WO2019078014A1 - キャンロールと長尺基板処理装置および長尺基板処理装置の管理方法 - Google Patents

キャンロールと長尺基板処理装置および長尺基板処理装置の管理方法 Download PDF

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大上　秀晴
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    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
    • C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates

Definitions

  • a heat load such as ion beam processing or sputtering film formation is applied while a long heat resistant resin film or the like transported by roll-to-roll in a vacuum chamber is wound around the outer peripheral surface of a can roll.
  • the present invention relates to a long substrate processing apparatus for performing surface treatment, and more particularly to a can roll having a gas discharge mechanism with high cooling effect and capable of suppressing gas leakage from the outer peripheral surface of the can roll where the long substrate can not be wound.
  • the present invention relates to the improvement of the long substrate processing apparatus used.
  • Flexible wiring boards are used in liquid crystal panels, notebook computers, digital cameras, mobile phones and the like.
  • the flexible wiring board is manufactured from a heat resistant resin film with a metal film in which a metal film is formed on one side or both sides of a heat resistant resin film.
  • the wiring patterns formed on flexible wiring boards are becoming increasingly finer and higher in density, and it has become even more important that the heat resistant resin film with metal film itself be smooth without wrinkles and the like. There is.
  • a method of producing a heat resistant resin film with a metal film of this type a method of producing by sticking a metal foil to a heat resistant resin film with an adhesive (referred to as a method of producing a three-layer substrate), heat resistance to metal foil By coating with a reactive resin solution and drying it (called casting method), dry plating method (vacuum film forming method) or combination of dry plating method (vacuum film forming method) and wet plating method A method (referred to as a metallizing method) and the like of forming a metal film on a heat-resistant resin film and manufacturing it is conventionally known.
  • the above-mentioned dry plating method (vacuum film forming method) in the metallizing method there are a vacuum evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam sputtering method and the like.
  • Patent Document 1 discloses a method of sputtering chromium on a polyimide insulating layer and sputtering copper to form a conductor layer on the polyimide insulating layer.
  • Patent Document 2 a first metal thin film formed by sputtering using a copper-nickel alloy as a target and a second metal thin film formed by sputtering using copper as a target are sequentially laminated on a polyimide film.
  • a flexible circuit board material is disclosed.
  • a heat resistant resin film (substrate) such as a polyimide film
  • it is general to use a sputtering web coater.
  • a sputtering web coater which is a manufacturing apparatus of a heat resistant resin film with a metal film, is equipped with a can roll equipped with a cooling function, is rotationally driven, and is a transport path defined on the outer peripheral surface thereof.
  • a system is employed in which the heat resistant resin film being sputtered is cooled from the back side by winding the heat resistant resin film conveyed by roll-to-roll.
  • Patent Document 3 discloses an unwind-and-roll (roll-to-roll) vacuum sputtering apparatus which is an example of a sputtering web coater.
  • the unwinding and winding type vacuum sputtering apparatus is equipped with a cooling roll which plays the role of the above-mentioned can roll, and further, a control is made to bring the film into close contact with the cooling roll by a subroll provided at least on the film loading side or unloading side of the cooling roll. Has been done.
  • Non-Patent Document 1 since the outer peripheral surface of the can roll is not flat when viewed microscopically, a vacuum is generated between the can roll and the film conveyed in close contact with the outer peripheral surface. There are gaps (spaces) separated by spaces. For this reason, the heat of the film generated at the time of sputtering or vapor deposition is not actually efficiently transferred from the film to the can roll, and this causes the generation of the film wrinkles.
  • Patent Document 4 discloses a technique of providing a large number of fine holes serving as a gas discharge port on the outer peripheral surface of the can roll
  • No. 5 discloses a technique for providing a groove serving as a gas discharge port on the outer peripheral surface of the can roll.
  • the can roll itself is formed of a porous body, and the fine pores of the porous body itself are used as the gas discharge port.
  • the area where the film is not wound on the outer peripheral surface of the can roll The resistance at the gas outlet is lower than that of the (lap region). For this reason, most of the gas supplied to the can roll is released from the gas outlet in the non-lap portion region to the space of the vacuum chamber, and as a result, the outer peripheral surface of the can roll and the film wound there The amount of gas to be originally introduced into the gap between the above and the other may not be supplied, and the above-described effect of improving the thermal conductivity may not be obtained.
  • Patent Document 5 there is a method of opening a gas discharge port by providing a valve that protrudes and retracts from the outer peripheral surface of the can roll at the gas discharge port and pressing this valve against the film surface.
  • Patent Document 6 A cover is attached to an area (the above-mentioned non-lapping part area of the can roll outer peripheral surface) where the film is not wound starting from the carrying out part from which the film is carried out as a starting point and ending at the carrying in part where the film is carried.
  • Patent Document 6 A method has been proposed in which gas is efficiently introduced into the gap between the outer surface of the can roll and the film surface by preventing the gas from being released from the non-lapping region into the space.
  • the rotary joint 20 is composed of a fixed ring unit 22 and a rotating ring unit 21, and a sliding contact surface for gas control of each unit with respect to a central axis 56 a of the can roll 56.
  • FIG. 5 a plurality of gas supply passages 23 respectively communicating with the plurality of gas introduction passages 14 through the connection piping 25 are provided, and each of the plurality of gas supply passages 23 is A rotational opening that opens at an angular position corresponding to the angular position on the outer peripheral surface of the can roll 56 of the gas introduction passage 14 communicated via the connection pipe 25 (that is, substantially the same angular position as the angular position on the outer peripheral surface of the can roll 56) 23a is provided on the sliding surface for gas control.
  • the fixing ring unit 22 is fixed by an arc-shaped packing member 42 which is constituted by an annular groove 27a provided in the circumferential direction on the sliding surface for gas control and fitted in a predetermined area in the annular groove 27a.
  • a fixed closing part where the sliding surface for gas control of the ring unit 22 is closed and a fixed opening where the sliding surface for the gas control is not closed, and there is a gas distribution passage 27 which communicates with the supply piping 26 outside the vacuum chamber.
  • the fixed opening is within an angle range in which the film (long substrate) 52 is wound in the area on the gas control sliding surface of the fixed ring unit 22 opposed to the rotary opening 23a of the rotary ring unit 21. It is open with.
  • reference numeral 43 denotes a packing attachment jig.
  • the gas supply passage 23 and the gas distribution passage 27 are connected to face the fixed opening where the arc-shaped packing member 42 is not inserted into the recessed groove 27a, and the gas is released from the gas release hole 15 on the outer surface of the can roll 56 As a result, gas is introduced into the gap between the outer peripheral surface of the can roll 56 and the film 52.
  • the rotary joint 20 formed so that the sliding surfaces for gas control of the fixed ring unit 22 and the rotating ring unit 21 are parallel to the central axis 56a of the can roll 56 is as shown in FIGS.
  • the rotary ring unit 21 has a plurality of gas supply paths 23 respectively communicating with the plurality of gas introduction paths 14 via the connection pipe 25, and each of the gas supply paths 23 can open the can roll of the gas introduction path 14.
  • a rotational opening 23a that opens at an angular position corresponding to an angular position on the outer peripheral surface 56 is provided on the gas control sliding contact surface of the cylindrical convex portion 21b.
  • the fixing ring unit 22 is constituted by an annular groove 27a provided on the inner circumferential surface of the cylinder in the circumferential direction, and is fixed by a circular arc packing member 42 fitted in a predetermined area in the annular groove 27a.
  • reference numeral 43 denotes a packing attachment jig.
  • the rotation opening 23a of the rotation ring unit 21 is an annular shape of the fixed ring unit 22 as shown in FIG.
  • the gas supply passage 23 and the gas distribution passage 27 are connected to face the fixed opening where the arc-shaped packing member 42 is not inserted into the recessed groove 27a, and the gas is released from the gas release hole 15 on the outer surface of the can roll 56 As a result, gas is introduced into the gap between the outer peripheral surface of the can roll 56 and the film 52.
  • Patent No. 3447070 gazette Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-247073 WO 2005/001157 pamphlet U.S. Pat. No. 3,414,048 WO 2002/070778 pamphlet JP, 2012-132081, A
  • the arc-like packing member 42 inserted in the annular groove 27a of the fixing ring unit 22 is made of fluorine resin such as polytetrafluoroethylene, As shown in 9 (A) to (B), it has an arc shape to be fitted into the annular groove 27a, and the tip of the fixing member (fixing screw, piston shaft, etc.) of the packing attachment jig 43 is fitted.
  • a plurality of insertion holes 42 a are provided on one surface of the arc-like packing member 42.
  • FIG. 9 (A) is a circle applied to the “vertical type rotary joint” formed so that the sliding surface for gas control of the rotating ring unit and the fixed ring unit is perpendicular to the center axis of the can roll.
  • An arc-shaped packing member is shown
  • FIG. 9 (B) is a "parallel type rotary joint” formed so that the gas control sliding surfaces of the rotary ring unit and the fixed ring unit are parallel to the central axis of the can roll. It shows an arc-shaped packing member to be applied.
  • the present invention has been made in view of such problems, and the problem to be solved is that even if the arc-like packing member is worn by the contact with the gas control sliding contact surface of the rotary ring unit, the above-mentioned rotary ring A can roll and a long substrate processing apparatus capable of reliably closing the rotational opening of the unit and preventing damage to the rotational opening caused by the fixing member (piston shaft having biasing means) of the packing attachment jig It is an object of the present invention to provide a method of managing a long substrate processing apparatus which can control the replacement timing of the arc-shaped packing member.
  • the present invention can be completed which can prevent the damage of the rotation opening due to the piston shaft. It reached.
  • the first invention according to the present invention is The refrigerant circulation portion through which the refrigerant circulates, a plurality of gas introduction paths disposed along the entire circumference with a substantially even interval in the circumferential direction, and the gas outside the vacuum chamber in each of the plurality of gas introduction paths And a rotary joint for feeding the long substrate transported by roll-to-roll in the vacuum chamber, and partially winding and cooling the long substrate around the outer peripheral surface;
  • Each of the plurality of gas introduction paths has a plurality of gas discharge holes which are opened on the outer peripheral surface side at substantially equal intervals along the rotational axis direction of the can roll, and the rotary joint is long
  • the rotary joint is formed of a rotary ring unit and a fixed ring unit provided coaxially with the can roll and having a sliding contact surface for gas control
  • the fixing ring unit is constituted by an annular groove provided in the circumferential direction on the sliding surface of the fixing ring unit for gas control, and the fixing ring is formed by an arc-shaped packing member fitted in a predetermined area in the annular groove. It has a fixed closing part where the sliding surface for gas control of the unit is closed and a fixed opening where the sliding surface for gas control is not closed, and also has a gas distribution passage communicating with the gas supply piping outside the vacuum chamber.
  • the fixed opening is opened within an angle range in which the long substrate is wound in an area on the gas control sliding surface of the fixed ring unit to which the rotary opening of the rotary ring unit faces,
  • the arc-shaped packing member inserted into the predetermined area in the annular groove is urged toward the sliding control surface side of the rotary ring unit by the piston member of the packing attachment jig disposed on the back side.
  • the second invention is The refrigerant circulation portion through which the refrigerant circulates, a plurality of gas introduction paths disposed along the entire circumference with a substantially even interval in the circumferential direction, and the gas outside the vacuum chamber in each of the plurality of gas introduction paths And a rotary joint for feeding the long substrate transported by roll-to-roll in the vacuum chamber, and partially winding and cooling the long substrate around the outer peripheral surface;
  • Each of the plurality of gas introduction paths has a plurality of gas discharge holes which are opened on the outer peripheral surface side at substantially equal intervals along the rotational axis direction of the can roll, and the rotary joint is long
  • the rotating ring unit has a plurality of gas supply paths respectively communicating with the plurality of gas introduction paths, and each of the plurality of gas supply paths is an angular position on the canroll outer peripheral surface of the communicating gas introduction path.
  • the fixing ring unit is constituted by an annular recessed groove provided circumferentially on the cylindrical inner peripheral surface of the fixing ring unit, and an arc-like packing member fitted in a predetermined region in the annular recessed groove is used for the fixing ring unit.
  • a fixed closing portion having a closed sliding contact surface for gas control and a fixed opening portion not having a closed sliding contact surface for gas control, and a gas distribution passage communicating with a gas supply pipe outside the vacuum chamber, and
  • the fixed opening portion is opened within an angle range in which the long substrate is wound in a region on a gas control sliding surface of the fixed ring unit opposed to the rotary opening portion of the cylindrical convex portion in the rotary ring unit.
  • the arc-shaped packing member inserted into the predetermined area in the annular groove is urged toward the sliding control surface side of the rotary ring unit by the piston member of the packing attachment jig disposed on the back side.
  • the piston member While being attached, the piston member is characterized in that the stroke range of the piston shaft is restricted so that the tip end of the piston shaft fits inside the opening surface of the annular groove,
  • the third invention is In the can roll according to the first invention or the second invention,
  • the packing attachment jig is housed in a jig housing portion provided on the back side of an annular recessed groove in which the arc-shaped packing member is fitted, and one end is closed and the other end side has a hole for penetrating the piston shaft at the other end.
  • a piston member including a piston shaft accommodated in the cylindrical body and penetrating through the hole, and a flange portion provided on the base end side of the piston shaft, and accommodated in the cylindrical body; And a biasing means for biasing the piston shaft toward the annular groove via the flange portion of the piston member, wherein the tip end of the piston shaft of the piston member penetrates a hole provided on the bottom surface of the annular groove.
  • the fourth invention is In the can roll according to any one of the first to third inventions,
  • the biasing means for biasing the piston shaft of the piston member toward the annular recessed groove is constituted by a spring material incorporated on the back side of the flange portion of the piston member
  • the fifth invention is In the can roll according to the fourth invention,
  • the spring material is a coil spring
  • the sixth invention is In the can roll according to any one of the first to fifth inventions,
  • the arc-shaped packing member is made of a fluorine-based resin.
  • a seventh invention is A vacuum chamber, a transport mechanism for transporting a long substrate by roll-to-roll in the vacuum chamber, and a processing means for performing a process of applying a thermal load to the long substrate are spaced substantially equally in the circumferential direction.
  • Each of the plurality of gas introduction paths has a plurality of gas discharge holes which are opened on the outer peripheral surface side at substantially equal intervals along the rotational axis direction of the can roll, and the rotary joint is long
  • a long substrate processing having a structure in which a gas is supplied to a gas introduction path located within an angle range for winding a substrate and a gas is not supplied to a gas introduction path not located within an angle range for winding an elongated substrate
  • the rotary joint is formed of a rotary ring unit and a fixed ring unit provided coaxially with the can roll and having a sliding contact surface for gas control perpendicular to the central axis of the can roll,
  • the rotating ring unit has a pluralit
  • the fixing ring unit is constituted by an annular groove provided in the circumferential direction on the sliding surface of the fixing ring unit for gas control, and the fixing ring is formed by an arc-shaped packing member fitted in a predetermined area in the annular groove. It has a fixed closing part where the sliding surface for gas control of the unit is closed and a fixed opening where the sliding surface for gas control is not closed, and also has a gas distribution passage communicating with the gas supply piping outside the vacuum chamber.
  • the fixed opening is opened within an angle range in which the long substrate is wound in an area on the gas control sliding surface of the fixed ring unit to which the rotary opening of the rotary ring unit faces,
  • the arc-shaped packing member inserted into the predetermined area in the annular groove is urged toward the sliding control surface side of the rotary ring unit by the piston member of the packing attachment jig disposed on the back side.
  • the eighth invention is A vacuum chamber, a transport mechanism for transporting a long substrate by roll-to-roll in the vacuum chamber, and a processing means for performing a process of applying a thermal load to the long substrate are spaced substantially equally in the circumferential direction.
  • Each of the plurality of gas introduction paths has a plurality of gas discharge holes which are opened on the outer peripheral surface side at substantially equal intervals along the rotational axis direction of the can roll, and the rotary joint is long
  • a long substrate processing having a structure in which a gas is supplied to a gas introduction path located within an angle range for winding a substrate and a gas is not supplied to a gas introduction path not located within an angle range for winding an elongated substrate
  • a rotary ring unit having a convex cross section with a cylindrical base portion and a cylindrical convex portion provided concentrically with the can roll, and the cylindrical convex portion of the rotary ring unit are inserted into the central axis of the can roll.
  • the rotating ring unit has a plurality of gas supply paths respectively communicating with the plurality of gas introduction paths, and each of the plurality of gas supply paths is an angular position on the canroll outer peripheral surface of the communicating gas introduction path.
  • the fixing ring unit is constituted by an annular recessed groove provided circumferentially on the cylindrical inner peripheral surface of the fixing ring unit, and an arc-like packing member fitted in a predetermined region in the annular recessed groove is used for the fixing ring unit.
  • a fixed closing portion having a closed sliding contact surface for gas control and a fixed opening portion not having a closed sliding contact surface for gas control, and a gas distribution passage communicating with a gas supply pipe outside the vacuum chamber, and
  • the fixed opening portion is opened within an angle range in which the long substrate is wound in a region on a gas control sliding surface of the fixed ring unit opposed to the rotary opening portion of the cylindrical convex portion in the rotary ring unit.
  • the arc-shaped packing member inserted into the predetermined area in the annular groove is urged toward the sliding control surface side of the rotary ring unit by the piston member of the packing attachment jig disposed on the back side.
  • the ninth invention is In the long substrate processing apparatus according to the seventh invention or the eighth invention,
  • the packing attachment jig is housed in a jig housing portion provided on the back side of an annular recessed groove in which the arc-shaped packing member is fitted, and one end is closed and the other end side has a hole for penetrating the piston shaft at the other end.
  • a piston member including a piston shaft accommodated in the cylindrical body and penetrating through the hole, and a flange portion provided on the base end side of the piston shaft, and accommodated in the cylindrical body; And a biasing means for biasing the piston shaft toward the annular groove via the flange portion of the piston member, wherein the tip end of the piston shaft of the piston member penetrates a hole provided on the bottom surface of the annular groove.
  • the tenth invention relating to the present invention is In the long substrate processing apparatus according to any one of the seventh to ninth inventions,
  • the biasing means for biasing the piston shaft of the piston member toward the annular recessed groove is constituted by a spring material incorporated on the back side of the flange portion of the piston member
  • the eleventh invention is In the long substrate processing apparatus according to the tenth invention,
  • the spring material is a coil spring
  • the twelfth invention is In the long substrate processing apparatus according to any of the seventh to eleventh inventions,
  • the arc-shaped packing member is made of a fluorine-based resin
  • the thirteenth invention is In the long substrate processing apparatus according to any of the seventh to twelfth inventions, Characterized in that the above-mentioned processing to which heat load is applied is plasma processing or ion beam processing;
  • the fourteenth invention is In the long substrate processing apparatus according to the thirteenth invention,
  • the plasma processing or ion beam processing mechanism is opposed to the transport path defined by the outer
  • An arc-shaped packing member fitted in a predetermined area in the annular groove is mounted by urging it toward the gas control sliding surface side of the rotary ring unit by the piston member of the packing mounting jig disposed on the back side
  • the piston member of the packing mounting jig disposed on the back side
  • the piston member for fixing the arc-shaped packing member is restricted in the stroke range of the piston shaft so that the tip end of the piston shaft fits inside the opening surface of the annular groove, and the sliding contact for gas control Even when wear of the arc-shaped packing member progresses due to contact with the surface, the tip of the piston shaft does not protrude to the gas control sliding contact surface side of the rotating ring unit. Can be prevented.
  • a gas leak from the rotary opening is confirmed based on the decrease of the gas pressure in the gas introduction passage or the increase of the gas introduction amount for maintaining the designated pressure in the gas introduction passage. Since detection is possible, it is possible to control the replacement time of the arc-shaped packing member.
  • FIG. 7 is a schematic perspective view of a fixed ring unit and a rotating ring unit formed so that the gas control sliding contact surfaces are perpendicular to the central axis of the can roll.
  • Explanatory drawing which shows schematic structure of the can roll formed so that the sliding contact surface for gas control of a fixed ring unit and a rotation ring unit might become perpendicular
  • FIG. 8 is a schematic perspective view of a fixed ring unit and a rotating ring unit formed so that the gas control sliding contact surfaces are parallel to the central axis of the can roll.
  • Explanatory drawing which shows schematic structure of the can roll formed so that the sliding contact surfaces for gas control of a fixed ring unit and a rotation ring unit might become parallel with respect to the central axis of a can roll.
  • FIG. 9A is a schematic partial perspective view of the arc-shaped packing member applied to the “vertical rotary joint”
  • FIG. 9B is a schematic partial perspective view of the arc-shaped packing member applied to the “parallel rotary joint”
  • FIG. 9 (C) is an explanatory view showing a state in which the arc-shaped packing member is attached in a state of being urged toward the sliding contact surface side for gas control.
  • FIG. 10 (A) is an explanatory view showing a state in which a fixing screw is applied as a fixing member of the packing attachment jig
  • FIG. 10 (B) is a problem when the fixing screw is applied (gas leakage from the rotation opening)
  • FIG. 10 (C) is an explanatory view showing a state in which a piston shaft having biasing means is applied as a fixing member of a packing attachment jig
  • FIG. 10 (D) is a case where a piston shaft is applied.
  • 11 (A) to 11 (B) are schematic perspective views showing a state where the piston member of the present invention whose stroke range is restricted is applied as a fixing member of the packing attachment jig.
  • 12 (A) to 12 (C) are action explanatory views of the piston member of the present invention.
  • the present invention a can roll according to the prior art, and a specific example of a long substrate processing apparatus equipped with the can roll will be described in detail with reference to the drawings.
  • a long substrate vacuum film forming apparatus which is an example of a long substrate processing apparatus will be described with reference to FIG.
  • substrate as an example is demonstrated.
  • a sputtering process will be described as an example.
  • a film forming apparatus for a long heat resistant resin film shown in FIG. 1 is an apparatus called a sputtering web coater, and the surface of a long heat resistant resin film conveyed by a roll-to-roll method. It is preferably used in the case where the film forming process is continuously and efficiently performed.
  • the film forming apparatus for the long heat-resistant resin film transported by the roll-to-roll method is provided in the vacuum chamber 50 and is unwound from the unwinding roll 51.
  • the long heat-resistant resin film 52 is wound by a winding roll 64.
  • a can roll 56 rotationally driven by a motor is disposed inside the can roll 56.
  • a refrigerant whose temperature is adjusted outside the vacuum chamber 50 is circulated.
  • a portion in which the film 52 is wound around the outer peripheral surface of the can roll 56 will be referred to as a “wrap portion”, and a portion in which the film 52 is not wound will be referred to as a “non-wrap portion”.
  • the vacuum chamber 50 for sputtering film formation, pressure reduction to about an ultimate pressure of about 10 -4 Pa and pressure adjustment of about 0.1 to 10 Pa by introduction of a sputtering gas thereafter are performed.
  • a known gas such as argon is used as the sputtering gas, and a gas such as oxygen is further added according to the purpose.
  • the shape and material of the vacuum chamber 50 are not particularly limited as long as they can withstand such a reduced pressure state, and various types can be used.
  • the vacuum chamber 50 is equipped with various devices such as a dry pump, a turbo molecular pump, a cryo coil, etc. which are not shown.
  • a free roller 53 for guiding the long heat resistant resin film 52 and a tension sensor roll 54 for measuring the tension of the long heat resistant resin film 52 Arranged in order. Further, the long heat-resistant resin film 52 fed from the tension sensor roll 54 and directed to the can roll 56 is adjusted with respect to the circumferential speed of the can roll 56 by a motor drive feed roller 55 provided in the vicinity of the can roll 56. To be done. Thus, the long heat resistant resin film 52 can be brought into close contact with the outer peripheral surface of the can roll 56.
  • the conveyance path from the can roll 56 to the take-up roll 64 is also a tension sensor that measures the tension of the motor-driven feed roller 61 and the long heat-resistant resin film 52 that adjust the circumferential speed of the can roll 56
  • a roll 62 and a free roller 63 for guiding the long heat resistant resin film 52 are disposed in this order.
  • the tension balance of the long heat-resistant resin film 52 is maintained by torque control using a powder clutch or the like. Further, the long heat-resistant resin film 52 is unwound from the unwinding roll 51 by the rotation of the can roll 56 and the motor-driven feed rollers 55 and 61 rotated in conjunction with this, and is wound around the winding roll 64. It is supposed to be.
  • a position opposite to the conveyance path defined by the outer peripheral surface of the can roll 56 (that is, the area around the long heat resistant resin film 52 of the outer peripheral surface of the can roll 56) is formed.
  • Magnetron sputtering cathodes 57, 58, 59 and 60 as film means are provided.
  • the above-mentioned angle range is referred to as a holding angle of the long heat-resistant resin film 52, and this range is referred to as the above-mentioned wrap portion.
  • a plate-like target In the case of sputtering deposition of a metal film, a plate-like target can be used as shown in FIG. 1, but when a plate-like target is used, nodules (growth of foreign matter) may be generated on the target is there. If this is a problem, it is preferable to use a cylindrical rotary target which has no generation of nodules and high target usage efficiency.
  • the film forming apparatus for the long heat-resistant resin film 52 in FIG. 1 assumes sputtering processing as processing to which heat load is applied, a magnetron sputtering cathode is illustrated, but processing to which heat load is applied In the case of other things such as CVD (chemical vapor deposition) or vapor deposition, other vacuum film forming means may be provided instead of the plate-like target.
  • CVD chemical vapor deposition
  • vapor deposition other vacuum film forming means may be provided instead of the plate-like target.
  • the can roll 56 with a gas release mechanism is constituted by a cylindrical member 10 (see FIG. 2) which is rotationally driven about a rotation center shaft 56a by a drive device (not shown).
  • a transport path is defined to transport the long heat resistant resin film 52 while winding it around the outer surface of the cylindrical member 10.
  • a refrigerant circulating unit 11 see FIGS. 4 and 7) through which a refrigerant such as cooling water flows is formed in a jacket structure.
  • the rotary shaft 12 located at the rotation center shaft 56 a of the cylindrical member 10 has a double piping structure, and is not shown provided outside the vacuum chamber 50 via the rotary shaft 12.
  • the refrigerant is circulated between the refrigerant cooling device and the refrigerant circulating unit 11, whereby temperature control of the outer peripheral surface of the can roll 56 is possible.
  • a refrigerant such as cooling water cooled by the refrigerant cooling device is introduced from the cooling water port 40 and is sent to the refrigerant circulating unit 11 through the inside of the inner pipe 12a, where the heat of the long heat resistant resin film 52 is After receiving and raising the temperature, it is returned to the refrigerant cooling device again through the space between the inner pipe 12a and the outer pipe 12b.
  • the bearing 32 which supports the can roll 56 which rotates outside the outer side piping 12b is provided.
  • FIG. 2 shows an example in which twelve gas introduction paths 14 are disposed at an equal interval over the entire circumference.
  • Each gas introduction passage 14 has a plurality of gas discharge holes 15 opened on the outer surface side of the cylindrical member 10 (that is, the outer peripheral surface side of the can roll 56).
  • the plurality of gas release holes 15 are provided at substantially equal intervals along the direction of the rotation center axis 56 a of the can roll 56. Then, as shown in FIG. 2, gas is supplied from the outside of the vacuum chamber 50 to the respective gas introduction paths 14 through the rotary joint 20 consisting of the rotary ring unit 21 and the fixed ring unit 22. It becomes possible to introduce a gas into the gap (gap) formed between the outer peripheral surface of the can roll 56 and the long heat resistant resin film 52 wound there.
  • the gap portion is thermally insulated by vacuum to reduce the heat conduction efficiency.
  • the heat generated during the heat treatment causes the heat-resistant resin film 52 to be wrinkled.
  • Rotary joint (3-1) Vertical rotary joint
  • the vertical rotary joint is fixed to the rotary ring unit 21 and the fixing jig 41 so as not to rotate as shown in FIGS. 3 to 5.
  • And 22 are composed.
  • the rotary ring unit 21 has a plurality of gas supply passages 23 respectively communicating with the plurality of gas introduction passages 14 via the connection piping 25, and each of the gas supply passages 23 is connected to the connection piping 25.
  • each of the gas supply passages 23 is connected to the connection piping 25.
  • the rotation opening 23a opened at an angular position corresponding to the angular position on the outer peripheral surface of the can roll 56 of the gas introduction passage 14 communicated via the valve (approximately the same angular position as the angular position on the outer peripheral surface of the can roll 56) It has on the sliding surface.
  • the fixing ring unit 22 is fixed by an arc-shaped packing member 42 which is constituted by an annular groove 27a provided in the circumferential direction on the sliding surface for gas control and fitted in a predetermined area in the annular groove 27a.
  • a fixed closing part where the sliding surface for gas control of the ring unit 22 is closed and a fixed opening where the sliding surface for the gas control is not closed, and there is a gas distribution passage 27 which communicates with the supply piping 26 outside the vacuum chamber.
  • the fixed opening is an opening within an angle range in which the long heat-resistant resin film 52 is wound in the region on the gas control sliding surface of the fixed ring unit 22 opposed to the rotary opening 23a of the rotary ring unit 21. doing.
  • region of the can roll 56 by which the film 52 is not wound around the can roll 56 outer peripheral surface as shown in FIG.
  • the gas supply passage 23 and the gas distribution passage 27 are separated from each other so as to face the fixed closing portion where the arc-shaped packing member 42 is inserted into the annular groove 27a, and the gas from the outside of the vacuum chamber 50 is supplied Since the structure is not supplied to the passage 23, no gas is released from the gas release holes 15 on the outer peripheral surface of the can roll 56.
  • the rotation opening 23a of the rotation ring unit 21 is an annular ring of the fixed ring unit 22 as shown in FIG.
  • the gas supply passage 23 and the gas distribution passage 27 are connected to face the fixed opening where the arc-shaped packing member 42 is not inserted into the recessed groove 27a, and the gas is released from the gas release hole 15 on the outer surface of the can roll 56 As a result, gas is introduced into the gap between the outer peripheral surface of the can roll 56 and the film 52.
  • reference numeral 43 in FIGS. 3 to 5 denotes a packing attachment jig
  • reference numeral 77 in FIG. 5 denotes a fixing screw hole of the rotary ring unit 21
  • the pressure gauge port for measuring the pressure in the gas distribution path 27 corresponded to the gas pressure between gaps of the film 52 with the can roll 56 surface of the wrap part area
  • the parallel-type rotary joint as shown in FIGS. 6 to 8, includes a rotary ring unit 21 having a convex cross section and a rotary ring unit 21, which has a cylindrical base 21 a and a cylindrical convex portion 21 b.
  • the cylindrical convex portion 21 b is fitted into a fixed ring unit 22 fixed so as not to be rotated by the fixing jig 41.
  • the rotary ring unit 21 has a plurality of gas supply passages 23 respectively communicating with the plurality of gas introduction passages 14 via the connection piping 25, and each of the gas supply passages 23 is a can of the gas introduction passage 14 communicated.
  • a rotary opening 23a that opens at an angular position corresponding to the angular position on the outer peripheral surface of the roll 56 is provided on the gas control sliding contact surface of the cylindrical convex portion 21b.
  • the fixing ring unit 22 is constituted by an annular groove 27a provided on the inner peripheral surface of the cylinder in the circumferential direction, and is fixed by an arc-shaped packing member 42 fitted in a predetermined area in the annular groove 27a.
  • 22 has a fixed closing portion in which the sliding surface for gas control is closed and a fixed opening portion in which the sliding surface for gas control is not closed, and has a gas distribution passage 27 communicating with the supply piping 26 outside the vacuum chamber 50 There is.
  • the fixed opening winds the long heat-resistant resin film 52 in the area on the gas control sliding surface of the fixed ring unit 22 to which the rotary opening 23a of the cylindrical convex portion 21b of the rotary ring unit 21 faces. It is open within the angular range.
  • the rotation opening 23a of the rotation ring unit 21 is an annular shape of the fixed ring unit 22 as shown in FIG.
  • the gas supply passage 23 and the gas distribution passage 27 are connected to face the fixed opening where the arc-shaped packing member 42 is not inserted into the recessed groove 27a, and the gas is released from the gas release hole 15 on the outer surface of the can roll 56 As a result, gas is introduced into the gap between the outer peripheral surface of the can roll 56 and the film 52.
  • a packing attachment jig 43, a reference numeral 77 in FIG. 8 indicate fixed screw holes of the rotary ring unit 21, and reference numerals 82 and 83 in FIG.
  • the pressure gauge port for measuring the pressure in the gas distribution path 27 corresponded to the gas pressure between gaps of the film 52 with the can roll 56 surface of the wrap part area
  • the tip end of the piston shaft 43b is outward from the opening surface of the annular groove 27a (for gas control of the rotary ring unit 21
  • the tip end of the piston shaft 43b contacts the rotation opening 23a of the rotation ring unit 21 and damages it, so that the later use becomes difficult as described above Was present.
  • the piston member (fixing member) of the packing attachment jig according to the present invention has a stroke range of the piston shaft of the piston member restricted and the piston shaft tip has an annular groove. It is characterized in that it fits inside the opening surface.
  • FIGS. 11 (A) to (B) specific examples of the packing attachment jig according to the present invention are shown in FIGS. 11 (A) to (B). That is, the packing attachment jig 43 according to the present invention is housed in the jig housing portion 100 provided on the back side of the annular groove 27a into which the arc-shaped packing member 42 is fitted, and one end is closed and the other end is held.
  • a cylindrical main body 90 having a hole for penetrating the piston shaft, a piston shaft 91 accommodated in the cylindrical main body 90 and passing through the hole, and a flange 92 provided on the base end side of the piston shaft 91 And a biasing means (coil spring) 93 housed in the cylindrical main body 90 and biasing the piston shaft 91 toward the annular groove 27a via the flange portion 92 of the piston member. ing.
  • the distal end of the piston shaft 91 of the piston member penetrates the hole provided on the bottom surface of the annular groove 27a and is inserted into the arcuate packing member 42 from the back side of the arcuate packing member 42 and rotates
  • the arc-shaped packing member 42 is worn by contact with the sliding surface for gas control of the ring unit 21 and the flange portion 92 of the piston member is locked in the hole of the cylindrical main body 90.
  • the stroke range is restricted, and as shown in FIG. 11B, the tip end of the piston shaft 91 fits inward from the opening surface of the annular groove 27a (does not protrude to the sliding control surface side of the rotary ring unit 21). It has become.
  • the arc-shaped packing member 42 is always pressed toward the sliding surface of the rotary ring unit 21 toward the sliding surface for gas control. Even if the arc-shaped packing member 42 wears due to the contact, it is possible to close the rotation opening 23a of the rotation ring unit 21 as shown in FIGS. 12 (A) to 12 (B). Further, even when the wearing state of the arc-shaped packing member 42 progresses due to the contact with the gas control sliding contact surface of the rotating ring unit 21, the stroke range of the piston shaft 91 is restricted as shown in FIG. Since the tip end of the piston shaft 91 does not protrude to the gas control sliding contact surface side of the rotary ring unit 21, it is possible to prevent damage to the rotary opening 23 a in the rotary ring unit 21.
  • the pressure decreases when the flow rate of the pressure gauge attached to the fixed ring unit 22 is controlled, and When the pressure gauge is pressure-controlled, the gas flow rate for maintaining the set pressure is increased, so that it is possible to know the life of the arc-shaped packing member 42 (that is, the replacement timing of the packing member).
  • the rotary joint may be mounted not only on one side of the can roll but also on both sides of the can roll, and is preferably mounted on both sides of the can roll in order to stabilize the gas pressure.
  • the long substrate processing apparatus has been described by taking a heat resistant resin film as an example as a long substrate, but the long substrate processing according to the present invention It is possible to use metal films, such as a metal foil and a metal strip, as well as other resin films, for the long substrate used in the apparatus.
  • a resin film a heat resistant resin film like a resin film comparatively inferior to heat resistance like a polyethylene terephthalate (PET) film, or a polyimide film can be illustrated.
  • the heat resistant resin film When producing the above-mentioned heat resistant resin film with a metal film, it is possible to use a polyimide film, a polyamide film, a polyester film, a polytetrafluoroethylene film, a polyphenylene sulfide film, a polyethylene naphthalate film or a liquid crystal polymer film
  • the heat resistant resin film chosen is used suitably. This is because the heat-resistant resin film with a metal film obtained using these materials is excellent in the flexibility required for a flexible substrate with a metal film, the strength necessary for practical use, and the electrical insulation suitable as a wiring material. is there.
  • manufacture of the heat resistant resin film with a metal film is obtained by sputtering-forming a metal film on the surface using the said heat resistant resin film as a long board
  • a film made of a Ni-based alloy or the like and a Cu film are laminated on the surface of a heat resistant resin film by treating the heat resistant resin film with a metallizing method using the above-described film forming apparatus (sputtering web coater).
  • a long heat-resistant resin film with a metal film can be obtained.
  • the above-mentioned heat resistant resin film with a metal film is sent to another process, where it is processed into a flexible wiring board having a predetermined wiring pattern by a subtractive method.
  • the subtractive method means a method of manufacturing a flexible wiring board by removing a metal film (for example, the above-mentioned Cu film) which is not covered with a resist by etching.
  • the film made of the above Ni-based alloy or the like is called a seed layer, and its composition is appropriately selected depending on the properties such as electrical insulation and migration resistance required for the heat resistant resin film with a metal film.
  • wet plating may be used. In this case, a method of forming a metal film only by electroplating or a method of combining electroless plating as primary plating and wet plating such as electrolytic plating as secondary plating is used. General wet plating conditions can be adopted for the wet plating process.
  • the heat-resistant resin film with a metal film has been described as an example in which a long heat-resistant resin film is laminated with a metal film such as Ni-Cr alloy or Cu, oxides other than the above-mentioned metal films can be used. It is also possible to use the present invention for forming a film, a nitride film, a carbide film or the like.
  • the long substrate vacuum film forming apparatus includes the long substrate in the vacuum chamber under a reduced pressure atmosphere.
  • the heat treatment such as plasma treatment and ion beam treatment is also included.
  • the surface of the long substrate is reformed by plasma treatment or ion beam treatment, but at that time, the long substrate is subjected to a thermal load. Even in such a case, the can roll and the long substrate processing apparatus using the same according to the present invention can be applied, and the occurrence of wrinkles on the long substrate due to the thermal load can be suppressed without leaking a large amount of introduced gas. can do.
  • Examples of the plasma treatment include a method of processing an elongated substrate by generating oxygen plasma or nitrogen plasma by performing discharge with a mixed gas of argon and oxygen or a mixed gas of argon and nitrogen in a reduced pressure atmosphere.
  • ion beam processing means processing of generating plasma discharge at a magnetic field gap to which a strong magnetic field is applied and irradiating positive ions in plasma as an ion beam to a long substrate.
  • a well-known ion beam source can be used for ion beam processing.
  • these plasma processing and ion beam processing are both performed under a reduced pressure atmosphere.
  • the feed roller 55 provided on the carry-in side of the can roll contacts the can roll and the film at an angle 20 ° position
  • the feed roller 61 provided on the carry-out side of the can roll contacts the can roll and a film at an angle 340 ° position. (Ie, the angle of the non-lap portion is set at 40 °).
  • the angle around the angle in the non-lapping part where the gas control becomes unstable is 20 ° respectively, and the gas stop angle in the non-lapping part (in a predetermined area of the annular groove 27a constituting the gas distribution passage 27 of the fixed ring unit)
  • the angle of the fixed closing portion formed by the arc-shaped packing member 42 to be inserted was 90 ° (> non-wrap portion 40 ° + 20 ° ⁇ 2 around the unstable portion).
  • FIGS. 3 to 5 Two types of “vertical type rotary joints” shown in FIGS. 3 to 5 and “parallel type rotary joints” shown in FIGS. 6 to 8 were manufactured.
  • FIG. 9A An arc-shaped packing member shown in FIG. 9A, which is made of a fluorine resin (Teflon (registered trademark)) as the material of the packing member in consideration of slipperiness and durability, and which is applied to the “vertical type rotary joint”
  • Teflon registered trademark
  • each fixing member (fixing screw 43a, piston shaft 43b, piston shaft 91) into the arc-shaped packing member is 5 mm, and it is processed so that the stroke remains 4 mm only for the piston shaft 91 of the present invention.
  • the piston shaft 91 does not advance with leaving 1 mm of packing.
  • Example 10 Using the film forming apparatus (sputtering web coater) shown in FIG. 1, a long heat resistant resin film with a metal film was produced.
  • a long heat-resistant resin film hereinafter referred to as a film 52
  • UPILEX registered trademark
  • a can roll with a gas introduction mechanism having a jacket roll structure as shown in FIG. 2 was used as the can roll 56.
  • the cylindrical member 10 of the can roll 56 was made of stainless steel having a diameter of 900 mm and a width of 750 mm, and hard chrome plating was applied to the outer peripheral surface thereof.
  • 180 gas introduction passages 14 with an inner diameter of 5 mm extending in parallel with the rotational axis direction of the can roll 56 are drilled along the entire circumferential direction at equal intervals. .
  • the tip end side of both ends of the gas introduction passage 14 is bottomed so as not to penetrate the cylindrical member 10.
  • Each gas introduction passage 14 was provided with 47 gas discharge holes 15 with an inner diameter of 0.2 mm, which were opened on the outer surface side of the cylindrical member 10 (that is, the outer peripheral surface side of the can roll 56). These 47 gas discharge holes 15 are orthogonal to the traveling direction of the film 52 in the region between the ends of the transport path of the film 52 defined on the outer surface of the cylindrical member 10 by 20 mm respectively. It arranges with the pitch of 10 mm in the direction which That is, the gas release holes 15 were not provided in the region of 145 mm from each end of the outer peripheral surface of the can roll 56.
  • the 180 gas introduction passages 14 are equally disposed circumferentially along the entire circumference of the cylindrical member 10, but these 180 gas introduction passages 14 are directly connected to the rotary joint 20. Because it is difficult to do so, five gas introduction pipes 14 were connected to a branch pipe (not shown) and then connected to the end of the connection pipe 25 of the rotary ring unit 21. That is, as described above, 36 connection pipes 25 are formed in the rotary ring unit 21 of the rotary joint 20, and gases are introduced collectively for 10 °.
  • a Cu film is formed on a Ni-Cr film which is a seed layer. Therefore, a Ni-Cr target is used as the magnetron sputtering target 57, and a magnetron sputtering target 58 , 59, 60 used a Cu target.
  • the tension of the unwinding roll 51 and the winding roll 64 was 200N.
  • the can roll 56 is controlled at 20 ° C. by water cooling, but the cooling effect can not be expected unless the heat conduction efficiency between the film 52 and the can roll 56 is good.
  • the film 52 wound on the side of the unwinding roll 51 of this film forming apparatus was set, and one end thereof was attached to the winding roll 64 via the can roll 56.
  • the air in the vacuum chamber 50 was evacuated to 5 Pa using a plurality of dry pumps, and further evacuated to 3 ⁇ 10 ⁇ 3 Pa using a plurality of turbo molecular pumps and a cryocoil.
  • the rotary drive is activated to introduce argon gas at 300 sccm while conveying the film 52 at a conveyance speed of 3 m / min, and applying 10 kW of electric power to the magnetron sputtering cathodes 57, 58, 59, 60 It controlled.
  • the diaphragm vacuum gauge attached to pressure gauge ports 82 and 83 of the rotary joint incorporated in the can roll 56 causes the pressure between the gap between the can roll surface and the film to be 800 Pa from the supply piping 26 of the fixing ring unit 22.
  • the argon gas flow rate was controlled.
  • the gas flow rate at this time was 20 sccm.
  • the surface of the film 52 on the can roll 56 where gas introduction is performed is observed from the window through which the surface of the film 52 on the can roll 56 can be observed during film formation. No film wrinkle caused by the heat load was observed on the film 52 immediately after film formation which passed through the film formation zones of 58, 59, and 60.
  • the can roll with a gas discharge mechanism according to the present invention since it is possible to avoid gas leakage in the non-lap portion and damage to the rotary opening in the rotary ring unit, copper-clad used for flexible wiring substrates in liquid crystal televisions, mobile phones, etc. It has industrial applicability applied as a manufacturing apparatus and manufacturing method of laminated resin film (heat-resistant resin film with metal film).

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Abstract

【課題】長尺基板が巻き付けられないキャンロールの非ラップ部領域から冷却用ガスが漏れないキャンロールとこれを用いた長尺基板処理装置を提供する。 【解決手段】回転リングユニット21と固定リングユニット22とで構成されたロータリージョイントを介しキャンロールに設けられた複数のガス導入路に選択的にガスを供給するガス放出機構付きキャンロールにおい、固定リングユニットの環状凹溝27a内に嵌入される円弧状パッキン部材42がパッキン取付け治具43のピストン部材により回転リングユニットの回転開口部23a側へ向け付勢して取付けられており、回転開口部を塞いで非ラップ部領域からのガス漏れを防止する。また、ピストン部材のピストン軸91はそのストローク範囲が規制され、円弧状パッキン部材が摩耗してもピストン軸91の先端が回転開口部側へ突き出ることがないため回転開口部の破損を防止できる。

Description

キャンロールと長尺基板処理装置および長尺基板処理装置の管理方法
　本発明は、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺耐熱性樹脂フィルム等の長尺基板をキャンロールの外周面に巻き付けた状態でイオンビーム処理やスパッタリング成膜等の熱負荷が掛かる表面処理を行う長尺基板処理装置に係り、特に、冷却効果の高いガス放出機構を有しかつ長尺基板が巻き付けられないキャンロール外周面からのガス漏れを抑制できるキャンロールとこのキャンロールを用いた長尺基板処理装置の改良に関するものである。
　液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、フレキシブル配線基板が用いられている。フレキシブル配線基板は、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムから作製される。近年、フレキシブル配線基板に形成される配線パターンはますます微細化、高密度化しており、金属膜付耐熱性樹脂フィルム自体が皺等のない平滑なものであることがより一層重要になってきている。
　この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造方法としては、接着剤により金属箔を耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法と称される）、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法（キャスティング法と称される）、乾式めっき法（真空成膜法）若しくは乾式めっき法（真空成膜法）と湿式めっき法との組み合わせにより耐熱性樹脂フィルムに金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法と称される）等が従来から知られている。また、メタライジング法における上記乾式めっき法（真空成膜法）には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。
　上記メタライジング法として、特許文献１では、ポリイミド絶縁層上にクロムをスパッタリングした後、銅をスパッタリングしてポリイミド絶縁層上に導体層を形成する方法が開示されている。また、特許文献２では、ポリイミドフィルム上に、銅ニッケル合金をターゲットとしてスパッタリングにより形成された第一の金属薄膜と、銅をターゲットとしてスパッタリングにより形成された第二の金属薄膜の順に積層して形成されたフレキシブル回路基板用材料が開示されている。尚、ポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルム（基板）に真空成膜を行うには、スパッタリングウェブコータを用いることが一般的である。
　上述した真空成膜法において、一般にスパッタリング法は密着力に優れる反面、真空蒸着法に較べて耐熱性樹脂フィルムに与える熱負荷が大きいといわれている。そして、成膜の際に耐熱性樹脂フィルムに大きな熱負荷が掛かると、フィルムに皺が発生し易くなることも知られている。この皺の発生を防ぐため、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置であるスパッタリングウェブコータでは冷却機能を備えたキャンロールを搭載し、これを回転駆動してその外周面に画定される搬送経路にロールツーロールで搬送される耐熱性樹脂フィルムを巻き付けることによってスパッタリング処理中の耐熱性樹脂フィルムをその裏面側から冷却する方式が採用されている。
　例えば特許文献３には、スパッタリングウェブコータの一例である巻出巻取式（ロールツーロール方式）真空スパッタリング装置が開示されている。この巻出巻取式真空スパッタリング装置には上記キャンロールの役割を担うクーリングロールが具備されており、更にクーリングロールの少なくともフィルム搬入側若しくは搬出側に設けたサブロールによってフィルムをクーリングロールに密着する制御が行われている。
　しかし、非特許文献１に記載されているように、キャンロールの外周面はミクロ的に見て平坦ではないため、キャンロールとその外周面に密着して搬送されるフィルムとの間には真空空間を介して離間するギャップ部（間隙）が存在している。このため、スパッタリングや蒸着の際に生じるフィルムの熱は、実際にはフィルムからキャンロールに効率よく伝熱されているとはいえず、これがフィルム皺発生の原因となっていた。
　そこで、上記キャンロール外周面とフィルムとの間のギャップ部にキャンロール側からガスを導入し、ギャップ部の熱伝導率を真空に較べて高くする技術が提案されている。
　そして、ギャップ部にキャンロール側からガスを導入する具体的な方法として、例えば特許文献４には、キャンロール外周面にガスの放出口となる多数の微細孔を設ける技術が開示され、特許文献５には、キャンロール外周面にガスの放出口となる溝を設ける技術が開示されている。また、キャンロール自体を多孔質体で構成し、その多孔質体自身の微細孔をガス放出口とする方法も知られている。
　ところで、キャンロール外周面にガスの放出口となる微細孔や溝等を設ける方法において、キャンロールの外周面にフィルムが巻き付けられていない領域（非ラップ部領域）はフィルムが巻き付けられている領域（ラップ部領域）に較べてガスの放出口における抵抗が低くなる。このため、キャンロールに供給されるガスの大半が、非ラップ部領域のガス放出口から真空チャンバーの空間へ放出されてしまい、この結果、キャンロールの外周面とそこに巻き付けられているフィルムとの間のギャップ部に本来導入されるべき量のガスが供給されなくなり上述した熱伝導率を高める効果が得られなくなることがあった。
　この問題に対しては、キャンロールの外周面から出没するバルブをガス放出口に設け、このバルブをフィルム面で押さえつけることによってガス放出口を開放する方法（特許文献５）や、上記キャンロール外周面の内、フィルムが搬出される搬出部を始点としフィルムが搬入される搬入部を終点とするフィルムが巻き付けられない領域（キャンロール外周面の上記非ラップ部領域）にカバーを取り付け、真空チャンバーの空間へ非ラップ部領域からガスが放出されるのを防止してキャンロール外周面とフィルム表面とのギャップ部に効率よくガスを導入させる方法（特許文献６参照）等が提案されている。
　しかし、キャンロール外周面から出没するバルブをフィルム面で押さえつけてガス放出口を開放させる特許文献５の方法は、バルブの接触によりフィルム面に僅かなキズや凹みを生じさせる恐れがあり、高い品質が要求される電子機器を用途とするフレキシブル配線基板の製造に採用することは難しかった。また、キャンロール外周面の内、フィルムが巻き付けられない領域（非ラップ部領域）にカバーを取り付ける特許文献６の方法は、高い真空度で成膜を行う処理装置においてカバーとキャンロール外周面との隙間からガスが漏れ易いため、特許文献５の方法と同様、採用することは困難であった。
　このような技術的背景の下、本発明者は、フィルムが巻き付けられないキャンロール外周面へガスを供給しない構造にして上記非ラップ部領域からのガス放出を防止するキャンロールを既に提案している（特許文献７参照）。すなわち、このキャンロールは、図２に示すように、キャンロール５６の肉厚部に複数のガス導入路１４が設けられ、かつ、各ガス導入路１４には多数のガス放出孔１５が設けられていると共に、ガス導入路１４の各々に下記ロータリージョイント２０を介して真空チャンバー外部のガスが選択的に供給されるように制御するものであった。また、上記ロータリージョイント２０は、図２に示すように、固定リングユニット２２と回転リングユニット２１とで構成され、上記キャンロール５６の中心軸５６ａに対して各ユニットのガス制御用摺接面が垂直となるように形成されたキャンロールと、上記中心軸５６ａに対して各ユニットのガス制御用摺接面が平行となるように形成されたキャンロールが作製されている。
　そして、上記キャンロール５６の中心軸５６ａに対して固定リングユニット２２と回転リングユニット２１のガス制御用摺接面が垂直となるように形成されたキャンロールの上記回転リングユニット２１は、図３～図５に示すように、連結配管２５を介し複数のガス導入路１４にそれぞれ連通する複数のガス供給路２３を有しており、かつ、これ等複数のガス供給路２３の各々は、上記連結配管２５を介し連通するガス導入路１４のキャンロール５６外周面上の角度位置に対応した角度位置（すなわち、キャンロール５６外周面上の角度位置と略同じ角度位置）で開口する回転開口部２３ａを上記ガス制御用摺接面に有している。他方、上記固定リングユニット２２は、ガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝２７ａにより構成されかつ環状凹溝２７ａ内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材４２により固定リングユニット２２のガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部の供給配管２６に連通するガス分配路２７を有しており、上記固定開口部は、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａが対向する固定リングユニット２２のガス制御用摺接面上の領域のうちフィルム（長尺基板）５２を巻き付ける角度範囲内で開口している。尚、図３～図５中、符号４３はパッキン取付け治具を示している。
　そして、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられないキャンロール５６の非ラップ部領域に対応する場合、図３に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入された固定閉止部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は互いに切り離された状態になり、真空チャンバー５０外部からのガスがガス供給路２３へ供給されない構造になるためキャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されることはない。また、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられるキャンロール５６のラップ部領域に対応する場合、図３に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、上記固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入されない固定開口部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は接続された状態となり、キャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されてキャンロール５６外周面とフィルム５２間のギャップ部にガスが導入されるようになっている。
　一方、キャンロール５６の中心軸５６ａに対し固定リングユニット２２と回転リングユニット２１のガス制御用摺接面が平行となるように形成されたロータリージョイント２０は、図６～図８に示すように、キャンロール５６と同心軸状に設けられた円筒基部２１ａと円筒凸部２１ｂからなる断面凸形状の回転リングユニット２１と、該回転リングユニット２１の円筒凸部２１ｂが嵌入される円筒状の固定リングユニット２２とで構成されている。そして、回転リングユニット２１は、連結配管２５を介し複数のガス導入路１４にそれぞれ連通する複数のガス供給路２３を有すると共に、ガス供給路２３の各々は、連通するガス導入路１４のキャンロール５６外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部２３ａを円筒凸部２１ｂのガス制御用摺接面に有している。また、固定リングユニット２２は、その円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝２７ａにより構成されかつ環状凹溝２７ａ内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材４２により固定リングユニット２２のガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部とガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー５０外部の供給配管２６に連通するガス分配路２７を有しており、上記固定開口部は、回転リングユニット２１における円筒凸部２１ｂの回転開口部２３ａが対向する固定リングユニット２２のガス制御用摺接面上の領域のうちフィルム（長尺基板）５２を巻き付ける角度範囲内で開口している。尚、図６～図８中、符号４３はパッキン取付け治具を示している。
　そして、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられないキャンロール５６の非ラップ部領域に対応する場合、図６に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入された固定閉止部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は互いに切り離された状態になり、真空チャンバー５０外部からのガスがガス供給路２３へ供給されない構造になるためキャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されることはない。また、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられるキャンロール５６のラップ部領域に対応する場合、図６に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、上記固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入されない固定開口部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は接続された状態となり、キャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されてキャンロール５６外周面とフィルム５２間のギャップ部にガスが導入されるようになっている。
特開平２－９８９９４号公報 特許第３４４７０７０号公報 特開昭６２－２４７０７３号公報 国際公開第２００５／００１１５７号パンフレット 米国特許第３４１４０４８号明細書 国際公開第２００２／０７０７７８号パンフレット 特開２０１２－１３２０８１号公報
"Vacuum Heat Transfer Models for Web Substrates: Review of Theory and Experimental Heat Transfer Data", 2000 Society of Vacuum Coaters, 43rd Annual Technical Conference Proceeding, Denver, April 15-20, 2000, p.335 "Improvement of Web Condition by the Deposition Drum Design", 2000 Society of Vacuum Coaters, 50thAnnual Technical Conference Proceeding (2007), p.749
　ところで、上記ロータリージョイントを備える特許文献７のキャンロールにおいては、固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に嵌入される円弧状パッキン部材４２がポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂で構成され、図９（Ａ）～（Ｂ）に示すように環状凹溝２７ａ内に嵌入される円弧形状を有していると共に、パッキン取付け治具４３の固定部材（固定ネジやピストン軸等）先端部を嵌入させる複数の嵌入孔４２ａが円弧状パッキン部材４２の一面に設けられている。
　尚、図９（Ａ）はキャンロールの中心軸に対して回転リングユニットと固定リングユニットのガス制御用摺接面が垂直となるように形成された「垂直型ロータリージョイント」に適用される円弧状パッキン部材を示し、図９（Ｂ）はキャンロールの中心軸に対して回転リングユニットと固定リングユニットのガス制御用摺接面が平行となるように形成された「平行型ロータリージョイント」に適用される円弧状パッキン部材を示している。
　そして、回転リングユニットのガス制御用摺接面に設けられた複数の回転開口部２３ａを確実に閉止できるようにするため、パッキン取付け治具４３の固定部材（固定ネジやピストン軸等）を用いて図９（Ｃ）に示すように回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢した状態で円弧状パッキン部材４２が取り付けられている。
　しかし、固定部材として固定ネジ４３ａが適用された場合、円弧状パッキン部材４２が新品時においては、図１０（Ａ）に示すように円弧状パッキン部材４２の先端部で回転リングユニット２１の回転開口部２３ａを確実に閉止できるが、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材４２が摩耗すると、図１０（Ｂ）に示すように該円弧状パッキン部材４２の先端部と回転リングユニット２１のガス制御用摺接面間に隙間空間αが形成されてしまうため上記回転開口部２３ａからガス漏れを生ずることがあった。そして、ガス制御用摺接面の回転開口部２３ａからのガス漏れが発生すると、キャンロール表面とフィルムとのギャップ間圧力を制御することが困難となり、冷却効率の低下やバラツキにより表面処理中のフィルムに皺が生じてしまうことがあった。
　他方、スプリング材等の付勢手段を有するピストン軸４３ｂが固定部材として適用された場合、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側へ向けて円弧状パッキン部材４２が常に押圧された状態になるため、図１０（Ｃ）～（Ｄ）に示すようにガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材４２が摩耗しても回転リングユニット２１の回転開口部２３ａを閉止することは可能となる。
　しかし、円弧状パッキン部材４２の摩耗が更に進んで、図１０（Ｄ）に示すようにピストン軸４３ｂの先端が環状凹溝２７ａの開口面より外方（すなわち、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側）へ突き出てしまった場合、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａを傷付けてしまい、その後の使用が困難となる致命的な問題が存在した。
　本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、回転リングユニットのガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材が摩耗しても上記回転リングユニットの回転開口部を確実に閉止でき、かつ、パッキン取付け治具の固定部材（付勢手段を有するピストン軸）に起因した回転開口部の損傷も未然に防止できるキャンロールと長尺基板処理装置を提供し、合わせて円弧状パッキン部材の交換時期が管理できる長尺基板処理装置の管理方法を提供することにある。
　そこで、上記課題を解決するため、パッキン取付け治具におけるピストン軸の構成について本発明者が鋭意改良を試みた結果、上記ピストン軸に起因する回転開口部の損傷を防止できる本発明を完成するに至った。
　すなわち、本発明に係る第１の発明は、
　冷媒が循環する冷媒循環部と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路と、これ等複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントとを備え、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に部分的に巻き付けて冷却するキャンロールであって、
　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しないように制御するキャンロールにおいて、
　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられかつキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直に形成されている回転リングユニットと固定リングユニットとで構成され、
　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットの上記ガス制御用摺接面に有しており、
　上記固定リングユニットは、固定リングユニットのガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットの回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とし、
　第２の発明は、
　冷媒が循環する冷媒循環部と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路と、これ等複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントとを備え、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に部分的に巻き付けて冷却するキャンロールであって、
　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しないように制御するキャンロールにおいて、
　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられた円筒基部と円筒凸部からなる断面凸形状の回転リングユニットと、上記回転リングユニットの円筒凸部が嵌入されてキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行に形成される円筒状の固定リングユニットとで構成され、
　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットにおける円筒凸部の上記ガス制御用摺接面に有しており、
　上記固定リングユニットは、固定リングユニットの円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットにおける円筒凸部の回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とし、
　また、第３の発明は、
　第１の発明または第２の発明に記載のキャンロールにおいて、
　上記パッキン取付け治具は、円弧状パッキン部材が嵌入される環状凹溝の背面側に設けられた治具収容部内に収容され一端側が閉止され他端側にピストン軸貫通用の孔部を有する筒状本体と、該筒状本体内に収容されかつ上記孔部を貫通するピストン軸と該ピストン軸の基端側に設けられたフランジ部からなるピストン部材と、筒状本体内に収容されかつ上記ピストン部材のフランジ部を介しピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段とで構成され、上記ピストン部材のピストン軸先端が環状凹溝の底面に設けられた穴部を貫通して上記円弧状パッキン部材の背面側から該円弧状パッキン部材内に挿入されると共に、回転リングユニットのガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材が摩耗して上記ピストン部材のフランジ部が筒状本体の孔部に係止されることで上記ピストン軸のストローク範囲が規制されることを特徴とするものである。
　更に、第４の発明は、
　第１の発明～第３の発明のいずれかに記載のキャンロールにおいて、
　上記ピストン部材のピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段が、ピストン部材におけるフランジ部の背面側に組み込まれたバネ材により構成されていることを特徴とし、
　第５の発明は、
　第４の発明に記載のキャンロールにおいて、
　上記バネ材が、コイルバネであることを特徴とし、
　第６の発明は、
　第１の発明～第５の発明のいずれかに記載のキャンロールにおいて、
　上記円弧状パッキン部材がフッ素系樹脂で構成されていることを特徴とするものである。
　次に、本発明に係る第７の発明は、
　真空チャンバーと、該真空チャンバー内においてロールツーロールで長尺基板を搬送する搬送機構と、長尺基板に対して熱負荷の掛かる処理を施す処理手段と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路およびそれら複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントを有すると共に循環する冷媒で冷却された外周面に長尺基板を部分的に巻き付けて冷却するキャンロールとを備え、
　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しない構造を有する長尺基板処理装置において、
　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられかつキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直に形成されている回転リングユニットと固定リングユニットとで構成され、
　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットの上記ガス制御用摺接面に有しており、
　上記固定リングユニットは、固定リングユニットのガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットの回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とし、
　第８の発明は、
　真空チャンバーと、該真空チャンバー内においてロールツーロールで長尺基板を搬送する搬送機構と、長尺基板に対して熱負荷の掛かる処理を施す処理手段と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路およびそれら複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントを有すると共に循環する冷媒で冷却された外周面に長尺基板を部分的に巻き付けて冷却するキャンロールとを備え、
　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しない構造を有する長尺基板処理装置において、
　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられた円筒基部と円筒凸部からなる断面凸形状の回転リングユニットと、上記回転リングユニットの円筒凸部が嵌入されてキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行に形成される円筒状の固定リングユニットとで構成され、
　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットにおける円筒凸部の上記ガス制御用摺接面に有しており、
　上記固定リングユニットは、固定リングユニットの円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットにおける円筒凸部の回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とし、
　また、第９の発明は、
　第７の発明または第８の発明に記載の長尺基板処理装置において、
　上記パッキン取付け治具は、円弧状パッキン部材が嵌入される環状凹溝の背面側に設けられた治具収容部内に収容され一端側が閉止され他端側にピストン軸貫通用の孔部を有する筒状本体と、該筒状本体内に収容されかつ上記孔部を貫通するピストン軸と該ピストン軸の基端側に設けられたフランジ部からなるピストン部材と、筒状本体内に収容されかつ上記ピストン部材のフランジ部を介しピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段とで構成され、上記ピストン部材のピストン軸先端が環状凹溝の底面に設けられた穴部を貫通して上記円弧状パッキン部材の背面側から該円弧状パッキン部材内に挿入されると共に、回転リングユニットのガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材が摩耗して上記ピストン部材のフランジ部が筒状本体の孔部に係止されることで上記ピストン軸のストローク範囲が規制されることを特徴とするものである。
　更に、本発明に係る第１０の発明は、
　第７の発明～第９の発明のいずれかに記載の長尺基板処理装置において、
　上記ピストン部材のピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段が、ピストン部材におけるフランジ部の背面側に組み込まれたバネ材により構成されていることを特徴とし、
　第１１の発明は、
　第１０の発明に記載の長尺基板処理装置において、
　上記バネ材が、コイルバネであることを特徴とし、
　第１２の発明は、
　第７の発明～第１１の発明のいずれかに記載の長尺基板処理装置において、
　上記円弧状パッキン部材がフッ素系樹脂で構成されていることを特徴とし、
　第１３の発明は、
　第７の発明～第１２の発明のいずれかに記載の長尺基板処理装置において、
　熱負荷の掛かる上記処理が、プラズマ処理またはイオンビーム処理であることを特徴とし、
　第１４の発明は、
　第１３の発明に記載の長尺基板処理装置において、
　上記プラズマ処理またはイオンビーム処理を行う機構が、キャンロールの外周面で画定される搬送経路に対向していることを特徴とし、
　第１５の発明は、
　第７の発明～第１２の発明のいずれかに記載の長尺基板処理装置において、
　熱負荷の掛かる上記処理が、真空成膜処理であることを特徴とし、
　第１６の発明は、
　第１５の発明に記載の長尺基板処理装置において、
　上記真空成膜処理が、キャンロールの外周面で画定される搬送経路に対向する真空成膜手段による処理であることを特徴とし、
　第１７の発明は、
　第１６の発明に記載の長尺基板処理装置において、
　上記真空成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とし、
　また、第１８の発明は、
　第７の発明～第１７の発明のいずれかに記載の長尺基板処理装置の管理方法において、
　上記ガス導入路内におけるガス圧力の低下若しくはガス導入路内の指定圧力を保つためのガス導入量の増加に基づいて上記円弧状パッキン部材の交換時期を管理することを特徴とするものである。
　本発明に係るキャンロールと長尺基板処理装置によれば、
　環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材が、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられているため、上記ガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材が摩耗しても回転リングユニットの回転開口部を確実に閉止することが可能となる。
　また、円弧状パッキン部材を固定する上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっており、ガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材の摩耗状態が進行した場合でもピストン軸先端が回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ突き出ることがないため、回転リングユニットにおける回転開口部の損傷も未然に防止できる。
　更に、本発明に係る長尺基板処理装置の管理方法によれば、
　ガス導入路内におけるガス圧力の低下若しくはガス導入路内の指定圧力を保つためのガス導入量の増加に基づいて回転開口部からのガス漏れが確認され、これにより円弧状パッキン部材の摩耗状態を検知できるため、円弧状パッキン部材の交換時期を管理することが可能となる。
本発明に係るキャンロールが好適に使用されるロールツーロール方式の長尺基板処理装置の一例を示す説明図。 ロータリージョイントを備える特許文献７に係るキャンロールの概略斜視図。 キャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直となるように形成されている固定リングユニットと回転リングユニットの概略斜視図。 キャンロールの中心軸に対して固定リングユニットと回転リングユニットのガス制御用摺接面が垂直となるように形成されたキャンロールの概略構成を示す説明図。 キャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直となるように形成されている固定リングユニットと回転リングユニットで構成されたロータリージョイントの側面図、および、Ａ-Ａ’断面とＢ-Ｂ’断面図。 キャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行となるように形成されている固定リングユニットと回転リングユニットの概略斜視図。 キャンロールの中心軸に対して固定リングユニットと回転リングユニットのガス制御用摺接面が平行となるように形成されたキャンロールの概略構成を示す説明図。 キャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行となるように形成されている固定リングユニットと回転リングユニットで構成されたロータリージョイントの側面図、および、Ａ-Ａ’断面とＢ-Ｂ’断面図。 図９（Ａ）は「垂直型ロータリージョイント」に適用される円弧状パッキン部材の概略部分斜視図、図９（Ｂ）は「平行型ロータリージョイント」に適用される円弧状パッキン部材の概略部分斜視図、図９（Ｃ）はガス制御用摺接面側へ向け付勢した状態で円弧状パッキン部材が取付けられた状態を示す説明図。 図１０（Ａ）はパッキン取付け治具の固定部材として固定ネジが適用された状態を示す説明図、図１０（Ｂ）は固定ネジが適用された場合の問題（回転開口部からのガス漏れ）を示す説明図、図１０（Ｃ）はパッキン取付け治具の固定部材として付勢手段を有するピストン軸が適用された状態を示す説明図、図１０（Ｄ）はピストン軸が適用された場合の問題（回転開口部の破損）を示す説明図。 図１１（Ａ）～（Ｂ）はパッキン取付け治具の固定部材としてストローク範囲が規制された本発明のピストン部材が適用された状態を示す概略斜視図。 図１２（Ａ）～（Ｃ）は本発明のピストン部材の作用説明図。
　以下、本発明と従来例に係るキャンロールおよびこれを搭載した長尺基板処理装置の一具体例について図面を参照しながら詳細に説明する。先ず、図１を参照しながら、長尺基板処理装置の一例である長尺基板真空成膜装置について説明する。尚、長尺基板には、一例として長尺耐熱性樹脂フィルムを用いる場合について説明する。また、長尺基板に対して施される熱負荷の掛かる処理として、スパッタリング処理を例にとって説明する。
（１）長尺基板処理装置
　図１に示す長尺耐熱性樹脂フィルムの成膜装置はスパッタリングウェブコータと称される装置であり、ロールツーロール方式で搬送される長尺状耐熱樹脂フィルムの表面に連続的に効率よく成膜処理を施す場合に好適に用いられる。
　具体的に説明すると、ロールツーロール方式で搬送される長尺耐熱性樹脂フィルムの成膜装置（スパッタリングウェブコータ）は、真空チャンバー５０内に設けられており、巻き出しロール５１から巻き出された長尺耐熱性樹脂フィルム５２に対して所定の成膜処理を行った後、巻き取りロール６４で巻き取るようになっている。巻き出しロール５１から巻き取りロール６４までの搬送経路の途中に、モータで回転駆動されるキャンロール５６が配置されている。このキャンロール５６の内部には、真空チャンバー５０の外部で温調された冷媒が循環している。ここで、キャンロール５６の外周面にフィルム５２が巻き付けられている部分を「ラップ部」、フィルム５２が巻き付けられていない部分を「非ラップ部」と呼ぶことにする。
　真空チャンバー５０内では、スパッタリング成膜のため、到達圧力１０-4Ｐａ程度までの減圧と、その後のスパッタリングガスの導入による０.１～１０Ｐａ程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。真空チャンバー５０の形状や材質は、このような減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することができる。上記したように真空チャンバー５０内を減圧してその状態を維持するため、真空チャンバー５０には図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が具備されている。
　巻き出しロール５１からキャンロール５６までの搬送経路には、長尺耐熱性樹脂フィルム５２を案内するフリーローラ５３と、長尺耐熱性樹脂フィルム５２の張力の測定を行う張力センサロール５４とがこの順で配置されている。また、張力センサロール５４から送り出されてキャンロール５６に向かう長尺耐熱性樹脂フィルム５２は、キャンロール５６の近傍に設けられたモータ駆動のフィードローラ５５によって、キャンロール５６の周速度に対する調整が行われる。これによりキャンロール５６の外周面に長尺耐熱性樹脂フィルム５２を密着させることができる。
　キャンロール５６から巻き取りロール６４までの搬送経路も、上記同様に、キャンロール５６の周速度に対する調整を行うモータ駆動のフィードローラ６１、長尺耐熱性樹脂フィルム５２の張力の測定を行う張力センサロール６２、および、長尺耐熱性樹脂フィルム５２を案内するフリーローラ６３がこの順に配置されている。
　上記巻き出しロール５１および巻き取りロール６４では、パウダークラッチ等によるトルク制御によって長尺耐熱性樹脂フィルム５２の張力バランスが保たれている。また、キャンロール５６の回転とこれに連動して回転するモータ駆動のフィードローラ５５、６１により、巻き出しロール５１から長尺耐熱性樹脂フィルム５２が巻き出されて巻き取りロール６４に巻き取られるようになっている。
　キャンロール５６の近傍には、キャンロール５６の外周面で画定される搬送経路（すなわち、キャンロール５６の外周面のうちの長尺耐熱性樹脂フィルム５２を巻き付ける領域）に対向する位置に、成膜手段としてのマグネトロンスパッタリングカソード５７、５８、５９および６０が設けられている。尚、上記した角度範囲のことを長尺耐熱性樹脂フィルム５２の抱き角と称し、この範囲を上記ラップ部と呼ぶことにしている。
　金属膜のスパッタリング成膜の場合は、図１に示すように板状のターゲットを使用することができるが、板状ターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール（異物の成長）が発生することがある。これが問題になる場合は、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率も高い円筒形のロータリーターゲットを使用することが好ましい。
　また、この図１の長尺耐熱性樹脂フィルム５２の成膜装置は、熱負荷の掛かる処理としてスパッタリング処理を想定したものであるため、マグネトロンスパッタリングカソードが図示されているが、熱負荷の掛かる処理がＣＶＤ（化学蒸着）や蒸着処理等の他のものである場合は、板状ターゲットに代えて他の真空成膜手段が設けられる。
（２）ガス放出機構付きキャンロール
　次に、ガス放出機構付きキャンロールについて図２、図４および図７を参照しながら説明する。本ガス放出機構付きキャンロール５６は、図示しない駆動装置により回転中心軸５６ａを中心として回転駆動される円筒部材１０（図２参照）で構成されている。この円筒部材１０の外表面に長尺耐熱性樹脂フィルム５２を巻き付けながら搬送する搬送経路が画定される。円筒部材１０の内表面側には、冷却水等の冷媒が流通する冷媒循環部１１（図４および図７参照）がジャケット構造で形成されている。
　また、円筒部材１０の回転中心軸５６ａ部分に位置する回転軸１２（図２参照）は二重配管構造になっており、この回転軸１２を介して真空チャンバー５０の外部に設けられた図示しない冷媒冷却装置と冷媒循環部１１との間で冷媒が循環するようになっており、これによりキャンロール５６外周面の温度調節が可能となっている。
　すなわち、冷媒冷却装置で冷却された冷却水等の冷媒は、冷却水口４０から導入されかつ内側配管１２ａの内側を経て冷媒循環部１１に送られ、ここで長尺耐熱性樹脂フィルム５２の熱を受け取って昇温した後、内側配管１２ａと外側配管１２ｂとの間の空間を経て再び冷媒冷却装置に戻される。尚、外側配管１２ｂの外側には回転するキャンロール５６を支持するベアリング３２が設けられている。
　このキャンロール５６の円筒部材１０には、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路１４が配設されている。これら複数のガス導入路１４の各々は、キャンロール５６の回転中心線５６ａ方向に沿って延在するように円筒部材１０の肉厚部内に穿設されている。尚、図２には、１２本のガス導入路１４が均等な間隔をあけて全周に亘って配設されている例が示されている。
　各ガス導入路１４は、円筒部材１０の外表面側（すなわち、キャンロール５６の外周面側）に開口する複数のガス放出孔１５を有している。これら複数のガス放出孔１５は、キャンロール５６の回転中心軸５６ａ方向に沿って略均等な間隔をあけて穿設されている。そして、図２に示すように回転リングユニット２１と固定リングユニット２２から成るロータリージョイント２０を介して真空チャンバー５０の外部から各ガス導入路１４にガスが供給されるようになっており、これによりキャンロール５６の外周面とそこに巻き付けられる長尺耐熱性樹脂フィルム５２との間に形成されるギャップ部（間隙）にガスを導入することが可能となる。
　上記長尺耐熱性樹脂フィルム５２とキャンロール５６表面は上述したように完全な平面ではないため、そのギャップ部（間隙）が真空により断熱されて熱伝導効率を低下させており、スパッタリング成膜の際の熱による耐熱性樹脂フィルム５２の皺発生原因となっている。
　尚、非特許文献２によれば、導入ガスがアルゴンガスの場合、導入ガス圧力が５００Ｐａでかつギャップ間距離が約４０μｍ以下のとき、ギャップ間の熱伝導率は２５０（Ｗ／ｍ2・Ｋ）となる。本発明のガス放出機構付きキャンロールにおいても、ラップ部のキャンロール表面とフィルム間ギャップのガス圧力が高いほど熱伝導率が高くなりフィルム冷却効率はよくなる。しかし、上記ガス圧力が、フィルム張力Ｔでキャンロールが押し付けられる力である抗力Ｐ＝Ｔ／Ｒ（Ｒ：キャンロール半径）を越えた場合、キャンロールからフィルムが浮き上がってガス圧力制御が困難になる。このため、キャンロール表面とフィルム間ギャップにおけるガス圧力の制御が重要である。そして、ロータリージョイント内のパッキン部材により非ラップ部へのガス導入を完全に停止しないと、正確な圧力制御ができなくなってしまことがある。
　以下、キャンロールの中心軸に対して回転リングユニットと固定リングユニットのガス制御用摺接面が垂直となるように形成された上記「垂直型ロータリージョイント」と、キャンロールの中心軸に対して回転リングユニットと固定リングユニットのガス制御用摺接面が平行となるように形成された上記「平行型ロータリージョイント」について説明する。
（３）ロータリージョイント
（3-1）垂直型ロータリージョイント
　垂直型ロータリージョイントは、図３～図５に示すように回転リングユニット２１と、固定治具４１で回転しないように固定された固定リングユニット２２とで構成されている。
　そして、上記回転リングユニット２１は、連結配管２５を介し複数のガス導入路１４にそれぞれ連通する複数のガス供給路２３を有しており、かつ、ガス供給路２３の各々は、上記連結配管２５を介し連通するガス導入路１４のキャンロール５６外周面上の角度位置に対応した角度位置（キャンロール５６外周面上の角度位置と略同じ角度位置）で開口する回転開口部２３ａをガス制御用摺接面に有している。
　他方、上記固定リングユニット２２は、ガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝２７ａにより構成されかつ環状凹溝２７ａ内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材４２により固定リングユニット２２のガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部の供給配管２６に連通するガス分配路２７を有している。また、上記固定開口部は、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａが対向する固定リングユニット２２のガス制御用摺接面上の領域のうち長尺耐熱性樹脂フィルム５２を巻き付ける角度範囲内で開口している。
　そして、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられないキャンロール５６の非ラップ部領域に対応する場合、図３に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入された固定閉止部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は互いに切り離された状態になり、真空チャンバー５０外部からのガスがガス供給路２３へ供給されない構造になるためキャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されることはない。
　他方、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられるキャンロール５６のラップ部領域に対応する場合、図３に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、上記固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入されない固定開口部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は接続された状態となり、キャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されてキャンロール５６外周面とフィルム５２間のギャップ部にガスが導入されるようになっている。
　尚、図３～図５中の符号４３はパッキン取付け治具、図５中の符号７７は回転リングユニット２１の固定ネジ穴をそれぞれ示し、また、図５中の符号８２と８３はキャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられるラップ部領域のキャンロール５６表面とフィルム５２とのギャップ間ガス圧力に相当するガス分配路２７内の圧力を測定するための圧力計ポートを示している。
（3-2）平行型ロータリージョイント
　平行型ロータリージョイントは、図６～図８に示すように、円筒基部２１ａと円筒凸部２１ｂからなる断面凸形状の回転リングユニット２１と、回転リングユニット２１の上記円筒凸部２１ｂが嵌入されかつ固定治具４１で回転しないように固定された固定リングユニット２２とで構成されている。
　そして、上記回転リングユニット２１は、連結配管２５を介し複数のガス導入路１４にそれぞれ連通する複数のガス供給路２３を有すると共に、ガス供給路２３の各々は、連通するガス導入路１４のキャンロール５６外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部２３ａを円筒凸部２１ｂのガス制御用摺接面に有している。
　他方、固定リングユニット２２は、その円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝２７ａにより構成されかつ環状凹溝２７ａ内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材４２により固定リングユニット２２のガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部とガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー５０外部の供給配管２６に連通するガス分配路２７を有している。また、上記固定開口部は、回転リングユニット２１における円筒凸部２１ｂの回転開口部２３ａが対向する固定リングユニット２２のガス制御用摺接面上の領域のうち長尺耐熱性樹脂フィルム５２を巻き付ける角度範囲内で開口している。
　そして、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられないキャンロール５６の非ラップ部領域に対応する場合、図６に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入された固定閉止部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は互いに切り離された状態になり、真空チャンバー５０外部からのガスがガス供給路２３へ供給されない構造になるためキャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されることはない。
　他方、キャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられるキャンロール５６のラップ部領域に対応する場合、図６に示すように、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａは、上記固定リングユニット２２の環状凹溝２７ａ内に円弧状パッキン部材４２が嵌入されない固定開口部に対向してガス供給路２３とガス分配路２７は接続された状態となり、キャンロール５６外周面のガス放出孔１５からガスが放出されてキャンロール５６外周面とフィルム５２間のギャップ部にガスが導入されるようになっている。
　尚、図６～図８中の符号４３はパッキン取付け治具、図８中の符号７７は回転リングユニット２１の固定ネジ穴をそれぞれ示し、また、図８中の符号８２と８３はキャンロール５６外周面にフィルム５２が巻き付けられるラップ部領域のキャンロール５６表面とフィルム５２とのギャップ間ガス圧力に相当するガス分配路２７内の圧力を測定するための圧力計ポートを示している。
（４）パッキン取付け治具の固定部材
（4-1）固定ネジ
　円弧状パッキン部材の固定部材として固定ネジが適用された場合、円弧状パッキン部材４２が新品時においては、図１０（Ａ）に示すように円弧状パッキン部材４２の先端部で回転リングユニット２１の回転開口部２３ａを確実に閉止できるが、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材４２が摩耗した場合、図１０（Ｂ）に示すように該円弧状パッキン部材４２の先端部と回転リングユニット２１のガス制御用摺接面間に隙間空間αが形成されてしまうため、上述したように回転開口部２３ａからガス漏れを生ずる問題が存在する。
（4-2）付勢手段を有するピストン軸
　上記固定部材として付勢手段を有するピストン軸４３ｂが適用された場合、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側へ向けて円弧状パッキン部材４２が常に押圧された状態になるため、ガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材４２が摩耗しても図１０（Ｃ）～（Ｄ）に示すように回転リングユニット２１の回転開口部２３ａを閉止することは可能となる。しかし、円弧状パッキン部材４２の摩耗状態が更に進行して、図１０（Ｄ）に示すようにピストン軸４３ｂの先端が環状凹溝２７ａの開口面より外方（回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側）へ突き出てしまった場合、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａにピストン軸４３ｂ先端が接触して傷付けてしまうため、上述したようにその後の使用が困難となる致命的な問題が存在した。
（4-3）本発明に係るパッキン取付け治具
　本発明に係るパッキン取付け治具のピストン部材（固定部材）は、ピストン部材におけるピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とする。
　以下、本発明に係るパッキン取付け治具の具体例を図１１（Ａ）～（Ｂ）に示す。すなわち、本発明に係るパッキン取付け治具４３は、円弧状パッキン部材４２が嵌入される環状凹溝２７ａの背面側に設けられた治具収容部１００内に収容され一端側が閉止され他端側にピストン軸貫通用の孔部を有する筒状本体９０と、該筒状本体９０内に収容されかつ上記孔部を貫通するピストン軸９１と該ピストン軸９１の基端側に設けられたフランジ部９２からなるピストン部材と、筒状本体９０内に収容されかつ上記ピストン部材のフランジ部９２を介しピストン軸９１を環状凹溝２７ａ側へ向けて付勢する付勢手段（コイルバネ）９３とで構成されている。
　そして、上記ピストン部材のピストン軸９１先端が環状凹溝２７ａの底面に設けられた穴部を貫通して上記円弧状パッキン部材４２の背面側から円弧状パッキン部材４２内に挿入されると共に、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材４２が摩耗して上記ピストン部材のフランジ部９２が筒状本体９０の孔部に係止されることで上記ピストン軸９１のストローク範囲が規制され、図１１（Ｂ）に示すようにピストン軸９１先端が上記環状凹溝２７ａの開口面より内側に収まる（回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側へ突き出ない）ようになっている。
　そして、付勢手段（コイルバネ）９３の作用により、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側へ向け円弧状パッキン部材４２が常に押圧された状態になるため、ガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材４２が摩耗しても、図１２（Ａ）～（Ｂ）に示すように回転リングユニット２１の回転開口部２３ａを閉止することは可能となる。また、回転リングユニット２１のガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材４２の摩耗状態が進行した場合でも、図１２（Ｃ）に示すようにピストン軸９１のストローク範囲が規制されてピストン軸９１先端が回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側へ突き出ることがないため、回転リングユニット２１における回転開口部２３ａの損傷を未然に防止することが可能となる。
　また、円弧状パッキン部材４２の摩耗が進んで回転開口部２３ａからのガス漏れを発生した場合、上記固定リングユニット２２に取付けた圧力計が流量制御されているときは圧力が低下し、また、上記圧力計が圧力制御されているときは設定圧力を保つためのガス流量が多くなるため、円弧状パッキン部材４２の寿命（すなわちパッキン部材の交換時期）を知ることが可能となる。
　更に、導入ガスをスパッタリング雰囲気のガスと同じものにした場合、導入ガスでスパッタリング雰囲気を汚染することもない。尚、ロータリージョイントは、キャンロールの片側だけでなくキャンロールの両側に取り付けてもよく、ガス圧力を安定させるにはキャンロールの両側に取り付けることが好ましい。
（５）長尺基板と熱負荷が掛かる表面処理
　長尺基板として耐熱性樹脂フィルムを例に挙げて本発明に係る長尺基板処理装置の説明を行ったが、本発明に係る長尺基板処理装置で使用する長尺基板には、他の樹脂フィルムはもちろんのこと、金属箔や金属ストリップ等の金属フィルムを用いることが可能である。樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのような比較的耐熱性に劣る樹脂フィルムやポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルムを例示することができる。
　上述した金属膜付耐熱性樹脂フィルムを作製する場合は、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる耐熱性樹脂フィルムが好適に用いられる。なぜなら、これ等を用いて得られる金属膜付耐熱性樹脂フィルムは、金属膜付フレキシブル基板に要求される柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性に優れているからである。
　また、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造は、上述した長尺基板真空成膜装置に長尺基板として上記耐熱性樹脂フィルムを用い、その表面に金属膜をスパッタリング成膜すれば得られる。例えば、上述した成膜装置（スパッタリングウェブコータ）を用い、耐熱性樹脂フィルムをメタライジング法で処理することにより、耐熱性樹脂フィルムの表面にＮｉ系合金等から成る膜とＣｕ膜が積層された金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを得ることができる。
　上記金属膜付耐熱性樹脂フィルムは成膜処理後、別工程に送られ、そこでサブトラクティブ法により所定の配線パターンを有するフレキシブル配線基板に加工される。ここで、サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜（例えば、上記Ｃｕ膜）をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法を意味する。
　上記Ｎｉ系合金等から成る膜はシード層と呼ばれ、金属膜付耐熱性樹脂フィルムに必要とされる電気絶縁性や耐マイグレーション性等の特性により適宜その組成が選択されるが、一般的にはＮｉ－Ｃｒ合金、インコネル、コンスタンタン、モネル等の公知の合金で構成される。尚、金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムの金属膜（Ｃｕ膜）をより厚くしたい場合は、湿式めっき法を用いることがある。この場合、電気めっき処理のみで金属膜を形成する方法、あるいは、一次めっきとしての無電解めっき処理と二次めっきとしての電解めっき処理等湿式めっき処理とを組み合わせて行う方法が利用されている。上記湿式めっき処理には一般的な湿式めっき条件を採用することができる。
　尚、長尺耐熱性樹脂フィルムにＮｉ-Ｃｒ合金やＣｕ等の金属膜を積層した金属膜付耐熱性樹脂フィルムを例に挙げて説明したが、上記金属膜の他、目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等の成膜に本発明を用いることも可能である。
　また、本発明に係る長尺基板処理装置として長尺基板真空成膜装置を例に挙げて説明してきたが、上記長尺基板処理装置には、減圧雰囲気下の真空チャンバー内で長尺基板に対してスパッタリング等の真空成膜を施す以外に、プラズマ処理やイオンビーム処理等の熱負荷の掛かる処理も含まれる。これ等プラズマ処理やイオンビーム処理により長尺基板の表面が改質されるが、その際、長尺基板に熱負荷が掛かる。このような場合においても、本発明に係るキャンロールおよびこれを用いた長尺基板処理装置の適用が可能であり、多量の導入ガスをリークさせることなく熱負荷による長尺基板の皺発生を抑制することができる。上記プラズマ処理とは、減圧雰囲気下においてアルゴンと酸素の混合ガスまたはアルゴンと窒素の混合ガスによる放電を行うことにより酸素プラズマまたは窒素プラズマを発生させて長尺基板を処理する方法が例示される。また、イオンビーム処理とは、強い磁場を印加した磁場ギャップでプラズマ放電を発生させ、プラズマ中の陽イオンをイオンビームとして長尺基板へ照射する処理を意味する。尚、イオンビーム処理には公知のイオンビーム源を用いることができる。また、これ等のプラズマ処理やイオンビーム処理は、共に減圧雰囲気下において行われる。
　以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
［ロータリージョイントの設計］
　ロータリージョイント（回転リングユニットと固定リングユニット）の直径は約４００ｍｍで、かつ、キャンロールのガス導入路１４に接続（連通）する回転リングユニットにおける連結配管２５の本数は３６本に設定した。従って、角度１０°（３６０°/３６＝１０°）間隔のガス制御が可能になる。
　また、キャンロールの搬入側に設けられるフィードローラ５５は角度２０°位置でキャンロールとフィルムが接触し、キャンロールの搬出側に設けられるフィードローラ６１は角度３４０°位置でキャンロールとフィルムが接触するように設定した（すなわち、非ラップ部の角度は４０°に設定されている）。
　但し、ガス制御が不安定となる非ラップ部における角度前後の角度をそれぞれ２０°とし、非ラップ部のガス停止角度（固定リングユニットのガス分配路２７を構成する環状凹溝２７ａの所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材４２で形成される固定閉止部の角度）を９０°（＞非ラップ部４０°＋不安定部前後の２０°×２）とした。
　尚、図３～図５に示す「垂直型ロータリージョイント」と、図６～図８に示す「平行型ロータリージョイント」の２種を製作した。
［円弧状パッキン部材とパッキン取付け治具の固定部材］
　滑り性と耐久性を考慮しパッキン部材の材質にフッ素系樹脂［テフロン（登録商標）］を採用し、かつ、「垂直型ロータリージョイント」に適用される図９（Ａ）に示す円弧状パッキン部材（厚さは１０ｍｍ）と上記「平行型ロータリージョイント」に適用される図９（Ｂ）に示す円弧状パッキン部材（厚さは１０ｍｍ）の２種を作成した。
　また、パッキン取付け治具の固定部材として、図１０（Ａ）に示す固定ネジ４３ａと、図１０（Ｃ）に示すピストン軸４３ｂおよび図１１（Ａ）に示す本発明のピストン軸９１を用意した。尚、各固定部材（固定ネジ４３ａ、ピストン軸４３ｂ、ピストン軸９１）の円弧状パッキン部材への差し込み量は５ｍｍとし、かつ、本発明のピストン軸９１についてのみストロークが４ｍｍでとどまるように加工され、パッキン１ｍｍを残してピストン軸９１が進まないようになっている。
［実施例］
　図１に示す成膜装置（スパッタリングウェブコータ）を用いて金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製した。長尺の耐熱性樹脂フィルム（以下、フィルム５２と称する）には、幅５００ｍｍ、長さ８００ｍ、厚さ２５μｍの宇部興産株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックス（登録商標）」を使用した。
　キャンロール５６には、図２に示すようなジャケットロール構造のガス導入機構付きキャンロールを使用した。このキャンロール５６の円筒部材１０には、直径９００ｍｍ、幅７５０ｍｍのステンレス製のものを使用し、その外周面にハードクロムめっきを施した。この円筒部材１０の肉厚部内に、キャンロール５６の回転軸方向に平行に延在する内径５ｍｍのガス導入路１４を周方向に均等な間隔をあけて全周に亘って１８０本穿設した。尚、ガス導入路１４の両端のうち先端側は有底にして円筒部材１０を貫通しないようにした。
　各ガス導入路１４には、円筒部材１０の外表面側（すなわちキャンロール５６の外周面側）に開口する内径０．２ｍｍのガス放出孔１５を４７個設けた。これ等４７個のガス放出孔１５は、円筒部材１０の外表面に画定されるフィルム５２の搬送経路の両端部からそれぞれ２０ｍｍ内側の線の間の領域に、フィルム５２の進行方向に対して直交する方向において１０ｍｍのピッチで配設した。つまり、キャンロール５６の外周面のうち両端部からそれぞれ１４５ｍｍまでの領域にはガス放出孔１５を設けなかった。
　上記したように、円筒部材１０には１８０本のガス導入路１４が全周に亘って周方向に均等に配設されているが、これら１８０本のガス導入路１４を直接ロータリージョイント２０に接続するのは困難なため、ガス導入管１４の５本を分岐管（図示せず）に接続した後、回転リングユニット２１の連結配管２５端部に接続した。すなわち、ロータリージョイント２０の回転リングユニット２１には上述したように連結配管２５を３６本形成し、１０°分まとめてガスを導入することになる。
　フィルム５２に成膜する金属膜としては、シード層であるＮｉ－Ｃｒ膜の上にＣｕ膜を成膜するものとし、そのため、マグネトロンスパッタターゲット５７にはＮｉ－Ｃｒターゲットを用い、マグネトロンスパッタターゲット５８、５９、６０にはＣｕターゲットを用いた。巻き出しロール５１と巻き取りロール６４の張力は２００Ｎとした。キャンロール５６は水冷により２０℃に制御しているが、フィルム５２とキャンロール５６との熱伝導効率が良好でないと冷却効果は期待できない。
　この成膜装置の巻き出しロール５１側に巻回されたフィルム５２をセットし、その一端を、キャンロール５６を経由させて巻き取りロール６４に取り付けた。この状態で、真空チャンバー５０内の空気を複数台のドライポンプを用いて５Ｐａまで排気した後、更に、複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて３×１０-3Ｐａまで排気した。
　次に、回転駆動装置を起動してフィルム５２を搬送速度３ｍ／分で搬送させながらアルゴンガスを３００ｓｃｃｍで導入すると共に、マグネトロンスパッタカソード５７、５８、５９、６０に１０ｋＷの電力を印加して電力制御した。更に、キャンロール５６に組み込んだロータリージョイントの圧力計ポート８２、８３に取り付けられた隔膜真空計によりキャンロール表面とフィルムのギャップ間圧力が８００Ｐａになるように固定リングユニット２２の供給配管２６からのアルゴンガス流量を制御した。尚、このときのガス流量は２０ｓｃｃｍであった。
　このようにしてロールツーロールで搬送されるフィルム５２に対して、その片面にＮｉ－Ｃｒ膜からなるシード層およびシード層上に成膜されるＣｕ膜を連続して成膜する処理を開始した。
　この処理を行っている際、成膜中におけるキャンロール５６上のフィルム５２表面を観察できる窓からガス導入が行われているキャンロール５６上のフィルム５２表面を観察したところ、マグネトロンスパッタリングカソード５７、５８、５９、６０の成膜ゾーンを通過した成膜直後のフィルム５２に熱負荷に起因するフィルム皺は観察されなかった。
［固定部材の比較］
　このような成膜処理がなされた際、各固定部材（固定ネジ４３ａ、ピストン軸４３ｂ、および、本発明のピストン軸９１）の機能について比較した。
　その結果を表１に示す
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
［確　認］
（１）固定ネジ４３ａ［図１０（Ａ）参照］が適用された場合、表１に示すように２００時間後からガス漏れに起因してパッキンの交換が必要となることが確認された。
（２）従来のピストン軸４３ｂ［図１０（Ｃ）参照］が適用された場合、表１に示すように５０００時間後からピストン軸４３ｂ先端が回転リングユニット２１のガス制御用摺接面側へ突き出てしまい、その結果、回転リングユニット２１の回転開口部２３ａを損傷してしまうことが確認された。
（３）本発明のピストン軸９１［図１１（Ａ）参照］が適用された場合、表１に示すように回転リングユニット２１の回転開口部２３ａが損傷されず、かつ、ガス漏れを検出することで４２００時間後からパッキン交換時期を管理できることが確認される。
　本発明に係るガス放出機構付きキャンロールによれば、非ラップ部におけるガス漏れと回転リングユニットにおける回転開口部の損傷が回避できるため、液晶テレビ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に用いられる銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）の製造装置並びに製造方法として適用される産業上の利用可能性を有している。
　　α　隙間空間
　１０　円筒部材
　１１　冷媒循環部
　１２　回転軸
１２ａ　内側配管
１２ｂ　外側配管
　１４　ガス導入路
　１５　ガス放出孔
　２０　ロータリージョイント
　２１　回転リングユニット
２１ａ　円筒基部
２１ｂ　円筒凸部
　２２　固定リングユニット
　２３　ガス供給路
２３ａ　回転開口部
２３ａ１　回転開口部（非ラップ部領域に対応する）
２３ａ２　回転開口部（ラップ部領域に対応する）
　２５　連結配管
　２６　供給配管
　２７　ガス分配路
２７ａ　環状凹溝
　３２　ベアリング
　４０　冷却水口
　４１　固定治具
　４２　円弧状パッキン部材
４２ａ　嵌入孔
　４３　パッキン取付け治具
４３ａ　固定ネジ
４３ｂ　ピストン軸
　４４　ガス導入路
　５０　真空チャンバー
　５１　巻出しローラ
　５２　長尺耐熱性樹脂フィルム（長尺基板）
　５３、６３　フリーローラ
　５４、６２　張力センサロール
　５５、６１　フィードローラ
　５６　キャンロール
５６ａ　中心軸
　５７、５８、５９、６０　マグネトロンスパッタリングカソード
　６４　巻き取りロール
　７７　回転リングユニットの固定ネジ穴
　８２　圧力計ポート
　８３　圧力計ポート
　９０　筒状本体
　９１　ピストン軸
　９２　フランジ部
　９３　付勢手段（コイルバネ）
１００　治具収容部

Claims (18)

  1. 　冷媒が循環する冷媒循環部と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路と、これ等複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントとを備え、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に部分的に巻き付けて冷却するキャンロールであって、
    　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しないように制御するキャンロールにおいて、
    　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられかつキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直に形成されている回転リングユニットと固定リングユニットとで構成され、
    　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットの上記ガス制御用摺接面に有しており、
    　上記固定リングユニットは、固定リングユニットのガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットの回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
    　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とするキャンロール。
  2. 　冷媒が循環する冷媒循環部と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路と、これ等複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントとを備え、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に部分的に巻き付けて冷却するキャンロールであって、
    　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しないように制御するキャンロールにおいて、
    　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられた円筒基部と円筒凸部からなる断面凸形状の回転リングユニットと、上記回転リングユニットの円筒凸部が嵌入されてキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行に形成される円筒状の固定リングユニットとで構成され、
    　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットにおける円筒凸部の上記ガス制御用摺接面に有しており、
    　上記固定リングユニットは、固定リングユニットの円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットにおける円筒凸部の回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
    　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とするキャンロール。
  3. 　上記パッキン取付け治具は、円弧状パッキン部材が嵌入される環状凹溝の背面側に設けられた治具収容部内に収容され一端側が閉止され他端側にピストン軸貫通用の孔部を有する筒状本体と、該筒状本体内に収容されかつ上記孔部を貫通するピストン軸と該ピストン軸の基端側に設けられたフランジ部からなるピストン部材と、筒状本体内に収容されかつ上記ピストン部材のフランジ部を介しピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段とで構成され、上記ピストン部材のピストン軸先端が環状凹溝の底面に設けられた穴部を貫通して上記円弧状パッキン部材の背面側から該円弧状パッキン部材内に挿入されると共に、回転リングユニットのガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材が摩耗して上記ピストン部材のフランジ部が筒状本体の孔部に係止されることで上記ピストン軸のストローク範囲が規制されることを特徴とする請求項１または２に記載のキャンロール。
  4. 　上記ピストン部材のピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段が、ピストン部材におけるフランジ部の背面側に組み込まれたバネ材により構成されていることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のキャンロール。
  5. 　上記バネ材が、コイルバネであることを特徴とする請求項４に記載のキャンロール。
  6. 　上記円弧状パッキン部材がフッ素系樹脂で構成されていることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載のキャンロール。
  7. 　真空チャンバーと、該真空チャンバー内においてロールツーロールで長尺基板を搬送する搬送機構と、長尺基板に対して熱負荷の掛かる処理を施す処理手段と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路およびそれら複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントを有すると共に循環する冷媒で冷却された外周面に長尺基板を部分的に巻き付けて冷却するキャンロールとを備え、
    　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しない構造を有する長尺基板処理装置において、
    　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられかつキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直に形成されている回転リングユニットと固定リングユニットとで構成され、
    　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットの上記ガス制御用摺接面に有しており、
    　上記固定リングユニットは、固定リングユニットのガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットの回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
    　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とする長尺基板処理装置。
  8. 　真空チャンバーと、該真空チャンバー内においてロールツーロールで長尺基板を搬送する搬送機構と、長尺基板に対して熱負荷の掛かる処理を施す処理手段と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路およびそれら複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントを有すると共に循環する冷媒で冷却された外周面に長尺基板を部分的に巻き付けて冷却するキャンロールとを備え、
    　上記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、上記ロータリージョイントは、長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているガス導入路にはガスを供給しかつ長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置していないガス導入路にはガスを供給しない構造を有する長尺基板処理装置において、
    　上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられた円筒基部と円筒凸部からなる断面凸形状の回転リングユニットと、上記回転リングユニットの円筒凸部が嵌入されてキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行に形成される円筒状の固定リングユニットとで構成され、
    　上記回転リングユニットは、複数の上記ガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットにおける円筒凸部の上記ガス制御用摺接面に有しており、
    　上記固定リングユニットは、固定リングユニットの円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部のガス供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットにおける円筒凸部の回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板を巻き付ける角度範囲内で開口し、
    　上記環状凹溝内の所定領域に嵌入される円弧状パッキン部材は、その背面側に配置されたパッキン取付け治具のピストン部材により回転リングユニットのガス制御用摺接面側へ向け付勢して取付けられると共に、上記ピストン部材は、そのピストン軸のストローク範囲が規制されてピストン軸先端が上記環状凹溝の開口面より内側に収まるようになっていることを特徴とする長尺基板処理装置。
  9. 　上記パッキン取付け治具は、円弧状パッキン部材が嵌入される環状凹溝の背面側に設けられた治具収容部内に収容され一端側が閉止され他端側にピストン軸貫通用の孔部を有する筒状本体と、該筒状本体内に収容されかつ上記孔部を貫通するピストン軸と該ピストン軸の基端側に設けられたフランジ部からなるピストン部材と、筒状本体内に収容されかつ上記ピストン部材のフランジ部を介しピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段とで構成され、上記ピストン部材のピストン軸先端が環状凹溝の底面に設けられた穴部を貫通して上記円弧状パッキン部材の背面側から該円弧状パッキン部材内に挿入されると共に、回転リングユニットのガス制御用摺接面との接触により円弧状パッキン部材が摩耗して上記ピストン部材のフランジ部が筒状本体の孔部に係止されることで上記ピストン軸のストローク範囲が規制されることを特徴とする請求項７または８に記載の長尺基板処理装置。
  10. 　上記ピストン部材のピストン軸を環状凹溝側へ向けて付勢する付勢手段が、ピストン部材におけるフランジ部の背面側に組み込まれたバネ材により構成されていることを特徴とする請求項７～９のいずれかに記載の長尺基板処理装置。
  11. 　上記バネ材が、コイルバネであることを特徴とする請求項１０に記載の長尺基板処理装置。
  12. 　上記円弧状パッキン部材がフッ素系樹脂で構成されていることを特徴とする請求項７～１１のいずれかに記載の長尺基板処理装置。
  13. 　熱負荷の掛かる上記処理が、プラズマ処理またはイオンビーム処理であることを特徴とする請求項７～１２のいずれかに記載の長尺基板処理装置。
  14. 　上記プラズマ処理またはイオンビーム処理を行う機構が、キャンロールの外周面で画定される搬送経路に対向していることを特徴とする請求項１３に記載の長尺基板処理装置。
  15. 　熱負荷の掛かる上記処理が、真空成膜処理であることを特徴とする請求項７～１２のいずれかに記載の長尺基板処理装置。
  16. 　上記真空成膜処理が、キャンロールの外周面で画定される搬送経路に対向する真空成膜手段による処理であることを特徴とする請求項１５に記載の長尺基板処理装置。
  17. 　上記真空成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とする請求項１６に記載の長尺基板処理装置。
  18. 　請求項７～１７のいずれかに記載の長尺基板処理装置の管理方法において、
    　上記ガス導入路内におけるガス圧力の低下若しくはガス導入路内の指定圧力を保つためのガス導入量の増加に基づいて上記円弧状パッキン部材の交換時期を管理することを特徴とする長尺基板処理装置の管理方法。
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