WO2020044457A1 - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

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discharge
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光 濱野
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コニカミノルタ株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an inkjet head and an inkjet recording device.
  • an ink jet recording apparatus that forms an image by ejecting ink from a plurality of nozzles provided in an ink jet head and landing the ink at a desired position.
  • the ink jet head of the ink jet recording apparatus is provided with an ink storing section for storing ink and a pressure changing unit for changing the pressure of the ink in the ink storing section, corresponding to each of the plurality of nozzles.
  • the head ejects ink from a nozzle communicating with the ink storage unit according to a change in the pressure of the ink in the ink storage unit.
  • a pressure wave having a characteristic corresponding to the shape of the common discharge channel is fixed in the common discharge channel due to the pressure fluctuation of the ink in the plurality of ink reservoirs. It occurs as a standing wave.
  • this standing wave causes a pressure wave in the ink storage unit, the pressure of the ink in the ink storage unit deviates from a desired pressure at the time of ink ejection, and the ejection characteristics of the ink from the nozzles fluctuate. Leads to a decrease in
  • the configuration in which two common discharge channels are provided as in the above-described conventional technology the image quality is remarkably improved because pressure waves caused by standing waves generated in the respective common discharge channels overlap in the ink storage unit. There is a problem that it decreases.
  • An object of the present invention is to provide an ink jet head and an ink jet recording apparatus capable of effectively suppressing a decrease in image quality.
  • the invention of the inkjet head is An ink storage unit for storing ink, Pressure variation means for varying the pressure of the ink stored in the ink storage section, A nozzle that communicates with the ink storage unit and discharges ink in accordance with a change in pressure of the ink in the ink storage unit; A first individual discharge flow path and a second individual discharge flow path that communicate with one of the ink storage sections and through which ink discharged from the ink storage section without being supplied to the nozzles respectively passes; A plurality of ink ejection units each having A first common discharge channel that communicates with the plurality of first individual discharge channels that the plurality of ink discharge units have; A second common discharge channel that communicates with the plurality of second individual discharge channels of the plurality of ink discharge units; With The shape of the first section into which the ink flows from the plurality of first individual discharge channels in the first common discharge channel is the same as the shape of the plurality of second individual channels in the second common discharge channel. The shape of the first section into which the ink flows from
  • the volume of the first section of the first common discharge channel is different from the volume of the second section of the second common discharge channel.
  • the invention according to claim 3 is the inkjet head according to claim 2,
  • the volume of the second section of the second common discharge channel is at least 1.1 times the volume of the first section of the first common discharge channel.
  • the invention according to claim 4 is the ink jet head according to claim 3,
  • a cross section perpendicular to the discharge direction at each position in the ink discharge direction is a rectangle having a first area
  • a cross section perpendicular to the discharge direction at each position in the ink discharge direction is a rectangle having a second area
  • the second area is at least 1.1 times the first area.
  • the volume of the second section of the second common discharge channel is 10 times or less the volume of the first section of the first common discharge channel.
  • the length of the first section along the ink discharge direction in the first section is different from the length of the second section along the ink discharge direction in the second section.
  • the surface roughness of the inner wall surface in the first section of the first common discharge channel is different from the surface roughness of the inner wall surface in the second section of the second common discharge channel.
  • the length of the first individual discharge flow path communicating with the one ink storage section along the ink discharge direction in the first individual discharge flow path is equal to the length of the second individual discharge flow path communicating with the one ink storage section. Is different from the length of the individual discharge channel along the ink discharge direction in the second individual discharge channel.
  • Two or more of the first individual discharge channels and two or more of the second individual discharge channels communicate with the one ink reservoir.
  • the inkjet head in the inkjet head according to any one of the first to ninth aspects, Equipped with an ink discharge port for discharging ink to the outside,
  • the first common discharge channel and the second common discharge channel communicate with the ink discharge port.
  • an invention of an ink jet recording apparatus is provided.
  • An inkjet head according to any one of claims 1 to 10 is provided.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a schematic configuration of an inkjet recording apparatus.
  • FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a configuration of a head unit.
  • FIG. 3 is a perspective view of an inkjet head.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of a main part of the inkjet head.
  • FIG. 4 is an enlarged plan view of a lower surface of the pressure chamber substrate. It is a top view showing the upper surface of a channel spacer substrate.
  • FIG. 7 is a diagram showing a cross section of the head chip passing through the line AA in FIGS. 4 and 6 and perpendicular to the X direction.
  • FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a configuration of an ink circulation mechanism.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a problem in a conventional configuration.
  • FIG. 9 is a plan view showing the upper surface of a flow path spacer substrate according to Modification 1.
  • 13 is a plan view illustrating an upper surface of a flow path spacer substrate according to Modification Example 3.
  • FIG. 13 is a plan view illustrating the upper surface of a flow path spacer substrate according to Modification Example 4.
  • FIG. 15 is a plan view illustrating an upper surface of a flow path spacer substrate according to Modification Example 5.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an inkjet recording apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
  • the inkjet recording apparatus 1 includes a transport unit 2, a head unit 3, and the like.
  • the transport unit 2 includes a ring-shaped transport belt 2c whose inside is supported by two transport rollers 2a and 2b that rotate about a rotation axis extending in the X direction in FIG.
  • the transport unit 2 performs recording by rotating the transport roller 2a according to the operation of a transport motor (not shown) and rotating the transport belt 2c while the recording medium M is placed on the transport surface of the transport belt 2c.
  • the medium M is transported in the moving direction of the transport belt 2c (transport direction; Y direction in FIG. 1).
  • the recording medium M can be a sheet cut to a certain size.
  • the recording medium M is supplied onto the transport belt 2c by a paper supply device (not shown), and is discharged from the transport belt 2c to a predetermined paper discharge unit after ink is ejected from the head unit 3 and an image is recorded.
  • roll paper may be used as the recording medium M.
  • various media that can fix ink that has landed on the surface, such as cloth or sheet-like resin, can be used as the recording medium M.
  • the head unit 3 records an image on the recording medium M conveyed by the conveyance unit 2 by discharging ink at an appropriate timing based on the image data.
  • the four head units 3 corresponding to the four color inks of yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black (K) move in the transport direction of the recording medium M. They are arranged so as to be arranged at predetermined intervals in the order of Y, M, C, and K colors from the upstream side.
  • the number of head units 3 may be three or less or five or more.
  • FIG. 2 is a schematic view showing the configuration of the head unit 3, and is a plan view of the head unit 3 as viewed from the side facing the transport surface of the transport belt 2c.
  • the head unit 3 has a plate-shaped base 3a, and a plurality (eight in this case) of inkjet heads 100 fixed to the base 3a in a state fitted in through holes provided in the base 3a.
  • the inkjet head 100 is fixed to the base 3a in a state where the nozzle opening surface 112 provided with the opening of the nozzle 111 is exposed from the through hole of the base 3a in the -Z direction.
  • a plurality of nozzles 111 are arranged at equal intervals in a direction intersecting the transport direction of the recording medium M (in the present embodiment, a width direction orthogonal to the transport direction, that is, an X direction). That is, each ink jet head 100 has a row of nozzles 111 (nozzle row) that are one-dimensionally arranged at equal intervals in the X direction. Note that the inkjet head 100 may have a plurality of nozzle rows. In this case, the positions of the plurality of nozzle rows in the X direction are shifted from each other so that the positions of the nozzles 111 in the X direction do not overlap.
  • the eight inkjet heads 100 in the head unit 3 are arranged in a staggered pattern so that the arrangement range of the nozzles 111 in the X direction is continuous.
  • the arrangement range in the X direction of the nozzles 111 included in the head unit 3 covers the width in the X direction of an area where an image can be recorded on the recording medium M conveyed by the conveyance belt 2c.
  • the head unit 3 is used with a fixed position when recording an image, and discharges ink from the nozzle 111 to each position at a predetermined interval (transport direction interval) in the transport direction according to transport of the recording medium M. To print an image in a single pass mode.
  • FIG. 3 is a perspective view of the inkjet head 100.
  • the inkjet head 100 includes a housing 101 and an exterior member 102 fitted to the housing 101 at the lower end of the housing 101, and main components are housed inside the housing 101 and the exterior member 102.
  • the exterior member 102 is provided with an inlet 103a to which ink is supplied from the outside and outlets 103b and 103c (ink outlets) to which ink is discharged to the outside.
  • the exterior member 102 is provided with a plurality of attachment holes 104 for attaching the inkjet head 100 to the base 3a of the head unit 3.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of a main part of the inkjet head 100.
  • FIG. 4 shows the main constituent members housed inside the exterior member 102 among the constituent members of the ink jet head 100.
  • a head chip 10 having a nozzle substrate 11, a flow path spacer substrate 12, and a pressure chamber substrate 13, a wiring substrate 15 fixed to the head chip 10, and an electrical connection to the wiring substrate 15 FPC 20 (Flexible Printed Circuit) is shown.
  • each member is drawn such that the nozzle opening surface 112 of the ink jet head 100 is directed upward, that is, upside down from FIG.
  • the surface on the ⁇ Z direction side of each substrate is also referred to as the upper surface, and the surface on the + Z direction side as the lower surface.
  • the head chip 10 includes a nozzle substrate 11 provided with a nozzle 111, a flow path spacer substrate 12 provided with a through flow path 121 and the like communicating with the nozzle 111, and a pressure communicating with the nozzle 111 via the through flow path 121.
  • the pressure chamber substrate 13 provided with the chamber 131 and the like has a laminated structure.
  • the substrate including the channel spacer substrate 12 and the pressure chamber substrate 13 will be referred to as a channel substrate 14.
  • the nozzle substrate 11, the flow path spacer substrate 12, the pressure chamber substrate 13, and the wiring substrate 15 are each a rectangular parallelepiped plate-like member elongated in the X direction.
  • the nozzle substrate 11 is a polyimide substrate provided with nozzles 111 which are holes penetrating in the thickness direction (Z direction) so as to form a row along the X direction.
  • the upper surface of the nozzle substrate 11 forms a nozzle opening surface 112 of the inkjet head 100.
  • the thickness of the nozzle substrate 11 (therefore, the length of the nozzle 111 in the ink ejection direction) is, for example, about several tens ⁇ m to several hundred ⁇ m.
  • the inner wall surface of the nozzle 111 may have a tapered shape such that the cross-sectional area perpendicular to the Z direction becomes smaller as it is closer to the opening on the ink ejection side.
  • a substrate of various resins other than polyimide, a silicon substrate, a metal substrate such as SUS, or the like may be used as the nozzle substrate 11, a substrate of various resins other than polyimide, a silicon substrate, a metal substrate such as SUS, or the like may be used
  • a water-repellent film containing a liquid-repellent substance such as fluororesin particles is provided on the nozzle opening surface 112 of the nozzle substrate 11.
  • a first band-shaped through channel 123a communicating with the channel 122a and a first band-shaped through channel 123b communicating with the second individual discharge channel 122b are provided.
  • the through channel 121, the first individual discharge channel 122 a, and the second individual discharge channel 122 b are provided for each of the plurality of nozzles 111.
  • a pressure chamber 131 communicating with the through channel 121, a first groove-shaped channel 132a communicating with the first band-shaped through channel 123a, and a first groove-shaped channel 132a are formed.
  • the pressure chamber 131 is provided corresponding to each of the plurality of nozzles 111.
  • the flow path spacer substrate 12 and the pressure chamber substrate 13 are rectangular parallelepiped plate-like members having substantially the same shape as the nozzle substrate 11 when viewed from the Z direction.
  • the flow path spacer substrate 12 of the present embodiment is made of a silicon substrate. Although the thickness of the flow path spacer substrate 12 is not particularly limited, it is about several hundred ⁇ m.
  • the nozzle substrate 11 is adhered (fixed) to the upper surface of the flow path spacer substrate 12 and the pressure chamber substrate 13 is adhered to the lower surface thereof via an adhesive.
  • the material of the pressure chamber substrate 13 is a ceramic piezoelectric material (a member that deforms in response to application of a voltage).
  • piezoelectric body examples include PZT (lead zirconate titanate), lithium niobate, barium titanate, lead titanate, lead metaniobate, and the like.
  • PZT lead zirconate titanate
  • lithium niobate lithium niobate
  • barium titanate barium titanate
  • lead titanate lead metaniobate
  • PZT is used in the pressure chamber substrate 13 of the present embodiment.
  • the through channel 121 of the channel spacer substrate 12 is a through hole that penetrates the channel spacer substrate 12 in the Z direction, and has a rectangular cross section perpendicular to the Z direction that is long in the Y direction.
  • the pressure chamber 131 of the pressure chamber substrate 13 is a through hole penetrating the pressure chamber substrate 13 in the Z direction, and has a cross section perpendicular to the Z direction having the same shape as the through channel 121. In a state where the flow path spacer substrate 12 and the pressure chamber substrate 13 are joined, the through flow path 121 and the pressure chamber 131 are connected to form a channel 141 (ink storage section).
  • the channel 141 is provided at a position overlapping the nozzle 111 when viewed from the Z direction, and communicates with the nozzle 111.
  • ink is supplied to and stored in each channel 141 via an ink supply port 151 provided in the wiring board 15.
  • FIG. 5 is an enlarged plan view of the lower surface of the pressure chamber substrate 13.
  • each pressure chamber 131 is separated from a pressure chamber 131 adjacent in the X direction by a partition 134 made of a piezoelectric material.
  • a metal drive electrode 136 pressure variation means
  • a metal connection electrode 135 electrically connected to the drive electrode 136 is provided in a region near the opening of the pressure chamber 131 on the ⁇ Y direction side of the surface of the pressure chamber substrate 13.
  • the connection electrode 135 is electrically connected to an external drive circuit via the wiring 153 of the wiring board 15 and the wiring 21 of the FPC 20 shown in FIG.
  • the partition 134 repeats the shear mode type displacement in response to the drive signal applied to the drive electrode 136 via the connection electrode 135, so that the ink in the pressure chamber 131 (therefore, in the channel 141) is formed. Pressure fluctuates.
  • the ink in the channel 141 is ejected from the nozzle 111 according to the fluctuation of the pressure. That is, the head chip 10 of the present embodiment is a head chip that performs shear mode type ink ejection. 4 and 5, an air chamber having no ink inflow path may be provided instead of the channel 141 at the position where every other channel 141 is formed in the X direction. With such a configuration, when the partition 134 adjacent to the pressure chamber 131 in the channel 141 is deformed, the other channel 141 can be prevented from being affected by the deformation.
  • a first band-shaped through flow channel 123 a extending in the direction in which the channels 141 are arranged (X direction) and penetrating the flow channel spacer substrate 12 in the Z direction is formed in the flow path spacer substrate 12.
  • a second band-shaped through flow channel 123b is provided.
  • the first band-shaped through channel 123a is provided on the + Y direction side of the row of channels 141, and the second band-shaped through channel 123b is provided on the -Y direction side of the column of channels 141.
  • a first groove-shaped flow path 132a is provided on the joint surface of the pressure chamber substrate 13 with the flow path spacer substrate 12 in a range overlapping with the first band-shaped through flow path 123a when viewed from the Z direction.
  • a second groove-shaped flow path 132b is provided in a range overlapping with the second band-shaped through flow path 123b when viewed from the Z direction.
  • the first band-shaped through flow path 123a and the first groove-shaped flow path 132a form a first common discharge flow path 142a extending in the X direction when the flow path spacer substrate 12 and the pressure chamber substrate 13 are joined.
  • the second band-shaped through flow path 123b and the second groove-shaped flow path 132b are the second common discharge flow path extending in the X direction when the flow path spacer substrate 12 and the pressure chamber substrate 13 are joined.
  • 142b The first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142b having such a configuration are provided on the joint surface between the channel spacer substrate 12 and the nozzle substrate 11 (therefore, the connection between the channel substrate 14 and the nozzle substrate 11). (Joining surface), and a part of the inner wall surface is constituted by the nozzle substrate 11.
  • the first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142b are not distinguished, they are simply described as the common discharge channel 142.
  • a first vertical discharge flow path 133a penetrating the pressure chamber substrate 13 in the Z direction is connected to an end of the first common discharge flow path 142a on the + X direction side.
  • a second vertical discharge channel 133b penetrating the pressure chamber substrate 13 in the Z direction is connected to an end of the second common discharge channel 142b on the + X direction side.
  • the vertical discharge channel 133a and the second vertical discharge channel 133b are not distinguished, they are also simply referred to as the vertical discharge channel 133.
  • each of the plurality of through channels 121 (channels 141) is connected to the first band-shaped through channel 123a (first common discharge channel 142a).
  • a second individual discharge channel 122b connected to one individual discharge channel 122a and a second belt-shaped through channel 123b (second common discharge channel 142b) is branched.
  • the first individual discharge channel 122a is a groove-shaped channel extending in the + Y direction along the surface of the channel spacer substrate 12 from the opening of the through channel 121 on the nozzle substrate 11 side, and a part of the inner wall surface. Is constituted by the nozzle substrate 11.
  • the second individual discharge channel 122b is a groove-shaped channel extending in the ⁇ Y direction along the surface of the channel spacer substrate 12 from the opening of the through channel 121 on the nozzle substrate 11 side. Is constituted by the nozzle substrate 11. That is, the first individual discharge channel 122a and the second individual discharge channel 122b extend in opposite directions from the through channel 121 (and thus from the channel 141).
  • individual discharge channels 122 when there is no need to distinguish between the first individual discharge channel 122a and the second individual discharge channel 122b, they are also simply referred to as individual discharge channels 122.
  • FIG. 6 is a plan view showing the upper surface of the flow path spacer substrate 12.
  • FIG. 7 is a diagram showing a cross section of the head chip 10 taken along the line AA in FIGS. 4 and 6 and perpendicular to the X direction.
  • a section in which ink flows from the plurality of first individual discharge channels 122a in the first common discharge channel 142a is referred to as a first section S1
  • a section in the second common discharge channel 142b is A section into which ink flows from the plurality of second individual discharge channels 122b is referred to as a second section S2.
  • the first section S1 is in the ink discharge direction (X direction) among a plurality of connection positions where the plurality of first individual discharge channels 122a are connected in the first common discharge channel 142a. This is a section from the most upstream connection position to the most downstream connection position.
  • the second section S2 is a connection position on the most upstream side in the ink discharging direction among a plurality of connection positions where the plurality of second individual discharge channels 122b are connected in the second common discharge channel 142b. This is a section from the position to the most downstream connection position.
  • the length in the X direction and the depth in the Z direction of the first section S1 and the second section S2 are the same.
  • the width Wa of the first section S1 in the Y direction is smaller than the width Wb of the second section S2 in the Y direction. Therefore, as shown in FIG. 7, a rectangular area (first cross section) of the first common discharge channel 142 a in the first section S ⁇ b> 1 in the first section S ⁇ b> 1 perpendicular to the X direction (ink discharge direction) is formed.
  • the first area is smaller than a rectangular area (second area) formed by a cross section (second cross section) perpendicular to the X direction in the second section S2 of the second common discharge channel 142a. I have.
  • the rectangle formed by the first cross section and the rectangle formed by the second cross section have the same length of the side parallel to the Z direction, while the length of the side parallel to the Y direction is The rectangle formed by the section 1 is shorter.
  • the volume of the first section S1 of the first common discharge channel 142a is smaller than the volume of the second section S2 of the second common discharge channel 142b.
  • a portion of the nozzle substrate 11 that forms the inner wall surface of the common discharge channel 142 functions as a damper plate 11D having flexibility.
  • the damper plate 11D deforms (bends) according to the pressure fluctuation of the ink in the common discharge channel 142, so that the pressure fluctuation can be absorbed.
  • the side of the damper plate 11D opposite to the common discharge channel 142 is open air, and the air does not hinder the deformation of the damper plate 11D due to its elastic force. Pressure fluctuation can be effectively absorbed.
  • ink is formed by the channel 141, the first individual discharge channel 122a, the second individual discharge channel 122b, and the nozzle 111 shown in FIG. 7 and the driving electrode 136 as a pressure fluctuation unit shown in FIG.
  • the discharge unit 10a is configured. Therefore, the head chip 10 is provided with the same number of ink ejection units 10 a as the number of nozzles 111.
  • the head chip 10 having such a configuration, a part of the ink supplied to the channel 141 and not ejected from the nozzles 111 passes through the first individual discharge channel 122a and the first common discharge channel 142a.
  • the second individual discharge passage 122b and the second common discharge passage 142b are formed by the ink that has passed through the first individual discharge channel 122a and the first common discharge channel 142a.
  • the ink that has passed through the first individual discharge channel 122a and the first common discharge channel 142a passes through the first vertical discharge channel 133a and the first discharge hole 152a provided in the wiring board 15. Then, the ink is discharged from the outlet 103b (or the outlet 103c) to the outside of the inkjet head 100.
  • the ink that has passed through the second individual discharge channel 122b and the second common discharge channel 142b passes through the second vertical discharge channel 133b and the second discharge hole 152b provided in the wiring board 15. Then, the ink is discharged from the outlet 103b (or the outlet 103c) to the outside of the inkjet head 100.
  • the first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142b may be configured to communicate with a common outlet, or may be configured to communicate with separate outlets. With such a configuration, air bubbles and foreign matter mixed in the channel 141 can be discharged to the outside together with the ink.
  • the flow of ink supplied from the ink supply port 151 to the channel 141 and the flow of ink discharged from the channel 141 through the first common discharge channel 142a or the second common discharge channel 142b are determined by the ink jet recording apparatus. 1 can be generated by the ink circulation mechanism 9 (see FIG. 8) included in 1.
  • the wiring board 15 shown in FIG. 4 is preferably a flat board having an area larger than the area of the pressure chamber substrate 13 from the viewpoint of securing a bonding region with the pressure chamber substrate 13, and via an adhesive. It is adhered to the lower surface of the pressure chamber substrate 13.
  • a substrate made of glass, ceramics, silicon, plastic, or the like can be used as the wiring substrate 15.
  • the wiring board 15 is provided with a plurality of ink supply ports 151 at positions overlapping the channels 141 when viewed from the Z direction, and also overlaps the first vertical discharge channel 133a and the second vertical discharge channel 133b.
  • a first discharge hole 152a and a second discharge hole 152b are provided at respective positions.
  • the first discharge hole 152a is simply referred to as the discharge hole 152.
  • a plurality of wirings 153 extending from the respective ends of the plurality of ink supply ports 151 toward the ends of the wiring board 15 are provided on the bonding surface of the wiring board 15 with the pressure chamber substrate 13.
  • An ink manifold (not shown) (common ink chamber) is connected to the lower surface of the wiring board 15, and ink is supplied from the ink manifold to the ink supply port 151.
  • connection electrode 135 on the surface of the pressure chamber substrate 13 and the wiring 153 on the wiring substrate 15 are electrically connected through the conductive particles.
  • the FPC 20 is connected to an end of the wiring board 15 where the wiring 153 is provided, for example, via an ACF (anisotropic conductive film). With this connection, the plurality of wirings 153 on the wiring board 15 and the plurality of wirings 21 on the FPC 20 are electrically connected so as to correspond one-to-one.
  • ACF anisotropic conductive film
  • FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a configuration of the ink circulation mechanism 9.
  • the ink circulation mechanism 9 includes a supply sub-tank 91, a reflux sub-tank 92, a main tank 93, and the like.
  • the supply sub-tank 91 stores ink to be supplied to an ink manifold provided in the inkjet head 100.
  • the supply sub-tank 91 is connected to the inlet 103a by an ink flow path 94.
  • the reflux sub-tank 92 is connected to the outlets 103b and 103c by the ink flow path 95, and is discharged from the outlet 103b or the outlet 103c through the above-described ink discharge flow path including the individual discharge flow path 122 and the common discharge flow path 142.
  • the stored ink is stored.
  • the supply sub-tank 91 and the reflux sub-tank 92 are connected by an ink flow path 96. Then, ink can be returned from the reflux sub-tank 92 to the supply sub-tank 91 by a pump 98 provided in the ink flow path 96.
  • the main tank 93 stores the ink supplied to the supply sub-tank 91.
  • the main tank 93 is connected to a supply sub-tank 91 by an ink flow path 97.
  • ink is supplied from the main tank 93 to the supply sub-tank 91 by a pump 99 provided in the ink flow path 97.
  • the supply sub-tank 91 is provided at a position where the liquid level is higher than the ink ejection surface of the head chip 10 (hereinafter also referred to as a “position reference surface”), and the liquid level of the reflux sub-tank 92 is It is provided at a position lower than the position reference plane. Therefore, a pressure P1 due to a head difference between the position reference plane and the supply sub-tank 91 and a pressure P2 due to a head difference between the position reference plane and the circulation sub-tank 92 are generated. As a result, the pressure of the ink at the inlet 103a is higher than the pressure of the ink at the outlets 103b and 103c.
  • the outlet 103b passes from the inlet 103a through the ink manifold, the ink supply port 151, the channel 141, the through channel 121, the individual discharge channel 122, the common discharge channel 142, the vertical discharge channel 133, and the discharge hole 152.
  • An ink flow toward 103c is generated, and the ink is supplied to the ink ejection unit 10a and the ink is discharged (recirculated) from the ink ejection unit 10a.
  • the pressure P1 and the pressure P2 can be adjusted, whereby the flow rate of the ink can be adjusted.
  • the damper plate 11D since a part of the nozzle substrate 11 functions as the damper plate 11D, the pressure fluctuation of the ink in the common discharge channel 142 caused by the pressure wave propagated from the channel 141 to the common discharge channel 142 is absorbed. However, it is difficult for the damper plate 11D to completely absorb the pressure fluctuation of the ink in the common discharge channel 142. Due to the pressure fluctuation that cannot be absorbed, a standing wave is generated in the common discharge channel 142. This standing wave is generated by interference of a plurality of pressure waves propagated from a plurality of channels 141 in the common discharge channel 142, and its characteristics (wavelength, cycle, amplitude, phase, and the like) are common discharge channels. The shape of the flow channel 142 (particularly, the shape of the above-described first section S1 and second section S2) is affected.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining a problem in the conventional configuration.
  • two common discharge passages 142c having the same width (Wc) and the same shape are provided on both upper and lower sides of the channel 141.
  • the positions and shapes of the two common discharge channels 142c are symmetrical with respect to the plurality of channels 141, and therefore, the pressure waves propagate from the plurality of channels 141 to each common discharge channel 142c.
  • standing waves having substantially the same characteristics are generated in each of the common discharge channels 142c.
  • the upper right graph G1-1 in FIG. 9 shows the density distribution (pressure distribution) in the X direction of the standing wave generated in the upper (first) common discharge channel 142c.
  • the lower right graph G1-2 of FIG. 9 shows the density distribution in the X direction of the standing wave generated in the lower (second) common discharge channel 142c.
  • the standing waves generated in the two common discharge channels 142c have substantially the same characteristics (wavelength, period, amplitude, and phase).
  • a graph G1-3 in the center on the right side of FIG. 9 shows the magnitude of the pressure fluctuation in the channel 141 at each position in the X direction due to the pressure waves propagating from the two common discharge channels 142c. That is, the graph G1-3 shows the magnitude of the effect of the standing wave generated in the two common discharge channels 142c on each channel 141.
  • the distribution of the pressure fluctuation in the plurality of channels 141 has a profile in which the density distributions of the standing waves in the two common discharge channels 142c are superimposed. That is, in the conventional configuration of FIG. 9, since the phases of the standing waves in the two common discharge channels 142c are uniform, the pressure fluctuation in each channel 141 is the same as that of the standing waves in the two common discharge channels 142c. The phase pressure is superimposed. As a result, the fluctuation (crosstalk) of the ink ejection characteristics becomes large, and the image quality is significantly reduced.
  • the shape of the first section S1 of the shape of the first common discharge channel 142a and the shape of the second section S2 of the second common discharge channel 142b are used. By making the shapes different from each other, the characteristics of the standing waves generated in the respective common discharge channels 142 do not match.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating the operation and effect obtained by the configuration of the present embodiment.
  • a graph G2-1 on the upper right of FIG. 10 shows the density distribution of the standing wave in the first section S1 of the first common discharge channel 142a of the present embodiment, and a graph G2-2 on the lower right shows the density distribution of the standing wave in the first section S1.
  • the density distribution of standing waves in the second section S2 of the two common discharge channels 142b is shown.
  • the standing wave generated in the first section S1 and the second section S2 due to the difference between the shape of the first section S1 and the shape of the second section S2. are shifted by 180 degrees.
  • the pressure fluctuation in each channel 141 caused by the standing wave is caused by the first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142a.
  • the opposite pressures in the flow path 142b cancel each other, and the fluctuation value becomes 0 in the channel 141 at any position. That is, the effect of the standing wave is hardly generated in the channel 141 at any position.
  • fluctuations (crosstalk) in the ink ejection characteristics due to the effect of the standing wave generated in the common discharge channel 142 can be suppressed to a very low level. Therefore, it is possible to effectively suppress the deterioration in image quality due to the standing wave. Can be.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating the operation and effect obtained by another configuration of the present embodiment.
  • the wavelength of the standing wave generated in the second section S2 is reduced as shown in a lower right graph G3-2 in FIG.
  • the wavelength may be about twice the wavelength of the standing wave generated in one section S1.
  • the pressure fluctuation of the standing waves in the two common discharge channels 142 (dense / dense). In the opposite direction. For this reason, as shown in the graph G3-3 in the center on the right side of FIG. 11, the pressure fluctuation caused by the standing wave in many channels 141 is suppressed to be small as compared with the conventional configuration of FIG. .
  • the standing wave generated in the first section S1 and the second At least a part of the wavelength, the amplitude, the period, and the phase can be made different from the standing wave generated in one section S1.
  • the phase of the standing wave is shifted by 180 degrees in the first section S1 and the second section S2, but the phase difference of the standing wave may be other than 180 degrees.
  • the ratio of the wavelength of the standing wave is doubled in the first section S1 and the second section S2, but the wavelength ratio of the standing wave is set to other than twice. You can also.
  • the effect of the standing wave in the two common discharge channels 142 cannot be completely canceled, but some of the effects of the standing wave are offset to eject ink in the channel 141. Variations in characteristics (crosstalk) can be suppressed. Thereby, it is possible to suppress a decrease in image quality due to the standing wave.
  • the sample has 256 channels 141 (nozzles 111), and the first individual discharge channel 122a and the second individual discharge channel 122b communicate with each channel 141, and the number of channels is 256.
  • the obtained ink jet head 100 was used.
  • the size of the first section S1 in the first common discharge channel 142a for each sample the length in the X direction is “length La”, the width in the Y direction is “width Wa”, and the Z direction is Is defined as “depth Da” and the volume is defined as “volume Va”.
  • the length in the X direction is “length Lb”
  • the width in the Y direction is “width Wb”
  • the depth in the Z direction is “length”.
  • the depth Db ”and the volume are“ volume Vb ”.
  • FIG. 12 is a diagram showing the shape and evaluation results of each sample used in the experiment.
  • the evaluation results are shown.
  • the shape of the first section S1 in the first common discharge channel 142a is equal to the shape of the second section S2 in the second common discharge channel 142b.
  • the lengths La and Lb were 72 mm
  • the widths Wa and Wb were 1 mm
  • the depths Da and Db were 1 mm
  • the volumes Va and Vb were 72 mm 3 .
  • the samples of “No. 2” to “No. 7” are obtained by increasing the depth Db of the second section S2 in the second common discharge channel 142b with respect to the sample of “No. 1”. is there. Specifically, in the samples of “No. 2” to “No. 7”, the depth Db was set to 1.05 mm, 1.1 mm, 1.2 mm, 1.3 mm, 1.4 mm, and 1.5 mm, respectively. did.
  • the samples of “No. 8” to “No. 13” are obtained by increasing the width Wb of the second section S2 in the second common discharge channel 142b with respect to the sample of “No. 1”. . Specifically, in the samples of “No. 8” to “No.
  • the width Wb was 1.05 mm, 1.1 mm, 1.2 mm, 1.3 mm, 1.4 mm, and 1.5 mm, respectively. .
  • the samples of “No. 14” to “No. 19” are different from the sample of “No. 1” in that both the width Wb and the depth Db of the second section S2 in the second common discharge channel 142b are different. It is an increase. Specifically, in the samples of “No. 14” to “No. 19”, both the width Wb and the depth Db were set to 1.05 mm, 1.1 mm, 1.2 mm, 1.3 mm, and 1.4 mm, respectively. , 1.5 mm.
  • the evaluation result of the crosstalk was evaluated on two levels of “ ⁇ ” and “X”. More specifically, 256 channels 141 are driven by two types of driving patterns of a driving frequency of 10 Hz and 10 kHz, and the channel 141 of the 256 channels 141 in which the change rate of the flying speed of the ink due to the crosstalk is the largest.
  • the crosstalk was evaluated using the change rate (maximum change rate). Specifically, a sample having a maximum rate of change of the flight speed of less than 10% was marked as “ ⁇ ”, and a sample having a maximum change rate of 10% or more was marked as “x”.
  • ⁇ is a crosstalk level in a normal range in which image quality that does not cause any problem in practical use is obtained
  • ⁇ is a crosstalk level in which deterioration of image quality exceeds an allowable range and becomes a problem.
  • the inkjet head 100 of the present embodiment includes the channel 141 serving as an ink storage unit for storing ink, the drive electrode 136 serving as a pressure changing unit for changing the pressure of the ink stored in the channel 141,
  • the nozzle 111 communicates with the nozzle 141 and discharges ink in response to a change in the pressure of the ink in the channel 141.
  • the ink that communicates with one channel 141 and is discharged from the channel 141 without being supplied to the nozzle 111 is A plurality of ink discharge units 10a each having a first individual discharge channel 122a and a second individual discharge channel 122b passing therethrough; and a plurality of first individual discharge channels 122a included in the plurality of ink discharge units 10a.
  • a plurality of second individual discharge channels 142a of the plurality of ink ejection units 10a a plurality of second individual discharge channels 142a of the plurality of ink ejection units 10a.
  • a second common discharge channel 142b communicating with the outlet channel 122b, and a first section S1 in which ink flows from the plurality of first individual discharge channels 122a of the first common discharge channel 142a. Is different from the shape of the second section S2 into which the ink flows from the plurality of second individual discharge channels 122b of the second common discharge channel 142b. According to such a configuration, the characteristics (wavelength, cycle, amplitude, phase, etc.) of the standing waves generated in the first section S1 and the second section S2 can be different from each other.
  • the volume of the first section S1 of the first common discharge channel 142a is different from the volume of the second section S2 of the second common discharge channel 142b, so that the first section is provided.
  • the characteristics of the standing wave generated in each of S1 and the second section S2 can be made different more effectively.
  • the volume of the second section S2 of the second common discharge channel 142b is at least 1.1 times the volume of the first section S1 of the first common discharge channel 142a.
  • a cross section perpendicular to the X direction at each position in the X direction is a rectangle having a first area.
  • a cross section perpendicular to the discharge direction at each position in the X direction is a rectangle having a second area, and the second area is , 1.1 times or more of the first area.
  • the volume of the second section S2 of the second common discharge channel 142b is set to be 10 times or less the volume of the first section S1 of the first common discharge channel 142a. It is possible to suppress the occurrence of a problem that the ink is not easily discharged to the first common discharge channel 142a.
  • the inkjet head 100 of the present embodiment includes outlets 103b and 103c as ink discharge ports for discharging ink to the outside, and each of the first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142b is It communicates with the outlet 103b or the outlet 103c.
  • outlets 103b and 103c as ink discharge ports for discharging ink to the outside
  • each of the first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142b is It communicates with the outlet 103b or the outlet 103c.
  • the inkjet recording apparatus 1 of the present embodiment includes the inkjet head 100, it is possible to form a high-quality image with low crosstalk.
  • FIG. 13 is a plan view showing the upper surface of the flow path spacer substrate 12 according to the first modification.
  • This modified example is different from the above-described embodiment in that the first section S1 in the first common discharge channel 142a and the second section S2 in the second common discharge channel 142b have different lengths in the X direction. In other respects, the other points are the same as the above embodiment.
  • the first individual discharge channel 122 a and the second individual discharge channel 122 b branched from each channel 141 are inclined in directions opposite to each other with respect to the Y direction. Extends to. Accordingly, the length of the first section S1 in the X direction (ink discharge direction) of the first common discharge channel 142a where the ink flows from the plurality of first individual discharge channels 122a flows into the second common discharge channel 122a. In the discharge channel 142b, the length in the X direction of the second section S2 into which ink flows from the plurality of second individual discharge channels 122b is shorter.
  • the length of the first section S1 along the ink discharge direction in the first section S1 is set along the ink discharge direction of the second section S2 in the second section S2. Even with a configuration having a different length, the characteristics of the standing wave generated in the first section S1 and the second section S2 can be changed.
  • Modification 2 In the second modification, the shape of the first section S1 of the first common discharge channel 142a is different from the shape of the second section S2 of the second common discharge channel 142b.
  • the surface roughness of the inner wall surface in the section S1 is different from the surface roughness of the inner wall surface in the second section S2.
  • Other points are the same as the above embodiment.
  • the surface roughness Ra (arithmetic mean roughness) of the inner wall surface of the first section S1 is larger than the surface roughness Ra of the inner wall surface of the second section S2.
  • the pressure wave incident from the individual discharge channel 122 is applied to the surface of the inner wall surface. Irregularities make it easier to absorb. Thereby, the characteristics of the standing wave generated in the first section S1 and the second section S2 can be made more effectively different.
  • the surface roughness Ra of some surfaces of the inner wall surfaces of the first section S1 may be larger than the surface roughness Ra of some corresponding surfaces of the inner wall surfaces of the second section S2.
  • the surface roughness Ra may be reversed between the first section S1 and the second section S2. That is, the surface roughness Ra (arithmetic mean roughness) of the inner wall surface of the first section S1 may be smaller than the surface roughness Ra of the inner wall surface of the second section S2.
  • FIG. 14 is a plan view showing the upper surface of the flow path spacer substrate 12 according to the third modification.
  • This modified example is different from the above embodiment in that the lengths of the first individual discharge flow path 122a and the second individual discharge flow path 122b branched from each channel 141 are different, and the other points are the same as the above embodiment. It is.
  • a plurality of channels 141 are arranged in a staggered lattice. That is, the plurality of channels 141 form two rows (channel rows) along the X direction, and the positions of the two channel rows are shifted in the X direction so that the positions of the channels 141 in the X direction are different.
  • the length of the first individual discharge channel 122a in the Y direction is equal to the length of the second individual discharge channel 122b in the Y direction. It is shorter than it is.
  • the length of the first individual discharge channel 122a in the Y direction is longer than the length of the second individual discharge channel 122b in the Y direction.
  • the length of the first individual discharge channel 122a communicating with the one channel 141 along the ink discharge direction is changed to the second individual discharge channel 122b communicating with the one channel 141.
  • the characteristic of the pressure wave propagating from the channel 141 to the first common discharge channel 142a and the characteristic of the pressure wave from the channel 141 to the second common discharge channel 142b The characteristic of the propagating pressure wave can be made different. Accordingly, the characteristics of the standing wave generated in the first common discharge channel 142a and the characteristics of the standing wave generated in the second common discharge channel 142b can be more effectively different.
  • FIG. 15 is a plan view illustrating the upper surface of the flow path spacer substrate 12 according to the fourth modification.
  • This modified example is different from the above-described embodiment in that two first individual discharge channels 122a and two second individual discharge channels 122b communicate with each channel 141, and the other points are the same as those in the above-described embodiment. Is the same as
  • each channel 141 and the first common discharge channel 142a are connected by two first individual discharge channels 122a, and each channel 141 is connected to the second common discharge channel 122a.
  • the width and length of the two first individual discharge channels 122a connected to each channel 141 are the same, and the width and length of the two second individual discharge channels 122b are also the same.
  • the present invention is not limited to this configuration, and the widths and lengths of the two first individual discharge channels 122a communicating with each channel 141 may be different, or the two first individual discharge channels 122a communicating with each channel 141 may be different.
  • the width and length of the two individual discharge channels 122b may be different.
  • the number of the first individual discharge channels 122a and the number of the second individual discharge channels 122b communicating with each channel 141 may be three or more.
  • the channel 141 is configured such that two or more first individual discharge channels 122a and two or more second individual discharge channels 122b communicate with one channel 141. Air bubbles and foreign substances can be more efficiently discharged.
  • FIG. 16 is a plan view showing the upper surface of the flow path spacer substrate 12 according to the fifth modification.
  • the channels 141 form two rows (channel rows) along the X direction, and a first common discharge channel 142a and a second common discharge channel 142b are provided on both sides of each channel row. Have been.
  • the second common discharge channel 142b is shared by two channel rows. In other words, the first common discharge channel 142a, the second common discharge channel 142b, and the first common discharge channel 142a that are parallel to the X direction are provided in this order in the Y direction, and the second common discharge channel 142a is provided in this order.
  • One channel row is arranged along the X direction between the flow path 142 and one of the first common discharge flow paths 142a, and the second common discharge flow path 142 and the other first common discharge flow path 142a And another channel row is arranged along the X direction.
  • the channels 141 of each channel row communicate with the first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142b on both sides in the Y direction.
  • a channel 141 that is twice as large as the first common discharge channel 142a is connected to the second common discharge channel 142b. Since the width Wb of the flow channel 142b is larger than the width Wa of the first common discharge flow channel 142a, it is possible to suppress the occurrence of a problem that the inflow of ink into the second common discharge flow channel 142b is delayed. . Further, the characteristics of the standing wave generated in each of the two first common discharge channels 141a and the characteristics of the standing wave generated in the second common discharge channel 142b can be made different.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment and each of the modifications, and various modifications are possible.
  • the shape of the first section S1 in the first common discharge channel 142a is different from the shape of the second section S2 in the second common discharge channel 142b.
  • the present invention is not limited to this.
  • the first section S1 and the second section S2 can have any shape that satisfies the condition that “however one is rotated or moved cannot match the shape of the other”. .
  • the width and depth of the first section S1 and the second section S2 may be changed according to the position in the X direction. Further, the cross-sectional area of the first section S1 and the second section S2 may gradually increase in the ink discharge direction of the common discharge channel 142. Further, the first section S1 and the second section S2 may have different shapes and the same volume.
  • the common discharge channel 142 and the individual discharge channel 122 are not limited to a linear shape, but may have a curved shape in the middle.
  • the ink discharge directions in the first common discharge channel 142a and the second common discharge channel 142b are not limited to the same direction, and the inks may be discharged in opposite directions.
  • the configuration in which a part of the nozzle substrate 11 functions as the damper plate 11D has been described as an example.
  • the configuration is not limited thereto.
  • a member between the common discharge channel 142 and the air chamber is used as a damper plate. May work.
  • a configuration without a damper plate may be adopted.
  • the common discharge channel 142 includes the band-shaped through channel 123 provided in the channel spacer substrate 12 and the groove-shaped channel 132 provided in the pressure chamber substrate 13.
  • the common discharge channel 142 may be configured by a groove provided on the surface of the channel spacer substrate 12 on the nozzle substrate 11 side.
  • the head chip 10 may be configured by the pressure chamber substrate 13 and the nozzle substrate 11 without providing the flow path spacer substrate 12.
  • the flow path substrate 14 includes only the pressure chamber substrate 13, and the pressure chamber substrate 13 is provided with the individual discharge flow path 122 and the common discharge flow path 142.
  • the individual discharge flow path 122 and the common discharge flow path 142 can be configured by grooves provided on the surface of the pressure chamber substrate 13 on the nozzle substrate 11 side.
  • the inkjet head 100 having the shear mode head chip 10 has been described as an example, but the present invention is not limited to this.
  • the present invention may be applied to a head.
  • the recording medium M is transported by the transport unit 2 including the transport belt 2c.
  • the recording medium M may be transported while being held on the outer peripheral surface of the transport drum.
  • the single-pass type inkjet recording apparatus 1 has been described as an example.
  • the present invention is applied to an inkjet recording apparatus that records an image while scanning the inkjet head 100. May be.
  • the present invention can be used for an inkjet head and an inkjet recording apparatus.

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

画質の低下を効果的に抑制することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。インクジェットヘッドは、インク貯留部と、インク貯留部内におけるインクの圧力の変動に応じてインクを吐出するノズルと、一のインク貯留部に連通し、当該インク貯留部からノズルに供給されずに排出されるインクがそれぞれ通る第１の個別排出流路（１２２ａ）及び第２の個別排出流路（１２２ｂ）と、を各々有する複数のインク吐出部と、複数のインク吐出部が有する複数の第１の個別排出流路に連通する第１の共通排出流路（１４２ａ）と、複数のインク吐出部が有する複数の第２の個別排出流路に連通する第２の共通排出流路（１４２ｂ）と、を備え、第１の共通排出流路のうち複数の第１の個別排出流路からインクが流入する第１の区間（Ｓ１）の形状が、第２の共通排出流路のうち複数の第２の個別排出流路からインクが流入する第２の区間（Ｓ２）の形状と異なる。

Description

インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
　本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
　従来、インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルからインクを吐出させて所望の位置に着弾させることで画像を形成するインクジェット記録装置がある。インクジェット記録装置のインクジェットヘッドには、複数のノズルの各々に対応して、インクを貯留するインク貯留部と、当該インク貯留部内のインクの圧力を変動させる圧力変動手段とが設けられており、インクジェットヘッドは、インク貯留部内のインクの圧力の変動に応じて、インク貯留部に連通するノズルからインクを吐出させる。
　インクジェットヘッドでは、インク貯留部に気泡や異物が混入すると、インクに対して正常に圧力が印加されなくなるため、ノズルからのインクの吐出不良が生じて画質が低下する。このため、従来、複数のノズルに対応する複数のインク貯留部を共通排出流路に連通させて、各インク貯留部に供給されるインクの一部を気泡や異物とともに共通排出流路を介してインクジェットヘッドの外部に排出させる技術がある。また、共通排出流路を２つ設け、各インク貯留部からこれらの２つの共通排出流路にインクを排出させることで、気泡や異物をより排出させやすくする技術がある（例えば、特許文献１）。
特開２００９－５６７６６号公報
　しかしながら、共通排出流路を有するインクジェットヘッドでは、複数のインク貯留部内のインクの圧力変動に起因して、共通排出流路内に、当該共通排出流路の形状に応じた特性の圧力波が定在波として生じる。この定在波がインク貯留部内に圧力波を生じさせると、インク吐出の際にインク貯留部内のインクの圧力が所望の圧力からずれてノズルからのインクの吐出特性が変動し、記録画像の画質の低下に繋がる。特に、上記従来の技術のように２つの共通排出流路を設けた構成では、各共通排出流路に生じた定在波に起因する圧力波がインク貯留部内で重なることで、画質が顕著に低下するという課題がある。
　この発明の目的は、画質の低下を効果的に抑制することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することにある。
　上記目的を達成するため、請求項１に記載のインクジェットヘッドの発明は、
　インクを貯留するインク貯留部と、
　前記インク貯留部に貯留されたインクの圧力を変動させる圧力変動手段と、
　前記インク貯留部に連通し、当該インク貯留部内におけるインクの圧力の変動に応じてインクを吐出するノズルと、
　一の前記インク貯留部に連通し、当該インク貯留部から前記ノズルに供給されずに排出されるインクがそれぞれ通る第１の個別排出流路及び第２の個別排出流路と、
　を各々有する複数のインク吐出部と、
　前記複数のインク吐出部が有する複数の前記第１の個別排出流路に連通する第１の共通排出流路と、
　前記複数のインク吐出部が有する複数の前記第２の個別排出流路に連通する第２の共通排出流路と、
　を備え、
　前記第１の共通排出流路のうち前記複数の第１の個別排出流路からインクが流入する第１の区間の形状が、前記第２の共通排出流路のうち前記複数の第２の個別排出流路からインクが流入する第２の区間の形状と異なる。
　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間の体積が、前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間の体積と異なる。
　請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間の体積が、前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間の体積の１．１倍以上である。
　請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間は、インクの排出方向についての各位置での当該排出方向に垂直な断面が、第１の面積を有する矩形であり、
　前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間は、インクの排出方向についての各位置での当該排出方向に垂直な断面が、第２の面積を有する矩形であり、
　前記第２の面積は、前記第１の面積の１．１倍以上である。
　請求項５に記載の発明は、請求項２から４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間の体積が、前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間の体積の１０倍以下である。
　請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第１の区間の当該第１の区間におけるインクの排出方向に沿った長さは、前記第２の区間の当該第２の区間におけるインクの排出方向に沿った長さと異なる。
　請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間における内壁面の表面粗さが、前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間における内壁面の表面粗さと異なる。
　請求項８に記載の発明は、請求項１から７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記一のインク貯留部に連通する前記第１の個別排出流路の当該第１の個別排出流路におけるインクの排出方向に沿った長さは、前記一のインク貯留部に連通する前記第２の個別排出流路の当該第２の個別排出流路におけるインクの排出方向に沿った長さと異なる。
　請求項９に記載の発明は、請求項１から８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　前記一のインク貯留部には、二以上の前記第１の個別排出流路、及び二以上の前記第２の個別排出流路が連通している。
　請求項１０に記載の発明は、請求項１から９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
　インクを外部に排出するインク排出口を備え、
　前記第１の共通排出流路及び前記第２の共通排出流路は、前記インク排出口に連通している。
　また、上記目的を達成するため、請求項１１に記載のインクジェット記録装置の発明は、
　請求項１から１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備える。
　本発明に従うと、画質の低下を効果的に抑制することができるという効果がある。
インクジェット記録装置の概略構成を示す図である。 ヘッドユニットの構成を示す模式図である。 インクジェットヘッドの斜視図である。 インクジェットヘッドの主要部の分解斜視図である。 圧力室基板の下面の拡大平面図である。 流路スペーサー基板の上面を示す平面図である。 図４及び図６のＡ－Ａ線を通りＸ方向に垂直なヘッドチップの断面を示す図である。 インク循環機構の構成を示す模式図である。 従来の構成における問題を説明する図である。 本実施形態の構成により得られる作用効果を説明する図である。 本実施形態の他の構成により得られる作用効果を説明する図である。 実験に用いた各サンプルの形状及び評価結果を示す図である。 変形例１に係る流路スペーサー基板の上面を示す平面図である。 変形例３に係る流路スペーサー基板の上面を示す平面図である。 変形例４に係る流路スペーサー基板の上面を示す平面図である。 変形例５に係る流路スペーサー基板の上面を示す平面図である。
　以下、本発明のインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
　図１は、本発明の実施形態であるインクジェット記録装置１の概略構成を示す図である。
　インクジェット記録装置１は、搬送部２と、ヘッドユニット３などを備える。
　搬送部２は、図１のＸ方向に延びる回転軸を中心に回転する２本の搬送ローラー２ａ、２ｂにより内側が支持された輪状の搬送ベルト２ｃを備える。搬送部２は、搬送ベルト２ｃの搬送面上に記録媒体Ｍが載置された状態で搬送ローラー２ａが図示略の搬送モーターの動作に応じて回転して搬送ベルト２ｃが周回移動することで記録媒体Ｍを搬送ベルト２ｃの移動方向（搬送方向；図１のＹ方向）に搬送する。
　記録媒体Ｍは、一定の寸法に裁断された枚葉紙とすることができる。記録媒体Ｍは、図示略の給紙装置により搬送ベルト２ｃ上に供給され、ヘッドユニット３からインクが吐出されて画像が記録された後に搬送ベルト２ｃから所定の排紙部に排出される。なお、記録媒体Ｍとしては、ロール紙が用いられてもよい。また、記録媒体Ｍとしては、普通紙や塗工紙といった紙のほか、布帛又はシート状の樹脂等、表面に着弾したインクを定着させることが可能な種々の媒体を用いることができる。
　ヘッドユニット３は、搬送部２により搬送される記録媒体Ｍに対して画像データに基づいて適切なタイミングでインクを吐出して画像を記録する。本実施形態のインクジェット記録装置１では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクにそれぞれ対応する４つのヘッドユニット３が記録媒体Ｍの搬送方向上流側からＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋの色の順に所定の間隔で並ぶように配列されている。なお、ヘッドユニット３の数は３つ以下又は５つ以上であってもよい。
　図２は、ヘッドユニット３の構成を示す模式図であり、ヘッドユニット３を搬送ベルト２ｃの搬送面に相対する側から見た平面図である。ヘッドユニット３は、板状の基部３ａと、基部３ａに設けられた貫通孔に篏合した状態で基部３ａに固定された複数の（ここでは８つの）インクジェットヘッド１００とを有する。インクジェットヘッド１００は、ノズル１１１の開口部が設けられたノズル開口面１１２が基部３ａの貫通孔から－Ｚ方向に向けて露出した状態で基部３ａに固定されている。
　インクジェットヘッド１００では、複数のノズル１１１が記録媒体Ｍの搬送方向と交差する方向（本実施形態では搬送方向と直交する幅方向、すなわちＸ方向）に等間隔にそれぞれ配列されている。すなわち、各インクジェットヘッド１００は、Ｘ方向に等間隔に一次元配列されたノズル１１１の列（ノズル列）を有している。
　なお、インクジェットヘッド１００は、ノズル列を複数有していても良い。この場合には、複数のノズル列は、ノズル１１１のＸ方向についての位置が重ならないようにＸ方向の位置が互いにずらされて配置される。
　ヘッドユニット３における８つのインクジェットヘッド１００は、ノズル１１１のＸ方向についての配置範囲が連続するように千鳥格子状に配置されている。ヘッドユニット３に含まれるノズル１１１のＸ方向についての配置範囲は、搬送ベルト２ｃにより搬送される記録媒体Ｍのうち画像が記録可能な領域のＸ方向の幅をカバーしている。ヘッドユニット３は、画像の記録時には位置が固定されて用いられ、記録媒体Ｍの搬送に応じて搬送方向についての所定間隔（搬送方向間隔）の各位置に対してノズル１１１からインクを吐出することで、シングルパス方式で画像を記録する。
　図３は、インクジェットヘッド１００の斜視図である。
　インクジェットヘッド１００は、筐体１０１と、筐体１０１の下端で筐体１０１と篏合する外装部材１０２とを備え、筐体１０１及び外装部材１０２の内部に主要な構成要素が収容されている。このうち外装部材１０２には、外部からインクが供給されるインレット１０３ａ、及びインクが外部に排出されるアウトレット１０３ｂ、１０３ｃ（インク排出口）が設けられている。また、外装部材１０２には、インクジェットヘッド１００をヘッドユニット３の基部３ａに取り付けるための複数の取付穴１０４が設けられている。
　図４は、インクジェットヘッド１００の主要部の分解斜視図である。
　図４では、インクジェットヘッド１００の構成部材のうち、外装部材１０２の内部に収容されている主要な構成部材が示されている。具体的には、図４では、ノズル基板１１、流路スペーサー基板１２及び圧力室基板１３を有するヘッドチップ１０と、ヘッドチップ１０に固着された配線基板１５と、配線基板１５に電気的に接続されたＦＰＣ２０（Flexible Printed Circuit）とが示されている。
　図４では、インクジェットヘッド１００のノズル開口面１１２が上方となるように、すなわち図３とは上下が反転されるように各部材が描かれている。以下では、各基板の－Ｚ方向側の面を上面、＋Ｚ方向側の面を下面とも記す。
　ヘッドチップ１０は、ノズル１１１が設けられたノズル基板１１と、ノズル１１１に連通する貫通流路１２１等が設けられた流路スペーサー基板１２と、貫通流路１２１を介してノズル１１１に連通する圧力室１３１等が設けられた圧力室基板１３と、が積層された構造を有している。以下では、このうち流路スペーサー基板１２及び圧力室基板１３からなる基板を流路基板１４と記す。
　ノズル基板１１、流路スペーサー基板１２及び圧力室基板１３と、配線基板１５とは、いずれもＸ方向に長尺な直方体柱状の板状部材である。
　ノズル基板１１は、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する孔であるノズル１１１がＸ方向に沿って列をなすように設けられているポリイミドの基板である。ノズル基板１１の上面は、インクジェットヘッド１００のノズル開口面１１２をなす。ノズル基板１１の厚さ（したがって、ノズル１１１のインク吐出方向の長さ）は、例えば数十μｍから数百μｍ程度である。
　なお、ノズル１１１の内壁面は、Ｚ方向に垂直な断面積が、インク吐出側の開口部に近いほど小さくなるようなテーパー形状を有していても良い。また、ノズル基板１１としては、ポリイミド以外の各種樹脂の基板や、シリコン基板、ＳＵＳなどの金属基板などが用いられても良い。
　また、ノズル基板１１のノズル開口面１１２には、フッ素樹脂粒子等の撥液性物質を含む撥水膜が設けられている。撥水膜を設けることで、ノズル開口面１１２に対するインクや異物の付着を抑えることができ、当該インクや異物等の付着に起因するインク吐出不良の発生を抑制することができる。
　流路スペーサー基板１２には、ノズル１１１に連通する貫通流路１２１と、貫通流路１２１から分岐する第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂと、第１の個別排出流路１２２ａに連通する第１の帯状貫通流路１２３ａと、第２の個別排出流路１２２ｂに連通する第１の帯状貫通流路１２３ｂと、が設けられている。このうち貫通流路１２１、第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂは、複数のノズル１１１の各々に対応して設けられている。
　また、圧力室基板１３には、貫通流路１２１に連通する圧力室１３１と、第１の帯状貫通流路１２３ａに連通する第１の溝状流路１３２ａと、第１の溝状流路１３２ａに連通する第１の垂直排出流路１３３ａと、第２の帯状貫通流路１２３ｂに連通する第２の溝状流路１３２ｂと、第２の溝状流路１３２ｂに連通する第２の垂直排出流路１３３ｂと、が設けられている。このうち圧力室１３１は、複数のノズル１１１の各々に対応して設けられている。
　流路スペーサー基板１２及び圧力室基板１３は、Ｚ方向から見た形状がノズル基板１１とほぼ同一である直方体形状の板状部材である。
　本実施形態の流路スペーサー基板１２は、シリコン基板からなる。流路スペーサー基板１２の厚さは、特には限られないが、数百μｍ程度とされる。流路スペーサー基板１２の上面にはノズル基板１１が、また下面には圧力室基板１３が、それぞれ接着剤を介して接着（固着）されている。
　圧力室基板１３の材質は、セラミックスの圧電体（電圧の印加に応じて変形する部材）である。このような圧電体の例としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛などが挙げられる。本実施形態の圧力室基板１３では、ＰＺＴが用いられている。
　流路スペーサー基板１２の貫通流路１２１は、流路スペーサー基板１２をＺ方向に貫通する貫通孔であり、Ｚ方向に垂直な断面がＹ方向に長い矩形をなしている。また、圧力室基板１３の圧力室１３１は、圧力室基板１３をＺ方向に貫通する貫通孔であり、Ｚ方向に垂直な断面の形状は、貫通流路１２１と同一である。流路スペーサー基板１２と圧力室基板１３とが接合された状態では、貫通流路１２１及び圧力室１３１が一繋がりとなって、チャネル１４１（インク貯留部）を構成する。チャネル１４１は、Ｚ方向から見てノズル１１１と重なる位置に設けられており、ノズル１１１に連通している。また、各チャネル１４１には、配線基板１５に設けられたインク供給口１５１を介してインクが供給されて貯留される。
　図５は、圧力室基板１３の下面の拡大平面図である。
　図５に示されるように、各圧力室１３１は、Ｘ方向に隣り合う圧力室１３１との間が圧電体の隔壁１３４により仕切られている。各圧力室１３１の隔壁１３４の内壁面には、金属の駆動電極１３６（圧力変動手段）が設けられている。また、圧力室基板１３の表面のうち圧力室１３１の開口部の－Ｙ方向側の近傍領域には、駆動電極１３６に電気的に接続された金属の接続電極１３５が設けられている。接続電極１３５は、図４に示される配線基板１５の配線１５３、及びＦＰＣ２０の配線２１を介して外部の駆動回路に電気的に接続される。
　圧力室基板１３では、接続電極１３５を介して駆動電極１３６に印加された駆動信号に応じて隔壁１３４がシアモード型の変位を繰り返すことで、圧力室１３１内の（したがって、チャネル１４１内の）インクの圧力が変動する。この圧力の変動に応じて、チャネル１４１内のインクがノズル１１１から吐出される。すなわち、本実施形態のヘッドチップ１０は、シアモード型のインク吐出を行うヘッドチップである。
　なお、図４及び図５におけるＸ方向について一つ置きのチャネル１４１の形成位置に、チャネル１４１に代えて、インクの流入経路を有しない空気室を設けても良い。このような構成とすることで、チャネル１４１における圧力室１３１に隣接する隔壁１３４が変形した際に、他のチャネル１４１に当該変形の影響が及ばないようにすることができる。
　図４に示されるように、流路スペーサー基板１２には、チャネル１４１の配列方向（Ｘ方向）に沿って延び、流路スペーサー基板１２をＺ方向に貫通する第１の帯状貫通流路１２３ａ及び第２の帯状貫通流路１２３ｂが設けられている。このうち第１の帯状貫通流路１２３ａは、チャネル１４１の列の＋Ｙ方向側に設けられており、第２の帯状貫通流路１２３ｂは、チャネル１４１の列の－Ｙ方向側に設けられている。また、圧力室基板１３の流路スペーサー基板１２との接合面には、Ｚ方向から見て第１の帯状貫通流路１２３ａと重なる範囲に第１の溝状流路１３２ａが設けられている。また、Ｚ方向から見て第２の帯状貫通流路１２３ｂと重なる範囲に第２の溝状流路１３２ｂが設けられている。
　第１の帯状貫通流路１２３ａ及び第１の溝状流路１３２ａは、流路スペーサー基板１２と圧力室基板１３とが接合された状態において、Ｘ方向に延びる第１の共通排出流路１４２ａを構成する。また、第２の帯状貫通流路１２３ｂ及び第２の溝状流路１３２ｂは、流路スペーサー基板１２と圧力室基板１３とが接合された状態において、Ｘ方向に延びる第２の共通排出流路１４２ｂを構成する。このような構成の第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂは、流路スペーサー基板１２とノズル基板１１との接合面（したがって、流路基板１４とノズル基板１１との接合面）に沿って延び、その内壁面の一部がノズル基板１１によって構成されている。以下では、第１の共通排出流路１４２ａと第２の共通排出流路１４２ｂとを区別しない場合には、単に共通排出流路１４２とも記す。
　第１の共通排出流路１４２ａの＋Ｘ方向側の端部には、圧力室基板１３をＺ方向に貫通する第１の垂直排出流路１３３ａが接続されている。また、第２の共通排出流路１４２ｂの＋Ｘ方向側の端部には、圧力室基板１３をＺ方向に貫通する第２の垂直排出流路１３３ｂが接続されている。以下では、垂直排出流路１３３ａと第２の垂直排出流路１３３ｂとを区別しない場合には、単に垂直排出流路１３３とも記す。
　また、上述のとおり、流路スペーサー基板１２では、複数の貫通流路１２１（チャネル１４１）の各々から、第１の帯状貫通流路１２３ａ（第１の共通排出流路１４２ａ）に接続される第１の個別排出流路１２２ａ、及び第２の帯状貫通流路１２３ｂ（第２の共通排出流路１４２ｂ）に接続される第２の個別排出流路１２２ｂが分岐している。第１の個別排出流路１２２ａは、貫通流路１２１のノズル基板１１側の開口部から流路スペーサー基板１２の表面に沿って＋Ｙ方向に延びる溝状の流路であり、内壁面の一部がノズル基板１１によって構成されている。また、第２の個別排出流路１２２ｂは、貫通流路１２１のノズル基板１１側の開口部から流路スペーサー基板１２の表面に沿って－Ｙ方向に延びる溝状の流路であり、内壁面の一部がノズル基板１１によって構成されている。すなわち、第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂは、貫通流路１２１から（したがって、チャネル１４１から）互いに反対方向に延びている。以下では、第１の個別排出流路１２２ａと第２の個別排出流路１２２ｂとを区別しない場合には、単に個別排出流路１２２とも記す。
　図６は、流路スペーサー基板１２の上面を示す平面図である。
　また、図７は、図４及び図６のＡ－Ａ線を通りＸ方向に垂直なヘッドチップ１０の断面を示す図である。
　以下では、第１の共通排出流路１４２ａのうち、複数の第１の個別排出流路１２２ａからインクが流入する区間を第１の区間Ｓ１と記し、第２の共通排出流路１４２ｂのうち、複数の第２の個別排出流路１２２ｂからインクが流入する区間を第２の区間Ｓ２と記す。詳しくは、第１の区間Ｓ１は、第１の共通排出流路１４２ａにおいて複数の第１の個別排出流路１２２ａが接続されている複数の接続位置のうち、インクの排出方向（Ｘ方向）について最も上流側の接続位置から最も下流側の接続位置までの区間である。また、第２の区間Ｓ２は、第２の共通排出流路１４２ｂにおいて複数の第２の個別排出流路１２２ｂが接続されている複数の接続位置のうち、インクの排出方向について最も上流側の接続位置から最も下流側の接続位置までの区間である。
　本実施形態では、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２の、Ｘ方向の長さ、及びＺ方向の深さは同一である。
　他方で、第１の区間Ｓ１のＹ方向についての幅Ｗａは、第２の区間Ｓ２のＹ方向についての幅Ｗｂより小さくなっている。したがって、図７に示されるように、第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１におけるＸ方向（インクの排出方向）に垂直な断面（第１の断面）がなす矩形の面積（第１の面積）は、第２の共通排出流路１４２ａのうち第２の区間Ｓ２におけるＸ方向に垂直な断面（第２の断面）がなす矩形の面積（第２の面積）より小さくなっている。より詳しくは、第１の断面がなす矩形と、第２の断面がなす矩形とは、Ｚ方向に平行な辺の長さが同一である一方、Ｙ方向に平行な辺の長さは、第１の断面がなす矩形の方が短くなっている。この結果、第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１の体積は、第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２の体積より小さくなっている。
　このように第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂの形状や体積を異ならせることによる作用及び効果については、後に詳述する。
　また、図７に示されるように、ノズル基板１１のうち共通排出流路１４２の内壁面を構成している部分は、可撓性を有するダンパー板１１Ｄとして機能する。
　チャネル１４１内のインクの圧力変動に起因する圧力波が個別排出流路１２２を通って共通排出流路１４２に伝播すると、共通排出流路１４２の内部でインクの圧力変動が生じ得る。このような場合に、ダンパー板１１Ｄが、共通排出流路１４２内のインクの圧力変動に応じて変形する（撓む）ことで、当該圧力変動を吸収することができる。
　ダンパー板１１Ｄの共通排出流路１４２側とは反対側は、開放された空気であり、空気がその弾性力によってダンパー板１１Ｄの変形を阻害することがないため、共通排出流路１４２内のインクの圧力変動を効果的に吸収することができる。
　また、図７に示されるチャネル１４１、第１の個別排出流路１２２ａ、第２の個別排出流路１２２ｂ及びノズル１１１と、図５に示される圧力変動手段としての駆動電極１３６と、により、インク吐出部１０ａが構成される。したがって、ヘッドチップ１０には、ノズル１１１の数と同一の数のインク吐出部１０ａが設けられている。
　このような構成のヘッドチップ１０では、チャネル１４１に供給されたインクのうちノズル１１１から吐出されなかったインクの一部が、第１の個別排出流路１２２ａ及び第１の共通排出流路１４２ａを介して外部に排出されるとともに、第２の個別排出流路１２２ｂ及び第２の共通排出流路１４２ｂを介して外部に排出される。詳しくは、第１の個別排出流路１２２ａ及び第１の共通排出流路１４２ａを通ったインクは、第１の垂直排出流路１３３ａ、及び配線基板１５に設けられた第１の排出孔１５２ａを通ってアウトレット１０３ｂ（又はアウトレット１０３ｃ）からインクジェットヘッド１００の外部に排出される。同様に、第２の個別排出流路１２２ｂ及び第２の共通排出流路１４２ｂを通ったインクは、第２の垂直排出流路１３３ｂ、及び配線基板１５に設けられた第２の排出孔１５２ｂを通ってアウトレット１０３ｂ（又はアウトレット１０３ｃ）からインクジェットヘッド１００の外部に排出される。なお、第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂが共通のアウトレットに連通している構成としても良いし、別個のアウトレットに連通している構成としても良い。
　このような構成により、チャネル１４１に混入した気泡や異物をインクとともに外部に排出することができる。
　インク供給口１５１からチャネル１４１に供給されるインクの流れや、チャネル１４１から第１の共通排出流路１４２ａ又は第２の共通排出流路１４２ｂを通って排出されるインクの流れは、インクジェット記録装置１が有するインク循環機構９（図８参照）により発生させることができる。
　図４に示される配線基板１５は、圧力室基板１３との接合領域を確保する観点から圧力室基板１３の面積よりも大きな面積を有する平板状の基板であることが好ましく、接着剤を介して圧力室基板１３の下面に接着されている。配線基板１５としては、例えばガラス、セラミックス、シリコン、プラスチックなどの基板を用いることができる。
　配線基板１５には、Ｚ方向から見てチャネル１４１と重なる位置に複数のインク供給口１５１が設けられており、また、第１の垂直排出流路１３３ａ、第２の垂直排出流路１３３ｂと重なる位置にそれぞれ第１の排出孔１５２ａ、第２の排出孔１５２ｂが設けられている。以下では、第１の排出孔１５２ａと第２の排出孔１５２ｂとを区別しない場合には、単に排出孔１５２とも記す。また、配線基板１５の圧力室基板１３との接着面には、複数のインク供給口１５１の各々の端部から配線基板１５の端部に向かって延びる複数の配線１５３が設けられている。
　配線基板１５の下面には、図示しないインクマニホールド（共通インク室）が接続されており、当該インクマニホールドからインク供給口１５１にインクが供給される。
　圧力室基板１３と配線基板１５とは、導電性粒子を含有させた導電性接着剤を介して接着される。これにより、圧力室基板１３の表面の接続電極１３５と、配線基板１５上の配線１５３とが、導電性粒子を介して電気的に接続される。
　また、配線基板１５のうち配線１５３が設けられている端部には、ＦＰＣ２０が、例えばＡＣＦ（異方性導電フィルム）を介して接続される。この接続により、配線基板１５の複数の配線１５３と、ＦＰＣ２０上の複数の配線２１とが、一対一で対応するようにそれぞれ電気的に接続される。
　次に、インクジェットヘッド１００内においてインクを還流させて排出させるためのインク循環機構９の構成について説明する。
　図８は、インク循環機構９の構成を示す模式図である。
　インク循環機構９は、供給用サブタンク９１、還流用サブタンク９２及びメインタンク９３などを備える。
　供給用サブタンク９１は、インクジェットヘッド１００に設けられたインクマニホールドに供給されるインクを貯留する。供給用サブタンク９１は、インク流路９４によってインレット１０３ａに接続されている。
　還流用サブタンク９２は、インク流路９５によってアウトレット１０３ｂ、１０３ｃに接続されており、個別排出流路１２２及び共通排出流路１４２を含む上述のインク排出流路を通ってアウトレット１０３ｂ又はアウトレット１０３ｃから排出されたインクを貯留する。
　供給用サブタンク９１及び還流用サブタンク９２は、インク流路９６で接続されている。そして、インク流路９６に設けられたポンプ９８により、還流用サブタンク９２から供給用サブタンク９１にインクを戻すことができるようになっている。
　メインタンク９３は、供給用サブタンク９１に供給されるインクを貯留する。メインタンク９３は、インク流路９７によって供給用サブタンク９１に接続されている。また、インク流路９７に設けられたポンプ９９により、メインタンク９３から供給用サブタンク９１にインクが供給される。
　供給用サブタンク９１は、その液面が、ヘッドチップ１０のインク吐出面（以下、「位置基準面」とも記す）より高くなる位置に設けられ、還流用サブタンク９２の液面は、その液面が位置基準面より低くなる位置に設けられている。よって、位置基準面と供給用サブタンク９１との水頭差による圧力Ｐ１と、位置基準面と還流用サブタンク９２との水頭差による圧力Ｐ２が生じている。この結果、インレット１０３ａにおけるインクの圧力がアウトレット１０３ｂ、１０３ｃにおけるインクの圧力よりも高くなっている。この圧力差により、インレット１０３ａからインクマニホールド、インク供給口１５１、チャネル１４１、貫通流路１２１、個別排出流路１２２、共通排出流路１４２、垂直排出流路１３３、排出孔１５２を経てアウトレット１０３ｂ、１０３ｃに向かうインクの流れが生じ、インク吐出部１０ａへのインク供給、及びインク吐出部１０ａからのインクの排出（還流）がなされるようになっている。また、各サブタンク内のインク量や、各サブタンクの鉛直方向の位置を変更することで、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２を調整することができ、これによりインクの流速を調整することができる。
　次に、第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂを上記の構成とすることによる作用及び効果について説明する。
　上述したように、ノズル基板１１の一部がダンパー板１１Ｄとして機能することで、チャネル１４１から共通排出流路１４２に伝播した圧力波に起因する共通排出流路１４２内のインクの圧力変動が吸収されるが、ダンパー板１１Ｄによって共通排出流路１４２内のインクの圧力変動を完全に吸収することは困難である。
　この吸収しきれなかった圧力変動に起因して、共通排出流路１４２には定在波が生じる。この定在波は、共通排出流路１４２内で、複数のチャネル１４１から伝播した複数の圧力波が干渉して生じるものであり、その特性（波長、周期、振幅、位相等）は、共通排出流路１４２の形状（特に、上述の第１の区間Ｓ１や第２の区間Ｓ２の形状）に影響される。
　共通排出流路１４２内の定在波に起因する圧力波が個別排出流路１２２を介してチャネル１４１に伝播すると、インク吐出の際に、チャネル１４１内のインクの圧力が所望の圧力からずれてしまう。この結果、ノズル１１１からのインク吐出特性の変動（クロストーク）が生じ、記録画像の画質の低下に繋がる。
　特に、同一形状の２つの共通排出流路１４２を設けた従来の構成では、２つの共通排出流路１４２に生じた定在波に起因する圧力波がチャネル１４１内で重なって増大し、クロストークによる画質の低下が顕著となるという問題があった。
　図９は、従来の構成における問題を説明する図である。
　図９の左側に示されるように、従来の構成では、チャネル１４１の上下両側に、等しい幅（Ｗｃ）を有し形状が同一である２つの共通排出流路１４２ｃが設けられている。この従来の構成では、複数のチャネル１４１に対して、２つの共通排出流路１４２ｃの位置や形状が対称であるため、複数のチャネル１４１から各共通排出流路１４２ｃに伝播した圧力波に起因して、各共通排出流路１４２ｃにおいてほぼ同一特性の定在波が生じる。
　図９の右上のグラフＧ１－１は、上側の（第１の）共通排出流路１４２ｃにおいて生じる定在波の、Ｘ方向についての密度分布（圧力分布）を示している。また、図９の右下のグラフＧ１－２は、下側の（第２の）共通排出流路１４２ｃにおいて生じる定在波の、Ｘ方向についての密度分布を示している。これらのグラフから分かるように、２つの共通排出流路１４２ｃにおいて生じる定在波は、特性（波長、周期、振幅及び位相）がほぼ同一となる。
　また、図９の右側中央のグラフＧ１－３は、Ｘ方向についての各位置のチャネル１４１における、２つの共通排出流路１４２ｃから伝播する圧力波に起因する圧力変動の大きさを示している。すなわち、このグラフＧ１－３は、２つの共通排出流路１４２ｃに生じた定在波が各チャネル１４１に与える影響の大きさを示すものである。グラフＧ１－３に示されるように、複数のチャネル１４１における圧力変動の分布は、２つの共通排出流路１４２ｃにおける定在波の密度分布を重ね合わせたプロファイルを有する。すなわち、図９の従来の構成では、２つの共通排出流路１４２ｃにおける定在波の位相が揃っているため、各チャネル１４１における圧力変動は、２つの共通排出流路１４２ｃにおける定在波の同位相の圧力が重畳されたものとなる。この結果、インクの吐出特性の変動（クロストーク）が大きくなって、画質の低下が顕著となる。
　これに対し、本実施形態のインクジェットヘッド１００では、第１の共通排出流路１４２ａの形状のうち第１の区間Ｓ１の形状と、第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２の形状とを異ならせることで、各共通排出流路１４２に生じる定在波の特性が一致しないようになっている。
　図１０は、本実施形態の構成により得られる作用効果を説明する図である。
　図１０の右上のグラフＧ２－１は、本実施形態の第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１における定在波の密度分布を示し、右下のグラフＧ２－２は、第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２における定在波の密度分布を示している。これらのグラフから分かるように、本実施形態では、第１の区間Ｓ１の形状と第２の区間Ｓ２の形状とが異なることで、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２に生じる定在波の位相が１８０度ずれるようになっている。
　この結果、図１０の右側中央のグラフＧ２－３に示されているように、定在波に起因する各チャネル１４１での圧力変動は、第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂにおける逆位相の圧力が打ち消し合って、いずれの位置のチャネル１４１においても変動値が０となる。すなわち、いずれの位置のチャネル１４１においても定在波の影響がほぼ生じないようになっている。この結果、共通排出流路１４２に生じた定在波の影響によるインクの吐出特性の変動（クロストーク）が極めて低く抑えられるため、定在波に起因する画質の低下を効果的に抑制することができる。
　図１１は、本実施形態の他の構成により得られる作用効果を説明する図である。
　第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２の形状を調整すると、図１１の右下のグラフＧ３－２に示されているように、第２の区間Ｓ２に生じる定在波の波長を、第１の区間Ｓ１に生じる定在波の波長の約２倍とすることもできる。この場合には、２つの共通排出流路１４２で生じた定在波の影響が完全には相殺されないものの、多くの位置において、２つの共通排出流路１４２における定在波の圧力変動（疎密）が逆方向となる。このため、図１１の右側中央のグラフＧ３－３に示されるように、多くのチャネル１４１における、定在波に起因する圧力変動は、図９の従来の構成と比較して小さく抑えられている。
　また、図示は省略するが、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２の形状を調整することにより、図１０や図１１とは異なる態様で、第１の区間Ｓ１に生じる定在波と第１の区間Ｓ１に生じる定在波との間で波長、振幅、周期及び位相の少なくとも一部を異ならせることができる。例えば、図１０の例では第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２で定在波の位相が１８０度ずれているが、定在波の位相差が１８０度以外となるようにすることもできる。また、図１１の例では第１の区間Ｓ１と第２の区間Ｓ２とで定在波の波長の比が２倍となっているが、定在波の波長比が２倍以外となるようにすることもできる。
　これらの態様のうちの多くは、２つの共通排出流路１４２における定在波の影響を完全に打ち消すことはできないものの、定在波の影響の一部を相殺して、チャネル１４１におけるインクの吐出特性の変動（クロストーク）を抑えることができる。これにより、定在波に起因する画質の低下を抑制することができる。
　次に、上記実施形態の効果を確認するために行った実験について説明する。
　この実験では、第１の共通排出流路１４２ａにおける第１の区間Ｓ１の形状、及び第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の形状の組み合わせが互いに異なる「Ｎｏ．１」から「Ｎｏ．１９」までの１９種類のインクジェットヘッド１００のサンプルを用意し、各サンプルにおけるクロストークの程度を評価した。
　具体的には、サンプルとして、２５６個のチャネル１４１（ノズル１１１）を有し、各チャネル１４１に対して第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂが連通し、２５６本の第１の個別排出流路１２２ａが接続された第１の共通排出流路１４２ａと、２５６本の第２の個別排出流路１２２ｂが接続された第２の共通排出流路１４２ｂと、が設けられたインクジェットヘッド１００を使用した。以下では、各サンプルに関し、第１の共通排出流路１４２ａにおける第１の区間Ｓ１の寸法については、Ｘ方向の長さを「長さＬａ」、Ｙ方向の幅を「幅Ｗａ」、Ｚ方向の深さを「深さＤａ」、体積を「体積Ｖａ」とする。また、第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の寸法については、Ｘ方向の長さを「長さＬｂ」、Ｙ方向の幅を「幅Ｗｂ」、Ｚ方向の深さを「深さＤｂ」、体積を「体積Ｖｂ」とする。
　図１２は、実験に用いた各サンプルの形状及び評価結果を示す図である。
　図１２では、１９種類のサンプルにおける第１の区間Ｓ１、第２の区間Ｓ２の寸法と、第１の区間Ｓ１の寸法に対する第２の区間Ｓ２の寸法の比（寸法比）と、クロストークの評価結果とが示されている。
　「Ｎｏ．１」のサンプルは、第１の共通排出流路１４２ａにおける第１の区間Ｓ１の形状と、第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の形状とが等しい、比較例のサンプルである。「Ｎｏ．１」のサンプルでは、長さＬａ、Ｌｂを７２ｍｍ、幅Ｗａ、Ｗｂを１ｍｍ、深さＤａ、Ｄｂを１ｍｍ、体積Ｖａ、Ｖｂを７２ｍｍ3とした。
　「Ｎｏ．２」～「Ｎｏ．７」のサンプルは、「Ｎｏ．１」のサンプルに対して、第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の深さＤｂを増大させたものである。具体的には、「Ｎｏ．２」～「Ｎｏ．７」のサンプルでは、深さＤｂを、それぞれ１．０５ｍｍ、１．１ｍｍ、１．２ｍｍ、１．３ｍｍ、１．４ｍｍ、１．５ｍｍとした。
　「Ｎｏ．８」～「Ｎｏ．１３」のサンプルは、「Ｎｏ．１」のサンプルに対して、第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の幅Ｗｂを増大させたものである。具体的には、「Ｎｏ．８」～「Ｎｏ．１３」のサンプルでは、幅Ｗｂを、それぞれ１．０５ｍｍ、１．１ｍｍ、１．２ｍｍ、１．３ｍｍ、１．４ｍｍ、１．５ｍｍとした。
　「Ｎｏ．１４」～「Ｎｏ．１９」のサンプルは、「Ｎｏ．１」のサンプルに対して、第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の幅Ｗｂ及び深さＤｂの双方を増大させたものである。具体的には、「Ｎｏ．１４」～「Ｎｏ．１９」のサンプルでは、幅Ｗｂ及び深さＤｂの双方を、それぞれ１．０５ｍｍ、１．１ｍｍ、１．２ｍｍ、１．３ｍｍ、１．４ｍｍ、１．５ｍｍとした。
　クロストークの評価結果は、「○」、「×」の２水準で評価した。
　詳しくは、２５６個のチャネル１４１を、駆動周波数１０Ｈｚ及び１０ｋＨｚの２種類の駆動パターンで駆動し、２５６個のチャネル１４１のうちインクの飛翔速度のクロストークによる変化率が最大となったチャネル１４１における当該変化率（最大変化率）でクロストークを評価した。具体的には、この飛翔速度の最大変化率が１０％未満であったサンプルを「○」、１０％以上であったサンプルを「×」とした。このうち「○」は、実使用上問題のない画質が得られる正常範囲のクロストークレベルであり、「×」は、画質の低下が許容範囲を超えて問題となるクロストークレベルである。
　各サンプルのクロストークを評価した結果、図１２に示されるように、第１の区間Ｓ１に対する第２の区間Ｓ２の体積比（Ｖｂ／Ｖａ）が１．０５以下である「Ｎｏ．１」、「Ｎｏ．２」、「Ｎｏ．８」のサンプルでは、クロストークの評価結果が「×」となり、体積比（Ｖｂ／Ｖａ）が１．１以上であるその他のサンプルでは「○」の評価結果が得られた。すなわち、第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の体積が、第１の共通排出流路１４２ａにおける第１の区間Ｓ１の体積の１．１倍以上である構成とすることで、共通排出流路１４２内の定在波の影響によるクロストークを抑えることができ、実使用上問題のない画質が得られることが確認された。
　ただし、第２の区間Ｓ２の体積が第１の区間Ｓ１の体積の１０倍を超えると、各チャネル１４１から専ら第２の共通排出流路１４２ｂにインクが排出され、第１の共通排出流路１４２ａにインクが排出されにくくなってしまうため、第１の区間Ｓ１と第２の区間Ｓ２との体積比は、１０倍以下に抑えることが望ましい。
　以上のように、本実施形態のインクジェットヘッド１００は、インクを貯留するインク貯留部としてのチャネル１４１と、チャネル１４１に貯留されたインクの圧力を変動させる圧力変動手段としての駆動電極１３６と、チャネル１４１に連通し、当該チャネル１４１内におけるインクの圧力の変動に応じてインクを吐出するノズル１１１と、一のチャネル１４１に連通し、当該チャネル１４１からノズル１１１に供給されずに排出されるインクがそれぞれ通る第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂと、を各々有する複数のインク吐出部１０ａと、複数のインク吐出部１０ａが有する複数の第１の個別排出流路１２２ａに連通する第１の共通排出流路１４２ａと、複数のインク吐出部１０ａが有する複数の第２の個別排出流路１２２ｂに連通する第２の共通排出流路１４２ｂと、を備え、第１の共通排出流路１４２ａのうち複数の第１の個別排出流路１２２ａからインクが流入する第１の区間Ｓ１の形状が、第２の共通排出流路１４２ｂのうち複数の第２の個別排出流路１２２ｂからインクが流入する第２の区間Ｓ２の形状と異なる。
　このような構成によれば、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２においてそれぞれ生じる定在波の特性（波長、周期、振幅、位相等）を互いに異ならせることができる。これにより、２つの共通排出流路１４２からチャネル１４１に伝播する、定在波に起因する圧力波の少なくとも一部を相殺することができる。よって、定在波に起因する圧力波がチャネル１４１に伝播することによるチャネル１４１内の圧力変動を抑えることができるため、チャネル１４１におけるインクの吐出特性の変動（クロストーク）を抑制することができる。これにより、定在波に起因する画質の低下を効果的に抑制することができる。
　また、各チャネル１４１から２つの共通排出流路１４２を介してインクを排出することで、単一の共通排出流路１４２を用いた構成と比較して、チャネル１４１内の気泡や異物をより効率良く排出させることができる。
　また、第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１の体積が、第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２の体積と異なる構成とすることで、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２においてそれぞれ生じる定在波の特性を、より効果的に異ならせることができる。
　また、第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２の体積が、第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１の体積の１．１倍以上である構成とすることで、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２においてそれぞれ生じる定在波の特性を効果的に異ならせて、クロストークの程度を、実使用上問題のない画質が得られる範囲に抑えることができる。
　また、第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１は、Ｘ方向（インクの排出方向）についての各位置でのＸ方向に垂直な断面が、第１の面積を有する矩形であり、第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２は、Ｘ方向についての各位置での当該排出方向に垂直な断面が、第２の面積を有する矩形であり、第２の面積は、第１の面積の１．１倍以上である。このような構成によれば、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２の断面がなす矩形の辺の長さを異ならせる簡易な方法で、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２においてそれぞれ生じる定在波の特性を効果的に異ならせることができる。
　また、第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２の体積を、第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１の体積の１０倍以下とすることで、チャネル１４１から第１の共通排出流路１４２ａにインクが排出されにくくなる不具合の発生を抑制することができる。
　また、本実施形態のインクジェットヘッド１００は、インクを外部に排出するインク排出口としてのアウトレット１０３ｂ、１０３ｃを備え、第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂの各々は、アウトレット１０３ｂ又はアウトレット１０３ｃに連通している。これにより、チャネル１４１内の気泡や異物をインクジェットヘッド１００の外部に排出させることができる。
　また、本実施形態のインクジェット記録装置１は、上記のインクジェットヘッド１００を備えるので、クロストークが低く抑えられた高画質の画像を形成することができる。
　次に、上記実施形態の変形例１～５について説明する。これらの各変形例は、他の変形例と組み合わされても良い。
　（変形例１）
　図１３は、変形例１に係る流路スペーサー基板１２の上面を示す平面図である。
　本変形例は、第１の共通排出流路１４２ａにおける第１の区間Ｓ１、及び第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の、Ｘ方向についての長さが異なる点で上記実施形態と異なり、その他の点は上記実施形態と同一である。
　図１３に示されるように、本変形例では、各チャネル１４１から分岐する第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂが、Ｙ方向に対して互いに逆向きに傾斜した方向に延びている。これにより、第１の共通排出流路１４２ａにおいて複数の第１の個別排出流路１２２ａからインクが流入する第１の区間Ｓ１のＸ方向（インクの排出方向）の長さが、第２の共通排出流路１４２ｂにおいて複数の第２の個別排出流路１２２ｂからインクが流入する第２の区間Ｓ２のＸ方向の長さよりも短くなっている。
　このように、第１の区間Ｓ１の、当該第１の区間Ｓ１におけるインクの排出方向に沿った長さを、第２の区間Ｓ２の、当該第２の区間Ｓ２におけるインクの排出方向に沿った長さと異ならせた構成とすることによっても、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２に生じる定在波の特性を異ならせることができる。
　（変形例２）
　変形例２では、第１の共通排出流路１４２ａのうち第１の区間Ｓ１の形状が第２の共通排出流路１４２ｂのうち第２の区間Ｓ２の形状と異なるのに加えて、第１の区間Ｓ１における内壁面の表面粗さが、第２の区間Ｓ２における内壁面の表面粗さと異なっている。その他の点は、上記実施形態と同一である。
　本変形例では、例えば、第１の区間Ｓ１の内壁面の表面粗さＲａ（算術平均粗さ）が、第２の区間Ｓ２の内壁面の表面粗さＲａより大きくなっている。このような構成によれば、表面粗さＲａが相対的に大きい第１の共通排出流路１４２ａの第１の区間Ｓ１では、個別排出流路１２２から入射した圧力波が、内壁面の表面の凹凸によって、より吸収されやすくなる。これにより、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２に生じる定在波の特性を、より効果的に異ならせることができる。
　なお、第１の区間Ｓ１の内壁面のうち一部の面の表面粗さＲａが、第２の区間Ｓ２の内壁面のうち対応する一部の面の表面粗さＲａより大きい構成としても良い。例えば、第１の区間Ｓ１と第２の区間Ｓ２の内壁面のうち、ノズル基板１１により構成される部分のみにおいて、表面粗さＲａを互いに異ならせ、他の部分の表面粗さＲａが同一である構成としても良い。
　また、第１の区間Ｓ１と第２の区間Ｓ２とで、表面粗さＲａの大小関係を逆にしても良い。すなわち、第１の区間Ｓ１の内壁面の表面粗さＲａ（算術平均粗さ）を、第２の区間Ｓ２の内壁面の表面粗さＲａより小さくしても良い。
　（変形例３）
　図１４は、変形例３に係る流路スペーサー基板１２の上面を示す平面図である。
　本変形例は、各チャネル１４１から分岐する第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂの長さが異なる点で上記実施形態と異なり、その他の点は上記実施形態と同一である。
　図１４に示されるように、本変形例では、複数のチャネル１４１が千鳥格子状に配列されている。すなわち、複数のチャネル１４１がＸ方向に沿う２つの列（チャネル列）をなし、各チャネル１４１のＸ方向の位置が異なるように２つのチャネル列の位置がＸ方向にずらされた構成となっている。
　このような構成により、Ｘ方向について奇数番目のチャネル１４１では、第１の個別排出流路１２２ａのＹ方向（インク排出方向）の長さが、第２の個別排出流路１２２ｂのＹ方向の長さより短くなっている。他方で、Ｘ方向について偶数番目のチャネル１４１では、第１の個別排出流路１２２ａのＹ方向の長さが、第２の個別排出流路１２２ｂのＹ方向の長さより長くなっている。
　本変形例のように、一のチャネル１４１に連通する第１の個別排出流路１２２ａのインクの排出方向に沿った長さを、当該一のチャネル１４１に連通する第２の個別排出流路１２２ｂのインクの排出方向に沿った長さと異ならせた構成によれば、チャネル１４１から第１の共通排出流路１４２ａに伝播する圧力波の特性と、チャネル１４１から第２の共通排出流路１４２ｂに伝播する圧力波の特性とを異ならせることができる。これにより、第１の共通排出流路１４２ａにおいて生じる定在波の特性と、第２の共通排出流路１４２ｂにおいて生じる定在波の特性とを、より効果的に異ならせることができる。
　（変形例４）
　図１５は、変形例４に係る流路スペーサー基板１２の上面を示す平面図である。
　本変形例は、各チャネル１４１に、第１の個別排出流路１２２ａ及び第２の個別排出流路１２２ｂが２つずつ連通している点で上記実施形態と異なり、その他の点は上記実施形態と同一である。
　図１５に示されるように、本変形例では、各チャネル１４１と第１の共通排出流路１４２ａとが、２つの第１の個別排出流路１２２ａにより接続されており、各チャネル１４１と第２の共通排出流路１４２ｂとが、２つの第２の個別排出流路１２２ｂにより接続されている。図１５では、各チャネル１４１に接続されている２つの第１の個別排出流路１２２ａの幅や長さは同一であり、２つの第２の個別排出流路１２２ｂの幅や長さも同一である。ただし、この構成に限定する趣旨ではなく、各チャネル１４１に連通する２つの第１の個別排出流路１２２ａの幅や長さを異ならせても良いし、また各チャネル１４１に連通する２つの第２の個別排出流路１２２ｂの幅や長さを異ならせても良い。
　また、各チャネル１４１に連通させる第１の個別排出流路１２２ａの数、及び第２の個別排出流路１２２ｂの数は、３つ以上としても良い。
　本変形例のように、一のチャネル１４１に、二以上の第１の個別排出流路１２２ａ、及び二以上の第２の個別排出流路１２２ｂが連通している構成とすることで、チャネル１４１からより効率良く気泡や異物を排出させることができる。
　（変形例５）
　図１６は、変形例５に係る流路スペーサー基板１２の上面を示す平面図である。
　本変形例では、チャネル１４１がＸ方向に沿う２つの列（チャネル列）をなしており、各チャネル列を挟む両側に第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂが設けられている。また、このうち第２の共通排出流路１４２ｂが２つのチャネル列で共用されている。
　換言すれば、Ｘ方向に平行な第１の共通排出流路１４２ａ、第２の共通排出流路１４２ｂ、第１の共通排出流路１４２ａが、Ｙ方向についてこの順に設けられ、第２の共通排出流路１４２と一方の第１の共通排出流路１４２ａとの間に１つのチャネル列がＸ方向に沿って配列され、第２の共通排出流路１４２と他方の第１の共通排出流路１４２ａとの間に他の１つのチャネル列がＸ方向に沿って配列されている。そして、各チャネル列のチャネル１４１は、Ｙ方向について両側にある第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂに連通している。
　本変形例の構成では、第２の共通排出流路１４２ｂには、第１の共通排出流路１４２ａの２倍のチャネル１４１が接続され、より多くのインクが流入するところ、第２の共通排出流路１４２ｂの幅Ｗｂが第１の共通排出流路１４２ａの幅Ｗａより大きくなっていることで、第２の共通排出流路１４２ｂへのインクの流入が滞る不具合の発生を抑制することができる。また、２つの第１の共通排出流路１４１ａにそれぞれ生じる定在波の特性と、第２の共通排出流路１４２ｂに生じる定在波の特性とを異ならせることができる。
　なお、本発明は、上記実施形態及び各変形例に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
　例えば、上記実施形態及び各変形例では、第１の共通排出流路１４２ａにおける第１の区間Ｓ１の形状と、第２の共通排出流路１４２ｂにおける第２の区間Ｓ２の形状とを異ならせるために、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２の全体の幅や深さを異ならせたり、長さを異ならせたりする例を用いて説明したが、これに限定する趣旨ではない。第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２は、「一方をどのように回転させ、また移動させても他方の形状と一致させることができない」との条件を満たす任意の形状とすることができる。
　例えば、第１の区間Ｓ１や第２の区間Ｓ２の幅や深さをＸ方向の位置に応じて変化させても良い。また、共通排出流路１４２のインクの排出方向に向かって第１の区間Ｓ１や第２の区間Ｓ２の断面積が漸増する構成としても良い。また、第１の区間Ｓ１及び第２の区間Ｓ２の形状が異なり、体積が同一である構成としても良い。
　また、共通排出流路１４２や個別排出流路１２２は、直線状の形状に限られず、途中で湾曲した形状としても良い。
　また、第１の共通排出流路１４２ａ及び第２の共通排出流路１４２ｂにおけるインクの排出方向は、同一方向に限られず、互いに逆方向にインクを排出する構成としても良い。
　また、上記実施形態及び各変形例では、ノズル基板１１の一部をダンパー板１１Ｄとして機能させる構成を例に挙げて説明したが、これに限られない。例えば、ヘッドチップ１０内に密閉された空気室を設け、当該空気室に隣接する位置に共通排出流路１４２を設けることで、共通排出流路１４２と空気室との間の部材をダンパー板として機能させても良い。
　また、ダンパー板を有しない構成としても良い。
　また、上記実施形態では、共通排出流路１４２が、流路スペーサー基板１２に設けられた帯状貫通流路１２３と、圧力室基板１３に設けられた溝状流路１３２とからなる例を挙げて説明したが、これに限られない。例えば、共通排出流路１４２は、流路スペーサー基板１２のノズル基板１１側の面に設けられた溝により構成されていても良い。
　また、流路スペーサー基板１２を設けず、圧力室基板１３及びノズル基板１１によりヘッドチップ１０を構成しても良い。この場合の流路基板１４は、圧力室基板１３のみからなり、圧力室基板１３に個別排出流路１２２及び共通排出流路１４２が設けられる。この場合には、圧力室基板１３のノズル基板１１側の面に設けられた溝により個別排出流路１２２や共通排出流路１４２を構成することができる。
　また、上記実施形態では、シアモードのヘッドチップ１０を有するインクジェットヘッド１００を例に挙げて説明したが、これに限定する趣旨ではない。例えば、インク貯留部としての圧力室の壁面に固着された圧電素子（圧力変動手段）を変形させることで圧力室内のインクの圧力を変動させてインクを吐出させる、ベントモードのヘッドチップを有するインクジェットヘッドに対して本発明を適用しても良い。
　また、上記各実施形態及び各変形例では、搬送ベルト２ｃを備える搬送部２により記録媒体Ｍを搬送する例を用いて説明したが、これに限定する趣旨ではなく、搬送部２は、例えば回転する搬送ドラムの外周面上で記録媒体Ｍを保持して搬送するものであっても良い。
　また、上記各実施形態及び各変形例では、シングルパス形式のインクジェット記録装置１を例に挙げて説明したが、インクジェットヘッド１００を走査させながら画像の記録を行うインクジェット記録装置に本発明を適用しても良い。
　本発明のいくつかの実施形態を説明したが、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲とその均等の範囲を含む。
　本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に利用することができる。
１　インクジェット記録装置
２　搬送部
２ａ、２ｂ　搬送ローラー
２ｃ　搬送ベルト
３　ヘッドユニット
９　インク循環機構
１０　ヘッドチップ
１０ａ　インク吐出部
１１　ノズル基板
１１Ｄ　ダンパー板
１１１　ノズル
１１２　ノズル開口面
１２　流路スペーサー基板
１２１　貫通流路
１２２ａ　第１の個別排出流路
１２２ｂ　第２の個別排出流路
１２３ａ　第１の帯状貫通流路
１２３ｂ　第２の帯状貫通流路
１３　圧力室基板
１３１　圧力室
１３２ａ　第１の溝状流路
１３２ｂ　第２の溝状流路
１３３ａ　第１の垂直排出流路
１３３ｂ　第２の垂直排出流路
１３４　隔壁
１３５　接続電極
１３６　駆動電極
１４　流路基板
１４１　チャネル
１４２ａ　第１の共通排出流路
１４２ｂ　第２の共通排出流路
１４２ｃ　共通排出流路
１５　配線基板
１５１　インク供給口
１５２ａ　第１の排出孔
１５２ｂ　第２の排出孔
２０　ＦＰＣ
１００　インクジェットヘッド
１０３ａ　インレット
１０３ｂ、１０３ｃ　アウトレット
Ｍ　記録媒体
Ｓ１　第１の区間
Ｓ２　第２の区間

Claims (11)

  1. 　インクを貯留するインク貯留部と、
    　前記インク貯留部に貯留されたインクの圧力を変動させる圧力変動手段と、
    　前記インク貯留部に連通し、当該インク貯留部内におけるインクの圧力の変動に応じてインクを吐出するノズルと、
    　一の前記インク貯留部に連通し、当該インク貯留部から前記ノズルに供給されずに排出されるインクがそれぞれ通る第１の個別排出流路及び第２の個別排出流路と、
    　を各々有する複数のインク吐出部と、
    　前記複数のインク吐出部が有する複数の前記第１の個別排出流路に連通する第１の共通排出流路と、
    　前記複数のインク吐出部が有する複数の前記第２の個別排出流路に連通する第２の共通排出流路と、
    　を備え、
    　前記第１の共通排出流路のうち前記複数の第１の個別排出流路からインクが流入する第１の区間の形状が、前記第２の共通排出流路のうち前記複数の第２の個別排出流路からインクが流入する第２の区間の形状と異なるインクジェットヘッド。
  2. 　前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間の体積が、前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間の体積と異なる請求項１に記載のインクジェットヘッド。
  3. 　前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間の体積が、前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間の体積の１．１倍以上である請求項２に記載のインクジェットヘッド。
  4. 　前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間は、インクの排出方向についての各位置での当該排出方向に垂直な断面が、第１の面積を有する矩形であり、
    　前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間は、インクの排出方向についての各位置での当該排出方向に垂直な断面が、第２の面積を有する矩形であり、
    　前記第２の面積は、前記第１の面積の１．１倍以上である請求項３に記載のインクジェットヘッド。
  5. 　前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間の体積が、前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間の体積の１０倍以下である請求項２から４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
  6. 　前記第１の区間の当該第１の区間におけるインクの排出方向に沿った長さは、前記第２の区間の当該第２の区間におけるインクの排出方向に沿った長さと異なる請求項１から５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
  7. 　前記第１の共通排出流路のうち前記第１の区間における内壁面の表面粗さが、前記第２の共通排出流路のうち前記第２の区間における内壁面の表面粗さと異なる請求項１から６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
  8. 　前記一のインク貯留部に連通する前記第１の個別排出流路の当該第１の個別排出流路におけるインクの排出方向に沿った長さは、前記一のインク貯留部に連通する前記第２の個別排出流路の当該第２の個別排出流路におけるインクの排出方向に沿った長さと異なる請求項１から７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
  9. 　前記一のインク貯留部には、二以上の前記第１の個別排出流路、及び二以上の前記第２の個別排出流路が連通している請求項１から８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
  10. 　インクを外部に排出するインク排出口を備え、
    　前記第１の共通排出流路及び前記第２の共通排出流路は、前記インク排出口に連通している請求項１から９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
  11. 　請求項１から１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えるインクジェット記録装置。
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