WO2020078846A1

WO2020078846A1 - Objektiv für ein mikroskop und verfahren zum korrigieren eines abbildungsfehlers eines mikroskops mit einem objektiv

Info

Publication number: WO2020078846A1
Application number: PCT/EP2019/077616
Authority: WO
Inventors: Sebastian HITZLER; Jochen Sieper; Christian Schumann; Tobias Bauer
Original assignee: Leica Microsystems Cms Gmbh
Priority date: 2018-10-19
Filing date: 2019-10-11
Publication date: 2020-04-23
Also published as: EP3959557A1; WO2020078846A4; DE102018126000A1

Abstract

Ein Objektiv für ein Mikroskop (10), mit einem Korrektionsmittel (14), das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist, wobei das Objektiv (12) einen nichtflüchtigen Speicherbaustein (32) hat, auf dem wenigstens eine dem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist. Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops (10) mit einem Objektiv (12), bei dem ein in dem Objektiv (12) angeordnetes Korrektionsmittel (14) zum Korrigieren des Abbildungsfehlers eingestellt wird, wobei in dem Objektiv (12) wenigstens eine dem Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße des Korrektionsmittels (14) gespeichert wird, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.

Description

Objektiv für ein Mikroskop und Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objektiv

Die Erfindung betrifft ein Objektiv für ein Mikroskop, mit einem Korrektionsmittel, das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objek tiv.

Aus dem Stand der Technik sind Objektive bekannt, die ein Korrektionsmittel in Form eines Linsensystems zur Deckglasdickenkorrektur hat. Die Linsensysteme sind motori siert oder manuell verstellbar. Ein solches Objektiv ist beispielsweise in DE 10 2011 051 677 Al offenbart. Nachteil bekannter Objektive ist, dass aufgrund von Fertigungstole ranzen das Korrektionsverhalten, d.h. der Einfluss des Korrektionsmittels auf eine mit dem Objektiv vorgenommene Abbildung, einzelner Objektive voneinander abweichen kann.

Es ist Aufgabe der Erfindung ein Objektiv für ein Mikroskop, mit einem Korrektionsmit tel, das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist und ein Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objektiv anzugeben, die eine einfache und zuverlässige Korrektion von Abbildungsfehlern erlauben.

Diese Aufgabe wird durch ein Objektiv mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 9 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildun gen finden sich in den abhängigen Ansprüchen.

Das erfindungsgemäße Objektiv für ein Mikroskop hat ein Korrektionsmittel, das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist und einen nichtflüchtigen Speicher baustein, auf dem wenigstens eine dem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeord nete und für das Objektiv individuelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Kor rektionsmittel einstellbar ist. Auf dem Speicherbaustein des erfindungsgemäßen Objektivs ist eine für das Objektiv individuelle Zuordnung, beispielsweise in Form einer Tabelle oder einer Zuordnungs vorschrift, zwischen dem zu korrigierenden Abbildungsfehler und einer für das Objek tiv individuellen Stellgröße gespeichert. Durch die für das Objektiv individuelle Zuord nung ist das Korrektionsverhalten des individuellen Objektivs unabhängig von Ferti gungstoleranzen charakterisiert. Dies erlaubt es, einen beispielsweise durch das Mikro skop bestimmten Abbildungsfehler in einfacher Weise objektivindividuell und damit zuverlässig zu korrigieren.

Vorzugsweise umfasst das Korrektionsmittel wenigstens eine Linse, die zur Korrektion von Abbildungsfehlern entlang der optischen Achse des Objektivs bewegbar ist. Durch eine entlang der optischen Achse bewegbaren Linse oder Linsengruppe lassen sich sphärische Abbildungsfehler in mechanisch einfacher Weise zuverlässig korrigieren.

In einer bevorzugten Weiterbildung umfasst das Objektiv eine Steuereinheit, die aus gebildet ist, von dem Mikroskop den zu korrigierenden Abbildungsfehler zu empfangen und eine Einstellung des Korrektionsmittels auf Grundlage der dem empfangenen Ab bildungsfehler zugeordneten Stellgröße vorzunehmen. Die Steuereinheit kann den zu korrigierenden Abbildungsfehler, beispielsweise in Form von Koeffizienten einer Rei henentwicklung nach orthogonalen Polynomen, insbesondere nach Zernike-Polyno- men, des Wellenfrontfehlers empfangen. Die Einstellung des Korrektionsmittels zur Korrektion des empfangenen Abbildungsfehlers erfolgt auf Grundlage der für das Ob jektiv individuellen Zuordnung zwischen dem empfangenen Abbildungsfehler und der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße. Konkret kann dies bei spielsweise durch Auslesen der Stellgröße aus einer auf dem Speicherbaustein gespei cherten Tabelle oder Ermitteln der Stellgröße aus einer auf dem Speicherbaustein ge speicherten Zuordnungsvorschrift erfolgen. Es ist vorteilhaft, wenn auf dem Speicherbaustein eine für das Objektiv individuelle Hystereseinformation des Korrektionsmittels gespeichert ist, unter Berücksichtigung derer das Korrektionsmittel einstellbar ist. Eine mechanische Hysterese des Korrekti onsmittels ist eine Fehlerquelle bei der Einstellung des Korrektionsmittels. Die auf dem Speicherbaustein gespeicherte Hystereseinformation ermöglicht der Steuereinheit, eine objektivindividuelle Einstellung des Korrektionsmittels unter Berücksichtigung der mechanischen Hysterese des Korrektionsmittels vorzunehmen. Beispielsweise kann die auf dem Speicherbaustein gespeicherte Hystereseinformation einen Offset umfasst, der zu der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße addiert oder von diesem abgezogen werden muss, um die mechanische Hysterese zu kompensie ren. Alternativ kann die Hystereseinformation Anweisungen umfassen, dass das Kor rektionsmittel nur in einer bestimmten Art und Weise eingestellt werden soll. Handelt es sich bei dem Korrektionsmittel um eine Linse oder Linsengruppe, kann die Hyste reseinformation insbesondere die Anweisung umfassen, die der Stellgröße zugeord nete Position der Linse bzw. Linsengruppe nur aus einer Richtung anzufahren.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Objektiv über ein Bussystem mit dem Mikroskop verbunden. Über das Bussystem kann eine Kommunikation zwischen dem Objektiv und dem Mikroskop stattfinden. Die Verbindung zum Bussystem kann bei spielsweise über ein externes Kabel oder über eine geeignete Kontaktierung einer me chanischen Anschlussfläche zwischen Mikroskop und Objektiv erfolgen.

In einer vorteilhaften Weiterbildung ist das Bussystem derart ausgebildet, dass eine weitere durch das Mikroskop vorgegebene Stellgröße übermittelbar ist, anhand derer das Korrektionsmittel einstellbar ist. Das Mikroskop kann hierdurch über das Bussys tem eine Einstellung des Korrektionsmittels vornehmen. Vorzugsweise ist das Bussys tem derart ausgebildet, dass der der übermittelten Stellgröße zugeordnete Abbil dungsfehler von dem Objektiv zu dem Mikroskop übermittelbar ist. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind auf dem Speicherbaustein für das Objektiv individuelle optische Daten gespeichert. Das Bussystem ist derart ausge bildet, dass die optischen Daten zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfeh lers durch das Mikroskop auslesbar sind. Zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbil dungsfehlers durch das Mikroskop werden optische Daten des Objektivs benötigt. In der bevorzugten Ausführungsform sind diese auf dem Speicherbaustein gespeichert und über das Bussystem durch das Mikroskop auslesbar. Bei den optischen Daten kann es sich insbesondere um numerische Apertur, Vergrößerung, und/oder Farbkorrektion des Objektivs handeln. Ferner können auf dem Speicherbaustein auch weitere für den Betrieb des Mikroskops notwendige Daten wie Arbeitsabstand, Lage der Austrittspu pille, Vignettierungsdaten, Steuerdaten für Autofokus- oder Fokushaltesysteme und/o der Laser-Zerstörschwellen sowie Bezeichnung, Bestellnummer und/oder Seriennum mer gespeichert sein.

Vorzugsweise umfasst das Objektiv einen mechanischen Anschlag und/oder eine Licht schranke zum Erfassen eines Wertes der Stellgröße des Korrektionsmittels. Der mo mentane Wert der Stellgröße des Korrektionsmittels relativ zu dem mechanischen An schlag und/oder der Lichtschranke wird durch ein geeignetes Messsystem, vorzugs weise einen Encoder, erfasst. Hierdurch kann beispielsweise eine Abweichung zwi schen einem Ist-Wert und einem Soll-Wert der Stellgröße erfasst werden.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Korrigieren eines Abbil dungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objektiv, bei dem ein in dem Objektiv ange ordnetes Korrektionsmittel zum Korrigieren des Abbildungsfehlers eingestellt wird. In dem Objektiv wird wenigstens eine dem Abbildungsfehler zugeordnete und für das Ob jektiv individuelle Stellgröße des Korrektionsmittels gespeichert, anhand derer das Kor rektionsmittel einstellbar ist. In einer bevorzugten Ausführungsform wird die wenigstens eine Stellgröße des Objek tivs anhand des Objektivs individuell ermittelt und/oder aus optischen Daten des Ob jektivs errechnet. Beispielsweise kann die wenigstens eine Stellgröße des Objektivs in einem Endmontageschritt, vorzugweise für das Objektiv individuell, beispielsweise durch ein interferometrisches Verfahren, ermittelt werden.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform werden der zu korrigierende Abbil dungsfehler durch das Mikroskop bestimmt, der zu korrigierende Abbildungsfehler durch das Objektiv von dem Mikroskop empfangen und eine Einstellung des Korrekti onsmittels auf Grundlage der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stell größe vorgenommen. Vorzugsweise wird der zu korrigierende Abbildungsfehler in Form von Entwicklungskoeffizienten orthogonaler Polynome, insbesondere Zernike- Polynome, übermittelt. Dies ist eine besondere einfache Art und Weise, den zu korri gierenden Abbildungsfehler zu quantifizieren.

Vorzugsweise werden zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers ein Brechungsindex einer Probe, eines Einbettmediums, eines Immersionsmediums und/o der eines Deckglases und/oder die Dicke des Deckglases entlang der optischen Achse des Objektivs und/oder die Position der Objektebene relativ zur Position des Deckgla ses bestimmt.

Zur Bestimmung der Dicke eines Deckglases wird beispielsweise unter schrägen Einfall ein Messlichtbündel durch das Objektiv auf das Deckglas gelenkt. Durch Teilreflexionen des Messlichtbündels an einer ersten durch das Deckglas und des Immersionsmedium gebildeten optischen Grenzfläche und an einer zweiten durch das Deckglas und das Einbettmedium gebildeten optischen Grenzfläche werden zwei räumlich getrennte Re flexionslichtbündel erzeugt. Die beiden Reflexionslichtbündel werden durch das Objek tiv empfangen und auf einen positionssensitiven Detektor gelenkt. Auf Grundlage der erfassten Einfallsorte der beiden Reflexionsbündel auf dem positionssensitiven Detek tor kann die Dicke des Deckglases ermittelt werden. Eine Bestimmung des Brechungsindex des Einbettmediums kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass auch die Intensitäten der beiden Reflexionslichtbündel mittels des positionssensitiven Detektors erfasst werden. Auf Grundlage der erfassten Intensi täten der beiden Reflexionslichtbündel kann der Brechungsindex des Einbettmediums ermittelt werden, da die Intensitäten der beiden Reflexionslichtbündel von der Refle xion und der Transmission des Messlichtbündels an den beiden Grenzflächen abhän- gen, die durch das Deckglas und das Einbettmedium bzw. das Immersionsmedium defi niert sind. Die Reflexions- und Transmissionsvorgänge, auf denen letztlich die Intensi täten der beiden räumlich voneinander getrennten Reflexionslichtbündel beruhen, werden somit wesentlich durch die Brechungsindizes des Deckglases 16 sowie des Ein bettmediums und des Immersionsmediums bestimmt.

In einer alternativen Ausführungsform erfolgt ein Einstellen des Objektivs auf eine erste in einer Probe angeordnete Fokusebene senkrecht zur optischen Achse des Ob jektivs. Es erfolgt ein Einstellen des Korrektionsmittels auf einen ersten Wert der Stell größe, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs auf die erste Fokusebene minimiert wird. Es erfolgt ein Einstellen des Objektivs auf eine zweite in der Probe angeordnete und von der ersten Fokusebene verschiedene Fokus ebene senkrecht zur optischen Achse des Objektivs. Es erfolgt ein Einstellen des Kor rektionsmittels auf einen zweiten Wert der Stellgröße, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellung des Objektivs auf die zweite Fokusebene minimiert wird. Es erfolgt ein Ermitteln eines Brechungsindex der Probe auf Grundlage des ersten Wertes der Stellgröße und des zweiten Wertes der Stellgröße. In dieser Ausführungs form erlaubt das Verfahren die Bestimmung des Brechungsindex der Probe, die als Grundlage für eine Korrektion insbesondere durch Brechungsindexfehlanpassung indu zierter Abbildungsfehler dienen kann. In der oben genannten alternativen Ausführungsform werden vorzugsweise zum Er mitteln des Brechungsindex der Probe ein dem ersten Wert der Stellgröße zugeordne ter erster Wert des Abbildungsfehlers und ein dem zweiten Wert der Stellgröße zuge ordneter zweiter Wert des Abbildungsfehlers durch das Mikroskop aus dem Objektiv ausgelesen.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Be schreibung, die die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen im Zusammenhang mit den beigefügten Figuren näher erläutert.

Es zeigen:

Figur 1 eine schematische Darstellung eines Mikroskops als Ausführungsbeispiel;

Figur 2 eine perspektivische Darstellung eines Objektivs, das Teil des Mikroskops nach Figur 1 ist;

Figur 3 eine weitere perspektivische Darstellung des Objektivs nach Figur 2;

Figur 4 eine schematische Darstellung eines Bussystems, das eine Steuereinheit des Mikroskops nach Figur 1 und das Objektiv nach den Figuren 2 und 3 miteinander verbindet; und

Figur 5 ein Flussdiagramm, das eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Bestim mung eines Brechungsindex mittels des Mikroskops nach Figur 1 zeigt.

Figur 1 zeigt ein Mikroskop 10 als erstes Ausführungsbeispiel. Das Mikroskop 10 weist ein erfindungsgemäßes Objektiv 12 auf, das auf ein Deckglas 16 gerichtet ist. Das Ob- jektiv 12 umfasst ein Korrektionsmittel 14, das zum Korrigieren eines Abbildungsfeh lers einstellbar. Das Objektiv 12 ist anhand der Figuren 2 und 3 noch näher beschrie ben. Das Mikroskop 10 umfasst ferner eine Steuereinheit 18, die über ein externes Ka bel 20 mit dem Objektiv 12 verbunden ist und welche die verschiedenen Objektivkom ponenten ansteuert. Die Kommunikation zwischen der Steuereinheit 18 des Mikro skops 10 und dem Objektivs 12 findet über ein Bussystem 22 statt, das anhand von Fi gur 4 näher beschrieben ist.

Figur 2 und Figur 3 zeigen jeweils eine perspektivische Darstellung des Objektivs 12.

Das Objektiv 12 umfasst einen Objektivkörper 24 und einen Aufbau 26, der seitlich an dem Objektivkörper 24 angeordnet ist.

Der Objektivkörper 24 umfasst eine Objektivoptik und das Korrektionsmittel 14, das in dem gezeigten Ausführungsbeispiel als Korrektionslinse ausgebildet ist, die entlang der optischen Achse O des Objektivs bewegbar ist.

Der Aufbau 26 umfasst einen Aktor 28 zum Verstellen des Korrektionsmittels 14, der im gezeigten Ausführungsbeispiel als ein Motor ausgebildet ist. Der Aktor 28 wird durch einen ebenfalls in dem Aufbau 26 angeordneten Aktortreiber 30 gesteuert.

Der Aufbau 26 umfasst ferner einen nichtflüchtigen Speicherbaustein 32, auf dem eine einem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv 12 indivi duelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Korrektionsmittel 14 einstellbar ist. Die Zuordnung erfolgt in dem gezeigten Ausführungsbeispiel in Form einer Tabelle, in der jeweils einem Wert des zu korrigierenden Abbildungsfehlers ein Wert der Stell größe zugeordnet ist, anhand derer das Korrektionsmittel 14 einstellbar ist. Alternativ kann auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 eine Zuordnungsvorschrift beispiels weise in Form einer Funktion gespeichert sein. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel sind auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 auch optische Daten des Objektivs 12, insbesondere die numerische Apertur, die Vergrößerung und die Farbkorrektion, gespeichert. Ferner sind auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 der Arbeitsab stand, die Lage der Austrittspupille, Vignettierungsdaten, Steuerdaten für Autofokus- und Fokushaltesysteme und Laser-Zerstörschwellen sowie die Bezeichnung, die Be stellnummer, Protokolle der Endabnahme und die Seriennummer des Objektivs 12 ge speichert.

Wie in Figur 3 gezeigt, umfasst der Aufbau 26 ferner eine weitere Steuereinheit 34, die ausgebildet ist, von der in Figur 1 gezeigten Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 den zu korrigierenden Abbildungsfehler zu empfangen und mittels des Aktors 28 eine Einstel lung des Korrektionsmittels 14 vorzunehmen. Diese erfolgt auf Grundlage der auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 gespeicherten Zuordnung zwischen dem empfan genen Abbildungsfehler und der Stellgröße.

Auf einer Außenseite weist der Aufbau 26 eine Steckerbuchse 36 auf, in die das ex terne Kabel 20 einsteckbar ist. Hierdurch kann eine Kommunikation zwischen der Steu ereinheit 18 des Mikroskops 10 und der Steuereinheit 34 des Objektivs 12 erfolgen.

Figur 4 zeigt eine schematische Darstellung eines Bussystems 22, das die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 nach Figur 1 und das Objektiv 12 nach den Figuren 2 und 3 mitei nander verbindet. Die Steuereinheit 34 des Objektivs 12 ist über das externe Kabel 18 mit der Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 verbunden. Die Steuereinheit 34 des Ob jektivs 12 hat direkten Zugriff auf den nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 und den Ak tortreiber 30. Der Aktortreiber 30 ist mit dem Aktor 28 verbunden.

Figur 5 zeigt ein Flussdiagramm, das eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Be stimmung eines Brechungsindex mittels des Mikroskops 10 nach Figur 1 zeigt.

In einem ersten Schritt S1 wird das Objektiv 12 manuell durch eine Bedienperson oder automatisch durch die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 auf eine erste in einer Probe angeordnete Fokusebene senkrecht zur optischen Achse 0 des Objektivs 12 ein gestellt.

In einem zweiten Schritt S2 wird das Korrektionsmittel 14 auf einen ersten Wert der Stellgröße eingestellt, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs 12 auf die erste Fokusebene minimiert wird. Dies kann beispielsweise durch Bewertung eines durch das Mikroskop 10 aufgenommen Bildes durch die Bedienper son, oder durch ein automatisiertes Verfahren basierend auf einer digitalen Auswer tung des Bildes durch die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 erfolgen. Hierzu sind aus dem Stand der Technik Kontrast- und Schärfekriterien bekannt.

Es wird ein dem ersten Wert der Stellgröße zugeordneter erster Wert des Abbildungs fehlers durch die Steuereinheit 34 des Objektivs 12 mittels der auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 gespeicherten Zuordnung ermittelt und an die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 übermittelt.

In einem dritten Schritt S3 wird das Objektiv 12 manuell oder automatisch auf eine zweite von der ersten Fokusebene verschiedene in einer Probe angeordnete Fokus ebene senkrecht zur optischen Achse O des Objektivs 12 eingestellt.

In einem vierten Schritt S3 wird das Korrektionsmittel 14 auf einen zweiten Wert der Stellgröße eingestellt, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs 12 auf die zweite Fokusebene minimiert wird.

Es wird ein dem zweiten Wert der Stellgröße zugeordneter zweiter Wert des Abbil dungsfehlers durch die Steuereinheit 34 des Objektivs 12 mittels der auf dem nicht flüchtigen Speicherbaustein 32 gespeicherten Zuordnung ermittelt und an die Steuer einheit 18 des Mikroskops 10 übermittelt. In einem fünften Schritt S5 wird durch die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 auf Grundlage des ersten Wertes des Abbildungsfehlers und des zweiten Wertes des Abbil dungsfehlers Brechungsindex n_Spc der Probe ermittelt.

Ein durch Brechungsindexfehlanpassung induzierter Abbildungsfehler lässt sich schrei ben als

dabei sind Dz der mechanische Abstand zwischen dem Objektiv und der Fokusebene, auf die das Objektiv fokussiert ist, r die radiale Koordinate auf dem zum Einheitskreis normierten Austrittspupille des Objektivs 12, n_Spcder Brechungsindex der Probe, n_Imrn der Brechungsindex des Immersionsmediums und NA die numerische Apertur des Ob jektivs 12. Sind der erste Wert ^(r) und des zweite Wert y₂ (r) des Abbildungsfeh lers in der durch Gleichung (1) angegebenen Art bekannt, lässt sich für jeden Punkt r auf der Pupille des Objektivs 12 des der Brechungsindex n_Spc der Probe ermitteln als

Eine globale Bestimmung des Brechungsindex n_Spc kann dann durch eine Mittelung über die Pupille erfolgen.

Bezugszeichenliste

10 Mikroskop

12 Objektiv

14 Korrektionsmittel

16 Deckglas

18 Steuereinheit

20 Kabel

22 Bussystem

24 Objektivkörper

26 Aufbau

28 Aktor

30 Aktortreiber

32 Speicherbaustein

34 Steuereinheit

36 Steckerbuchse

0 Achse

S1 bis S5 Verfahrensschritte

Claims

Ansprüche

1. Objektiv für ein Mikroskop (10), mit

einem Korrektionsmittel (14), das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers ein stellbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass

das Objektiv (12) einen nichtflüchtigen Speicherbaustein (32) hat, auf dem we nigstens eine dem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Korrekti onsmittel (14) einstellbar ist.

2. Objektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Steuereinheit (18), die ausgebildet ist, von dem Mikroskop (10) den zu korrigierenden Abbildungsfeh ler zu empfangen und eine Einstellung des Korrektionsmittels (14) auf Grund lage der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße vorzu nehmen.

3. Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Spei cherbaustein (32) eine für das Objektiv (12) individuelle Hystereseinformation des Korrektionsmittels (14) gespeichert ist, unter Berücksichtigung derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.

4. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Korrektionsmittel (14) wenigstens eine Linse umfasst, die zur Korrektion von Abbildungsfehlern entlang der optischen Achse (O) des Objektivs (12) beweg bar ist.

5. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv (12) über ein Bussystem (22) mit dem Mikroskop (10) verbunden ist.

6. Objektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Bussystem (22) derart ausgebildet ist, dass mindestens eine weitere durch das Mikroskop (10) vorgegebene Stellgröße übermittelbar ist, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.

7. Objektiv nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Spei cherbaustein (32) für das Objektiv (12) individuelle optische Daten gespeichert sind und das Bussystem (2) derart ausgebildet ist, dass die optischen Daten zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers durch das Mikroskop (10) auslesbar sind.

8. Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch einen me chanischen Anschlag und/oder eine Lichtschranke zum Erfassen eines Wertes der Stellgröße des Korrektionsmittels (14).

9. Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops (10) mit einem Objektiv (12), bei dem

ein in dem Objektiv (12) angeordnetes Korrektionsmittel (14) zum Korrigieren des Abbildungsfehlers eingestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Objektiv (12) wenigstens eine dem Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße des Korrektionsmittels (14) gespei chert wird, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Stellgröße des Objektivs (12) anhand des Objektivs (12) individuell ermittelt und/oder aus optischen Daten des Objektivs (12) errechnet wird.

11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Mikroskop (10) der zu korrigierende Abbildungsfehler bestimmt, durch das Ob- jektiv (12) der zu korrigierende Abbildungsfehler von dem Mikroskop (10) emp fangen und eine Einstellung des Korrektionsmittels (14) auf Grundlage der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße vorgenommen wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers ein Brechungsindex einer Probe, eines Einbettmediums, eines Immersionsmediums und/oder eines Deckglases (16) und/oder die Dicke des Deckglases (16) entlang der optischen Achse (0) des Objektivs (12) und/oder die Position einer Objektebene relativ zur Position des Deckglases (16) bestimmt werden.

13. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

Einstellen des Objektivs (12) auf eine erste in einer Probe angeordnete Fokus ebene senkrecht zur optischen Achse (O) des Objektivs (12),

Einstellen des Korrektionsmittels (14) auf einen ersten Wert der Stellgröße, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs (12) auf die erste Fokusebene minimiert wird,

Einstellen des Objektivs (12) auf eine zweite in der Probe angeordnete und von der ersten Fokusebene verschiedene Fokusebene senkrecht zur optischen Achse (O) des Objektivs (12),

Einstellen des Korrektionsmittels (14) auf einen zweiten Wert der Stellgröße, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellung des Objektivs (12) auf die zweite Fokusebene minimiert wird und

Ermitteln eines Brechungsindex der Probe auf Grundlage des ersten Wertes der Stellgröße und des zweiten Wertes der Stellgröße.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass zum Ermitteln des Brechungsindex der Probe ein dem ersten Wert der Stellgröße zugeordneter erster Wert des Abbildungsfehlers und ein dem zweiten Wert der Stellgröße zu geordneter zweiter Wert des Abbildungsfehlers durch das Mikroskop (10) aus dem Objektiv (12) ausgelesen werden.