WO2020133686A1 - Dispositif de source linéaire et évaporateur à delo - Google Patents

Dispositif de source linéaire et évaporateur à delo Download PDF

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Abstract

L'invention concerne un dispositif de source linéaire (100), comprenant : un mécanisme de source linéaire (10) utilisé pour pulvériser un matériau organique gazeux sur un substrat de TFT, le mécanisme de source linéaire (10) comprenant une cavité de source linéaire (11) ; et au moins deux mécanismes de creuset (20) utilisés pour fournir le matériau organique gazeux, chaque mécanisme de creuset (20) étant disposé sur le côté externe du mécanisme de source linéaire (10), et chaque mécanisme de creuset (20) comprenant une cavité de creuset (21) et une valve de raccordement (22) ; les valves de raccordement (22) sont disposées entre les cavités de creuset (21) et la cavité de source linéaire (11) et utilisées pour permettre aux cavités de creuset (21) et à la cavité de source linéaire (11) de se séparer ou de communiquer l'une avec l'autre ; le mécanisme de source linéaire (10) comprend une pluralité de buses (12), la pluralité de buses (12) communique avec la cavité de source linéaire (11), et est située sur un côté de la cavité de source linéaire (11), l'autre côté de la cavité de source linéaire (11) est pourvu d'au moins deux ouvertures (13), les ouvertures (13) correspondent une à une avec les mécanismes de creuset (20), et chaque mécanisme de creuset (20) est disposé de manière fixe et pour correspondre à l'ouverture correspondante (13) ; chaque mécanisme de creuset (20) comprend en outre un second dispositif de chauffage (23), un creuset (24) et une pompe à vide (25) ; et les seconds dispositifs de chauffage (23) sont disposés sur les cavités de creuset (21), les creusets (24) sont disposés dans les cavités de creuset (21), les pompes à vide (25) sont disposées sur les côtés externes des cavités de creuset (21), et les pompes à vide (25) sont utilisées pour mettre sous vide les cavités de creuset (21) ou gonfler les cavités de creuset (21). L'invention concerne également un dispositif de source linéaire (100) et un évaporateur à DELO.
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