WO2020196051A1 - 光学フィルタ - Google Patents

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WO2020196051A1
WO2020196051A1 PCT/JP2020/011524 JP2020011524W WO2020196051A1 WO 2020196051 A1 WO2020196051 A1 WO 2020196051A1 JP 2020011524 W JP2020011524 W JP 2020011524W WO 2020196051 A1 WO2020196051 A1 WO 2020196051A1
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WO
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optical
multilayer film
optical filter
infrared region
specific
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PCT/JP2020/011524
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French (fr)
Inventor
崇 長田
貴尋 坂上
Original Assignee
Ａｇｃ株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11—Anti-reflection coatings
    • G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • G02B1/115—Multilayers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/02—Physical, chemical or physicochemical properties
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B11/00—Filters or other obturators specially adapted for photographic purposes

Definitions

  • the present invention relates to an optical filter that transmits light having a wavelength in the infrared region.
  • Solid-state image sensors such as CCD (Charge Coupled Device) image sensors and CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensors have stronger sensitivity to infrared light than human luminosity characteristics. Therefore, for example, in a digital camera, a digital video, or the like, spectroscopic correction is performed by using an optical filter such as an infrared cut filter.
  • CCD Charge Coupled Device
  • CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor
  • imaging can be performed by incident light having a wavelength in the visible region during the daytime.
  • incident light having a wavelength in the visible region during the daytime.
  • An optical filter that transmits light in both the visible region and the infrared region can be configured by appropriately designing the optical multilayer film installed on the substrate. That is, by forming an optical multilayer film having a repeating structure of a high refractive index layer and a low refractive index layer, the above-mentioned optical characteristics can be exhibited.
  • Patent Documents 1 and 2 describe an optical filter capable of transmitting light in both the visible region and the infrared region by a repeating structure of a high refractive index layer and a low refractive index layer.
  • the present invention has been made in view of such a background, and in the present invention, an optical filter capable of significantly suppressing variations in optical characteristics even when the number of layers contained in the optical multilayer film is large.
  • the purpose is to provide.
  • the average transmittance of light in the specific visible region defined as the wavelength range of 430 nm to 650 nm is 80% or more, and the average transmittance of light in the specific infrared region defined as the wavelength range of 900 nm to 1000 nm is 25% to 85%.
  • the average transmittance of light in the specific visible region is 80% or more, the average transmittance of light in the specific infrared region is in the range of 45% to 65%, and the specific visible region and the specific infrared region In between, a first optical multilayer film having a first blocking band that blocks light, The average transmittance of light in the specific visible region is 80% or more, the average transmittance of light in the specific infrared region is in the range of 45% to 65%, and the wavelength is longer than the specific infrared region. , A second optical multilayer film having a second blocking band that blocks light, An optical filter having the above is provided.
  • an optical filter capable of significantly suppressing variations in optical characteristics even when the number of layers contained in the optical multilayer film is large.
  • the transmittance of the glass substrate and the optical filter in one embodiment of the present invention is a value in consideration of reflection at the interface between the substrate and air.
  • the transmittance of the optical multilayer film represents the transmittance when the optical multilayer film is provided on the white plate glass, and this transmittance is a value considering the reflection on the back surface side where the optical multilayer film of the white plate glass is not provided. Is.
  • the average transmittance of light in the specific visible region defined as the wavelength range of 430 nm to 650 nm is 80% or more, and the average transmittance of light in the specific infrared region defined as the wavelength range of 900 nm to 1000 nm is 25% to 85%.
  • the average transmittance of light in the specific visible region is 80% or more, the average transmittance of light in the specific infrared region is in the range of 45% to 65%, and the specific visible region and the specific infrared region In between, a first optical multilayer film having a first blocking band that blocks light, The average transmittance of light in the specific visible region is 80% or more, the average transmittance of light in the specific infrared region is in the range of 45% to 65%, and the wavelength is longer than the specific infrared region. , A second optical multilayer film having a second blocking band that blocks light, An optical filter having the above is provided.
  • the "specific visible region” represents a wavelength range of 430 nm to 650 nm
  • the “specific infrared region” represents a wavelength range of 900 nm to 1000 nm. Further, as will be described later, a wavelength range of 1100 nm to 1200 nm is particularly referred to as a “second specific infrared region”.
  • the optical filter according to the embodiment of the present invention has a glass substrate.
  • the glass substrate is characterized in that the average transmittance of light in the specific visible region is 80% or more, and the average transmittance of light in the specific infrared region is 25% to 85%.
  • FIG. 1 schematically shows an example of the transmittance characteristics of the glass substrate used in the optical filter according to the embodiment of the present invention.
  • this glass substrate has a high transmittance in the specific visible region, and the average transmittance in the specific visible region is 80% or more.
  • the glass substrate has a feature that the transmittance in the specific infrared region is lower than that in the specific visible region, and the average transmittance in the specific infrared region is in the range of 25% to 85%.
  • the optical filter according to the embodiment of the present invention has a first optical multilayer film.
  • the first optical multilayer film has an average transmittance of light in a specific visible region of 80% or more, and an average transmittance of light in a specific infrared region in the range of 45% to 65%. Further, the first optical multilayer film is characterized by having a first blocking band that blocks light between the specific visible region and the specific infrared region.
  • FIG. 2 schematically shows an example of the transmittance characteristics of the first optical multilayer film used in the optical filter according to the embodiment of the present invention.
  • the first optical multilayer film has a first transmission band B t1 in a specific visible region and a second transmission band B t2 in a specific infrared region. Further, the first optical multilayer film has a first blocking band C t1 between the first transmission band B t1 and the second transmission band B t 2.
  • the first transmittance band B t1 has a high transmittance, for example, the average transmittance in the specific visible region is 80% or more.
  • the second transmittance band B t2 has a medium or higher transmittance, and for example, the average transmittance in the specific infrared region is in the range of 45% to 65%.
  • the first blocking zone C t1 has a low transmittance, and for example, the average transmittance in the wavelength range of 780 nm to 830 nm is 3% or less.
  • the optical characteristics of the first optical multilayer film at wavelengths higher than the specific infrared region are not particularly limited. Therefore, the curve shown in FIG. 2 is merely an example.
  • optical filter according to the embodiment of the present invention has a second optical multilayer film.
  • the second optical multilayer film has an average transmittance of light in a specific visible region of 80% or more, and an average transmittance of light in a specific infrared region in the range of 45% to 65%. Further, the second optical multilayer film is characterized by having a second blocking band that blocks light on the longer wavelength side than the specific infrared region.
  • FIG. 3 schematically shows an example of the transmittance characteristics of the second optical multilayer film used in the optical filter according to the embodiment of the present invention.
  • the second optical multilayer film having a first transmission band B u1 to a specific visible region, having a second transmission band B u2 in particular infrared region. Further, the second optical multilayer film, the longer wavelength side than the second transmission band B u2, having a second cut-off band C u2.
  • the first transmission band Bu1 has a high transmittance.
  • the average transmittance of the specific visible region is 80% or more.
  • the second transmittance band Bu2 has a medium transmittance, for example, the average transmittance in the specific infrared region is in the range of 45% to 65%.
  • the second blocking zone Cu2 has a low transmittance, for example, the average transmittance in the wavelength range of 1050 nm to 1200 nm is 5% or less.
  • the optical characteristics between the specific visible region and the specific infrared region are not particularly limited. Therefore, the curve shown in FIG. 3 is merely an example.
  • the optical filter according to the embodiment of the present invention has a glass substrate having the above-mentioned characteristics, a first optical multilayer film, and a second optical multilayer film, the optical characteristics of the optical filter are the optical characteristics of each member. As a combination of, it is represented as shown in FIG.
  • FIG. 4 schematically shows an example of the transmittance characteristics obtained in the optical filter according to the embodiment of the present invention.
  • the transmission curve of the optical filter according to an embodiment of the present invention has a first transmission band B a1 to specific visible region, a second transmission band B a2 in particular infrared region Have.
  • the transmittance curve of the optical filter according to the embodiment of the present invention has a first blocking band C a1 between the first transmission band B a1 and the second transmission band B a2 , and has a second blocking band C a1 . It has a second blocking band C a2 on the longer wavelength side than the transmission band B a2 .
  • the first transmittance band Ba1 has a high transmittance, for example, the average transmittance in the specific visible region is 80% or more.
  • the second transmittance band Ba2 has a medium transmittance, and for example, the average transmittance in the specific infrared region is in the range of 40% to 90%.
  • the first blocking band C a1 has a low transmittance, for example, the average transmittance in the wavelength range of 700 nm to 850 nm is 5% or less.
  • the second blocking zone C a2 has a low transmittance, and for example, the average transmittance in the wavelength range of 1050 nm to 1200 nm is 5% or less.
  • the first transmission band B a1 is recognized over a wavelength range of 430 nm to 650 nm
  • the second transmission band B a2 is recognized over a wavelength range of 900 nm to 1000 nm.
  • the first transmittance band Ba1 may exist in a narrower region as long as the average transmittance in the specific visible region is 80% or more.
  • the second transmittance band Ba2 may exist in a narrower region as long as the average transmittance in the specific infrared region is in the range of 40% to 60%.
  • the first blocking band C a1 is recognized in the wavelength range of 700 nm to 850 nm
  • the second blocking band C a2 is recognized in the wavelength region of 1000 nm or more.
  • the first blocking zone C a1 may be present in a narrower region as long as the average transmittance in the wavelength range of 700 nm to 850 nm is 5% or less.
  • the optical filter according to the embodiment of the present invention can transmit light in both the specific visible region and the specific infrared region. Therefore, the optical filter according to the embodiment of the present invention can be used, for example, in an imaging device that continuously captures images day and night.
  • the glass substrate is characterized in that the average transmittance of light in a specific infrared region is 25% to 85%.
  • the variation in optical characteristics tends to increase accordingly. This is because when the number of layers contained in the optical multilayer film increases, even a slight variation in the thickness of each layer cannot ignore the effect on the optical characteristics. In particular, in a specific infrared region, as the number of layers constituting the optical multilayer film increases, optical characteristics such as transmittance will vary widely to a considerable extent.
  • the optical filter according to the embodiment of the present invention even if the number of layers contained in the first optical multilayer film and / or the second optical multilayer film is large, the glass substrate, the first optical multilayer film, It is possible to significantly suppress the variation in the optical characteristics in the second transmission band Ba2 , which is expressed by the combination of the second optical multilayer film and the second optical multilayer film.
  • the transmittance of the optical filter in the specific infrared region is somewhat lowered due to the light absorption characteristic of the glass substrate.
  • the transmittance of the second transmission band Ba2 of the optical filter according to the embodiment of the present invention can still be maintained in the range of, for example, 40% to 60%.
  • the problem of the angle dependence of the incident light that may occur in the second transmission band Ba2 can be significantly suppressed due to the above-mentioned characteristics.
  • a transmission band is expressed in a specific infrared region by a suitable combination of optical multilayer films.
  • optical characteristics of such an optical multilayer film change depending on the incident angle of light.
  • the second transmission band Ba2 in the specific infrared region is reduced to, for example, 40% to 60% depending on the absorption characteristics of the glass substrate. Further, the absorption characteristics of such a glass substrate are characterized in that the dependence on the incident angle is relatively small.
  • the optical characteristics of the second transmission band Ba2 are less likely to be affected by the angle of the incident light, and the problem of angle dependence can be alleviated.
  • FIG. 5 schematically shows a cross section of an optical filter (hereinafter, referred to as “first optical filter”) 100 according to an embodiment of the present invention.
  • the first optical filter 100 includes a glass substrate 110, a first optical multilayer film 130, and a second optical multilayer film 160.
  • the glass substrate 110 has a first main surface 112 and a second main surface 114 facing each other, and the first optical multilayer film 130 and the second optical multilayer film 160 are both the first of the glass substrate 110. It is arranged on the main surface 112 of 1.
  • the second optical multilayer film 160 is installed closer to the substrate than the first optical multilayer film 130.
  • the first optical multilayer film 130 and the second optical multilayer film 160 may be arranged in the reverse order.
  • the glass substrate 110 has an average transmittance of light of 80% or more in a specific visible region. Further, the glass substrate 110 has an average transmittance of light in a specific infrared region in the range of 25% to 85%.
  • the glass substrate 110 has, for example, the transmittance characteristics as shown in FIG. 1 described above.
  • the first optical multilayer film 130 has an average transmittance of light of 80% or more in a specific visible region. Further, the first optical multilayer film 130 has an average transmittance of light in a specific infrared region in the range of 45% to 65%, and blocks light between the specific visible region and the specific infrared region. Has a blocking zone.
  • the first optical multilayer film 130 may have, for example, the transmittance characteristics as shown in FIG. 2 described above.
  • the first optical multilayer film 130 has a repeating structure of a "high refractive index layer” and a “low refractive index layer”.
  • the "high refractive index layer” means a layer having a refractive index of 2.0 or more at a wavelength of 500 nm
  • the "low refractive index layer” means a layer having a refractive index of 1.6 or less at a wavelength of 500 nm. To do.
  • the first optical multilayer film 130 has a first high refractive index layer 132-1, a first low refractive index layer 132-2, and a second high refractive index layer 132-. 3. It has a second low refractive index layer 132-4, ..., A third low refractive index layer 132-m.
  • m is, for example, an integer of 2 to 100.
  • the second optical multilayer film 160 has an average transmittance of light of 80% or more in a specific visible region. Further, the second optical multilayer film 160 has an average transmittance of light in the specific infrared region in the range of 45% to 65%, and blocks light on the longer wavelength side than the specific infrared region. It has a blocking zone.
  • the second optical multilayer film 160 may have, for example, the transmittance characteristics as shown in FIG. 3 described above.
  • the second optical multilayer film 160 also has a repeating structure of a “high refractive index layer” and a “low refractive index layer”.
  • the second optical multilayer film 160 has a first high refractive index layer 162-1, a first low refractive index layer 162-2, and a second high refractive index layer 162-2. 3. It has a second low refractive index layer 162-4, ..., Nth low refractive index layer 162-n.
  • n is, for example, an integer of 2 to 130.
  • the configuration of the second optical multilayer film 160 for example, the thickness of each layer is different from that of the first optical multilayer film 130.
  • the first optical filter 100 having such a configuration can obtain the transmittance characteristics as shown in FIG. 4 described above.
  • the influence of the characteristic variation that may occur on the first optical multilayer film 130 and the second optical multilayer film 160 is significantly reduced by the light absorption characteristics of the glass substrate 110. Or be excluded.
  • the optical characteristics in the second transmission band Ba2 are exhibited .
  • the variation can be significantly suppressed.
  • the first optical filter 100 can significantly suppress the dependence of light on the incident angle in a specific infrared region.
  • the glass substrate 110 may have any composition as long as it has the above-mentioned characteristics.
  • the glass substrate 110 may be an infrared absorbing glass containing an infrared absorbing component.
  • the infrared absorbing component may be, for example, iron and / or copper.
  • the amount of the infrared absorbing component may be 0.05 cation% or more.
  • the glass substrate 110 include, but are not limited to, copper-containing fluorinated glass, copper-containing phosphoric acid glass, and iron-containing phosphoric acid glass.
  • the glass substrate 110 has an average transmittance of 80% or more in the specific visible region.
  • the average transmittance in the specific visible region is preferably 81% or more, and more preferably 82% or more.
  • the glass substrate 110 has an average transmittance of 25% to 85% in a specific infrared region.
  • the average transmittance in the specific infrared region is preferably in the range of 30% to 80%, and more preferably in the range of 35% to 75%.
  • the thickness of the glass substrate 110 is not particularly limited. However, when the first optical filter 100 is used for a small device, the thickness of the glass substrate 110 is preferably in the range of 0.05 mm to 2 mm in order to reduce the thickness of the first optical filter 100.
  • the glass substrate 110 has an average transmittance in a specific infrared region of T glass (%).
  • T glass ⁇ T t1 + t2 (1) May be satisfied.
  • T t1 + t2 (%) is the average transmittance in the specific infrared region obtained by the combination of the first optical multilayer film 130 and the second optical multilayer film 160.
  • the first optical multilayer film 130 may have any layer structure as long as it has the above-mentioned characteristics.
  • the first optical multilayer film 130 may have a repeating structure of a high refractive index layer and a low refractive index layer.
  • the number of repetitions is not particularly limited, but is, for example, in the range of 1 to 50 times (that is, the number of layers is 2 to 100).
  • the number of repetitions is preferably 20 times or less, and more preferably 15 times or less.
  • the number of repetitions in the first optical multilayer film 130 is increased to, for example, 20 times or more, the variation in optical characteristics can be significantly suppressed. Therefore, the number of repetitions can be significantly increased as compared with the conventional case, which makes it possible to perform a more precise optical design of the optical filter.
  • the high refractive index layer examples include titanium oxide, tantalum oxide, niobium oxide and the like.
  • Examples of the low refractive index layer include silicon oxide and magnesium fluoride.
  • the refractive index of titanium oxide at a wavelength of 500 nm is generally in the range of 2.3 to 2.8, and the refractive index of silicon oxide is generally in the range of 1.4 to 1.5, although it depends on the crystalline state. Is.
  • the transmittance characteristics as shown in FIG. 2 described above can be obtained by adjusting the thickness of each high refractive index layer and each low refractive index layer.
  • the second optical multilayer film 160 may have any layer structure as long as it has the above-mentioned characteristics.
  • the second optical multilayer film 160 may have a repeating structure of a high refractive index layer and a low refractive index layer.
  • the number of repetitions is not particularly limited, but is, for example, in the range of 1 to 70 times (that is, the number of layers is 2 to 140).
  • the number of repetitions is preferably 50 times or less, and more preferably 26 times or less.
  • the number of repetitions in the second optical multilayer film 160 is increased to, for example, 20 times or more, the variation in optical characteristics can be significantly suppressed. Therefore, the number of repetitions can be significantly increased as compared with the conventional case.
  • Examples of the high refractive index layer include titanium oxide, and examples of the low refractive index layer include silicon oxide.
  • the transmittance characteristics as shown in FIG. 3 described above can be obtained by adjusting the thickness of each high refractive index layer and each low refractive index layer.
  • the first optical filter 100 has, for example, the transmittance characteristics as shown in FIG.
  • the first optical filter 100 may have an average transmittance of 80% or more in a specific visible region.
  • the average transmittance in the specific visible region is preferably 85% or more, and more preferably 90% or more.
  • the first optical filter 100 has a first transmission band Ba1 in a specific visible region.
  • the first transmission band B a1 may be present over a range of wavelengths 430 nm ⁇ 650 nm.
  • the first optical filter 100 has a second transmission band Ba2 in a specific infrared region.
  • the second transmission band B a2 may be present over a range of wavelengths 900 nm ⁇ 1000 nm.
  • the second transmission band B a2 may even central wavelength in the range of 920 nm ⁇ 980 nm, or the center wavelength may be in a range of 930 nm ⁇ 960 nm.
  • the first optical filter 100 may have an average transmittance of less than 3% in the wavelength range of 780 nm to 830 nm. Further, the first optical filter 100 may have an average transmittance of 2.5% or less in the second specific infrared region.
  • V 2 100 (%)- Average transmittance (%) in the specific infrared region of the first optical filter 100 Eq. (4) It is represented by.
  • the "second specific infrared region” represents a wavelength range of 1100 nm to 1200 nm.
  • FIG. 6 schematically shows a cross section of an optical filter (hereinafter, referred to as “second optical filter”) 200 according to another embodiment of the present invention.
  • the second optical filter 200 has a glass substrate 110, a first optical multilayer film 130, and a second optical multilayer film 160.
  • the arrangement of the first and second optical multilayer films is different from that of the above-mentioned first optical filter 100. That is, in the second optical filter 200, the first optical multilayer film 130 is installed on the side of the first main surface 112 of the glass substrate 110, and the first optical multilayer film 130 is installed on the side of the second main surface 114 of the glass substrate 110. The optical multilayer film 160 of 2 is installed.
  • the same effect as in the case of the first optical filter 100 that is, the number of layers contained in the first optical multilayer film 130 and / or the second optical multilayer film 160 is obtained. Even if the number increases, the effect that the variation in the optical characteristics in the second transmission band Ba2 can be significantly suppressed can be obtained.
  • the second optical filter 200 can also significantly suppress the dependence of light on the incident angle in the specific infrared region.
  • optical filter may have a different configuration in the present invention.
  • a third optical multilayer film having a third blocking band may be further installed in a specific visible region.
  • the first and second optical filters 100 and 200 having such characteristics can be applied to, for example, imaging devices such as surveillance cameras, in-vehicle cameras, and webcams.
  • Example 1 and Example 2 are examples, and Example 3 is a comparative example.
  • the simulation calculation was performed using optical thin film design software (TF Calc, Software Spectra Inc). Further, the second main surface 114 has an antireflection film (not shown).
  • Example 1 A glass substrate, a first optical multilayer film, and a second optical multilayer film were combined to form an optical filter as shown in FIG. 5 (hereinafter, referred to as "optical filter according to Example 1").
  • infrared absorbing glass having the composition of "Glass A” in Table 1 below was used.
  • the thickness of the glass substrate is 0.3 mm.
  • FIG. 7 shows the optical characteristics of the glass A.
  • the average transmittance T glass in the specific infrared region of glass A was 46.9%.
  • the average transmittance of glass A in the second specific infrared region was 38.3%.
  • Tables 2 and 3 below show the configurations of the first optical multilayer film and the second optical multilayer film laminated on the glass substrate, respectively.
  • the first optical multilayer film has a repeating structure of a high refractive index layer and a low refractive index layer, and the number of layers is 22.
  • the second optical multilayer film has a repeating structure of a high refractive index layer and a low refractive index layer, and the number of layers is 52.
  • the high refractive index layer was designated as TiO 2 and the low refractive index layer was designated as SiO 2 .
  • the first optical multilayer film was laminated on the second optical multilayer film. That is, the glass substrate, the second optical multilayer film, and the first optical multilayer film were laminated in this order to form the optical filter according to Example 1.
  • Example 1 a total of 52 layers are laminated on one main surface of the glass substrate in order from the first layer having a thickness of 26.75 nm, which constitutes the second optical multilayer film, and then further. A total of 22 layers were laminated in order from the first layer having a thickness of 107.45 nm, which constitutes the optical multilayer film 1.
  • FIG. 8 shows the optical characteristics of the first optical multilayer film obtained by simulation calculation. Further, FIG. 9 shows the optical characteristics of the second optical multilayer film obtained by simulation calculation.
  • the average transmittance T t1 + t2 (%) in the specific infrared region of the combination of the first optical multilayer film and the second optical multilayer film was 79.4%.
  • FIG. 10 shows the optical characteristics of the optical filter according to Example 1 obtained by simulation calculation.
  • the average transmittance of the optical filter according to Example 1 in the specific visible region was 96.9%.
  • the average transmittance in the specific infrared region was 40.1%, and the average transmittance in the second specific infrared region was 1.0%.
  • Example 2 An optical filter (hereinafter referred to as "optical filter according to Example 2") was constructed by the same method as in Example 1.
  • infrared absorbing glass having the composition of "glass B" in Table 1 described above was used as the glass substrate.
  • FIG. 11 shows the optical characteristics of the glass B.
  • the average transmittance T glass in the specific infrared region of glass B was 80.0%.
  • the average transmittance of glass B in the second specific infrared region was 84.2%.
  • FIG. 12 shows the optical characteristics of the optical filter according to Example 2 obtained by simulation calculation.
  • the average transmittance of the optical filter according to Example 2 in the specific visible region was 94.3%.
  • the average transmittance in the specific infrared region was 42.5%, and the average transmittance in the second specific infrared region was 1.8%.
  • the absorption contribution degree P and the second absorption contribution degree Q of the glass substrate were obtained.
  • the absorption contribution P was 34.8%
  • the second absorption contribution Q was 15.4%.
  • Example 3 An optical filter (hereinafter referred to as "optical filter according to Example 3") was constructed by the same method as in Example 1.
  • glass C commercially available glass (D263, manufactured by Shott) was used as the glass substrate.
  • this glass substrate will be referred to as "glass C”.
  • FIG. 13 shows the optical characteristics of glass C.
  • the average transmittance T glass in the specific infrared region of glass C was 92.0%.
  • the average transmittance of glass C in the second specific infrared region was 92.0%.
  • FIG. 14 shows the optical characteristics of the optical filter according to Example 3 obtained by simulation calculation.
  • the average transmittance of the optical filter according to Example 3 in the specific visible region was 98.0%.
  • the average transmittance in the specific infrared region was 74.3%, and the average transmittance in the second specific infrared region was 2.6%.
  • the absorption contribution degree P and the second absorption contribution degree Q of the glass substrate were obtained.
  • the absorption contribution P was 31.3%
  • the second absorption contribution Q was 8.2%.
  • Table 4 summarizes the main optical characteristics of the optical filters according to Examples 1 to 3.
  • the first optical multilayer film having the configuration shown in Table 2 above and the second optical multilayer film having the configuration shown in Table 3 above are laminated on the glass substrate.
  • total number of layers: 74 layers total number of layers
  • optical filters according to Examples 1 and 2 significantly suppress the variation in optical characteristics in the specific infrared region.

Abstract

４３０～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、を有する、光学フィルタ。

Description

光学フィルタ
　本発明は、赤外領域の波長の光を透過する光学フィルタに関する。
　ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ　Ｍｅｔａｌ　Ｏｘｉｄｅ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサ等の固体撮像素子は、人間の視感度特性に比べて赤外光に強い感度を有する。このため、例えばデジタルカメラやデジタルビデオ等では、赤外線カットフィルタ等の光学フィルタを用いることにより分光補正が行われている。
　一方、昼夜連続で撮像を行う監視カメラ等の撮像装置では、昼間は可視領域の波長を有する光が入射することで撮像を行うことができる。しかしながら、夜間は暗視下であるため、赤外領域の波長を有する光を取り込んで撮像を行う必要がある。このため、可視領域および赤外領域の両方の光を透過する光学フィルタを用いて分光補正を行うことが必要となる。
　なお、可視領域と赤外領域の両方の光を透過する光学フィルタは、基板の上に設置される光学多層膜を適正に設計することにより構成可能である。すなわち、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造を有する光学多層膜を形成することにより、前述のような光学特性を発現させることができる。
　例えば、特許文献１、２には、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造により、可視領域と赤外領域の両方の光を透過できる光学フィルタが記載されている。
特開２００６－１０７６４号公報 特開２０１６－１０９８０９号公報
　従来の光学フィルタでは、光学多層膜に含まれる層の数が増加すると、量産時に光学フィルタごとの光学特性のばらつきが大きくなる傾向にある。これは、光学多層膜に含まれる層の数が多くなると、それぞれの層の厚さの変動が、光学特性に及ぼす影響が無視できなくなるからである。特に、赤外領域では、光学多層膜を構成する層の数が増加すると、透過率等の光学特性に無視できないほどのばらつきが生じ得る。
　本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、光学多層膜に含まれる層の数が多くなっても、光学特性のばらつきを有意に抑制することが可能な光学フィルタを提供することを目的とする。
　本発明では、光学フィルタであって、
　４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
　前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
　前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
　を有する、光学フィルタが提供される。
　本発明では、光学多層膜に含まれる層の数が多くなっても、光学特性のばらつきを有意に抑制することが可能な光学フィルタを提供することができる。
本発明の一実施形態による光学フィルタに含まれるガラス基板の透過率特性の一例を、模式的に示した図である。 本発明の一実施形態による光学フィルタに含まれる第１の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示した図である。 本発明の一実施形態による光学フィルタに含まれる第２の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示した図である。 本発明の一実施形態による光学フィルタにおいて得られる透過率特性の一例を、模式的に示した図である。 本発明の一実施形態による光学フィルタの断面を模式的に示した図である。 本発明の別の実施形態による光学フィルタの断面を模式的に示した図である。 本発明の一実施形態に使用されるガラスＡの光学特性を示したグラフである。 本発明の一実施形態に使用される第１の光学多層膜の、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである 本発明の一実施形態に使用される第２の光学多層膜の、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである 本発明の一実施形態に係る光学フィルタの、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである。 本発明の別の実施形態に使用されるガラスＢの光学特性を示したグラフである。 本発明の別の実施形態に係る光学フィルタの、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである。 比較例に使用されるガラスＣの光学特性を示したグラフである。 比較例に係る光学フィルタの、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである。
　以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
　なお、本発明の一実施形態におけるガラス基板および光学フィルタの透過率は、特に記載がない限り、基板と空気との界面の反射を考慮した値である。また、光学多層膜の透過率は、白板ガラスに光学多層膜を設けた場合の透過率を表し、この透過率は、白板ガラスの光学多層膜が設けられていない裏面側の反射を考慮した値である。
　本発明の一実施形態では、
　光学フィルタであって、
　４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
　前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
　前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
　を有する、光学フィルタが提供される。
　本願において、「特定可視領域」とは、波長が４３０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲を表し、「特定赤外領域」とは、波長が９００ｎｍ～１０００ｎｍの範囲を表す。また、後述するように、波長１１００ｎｍ～１２００ｎｍの範囲を、特に「第２特定赤外領域」と称する。
　本発明の一実施形態による光学フィルタは、ガラス基板を有する。該ガラス基板は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％であるという特徴を有する。
　図１には、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用されるガラス基板の透過率特性の一例を、模式的に示す。
　図１に示すように、このガラス基板は、特定可視領域における透過率が高くなっており、特定可視領域における平均透過率は、８０％以上である。
　また、ガラス基板は、特定赤外領域では、特定可視領域に比べて透過率が低下する特徴を有し、特定赤外領域における平均透過率は、２５％～８５％の範囲である。
　また、本発明の一実施形態による光学フィルタは、第１の光学多層膜を有する。
　該第１の光学多層膜は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲である。また、第１の光学多層膜は、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有するという特徴を有する。
　図２には、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用される第１の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示す。
　図２に示すように、第１の光学多層膜は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂｔ１を有し、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂｔ２を有する。また、第１の光学多層膜は、第１の透過帯Ｂｔ１と、第２の透過帯Ｂｔ２との間に、第１の遮断帯Ｃｔ１を有する。
　第１の光学多層膜において、第１の透過帯Ｂｔ１は、高い透過率を有し、例えば、特定可視領域の平均透過率は、８０％以上である。
　また、第２の透過帯Ｂｔ２は、中程度以上の透過率を有し、例えば、特定赤外領域の平均透過率は、４５％～６５％の範囲である。
　一方、第１の遮断帯Ｃｔ１は、低い透過率を有し、例えば、波長７８０ｎｍ～８３０ｎｍの範囲における平均透過率は、３％以下である。
　なお、第１の光学多層膜において、特定赤外領域よりも高い波長における光学特性は、特に限られない。従って、図２に示した曲線は、単なる一例である。
　さらに、本発明の一実施形態による光学フィルタは、第２の光学多層膜を有する。
　該第２の光学多層膜は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲である。また、第２の光学多層膜は、特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有するという特徴を有する。
　図３には、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用される第２の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示す。
　図３に示すように、第２の光学多層膜は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂｕ１を有し、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂｕ２を有する。また、第２の光学多層膜は、第２の透過帯Ｂｕ２よりも長波長側に、第２の遮断帯Ｃｕ２を有する。
　第２の光学多層膜において、第１の透過帯Ｂｕ１は、高い透過率を有する。例えば、特定可視領域の平均透過率は、８０％以上である。
　また、第２の透過帯Ｂｕ２は、中程度の透過率を有し、例えば、特定赤外領域の平均透過率は、４５％～６５％の範囲である。
　第２の遮断帯Ｃｕ２は、低い透過率を有し、例えば、波長１０５０ｎｍ～１２００ｎｍの範囲における平均透過率は、５％以下である。
　なお、第２の光学多層膜において、特定可視領域～特定赤外領域の間の光学特性は、特に限られない。従って、図３に示した曲線は、単なる一例である。
　本発明の一実施形態による光学フィルタは、前述のような特徴を有するガラス基板、第１の光学多層膜および第２の光学多層膜を有するため、光学フィルタの光学特性は、各部材の光学特性の組み合わせとして、図４のように表される。
　図４には、本発明の一実施形態による光学フィルタにおいて得られる透過率特性の一例を、模式的に示す。
　図４に示すように、本発明の一実施形態による光学フィルタの透過率曲線は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂａ１を有し、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂａ２を有する。
　また、本発明の一実施形態による光学フィルタの透過率曲線は、第１の透過帯Ｂａ１と第２の透過帯Ｂａ２の間に、第１の遮断帯Ｃａ１を有し、第２の透過帯Ｂａ２よりも長波長側に第２の遮断帯Ｃａ２を有する。
　第１の透過帯Ｂａ１は、高い透過率を有し、例えば、特定可視領域における平均透過率は、８０％以上である。また、第２の透過帯Ｂａ２は、中程度の透過率を有し、例えば、特定赤外領域における平均透過率は、４０％～９０％の範囲である。
　第１の遮断帯Ｃａ１は、低い透過率を有し、例えば、波長７００ｎｍ～８５０ｎｍの範囲における平均透過率は、５％以下である。また、第２の遮断帯Ｃａ２は、低い透過率を有し、例えば、波長１０５０ｎｍ～１２００ｎｍの範囲における平均透過率は、５％以下である。
　なお、図４に示した例では、第１の透過帯Ｂａ１は、波長４３０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲にわたって認められ、第２の透過帯Ｂａ２は、波長９００ｎｍ～１０００ｎｍの範囲にわたって認められている。
　しかしながら、これは単なる一例であり、特定可視領域における平均透過率が８０％以上である限り、第１の透過帯Ｂａ１は、より狭い領域に存在してもよい。同様に、特定赤外領域における平均透過率が４０％～６０％の範囲である限り、第２の透過帯Ｂａ２は、より狭い領域に存在してもよい。
　また、図４に示した例では、第１の遮断帯Ｃａ１は、波長７００ｎｍ～８５０ｎｍの範囲に認められ、第２の遮断帯Ｃａ２は、波長１０００ｎｍ以上の領域に認められる。
　しかしながら、これは単なる一例であって、波長７００ｎｍ～８５０ｎｍの範囲における平均透過率が５％以下である限り、第１の遮断帯Ｃａ１は、より狭い領域に存在してもよい。
　第２の遮断帯Ｃａ２についても同様のことが言える。
　ここで、図４から明らかなように、本発明の一実施形態による光学フィルタは、特定可視領域および特定赤外領域の両方において、光を透過できる。このため本発明の一実施形態による光学フィルタは、例えば、昼夜連続で撮像を行う撮像装置等に利用できる。
　また、本発明の一実施形態による光学フィルタにおいて、ガラス基板は、特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％であるという特徴を有する。
　従来の光学フィルタでは、光学多層膜に含まれる層の数が増加すると、これに伴い、光学特性のばらつきが大きくなる傾向にある。これは、光学多層膜に含まれる層の数が多くなると、それぞれの層の厚さが僅かに変動しただけでも、光学特性に及ぼす影響が無視できなくなるからである。特に、特定赤外領域では、光学多層膜を構成する層の数が増加すると、透過率等の光学特性に、無視できないほどの大きなばらつきが生じてしまう。
　しかしながら、光学フィルタの一部材として、前述の特徴を有するガラス基板を使用した場合、特定赤外領域において、光の一部が吸収される。このため、第１の光学多層膜における第２の透過帯Ｂｔ２、および第２の光学多層膜における第２の透過帯Ｂｕ２に生じ得る特性ばらつきの影響は、ガラス基板による光の吸収特性により、有意に軽減または排除される。
　従って、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、第１の光学多層膜および／または第２の光学多層膜に含まれる層の数が多くなっても、ガラス基板、第１の光学多層膜、および第２の光学多層膜の組み合わせによって発現する、第２の透過帯Ｂａ２における光学特性のばらつきを有意に抑制することが可能となる。
　なお、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、ガラス基板による光の吸収特性のため、特定赤外領域における光学フィルタの透過率は、幾分低下する。しかしながら、それでも、本発明の一実施形態による光学フィルタの第２の透過帯Ｂａ２の透過率は、例えば４０％～６０％の範囲に維持することができる。
　さらに、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、前述の特徴により、第２の透過帯Ｂａ２に生じ得る、入射光の角度依存性の問題も有意に抑制できる。
　すなわち、従来の光学フィルタでは、光学多層膜の好適な組み合わせにより、特定赤外領域に透過帯が発現される。しかしながら、そのような光学多層膜の光学特性は、光の入射角度によって変化するという問題がある。
　一方、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、特定赤外領域における第２の透過帯Ｂａ２は、ガラス基板の吸収特性により、例えば４０％～６０％の範囲まで低下される。また、このようなガラス基板の吸収特性は、入射角度依存性が比較的小さいという特徴を有する。
　このため、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、第２の透過帯Ｂａ２の光学特性が入射光の角度に影響を受け難くなり、角度依存性の問題を軽減することができる。
　（本発明の一実施形態による光学フィルタ）
　以下、図５を参照して、本発明の一実施形態についてより詳しく説明する。
　図５には、本発明の一実施形態による光学フィルタ（以下、「第１の光学フィルタ」と称する）１００の断面を模式的に示す。
　図５に示すように、第１の光学フィルタ１００は、ガラス基板１１０と、第１の光学多層膜１３０と、第２の光学多層膜１６０と、を有する。
　ガラス基板１１０は、相互に対向する第１の主面１１２および第２の主面１１４を有し、第１の光学多層膜１３０および第２の光学多層膜１６０は、いずれもガラス基板１１０の第１の主面１１２上に配置される。
　なお、図１に示した例では、第２の光学多層膜１６０は、第１の光学多層膜１３０に比べてより基板側に設置されている。しかしながら、第１の光学多層膜１３０および第２の光学多層膜１６０は、逆の順番で配置されてもよい。
　　ガラス基板１１０は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上である。また、ガラス基板１１０は、特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％の範囲にある。ガラス基板１１０は、例えば、前述の図１に示したような透過率特性を有する。
　第１の光学多層膜１３０は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上である。また、第１の光学多層膜１３０は、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、特定可視領域と特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する。
　第１の光学多層膜１３０は、例えば、前述の図２に示したような透過率特性を有してもよい。
　第１の光学多層膜１３０は、「高屈折率層」と「低屈折率層」との繰り返し構造を有する。なお、「高屈折率層」とは、波長５００ｎｍにおける屈折率が２．０以上の層を意味し、「低屈折率層」とは、波長５００ｎｍにおける屈折率が１．６以下の層を意味する。
　例えば、図５に示した例では、第１の光学多層膜１３０は、第１の高屈折率層１３２－１、第１の低屈折率層１３２－２、第２の高屈折率層１３２－３、第２の低屈折率層１３２－４、……、第ｍの低屈折率層１３２－ｍを有する。ここで、ｍは、例えば２～１００の整数である。
　一方、第２の光学多層膜１６０は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上である。また、第２の光学多層膜１６０は、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する。
　第２の光学多層膜１６０は、例えば、前述の図３に示したような透過率特性を有してもよい。
　第２の光学多層膜１６０も、第１の光学多層膜１３０と同様、「高屈折率層」と「低屈折率層」との繰り返し構造を有する。
　例えば、図５に示した例では、第２の光学多層膜１６０は、第１の高屈折率層１６２－１、第１の低屈折率層１６２－２、第２の高屈折率層１６２－３、第２の低屈折率層１６２－４、……、第ｎの低屈折率層１６２－ｎを有する。ここで、ｎは、例えば、２～１３０の整数である。
　ただし、後述するように、第２の光学多層膜１６０の構成、例えば各層の厚さは、第１の光学多層膜１３０とは異なっている。
　このような構成を有する第１の光学フィルタ１００では、前述の図４に示したような透過率特性を得ることができる。
　第１の光学フィルタ１００では、前述のように、第１の光学多層膜１３０および第２の光学多層膜１６０に生じ得る特性ばらつきの影響は、ガラス基板１１０による光の吸収特性により、有意に軽減または排除される。
　従って、第１の光学フィルタ１００では、第１の光学多層膜１３０および／または第２の光学多層膜１６０に含まれる層の数が多くなっても、第２の透過帯Ｂａ２における光学特性のばらつきを、有意に抑制することができる。
　また、第１の光学フィルタ１００では、特定赤外領域における光の入射角度依存性を有意に抑制できる。
　（光学フィルタの各構成部材について）
　次に、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用される各部材について、より詳しく説明する。
　なお、以下の説明では、明確化のため、各部材を表す際に、図５に示した参照符号を使用する。
　（ガラス基板１１０）
　ガラス基板１１０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる組成を有してもよい。
　ガラス基板１１０は、赤外線吸収成分を含有する、赤外線吸収ガラスであってもよい。
　赤外線吸収成分は、例えば、鉄および／または銅であってもよい。赤外線吸収成分の量は、０．０５カチオン％以上であってもよい。
ガラス基板１１０は、例えば、銅を含有するフツリン酸ガラス、銅を含有するリン酸ガラス、鉄を含有するリン酸ガラスなどが挙げられるが、これらに限らない。
　ガラス基板１１０は、前述のように、特定可視領域において、８０％以上の平均透過率を有する。特定可視領域における平均透過率は、８１％以上であることが好ましく、８２％以上であることがより好ましい。
　また、ガラス基板１１０は、特定赤外領域において、２５％～８５％の平均透過率を有する。特定赤外領域における平均透過率は、３０％～８０％の範囲であることが好ましく、３５％～７５％の範囲であることがより好ましい。
　ガラス基板１１０の厚さは、特に限られない。ただし、第１の光学フィルタ１００が小型デバイスに使用される場合、第１の光学フィルタ１００の薄肉化のため、ガラス基板１１０の厚さは、０．０５ｍｍ～２ｍｍの範囲であることが好ましい。
　なお、ガラス基板１１０は、特定赤外領域における平均透過率をＴｇｌａｓｓ（％）としたとき、
 
　　　Ｔｇｌａｓｓ＜Ｔｔ１＋ｔ２（１）式
 
を満たしてもよい。ここで、Ｔｔ１＋ｔ２（％）は、第１の光学多層膜１３０と第２の光学多層膜１６０の組み合わせによって得られる、特定赤外領域における平均透過率である。
　（１）式を満たす場合、第１の光学フィルタ１００において、量産上の透過率のばらつきを少なくすることができるという効果が得られる。
　（第１の光学多層膜１３０）
　第１の光学多層膜１３０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる層構成を有してもよい。
　第１の光学多層膜１３０は、前述のように、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造を有してもよい。
　繰り返しの回数は、特に限られないが、例えば、１回～５０回の範囲である（すなわち層数は、２～１００）。繰り返しの回数は、２０回以下であることが好ましく、１５回以下であることがより好ましい。
　なお、前述のように、第１の光学フィルタ１００では、第１の光学多層膜１３０における繰り返し回数を、例えば２０回以上に高めても、光学特性のばらつきを有意に抑制することができる。このため、従来に比べて、繰り返し回数を有意に増やすことができ、これにより、より精密な光学フィルタの光学設計を行うことが可能となる。
　高屈折率層としては、例えば、酸化チタン、酸化タンタル、および酸化ニオブなどが挙げられる。低屈折率層としては、例えば、酸化ケイ素およびフッ化マグネシウムなどが挙げられる。例えば、波長５００ｎｍにおける酸化チタンの屈折率は、結晶状態にもよるが、一般に、２．３～２．８の範囲であり、酸化ケイ素の屈折率は、一般に１．４～１．５の範囲である。
　第１の光学多層膜１３０において、前述の図２に示したような透過率特性は、各高屈折率層および各低屈折率層の厚さを調整することにより、得ることができる。
　（第２の光学多層膜１６０）
　第２の光学多層膜１６０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる層構成を有してもよい。
　第２の光学多層膜１６０は、前述のように、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造を有してもよい。
　繰り返しの回数は、特に限られないが、例えば、１回～７０回の範囲である（すなわち層数は、２～１４０）。繰り返しの回数は、５０回以下であることが好ましく、２６回以下であることがより好ましい。
　なお、前述のように、第１の光学フィルタ１００では、第２の光学多層膜１６０における繰り返し回数を、例えば２０回以上に高めても、光学特性のばらつきを有意に抑制することができる。このため、従来に比べて、繰り返し回数を有意に増やすことができる。
　高屈折率層としては、例えば、酸化チタンが挙げられ、低屈折率層としては、例えば、酸化ケイ素が挙げられる。
　第２の光学多層膜１６０において、前述の図３に示したような透過率特性は、各高屈折率層および各低屈折率層の厚さを調整することにより、得ることができる。
　（第１の光学フィルタ１００）
　第１の光学フィルタ１００は、例えば、図４に示したような透過率特性を有する。
　第１の光学フィルタ１００は、特定可視領域における平均透過率が８０％以上であってもよい。特定可視領域における平均透過率は、８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。
　第１の光学フィルタ１００は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂａ１を有する。第１の透過帯Ｂａ１は、波長４３０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲全体にわたって存在してもよい。
　また、第１の光学フィルタ１００は、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂａ２を有する。第２の透過帯Ｂａ２は、波長９００ｎｍ～１０００ｎｍの範囲全体にわたって存在してもよい。また、第２の透過帯Ｂａ２は、中心波長が９２０ｎｍ～９８０ｎｍの範囲にあってもよく、あるいは、中心波長が９３０ｎｍ～９６０ｎｍの範囲にあってもよい。
　また、第１の光学フィルタ１００は、波長７８０ｎｍ～８３０ｎｍの範囲における平均透過率が、３％未満であってもよい。さらに、第１の光学フィルタ１００は、第２特定赤外領域における平均透過率が、２．５％以下であってもよい。
　ここで、第１の光学フィルタ１００において、以下の（２）式で表されるガラス基板１１０の吸収寄与度Ｐは、３２％以上であってもよい：
 
　吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００　　　（２）式
 
　ここで、Ｖ１は、
 
　Ｖ１＝１００（％）－Ｔｇｌａｓｓ（％）　　　（３）式
 
で表され、Ｖ２は、
 
　Ｖ２＝１００（％）－
　　　第１の光学フィルタ１００の特定赤外領域における平均透過率（％）　（４）式
 
で表される。
　また、第１の光学フィルタ１００において、以下の（５）式で表されるガラス基板１１０の第２の吸収寄与度Ｑは、９％以上であってもよい：
 
　第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００　　　（５）式
 
ここで、Ｗ１は、
 
　Ｗ１＝１００（％）－
　　　ガラス基板１１０の第２特定赤外領域における平均透過率（％）　　（６）式
 
で表され、Ｗ２は、
 
　Ｗ２＝１００（％）－
　　第１の光学フィルタ１００の第２特定赤外領域における平均透過率（％）　（７）式
 
で表される。
　前述のように、「第２特定赤外領域」とは、波長１１００ｎｍ～１２００ｎｍの範囲を表す。
　（本発明の別の実施形態による光学フィルタ）
　次に、図６を参照して、本発明の別の実施形態による光学フィルタについて説明する。
　図６には、本発明の別の実施形態による光学フィルタ（以下、「第２の光学フィルタ」と称する）２００の断面を模式的に示す。
　図６に示すように、第２の光学フィルタ２００は、ガラス基板１１０と、第１の光学多層膜１３０と、第２の光学多層膜１６０とを有する。
　ただし、第２の光学フィルタ２００においては、第１および第２の光学多層膜の配置が、前述の第１の光学フィルタ１００とは異なっている。すなわち、第２の光学フィルタ２００では、ガラス基板１１０の第１の主面１１２の側に、第１の光学多層膜１３０が設置され、ガラス基板１１０の第２の主面１１４の側に、第２の光学多層膜１６０が設置される。
　このような構成の第２の光学フィルタ２００においても、前述の図４に示したような透過率特性を得ることができる。
　また、第２の光学フィルタ２００においても、第１の光学フィルタ１００の場合と同様の効果、すなわち、第１の光学多層膜１３０および／または第２の光学多層膜１６０に含まれる層の数が多くなっても、第２の透過帯Ｂａ２における光学特性のばらつきを、有意に抑制することができるという効果が得られる。
　さらに、第２の光学フィルタ２００においても、特定赤外領域における光の入射角度依存性を有意に抑制できる。
　以上、第１の光学フィルタ１００および第２の光学フィルタ２００を例に、本発明の一実施形態による構成について説明した。
　しかしながら、本発明において、光学フィルタが別の構成を有し得ることは、当業者には明らかである。
　例えば、第１の光学フィルタ１００または第２の光学フィルタ２００において、さらに、特定可視領域に第３の遮断帯を有する第３の光学多層膜を設置してもよい。この場合、特定可視領域に透過帯を有さず、特定赤外領域のみに透過帯（例えば、第２の透過帯Ｂａ２）を有する光学フィルタを得ることができる。
　このような特徴を有する第１および第２の光学フィルタ１００、２００は、例えば、監視カメラ、車載カメラ、およびウェブカメラなどの撮像装置等に適用できる。
　以下、本発明の実施例について説明する。
　なお、以下の説明において、例１および例２は実施例であり、例３は比較例である。また、シミュレーション計算は、光学薄膜設計ソフト（ＴＦ　Ｃａｌｃ、Ｓｏｆｔｗａｒｅ　Ｓｐｅｃｔｒａ　Ｉｎｃ製）を用いて行った。また、第２の主面１１４には反射防止膜（不図示）がある。
　（例１）
　ガラス基板、第１の光学多層膜、および第２の光学多層膜を組み合わせて、前述の図５に示したような光学フィルタ（以下、「例１に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
　ガラス基板には、以下の表１における「ガラスＡ」の組成を有する赤外線吸収ガラスを使用した。ガラス基板の厚さは、０．３ｍｍである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
  
　図７には、ガラスＡの光学特性を示す。
　ガラスＡの特定赤外領域における平均透過率Ｔｇｌａｓｓは、４６．９％であった。また、ガラスＡの第２特定赤外領域における平均透過率は、３８．３％であった。
　以下の表２および表３には、それぞれ、ガラス基板の上に積層される第１の光学多層膜および第２の光学多層膜の構成を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
  
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
  
　第１の光学多層膜は、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造とし、層数は、２２とした。また、第２の光学多層膜は、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造とし、層数は、５２とした。第１の光学多層膜および第２の光学多層膜のいずれにおいても、高屈折率層はＴｉＯ２とし、低屈折率層はＳｉＯ２とした。
　なお、第１の光学多層膜は、第２の光学多層膜の上に積層した。すなわち、ガラス基板、第２の光学多層膜、および第１の光学多層膜の順に積層して、例１に係る光学フィルタを構成した。
　ここで、表２および表３の記載において、層番号が小さい層ほど、ガラス基板に近いことを意味する。従って、例１では、ガラス基板の一方の主面上に、第２の光学多層膜を構成する、厚さ２６．７５ｎｍの第１の層から順に、合計５２層を積層し、その後、さらに第１の光学多層膜を構成する、厚さ１０７．４５ｎｍの第１の層から順に、合計２２層を積層する構成とした。
　図８には、シミュレーション計算によって得られた第１の光学多層膜の光学特性を示す。また、図９には、シミュレーション計算によって得られた第２の光学多層膜の光学特性を示す。
　第１の光学多層膜と第２の光学多層膜の組み合わせの特定赤外領域における平均透過率Ｔｔ１＋ｔ２（％）は、７９．４％であった。
　図１０には、シミュレーション計算によって得られた例１に係る光学フィルタの光学特性を示す。
　例１に係る光学フィルタの特定可視領域における平均透過率は、９６．９％であった。また、特定赤外領域における平均透過率は、４０．１％であり、第２特定赤外領域における平均透過率は、１．０％であった。
　前述の（２）式に基づき、ガラス基板の吸収寄与度Ｐを求めた。その結果、
 
　吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００＝｛（１００－４６．９）／（１００－４０．１）｝×１００＝８８．６％
 
となった。
　また、前述の（５）式に基づき、ガラス基板の第２の吸収寄与度Ｑを求めた。その結果、
 
　第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００＝｛（１００－３８．３）／（１００－１．０）｝×１００＝６２．３％
 
となった。
　（例２）
　例１と同様の方法により、光学フィルタ（以下、「例２に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
　ただし、この例２では、ガラス基板として、前述の表１における「ガラスＢ」の組成を有する赤外線吸収ガラスを使用した。
　その他の条件は、例１と同様である。
　図１１には、ガラスＢの光学特性を示す。
　ガラスＢの特定赤外領域における平均透過率Ｔｇｌａｓｓは、８０．０％であった。また、ガラスＢの第２特定赤外領域における平均透過率は、８４．２％であった。
　図１２には、シミュレーション計算によって得られた例２に係る光学フィルタの光学特性を示す。
　例２に係る光学フィルタの特定可視領域における平均透過率は、９４．３％であった。また、特定赤外領域における平均透過率は、４２．５％であり、第２特定赤外領域における平均透過率は、１．８％であった。
　前述の（２）式および（５）式に基づき、ガラス基板の吸収寄与度Ｐおよび第２の吸収寄与度Ｑを求めた。その結果、吸収寄与度Ｐは３４．８％であり、第２の吸収寄与度Ｑは１５．４％であった。
　（例３）
　例１と同様の方法により、光学フィルタ（以下、「例３に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
　ただし、この例３では、ガラス基板として、市販のガラス（Ｄ２６３、Ｓｃｈｏｔｔ社製）を使用した。以下、このガラス基板を「ガラスＣ」と称する。
　その他の条件は、例１と同様である。
　図１３には、ガラスＣの光学特性を示す。
　ガラスＣの特定赤外領域における平均透過率Ｔｇｌａｓｓは、９２．０％であった。また、ガラスＣの第２特定赤外領域における平均透過率は９２．０％であった。
　図１４には、シミュレーション計算によって得られた例３に係る光学フィルタの光学特性を示す。
　例３に係る光学フィルタの特定可視領域における平均透過率は、９８．０％であった。また、特定赤外領域における平均透過率は、７４．３％であり、第２特定赤外領域における平均透過率は、２．６％であった。
　前述の（２）式および（５）式に基づき、ガラス基板の吸収寄与度Ｐおよび第２の吸収寄与度Ｑを求めた。その結果、吸収寄与度Ｐは３１．３％であり、第２の吸収寄与度Ｑは８．２％であった。
　以下の表４には、例１～例３に係る光学フィルタの主要な光学特性をまとめて示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
  
　（評価）
　例１～例３に係る光学フィルタにおいて、いくつかの仮定の下、透過率特性に生じ得るばらつきをモンテカルロシミュレーションにより評価した。
　前提条件として、ガラス基板上に、前述の表２に示した構成の第１の光学多層膜および前述の表３に示した構成の第２の光学多層膜（全体層数７４層）を積層する際に、各層の厚さに３σ＝２．６％のばらつきが生じると仮定した。また、ガラス基板の厚さにも、±１２μｍのばらつきが生じると仮定した。
　上記の仮定の下、シミュレーションにより、１００通りの光学フィルタを構成した。また、得られた光学フィルタの１００通りの透過率特性から、特定赤外領域における平均透過率のばらつき度合いを評価した。
　結果を以下の表５に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
  
　表５から、例３に係る光学フィルタの場合、特定赤外領域における平均透過率の標準偏差σは、４．００２であった。これに対して、例１および例２に係る光学フィルタの場合、標準偏差σは、いずれも２未満となった。
　このように、例１および例２に係る光学フィルタでは、特定赤外領域における光学特性のばらつきが有意に抑制されることがわかった。
　本願は、２０１９年３月２８日に出願した日本国特許出願第２０１９－０６３５２６号に基づく優先権を主張するものであり、同日本国出願の全内容を本願に参照により援用する。
　１００　　　第１の光学フィルタ
　１１０　　　ガラス基板
　１１２　　　第１の主面
　１１４　　　第２の主面
　１３０　　　第１の光学多層膜
　１３２－１　第１の高屈折率層
　１３２－２　第１の低屈折率層
　１３２－３　第２の高屈折率層
　１３２－４　第２の低屈折率層
　１３２－ｍ　第ｍの低屈折率層
　１６０　　　第２の光学多層膜
　１６２－１　第１の高屈折率層
　１６２－２　第１の低屈折率層
　１６２－３　第２の高屈折率層
　１６２－４　第２の低屈折率層
　１６２－ｎ　第ｍの低屈折率層
　２００　　　第２の光学フィルタ
　Ｂａ１　　　　光学フィルタの第１の透過帯
　Ｂａ２　　　　光学フィルタの第２の透過帯
　Ｂｔ１　　　　第１の光学多層膜の第１の透過帯
　Ｂｔ２　　　　第１の光学多層膜の第２の透過帯
　Ｂｕ１　　　　第２の光学多層膜の第１の透過帯
　Ｂｕ２　　　　第２の光学多層膜の第２の透過帯
　Ｃａ１　　　　光学フィルタの第１の遮断帯
　Ｃａ２　　　　光学フィルタの第２の遮断帯
　Ｃｔ１　　　　第１の光学多層膜の第１の遮断帯
　Ｃｕ２　　　　第２の光学多層膜の第２の遮断帯

Claims (9)

  1. 　光学フィルタであって、
    　４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
    　前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
    　前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
    　を有する、光学フィルタ。
  2. 　前記ガラス基板の前記特定赤外領域における光の平均透過率は、前記第１の光学多層膜と前記第２の光学多層膜との組み合わせによる前記特定赤外領域における光の平均透過率よりも低い、請求項１に記載の光学フィルタ。
  3. 　以下の（Ｉ）式で表される前記ガラス基板の吸収寄与度Ｐが３２％以上である、請求項１または２に記載の光学フィルタ：
     
    　吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００　　　（Ｉ）式
     
    ここで、Ｖ１は、
     
    　Ｖ１＝１００（％）－
    　　前記ガラス基板の前記特定赤外領域における平均透過率（％）　　（ＩＩ）式
     
    で表され、Ｖ２は、
     
    　Ｖ２＝１００（％）－
    　　当該光学フィルタの前記特定赤外領域における平均透過率（％）　（ＩＩＩ）式
     
    で表される。
  4. 　当該光学フィルタは、第２特定赤外領域と称される１１００ｎｍ～１２００ｍの波長範囲における光の平均透過率が２．５％以下であり、
    　以下の（ＩＶ）式で表される前記ガラス基板の第２の吸収寄与度Ｑが９％以上である、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の光学フィルタ：
     
    　第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００　　　（ＩＶ）式
     
    ここで、Ｗ１は、
     
    　Ｗ１＝１００（％）－
    　　前記ガラス基板の前記第２特定赤外領域における平均透過率（％）　　（Ｖ）式
     
    で表され、Ｗ２は、
     
    　Ｗ２＝１００（％）－
    　　当該光学フィルタの前記第２特定赤外領域における平均透過率（％）　（ＶＩ）式
     
    で表される。
  5. 　前記ガラス基板は、鉄および／または銅を含有する、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
  6. 　前記ガラス基板は、相互に対向する第１の主面および第２の主面を有し、
    　前記第１の光学多層膜および前記第２の光学多層膜は、いずれも前記第１の主面の側に配置される、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
  7. 　前記ガラス基板は、相互に対向する第１の主面および第２の主面を有し、
    　前記第１の光学多層膜は、前記第１の主面の側に配置され、
    　前記第２の光学多層膜は、前記第２の主面の側に配置される、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
  8. 　前記特定可視領域において、光の平均透過率が８０％以上である、請求項１乃至７のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
  9. 　さらに、前記特定可視領域の光を遮断する第３の光学多層膜を備える、請求項１乃至８のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006078672A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Olympus Corp 複数の光学素子を有する光学系及びそれを備えた撮像装置
JP2014048402A (ja) * 2012-08-30 2014-03-17 Kyocera Corp 光学フィルタ部材および撮像装置
WO2014103921A1 (ja) * 2012-12-27 2014-07-03 コニカミノルタ株式会社 Ｉｒカットフィルターおよびそれを備えた撮像装置
WO2018043564A1 (ja) * 2016-08-31 2018-03-08 Jsr株式会社 光学フィルターおよび光学フィルターを用いた装置
JP2018060163A (ja) * 2016-09-30 2018-04-12 株式会社大真空 光学フィルタ及び撮像デバイス

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140068982A (ko) * 2011-09-21 2014-06-09 아사히 가라스 가부시키가이샤 근적외선 커트 필터
JP2017206392A (ja) * 2016-05-16 2017-11-24 旭硝子株式会社 ガラス物品
CN108693584B (zh) * 2017-04-05 2022-12-30 Jsr株式会社 光学滤光片及使用光学滤光片的固体摄像装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006078672A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Olympus Corp 複数の光学素子を有する光学系及びそれを備えた撮像装置
JP2014048402A (ja) * 2012-08-30 2014-03-17 Kyocera Corp 光学フィルタ部材および撮像装置
WO2014103921A1 (ja) * 2012-12-27 2014-07-03 コニカミノルタ株式会社 Ｉｒカットフィルターおよびそれを備えた撮像装置
WO2018043564A1 (ja) * 2016-08-31 2018-03-08 Jsr株式会社 光学フィルターおよび光学フィルターを用いた装置
JP2018060163A (ja) * 2016-09-30 2018-04-12 株式会社大真空 光学フィルタ及び撮像デバイス

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