを高めることができる。
 本発明の一態様の電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
 本発明の一態様の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
 本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。
 図25Aに示す電子機器6500は、スマートフォンとして用いることのできる携帯情報端末機である。
 電子機器6500は、筐体6501、表示部6502、電源ボタン6503、ボタン6504、スピーカ6505、マイク6506、カメラ6507、及び光源6508等を有する。表示部6502はタッチパネル機能を備える。
 表示部6502に、実施の形態1、または実施の形態2で示した表示装置を適用することができる。
 図25Bは、筐体6501のマイク6506側の端部を含む断面概略図である。
 筐体6501の表示面側には透光性を有する保護部材6510が設けられ、筐体6501と保護部材6510に囲まれた空間内に、表示パネル6511、光学部材6512、タッチセンサパネル6513、プリント基板6517、バッテリ6518等が配置されている。
 保護部材6510には、表示パネル6511、光学部材6512、及びタッチセンサパネル6513が接着層(図示しない)により固定されている。
 表示部6502よりも外側の領域において、表示パネル6511の一部が折り返されており、当該折り返された部分にFPC6515が接続されている。FPC6515には、IC6516が実装されている。FPC6515は、プリント基板6517に設けられた端子に接続されている。
 表示パネル6511には本発明の一態様のフレキシブルディスプレイを適用することができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル6511が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリ6518を搭載することもできる。また、表示パネル6511の一部を折り返して、画素部の裏側にFPC6515との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。
 表示パネル6511に、実施の形態1、または実施の形態2で示した表示装置を用いることで、表示部6502で撮像を行うことができる。例えば、表示パネル6511で指紋を撮像し、指紋認証を行うことができる。
 表示部6502が、さらに、タッチセンサパネル6513を有することで、表示部6502に、タッチパネル機能を付与することができる。タッチセンサパネル6513としては、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、光学方式、感圧方式など様々な方式を用いることができる。または、表示パネル6511を、タッチセンサとして機能させてもよく、その場合、タッチセンサパネル6513を設けなくてもよい。
 図26Aにテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
 表示部7000に、実施の形態1、または実施の形態2で示した表示装置を適用することができる。
 図26Aに示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチ、または別体のリモコン操作機7111により行うことができる。または、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることでテレビジョン装置7100を操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キーまたはタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される映像を操作することができる。
 なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
 図26Bに、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
 表示部7000に、実施の形態1、または実施の形態2で示した表示装置を適用することができる。
 図26C、図26Dに、デジタルサイネージの一例を示す。
 図26Cに示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、及びスピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
 図26Dは円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
 表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
 表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に画像または動画を表示するだけでなく、ユーザーが直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
 また、図26C、図26Dに示すように、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400は、ユーザーが所持するスマートフォン等の情報端末機7311または情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311または情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311または情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
 図26C、図26Dにおいて、情報端末機7311または情報端末機7411の表示部に、実施の形態1、または実施の形態2で示した表示装置を適用することができる。
 また、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311または情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザーが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
 図27A~図27Fに示す電子機器は、筐体9000、表示部9001、スピーカ9003、操作キー9005(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子9006、センサ9007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン9008、等を有する。
 図27A~図27Fに示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画または動画を撮影し、記録媒体(外部またはカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
 図27A~図27Fに示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。
 図27Aは、携帯情報端末9101を示す斜視図である。携帯情報端末9101は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末9101は、スピーカ9003、接続端子9006、センサ9007等を設けてもよい。また、携帯情報端末9101は、文字、画像情報などをその複数の面に表示することができる。図27Aでは3つのアイコン9050を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報9051を表示部9001の他の面に表示することもできる。情報9051の一例としては、電子メール、SNS、電話などの着信の通知、電子メール、SNSなどの題名、送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、アンテナ受信の強度などがある。または、情報9051が表示されている位置にはアイコン9050などを表示してもよい。
 図27Bは、携帯情報端末9102を示す斜視図である。携帯情報端末9102は、表示部9001の3面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報9052、情報9053、情報9054がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えばユーザーは、洋服の胸ポケットに携帯情報端末9102を収納した状態で、携帯情報端末9102の上方から観察できる位置に表示された情報9053を確認することもできる。ユーザーは、携帯情報端末9102をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。
 図27Cは、腕時計型の携帯情報端末9200を示す斜視図である。また、表示部9001はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末9200は、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末9200は、接続端子9006により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うこと、または充電を行うこともできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。
 図27D~図27Fは、折り畳み可能な携帯情報端末9201を示す斜視図である。また、図27Dは携帯情報端末9201を展開した状態、図27Fは折り畳んだ状態、図27Eは図27Dと図27Fの一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末9201は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末9201が有する表示部9001は、ヒンジ9055によって連結された3つの筐体9000に支持されている。例えば、表示部9001は、曲率半径0.1mm以上150mm以下で曲げることができる。
 本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
10A、10B、110A、110B、110C、110D、110E、110F、110G、110H、110J、110K、110L、110M、110N、110P、110Q、110R、110S、110T、110U、110W:表示装置、11、12:基板、13:絶縁層、14:隔壁、20:受光素子、21:受光層、30:発光素子、31:発光層、40、40a、40b、40X、40Y:導電層、41、42:画素電極、50、50X、50Y:配線、51、52:トランジスタ、55:接続部、60:共通電極、61、62:共通層、63:保護層、80、90:光、120:表示部、121:非表示部

Claims (16)

  1.  受光素子と、発光素子と、導電層と、第1の配線と、を有し、
     前記受光素子は、第1の画素電極、前記第1の画素電極上の共通層、前記共通層上の活性層、及び、前記活性層上の共通電極を有し、
     前記発光素子は、第2の画素電極、前記第2の画素電極上の前記共通層、前記共通層上の発光層、及び、前記発光層上の前記共通電極を有し、
     前記導電層は、前記第1の画素電極及び前記第2の画素電極と同一面上に設けられ、前記第1の画素電極及び前記第2の画素電極の間に位置し、前記共通層と電気的に接続され、第1の電位が与えられる前記第1の配線と電気的に接続され、
     前記共通層は、前記第1の画素電極と重なる部分と、前記第2の画素電極と重なる部分と、前記導電層と重なる部分と、を有し、
     前記共通電極は、前記第1の画素電極と重なる部分と、前記第2の画素電極と重なる部分と、を有し、
     前記第1の配線は、前記導電層とは異なる面上に設けられる、表示装置。
  2.  請求項1において、
     第1のトランジスタと、第2のトランジスタとを有し、
     前記第1の画素電極には、前記第1のトランジスタを介して前記第1の電位以下の第2の電位が与えられ、
     前記第2の画素電極には、前記第2のトランジスタを介して前記第1の電位以上の第3の電位が与えられる、
     表示装置。
  3.  請求項1または請求項2において、
     前記共通電極には、前記第1の電位が与えられる、
     表示装置。
  4.  請求項1において、
     第1のトランジスタと、第2のトランジスタとを有し、
     前記第1の画素電極には、前記第1のトランジスタを介して前記第1の電位以上の第4の電位が与えられ、
     前記第2の画素電極には、前記第2のトランジスタを介して前記第1の電位以上の第5の電位が与えられ、
     前記第5の電位は、前記第4の電位よりも高い、
     表示装置。
  5.  請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
     前記導電層は、環状の第1の部分を有し、
     平面視において、前記第1の画素電極は、前記第1の部分の内側に位置する、
     表示装置。
  6.  請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
     前記導電層は、環状の第1の部分を有し、
     平面視において、前記第2の画素電極は、前記第1の部分の内側に位置する、
     表示装置。
  7.  請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
     複数の前記第1の画素電極と、複数の前記第2の画素電極と、を有し、
     前記導電層は、環状の第1の部分と、環状の第2の部分と、第3の部分と、を有し、
     平面視において、複数の前記第1の画素電極の中の1つは、前記第1の部分の内側に位置し、
     平面視において、複数の前記第1の画素電極の他の1つは、前記第2の部分の内側に位置し、
     平面視において、前記第3の部分は、前記第1の部分と前記第2の部分の間に位置する、表示装置。
  8.  請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
     複数の前記第1の画素電極と、複数の前記第2の画素電極と、を有し、
     前記導電層は、環状の第1の部分と、環状の第2の部分と、第3の部分と、を有し、
     平面視において、複数の前記第2の画素電極の中の1つは、前記第1の部分の内側に位置し、
     平面視において、複数の前記第2の画素電極の他の1つは、前記第2の部分の内側に位置し、
     平面視において、前記第3の部分は、前記第1の部分と前記第2の部分の間に位置する、表示装置。
  9.  請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
     複数の前記第1の画素電極と、複数の前記第2の画素電極と、を有し、
     複数の前記第1の画素電極は、第1の方向に配列しており、
     複数の前記第2の画素電極は、前記第1の方向に配列ており、
     前記導電層は、前記第1の方向に延伸しており、複数の前記第1の画素電極と複数の前記第2の画素電極の間に位置する部分を有する、表示装置。
  10.  請求項7乃至請求項9のいずれか一において、
     表示領域と、非表示領域と、を有し
     複数の前記第1の画素電極及び複数の前記第2の画素電極は、前記表示領域に設けられ、
     前記導電層は、前記表示領域と前記非表示領域にかけて設けられ、
     前記導電層は、前記非表示領域で前記第1の配線と電気的に接続される、表示装置。
  11.  請求項10において、
     前記導電層は、前記表示領域で前記第1の配線と電気的に接続される、表示装置。
  12.  請求項1乃至請求項9のいずれか一において、
     表示領域と、非表示領域と、を有し
     前記第1の画素電極及び前記第2の画素電極は、前記表示領域に設けられ、
     前記導電層は、前記表示領域に設けられ、
     前記導電層は、前記表示領域で前記第1の配線と電気的に接続される、表示装置。
  13.  請求項11または請求項12において、
     前記第1の配線は、前記第1の画素電極と重なる部分、及び、前記第2の画素電極と重なる部分を有する、表示装置。
  14.  請求項11乃至請求項13のいずれか一において、
     前記第1の配線は、前記第1の画素電極と前記第2の画素電極の間に位置する部分を有する、表示装置。
  15.  請求項1乃至請求項14のいずれか一に記載の表示装置と、コネクターまたは集積回路と、を有する、表示モジュール。
  16.  請求項15に記載の表示モジュールと、
     アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する、電子機器。
PCT/IB2021/055589 2020-07-03 2021-06-24 表示装置、表示モジュール、及び電子機器 WO2022003504A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020237001451A KR20230035041A (ko) 2020-07-03 2021-06-24 표시 장치, 표시 모듈, 및 전자 기기
JP2022533254A JPWO2022003504A1 (ja) 2020-07-03 2021-06-24
US18/012,513 US20230247873A1 (en) 2020-07-03 2021-06-24 Display apparatus, display module, and electronic device
CN202180047713.1A CN115997246A (zh) 2020-07-03 2021-06-24 显示装置、显示模块及电子设备

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-115385 2020-07-03
JP2020115385 2020-07-03

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022003504A1 true WO2022003504A1 (ja) 2022-01-06

Family

ID=79315131

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/IB2021/055589 WO2022003504A1 (ja) 2020-07-03 2021-06-24 表示装置、表示モジュール、及び電子機器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20230247873A1 (ja)
JP (1) JPWO2022003504A1 (ja)
KR (1) KR20230035041A (ja)
CN (1) CN115997246A (ja)
WO (1) WO2022003504A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023201657A1 (zh) * 2022-04-21 2023-10-26 京东方科技集团股份有限公司 发光面板及其制备方法、发光装置
WO2023248768A1 (ja) * 2022-06-23 2023-12-28 ソニーグループ株式会社 表示装置及び電子機器
WO2024018756A1 (ja) * 2022-07-21 2024-01-25 キヤノン株式会社 発光装置、表示装置、光電変換装置、電子機器、照明装置、および、移動体

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110043464A1 (en) * 2009-08-18 2011-02-24 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Touch screen display apparatus and method of manufacturing the same
JP2014175165A (ja) * 2013-03-08 2014-09-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
US20160149155A1 (en) * 2014-11-25 2016-05-26 Lg Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
JP2017208173A (ja) * 2016-05-16 2017-11-24 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
WO2018207484A1 (ja) * 2017-05-11 2018-11-15 ソニー株式会社 表示装置および電子機器
JP2020053523A (ja) * 2018-09-26 2020-04-02 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置及びその作製方法
JP2020068074A (ja) * 2018-10-23 2020-04-30 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
JP2020520056A (ja) * 2017-05-17 2020-07-02 アップル インコーポレイテッドApple Inc. 横方向の漏れを低減した有機発光ダイオードディスプレイ

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102079188B1 (ko) 2012-05-09 2020-02-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 전자 기기

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110043464A1 (en) * 2009-08-18 2011-02-24 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Touch screen display apparatus and method of manufacturing the same
JP2014175165A (ja) * 2013-03-08 2014-09-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
US20160149155A1 (en) * 2014-11-25 2016-05-26 Lg Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
JP2017208173A (ja) * 2016-05-16 2017-11-24 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
WO2018207484A1 (ja) * 2017-05-11 2018-11-15 ソニー株式会社 表示装置および電子機器
JP2020520056A (ja) * 2017-05-17 2020-07-02 アップル インコーポレイテッドApple Inc. 横方向の漏れを低減した有機発光ダイオードディスプレイ
JP2020053523A (ja) * 2018-09-26 2020-04-02 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置及びその作製方法
JP2020068074A (ja) * 2018-10-23 2020-04-30 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023201657A1 (zh) * 2022-04-21 2023-10-26 京东方科技集团股份有限公司 发光面板及其制备方法、发光装置
WO2023248768A1 (ja) * 2022-06-23 2023-12-28 ソニーグループ株式会社 表示装置及び電子機器
WO2024018756A1 (ja) * 2022-07-21 2024-01-25 キヤノン株式会社 発光装置、表示装置、光電変換装置、電子機器、照明装置、および、移動体

Also Published As

Publication number Publication date
KR20230035041A (ko) 2023-03-10
US20230247873A1 (en) 2023-08-03
JPWO2022003504A1 (ja) 2022-01-06
CN115997246A (zh) 2023-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11394014B2 (en) Display unit, display module, and electronic device
JP7464604B2 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2020148600A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2022003504A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2021074738A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2021250507A1 (ja) 表示装置の駆動方法
WO2021152418A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2021059069A1 (ja) 電子機器
WO2021059073A1 (ja) 電子機器、及びプログラム
WO2021064518A1 (ja) 表示モジュール、および電子機器
WO2021130581A1 (ja) 表示装置
WO2021191735A1 (ja) 表示装置
WO2021220141A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2021070008A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2021209852A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、電子機器、及び車両
WO2021229350A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2022069988A1 (ja) 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
WO2022144678A1 (ja) 光デバイス、表示装置、及び電子機器
WO2021140404A1 (ja) 電子機器、及びプログラム

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21834355

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2022533254

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20237001451

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 21834355

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1