WO2020148197A1

WO2020148197A1 - Aufbewahrungsvorrichtung

Info

Publication number: WO2020148197A1
Application number: PCT/EP2020/050633
Authority: WO
Inventors: Ronny Simon
Original assignee: Osram Opto Semiconductors Gmbh
Priority date: 2019-01-15
Filing date: 2020-01-13
Publication date: 2020-07-23
Also published as: US20220078956A1; DE102019100951A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Aufbewahrungsvorrichtung für Bauteile, insbesondere Halbleiterbauteile, insbesondere Barren (B) Die Erfindung weist einen sich entlang einer Fläche (X-Y-Ebene) erstreckenden Grundträger (1)auf, der auf einer Hauptoberflächenseite eine Oberflächenstrukturierung aufweist; und eine Trägerfolie (3), deren eine Hauptoberfläche an die die Oberflächenstrukturierung aufweisende Hauptoberfläche des Grundträgers (1) fixierbar ist, und an deren anderen Hauptoberfläche die Bauteile fixierbar sind.

Description

Auf bewahrungs Vorrichtung

Beschreibung

Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Anmeldung DE 10 2019 100 951.0, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufbewahrung, ins besondere zum Transport, von Bauteilen, insbesondere elektro nischen Bauteilen, insbesondere Halbleiterbauteilen, insbeson dere Barren, und deren Verwendung.

Halbleiterbauteile müssen insbesondere für den Transport auf einen Träger abgelegt und aus diesem wieder entnommen werden. Die Bauteile müssen so in einer Schale abgelegt werden, dass diese beim Transport nicht verrutschen oder vom Träger abfallen. Die Bauteile, insbesondere die Facetten von Laserbarren müssen weiterhin vor Berührungen jeglicher Art geschützt werden. Die Halbleiter dürfen sich gegenseitig nicht berühren. Beim Abheben der Halbleiter vom Träger muss die Haftkraft des Trägermaterials so reduziert werden, dass Halbleiterbarren mit einer beispiels weise Vakuumpinzette zerstörungsfrei abgenommen werden können. Dabei dürfen am Bauteil keine Rückstände, wie es beispielsweise Klebefäden sein können, anhaften.

Barren sind insbesondere zur Aufbewahrung und/oder zum Trans port in Form gegossene Stücke Metall, Halbmetall oder hier ins besondere Halbleitermaterials.

Die US 6,813,828 B2 und die US 5,908,114 offenbaren herkömmliche Vorrichtungen zum Transport von Halbleiterbauteilen, sowie de ren Verwendungen unter der Bezeichnung Gelpack. Um einen Barren von einem herkömmlichen Gelpack abnehmen zu können, muss ein Unterdrück im Gelpack erzeugt werden. Dadurch legt sich der Gelfilm um die Nylonfäden, wodurch die Berührungsfläche des Gels am Barren stark reduziert wird. Die Haftung des Barrens am Träger ist damit verringert. Der Barren kann abgehoben werden. Laserbarren können in den Gelpacks zum Kunden geliefert werden. Pro Los können durchschnittlich 15 Gelpacks verbraucht werden. Diese Vorrichtungen und Verwendungen sind jedoch teuer. Die Gelpacks bestehen aus einem gedruckten Grundträger oder einem Spritzgussteil, wobei ein verwendetes Material Polycarbonat sein kann. Weitere Einzelteile sind ein Netz, das als Nylongit ter bereitgestellt ist, ein Gelfilm sowie ein Deckel, der als Spritzgussteil geschaffen ist. Es ist Aufgabe der Erfindung eine Aufbewahrungsvorrichtung, insbesondere für einen Transport, von Bauteilen, insbesondere Halbleiterbauteilen, bereitzustellen, wobei die Bauteile auf einen Träger abgelegt und von diesem wieder entnommen werden. Die Bauteile müssen so an einem Träger abgelegt werden, dass diese, insbesondere beim Transport, nicht verrutschen oder vom Träger abfallen. Die Bauteile, insbesondere die Facetten von Laserbarren müssen zudem vor Berührungen jeglicher Art geschützt werden. Die Halbleiter dürfen sich gegenseitig nicht berühren. Beim Abheben der Halbleiter vom Träger muss die Haftkraft des Trägermaterials so reduziert werden können, dass Halbleiterbar ren beispielsweise mit einer Vakuumpinzette zerstörungsfrei ab genommen werden können. Dabei dürfen am Bauteil keine Rück stände, wie es beispielsweise Klebefäden sein können, anhaften. Die Aufbewahrungsvorrichtung soll kostengünstig und robust sein. Ein Transport soll sicher sein.

Die Aufgabe wird durch eine Aufbewahrungsvorrichtung gemäß den beiden Hauptansprüchen und deren Verwendung gemäß dem Nebenan spruch gelöst.

Gemäß einem ersten Aspekt wird eine Aufbewahrungsvorrichtung für Bauteile, insbesondere Halbleiterbauteile, insbesondere Barren, vorgeschlagen, aufweisend:

- einen sich entlang einer Fläche oder X-Y-Ebene erstreckenden Grundträger, der auf einer Hauptoberflächenseite eine Oberflä chenstrukturierung aufweist; - eine Trägerfolie, deren eine Hauptoberfläche an die die Ober flächenstrukturierung aufweisende Hauptoberfläche des Grundträ gers fixierbar ist, und an deren anderen Hauptoberfläche die Bauteile fixierbar sind.

Gemäß einem weiteren Aspekt wird eine Aufbewahrungsvorrichtung für Bauteile, insbesondere Halbleiterbauteile, insbesondere Barren, vorgeschlagen, aufweisend:

- einen sich entlang einer Fläche, insbesondere einer X-Y-Ebene, erstreckenden Grundträger, der auf einer Hauptoberflächenseite eine Oberflächenstrukturierung aufweist;

- eine Trägerfolie, deren eine Hauptoberfläche an die die Ober flächenstrukturierung aufweisende Hauptoberfläche des Grundträ gers positionierbar ist, und an deren anderen Hauptoberfläche die Bauteile fixierbar sind;

- einen Fixierrahmen, der die an die Oberflächenstrukturierung aufweisende Hauptoberfläche des Grundträgers positionierte Trä gerfolie an den Grundträger fixiert.

Gemäß einem weiteren Aspekt wird die Verwendung einer Aufbewah- rungsvorrichtung für Bauteile, insbesondere Halbleiterbauteile, insbesondere Barren, vorgeschlagen, wobei

ein Ablegen oder Fixieren der Bauteile an der Trägerfolie mit tels Adhäsion und/oder Klebemittel ausgeführt wird;

ein Fixieren oder Klammern der Bauteile tragenden Trägerfolie an den Grundträger mittels Adhäsion und/oder Klebemittel und/o der mittels eines Fixierrahmens ausgeführt wird;

ein Abnehmen der Bauteile von der Trägerfolie mittels Anwenden eines Vakuums oder von Unterdrück auf die vom Grundträger ge tragenen Trägerfolie ausgeführt wird.

Weitere Ausgestaltungen werden in Verbindung mit den Unteran sprüchen beansprucht .

Gemäß einer Ausgestaltung kann ein Fixierrahmen bereitgestellt sein, der zusätzlich die an die Oberflächenstrukturierung auf weisende Hauptoberfläche des Grundträgers fixierte Trägerfolie an den Grundträger fixiert. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann ein sich entlang einer Fläche, insbesondere X-Y-Ebene, erstreckender und die auf den Grundträger fixierte Trägerfolie von der Seite der Trägerfolie her abschließender Deckel geschaffen sein.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann ein sich entlang einer Fläche, insbesondere X-Y-Ebene, erstreckender und die auf den Grundträger fixierte Trägerfolie von der Seite des Grundkörpers her abschließender Verschluss geschaffen sein.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können Deckel und Verschluss sich entlang einer Fläche, insbesondere X-Y-Ebene, über die mittels des Fixierrahmens auf den Grundträger fixierte Träger folie hinaus erstrecken.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann im geschlossenen Zustand der Deckel zusammen mit dem Verschluss die mittels des Fixier rahmens auf den Grundträger fixierte Trägerfolie fixierend voll ständig umhüllen.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Oberflächenstruk turierung des Grundträgers für die Abnahme der Bauteile, ins besondere Barren, angepasste längliche Ausnehmungen, insbeson dere Rillen oder Riffel, aufweisen.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Hauptoberfläche des Grundträgers entlang der Fläche, insbesondere der X-Y-Ebene, eine rechteckige oder quadratische Umwandung aufweisen, inner halb der zu dieser diagonal verlaufende längliche Ausnehmungen, insbesondere Rillen oder Riffel, ausgebildet sind.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können die länglichen Aus nehmungen, insbesondere Rillen oder Riffel, regelmäßige Unter brechungen oder Durchgänge, insbesondere zur Bereitstellung von Unterdrück oder eines Vakuums zwischen Trägerfolie und Grund- träger aufweisen. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der Grundträger mittels eines Spritzguss-Verfahrens, insbesondere Aluminium-Spritzguss, hergestellt sein.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Trägerfolie eine Adhäsionsfolie sein und/oder mindestens ein Klebemittel auf mindestens einer der Hauptoberflächen aufweisen.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Trägerfolie eine Materialsteifigkeit und/oder Dicke, insbesondere von 0,05 bis 2mm, derart aufweisen, dass diese beim Fixieren an den Grund träger mittels des Fixierrahmens nicht zerstört wird.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der Fixierrahmen als lösbare Klammer wirken und damit die Trägerfolie in oder an den Grundträger einspannen und sichern.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der Fixierrahmen mit tels einer am Grundträger ausgebildeten Nut an diesen klemmbar sein .

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der Fixierrahmen mit tels am Grundträger konisch ausgebildeter Flanken an diesen klemmbar sein. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der Fixierrahmen mit tels am Grundträger ausgebildeten Sicherungsstiften an diesen klemmbar sein.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können der Grundträger, die Trägerfolie, der Fixierrahmen, der Deckel und der Verschluss aus leitfähigem Polycarbonat-Material hergestellt sein.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können der Grundträger, die Trägerfolie, der Fixierrahmen, der Deckel und der Verschluss mittels Sintern und/oder 3D-Druck oder Spritzguss hergestellt sein . Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann nach dem Fixieren der Bauteile tragenden Trägerfolie an den Grundträger, gegebenen falls mittels des Fixierrahmens, deren vollständiges Umhüllen mittels Deckel und Verschluss erfolgen.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann vor dem Abnehmen der Bauteile von der vom Grundträger getragenen Trägerfolie mittels Anwenden eines Vakuums oder von Unterdrück auf die vom Grund träger getragenen Trägerfolie, ein Entfernen von Deckel und Verschluss erfolgen.

Die Erfindung wird anhand von Beispielen in Verbindung mit den Figuren näher beschrieben. Es zeigen: Fig. 1A eine Darstellung einer herkömmlichen Vor richtung und eines ersten Schrittes deren Verwendung;

Fig. 1B eine Darstellung einer herkömmlichen Vor richtung und eines zweiten Schrittes deren Verwendung;

Fig. IC eine Darstellung einer herkömmlichen Vor richtung und eines dritten Schrittes deren Verwendung;

Fig . 2 eine weitere Darstellung einer herkömmli chen Vorrichtung mit aufeinander ge schichteten Einzelteilen;

Fig . 3 eine weitere Darstellung einer herkömmli chen Vorrichtung mit voneinander getrenn ten Einzelteilen;

Fig. 4A eine Darstellung einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung mit aufeinander geschichteten Einzelteilen;

Fig. 4B eine Darstellung einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung mit voneinander getrennten Einzelteilen; Fig. 4C eine weitere Darstellung einer erfin dungsgemäßen Vorrichtung mit voneinander getrennten Einzelteilen;

Fig . 5A eine Seitenansicht einer erfindungsgemä ßen neben einer herkömmlichen Vorrich tung;

Fig. 5B ein Querschnitt einer erfindungsgemäßen neben einer herkömmlichen Vorrichtung; Fig . 6A ein Querschnitt einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung;

Fig. 6B eine Draufsicht einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung mit Darstellung der Schnitt ebene der Fig. 6A;

Fig . 7 eine Explosionsdarstellung eines weiteren

Beispiels einer erfindungsgemäßen Vor richtung;

Fig . 8 eine weitere Darstellung einer erfin dungsgemäßen Vorrichtung unter Vakuum; Fig . 9A eine weitere Darstellung eines erfin dungsgemäßen Grundträgers;

Fig . 9B eine weitere Darstellung einer Oberflä chenstruktur eines erfindungsgemäßen

Grundträgers ;

Fig. 9C eine weitere Darstellung einer Oberflä chenstruktur eines erfindungsgemäßen

Grundträgers ;

Fig. 9D eine weitere Darstellung einer Oberflä chenstruktur eines erfindungsgemäßen

Grundträgers ;

Fig. 10A eine weitere Darstellung eines erfin dungsgemäßen Fixierrahmens;

Fig. 10B eine weitere Darstellung eines erfin dungsgemäßen Grundträgers;

Fig. IOC eine weitere Darstellung eines erfin- dungsgemäßen Grundträgers; Fig. 10D eine weitere Darstellung eines erfin dungsgemäßen Grundträgers;

Fig. 11A eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 11B eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 12A eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 12B eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 12C eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 13 eine weitere Darstellung eines erfin dungsgemäßen Grundträgers;

Fig. 14 eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Fig. 1A bis IC zeigen eine Darstellung einer herkömmlichen Ver wendung einer herkömmlichen Vorrichtung. Eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann auf ähnliche Weise verwendet werden. Fig. 2 und 3 zeigen eine herkömmliche Vorrichtung.

Fig. 1A zeigt einen ersten Schritt der Verwendung einer her kömmlichen Vorrichtung. In diesem ersten Schritt sind Barren B auf einem Gelfilm 25 abgelegt. Unterhalb des Gelfilms 25 ist ein Nylongitter 23 ausgebildet, das auf einem Grundträger 21 angebracht ist. Die Barren B sind so in der Aufbewahrungsvor richtung abgelegt, dass diese beim Transport nicht verrutschen oder vom Grundträger 21 abfallen können. Figur 1A zeigt die Vorrichtung in dem Zustand, in dem zwischen Gel 25 und Grund träger 21 noch kein Unterdrück bzw. noch kein Vakuum aufgebaut ist. Der Grundträger 21 weist einen Durchgang zu dem Bereich unterhalb des Gels 25 auf. Durch diesen Durchgang kann die Luft zwischen dem Barren B bzw. dem Gel 25 und dem Grundträger 21 herausgepumpt werden. Auf diese Art entsteht ein Unterdrück bzw. ein Vakuum, das den Gelfilm 25 derart in Richtung zu dem Grund träger 21 anzieht, sodass Berührungsflächen zwischen einem Bar ren B und dem Gelfilm 25 wirksam verkleinert werden. Figur 1B zeigt eine weitere Darstellung der herkömmlichen Vor richtung, und zwar während eines zweiten Schrittes der Verwen dung der herkömmlichen Vorrichtung. Figur 1B entspricht Figur 1A, allerdings mit dem Unterschied, dass nun in dem Raum zwi schen dem Gelfilm 25 und dem Grundträger 21 derart Unterdrück aufgebaut beziehungsweise ein Vakuum V erzeugt ist, dass sich der Gelfilm 25 an das Nylongitter 23 anschmiegt. In diesem Sta dium sorgt das Vakuum V für eine Verkleinerung der Berührungs flächen zwischen den Barren B und dem Gelfilm 25. Auf diese Weise sind die Barren B nun zum Abheben vorbereitet. Die Haft- kraft des Trägermaterials, das hier der Gelfilm 25 ist, ist somit wirksam verkleinert worden.

Figur IC zeigt eine weitere Darstellung einer herkömmlichen Vorrichtung und eines dritten Schrittes der Verwendung der her- kömmlichen Vorrichtung. Figur IC zeigt eine Draufsicht, die sich an den Zustand gemäß Figur 1B anschließt. Da nun ein Vakuum V beaufschlagt ist, kann ein Abheben der Halbleiter bzw. Barren B auf einfache Weise, beispielsweise mittels einer Vakuumpin zette VP zerstörungsfrei ausgeführt werden.

Figur 2 zeigt eine weitere Darstellung einer herkömmlichen Vor richtung. Gemäß der Darstellung in Figur 2 ist eine herkömmliche Vorrichtung zur Aufbewahrung als aufeinandergeschichtete Ein zelteile dargestellt. Auf einem Grundträger 21 ist ein Nylon- gitter 23 positioniert, über dem ein Gelfilm 25 bereitgestellt ist. Der Stapel wird von oben mittels eines transparenten De ckels 27 abgeschlossen.

Figur 3 zeigt eine weitere Darstellung einer herkömmlichen Vor- richtung. Gemäß Figur 3 werden im Unterschied zur Figur 2 die Einzelteile voneinander getrennt dargestellt. In Figur 2 sind die Einzelteile aufeinandergestapelt . Bezugszeichen 21 kenn zeichnet einen Grundträger. Bezugszeichen 23 bezeichnet ein Ny longitter, Bezugszeichen 25 bezieht sich auf einen Gelfilm und Bezugszeichen 27 kennzeichnet einen Deckel.

Figur 4A zeigt eine Darstellung einer erfindungsgemäßen Vor richtung. Die Darstellung gemäß Figur 4A zeigt die erfindungs gemäße Vorrichtung als aufeinander geschichtete Einzelteile. Figur 4A zeigt einen Grundträger 1, auf dem eine Trägerfolie 3 angeordnet ist, die mittels eines Fixierrahmens 5 fixierbar ist.

Figur 4B zeigt eine weitere Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, und zwar hier mit voneinander getrennten Einzel teilen. Fig. 4B zeigt Einzelteile der erfindungsgemäßen Aufbe- Wahrungsvorrichtung, die für Bauteile, insbesondere für Halb leiterbauteile, insbesondere in Form von Barren, verwendet wer den soll. Bezugszeichen 1 kennzeichnet einen sich entlang einer Fläche, insbesondere einer X-Y-Ebene erstreckenden Grundträ ger 1, der auf einer Hauptoberflächenseite eine Oberflächen- _Strukturierung aufweist. In der Mitte der Darstellung in Fi gur 4B ist eine Trägerfolie 3 dargestellt, deren eine Haupt oberfläche an die die Oberflächenstrukturierung aufweisende Hauptoberfläche des Grundträgers 1 positionierbar ist, und an deren anderen Hauptoberfläche Bauteile, beispielsweise Barren B positionierbar und fixierbar sind. Figur 4B zeigt zudem einen Fixierrahmen 5, der die an die Oberflächenstrukturierung auf weisende Hauptoberfläche des Grundträgers 1 positionierte Trä gerfolie 3 an den Grundträger 1 fixiert. Kernidee eines derartigen Folienpacks, das ebenso als Tapepack bezeichnet werden kann, ist eine Trägerfolie 3 wie zum Beispiel eine Adhäsionsfolie oder eine Folie mit Klebeanteilen. Entspre chend kann auf ein herkömmliches Gel und ein darunterliegendes herkömmliches Nylongitter oder Mesh verzichtet werden. Die Fo- lie beziehungsweise Trägerfolie 3 kann mit einem Ring, einer Klammer oder allgemeiner mittels eines Fixierrahmens 5 in oder an den Grundträger 1 eingespannt werden. Beispielsweise kann eine herkömmliche Folie verwendet werden, beispielsweise eine Adhäsionsfolie ATR-MF120.

Der Grundträger 1 kann beispielsweise im Spritzgussverfahren und mit für die Abnahme von Barren B optimierten länglichen Ausnehmungen 11, beispielsweise in Form von Rillen oder Riffeln hergestellt werden. Derartige Rillen oder Riffel sind ein Bei spiel einer Oberflächenstrukturierung einer Hauptoberflächen seite eines Grundträgers 1. Die Rillen oder Riffeln beziehungs- weise Ausnehmungen 11 ermöglichen, dass sich eine Trägerfolie 3 unter Unterdrück oder Vakuum einfach und wirksam in eine Rille oder Riffeln einlegt. Auf diese Weise wird eine Auflagefläche eines Barrens B auf eine Trägerfolie 3 wirksam verkleinert, wodurch die Haftkraft derart reduziert wird, dass die Bauteile oder Barren B von der Trägerfolie 3 ohne großen Kraftaufwand abgenommen werden können. Aufliegende Barren B sollten quer, beispielsweise unter einem Winkel von mehr als 40 Grad, zu den länglichen Ausnehmungen 11 ablegbar sein. Die Barren B fallen damit bei Unterdrück nicht in die länglichen Ausnehmungen 11. Werden Barren B grundsätzlich entlang der X- oder der Y- Achse des Grundträger 1 orientiert, so ist eine Orientierung der läng lichen Ausnehmungen 11 im Winkel von 45 Grad zur X-Achse für diese beiden Orientierungen der Barren B geeignet. Infolge einer starken Verbreitung herkömmlichen Gelpacks in der Halbleiterindustrie sollte der Grundträger 1 weitestgehend den Maßen eines herkömmlichen Gelpacks entsprechen. Die Maße der Grundfläche sind für alle Packs mit und ohne Vakuumeinwirkung in der Halbleiterindustrie standardisiert.

Die erfindungsgemäßen Tapepacks unterscheiden sich zudem zu den herkömmlichen Gelpacks in der Höhe. Schätzungsweise sind erfin dungsgemäße Tapepacks circa 1 mm höher als die herkömmlichen Gelpacks. Ein derartiger Höhenunterschied kann allerdings durch entsprechende Anlageneinstellungen wieder ausgeglichen werden. Figur 4B zeigt nebeneinander einen Grundträger 1 mit länglichen Ausnehmungen 11, beispielsweise Riffeln, der als Spritzgussteil erzeugt sein kann ist. Ein weiteres Einzelteil ist eine Träger folie 3, die als Adhäsionsfolie oder allgemein als Folie aus- geführt sein kann. Die Trägerfolie 3 kann auf mindestens einer Hauptoberfläche ein Klebemittel aufweisen. Ein weiteres Einzel teil ist ein Fixierrahmen 5, der als Ring oder Klammer, bei spielsweise mit leicht konischer selbsthemmenden Formungen, be reitgestellt sein kann. Der Fixierrahmen 5 kann beispielsweise als Spritzgussteil hergestellt worden sein.

Figur 4C zeigt eine weitere Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, und zwar mit weiteren voneinander getrennten Ein zelteilen. Figur 4C zeigt mit dem Bezugszeichen 7 einen Deckel. Dieser kann als Spritzgussteil ausgeführt sein. Ein Deckel 7 kann die mittels eines Fixierrahmens 5 auf den Grundträger 1 fixierte Trägerfolie 3 beispielsweise von der Seite des Fixier rahmens 5 her abschließen. Bezugszeichen 9 bezeichnet in Figur 4C einen Verschluss. Ein Verschluss 9 kann die mittels des Fixierrahmens 5 auf den Grund träger 1 fixierte Trägerfolie 3 von der Seite des Grundträgers 1 her abdecken bzw. abschließen. In der Mitte der Figur 4C ist ein Stapel bestehend aus einem Grundträger 1, einer Trägerfo- lie 3 und einem Fixierrahmen 5 dargestellt. Obenauf liegen Bar ren B, die in X- oder in Y-Richtung orientiert sind. Ein Ver schluss 9 kann mit einem Deckel 7 derart in Eingriff gebracht werden, dass der Deckel 7 zusammen mit dem Verschluss 9 die mittels des Fixierrahmens 5 auf den Grundträger 1 fixierte Trä- gerfolie 3 vollständig einfasst beziehungsweise umhüllt und me chanisch fixiert.

Fig . 5A zeigt eine Seitenansicht auf eine erfindungsgemäße Vor richtung neben einer herkömmlichen Vorrichtung. Die erfindungs- gemäße Vorrichtung, die hier ebenso als Tapepack bezeichnet werden kann, kann aufgrund des als Klammer wirkenden Fixierrah mens 5 für das Einspannen der Trägerfolie 3 und der dadurch nötigen Materialsteifigkeit circa 1 mm in dessen Gesamthöhe größer werden als herkömmliche Gelpacks.

Figur 5A zeigt dazu in deren Ansicht die Größenunterschiede zwischen einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und einer herkömm lichen Vorrichtung, die in Figur 5A rechts dargestellt ist. In Figur 5A hüllen Deckel 7 und Verschluss 9 Grundträger 1, Trä gerfolie 3 und Fixierrahmen 5 ein. Figur 5B zeigt einen Querschnitt einer erfindungsgemäßen neben einer herkömmlichen Vorrichtung in Ergänzung zu der Darstellung gemäß Figur 5A. Figuren 5A und 5B zeigen einen möglichen Höhen unterschied zwischen einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und einer herkömmlichen Vorrichtung.

Figur 6A zeigt einen Querschnitt einer erfindungsgemäßen Vor richtung. Die Schnittebene entspricht dabei der Ebene A-A gemäß Figur 6B . Im Querschnitt von Figur 6A sind der Grundträger 1, die Trägerfolie 3 und der Fixierrahmen 5 sichtbar. Von oben ist ein Deckel 7 mechanisch mit einem unteren Verschluss 9 derart gekoppelt, dass zudem die drei inneren Einzelteile Grundträger 1, Trägerfolie 3 und Fixierrahmen 5 mechanisch fixiert und mit tels Deckel 7 und Verschluss 9 vor äußeren Einwirkungen ge schützt sind. Auf der Trägerfolie 3 können Halbleiterbauele- mente, beispielsweise Barren B, fixiert, aufbewahrt und ge schützt sein.

Figur 6B zeigt eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vor richtung, wobei in Figur 6B mit der Schnittlinie A-A die Quer- schnittsebene der Figur 6A gekennzeichnet ist. Die Ansicht ge mäß Figur 6B zeigt eine Draufsicht auf den Deckel 7, der mecha nisch in eine Führungsschiene des Verschlusses 9 hineingescho ben sein kann. Figuren 6A und 6B zeigen ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, die als Spritzgussteil hergestellt sein kann. Figur 7 zeigt eine Explosionsdarstellung eines weiteren Bei spiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Zwischen einem De ckel 7 und einem Verschluss 9 sind ein Grundkörper 1 mit einer Trägerfolie 3 und einem Fixierrahmen 5 angeordnet. Hier ist der Fixierrahmen 5 als Folienklammer in Form eines Außenrings aus geführt. Alle Einzelteile können beispielsweise aus einem leit fähigen Polycarbonat-Material hergestellt worden sein.

Figur 7 zeigt zudem, dass ein Fixierrahmen 5 zusätzlich mittels Sicherungsstiften 17 des Grundträgers 1 positioniert und fi xiert werden kann. Des Weiteren können die Einzelteile einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mittels eines Sinterverfahrens hergestellt worden sein. Weitere Herstellverfahren werden durch einen sogenannten 3D-Drucker ermöglicht.

Figur 8 zeigt eine weitere Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, und zwar hier unter Vakuumeinwirkung. Längliche Ausnehmungen 11 sind hier als Rillen mit runden Querschnitts linien erzeugt. Dabei überragen Barren B die bereitgestellten Rillen, wobei ein Barren beispielsweise drei Rillen überdeckt. Die Barren sind hier in einem rechten Winkel zu den Rillen orientiert. Zwischen dem oberflächenstrukturierten Grundträger 1 und dem Barren B ist eine Trägerfolie 3 angeordnet, die unter Vakuum- beziehungsweise Unterdruckeinfluss in Richtung zu dem Grundträger 1 angezogen ist. Auf diese Weise gibt es lediglich einen Kontakt zwischen Barren B und der Trägerfolie 3 und den offenen Enden der Rillen. Im Zustand der Figur 8 sind Barren B leicht abhebbar. Die Trägerfolie 3 wird, wie es in Figur 8 dar gestellt ist, in die Riffel eingesaugt. Dadurch reduziert sich die Auflagefläche des Bauteils B auf der Trägerfolie 3. Die Barren B können von der Folie auf einfache Weise, beispielsweise mittels Vakuumpinzette, abgenommen werden. Damit die Barren B nicht in die Rillen fallen, ist die Positionierung der Barren B derart, dass sie in ihrer Längsrichtung quer zur Richtung der Rillen angeordnet worden sind. Figur 8 zeigt einen sogenannten Rillenschacht mit Barren B unter Vakuumeinfluss. Als Trägerfolie 3 kann beispielsweise eine Adhäsionsfolie ATR- MF 120 verwendet werden. Die Verwendung der Art der Trägerfolien ist hierauf nicht beschränkt. Halbleiterbauteile können bei spielsweise auf einer Adhäsionsfolie abgelegt und unter Redu- zierung der Auflagefläche der Folie wieder abgenommen werden. Liegt das Bauteil B vollflächig auf der Adhäsionsfolie auf, ist ein Verrutschen oder Abfallen der Halbleiterbauteile nicht mög lich. Als Folien können auch jede Art von Trägerfolien für die Halbleiterfertigung verwendet werden.

Figur 9A zeigt eine weitere Darstellung eines erfindungsgemäßen Grundträgers 1. Der Grundträger 1 weist hier als längliche Aus nehmungen 11 Riffel auf. Im Unterschied zu Rillen können Riffel eckige Querschnittslinien aufweisen. Der Grundträger 1 kann im Spritzgussverfahren mit definierten Riffeln gefertigt werden. Die Riffel können 45° zur X-Achse versetzt beziehungsweise ge dreht sein. Zudem können die Ausnehmungen 11 oder Riffel an deren offenen Wandenden oder Spitzen regelmäßige Unterbrechun gen 15 aufweisen. Diese Unterbrechungen 15 reduzieren unter Vakuum oder Unterdrück mechanische Spannungen auf die Träger folie 3. Des Weiteren kann mittels den Unterbrechungen 15 die Auflagefläche der Barren B weiter reduziert werden.

Zur Bereitstellung von Unterdrück oder eines Vakuums zwischen Trägerfolie 3 und Grundträger 1 kann der Grundträger 1 Durch gänge aufweisen. Ein derartiger Durchgang D oder Durchbruch ist beispielsweise in der Mitte des Grundträgers 1 sichtbar. Bei spielsweise kann ein Grundträger 1 aus Aluminium gefräst wer den. Es eignet sich insbesondere eine Ausführung des Grundträ- gers 1 als Aluminiumteil, wobei Adhäsionsfolien mit dem Grund träger 1 bestehend aus Aluminium verwendet werden können.

Figur 9B zeigt eine detailliertere Darstellung einer Oberflä chenstruktur eines erfindungsgemäßen Grundträgers 1. Dabei sind längliche Ausnehmungen 11 ausgebildet, die an deren offenen Wandenden, die insbesondere hier im Querschnitt als Spitzen ausgebildet sein können, regelmäßige Unterbrechungen 15, hier quadratische Ausschnitte, aufweisen. Die Unterbrechungen 15 können ebenso rechteckig oder gerundet sein. Figur 9B zeigt die Orientierung der länglichen Ausnehmungen 11 oder Riffel, die sich schräg und beispielsweise um einen Winkel von 40 bis 50° zu einer X-Achse gedreht erstrecken. Das Beispiel zeigt einen 45° Winkel. Fig. 9B zeigt als Ausschnitt die offenen Enden dreier Wände, die zwei längliche Ausnehmungen 11 ausbilden.

Figur 9C zeigt eine weitere detaillierte Darstellung einer Ober- flächenstrukturierung eines erfindungsgemäßen Grundträgers 1. Als längliche Ausnehmungen 11 sind hier Riffel ausgeführt. Damit Barren B nicht in die Riffel hineinfallen, ist es erforderlich, eine zueinander kreuzende Orientierung zu wählen. Die Riffel weisen hier ebenso regelmäßige Unterbrechungen 15 auf. Figur 9C zeigt die Orientierung der Riffel, die sich schräg und bei spielsweise um einen Winkel von 130 bis 140° zu einer X-Achse gedreht erstrecken. Der dargestellte Winkel ist hier 135°.

Die Detailansicht von Figur 9C zeigt, dass Ausnehmungen 11, an deren offenen Wandenden mit regelmäßigen Unterbrechungen 15 ge schaffen werden können.

Fig. 9D zeigt eine weitere Darstellung einer Oberflächenstruk tur eines erfindungsgemäßen Grundträgers. Ein Barren B liegt quer zu einer länglichen Ausnehmung 11 eines Riffels, der hier in seinem Querschnitt eckige Linien aufweist. Die offenen Enden der die Ausnehmung 11 bereitstellenden Wände verlaufen spitz in Richtung des jeweiligen offenen Endes. Dieses Enden weisen zudem Einbuchtungen E beziehungsweise entsprechend Fig. 9B regelmä- ßige Unterbrechungen einer jeweiligen oberen Begrenzungsgeraden auf. Diese Unterbrechungen oder Einbuchtungen E weisen von oben betrachtet eine quadratische oder rechteckige Form auf. Im Un terschied zu Fig. 9B sind die Abstände der regelmäßigen Unter brechungen beziehungsweise Einbuchtungen größer. Figur 10A zeigt eine weitere Darstellung eines erfindungsgemä ßen Fixierrahmens 5. Der Fixierrahmen 5 kann als Klammer aus geführt sein. Mittels des als Klammer ausgeführten Fixierrah mens 5 kann die Trägerfolie 3 auf den Grundträger 1 eingespannt und gesichert sein. Dabei wirkt der Fixierrahmen 5 als Klammer über eine Nut am Grundträger 1, dies ist mit Bezug auf Figur 10B und Figur IOC dargestellt. Der Fixierrahmen 5 kann alternativ durch konische Ausführung der Flanken 21 am Grundträger 1 fi xiert werden, wobei dies mit Bezug auf Figur 10D dargestellt ist. Zusätzlich können an den Ecken des Grundträgers 1 noch Sicherungsstifte 17 vorgesehen sein, in die der Fixierrahmen 3 zudem positioniert und fixiert werden kann. Letzteres ist in Figur 10A auf der rechten Seite dargestellt. Entsprechend ist in den Figuren 10A, 10B, IOC und 10D darge stellt, wie ein Fixierrahmen 5 mit einem Grundträger 1 lösbar fixiert werden kann. Der als Klammer ausgeführte Fixierrahmen 5 kann wieder gelöst beziehungsweise geöffnet werden, sodass ein Folienwechsel ermöglicht ist. Somit kann ein Grundträger 1 gereinigt und wiederverwendet werden.

Figur 11A zeigt eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Figur 11A stellt dar, wie Halb leiterbauelemente, insbesondere Barren B, auf einer verwendeten Trägerfolie 3 gelegt werden können. Die Barren B sind hier ent lang einer X-Richtung orientiert . Die Barren B können auf ent sprechend entlang der X-Richtung orientierte Zielmarkierungen, insbesondere Zielrechtecke, abgelegt werden. Diese können auf einer jeweiligen Trägerfolie 3 oder einem Grundträger 1 aufge- bracht sein.

Figur 11B zeigt zusätzlich zu Figur 11A eine Bestückungsreihen folge von Barren B auf den Zielrechtecken einer Trägerfolie 3 oder eines Grundträgers 1. Es wird zuerst eine linke Zielrecht- eckspalte und danach eine rechte Zielrechteckspalte, jeweils von oben nach unten mit Barren B bestückt. Figuren 12A, 12B und 12C zeigen in Ergänzung zu den Darstellun gen der Figuren 11A und 11B weitere Bestückungen von Barren B auf einer jeweiligen Trägerfolie 3 oder einem jeweiligen Grund träger 1. Dabei gibt es bevorzugte Bestückungsorte und Bestü- ckungsreihenfolgen . Zudem kann auf herkömmliche Bestückungsmus ter zurückgegriffen werden. Die Barren B sind hier entlang einer Y-Richtung orientiert und senkrecht zu Zielrechtecken angeord net . Figur 13 zeigt eine weitere Darstellung eines erfindungsgemäßen Grundträgers 1. Figur 13 zeigt klar die Oberflächenstrukturie rung des Grundträgers 1. Auf den Rahmen des Grundträgers 1 ist ein Fixierrahmen 5 aufgeklemmt. Zur weiteren Klarheit ist diese Anordnung ebenso als Querschnitt dargestellt.

Figur 14 zeigt eine weitere Darstellung zur Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Gemäß einer möglichen Verwendung einer erfindungsgemäßen Aufbewahrungsvorrichtung sei folgendes Beispiel beschrieben. In einem ersten Schritt S1 erfolgt ein Ablegen und Fixieren von Halbleiterbauteilen an der Trägerfo lie, und zwar insbesondere mittels Adhäsion und/oder mittels Klebemittels. Mit einem nächsten Schritt S2 erfolgt ein Fixie ren oder Klammern der bauteiltragenden Trägerfolie an den Grund träger 1 mittels eines Fixierrahmens. Dem schließt sich ein dritter Schritt S3 an, bei dem nach dem Fixieren der Bauteile und Barren B tragenden Trägerfolie an den Grundkörper mittels des Fixierrahmens ein vollständiges Umhüllen mittels Deckel und Verschluss ausgeführt wird. Nach der Aufbewahrungszeit kann in einem vierten Schritt S4 ein Entfernen von Deckel und Verschluss ausgeführt werden. Mit einem letzten Schritt S5 kann ein Abnehmen der Bauteile bzw. Barren B von der vom Grundträger getragenen Trägerfolie mittels Anwen den eines Vakuums oder von Unterdrück auf die vom Grundträger getragenen Trägerfolie ausgeführt werden. Die vorliegende Erfindung umfasst mehrere Vorteile. Beispiels weise ist ein Auswechseln einer Trägerfolie 3 und eine Mehr fachbenutzung von Grundkörper 1, Trägerfolie 3 und Fixierrahmen 5 aufgrund der Klammer möglich. Auf diese Weise ist eine Mehr- fachbenutzung des sogenannten Tapepacks möglich.

Ein weiterer Vorteil ist die Möglichkeit, verschiedene Träger folien zu verwenden. Auf Seiten der Trägerfolien entstehen daher geringe Fertigungskosten. Die Trägerfolien 3 können für jedes Bauteil individuell evaluiert und verwendet werden. Der Grund träger 1 mit den länglichen Ausnehmungen 11 kann beispielsweise in einem Gussverfahren hergestellt werden. Dadurch kann auf ein Einlegen eines Nylongitters verzichtet werden. Des Weiteren muss als Trägerfolie 3 kein spezieller Gelfilm eingesetzt werden.

Ein weiterer Vorteil liegt in der Resistenz der Trägerfolie 3 gegenüber einem Gel. Eine Trägerfolie 3 ist aufgrund deren Dicke deutlich reißfester als ein Gel. Somit sind die Packs weniger anfällig .

Weiterhin können Fertigungsaufwand und Kosten reduziert werden. Durch den geringen Fertigungsaufwand können die Packs in hohen Stückzahlen zu einem geringeren Preis gefertigt werden. Des Weiteren ist das vorgeschlagene Riffel-Design vorteilhaft. Ein Einlegen der Trägerfolie 3 und damit die ausreichende Re duzierung der Auflagepunkte der Barren B ist lediglich in den länglichen Ausnehmungen 11 möglich. Da die verwendete Träger folie 3 dicker als ein herkömmliches Gel ist, würde sich beim herkömmlichen Nylongitter und bei herkömmlichen Domen die Folie nicht ausreichend einlegen und am Bauteil B haften bleiben. Be z ugs z e i chenl i s t e

1 Trägerkörper

3 Trägerfolie

5 Fixierrahmen

7 Deckel

9 Verschluss

11 längliche Ausnehmungen

13 Umrandung

15 Unterbrechungen oder Durchgänge

17 Sicherungsstifte

19 Nut

21 konische Flanken

Claims

Ansprüche

1. Aufbewahrungsvorrichtung für Bauteile, insbesondere Halblei terbauteile, insbesondere Barren (B) , aufweisend:

- einen sich entlang einer Fläche (X-Y-Ebene) erstreckenden

Grundträger (1), der auf einer Hauptoberflächenseite eine Ober flächenstrukturierung aufweist;

- eine Trägerfolie (3), deren eine Hauptoberfläche an die die Oberflächenstrukturierung aufweisende Hauptoberfläche des Grundträgers (1) fixierbar oder positionierbar ist, und an deren anderen Hauptoberfläche die Bauteile fixierbar sind,

gekennzeichnet durcheinen Fixierrahmen (5), der die an die Ober flächenstrukturierung aufweisende Hauptoberfläche des Grundträ gers (1) fixierte oder positionierte Trägerfolie (3) an den Grundträger (1) fixiert und als lösbare Klammer wirkt, und damit die Trägerfolie (3) in oder an den Grundträger (1) einspannbar und sicherbar ist.

2. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß Anspruch 1,

gekennzeichnet durch

einen sich entlang einer Fläche, insbesondere X-Y-Ebene, er streckenden und die auf den Grundträger fixierte Trägerfolie von der Seite der Trägerfolie her abschließenden Deckel (7) .

3. AufbewahrungsVorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2,

gekennzeichnet durch

einen sich entlang einer Fläche, insbesondere X-Y-Ebene, er streckenden und die auf den Grundträger fixierte Trägerfolie von der Seite des Grundkörpers her abschließenden Verschluss (9) .

4. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß Anspruch 3,

dadurch gekennzeichnet, dass

Deckel (7) und Verschluss (9) sich entlang einer Fläche, ins- besondere X-Y-Ebene, über die auf den Grundträger fixierte Trä gerfolie, und gegebenenfalls über den Fixierrahmen (5), hinaus erstrecken .

5. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß Anspruch 3 oder 4,

dadurch gekennzeichnet, dass

im geschlossenen Zustand der Deckel (7) zusammen mit dem Ver schluss (9) die, gegebenenfalls mittels des Fixierrahmens (5), auf den Grundträger (1) fixierte Trägerfolie (3) fixierend voll ständig umhüllt.

6. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprü che ,

dadurch gekennzeichnet, dass

die Oberflächenstrukturierung des Grundträgers (1) für die Ab nahme der Bauteile, insbesondere Barren (B) , angepasste läng liche Ausnehmungen (11), insbesondere Rillen oder Riffel, auf weist .

7. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprü che ,

dadurch gekennzeichnet, dass

die oberflächenstrukturierte Hauptoberflächenseite des Grund- trägers (1) entlang der Fläche, insbesondere der X-Y-Ebene, eine rechteckige oder quadratische Umwandung (13) aufweist, inner halb der zu dieser in etwa diagonal verlaufende längliche Aus nehmungen (11), insbesondere Rillen oder Riffel, ausgebildet sind .

8. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß Anspruch 6 oder 7,

dadurch gekennzeichnet, dass

die länglichen Ausnehmungen (11), insbesondere Rillen oder Rif fel, regelmäßige Unterbrechungen (15) oder Durchgänge zur Be- reitstellung von Unterdrück oder eines Vakuums zwischen Träger folie (3) und Grundträger (1) aufweisen.

9. AufbewahrungsVorrichtung gemäß Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass

der Grundträger (1) mittels eines Spritzguss-Verfahrens, ins besondere Aluminium-Spritzguss, hergestellt ist.

10. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprü che ,

dadurch gekennzeichnet, dass

die Trägerfolie (3) eine Adhäsionsfolie ist und/oder mindestens ein Klebemittel auf mindestens einer der Hauptoberflächen auf weist .

11. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprü che ,

dadurch gekennzeichnet, dass

die Trägerfolie (3) eine Materialsteifigkeit und/oder Dicke derart aufweist, dass diese beim Fixieren an den Grundträger (1), insbesondere mittels des Fixierrahmens (5), nicht zerstört wird .

12. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprü che,

dadurch gekennzeichnet, dass

der Fixierrahmen (5) mittels einer am Grundträger (1) ausgebil- deten Nut (19) an diesen klemmbar ist.

13. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprü che,

dadurch gekennzeichnet, dass

der Fixierrahmen (5) mittels am Grundträger (1) konisch ausge bildeten Flanken (21) an diesen klemmbar ist.

14. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprü che,

dadurch gekennzeichnet, dass

der Fixierrahmen (5) mittels am Grundträger (1) ausgebildeten Sicherungsstiften (17) an diesen klemmbar ist.

15. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß Anspruch 4 oder 5,

dadurch gekennzeichnet, dass der Grundträger (1), die Trägerfolie (3), der Fixierrahmen (5), der Deckel (7) und der Verschluss (9) aus leitfähigem Polycar- bonat-Material hergestellt sind.

16. Aufbewahrungsvorrichtung gemäß Anspruch 4 oder 5,

dadurch gekennzeichnet, dass

der Grundträger (1), die Trägerfolie (3), der Fixierrahmen (5), der Deckel (7) und der Verschluss (9) mittels Sintern und/oder 3D-Druck oder Spritzguss hergestellt sind.

17. Verwendung einer Aufbewahrungsvorrichtung für Bauteile, insbesondere Halbleiterbauteile, insbesondere Barren, gemäß ei nem der vorherigen Ansprüche, wobei

ein Ablegen oder Fixieren (Sl) der Bauteile an der Trägerfolie mittels Adhäsion und/oder Klebemittel ausgeführt wird;

ein Fixieren oder Klammern ( S2 ) der Bauteile tragenden Träger folie an den Grundträger mittels Adhäsion und/oder Klebemittel der Trägerfolie und/oder mittels des Fixierrahmens ausgeführt wird;

ein Abnehmen ( S5 ) der Bauteile von der Trägerfolie mittels An wenden eines Vakuums oder von Unterdrück auf die vom Grundträger getragenen Trägerfolie ausgeführt wird.

18. Verwendung gemäß Anspruch 17,

gekennzeichnet durch

nach dem Fixieren der Bauteile tragenden Trägerfolie (3) an den Grundträger (1), gegebenenfalls mittels des Fixierrahmens (5), erfolgt deren vollständiges Umhüllen (S3) mittels Deckel (7) und Verschluss (9) .

19. Verwendung gemäß Anspruch 17 oder 18,

gekennzeichnet durch

vor dem Abnehmen der Bauteile von der vom Grundträger (1) ge tragenen Trägerfolie (3) mittels Anwenden eines Vakuums oder von Unterdrück auf die vom Grundträger (1) getragenen Träger folie (3), erfolgt ein Entfernen ( S4 ) von Deckel (7) und Ver schluss ( 9 ) .