JP2011147228A - ポリマーアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、対向する一方の平面および他方の平面を備える防振性圧電基板と、前記防振性圧電基板の一方の平面および他方の平面の上にそれぞれ形成される電極層と、を有するポリマーアクチュエータであって、前記電極層は、その表面がシリコーン系処理溶液により処理された表面処理膜を備えてなるように構成される。
【選択図】 図1
Description
(防振性圧電基板10)
防振性圧電基板10を構成する材料としては、伸縮性がある電歪ポリマーとして機能するものであれば特に制限はない。具体的には、シリコーンゴム、ポリフッ化ビニリデンを含むエラストマー、アルクリエラストマー、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、二トリルゴム、イソプレンゴム等を例示することができる。
電極として機能する導電性を有し、かつ、防振性圧電基板10の伸縮に追従できる柔軟性を備えるゴム、エラストマー材料を主原料として構成されることが好ましい。
本発明において表面処理膜31,35を形成するために使用される特定のシリコーン系処理溶液は、ポリオルガノシロキサンおよびポリオルガノ水素シロキサンを含む主剤と、エポキシ変性シリコーンおよびシランカップリング剤を含む硬化剤と、スズ系触媒を含む触媒溶液と、希釈溶剤と、を混合してなる二液硬化型の樹脂組成物である。
誘電体である低硬度シリコーンゴムなどを挟んで形成される電極層間に電圧差が生じると、上下の電極層に正負の電荷が発生し、その静電引力によって、誘電体(低硬度シリコーンゴム)は圧縮されることにより水平方向に膨張、厚さ方向に圧縮する動作をする(図2参照)。この一方で、電圧が解除されるとゴムの圧縮が解除されて元の形状に復元する動作をする(図1参照)。
(実施例)
〔ポリマーアクチュエータの作製〕
(1)防振性圧電基板10の作製
原料ポリマーのシリコーンゴム(「DY32-1005U」(東レ・ダウコーニング(株)製))100重量部と、架橋剤(「RC-4(50P)」(東レ・ダウコーニング(株)製))0.6重量部と架橋剤(「MR-53」(東レ・ダウコーニング(株)製))1.4重量部をオープンロールにて混練し、ゴムコンパウンドを得た。
母材となる導電性シリコーンゴム(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製「XE23-A2637」)100重量部に、架橋剤(「TC-8」(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製))2.5重量部をオープンロールにて混練し、ゴムコンパウンドを得た。
シリコーン溶液「HS−3」3.00g(ポリアルキルシロキサンおよびポリアルキル水素シロキサンの両者の含有量:0.36g)と、シリコーン溶液「XC9603」1.50g(エポキシ変性シリコーンおよびシランカップリング剤の両者の含有量:0.45g)と、触媒溶液「YC6831」0.30g(ジアルキルスズ化合物の含有量:0.11g)とを、トルエン3.0gに添加し、この系を室温下に1時間攪拌することにより、本発明の表面処理膜31,35を形成するためのシリコーン系処理溶液を製造した。
上記(1)の要領で得られた防振性圧電基板10(シリコーンゴムシート)の両面に、上記(2)の要領で得られた電極層21,25を形成するための塗料を塗布し、さらに乾燥させることにより5μmmの厚さの電極層21,25を得た。
上記実施例において、シリコーン系処理溶液(表面処理剤)による処理を行なわなかった。すなわち、電極層の上に表面処理膜を形成しなかった。それ以外は、上記実施例の場合と同様な要領で、比較例サンプルのポリマーアクチュエータを作製した
上記で作製したポリマーアクチュエータ(実施例、比較例)について、100×100mmのサイズのものをそれぞれ準備し、これらの準備された各ポリマーアクチュエータサンプルを、ステンレス鋼(SUS)からなる載置台の上に載置した(載置床と電極層が直接あるいは表面処理膜を介して接触する状態を確保)。しかる後、各サンプルを表1(実施例)および表2(比較例)に示す電圧を一定の周波数で印加した。そして、その時のポリマーアクチュエータ端部から50mm位置の駆動距離(変位量)を、レーザー変位計(オムロン製「3Z4M−J12」)を用いて測定した。
結果を下記表1および表2に示す。
すなわち、本発明は、対向する一方の平面および他方の平面を備える防振性圧電基板と、前記防振性圧電基板の一方の平面および他方の平面の上にそれぞれ形成される電極層と、を有するポリマーアクチュエータであって、前記電極層の表面がシリコーン系処理溶液により処理された表面処理膜を備えてなるように構成されているので、電極表面の凹凸性を極力なくして(例えばタルク処理との比較)、安定した制御を実現することができ、しかも、ポリマーアクチュエータと制振対象物との間の摺動抵抗を小さくすることができ、スムース、かつ信頼性のある応答が実現可能となる。
10…防振性圧電基板
11…一方の平面
15…他方の平面
21,25…電極層
31,35…表面処理膜
Claims (6)
- 対向する一方の平面および他方の平面を備える防振性圧電基板と、
前記防振性圧電基板の一方の平面および他方の平面の上にそれぞれ形成される電極層と、を有するポリマーアクチュエータであって、
前記電極層の表面は、シリコーン系処理溶液により処理された表面処理膜を備えてなることを特徴とするポリマーアクチュエータ。 - 前記防振性圧電基板において、電極層が形成されていない残余の防振性圧電基板の平面は、前記シリコーン系処理溶液により処理された表面処理膜が形成されてなる請求項1に記載のポリマーアクチュエータ。
- 前記シリコーン系処理溶液が、ポリオルガノシロキサンおよびポリオルガノ水素シロキサンを含む主剤と、
エポキシ変性シリコーンおよびシランカップリング剤を含む硬化剤と、スズ系触媒を含む触媒溶液と、
希釈溶剤と、
を含む溶液である請求項1または請求項2に記載のポリマーアクチュエータ。 - 前記防振性圧電基板は、シリコーンゴムであり、
前記電極層は、導電性のシリコーンゴムである請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のポリマーアクチュエータ。 - 前記防振性圧電基板の厚さは、0.1〜0.5mm、
前記電極層の厚さは、5〜10μm、
前記表面処理膜の厚さは、5〜20μm、
である請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のポリマーアクチュエータ。 - 前記一対の電極層に電圧を印加させることにより、前記一対の電極層にそれぞれ正および負の電荷が発生し、その静電引力によって、前記防振性圧電基板は圧縮されるように作用する請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のポリマーアクチュエータ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015165288A1 (zh) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 国家电网公司 | 一种机械能与电能转换装置 |
JP2016178715A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-10-06 | 株式会社リコー | 発電素子及び発電装置 |
WO2020054117A1 (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-19 | 三菱重工業株式会社 | 振動減衰装置及び電動アクチュエータ |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05160458A (ja) * | 1991-12-04 | 1993-06-25 | Fujitsu Ltd | 積層型圧電素子及び圧電素子 |
JP2003118040A (ja) * | 2001-10-11 | 2003-04-23 | Ge Toshiba Silicones Co Ltd | 衝撃緩和用複合体 |
JP2005072325A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及び噴射装置 |
JP2006234038A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電歪ポリマーアクチュエータ利用防振装置 |
JP2008227384A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Nsk Ltd | 誘電性ゴム積層体 |
JP2008277729A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Tokai Rubber Ind Ltd | アクチュエータ |
JP2009021328A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電歪素子 |
JP2009263486A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Fujikura Rubber Ltd | 表面処理剤、ゴムの表面処理方法およびゴム製品 |
-
2010
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05160458A (ja) * | 1991-12-04 | 1993-06-25 | Fujitsu Ltd | 積層型圧電素子及び圧電素子 |
JP2003118040A (ja) * | 2001-10-11 | 2003-04-23 | Ge Toshiba Silicones Co Ltd | 衝撃緩和用複合体 |
JP2005072325A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及び噴射装置 |
JP2006234038A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電歪ポリマーアクチュエータ利用防振装置 |
JP2008227384A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Nsk Ltd | 誘電性ゴム積層体 |
JP2008277729A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Tokai Rubber Ind Ltd | アクチュエータ |
JP2009021328A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電歪素子 |
JP2009263486A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Fujikura Rubber Ltd | 表面処理剤、ゴムの表面処理方法およびゴム製品 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015165288A1 (zh) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 国家电网公司 | 一种机械能与电能转换装置 |
JP2016178715A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-10-06 | 株式会社リコー | 発電素子及び発電装置 |
US10270369B2 (en) | 2015-03-18 | 2019-04-23 | Ricoh Company, Ltd. | Electric generating element and electric generator |
WO2020054117A1 (ja) * | 2018-09-14 | 2020-03-19 | 三菱重工業株式会社 | 振動減衰装置及び電動アクチュエータ |
US11444511B2 (en) | 2018-09-14 | 2022-09-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Vibration damping device and electrically driven actuator |
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