WO2020031244A1

WO2020031244A1 - 搬送装置

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Publication number: WO2020031244A1
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Inventors: 優輝小森
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Abstract

この搬送装置（１００）は、空気供給部（１）と、第１保持部材（２１）と第２保持部材（２２）とを含む複数の保持部材（２０）を有する保持部（２）と、空気供給部（１）からの空気の供給先を、第１保持部材（２１）と、第２保持部材（２２）とに切り替える切替部（３）とを備える。

Description

搬送装置

　本発明は、搬送装置に関する。

　従来、試料容器（保持対象物）を搬送する搬送装置が知られている。従来の搬送装置の例としては、たとえば、特開２００３-９５４３０号公報に開示されている。

　上記特開２００３-９５４３０号公報に開示されている搬送装置は、圧縮空気を供給する圧縮空気源を備え、圧縮空気源から圧縮空気をエジェクタに供給することによって真空を発生させ、吸着カップに保持対象物を吸着し搬送している。

　また、特開２０１７－１１２２５５号公報に開示されている搬送装置は、ガスを噴出することにより負圧を生成し、非接触状態で保持対象物を吸引保持するベルヌーイの原理を利用した保持パッドによって非接触状態で保持対象物を搬送している。

特開２００３-９５４３０号公報特開２０１７－１１２２５５号公報

　しかしながら、保持対象物によって適している保持部が異なるが、特開２００３-９５４３０号公報に記載された搬送装置および特開２０１７－１１２２５５号公報に記載された搬送装置の保持部は、複数種類の保持対象物に対応していない。そのため、保持対象物に合わせて、ユーザは適した保持部に取り換える（切り替える）必要がある。また、保持部を取り替える（切り替える）ためにユーザは搬送装置を止める必要があり、そのたびに搬送装置を停止させ作業を中断する必要がある。

　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、装置を停止させることなく保持対象物に適した保持部に切り替えることが可能な搬送装置を提供することである。

　上記目的を達成するために、この発明の一の局面における搬送装置は、空気を供給する空気供給部と、空気供給部からの空気によって発生した負圧によって保持対象物の表面を吸着して保持する第１保持部材と、空気供給部から供給された空気を噴出口と保持対象物との隙間に噴出して非接触状態で保持対象物を保持する第２保持部材とを含む複数の保持部材を有する保持部と、空気供給部からの空気の供給先を、第１保持部材と、第２保持部材とに切り替える切替部と、を備える。

　この発明の一の局面における搬送装置は、上記のように、空気供給部と、第１保持部材と、第２保持部材とを含む複数の保持部材を有する保持部と、空気供給部からの空気の供給先を、第１保持部材と、第２保持部材とに切り替える切替部とを備える。これにより、切替部によって空気供給部からの供給先を切り替えることにより、装置を停止させることなく保持対象物に合わせて保持部材を切り替えることが可能となる。そのため、作業（保持対象物の保持作業および搬送作業）を中断することなく、保持対象物に適した保持部を容易に替えることができる。

　上記一の局面における搬送装置において、好ましくは、複数の保持部材は、第１保持部材および第２保持部材に加えて、空気供給部から供給された空気の空気圧によって開閉するアームを有する第３保持部材をさらに含む。このように構成すれば、保持対象物の保持に用いる保持部材の選択肢が増えるため、保持対象物の適用範囲を拡大することができる。

　この場合、好ましくは、搬送装置は、第３保持部材のアームを回転させる回転駆動機構をさらに備える。このように構成すれば、たとえば、保持対象物に蓋が設けられている場合に、アームを回転させることによって、蓋を開閉することが可能となる。

　上記一の局面における搬送装置において、好ましくは、空気供給部からの空気を複数の保持部材にそれぞれ供給する複数の流路をさらに備え、切替部は、流路を切り替える切替弁を含む。このように構成すれば、切替弁を用いて流路を切り替えることにより、保持部材を保持対象物に合わせて容易に切り替えることができる。

　この場合、好ましくは、搬送装置は、保持部材を用いる作業内容の情報に基づいて、複数の保持部材から所定の保持部材を選択するとともに、選択された保持部材に対応する流路に切替弁によって切り替える制御を行うように構成されている制御部をさらに備える。このように構成すれば、制御部が切替弁を切り替えることにより、選択された保持部材に空気が供給され、保持部材を切り替えることが可能となる。その結果、複数の保持部材を用いる作業を連続して行うことが可能となる。

　この場合、好ましくは、保持部材を用いた作業内容と、複数の保持部材から選択された１つの作業に使用すべき保持部材とが関連付けて記憶される記憶部をさらに備え、制御部は、記憶部に記憶された保持部材を用いた作業内容の情報に基づいて、複数の保持部材から所定の保持部材を選択するとともに、選択された保持部材に対応する流路に切替弁によって切り替える制御を行うように構成されている。このように構成すれば、記憶部に記憶された作業内容毎に、制御部が保持部材を切り替えることが可能となる。その結果、予め複数の保持部材を用いる作業を記憶させることにより、複数の保持部材を用いる作業を自動的に行うことができる。

　この場合、好ましくは、第１保持部材は、試料容器を保持し、搬送する作業に使用され、第２保持部材は、試料を保持し、搬送する作業に使用されるように構成されている。このように構成すれば、試料容器のように接触状態で搬送できる保持対象物は、第１保持部材を用いて搬送し、試料のようにコンタミネーションを避ける必要がある保持対象物は、第２保持部材を用いて非接触状態で搬送することができる。

　上記一の局面における搬送装置において、好ましくは、保持部が有する複数の保持部材を一体的に移動させる水平方向移動機構と、垂直方向において、保持部が有する複数の保持部材を個別に移動させる垂直方向移動機構と、をさらに備える。このように構成すれば、複数の保持部材を同時に水平方向に移動させることができるとともに、使用する保持部材を垂直方向に移動させることができる。この結果、使用する保持部材だけを保持対象物に近づけることができるため、別の使用しない保持部材に保持対象物が保持されることを抑制することができる。

　この場合、好ましくは、垂直移動させる保持部材を選択する選択機構をさらに備え、垂直方向移動機構は、選択機構において選択された保持部材を下降させるように構成されている。このように構成すれば、保持対象物に対応した保持部材を確実に選択して使用することができる。

　本発明によれば、上記のように、装置を停止させることなく保持対象物に適した保持部に切り替えることが可能な搬送装置を提供することができる。

本実施形態による搬送装置の全体構成を示したブロック図である。本実施形態による搬送装置の全体構成を示した模式図である。本実施形態による第１保持部材が保持対象物を保持している様子を示した図である。本実施形態による第２保持部材が保持対象物を保持している様子を示した図である。本実施形態による第３保持部材が保持対象物を保持している様子を示した図である。本実施形態による切替部の一例を示した図である。本実施形態による切替部の他の例を示した図である。本実施形態による作業内容に合わせて保持部材を選択する選択画面を示した図である。本実施形態による水平方向移動機構を示した図である。本実施形態による垂直方向移動機構と選択機構とを示した模式図である。本実施形態による第１の作業内容を模式的に示した図である。本実施形態による第２の作業内容を模式的に示した図である。本実施形態による第３の作業内容を模式的に示した図である。本実施形態による第４の作業内容を模式的に示した図である。

　以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

　図１～図１４を参照して、ガスクロマトグラフィーに用いる場合を例に本発明の実施形態による搬送装置１００の構成について説明する。

　図１に示すように、搬送装置１００は、空気供給部１と、保持部２と、切替部３と、制御部４と、記憶部５とを備える。また、図２に示すとおり、搬送装置１００は、分析装置２００に取り付けられる。

　図１に示すように、空気供給部１は、流路Ｐを介して後述する保持部２を構成する複数の保持部材２０に空気を供給する。空気供給部１は、たとえば、空気を圧縮し、供給するコンプレッサーと、流量を調整する流量調整部とを含む。流量調整部は、たとえばマスフローコントローラである。

　保持部２は、複数の保持部材２０を有する。保持部材２０は、第１保持部材２１、第２保持部材２２、および第３保持部材２３である。

　図３に示すように、第１保持部材２１は、真空を発生させる真空エジェクタ２１ａと、保持対象物Ｓの表面と接触する接触部２１ｂとを備える。真空エジェクタ２１ａは、空気供給部１からの空気が流入する入口２１ｃと、真空エジェクタ２１ａ内を通過した空気が排出される出口２１ｄと、接触部２１ｂに設けられた貫通孔２１ｅと繋がる開口部２１ｆとを備える。第１保持部材２１は、空気供給部１からの空気によって発生した負圧によって保持対象物Ｓの表面を吸着して保持する。空気供給部１からの空気が真空エジェクタ２１ａ内を通過することにより、開口部２１ｆから外部の空気が吸い込まれ、負圧が発生する。発生した負圧により保持対象物Ｓが吸引されることによって、接触部２１ｂに保持対象物Ｓが接触し、保持される。第１保持部材２１は、空気供給部１からの空気の供給を止めることにより、真空エジェクタ２１ａ内への空気の吸引が止まり、負圧が発生しなくなる。その結果、保持対象物Ｓの保持状態が解除される。第１保持部材２１の保持対象物Ｓは、たとえば試料容器である。

　保持部２は、接触部２１ｂの大きさの異なる第１保持部材２１を複数有していてもよい。複数設けることにより保持対象物Ｓの大きさに即した第１保持部材２１を選択することができる。

　図４に示すように、第２保持部材２２は、保持対象物Ｓと対向する底面部２２ａと、底面部２２ａに設けられた空気を噴出する噴出口２２ｂとを有する。第２保持部材２２は、空気の流速が速いほど圧力が下がり負圧が発生するというベルヌーイの定理に基づいて保持対象物Ｓの上面を非接触状態で保持する。第２保持部材２２は、空気供給部１から供給された空気を噴出口２２ｂと保持対象物Ｓとの隙間に噴出して非接触状態で保持対象物Ｓを保持する。第２保持部材２２は、空気供給部１から供給された空気を噴出口２２ｂが中央から外側に向かって斜めに設けられているため、空気を保持対象物Ｓの上面から側面方向にかけて斜め方向に噴出する。第２保持部材２２は、空気供給部１からの空気の供給を止めることにより負圧が消滅し、保持対象物Ｓの保持状態が解除される。

　第２保持部材２２は、第１保持部材２１と異なり非接触状態で保持対象物Ｓを保持する。そのため、汚染を防ぎたい保持対象物Ｓや高温の保持対象物Ｓを搬送するために用いることができる。また、第２保持部材２２は、保持対象物Ｓの表面に凹凸がある場合でも保持することができる。保持対象物Ｓは、たとえば、試料あるいは、装置の部品である。

　保持部２は、保持対象物Ｓと対向する底面部２２ａの大きさの異なる第２保持部材２２を複数有していてもよい。複数設けることにより保持対象物Ｓの大きさに即した第２保持部材２２を選択することができる。

　図５に示すように、第３保持部材２３は、保持対象物Ｓを挟むアーム２３ａとアーム２３ａに取り付けられたバネ２３ｂとエアシリンダ２３ｃとを有する。第３保持部材２３は、空気供給部１から供給された空気によってエアシリンダ２３ｃ内のピストン２３ｄが押され移動する。空気供給部１から供給された空気の圧力によりピストン２３ｄが押されるとともに、バネ２３ｂが縮むことによってアーム２３ａを閉じる。アーム２３ａを閉じることにより保持対象物Ｓを挟むことができる。また、空気供給部１からの空気の供給を止めることにより、バネ２３ｂが元の長さに戻ろうとすることに伴ってピストン２３ｄが元の位置に戻る。その結果、アーム２３ａが開き、保持対象物Ｓの保持状態が解除される。

　第３保持部材２３は、回転駆動機構２３ｅを備える。第３保持部材２３は、回転駆動機構２３ｅによってＺ方向に延びた回転軸を中心に回転する。回転駆動機構２３ｅは、たとえば、モータである。回転駆動機構２３ｅによって、第３保持部材２３は容器等の保持対象物Ｓを回転させる。保持対象物Ｓを回転させることにより、たとえば、図示しない読取機が、保持対象物Ｓに付された識別ラベルを読取ってもよい。また、蓋を開閉するために第３保持部材２３を用いてもよい。

　図６および図７に示すように、搬送装置１００は、空気供給部１と保持部材２０との間に複数の流路Ｐが設けられている。搬送装置１００は、流路Ｐを切替部３によって切り替えることにより、空気の供給先が切り替わり使用する保持部材２０を変更することができる。流路Ｐは、保持部材２０を移動させるために長めに設けられる。流路Ｐは、たとえば、テフロン（登録商標）、ステンレスなどで構成されている。

　切替部３は、流路Ｐを切り替える切替弁３ａを含む。第１保持部材２１および第２保持部材２２を有する搬送装置１００の場合に、切替弁３ａは、空気供給部１と第１保持部材２１または第２保持部材２２とを接続するように流路Ｐが切替可能な三方弁である。図６に示すように、たとえば、三方弁は、Ｌ字形の流路Ｐが回転し、接続方向を切り替える。また、第１保持部材２１、第２保持部材２２および第３保持部材２３を有する搬送装置１００の場合に切替弁３ａは、空気供給部１と第１保持部材２１、第２保持部材２２または第３保持部材２３のうちの１つを連絡するように構成されている四方弁である。図７に示すように、たとえば、四方弁は、第１保持部材２１、第２保持部材２２および第３保持部材２３のうち使用する流路Ｐの切替弁３ａを開き、空気供給部１と接続し、他の保持部材２０との流路Ｐの切替弁３ａを閉じて遮断する。

　制御部４は、保持部材２０を用いる作業内容に基づいて、所定の保持部材２０を選択するとともに、選択された保持部材２０に対応する流路Ｐに切替弁３ａよって切り替える制御を行う。第１保持部材２１を用いて試料容器を搬送する場合に、制御部４は、第１保持部材２１を選択するとともに、切替部３を制御して、第１保持部材２１に空気を供給する流路Ｐに切り替える。また、第２保持部材２２を用いて試料を搬送する場合に、制御部４は、第２保持部材２２を選択するとともに、切替部３を制御して第２保持部材２２に空気を供給する流路Ｐに切り替える。さらに、第３保持部材２３を用いて試料を搬送する場合に、制御部４は、第３保持部材２３を選択するとともに、切替部３を制御して第３保持部材２３に空気を供給する流路Ｐに切り替える。

　記憶部５は、保持部材２０を用いた作業内容と、複数の保持部材２０から選択された１つの作業に使用すべき保持部材２０とを関連付けて記憶されるように構成されている。ユーザは、予め記憶部５にルーチン作業の作業手順をプログラミングしておき、まず、第１保持部材２１を用いる作業を選択し、次に、第２保持部材２２を用いる作業を選択し、最後に第３保持部材２３を用いる作業を選択することにより記憶させる。

　ここで、図２に示すように、分析装置２００は、分析結果を表示する表示部２０１と、気化室２０２と、気化室２０２を密封する蓋部２０３と、気化室内に挿入されるガラスライナー２０４とを備える。分析装置２００は、ガラスライナー２０４の中に投入された試料を加熱し気化させ、気化したガスに含まれる成分を分析するように構成されている。

　図８に示すとおり、分析装置２００の表示部２０１には、例えば、予めプログラミングしておいた作業と、第１保持部材２１、第２保持部材２２および第３保持部材２３が画面に表示される。そして、ユーザが、各保持部材２０（第１保持部材２１、第２保持部材２２および第３保持部材２３）に対して、保持部材２０を使用する作業を選択することにより記憶部５に作業内容と保持部材２０とを関連付けて記憶させる。

　図２に示すように、搬送装置１００はさらに、保持部材２０を移動するために水平方向移動機構６と垂直方向移動機構７と選択機構８とを備える。

　図２および図９に示すように、水平方向移動機構６は、保持部材２０を一体的にＸ方向に移動させる第１方向移動機構６ａと保持部材２０を一体的にＹ方向に移動させる第２方向移動機構６ｂとを有している。ここで、Ｚ方向は、垂直方向移動機構７が移動する方向を表す。Ｘ方向は、試料を置くトレーＴと分析装置２００とが平面内で並ぶ方向である。Ｙ方向は水平面内でＸ方向と直交する方向である。水平方向移動機構６は、制御部４によってＸＹ座標の情報を元に移動する。

　具体的には、第１方向移動機構６ａは、第２方向移動機構６ｂの一端側（Ｙ２側）を保持している。第１方向移動機構６ａは、たとえば、ボールねじ機構または、ラックアンドピニオン機構などの直動機構を含む。

　第２方向移動機構６ｂは、第１保持部材２１と、第２保持部材２２と、第３保持部材２３とをＹ方向に移動するように構成されている。保持部材２０は、第２方向移動機構６ｂの搬送装置１００のトレーＴ側に設けられている。第２方向移動機構６ｂは、たとえば、ボールねじ機構または、ラックアンドピニオン機構などの直動機構を含む。

　図１０に示すように、垂直方向移動機構７は、第１保持部材２１、第２保持部材２２および第３保持部材２３にそれぞれ設けられている。具体的には、垂直方向移動機構７は、後述する選択機構８において選択された保持部材２０を下降させるように構成されている

　垂直方向移動機構７は、移動部７ａと駆動部７ｂとを含む。移動部７ａの一端側には保持部材２０が設けられており、他端側にはラックが形成されている。垂直方向移動機構７は、駆動部７ｂによってピニオンを回動させることにより、保持部材２０を垂直方向に移動するように構成されている。垂直方向移動機構７は、いわゆるラックアンドピニオン機構である。

　図１０に示すように選択機構８は、垂直方向移動機構７が取り付けられる第１取付部８ａと、水平方向移動機構６に取り付けられる第２取付部８ｂと第２取付部８ｂに取り付けられた回転部８ｃを備える。第１取付部８ａは、たとえば、円形形状を有する。図１０では、模式的に保持部材２０を横一列に並べて記載しているが、保持部材２０は、第１取付部８ａの円周状に等間隔に並べて取り付けられている。第２取付部８ｂは、水平方向移動機構６に取り付けられ固定される部分と回転部８ｃの回転軸として回転する部分とからなる。回転部８ｃは、たとえばモータである。回転部８ｃによって、選択された保持部材２０は、保持対象物Ｓと対向するように配置される。

　ここで、本発明に係る搬送装置１００を作業に用いる例について説明する。まず、作業１は、分析装置２００の蓋部２０３を開ける作業である。作業２は、ガラスライナー２０４を取り出し、新しいガラスライナー２０４と交換する作業である。作業３は、分析する試料を搬送し、ガラスライナー２０４に投入する作業である。作業４は、分析装置２００の蓋部２０３を閉める作業である。

　まず、ユーザの操作によって、記憶部５は、一連の作業と、保持部材２０とを関連付けて記憶する。本実施形態では、ユーザが、作業１および作業４に第３保持部材２３を選択し、作業２には第２保持部材２２を選択し、作業３には第１保持部材２１を選択したとする。

　ユーザが、作業を開始するように搬送装置１００を操作すると、制御部４は、空気供給部１からの空気を第３保持部材２３に供給するように切替部３の切替弁３ａの制御を行う。また、制御部４は、第３保持部材２３を選択するように選択機構８の制御を行う。次に、制御部４は、第３保持部材２３を分析装置２００の蓋部２０３の真上に水平移動させるために水平方向移動機構６の制御を行う。そして、制御部４は、垂直方向移動機構７を制御し、第３保持部材２３を下降させる。さらに、制御部４は、空気供給部１から第３保持部材２３へ空気を供給することによりアーム２３ａを閉じる制御を行う。図１１に示すように、アーム２３ａを閉じることにより第３保持部材２３が蓋部２０３を保持したあと、制御部４は、第３保持部材２３を回転させるとともに垂直方向移動機構７を上昇させる制御を行う。以上で作業１が終了する。

　作業１が終了すると、制御部４は、作業２を開始する。制御部４は、空気供給部１からの空気を第１保持部材２１に供給するように切替部３の切替弁３ａの制御を行う。また、制御部４は、第１保持部材２１を選択するように選択機構８の制御を行う。次に、制御部４は、第１保持部材２１が気化室２０２の真上に来るように水平移動させるように水平方向移動機構６の制御を行う。そして、制御部４は、垂直方向移動機構７を制御し、第１保持部材２１を下降させる。図１２に示すように、制御部４は、第１保持部材２１がガラスライナー２０４を保持した後に、垂直方向移動機構７を上昇させる制御を行う。

　さらに、制御部４は、ガラスライナー２０４を廃棄箱（図示せず）へと搬送するように水平方向移動機構６を制御し、第１保持部材２１を移動させる。制御部４は、第１保持部材２１が廃棄箱の上に移動した後に、空気供給部１から第１保持部材２１への空気の供給を止める制御を行う。これによりガラスライナー２０４が第１保持部材２１から離れ、廃棄箱に廃棄される。

　そして、制御部４は、作業３を開始する。制御部４は、第１保持部材２１を新しいガラスライナー２０４が置いてある場所へと移動させるように水平方向移動機構６の制御を行う。次に、制御部４は、垂直方向移動機構７を制御し、第１保持部材２１を下降させる。そして、制御部４は、第１保持部材２１がガラスライナー２０４を保持した後に、垂直方向移動機構７を上昇させる制御を行う。

　制御部４は、ガラスライナー２０４を気化室２０２へと搬送するように水平方向移動機構６の制御を行う。そして、制御部４は、垂直方向移動機構７を制御し、第１保持部材２１を下降させる。そして、第１保持部材２１からガラスライナー２０４を離すために、制御部４は、空気供給部１からの空気の供給を止める制御を行う。それにより、ガラスライナー２０４は、気化室２０２に挿入される。以上で作業２が終了する。

　作業２が終了すると、制御部４は、作業３を開始する。まず、制御部４は、空気供給部１からの空気を第２保持部材２２に供給するように切替部３の切替弁３ａの制御を行う。また、制御部４は、第２保持部材２２を選択するように選択機構８の制御を行う。次に、制御部４は、第２保持部材２２を試料Ｓ１が置いてある場所に水平移動させるために、水平方向移動機構６の制御を行う。そして、制御部４は、垂直方向移動機構７を制御し、第２保持部材２２を下降させる。第２保持部材２２が試料Ｓ１を保持した後に、制御部４は、垂直方向移動機構７を上昇させる制御を行う。

　さらに、図１３に示すように、制御部４は、試料Ｓ１をガラスライナー２０４へと搬送するように水平方向移動機構６の制御を行う。そして、制御部４は、垂直方向移動機構７を制御し、第２保持部材２２を下降させる。そして、第２保持部材２２から試料Ｓ１を離すために、制御部４は、空気供給部１からの空気の供給を止める制御を行う。それにより、試料Ｓ１は、気化室２０２に投入される。以上で作業３が終了する。

　作業３が終了すると、制御部４は、空気供給部１からの空気を第３保持部材２３に供給するように切替部３の切替弁３ａの制御を行う。また、制御部４は、第３保持部材２３を選択するように選択機構８の制御を行う。次に、制御部４は、第３保持部材２３を分析装置２００の蓋部２０３の真上に水平移動させるように水平方向移動機構６の制御を行う。そして、図１４に示すように、制御部４は、垂直方向移動機構７を制御し、第３保持部材２３を下降させる。それにより、第３保持部材２３が保持している蓋部２０３が気化室２０２に載置される。制御部４は、第３保持部材２３を回転させるとともに垂直方向移動機構７を制御し、蓋部２０３を閉める。最後に、制御部４は、空気供給部１から第３保持部材２３への空気の供給を止める制御を行う。以上で作業４が終了する。

　なお、分析装置２００が蓋部自動開閉機構を備える場合は、作業１および作業４は行わない。また、作業２は、他の作業よりも頻繁に行なう必要がないため、作業１から作業４まで行った後は、作業１、作業３、作業４を繰り返してもよい。また、分析装置２００が蓋部自動開閉機構を備える場合は、作業２、作業３のあと作業３を繰り返して行ってもよい。

　（本実施形態の効果）
　本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　本実施形態では、上記のように、搬送装置１００は、上記のように、空気供給部１と、第１保持部材２１と、第２保持部材２２とを含む複数の保持部材２０を有する保持部２と、空気供給部１からの空気の供給先を、第１保持部材２１と、第２保持部材２２とに切り替える切替部３とを備える。これにより、切替部３によって空気供給部１からの供給先を切り替えることにより、搬送装置１００を停止させることなく保持対象物Ｓに合わせて保持部材２０を切り替えることが可能となる。そのため作業（保持対象物の保持作業および搬送作業）を中断することなく、保持対象物Ｓに適した保持部２を容易に替えることができる。

　また、本実施形態では、上記のように、複数の保持部材２０は、第１保持部材２１および第２保持部材２２に加えて、空気供給部１から供給された空気の空気圧によって開閉するアーム２３ａを有する第３保持部材２３をさらに含む。このようにすれば、保持対象物Ｓの保持に用いる保持部材２０の選択肢が増えるため、保持対象物Ｓの適用範囲を拡大することができる。

　また、本実施形態では、搬送装置１００は、第３保持部材２３のアーム２３ａを回転させる回転駆動機構２３ｅをさらに備える。こうすれば、たとえば、保持対象物Ｓに蓋が設けられている場合に、アーム２３ａを回転させることによって、蓋を開閉することが可能となる。

　また、本実施形態では、空気供給部１からの空気を複数の保持部材２０にそれぞれ供給する複数の流路Ｐをさらに備え、切替部３は、流路Ｐを切り替える切替弁３ａを含む。こうすれば、切替弁３ａを用いて流路Ｐを切り替えることにより、保持部材２０を保持対象物Ｓに合わせて容易に切り替えることができる。

　また、本実施形態では、上記のように、搬送装置１００は、保持部材２０を用いる作業内容の情報に基づいて、複数の保持部材２０から所定の保持部材２０を選択するとともに、選択された保持部材２０に対応する流路Ｐに切替弁３ａによって切り替える制御を行うように構成されている制御部４をさらに備える。こうすれば、制御部４が切替弁３ａを切り替えることにより、選択された保持部材２０に空気が供給され、保持部材２０を切り替えることが可能となる。その結果、複数の保持部材２０を用いる作業を連続して行うことが可能となる。

　また、本実施形態では、上記のように、保持部材２０を用いた作業内容と、複数の保持部材２０から選択された１つの作業に使用すべき保持部材２０とが関連付けて記憶される記憶部５をさらに備え、制御部４は、記憶部５に記憶された保持部材２０を用いた作業内容の情報に基づいて、複数の保持部材２０から選所定の保持部材２０を選択するとともに、選択された保持部材２０に対応する流路Ｐに切替弁３ａによって切り替える制御を行うように構成されている。こうすれば、記憶部５に記憶された作業内容毎に、制御部４が保持部材２０を切り替えることが可能となる。その結果、予め複数の保持部材２０を用いる作業を記憶させることにより、複数の保持部材２０を用いる作業を自動的に行うことができる。

　また、本実施形態では、上記のように、第１保持部材２１は、試料容器を保持し、搬送する作業に使用され、第２保持部材２２は、試料を保持し、搬送する作業に使用されるように構成されている。こうすれば、試料容器のように接触状態で搬送できる保持対象物Ｓは、第１保持部材２１を用いて搬送し、試料のようにコンタミネーションを避ける必要がある保持対象物Ｓは、第２保持部材２２を用いて非接触状態で搬送することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、保持部２が有する複数の保持部材２０を一体的に移動させる水平方向移動機構６と、垂直方向において、保持部２が有する複数の保持部材２０を個別に移動させる垂直方向移動機構７と、をさらに備える。こうすれば、複数の保持部材２０を同時に水平方向に移動させることができるとともに、使用する保持部材２０を垂直方向に移動させることができる。この結果、使用する保持部材２０だけを保持対象物Ｓに近づけることができるため、別の使用しない保持部材２０に保持対象物Ｓが保持されることを抑制することができる。

　また、本実施形態では、上記のように、垂直移動させる保持部材２０を選択する選択機構８をさらに備え、垂直方向移動機構７は、選択機構８において選択された保持部材２０を下降させるように構成されている。こうすれば、保持対象物Ｓに対応した保持部材２０を確実に選択して使用することができる。

　（変形例）
　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

　たとえば、上記実施形態では、保持部材２０が、第１保持部材２１、第２保持部材２２および第３保持部材２３を含む例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、保持部材２０が、マグネット方式の第４保持部材を備えていてもよい。

　また、上記実施形態では、回転駆動機構２３ｅがモータである例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回転駆動機構２３ｅは、空気供給部１からのエアを利用して回転させるように構成されていてもよい。

　また、上記実施形態では、切替部３が、三方弁または四方弁を含む例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、切替部３は、各保持部材２０に接続する流路Ｐに開閉弁を設けてもよい。また、三方弁および四方弁の流路Ｐの制御方法は、一般的に用いられる方法であれば特に限定されない。

　また、上記実施形態では、第１保持部材２１がガラスライナー２０４を搬送する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、第２保持部材２２または第３保持部材２３がガラスライナー２０４を搬送してもよい。

　また、上記実施形態では、第３保持部材２３が試料を分析装置２００に投入する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、搬送装置１００が、試料吸引吐出部を備えている場合は、第２保持部材２２または第３保持部材２３を用いて試料容器を搬送し、試料吸引吐出部を用いて試料を投入してもよい。

　また、上記実施形態では、搬送装置１００をガスクロマトグラフィーに使用する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、液体クロマトグラフィーのような他の分析装置２００に用いてもよい。

　また、上記実施形態では、搬送装置１００を試料分析に用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、複数の部品からなる製品を作る製造ラインに用いてもよい。

　また、上記実施形態では、垂直方向移動機構７がラックアンドピニオン機構によって保持部材２０を垂直方向に移動させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。保持部材２０を垂直方向に移動させることが可能であれば、垂直方向移動機構７はどのように構成されていてもよい。垂直方向移動機構７は、たとえば、ボールねじ機構またはベルトアンドプーリー機構で構成されていてもよい。

　また、上記実施形態では、選択機構８が円形である例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、三角形、四角形などの多角形であってもよい。この場合、保持部材２０は、頂点に配置してもよい。

　１　空気供給部
　２　保持部
　３　切替部
　４　制御部
　５　記憶部
　６　水平方向移動機構
　７　垂直方向移動機構
　８　選択機構
　２０　保持部材
　２１　第１保持部材
　２２　第２保持部材
　２３　第３保持部材
　１００　搬送装置

Claims

　空気を供給する空気供給部と、
　前記空気供給部からの空気によって発生した負圧によって保持対象物の表面を吸着して保持する第１保持部材と、前記空気供給部から供給された空気を前記保持対象物との隙間に噴出して非接触状態で前記保持対象物を保持する第２保持部材とを含む複数の保持部材を有する保持部と、
　前記空気供給部からの空気の供給先を、前記第１保持部材と、前記第２保持部材とに切り替える切替部と、を備える、搬送装置。
　複数の前記保持部材は、前記第１保持部材および前記第２保持部材に加えて、前記空気供給部から供給された空気の空気圧によって開閉するアームを有する第３保持部材をさらに含む、請求項１に記載の搬送装置。
　前記第３保持部材のアームを回転させる回転駆動機構をさらに備える、請求項２に記載の搬送装置。
　前記空気供給部からの空気を複数の前記保持部材にそれぞれ供給する複数の流路をさらに備え、
　前記切替部は、前記流路を切り替える切替弁を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送装置。
　前記保持部材を用いる作業内容の情報に基づいて、複数の前記保持部材から所定の前記保持部材を選択するとともに、選択された前記保持部材に対応する前記流路に前記切替弁によって切り替える制御を行うように構成されている制御部をさらに備える、請求項４に記載の搬送装置。
　前記保持部材を用いた作業内容と、複数の前記保持部材から選択された１つの作業に使用すべき前記保持部材とが関連付けて記憶される記憶部をさらに備え、
　前記制御部は、前記記憶部に記憶された前記保持部材を用いた作業内容の情報に基づいて、複数の前記保持部材から選所定の前記保持部材を選択するとともに、選択された前記保持部材に対応する前記流路に前記切替弁によって切り替える制御を行うように構成されている、請求項５に記載の搬送装置。
　前記第１保持部材は、試料容器を保持し、搬送する作業に使用され、前記第２保持部材は、試料を保持し、搬送する作業に使用されるように構成されている、請求項５または６に記載の搬送装置。
　水平方向において、前記保持部が有する複数の前記保持部材を一体的に移動させる水平方向移動機構と、
　垂直方向において、前記保持部が有する複数の前記保持部材を個別に移動させる垂直方向移動機構と、をさらに備える、請求項１～７のいずれか１項に記載の搬送装置。
　垂直移動させる前記保持部材を選択する選択機構をさらに備え、
　前記垂直方向移動機構は、前記選択機構において選択された前記保持部材を下降させるように構成されている、請求項８に記載の搬送装置。