WO2019234910A1 - 半導体モジュール - Google Patents

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WO2019234910A1
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wiring
ground
terminal
substrate
power supply
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義弥 家入
悦宏 神山
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新電元工業株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a semiconductor module.
  • This semiconductor module is used, for example, to convert a DC voltage into a three-phase AC voltage and drive a three-phase motor (Japanese Patent No. 6062565).
  • the ground wiring is L-shaped and common to three phases.
  • an object of the present invention is to provide a semiconductor module capable of reducing the switching noise due to the half-bridge switch constituting the semiconductor module by reducing the inductance of the ground wiring.
  • a semiconductor module includes: A semiconductor module for converting direct current into three-phase alternating current and supplying the three-phase alternating current to a three-phase motor for driving.
  • a high-side switch and a low-side switch are connected in series between the power supply wiring and the first to third ground wirings, respectively, and a connection point between the high-side switch and the low-side switch is the first.
  • First to third half bridges connected to the first to third motor terminals and connected in parallel to each other; First to sixth control signal terminals to which control signals for controlling operations of the high-side switch and the low-side switch of the first to third half bridges are input,
  • the first ground terminal, the second ground terminal, and the third ground terminal are provided side by side along the second side, and are electrically insulated from each other. To do.
  • Each area of the first to third ground lines is smaller than an area of the power line.
  • One end of the first ground terminal is connected to an end of the first ground wiring adjacent to the third side of the substrate that intersects the first and second sides
  • One end of the second ground terminal is connected to an end of the second ground wiring adjacent to the second side
  • One end of the third ground terminal is connected to an end portion of the third ground wiring adjacent to a fourth side facing the third side of the substrate.
  • a fourth control bonding wire connecting the control electrode of the first low-side switch of the first half bridge and the fourth control signal terminal is wired to pass over the first ground wiring;
  • a fifth control bonding wire connecting the control electrode of the second low-side switch of the second half bridge and the fifth control signal terminal is wired to pass over the second ground wiring;
  • the sixth control bonding wire connecting the control electrode of the third low-side switch of the third half bridge and the sixth control signal terminal is wired so as to pass over the third ground wiring.
  • the thermistor is further provided with a thermistor for detecting the temperature.
  • the thermistor is disposed close to the second side of the substrate so as to be positioned between the second ground wiring and the third ground wiring;
  • the semiconductor module is A first temperature detection signal terminal electrically connected to one end of the thermistor;
  • a second temperature detection signal terminal electrically connected to the other end of the thermistor,
  • the first and second temperature detection signal terminals are arranged between the fifth control signal terminal and the sixth control signal terminal.
  • the first to fourth support dummy wirings are configured such that the upper surface of the first to fourth support dummy wirings is suppressed by the support member at the time of wire bonding in order to suppress the substrate by a support member at the time of wire bonding. It is characterized by
  • the first ground wiring is connected to the second electrode of the first low-side switch via a bonding wire
  • the second ground wiring is connected to the second electrode of the second low-side switch via a bonding wire
  • the third ground wiring is connected to a second electrode of the third low-side switch through a bonding wire.
  • the power supply terminal is arranged so as to bypass the first support dummy wiring
  • the third motor terminal is arranged so as to bypass the second supporting dummy wiring
  • the first ground terminal is arranged so as to bypass the third supporting dummy wiring
  • the third ground terminal is arranged so as to bypass the fourth support dummy wiring.
  • the first to third control signal terminals are arranged side by side along a direction in which the first side extends such that one end of each of the first to third control signal terminals is close to the first side of the substrate.
  • the fourth to sixth control signal terminals are arranged side by side along a direction in which the second side extends so that one end of each of the fourth to sixth control signal terminals is close to the second side of the substrate.
  • the first control signal terminal is disposed between the power supply terminal and the first motor terminal
  • the second control signal terminal is disposed between the first motor terminal and the second motor terminal
  • the third control signal terminal is arranged between the second motor terminal and the third motor terminal.
  • the fourth control signal terminal is disposed between the first ground terminal and the second ground terminal;
  • the fifth and sixth control signal terminals are disposed between the second ground terminal and the third ground terminal.
  • the other end of the first to third control signal terminals connected to the mounting board is from the other end of the power supply terminal and the other end of the first to third motor terminals connected to the mounting board. Is disposed at a position close to the first side of the substrate, The other end of the fourth to sixth control signal terminals connected to the mounting board is more second than the other end of the first to third ground terminals connected to the mounting board. It is arranged at a position close to the side.
  • the first high-side switch of the first half bridge is disposed on one end of the power supply wiring, and a first electrode is electrically connected to the power supply wiring SX,
  • a third high-side switch of the third half bridge is disposed on the other end of the power supply line and a first electrode is electrically connected to the power supply line;
  • the second high-side switch of the second half bridge is disposed on the power supply line so as to be positioned between the first high-side switch and the third high-side switch, and the first electrode is the power supply It is characterized by being electrically connected to the wiring.
  • the upper surface of the substrate is provided so as to be positioned between the one end of the power supply wiring SX and the first ground wiring, the first low side switch is disposed on the upper surface, the other end of the first high side switch, A first central wiring electrically connected to the first motor terminal;
  • the upper surface of the substrate is provided so as to be positioned between the other end of the power supply wiring and the third ground wiring, the third low-side switch is disposed on the upper surface, the other end of the third high-side switch, A third central wiring electrically connected to the third motor terminal;
  • the second low-side switch is provided on the upper surface of the substrate, and is disposed between the power supply wiring and the second ground wiring and between the first central wiring and the third central wiring. And a second central wiring electrically connected to the other end of the second high-side switch and the second motor terminal.
  • a semiconductor module includes a substrate, a power supply wiring provided on the substrate along the first side, a power supply terminal connected to the power supply wiring, and the substrate on the first side of the substrate. Connected to the first ground wiring, the second ground wiring, the third ground wiring, the first ground terminal connected to the first ground wiring, and the second ground wiring provided along the opposing second side. The second ground terminal, the third ground terminal connected to the third ground wiring, the first to third motor terminals connected to the coils of the three-phase motor, the power supply wiring and the first to third ground wiring, respectively.
  • the high-side switch and the low-side switch are connected in series with each other, and the connection points of the high-side switch and the low-side switch are connected to the first to third motor terminals, respectively, and connected in parallel to each other.
  • First Comprising a stone third half bridge the first to sixth control signal terminal a control signal for controlling the operation of the high-side switch and the low-side switches of the first to third half-bridge is input.
  • the first ground terminal, the second ground terminal, and the third ground terminal are provided side by side along the second side, and are electrically insulated from each other.
  • the inductance of each ground wiring can be reduced, and the switching noise due to the half-bridge switch constituting the semiconductor module can be reduced.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of the configuration of the semiconductor module 100 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the circuit configuration of the semiconductor module 100 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a configuration of a conventional semiconductor module.
  • FIG. 4 is a circuit diagram showing an example of the circuit configuration of the conventional semiconductor module shown in FIG.
  • the semiconductor module 100 is, for example, an inverter device for converting direct current into three-phase alternating current and supplying the three-phase alternating current to a three-phase motor for driving.
  • the semiconductor module 100 includes a substrate B, a power supply wiring SX, a power supply terminal Vin, a first ground wiring GX1, a second ground wiring GX2, and a third ground wiring.
  • the substrate B is an insulating substrate such as a ceramic substrate.
  • This substrate B has a rectangular shape.
  • the length of the first side B1 of the substrate B and the length of the second side B2 facing the first side B1 are the same.
  • the length of the third side B3 of the substrate B is the same as the length of the fourth side B4 facing the third side B3.
  • the length of the first side B1 of the substrate B is longer than the length of the third side B3.
  • the first direction D1 in which the first side B1 of the substrate B extends and the second direction D2 in which the third side B3 of the substrate B extends are orthogonal to each other.
  • the power supply wiring SX is provided on the substrate B along the first side B1.
  • the power supply terminal Vin is connected to the power supply wiring SX.
  • a DC power supply voltage is applied to the power supply terminal Vin.
  • first ground wiring GX1, the second ground wiring GX2, and the third ground wiring GX3 are provided on the substrate B along the second side B2 facing the first side B1 of the substrate B.
  • the first ground wiring GX1 is connected to the second electrode (source) of the first low-side switch Q4 via a bonding wire.
  • the second ground wiring GX2 is connected to the second electrode (source) of the second low-side switch Q5 via a bonding wire.
  • the third ground wiring GX3 is connected to the second electrode (source) of the third low-side switch Q6 via a bonding wire.
  • the first ground terminal GND1 is connected to the first ground wiring GX1, for example, as shown in FIG.
  • the first ground terminal GND1 is grounded. *
  • One end of the first ground terminal GND1 is connected to the end of the first ground wiring GX1 adjacent to the third side B3 of the substrate B that intersects the first and second sides B1 and B2.
  • the second ground terminal GND2 is connected to the second ground wiring GX2, for example, as shown in FIG.
  • the second ground terminal GND2 is grounded.
  • one end of the second ground terminal GND2 is connected to the end of the second ground wiring GX2 adjacent to the second side B2.
  • the third ground terminal GND3 is connected to the third ground wiring GX3, for example, as shown in FIG.
  • the third ground terminal GND3 is grounded.
  • one end of the third ground terminal GND3 is connected to the end portion of the third ground wiring GX3 adjacent to the fourth side B4 facing the third side B3 of the substrate B.
  • each of the first to third ground wirings GND1, GND2, and GND3 is set to be smaller than the area of the power supply wiring Vin.
  • first ground terminal GND1, the second ground terminal GND2, and the third ground terminal GND3 are provided side by side along the second side B2 of the substrate B, for example, as shown in FIG. Are electrically insulated (region 10 in FIG. 1).
  • first to third motor terminals P1, P2, and P3 are respectively connected to the U-phase, V-phase, and W-phase coils of a three-phase motor (not shown).
  • first motor terminal P1 is connected to the first phase (U phase) coil of the three-phase motor.
  • the second motor terminal P2 is connected to the second-phase (V-phase) coil of the three-phase motor.
  • the third motor terminal P3 is connected to the third phase (W phase) coil of the three-phase motor.
  • the first half bridge (Q1, Q4) includes, for example, a first high-side switch Q1 and a first low-side switch Q4 as shown in FIGS.
  • the first high-side switch Q1 has one end electrically connected to one end of the power supply terminal SX and the other end electrically connected to one end of the first motor terminal P1.
  • the first low-side switch Q4 has one end electrically connected to one end of the first motor terminal P1, and the other end electrically connected to the first ground wiring GX1.
  • the first high-side switch Q1 of the first half bridge (Q1, Q4) is arranged on one end of the power supply wiring SX.
  • the first electrode (drain) is electrically connected to the power supply wiring SX.
  • control electrode (gate) of the first high-side switch Q1 and the first control signal terminal Q1G are electrically connected by a first control bonding wire BW1.
  • the fourth electrode for electrically connecting the control electrode (gate) of the first low-side switch Q4 of the first half bridge (Q1, Q4) and the fourth control signal terminal Q4G.
  • the control bonding wire BW4 is wired so as to pass over the first ground wiring GX1.
  • the second half bridge (Q2, Q5) includes, for example, a second high side switch Q2 and a second low side switch Q5 as shown in FIGS.
  • the second high side switch Q2 has one end electrically connected between one end and the other end of the power supply terminal SX, and the other end electrically connected to one end of the second motor terminal P2.
  • the second low side switch Q5 has one end electrically connected to one end of the second motor terminal P2, and the other end electrically connected to the second ground wiring GX2.
  • the second high-side switch Q2 of the second half bridge (Q2, Q5) is located between the first high-side switch Q1 and the third high-side switch Q3. As described above, it is arranged on the power supply wiring SX.
  • the second high-side switch Q2 has a first electrode (drain) electrically connected to the power supply line SX.
  • control electrode (gate) of the second high-side switch Q2 and the second control signal terminal Q2G are electrically connected by a second control bonding wire BW2.
  • the fifth control bonding for connecting the control electrode (gate) of the second low-side switch Q5 of the second half bridge (Q2, Q5) and the fifth control signal terminal Q5G.
  • the wire BW5 is wired so as to pass over the second ground wiring GX2.
  • the third half bridge (Q3, Q6) has, for example, a third high side switch Q3 and a third low side switch Q6 as shown in FIGS.
  • the third high-side switch Q3 has one end electrically connected to the other end of the power supply terminal SX and the other end electrically connected to one end of the third motor terminal P3.
  • the third low-side switch Q6 has one end electrically connected to the other end of the third motor terminal P3 and the other end electrically connected to the third ground wiring GX3.
  • the third high-side switch Q3 of the third half bridge (Q3, Q6) is disposed on the other end of the power supply wiring SX.
  • the first electrode (drain) is electrically connected to the power supply wiring SX.
  • control electrode (gate) of the third high-side switch Q3 and the third control signal terminal Q3G are electrically connected by a third control bonding wire BW3.
  • a sixth control bonding wire for connecting the control electrode (gate) of the third low-side switch Q6 of the third half bridge (Q3, Q6) and the sixth control signal terminal Q6G. BW6 is wired so as to pass over the third ground wiring GX3.
  • the first to third half bridges (Q1, Q4), (Q2, Q5), (Q3, Q6) are between the power supply line Vin and the first to third ground lines GX1, GX2, GX3.
  • the high-side switches Q1, Q2, Q3 and the low-side switches Q4, Q5, Q6 are connected in series.
  • the first to third half bridges (Q1, Q4), (Q2, Q5), (Q3, Q6) are connected to the high side switches Q1, Q2, Q3 and the low side switches Q4, Q5, Q6.
  • the first to third motor terminals P1, P2, and P3 are connected to each other and are connected in parallel to each other.
  • first central wiring MX1 is provided on the upper surface of the substrate B so as to be positioned between one end of the power supply wiring SX and the first ground wiring GX1, for example, as shown in FIG.
  • the first low-side switch Q4 is arranged on the upper surface of the first central wiring MX1.
  • the first central wiring MX1 is electrically connected to the other end (source) of the first high-side switch Q1 and the first motor terminal P1.
  • the third central wiring MX3 is provided on the upper surface of the substrate B so as to be positioned between the other end of the power supply wiring SX and the third ground wiring GX3.
  • the third low-side switch Q6 is arranged on the upper surface of the third central wiring MX3.
  • the third central wiring MX3 is electrically connected to the other end (source) of the third high-side switch Q3 and the third motor terminal P3.
  • the second central wiring MX2 is located on the upper surface of the substrate B between the power supply wiring SX and the second ground wiring GX2, and the first central wiring MX1 and the third central wiring MX3. Between the two.
  • the second low-side switch Q5 is arranged on the upper surface of the second central wiring MX2.
  • the second central wiring MX2 is electrically connected to the other end (source) of the second high-side switch Q2 and the second motor terminal P2.
  • first to sixth control signal terminals are connected to the first to third half bridges (Q1, Q4), (Q2, Q5), (Q3, Q6), for example, as shown in FIG.
  • the control signals for controlling the operations of the first to third high-side switches Q1 to Q3 and the first to third low-side switches Q4 to Q6 are input.
  • the first to third control signal terminals Q1G, Q2G, and Q3G are arranged side by side along the direction in which the first side B1 extends so that each end thereof is close to the first side B1 of the substrate B. ing.
  • the first control signal terminal Q1G is disposed between the power supply terminal Vin and the first motor terminal P1, for example, as shown in FIG.
  • the second control signal terminal Q2G is disposed between the first motor terminal P1 and the second motor terminal P2, for example, as shown in FIG.
  • the third control signal terminal Q3G is disposed between the second motor terminal P2 and the third motor terminal P3, for example, as shown in FIG.
  • the fourth to sixth control signal terminals Q4, Q5, Q6 are arranged side by side along the direction in which the second side B2 extends so that one end of each of the fourth to sixth control signal terminals Q4, Q5, Q6 is close to the second side B2 of the substrate B. ing.
  • the fourth control signal terminal Q4G is disposed between the first ground terminal GND1 and the second ground terminal GND2, for example, as shown in FIG.
  • the fifth and sixth control signal terminals Q5G and Q6G are disposed between the second ground terminal GND2 and the third ground terminal GND3, for example, as shown in FIG.
  • the thermistor TM is positioned between the first ground wiring GX1 and the second ground wiring GX2 or between the second ground wiring GX2 and the third ground wiring GX3. It is arrange
  • the thermistor TM is an element for detecting the temperature around it.
  • the thermistor TM is disposed close to the second side B2 of the substrate B so as to be positioned between the second ground wiring GX2 and the third ground wiring GX3.
  • the first temperature detection signal terminal TM1 is electrically connected to one end of the thermistor TM, for example, as shown in FIG.
  • the second temperature detection signal terminal TM2 is electrically connected to the other end of the thermistor TM, for example, as shown in FIG.
  • the first and second temperature detection signal terminals TM1 and TM2 are arranged between the fifth control signal terminal Q5G and the sixth control signal terminal Q6G, for example, as shown in FIG. *
  • the thermistor TH is disposed between the adjacent second ground wiring GX2 and third ground wiring GX3.
  • the high-side power wiring whose temperature is likely to change as necessary. You may make it arrange
  • the first support dummy wiring Za is provided on the first corner of the plate B where the first side B1 and the third side B3 of the substrate B intersect, for example, as shown in FIG.
  • the power supply terminal Vin described above is arranged so as to bypass the first supporting dummy wiring Za, for example, as shown in FIG.
  • the second support dummy wiring Zb is provided on the second corner of the substrate B where the first side B1 and the fourth side B4 of the substrate B intersect.
  • the above-described third motor terminal P3 is arranged so as to bypass the second supporting dummy wiring Zb, for example, as shown in FIG.
  • the third support dummy wiring Zc is provided on the third corner of the substrate B where the second side B2 and the third side B3 of the substrate B intersect.
  • the first ground terminal GND1 described above is arranged so as to bypass the third supporting dummy wiring Zc, for example, as shown in FIG.
  • the fourth support dummy wiring Zd is provided on the fourth corner of the substrate B where the second side B2 and the fourth side B4 of the substrate B intersect.
  • the above-described third ground terminal GND3 is arranged so as to bypass the fourth supporting dummy wiring Zd, for example, as shown in FIG.
  • these first to fourth support dummy wirings Za to Zd are used to hold the substrate B with a support member (not shown) during wire bonding, so that the first to fourth support dummy wirings Za during wire bonding are used.
  • the upper surface of Zd is suppressed by the support member.
  • These first to fourth support dummy wirings Za to Zd are made of the same material as the power supply wiring SX described above, for example.
  • the other ends of the first to third control signal terminals Q1G to Q3G connected to the mounting board are the other end of the power supply terminal Vin connected to the mounting board and the first to third control signal terminals Q1G to Q3G.
  • the third motor terminals P1 to P3 are arranged at positions closer to the first side B1 of the substrate B than the other ends.
  • the other ends of the fourth to sixth control signal terminals Q4G to Q6G connected to the mounting board are more than the other ends of the first to third ground terminals PGND1 to GND3 connected to the mounting board.
  • the substrate B is disposed at a position close to the second side B2.
  • the other end of the first to third control signal terminals Q1G to Q3G and the fourth to sixth are close to the CPU.
  • the other ends of the control signal terminals Q4G to Q6G can be connected to the mounting board. That is, the wiring length from the CPU to the other ends of the first to third control signal terminals Q1G to Q3G and the other ends of the fourth to sixth control signal terminals Q4G to Q6G can be shortened.
  • the other end of the power supply terminal Vin through which a large current flows, the other ends of the first to third motor terminals P1 to P3, and the other ends of the first to third ground terminals PGND1 to GND3 are separated from the CPU. Can be arranged.
  • the sealing member K is, for example, a sealing resin such as an epoxy resin.
  • the sealing member K is shown so as to be seen through.
  • the sealing member K includes a power line SX, a power terminal Vin, a first ground line GX1, a second ground line GX2, a third ground line GX3, 1st to 3rd output wirings LMU, LMV, LMW, 1st to 3rd central wirings LYU, LYV, LYW, first current detection wiring LC1, second current detection wiring LC2, connection wiring LR1, first thermistor wiring LT1, Second thermistor wiring LT2, first capacitor C1, second capacitor C2, resistor R1, first half bridge (Q1, Q4), second half bridge (Q2, Q5), and third half bridge (Q3, Q6), thermistor TM, first supporting dummy wiring Za, second supporting dummy wiring Zb, third supporting dummy wiring Zc, and fourth supporting dummy wiring Zd
  • the first central wiring MX1, the second central wiring MX2, the third central wiring MX3, the first to sixth control bonding wires BW1 to BW6, and other bonding wires are
  • the sealing member K includes, for example, a power terminal Vin, a first motor terminal P1, a second motor terminal P2, a third motor terminal P3, a first control signal terminal Q1G, and a second control, as shown in FIG.
  • One end of each of the signal terminal Q2G and the third control signal terminal Q3G is sealed along the first side B1 of the substrate B.
  • the sealing member K includes, for example, as shown in FIG. 1, a first ground terminal GND1, a second ground terminal GND2, a third ground terminal GND3, a first temperature detection signal terminal TM1, and a second temperature detection signal terminal.
  • One end of each of TM2, the fourth control signal terminal Q4G, the fifth control signal terminal Q5G, and the sixth control signal terminal Q6G is sealed along the second side B2 of the substrate B.
  • the first ground wiring GX1, the second ground wiring GX2, and the third ground wiring GX3 are arranged on the first side B1 of the substrate. It is provided along the opposing second side B2.
  • the first ground terminal GND1 is connected to the first ground wiring GX1
  • the second ground terminal GND2 is connected to the second ground wiring GX2
  • the third ground terminal GND3 is connected to the third ground wiring GX3.
  • the first ground terminal GND1, the second ground terminal GND2, and the third ground terminal GND3 are provided side by side along the second side B2, and are electrically insulated from each other.
  • first to third ground wirings GX1, GX2, and GX3 do not straddle the first to third ground terminals GND1, GND2, and GND3, which are the lead terminals, the influence of inductance between the wirings is reduced, and noise is further reduced. Can be reduced.
  • the inductance of each ground wiring can be reduced, and the switching noise due to the half-bridge switch constituting the semiconductor module can be reduced.
  • first to third ground wirings GX1, GX2, and GX3 do not straddle the first to third ground terminals GND1, GND2, and GND3, which are the lead terminals, the influence of inductance between the wirings is reduced, and noise is further reduced. Can be reduced.
  • the first to third high-side switches Q1, Q2, and Q3 and the first to third low-side switches Q4, Q5, and Q6 are nMOSFETs (FIG. 2). Other semiconductor elements may be applied.
  • the first to third high-side switches Q1, Q2, and Q3 and the first to third low-side switches Q4, Q5, and Q6 can be implemented by, for example, pMOSFETs or other semiconductors so that similar functions can be performed. You may make it substitute with an element.
  • the semiconductor module 100 includes the substrate B, the power supply wiring SX provided on the substrate along the first side B1, the power supply terminal Vin connected to the power supply wiring, A first ground wiring GX1, a second ground wiring GX2, a third ground wiring GX3, and a first ground wiring GX1 provided on the substrate along the second side B2 facing the first side B1 of the substrate.
  • the first ground terminal GND1 connected to the second ground terminal, the second ground terminal GND2 connected to the second ground wiring GX2, the third ground terminal GND3 connected to the third ground wiring GX3, and the coil of the three-phase motor, respectively.
  • a high-side switch and a low-side switch are connected in series between the first to third motor terminals (P1, P2, P3) and the power supply wiring and the first to third ground wiring.
  • Q5G, Q6G The first to third half bridges (Q1, Q4), (Q2, Q5), which are connected to the first to third motor terminals at the connection points of the high-side switch and the low-side switch, respectively, and connected in parallel to each other, (Q3, Q6) and first to sixth control signal terminals (Q1G, Q2G, Q3
  • the first ground terminal GND1, the second ground terminal GND2, and the third ground terminal GND3 are provided side by side along the second side B2, and are electrically insulated from each other.
  • the inductance of each ground wiring can be reduced, and the switching noise due to the half-bridge switch constituting the semiconductor module can be reduced.

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Abstract

半導体モジュールは、直流を３相の交流に変換し、当該３相の交流を３相モータに供給して駆動するための半導体モジュールであって、第１接地端子ＧＮＤ１、第２接地端子ＧＮＤ２、及び第３接地端子ＧＮＤ３は、第２辺Ｂ２に沿って離間して並んで設けられ、それぞれの間が電気的に絶縁されている。

Description

半導体モジュール
　本発明は、半導体モジュールに関する。
　従来、半導体装置の一つとして、直流電源から入力した直流電力を交流電力に変換して出力する半導体モジュールが知られている。
　この半導体モジュールは、例えば、直流電圧を３相の交流電圧に変換し、３相モータを駆動するために用いられる（特許第6062565）。
　この従来の半導体モジュール（図３、図４）では、配線抵抗を小さくするために、接地配線がＬ字型で３相共通になっている。
　しかしながら、この半導体モジュールでは、接地配線のパターンが３相共通になっているため、当該接地配線の面積が大きくなる（図３）。
　これにより、当該接地配線のインダクタンスが大きくなり、半導体モジュールを構成するハーフブリッジのスイッチによるスイッチングノイズが増大するという問題がある。
　このスイッチングノイズを低減するためには、例えば、抵抗とキャパシタからなるフィルタ（スナバ）を配置する必要があった。
　そこで、本発明は、接地配線のインダクタンスを小さくして、当該半導体モジュールを構成するハーフブリッジのスイッチによるスイッチングノイズを低減することが可能な半導体モジュールを提供することを目的とする。
　本発明の一態様に係る実施形態に従った半導体モジュールは、　 
　直流を３相の交流に変換し、当該３相の交流を３相モータに供給して駆動するための半導体モジュールであって、
　基板と、
　前記基板上に第１辺に沿って設けられた電源配線と、
　前記電源配線に接続された電源端子と、
　前記基板上に、前記基板の前記第１辺に対向する第２辺に沿って設けられた、第１接地配線、第２接地配線、及び、第３接地配線と、
　前記第１接地配線に接続された第１接地端子と、
　前記第２接地配線に接続された第２接地端子と、
　前記第３接地配線に接続された第３接地端子と、
　前記３相モータのコイルにそれぞれ接続される第１ないし第３モータ端子と、
　前記電源配線と前記第１ないし第３接地配線との間でハイサイドスイッチとローサイドスイッチとがそれぞれ直列に接続されて構成されるとともに、前記ハイサイドスイッチと前記ローサイドスイッチとの接続点がそれぞれ第１ないし第３モータ端子に接続され、互いに並列に接続される第１ないし第３のハーフブリッジと、
　前記第１ないし第３のハーフブリッジの前記ハイサイドスイッチと前記ローサイドスイッチの動作を制御する制御信号が入力される第１ないし第６制御信号端子と、を備え、
　前記第１接地端子、前記第２接地端子、及び前記第３接地端子は、前記第２辺に沿って離間して並んで設けられ、それぞれの間が電気的に絶縁されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１ないし第３接地配線のそれぞれの面積は、前記電源配線の面積よりも小さいことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１接地端子の一端は、前記第１及び第２辺に交わる前記基板の第３辺に近接する前記第１接地配線の端部と接続され、
　前記第２接地端子の一端は、前記第２辺に近接する前記第２接地配線の端部と接続され、
　前記第３接地端子の一端は、前記基板の前記第３辺に対向する第４辺に近接する前記第３接地配線の端部と接続されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１のハーフブリッジの第１ローサイドスイッチの制御電極と前記第４制御信号端子とを接続する第４制御用ボンディングワイヤは、前記第１接地配線上を通過するように配線され、
　前記第２のハーフブリッジの第２ローサイドスイッチの制御電極と前記第５制御信号端子とを接続する第５制御用ボンディングワイヤは、前記第２接地配線上を通過するように配線され、
　前記第３のハーフブリッジの第３ローサイドスイッチの制御電極と前記第６制御信号端子とを接続する第６制御用ボンディングワイヤは、前記第３接地配線上を通過するように配線されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記基板上において、前記第１接地配線と前記第２接地配線との間、又は、前記第２接地配線と前記第３接地配線との間に位置するように、前記基板の第２辺に近接して配置され、温度を検出するためのサーミスタをさらに備える
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記サーミスタは、前記第２接地配線と前記第３接地配線との間に位置するように、前記基板の第２辺に近接して配置されており、
　前記半導体モジュールは、
　前記サーミスタの一端に電気的に接続された第１温度検出信号端子と、
　前記サーミスタの他端に電気的に接続された第２温度検出信号端子と、をさらに備え、
　前記第１及び第２の温度検出信号端子は、前記第５制御信号端子と前記第６制御信号端子との間に配置されている
　ことを特徴とする。　
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１辺と前記第３辺とが交差する前記基板の第１角部上に設けられた第１支持用ダミー配線と、
　前記第１辺と前記第４辺とが交差する前記基板の第２角部上に設けられた第２支持用ダミー配線と、
　前記第２辺と前記第３辺とが交差する前記基板の第３角部上に設けられた第３支持用ダミー配線と、
　前記第２辺と前記第４辺とが交差する前記基板の第４角部上に設けられた第４支持用ダミー配線と、
　をさらに備え、
　前記第１ないし第４支持用ダミー配線は、ワイヤボンディング時に前記基板を支持部材で抑えるために、前記ワイヤボンディング時に前記第１ないし第４支持用ダミー配線の上面が前記支持部材により抑えられるようになっている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１接地配線は、前記第１ローサイドスイッチの第２電極にボンディングワイヤを介して接続され、
　前記第２接地配線は、前記第２ローサイドスイッチの第２電極にボンディングワイヤを介して接続され、
　前記第３接地配線は、前記第３ローサイドスイッチの第２電極にボンディングワイヤを介して接続されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記電源端子は、前記第１支持用ダミー配線上を迂回するように、配置され、
　前記第３モータ端子は、前記第２支持用ダミー配線上を迂回するように、配置され、
　前記第１接地端子は、前記第３支持用ダミー配線上を迂回するように、配置され、
　前記第３接地端子は、前記第４支持用ダミー配線上を迂回するように、配置されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１ないし第３制御信号端子は、それぞれの一端が前記基板の前記第１辺に近接するように、前記第１辺が延在する方向に沿って並んで配置され、
　前記第４ないし第６制御信号端子は、それぞれの一端が前記基板の前記第２辺に近接するように、前記第２辺が延在する方向に沿って並んで配置されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１制御信号端子は、前記電源端子と前記第１モータ端子との間に配置され、
　前記第２制御信号端子は、前記第１モータ端子と前記第２モータ端子との間に配置され、
　前記第３制御信号端子は、前記第２モータ端子と前記第３モータ端子との間に配置されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第４制御信号端子は、前記第１接地端子と前記第２接地端子との間に配置され、
　前記第５及び第６制御信号端子は、前記第２接地端子と前記第３接地端子との間に配置されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　実装基板に接続される、前記第１ないし第３制御信号端子の他端は、前記実装基板に接続される、前記電源端子の他端、及び、前記第１ないし第３モータ端子の他端よりも、前記基板の前記第１辺に近い位置に配置されており、
　前記実装基板に接続される、前記第４ないし第６制御信号端子の他端は、前記実装基板に接続される、前記第１ないし第３接地端子の他端よりも、前記基板の前記第２辺に近い位置に配置されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記第１のハーフブリッジの第１ハイサイドスイッチは、前記電源配線の一端上に配置され且つ前記電源配線ＳＸに第１電極が電気的に接続され、
　前記第３のハーフブリッジの第３ハイサイドスイッチは、前記電源配線の他端上に配置され且つ第１電極が前記電源配線に電気的に接続され、
　前記第２のハーフブリッジの第２ハイサイドスイッチは、前記第１ハイサイドスイッチと前記第３ハイサイドスイッチとの間に位置するように、前記電源配線上に配置され且つ第１電極が前記電源配線に電気的に接続されている
　ことを特徴とする。
　前記半導体モジュールにおいて、
　前記基板の上面に前記電源配線ＳＸの前記一端と前記第１接地配線との間に位置するように設けられ、上面に前記第１ローサイドスイッチが配置され、前記第１ハイサイドスイッチの他端及び前記第１モータ端子に電気的に接続された第１中央配線と、
　前記基板の上面に前記電源配線の前記他端と前記第３接地配線との間に位置するように設けられ、上面に前記第３ローサイドスイッチが配置され、前記第３ハイサイドスイッチの他端及び前記第３モータ端子に電気的に接続された第３中央配線と、
　前記基板の上面に前記電源配線と前記第２接地配線との間に位置し且つ前記第１中央配線と前記第３中央配線との間に位置するように設けられ、上面に前記第２ローサイドスイッチが配置され、前記第２ハイサイドスイッチの他端及び前記第２モータ端子に電気的に接続された第２中央配線と、をさらに備える
　ことを特徴とする。
　本発明の一態様に係る半導体モジュールは、基板と、基板上に第１辺に沿って設けられた電源配線と、電源配線に接続された電源端子と、基板上に、基板の第１辺に対向する第２辺に沿って設けられた、第１接地配線、第２接地配線、及び、第３接地配線と、第１接地配線に接続された第１接地端子、第２接地配線に接続された第２接地端子、及び第３接地配線に接続された第３接地端子と、３相モータのコイルにそれぞれ接続される第１ないし第３モータ端子と、電源配線と第１ないし第３接地配線との間でハイサイドスイッチとローサイドスイッチとがそれぞれ直列に接続されて構成されるとともに、ハイサイドスイッチとローサイドスイッチとの接続点がそれぞれ第１ないし第３モータ端子に接続され、互いに並列に接続される第１ないし第３のハーフブリッジと、第１ないし第３のハーフブリッジのハイサイドスイッチとローサイドスイッチの動作を制御する制御信号が入力される第１ないし第６制御信号端子と、を備える。
　そして、第１接地端子、第２接地端子、及び第３接地端子は、第２辺に沿って離間して並んで設けられ、それぞれの間が電気的に絶縁されている。　
　これにより、本発明の半導体モジュールによれば、各接地配線のインダクタンスを小さくして、当該半導体モジュールを構成するハーフブリッジのスイッチによるスイッチングノイズを低減することができる。
図１は、実施例１に係る半導体モジュール１００の構成の一例を示す図である。 図２は、図１に示す半導体モジュール１００の回路構成の一例を示す回路図である。 図３は、従来の半導体モジュールの構成の一例を示す図である。 図４は、図３に示す従来の半導体モジュールの回路構成の一例を示す回路図である。
　以下、本発明に係る実施形態について図面に基づいて説明する。
　実施例１に係る半導体モジュール１００は、例えば、直流を３相の交流に変換し、当該３相の交流を３相モータに供給して駆動するためのインバータ装置である。
　この半導体モジュール１００は、例えば、図１、図２に示すように、基板Ｂと、電源配線ＳＸと、電源端子Ｖｉｎと、第１接地配線ＧＸ１と、第２接地配線ＧＸ２と、第３接地配線ＧＸ３と、第１接地端子ＧＮＤ１と、第２接地端子ＧＮＤ２と、第３接地端子ＧＮＤ３と、第１モータ端子Ｐ１と、第２モータ端子Ｐ２と、第３モータ端子Ｐ３と、第１のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）と、第２のハーフブリッジ（Ｑ２、Ｑ５）と、第３のハーフブリッジ（Ｑ３、Ｑ６）と、第１ないし第６制御信号端子Ｑ１Ｇ～Ｑ６Ｇと、第１ないし第６制御用ボンディングワイヤＢＷ１～ＢＷ６と、サーミスタＴＭと、第１温度検出信号端子ＴＭ１と、第２温度検出信号端子ＴＭ２と、第１支持用ダミー配線Ｚａと、第２支持用ダミー配線Ｚｂと、第３支持用ダミー配線Ｚｃと、第４支持用ダミー配線Ｚｄと、第１中央配線ＭＸ１と、第２中央配線ＭＸ２と、第３中央配線ＭＸ３と、封止部材Ｋと、を備える。
　ここで、基板Ｂは、例えば、セラミック基板等の絶縁基板である。
　この基板Ｂは、矩形の形状を有する。そして、基板Ｂの第１辺Ｂ１の長さとこの第１辺Ｂ１に対向する第２辺Ｂ２の長さは同じである。そして、基板Ｂの第３辺Ｂ３の長さとこの第３辺Ｂ３に対向する第４辺Ｂ４の長さは同じである。そして、基板Ｂの第１辺Ｂ１の長さは、第３辺Ｂ３の長さよりも、長くなっている。
　なお、この基板Ｂの第１辺Ｂ１が延在する第１方向Ｄ１と、基板Ｂの第３辺Ｂ３が延在する第２方向Ｄ２とは、直交するようになっている。
　また、電源配線ＳＸは、基板Ｂ上に第１辺Ｂ１に沿って設けられている。
　また、電源端子Ｖｉｎは、電源配線ＳＸに接続されている。この電源端子Ｖｉｎは、直流の電源電圧が印加されるようになっている。
　また、第１接地配線ＧＸ１、第２接地配線ＧＸ２、及び、第３接地配線ＧＸ３は、基板Ｂ上に、基板Ｂの第１辺Ｂ１に対向する第２辺Ｂ２に沿って設けられている。
　そして、第１接地配線ＧＸ１は、第１ローサイドスイッチＱ４の第２電極（ソース）にボンディングワイヤを介して接続されている。
　そして、第２接地配線ＧＸ２は、第２ローサイドスイッチＱ５の第２電極（ソース）にボンディングワイヤを介して接続されている。
　そして、第３接地配線ＧＸ３は、第３ローサイドスイッチＱ６の第２電極（ソース）にボンディングワイヤを介して接続されている。
　また、第１接地端子ＧＮＤ１は、例えば、図１に示すように、第１接地配線ＧＸ１に接続されている。この第１接地端子ＧＮＤ１は、接地されるようになっている。　
　そして、この第１接地端子ＧＮＤ１の一端は、第１及び第２辺Ｂ１、Ｂ２に交わる基板Ｂの第３辺Ｂ３に近接する第１接地配線ＧＸ１の端部と接続されている。
　また、第２接地端子ＧＮＤ２は、例えば、図１に示すように、第２接地配線ＧＸ２に接続されている。この第２接地端子ＧＮＤ２は、接地されるようになっている。
　そして、この第２接地端子ＧＮＤ２の一端は、第２辺Ｂ２に近接する第２接地配線ＧＸ２の端部と接続されている。
　また、第３接地端子ＧＮＤ３は、例えば、図１に示すように、第３接地配線ＧＸ３に接続されている。この第３接地端子ＧＮＤ３は、接地されるようになっている。
　そして、この第３接地端子ＧＮＤ３の一端は、基板Ｂの第３辺Ｂ３に対向する第４辺Ｂ４に近接する第３接地配線ＧＸ３の端部と接続されている。
　なお、これらの第１ないし第３接地配線ＧＮＤ１、ＧＮＤ２、ＧＮＤ３のそれぞれの面積は、電源配線Ｖｉｎの面積よりも小さくなるように設定されている。
　特に、第１接地端子ＧＮＤ１、第２接地端子ＧＮＤ２、及び第３接地端子ＧＮＤ３は、例えば、図１に示すように、基板Ｂの第２辺Ｂ２に沿って離間して並んで設けられ、それぞれの間が電気的に絶縁されている（図１の領域１０）。
　また、第１ないし第３モータ端子Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３は、３相モータ（図示せず）のＵ相、Ｖ相、Ｗ相コイルにそれぞれ接続されるようになっている。
　より具体的には、第１モータ端子Ｐ１は、当該３相モータの第１相（Ｕ相）のコイルに接続されるようになっている。そして、第２モータ端子Ｐ２は、当該３相モータの第２相（Ｖ相）のコイルに接続されるようになっている。そして、第３モータ端子Ｐ３は、当該３相モータの第３相（Ｗ相）のコイルに接続されるようになっている。
　ここで、第１のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）は、例えば、図１、図２に示すように、第１ハイサイドスイッチＱ１と、第１ローサイドスイッチＱ４と、を有する。
　そして、第１ハイサイドスイッチＱ１は、一端が電源端子ＳＸの一端に電気的に接続され、他端が第１モータ端子Ｐ１の一端に電気的に接続されている。
　そして、第１ローサイドスイッチＱ４は、一端が第１モータ端子Ｐ１の一端に電気的に接続され、他端が第１接地配線ＧＸ１に電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、第１のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）の第１ハイサイドスイッチＱ１は、電源配線ＳＸの一端上に配置されている。そして、この第１ハイサイドスイッチＱ１は、電源配線ＳＸに第１電極（ドレイン）が電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、この第１ハイサイドスイッチＱ１の制御電極（ゲート）と第１制御信号端子Ｑ１Ｇとが第１制御用ボンディングワイヤＢＷ１により電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、この第１のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）の第１ローサイドスイッチＱ４の制御電極（ゲート）と第４制御信号端子Ｑ４Ｇとを電気的に接続する第４制御用ボンディングワイヤＢＷ４は、第１接地配線ＧＸ１上を通過するように配線されている。
　また、第２のハーフブリッジ（Ｑ２、Ｑ５）は、例えば、図１、図２に示すように、第２ハイサイドスイッチＱ２と、第２ローサイドスイッチＱ５と、を有する。
　そして、第２ハイサイドスイッチＱ２は、一端が電源端子ＳＸの一端と他端との間に電気的に接続され、他端が第２モータ端子Ｐ２の一端に電気的に接続されている。
　そして、第２ローサイドスイッチＱ５は、一端が第２モータ端子Ｐ２の一端に電気的に接続され、他端が第２接地配線ＧＸ２に電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、この第２のハーフブリッジ（Ｑ２、Ｑ５）の第２ハイサイドスイッチＱ２は、第１ハイサイドスイッチＱ１と第３ハイサイドスイッチＱ３との間に位置するように、電源配線ＳＸ上に配置されている。そして、この第２ハイサイドスイッチＱ２は、第１電極（ドレイン）が電源配線ＳＸに電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、この第２ハイサイドスイッチＱ２の制御電極（ゲート）と第２制御信号端子Ｑ２Ｇとが第２制御用ボンディングワイヤＢＷ２により電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、この第２のハーフブリッジ（Ｑ２、Ｑ５）の第２ローサイドスイッチＱ５の制御電極（ゲート）と第５制御信号端子Ｑ５Ｇとを接続する第５制御用ボンディングワイヤＢＷ５は、第２接地配線ＧＸ２上を通過するように配線されている。
　さらに、第３のハーフブリッジ（Ｑ３、Ｑ６）は、例えば、図１、図２に示すように、第３ハイサイドスイッチＱ３と、第３ローサイドスイッチＱ６と、を有する。
　そして、第３ハイサイドスイッチＱ３は、一端が電源端子ＳＸの他端に電気的に接続され、他端が第３モータ端子Ｐ３の一端に電気的に接続されている。
　そして、第３ローサイドスイッチＱ６は、一端が第３モータ端子Ｐ３の他端に電気的に接続され、他端が第３接地配線ＧＸ３に電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、この第３のハーフブリッジ（Ｑ３、Ｑ６）の第３ハイサイドスイッチＱ３は、電源配線ＳＸの他端上に配置されている。そして、この第３ハイサイドスイッチＱ３は、第１電極（ドレイン）が電源配線ＳＸに電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、この第３ハイサイドスイッチＱ３の制御電極（ゲート）と第３制御信号端子Ｑ３Ｇとが第３制御用ボンディングワイヤＢＷ３により電気的に接続されている。
　そして、例えば、図１に示すように、第３のハーフブリッジ（Ｑ３、Ｑ６）の第３ローサイドスイッチＱ６の制御電極（ゲート）と第６制御信号端子Ｑ６Ｇとを接続する第６制御用ボンディングワイヤＢＷ６は、第３接地配線ＧＸ３上を通過するように配線されている。
　このように、第１ないし第３のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）、（Ｑ２、Ｑ５）、（Ｑ３、Ｑ６）は、電源配線Ｖｉｎと第１ないし第３接地配線ＧＸ１、ＧＸ２、ＧＸ３との間でハイサイドスイッチＱ１、Ｑ２、Ｑ３とローサイドスイッチＱ４、Ｑ５、Ｑ６とがそれぞれ直列に接続されて構成されている。
　そして、第１ないし第３のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）、（Ｑ２、Ｑ５）、（Ｑ３、Ｑ６）は、ハイサイドスイッチＱ１、Ｑ２、Ｑ３とローサイドスイッチＱ４、Ｑ５、Ｑ６との接続点がそれぞれ第１ないし第３モータ端子Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３に接続され、互いに並列に接続されている。
　また、第１中央配線ＭＸ１は、例えば、図１に示すように、基板Ｂの上面に電源配線ＳＸの一端と第１接地配線ＧＸ１との間に位置するように設けられている。
　そして、この第１中央配線ＭＸ１は、上面に第１ローサイドスイッチＱ４が配置されている。そして、この第１中央配線ＭＸ１は、当該第１ハイサイドスイッチＱ１の他端（ソース）及び第１モータ端子Ｐ１に電気的に接続されている。
　また、第３中央配線ＭＸ３は、例えば、図１に示すように、基板Ｂの上面に電源配線ＳＸの他端と第３接地配線ＧＸ３との間に位置するように設けられている。
　そして、この第３中央配線ＭＸ３は、上面に第３ローサイドスイッチＱ６が配置されている。そして、この第３中央配線ＭＸ３は、第３ハイサイドスイッチＱ３の他端（ソース）及び第３モータ端子Ｐ３に電気的に接続されている。
　また、第２中央配線ＭＸ２は、例えば、図１に示すように、基板Ｂの上面に電源配線ＳＸと第２接地配線ＧＸ２との間に位置し且つ第１中央配線ＭＸ１と第３中央配線ＭＸ３との間に位置するように設けられている。
　そして、この第２中央配線ＭＸ２は、上面に第２ローサイドスイッチＱ５が配置されている。そして、この第２中央配線ＭＸ２は、第２ハイサイドスイッチＱ２の他端（ソース）及び第２モータ端子Ｐ２に電気的に接続されている。
　また、第１ないし第６制御信号端子（Ｑ１Ｇ～Ｑ６Ｇ）は、例えば、図１に示すように、第１ないし第３のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）、（Ｑ２、Ｑ５）、（Ｑ３、Ｑ６）の第１ないし第３ハイサイドスイッチＱ１～Ｑ３と第１ないし第３ローサイドスイッチＱ４～Ｑ６の動作を制御する制御信号が入力されるようになっている。
　なお、第１ないし第３制御信号端子Ｑ１Ｇ、Ｑ２Ｇ、Ｑ３Ｇは、それぞれの一端が基板Ｂの第１辺Ｂ１に近接するように、第１辺Ｂ１が延在する方向に沿って並んで配置されている。
　特に、第１制御信号端子Ｑ１Ｇは、例えば、図１に示すように、電源端子Ｖｉｎと第１モータ端子Ｐ１との間に配置されている。
　さらに、第２制御信号端子Ｑ２Ｇは、例えば、図１に示すように、第１モータ端子Ｐ１と第２モータ端子Ｐ２との間に配置されている。
　さらに、第３制御信号端子Ｑ３Ｇは、例えば、図１に示すように、第２モータ端子Ｐ２と第３モータ端子Ｐ３との間に配置されている。
　また、第４ないし第６制御信号端子Ｑ４、Ｑ５、Ｑ６は、それぞれの一端が基板Ｂの第２辺Ｂ２に近接するように、第２辺Ｂ２が延在する方向に沿って並んで配置されている。
　特に、第４制御信号端子Ｑ４Ｇは、例えば、図１に示すように、第１接地端子ＧＮＤ１と第２接地端子ＧＮＤ２との間に配置されている。
　そして、第５及び第６制御信号端子Ｑ５Ｇ、Ｑ６Ｇは、例えば、図１に示すように、第２接地端子ＧＮＤ２と第３接地端子ＧＮＤ３との間に配置されている。
　また、サーミスタＴＭは、基板Ｂ上において、第１接地配線ＧＸ１と第２接地配線ＧＸ２との間、又は、第２接地配線ＧＸ２と第３接地配線ＧＸ３との間に位置するように、基板Ｂの第２辺Ｂ２に近接して配置されている。このサーミスタＴＭは、その周辺の温度を検出するための素子である。
　特に、図１に示す例では、このサーミスタＴＭは、第２接地配線ＧＸ２と第３接地配線ＧＸ３との間に位置するように、基板Ｂの第２辺Ｂ２に近接して配置されている。
　そして、第１温度検出信号端子ＴＭ１は、例えば、図１に示すように、サーミスタＴＭの一端に電気的に接続されている。
　そして、第２温度検出信号端子ＴＭ２は、例えば、図１に示すように、サーミスタＴＭの他端に電気的に接続されている。
　これらの第１及び第２の温度検出信号端子ＴＭ１、ＴＭ２は、例えば、図１に示すように、第５制御信号端子Ｑ５Ｇと第６制御信号端子Ｑ６Ｇとの間に配置されている。　
　なお、図１の例では、サーミスタＴＨを隣接する第２接地配線ＧＸ２と第３接地配線ＧＸ３との間に配置しているが、必要に応じて、温度が変化し易い、ハイサイドの電源配線Ｖｉｎの近傍に配置するようにしてもよい。
　また、第１支持用ダミー配線Ｚａは、例えば、図１に示すように、基板Ｂの第１辺Ｂ１と第３辺Ｂ３とが交差する板Ｂの第１角部上に設けられている。
　そして、既述の電源端子Ｖｉｎは、例えば、図１に示すように、当該第１支持用ダミー配線Ｚａ上を迂回するように、配置されている。
　また、第２支持用ダミー配線Ｚｂは、例えば、図１に示すように、基板Ｂの第１辺Ｂ１と第４辺Ｂ４とが交差する基板Ｂの第２角部上に設けられている。
　そして、既述の第３モータ端子Ｐ３は、例えば、図１に示すように、当該第２支持用ダミー配線Ｚｂ上を迂回するように、配置されている。
　また、第３支持用ダミー配線Ｚｃは、例えば、図１に示すように、基板Ｂの第２辺Ｂ２と第３辺Ｂ３とが交差する基板Ｂの第３角部上に設けられている。
　そして、既述の第１接地端子ＧＮＤ１は、例えば、図１に示すように、当該第３支持用ダミー配線Ｚｃ上を迂回するように、配置されている。
　また、第４支持用ダミー配線Ｚｄは、基板Ｂの第２辺Ｂ２と第４辺Ｂ４とが交差する基板Ｂの第４角部上に設けられている。
　そして、既述の第３接地端子ＧＮＤ３は、例えば、図１に示すように、当該第４支持用ダミー配線Ｚｄ上を迂回するように、配置されている。
　ここで、これらの第１ないし第４支持用ダミー配線Ｚａ～Ｚｄは、ワイヤボンディング時に基板Ｂを支持部材（図示せず）で抑えるために、ワイヤボンディング時に第１ないし第４支持用ダミー配線Ｚａ～Ｚｄの上面が当該支持部材により抑えられるようになっている。
　これらの第１ないし第４支持用ダミー配線Ｚａ～Ｚｄは、例えば、既述の電源配線ＳＸ等と同じ材質で構成されている。
　なお、実装基板（図示せず）に接続される、第１ないし第３制御信号端子Ｑ１Ｇ～Ｑ３Ｇの他端は、当該実装基板に接続される、電源端子Ｖｉｎの他端、及び、第１ないし第３モータ端子Ｐ１～Ｐ３の他端よりも、基板Ｂの第１辺Ｂ１に近い位置に配置されている。
　さらに、当該実装基板に接続される、第４ないし第６制御信号端子Ｑ４Ｇ～Ｑ６Ｇの他端は、当該実装基板に接続される、第１ないし第３接地端子ＰＧＮＤ１～ＧＮＤ３の他端よりも、基板Ｂの第２辺Ｂ２に近い位置に配置されている。
　これにより、電子モジュール１００を当該実装基板に実装されているＣＰＵに近接して配置した場合に、ＣＰＵに近接して第１ないし第３制御信号端子Ｑ１Ｇ～Ｑ３Ｇの他端及び第４ないし第６制御信号端子Ｑ４Ｇ～Ｑ６Ｇの他端を当該実装基板に接続することができる。すなわち、ＣＰＵから第１ないし第３制御信号端子Ｑ１Ｇ～Ｑ３Ｇの他端及び第４ないし第６制御信号端子Ｑ４Ｇ～Ｑ６Ｇの他端までの配線長を短くすることが可能となる。　
　そして、大電流が流れる、電源端子Ｖｉｎの他端、及び、第１ないし第３モータ端子Ｐ１～Ｐ３の他端、第１ないし第３接地端子ＰＧＮＤ１～ＧＮＤ３の他端を、当該ＣＰＵから離して配置することができる。
　また、封止部材Ｋは、例えば、エポキシ樹脂等の封止樹脂である。なお、図１において、封止部材Ｋは透視されるように表記されている。
　この封止部材Ｋは、例えば、図１に示すように、少なくとも基板Ｂ上で、電源配線ＳＸ、電源端子Ｖｉｎと、第１接地配線ＧＸ１、第２接地配線ＧＸ２、第３接地配線ＧＸ３、第１ないし第３出力配線ＬＭＵ、ＬＭＶ、ＬＭＷ、第１ないし第３中央配線ＬＹＵ、ＬＹＶ、ＬＹＷ、第１電流検出配線ＬＣ１、第２電流検出配線ＬＣ２、接続配線ＬＲ１、第１サーミスタ用配線ＬＴ１、第２サーミスタ用配線ＬＴ２、第１コンデンサＣ１、第２コンデンサＣ２と、抵抗Ｒ１、第１のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）と、第２のハーフブリッジ（Ｑ２、Ｑ５）と、第３のハーフブリッジ（Ｑ３、Ｑ６）と、サーミスタＴＭと、第１支持用ダミー配線Ｚａと、第２支持用ダミー配線Ｚｂと、第３支持用ダミー配線Ｚｃと、第４支持用ダミー配線Ｚｄと、第１中央配線ＭＸ１と、第２中央配線ＭＸ２と、第３中央配線ＭＸ３、第１ないし第６制御用ボンディングワイヤＢＷ１～ＢＷ６、及び、その他のボンディングワイヤ等を、封止するようになっている。
　さらに、この封止部材Ｋは、例えば、図１に示すように、電源端子Ｖｉｎ、第１モータ端子Ｐ１、第２モータ端子Ｐ２、第３モータ端子Ｐ３、第１制御信号端子Ｑ１Ｇ、第２制御信号端子Ｑ２Ｇ、及び、第３制御信号端子Ｑ３Ｇのそれぞれの一端を、基板Ｂの第１辺Ｂ１に沿って封止するようになっている。
　さらに、この封止部材Ｋは、例えば、図１に示すように、第１接地端子ＧＮＤ１、第２接地端子ＧＮＤ２、第３接地端子ＧＮＤ３、第１温度検出信号端子ＴＭ１、第２温度検出信号端子ＴＭ２、第４制御信号端子Ｑ４Ｇ、第５制御信号端子Ｑ５Ｇ、及び、第６制御信号端子Ｑ６Ｇのそれぞれの一端を、基板Ｂの第２辺Ｂ２に沿って封止するようになっている。
　ここで、既述のように、半導体モジュール１００においては、図１に示すように、第１接地配線ＧＸ１、第２接地配線ＧＸ２、及び、第３接地配線ＧＸ３は、基板の第１辺Ｂ１に対向する第２辺Ｂ２に沿って設けられている。そして、第１接地端子ＧＮＤ１は第１接地配線ＧＸ１に接続され、第２接地端子ＧＮＤ２は第２接地配線ＧＸ２に接続され、第３接地端子ＧＮＤ３は第３接地配線ＧＸ３に接続されている。そして、第１接地端子ＧＮＤ１、第２接地端子ＧＮＤ２、及び第３接地端子ＧＮＤ３は、第２辺Ｂ２に沿って離間して並んで設けられ、それぞれの間が電気的に絶縁されている。
　特に、第１ないし第３接地配線ＧＸ１、ＧＸ２、ＧＸ３をリート端子である第１ないし第３接地端子ＧＮＤ１、ＧＮＤ２、ＧＮＤ３が跨いでいないため、配線間のインダクタンス等の影響が低減され、よりノイズを低減することができる。
　したがって、実施例１に係る半導体モジュール１００によれば、各接地配線のインダクタンスを小さくして、当該半導体モジュールを構成するハーフブリッジのスイッチによるスイッチングノイズを低減することができる。
　特に、第１ないし第３接地配線ＧＸ１、ＧＸ２、ＧＸ３をリート端子である第１ないし第３接地端子ＧＮＤ１、ＧＮＤ２、ＧＮＤ３が跨いでいないため、配線間のインダクタンス等の影響が低減され、よりノイズを低減することができる。
　既述の実施例１では、第１ないし第３ハイサイドスイッチＱ１、Ｑ２、Ｑ３、及び、第１ないし第３ローサイドスイッチＱ４、Ｑ５、Ｑ６が、ｎＭＯＳＦＥＴである例（図２）について説明したが、他の半導体素子を適用するようにしてもよい。
　すなわち、これらの第１ないし第３ハイサイドスイッチＱ１、Ｑ２、Ｑ３、及び、第１ないし第３ローサイドスイッチＱ４、Ｑ５、Ｑ６は、同様の機能を実施できるように、例えば、ｐＭＯＳＦＥＴや他の半導体素子で代替するようにしてもよい。
　なお、この実施例２におけるその他の半導体モジュールの構成は、実施例１と同様である。
　以上のように、本発明の一態様に係る半導体モジュール１００は、基板Ｂと、基板上に第１辺Ｂ１に沿って設けられた電源配線ＳＸと、電源配線に接続された電源端子Ｖｉｎと、基板上に、基板の第１辺Ｂ１に対向する第２辺Ｂ２に沿って設けられた、第１接地配線ＧＸ１、第２接地配線ＧＸ２、及び、第３接地配線ＧＸ３と、第１接地配線ＧＸ１に接続された第１接地端子ＧＮＤ１、第２接地配線ＧＸ２に接続された第２接地端子ＧＮＤ２、及び第３接地配線ＧＸ３に接続された第３接地端子ＧＮＤ３と、３相モータのコイルにそれぞれ接続される第１ないし第３モータ端子（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）と、電源配線と第１ないし第３接地配線との間でハイサイドスイッチとローサイドスイッチとがそれぞれ直列に接続されて構成されるとともに、ハイサイドスイッチとローサイドスイッチとの接続点がそれぞれ第１ないし第３モータ端子に接続され、互いに並列に接続される第１ないし第３のハーフブリッジ（Ｑ１、Ｑ４）、（Ｑ２、Ｑ５）、（Ｑ３、Ｑ６）と、第１ないし第３のハーフブリッジのハイサイドスイッチとローサイドスイッチの動作を制御する制御信号が入力される第１ないし第６制御信号端子（Ｑ１Ｇ、Ｑ２Ｇ、Ｑ３Ｇ、Ｑ４Ｇ、Ｑ５Ｇ、Ｑ６Ｇ）と、を備える。
　そして、第１接地端子ＧＮＤ１、第２接地端子ＧＮＤ２、及び第３接地端子ＧＮＤ３は、第２辺Ｂ２に沿って離間して並んで設けられ、それぞれの間が電気的に絶縁されている。　
　これにより、本発明の半導体モジュールによれば、各接地配線のインダクタンスを小さくして、当該半導体モジュールを構成するハーフブリッジのスイッチによるスイッチングノイズを低減することができる。
　本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
１００　半導体モジュール
Ｂ　基板
ＳＸ　電源配線
Ｖｉｎ　電源端子
ＧＸ１　第１接地配線
ＧＸ２　第２接地配線
ＧＸ３　第３接地配線
ＧＮＤ１　第１接地端子
ＧＮＤ２　第２接地端子
ＧＮＤ３　第３接地端子
Ｐ１　第１モータ端子
Ｐ２　第２モータ端子
Ｐ３　第３モータ端子
Ｑ１Ｇ　第１制御信号端子
Ｑ２Ｇ　第２制御信号端子
Ｑ３Ｇ　第３制御信号端子
Ｑ４Ｇ　第４制御信号端子
Ｑ５Ｇ　第５制御信号端子
Ｑ６Ｇ　第６制御信号端子
ＢＷ１　第１制御用ボンディングワイヤ
ＢＷ２　第２制御用ボンディングワイヤ
ＢＷ３　第３制御用ボンディングワイヤ
ＢＷ４　第４制御用ボンディングワイヤ
ＢＷ５　第５制御用ボンディングワイヤ
ＢＷ６　第６制御用ボンディングワイヤ
ＴＭ　サーミスタ
ＴＭ１　第１温度検出信号端子
ＴＭ２　第２温度検出信号端子
Ｚａ　第１支持用ダミー配線
Ｚｂ　第２支持用ダミー配線
Ｚｃ　第３支持用ダミー配線
Ｚｄ　第４支持用ダミー配線
ＭＸ１　第１中央配線
ＭＸ２　第２中央配線
ＭＸ３　第３中央配線
Ｋ　封止部材
Ｑ１　第１ハイサイドスイッチ
Ｑ２　第２ハイサイドスイッチ
Ｑ３　第３ハイサイドスイッチ
Ｑ４　第１ローサイドスイッチ
Ｑ５　第２ローサイドスイッチ
Ｑ６　第３ローサイドスイッチ

Claims (15)

  1. 　直流を３相の交流に変換し、当該３相の交流を３相モータに供給して駆動するための半導体モジュールであって、
    　基板と、
    　前記基板上に第１辺に沿って設けられた電源配線と、
    　前記電源配線に接続された電源端子と、
    　前記基板上に、前記基板の前記第１辺に対向する第２辺に沿って設けられた、第１接地配線、第２接地配線、及び、第３接地配線と、
    　前記第１接地配線に接続された第１接地端子と、
    　前記第２接地配線に接続された第２接地端子と、
    　前記第３接地配線に接続された第３接地端子と、
    　前記３相モータのコイルにそれぞれ接続される第１ないし第３モータ端子と、
    　前記電源配線と前記第１ないし第３接地配線との間でハイサイドスイッチとローサイドスイッチとがそれぞれ直列に接続されて構成されるとともに、前記ハイサイドスイッチと前記ローサイドスイッチとの接続点がそれぞれ第１ないし第３モータ端子に接続され、互いに並列に接続される第１ないし第３のハーフブリッジと、
    　前記第１ないし第３のハーフブリッジの前記ハイサイドスイッチと前記ローサイドスイッチの動作を制御する制御信号が入力される第１ないし第６制御信号端子と、を備え、
    　前記第１接地端子、前記第２接地端子、及び前記第３接地端子は、前記第２辺に沿って離間して並んで設けられ、それぞれの間が電気的に絶縁されている
    　ことを特徴とする半導体モジュール。
  2. 　前記第１ないし第３接地配線のそれぞれの面積は、前記電源配線の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
  3. 　前記第１接地端子の一端は、前記第１及び第２辺に交わる前記基板の第３辺に近接する前記第１接地配線の端部と接続され、
    　前記第２接地端子の一端は、前記第２辺に近接する前記第２接地配線の端部と接続され、
    　前記第３接地端子の一端は、前記基板の前記第３辺に対向する第４辺に近接する前記第３接地配線の端部と接続されている
    　ことを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
  4. 　前記第１のハーフブリッジの第１ローサイドスイッチの制御電極と前記第４制御信号端子とを接続する第４制御用ボンディングワイヤは、前記第１接地配線上を通過するように配線され、
    　前記第２のハーフブリッジの第２ローサイドスイッチの制御電極と前記第５制御信号端子とを接続する第５制御用ボンディングワイヤは、前記第２接地配線上を通過するように配線され、
    　前記第３のハーフブリッジの第３ローサイドスイッチの制御電極と前記第６制御信号端子とを接続する第６制御用ボンディングワイヤは、前記第３接地配線上を通過するように配線されている
    　ことを特徴とする請求項３に記載の半導体モジュール。
  5. 　前記基板上において、前記第１接地配線と前記第２接地配線との間、又は、前記第２接地配線と前記第３接地配線との間に位置するように、前記基板の第２辺に近接して配置され、温度を検出するためのサーミスタをさらに備える
    　ことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
  6. 　前記サーミスタは、前記第２接地配線と前記第３接地配線との間に位置するように、前記基板の第２辺に近接して配置されており、
    　前記半導体モジュールは、
    　前記サーミスタの一端に電気的に接続された第１温度検出信号端子と、
    　前記サーミスタの他端に電気的に接続された第２温度検出信号端子と、をさらに備え、
    　前記第１及び第２の温度検出信号端子は、前記第５制御信号端子と前記第６制御信号端子との間に配置されている
    　ことを特徴とする請求項５に記載の半導体モジュール。　
  7. 　前記第１辺と前記第３辺とが交差する前記基板の第１角部上に設けられた第１支持用ダミー配線と、
    　前記第１辺と前記第４辺とが交差する前記基板の第２角部上に設けられた第２支持用ダミー配線と、
    　前記第２辺と前記第３辺とが交差する前記基板の第３角部上に設けられた第３支持用ダミー配線と、
    　前記第２辺と前記第４辺とが交差する前記基板の第４角部上に設けられた第４支持用ダミー配線と、
    　をさらに備え、
    　前記第１ないし第４支持用ダミー配線は、ワイヤボンディング時に前記基板を支持部材で抑えるために、前記ワイヤボンディング時に前記第１ないし第４支持用ダミー配線の上面が前記支持部材により抑えられるようになっている
    　ことを特徴とする請求項４に記載の半導体モジュール。
  8. 　前記第１接地配線は、前記第１ローサイドスイッチの第２電極にボンディングワイヤを介して接続され、
    　前記第２接地配線は、前記第２ローサイドスイッチの第２電極にボンディングワイヤを介して接続され、
    　前記第３接地配線は、前記第３ローサイドスイッチの第２電極にボンディングワイヤを介して接続されている
    　ことを特徴とする請求項４に記載の半導体モジュール。
  9. 　前記電源端子は、前記第１支持用ダミー配線上を迂回するように、配置され、
    　前記第３モータ端子は、前記第２支持用ダミー配線上を迂回するように、配置され、
    　前記第１接地端子は、前記第３支持用ダミー配線上を迂回するように、配置され、
    　前記第３接地端子は、前記第４支持用ダミー配線上を迂回するように、配置されている
    　ことを特徴とする請求項８に記載の半導体モジュール。
  10. 　前記第１ないし第３制御信号端子は、それぞれの一端が前記基板の前記第１辺に近接するように、前記第１辺が延在する方向に沿って並んで配置され、
    　前記第４ないし第６制御信号端子は、それぞれの一端が前記基板の前記第２辺に近接するように、前記第２辺が延在する方向に沿って並んで配置されている
    　ことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
  11. 　前記第１制御信号端子は、前記電源端子と前記第１モータ端子との間に配置され、
    　前記第２制御信号端子は、前記第１モータ端子と前記第２モータ端子との間に配置され、
    　前記第３制御信号端子は、前記第２モータ端子と前記第３モータ端子との間に配置されている
    　ことを特徴とする請求項１０に記載の半導体モジュール。
  12. 　前記第４制御信号端子は、前記第１接地端子と前記第２接地端子との間に配置され、
    　前記第５及び第６制御信号端子は、前記第２接地端子と前記第３接地端子との間に配置されている
    　ことを特徴とする請求項１１に記載の半導体モジュール。
  13. 　実装基板に接続される、前記第１ないし第３制御信号端子の他端は、前記実装基板に接続される、前記電源端子の他端、及び、前記第１ないし第３モータ端子の他端よりも、前記基板の前記第１辺に近い位置に配置されており、
    　前記実装基板に接続される、前記第４ないし第６制御信号端子の他端は、前記実装基板に接続される、前記第１ないし第３接地端子の他端よりも、前記基板の前記第２辺に近い位置に配置されている
    　ことを特徴とする請求項１２に記載の半導体モジュール。
  14. 　前記第１のハーフブリッジの第１ハイサイドスイッチは、前記電源配線の一端上に配置され且つ前記電源配線ＳＸに第１電極が電気的に接続され、
    　前記第３のハーフブリッジの第３ハイサイドスイッチは、前記電源配線の他端上に配置され且つ第１電極が前記電源配線に電気的に接続され、
    　前記第２のハーフブリッジの第２ハイサイドスイッチは、前記第１ハイサイドスイッチと前記第３ハイサイドスイッチとの間に位置するように、前記電源配線上に配置され且つ第１電極が前記電源配線に電気的に接続されている
    　ことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
  15. 　前記基板の上面に前記電源配線ＳＸの前記一端と前記第１接地配線との間に位置するように設けられ、上面に前記第１ローサイドスイッチが配置され、前記第１ハイサイドスイッチの他端及び前記第１モータ端子に電気的に接続された第１中央配線と、
    　前記基板の上面に前記電源配線の前記他端と前記第３接地配線との間に位置するように設けられ、上面に前記第３ローサイドスイッチが配置され、前記第３ハイサイドスイッチの他端及び前記第３モータ端子に電気的に接続された第３中央配線と、
    　前記基板の上面に前記電源配線と前記第２接地配線との間に位置し且つ前記第１中央配線と前記第３中央配線との間に位置するように設けられ、上面に前記第２ローサイドスイッチが配置され、前記第２ハイサイドスイッチの他端及び前記第２モータ端子に電気的に接続された第２中央配線と、をさらに備える
    　ことを特徴とする請求項１４に記載の半導体モジュール。
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