WO2021172098A1

WO2021172098A1 - 流体圧駆動ユニット

Info

Publication number: WO2021172098A1
Application number: PCT/JP2021/005709
Authority: WO
Inventors: 田中　大介
Original assignee: Ｋｙｂ株式会社
Priority date: 2020-02-28
Filing date: 2021-02-16
Publication date: 2021-09-02
Also published as: JP2021134907A

Abstract

流体圧駆動ユニット（１００）は、ボトム側通路（１５）に設けられポンプ（２０）のロッド側ポート（２０Ｂ）から吐出される作動油がパイロット圧として導かれることで開弁するボトム側チェック弁（３０）と、ロッド側通路（２）に設けられるロッド側スローリターン弁（７０）と、を備え、ボトム側チェック弁（３０）と油圧シリンダ（１０）のボトム側室（１５）との間の流路には、ボトム側チェック弁（３０）とポンプ（２０）のボトム側ポート（２０Ａ）との間の流路である上流側流路（ＵＰ）よりも大きな流路抵抗を付与する内部流路（６３Ａ，６３Ｂ）を有する第１チェック弁（５０Ａ）が設けられる。

Description

流体圧駆動ユニット

　本発明は、流体圧駆動ユニットに関するものである。

　ＪＰ２００６－１０５２２６Ａには、シリンダと、作動流体としての作動油を圧送するポンプと、作動油を貯留するタンクと、ポンプとタンクの間における作動油の流れを制御する切換弁と、シリンダとポンプの間における作動油の流れを制御するオペレートチェック弁と、を備える流体圧駆動ユニットが開示されている。

　この流体圧駆動ユニットでは、シリンダとオペレートチェック弁とを接続する油路に、スローリターン弁が設けられる。スローリターン弁は、シリンダに流入する作動油を自由に通過させるとともに、シリンダから排出される作動油に抵抗を付与するように構成されている。このため、スローリターン弁は、シリンダ伸縮時において伸縮方向と同方向に加わる外力（例えば負荷の自重）によりオペレートチェック弁が中立位置へ移動することで生じるハンチングを防止することができる。

　ＪＰ２００６－１０５２２６Ａに開示される流体圧駆動ユニットでは、スローリターン弁が作動油の流れに付与する抵抗が大きすぎると、ハンチングは防止できるものの、シリンダの作動速度を必要以上に低下させてしまう。反対に、シリンダの作動速度を低下させないようにスローリターン弁が付与する抵抗を小さくしすぎると、ハンチングを充分に防止することができない。このように、スローリターン弁によってハンチングを防止するには、スローリターン弁が作動油に付与する抵抗の大きさを高い精度で制御する必要があった。

　本発明は、流体圧駆動ユニットにおいてハンチングの発生を容易に抑制することを目的とする。

　本発明のある態様によれば、流体圧駆動ユニットであって、第１流体圧室及び第２流体圧室の作動流体の流体圧によって駆動する流体圧シリンダと、第１ポート及び第２ポートを有し、第１ポート及び第２ポートから選択的に作動流体を吐出するポンプと、流体圧シリンダの第１流体圧室とポンプの第１ポートとを接続する第１メイン通路と、流体圧シリンダの第２流体圧室とポンプの第２ポートとを接続する第２メイン通路と、第１メイン通路に設けられポンプの第１ポートから第１流体圧室へ向かう作動流体の流れのみを許容すると共に、ポンプの第２ポートから吐出される作動流体がパイロット圧として導かれることで開弁する第１オペレートチェック弁と、第２メイン通路に設けられポンプの第２ポートから第２流体圧室へ向かう作動流体の流れのみを許容すると共に、ポンプの第１ポートから吐出される作動流体がパイロット圧として導かれることで開弁する第２オペレートチェック弁と、第２メイン通路に設けられ、流体圧シリンダの第２流体圧室から排出される作動流体の流れに抵抗を付与する第１スローリターン弁と、を備え、第１オペレートチェック弁と流体圧シリンダの第１流体圧室との間の流路である下流側流路には、ポンプの第１ポートから流体圧シリンダの第１流体圧室に導かれる作動流体の流れに対して、第１オペレートチェック弁とポンプの第１ポートとの間の流路である上流側流路よりも大きな流路抵抗を付与する抵抗部が設けられる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る流体圧駆動ユニットの油圧回路図である。図２は、本発明の第１実施形態に係るスローリターン弁の構成を示す断面図であり、閉弁状態を示す図である。図３は、図２におけるＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係るスローリターン弁の構成を示す断面図であり、開弁状態を示す図である。図５は、本発明の第２実施形態に係るスローリターン弁の油圧回路図である。図６は、本発明の第２実施形態に係るスローリターン弁の構成を示す断面図であり、閉弁状態を示す図である。図７は、本発明の第２実施形態に係るスローリターン弁の構成を示す断面図であり、開弁状態を示す図である。図８は、本発明の第３実施形態に係る流体圧駆動ユニットの油圧回路図である。

（第１実施形態）
　以下、図面を参照して、本発明の第１実施形態に係る流体圧駆動ユニット１００について説明する。

　まず、図１の油圧回路図を参照して、流体圧駆動ユニット１００の全体構成について説明する。

　流体圧駆動ユニット１００は、作動流体としての作動油の給排によって伸縮作動する流体圧シリンダとしての油圧シリンダ１０と、一対のポンプポート２０Ａ，２０Ｂを有し、一対のポンプポート２０Ａ，２０Ｂから選択的に作動油を吐出するポンプ２０と、ポンプ２０を駆動する電動モータ２５と、作動油を貯留するタンクＴと、を備える。

　油圧シリンダ１０は、円筒状のシリンダチューブ１１と、シリンダチューブ１１内に挿入されるピストンロッド１２と、ピストンロッド１２の端部に設けられシリンダチューブ１１の内周面に沿って摺動するピストン１３と、を備える。

　シリンダチューブ１１の内部は、ピストン１３によってボトム側室１５とロッド側室１６とに仕切られる。ボトム側室１５及びロッド側室１６には、作動油が充填される。

　油圧シリンダ１０は、ボトム側室１５に作動油が供給されると共にロッド側室１６から作動油が排出されることでピストンロッド１２が伸長方向に移動して、伸長作動する。油圧シリンダ１０は、ロッド側室１６に作動油が供給されると共にボトム側室１５から作動油が排出されることでピストンロッド１２が収縮方向に移動して、収縮作動する。

　ポンプ２０は、例えば、ギアポンプである。ポンプ２０は、電動モータ２５の回転軸２５Ａに連結されており、電動モータ２５の回転駆動力に基づいて駆動される。ポンプ２０は、電動モータ２５の回転軸２５Ａが正転する場合にはポンプポート２０Ｂ（以下、「ロッド側ポート２０Ｂ」とも称する。）から吸い込んだ作動油をポンプポート２０Ａ（以下、「ボトム側ポート２０Ａ」とも称する。）から吐出し、電動モータ２５の回転軸２５Ａが逆転する場合にはボトム側ポート２０Ａから吸い込んだ作動油をロッド側ポート２０Ｂから吐出する。このように、ポンプ２０から吐出される作動油の吐出方向は、電動モータ２５の回転方向に応じて選択的に切り換えられる。

　ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａは、ボトム側通路１を通じて油圧シリンダ１０のボトム側室１５に接続される。ポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂは、ロッド側通路２を通じて油圧シリンダ１０のロッド側室１６に接続される。

　流体圧駆動ユニット１００は、ボトム側通路１に設けられボトム側室１５へ供給される作動油の流れのみを許容するボトム側チェック弁３０と、ロッド側通路２に設けられロッド側室１６へ供給される作動油の流れのみを許容するロッド側チェック弁３２と、ポンプ２０とタンクＴとの連通を制御する切換弁４０と、ボトム側チェック弁３０の下流（油圧シリンダ１０側）においてボトム側通路１に設けられボトム側室１５から排出される作動油の流れに抵抗を付与するボトム側スローリターン弁５０と、ロッド側チェック弁３２の下流においてロッド側通路２に設けられロッド側室１６から排出される作動油の流れに抵抗を付与するロッド側スローリターン弁７０と、をさらに備える。

　ボトム側チェック弁３０は、ロッド側チェック弁３２の上流側の圧力、つまり、ロッド側ポート２０Ｂから吐出される作動油の圧力がパイロット圧として導かれることで開弁し、ボトム側室１５から排出される作動油の流れを許容するオペレートチェック弁である。同様に、ロッド側チェック弁３２は、ボトム側チェック弁３０の上流側の圧力、つまり、ボトム側ポート２０Ａから吐出される作動油の圧力がパイロット圧として導かれることで開弁し、ロッド側室１６から排出される作動油の流れを許容するオペレートチェック弁である。

　また、図示は省略するが、ボトム側通路１におけるボトム側チェック弁３０とボトム側室１５との間には、タンクＴに連通するリリーフ通路が接続される。当該リリーフ通路には、ボトム側室１５の圧力が所定のリリーフ圧に達すると開弁してボトム側室１５の圧力をタンクＴに逃がすリリーフ弁が設けられる。同様に、ロッド側通路２におけるロッド側チェック弁３２とロッド側室１６との間には、タンクＴに連通するリリーフ通路が接続される。当該リリーフ通路には、ロッド側室１６の圧力が所定のリリーフ圧に達すると開弁してロッド側室１６の圧力をタンクＴに逃がすリリーフ弁が設けられる。これらのリリーフ弁によって、ピストンロッド１２に外力が作用した際に急激に上昇するボトム側室１５又はロッド側室１６の圧力をタンクＴに逃がすことができる。

　さらに図示は省略するが、ボトム側通路１におけるボトム側チェック弁３０とポンプ２０との間にも、タンクＴに連通するリリーフ通路が接続され、当該リリーフ通路にはリリーフ弁が設けられる。ロッド側通路２も同様に、ロッド側通路２におけるロッド側チェック弁３２とポンプ２０との間にも、タンクＴに連通するリリーフ通路が接続され、当該リリーフ通路には、リリーフ弁が設けられる。ボトム側チェック弁３０及びロッド側チェック弁３２の上流側（ポンプ２０側）に設けられるこれらの図示しないリリーフ弁によって、ポンプ２０から吐出される圧力が制限される。つまり、ポンプ２０から吐出される圧力の上限は、これらの図示しないリリーフ弁のリリーフ圧によって設定される。

　切換弁４０には、ボトム側ポート２０Ａとボトム側チェック弁３０との間においてボトム側通路１に接続される第１サブ通路３と、ロッド側ポート２０Ｂとロッド側チェック弁３２との間においてロッド側通路２に接続される第２サブ通路４と、タンクＴに連通するタンク通路５と、が接続される。

　切換弁４０は、第１サブ通路３及び第２サブ通路４のそれぞれに対するタンク通路５の連通を遮断する中立ポジション４０Ａと、第１サブ通路３とタンク通路５とを連通し第２サブ通路４とタンク通路５との連通を遮断する第１ポジション４０Ｂと、第２サブ通路４とタンク通路５とを連通し第１サブ通路３とタンク通路５との連通を遮断する第２ポジション４０Ｃと、を有する。

　切換弁４０は、一対の付勢部材としてのスプリング４１Ａ，４１Ｂの付勢力によって中立ポジション４０Ａに保持される。切換弁４０は、ポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂから吐出される作動油の圧力がパイロット圧として導かれることで、スプール（図示省略）が一方のスプリング４１Ａに抗して移動して、第１ポジション４０Ｂに切り換えられる。切換弁４０は、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから吐出される作動油の圧力がパイロット圧として導かれることで、スプールが他方のスプリング４１Ｂに抗して移動して、第２ポジション４０Ｃに切り換えられる。

　ボトム側スローリターン弁５０は、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから油圧シリンダ１０のボトム側室１５へ導かれる作動油の流れのみを許容する第１チェック弁５０Ａと、第１チェック弁５０Ａと並列に設けられ通過する作動油の流れに抵抗を付与する第１排出絞り部５０Ｂと、を有する。

　ロッド側スローリターン弁７０は、ポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂから油圧シリンダ１０のロッド側室１６へ導かれる作動油の流れのみを許容する第２チェック弁７０Ａと、第２チェック弁７０Ａと並列に設けられ通過する作動油の流れに抵抗を付与する第２排出絞り部７０Ｂと、を有する。

　以下、図２～４を参照して、ボトム側スローリターン弁５０とロッド側スローリターン弁７０の具体的構成について説明する。

　図２に示すように、ボトム側スローリターン弁５０は、ハウジング部としてのバルブハウジング５１と、バルブハウジング５１に設けられる円形の収容孔５１Ａに移動自在に収容されバルブハウジング５１に形成されるシート部５２に着座する弁体６０と、を有する。バルブハウジング５１、シート部５２、及び弁体６０によって図１に示す第１チェック弁５０Ａが構成される。

　バルブハウジング５１は、ボトム側チェック弁３０、ロッド側チェック弁３２、切換弁４０、ボトム側スローリターン弁５０、ロッド側スローリターン弁７０を収容する共通のものとして構成される。

　収容孔５１Ａは、バルブハウジング５１に形成される上流側ポート５１Ｂを通じてポンプ２０のボトム側ポート２０Ａ（図１参照）に連通する。また、収容孔５１Ａは、バルブハウジング５１に形成される下流側ポート５１Ｃを通じて油圧シリンダ１０のボトム側室１５（図１参照）に連通する。上流側ポート５１Ｂ及び下流側ポート５１Ｃは、それぞれボトム側通路１の一部を構成する。

　上流側ポート５１Ｂの内径は、収容孔５１Ａの内径よりも小さく形成され、上流側ポート５１Ｂと収容孔５１Ａとの間の段差部に弁体６０が離着座するシート部５２が形成される。また、下流側ポート５１Ｃの内径は、収容孔５１Ａの内径よりも小さく形成され、下流側ポート５１Ｃと収容孔５１Ａとの間には、段差部５３が形成される。

　弁体６０には、シート部５２に対向する先端面６０Ａに形成されシート部５２に接触するテーパ状の接触面６１と、円筒面状の外周面に形成される互いに平行な一対の平行面６２Ａ，６２Ｂ（図３参照）と、先端面６０Ａに開口する排出絞り部としてのオリフィス６５と、先端面６０Ａとは反対側の基端面６０Ｂに開口しオリフィス６５に連通する連通路６６と、径方向に沿って基端面６０Ｂに設けられるスリット６７と、が形成される。

　図３に示すように、一対の平行面６２Ａ，６２Ｂは、収容孔５１Ａの内周面に摺接する弁体６０の円筒面状の外周面に、弁体６０の中心軸と平行に形成される。これにより、一対の平行面６２Ａ，６２Ｂと収容孔５１Ａとの間には、内部流路６３Ａ，６３Ｂが形成される。内部流路６３Ａ，６３Ｂは、弁体６０の接触面６１と基端面６０Ｂとに開口している。

　オリフィス６５は、弁体６０の接触面６１がシート部５２に着座した状態、言い換えれば、第１チェック弁５０Ａの閉弁状態において、上流側ポート５１Ｂに連通するように設けられる。オリフィス６５が、図１の油圧回路における第１排出絞り部５０Ｂを構成する。

　スリット６７は、連通路６６に接続されると共に、一対の平行面６２Ａ，６２Ｂが形成する内部流路６３Ａ，６３Ｂに連通するように設けられる。これにより、弁体６０が基端側の段差部５３に当接した状態において、内部流路６３Ａ，６３Ｂは、スリット６７を通じて下流側ポート５１Ｃに連通する（図４参照）。

　ロッド側スローリターン弁７０は、ボトム側スローリターン弁５０と同様の構成を有する。よって、ボトム側スローリターン弁５０の各構成に対応するロッド側スローリターン弁７０の各構成については、図２～４において括弧内の符号を付して詳細な図示は省略し、以下に簡単に説明する。

　バルブハウジング５１に形成されるロッド側スローリターン弁７０の収容孔７１Ａは、上流側ポート７１Ｂを通じてポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂに連通し、下流側ポート７１Ｃを通じて油圧シリンダ１０のロッド側室１６に連通する。

　上流側ポート７１Ｂと収容孔７１Ａとの間に弁体８０が離着座するシート部７２が形成される。また、下流側ポート７１Ｃと収容孔７１Ａとの間には、段差部７３が形成される。

　弁体８０には、先端面８０Ａに形成されシート部７２に接触する接触面８１と、円筒面状の外周面に形成される互いに平行な一対の平行面８２Ａ，８２Ｂと、先端面８０Ａに開口するオリフィス８５と、先端面８０Ａとは反対側の基端面８０Ｂに開口しオリフィス８５に連通する連通路８６と、径方向に沿って基端面８０Ｂに設けられるスリット８７と、が形成される。

　一対の平行面８２Ａ，８２Ｂと収容孔７１Ａとの間には、内部流路８３Ａ，８３Ｂが形成される。内部流路８３Ａ，８３Ｂは、弁体８０の接触面８１と基端面８０Ｂとに開口している。

　オリフィス８５は、第２チェック弁７０Ａの閉弁状態において、上流側ポート７１Ｂに連通するように設けられる。オリフィス６５が、図１の油圧回路における第２排出絞り部７０Ｂを構成する。

　スリット８７は、連通路８６に接続されると共に、内部流路８３Ａ，８３Ｂに連通するように設けられる。これにより、弁体８０が基端側の段差部７３に当接した状態において、内部流路８３Ａ，８３Ｂは、スリット８７を通じて下流側ポート７１Ｃに連通する。

　次に、流体圧駆動ユニット１００の作動について説明する。

　油圧シリンダ１０を伸長作動させる場合には、電動モータ２５を正転させる（図１参照）。

　電動モータ２５が正転すると、ポンプ２０は、ロッド側ポート２０Ｂから作動油を吸い込み、ボトム側ポート２０Ａから吐出する。ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから吐出される作動油は、ボトム側通路１に導かれてボトム側チェック弁３０を開弁し、ボトム側スローリターン弁５０の第１チェック弁５０Ａを開弁して、油圧シリンダ１０のボトム側室１５に供給される。

　具体的に説明すると、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから吐出されボトム側チェック弁３０を開弁した作動油の油圧が第１チェック弁５０Ａの弁体６０の先端面６０Ａに作用して、図４に示すように、弁体６０がシート部５２から離間し、基端側の段差部５３に当接するまで移動する。このようにして第１チェック弁５０Ａが開弁すると、内部流路６３Ａ，６３Ｂが上流側ポート５１Ｂと連通し、作動油が、上流側ポート５１Ｂから収容孔５１Ａ、内部流路６３Ａ，６３Ｂ、スリット６７、下流側ポート５１Ｃを通じて油圧シリンダ１０のボトム側室１５に導かれる。なお、内部流路６３Ａ，６３Ｂの流路抵抗は、オリフィス６５の流路抵抗よりも小さく設定される。よって、第１チェック弁５０Ａが開弁した際には、作動油はほとんどオリフィス６５を通過せず、主として内部流路６３Ａ，６３Ｂを通じてボトム側室１５へと導かれる。

　また、ボトム側ポート２０Ａから吐出される作動油の圧力がパイロット圧としてロッド側チェック弁３２に導かれて、ロッド側チェック弁３２が開弁する（図１参照）。これにより、油圧シリンダ１０のロッド側室１６から排出される作動油は、ロッド側通路２に導かれ、ロッド側スローリターン弁７０の第２排出絞り部７０Ｂを通過し、ロッド側チェック弁３２を通過してポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂに吸い込まれる。つまり、油圧シリンダ１０の伸長作動時には、第２排出絞り部７０Ｂが、排出絞り部として機能する。

　具体的に説明すると、ロッド側室１６から排出された作動油の油圧がロッド側スローリターン弁７０における第２チェック弁７０Ａの弁体８０の基端面８０Ｂに作用する（図３参照）。これにより、弁体８０の接触面８１がシート部７２に押し付けられ、第２チェック弁７０Ａは閉弁状態となる。第２チェック弁７０Ａが閉弁状態の場合には、ロッド側室１６から排出された作動油は、下流側ポート７１Ｃ、収容孔７１Ａ、連通路８６、及びオリフィス８５を通じて上流側ポート７１Ｂに導かれる。よって、ロッド側室１６から排出される作動油は、オリフィス８５によって抵抗が付与されて、ポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂに導かれる。

　以上のようにして、油圧シリンダ１０は、伸長作動する。

　また、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから吐出される作動油は、パイロット圧として切換弁４０に導かれて、切換弁４０は第２ポジション４０Ｃに切り換えられる（図１参照）。第２ポジション４０Ｃでは、ロッド側通路２が切換弁４０を通じてタンクＴに連通する。これにより、伸長作動の際、シリンダチューブ１１から退出するピストンロッド１２の体積分に相当する作動油が、タンクＴからロッド側ポート２０Ｂに吸い込まれて、ボトム側室１５とロッド側室１６との容積差が補償される。

　油圧シリンダ１０を収縮作動させる場合には、電動モータ２５を逆転させる。

　電動モータ２５が逆転すると、ポンプ２０は、ボトム側ポート２０Ａから作動油を吸い込み、ロッド側ポート２０Ｂから吐出する。ポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂから吐出される作動油は、ロッド側通路２に導かれてロッド側チェック弁３２を開弁し、ロッド側スローリターン弁７０の第２チェック弁７０Ａを開弁して、油圧シリンダ１０のロッド側室１６に供給される。また、ロッド側ポート２０Ｂから吐出される作動油の圧力がパイロット圧としてボトム側チェック弁３０に導かれて、ボトム側チェック弁３０が開弁する。これにより、油圧シリンダ１０のボトム側室１５から排出される作動油は、ボトム側通路１に導かれ、ボトム側スローリターン弁５０の第１排出絞り部５０Ｂを通過し、ボトム側チェック弁３０を通過してポンプ２０のボトム側ポート２０Ａに吸い込まれる。このようにして、油圧シリンダ１０は、収縮作動する。つまり、油圧シリンダ１０の伸長作動時には、第１排出絞り部５０Ｂが、排出絞り部として機能する。

　また、ポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂから吐出される作動油は、パイロット圧として切換弁４０に導かれて、切換弁４０は第１ポジション４０Ｂに切り換えられる。第１ポジション４０Ｂでは、ボトム側通路１が切換弁４０を通じてタンクＴに連通する。これにより、収縮作動の際、シリンダチューブ１１に進入するピストンロッド１２の体積分に相当する作動油が、ボトム側室１５からタンクＴに排出されて、ロッド側室１６とボトム側室１５との容積差が補償される。

　次に、流体圧駆動ユニット１００の作用について説明する。なお、油圧シリンダ１０が伸長作動する場合と収縮作動する場合とでは、作動油を供給する側の構成と排出する側の構成との機能が入れ替わるだけで、その作用は同様であるため、以下では、伸長作動を例に説明する。

　また、以下では、ボトム側チェック弁３０とボトム側室１５との間の流路を「下流側流路ＤＰ」、ボトム側チェック弁３０とポンプ２０のボトム側ポート２０Ａとの間の流路を「上流側流路ＵＰ」とも称する。より厳密には、ボトム側チェック弁３０における弁体が当接するシート部（図示省略）を基準として、当該シート部の上流を上流側流路ＵＰ、下流を下流側流路ＤＰとする。上流側流路ＵＰは、一部のボトム側通路１により構成される。下流側流路ＤＰは、一部のボトム側通路１及びボトム側スローリターン弁５０により構成される。なお、ポンプ２０とロッド側室１６との間の流路についても同様であり、ロッド側通路２についても同様であり、ロッド側チェック弁３２とロッド側室１６との間の流路を「下流側流路ＤＰ」、ロッド側チェック弁３２とポンプ２０のロッド側ポート２０Ｂとの間の流路を「上流側流路ＵＰ」とも称する。

　このような流体圧駆動ユニット１００において、内部流路６３Ａ，６３Ｂの全体として通過する作動油の流れに付与する流路抵抗（言い換えれば、第１チェック弁５０Ａが付与する流路抵抗）は、上流側流路ＵＰが作動油の流れに付与する流路抵抗よりも、大きく構成される。

　ここで、流体圧駆動ユニットでは、油圧シリンダの伸縮作動時においてその伸縮方向と同方向に外力（例えば、油圧シリンダが駆動する負荷の自重）が加わることがある。油圧シリンダが伸長作動する場合を例に説明すると、ピストンロッド伸長方向（言い換えれば、ボトム側室が拡大する方向）に移動させるような外力が作用した場合、ロッド側室の圧力が急激に増加すると共に、ボトム側室の圧力は急激に低下する。ボトム側室に急激な圧力低下が生じると、ボトム側通路の圧力、ひいては、ロッド側チェック弁を開弁させるパイロット圧も低下し、ロッド側チェック弁が閉弁するハンチングが生じるおそれがある。

　より詳細に説明すると、油圧シリンダが伸長作動する際、ピストンロッドに同方向の外力が作用することで、ポンプからの作動油の供給速度（作動油が供給されることによるピストンロッドの移動速度）よりも速い速度でピストンロッドが移動させられる。これにより、ボトム側室及びボトム側通路の圧力が低下し、その結果、ロッド側チェック弁へ導かれるパイロット圧が低下してロッド側チェック弁が閉弁する。ロッド側チェック弁が閉弁すると、ロッド側室からタンクに排出される作動油の流れがロッド側チェック弁によって遮断され、ピストンロッドの移動は停止する。よって、外力に起因したボトム側室の急激な拡大は停止され、ボトム側室にはポンプから作動油が供給される。これに伴い、ロッド側チェック弁には再びポンプの吐出圧がパイロット圧として導かれ、ロッド側チェック弁が開弁する。ロッド側チェック弁の開弁により、ロッド側室からタンクに排出される作動油の流れが許容されるため、ピストンロッドが外力によって再び移動する。よって、ボトム側室が急激に拡大し、再びロッド側チェック弁が閉弁する。このように、油圧シリンダの伸長作動時にピストンロッドに対して伸長方向の外力が作用することで、ロッド側チェック弁が閉弁と開弁を繰り返し、ピストンロッドが移動と停止を繰り返すハンチングが発生する。

　これに対し、流体圧駆動ユニット１００では、ロッド側室１６から排出される作動油の流れには、ロッド側スローリターン弁７０の第２排出絞り部７０Ｂによって抵抗が付与される。これにより、外力によるピストンロッド１２の移動が抑制され、ボトム側室１５の拡大によるボトム側室１５の圧力低下が抑制される。したがって、ハンチングの発生が抑制される。

　また、流体圧駆動ユニット１００では、ボトム側通路１の下流側流路ＤＰにあるボトム側スローリターン弁５０の内部流路６３Ａ，６３Ｂは、上流側流路ＵＰよりも大きな抵抗を作動油の流れに付与する。このため、ピストンロッド１２が伸長方向に移動したとしても、内部流路６３Ａ，６３Ｂが付与する抵抗によって、上流側流路ＵＰの圧力低下が抑制される。これにより、ロッド側チェック弁３２へのパイロット圧の低下が抑制されるため、ハンチングの発生を抑制することができる。

　つまり、流体圧駆動ユニット１００では、油圧シリンダ１０に対する作動油の排出側に設けられる第１スローリターン弁（伸長作動でいえば、ロッド側スローリターン弁７０の第２排出絞り部７０Ｂ）によってハンチングを抑制すると共に、作動油の供給側に設けられる第２スローリターン弁における抵抗部（伸長作動でいえば、ボトム側スローリターン弁５０の内部流路６３Ａ，６３Ｂ）によっても、ハンチングを抑制することができる。このように、油圧シリンダ１０に対する作動油の排出側（メーターアウト）と供給側（メータイン）の２つの構成によってハンチングを抑制できるため、排出側のスローリターン弁のみによってハンチングを抑制するような場合と比較して、設計の自由度が向上し、ロッド側スローリターン弁７０の第２排出絞り部７０Ｂの流路抵抗の設定に対して要求される精度を下げることができる。つまり、具体的にいえば、オリフィス６５に対して要求される設計精度や加工精度を下げることができる。したがって、流体圧駆動ユニット１００においてハンチングを容易に抑制することができる。

　このように、本実施形態では、ボトム側スローリターン弁５０の内部流路６３Ａ，６３Ｂが、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから油圧シリンダ１０のボトム側室１５に導かれる作動油の流れに対して、上流側流路ＵＰよりも大きな流路抵抗を付与する抵抗部に相当する。つまり、本実施形態では、抵抗部は、収容孔５１Ａと共に弁体６０によって形成される。

　なお、ボトム側スローリターン弁５０の内部流路６３Ａ，６３Ｂ（抵抗部）の流路抵抗は、ロッド側スローリターン弁７０の第２排出絞り部７０Ｂ（オリフィス８５）の流路抵抗よりも小さく構成される。つまり、ハンチングを抑制する機能としては、第２排出絞り部７０Ｂが主として機能する。

　また、上記の説明では伸長作動する場合に伸長方向の外力が作用する場合を例に説明したが、ボトム側スローリターン弁５０とロッド側スローリターン弁７０とは互いに同様の構成を有するため、収縮作動する場合に収縮方向の外力が作用した場合でも、同様の作用効果を奏する。

　つまり、油圧シリンダ１０が伸長作動する場合には、ボトム側室１５が第１流体圧室、ボトム側通路１が第１メイン通路、ボトム側ポート２０Ａが第１ポート、ロッド側室１６が第２流体圧室、ロッド側通路２が第２メイン通路、ロッド側ポート２０Ｂが第２ポート、ボトム側オペレートチェック弁がボトム側チェック弁３０、ロッド側オペレートチェック弁がロッド側チェック弁３２、としてそれぞれ機能する。また、油圧シリンダ１０が伸長作動する場合には、ロッド側スローリターン弁７０が第１スローリターン弁、ボトム側スローリターン弁５０が第２スローリターン弁、第１チェック弁５０Ａがチェック弁、第１排出絞り部５０Ｂが排出絞り部、ボトム側スローリターン弁５０の内部流路６３Ａ，６３Ｂが抵抗部としてそれぞれ機能する。

　これに対し、油圧シリンダ１０が収縮作動する場合には、ロッド側室１６が第１流体圧室、ロッド側通路２が第１メイン通路、ロッド側ポート２０Ｂが第１ポート、ボトム側室１５が第２流体圧室、ボトム側通路１が第２メイン通路、ボトム側ポート２０Ａが第２ポート、ロッド側オペレートチェック弁がボトム側チェック弁３０、ボトム側オペレートチェック弁がロッド側チェック弁３２、としてそれぞれ機能する。また、油圧シリンダ１０が収縮作動する場合には、ボトム側スローリターン弁５０が第１スローリターン弁、ロッド側スローリターン弁７０が第２スローリターン弁、第２チェック弁７０Ａがチェック弁、第２排出絞り部７０Ｂが排出絞り部、ロッド側スローリターン弁７０の内部流路８３Ａ，８３Ｂが抵抗部としてそれぞれ機能する。

　このように、流体圧駆動ユニット１００では、ボトム側通路１における下流側流路ＤＰとロッド側通路２における下流側流路ＤＰとの両方に抵抗部が設けられる。これにより、油圧シリンダ１０の伸縮作動のいずれにおいても、ハンチングを容易に抑制することができる。ボトム側通路１及びロッド側通路２における抵抗部は、一方が特許請求の範囲における「抵抗部」に相当し、他方が「第２抵抗部」に相当する。

　以上の実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。

　流体圧駆動ユニット１００では、油圧シリンダ１０に対する作動油の排出側に設けられる排出絞り部（伸長作動でいえばロッド側スローリターン弁７０の第２排出絞り部７０Ｂ、収縮作動でいえばボトム側スローリターン弁５０の第１排出絞り部５０Ｂ）によってハンチングを抑制すると共に、作動油の供給側に設けられる抵抗部（伸長作動でいえばボトム側スローリターン弁５０の内部流路６３Ａ，６３Ｂ、収縮作動でいえばロッド側スローリターン弁７０の内部流路８３Ａ，８３Ｂ）によっても、ハンチングを抑制することができる。このように、油圧シリンダ１０に対する作動油の排出側（メーターアウト）と供給側（メータイン）の２つの構成によってハンチングを抑制できるため、設計の自由度が向上し、ボトム側及びロッド側スローリターン弁５０，７０の第１及び第２排出絞り部５０Ｂ，７０Ｂの流路抵抗の設定に対して要求される精度を下げることができる。したがって、流体圧駆動ユニット１００においてハンチングを容易に抑制することができる。

（第２実施形態）
　次に、図５～７を参照して、第２実施形態に係る流体圧駆動ユニット２００について説明する。以下では、上記第１実施形態と異なる点を中心に説明し、上記第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。具体的には、第２実施形態は、ボトム側スローリターン弁１５０及びロッド側スローリターン弁１７０の構成を除き、第１実施形態と同様であるため、以下では、ボトム側スローリターン弁１５０及びロッド側スローリターン弁１７０の構成を主に説明する。また、第２実施形態においても、ボトム側スローリターン弁１５０とロッド側スローリターン弁１７０の構成は同様であるため、以下では、ボトム側スローリターン弁１５０の構成について説明し、ロッド側スローリターン弁１７０の構成については、説明を適宜省略する。

　上記第１実施形態では、抵抗部は、ボトム側スローリターン弁５０における弁体６０に形成される一対の平行面６２Ａ，６２Ｂにより収容孔５１Ａ内に区画される内部流路６３Ａ，６３Ｂであった。

　これに対し、図５に示すように、第２実施形態では、抵抗部は、ボトム側スローリターン弁１５０に設けられ、第１排出絞り部５０Ｂと並列に設けられる第１供給絞り部５０Ｃである。

　ボトム側スローリターン弁５０の第１供給絞り部５０Ｃは、第１排出絞り部５０Ｂと並列であって、第１チェック弁５０Ａと直列に設けられる。

　図６及び７を参照して、ボトム側スローリターン弁１５０の具体的構成を説明する。第２実施形態は、弁体６０によって抵抗部が形成される点においては第１実施形態と共通するが、抵抗部の具体的構成においては第１実施形態とは相違する。

　図６に示すように、ボトム側スローリターン弁１５０の弁体１６０は、収容孔５１Ａに摺動する本体部１６１と、本体部１６１と同軸的に設けられシート部５２に接触する接触面１６３が設けられる先端部１６２と、を有する。先端部１６２は、本体部１６１よりも外径が小さい円柱状に形成される。よって、先端部１６２の外周面と収容孔５１Ａの内周面との間は、環状空間１６４が形成される。

　第１実施形態と同様に、弁体１６０には、弁体１６０の先端面１６０Ａ（先端部１６２の端面）に開口するオリフィス６５と、オリフィス６５と下流側ポート５１Ｃとを連通する連通路６６と、弁体１６０の基端面１６０Ｂに設けられるスリット６７と、が形成される。また、先端部１６２には、先端部１６２の外周面（環状空間１６４）に開口し連通路６６と連通する２つの第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂが径方向に沿って形成される。２つの第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂが、図５の油圧回路図における第１供給絞り部５０Ｃを構成する。

　第２オリフィス１６５Ａは、通過する作動油の流れに対して、第２オリフィス１６５Ａの全体（２つの第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂの合計）によって付与する流路抵抗が、オリフィス６５よりも小さくなるように形成される。具体的には、２つの第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂの流路面積の合計が、オリフィス６５の流路面積よりも大きくなるように構成される。

　さらに、第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂは、上流側流路ＵＰによって作動油の流れに付与される流路抵抗よりも大きな流路抵抗を全体として付与するように構成される。このように、第２実施形態では、第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂが、抵抗部として機能する。

　油圧シリンダ１０が伸長作動する際には、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから吐出される作動油の油圧が弁体１６０の先端面１６０Ａに作用し、弁体１６０の接触面１６３がシート部５２から離間して第１チェック弁５０Ａが開弁する。第１チェック弁５０Ａが開弁すると、上流側ポート５１Ｂの作動油が収容孔５１Ａと弁体１６０の先端部１６２との間の環状空間１６４から第２オリフィス１６５Ａ及び連通路６６を通過して下流側ポート５１Ｃに導かれる。このように、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａから油圧シリンダ１０のボトム側室１５に導かれる作動油には、第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂによって流路抵抗が付与される。

　油圧シリンダ１０が収縮作動する場合は、第１実施形態と同様に、ボトム側室１５から排出される作動油の油圧によって弁体１６０はシート部５２に着座し、ボトム側室１５から排出される作動油は、オリフィス６５を通じてポンプ２０のボトム側ポート２０Ａに導かれる。

　以上のような第２実施形態においても、抵抗部である第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂによってポンプ２０から油圧シリンダ１０に供給される作動油の流れに抵抗が付与されるため、第１実施形態と同様に、抵抗部によってもハンチングを抑制することができる。

（第３実施形態）
　次に、図８を参照して、第３実施形態に係る流体圧駆動ユニット３００について説明する。以下では、上記第１実施形態と異なる点を中心に説明し、上記第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。

　第３実施形態では、図８に示すように、ロッド側スローリターン弁７０を有する一方、ボトム側スローリターン弁５０は有していない。

　第３実施形態では、抵抗部は、ボトム側通路１そのものによって構成される。具体的には、ポンプ２０のボトム側ポート２０Ａとボトム側チェック弁３０とを接続するボトム側通路１の一部を「上流ボトム側通路１Ａ」（上流側通路）、ボトム側チェック弁３０と油圧シリンダ１０のボトム側室１５とを接続するボトム側通路１の一部を「下流ボトム側通路１Ｂ」（下流側通路）とすると、下流ボトム側通路１Ｂが、上流ボトム側通路１Ａよりも作動油の流れに付与する抵抗が大きくなるように形成され、抵抗部を構成する。例えば、下流ボトム側通路１Ｂの流路面積が、上流ボトム側通路１Ａの流路面積よりも小さく形成される。

　このような第３実施形態であっても、油圧シリンダ１０が伸長作動する際には、下流ボトム側通路１Ｂを通過する作動油の流れに抵抗が付与されるため、上流ボトム側通路１Ａの圧力低下が抑制される。したがって、第１実施形態と同様の作用効果を奏し、ハンチングを容易に抑制することができる。

　なお、ボトム側チェック弁３０と油圧シリンダ１０のボトム側室１５との間にある下流ボトム側通路１Ｂの全体を抵抗部として構成してもよいし、その一部を抵抗部として構成してもよい。例えば、下流ボトム側通路１Ｂにおいてボトム側チェック弁３０とボトム側スローリターン弁５０とを接続する部分全体の流路面積を上流ボトム側通路１Ａの流路面積よりも小さくなるように形成して、抵抗部として構成してもよい。また、下流ボトム側通路１Ｂにおいてボトム側チェック弁３０とボトム側スローリターン弁５０とを接続する部分に局所的に流路面積が小さい絞り部を設けて抵抗部として構成してもよい。このような場合であっても、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。

　また、ピストンロッド１２に伸長方向の外力のみが作用し収縮方向の外力が作用しない場合には、第３実施形態のように、ロッド側通路２にロッド側スローリターン弁７０を設けると共に、ボトム側通路１にはスローリターン弁を設けず、抵抗部（下流ボトム側通路１Ｂ）を設けるように構成すればよい。第１実施形態及び第２実施形態でも同様に、外力の方向が予め把握される場合には、その外力によるハンチングを抑制するためのスローリターン弁及び抵抗部を設ければよく、必ずしもボトム側通路１及びロッド側通路２のそれぞれにスローリターン弁及び抵抗部の両方を設けなくてもよい。つまり、第２抵抗部の構成は、必須のものではない。

　以下、本発明の実施形態の構成、作用、及び効果をまとめて説明する。

　流体圧駆動ユニット１００，２００，３００は、第１流体圧室及び第２流体圧室（ロッド側室１６、ボトム側室１５）内の作動油の流体圧によって駆動する油圧シリンダ１０と、第１ポート及び第２ポート（ロッド側ポート２０Ｂ、ボトム側ポート２０Ａ）を有し、第１ポート及び第２ポートから選択的に作動油を吐出するポンプ２０と、作動油を貯留するタンクＴと、油圧シリンダ１０の第１流体圧室（ボトム側室１５、ロッド側室１６）とポンプ２０の第１ポート（ボトム側ポート２０Ａ、ロッド側ポート２０Ｂ）とを接続する第１メイン通路（ボトム側通路１、ロッド側通路２）と、油圧シリンダ１０の第２流体圧室（ロッド側室１６、ボトム側室１５）とポンプ２０の第２ポート（ロッド側ポート２０Ｂ、ボトム側ポート２０Ａ）とを接続する第２メイン通路（ロッド側通路２、ボトム側ポート２０Ａ）と、第１メイン通路に設けられポンプ２０の第１ポートから第１流体圧室へ向かう作動油の流れのみを許容すると共に、ポンプ２０の第２ポートから吐出される作動油がパイロット圧として導かれることで開弁する第１オペレートチェック弁（ボトム側チェック弁３０、ロッド側チェック弁３２）と、第２メイン通路に設けられポンプ２０の第２ポートから第２流体圧室へ向かう作動油の流れのみを許容すると共に、ポンプ２０の第１ポートから吐出される作動油がパイロット圧として導かれることで開弁する第２オペレートチェック弁（ロッド側チェック弁３２、ボトム側チェック弁３０）と、第２メイン通路に設けられ、油圧シリンダ１０の第２流体圧室から排出される作動油の流れに抵抗を付与する第１スローリターン弁（ロッド側スローリターン弁７０，ボトム側スローリターン弁５０）と、を備え、第１オペレートチェック弁と油圧シリンダ１０の第１流体圧室との間の流路である下流側流路ＤＰには、ポンプ２０の第１ポートから油圧シリンダ１０の第１流体圧室に導かれる作動油の流れに対して、ボトム側チェック弁３０とポンプ２０の第１ポートとの間の流路である上流側流路ＵＰよりも大きな流路抵抗を付与する抵抗部（内部流路６３Ａ，６３Ｂ、内部流路８３Ａ，８３Ｂ、第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂ，下流ボトム側通路１Ｂ）が設けられる。

　この構成では、第２流体圧室から排出される作動流体の流れに対して第１スローリターン弁から抵抗が付与されることに加えて、第１流体圧室に供給される作動流体の流れに対して抵抗部から抵抗が付与される。これにより、第１流体圧室が拡大するように油圧シリンダ１０の作動方向と同方向の外力が作用した場合であっても、第２オペレートチェック弁にパイロット圧として導かれる上流側流路ＵＰ中の第１メイン通路の圧力低下が抑制され、ハンチングの発生が抑制される。このように、第２メイン通路に設けられる第１スローリターン弁と、第１メイン通路に設けられる抵抗部と、の２つの構成によってハンチングを抑制できるため、第１スローリターン弁のみによってハンチングを抑制するような構成と比較して、設計の自由度が向上し、第１スローリターン弁の流路抵抗の設定に対して要求される精度を下げることができる。したがって、流体圧駆動ユニット１００，２００，３００においてハンチングを容易に抑制することができる。

　また、流体圧駆動ユニット１００，２００では、第１メイン通路において第１オペレートチェック弁と油圧シリンダ１０の第１流体圧室との間に設けられる第２スローリターン弁（ボトム側スローリターン弁５０、ロッド側スローリターン弁７０）をさらに備え、第２スローリターン弁は、ポンプ２０の第１ポートから油圧シリンダ１０の第１流体圧室に向かう作動油の通過のみを許容するチェック弁（第１チェック弁５０Ａ、第２チェック弁７０Ａ）と、チェック弁と並列に設けられ第１流体圧室から排出される作動油の流れに対して抵抗を付与する排出絞り部（第１排出絞り部５０Ｂ、第２排出絞り部７０Ｂ）と、を有し、チェック弁は、シート部５２，７２が設けられるバルブハウジング５１と、バルブハウジング５１に設けられる収容孔５１Ａ，７１Ａに移動自在に収容されシート部５２，７２に離着座する弁体６０，８０と、を有し、抵抗部は、チェック弁の弁体６０，８０によって形成される。

　また、流体圧駆動ユニット１００では、弁体６０は、その外周に互いに平行に形成される一対の平行面６２Ａ，６２Ｂ、８２Ａ，８２Ｂを有し、抵抗部は、円形の収容孔５１Ａ，７１Ａの内周面と弁体６０，８０の外周に形成される互いに平行な一対の平行面６２Ａ，６２Ｂ、８２Ａ，８２Ｂとによって形成され、ポンプ２０の前記第１ポートから油圧シリンダ１０の第１流体圧室に向かう作動油の通過を許容する内部流路６３Ａ，６３Ｂ，８３Ａ，８３Ｂである。

　また、流体圧駆動ユニット２００では、弁体６０，８０には、ポンプ２０の第１ポートから油圧シリンダ１０の第１流体圧室に向かう作動油の流れに所定の抵抗を付与する供給絞り部（第１供給絞り部５０Ｃ）が形成され、抵抗部は、供給絞り部である。

　また、流体圧駆動ユニット３００では、下流側流路ＤＰに含まれる第１メイン通路の少なくとも一部が、上流側流路ＵＰに含まれる第１メイン通路よりも流路抵抗が大きく形成されて、抵抗部を構成する。

　また、流体圧駆動ユニット１００，２００，３００では、第２オペレートチェック弁と油圧シリンダ１０の第２流体圧室との間の流路である下流側流路ＤＰには、ポンプの第２ポートから油圧シリンダ１０の第２流体圧室に導かれる作動油の流れに対して、第２オペレートチェック弁とポンプの第２ポートとの間の流路である上流側流路ＵＰよりも大きな流路抵抗を付与する第２抵抗部（内部流路６３Ａ，６３Ｂ、内部流路８３Ａ，８３Ｂ、第２オリフィス１６５Ａ，１６５Ｂ，下流ボトム側通路１Ｂ）が設けられる

　また、流体圧駆動ユニット１００，２００，３００では、ポンプ２０の第１ポートから油圧シリンダ１０の第１流体圧室に導かれる作動油の流れに対して抵抗部が付与する流路抵抗は、油圧シリンダ１０の第２流体圧室から排出される作動油の流れに対して排出絞りが付与する流路抵抗よりも、小さく構成される。

　以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

　本願は２０２０年２月２８日に日本国特許庁に出願された特願２０２０－３３９６５に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。

Claims

　流体圧駆動ユニットであって、
　第１流体圧室及び第２流体圧室の作動流体の流体圧によって駆動する流体圧シリンダと、
　第１ポート及び第２ポートを有し、前記第１ポート及び前記第２ポートから選択的に作動流体を吐出するポンプと、
　前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室と前記ポンプの前記第１ポートとを接続する第１メイン通路と、
　前記流体圧シリンダの前記第２流体圧室と前記ポンプの前記第２ポートとを接続する第２メイン通路と、
　前記第１メイン通路に設けられ前記ポンプの前記第１ポートから前記第１流体圧室へ向かう作動流体の流れのみを許容すると共に、前記ポンプの前記第２ポートから吐出される作動流体がパイロット圧として導かれることで開弁する第１オペレートチェック弁と、
　前記第２メイン通路に設けられ前記ポンプの前記第２ポートから前記第２流体圧室へ向かう作動流体の流れのみを許容すると共に、前記ポンプの前記第１ポートから吐出される作動流体がパイロット圧として導かれることで開弁する第２オペレートチェック弁と、
　前記第２メイン通路に設けられ、前記流体圧シリンダの前記第２流体圧室から排出される作動流体の流れに抵抗を付与する第１スローリターン弁と、を備え、
　前記第１オペレートチェック弁と前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室との間の流路である下流側流路には、前記ポンプの前記第１ポートから前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室に導かれる作動流体の流れに対して、前記第１オペレートチェック弁と前記ポンプの前記第１ポートとの間の流路である上流側流路よりも大きな流路抵抗を付与する抵抗部が設けられる流体圧駆動ユニット。
　請求項１に記載の流体圧駆動ユニットであって、
　前記第１メイン通路において前記第１オペレートチェック弁と前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室との間に設けられる第２スローリターン弁をさらに備え、
　前記第２スローリターン弁は、
　前記ポンプの前記第１ポートから前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室に向かう作動流体の通過のみを許容するチェック弁と、
　前記チェック弁と並列に設けられ前記第１流体圧室から排出される作動流体の流れに対して抵抗を付与する排出絞り部と、を有し、
　前記チェック弁は、
　シート部が設けられるハウジング部と、
　前記ハウジング部に設けられる収容孔に移動自在に収容され前記シート部に離着座する弁体と、を有し、
　前記抵抗部は、前記チェック弁の前記弁体によって形成される流体圧駆動ユニット。
　請求項２に記載の流体圧駆動ユニットであって、
　前記弁体は、その外周に互いに平行に形成される一対の平行面を有し、
　前記抵抗部は、円形の前記収容孔の内周面と前記弁体の前記一対の平行面とによって形成され、前記ポンプの前記第１ポートから前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室に向かう作動流体の通過を許容する内部流路である流体圧駆動ユニット。
　請求項２に記載の流体圧駆動ユニットであって、
　前記弁体には、前記ポンプの前記第１ポートから前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室に向かう作動流体の流れに所定の抵抗を付与する供給絞り部が形成され、
　前記抵抗部は、前記供給絞り部である流体圧駆動ユニット。
　請求項１に記載の流体圧駆動ユニットであって、
　前記下流側流路に含まれる前記第１メイン通路の少なくとも一部が、前記上流側流路に含まれる前記第１メイン通路よりも流路抵抗が大きく形成されて、前記抵抗部を構成する流体圧駆動ユニット。
　請求項２に記載の流体圧駆動ユニットであって、
　前記第２オペレートチェック弁と前記流体圧シリンダの前記第２流体圧室との間の流路である下流側流路には、前記ポンプの前記第２ポートから前記流体圧シリンダの前記第２流体圧室に導かれる作動流体の流れに対して、前記第２オペレートチェック弁と前記ポンプの前記第２ポートとの間の流路である上流側流路よりも大きな流路抵抗を付与する第２抵抗部が設けられる流体圧駆動ユニット。
　請求項１に記載の流体圧駆動ユニットであって、
　前記ポンプの前記第１ポートから前記流体圧シリンダの前記第１流体圧室に導かれる作動流体の流れに対して前記抵抗部が付与する流路抵抗は、前記流体圧シリンダの前記第２流体圧室から排出される作動流体の流れに対して前記第１スローリターン弁が付与する流路抵抗よりも、小さく構成される流体圧駆動ユニット。