DE102018126000A1

DE102018126000A1 - Objektiv für ein Mikroskop und Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objektiv

Info

Publication number: DE102018126000A1
Application number: DE102018126000.8A
Authority: DE
Inventors: Sebastian Hitzler; Jochen Sieper; Christian Schumann; Tobias Bauer
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2018-10-19
Filing date: 2018-10-19
Publication date: 2020-04-23
Also published as: WO2020078846A1; EP3959557A1; WO2020078846A4

Abstract

Ein Objektiv für ein Mikroskop (10), mit einem Korrektionsmittel (14), das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist, wobei das Objektiv (12) einen nichtflüchtigen Speicherbaustein (32) hat, auf dem wenigstens eine dem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist. Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops (10) mit einem Objektiv (12), bei dem ein in dem Objektiv (12) angeordnetes Korrektionsmittel (14) zum Korrigieren des Abbildungsfehlers eingestellt wird, wobei in dem Objektiv (12) wenigstens eine dem Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße des Korrektionsmittels (14) gespeichert wird, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Objektiv für ein Mikroskop, mit einem Korrektionsmittel, das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objektiv.
Aus dem Stand der Technik sind Objektive bekannt, die ein Korrektionsmittel in Form eines Linsensystems zur Deckglasdickenkorrektur hat. Die Linsensysteme sind motorisiert oder manuell verstellbar. Ein solches Objektiv ist beispielsweise in DE 10 2011 051 677 A1 offenbart. Nachteil bekannter Objektive ist, dass aufgrund von Fertigungstoleranzen das Korrektionsverhalten, d.h. der Einfluss des Korrektionsmittels auf eine mit dem Objektiv vorgenommene Abbildung, einzelner Objektive voneinander abweichen kann.
Es ist Aufgabe der Erfindung ein Objektiv für ein Mikroskop, mit einem Korrektionsmittel, das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist und ein Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objektiv anzugeben, die eine einfache und zuverlässige Korrektion von Abbildungsfehlern erlauben.
Diese Aufgabe wird durch ein Objektiv mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 9 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen.
Das erfindungsgemäße Objektiv für ein Mikroskop hat ein Korrektionsmittel, das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist und einen nichtflüchtigen Speicherbaustein, auf dem wenigstens eine dem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv individuelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Korrektionsmittel einstellbar ist.
Auf dem Speicherbaustein des erfindungsgemäßen Objektivs ist eine für das Objektiv individuelle Zuordnung, beispielsweise in Form einer Tabelle oder einer Zuordnungsvorschrift, zwischen dem zu korrigierenden Abbildungsfehler und einer für das Objektiv individuellen Stellgröße gespeichert. Durch die für das Objektiv individuelle Zuordnung ist das Korrektionsverhalten des individuellen Objektivs unabhängig von Fertigungstoleranzen charakterisiert. Dies erlaubt es, einen beispielsweise durch das Mikroskop bestimmten Abbildungsfehler in einfacher Weise objektivindividuell und damit zuverlässig zu korrigieren.
Vorzugsweise umfasst das Korrektionsmittel wenigstens eine Linse, die zur Korrektion von Abbildungsfehlern entlang der optischen Achse des Objektivs bewegbar ist. Durch eine entlang der optischen Achse bewegbaren Linse oder Linsengruppe lassen sich sphärische Abbildungsfehler in mechanisch einfacher Weise zuverlässig korrigieren.
In einer bevorzugten Weiterbildung umfasst das Objektiv eine Steuereinheit, die ausgebildet ist, von dem Mikroskop den zu korrigierenden Abbildungsfehler zu empfangen und eine Einstellung des Korrektionsmittels auf Grundlage der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße vorzunehmen. Die Steuereinheit kann den zu korrigierenden Abbildungsfehler, beispielsweise in Form von Koeffizienten einer Reihenentwicklung nach orthogonalen Polynomen, insbesondere nach Zernike-Polynomen, des Wellenfrontfehlers empfangen. Die Einstellung des Korrektionsmittels zur Korrektion des empfangenen Abbildungsfehlers erfolgt auf Grundlage der für das Objektiv individuellen Zuordnung zwischen dem empfangenen Abbildungsfehler und der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße. Konkret kann dies beispielsweise durch Auslesen der Stellgröße aus einer auf dem Speicherbaustein gespeicherten Tabelle oder Ermitteln der Stellgröße aus einer auf dem Speicherbaustein gespeicherten Zuordnungsvorschrift erfolgen.
Es ist vorteilhaft, wenn auf dem Speicherbaustein eine für das Objektiv individuelle Hystereseinformation des Korrektionsmittels gespeichert ist, unter Berücksichtigung derer das Korrektionsmittel einstellbar ist. Eine mechanische Hysterese des Korrektionsmittels ist eine Fehlerquelle bei der Einstellung des Korrektionsmittels. Die auf dem Speicherbaustein gespeicherte Hystereseinformation ermöglicht der Steuereinheit, eine objektivindividuelle Einstellung des Korrektionsmittels unter Berücksichtigung der mechanischen Hysterese des Korrektionsmittels vorzunehmen. Beispielsweise kann die auf dem Speicherbaustein gespeicherte Hystereseinformation einen Offset umfasst, der zu der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße addiert oder von diesem abgezogen werden muss, um die mechanische Hysterese zu kompensieren. Alternativ kann die Hystereseinformation Anweisungen umfassen, dass das Korrektionsmittel nur in einer bestimmten Art und Weise eingestellt werden soll. Handelt es sich bei dem Korrektionsmittel um eine Linse oder Linsengruppe, kann die Hystereseinformation insbesondere die Anweisung umfassen, die der Stellgröße zugeordnete Position der Linse bzw. Linsengruppe nur aus einer Richtung anzufahren.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Objektiv über ein Bussystem mit dem Mikroskop verbunden. Über das Bussystem kann eine Kommunikation zwischen dem Objektiv und dem Mikroskop stattfinden. Die Verbindung zum Bussystem kann beispielsweise über ein externes Kabel oder über eine geeignete Kontaktierung einer mechanischen Anschlussfläche zwischen Mikroskop und Objektiv erfolgen.
In einer vorteilhaften Weiterbildung ist das Bussystem derart ausgebildet, dass eine weitere durch das Mikroskop vorgegebene Stellgröße übermittelbar ist, anhand derer das Korrektionsmittel einstellbar ist. Das Mikroskop kann hierdurch über das Bussystem eine Einstellung des Korrektionsmittels vornehmen. Vorzugsweise ist das Bussystem derart ausgebildet, dass der der übermittelten Stellgröße zugeordnete Abbildungsfehler von dem Objektiv zu dem Mikroskop übermittelbar ist.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind auf dem Speicherbaustein für das Objektiv individuelle optische Daten gespeichert. Das Bussystem ist derart ausgebildet, dass die optischen Daten zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers durch das Mikroskop auslesbar sind. Zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers durch das Mikroskop werden optische Daten des Objektivs benötigt. In der bevorzugten Ausführungsform sind diese auf dem Speicherbaustein gespeichert und über das Bussystem durch das Mikroskop auslesbar. Bei den optischen Daten kann es sich insbesondere um numerische Apertur, Vergrößerung, und/oder Farbkorrektion des Objektivs handeln. Ferner können auf dem Speicherbaustein auch weitere für den Betrieb des Mikroskops notwendige Daten wie Arbeitsabstand, Lage der Austrittspupille, Vignettierungsdaten, Steuerdaten für Autofokus- oder Fokushaltesysteme und/oder Laser-Zerstörschwellen sowie Bezeichnung, Bestellnummer und/oder Seriennummer gespeichert sein.
Vorzugsweise umfasst das Objektiv einen mechanischen Anschlag und/oder eine Lichtschranke zum Erfassen eines Wertes der Stellgröße des Korrektionsmittels. Der momentane Wert der Stellgröße des Korrektionsmittels relativ zu dem mechanischen Anschlag und/oder der Lichtschranke wird durch ein geeignetes Messsystem, vorzugsweise einen Encoder, erfasst. Hierdurch kann beispielsweise eine Abweichung zwischen einem IstWert und einem Soll-Wert der Stellgröße erfasst werden.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops mit einem Objektiv, bei dem ein in dem Objektiv angeordnetes Korrektionsmittel zum Korrigieren des Abbildungsfehlers eingestellt wird. In dem Objektiv wird wenigstens eine dem Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv individuelle Stellgröße des Korrektionsmittels gespeichert, anhand derer das Korrektionsmittel einstellbar ist.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird die wenigstens eine Stellgröße des Objektivs anhand des Objektivs individuell ermittelt und/oder aus optischen Daten des Objektivs errechnet. Beispielsweise kann die wenigstens eine Stellgröße des Objektivs in einem Endmontageschritt, vorzugweise für das Objektiv individuell, beispielsweise durch ein interferometrisches Verfahren, ermittelt werden.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform werden der zu korrigierende Abbildungsfehler durch das Mikroskop bestimmt, der zu korrigierende Abbildungsfehler durch das Objektiv von dem Mikroskop empfangen und eine Einstellung des Korrektionsmittels auf Grundlage der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße vorgenommen. Vorzugsweise wird der zu korrigierende Abbildungsfehler in Form von Entwicklungskoeffizienten orthogonaler Polynome, insbesondere Zernike-Polynome, übermittelt. Dies ist eine besondere einfache Art und Weise, den zu korrigierenden Abbildungsfehler zu quantifizieren.
Vorzugsweise werden zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers ein Brechungsindex einer Probe, eines Einbettmediums, eines Immersionsmediums und/oder eines Deckglases und/oder die Dicke des Deckglases entlang der optischen Achse des Objektivs und/oder die Position der Objektebene relativ zur Position des Deckglases bestimmt.
Zur Bestimmung der Dicke eines Deckglases wird beispielsweise unter schrägen Einfall ein Messlichtbündel durch das Objektiv auf das Deckglas gelenkt. Durch Teilreflexionen des Messlichtbündels an einer ersten durch das Deckglas und des Immersionsmedium gebildeten optischen Grenzfläche und an einer zweiten durch das Deckglas und das Einbettmedium gebildeten optischen Grenzfläche werden zwei räumlich getrennte Reflexionslichtbündel erzeugt. Die beiden Reflexionslichtbündel werden durch das Objektiv empfangen und auf einen positionssensitiven Detektor gelenkt. Auf Grundlage der erfassten Einfallsorte der beiden Reflexionsbündel auf dem positionssensitiven Detektor kann die Dicke des Deckglases ermittelt werden.
Eine Bestimmung des Brechungsindex des Einbettmediums kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass auch die Intensitäten der beiden Reflexionslichtbündel mittels des positionssensitiven Detektors erfasst werden. Auf Grundlage der erfassten Intensitäten der beiden Reflexionslichtbündel kann der Brechungsindex des Einbettmediums ermittelt werden, da die Intensitäten der beiden Reflexionslichtbündel von der Reflexion und der Transmission des Messlichtbündels an den beiden Grenzflächen abhängen, die durch das Deckglas und das Einbettmedium bzw. das Immersionsmedium definiert sind. Die Reflexions- und Transmissionsvorgänge, auf denen letztlich die Intensitäten der beiden räumlich voneinander getrennten Reflexionslichtbündel beruhen, werden somit wesentlich durch die Brechungsindizes des Deckglases 16 sowie des Einbettmediums und des Immersionsmediums bestimmt.
In einer alternativen Ausführungsform erfolgt ein Einstellen des Objektivs auf eine erste in einer Probe angeordnete Fokusebene senkrecht zur optischen Achse des Objektivs. Es erfolgt ein Einstellen des Korrektionsmittels auf einen ersten Wert der Stellgröße, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs auf die erste Fokusebene minimiert wird. Es erfolgt ein Einstellen des Objektivs auf eine zweite in der Probe angeordnete und von der ersten Fokusebene verschiedene Fokusebene senkrecht zur optischen Achse des Objektivs. Es erfolgt ein Einstellen des Korrektionsmittels auf einen zweiten Wert der Stellgröße, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellung des Objektivs auf die zweite Fokusebene minimiert wird. Es erfolgt ein Ermitteln eines Brechungsindex der Probe auf Grundlage des ersten Wertes der Stellgröße und des zweiten Wertes der Stellgröße. In dieser Ausführungsform erlaubt das Verfahren die Bestimmung des Brechungsindex der Probe, die als Grundlage für eine Korrektion insbesondere durch Brechungsindexfehlanpassung induzierter Abbildungsfehler dienen kann.
In der oben genannten alternativen Ausführungsform werden vorzugsweise zum Ermitteln des Brechungsindex der Probe ein dem ersten Wert der Stellgröße zugeordneter erster Wert des Abbildungsfehlers und ein dem zweiten Wert der Stellgröße zugeordneter zweiter Wert des Abbildungsfehlers durch das Mikroskop aus dem Objektiv ausgelesen.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung, die die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen im Zusammenhang mit den beigefügten Figuren näher erläutert.
Es zeigen:

1 eine schematische Darstellung eines Mikroskops als Ausführungsbeispiel;
2 eine perspektivische Darstellung eines Objektivs, das Teil des Mikroskops nach 1 ist;
3 eine weitere perspektivische Darstellung des Objektivs nach 2;
4 eine schematische Darstellung eines Bussystems, das eine Steuereinheit des Mikroskops nach 1 und das Objektiv nach den 2 und 3 miteinander verbindet; und
5 ein Flussdiagramm, das eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Bestimmung eines Brechungsindex mittels des Mikroskops nach 1 zeigt.

1 zeigt ein Mikroskop 10 als erstes Ausführungsbeispiel. Das Mikroskop 10 weist ein erfindungsgemäßes Objektiv 12 auf, das auf ein Deckglas 16 gerichtet ist. Das Objektiv 12 umfasst ein Korrektionsmittel 14, das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar. Das Objektiv 12 ist anhand der 2 und 3 noch näher beschrieben. Das Mikroskop 10 umfasst ferner eine Steuereinheit 18, die über ein externes Kabel 20 mit dem Objektiv 12 verbunden ist und welche die verschiedenen Objektivkomponenten ansteuert. Die Kommunikation zwischen der Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 und dem Objektivs 12 findet über ein Bussystem 22 statt, das anhand von 4 näher beschrieben ist.
2 und 3 zeigen jeweils eine perspektivische Darstellung des Objektivs 12. Das Objektiv 12 umfasst einen Objektivkörper 24 und einen Aufbau 26, der seitlich an dem Objektivkörper 24 angeordnet ist.
Der Objektivkörper 24 umfasst eine Objektivoptik und das Korrektionsmittel 14, das in dem gezeigten Ausführungsbeispiel als Korrektionslinse ausgebildet ist, die entlang der optischen Achse O des Objektivs bewegbar ist.
Der Aufbau 26 umfasst einen Aktor 28 zum Verstellen des Korrektionsmittels 14, der im gezeigten Ausführungsbeispiel als ein Motor ausgebildet ist. Der Aktor 28 wird durch einen ebenfalls in dem Aufbau 26 angeordneten Aktortreiber 30 gesteuert.
Der Aufbau 26 umfasst ferner einen nichtflüchtigen Speicherbaustein 32, auf dem eine einem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv 12 individuelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Korrektionsmittel 14 einstellbar ist. Die Zuordnung erfolgt in dem gezeigten Ausführungsbeispiel in Form einer Tabelle, in der jeweils einem Wert des zu korrigierenden Abbildungsfehlers ein Wert der Stellgröße zugeordnet ist, anhand derer das Korrektionsmittel 14 einstellbar ist. Alternativ kann auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 eine Zuordnungsvorschrift beispielsweise in Form einer Funktion gespeichert sein. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel sind auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 auch optische Daten des Objektivs 12, insbesondere die numerische Apertur, die Vergrößerung und die Farbkorrektion, gespeichert. Ferner sind auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 der Arbeitsabstand, die Lage der Austrittspupille, Vignettierungsdaten, Steuerdaten für Autofokus- und Fokushaltesysteme und Laser-Zerstörschwellen sowie die Bezeichnung, die Bestellnummer, Protokolle der Endabnahme und die Seriennummer des Objektivs 12 gespeichert.
Wie in 3 gezeigt, umfasst der Aufbau 26 ferner eine weitere Steuereinheit 34, die ausgebildet ist, von der in 1 gezeigten Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 den zu korrigierenden Abbildungsfehler zu empfangen und mittels des Aktors 28 eine Einstellung des Korrektionsmittels 14 vorzunehmen. Diese erfolgt auf Grundlage der auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 gespeicherten Zuordnung zwischen dem empfangenen Abbildungsfehler und der Stellgröße.
Auf einer Außenseite weist der Aufbau 26 eine Steckerbuchse 36 auf, in die das externe Kabel 20 einsteckbar ist. Hierdurch kann eine Kommunikation zwischen der Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 und der Steuereinheit 34 des Objektivs 12 erfolgen.
4 zeigt eine schematische Darstellung eines Bussystems 22, das die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 nach 1 und das Objektiv 12 nach den 2 und 3 miteinander verbindet. Die Steuereinheit 34 des Objektivs 12 ist über das externe Kabel 18 mit der Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 verbunden. Die Steuereinheit 34 des Objektivs 12 hat direkten Zugriff auf den nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 und den Aktortreiber 30. Der Aktortreiber 30 ist mit dem Aktor 28 verbunden.
5 zeigt ein Flussdiagramm, das eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Bestimmung eines Brechungsindex mittels des Mikroskops 10 nach 1 zeigt.
In einem ersten Schritt S1 wird das Objektiv 12 manuell durch eine Bedienperson oder automatisch durch die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 auf eine erste in einer Probe angeordnete Fokusebene senkrecht zur optischen Achse O des Objektivs 12 eingestellt.
In einem zweiten Schritt S2 wird das Korrektionsmittel 14 auf einen ersten Wert der Stellgröße eingestellt, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs 12 auf die erste Fokusebene minimiert wird. Dies kann beispielsweise durch Bewertung eines durch das Mikroskop 10 aufgenommen Bildes durch die Bedienperson, oder durch ein automatisiertes Verfahren basierend auf einer digitalen Auswertung des Bildes durch die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 erfolgen. Hierzu sind aus dem Stand der Technik Kontrast- und Schärfekriterien bekannt.
Es wird ein dem ersten Wert der Stellgröße zugeordneter erster Wert des Abbildungsfehlers durch die Steuereinheit 34 des Objektivs 12 mittels der auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 gespeicherten Zuordnung ermittelt und an die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 übermittelt.
In einem dritten Schritt S3 wird das Objektiv 12 manuell oder automatisch auf eine zweite von der ersten Fokusebene verschiedene in einer Probe angeordnete Fokusebene senkrecht zur optischen Achse O des Objektivs 12 eingestellt.
In einem vierten Schritt S3 wird das Korrektionsmittel 14 auf einen zweiten Wert der Stellgröße eingestellt, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs 12 auf die zweite Fokusebene minimiert wird.
Es wird ein dem zweiten Wert der Stellgröße zugeordneter zweiter Wert des Abbildungsfehlers durch die Steuereinheit 34 des Objektivs 12 mittels der auf dem nichtflüchtigen Speicherbaustein 32 gespeicherten Zuordnung ermittelt und an die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 übermittelt.
In einem fünften Schritt S5 wird durch die Steuereinheit 18 des Mikroskops 10 auf Grundlage des ersten Wertes des Abbildungsfehlers und des zweiten Wertes des Abbildungsfehlers Brechungsindex n_Spc der Probe ermittelt.
Ein durch Brechungsindexfehlanpassung induzierter Abbildungsfehler lässt sich schreiben als $ψ (r) Δ z (\sqrt{n_{S p c}^{2} - r^{2} N A^{2}} - \sqrt{n_{I m m}^{2} - r^{2} N A^{2}})$
dabei sind Δz der mechanische Abstand zwischen dem Objektiv und der Fokusebene, auf die das Objektiv fokussiert ist, r die radiale Koordinate auf dem zum Einheitskreis normierten Austrittspupille des Objektivs 12, n_Spcder Brechungsindex der Probe, n_Imm der Brechungsindex des Immersionsmediums und NA die numerische Apertur des Objektivs 12. Sind der erste Wert ψ₁(r) und des zweite Wert ψ₂(r) des Abbildungsfehlers in der durch Gleichung (1) angegebenen Art bekannt, lässt sich für jeden Punkt r auf der Pupille des Objektivs 12 des der Brechungsindex n_Spc der Probe ermitteln als $n_{S p c} (r) = \sqrt{{[\frac{ψ_{2} - ψ_{1}}{Δ z} + \sqrt{n_{I m m}^{2} - r^{2} N A^{2}}]}^{2} + r^{2} N A^{2}}$
Eine globale Bestimmung des Brechungsindex n_Spc kann dann durch eine Mittelung über die Pupille erfolgen.
Bezugszeichenliste

10: Mikroskop
12: Objektiv
14: Korrektionsmittel
16: Deckglas
18: Steuereinheit
20: Kabel
22: Bussystem
24: Objektivkörper
26: Aufbau
28: Aktor
30: Aktortreiber
32: Speicherbaustein
34: Steuereinheit
36: Steckerbuchse
O: Achse
S1 bis S5: Verfahrensschritte

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102011051677 A1 [0002]

Claims

Objektiv für ein Mikroskop (10), mit einem Korrektionsmittel (14), das zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers einstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv (12) einen nichtflüchtigen Speicherbaustein (32) hat, auf dem wenigstens eine dem zu korrigierenden Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße gespeichert ist, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.
Objektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Steuereinheit (18), die ausgebildet ist, von dem Mikroskop (10) den zu korrigierenden Abbildungsfehler zu empfangen und eine Einstellung des Korrektionsmittels (14) auf Grundlage der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße vorzunehmen.
Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Speicherbaustein (32) eine für das Objektiv (12) individuelle Hystereseinformation des Korrektionsmittels (14) gespeichert ist, unter Berücksichtigung derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.
Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Korrektionsmittel (14) wenigstens eine Linse umfasst, die zur Korrektion von Abbildungsfehlern entlang der optischen Achse (O) des Objektivs (12) bewegbar ist.
Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv (12) über ein Bussystem (22) mit dem Mikroskop (10) verbunden ist.
Objektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Bussystem (22) derart ausgebildet ist, dass mindestens eine weitere durch das Mikroskop (10) vorgegebene Stellgröße übermittelbar ist, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.
Objektiv nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Speicherbaustein (32) für das Objektiv (12) individuelle optische Daten gespeichert sind und das Bussystem (2) derart ausgebildet ist, dass die optischen Daten zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers durch das Mikroskop (10) auslesbar sind.
Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch einen mechanischen Anschlag und/oder eine Lichtschranke zum Erfassen eines Wertes der Stellgröße des Korrektionsmittels (14).
Verfahren zum Korrigieren eines Abbildungsfehlers eines Mikroskops (10) mit einem Objektiv (12), bei dem ein in dem Objektiv (12) angeordnetes Korrektionsmittel (14) zum Korrigieren des Abbildungsfehlers eingestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Objektiv (12) wenigstens eine dem Abbildungsfehler zugeordnete und für das Objektiv (12) individuelle Stellgröße des Korrektionsmittels (14) gespeichert wird, anhand derer das Korrektionsmittel (14) einstellbar ist.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Stellgröße des Objektivs (12) anhand des Objektivs (12) individuell ermittelt und/oder aus optischen Daten des Objektivs (12) errechnet wird.
Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Mikroskop (10) der zu korrigierende Abbildungsfehler bestimmt, durch das Objektiv (12) der zu korrigierende Abbildungsfehler von dem Mikroskop (10) empfangen und eine Einstellung des Korrektionsmittels (14) auf Grundlage der dem empfangenen Abbildungsfehler zugeordneten Stellgröße vorgenommen wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bestimmung des zu korrigierenden Abbildungsfehlers ein Brechungsindex einer Probe, eines Einbettmediums, eines Immersionsmediums und/oder eines Deckglases (16) und/oder die Dicke des Deckglases (16) entlang der optischen Achse (O) des Objektivs (12) und/oder die Position einer Objektebene relativ zur Position des Deckglases (16) bestimmt werden.
Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, gekennzeichnet durch folgende Schritte: Einstellen des Objektivs (12) auf eine erste in einer Probe angeordnete Fokusebene senkrecht zur optischen Achse (O) des Objektivs (12), Einstellen des Korrektionsmittels (14) auf einen ersten Wert der Stellgröße, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellen des Objektivs (12) auf die erste Fokusebene minimiert wird, Einstellen des Objektivs (12) auf eine zweite in der Probe angeordnete und von der ersten Fokusebene verschiedene Fokusebene senkrecht zur optischen Achse (O) des Objektivs (12), Einstellen des Korrektionsmittels (14) auf einen zweiten Wert der Stellgröße, bei dem der zu korrigierende Abbildungsfehler bei Einstellung des Objektivs (12) auf die zweite Fokusebene minimiert wird und Ermitteln eines Brechungsindex der Probe auf Grundlage des ersten Wertes der Stellgröße und des zweiten Wertes der Stellgröße.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass zum Ermitteln des Brechungsindex der Probe ein dem ersten Wert der Stellgröße zugeordneter erster Wert des Abbildungsfehlers und ein dem zweiten Wert der Stellgröße zugeordneter zweiter Wert des Abbildungsfehlers durch das Mikroskop (10) aus dem Objektiv (12) ausgelesen werden.