KR101211776B1 - 슬러리 공급 장치 및 그 장치를 가지는 슬러리 도포 장비 - Google Patents

Abstract

슬러리 저장탱크, 펌프, 3방향 토출 제어밸브, 제어밸브 구동용 유압 구동부, 슬롯다이를 구비하며, 3방향 토출 제어밸브에 대해 유압 구동 방식을 채택하여 유압 구동 장치가 구비됨을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치와 이 장치를 채택하는 슬러리 도포 장비가 개시된다.

본 발명에 따르면, 슬러리 공급 장치에서 3방향 토출 제어밸브의 공급 밸브와 환류 밸브 사이의 오프셋 시간을 높은 정밀도로 고속으로 제어할 수 있고, 비압축성 유체인 유압을 사용하여 지연시간이 줄고, 응답성이 향상되며, 상대적으로 높은 압력 동작이 가능한 유압을 사용하여 고속 도포에 따른 슬러리 양 증가로 인한 작동 속도 감소를 줄일 수 있다.

Description

슬러리 공급 장치 및 그 장치를 가지는 슬러리 도포 장비{APPARATUS FOR SUPPLYING SLURRY AND EQUIPMENT HAVING THE SAME}

도1은 이러한 종래의 슬러리 공급 장치의 개략적 구성을 나타내는 구성도이다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 개략적 구성을 나타내는 구성도이다.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차 전지 전극 형성용 슬러리 도포 장비의 개략적 구성도이다.

본 발명은 슬러리 공급 장치 및 이를 채택한 슬러리 도포 장비에 관한 것이다.

하나의 물질층(기재) 위에 다른 물질층을 적층하기 위해 도포 방법을 사용하는 경우가 많다. 도포를 위해서는 적층되는 물질이 용액이나, 슬러리 형태로 용매나 분산매에 의해 액상을 이루게 된다. 용액이나 슬러리를 넓은 면적에 비교적 얇 게 도포하는 장비로 다이 코터(DIE COATER) 등이 사용될 수 있고, 다이 코터에는 일방으로 길게 형성되는 슬롯 다이가 사용될 수 있다. 이런 슬롯 다이는 일정 폭으로 기재에 물질층을 형성할 수 있도록 한다.

통상, 슬롯 다이는 만년필에서 잉크가 펜촉 끝단으로 나오듯이 슬롯 다이의 두 쪽으로 나뉜 끝단의 틈으로 슬러리(이하 용액을 포함하는 넓은 의미의 도포액 개념으로 사용한다)가 배출되도록 하여 슬롯 다이 자체가 움직이거나, 기재를 움직이도록 하면서 기재 상당 면에 슬러리를 도포하게 된다. 슬롯 다이를 사용한 도포 방법은 유지보수 및 생산성 측면에서 여타의 코팅방법에 비하여 우수하여 현재까지 평판 디스플레이 장치의 패널 제조나 이차 전지의 전극에서 집전체에 활물질 도포를 하기 위해 사용될 수 있다.

슬롯 다이로 기재에 활물질을 도포하기 위해 슬롯 다이에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급 장치가 필요하다. 일본특허출원 제1996-210160호에서는 리튬 이차 전지 극판 제조를 위한 슬러리 공급 장치가 설명되어 있다.

도1은 이러한 종래의 슬러리 공급 장치의 개략적 구성을 나타내는 구성도이다. 탱크(23)에 저장된 슬러리(16)는 펌프(24)를 통하여 제어밸브(26,28)를 거처 슬롯 다이(12)에 공급되거나, 탱크로 환류된다. 제어 밸브는 분기점의 역할을 하는 하나의 3방향 토출 제어밸브의 형태로 구성될 수 있다. 슬롯 다이에 공급된 슬러리는 3방향 토출 제어밸브의 구동에 의하여 간헐적(단속적)으로 토출되며 도전성 기재(17) 위에 패턴을 형성하며 도포된다. 슬러리층 도포시에는 3방향 토출 제어밸브 가운데 토출용 제어밸브(26)는 열리고 환류용 제어밸브(28)가 닫히며 슬러리는 슬 롯 다이로 공급되어 기재에 슬러리층이 형성된다. 슬러리층이 없는 무지부 생성시에는 토출용 제어밸브는 닫히고 환류용 제어밸브가 열리면서 도포액은 탱크로 환류된다. 일반적으로 3방향 토출 제어밸브의 토출용 제어밸브와 환류용 제어밸브는 공압 구동부에 의하여 개폐된다.

리튬 이차 전지에서 전극 조립체가 최대의 충전 용량을 가지기 위해서는 활물질이 좁은 공간에 많이 포함되도록 하여야 하고, 동일한 활물질 양이 내장되어도 충방전 효율을 높이기 위해 활물질이 두 전극의 대향 면에 고른 두께로 형성되어야 한다. 한편으로 리튬 전지의 생산에 있어서 효율성을 높일 수 있는 방안이 계속 요구되고 있다. 생산 효율을 높이기 위해 슬롯 다이의 대형화 및 도포 공정의 고속화가 이루어지고 있다.

이러한 도포 공정의 고속화에 따라 전지 극판 생산 공정에서의 생산성 향상과 전지 용량 증가를 위해 전극 기재의 진행 및 도포 속도는 점차 증가하는 추세이며, 이차전지의 전극 형성시 무지부 간격이 줄어들게 된다. 따라서, 공정에서 단위 시간당 슬롯 다이를 통해 방출되는 슬러리의 유량도 증가하게 되고 패턴을 형성하는 공압 구동부에 대한 부하량도 증가하게 된다.

그런데, 종래의 공압 구동부를 사용한 슬러리 도포 장치에서 도포 속도를 증가시키면 무지부와 슬러리 도포부가 번갈아 형성되는 특성상 활물질 슬러리 공급이 단속적으로 이루어지면서 제어 신호를 구동부가 따라가지 못해 도포액의 패턴 형성이 정상적으로 이루어지지 못하게 된다.

종래의 단속적인 슬러리 공급을 담당하는 슬러리 공급 장치의 중요 구성 요 소인 간헐 고속 밸브는 종래의 슬러리 공급 장치를 나타내는 도1의 도면부호 26,28에 해당하는 3방향 토출 제어밸브와 동일한 것으로 볼 수 있다. 이 밸브는 입구와 두 개의 출구로 이루어져 3방향으로 유량을 조정하도록 설계되어 있다.

이 밸브의 출구 개폐는 공압 구동원을 사용하여 밸브 포펫을 열고 닫는 구조로 구성되어 있다. 종래의 공압 시스템은 도포 속도의 고속화로 인하여 증가되는 유량, 즉, 부하에 민감하다. 더우기 솔레노이드 방식의 구동부를 이용하여 다시 공압 구동원을 작용시키므로 솔레노이드 방식의 구동부를 작용시키는 전기적 제어신호 인가로부터 공압 구동원을 통해 포펫을 동작시켜 슬러리 통로를 열고 닫는 실제 기능이 이루어지기까지 시간인 불감역이 매우 긴 특성을 나타낸다. 한편 부하 유량의 증가에 따라 안정화 시간, 정착시간도 변동하게 되며 이러한 정착시간의 변동은 슬러리 도포 시에 슬러리 도포 패턴 사이에 좁은 폭의 무지부 형성을 어렵게 한다.

즉, 종래의 공압 구동방식은 공압부의 솔레노이드 밸브에 제어신호가 인가된 후 슬러리 출구를 조절하는 실린더가 실제 동작을 시작하기까지 가령, 57ms 이상(30m/min 도포시)의 응답시간을 가진다. 또한 실린더가 3.5mm 스트로크로 움직이는데 12ms 이상의 시간이 걸리며 도포액 유량이 증가함에 따라 3방향 토출 제어밸브에 걸리는 부하가 증가하기 때문에 실린더의 개폐 시간은 더 증가하게 된다. 이러한 문제점은 패턴 도포 속도가 고속화되고 무지부 길이가 줄어들수록 전극 패턴 형성 시 도포 불량을 야기한다.

본 발명은 상술한 도포 공정의 고속화와 슬러리 유량 증가, 무지부 간격 축소에 따른 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 도전성 기재인 집전체 위에 활물질 슬러리를 연속 패턴 도포하는 데 있어 도포 속도를 증가시키켜 생산성을 향상시킬 수 있는 슬러리 공급 장치 및 슬러리 도포 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 또한, 활물질 슬러리를 연속 패턴 도포하는 데 있어서, 도포 패턴을 정확한 위치에 형성시킬 수 있고, 좁은 간격의 무지부 배치를 가능하게 하여 도포 불량을 방지하고, 공정 신뢰성을 높일 수 있는 슬러리 공급 장치 및 슬러리 도포 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 슬러리 공급 장치는 슬러리 저장탱크, 펌프, 3방향 토출 제어밸브, 제어밸브 구동용 유압 구동부, 슬롯다이를 구비하며, 3방향 토출 제어밸브에 대해 유압 구동 방식을 채택하여 유압 구동 장치가 구비됨을 특징으로 한다.

본 발명 장치에서 3방향 토출 제어밸브는 밸브의 포펫이 유압 구동 장치의 실린더에 있는 피스톤과 커넥팅 로드를 통해 일체로 결합될 수 있다.

본 발명의 슬러리 공급 장치의 3방향 토출 제어밸브는 공급 밸브와 환류밸브로 구성될 수 있고, 이들은 유압 구동 장치 혹은 유압 구동부에 의해 작동된다. 유압 구동부는 유압 실린더, 위치센서, 서보 밸브, 유압 공급 장치, 제어기를 구비하 여 구성될 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 슬러리 도포 장비는 기재 롤을 설치하는 권출기, 이송 롤러, 슬러리 공급 장치, 기재의 한 끝을 당기는 권취기를 구비하며, 슬러리 공급 장치는 슬러리 저장탱크, 펌프, 유압 구동부에 의해 구동되는 3방향 토출 제어밸브, 슬롯다이를 구비하여 이루어질 수 있다. 슬러리 도포 장비에는 통상 슬러리 용매성분 제거를 위한 건조 장치가 더 포함되는 것이 일반적이다.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 개략적 구성을 나타내는 구성도이다.

슬롯 다이를 이용한 슬러리 공급 장치의 전반적인 구성은 도1의 종래의 장치와 유사하게 이루어진다. 단, 도포 속도의 고속화를 위해 종래에 사용되던 공압 구동부를 유압 구동부로 교체하여 이루어진다.

본 발명 슬러리 공급 장치의 구성을 좀 더 살펴보면, 백업 롤(backup roll:120)은 도전성 기재인 집전체(117)의 도포면을 지지한다. 도전성 기재는 통상 구리나 알미늄 포일, 메시(mesh)가 된다.

슬러리(116)는 통상 용매와 가소제, 전극 활물질, 바인더 등을 섞는 방법으로 형성된다. 바인더로는 PVDF(poly vinylidene fluoride)와 SBR(stylene butadiene rubber), 용매로는 아세톤, NMP(N-메칠프롤리돈) 등이 사용될 수 있고, 물이 사용될 수도 있다.

고속 유압 서보 시스템은 유압 실린더, 서보밸브, 위치센서로 구성될 수 있으며, 유압 공급 시스템(230)은 유압 구동부에서 유압 실린더의 각 공간에 유압을 인가하는 유압 공급 장치로 작동 유체 압력을 조절할 수 있다.

배압밸브(128)는 환류되는 슬러리의 압력을 조절하고, 필터(129)는 슬러리 탱크(123)에 저장된 슬러리를 슬롯 다이(112)로 공급하는 펌프(124)로부터 공급된 슬러리에서 불순물을 여과, 제거한다. 탱크(123)에는 슬러리 내의 기포를 제거하고 고형분 침전을 방지하는 교반기(131)과 탱크 내 슬러리양을 측정하는 레벨 센서(132)가 설치되어 있다.

본 발명 장치의 3방향 토출 제어밸브와 유압 구동부를 좀 더 살펴보면, 제어 밸브는 공급 밸브와 환류 밸브에 각각 대응하는 2개의 밸브 실린더를 구비한다. 각 밸브 실린더는 중간 부분이 격벽으로 구분되고, 격벽의 위쪽인 상부는 슬러리의 유동 경로를 형성한다. 밸브 실린더 상부에서 두 밸브 실린더는 연결구를 통해 연결된다. 도면상 좌측 밸브 실린더를 공급 실린더(215), 우측 밸브 실린더를 환류 실린더(225)라 하면 환류 실린더 상부에는 연결구 외에 필터와 펌프를 통해 슬러리 탱크와 연결되는 슬러리 입구가 위치한다. 밸브 실린더 최상부에는 슬롯 다이(112)와 연결되는 출구 또는 배압 밸브(128)와 연결되는 출구가 있다.

각 밸브 실린더의 아래에는 유압 실린더(242,252)가 연속하도록 설치된다. 유압 실린더의 상하단은 벽체로 마감된다. 밸브 실린더의 격벽과 유압 실린더를 마감하는 상단 벽체를 밸브 커넥팅 로드(218,228)와 구동부 커넥팅 로드(244,254)가 각각 통과하고 있다. 각 커넥팅 로드가 격벽이나 상단 벽체를 통과할 때 슬러리나 구동 유체의 누액이 발생하지 않고, 커넥팅 로드가 잘 움직일 수 있도록 커넥팅 로드와 격벽 혹은 상단 벽체 접촉부에는 탄성체 링(219)과 같은 기밀부재가 설치될 수 있다.

밸브 커넥팅 로드와 구동부 커넥팅 로드는 각 밸브 실린더(215,225) 하부에서 서로 연결되거나, 처음부터 일체로 형성될 수 있다. 밸브 커넥팅 로드의 상단은 밸브 포펫(217,227)과 연결되고, 구동부 커넥팅 로드의 하단은 구동부 피스톤(243,253)과 연결된다. 유압 실린더(242,252)는 피스톤(243,253)에 의해 상부와 하부로 공간이 구획되며, 상부와 하부의 용적은 피스톤의 상하 이동에 의해 유동적이다. 즉, 유압 실린더의 상부와 하부에는 각각 유체 출입구가 설치되며, 서로 다른 압력으로 유체가 출입하게 된다. 유압 실린더의 상부와 하부에 각각 다른 유체 압력을 인가하는 작용은 유압 공급 시스템(230)에서 담당한다.

유압 실린더의 상하부에 인가되는 유체의 압력 차이에 의해 피스톤이 유압 실린더에서 상하로 이동하게 된다. 피스톤(243,253)에 연결된 구동부 커넥팅 로드(244,254)도 함께 움직이며, 따라서, 밸브 커넥팅 로드(218,228)와 밸브 포펫(217,227)도 함께 상하로 움직이게 된다. 각 밸브 실린더의 스톱퍼(216,226)는 밸브 포펫(217,227)의 하방 이동을 제한하며, 포펫과 함께 공급 밸브와 환류 밸브에서의 출구를 통한 슬러리 배출 여부와 그 양을 조절하는 역할을 할 수 있다.

유압 공급 시스템(230)은 유압 구동부를 작동시키는 일반적인 구조를 가질 수 있으며, 액체는 기체에 비해 압축성이 없으므로 유압 구동부는 공압 구동부에 비해 지연시간이 거의 없어 즉각적인 작용이 가능하다. 또한, 유압 구동부는 통상 공압 구동부에 비해 높은 압력을 작용시키기에 용이하므로 고속 도포에 따라 대량의 슬러리를 슬롯 다이에 공급할 때 유량 증가에 따른 부담을 없앨 수 있다. 또한 유압 공급 시스템은 통상, 압력의 정확한 양적 조절이 가능하므로 3방향 토출 제어밸브의 포펫을 단순히 이동시켜 슬러리의 통로를 스톱퍼와 함께 막거나 개방할 뿐만 아니라, 포펫 위치를 센서를 이용한 피드백 제어를 통해 정확히 제어할 수 있으므로 포펫과 스톱퍼 사이의 거리를 조절하여 밸브를 통과하는 슬러리 양의 정확한 조절이 가능하게 된다.

실시예의 이런 구동 형태에서는 슬러리 조절 밸브인 포펫 위치을 조절하는 액츄에이터인 유압 구동부가 포펫에 구조적 직접 연결되어 동작하며, 유압 구동부는 유압 공급 시스템에 의해 비압축성의 유체에 의해 작용하므로 유압 공급 시스템에 인가되는 전기적인 신호가 매우 적은 지연시간 내에 포펫을 실시간 조절할 수 있게 된다.

결과적으로, 고속 유압 서보 시스템에서는 밸브 포핏의 유격 조정이 자유로우며, 조절된 유격에 대해서 피드백 방식의 위치 제어를 통하여 가령, 20um 이내의 정확도를 가지고 위치 제어를 행할 수 있다. 유체의 압력은 변동 가능하도록 유압 공급 시스템에서 유량 및 압력 조절이 가능하다. 4mm 이하의 짧은 스트로크(행정구간)를 고속으로 제어하기 위하여 위치 센서의 출력 신호는 고속으로 신호 변환기를 통해 시스템 내의 제어기로 입력된다. 제어기는 가령 매 1ms 마다 시스템의 위치 보정이 가능하다. 제어기로부터의 출력신호는 증폭기를 통과하여 유량 제어 서보 밸브를 제어하게 된다. 서보 밸브에서의 동작으로 유압 실린더에서 피스톤을 움직 이는 유량을 제어하게 된다. 순간적인 유량 맥동을 고속으로 스위칭하면서 발생가능한 충격력을 최소화하기 위해서 속도 가감속 조작을 제어기의 출력 신호 처리에 반영할 수 있다.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이차 전지 전극 형성용 슬러리 도포 장비의 개략적 구성도이며,

도3을 참조하면, 이차 전지 음극을 구성할 전극 집전체인 구리 박판이 일정 너비의 롤 상태로 권출기(101)에 비치된다. 권출기(101)에서 롤러를 통해 구리 박판은 롤(roll) 권취 상태에서 평면 상태로 바뀌면서 도포부(190)로 이동한다. 도포부(190)에도 구리 박판을 편 상태로 이동시키기 위한 롤러가 구비되고 도포부(190) 말단에는 슬롯 다이의 해드부가 위치한다. 이동하는 구리 박판 상면에 슬롯 다이의 해드부 슬롯을 통해 슬러리가 공급된다. 슬롯 다이의 해드는 슬러리가 공급되는 슬롯의 틈 간격을 조절하도록 이루어질 수도 있다.

구리 박판의 이동 속도도 박판의 한 끝을 당기는 권취기(150)의 모터나 중간 롤러의 모터에 의해 일정하게 조절된다. 따라서, 구리 박판 상면에는 집전체인 구리 박판의 주행 방향(집전체 길이 방향) 도포 균일도도 유지되어 일정 두께 혹은 일정 분량의 슬러리막이 형성된다.

도포를 마친 구리 박판은 제1 내지 제3 건조실(141,142,143)이 연결되어 이루어지는 건조기(140)에 투입된다. 건조기(140)의 상부 혹은 상하부에서 열풍이 공급되어 슬러리의 용매를 증발시킨다. 용매의 증발과 함께 바인더는 고화되고, 열에 의한 경화도 함께 이루어질 수 있다. 바인더의 작용으로 활물질은 전극 집전체(110)인 구리 박막에 견고하게 부착된다.

본 발명의 슬러리 공급 장치에서의 동작 방법의 일 예를 살펴보면, 먼저, 도포 속도, 도포 길이 및 무지부 간격을 설정하고 유압 구동부에 공급 및 중단 시간 제어 신호를 결정한다. 이어서, 펌프 유량 설정한다. 슬러리 도포가 시작되기 전 기본 상태로 공급 밸브는 닫혀 있고, 환류 밸브는 열려있도록 한다. 즉, 펌프에서 유입된 슬러리는 탱크로 다시 환류된다. 도포가 시작되면 공급밸브는 열리고 환류 밸브는 닫히면서 펌프에서 유입된 슬러리가 슬롯 다이로 공급되어 도전성 기재 위에 슬러리 도포가 시작된다. 이어서, 무지부 형성을 위해서 제어기에서 미리 정해진 시간 동안 도포가 끝나면 다시 공급밸브는 닫히고 환류 밸브는 열리면서 도포가 중단된다. 이런 과정을 반복하면서 도전성 기재 위에 슬러리 패턴이 형성된다.

본 발명에 따르면, 슬러리 공급 장치에서 3방향 토출 제어밸브의 공급 밸브와 환류 밸브 사이의 오프셋 시간을 높은 정밀도로 고속으로 제어할 수 있다.

구체적으로, 본 발명 장치에 따르면 비압축성 유체인 유압을 사용하여 지연시간이 줄고, 응답성이 향상되며, 상대적으로 높은 압력 동작이 가능한 유압을 사용하여 고속 도포에 따른 슬러리 양 증가로 인한 작동 속도 감소를 줄일 수 있다.

또한, 유압 실린더 옆에 위치센서를 부착하여 조절에 이용하는 경우, 유압 실린더 피스톤의 위치 값을 고속 피드백 제어하여 슬러리 도포 위치 정밀도를 높일 수 있으며, 슬러리를 토출하는 제어밸브의 동작 스트로크를 단순 개폐가 아닌 임의간격 으로 조정 가능하게 된다.

Claims (9)

1. 슬러리 저장탱크, 3방향 토출 제어밸브, 상기 슬러리 저장 탱크의 슬러리를 상기 3방향 토출 제어밸브로 공급하는 펌프, 상기 3방향 토출 제어밸브를 구동하는 제어밸브 구동용 유압 구동부, 상기 3방향 토출 제어밸브의 공급측 출구와 연결되어 기재에 슬러리를 도포하는 슬롯 다이를 구비하여 이루어지는 슬러리 공급 장치에 있어서,

   상기 3방향 토출 제어밸브를 구동하는 유압 구동 장치가 구비되고,

   상기 3방향 토출 제어벨브는, 슬러리를 상기 슬롯 다이로 공급하기 위한 공급밸프와 상기 슬러리 저장 탱크로 환류시키는 환류 밸브를 구비하며,

   상기 유압 구동 장치는 상기 공급 밸브와 상기 환류 밸브를 서로 교번적으로 개폐하는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 환류 밸브와 상기 공급 밸브는 슬러리가 전달되도록 서로 연결된 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 환류 밸브와 상기 공급 밸브는 실린더형 몸체와 상기 실린더형 몸체의 내부에서 이동하면서 슬러리 유로를 제어하는 포펫, 상기 포펫을 이동시키기 위해 일측이 상기 포펫에 연결되는 밸브 커넥팅 로드, 상기 밸브 커넥팅 로드에 의해 관통되며서 상기 밸브 커넥팅 로드를 지지하며 상기 밸브 커넥팅 로드의 이동이 있어도 슬러리 실링을 유지하도록 상기 실린더형 몸체에 형성된 격벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 환류 밸브 및 상기 공급 밸브는 각각 상기 격벽 아래쪽에서 상기 유압 구동 장치를 이루며 양단이 막힌 유압 실린더와 연결되고,

   각 유압 실린더는 상기 밸브 커넥팅 로드와 일측에서 연결되는 구동부 커넥팅 로드, 상기 구동부 커넥팅 로드 타측과 연결되며 상기 유압 실린더 공간을 분할하는 피스톤, 상기 유압 실린더의 상기 피스톤으로 구분되는 상하 공간에 각각 유압을 인가시켜 상기 피스톤을 구동시키는 유압 공급 시스템을 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 포펫은 상기 환류 밸브 및 상기 공급 밸브 각각의 실린더형 몸체의 내부에 형성된 걸림턱과 함께 상기 슬러리의 유량을 조절하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 유압 구동 장치는 유압 실린더, 상기 유압 실린더 내에서 상기 피스톤의 위치를 감지하는 위치 센서, 상기 유압 실린더의 구분된 공간 각각에 유압을 인가하여 상기 피스톤을 구동시키는 유압 공급 장치를 구비하여 이루어지고,

   상기 유압 공급 장치는 상기 유압 실린더의 피스톤으로 구분된 공간에 유압을 인가하도록 유체를 조절하는 서보 밸브, 상기 위치 센서의 측정치로 상기 서보 밸브를 조절하는 제어기를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 3방향 토출 제어밸브의 환류측 출구와 상기 슬러리 저장탱크를 연결하는 라인 상에는 배압 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 펌프와 상기 3방향 토출 제어밸브를 연결하는 슬러리 라인의 중간에는 필터가 구비되는 것을 특징으로 하는 슬러리 공급 장치.
9. 기재 롤이 설치되어 기재를 공급하는 권출기, 상기 기재의 운반하는 이송 롤러, 상기 기재에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급 장치, 슬러리 건조 장치, 상기 기재의 한 끝을 당기는 권취기를 구비하며,

   상기 슬러리 공급 장치로는 제 1 항 내지 제 8 항에 기재된 슬러리 공급 장치 가운데 하나를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬러리 도포 장비.

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