WO2019097863A1 - 間欠塗布装置 - Google Patents

間欠塗布装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2019097863A1
WO2019097863A1 PCT/JP2018/036716 JP2018036716W WO2019097863A1 WO 2019097863 A1 WO2019097863 A1 WO 2019097863A1 JP 2018036716 W JP2018036716 W JP 2018036716W WO 2019097863 A1 WO2019097863 A1 WO 2019097863A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
valve body
air cylinder
piston
supply
valve
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/036716
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
敦 渡邉
健太 横井
勝彦 上田
Original Assignee
東レエンジニアリング株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東レエンジニアリング株式会社 filed Critical 東レエンジニアリング株式会社
Priority to CN201880057925.6A priority Critical patent/CN111093838B/zh
Priority to KR1020207013621A priority patent/KR102472016B1/ko
Publication of WO2019097863A1 publication Critical patent/WO2019097863A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B05C5/0258—Coating heads with slot-shaped outlet flow controlled, e.g. by a valve
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1026—Valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work

Definitions

  • the present invention relates to an intermittent coating device that intermittently applies a coating liquid to the surface of a base material that is continuously transported to intermittently form a coated region and a non-coated region.
  • the conventional intermittent coating apparatus applies a coating solution to a flow path for discharging a coating solution supplied from a coating solution tank from a coating die to a substrate surface, and Switching with the flow path to be collected in the liquid tank is performed by two switching valves (supply valve, recovery valve). In this way, it is possible to intermittently form the coated area and the non-coated area on the surface of the base material which is continuously transported while continuously supplying the coating liquid from the coating liquid tank.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and the main object of the present invention is to provide an intermittent coating apparatus for driving a switching valve using an air cylinder, which has a coating film at the coating start end even if the coating speed is increased. It is providing the intermittent coating apparatus which can achieve equalization
  • the intermittent coating apparatus is an intermittent coating apparatus that intermittently applies a coating liquid to the surface of a base material that is continuously transported to intermittently form a coated area and an uncoated area.
  • a drive unit for driving the valve body the drive unit being configured of a first air cylinder and a second air cylinder, the first air cylinder being a first piston of the first piston connected to the valve body;
  • the reciprocation controls the opening and closing of the valve body, and the second air cylinder drives the second piston connected to the valve body in the direction in which the first piston closes the valve body.
  • the intermittent coating apparatus in the intermittent coating apparatus that drives the switching valve using an air cylinder, the intermittent coating apparatus can achieve uniform film thickness of the coating film at the coating start end even if the coating speed is increased. Can be provided.
  • FIG. 7 is a view showing the arrangement of a second air cylinder in another embodiment of the present invention, in which (a) shows an operation of closing the supply valve and (b) shows an operation of opening the supply valve.
  • FIG. 6A is a diagram showing an operation of driving the opening and closing of a supply valve by a conventional air cylinder, wherein (a) shows an operation of closing the supply valve, and (b) shows an operation of opening the supply valve.
  • FIG. 7 is a view showing a general configuration of the conventional intermittent application device 100. As shown in FIG.
  • the coating liquid 120 stored in the coating liquid tank 110 is fed by the pump 111 provided in the middle of the supply path 121, and is supplied to the manifold 116 in the coating die 115.
  • the coating liquid 120 supplied to the manifold 116 is discharged from the slit of the coating die 115 to form the coating film 131 on the surface of the base material 130.
  • a supply valve 112 having a valve body for opening and closing the supply passage 121 is provided in the supply passage 121 between the pump 111 and the coating die 115. Further, the recovery passage 122 connected to the coating liquid tank 110 branches from the middle of the supply passage 121, and the recovery passage 122 is provided with a recovery valve 117 having a valve body for opening and closing the recovery passage 122. Further, the valve bodies of the supply valve 112 and the recovery valve 117 are respectively driven by the air cylinders 113 and 118, and the driving is controlled by the control unit 119.
  • FIG. 8 is a view showing an operation of driving the opening and closing of the supply valve 112 by the air cylinder 113, and FIG. 8 (a) shows an operation of closing the supply valve 112, and FIG. The operation of opening 112 is shown.
  • the supply valve 112 has a valve body 142, a liquid storage chamber 141 into which the coating liquid 120 enters from the supply passage 121, and a liquid storage chamber 140 from which the coating liquid 120 flows out from the supply passage 121, with the valve seat 143 interposed therebetween.
  • the air cylinder 113 has pressure chambers 150 and 151 across the piston 152, and the piston 152 is connected to the valve body 142 via a rod 153.
  • the piston 152 is moved in the direction of the valve body 142 by supplying pressure air of pressure P to the pressure chamber 150.
  • the valve body 142 moves integrally with the piston 152 and leaves the valve seat 143, whereby the supply valve 112 is opened and the supply of the coating liquid 120 is started.
  • supply of pressure air to the pressure air chambers 150 and 151 and release to the atmosphere (or exhaust) can be performed using, for example, a solenoid valve.
  • the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chambers 150 and 151 be the same magnitude.
  • FIG. 9 is a diagram showing the opening / closing operation of the supply valve 112 and the recovery valve 117 in intermittent coating, and the film thickness of the coated film when the coated area / uncoated area is formed by intermittent coating.
  • the supply valve 112 when forming the application area, the supply valve 112 is opened, the recovery valve 117 is closed, and the application liquid 120 is applied from the application die 115 to the surface of the substrate 130 to form the application area. Do. Further, when forming the uncoated area, the supply valve 112 is closed, the recovery valve 117 is opened, and the coating liquid 120 is recovered to the coating solution tank 110 through the recovery path 122.
  • FIG. 10 there is a method of slightly delaying the timing of closing the recovery valve 117 in order to eliminate the swelling of the coating film at the coating start end. Since the pressure of the coating liquid 120 in the supply channel 121 which has risen at the start of the supply of the coating liquid 120 can be released to the recovery channel 122 side, as shown in FIG. 10, the coating film at the coating start end Can eliminate the excitement of
  • the discharge amount per unit time of the coating liquid 120 from the coating die 115 is increased in order to improve the productivity, it is difficult to eliminate the swelling of the coating film at the coating start end only by the above method. Become.
  • the time for forming the uncoated area (the time for which the supply valve 112 is closed) becomes very short. For example, when the transport speed of the substrate 130 is 60 m / min, if the length of the non-coated area is 10 mm, the time during which the supply valve 112 is closed becomes very short, 10 msec. Therefore, it is difficult to control the timing at which the recovery valve 117 is closed in synchronization with the timing at which the supply valve 112 is opened.
  • the supply valve 112 is used to suppress the pressure increase of the coating solution 120 in the supply passage 121 communicating with the coating die 115 when the supply of the coating solution 120 is started. It is conceivable to lower the moving speed of the piston 152 of the air cylinder 113 at the time of opening. For that purpose, it is necessary to reduce the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 150.
  • the pressure P 1 of the pressure air supplied to the pressure chamber 151 when closing the supply valve 112, and the pressure P 2 of the pressure air supplied to the pressure chamber 150 when opening the supply valve 112, different sizes (P 1 > P 2 ). Therefore, when switching between supply of pressure air to the pressure chambers 150 and 151 / opening to the atmosphere is continued, a pressure difference occurs between the pressures P 1 and P 2 of the pressure air supplied to the pressure chambers 150 and 151.
  • the reciprocating motion of the piston 152 becomes unstable.
  • the reciprocation of the piston 152 is unstable due to factors such as residual pressure in the air pressure chambers 150 and 151 at the time of switching and pressure loss in piping from the solenoid valve to the air pressure chambers 150 and 151.
  • the inventor (or the like) of the present application as means for reducing the moving speed of the piston of the air cylinder when opening the supply valve, opposes the moving direction of the piston of the air cylinder to the air cylinder that drives the valve body of the supply valve.
  • the idea of adding an air sinker that loads in the direction as a brake cylinder has come to the present invention.
  • FIG. 1 is a view schematically showing a configuration of an intermittent application device in an embodiment of the present invention.
  • the intermittent coating device in this embodiment is a device which applies a coating liquid intermittently to the surface of the base material conveyed continuously, and forms a coating area
  • the intermittent coating apparatus 1 includes a coating liquid tank (supply unit) 10 for supplying the coating liquid 20 and a coating liquid 20 supplied from the coating liquid tank 10 through the supply passage 21.
  • An application die (application portion) 15 for applying on the surface of the substrate 30, a supply valve 12 having a valve body for opening and closing the supply path 21, and a drive portion for driving the valve body are provided.
  • the drive unit in the present embodiment is configured of the first air cylinder 13 and the second air cylinder 14. Further, the drive of the first air cylinder 13 is controlled by the control unit 19.
  • the coating liquid 20 stored in the coating liquid tank 10 is fed by the pump 11 provided in the middle of the supply path 21 and supplied to the manifold 16 in the coating die 15. Then, the coating solution 20 supplied to the manifold 16 is discharged from the slit of the coating die 15, and the coating film 31 is formed on the surface of the substrate 30.
  • the recovery passage 22 connected to the coating liquid tank 10 is branched from the middle of the supply passage 21, and the recovery passage 22 is provided with a recovery valve 17 having a valve body for opening and closing the recovery passage 122.
  • the valve body of the recovery valve 17 is driven by the air cylinder 18, and the drive is controlled by the control unit 19.
  • FIG. 2 is a view showing an operation of driving the opening and closing of the supply valve 12 by the first and second air cylinders 13 and 14, and FIG. 2 (a) shows an operation of closing the supply valve 12, 2 (b) shows the operation of opening the supply valve 12.
  • the supply valve 12 has a valve body 42, a liquid storage chamber 41 into which the coating liquid 20 enters from the supply passage 21 with the valve seat 43 interposed, and a liquid storage chamber 40 from which the coating liquid 20 flows out from the supply passage 21. .
  • the first air cylinder 13 has pressure air chambers 50 and 51 with the first piston 52 interposed therebetween, and the first piston 52 is connected to the valve body 42 via a rod 53.
  • the first air cylinder 13 controls the opening and closing of the valve body 42 by the reciprocating operation of the first piston 52 connected to the valve body 42.
  • the second air cylinder 14 is disposed on the same side as the first air cylinder 13 with respect to the supply valve 12.
  • two second air cylinders 14 having the same structure are arranged in parallel on both sides of the first air cylinder 13.
  • the second air cylinder 14 has pressure air chambers 60, 61 with the second piston 62 interposed therebetween, and the second piston 62 is connected to the valve body 42 via a rod 63.
  • the rod 63 is connected 53 to the valve body 42 integrally with the rod 53.
  • the first piston 52 is moved in the opposite direction to the valve body 42 by supplying the pressure air of the pressure P to the pressure chamber 51 of the first air cylinder 13.
  • the valve body 42 moves integrally with the first piston 52 and abuts on the valve seat 43 to close the supply valve 12 and stop the supply of the coating liquid 20.
  • the driving force F by the piston is determined by the product of the pressure P of the pressure air supplied to the compressed air chamber and the surface area of the piston, but in the present embodiment, the first piston 52 in the first air cylinder 13
  • the driving force F 1 of the second air cylinder 14 is set to be larger than the sum (2F 2 ) of the driving force F 2 of the second piston in the second air cylinder 14.
  • the first piston 52 is operated by the driving force F 1 by supplying the pressure air of the pressure P to the pressure chamber 50 of the first air cylinder 13. Move in the direction of the body 42.
  • the valve body 42 moves integrally with the piston 52 and is separated from the valve seat 43, whereby the supply valve 12 is opened and the supply of the coating liquid 20 is started.
  • the driving force F 1 of the first piston 52 while driving in the direction to open the valve member 42, the second piston 62, the driving force F 2 in the direction of closing the valve element 42 Is working. That is, by the driving force F2 of the second piston 62, a constant brake is applied in a direction that opposes the movement of the first piston 52 in the direction of opening the valve body 42. Thereby, the moving speed of the first piston 52 when opening the valve body 42 can be reduced. As a result, as shown in FIG. 3, since the pressure rise of the coating liquid 20 in the supply passage 21 communicating with the coating die 15 can be suppressed when the supply of the coating liquid 20 is started, the coating film swells at the coating start end Can be eliminated.
  • the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 51 when the supply valve 12 is closed and the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 50 when the supply valve 12 is opened are the same. Since the pressure is set to the value, even if the supply of the pressure air to the compressed air chambers 50 and 51 / the open to the atmosphere is continuously switched, the reciprocating operation of the first piston 52 can be stably performed. Therefore, as shown in FIG. 3, the length L of the application area can be stably formed.
  • the second piston 62 is also driven. , it is working driving force F 2 in the direction of closing the valve body 42. Therefore, when closing the valve body 42, the moving speed of the first piston 52 is increased, but this acts in the direction of rapidly stopping the supply of the coating liquid 20 to the coating die 15, so the film thickness of the coating film It does not affect the change.
  • the pressure air of the constant pressure P is always supplied to the pressure air chamber 61 of the second air cylinder 14, the reciprocation operation of the first piston 52 can be stably performed. it can.
  • FIG. 4 is a view showing the arrangement of the second air cylinder 14 in another embodiment of the present invention, and FIG. 4 (a) shows an operation for closing the supply valve 12, and FIG. 4 (b) is The operation of opening the supply valve 12 is shown.
  • the second air cylinder 14 in the present embodiment is disposed on the opposite side of the supply valve 12 from the first air cylinder 13.
  • the second piston 62 is directly connected to the valve body 42 via the rod 63.
  • the rod 63 and the rod 53 of the first air cylinder 13 coincide in axial center.
  • the pressure air chamber 61 of the second air cylinder 14 is always supplied with pressure air of a constant pressure P. Therefore, in the second air cylinder 14, the second piston 62 connected to the valve body 42 is always driven in the direction in which the first piston 52 closes the valve body 42. Therefore, as shown in FIG. 4B, a constant brake is applied in a direction that opposes the movement of the first piston 52 in the direction of opening the valve body 42 by the driving force F2 of the second piston 62. It is in a state of being squeezed. Thereby, the moving speed of the first piston 52 when opening the valve body 42 can be reduced. As a result, since the pressure rise of the coating liquid 20 in the supply path 21 communicating with the coating die 15 can be suppressed when the supply of the coating liquid 20 is started, the swelling of the coating film at the coating start end can be eliminated.
  • two second air cylinders 14 are arranged in parallel on both sides of the first air cylinder 13.
  • One second air cylinder 14 may be arranged in parallel on one side. In this case, it is preferable to increase the rigidity of the rod 53 of the first air cylinder 13 and the rod 63 of the second air cylinder 14.
  • the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chambers 50 and 51 of the first air cylinder 13 and the pressure P of the pressure air supplied to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 are
  • the driving force F 1 for driving the first piston 52 in the direction to open the valve body 42 and the driving force F 2 for driving the second piston 62 in the direction to close the valve body 42 have the same value.
  • the pressure of the pressure air supplied to the pressure chambers 50 and 51 of the first air cylinder 13 and the pressure of the pressure air supplied to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 are set so as to be larger than that. You may
  • the configuration has been exemplified in which the pressure air of the constant pressure P is always supplied to the pressure air chamber 61 of the second air cylinder 14. In doing so, preferable since it is possible to maintain the driving force F 2 constant.
  • the supply of pressure air to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 is the supply of pressure air to the pressure chambers 50 and 51 (that is, the first air cylinder 13 It may be configured to be interlocked with driving). Even in this case, while the first air cylinder 13 is being driven, the second air cylinder 14 is driven in the direction to close the valve body 42.
  • the supply of the pressure air to the pressure chamber 61 of the second air cylinder 14 may be performed in conjunction with the supply of the pressure air to the pressure chamber 50.
  • the second air cylinder 14 is driven in the direction to close the valve body 42, and a state where a certain brake is applied It becomes.
  • the first air cylinder 13 for driving the valve body 42 of the supply valve 12 is used as a means for reducing the moving speed of the first piston 52 when the supply valve 12 is opened.
  • the second air cylinder 14 which applies a load in the direction opposite to the moving direction 52 is added as a brake cylinder, for example, as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), it operates in conjunction with the valve body 42.
  • the rod 63 may be connected to both sides of the rod 53 with respect to the first air cylinder 13, and the rod 63 may be provided with a brake mechanism 70 for applying a constant reaction force.
  • the brake mechanism 70 can be configured by attaching the plate 71 to the tip of the pair of rods 63 and arranging the friction pad 72 at the position where the plate 71 is held.
  • the first piston 52, the driving force F 1 is driven in the direction to open the valve body 42 is to be greater than the frictional force R applied to the rod 63 which operates in conjunction with the valve body 42 It is set.
  • a fixed brake is applied in a direction that opposes the movement of the first piston 52 in the direction of opening the valve body 42.
  • the moving speed of the first piston 52 when opening the valve body 42 can be reduced.
  • FIG. 6 (a) and 6 (b) show other examples of the brake mechanism, and FIG. 6 (a) shows the operation of closing the supply valve 12, and FIG. 6 (b) shows the supply valve 12 Shows the action of opening the brake mechanism
  • a rod 81 that reciprocates in conjunction with the valve body 42 is connected to the valve body 42 on the opposite side to the first air cylinder 13.
  • the brake mechanism can be configured.

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

塗布速度を上げても、塗布開始端部における塗布膜の膜厚の均一化を図ることが できる間欠塗布装置を提供する。具体的には、本発明の間欠塗布装置１は、塗液２０を供給する供給部１０と、供給部から供給された塗液を、供給路２１を介して基材３０の表面に塗布する塗布部１５と、供給路を開閉する弁体４２を有する供給バルブ１２と、弁体を駆動する駆動部とを備え、駆動部は、第１のエアシリンダ１３と、第２のエアシリンダ１４とで構成され、第１のエアシリンダは、弁体に連結された第１のピストン５２の往復動作により、弁体の開閉を制御し、第２のエアシリンダは、弁体に連結された第２のピストン６２が、第１のピストンが弁体を閉鎖する方向に駆動される。

Description

間欠塗布装置
　本発明は、連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する間欠塗布装置に関する。
　従来の間欠塗工装置は、例えば、特許文献１等に記載されているように、塗液タンクから供給された塗液を、塗布ダイから基材表面に吐出させる流路と、塗液を塗液タンクに回収させる流路との切り替えを、２つの切替バルブ（供給バルブ、回収バルブ）によって行っている。これにより、塗液タンクからの塗液の供給を連続的に行いながら、連続的に搬送される基材の表面に、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成することができる。
特開２０１４－１８８４４９号公報
　単位時間当たりの塗布面積を増やして、生産性を向上させるためには、塗布ダイからの塗液の単位時間当たりの吐出量、及び基材の搬送速度（すわなち、塗布速度）を上げる必要がある。
　基板の搬送速度を上げた場合、連続搬送される基材の表面に、所定のタイミングで、塗布領域及び未塗布領域を形成するためには、２つの切替バルブ（供給バルブ、回収バルブ）の切り替えを素早く行う必要があり、そのためには、切替バルブの駆動速度を上げる必要がある。そのため、切替バルブの駆動には、電動アクチュエータ（例えば、サーボモータ）よりも応答性に優れたエアシリンダを用いることが好ましい。
　しかしながら、エアシリンダを用いて切替バルブを高速で駆動させた場合、エアシリンダ内に入力される空気圧や、弁体に連結したピストンのストローク内での速度を、精度よく制御することが難しい。そのため、基材表面に形成される塗布膜の膜厚を均一に形成することが困難になる。特に、塗液の供給開始時には、弁体の移動によって加圧状態になるため、塗布ダイからの塗液の吐出量が一瞬多くなる。そのため、塗布開始端部において、塗布膜の膜厚が厚くなる（盛り上がる）という問題が発生する。しかしながら、従来、塗布速度を上げたときに発生する、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりについては、考慮されていなかった。
　本発明は、上記課題に鑑みなされたもので、その主な目的は、エアシリンダを用いて切替バルブの駆動を行う間欠塗布装置において、塗布速度を上げても、塗布開始端部における塗布膜の膜厚の均一化を図ることができる間欠塗布装置を提供することにある。
　本発明に係る間欠塗布装置は、連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する間欠塗布装置であって、塗液を供給する供給部と、供給部から供給された塗液を、供給路を介して、基材の表面に塗布する塗布部と、供給路を開閉する弁体を有する供給バルブと、弁体を駆動する駆動部とを備え、駆動部は、第１のエアシリンダと、第２のエアシリンダとで構成され、第１のエアシリンダは、弁体に連結された第１のピストンの往復動作により、弁体の開閉を制御し、第２のエアシリンダは、弁体に連結された第２のピストンが、第１のピストンが弁体を閉鎖する方向に駆動される。
　本発明によれば、エアシリンダを用いて切替バルブの駆動を行う間欠塗布装置において、塗布速度を上げても、塗布開始端部における塗布膜の膜厚の均一化を図ることができる間欠塗布装置を提供することができる。
本発明の一実施形態における間欠塗布装置の構成を模式的に示した図である。 第１及び第２のエアシリンダによって、供給バルブの開閉を駆動する動作を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。 本発明の間欠塗布装置を用いて塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した側面図である。 本発明の他の実施形態における第２のエアシリンダの配置を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。 本発明の他の実施形態におけるブレーキ機構の構成を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。 本発明の他の実施形態におけるブレーキ機構の構成を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。 従来の間欠塗布装置の一般的な構成を示した図である。 従来のエアシリンダによって、供給バルブの開閉を駆動する動作を示した図で、（a）は、供給バルブを閉鎖する動作を示し、（ｂ）は、供給バルブを開放する動作を示す。 従来の間欠塗布における供給バルブ及び回収バルブの開閉動作と、間欠塗布により塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した図である。 従来の間欠塗布における供給バルブ及び回収バルブの開閉動作を示した図である。 従来の間欠塗布により塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した図である。
　本発明の実施形態を説明する前に、従来の間欠塗布装置における問題点を説明する。
　図７は、従来の間欠塗布装置１００の一般的な構成を示した図である。
　図７に示すように、塗液タンク１１０に収容された塗液１２０は、供給路１２１の途中に設けられたポンプ１１１によって送液されて、塗布ダイ１１５内のマニホールド１１６に供給される。そして、マニホールド１１６に供給された塗液１２０は、塗布ダイ１１５のスリットから吐出されて、基材１３０の表面に塗布膜１３１が形成される。
　ポンプ１１１と塗布ダイ１１５との間の供給路１２１には、供給路１２１を開閉する弁体を有する供給バルブ１１２が設けられている。また、供給路１２１の途中から、塗液タンク１１０に接続された回収路１２２が分岐し、回収路１２２には、回収路１２２の開閉する弁体を有する回収バルブ１１７が設けられている。また、供給バルブ１１２及び回収バルブ１１７の弁体は、それぞれ、エアシリンダ１１３、１１８によって駆動され、その駆動は、制御部１１９によって制御される。
　図８は、エアシリンダ１１３によって、供給バルブ１１２の開閉を駆動する動作を示した図で、図８（a）は、供給バルブ１１２を閉鎖する動作を示し、図８（ｂ）は、供給バルブ１１２を開放する動作を示している。
　供給バルブ１１２は、弁体１４２と、弁座１４３を挟んで、供給路１２１から塗液１２０が入る液溜室１４１、及び供給路１２１から塗液１２０が出る液溜室１４０を有している。また、エアシリンダ１１３は、ピストン１５２を挟んで、圧空室１５０、１５１を有し、ピストン１５２は、ロッド１５３を介して、弁体１４２に連結されている。
　図８（a）に示すように、圧空室１５１に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、ピストン１５２が弁体１４２と反対方向に移動する。これにより、ピストン１５２と一体的に弁体１４２が移動して、弁座１４３と当接することにより、供給バルブ１１２が閉じ、塗液１２０の供給が停止する。
　次に、図８（ｂ）に示すように、圧空室１５０に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、ピストン１５２が弁体１４２の方向に移動する。これにより、ピストン１５２と一体的に弁体１４２が移動して、弁座１４３から離れることにより、供給バルブ１１２が開き、塗液１２０の供給が開始する。
　なお、圧空室１５０、１５１への圧力空気の供給、及び大気開放（若しくは排気）は、例えば、ソレノイドバルブを用いて行うことができる。また、ピストン１５２の移動を精度よく制御するためには、圧空室１５０、１５１へ供給する圧力空気の圧力Ｐは、同じ大きさにすることが好ましい。
　なお、エアシリンダ１１８によって、回収バルブ１１７の開閉を駆動する動作も、供給バルブ１１２の動作と同じであるので、説明を省略する。
　図９は、間欠塗布における供給バルブ１１２及び回収バルブ１１７の開閉動作と、間欠塗布により塗布領域／未塗布領域を形成したときの塗布膜の膜厚を示した図である。
　図９に示すように、塗布領域を形成するときは、供給バルブ１１２を開き、回収バルブ１１７を閉じて、塗布ダイ１１５から塗液１２０を基材１３０の表面に塗布して、塗布領域を形成する。また、未塗布領域を形成するときは、供給バルブ１１２を閉じて、回収バルブ１１７を開けて、回収路１２２を介して、塗液１２０を塗液タンク１１０に回収する。
　塗布領域を形成する際、塗液１２０の供給開始時には、供給バルブ１１２の弁体１４２の移動によって、塗布ダイ１１５に通じる供給路１２１内の塗液１２０は圧力が上昇するため、塗布ダイ１１５からの塗液１２０の吐出量が一瞬多くなる。そのため、図９に示すように、塗布開始端部において、塗布膜の盛り上がりが発生する。
　そこで、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消するために、図１０に示すように、回収バルブ１１７を閉鎖するタイミングを、少し遅らせる方法がある。これにり、塗液１２０の供給開始時に上昇した供給路１２１内の塗液１２０の圧力を、回収路１２２側に逃がすことができるため、図１０に示すように、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することができる。
　しかしながら、生産性を向上させるために、塗布ダイ１１５からの塗液１２０の単位時間当たりの吐出量を上げると、上記の方法だけでは、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することが難しくなる。また、生産性を向上させるために、基材１３０の搬送速度を上げると、未塗布領域を形成する時間（供給バルブ１１２が閉じている時間）が非常に短くなる。例えば、基材１３０の搬送速度を６０ｍ／分にした場合、未塗布領域の長さを１０ｍｍとすると、供給バルブ１１２が閉じている時間は、１０ｍｓｅｃと、非常に短くなる。そのため、回収バルブ１１７を閉鎖するタイミングを、供給バルブ１１２を開放するタイミングに同期して制御することが難しくなる。
　そこで、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消する方法として、塗液１２０の供給開始時に、塗布ダイ１１５に通じる供給路１２１内の塗液１２０の圧力上昇を押さえるために、供給バルブ１１２を開放する際のエアシリンダ１１３のピストン１５２の移動速度を下げることが考えられる。そのためには、圧空室１５０に供給する圧力空気の圧力Ｐを下げる必要がある。
　しかしながら、この場合、供給バルブ１１２を閉める際に圧空室１５１に供給する圧力空気の圧力Ｐ１と、供給バルブ１１２を開ける際に圧空室１５０に供給する圧力空気の圧力Ｐ２とが、異なる大きさ（Ｐ１＞Ｐ２）になってしまう。そのため、圧空室１５０、１５１への圧力空気の供給／大気開放の切り替えを続けて行った場合、圧空室１５０、１５１に供給される圧力空気の圧力Ｐ１、Ｐ２に圧力差が生じるため、ピストン１５２の往復動作が不安定になる。例えば、切り替え時の圧空室１５０、１５１内の残圧や、ソレノイドバルブから圧空室１５０、１５１までの配管における圧力損失等の要因によって、ピストン１５２の往復動作が不安定にある。
　そのため、供給バルブ１１２を開放する際のエアシリンダ１１３のピストン１５２の移動速度を下げた場合、図１１に示すように、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりは解消されるが、塗布膜の膜厚形状が不安定になる。その結果、塗布領域の長さＬ１、Ｌ２、Ｌ３にバラツキが発生してしまう。
　そこで、本願発明者（等）は、供給バルブを開放する際のエアシリンダのピストンの移動速度を下げる手段として、供給バルブの弁体を駆動するエアシリンダに、エアシリンダのピストンの移動方向に逆らう方向に荷重をかけるエアシンダを、ブレーキシリンダとして付加することを思いつき、本発明を想到するに至った。
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。
　図１は、本発明の一実施形態における間欠塗布装置の構成を模式的に示した図である。なお、本実施形態における間欠塗布装置は、連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する装置である。
　図１に示すように、本実施形態における間欠塗布装置１は、塗液２０を供給する塗液タンク（供給部）１０と、塗液タンク１０から供給された塗液２０を、供給路２１を介して、基材３０の表面に塗布する塗布ダイ（塗布部）１５と、供給路２１を開閉する弁体を有する供給バルブ１２と、弁体を駆動する駆動部とを備えている。なお、本実施形態における駆動部は、第１のエアシリンダ１３と、第２のエアシリンダ１４とで構成されている。また、第１のエアシリンダ１３の駆動は、制御部１９によって制御される。
　塗液タンク１０に収容された塗液２０は、供給路２１の途中に設けられたポンプ１１によって送液されて、塗布ダイ１５内のマニホールド１６に供給される。そして、マニホールド１６に供給された塗液２０は、塗布ダイ１５のスリットから吐出されて、基材３０の表面に塗布膜３１が形成される。
　また、供給路２１の途中から、塗液タンク１０に接続された回収路２２が分岐され、回収路２２には、回収路１２２の開閉する弁体を有する回収バルブ１７が設けられている。回収バルブ１７の弁体は、エアシリンダ１８によって駆動され、その駆動は、制御部１９によって制御される。
　図２は、第１及び第２のエアシリンダ１３、１４によって、供給バルブ１２の開閉を駆動する動作を示した図で、図２（a）は、供給バルブ１２を閉鎖する動作を示し、図２（ｂ）は、供給バルブ１２を開放する動作を示している。
　供給バルブ１２は、弁体４２と、弁座４３を挟んで、供給路２１から塗液２０が入る液溜室４１、及び供給路２１から塗液２０が出る液溜室４０を有している。
　第１のエアシリンダ１３は、第１のピストン５２を挟んで、圧空室５０、５１を有し、第１のピストン５２は、ロッド５３を介して、弁体４２に連結されている。ここで、第１のエアシリンダ１３は、弁体４２に連結された第１のピストン５２の往復動作により、弁体４２の開閉を制御するものである。
　また、第２のエアシリンダ１４が、供給バルブ１２に対して、第１のエアシリンダ１３と同じ側に配置されている。ここでは、第１のエアシリンダ１３の両側に、同じ構造からなる２個の第２のエアシリンダ１４が、並列に配置されている。
　第２のエアシリンダ１４は、第２のピストン６２を挟んで、圧空室６０、６１を有し、第２のピストン６２は、ロッド６３を介して、弁体４２に連結されている。ここでは、ロッド６３を、第１のエアシリンダ１３のロッド５３に連結することにより、ロッド５３と一体となって、弁体４２に連結５３されている。
　図２（a）に示すように、第１のエアシリンダ１３の圧空室５１に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、第１のピストン５２が弁体４２と反対方向に移動する。これにより、第１のピストン５２と一体的に弁体４２が移動して、弁座４３と当接することにより、供給バルブ１２が閉じ、塗液２０の供給が停止する。
　一方、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されている。そのため、第２のエアシリンダ１４において、弁体４２に連結された第２のピストン６２は、常に、第１のピストン５２が弁体４２を閉鎖する方向に駆動されている。
　ここで、ピストンによる駆動力Ｆは、圧空室に供給される圧力空気の圧力Ｐと、ピストンの表面積との積で決まるが、本実施形態では、第１のエアシリンダ１３における第１のピストン５２の駆動力Ｆ１が、第２のエアシリンダ１４における第２のピストンの駆動力Ｆ２の和（２Ｆ２）より大きくなるように設定されている。
　例えば、第１のエアシリンダ１３の圧空室５１に供給する圧力空気の圧力Ｐと、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１に供給する圧力空気の圧力Ｐとを、同じ大きさに設定した場合、第１のピストン５２の表面積に対する第２のピストン６２の表面積を規定することによって、Ｆ１＞２Ｆ２の関係を満たすことができる。
　次に、図２（ｂ）に示すように、第１のエアシリンダ１３の圧空室５０に、圧力Ｐの圧力空気を供給することによって、第１のピストン５２が、駆動力Ｆ１によって、弁体４２の方向に移動する。これにより、ピストン５２と一体的に弁体４２が移動して、弁座４３から離れることにより、供給バルブ１２が開き、塗液２０の供給が開始する。
　本実施形態では、第１のピストン５２の駆動力Ｆ１によって、弁体４２を開放する方向に駆動している間、第２のピストン６２によって、弁体４２を閉鎖する方向に駆動力Ｆ２が働いている。すなわち、第２のピストン６２の駆動力Ｆ２によって、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキがかけられた状態になっている。これにより、弁体４２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げることができる。その結果、図３に示すように、塗液２０の供給開始時に、塗布ダイ１５に通じる供給路２１内の塗液２０の圧力上昇を押さえことができるため、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することができる。
　また、本実施形態では、供給バルブ１２を閉める際に圧空室５１に供給する圧力空気の圧力Ｐと、供給バルブ１２を開放する際に圧空室５０に供給する圧力空気の圧力Ｐとが、同じ値に設定されているため、圧空室５０、５１への圧力空気の供給／大気開放の切り替えを続けて行っても、第１のピストン５２の往復動作を安定して行うことができる。そのため、図３に示すように、塗布領域の長さＬを、安定して形成することができる。
　なお、本実施形態では、図３（ａ）に示すように、第１のピストン５２の駆動力Ｆ１によって、弁体４２を閉鎖する方向に駆動している間、第２のピストン６２にも、弁体４２を閉鎖する方向に駆動力Ｆ２が働いている。そのため、弁体４２を閉鎖する際、第１のピストン５２の移動速度は上がるが、これは、塗布ダイ１５への塗液２０の供給を素早く停止する方向に作用するため、塗布膜の膜厚変動に影響を及ぼすことはない。
　また、本実施形態では、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されるため、第１のピストン５２の往復動作を安定して行うことができる。
　図４は、本発明の他の実施形態における第２のエアシリンダ１４の配置を示した図で、図４（a）は、供給バルブ１２を閉鎖する動作を示し、図４（ｂ）は、供給バルブ１２を開放する動作を示している。
　図４に示すように、本実施形態における第２のエアシリンダ１４は、供給バルブ１２に対して、第１のエアシリンダ１３と反対側に配置されている。また、第２のピストン６２は、ロッド６３を介して、弁体４２に直接連結されている。なお、ロッド６３は、第１のエアシリンダ１３のロッド５３と、軸心が一致していることが好ましい。
　第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されている。そのため、第２のエアシリンダ１４において、弁体４２に連結された第２のピストン６２は、常に、第１のピストン５２が弁体４２を閉鎖する方向に駆動されている。従って、図４（ｂ）に示すように、第２のピストン６２の駆動力Ｆ２によって、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキがかけられた状態になっている。これにより、弁体４２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げることができる。その結果、塗液２０の供給開始時に、塗布ダイ１５に通じる供給路２１内の塗液２０の圧力上昇を押さえことができるため、塗布開始端部における塗布膜の盛り上がりを解消することができる。
　以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。例えば、上記実施形態では、図１に示したように、第２のエアシリンダ１４を、第１のエアシリンダ１３の両側に、２個、並列して配置したが、第１のエアシリンダ１３の片側に、１個の第２のエアシリンダ１４を並列に配置してもよい。この場合、第１のエアシリンダ１３のロッド５３と、第２のエアシリンダ１４のロッド６３の剛性を高めておくことが好ましい。
　また、上記実施形態では、第１のエアシリンダ１３の圧空室５０、５１に供給する圧力空気の圧力Ｐと、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１に供給する圧力空気の圧力Ｐとを、同じ値にしたが、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動する駆動力Ｆ１が、第２のピストン６２が、弁体４２を閉鎖する方向に駆動する駆動力Ｆ２よりも大きくなるように、第１のエアシリンダ１３の圧空室５０、５１に供給する圧力空気の圧力と、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１に供給する圧力空気の圧力とを、それぞれ設定してもよい。
　また、上記実施形態では、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１には、常に、一定の圧力Ｐの圧力空気が供給されている構成を例示した。そうすることで、駆動力Ｆ２を一定に保つことができるため好ましい。しかし、本発明を具体化する上では、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１への圧力空気の供給が、圧空室５０，５１への圧力空気の供給（つまり、第１のエアシリンダ１３の駆動）と連動して行われる構成としても良い。この場合でも、第１のエアシリンダ１３を駆動している間、第２のエアシリンダ１４が弁体４２を閉鎖する方向に駆動されることとなる。
　あるいは、第２のエアシリンダ１４の圧空室６１への圧力空気の供給が、圧空室５０への圧力空気の供給と連動して行われる構成としても良い。この場合、第１のエアシリンダ１３が弁体４２を開放する方向に駆動している間、第２のエアシリンダ１４が弁体４２を閉鎖する方向に駆動され、一定のブレーキがかけられた状態となる。
　また、上記実施形態では、供給バルブ１２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げる手段として、供給バルブ１２の弁体４２を駆動する第１のエアシリンダ１３に、第１のピストン５２の移動方向に逆らう方向に荷重をかける第２のエアシリンダ１４を、ブレーキシリンダとして付加したが、例えば、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、弁体４２と連動して動作するロッド５３に、第１のエアシリンダ１３に対して両側にロッド６３を連結し、このロッド６３に、一定の反力を付与するブレーキ機構７０を設けてもよい。具体的には、一対のロッド６３の先端にプレート７１を取り付け、そのプレート７１を挟み込む位置に、摩擦パッド７２を配置することによって、ブレーキ機構７０を構成することができる。
　図５（ａ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を閉鎖する方向に駆動するときは、摩擦パッド７２はプレート７１から離れているため、ロッド６３に対して摩擦力（ブレーキ）はかからない。
　一方、図５（ｂ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動するときは、プレート７１を摩擦パッド７２で押圧することによって、ロッド６３に対して、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に摩擦力Ｒが加わる。
　この場合、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動する駆動力Ｆ１は、弁体４２と連動して動作するロッド６３に付与される摩擦力Ｒよりも大きくなるように設定されている。これにより、ロッド６３に付与された摩擦力Ｒによって、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキがかけられた状態になる。これにより、弁体４２を開放する際の第１のピストン５２の移動速度を下げることができる。
　このようなブレーキ機構７０による摩擦力Ｒは、弁体４２の変位（ロッド６３の移動距離）によって変化しないため、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に、一定のブレーキをかけることができる。
　図６（ａ）、（ｂ）は、ブレーキ機構の他の例を示した図で、図６（a）は、供給バルブ１２を閉鎖する動作を示し、図６（ｂ）は、供給バルブ１２を開放する動作を示している。
　図６（ａ）、（ｂ）に示すように、弁体４２に、第１のエアシリンダ１３とは反対側に、弁体４２と連動して往復動作するロッド８１を連結し、このロッド８１の先端に、緩衝材８０を設けることによって、ブレーキ機構を構成することができる。
　図６（ｂ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を開放する方向に駆動したとき、ロッド８１で緩衝材８０を圧縮することによって、ロッド８１に対して、弁体４２を開放する方向に移動するのを逆らう方向に反力Ｒが加わる。なお、図６（ａ）に示すように、第１のピストン５２が、弁体４２を閉鎖する方向に駆動するときは、緩衝材８０はロッド８１によって圧縮されないため、ロッド８１に対してブレーキはかからない。
　　　１　　　間欠塗布装置 
　　１０　　　塗液タンク（供給部） 
　　１１　　　ポンプ 
　　１２　　　供給バルブ 
　　１３　　　第１のエアシリンダ 
　　１４　　　第２のエアシリンダ 
　　１５　　　塗布ダイ（塗布部） 
　　１６　　　マニホールド 
　　１７　　　回収バルブ 
　　１８　　　エアシリンダ 
　　１９　　　制御部 
　　２０　　　塗液 
　　２１　　　供給路 
　　２２　　　回収路 
　　３０　　　基材 
　　３１　　　塗布膜 
　　４０、４１　　　液溜室 
　　４２　　　弁体 
　　４３　　　弁座 
　　５０、５１　　　圧空室 
　　５２　　　第１のピストン 
　　５３　　　ロッド 
　　６０、６１　　　圧空室 
　　６２　　　第２のピストン 
　　６３　　　ロッド 
　　７０　　　ブレーキ機構
　　７１　　　プレート
　　７２　　　摩擦パッド
　　８０　　　緩衝材（ブレーキ機構）

Claims (8)

  1. 　連続的に搬送される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、塗布領域と未塗布領域とを断続的に形成する間欠塗布装置であって、
    　前記塗液を供給する供給部と、
    　前記供給部から供給された塗液を、供給路を介して、前記基材の表面に塗布する塗布部と、
    　前記供給路を開閉する弁体を有する供給バルブと、
    　前記弁体を駆動する駆動部と
    を備え、
    　前記駆動部は、第１のエアシリンダと、第２のエアシリンダとで構成され、
    　前記第１のエアシリンダは、前記弁体に連結された第１のピストンの往復動作により、
    前記弁体の開閉を制御し、
    　前記第２のエアシリンダは、前記弁体に連結された第２のピストンが、前記第１のピストンが前記弁体を閉鎖する方向に駆動される、間欠塗布装置。
  2. 　前記第２のエアシリンダは、前記供給バルブに対して、前記第１のエアシリンダと同じ側に配置されており、
    　前記第２のピストンは、前記第１のピストンに連結されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
  3. 　前記第２のエアシリンダは、前記第１のエアシリンダの両側に、２個並列に配置されている、請求項２に記載の間欠塗布装置。
  4. 　前記第１のピストンが、前記弁体を開放する方向に駆動する駆動力が、前記第２のピストンが、前記弁体を閉鎖する方向に駆動する駆動力よりも大きくなるように、前記第１のエアシリンダ及び前記第２のエアシリンダに入力される圧力空気の圧力が、それぞれ設定されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
  5. 　前記第２のエアシリンダは、前記供給バルブに対して、前記第１のエアシリンダと反対側に配置されており、
    　前記第２のピストンは、前記弁体に直接連結されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
  6. 　前記第１のエアシリンダにおいて、前記弁体を開放する方向に駆動するときに入力される圧力空気の圧力と、前記弁体を閉鎖する方向に駆動するときに入力される圧力空気の圧力とは、同じ値に設定されている、請求項１に記載の間欠塗布装置。
  7. 　連続的に供給される基材の表面に、塗液を間欠的に塗布して、一定の長さの塗布パターンを連続的に形成する間欠塗布装置であって、
    　前記塗液を供給する供給部と、
    　前記供給部から供給された塗液を、供給路を介して、前記基材の表面に塗布する塗布部と、
    　前記供給路を開閉する弁体を有する供給バルブと、
    　前記弁体を駆動するエアシリンダと
    を備え、
    　前記エアシリンダは、前記弁体に連結されたピストンの往復動作により、前記弁体の開閉を制御し、
    　前記弁体には、前記エアシリンダと反対側に、前記弁体と連動して往復動作するロッドが連結されており、
    　前記ロッドには、前記ピストンが、前記弁体を開放する方向に駆動したとき、前記弁体と連動して動作する前記ロッドに一定の摩擦力を付与するブレーキ機構が設けられている、間欠塗布装置。
  8. 　前記ピストンが、前記弁体を開放する方向に駆動する駆動力は、前記弁体と連動して動作する前記ロッドに付与される摩擦力よりも大きくなるように設定されている、請求項７に記載の間欠塗布装置。
PCT/JP2018/036716 2017-11-17 2018-10-01 間欠塗布装置 WO2019097863A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201880057925.6A CN111093838B (zh) 2017-11-17 2018-10-01 间歇涂布装置
KR1020207013621A KR102472016B1 (ko) 2017-11-17 2018-10-01 간헐 도포 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017221811A JP6598839B2 (ja) 2017-11-17 2017-11-17 間欠塗布装置
JP2017-221811 2017-11-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019097863A1 true WO2019097863A1 (ja) 2019-05-23

Family

ID=66539617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/036716 WO2019097863A1 (ja) 2017-11-17 2018-10-01 間欠塗布装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6598839B2 (ja)
KR (1) KR102472016B1 (ja)
CN (1) CN111093838B (ja)
WO (1) WO2019097863A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020224991A1 (en) 2019-05-06 2020-11-12 Koninklijke Philips N.V. Rf coil assembly and mri apparatus
CN115003421A (zh) * 2020-02-03 2022-09-02 东丽工程株式会社 涂布装置及涂布方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230069579A (ko) * 2021-11-12 2023-05-19 주식회사 엘지에너지솔루션 전극 슬러리 제어 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000193100A (ja) * 1998-12-28 2000-07-14 Musashi Eng Co Ltd 液体定量吐出バルブ
JP2002254008A (ja) * 2001-02-28 2002-09-10 Toppan Printing Co Ltd スリット式塗布装置
JP2014188449A (ja) * 2013-03-27 2014-10-06 Nec Corp 間欠塗布装置及び間欠塗布方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3386171B2 (ja) * 1993-03-17 2003-03-17 株式会社日本ピスコ 多段シリンダ装置
JP3399881B2 (ja) * 1999-07-29 2003-04-21 東レエンジニアリング株式会社 間欠供給用バルブおよび間欠塗布装置
KR101211776B1 (ko) * 2006-03-09 2012-12-12 삼성에스디아이 주식회사 슬러리 공급 장치 및 그 장치를 가지는 슬러리 도포 장비
WO2008029288A2 (en) * 2006-07-19 2008-03-13 Fluid-O-Tech Srl Fluid-powered proportioning pump and system for dispensing fluid inluding such a pump
JP2010167408A (ja) * 2008-12-26 2010-08-05 Inoue Kinzoku Kogyo Co Ltd 間欠塗工装置
CN202129186U (zh) * 2011-05-11 2012-02-01 东莞市九州浩德新能源设备有限公司 挤压式间歇涂布机及其涂布装置
JP2013114969A (ja) * 2011-11-30 2013-06-10 Nissan Motor Co Ltd 電極の製造方法とその製造方法により製造される電極
CN103753850A (zh) * 2012-06-08 2014-04-30 镇江市锻压机床厂 压力机械的压力垫装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000193100A (ja) * 1998-12-28 2000-07-14 Musashi Eng Co Ltd 液体定量吐出バルブ
JP2002254008A (ja) * 2001-02-28 2002-09-10 Toppan Printing Co Ltd スリット式塗布装置
JP2014188449A (ja) * 2013-03-27 2014-10-06 Nec Corp 間欠塗布装置及び間欠塗布方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020224991A1 (en) 2019-05-06 2020-11-12 Koninklijke Philips N.V. Rf coil assembly and mri apparatus
CN115003421A (zh) * 2020-02-03 2022-09-02 东丽工程株式会社 涂布装置及涂布方法
CN115003421B (zh) * 2020-02-03 2023-07-14 东丽工程株式会社 涂布装置及涂布方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111093838A (zh) 2020-05-01
KR102472016B1 (ko) 2022-11-28
JP6598839B2 (ja) 2019-10-30
KR20200087153A (ko) 2020-07-20
CN111093838B (zh) 2021-12-14
JP2019093313A (ja) 2019-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019097863A1 (ja) 間欠塗布装置
US10328478B2 (en) Punching a workpiece
JP5885755B2 (ja) 塗布装置および塗布方法
CN103502781B (zh) 力放大驱动系统，喷射分配器，以及分配流体的方法
TWI811188B (zh) 液體材料吐出裝置及塗佈裝置
US6688580B2 (en) Adjustable die for a fluid dispenser and method
US20130047877A1 (en) Squeeze apparatus
JP2009095752A (ja) 間欠塗工装置
JP2016185504A (ja) 塗工装置および塗膜形成システム
US7905713B2 (en) Method of operation of a reciprocating positive-displacement pump and reciprocating positive-displacement pump
JP6163818B2 (ja) 間欠塗布装置および塗布方法
JP2014532843A (ja) 油圧式増圧シリンダー
JP6098282B2 (ja) 間欠塗布装置及び間欠塗布方法
JP5782172B1 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP2017530860A (ja) ノンインパクト噴射吐出モジュール及び方法
JP2009083017A (ja) ワーク吸着保持装置
CN111629839B (zh) 计量阀
JP6779682B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
WO2021044722A1 (ja) ガスケットの製造方法
JPH0245522Y2 (ja)
KR102014701B1 (ko) 2차전지 전극코팅용 가변 액츄에이터 장치
JP2006107735A (ja) 電極板の製造装置および製造方法
WO2012165326A1 (ja) ポンプの流量制御方法および塗膜形成方法
KR20200023202A (ko) 간헐 도공 방법 및 간헐 도공 장치
JP6509569B2 (ja) 流体圧制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18877656

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18877656

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1