WO2021117620A1

WO2021117620A1 - ロボット用コントローラ

Info

Publication number: WO2021117620A1
Application number: PCT/JP2020/045187
Authority: WO
Inventors: 北野　真也; 敦史中矢; 雅也吉田; 一夫藤森
Original assignee: 川崎重工業株式会社
Priority date: 2019-12-10
Filing date: 2020-12-04
Publication date: 2021-06-17
Also published as: JP2021091078A; TW202138138A; CN114830320A; TWI770712B; JP2021091077A; WO2021117619A1; TW202137381A; KR20220100983A; US20230019019A1

Abstract

ロボットの動作を制御するロボット用コントローラは、記憶部と、演算部と、を備える。前記記憶部は、エラー発生時のログ解析又はエラー対処のために作業者を支援するための情報を記憶する。前記演算部は、前記記憶回路に記憶された内容から、作業者に対して表示する表示内容を決定するとともに、当該コントローラに接続された端末に、決定した表示内容を出力する。前記演算部は、直近に発生したエラー又はユーザが表示画面で選択したエラーに関連する関連項目を優先度順に並べて表示する。

Description

ロボット用コントローラ

　本発明は、ロボットの動作を制御するためのコントローラに関する。

　従来から、例えば、ウエハ等の基板を搬送するためにロボットが用いられている。特許文献１のロボットは、ロボットの動きを制御するためのコントローラを備えている。

特開２００８－２８１３４号公報

　ロボットは、様々な原因でエラーを発生することがある。この場合、発生するエラーに応じてメンテナンス作業を行う必要がある。ウエハ処理設備等においては、高いレベルの情報管理を実現するため、別の場所へのデータの持出しや、外部ネットワークとの通信が制限される場合も多い。このような状況において、ロボットのエラーの原因を素早く特定して解消できることが求められている。

　本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、エラー発生時の対処作業を、その場で素早く容易に実施可能とすることにある。

　本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

　本発明の観点によれば、以下の構成のロボット用コントローラが提供される。即ち、ロボットの動作を制御するロボット用コントローラは、記憶部と、演算部と、を備える。前記記憶部は、エラー発生時のログ解析又はエラー対処のために作業者を支援するための情報を記憶する。前記演算部は、前記記憶部に記憶された内容から、作業者に対して表示する表示内容を決定するとともに、当該コントローラに接続された端末に、決定した表示内容を出力する。前記演算部は、直近に発生したエラー又はユーザが表示画面で選択したエラーに関連する関連項目を優先度順に並べて表示する。

　これにより、作業者は、端末の表示内容を参照することで、エラーに対処するために必要な情報を容易に素早く見つけることができる。従って、作業者は円滑かつ的確にエラーに対処することができる。

　本発明によれば、エラー発生時の対処作業を、その場で素早く容易に実施可能とすることができる。

本発明の一実施形態に係るコントローラを備える半導体処理設備の一部を示す平面断面図。半導体処理設備の一部を切断して示す側面断面図。半導体処理設備において構築される通信ネットワークを説明する模式図。映像確認用コンピュータにおいて表示される状況確認画面の表示例を示す図。対処用コンピュータにおいて表示されるログ解析画面の表示例を示す図。エラー対処支援画面の表示例を示す図。マニュアル画面の表示例を示す図。

　次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るコントローラ４４を備える半導体処理設備２０の一部を示す平面断面図である。図２は、半導体処理設備２０の一部を切断して示す側面断面図である。図１及び図２には、ロボット２７を様々に動かした状態が２点鎖線で示されている。

　半導体処理設備２０は、処理対象基板となるウエハ２４に対して、予め定められた処理を施す。本実施形態において、ウエハ２４は、半導体ウエハである。ウエハ２４に施される処理としては、例えば、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィ処理、洗浄処理又は平坦化処理等の様々なプロセス処理を挙げることができる。半導体処理設備２０において、上述した基板処理以外の基板処理が行われてもよい。

　半導体処理設備２０は、ウエハ処理装置２２と、ウエハ移載装置２３と、を備える。半導体処理設備２０は、例えばＳＥＭＩ規格によって予め規定されたものである。ＳＥＭＩは、Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ａｎｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌの略称である。この場合、例えばフープ２５及びフープ２５を開閉するためのフープオープナ２６は、ＳＥＭＩ規格のＥ４７．１、Ｅ１５．１、Ｅ５７、Ｅ６２、Ｅ６３、Ｅ８４等の仕様に従う。ただし、半導体処理設備２０の構成がＳＥＭＩ規格と異なっていても良い。

　ウエハ処理装置２２には、所定の気体が充填される処理空間３０が形成されている。ウエハ処理装置２２は、この処理空間３０において、上述の処理をウエハ２４に施す。ウエハ処理装置２２は、ウエハ２４に処理を施す処理装置本体のほか、処理空間３０を形成する処理空間形成部と、処理空間３０でウエハ２４を搬送する搬送装置と、処理空間３０に満たされる雰囲気気体を制御する調整装置と、を備える。調整装置は、ファンフィルタユニット等によって実現される。

　ウエハ移載装置２３は、処理前のウエハ２４をフープ２５から取り出してウエハ処理装置２２に供給するとともに、処理後のウエハ２４をウエハ処理装置２２から取り出してフープ２５に再収容する。ウエハ移載装置２３は、フロントエンドモジュール装置（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　Ｆｒｏｎｔ　Ｅｎｄ　Ｍｏｄｕｌｅ；ＥＦＥＭ）として機能する。半導体処理設備２０において、ウエハ移載装置２３は、フープ２５とウエハ処理装置２２との間でのウエハ２４の受渡しを行うインタフェース部となる。ウエハ２４は、フープ２５内の空間と、ウエハ処理装置２２の処理空間３０との間を移動する間に、予め定められる雰囲気気体で満たされるクリーン度の高い準備空間２９を通過する。

　準備空間２９は、コンタミネーションコントロールが行われている閉じられた空間である。準備空間２９では、空気中における浮遊微小粒子が限定された清浄度レベル以下に管理されており、必要に応じて温度、湿度、圧力等の環境条件についても管理が行われている。本実施形態では、処理空間３０及び準備空間２９は、ウエハ２４の処理に悪影響を与えないように、所定のクリーン度に保たれる。このクリーン度としては、例えば、ＩＳＯ（国際標準化機構）に規定されるＣＬＡＳＳ１が採用される。

　ロボット２７は、ウエハ移載ロボットとして機能する。本実施形態では、ロボット２７は、ＳＣＡＲＡ（スカラ）型の水平多関節ロボットによって実現される。ＳＣＡＲＡは、Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ　Ｃｏｍｐｌｉａｎｃｅ　Ａｓｓｅｍｂｌｙ　Ｒｏｂｏｔ　Ａｒｍの略称である。ロボット２７は、準備空間２９に配置される。

　ロボット２７は、図２等に示すように、基台４１と、ロボットアーム４２と、上下駆動アクチュエータ４３ａと、水平駆動アクチュエータ４３ｂと、コントローラ４４と、を備える。

　基台４１は、ロボットアーム４２を支持するベース部材として機能する。基台４１の上面にロボットアーム４２が取り付けられている。

　ロボットアーム４２は、基端部から先端部に向かう方向に順次連結される複数のリンク体を備えるリンク構造を有する。ロボットアーム４２の先端部には、ロボットハンド４５が設けられる。ロボットハンド４５は、ウエハ２４を保持したり、保持を解除したりすることができる。ロボットハンド４５によるウエハ２４の保持の方法は様々であり、例えば、ロボットハンド４５の上にウエハ２４を載せたり、ロボットハンド４５によってウエハ２４を挟んだり、負圧によってウエハ２４をロボットハンド４５に吸着したりすること等が考えられる。

　上下駆動アクチュエータ４３ａは、ロボットアーム４２を上下方向に変位させる。上下駆動アクチュエータ４３ａは、例えば電動モータとして構成される。ロボットアーム４２が上下方向に移動することで、ロボットハンド４５の高さを変更することができる。

　水平駆動アクチュエータ４３ｂは、ロボットアーム４２の各リンク体を、対応する関節軸を中心として個別に回転させる。水平駆動アクチュエータ４３ｂは、例えば電動モータとして構成される。上下方向の関節軸を中心として各リンク体が回転することで、ロボットハンド４５を水平面内で移動させることができる。

　コントローラ４４は、予め定められる動作プログラム又はユーザから入力される移動指令に従って、上下駆動アクチュエータ４３ａ及び水平駆動アクチュエータ４３ｂを制御し、予め定められる位置にロボットハンド４５を移動させる。コントローラ４４は、図３に示すように、記憶回路（記憶部）４６と、演算回路（演算部）４７と、出力装置４８と、を備える。記憶回路４６は、所定のプログラム及び各種のデータを記憶する。演算回路４７は、前記プログラムに従って演算処理を行う。出力装置４８は、演算回路４７の演算結果に基づいて、上下駆動アクチュエータ４３ａ及び水平駆動アクチュエータ４３ｂに制御信号を出力する。記憶回路４６は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ、及びＨＤＤ等によって実現される。記憶回路４６は、揮発性メモリによって実現されても良いし、不揮発性メモリによって実現されても良い。演算回路４７は、例えば、ＣＰＵによって実現される。

　図３に示すように、半導体処理設備２０は、上位コントローラ６１を備える。上位コントローラ６１は、半導体処理設備２０を構成する様々な装置に、半導体処理工程を実行するための指令を送信する。

　上位コントローラ６１は、ロボット２７が備える前述のコントローラ４４と有線又は無線で接続されている。上位コントローラ６１は、ロボット２７が必要なタイミングで必要な動作を行うように、コントローラ４４に指令を送信する。コントローラ４４は、上位コントローラ６１から受信した指令に従って、ロボット２７を制御する。

　コントローラ４４は、何らかのエラーが発生した場合、当該エラーに関する情報を上位コントローラ６１に送信する。コントローラ４４がロボット２７を制御するためのプログラムは、複数のモジュールで構成されている。ここでモジュールとは、ロボット２７によってある動作単位を実現するためのプログラムの部分をいう。動作単位としては、例えば、ロボットハンド４５によって保持されているウエハ２４を所定位置に載置する動作、及び、所定位置に載置されているウエハ２４をロボットハンド４５によって保持する動作等が挙げられるが、これに限定されない。

　上下駆動アクチュエータ４３ａ及び水平駆動アクチュエータ４３ｂは、それぞれ電動モータとして構成される。電動モータは公知の構成であり、図示しないが、モータ駆動回路と、モータ本体と、回転位置センサと、電流センサと、を備える。モータ本体は、ステータ、ロータ及び出力軸を備える。コントローラ４４は、電動モータが所望の動作を行うように、電源回路を介してモータ駆動回路に電流を供給する。この結果、流れた電流に応じて電動モータの出力軸が回転する。

　モータ駆動回路に流れる電流は、電動モータの動作の目標値と、動作の計測値と、によって決定される。電動モータの動作の目標値としては、例えば、回転位置、回転速度、又は回転加速度に関する目標値を挙げることができる。計測値としては同様に、例えば、回転位置、回転速度、又は回転加速度に関する計測値を挙げることができる。モータ駆動回路に流れる電流の制御において、フィードバック制御則又は適応制御則等の制御則が用いられても良い。

　ロボットアーム４２のうちロボットハンド４５が固定されるリンク体には、カメラ６２が固定されている。図３に示すように、このカメラ６２は、映像確認用コンピュータ６５にネットワークを介して接続されている。映像確認用コンピュータ６５は、例えば、モバイル端末、パーソナルコンピュータ等とすることができる。

　半導体処理設備２０には、ロボットを撮影するためのカメラ６３が設けられている。カメラ６３は、コントローラ４４と有線又は無線で接続されている。

　ロボット２７に何らかの異常が発生し、トラブルシューティングの必要が生じた場合、作業者は何らかのコンピュータを操作して、対処のための情報を得ることができる。このコンピュータを、対処用コンピュータ７０と呼ぶことがある。本実施形態では、上位コントローラ６１が対処用コンピュータ７０を兼ねている。

　映像確認用コンピュータ６５は、記憶回路６６と演算回路６７とを含む。記憶回路６６は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びＨＤＤ等によって実現される。演算回路６７は、例えば、ＣＰＵによって実現される。

　例えば以下の（１）～（６）に示す情報が、映像確認用コンピュータ６５の記憶回路６６及びコントローラ４４の記憶回路４６（以下、単に記憶回路という）に記憶される。これらの記憶動作は、連続的に行われても良いし、間隔をあけて離散的に行われても良い。

　（１）カメラ６２，６３によって得られた画像に関する情報
　（２）コントローラ４４が上位コントローラ６１から受信した信号、及び、コントローラ４４が上位コントローラ６１へ送信した信号に関する情報（通信ログ情報）
　（３）コントローラ４４がロボット２７を制御するために実行したプログラムに関する情報
　（４）ロボット２７が備える電動モータの電流値、位置、速度、加速度（負の加速度を含む。以下同じ。）、位置偏差、速度偏差、及び加速度偏差に関する情報
　（５）ロボット２７が有する各種センサ（例えば、投光／遮光センサ、空気圧アクチュエータのピストン位置センサ、圧力センサ、ソレノイドバルブのバルブ位置センサ）からの出力信号に関する情報
　（６）ロボット２７が有する各種機器（例えば、ソレノイドバルブ）への入力信号に関する情報

　ここで、電動モータの電流値は、モータ駆動回路に設けられた電流センサによって計測される。電動モータの位置は、当該電動モータに設けられた回転位置センサの測定値に基づいて得ることができる。電動モータの速度及び加速度は、前記回転位置センサの測定値を時間微分することにより得ることができる。位置偏差、速度偏差、及び加速度偏差は、上述の位置、速度及び加速度と目標位置、目標速度、目標加速度との差を計算することにより得ることができる。

　上記の（１）～（６）に示す情報は、記憶回路に、時間と対応付けられた履歴として保存される。情報の保存形式は情報の種類によって様々であり、例えばテキストデータ、バイナリデータ等とすることができる。記憶回路は、直近の所定期間（例えば、１０秒程度）の（１）～（６）の情報を、履歴として記憶する。記憶後に所定期間を経過した情報は、最新の情報によって上書きされる。このような記憶は、例えばリングバッファにより実現することができる。

　コントローラ４４には、ウェブサーバアプリケーション及びデータベースアプリケーションが予めインストールされ、プログラムが上述の記憶回路４６に記憶されている。

　ところで、何らかの原因で、ロボット２７にエラーが発生することがある。この場合、映像確認用コンピュータ６５は、記憶回路６６に記憶した内容に基づいて、図４に示すような状況確認画面７１を表示することができる。この状況確認画面７１は、モデル領域７２と、映像領域７３と、ログ領域７４と、グラフ領域７５と、を含む。

　モデル領域７２には、ある時点でのロボット２７の姿勢を再現する２次元及び３次元のモデルが、コンピュータグラフィックスによって表示される。表示されるモデルの姿勢は、記憶回路６６に記憶されたモータの位置に基づいて計算される。モデル領域７２の下部にはシークバー７２ａが配置され、このシークバー７２ａには、スライダ、再生ボタン、一時停止ボタン及び逆再生ボタンが配置されている。これにより、モデル領域７２の表示においてロボット２７の動作を再現させたり、ある時点で止めたりすることができる。現実のロボット２７が例えばカメラ６３から隠れて撮影不能の位置にある場合でも、オペレータは、モデル領域７２の表示内容を参照することで、ロボット２７がどのような姿勢だったかを容易に把握することができる。

　映像領域７３には、カメラ６２により取得され、記憶回路６６に記憶された撮影画像が表示される。画像の再生位置は、前記シークバー７２ａによって指定することができる。従って、モデル領域７２におけるモデル動作の再現と、映像領域７３による動画の再生と、を同期させることができる。

　ログ領域７４には、記憶回路６６に記憶された通信ログが表示される。ログ領域７４に、ロボット２７を制御するために実行されたプログラムに関する情報が表示されても良い。

　グラフ領域７５には、記憶回路６６に記憶された電動モータの電流値や位置、速度、加速度、位置偏差、速度偏差、加速度偏差に関する情報が、それぞれ異なる色のグラフで表示される。図４に示される例では、各値を縦軸にとり、時刻を横軸にとった折れ線グラフが表示されている。グラフ領域７５の各グラフには、縦の直線（時刻図形）が表示されている。この直線の位置は、モデル領域７２及び映像領域７３において表示されている時点の時刻に対応している。

　ロボット２７において何らかのエラーが発生すると、エラー発生時点を含む所定の時間範囲（例えば、エラー発生時点の数秒前からエラー発生時点の数秒後まで）に記憶回路６６に記憶された情報が、状況確認画面７１への表示対象となる。

　シークバー７２ａにおいて再生ボタンが押されると、モデル領域７２及び映像領域７３において表示対象の情報が再生される。同様に、逆再生ボタンが押されると、表示対象の情報が逆再生される。一時停止ボタンが押されると、再生／逆再生が一時停止し、一時停止ボタンが再び押されると、一時停止が解除される。シークバー７２ａに、公知の早送り操作／巻戻し操作を行うためのボタンが含まれても良い。

　表示対象の情報が再生される場合、モデル領域７２には再現されたロボット２７の動きが表示され、映像領域７３にはカメラ６２による撮影画像が動的に表示される。再生時において、ログ領域７４には通信ログが表示され、グラフ領域７５にはグラフが表示される。ログ領域７４においては、シークバー７２ａで指示された時刻におけるログ履歴が表示される。このログ履歴は、再生に同期して刻々と追記されていく。グラフ領域７５においては、各グラフにおける前記時刻図形が、再生に同期して、横向きに移動する。

　以上の構成により、作業者は、エラー発生時に映像確認用コンピュータ６５を操作することで、エラーの原因を様々な観点から迅速に特定し、対処することが可能になる。

　上記の例では、エラー発生前後の所定の時間範囲において記憶回路６６に記憶された情報を状況確認画面７１への表示対象としている。これに代えて、エラー発生時にコントローラ４４において実行されていた動作単位又はモジュールに関して記憶された情報を状況確認画面７１への表示対象としても良い。

　上述のとおり、記憶回路６６には、エラー発生前後の所定の時間範囲における（１）～（６）の情報が記憶される。状況確認画面７１を表示するために映像確認用コンピュータ６５にインストールされたアプリケーションは、この情報の履歴を、適宜のフォーマットのファイルとして保存できる機能を有している。

　更に、上記のアプリケーションは、過去に保存されたファイルを読み込む機能を有している。ファイルの内容を記憶回路６６に読み込むことで、過去に発生したエラー前後の状況を簡単に再現することができる。保存されたファイルにおいて、各種の情報は時間と関連付けられている。従って、例えば１週間に発生したエラーを記録したファイルを読み込んで、当該エラーの発生タイミングの１秒前の時点、２秒後の時点等のパラメータを簡単に確認することができる。

　映像確認用コンピュータ６５だけでなく、コントローラ４４において、記憶回路４６に記憶された内容をファイルに保存できるように構成しても良い。このファイルは、映像確認用コンピュータ６５によって読み込むことができる。

　次に、コントローラ４４が対処用コンピュータ７０のディスプレイ（例えば、図３に示すディスプレイ６８）に表示させることが可能なログ解析画面８１について、図５を参照して説明する。

　ロボット２７に何らかのエラーが発生した場合、その時点前後の通信内容を記述した通信ログは、エラー原因の特定等のために価値の高い情報である。しかしながら、通信ログは一般に、エラーとの関連性が高いものと低いものを含んでおり、エラーとの関連性が低いものが大部分を占める場合も多い。従って、エラーとの関連性が高いものが他に埋没し、発見が難しくなるおそれがある。

　そこで本実施形態では、コントローラ４４が対処用コンピュータ７０に出力するログ解析画面８１において、通信ログの中でもエラーとの関連性が高いものを抽出して表示する機能を有している。これにより、エラーの原因特定及び対処が容易になる。対処用コンピュータ７０は、コントローラ４４に対する端末として機能する。

　具体的に説明すると、通信ログの各行には、通信の種類を示す通信コードが記述される。コントローラ４４の記憶回路４６には、通信ログの中でエラーと関連性の高い通信コードの情報が、エラーの種類を特定する情報（例えば、エラーコード）と関連付けた形で予め記憶されている。通信ログの抽出が作業者によって指示された場合、エラーコードと関連性が高い種類の通信ログだけを表示するようにフィルタされ、コントローラ４４から対処用コンピュータ７０に出力される。

　コントローラ４４は、このように絞り込まれた形で通信ログを対処用コンピュータ７０に表示させる場合に、例えば以下の（１）～（５）のような情報をまとめて同時に表示させることができる。このログ解析画面８１により、作業者が状況をより容易に理解することができる。

　（１）エラー説明領域８２。エラー説明領域８２の表示内容には、例えば、エラーの発生日時、エラーコード、及びエラーの概要が含まれる。
　（２）詳細ログ領域８３。詳細ログ領域８３の表示内容には、上記のように抽出された、エラー発生の所定時間前からエラー発生時点までの通信ログが含まれる。
　（３）動作位置領域８４。動作位置領域８４には、エラー発生時のロボット２７の姿勢を示す数値を、電動モータにおいて計測された位置又は目標値の形で表示することができる。
　（４）プログラム状態領域８５。プログラム状態領域８５には、詳細ログ領域８３に表示された通信ログに応じてロボット２７を制御するために実行されたモジュールを特定するための情報が表示される。ただし、詳細ログ領域８３において通信ログの各行が選択可能となっており、選択された行のログに応じたプログラムがプログラム状態領域８５に表示されても良い。
　（５）入出力シグナル領域８６。入出力シグナル領域８６は、ロボット２７が有する各種センサからの出力信号、及び、各種機器への入力信号が表示される。

　次に、対処用コンピュータ７０が表示可能なエラー対処支援画面８８について、図６を参照して説明する。

　コントローラ４４の記憶回路４６には、ロボット２７に何らかのエラーが発生した場合の対処方法を示すデータが記憶されている。この対処方法をコントローラ４４から対処用コンピュータ７０に出力し、ディスプレイ（例えば、図３に示すディスプレイ６８）に表示することにより、作業者のエラー対応を支援することができる。

　エラーに対処する作業を支援するためにディスプレイ６８に表示される内容としては、例えば以下の（１）～（３）とすることができる。

　（１）エラー説明領域８９。エラー説明領域８９には、エラーの発生日時及びエラーコード等が表示される。エラー説明領域８９においては、直近のエラー発生時点から過去の所定時間内に発生したエラー、又は、直近のエラー発生時点から過去の所定回数発生したエラーが、選択可能に表示されても良い。以下では、エラー説明領域８９に表示された過去のエラーをエラー履歴と呼ぶことがある。

　（２）対処内容説明領域（詳細説明領域）９０。対処内容説明領域９０には、エラー説明領域８９で説明対象となっているエラーに対応した対処方法が詳細に表示される。対処方法は、予めロボット２７のメーカによってエラーコードに対応して作成され、ＨＴＭＬデータ、画像データ、動画データ、ＰＤＦデータ等の適宜の電子データの形で、コントローラ４４の記憶回路４６に記憶される。エラー説明領域８９でエラー履歴が選択された場合、対処内容説明領域９０において、当該エラー履歴に対応した対処方法が表示されても良い。動画データは、例えば、過去にエラーが発生したときにロボット２７をカメラ６３で撮影したデータとすることができる。

　（３）関連項目一覧領域９１。関連項目一覧領域９１には、エラー説明領域８９で説明対象となっているエラーに関連する項目の一覧が表示される。エラー説明領域８９でエラー履歴が選択された場合、関連項目一覧領域９１において、当該エラー履歴に関連する項目が表示されても良い。一覧は、１又は複数の関連項目から構成される。関連項目としては、例えば、以下の（ａ），（ｂ）とすることができる。
　（ａ）今回のエラー又は選択されたエラー履歴に対して過去に対応した作業記録。作業者は、エラーが発生した場合に適宜のユーザインタフェース装置を操作することで、作業記録作成画面をディスプレイ６８に表示させることができる。このインタフェースは、例えば、ディスプレイ６８と一体的に設けられたタッチパネル、又は、ディスプレイ６８の近傍に配置されるハードウェアキー等とすることができるが、これに限定されない。作業記録作成画面で、作業者は、エラーコード、エラー発生日時、作業日時、作業者、作業内容とその結果、作業記録の標題、作業記録の重要度等を指定して、作業記録を作成することができる。作業者が対処用コンピュータ７０に入力した作業記録は、対処用コンピュータ７０からコントローラ４４に送信される。作業記録のデータを受信したコントローラ４４は、エラーコードに関連付けて、当該作業記録を記憶回路４６に記憶する。関連項目一覧領域９１には、例えば、作業記録の重要度と標題が表示される。
　（ｂ）今回のエラー又は選択されたエラー履歴に関連するエラー。関連するエラーとしては、例えば、あるエラーと同時に発生する可能性がある他のエラー、及び、あるエラーの発生に起因して発生する他のエラーが挙げられるが、これに限定されない。エラーとエラーの関連付けは、ロボット２７のメーカによって予め作成され、コントローラ４４の記憶回路４６に記憶される。エラーとエラーの関連は、作業者の操作によって記憶回路４６に登録可能に構成されても良い。関連項目一覧領域９１には、例えば、エラーコードが表示される。

　作業者は、上述のユーザインタフェース装置を適宜操作することにより、関連項目一覧領域９１において表示されている関連項目を適宜選択することができる。選択された関連項目の情報は、対処用コンピュータ７０からコントローラ４４へ送信される。コントローラ４４は、作業記録が選択された場合は当該作業記録の内容を、関連するエラーが選択された場合は当該エラーの対処方法を、それぞれ対処内容説明領域９０に表示させるように、各種データを対処用コンピュータ７０へ送信する。

　関連項目一覧領域９１には複数の関連項目を表示することができるが、コントローラ４４は、優先度が高い関連項目が上、優先度が低い関連項目が下となるように、関連項目をソートして表示するように対処用コンピュータ７０を制御することができる。図６には、関連項目一覧領域９１において優先度に応じて関連項目が並べられた状態が示されている。優先度は、例えば、エラーの発生頻度、説明画面が表示された頻度、作業記録において指定された重要度、エラー発生時の電流センサ、位置センサ検出値等の少なくとも１つから判断した関連度等の情報に基づいて決定することができる。優先度を定めるために複数の観点が用いられる場合、コントローラ４４は、例えば、エラーの発生頻度等を数値化した指標に適宜の重みを乗じたものの総和を計算し、得られた総和を優先度とすることができる。

　例えば衝突が発生した場合には、各関節を駆動する複数のモータについて同時に位置偏差の増大等の異常が検知される。一方、例えばあるモータのケーブルが断線した場合には当該モータのみについて異常が検知される。このように想定される異常検知パターンを予め記憶しておき、異常が発生した際に実際の異常検知パターンと想定異常検知パターンとの類似度を計算し、類似度の高い想定異常検知パターンに対応する異常に対するトラブルシューティング内容を優先的に表示するようにしても良い。異常検知パターンとして、複数の検知項目（位置偏差や速度偏差等）の発生／不発生の組み合わせを用いても良く、異常発生時のあるモータの電流値等の計測値を用いても良い。また、類似度としては、例えば複数の検知項目の発生／不発生の組み合わせを異常検知パターンとして用いる場合には、複数の検知項目の発生／不発生の組み合わせが一致する数を用いても良い。この場合、複数の検知項目に重み付けをすることで重要な検知項目の類似度に与える影響を大きくしても良い。

　以上の構成とすることにより、エラーの原因の特定と対処が容易になる。また、ユーザによって登録された作業記録もエラー対処支援画面８８における表示対象とすることで、過去の対処によって獲得された知識の蓄積に基づく対処が可能になり、また、そのような知識を複数人で共有することができる。関連項目は優先度が高いものから順に表示されるので、発生したエラーに対して効率的に対処することができる。

　コントローラ４４の記憶回路４６には、エラーの原因を特定するための方法、エラーの対処方法が記述された資料、及び、ロボットの使用方法が記述されたマニュアルが記憶されている。ユーザは、状況に応じてユーザインタフェース装置を操作することにより、図７に示すように、これらの資料及びマニュアルをディスプレイ６８に表示させて参照することができる。

　マニュアル画面９３を簡単に説明する。マニュアル画面９３の左側には目次表示領域９４が配置され、この目次表示領域９４には、マニュアルの目次の項目が一覧形式で表示されている。マニュアル画面９３の右側には詳細表示領域９５が配置され、この詳細表示領域９５には、目次表示領域９４で選択された目次の項目に対応するマニュアルの具体的な内容を表示することができる。目次表示領域９４の上側には検索ボックス９６が配置されており、マニュアルのテキストデータを対象とするテキスト検索を行うことができる。これにより、紙のマニュアルをロボット２７の近くまで持ち込むことが不要になる。

　以上に説明したログ解析画面８１、エラー対処支援画面８８、及びマニュアル画面９３のそれぞれの表示は、コントローラ４４に予めインストールされているウェブサーバアプリケーションと、対処用コンピュータ７０に予めインストールされているＷｅｂブラウザアプリケーションと、の連携により実現される。対処用コンピュータ７０において作業者がウェブブラウザを起動して適宜操作することにより、上述のログ解析画面８１、エラー対処支援画面８８、マニュアル画面９３を、ウェブページ等の形で例えばディスプレイ６８に表示することができる。

　各種画面を閲覧するための対処用コンピュータ７０（言い換えれば、コントローラ４４に対する端末）は、上位コントローラ６１とは別に用意されても良い。何れにせよ、閲覧側のコンピュータには、ウェブブラウザアプリケーションがインストールされる。コントローラ４４のウェブサーバは、閲覧側のコンピュータのウェブブラウザからの要求に応じて、記憶回路４６の記憶内容から表示内容を決定し、ＨＴＭＬデータ等の各種データを送信する。閲覧側のコンピュータにおいてウェブブラウザは、受信した各種データに基づいて、ウェブページ等の画面を描画する。この構成では、作業者は、一般的なウェブブラウザアプリケーションがインストールされた適宜の端末を閲覧側のコンピュータとして準備するだけで、ログ解析画面８１、エラー対処支援画面８８、及びマニュアル画面９３の機能を利用することができる。このように、本実施形態では、端末に専用アプリケーションのような特別なソフトをインストールする必要がない。従って、この構成は、一般的に電子機器の持込みが厳しく制限され、持ち込まれる電子機器に対して高度な機密保持対策が要求される半導体製造工場等において好適である。

　以上に説明したように、本実施形態において、コントローラ４４はロボット２７の動作を制御する。コントローラ４４は、記憶回路４６と、演算回路４７と、を備える。記憶回路４６は、エラー発生時のログ解析又はエラー対処のために作業者を支援するための情報を記憶する。演算回路４７は、記憶回路４６に記憶された内容から、作業者に対して表示する表示内容を決定するとともに、コントローラ４４に接続された対処用コンピュータ７０に、決定した表示内容を出力する。演算回路４７は、直近に発生したエラー又はユーザが表示画面で選択したエラーに関連する関連項目（具体的には、エラーについて過去に対応した作業記録、又は、エラーに関連する他のエラー）を優先度順に並べて表示する。

　これにより、エラーに対処するために必要な情報を作業者が容易に素早く見つけることができるので、円滑かつ的確にエラーに対処することができる。

　また、本実施形態のコントローラ４４において、記憶回路４６は、直近の所定期間における情報を記憶して、この情報の記憶後に所定期間が経過したときには、記憶した情報を上書きするように、新たな直近の所定期間における情報を記憶する。演算回路４７は、記憶回路４６に記憶された情報のうち、エラー発生時点を含む所定の時間範囲で記憶された情報を表示内容とする。

　これにより、エラーの原因の特定と対処が容易になる。

　また、本実施形態のコントローラ４４において、優先度は、エラーの発生頻度、説明画面が表示された頻度、作業記録において指定された重要度、エラー発生時の電流センサ、位置センサ検出値の少なくとも何れか１つの事項を含む情報に基づいて決定される。

　これにより、適切な優先度を容易に得ることができる。

　また、本実施形態のコントローラ４４において、優先度の決定のために前記の複数の事項を含む情報が用いられる場合、優先度は、それぞれの事項を数値化した指標に適宜の重みが乗じられたものの総和に基づいて決定される。

　これにより、優先度を状況に応じて容易に決定することができる。

　以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

　ロボット２７の正常状態における情報を、映像確認用コンピュータ６５の記憶回路６６及びコントローラ４４の記憶回路４６のうち少なくとも何れかに記憶しても良い。この場合、エラーが発生したときは、映像確認用コンピュータ６５又は対処用コンピュータ７０において、正常状態での情報を参考のために表示することができる。この構成は、映像確認用コンピュータ６５が表示する状況確認画面７１におけるグラフ領域７５において特に有利である。グラフ領域７５のグラフは正常状態でも大きく変動することがあり、比較の基準がないと異常と正常の区別が難しいからである。正常状態におけるグラフの特徴を示すパラメータ（例えば、値の平均値、最大値、最小値等）を、グラフ領域７５のグラフにおいて併せて表示することもできる。

　ログ解析画面８１、エラー対処支援画面８８及びマニュアル画面９３のうち少なくとも何れかを表示させるコンピュータは、ロボット２７への教示作業を行うために操作されるティーチペンダントであっても良い。

　ロボット２７に取り付けられるカメラ６２で取得された画像は、ティーチペンダントによって教示作業を行う際に補助的に用いることもできる。

　映像確認用コンピュータ６５と、対処用コンピュータ７０とを、１つのハードウェア（コンピュータ）で実現しても良い。

　映像確認用コンピュータ６５が表示する状況確認画面７１についても、ログ解析画面８１等と同様に、ブラウザベースで表示されても良い。

　２７　ロボット
　４４　コントローラ（ロボット用コントローラ）
　４６　記憶回路（記憶部）
　４７　演算回路（演算部）
　８８　エラー対処支援画面
　９１　関連項目一覧領域

Claims

　ロボットの動作を制御するロボット用コントローラであって、
　エラー発生時のログ解析又はエラー対処のために作業者を支援するための情報を記憶する記憶部と、
　前記記憶部に記憶された内容から、作業者に対して表示する表示内容を決定するとともに、当該ロボット用コントローラに接続された端末に、決定した表示内容を出力する演算部と、
を備え、
　前記演算部は、直近に発生したエラー又はユーザが表示画面で選択したエラーに関連する関連項目を優先度順に並べて表示することを特徴とするロボット用コントローラ。
　請求項１に記載のロボット用コントローラであって、
　前記記憶部は、直近の所定期間における情報を記憶して、この情報の記憶後に前記所定期間が経過したときには、記憶した情報を上書きするように、新たな直近の所定期間における情報を記憶し、
　前記演算部は、前記記憶部に記憶された情報のうち、エラー発生時点を含む所定の時間範囲で記憶された情報を表示内容とすることを特徴とするロボット用コントローラ。
　請求項１又は２に記載のロボット用コントローラであって、
　前記優先度は、エラーの発生頻度、説明画面が表示された頻度、作業記録において指定された重要度、エラー発生時の電流センサ、位置センサ検出値の少なくとも何れか１つの事項を含む情報に基づいて決定されることを特徴とするロボット用コントローラ。
　請求項３に記載のロボット用コントローラであって、
　前記優先度の決定のために複数の前記事項を含む情報が用いられる場合、前記優先度は、それぞれの前記事項を数値化した指標に適宜の重みが乗じられたものの総和に基づいて決定されることを特徴とするロボット用コントローラ。