CN112848701A - 真空干燥装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括箱体、设置于箱体内侧的底部并用于承载和加热该显示基板的加热机构、与加热机构相对设置的冷凝板、与箱体连接的用于将箱体内的气体抽取至箱体外侧的抽气机构以及设置于冷凝板靠近加热机构的一侧的热喷机构，热喷机构用于向冷凝板靠近加热机构的一侧表面喷射加热气体，以去除附着在冷凝板靠近加热机构的一侧表面上的液滴，从而避免冷凝板上的液滴掉落至显示基板的子像素单元内，使得显示基板的各子像素单元中墨水材料干燥后成膜的膜厚一致，以此提高制备形成的发光二极管的发光效率和使用寿命，从而改善显示面板的良品率以及显示面板的显示效果。

Description

真空干燥装置

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置。

背景技术

有机发光二极管(organic light emitting diode,OLED)显示面板同时具备自发光、对比度高、厚度薄、视角广、响应速度快等优势，被认为是下一代主流显示技术。喷墨打印技术是通过喷射少于几十皮升的有机发光材料进行有机发光二极管制作的技术，与在真空状态下对有机材料进行气化的蒸镀技术相比，喷墨打印技术在常压下也能够进行生产，并能有效提高有机材料的使用效率，因此被认为是目前最具潜力的大尺寸有机发光二极管显示面板的制备技术。

现有喷墨打印技术，需要将有机发光材料溶解在溶剂中，使其变成墨水状，通过含有有机发光材料的喷嘴在驱动电路基板的像素定义层之间进行喷涂，然后通过干燥工艺除去墨水材料中的溶剂，就可以完成墨水材料的印刷，其中干燥工艺决定了墨水材料干燥后形成的膜面的平整度。如图1所示，图1为现有真空干燥装置的结构示意图，通过加热板11对显示基板14进行加热，以使得显示基板14的子像素单元中的溶剂挥发，同时通过抽气泵13将带有溶剂的气体抽取至真空干燥装置箱体的外侧。溶剂在挥发的过程中遇到真空干燥装置顶部的冷凝板12，会在冷凝板12上凝结成液滴。随着液滴体积的增大，在液滴自身重力以及液滴与冷凝板的金属分子之间电场力的作用下会掉落至显示基板14的子像素单元中，从而影响子像素单元内有机发光材料干燥成膜的效果，使得显示基板14内各子像素单元中有机发光材料干燥成膜后的膜厚不一致，导致制备形成的子像素单元中的有机发光二极管产生发光效率和使用寿命降低以及色度不准，造成显示面板的良品率降低并出现显示不良的问题。

综上所述，现有真空干燥装置存在冷凝板上凝结的液滴会掉落至显示基板上的问题。故，有必要提供一种真空干燥装置来改善这一缺陷。

发明内容

本申请实施例提供一种真空干燥装置，用于解决现有真空干燥装置存在的冷凝板上凝结的液滴会掉落至显示基板上的问题。

本申请实施例提供一种真空干燥装置，所述真空干燥装置用于对显示基板进行干燥处理，所述真空干燥装置包括：

箱体；

加热机构，设置于所述箱体内侧的底部，用于承载并加热所述显示基板；

冷凝板，与所述加热机构相对设置；

抽气机构，与所述箱体连接，用于将所述箱体内的气体抽取至所述箱体外侧；以及

热喷机构，设置于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧，用于向所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面喷射加热气体，以去除附着在所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面上的液滴。

根据本申请一实施例，所述热喷机构包括压缩泵和至少一个热喷装置，所述热喷装置包括壳体和加热单元，所述壳体上设有进气口，所述压缩泵与所述进气口连接，所述壳体上还设有多个用于喷射加热气体的热喷孔。

根据本申请一实施例，所述热喷机构包括多个所述热喷装置，多个所述热喷装置分别设置于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧的相对两端，任一所述热喷装置的壳体靠近相对设置的另一所述热喷装置的一侧均设有多个所述热喷孔。

根据本申请一实施例，所述热喷机构包括多个所述热喷装置，多个所述热喷装置分散排布于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面，且所述热喷装置的所述壳体四周均设有多个所述热喷孔。

根据本申请一实施例，所述冷凝板的形状为矩形，所述冷凝板按照对角线或中位线划分为多个区域，每一区域内均设有至少一个所述热喷装置。

根据本申请一实施例，设置于同一所述热喷装置上的多个所述热喷孔之间等距间隔排布。

根据本申请一实施例，所述真空干燥装置还包括控制机构，所述控制机构与所述热喷装置连接，用于控制所述热喷装置的热喷压力以及热喷时间。

根据本申请一实施例，所述箱体内还设有监控装置，所述控制机构与所述监控装置连接，所述控制机构还包括一显示屏，用于显示所述监控装置拍摄的画面。

根据本申请一实施例，所述抽气机构包括至少两个抽气泵，所述抽气泵分别设置于所述箱体的相对两侧。

根据本申请一实施例，所述真空干燥装置还包括回收机构，所述回收机构与所述抽气机构连接，用于将所述抽气机构排出的气体进行冷却，以使其中的溶剂冷凝并回收。

本申请实施例的有益效果：本申请实施例提供的真空干燥装置用于对显示基板进行干燥处理，该真空干燥装置包括箱体、设置于所述箱体内侧的底部并用于承载和加热该显示基板的加热机构、与所述加热机构相对设置的冷凝板、与所述箱体连接的用于将所述箱体内的气体抽取至箱体外侧的抽气机构以及设置于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧的热喷机构，所述热喷机构用于向所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面喷射加热气体，以去除附着在所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面上的液滴，从而避免冷凝板上的液滴掉落至显示基板的子像素单元内，使得显示基板的各子像素单元中墨水材料干燥后成膜的膜厚一致，以此提高制备形成的发光二极管的发光效率和使用寿命，从而改善显示面板的良品率以及显示面板的显示效果。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请提供的现有真空干燥装置的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的真空干燥装置的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的真空干燥装置的侧面结构示意图；

图4为本申请实施例提供的真空干燥装置的俯视图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本申请可用以实施的特定实施例。本申请所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本申请，而非用以限制本申请。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

下面结合附图和具体实施例对本申请做进一步的说明。

本申请实施例提供一种真空干燥装置，下面结合图2进行详细说明。如图2所示，图2为本申请实施例提供的真空干燥装置的结构示意图，所述真空干燥装置包括箱体21、加热机构22、冷凝板23、抽气机构24以及热喷机构25，所述加热机构21设置于所述箱体22内侧的底部，用于承载并加热所述显示基板3，所述冷凝板23与所述加热机构22相对设置，用于使挥发的溶剂在其表面凝结并回收，所述抽气机构24与所述箱体21连接，用于将所述箱体21内的气体抽取至所述箱体21的外侧，以使得所述箱体21内形成负压环境，便于墨水材料中溶剂的挥发，同时也可以将挥发的溶剂与箱体内的气体一并抽取至箱体21的外侧。所述热喷机构25设置于所述冷凝板23靠近所述加热机构22的一侧，用于向所述冷凝板23靠近所述加热机构22的一侧表面喷射加热气体，以通过加热气体的高温加速液滴的挥发速度，去除附着在所述冷凝板23靠近所述加热机构22的一侧表面上的液滴。

如图2所示，显示基板3包括阵列排布于驱动电路基板31的多个用于填充墨水材料的子像素单元32，各子像素单元32内填充有颜色不同的墨水材料34。如图2所示，多个有机33间隔排布于驱动电路基板31上，相邻所述挡墙33之间的凹槽即为子像素单元32，挡墙33由形成于驱动电路基板31上的有机材料通过图案化工艺制备而成，其表面具有疏水特性，可防止墨水材料34中的溶剂渗透至相邻子像素单元32。

在一实施例中，所述墨水材料34为用于制作形成有机发光二极管的空穴传输层、发光层或者电子传输层的墨水材料，墨水材料34中包括用于形成上述各膜层的溶质以及用于溶解该溶质的溶剂。以发光层为例，通过溶剂溶解不同颜色的有机发光材料可形成不同颜色的墨水材料，再通过喷墨打印的方法可将不同颜色的墨水材料填充至对应的子像素单元32内，以此形成间隔排布的红色发光层、蓝色发光层和绿色发光层。通过加热机构22对显示基板3进行加热，可加速墨水材料34中溶剂的挥发，使得墨水材料34干燥并成型。在加热所述显示基板3的过程中，通过抽气机构24抽取箱体21内的气体，可将挥发的溶剂一并抽取至箱体21外侧，并增加墨水材料34中溶剂的挥发速度。

在一实施例中，加热机构22包括加热板和加热装置，加热板设置于箱体21内用于在承载显示基板3同时将热量传递给显示基板，加热装置设置于箱体21的外侧，通过加热管道与加热板连接，用于产生热量并通过加热管道将热量传递给加热板。

在本申请实施例中，所述热喷机构25包括压缩泵251和至少一个热喷装置252，所述热喷装置252包括壳体和加热单元(图中未示出)，所述壳体上设有一进气口，所述压缩泵251设置于所述冷凝板23远离所述加热机构22的一侧上，并通过气路管道与所述进气口密封连接，用于通过进气口向热喷装置252提供气体，所述加热单元设置于所述壳体内或者所述壳体外侧，用于加热所述压缩泵251提供的气体，所述壳体上还设有多个热喷孔253，所述热喷孔253用于向冷凝板23靠近加热机构22的一侧喷射加热气体。

在一实施例中，所述热喷机构25仅含有一个热喷装置252，该热喷装置252设置于冷凝板23的中心位置处，并固定于冷凝板23上，通过气路管道254和设置于冷凝板23上的通孔与压缩泵251连接。热喷装置22的壳体的四周均设有热喷孔253，用于向四周喷射加热气体。

在一实施例中，所述热喷机构25可包括多个所述热喷装置252，多个所述热喷装置252分别设置于所述冷凝板23靠近所述加热机构22的一侧的相对两端，任一所述热喷装置的壳体靠近相对设置的另一所述热喷装置的一侧均设有多个所述热喷孔253。结合图2至图4，其中图3为本申请实施例提供的真空干燥装置的侧面结构示意图，图4为本申请实施例提供的真空干燥装置的俯视图，热喷机构25包括第一热喷装置和第二热喷装置，所述第一热喷装置和第二热喷装置分别设置于所述冷凝板23靠近所述加热机构22的一侧的相对两端，第一热喷装置的壳体靠近第二热喷装置的一侧设有多个热喷孔253，且所喷射的气体的方向如2中箭头所示，朝向第二喷射装置的一侧；第二热喷装置的壳体靠近第一热喷装置的一侧同样也设有多个热喷孔253，且喷射气体的方向如图2中箭头所示，朝向第一喷射装置的一侧，第一热喷装置和第二热喷装置通过热喷孔253所喷射的加热气体的范围覆盖冷凝板23靠近加热机构22的一侧表面，以此保证冷凝板23上任意位置都能被加热气体所吹到。

具体地，第一热喷装置和第二热喷装置的壳体的截面形状均为矩形，多个所述热喷孔呈单排设置于第一热喷装置和第二热喷装置中任意一个的壳体靠近另一热喷装置的一侧，且多个热喷孔253之间等距间隔排布，每一热喷孔253所喷射出气体的范围呈图4中箭头所示的扇形分布，相邻热喷孔所喷射出的气体彼此交错，以形成覆盖冷凝板23靠近加热机构22一侧表面整面的热喷气体。

在其他一些实施例中，第一热喷装置和第二热喷装置也可以设置于冷凝板23靠近加热机构23的一侧的同一端，只要两个热喷装置喷出的加热气体的范围能够覆盖冷凝板23靠近加热机构23的一侧表面即可。当然，在其他一些实施例中，所述热喷机构25还可以包括两个以上的热喷装置，与上述实施例的排布方式相同，两个以上的所述热喷装置分别设置于冷凝板23靠近所述加热机构22的一侧的相对两端，向各自相对的另一侧通过热喷孔喷射加热气体，位于两端的多个热喷装置的总体喷射范围可以覆盖冷凝板23靠近加热机构23的一侧表面。

在一实施例中，多个热喷装置252还可以分散排布于冷凝板23靠近加热机构22的一侧表面，并固定于冷凝板23上，同时通过气路管道254和设置于冷凝板23上的通孔与压缩泵251连接，且每一热喷装置252的壳体上均设有多个热喷孔。具体地，冷凝板23的形状可以为矩形，通过中位线将冷凝板23划分为面积相等的4个子区域，每个子区域的对角线交点处均设置有一热喷装置252，热喷装置252设置于箱体21内侧的壳体为圆柱形壳体，喷气孔253设置于圆柱形壳体的四周，以使得所喷射的气体能够覆盖冷凝板23的每个子区域，从而保证冷凝板23上任意位置都能被加热气体所吹到，避免冷凝板23上的液滴掉落至显示基板上的子像素单元内。在一些实施例中，也可以将4个热喷装置分别设置于冷凝板23的4个直角，并在冷凝板23的中心位置增设一个热喷装置，此时位于直角的热喷装置仅需设置占圆柱形壳体四分之一圆周左右的热喷孔，即可使热喷装置所喷射的加热气体覆盖其所在子区域，位于中心位置出的热喷装置则可以向四周喷射加热气体，以此避免中心部分加热气体流速和流量较小导致的液滴凝结掉落的现象，进一步提高热喷机构去除冷凝板上液滴凝结的效果。当然，在其他一些实施例中，每一子区域内设置热喷装置的数量不仅限于上述实施例中的1个，也可以为2个或2个以上，具体设置热喷装置252的数量可以根据实际情况进行设定，此处不做赘述。

在一实施例中，所述真空干燥装置还包括控制机构26，所述控制机构26与所述热喷机构25连接，用于控制所述热喷机构25的热喷压力和热喷时间。具体地，所述控制机构26可以为微型电脑，设置于箱体21的外侧。

进一步的，所述箱体21内还设有监控装置27，所述监控装置27用于监控所述冷凝板23上液滴的凝结情况。所述控制机构26与所述监控装置27连接，用于接收监控装置27上传的信息，并根据所述监控装置27上传的信息判断是否需要进行热喷处理。具体地，所述监控装置27为摄像头，所述摄像头设置于箱体21的一侧内壁上，且可以全方位旋转，用于拍摄冷凝板23靠近加热机构22的一侧表面，控制机构26可包括一显示屏，显示屏用于显示摄像头所拍摄的画面，可通过工作人员对摄像头拍摄的画面判断是否需要进行热喷处理，或者也可以通过控制机构26中的计算机程序自动根据摄像头拍摄的画面判断是否需要进行热喷处理。

在一实施例中，所述抽气机构24包括至少两个抽气泵241，所述抽气泵241分别设置于所述箱体21的相对两侧，并通过气路管道与箱体21连接，用于将挥发的溶剂随箱体21内的气体一并抽取至箱体21的外侧。抽气泵241与箱体21连接的气路管道上还可以增设有调节阀(图中未示出)，可通过控制机构26控制调节阀的开口大小来调整抽气泵抽气的速率，以保证抽气泵的抽气速率和箱体内溶剂的挥发速率相匹配。当然，在其他一些实施例中，抽气泵的数量不仅限于本申请实施例中的2个，可以为1个或者2个以上，具体的数量可以根据实际情况进行设定，同时抽气泵也可以设置于真空干燥装置的顶部或者底部，同样可以实现与上述实施例相同的技术效果，此处不做限制。

在一实施例中，所述真空干燥装置还包括回收机构(图中未示出)，所述回收机构与所述抽气机构24连接，用于将所述抽气机构24排出的气体进行冷却，以使其中的溶剂冷凝并回收。具体地，所述回收机构内可包括溶剂回收腔、与所述溶剂回收腔连接的气体处理单元以及用于将所述抽气机构24与所述溶剂回收腔和气体处理单元中的一个进行选择性导通的阀门切换单元。根据抽气机构24从箱体内抽出的气体的具体情况，阀门切换单元将由抽气机构24与溶剂回收腔连通，使得抽气机构24排出的气体流入至该溶剂回收腔内，并由所述溶剂回收腔进行冷却并收集冷却液化后的溶剂，同时将剩余的气体通过气体处理单元处理后排出；或者也可以通过阀门切换单元将抽气机构24与气体处理单元连通，使得抽气机构排出的气体流入该气体处理单元，在气体处理单元进行废气处理后排出。

综上所述，本申请实施例提供的真空干燥装置用于对显示基板进行干燥处理，该真空干燥装置包括箱体、设置于所述箱体内侧的底部并用于承载和加热该显示基板的加热机构、与所述加热机构相对设置的冷凝板、与所述箱体连接的用于将所述箱体内的气体抽取至箱体外侧的抽气机构以及设置于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧的热喷机构，所述热喷机构用于向所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面喷射加热气体，以去除附着在所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面上的液滴，从而避免冷凝板上的液滴掉落至显示基板的子像素单元内，使得显示基板的各子像素单元中墨水材料干燥后成膜的膜厚一致，以此提高制备形成的发光二极管的发光效率和使用寿命，从而改善显示面板的良品率以及显示面板的显示效果。

综上所述，虽然本申请以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本申请，本领域的普通技术人员，在不脱离本申请的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本申请的保护范围以权利要求界定的范围为基准。

Claims (10)

1.一种真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置用于对显示基板进行干燥处理，所述真空干燥装置包括：

箱体；

加热机构，设置于所述箱体内侧的底部，用于承载并加热所述显示基板；

冷凝板，与所述加热机构相对设置；

抽气机构，与所述箱体连接，用于将所述箱体内的气体抽取至所述箱体外侧；以及

热喷机构，设置于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧，用于向所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面喷射加热气体，以去除附着在所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面上的液滴。

2.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述热喷机构包括压缩泵和至少一个热喷装置，所述热喷装置包括壳体和加热单元，所述壳体上设有进气口，所述压缩泵与所述进气口连接，所述壳体上还设有多个用于喷射加热气体的热喷孔。

3.如权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述热喷机构包括多个所述热喷装置，多个所述热喷装置分别设置于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧的相对两端，任一所述热喷装置的壳体靠近相对设置的另一所述热喷装置的一侧均设有多个所述热喷孔。

4.如权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述热喷机构包括多个所述热喷装置，多个所述热喷装置分散排布于所述冷凝板靠近所述加热机构的一侧表面，且所述热喷装置的所述壳体四周均设有多个所述热喷孔。

5.如权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述冷凝板的形状为矩形，所述冷凝板按照对角线或中位线划分为多个区域，每一区域内均设有至少一个所述热喷装置。

6.如权利要求2至5任一项所述的真空干燥装置，其特征在于，设置于同一所述热喷装置上的多个所述热喷孔之间等距间隔排布。

7.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括控制机构，所述控制机构与所述热喷装置连接，用于控制所述热喷装置的热喷压力以及热喷时间。

8.如权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，所述箱体内还设有监控装置，所述控制机构与所述监控装置连接，所述控制机构还包括一显示屏，用于显示所述监控装置拍摄的画面。

9.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述抽气机构包括至少两个抽气泵，所述抽气泵分别设置于所述箱体的相对两侧。

10.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括回收机构，所述回收机构与所述抽气机构连接，用于将所述抽气机构排出的气体进行冷却，以使其中的溶剂冷凝并回收。

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