WO2020054117A1 - 振動減衰装置及び電動アクチュエータ - Google Patents

振動減衰装置及び電動アクチュエータ Download PDF

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WO2020054117A1
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shaft
vibration
unit
support
damping device
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雄貴 森崎
康寛 齋木
大山　健一
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三菱重工業株式会社
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    • F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
    • F16H2025/2075—Coaxial drive motors

Definitions

  • the present invention relates to a vibration damping device and an electric actuator.
  • Patent Literature 1 describes an example of a vibration damping device that attenuates torque fluctuation and torsional vibration of a rotating body that rotates by receiving torque.
  • the conventional hydraulic actuator uses a hydraulic pressure as a drive source, so that the hydraulic oil has a function of damping vibration.
  • the electric actuator has no vibration damping device.
  • the present invention has been made in view of the above, and has as its object to provide a vibration damping device and an electric actuator that dampen vibration in a wide frequency band.
  • the vibration damping device of the present invention is provided between a first support portion and a second support portion provided to face the first support portion, and a vibration absorbing portion which expands and contracts by electricity, and It is characterized by comprising: a measuring unit that measures vibration; and a control unit that electrically controls the vibration absorbing unit so as to cancel the vibration of the second support unit measured by the measuring unit.
  • the frequency of expansion and contraction of the vibration absorbing section can be varied by electrically controlling the vibration absorbing section, vibration in a wide frequency band can be attenuated.
  • the frequency of expansion and contraction of the vibration absorbing unit is electrically controlled based on the frequency of vibration of the second support unit measured in real time, it is possible to more suitably attenuate the vibration.
  • the vibration absorbing section includes a magnetostrictive member that connects the first support section and the second support section, and the magnetostriction in which a direction in which the first support section and the second support section face each other is an axial direction. And at least one coil provided on the outer periphery of the member, and it is preferable that the control unit controls a current flowing through the coil.
  • the magnetostrictive member can be expanded and contracted by causing a current to flow through the coil and generating a magnetic field in the magnetostrictive member. Can be expanded and contracted. This makes it possible to attenuate the vibration. Further, since the magnetostrictive member has a high response and a wide range of corresponding frequencies, it is possible to attenuate vibration in a wider frequency band.
  • a plurality of the coils are provided in the axial direction.
  • the vibration absorbing section includes an electrostrictive member that connects the first support section and the second support section, and the control section controls a voltage applied to the electrostrictive member.
  • the electrostrictive member by applying a voltage directly to the electrostrictive member, the electrostrictive member can be expanded and contracted. Therefore, the voltage is applied to the electrostrictive member based on the vibration frequency of the second support portion measured in real time. Can be applied to expand and contract. This makes it possible to attenuate the vibration. Further, by directly applying a voltage to the electrostrictive member, the expansion and contraction of the vibration absorbing portion can be more appropriately controlled.
  • the electrostrictive member is a laminate in which a plurality of electrostrictive members are stacked in a direction in which the first support portion and the second support portion face each other.
  • the amount of expansion and contraction of the electrostrictive member can be increased.
  • the electric actuator of the present invention includes the vibration damping device and an electric unit that operates by electricity, wherein the electric unit includes a housing that is a fixed side, and an opposite side of the fixed side with respect to the housing.
  • the electric unit includes a housing that is a fixed side, and an opposite side of the fixed side with respect to the housing.
  • a shaft that is movable in an axial direction that is a direction toward the movable side, and a driving unit that is provided between the housing and the shaft and drives the shaft with respect to the housing. I do.
  • vibration of the electric actuator in a wide frequency band can be attenuated. Further, since the frequency of expansion and contraction of the vibration absorbing section is electrically controlled based on the frequency of vibration of the second support section measured in real time, vibration of the electric actuator can be more appropriately attenuated.
  • the drive unit is connected to the housing, a screw shaft that rotates around an axis, a nut attached to the screw shaft, and a drive source that drives the rotation of the screw shaft, the shaft, It is preferable that the nut is fixed to the nut and linearly moves in the axial direction via the nut by rotation of the screw shaft.
  • the shaft includes a first shaft and a second shaft movable in an axial direction with respect to the first shaft, wherein the first support portion includes the first shaft, and the second support Preferably, the portion includes the second shaft, and the vibration absorbing portion is provided between the first shaft and the second shaft.
  • the vibration can be attenuated on the shaft that is the movable side in the electric actuator, so that the transmission of the vibration to the fixed side can be further suppressed.
  • the shaft includes a first shaft and a second shaft movable in an axial direction with respect to the first shaft
  • the first support unit includes the drive unit
  • the second support unit Preferably includes the second shaft
  • the vibration absorbing unit includes the first shaft provided between the driving unit and the second shaft.
  • the structure of the electric actuator can be made simpler.
  • the first support section includes the housing
  • the second support section includes the drive section
  • the vibration absorbing section is provided between the housing and the drive section.
  • the structure of the electric actuator can be made simpler.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an electric actuator including the vibration damping device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a graph illustrating an example of an excitation waveform by the vibration damping device according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an electric actuator including the vibration damping device according to the second embodiment.
  • the electric actuators 1 and 2 shown in the following embodiments are actuators that use electricity for power.
  • the electric actuators 1 and 2 are provided between the body B of the aircraft and the control surface R in the following embodiments.
  • the fixed side is the body B side
  • the movable side is the control surface R side.
  • the electric actuators 1 and 2 expand and contract by converting, for example, the rotational force of an electric motor into linear movement on the movable side.
  • the vibration damping devices 10 and 60 shown in the following embodiments absorb vibrations such as flutter and buzz on the control surface R of the aircraft, which are applied to the electric actuators 1 and 2.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an electric actuator including the vibration damping device according to the first embodiment.
  • the electric actuator 1 includes a vibration damping device 10 and a motor unit 12.
  • the motor unit 12 operates by electricity.
  • the electric unit 12 includes a driving unit 14, a housing 16, and a shaft 18.
  • the drive unit 14 includes a drive source 20, a screw shaft 22, and a nut 24 in the present embodiment.
  • the drive source 20 is, for example, an electric motor.
  • the drive shaft 20a of the drive source 20 is connected to one end of the screw shaft 22 via a shaft coupling 26.
  • the drive source 20 is provided on the body B side of the housing 16 in the present embodiment.
  • the screw shaft 22 is provided inside the housing 16 along the axial direction AD.
  • the screw shaft 22 is connected to the housing 16 via a rolling bearing 28 provided in a radial direction.
  • one end of the screw shaft 22 is connected to a drive shaft 20 a of the drive source 20 via a shaft coupling 26.
  • the screw shaft 22 is rotated around the axis by the drive source 20.
  • the nut 24 is attached to the screw shaft 22.
  • the nut 24 linearly moves in the axial direction AD due to the rotation of the screw shaft 22.
  • the housing 16 is a member on the fixed side (body B side) of the electric actuator 1.
  • the housing 16 is connected to the body B.
  • the housing 16 has a cylindrical shape that accommodates the drive source 20, the screw shaft 22, the nut 24, and a part of the shaft 18.
  • the shaft 18 is a member on the movable side (the control surface R side) in the electric actuator 1.
  • the shaft 18 includes a first shaft 32 and a second shaft 34 in the present embodiment.
  • the first shaft 32 has a first tubular portion 32a, a second tubular portion 32b, and a partition 32c.
  • the first tubular portion 32a extends in the axial direction AD from the end on the body B side.
  • the second cylindrical portion 32b extends in the axial direction AD from the end on the control surface R side.
  • the partition 32c is a wall that partitions the first tubular portion 32a and the second tubular portion 32b in the axial direction AD.
  • a part of the screw shaft 22 closer to the control surface R than the nut 24 is provided inside the first tubular portion 32a.
  • the end of the first shaft 32 on the body B side is fixed to the nut 24.
  • the first shaft 32 linearly moves in the axial direction AD via the nut 24 by the rotation of the screw shaft 22. That is, the first shaft 32 linearly moves with respect to the housing 16 via the drive unit 14.
  • the screw shaft 22 has a stopper 22a provided at the tip.
  • the stopper 22a limits the maximum movement amount of the first shaft 32 with respect to the housing 16. Specifically, the movement of the first shaft 32 toward the body B is restricted by the stopper 22a abutting on the partition 32c.
  • the end on the control surface R side of the housing 16 and the peripheral surface of the first shaft 32 are closed by the seal 30.
  • the seal 30 is a reciprocating seal for suppressing entry of dust and the like into the housing 16.
  • the seal 30 is, for example, a dust seal.
  • the second shaft 34 is provided on the control surface R side of the first shaft 32.
  • the second shaft 34 has a columnar shape provided inside the second tubular portion 32b.
  • the second shaft 34 is movable in the axial direction AD with respect to the first shaft 32.
  • the second shaft 34 is connected to the control surface R.
  • the vibration damping device 10 includes a vibration absorbing unit 36, a measuring unit 38, and a control unit 40.
  • the vibration absorbing section 36 is provided between the first supporting section 42 and the second supporting section 44.
  • the second support 44 is provided to face the first support 42.
  • the first support part 42 includes the first shaft 32 in the present embodiment.
  • the second support portion 44 includes the second shaft 34 in the present embodiment.
  • the vibration absorber 36 is provided between the first shaft 32 and the second shaft 34 in the present embodiment. The vibration absorber 36 expands and contracts by electricity.
  • the vibration absorber 36 includes the magnetostrictive member 46 and three coils 48 in the present embodiment.
  • the magnetostrictive member 46 is connected to the first support 42 and the second support 44 in the axial direction AD.
  • the first support portion 42 and the second support portion 44 face each other in the axial direction AD.
  • the magnetostrictive member 46 is a columnar member provided by a magnetic material.
  • the magnetic material is, for example, iron.
  • the magnetostrictive member 46 expands and contracts in the axial direction AD by being magnetized with magnetism.
  • the amount of displacement of the magnetostrictive member 46 in the axial direction AD is, for example, about 1% of the length.
  • the response of the magnetostrictive member 46 is on the order of 10 to 100 kHz.
  • the magnetostrictive member 46 is provided inside the second cylindrical portion 32b of the first shaft 32.
  • the magnetostrictive member 46 is connected to the partition 32c of the first shaft 32 at the end on the side of the body B.
  • the magnetostrictive member 46 is connected to an end of the second shaft 34 on the body B side at an end on the control surface R side.
  • the magnetostrictive member 46 is joined to the first shaft 32 and the second shaft 34 by, for example, welding.
  • the coil 48 is provided to face the magnetostrictive member 46 in the radial direction. In the present embodiment, the coil 48 is provided on the outer periphery of the second cylindrical portion 32b of the first shaft 32.
  • the vibration absorber 36 generates a magnetic field parallel to the axial direction AD inside the coil 48 when a current flows through the coil 48.
  • the magnetostrictive member 46 is magnetized by a magnetic field parallel to the axial direction AD generated by the coil 48 and expands and contracts in the axial direction AD.
  • the measuring unit 38 measures the vibration of the second support unit 44.
  • the measuring unit 38 measures the vibration of the second shaft 34 in the present embodiment.
  • the measurement unit 38 includes a sensor 50 and a measurement device 52.
  • the sensor 50 is a strain gauge in the present embodiment.
  • the sensor 50 is provided on a peripheral surface of the second shaft 34.
  • the sensor 50 outputs a signal obtained by the distortion of the second shaft 34 to the measuring device 52.
  • the measuring device 52 measures a change in distortion of the second shaft 34 based on a signal input from the sensor 50.
  • the measuring device 52 measures the vibration of the second shaft 34 based on a change in the distortion of the second shaft 34.
  • the measuring device 52 may be provided inside the electric actuator 1 or may be provided outside.
  • the sensor 50 is a strain gauge, but any sensor may be used as long as it measures vibration of the second shaft 34, and for example, may measure displacement and load. .
  • the control unit 40 includes an analysis unit 54 and a vibration unit 56.
  • the control unit 40 may be provided inside the electric actuator 1 or may be provided outside.
  • the analysis unit 54 may be provided in a control device different from the control unit 40.
  • Control unit 40 includes an arithmetic processing unit that executes a predetermined control program.
  • the arithmetic processing device includes an integrated circuit such as a CPU (Central Processing Unit).
  • the analysis unit 54 acquires data on the vibration of the second shaft 34 measured by the measurement unit 38.
  • the control unit 40 causes the analysis unit 54 to analyze the frequency in real time from the vibration data of the second shaft 34 and calculate the excitation frequency for canceling the vibration of the second shaft 34.
  • the control unit 40 controls a current flowing through the coil 48.
  • the control unit 40 causes the excitation unit 56 to pass the current of the excitation frequency calculated by the analysis unit 54 to the coil 48.
  • the magnetostrictive member 46 repeatedly expands and contracts in the axial direction AD according to the frequency, and cancels the vibration of the second shaft 34. That is, the control unit 40 electrically controls the vibration absorbing unit 36 so as to cancel the vibration of the second shaft 34 measured by the measuring unit 38.
  • the vibration damping device 10 attenuates the vibration applied to the control surface R side of the electric actuator 1.
  • FIG. 2 is a graph illustrating an example of an excitation waveform by the vibration damping device according to the first embodiment.
  • the waveform of the vibration is a sine wave.
  • the vibration damping device 10 can apply vibration to the magnetostrictive member 46 with a waveform obtained by combining waveforms having different frequencies and amplitudes.
  • the magnetostrictive member 46 expands and contracts in the axial direction AD by a displacement amount due to a waveform obtained by combining waveforms having different frequencies and amplitudes.
  • the vibration damping device 10 can attenuate compound vibrations in different frequency bands.
  • the vibration damping device 10 and the electric actuator 1 of the first embodiment since the frequency of expansion and contraction of the vibration absorbing unit 36 can be varied by electrically controlling the vibration absorbing unit 36, a wide frequency band is provided. Can be attenuated. In addition, since the frequency of expansion and contraction of the vibration absorber 36 is electrically controlled based on the frequency of the vibration of the second shaft 34 (the second support portion 44) measured in real time, the vibration can be more appropriately attenuated. is there.
  • the vibration absorption unit 36 connects the first shaft 32 (the first support 42) and the second shaft 34 (the second support 44).
  • the control unit 40 includes a magnetostrictive member 46 and at least one coil 48 provided on the outer periphery of the magnetostrictive member 46 with the direction in which the first shaft 32 and the second shaft 34 face each other in the axial direction AD. Control the current flowing through By applying a current to the coil 48 and generating a magnetic field in the magnetostrictive member 46, the magnetostrictive member 46 can be expanded and contracted. Can be done. This makes it possible to attenuate the vibration. Further, since the magnetostrictive member 46 has a high response and a wide range of corresponding frequencies, it is possible to attenuate vibration in a wider frequency band.
  • the drive unit 14 includes a screw shaft 22 connected to the housing 16 and rotating around the shaft, a nut 24 attached to the screw shaft 22, and a drive source 20 for driving the rotation of the screw shaft 22. Since the nut 18 is provided fixed to the nut 24 and linearly moves in the axial direction AD via the nut 24 by the rotation of the screw shaft 22, the vibration of the electric actuator 1 can be attenuated with a simple configuration. .
  • the shaft 18 includes the first shaft 32 and the second shaft 34 that is movable in the axial direction AD with respect to the first shaft 32, and the first support portion 42 includes the first shaft 32, Since the second supporting portion 44 includes the second shaft 34 and the vibration absorbing portion 36 is provided between the first shaft 32 and the second shaft 34, the vibration is attenuated on the shaft 18 which is the movable side in the electric actuator 1. it can. Thus, transmission of vibration to the fixed side can be further suppressed.
  • the vibration absorber 36 is provided between the first shaft 32 and the second shaft 34, but the vibration absorber 36 may include the first shaft 32. That is, at least a part of the first shaft 32 may be provided by a magnetic material, and the coil 48 may be provided on the outer periphery of the housing 16 so as to face the first shaft 32 in the radial direction.
  • the first support unit 42 includes the drive unit 14
  • the second support unit 44 includes the second shaft 34.
  • the first shaft 32 is provided between the drive unit 14 and the second shaft 34 as in the present embodiment.
  • the first support section 42 includes the drive section 14, the second support section 44 includes the second shaft 34, and the vibration absorbing section 36 is provided between the drive section 14 and the second shaft 34.
  • the structure of the electric actuator 1 can be simplified.
  • the vibration absorbing section 36 may be provided between the housing 16 and the driving section 14.
  • the first support section 42 includes the housing 16
  • the second supporting section 44 includes the driving section 14.
  • the first support section 42 includes the housing 16, the second support section 44 includes the drive section 14, and the vibration absorbing section 36 is provided between the housing 16 and the drive section 14. 1 can be made simpler.
  • a plurality of vibration absorbing units 36 may be provided. Further, in one vibration absorbing portion 36, a plurality of magnetostrictive members 46 may be provided. When a plurality of magnetostrictive members 46 are provided, all the magnetostrictive members 46 are arranged in series in the axial direction AD.
  • the electric actuator 2 and the vibration damping device 60 according to the second embodiment will be described with reference to FIG.
  • the electric actuator 2 is different from the electric actuator 1 of the first embodiment in the configuration of the shaft 18 and the point that a vibration damping device 60 is provided instead of the vibration damping device 10, and other configurations are the same as those of the first embodiment.
  • the same components as those of the electric actuator 1 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • the shaft 18 includes a first shaft 62 and a second shaft 64 instead of the first shaft 32 and the second shaft 34.
  • the first shaft 62 has a first tubular portion 62a, a second tubular portion 62b, and a partition 62c.
  • the first cylindrical portion 62a extends in the axial direction AD from the end on the side of the body B.
  • the second tubular portion 62b is provided on the control surface R side of the first tubular portion 62a.
  • the partition 62c is a wall that partitions the first tubular portion 62a and the second tubular portion 62b in the axial direction AD.
  • a part of the screw shaft 22 closer to the control surface R than the nut 24 is provided inside the first tubular portion 62a.
  • the end of the first shaft 62 on the body B side is fixed to the nut 24.
  • the stopper 22 a provided at the tip of the screw shaft 22 limits the maximum movement amount of the first shaft 62 with respect to the housing 16. Specifically, the movement of the first shaft 62 toward the machine body B is restricted by the stopper 22a abutting on the partition 62c.
  • the end on the control surface R side of the housing 16 and the peripheral surface of the first shaft 62 are closed by the seal 30.
  • the second shaft 64 is provided on the control surface R side of the first shaft 62.
  • the second shaft 64 includes a columnar shape provided inside the second cylindrical portion 62b, and a flange portion 64a.
  • the flange portion 64a divides the inside of the second tubular portion 62b into the body B side and the control surface R side.
  • the second shaft 34 is movable in the axial direction AD with respect to the first shaft 32.
  • the second shaft 34 is connected to the control surface R.
  • the vibration damping device 60 includes a vibration absorbing unit 66 instead of the vibration absorbing unit 36 of the first embodiment.
  • the vibration absorbing section 66 is provided between the first support section 42 and the second support section 44.
  • the first support portion 42 includes a first shaft 62 in the present embodiment.
  • the second support portion 44 includes a second shaft 64 in the present embodiment.
  • the vibration absorbing section 66 is provided between the first shaft 62 and the second shaft 64.
  • the vibration absorber 36 expands and contracts by electricity.
  • the vibration absorber 66 includes the electrostrictive member 68 in the present embodiment.
  • the electrostrictive member 68 connects the first support 42 and the second support 44.
  • the electrostrictive member 68 is a ring-shaped member provided by a piezoelectric element.
  • the piezoelectric element is, for example, ceramic.
  • the electrostrictive member 68 expands and contracts in the axial direction AD by applying an electric field.
  • the electrostrictive member 68 includes a first stacked body 68a and a second stacked body 68b in which a plurality of electrostrictive members 68 are stacked in the axial direction AD.
  • the first stacked body 68a and the second stacked body 68b are provided inside the second cylindrical portion 62b of the first shaft 62.
  • the first stacked body 68a is connected to the first shaft 62 at the end on the body B side.
  • the first stacked body 68a is connected to the flange portion 64a of the second shaft 64 at an end on the control surface R side.
  • the second stacked body 68b is connected to the flange portion 64a of the second shaft 64 at an end on the side of the body B.
  • the second stacked body 68b is connected to the first shaft 62 at an end on the control surface R side.
  • the first stacked body 68a and the second stacked body 68b are joined to the first shaft 62 and the second shaft 64 by, for example, an adhesive.
  • the control unit 40 controls the voltage applied to the electrostrictive member 68.
  • the control unit 40 causes the vibration unit 56 to apply the voltage of the vibration frequency calculated by the analysis unit 54 to the electrostrictive member 68 based on the vibration of the second shaft 64 measured by the measurement unit 38.
  • the control unit 40 can cause the vibration unit 56 to apply voltages having different frequencies to the first stacked body 68a and the second stacked body 68b.
  • the electrostrictive member 68 repeats expansion and contraction in the axial direction AD according to the frequency.
  • the control unit 40 controls the displacement of each of the first stacked body 68a and the second stacked body 68b in the axial direction AD to be positive and negative symmetric.
  • the flange portion 64a of the second shaft 64 repeatedly moves in the axial direction AD, and cancels the vibration of the second shaft 64. That is, the control unit 40 electrically controls the vibration absorbing unit 66 so as to cancel the vibration of the second shaft 64 measured by the measuring unit 38.
  • the vibration damping device 60 attenuates the vibration applied to the control surface R side of the electric actuator 2.
  • the vibration absorbing unit 66 includes the first shaft 62 (the first supporting unit 42) and the second shaft 64 (the second supporting unit 44). And the control unit 40 controls the voltage applied to the electrostrictive member 68.
  • the electrostrictive member 68 can be expanded and contracted, so that a voltage is applied to the electrostrictive member 68 based on the vibration frequency of the second shaft 64 measured in real time. Can be expanded and contracted. This makes it possible to attenuate the vibration.
  • the expansion and contraction of the vibration absorbing section 66 can be more appropriately controlled.
  • the electrostrictive member 68 is formed by laminating a plurality of electrostrictive members 68 in a direction (axial direction AD) in which the first shaft 62 (first support portion 42) and the second shaft 64 (second support portion 44) face each other. With the laminated body (the first laminated body 68a and the second laminated body 68b), the amount of expansion and contraction of the electrostrictive member 68 can be increased.

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Abstract

幅広い周波数帯による振動を減衰する振動減衰装置及び電動アクチュエータを提供する。振動減衰装置１０及び電動アクチュエータ１は、第１支持部４２と第１支持部４２に対向して設けられる第２支持部４４との間に設けられ、電気によって伸縮する振動吸収部３６と、第２支持部４４の振動を計測する計測部３８と、計測部３８により計測された第２支持部４４の振動を打ち消すように、振動吸収部３６を電気制御する制御部４０と、を備える。

Description

振動減衰装置及び電動アクチュエータ
　本発明は、振動減衰装置及び電動アクチュエータに関する。
　アクチュエータを搭載する装置及び機器の運転及び変形等に伴う振動を減衰することが求められている。特許文献１には、トルクを受けて回転する回転体のトルク変動及びねじり振動を減衰する振動減衰装置の一例が記載されている。
特開２０１３－９２１８３号公報
　ところで、従来の油圧アクチュエータは、駆動源に油圧を使用するため、作動油が振動を減衰させる機能を有している。これに対し、電動アクチュエータは振動減衰装置を持たない。
　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、幅広い周波数帯による振動を減衰する振動減衰装置及び電動アクチュエータを提供することを目的とする。
　本発明の振動減衰装置は、第１支持部と前記第１支持部に対向して設けられる第２支持部との間に設けられ、電気によって伸縮する振動吸収部と、前記第２支持部の振動を計測する計測部と、前記計測部により計測された前記第２支持部の振動を打ち消すように、前記振動吸収部を電気制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
　この構成によれば、振動吸収部を電気制御することによって、振動吸収部の伸縮の周波数を可変にできるので、幅広い周波数帯による振動を減衰することが可能である。また、リアルタイムで計測した第２支持部の振動の周波数に基づいて、振動吸収部の伸縮の周波数を電気制御するので、より好適に振動を減衰することが可能である。
　また、前記振動吸収部は、前記第１支持部と前記第２支持部とを接続する磁歪部材と、前記第１支持部と前記第２支持部とが対向する方向を軸方向とする前記磁歪部材の外周に設けられる少なくとも１つのコイルと、を含み、前記制御部は、前記コイルに流す電流を制御することが好ましい。
　この構成によれば、コイルに電流を流し、磁歪部材に磁界を発生させることによって、磁歪部材を伸縮させることができるので、リアルタイムで計測した第２支持部の振動の周波数に基づいて、磁歪部材を伸縮させることができる。これによって、振動を減衰することが可能である。また、磁歪部材は、応答性が高く、対応周波数の範囲が広いため、より幅広い周波数帯による振動を減衰することが可能である。
　また、前記コイルは、前記軸方向に複数並べて設けられることが好ましい。
　この構成によれば、異なる周波数帯による複合した振動を減衰することが可能である。
　また、前記振動吸収部は、前記第１支持部と前記第２支持部とを接続する電歪部材を含み、前記制御部は、前記電歪部材に印加する電圧を制御することが好ましい。
　この構成によれば、電歪部材に直接電圧を印加することによって、電歪部材を伸縮させることができるので、リアルタイムで計測した第２支持部の振動の周波数に基づいて、電歪部材に電圧を印加して伸縮させることができる。これによって、振動を減衰することが可能である。また、電歪部材に直接電圧を印加することによって、振動吸収部の伸縮をより好適に制御することができる。
　また、前記電歪部材は、前記第１支持部と前記第２支持部とが対向する方向に複数の電歪部材を積層した積層体であることが好ましい。
　この構成によれば、電歪部材の伸縮量を拡大することが可能である。
　また、本発明の電動アクチュエータは、前記振動減衰装置と、電気により動作する電動部と、を備え、前記電動部は、固定側となるハウジングと、前記ハウジングに対して、固定側の反対側となる可動側に向かう方向である軸方向に移動可能であるシャフトと、前記ハウジングと前記シャフトとの間に設けられ、前記ハウジングに対して前記シャフトを駆動させる駆動部と、を含むことを特徴とする。
　この構成によれば、振動吸収部を電気制御することによって、振動吸収部の伸縮の周波数を可変にできるので、幅広い周波数帯による電動アクチュエータの振動を減衰することが可能である。また、リアルタイムで計測した第２支持部の振動の周波数に基づいて、振動吸収部の伸縮の周波数を電気制御するので、より好適に電動アクチュエータの振動を減衰することが可能である。
　また、前記駆動部は、前記ハウジングに接続され、軸周りに回転するネジ軸と、前記ネジ軸に取り付けられるナットと、前記ネジ軸の回転を駆動する駆動源と、を含み、前記シャフトは、前記ナットに固定して設けられ、前記ネジ軸の回転により前記ナットを介して前記軸方向に直線運動することが好ましい。
　この構成によれば、簡素な構成によって、電動アクチュエータの振動を減衰することが可能である。
　また、前記シャフトは、第１シャフトと、前記第１シャフトに対して軸方向に移動可能な第２シャフトと、を含み、前記第１支持部は、前記第１シャフトを含み、前記第２支持部は、前記第２シャフトを含み、前記振動吸収部は、前記第１シャフトと前記第２シャフトとの間に設けられていることが好ましい。
　この構成によれば、電動アクチュエータにおいて可動側となるシャフトにおいて振動を減衰できるので、固定側への振動の伝達をより抑制することができる。
　また、前記シャフトは、第１シャフトと、前記第１シャフトに対して軸方向に移動可能な第２シャフトと、を含み、前記第１支持部は、前記駆動部を含み、前記第２支持部は、前記第２シャフトを含み、前記振動吸収部は、前記駆動部と前記第２シャフトとの間に設けられた、前記第１シャフトを含むことが好ましい。
　この構成によれば、電動アクチュエータの構造をより単純にすることができる。
　また、前記第１支持部は、前記ハウジングを含み、前記第２支持部は、前記駆動部を含み、前記振動吸収部は、前記ハウジングと前記駆動部との間に設けられていることが好ましい。
　この構成によれば、電動アクチュエータの構造をより単純にすることができる。
図１は、第１実施形態の振動減衰装置を備える電動アクチュエータを示す模式図である。 図２は、第１実施形態の振動減衰装置による加振波形の一例を示すグラフである。 図３は、第２実施形態の振動減衰装置を備える電動アクチュエータを示す模式図である。
　以下に、本発明に係る振動減衰装置及び電動アクチュエータの実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、以下の実施形態の説明において、同一構成には同一符号を付し、異なる構成には異なる符号を付すものとする。
　以下の各実施形態に示す電動アクチュエータ１、２は、動力に電気を用いたアクチュエータである。電動アクチュエータ１、２は、以下の実施形態において、航空機の機体Ｂと舵面Ｒとの間に設けられる。電動アクチュエータ１、２は、固定側が機体Ｂ側となり、可動側が舵面Ｒ側となる。電動アクチュエータ１、２は、例えば電気モータの回転力を可動側の直線運動に変換することによって伸縮する。以下の実施形態に示す振動減衰装置１０、６０は、電動アクチュエータ１、２にかかる航空機の舵面Ｒのフラッタ及びバズ等の振動を吸収する。
［第１実施形態］
　図１及び図２を用いて第１実施形態の電動アクチュエータ１及び振動減衰装置１０を説明する。図１は、第１実施形態の振動減衰装置を備える電動アクチュエータを示す模式図である。図１に示すように、電動アクチュエータ１は、振動減衰装置１０と、電動部１２と、を備える。まず、電動部１２の構成について説明する。電動部１２は、電気により動作する。電動部１２は、駆動部１４と、ハウジング１６と、シャフト１８と、を含む。
　駆動部１４は、本実施形態において、駆動源２０と、ネジ軸２２と、ナット２４と、を含む。駆動源２０は、例えば電気モータである。駆動源２０の駆動軸２０ａは、本実施形態において、軸継手２６を介してネジ軸２２の一端に接続される。駆動源２０は、本実施形態において、ハウジング１６の機体Ｂ側に設けられる。ネジ軸２２は、ハウジング１６の内部において、軸方向ＡＤに沿って設けられる。ネジ軸２２は、径方向に設けられた転がり軸受２８を介してハウジング１６と接続される。ネジ軸２２の一端は、本実施形態において、軸継手２６を介して駆動源２０の駆動軸２０ａに接続される。ネジ軸２２は、駆動源２０によって軸周りに回転する。ナット２４は、ネジ軸２２に取り付けられる。ナット２４は、ネジ軸２２の回転により軸方向ＡＤに直線運動する。
　ハウジング１６は、電動アクチュエータ１において、固定側（機体Ｂ側）の部材となる。ハウジング１６は、機体Ｂに接続する。ハウジング１６は、駆動源２０と、ネジ軸２２と、ナット２４と、シャフト１８の一部と、を収容する筒形状を含む。
　シャフト１８は、電動アクチュエータ１において、可動側（舵面Ｒ側）の部材となる。シャフト１８は、本実施形態において、第１シャフト３２と、第２シャフト３４と、を含む。第１シャフト３２は、第１筒状部３２ａと、第２筒状部３２ｂと、仕切り３２ｃと、を有する。第１筒状部３２ａは、機体Ｂ側の端部から軸方向ＡＤに延びる。第２筒状部３２ｂは、舵面Ｒ側の端部から軸方向ＡＤに延びる。仕切り３２ｃは、第１筒状部３２ａと第２筒状部３２ｂとを軸方向ＡＤに仕切る壁である。ネジ軸２２におけるナット２４より舵面Ｒ側の一部は、第１筒状部３２ａの内部に設けられる。第１シャフト３２の機体Ｂ側の端部は、ナット２４に固定される。第１シャフト３２は、ネジ軸２２の回転によりナット２４を介して軸方向ＡＤに直線運動する。すなわち、第１シャフト３２は、駆動部１４を介してハウジング１６に対して直線運動する。ネジ軸２２は、先端に設けられるストッパ２２ａを有する。ストッパ２２ａは、第１シャフト３２のハウジング１６に対する最大移動量を制限する。具体的には、ストッパ２２ａが仕切り３２ｃに当接することよって、第１シャフト３２は、機体Ｂ側への移動を規制される。ハウジング１６の舵面Ｒ側の端部と第１シャフト３２の周面とは、シール３０によって閉塞される。シール３０は、ハウジング１６内への塵埃等の侵入を抑制する往復動用のシールである。シール３０は、例えばダストシールである。第２シャフト３４は、第１シャフト３２の舵面Ｒ側に設けられる。第２シャフト３４は、第２筒状部３２ｂの内部に設けられる柱形状を含む。第２シャフト３４は、第１シャフト３２に対して軸方向ＡＤに移動可能である。第２シャフト３４は、舵面Ｒに接続される。
　次に、振動減衰装置１０について説明する。振動減衰装置１０は、振動吸収部３６と、計測部３８と、制御部４０と、を含む。
　振動吸収部３６は、第１支持部４２と第２支持部４４との間に設けられる。第２支持部４４は、第１支持部４２に対向して設けられる。第１支持部４２は、本実施形態において、第１シャフト３２を含む。第２支持部４４は、本実施形態において、第２シャフト３４を含む。振動吸収部３６は、本実施形態において、第１シャフト３２と第２シャフト３４との間に設けられる。振動吸収部３６は、電気によって伸縮する。
　振動吸収部３６は、本実施形態において、磁歪部材４６と、３つのコイル４８と、を含む。磁歪部材４６は、第１支持部４２と第２支持部４４と軸方向ＡＤに接続する。第１支持部４２と第２支持部４４とは、軸方向ＡＤに対向する。磁歪部材４６は、磁性材料によって設けられる柱形状の部材である。磁性材料は、例えば鉄である。磁歪部材４６は、磁性を持って磁化することによって、軸方向ＡＤに伸縮する。磁歪部材４６の軸方向ＡＤの変位量は、例えば長さの１％程度である。磁歪部材４６の応答性は、１０～１００ｋＨｚオーダーである。磁歪部材４６は、本実施形態において、第１シャフト３２の第２筒状部３２ｂの内部に設けられる。磁歪部材４６は、本実施形態において、機体Ｂ側の端部で第１シャフト３２の仕切り３２ｃに接続される。磁歪部材４６は、本実施形態において、舵面Ｒ側の端部において、第２シャフト３４の機体Ｂ側の端部に接続される。磁歪部材４６は、第１シャフト３２及び第２シャフト３４と、例えば溶接によって接合される。コイル４８は、磁歪部材４６の径方向に対向して設けられる。コイル４８は、本実施形態において、第１シャフト３２の第２筒状部３２ｂの外周に設けられる。コイル４８は、本実施形態において、３つ設けられるが、少なくとも１つ設けられれば良く、好ましくは２つ以上設けられる。複数のコイル４８は、軸方向ＡＤに並べて設けられる。振動吸収部３６は、コイル４８に電流が流れることによって、コイル４８の内側において、軸方向ＡＤに平行な磁界が発生する。磁歪部材４６は、コイル４８によって発生した軸方向ＡＤに平行な磁界によって磁化して軸方向ＡＤに伸縮する。
　計測部３８は、第２支持部４４の振動を計測する。計測部３８は、本実施形態において、第２シャフト３４の振動を計測する。計測部３８は、センサ５０と、計測装置５２と、を含む。センサ５０は、本実施形態において、歪みゲージである。センサ５０は、第２シャフト３４の周面に設けられる。センサ５０は、第２シャフト３４の歪みによって得られる信号を、計測装置５２に出力する。計測装置５２は、センサ５０から入力される信号に基づいて、第２シャフト３４の歪みの変化を計測する。計測装置５２は、第２シャフト３４の歪みの変化によって、第２シャフト３４の振動を計測する。計測装置５２は、電動アクチュエータ１の内部に設けてもよいし、外部に設けてもよい。本実施形態において、センサ５０は、歪みゲージであるが、第２シャフト３４の振動を計測するものであれば、どのようなものであってもよく、例えば、変位及び荷重を計測してもよい。
　制御部４０は、解析部５４と、加振部５６と、を含む。制御部４０は、電動アクチュエータ１の内部に設けてもよいし、外部に設けてもよい。例えば、解析部５４を、制御部４０とは別の制御装置に設けてもよい。制御部４０は、予め定められる制御プログラムを実行する演算処理装置を含む。演算処理装置は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）等の集積回路を含む。解析部５４は、計測部３８により計測された第２シャフト３４の振動のデータを取得する。制御部４０は、解析部５４に、第２シャフト３４の振動のデータから周波数をリアルタイムで解析させ、第２シャフト３４の振動を打ち消す加振周波数を算出させる。制御部４０は、コイル４８に流す電流を制御する。制御部４０は、加振部５６に、解析部５４が算出した加振周波数の電流をコイル４８に流させる。コイル４８の内側の磁界が周波数に合わせて変化することによって、磁歪部材４６は、周波数に合わせて軸方向ＡＤに伸縮を繰り返し、第２シャフト３４の振動を打ち消す。すなわち、制御部４０は、計測部３８により計測された第２シャフト３４の振動を打ち消すように、振動吸収部３６を電気制御する。これにより、振動減衰装置１０は、電動アクチュエータ１の舵面Ｒ側にかかる振動を減衰する。
　本実施形態において、制御部４０は、加振部５６に、３つのコイル４８に対してそれぞれ異なる周波数の電流を流させることができる。図２は、第１実施形態の振動減衰装置による加振波形の一例を示すグラフである。図２に示すように、例えばコイル１つに所定の周波数及び振幅の電流を流す場合、振動の波形は正弦波となる。コイル２つのそれぞれ異なる周波数及び振幅の電流を流す場合、振動の波形は合成波となる。振動減衰装置１０は、コイル４８を複数設けることによって、周波数及び振幅の異なる波形が合成された波形による加振を磁歪部材４６に対して行うことができる。すなわち、磁歪部材４６は、周波数及び振幅の異なる波形が合成された波形による変位量によって、軸方向ＡＤに伸縮する。これにより、振動減衰装置１０は、異なる周波数帯による複合した振動を減衰することが可能である。
　以上のように、第１実施形態の振動減衰装置１０及び電動アクチュエータ１によれば、振動吸収部３６を電気制御することによって、振動吸収部３６の伸縮の周波数を可変にできるので、幅広い周波数帯による振動を減衰することが可能である。また、リアルタイムで計測した第２シャフト３４（第２支持部４４）の振動の周波数に基づいて、振動吸収部３６の伸縮の周波数を電気制御するので、より好適に振動を減衰することが可能である。
　また、第１実施形態の振動減衰装置１０及び電動アクチュエータ１は、振動吸収部３６が、第１シャフト３２（第１支持部４２）と第２シャフト３４（第２支持部４４）とを接続する磁歪部材４６と、第１シャフト３２と第２シャフト３４とが対向する方向を軸方向ＡＤとする磁歪部材４６の外周に設けられる少なくとも１つのコイル４８と、を含み、制御部４０が、コイル４８に流す電流を制御する。コイル４８に電流を流し、磁歪部材４６に磁界を発生させることによって、磁歪部材４６を伸縮させることができるので、リアルタイムで計測した第２シャフト３４の振動の周波数に基づいて、磁歪部材４６を伸縮させることができる。これによって、振動を減衰することが可能である。また、磁歪部材４６は、応答性が高く、対応周波数の範囲が広いため、より幅広い周波数帯による振動を減衰することが可能である。
　また、コイル４８が、軸方向ＡＤに複数並べて設けられることによって、異なる周波数帯による複合した振動を減衰することが可能である。
　また、駆動部１４が、ハウジング１６に接続され、軸周りに回転するネジ軸２２と、ネジ軸２２に取り付けられるナット２４と、ネジ軸２２の回転を駆動する駆動源２０と、を含み、シャフト１８が、ナット２４に固定して設けられ、ネジ軸２２の回転によりナット２４を介して軸方向ＡＤに直線運動するので、簡素な構成によって、電動アクチュエータ１の振動を減衰することが可能である。
　また、シャフト１８が、第１シャフト３２と、第１シャフト３２に対して軸方向ＡＤに移動可能な第２シャフト３４と、を含み、第１支持部４２が、第１シャフト３２を含み、第２支持部４４が、第２シャフト３４を含み、振動吸収部３６が、第１シャフト３２と第２シャフト３４との間に設けられるので、電動アクチュエータ１において可動側となるシャフト１８において振動を減衰できる。これにより、固定側への振動の伝達をより抑制することができる。
　本実施形態において、振動吸収部３６は、第１シャフト３２と第２シャフト３４との間に設けられるが、振動吸収部３６は第１シャフト３２を含んでもよい。すなわち、第１シャフト３２の少なくとも一部を磁性材料によって設け、第１シャフト３２の径方向に対向するようにハウジング１６の外周にコイル４８を設けてもよい。第１シャフト３２を振動吸収部３６とする場合、第１支持部４２は、駆動部１４を含み、第２支持部４４は、第２シャフト３４を含む。第１シャフト３２は、本実施形態と同様に、駆動部１４と第２シャフト３４との間に設けられる。
　第１支持部４２が、駆動部１４を含み、第２支持部４４が、第２シャフト３４を含み、振動吸収部３６が、駆動部１４と第２シャフト３４との間に設けられた、第１シャフト３２を含むことによって、電動アクチュエータ１の構造をより単純にすることができる。
　振動吸収部３６は、ハウジング１６と駆動部１４との間に設けられてもよい。振動吸収部３６がハウジング１６と駆動部１４との間に設けられる場合、第１支持部４２は、ハウジング１６を含み、第２支持部４４は、駆動部１４を含む。
　第１支持部４２が、ハウジング１６を含み、第２支持部４４は、駆動部１４を含み、振動吸収部３６が、ハウジング１６と駆動部１４との間に設けられていることによって、電動アクチュエータ１の構造をより単純にすることができる。
　振動吸収部３６は、複数設けられてもよい。また、１つの振動吸収部３６において、磁歪部材４６は、複数設けられてもよい。磁歪部材４６を複数設ける場合、全ての磁歪部材４６は、軸方向ＡＤに直列に配置される。
［第２実施形態］
　図３を用いて第２実施形態の電動アクチュエータ２及び振動減衰装置６０を説明する。
電動アクチュエータ２は、第１実施形態の電動アクチュエータ１と比較して、シャフト１８の構成と、振動減衰装置１０の代わりに振動減衰装置６０を備える点とにおいて異なり、その他の構成は第１実施形態と同様である。第２実施形態の電動アクチュエータ２において、第１実施形態の電動アクチュエータ１と同一の構成については同一の参照符号を付して説明を省略し、異なる構成について説明する。
　第２実施形態の電動アクチュエータ２において、シャフト１８は、第１シャフト３２及び第２シャフト３４の代わりに第１シャフト６２及び第２シャフト６４を含む。第１シャフト６２は、第１筒状部６２ａと、第２筒状部６２ｂと、仕切り６２ｃと、を有する。第１筒状部６２ａは、機体Ｂ側の端部から軸方向ＡＤに延びる。第２筒状部６２ｂは、第１筒状部６２ａの舵面Ｒ側に設けられる。仕切り６２ｃは、第１筒状部６２ａと第２筒状部６２ｂとを軸方向ＡＤに仕切る壁である。ネジ軸２２におけるナット２４より舵面Ｒ側の一部は、第１筒状部６２ａの内部に設けられる。第１シャフト６２の機体Ｂ側の端部は、ナット２４に固定される。ネジ軸２２の先端に設けられるストッパ２２ａは、第１シャフト６２のハウジング１６に対する最大移動量を制限する。具体的には、ストッパ２２ａが仕切り６２ｃに当接することよって、第１シャフト６２は、機体Ｂ側への移動を規制される。ハウジング１６の舵面Ｒ側の端部と第１シャフト６２の周面とは、シール３０によって閉塞される。第２シャフト６４は、第１シャフト６２の舵面Ｒ側に設けられる。第２シャフト６４は、第２筒状部６２ｂの内部に設けられる柱形状と、フランジ部６４ａと、を含む。フランジ部６４ａは、第２筒状部６２ｂの内部を機体Ｂ側と舵面Ｒ側とに分割する。第２シャフト３４は、第１シャフト３２に対して軸方向ＡＤに移動可能である。第２シャフト３４は、舵面Ｒに接続される。
　振動減衰装置６０は、第１実施形態の振動吸収部３６の代わりに振動吸収部６６を含む。振動吸収部６６は、第１支持部４２と第２支持部４４との間に設けられる。第１支持部４２は、本実施形態において、第１シャフト６２を含む。第２支持部４４は、本実施形態において、第２シャフト６４を含む。振動吸収部６６は、本実施形態において、第１シャフト６２と第２シャフト６４との間に設けられる。振動吸収部３６は、電気によって伸縮する。
　振動吸収部６６は、本実施形態において、電歪部材６８を含む。電歪部材６８は、第１支持部４２と第２支持部４４とを接続する。電歪部材６８は、圧電素子によって設けられる環形状の部材である。圧電素子は、例えばセラミックである。電歪部材６８は、電界を印加することによって、軸方向ＡＤに伸縮する。電歪部材６８は、本実施形態において、軸方向ＡＤに複数の電歪部材６８を積層した第１積層体６８ａ及び第２積層体６８ｂを含む。第１積層体６８ａ及び第２積層体６８ｂは、第１シャフト６２の第２筒状部６２ｂの内側に設けられる。第１積層体６８ａは、機体Ｂ側の端部で第１シャフト６２に接続される。第１積層体６８ａは、舵面Ｒ側の端部で第２シャフト６４のフランジ部６４ａに接続される。第２積層体６８ｂは、機体Ｂ側の端部で第２シャフト６４のフランジ部６４ａに接続される。第２積層体６８ｂは、舵面Ｒ側の端部で第１シャフト６２に接続される。第１積層体６８ａ及び第２積層体６８ｂと、第１シャフト６２及び第２シャフト６４とは、例えば接着剤によって接合される。
　このような振動減衰装置６０において、制御部４０は、電歪部材６８に印加する電圧を制御する。制御部４０は、計測部３８が計測した第２シャフト６４の振動に基づいて、解析部５４が算出した加振周波数の電圧を、加振部５６によって電歪部材６８に印加させる。制御部４０は、加振部５６に、第１積層体６８ａ及び第２積層体６８ｂに対してそれぞれ異なる周波数の電圧を印加させることができる。電歪部材６８の電界が周波数に合わせて変化することによって、電歪部材６８は、周波数に合わせて軸方向ＡＤに伸縮を繰り返す。この際、制御部４０は、第１積層体６８ａ及び第２積層体６８ｂのそれぞれの軸方向ＡＤの変位が正負対称になるよう制御する。これにより、第２シャフト６４のフランジ部６４ａが軸方向ＡＤに移動を繰り返し、第２シャフト６４の振動を打ち消す。すなわち、制御部４０は、計測部３８により計測された第２シャフト６４の振動を打ち消すように、振動吸収部６６を電気制御する。これにより、振動減衰装置６０は、電動アクチュエータ２の舵面Ｒ側にかかる振動を減衰する。
　以上のように、第２実施形態の振動減衰装置６０及び電動アクチュエータ２は、振動吸収部６６が、第１シャフト６２（第１支持部４２）と第２シャフト６４（第２支持部４４）とを接続する電歪部材６８を含み、制御部４０が、電歪部材６８に印加する電圧を制御する。電歪部材６８に直接電圧を印加することによって、電歪部材６８を伸縮させることができるので、リアルタイムで計測した第２シャフト６４の振動の周波数に基づいて、電歪部材６８に電圧を印加して伸縮させることができる。これによって、振動を減衰することが可能である。また、電歪部材６８に直接電圧を印加することによって、振動吸収部６６の伸縮をより好適に制御することができる。
　また、電歪部材６８が、第１シャフト６２（第１支持部４２）と第２シャフト６４（第２支持部４４）とが対向する方向（軸方向ＡＤ）に複数の電歪部材６８を積層した積層体（第１積層体６８ａ及び第２積層体６８ｂ）であることによって、電歪部材６８の伸縮量を拡大することが可能である。
　１、２　電動アクチュエータ
　１０、６０　振動減衰装置
　１２　電動部
　１４　駆動部
　１６　ハウジング
　１８　シャフト
　２０　駆動源
　２０ａ　駆動軸
　２２　ネジ軸
　２２ａ　ストッパ
　２４　ナット
　２６　軸継手
　２８　転がり軸受
　３０　シール
　３２、６２　第１シャフト
　３２ａ、６２ａ　第１筒状部
　３２ｂ、６２ｂ　第２筒状部
　３２ｃ、６２ｃ　仕切り
　３４、６４　第２シャフト
　６４ａ　フランジ部
　３６、６６　振動吸収部
　３８　計測部
　４０　制御部
　４２　第１支持部
　４４　第２支持部
　４６　磁歪部材
　４８　コイル
　５０　センサ
　５２　計測装置
　５４　解析部
　５６　加振部
　６８　電歪部材
　６８ａ　第１積層体
　６８ｂ　第２積層体
　Ｂ　機体
　Ｒ　舵面
　ＡＤ　軸方向

Claims (10)

  1. 　第１支持部と前記第１支持部に対向して設けられる第２支持部との間に設けられ、電気によって伸縮する振動吸収部と、
    　前記第２支持部の振動を計測する計測部と、
    　前記計測部により計測された前記第２支持部の振動を打ち消すように、前記振動吸収部を電気制御する制御部と、を備えることを特徴とする振動減衰装置。
  2. 　前記振動吸収部は、前記第１支持部と前記第２支持部とを接続する磁歪部材と、
    　前記第１支持部と前記第２支持部とが対向する方向を軸方向とする前記磁歪部材の外周に設けられる少なくとも１つのコイルと、を含み、
    　前記制御部は、前記コイルに流す電流を制御することを特徴とする請求項１に記載の振動減衰装置。
  3. 　前記コイルは、前記軸方向に複数並べて設けられることを特徴とする請求項２に記載の振動減衰装置。
  4. 　前記振動吸収部は、前記第１支持部と前記第２支持部とを接続する電歪部材を含み、
    　前記制御部は、前記電歪部材に印加する電圧を制御することを特徴とする請求項１に記載の振動減衰装置。
  5. 　前記電歪部材は、前記第１支持部と前記第２支持部とが対向する方向に複数の電歪部材を積層した積層体であることを特徴とする請求項４に記載の振動減衰装置。
  6. 　請求項１から５のいずれか一項に記載の振動減衰装置と、
    　電気により動作する電動部と、を備え、
    　前記電動部は、
    　固定側となるハウジングと、
    　前記ハウジングに対して、固定側の反対側となる可動側に向かう方向である軸方向に移動可能であるシャフトと、
    　前記ハウジングと前記シャフトとの間に設けられ、前記ハウジングに対して前記シャフトを駆動させる駆動部と、を含むことを特徴とする電動アクチュエータ。
  7. 　前記駆動部は、
    　前記ハウジングに接続され、軸周りに回転するネジ軸と、
    　前記ネジ軸に取り付けられるナットと、
    　前記ネジ軸の回転を駆動する駆動源と、を含み、
    　前記シャフトは、前記ナットに固定して設けられ、前記ネジ軸の回転により前記ナットを介して前記軸方向に直線運動することを特徴とする請求項６に記載の電動アクチュエータ。
  8. 　前記シャフトは、第１シャフトと、前記第１シャフトに対して軸方向に移動可能な第２シャフトと、を含み、
    　前記第１支持部は、前記第１シャフトを含み、
    　前記第２支持部は、前記第２シャフトを含み、
    　前記振動吸収部は、前記第１シャフトと前記第２シャフトとの間に設けられていることを特徴とする請求項６又は７に記載の電動アクチュエータ。
  9. 　前記シャフトは、第１シャフトと、前記第１シャフトに対して軸方向に移動可能な第２シャフトと、を含み、
    　前記第１支持部は、前記駆動部を含み、
    　前記第２支持部は、前記第２シャフトを含み、
    　前記振動吸収部は、前記駆動部と前記第２シャフトとの間に設けられた、前記第１シャフトを含むことを特徴とする請求項６又は７に記載の電動アクチュエータ。
  10. 　前記第１支持部は、前記ハウジングを含み、
    　前記第２支持部は、前記駆動部を含み、
    　前記振動吸収部は、前記ハウジングと前記駆動部との間に設けられていることを特徴とする請求項６又は７に記載の電動アクチュエータ。
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