WO2020050260A1 - 被覆工具及び切削工具 - Google Patents

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WO2020050260A1
WO2020050260A1 PCT/JP2019/034596 JP2019034596W WO2020050260A1 WO 2020050260 A1 WO2020050260 A1 WO 2020050260A1 JP 2019034596 W JP2019034596 W JP 2019034596W WO 2020050260 A1 WO2020050260 A1 WO 2020050260A1
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coated tool
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PCT/JP2019/034596
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忠 勝間
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京セラ株式会社
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Definitions

  • the present disclosure relates to a coated tool used for cutting.
  • a coated tool described in Patent Document 1 contains a layer containing a titanium (Ti) compound (titanium compound layer) and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) on the surface of a base made of a cemented carbide or the like. It has a configuration in which a coating layer including a layer (aluminum oxide layer) is formed. Further, in the coated tool described in Patent Document 1, a plurality of holes are formed at the interface between the titanium compound layer and the aluminum oxide layer. It is described that an impact mitigation effect can be obtained by the plurality of holes.
  • Ti titanium
  • Al 2 O 3 aluminum oxide
  • Patent Document 2 discloses a coated cutting tool including a substrate and a surface coating, wherein the coating has at least one columnar MTCVD Ti (C, N) layer having an average particle width of 0.05 to 0.4 ⁇ m. And the average value of the atomic ratio of carbon (C / (C + N)) to the total of carbon and nitrogen contained in the MTCVD Ti (C, N) layer is 0.50 to A coated cutting tool that is 0.65 is disclosed.
  • a coating tool includes a substrate having a first surface, and a coating film located on the first surface.
  • the coating film has a Ti (C, N) layer and an Al 2 O 3 layer covering the Ti (C, N) layer.
  • the Ti (C, N) layer has a plurality of vacancies along a boundary between the Ti (C, N) layer and the Al 2 O 3 layer in a cross section orthogonal to the first surface. Having. The average value of the width of the holes in the direction along the interface is smaller than the average value of the interval between the adjacent holes.
  • the Ti (C, N) layer has a first Ti (C, N) layer located closer to the base than the void region.
  • a cutting tool according to the present disclosure is a rod-shaped tool extending from a first end toward a second end, and includes a holder having a pocket located on the first end side, and the above-described coating tool located in the pocket. Have.
  • FIG. 1 is a perspective view illustrating a coating tool according to the present disclosure.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the coated tool shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 is an enlarged view near a coating layer in the coating tool shown in FIG. 2.
  • FIG. 4 is an enlarged view of a region B1 shown in FIG. 3.
  • FIG. 4 is an enlarged view illustrating an example of a region B1 illustrated in FIG. 3. It is a top view showing the cutting tool of this indication.
  • FIG. 7 is an enlarged view of a region B2 shown in FIG. 6.
  • the coated tool of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings.
  • the coating tool may include any components not shown in the referenced figures.
  • the dimensions of the members in the drawings do not faithfully represent the actual dimensions of the constituent members, the dimensional ratios of the respective members, and the like.
  • a coating tool 1 includes a base 3 and a coating layer 5.
  • the base 3 includes a first surface 7 (an upper surface in FIG. 2), a second surface 9 (a side surface in FIG. 2) adjacent to the first surface 7, and at least one ridge line where the first surface 7 and the second surface 9 intersect. And a cutting blade 11 located in the portion.
  • the base 3 in the example shown in FIG. 1 has a square plate shape, and the first surface 7 is square. Therefore, the number of the second surfaces 9 is four. At least a part of the first face 7 is a so-called rake face area, and at least a part of the second face 9 is a so-called flank face area.
  • the shape of the base 3 is not limited to a square plate shape.
  • the first surface 7 may be a triangle, a pentagon, a hexagon, or a circle.
  • the base 3 is not limited to a plate shape, and may be, for example, a column shape.
  • the coating layer 5 is located on at least the first surface 7 of the base 3.
  • the coating layer 5 may be located only on the first surface 7, or may be located on another surface of the base 3 other than the first surface 7.
  • the coating layer 5 is located on the second surface 9 in addition to the first surface 7.
  • the coating layer 5 is provided to improve characteristics such as wear resistance and chipping resistance of the coated tool 1 in cutting.
  • the coating layer 5 has a Ti (C, N) layer 13 and an Al 2 O 3 layer 15 as shown in FIG.
  • the Ti (C, N) layer 13 is located on the first surface 7 and contains a titanium compound.
  • the Al 2 O 3 layer 15 is located in contact with the Ti (C, N) layer 13 and contains aluminum oxide (Al 2 O 3 ).
  • Examples of the titanium compound contained in the Ti (C, N) layer 13 include titanium carbide, nitride, oxide, carbonitride, carbonate and carbonitride.
  • the Ti (C, N) layer 13 may have a configuration containing only one of the above compounds, or may have a configuration containing a plurality of the above compounds.
  • the Ti (C, N) layer 13 may have a single-layer configuration or a configuration in which a plurality of layers are stacked as long as the layer contains a titanium compound.
  • the Ti (C, N) layer 13 may have a configuration in which a TiN layer 17 and a TiCN layer 19 are stacked.
  • the Ti (C, N) layer 13 has the TiN layer 17 as a layer in contact with the base 3, the bondability between the base 3 and the Ti (C, N) layer 13 is high.
  • the TiN layer 17 and the TiCN layer 19 are mainly composed of titanium nitride and titanium carbonitride, respectively, and may contain other components.
  • the “main component” means that the component has the largest value of mass% as compared with other components.
  • the coating layer 5 may be composed of only the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15, or may have a layer other than these layers.
  • another layer may be present between the base 3 and the Ti (C, N) layer 13, or another layer may be present on the Al 2 O 3 layer 15.
  • the TiCN layer 19 may have a configuration in which a plurality of regions having different compositions are stacked.
  • the TiCN layer 19 may have a configuration in which a so-called MT (moderate temperature) -first region 19a and a so-called HT (high temperature) -second region 19b are stacked.
  • the Ti (C, N) layer 13 When the Ti (C, N) layer 13 has the first region 19a and the second region 19b, the Ti (C, N) layer 13 further forms an intermediate region 19c between the first region 19a and the second region 19b. You may have.
  • the boundaries between the layers and the regions are specified by observing, for example, an electron micrograph (Scanning Electron Microscope (SEM) or Transmission Electron Microscope (TEM)). It is possible.
  • SEM Sccanning Electron Microscope
  • TEM Transmission Electron Microscope
  • the specification can be made based on the ratio of elements constituting each layer, and the difference in crystal size and orientation.
  • the coating layer 5 has holes 21 inside the Ti (C, N) layer 13 as shown in FIG. Specifically, in a cross section orthogonal to the first surface 7 of the base 3, the coating layer 5 is formed on the Ti (C, N) layer 13 by the boundary between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15. It has a plurality of holes 21 located side by side in the direction along 16. More specifically, it has holes 21 in the intermediate region 19c.
  • the intermediate region 19c is the void region 19c according to the present disclosure
  • the first region 19a is the first TiCN layer 19a according to the present disclosure.
  • the average value of the width w1 of the holes 21 in the direction parallel to the first surface 7 is equal to the distance between the adjacent holes 21, that is, the width w2 of the first portion X. Less than the average value.
  • the coated tool 1 having such a configuration can obtain high impact resistance in the holes 21 while suppressing a decrease in the strength of the first portion X.
  • the ratio of carbon (C / (C + N)) to the total of carbon and nitrogen contained in the first TiCN layer 19a of the Ti (C, N) layer 13 is 0.50 to 0 in atomic ratio. .65. Further, it may be set to 0.55 to 0.62.
  • the ratio of carbon contained in the first TiCN layer 19a is in this range, the bonding strength with the base 3 or the TiN layer 17 in the Ti (C, N) layer 13 can be increased, and The bondability between the Ti (C, N) layer 13 or the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 is improved.
  • the ratio of carbon to the total of carbon and nitrogen (C / (C + N)) within this range, the hardness of the first TiCN layer 19a of the Ti (C, N) layer 13 can be increased. And the life of the tool can be prolonged.
  • the coated tool 1 of the present disclosure having such a configuration, the effect of alleviating the impact by the holes 21 can be obtained while suppressing a decrease in the bondability between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15. .
  • the coated tool 1 of the present disclosure has high impact resistance and good bonding properties.
  • the ratio of carbon (C / (C + N)) to the total of carbon and nitrogen contained in the first TiCN layer 19a is measured, for example, by performing wavelength-dispersive X-ray microprobe analysis (WDS) and measuring the composition of carbon and nitrogen.
  • WDS wavelength-dispersive X-ray microprobe analysis
  • Examples of the aluminum oxide contained in the Al 2 O 3 layer 15 include ⁇ -alumina ( ⁇ -Al 2 O 3 ), ⁇ -alumina ( ⁇ -Al 2 O 3 ), and ⁇ -alumina ( ⁇ -alumina). Al 2 O 3 ).
  • the Al 2 O 3 layer 15 contains ⁇ -alumina, the heat resistance of the coated tool 1 can be improved.
  • the Al 2 O 3 layer 15 may have a configuration containing only one of the above compounds, or may have a configuration containing a plurality of the above compounds.
  • Which of the above compounds is the aluminum oxide contained in the Al 2 O 3 layer 15 can be determined, for example, by performing X-ray diffraction (XRD) analysis and observing the distribution of peak values. Can be evaluated.
  • XRD X-ray diffraction
  • the content ratio of the titanium compound in the Ti (C, N) layer 13 and the content ratio of the aluminum oxide in the Al 2 O 3 layer 15 are not limited to specific values.
  • a configuration in which the Ti (C, N) layer 13 contains a titanium compound as a main component and the Al 2 O 3 layer 15 contains aluminum oxide as a main component is exemplified.
  • the “main component” means a component having the largest value of mass% as compared with other components.
  • the Ti (C, N) layer 13 may contain components other than the titanium compound, and the Al 2 O 3 layer 15 may contain components other than aluminum oxide.
  • the Ti (C, N) layer 13 contains aluminum oxide or the Al 2 O 3 layer 15 contains a titanium compound, the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 The joining property is improved.
  • the evaluation may be made based on the average value of the width w1 of about 5 to 10 holes 21 arranged side by side in the cross section. For example, a 10 ⁇ m square region including the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 is extracted from a cross section orthogonal to the first surface 7 and the width w1 of the hole 21 in this region is measured. do it.
  • the average value of the width w2 of the first portion X may be evaluated by the average value of the intervals between about 5 to 10 holes 21 arranged side by side in the cross section. In the present disclosure, an average value may be determined in some cases. Any of these may be an average of about 5 to 10 values.
  • the holes 21 only have to exist in the Ti (C, N) layer 13.
  • FIG. 4 not only the configuration located in the Ti (C, N) layer 13 but also the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 as shown in FIG. May be arranged in each of the above.
  • FIG. 5 an imaginary line segment along the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 is shown by a dashed line, and the holes 21 located in the Al 2 O 3 layer 15 It may be located along the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15.
  • the hole 21 is located along the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 means that the Ti (C, N) layer 13 and the Al It means that the distance to the boundary 16 of the 2 O 3 layer 15 is within ⁇ 20% of the average value.
  • the Ti (C, N) layer 13 contains titanium carbonitride as a titanium compound, and the Al 2 O 3 layer 15 contains ⁇ -alumina as aluminum oxide.
  • the durability of the coated tool 1 is further enhanced.
  • titanium carbonitride has a higher hardness but a lower impact resistance than ⁇ -alumina. Therefore, when the holes 21 are located in the Ti (C, N) layer 13, Ti (C , N) in the layer 13, the impact resistance of the holes 21 can be increased, and the durability of the coated tool 1 is further increased.
  • the size of the holes 21 is not particularly limited, but can be set to, for example, 20 to 200 nm. When the size of the holes 21 is 20 nm or more, the effect of the holes 21 to reduce the impact can be enhanced. When the size of the holes 21 is 200 nm or less, the strength of the Ti (C, N) layer 13 is easily maintained. Note that the size of the hole 21 means the maximum value of the width w1 in a cross section orthogonal to the first surface 7 of the hole 21.
  • the shape of the holes 21 is not particularly limited, but is more parallel to the first surface 7 than the height h1 in the direction orthogonal to the first surface 7 in a cross section orthogonal to the first surface 7.
  • the width w1 in the direction is large, in other words, the average value of the width w1 of the holes 21 in the direction parallel to the first surface 7 is equal to the height h1 of the holes 21 in the direction orthogonal to the first surface 7.
  • the impact resistance can be further increased while the ratio of the holes 21 is suppressed. This is for the following reason.
  • a cutting load is easily applied to the coating layer 5 in a direction orthogonal to the first surface 7.
  • the hole 21 has a shape in which the width w1 in the direction parallel to the first surface 7 is larger than the height h1 in the direction orthogonal to the first surface 7, the hole 21 is made unnecessarily large. Without this, the cutting load can be absorbed in a wide range of the holes 21. Therefore, the impact resistance can be further increased while the ratio of the holes 21 is suppressed.
  • the height h1 in the direction in which the holes 21 are orthogonal to the first surface 7 is the maximum value of the height h1 in the direction in which the holes 21 are orthogonal to the first surface 7.
  • the ratio of the average value of the width w1 of the holes 21 in the direction orthogonal to the first surface 7 to the average value of the height h1 of the holes 21 in the direction parallel to the first surface 7 is 1. If it is 2 or more, the cutting load can be easily absorbed in a wide range of the holes 21. When the above ratio is 2 or less, the amount of deformation of the holes 21 in the direction orthogonal to the first surface 7 is easily secured, so that the holes 21 can stably absorb the cutting load.
  • the holes 21 in the direction orthogonal to the first surface 7 Is smaller than Rz, it is easy to suppress a decrease in the durability of the coating layer 5.
  • the coated tool 1 of the present disclosure has high impact resistance due to the deformation of the first portion X and the plurality of holes 21 located between the adjacent holes 21 in the Ti (C, N) layer 13.
  • the average value of the width of the holes 21 in the direction orthogonal to the first surface 7 is smaller than Rz, the imaginary line connecting the adjacent holes 21 bends more greatly than the width of the holes 21. It is shown in a zigzag shape.
  • the average value of the distance d 1 from the holes 21 to the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 is the width w 2 of the first portion X.
  • the durability of the coating layer 5 is not easily reduced.
  • the distance d1 from the hole 21 to the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 is the minimum value of the distance from the hole 21 to the boundary 16.
  • the holes 21 are located in the Ti (C, N) layer 13 and are located away from the boundary between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15.
  • the average value of the distance d 1 from the holes 21 to the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 is orthogonal to the first surface 7. If the height h1 of the holes 21 in the direction in which the holes are formed is larger than the average value, the bondability between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15 while improving the impact resistance of the coating layer 5 is improved. Hard to drop.
  • Examples of the material of the base 3 include inorganic materials such as cemented carbide, cermet, and ceramics.
  • the material of the base 3 is not limited to these.
  • the composition of the cemented carbide includes, for example, WC (tungsten carbide) -Co, WC-TiC (titanium carbide) -Co, and WC-TiC-TaC (tantalum carbide) -Co.
  • WC, TiC, and TaC are hard particles
  • Co is a binder phase.
  • Cermet is a sintered composite material in which a metal is combined with a ceramic component. Specifically, a compound containing TiCN, TiC, or TiN (titanium nitride) as a main component is used as the cermet.
  • the base 3 may have the first surface 7 and a through-hole 23 penetrating the surface located on the opposite side of the first surface 7.
  • the through hole 23 can be used to insert a fixing member for fixing the coating tool 1 to the holder.
  • the fixing member include a screw and a clamp member.
  • the size of the base 3 is not particularly limited.
  • the length of one side of the first surface 7 is set to about 3 to 20 mm.
  • the height from the first surface 7 to the surface opposite to the first surface 7 is set to about 5 to 20 mm.
  • a metal powder, a carbon powder, and the like are appropriately added to and mixed with an inorganic powder selected from a carbide, a nitride, a carbonitride, an oxide, and the like, which can be formed by firing a hard alloy serving as the base 3.
  • the mixed powder is formed into a predetermined tool shape by using a known forming method to produce a formed body. Examples of the molding method include press molding, cast molding, extrusion molding, and cold isostatic press molding.
  • the substrate 3 is manufactured by firing the above-mentioned molded body in a vacuum or a non-oxidizing atmosphere. If necessary, the surface of the base 3 may be subjected to polishing and honing.
  • a coating layer 5 is formed on the surface of the substrate 3 by a chemical vapor deposition (CVD) method.
  • CVD chemical vapor deposition
  • a TiN layer 17 (base layer) in the Ti (C, N) layer 13 is formed.
  • a first mixed gas used as a reaction gas is produced by mixing 0.5 to 10% by volume of titanium tetrachloride gas and 10 to 60% by volume of nitrogen gas with hydrogen (H 2 ) gas.
  • the first mixed gas is introduced into the chamber at a gas partial pressure of 10 to 20 kPa, and a layer 17 containing titanium nitride is formed in a temperature range of 830 to 870 ° C.
  • a first region 19a in the Ti (C, N) layer 13 is formed.
  • This first region 19a is a first TiCN layer.
  • a second mixed gas is prepared by mixing 1 to 5% by volume of titanium tetrachloride gas, 0 to 4% by volume of nitrogen gas, and 0.1 to 0.5% by volume of acetonitrile gas with hydrogen gas. I do.
  • the second mixed gas is introduced into the chamber at a gas partial pressure of 5 to 12 kPa, and the MT-first region 19a is formed in a temperature range of 800 to 870 ° C.
  • the intermediate region 19c is formed. 3% to 30% by volume of titanium tetrachloride gas, 3% to 15% by volume of methane gas, 5% to 10% by volume of nitrogen gas, and 0.5% to 5% by volume of hydrogen gas of carbon dioxide (CO 2) by mixing the gas to produce a third gas mixture.
  • the third mixed gas is introduced into the chamber at a gas partial pressure of 6 to 12 kPa, and an intermediate region 19c having a thickness of about 50 to 300 nm is formed in a temperature range of 980 to 1050 ° C. Since the third mixed gas contains carbon dioxide gas, holes 21 are formed in the intermediate region 19c.
  • the average value of the width w1 of the holes 21 in the direction parallel to the first surface 7 is larger than the average value of the interval w2 of the adjacent holes 21.
  • a small coated tool 1 can be manufactured.
  • the holes 21 formed in the intermediate region 19c are formed along the boundary 16 between the Ti (C, N) layer 13 and the Al 2 O 3 layer 15. Can be located side by side in different directions.
  • a second region 19b in the Ti (C, N) layer 13 is formed.
  • hydrogen gas 1 to 4% by volume of titanium tetrachloride gas, 5 to 20% by volume of nitrogen gas, 0.1 to 10% by volume of methane gas, and 0.5% to 10% by volume of carbon dioxide gas are mixed to produce a fourth mixed gas.
  • the fourth mixed gas is introduced into the chamber at a gas partial pressure of 5 to 45 kPa, and a HT-second region 19b having a thickness of about 0.3 to 3 ⁇ m is formed in a temperature range of 950 to 1050 ° C.
  • the film formation temperature is 950 ° C. to 1100 ° C.
  • the gas pressure is 5 kPa to 20 kPa
  • the composition of the reaction gas is hydrogen gas, 5% to 15% by volume of aluminum trichloride (AlCl 3 ) gas, and 0.5% by volume.
  • AlCl 3 aluminum trichloride
  • % To 2.5% by volume of hydrogen chloride (HCl) gas, 0.5% to 5.0% by volume of carbon dioxide gas, and 0% to 1% by volume of hydrogen sulfide (H 2 S) gas.
  • HCl hydrogen chloride
  • H 2 S hydrogen sulfide
  • the above manufacturing method is an example of a method for manufacturing the coated tool 1. Therefore, it goes without saying that the coated tool 1 is not limited to one manufactured by the above-described manufacturing method. For example, a TiN layer or the like may be separately formed on the Al 2 O 3 layer 15.
  • the average value of the width w1 of the holes 21 in a direction parallel to the first surface 7 is equal to the average of the heights h1 of the holes 21 in the direction orthogonal to the first surface 7.
  • the coated tool in which the average value of the distance d 1 from the holes 21 to the boundary 16 is larger than the average value of the height h 1 of the holes 21 in the direction orthogonal to the first surface 7.
  • the time is adjusted during the formation of the intermediate region 19c, the film is formed to a thickness of about 50 to 150 nm, and then the second region 19b in the Ti (C, N) layer 13 is set to 0.1.
  • the film is preferably formed to a thickness of about 5 to 3 ⁇ m.
  • Ti (C , N) The second region 19b in the layer 13 may be formed so as to be thicker than the average value of the interval w2 between the adjacent holes 21.
  • the cutting tool 101 of the present embodiment is a rod-shaped body extending from a first end (upper in FIG. 6) to a second end (lower in FIG. 6). And a holder 105 having a pocket 103 located on the side of the above-mentioned side, and the above-mentioned coating tool 1 located in the pocket 103.
  • the covering tool 1 is mounted so that a portion used as a cutting edge in the ridge protrudes from the tip of the holder 105.
  • the pocket 103 is a portion where the coating tool 1 is mounted, and has a seating surface parallel to the lower surface of the holder 105 and a restraining side surface inclined with respect to the seating surface.
  • the pocket 103 is open on the first end side of the holder 105.
  • the coating tool 1 is located in the pocket 103. At this time, the lower surface of the coating tool 1 may be in direct contact with the pocket 103, or a sheet may be interposed between the coating tool 1 and the pocket 103.
  • the covering tool 1 is mounted such that a portion used as a cutting edge on the ridge projects outward from the holder 105.
  • the coating tool 1 is mounted on the holder 105 by screws 107. That is, the screw 107 is inserted into the through-hole 23 of the coating tool 1, and the tip of the screw 107 is inserted into a screw hole (not shown) formed in the pocket 103 to screw the screw portions together, thereby forming the coating tool. 1 is mounted on the holder 105.
  • the holder 105 steel, cast iron, or the like can be used. In particular, it is preferable to use high toughness steel among these members.
  • a cutting tool used for so-called turning is illustrated.
  • Turning includes, for example, inner diameter processing, outer diameter processing, and grooving processing.
  • the cutting tools are not limited to those used for turning.
  • the coated tool 1 of the above-described embodiment may be used as a cutting tool used for the rolling process.

Abstract

本開示の被覆工具は、基体と被覆膜とを有する。被覆膜は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層とＴｉ（Ｃ、Ｎ）層を覆うＡｌ2Ｏ3層とを有する。Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層とＡｌ2Ｏ3層の界面に沿って、複数の空孔を有する空孔領域を有する。空孔の幅の平均値は、隣り合う空孔の間隔の平均値よりも小さい。Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層は、空孔領域よりも基体に近い位置にある第１Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層を有する。第１Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層における炭素と窒素の合計に対する炭素の原子比（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））の平均が０．５０～０．６５である。本開示の切削工具は、第１端から第２端に向かって伸びる棒状であり、第１端の側に位置するポケットを有するホルダと、ポケット内に位置する、上述の被覆工具とを有する。

Description

被覆工具及び切削工具
　本開示は、切削加工に用いられる被覆工具に関する。
　旋削加工及び転削加工のような切削加工に用いられる被覆工具としては、例えば特許文献１に記載の被覆工具が知られている。特許文献１に記載の被覆工具は、超硬合金などで構成された基体の表面に、チタン（Ｔｉ）の化合物を含有する層（チタン化合物層）及び酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）を含有する層（酸化アルミニウム層）を備えた被覆層が形成された構成となっている。また、特許文献１に記載の被覆工具においては、チタン化合物層及び酸化アルミニウム層の界面に複数の空孔が形成されている。これら複数の空孔によって、衝撃緩和効果が得られることが記載されている。
　また、特許文献２には、基材及び表面コーティングを含む被覆切削工具であって、前記コーティングが、０．０５～０．４μｍの平均粒子幅を有する少なくとも１つの柱状ＭＴＣＶＤＴｉ（Ｃ、Ｎ）層を含むＴｉ（Ｃ、Ｎ、Ｏ）層を含み、前記ＭＴＣＶＤＴｉ（Ｃ、Ｎ）層に含まれる炭素と窒素の合計に対する炭素の原子比（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））の平均値が０．５０～０．６５である被覆切削工具が開示されている。
特開２０１５－１８２２０９号公報 特許第６２３８９０４号公報
　本開示の被覆工具は、第１面を具備する基体と、前記第１面の上に位置する被覆膜と、を有する。前記被覆膜は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層と、該Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層を覆うＡｌ2Ｏ3層とを有する。前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層は、前記第１面に直交する断面において、前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層と前記Ａｌ2Ｏ3層の界面に沿って、複数の空孔を有する空孔領域を有する。前記界面に沿う方向における前記空孔の幅の平均値は、隣り合う前記空孔の間隔の平均値よりも小さい。前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層は、前記空孔領域よりも前記基体に近い位置にある第１Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層を有する。該第１Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層における炭素と窒素の合計に対する炭素の原子比（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））の平均が０．５０～０．６５である。本開示の切削工具は、第１端から第２端に向かって伸びる棒状であり、前記第１端の側に位置するポケットを有するホルダと、前記ポケット内に位置する、上述の被覆工具とを有する。
本開示の被覆工具を示す斜視図である。 図１に示す被覆工具におけるＡ－Ａ断面の断面図である。 図２に示す被覆工具における被覆層付近の拡大図である。 図３に示す領域Ｂ１における拡大図である。 図３に示す領域Ｂ１の一例を示す拡大図である。 本開示の切削工具を示す平面図である。 図６に示す領域Ｂ２における拡大図である。
　以下、本開示の被覆工具について、図面を用いて詳細に説明する。但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、説明する上で必要な主要部材のみを簡略化して示したものである。したがって、被覆工具は、参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。また、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
　＜被覆工具＞
　図１及び図２に示すように、本開示の被覆工具１は、基体３及び被覆層５を備えている。基体３は、第１面７（図２における上面）と、第１面７と隣り合う第２面９（図２における側面）と、第１面７及び第２面９が交わる稜線の少なくとも一部に位置する切刃１１とを有している。
　図１に示す例における基体３は四角板形状であり、第１面７が四角形である。そのため、第２面９の数は４つとなっている。第１面７の少なくとも一部がいわゆるすくい面領域であり、第２面９の少なくとも一部がいわゆる逃げ面領域である。なお、基体３の形状としては、四角板形状に限定されるものではなく、例えば、第１面７が、三角形、五角形、六角形又は円形であってもよい。また、基体３は、板形状に限定されるものではなく、例えば柱形状であってもよい。
　被覆層５は、基体３の少なくとも第１面７の上に位置している。被覆層５は、第１面７のみの上に位置していてもよく、また、基体３における第１面７以外の他の面の上に位置していてもよい。図２に示す例では、第１面７に加えて第２面９の上にも被覆層５が位置している。被覆層５は、切削加工における被覆工具１の耐摩耗性及び耐チッピング性などの特性を向上させるために備えられている。
　被覆層５は、図３に示すように、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５を有している。Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３は、第１面７の上に位置しており、チタン化合物を含有している。また、Ａｌ2Ｏ3層１５は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３の上に接して位置しており、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）を含有している。
　Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３に含有されているチタン化合物としては、例えば、チタンの炭化物、窒化物、酸化物、炭窒化物、炭酸化物及び炭窒酸化物が挙げられる。Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３は、上記の化合物のいずれか１つのみを含有する構成であってもよく、また、上記の化合物のうち複数を含有する構成であってもよい。
　また、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３は、チタン化合物を含有しているものであれば、単層の構成であってもよく、また、複数の層が積層された構成であってもよい。例えばＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３は、ＴｉＮ層１７と、ＴｉＣＮ層１９とが積層された構成であってもよい。Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３が基体３に接する層としてＴｉＮ層１７を有している場合には、基体３とＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３との接合性が高い。
　なお、ＴｉＮ層１７およびＴｉＣＮ層１９は、それぞれ窒化チタンおよび炭窒化チタンが主成分ということであり、他の成分を含有していてもよい。なお、上記の「主成分」とは、他の成分と比較して質量％の値が最も大きい成分であることを意味している。
　なお、被覆層５は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５のみによって構成されていてもよく、また、これらの層以外の層を有していてもよい。例えば、基体３及びＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３の間に別の層が存在していてもよく、また、Ａｌ2Ｏ3層１５の上に別の層が存在していてもよい。
　また、ＴｉＣＮ層１９が、互いに組成の異なる複数の領域が積層された構成であってもよい。例えば、ＴｉＣＮ層１９が、いわゆるＭＴ（moderate temperature）－第１領域１９ａと、いわゆるＨＴ（high temperature）－第２領域１９ｂとが積層された構成であってもよい。
　Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３が第１領域１９ａ及び第２領域１９ｂを有する場合において、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３が、第１領域１９ａ及び第２領域１９ｂの間に更に中間領域１９ｃを有していてもよい。なお、上記の層及び領域の境界は、例えば、電子顕微鏡写真（走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）写真又は透過電子顕微鏡（ＴＥＭ：Transmission Electron Microscope）写真）を観察することにより、特定することが可能である。その特定は、各層を構成する元素の割合や、結晶の大きさや配向性の差異によって行うことができる。
　被覆層５は、図４に示すように、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３の内部に空孔２１を有している。具体的には、基体３の第１面７に直交する断面において、被覆層５が、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３に、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６に沿った方向に並んで位置する複数の空孔２１を有している。さらに具体的には、中間領域１９ｃに空孔２１を有している。このような構成において、中間領域１９ｃは本開示における空孔領域１９ｃであり、第１領域１９ａは、本開示における第１ＴｉＣＮ層１９ａである。
　また、第１面７に直交する断面において、第１面７に平行な方向での空孔２１の幅ｗ１の平均値が、隣り合う空孔２１の間隔、すなわち第１部分Ｘの幅ｗ２の平均値よりも小さい。このような構成を有する被覆工具１は、第１部分Ｘの強度が低下することを抑えつつ、空孔２１において高い耐衝撃性を得ることができる。
　本開示の被覆工具１におけるＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３の第１ＴｉＣＮ層１９ａに含有される炭素と窒素の合計に対する炭素の比率（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））は、原子比で０．５０～０．６５である。更には０．５５～０．６２としてもよい。第１ＴｉＣＮ層１９ａに含有される炭素の比率がこの範囲にあることで、基体３、又はＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３中のＴｉＮ層１７との接合強度を高くすることができ、基体３とＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３又はＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３とＡｌ2Ｏ3層１５との接合性が向上する。また、炭素と窒素の合計に対する炭素の比率（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））をこの範囲にすることで、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３の第１ＴｉＣＮ層１９ａの硬度を高めることができるため、耐摩耗性が向上し、工具の寿命を長くすることができる。
　このような構成を有する本開示の被覆工具１は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の接合性の低下を抑えつつ、空孔２１によって衝撃を緩和する効果が得られる。結果として、本開示の被覆工具１は高い耐衝撃性を備えつつ接合性の良好なものとなる。
　第１ＴｉＣＮ層１９ａに含有される炭素と窒素の合計に対する炭素の比率（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））は、例えば、波長分散型Ｘ線マイクロプローブ分析（ＷＤＳ）を行い、炭素及び窒素の組成を測定することで求めることができる。
　また、Ａｌ2Ｏ3層１５に含有されている酸化アルミニウムとしては、例えば、α－アルミナ（α－Ａｌ2Ｏ3）、γ－アルミナ（γ－Ａｌ2Ｏ3）及びκ－アルミナ（κ－Ａｌ2Ｏ3）が挙げられる。これらのうちＡｌ2Ｏ3層１５がα－アルミナを含有している場合には、被覆工具１の耐熱性を高めることができる。Ａｌ2Ｏ3層１５は、上記の化合物のいずれか１つのみを含有する構成であってもよく、また、上記の化合物のうち複数を含有する構成であってもよい。
　Ａｌ2Ｏ3層１５に含有されている酸化アルミニウムが上記の化合物のいずれであるかは、例えば、Ｘ線回折（ＸＲＤ：X-Ray Diffraction）分析を行い、ピーク値の分布を観察することによって評価できる。
　Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３におけるチタン化合物の含有比率、及び、Ａｌ2Ｏ3層１５における酸化アルミニウムの含有比率は特定の値に限定されるものではない。一例として、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３がチタン化合物を主成分として含有しており、また、Ａｌ2Ｏ3層１５が酸化アルミニウムを主成分として含有している構成が挙げられる。なお、上記の「主成分」とは、上述と同じく、他の成分と比較して質量％の値が最も大きい成分であることを意味している。
　Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３はチタン化合物以外の成分を含有していてもよく、また、Ａｌ2Ｏ3層１５は酸化アルミニウム以外の成分を含有していてもよい。例えば、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３が酸化アルミニウムを含有する場合やＡｌ2Ｏ3層１５がチタン化合物を含有する場合には、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の接合性が向上する。
　なお、第１面７に平行な方向での空孔２１の幅ｗ１の平均値を評価する際に、第１面７に直交する断面に存在する全ての空孔２１の幅ｗ１を評価する必要はなく、断面において並んで位置する５～１０個程度の空孔２１の幅ｗ１の平均値によって評価すればよい。例えば、第１面７に直交する断面においてＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６を含む１０μｍ四方の領域を抽出し、この領域における空孔２１の幅ｗ１を測定すればよい。また、第１部分Ｘの幅ｗ２の平均値は、断面において並んで位置する５～１０個程度の空孔２１での間隔の平均値によって評価すればよい。なお、本開示においては、他にも平均値を定める場合がある。これらはいずれも、５～１０程度の値の平均値とするとよい。
　空孔２１は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３に存在していればよい。例えば、図４に示すようにＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３内に位置している構成だけでなく、図５に示すようにＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３内及びＡｌ2Ｏ3層１５内のそれぞれに位置している構成であってもよい。図５において、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６に沿った仮想線分を一点鎖線で示しており、Ａｌ2Ｏ3層１５内に位置する空孔２１がＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６に沿って位置していてもよい。
　なお、空孔２１がＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６に沿って位置しているとは、複数の空孔２１のＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６までの間隔が、その平均値に対して±２０％の範囲に収まっていることをいう。
　被覆工具１の耐熱性及び耐久性の観点からＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３がチタン化合物として炭窒化チタンを含有し、さらに、Ａｌ2Ｏ3層１５が酸化アルミニウムとしてα－アルミナを含有している場合において、複数の空孔２１がＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３内に位置している際には被覆工具１の耐久性がさらに高められる。
　これは、α－アルミナと比較して炭窒化チタンの硬度は高いものの耐衝撃性が低いため、空孔２１がＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３内に位置している場合には、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３において空孔２１による耐衝撃性を高めることができ、被覆工具１の耐久性がさらに高められるからである。
　空孔２１の大きさとしては、特に限定されるものではないが、例えば、２０～２００ｎｍに設定できる。空孔２１の大きさが２０ｎｍ以上である場合には、空孔２１による衝撃緩和の効果を高めることができる。また、空孔２１の大きさが、２００ｎｍ以下の場合には、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３の強度を維持し易い。なお、空孔２１の大きさとは、その空孔２１の第１面７に直交する断面における幅ｗ１の最大値を意味する。
　また、空孔２１の形状としては、特に限定されるものではないが、第１面７に直交する断面において、第１面７に直交する方向における高さｈ１よりも第１面７に平行な方向の幅ｗ１が大きい場合、言い換えれば、第１面７に平行な方向での空孔２１の幅ｗ１の平均値が、第１面７に直交する方向での空孔２１の高さｈ１の平均値よりも大きい場合には、空孔２１の比率を抑えつつ耐衝撃性をさらに高めることができる。これは、以下の理由による。
　切削加工物を製造するため被削材を切削加工する際に、被覆層５に対しては第１面７に直交する方向に切削負荷が加わり易い。このとき、空孔２１が第１面７に直交する方向の高さｈ１よりも第１面７に平行な方向の幅ｗ１が大きい形状である場合には、空孔２１を必要以上に大きくすることなく、空孔２１の広い範囲で切削負荷を吸収することができる。そのため、空孔２１の比率を抑えつつ耐衝撃性をさらに高めることができる。なお、空孔２１が第１面７に直交する方向の高さｈ１とは、空孔２１が第１面７に直交する方向の高さｈ１の最大値である。
　具体的には、第１面７に平行な方向での空孔２１の高さｈ１の平均値に対する第１面７に直交する方向での空孔２１の幅ｗ１の平均値の比率が１．２以上である場合には、空孔２１の広い範囲で切削負荷を吸収しやすい。また、上記の比率が２以下である場合には、第１面７に直交する方向での空孔２１の変形量が確保され易いので、空孔２１において安定して切削負荷を吸収しやすい。
　本実施形態において、第１面７に直交する断面での第１面７及び第２面９の境界の最大高さをＲｚとした際に、第１面７に直交する方向での空孔２１の高さｈ１の平均値がＲｚよりも小さい場合には、被覆層５の耐久性の低下を抑え易い。
　Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３における隣り合う空孔２１間に位置する第１部分Ｘ及び複数の空孔２１が変形することによって本開示の被覆工具１は高い耐衝撃性を備えている。ここで、第１面７に直交する方向での空孔２１の幅の平均値がＲｚよりも小さい場合には、隣り合う空孔２１を結ぶ仮想線が、空孔２１の幅よりも大きく折れ曲がったジグザグ形状で示される。
　仮想線が上記の形状で示される際には、仮に第１部分Ｘの一つに亀裂が生じた場合であっても、この亀裂が生じた第１部分Ｘの隣に位置する第１部分Ｘに亀裂が進展しにくい。そのため、被覆層５の耐久性が低下しにくい。
　また、第１面７に直交する断面において、空孔２１からＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６までの距離ｄ１の平均値が、第１部分Ｘの幅ｗ２の平均値よりも大きい場合にも、被覆層５の耐久性が低下しにくい。なお、空孔２１からＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６までの距離ｄ１とは、空孔２１における、境界１６への距離の最小値である。
　これは、上記の場合においては、第１部分Ｘと比較して空孔２１からＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６までの距離が十分に確保できるため、仮に第１部分Ｘの一つに亀裂が生じた場合であっても、この亀裂がＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６に達しにくいからである。上記の亀裂がＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６に達しにくいため、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の接合性が低下しにくい。
　空孔２１は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３に位置しており、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界から離れて位置している。ここで、第１面７に直交する断面において、空孔２１からＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６までの距離ｄ１の平均値が、第１面７に直交する方向での空孔２１の高さｈ１の平均値よりも大きい場合には、被覆層５における耐衝撃性を高めつつＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の接合性が低下しにくい。
　これは、空孔２１の大きさと比較して空孔２１からＴｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６までの距離が十分に確保できるため、切削負荷を吸収するため空孔２１が変形する場合であっても、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６は変形しない、または、変形量が十分に小さくなるからである。Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６が大きく変形しにくいため、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の接合性が低下しにくい。
　基体３の材質としては、例えば、超硬合金、サーメット及びセラミックスなどの無機材料が挙げられる。なお、基体３の材質としては、これらに限定されるものではない。
　超硬合金の組成としては、例えば、ＷＣ（炭化タングステン）－Ｃｏ、ＷＣ－ＴｉＣ（炭化チタン）－Ｃｏ及びＷＣ－ＴｉＣ－ＴａＣ（炭化タンタル）－Ｃｏが挙げられる。ここで、ＷＣ、ＴｉＣ及びＴａＣは硬質粒子であり、Ｃｏは結合相である。また、サーメットは、セラミック成分に金属を複合させた焼結複合材料である。具体的には、サーメットとして、ＴｉＣＮ、ＴｉＣ又はＴｉＮ（窒化チタン）を主成分とした化合物が挙げられる。
　基体３は、第１面７及び第１面７の反対側に位置する面を貫通する貫通穴２３を有していてもよい。貫通穴２３は、被覆工具１をホルダに固定するための固定部材を挿入するために用いることができる。固定部材としては、例えばネジ及びクランプ部材が挙げられる。
　基体３の大きさは特に限定されるものではないが、例えば、第１面７の一辺の長さが３～２０ｍｍ程度に設定される。また、第１面７から第１面７の反対側に位置する面までの高さは５～２０ｍｍ程度に設定される。
　＜製造方法＞
　次に、被覆工具の製造方法の一例を説明する。
　まず、基体３となる硬質合金を焼成によって形成しうる炭化物、窒化物、炭窒化物及び酸化物などから選択される無機物粉末に、金属粉末、カーボン粉末などを適宜添加及び混合して、混合粉末を作製する。次に、この混合粉末を公知の成形方法を用いて所定の工具形状に成形することによって成形体を作製する。成形方法としては、例えば、プレス成形、鋳込成形、押出成形及び冷間静水圧プレス成形などが挙げられる。上記の成形体を、真空中又は非酸化性雰囲気中にて焼成することによって基体３を作製する。なお、必要に応じて、基体３の表面に研磨加工及びホーニング加工を施してもよい。
　次に、基体３の表面に化学気相蒸着（ＣＶＤ）法によって被覆層５を成膜する。
　まず、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３におけるＴｉＮ層１７（下地層）を成膜する。水素（Ｈ2）ガスに、０．５～１０体積％の四塩化チタンガスと、１０～６０体積％の窒素ガスとを混合して、反応ガスとして用いられる第１混合ガスを作製する。第１混合ガスを１０～２０ｋＰａのガス分圧でチャンバ内に導入し、８３０～８７０℃の温度域で窒化チタンを含有する層１７を成膜する。
　次に、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３における第１領域１９ａを成膜する。この第１領域１９ａは第１ＴｉＣＮ層である。水素ガスに、１～５体積％の四塩化チタンガスと、０～４体積％の窒素ガスと、０．１～０．５体積％のアセトニトリルガスとを混合して、第２混合ガスを作製する。第２混合ガスを５～１２ｋＰａのガス分圧でチャンバ内に導入し、８００～８７０℃の温度域でＭＴ－第１領域１９ａを成膜する。
　次に、中間領域１９ｃを成膜する。水素ガスに、３体積％～３０体積％の四塩化チタンガスと、３体積％～１５体積％のメタンガスと、５体積％～１０体積％の窒素ガスと、０．５体積％～５体積％の二酸化炭素（ＣＯ2）ガスとを混合して、第３混合ガスを作製する。第３混合ガスを６～１２ｋＰａのガス分圧でチャンバ内に導入し、９８０～１０５０℃の温度域で５０～３００ｎｍ程度の厚みの中間領域１９ｃを成膜する。第３混合ガスが二酸化炭素ガスを含有していることによって、この中間領域１９ｃに空孔２１が形成される。上記の条件とすると、第１面７に直交する断面において、第１面７に平行な方向での空孔２１の幅ｗ１の平均値が、隣り合う空孔２１の間隔ｗ２の平均値よりも小さい被覆工具１を作製できる。
　また、このとき中間領域１９ｃの厚みが５０～３００ｎｍ程度と薄いため、中間領域１９ｃに形成された空孔２１を、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３及びＡｌ2Ｏ3層１５の境界１６に沿った方向に並んで位置させることが可能となる。
　次に、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３における第２領域１９ｂを成膜する。水素ガスに、１～４体積％の四塩化チタンガスと、５～２０体積％の窒素ガスと、０．１～１０体積％のメタンガスと、０．５体積％～１０体積％の二酸化炭素ガスとを混合して、第４混合ガスを作製する。第４混合ガスを５～４５ｋＰａのガス分圧でチャンバ内に導入し、９５０～１０５０℃の温度域で０．３～３μｍ程度の厚みのＨＴ－第２領域１９ｂを成膜する。
　次に、Ａｌ2Ｏ3層１５を成膜する。成膜温度を９５０℃～１１００℃、ガス圧を５ｋＰａ～２０ｋＰａとし、反応ガスの組成が、水素ガスに、５体積％～１５体積％の三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ3）ガスと、０．５体積％～２．５体積％の塩化水素（ＨＣｌ）ガスと、０．５体積％～５．０体積％の二酸化炭素ガスと、０体積％～１体積％の硫化水素（Ｈ2Ｓ）ガスとを混合して、第５混合ガスを作製する。第５混合ガスをチャンバ内に導入し、Ａｌ2Ｏ3層１５を成膜する。
　その後、必要に応じて、成膜した被覆層５の表面における切刃１１が位置する部分を研磨加工する。このような研磨加工を行った場合には、切刃１１への被削材の溶着が抑制され易くなるため、さらに耐欠損性に優れた被覆工具１となる。
　なお、上記の製造方法は、被覆工具１を製造する方法の一例である。したがって、被覆工具１は、上記の製造方法によって作製されたものに限定されないことは言うまでもない。例えば、Ａｌ2Ｏ3層１５の上に別途、ＴｉＮ層などを成膜してもよい。
　第１面７に直交する断面において、第１面７に平行な方向での空孔２１の幅ｗ１の平均値が、第１面７に直交する方向での空孔２１の高さｈ１の平均値よりも大きい被覆工具１を作製するには、中間領域１９ｃの成膜の際に時間調整を行い、中間領域１９ｃを５０～１５０ｎｍ程度の厚みに成膜するとよい。
　第１面７に直交する断面において、空孔２１から境界１６までの距離ｄ１の平均値が、第１面７に直交する方向での空孔２１の高さｈ１の平均値よりも大きい被覆工具１を作製するには、中間領域１９ｃの成膜の際に時間調整を行い、５０～１５０ｎｍ程度の厚みに成膜したのち、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３における第２領域１９ｂを、０．５～３μｍ程度の厚みに成膜するとよい。
　第１面に直交する断面において、空孔２１から境界１６までの距離ｄ１の平均値が、隣り合う空孔２１の間隔ｗ２の平均値よりも大きい被覆工具１を作製するには、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層１３における第２領域１９ｂが、隣り合う空孔２１の間隔ｗ２の平均値よりも厚くなるように成膜するとよい。
　＜切削工具＞
　次に、一実施形態の切削工具１０１について図面を用いて説明する。
　本実施形態の切削工具１０１は、図６及び図７に示すように、第１端（図６における上）から第２端（図６における下）に向かって延びる棒状体であり、第１端の側に位置するポケット１０３を有するホルダ１０５と、ポケット１０３に位置する上記の被覆工具１とを備えている。本実施形態の切削工具１０１においては、稜線における切刃として用いられる部分がホルダ１０５の先端から突出するように被覆工具１が装着されている。
　ポケット１０３は、被覆工具１が装着される部分であり、ホルダ１０５の下面に対して平行な着座面と、着座面に対して傾斜する拘束側面とを有している。また、ポケット１０３は、ホルダ１０５の第１端側において開口している。
　ポケット１０３には被覆工具１が位置している。このとき、被覆工具１の下面がポケット１０３に直接に接していてもよく、また、被覆工具１とポケット１０３との間にシートを挟んでいてもよい。
　被覆工具１は、稜線における切刃として用いられる部分がホルダ１０５から外方に突出するように装着される。本実施形態においては、被覆工具１は、ネジ１０７によって、ホルダ１０５に装着されている。すなわち、被覆工具１の貫通穴２３にネジ１０７を挿入し、このネジ１０７の先端をポケット１０３に形成されたネジ孔（不図示）に挿入してネジ部同士を螺合させることによって、被覆工具１がホルダ１０５に装着されている。
　ホルダ１０５としては、鋼、鋳鉄などを用いることができる。特に、これらの部材の中で靱性の高い鋼を用いることが好ましい。
　本実施形態においては、いわゆる旋削加工に用いられる切削工具を例示している。旋削加工としては、例えば、内径加工、外径加工及び溝入れ加工が挙げられる。なお、切削工具としては旋削加工に用いられるものに限定されない。例えば、転削加工に用いられる切削工具に上記の実施形態の被覆工具１を用いてもよい。
１・・・被覆工具
３・・・基体
５・・・被覆層
７・・・第１面
９・・・第２面
１１・・・切刃
１３・・・Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層
１５・・・Ａｌ2Ｏ3層
１６・・・境界（Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層及びＡｌ2Ｏ3層の境界）
１７・・・ＴｉＮ層
１９・・・ＴｉＣＮ層
１９ａ・・第１領域、第１Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層
１９ｂ・・第２領域
１９ｃ・・中間領域、空孔領域
２１・・・空孔
２３・・・貫通穴
１０１・・・切削工具
１０３・・・ポケット
１０５・・・ホルダ
１０７・・・固定ネジ

Claims (8)

  1. 　第１面を具備する基体と、
    　前記第１面の上に位置する被覆膜と、を有する被覆工具であって、
    　前記被覆膜は、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層と、該Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層を覆うＡｌ2Ｏ3層とを有し、
    　前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層は、前記第１面に直交する断面において、前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層と前記Ａｌ2Ｏ3層の界面に沿って、複数の空孔を有する空孔領域を有し、
    　前記界面に沿う方向における前記空孔の幅の平均値は、隣り合う前記空孔の間隔の平均値よりも小さく、
    　前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層は、前記空孔領域よりも前記基体に近い位置にある第１Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層を有し、
    　該第１Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層における炭素と窒素の合計に対する炭素の原子比（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））の平均が０．５０～０．６５である、被覆工具。
  2. 　前記第１面に直交する断面において、前記第１面に平行な方向での前記空孔の幅の平均値が、前記第１面に平行な方向での隣り合う前記空孔の間隔の平均値よりも小さい、請求項１に記載の被覆工具。
  3. 　前記Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）層が炭窒化チタンを含有し、前記Ａｌ2Ｏ3層がα－アルミナを含有する、請求項１又は２のいずれかに記載の被覆工具。
  4. 　前記第１面に直交する断面において、前記第１面に平行な方向での前記空孔の幅の平均値が、前記第１面に直交する方向での前記空孔の高さの平均値よりも大きい、請求項１～３のいずれか１つに記載の被覆工具。
  5. 　前記第１面に直交する断面において、前記空孔から前記境界までの距離の平均値が、前記第１面に直交する方向での前記空孔の高さの平均値よりも大きい、請求項１～４のいずれか１つに記載の被覆工具。
  6. 　前記第１面に直交する断面において、前記空孔から前記境界までの距離の平均値が、前記第１面に平行な方向での隣り合う前記空孔の間隔の平均値よりも大きい、請求項１～５のいずれか１つに記載の被覆工具。
  7. 　前記第１（Ｃ、Ｎ）層における炭素と窒素の合計に対する炭素の原子比（Ｃ／（Ｃ＋Ｎ））の平均が０．５５～０．６２である請求項１～６のいずれか１つに記載の被覆工具。
  8. 　第１端から第２端に向かって伸びる棒状であり、前記第１端の側に位置するポケットを有するホルダと、前記ポケット内に位置する、請求項１～７のいずれか１つに記載の被覆工具とを有する切削工具。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112638565B (zh) 2018-09-05 2024-03-19 京瓷株式会社 涂层刀具及切削刀具

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008200778A (ja) * 2007-02-16 2008-09-04 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
JP2012187659A (ja) * 2011-03-10 2012-10-04 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備える表面被覆切削工具
JP2013126709A (ja) * 2011-02-03 2013-06-27 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備える表面被覆切削工具
JP2015188995A (ja) * 2014-03-28 2015-11-02 三菱マテリアル株式会社 耐異常損傷性に優れた表面被覆切削工具
WO2017204141A1 (ja) * 2016-05-24 2017-11-30 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
WO2018181034A1 (ja) * 2017-03-29 2018-10-04 京セラ株式会社 被覆工具及び切削工具

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000071108A (ja) * 1998-08-31 2000-03-07 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐層間剥離性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
JP5317722B2 (ja) * 2009-01-28 2013-10-16 京セラ株式会社 表面被覆切削工具
JP2013208697A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6171638B2 (ja) * 2013-07-09 2017-08-02 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP6198141B2 (ja) * 2014-03-26 2017-09-20 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備える表面被覆切削工具
WO2016121690A1 (ja) * 2015-01-28 2016-08-04 京セラ株式会社 被覆工具
CN106856659B (zh) * 2015-10-09 2019-04-19 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具及其制造方法
US10682707B2 (en) * 2015-11-28 2020-06-16 Kyocera Corporation Cutting tool
US10717135B2 (en) * 2016-02-24 2020-07-21 Kyocera Corporation Coated tool
JP6614447B2 (ja) * 2016-03-28 2019-12-04 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008200778A (ja) * 2007-02-16 2008-09-04 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
JP2013126709A (ja) * 2011-02-03 2013-06-27 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備える表面被覆切削工具
JP2012187659A (ja) * 2011-03-10 2012-10-04 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備える表面被覆切削工具
JP2015188995A (ja) * 2014-03-28 2015-11-02 三菱マテリアル株式会社 耐異常損傷性に優れた表面被覆切削工具
WO2017204141A1 (ja) * 2016-05-24 2017-11-30 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
WO2018181034A1 (ja) * 2017-03-29 2018-10-04 京セラ株式会社 被覆工具及び切削工具

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