WO2019069686A1 - 構造物の検査装置 - Google Patents

Abstract

電子放出体とターゲットを内包するＸ線管球および高電圧発生装置を有するＸ線放射装置と、Ｘ線検出器とを有する構造物の検査装置であって、Ｘ線放射装置が太さ５ｃｍ以下の棒状部を有し、Ｘ線放射装置のＸ線管球が棒状部内に存在し、棒状部の長手方向と略平行方向にＸ線放射装置と構造物の相対的位置関係を制御するための駆動手段を有する検査装置。

Description

構造物の検査装置

　本発明は構造物の検査装置に関する。

　構造物の内部状態を非破壊で検査可能なＸ線画像検査は、工業生産物の検査手法として広く用いられている。検査対象の構造物としては種々のものがある。配管やタンクなどの内部に所定の空間を有する構造物は、その壁面中の空隙や不純物が検査される。このような構造物の壁面のＸ線検査では、通常、構造物の一方の壁面の外部からＸ線を照射し、構造物の対向する壁面の外部にＸ線検出器を配置してＸ線画像を撮像する。しかしながら、このような撮像方法では、Ｘ線が２の壁面を透過するため、得られるＸ線画像には両方の壁面の情報が重なり合わさってしまうため、像が不明瞭となる課題があった。

　このような課題の解決のため、配管の内部に、配管内を自走可能なＸ線源を配置し、外部にＸ線検出器を配置する構成が知られている（特許文献１）。また、Ｘ線放射装置の一部を棒状とし、棒状部内部に電子を飛行させて棒状部先端付近のターゲットに照射してＸ線を放射する、ロッドアノード型の棒状のＸ線源が知られている（特許文献２、非特許文献１）。

特開平６－１３０００１号公報 独国特許発明第１０２０１００５４８１６号明細書

https://www.x-ray-worx.com/x-ray-worx/index.php/en/microfocus-x-ray-tubes-overview/microfocus-rod-anode-tubes/product-line-rac

　しかしながら、特許文献１に記載の検査方法は、内径の大きな配管の検査には適用可能であるものの、内径の小さな配管に適用することは困難であった。これは、従来のＸ線放射装置はサイズが大きいため、内径の小さな配管に挿入することができないことに基づく。また、特許文献２および非特許文献１に記載のロッドアノード型の棒状のＸ線源は、内部に所定の空間を有する構造物の微小な開口部より棒状部を挿入し、内部からＸ線を照射することは可能だが、棒状部の外部において放出された電子を、棒状部内部のターゲットまで長距離を飛行させて照射することが必要となる。そのため、このような構成は、電子の照射位置の精密制御のために装置の機構が複雑となり、Ｘ線放射装置が大型・高重量化する。また、棒状部の長さを長くすることも困難であり、検査対象が長い配管の場合にはその開口部付近しか検査することができなかった。

　本発明は、このような従来の課題の鑑みてなされたものであり、内部に所定の空間を有する構造物について、構造物の有する開口が小さい場合であっても、その外壁を精密に検査可能な構造物の検査装置を提供することを目的とする。

　上記課題を解決する本発明の一態様に関する構造物の検査装置は、電子放出体とターゲットを内包するＸ線管球および高電圧発生装置を有するＸ線放射装置と、Ｘ線検出器とを有する構造物の検査装置であって、前記Ｘ線放射装置が太さ５ｃｍ以下の棒状部を有し、前記Ｘ線放射装置の前記Ｘ線管球が前記棒状部内に存在し、前記棒状部の長手方向と略平行方向に前記Ｘ線放射装置と前記構造物の相対的位置関係を制御するための駆動手段を有する検査装置である。

図１は、本発明の一実施形態のＸ線放射装置を説明するための模式図である。 図２は、本発明の一実施形態のＸ線放射装置の変形例を説明するための模式図である。 図３は、本発明の一実施形態の検査装置を説明するための模式図である。 図４は、従来の検査装置を説明するための模式図である。 図５は、図３のｘ－ｘ’間の断面図である。

＜検査装置＞
　本発明の一実施形態の検査装置は、構造物の検査装置であり、Ｘ線放射装置と、Ｘ線検出器とを有する。図１は、本発明の一実施形態の検査装置に含まれるＸ線放射装置２（図３参照）を説明するための模式図である。Ｘ線放射装置２は、Ｘ線管球２１と高電圧発生装置２２とを有する。Ｘ線管球２１は、電子放出体２４とターゲット２５とを内包する。Ｘ線放射装置２は、太さ５ｃｍ以下の棒状部２３を有する。Ｘ線管球２１は、棒状部２３内に存在する。検査装置は、棒状部２３の長手方向と略平行方向にＸ線放射装置２と構造物との相対的位置関係を制御するための駆動手段（駆動部ともいう）を有する。以下、それぞれの構成について説明する。

（Ｘ線放射装置）
　本実施形態のＸ線放射装置は、電子放出体２４とターゲット２５とを内包するＸ線管球２１と、高電圧発生装置２２とを有する。また、Ｘ線放射装置は、太さ５ｃｍ以下の棒状部２３を有する。

・Ｘ線管球２１
　Ｘ線管球２１は、電子放出体２４とターゲット２５とを内包し、後述する棒状部２３内に設けられる。そのため、Ｘ線放射装置は、全体として小型化、軽量化され得る。その結果、駆動手段を含めた検査装置全体は、小型化され得る。

　Ｘ線管球２１はＸ線の透過性の高い窓材を透過してＸ線を放射することが好ましい。このような構成によれば、Ｘ線管球２１より放射されるＸ線の強度がより高くなる。その結果、検査装置は、検査時間をより短縮することができる。また、検査装置は、より低エネルギーのＸ線を照射することが可能となり、樹脂などの高エネルギーＸ線に対する透過性が高く画像コントラストが低下しやすい材料を検査する場合においても、高コントラストのＸ線画像を得ることができ、より精密な検査が可能となる。

　本実施形態の電子放出体２４は特に限定されない。一例を挙げると、電子放出体２４は、冷陰極電子源、熱陰極電子源等である。

　本実施形態の電子放出体２４は、冷陰極電子源であることが好ましい。従来のＸ線管球が内包する電子放出体２４は熱陰極電子源のため、電極を加熱する加熱機構を有する必要があり、Ｘ線管球のサイズが大きくなる課題があった。これに対し、検査装置は、冷陰極電子源が用いられることにより、Ｘ線管球２１のサイズを小さくすることができ、小さな開口から挿入可能なＸ線放射装置を作製することが可能となる。

　本実施形態の電子放出体２４は、炭素からなる突起を有する炭素膜であることが好ましい。このような電子放出体２４は、冷陰極電子源となることから、Ｘ線管球２１のサイズを小さくすることができる。このような炭素膜を作製する方法は特に限定されない。一例を挙げると、炭素膜は、プラズマＣＶＤ装置を用いて、ステンレス等の基板上に、水素ガスとメタンガスとの混合ガスを原料として成膜することにより作製し得る。この際の成膜条件は、プラズマＣＶＤ装置内に水素ガスを導入し内圧を３０ｔｏｒｒまで徐々に減圧して通電することにより、基板表面の酸化膜を除去した後、水素ガスとメタンガスとの混合ガスを導入し内部の圧力を７５ｔｏｒｒまで徐々に上昇させ、炭素膜を生成させる方法が例示される。得られた炭素膜は、炭素からなる突起を有していた。このような突起により、電圧印加により突起部に電界が集中し、容易に電子を放出することから冷陰極電子源として使用できる。

　本実施形態において、ターゲット２５とは、電子源より放出された電子の衝突によりＸ線を発生する部材をいう。ターゲット２５は特に限定されない。一例を挙げると、ターゲット２５は、タングステンターゲット、モリブデンターゲット、ロジウムターゲット等である。これらの中でも、高融点のため電子の衝突により発生する熱による劣化が起こりにくいという理由から、タングステンターゲットであることが好ましい。

　図２は、実施形態のＸ線放射装置の変形例を説明するための模式図である。本実施形態において、Ｘ線管球２１は、電子放出体２４とターゲット２５との間にさらに１つの補助電極２９を有する３極管であってもよい。本実施形態のＸ線放射装置ではＸ線管球２１が棒状部２３内に存在する。棒状部２３は太さ５ｃｍ以下と細幅であり、また棒状部２３が細くなるほど、Ｘ線管球２１に高電圧を印加した際に、棒状部２３外への放電が発生しやすくなる。ここで、Ｘ線管球２１が図１に記載の２極管である場合、電子放出体２４に接続された１つの昇圧回路２６のみで棒状部２３外への放電が発生しない範囲の高電圧を発生させる。これに対し、Ｘ線管球２１は、図２に記載の３極管である場合、昇圧回路２６を２つ用い、補助電極２９の電位を０ｋＶとし、ターゲット２５側に正の高電圧、電子放出体２４側に負の高電圧を印加することにより、外部への放電を発生させることなく２極管に比べ実質的に２倍の電圧を印加することができる。したがって、棒状部２３の太さが同じであっても、Ｘ線管球２１を高管電圧で使用することができ、より透過力が必要な金属部材などに検査範囲を広げることが可能になる。また、図２に示されるＸ線管球は、同じ管電圧で使用する場合には、棒状部２３の太さを細くすることができる。

　Ｘ線管球２１の外壁の材質は、少なくとも一部がセラミック等の絶縁性の高い材質であることが好ましい。また、セラミックを用いることにより、Ｘ線管球２１は、真空封止後の真空度が高いまま維持され、寿命が長くなりやすい。この場合、Ｘ線はセラミックの外壁を通して放射される。そのため、Ｘ線管球２１の外壁の材質は、Ｘ線の透過性が比較的高いアルミナセラミックを用いることが好ましい。Ｘ線管球２１の外壁の一部に、ベリリウム、炭化ホウ素、炭素などの高Ｘ線透過性の材料を用い、これらの高Ｘ線透過性材料の箇所からＸ線を放射することも好ましい。高Ｘ線透過性材料の箇所からＸ線を放射することにより、セラミックの外壁を通してＸ線を放射する場合に比べて、低エネルギーのＸ線をより効率よく取り出すことができる。これにより、特に樹脂材料などの検査においてＸ線画像のコントラストが向上し、より少ないＸ線照射量で正確な検査を行えることがある。

　Ｘ線管球２１の外壁の一部に高Ｘ線透過性材料を形成する方法としては、セラミック製の管球の外壁に開口を形成し、ベリリウムなどのＸ線透過性の高い材料を開口に直接接着・封止する方法が考えられる。しかしながら、この方法は、セラミックと高Ｘ線透過性材料との接着が困難である場合があり、真空封止が難しくなる傾向がある。そこで、セラミックと、ベリリウムなどの高Ｘ線透過性材料との接合は、ステンレスなどの金属を介して接合することが好ましい。ステンレスなどの金属は、セラミック、および高Ｘ線透過性材料の両方との接着性が良好なため、金属を介して接合することにより真空リークが起こりにくくなる。この際、金属とターゲットとは電気的に等電位であることが好ましい。

・棒状部２３
　棒状部２３は、Ｘ線放射装置の一部を構成する部材である。棒状部２３は、Ｘ線放射装置の外観を構成する筐体であってもよい。棒状部２３の形状としては、円柱状、角柱状などが挙げられる。また、棒状部２３の太さとは、棒状部２３の長軸方向に垂直な断面において、断面の重心位置を通る任意の直線に対する断面の外周の２点の交点について、交点間の最大の距離をいう。たとえば、断面の形状が真円形状の場合は円の直径であり、楕円形状の場合は楕円の長径であり、長方形形状の場合は長方形の対角線長さである。

　棒状部２３は、外壁として、内部に所定の空間を有するパイプ状の部材が用いられることが好ましい。このようなパイプ状の部材の開口からは、Ｘ線管球２１を挿入することができる。開口は、その後封止され、本実施形態の棒状部２３が作製される。棒状部２３の外壁の材質は特に限定されない。一例を挙げると、外壁の材質は、Ｘ線透過性が高く、また絶縁性を有することから、アクリル樹脂等の樹脂であることが好ましい。また、棒状部２３は、内部に絶縁オイル、または樹脂を有することが好ましい。このような構成により、Ｘ線管球２１に高電圧を供給するための配線（電線２８）に、比較的耐電圧性の低い細い配線を用いることが可能となる。その結果、棒状部２３の太さを細くすることが可能となる。

　棒状部２３の寸法は、太さ５ｃｍ以下であればよく、４ｃｍ以下であることが好ましく、３ｃｍ以下であることがより好ましい。棒状部２３の太さが５ｃｍ以下であることにより、Ｘ線放射装置は、内部に所定の空間を有する構造物について、構造物の有する開口が小さい場合であっても、その内部に挿入することができ、外壁を精密に検査することができる。また、棒状部２３の長さは特に限定されない。一例を挙げると、棒状部２３の長さは、太さに対する長さ（アスペクト比）が３以上となる長さであることが好ましく、１０以上となる長さであることがより好ましい。このような構成によれば、棒状部２３の長さが長いため、Ｘ線放射装置を内部に所定の空間を有する構造物の深部にまで挿入でき、構造物の広い範囲を検査することができる。ここで、棒状部２３のアスペクト比とは、棒状部２３の長さを棒状部２３の太さで除算した値をいう。

　棒状部２３の剛性は特に限定されない。例えば、棒状部２３は、その全体が実質的に剛体であってもよい。棒状部２３が剛体であることにより、後述の駆動手段でＸ線放射装置を駆動する際、棒状部２３の端部のみを把持して駆動することにより、他の支持部材等を用いることなく棒状部２３を構造物内の所定位置に正確に配置することができる。また、棒状部２３は、その一部がフレキシブルであってもよい。棒状部２３の一部がフレキシブルであることにより、棒状部２３の長さが長い場合であっても、構造物内部への挿入部以外の箇所は狭い範囲に巻いておくことができ、棒状部２３が剛体である場合に比べて装置サイズを小さくすることができる。

　なお、本実施形態において、構造物は特に限定されない。一例を挙げると、構造物は、配管、タンク等である。

・駆動手段（駆動部）
　本実施形態の構造物の検査装置は、駆動部を有する。駆動部は、たとえば電源（外部に設けられてもよい）に接続されたモータと、モータに接続され、棒状部２３を操作する操作部とから主に構成される。操作部は、モータにより駆動され、任意の方向に駆動され得る。これにより、駆動部は、棒状部２３の長手方向と略平行方向にＸ線放射装置と構造物の相対的位置関係を制御する。その結果、検査装置は、駆動部によって構造物に対する相対的位置関係が適切に制御され、構造物の広い範囲を精密に撮像し、検査することができる。

・高電圧発生装置２２
　高電圧発生装置２２は、電子放出体２４から発生する電子を、Ｘ線発生のために必要な速度まで加速するための高電圧を発生させる部材である。高電圧発生装置２２は、たとえば、電源２７と、電源２７からの電圧を昇圧するための昇圧回路２６とから構成され得る。本実施形態のＸ線放射装置は、棒状部２３の内部に、高電圧発生装置２２の一部である昇圧回路２６を具備することが好ましい。昇圧後の電圧をＸ線管球２１に印加するために必要な配線は、高い耐電圧が要求されるために一般に太くなる。そのため、棒状部２３の内部に昇圧回路２６を具備することにより、高耐電圧の太い配線を用いる箇所を棒状部２３内部に限定でき、棒状部２３外部の配線（電線２８）を細くできる。その結果、Ｘ線放射装置は、大型化されにくい。

　昇圧回路２６とＸ線管球２１とは、棒状部の長軸方向に沿って配置されることが好ましい。このような配置とすることにより、Ｘ線管球と昇圧回路とを棒状部の長軸に垂直な断面方向に並べて配置した場合に比べ、棒状部を細く形成することができる。また、Ｘ線管球と昇圧回路とは、互いに近くに配置されることが好ましい。これにより高電圧のかかる配線の長さを短くできるため、配線からの放電発生により管球や配線に負荷がかかるリスクを低減できる。その結果、Ｘ線放射装置の寿命は、長くなりやすい。

　昇圧回路２６以外の部材（たとえば上記電源２７）は、棒状部２３外に設けられてもよい。昇圧回路２６以外の部材を棒状部２３の外部に設けることにより、棒状部２３をより細く構成し得る。

　Ｘ線放射装置全体の説明に戻り、本実施形態のＸ線放射装置は、棒状部２３の長さをＬ１、電子放出体２４とターゲット２５と間の距離をＬ２とした際、Ｌ１＞Ｌ２であることが好ましい。このような構成によれば、電子の飛程が短距離となり、Ｘ線放射装置を全体として小型化、軽量化することができる。Ｌ１は大きいほど構造物の深部まで検査可能となることから、５０ｃｍ以上であることが好ましく、１００ｃｍ以上であることがより好ましい。また、Ｌ２は３０ｃｍ以下であることが好ましく、２０ｃｍ以下であることがより好ましく、１０ｃｍ以下であることがさらにより好ましい。これにより、電子の飛程がより短距離となり、Ｘ線放射装置を全体としてより小型化、軽量化することができる。

（Ｘ線検出器）
　本実施形態のＸ線検出器は、構造物の壁面を透過したＸ線を検出するための機器である。Ｘ線検出器は、汎用のＸ線検出器であってもよい。一例を挙げると、Ｘ線検出器は、直接変換方式のＸ線検出器であってもよく、間接変換方式のＸ線検出器であってもよい。より具体的には、Ｘ線検出器３は、Ｘ線フィルム、イメージインテンシファイア、コンピューテッドラジオグラフィ（ＣＲ）、フラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）等である。

　これらの中でも、Ｘ線検出器は、たとえばＸ線フィルムが用いられる場合と比べて現像工程等が不要となり、検査に要する時間が短縮化され得る点から、間接変換方式のＦＰＤであることが好ましい。また、間接変換方式のＦＰＤは、直接変換方式の検出器と比べて、使用可能温度等の制約がない。そのため、間接変換方式のＸ線検出器は、取扱性が優れる。

　さらに、間接変換方式のＦＰＤは、セル方式シンチレータを備えることが好ましい。間接変換方式のＦＰＤにおいては、放射線を可視光に変換するために、シンチレータパネルが使用される。シンチレータパネルは、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）等のＸ線蛍光体を含み、放射されたＸ線に応じて、Ｘ線蛍光体が可視光を発光し、その発光をＴＦＴ（ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍ　ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）やＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ－ｃｏｕｐｌｅｄ　ｄｅｖｉｃｅ）で電気信号に変換することにより、Ｘ線の情報をデジタル画像情報に変換する。しかしながら、間接変換方式のＦＰＤは、Ｘ線蛍光体が発光する際に、蛍光体自体によって、可視光が散乱してしまう等により、画像の鮮鋭性が低くなりやすい。一方、セル方式シンチレータが採用されたＦＰＤは、隔壁で仕切られたセル内に蛍光体が充填されており、光の散乱の影響を抑え得る。その結果、セル方式シンチレータを具備するＦＰＤは、鮮鋭度が高く、構造物中の不純物や空隙を高感度に検出し得る。

　セル方式シンチレータは、大面積かつ高鮮鋭なセル方式シンチレータを容易に形成し得る点から、ガラス粉末を含有する感光性ペーストを用いて、ガラスを主成分とする隔壁をフォトリソグラフィーにより加工して作製されたセル方式シンチレータであることがより好ましい。

　Ｘ線検出器のセンサーのピクセルサイズは特に限定されない。一例を挙げると、センサーのピクセルサイズは、２０～３００μｍであることが好ましい。ピクセルサイズが２０μｍ未満である場合、画像データが膨大となり、信号読み出し、画像処理に要する時間が長くなる傾向がある。一方、ピクセルサイズが３００μｍを超える場合、構造物中の不純物や空隙等を充分に検出できない可能性がある。

　検査装置全体の説明に戻り、本実施形態の検査装置は、Ｘ線放射装置の棒状部２３を支持する支持体を有し、棒状部２３を支持する支持体が駆動手段（駆動部）を有することが好ましい。より具体的には、支持体は、たとえば、クランプのような形状の上記操作部を有してもよい。この場合、支持体は、棒状部２３の一端（Ｘ線管球２１から遠い側の末端部）を支持することにより、棒状部２３を支持し得る。また、このような形状の支持体は、上記した駆動部と連結することにより、駆動部を有することができる。このような構成によれば、検査装置は、内部に所定の空間を有する構造物とＸ線放射装置との位置関係を容易に制御でき、構造物の広い範囲を精密に撮像し、検査することができる。

　また、本実施形態において、Ｘ線放射装置の駆動手段（駆動部）は、Ｘ線放射装置の棒状部２３のみを駆動しても良い。棒状部２３のみを駆動する場合、Ｘ線放射装置は、電源を駆動する必要が無く、駆動対象を小型化、軽量化でき、駆動部、および操作部を小型化、軽量化できる。この場合、棒状部２３の外部に存在し、棒状部２３と電源を接続する配線はフレキシブルであることが好ましい。また、この配線は、棒状部２３を電源からもっとも遠い位置に駆動した際に棒状部２３の駆動を妨げないよう、電源と棒状部２３との間の距離よりも充分に長いものを用いることが好ましい。

　棒状部２３の支持体は、棒状部２３を、棒状部２３の中心軸を中心に回転させる駆動手段（第２の駆動手段、第２の駆動部ともいう）を有することが好ましい。このような構成によれば、第２の駆動部によって、棒状部２３は、棒状部２３の中心軸を中心に回転することが可能である（後述する図５の矢印Ａ４を参照）。これにより、検査装置は、Ｘ線照射範囲を構造物の円周方向に拡張することができる。その結果、検査装置は、内部に所定の空間を有する構造物を駆動することなく、構造物の広い範囲を撮像し、検査することができることから、構造物が重量物で駆動困難な場合等であっても検査が容易となる。なお、第２の駆動物の構成は、上記した駆動部と同様である。

　本実施形態の検査装置は、構造物を支持する支持体を有し、構造物を支持する支持体が駆動手段（駆動部）を有することが好ましい。このような構成によれば、支持体が駆動部によって駆動されることにより、構造物を駆動することができる。その結果、検査装置は、Ｘ線放射装置、およびＸ線検出器の位置を固定し、構造物のみを駆動することで構造物の広い範囲を検査することが可能となり、Ｘ線放射装置とＸ線検出器の位置あわせに要する時間を短縮でき、検査タクトを短縮できる。

　本実施形態の検査装置は、構造物の支持体が、棒状部２３の中心軸を中心に構造物を回転させる駆動手段（第３の駆動手段、第３の駆動部ともいう）を有することが好ましい。このような構成によれば、支持体が第３の駆動部によって駆動されることにより、構造物を駆動し、Ｘ線照射範囲を構造物の円周方向に拡張できる。その結果、検査装置は、Ｘ線放射装置、およびＸ線検出器の位置を固定し、構造物のみを駆動することで構造物の広い範囲を検査することが可能となる。これにより、Ｘ線放射装置とＸ線検出器の位置あわせに要する時間を短縮でき、検査タクトを短縮できる。なお、第３の駆動物の構成は、上記した駆動部および第２の駆動部と同様である。

　以上、本実施形態の検査装置によれば、内部に所定の空間を有する構造物について、構造物の有する開口が小さい場合であっても、その外壁を精密に検査することができる。

＜高圧タンク用部材の検査方法＞
　本実施形態の検査装置は、内部に所定の空間を有する構造物について、構造物の有する開口が小さい場合であっても、その外壁を精密に検査可能であることから、種々の応用が考えられる。ここでは具体的な実施形態の一例として、高圧タンク用部材の検査方法（以下、単に検査方法ともいう）について、説明する。

　まず、本実施形態の検査方法の説明の前に、従来の高圧タンクおよび高圧タンク用部材について説明する。近年、石油燃料の枯渇や、有害ガス排出量の削減の要請に対応するために、燃料電池電気自動車が注目されている。燃料電池電気自動車は、たとえば、水素と空気中の酸素とを電気化学的に反応させて発電する燃料電池を搭載し、燃料電池が発電した電気をモータに供給して駆動力とする。燃料電池が水素電池である場合、自動車には、高圧水素用タンクが搭載される。一例を挙げると、高圧水素用タンクは、樹脂製のライナー部材と、ライナー部材の外側を覆う繊維強化樹脂層からなる。なお、このような高圧水素用タンクは、上記した構造物の一例である。ライナー部材は、樹脂製、アルミニウムや鉄等の金属製等である。これらの中でも、樹脂製のライナー部材は軽量であり、また成形性に優れるため安価に製造できることから、開発が進められている。

　しかしながら、樹脂製のライナー部材を有するタンクは、高圧ガスの充填および放圧が繰り返されると、変形や破壊が起こりやすい。そこで、このようなタンクの変形や破壊を抑制するための、樹脂組成物を含有する高圧タンクライナーおよび当該ライナーを含む高圧ガスタンクが検討されている。

　しかしながら、これらの樹脂を用いて作成した作製した高圧ガスタンクは、高圧ガス（特に高圧水素ガス）の充填および放圧を繰り返した際に、変形等が発生することがあり、歩留まり低下の要因となっていた。このような突発的な異常は、発生要因が不明であり、またその検査方法もなかった。

　本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、タンクの変形等の要因が、高圧タンク用部材に存在する不純物や空隙に因ることを突き止めた。また、本発明者らは、タンクを成形する前段階において、部材に対してＸ線を放射し、透過されたＸ線を検出することにより、上記不純物等の有無を確認できることを見出した。

　本実施形態の検査方法は、上記した検査装置を用いて高圧タンク用部材を検査する方法である。すなわち、検査方法は、上記検査装置を用いて、上記Ｘ線放射装置から、高圧タンク用部材にＸ線を放射し、高圧タンク用部材を透過したＸ線を、上記Ｘ線検出器を用いて検出することにより、高圧タンク用部材が良品であるか不良品であるかを検査する方法である。説明の明瞭化のため、本実施形態の検査方法の説明の前に、高圧タンクの構成について詳細について説明する。

（高圧タンク）
　高圧タンクは、圧縮ガスや液化ガスなどの高圧ガスを充てんするための容器のことであり、たとえば高圧ガスが水素の場合では燃料電池自動車搭載用容器、高圧水素輸送用容器、および水素ステーション蓄圧器などがある。高圧タンクの構造は、特に限定されない。一例を挙げると、高圧タンクは、ライナー部材と、ライナー部材を覆う１または複数の補強層と、燃料電池に高圧ガスを供給するための供給系統（弁部材、各種配管系統等）からなる。

　高圧タンクの形状は特に限定されない。一例を挙げると、高圧タンクは、略円筒状である。高圧タンクは、タンク内へ高圧ガスを充填し、または、タンク内から高圧ガスを取り出すための開口部が形成されている。開口部は、供給系統によって閉止される。本実施形態において、高圧タンク用部材とは、高圧タンクを構成する部材のことであり、ライナー部材や、ライナー部材に補強層を形成した後の部材などが挙げられる。

・ライナー部材
　ライナー部材は、高圧タンクの筐体を構成するタンク容器である。ライナー部材の形状は特に限定されない。一例を挙げると、ライナー部材は、略円筒状であり、内部に収容空間が形成されている。収容空間には、高圧ガスが充填される。ライナー部材には、上記の開口部が形成されている。ライナー部材は、１の部材から構成されてもよく、複数に分割された部材から構成されてもよい。この場合、複数に分割された部材は、接合等によって一体化され得る。また、ライナー部材を作製する方法は、ブロー成形、射出成形等が挙げられる。特に射出成形によってライナー部材が作製される場合、不純物が混入しやすく、また、空隙が形成されやすい。一方、本実施形態の検査方法は、このようにライナー部材が射出成形によって作製される場合であっても、適切に不純物や空隙を検出することができ、好適である。

　ライナー部材の材質は特に限定されない。一例を挙げると、ライナー部材は、樹脂製、アルミニウムや鉄等の金属製等である。これらの中でも、樹脂製のライナー部材は、空隙や不純物が比較的形成されやすく、高圧タンクに成形された後に変形や破壊等が起こりやすい。しかしながら、本実施形態の検査方法は、後述するとおり、空隙や不純物を適切に検出し得る。そのため、本実施形態の検査方法は、ライナー部材が樹脂製である場合に、特に好適である。樹脂は、Ｘ線吸収率がより高く、上記Ｘ線検出器によってライナー部材における不純物等がより精度よく検出される点から、ポリオレフィン樹脂、エチレン－ビニルアルコール共重合体およびポリアミド樹脂のうち少なくともいずれか１種を含むことが好ましい。

　また、樹脂は、ポリアミド樹脂を含むことがより好ましい。ポリアミド樹脂は、ライナー部材としての特性が優れる。また、ポリアミド樹脂を含むライナー部材は、Ｘ線吸収率が高いため、ポリアミド樹脂中の空隙や樹脂不純物等が検出されやすい。より具体的には、たとえば、ポリアミド樹脂中に不純物として５０μｍ以上のポリオレフィンが含まれている場合、このようなポリアミド樹脂からなるライナー部材は、タンクの変形や破壊等が生じやすい。特に、高圧ガスが水素ガスである場合、水素ガスは低分子量であるため、ライナー部材に溶け込みやすい。その結果、ライナー部材にわずかな空隙や不純物が存在する場合であっても、水素ガス用の高圧タンクは、変形や破壊等が生じやすい。本実施形態の検査方法によれば、このような５０μｍ以上の不純物は、容易に検出され得る。そのため、本実施形態の検査方法は、ライナー部材がポリアミド樹脂製である場合に、特に不純物等が精度よく検出され、適切に判別され得る。

　さらに、ライナー部材を構成するポリアミド樹脂は、ポリアミド６樹脂（Ａ）、および、ＤＳＣ測定による融点がポリアミド６樹脂（Ａ）の融点＋２０℃以下であり、かつＤＳＣ測定による降温結晶化温度がポリアミド６樹脂（Ａ）の降温結晶化温度より高いポリアミド樹脂（Ｂ）を配合してなるポリアミド樹脂組成物であって、かつ、ポリアミド６樹脂（Ａ）１００重量部に対して、ポリアミド樹脂（Ｂ）を０．０１～５重量部配合してなるポリアミド樹脂組成物を用いることが好ましい。このようなポリアミド（Ａ）は、成形性、ガスバリア性、剛性および靱性のバランスが優れる。そして、このようなポリアミド６樹脂（Ａ）に、ポリアミド樹脂（Ｂ）を特定量配合することにより、結晶化速度が速くなり、緻密で均一な結晶が形成される。その結果、水素ガスの透過や、水素の樹脂中への溶解が抑制され、得られるライナー部材は、高圧ガス（特に高圧水素ガス）の充填および放圧を繰り返しても欠陥点が発生しにくい。

　本実施形態において、ポリアミド６樹脂（Ａ）は、６－アミノカプロン酸および／またはε－カプロラクタムを主たる原料とするポリアミド樹脂である。ポリアミド６樹脂（Ａ）は、本実施形態の目的を損なわない範囲で、他の単量体が共重合されたものであってもよい。ここで、「主たる原料とする」とは、ポリアミド樹脂を構成する単量体単位の合計１００モル％中、６－アミノカプロン酸由来の単位またはε－カプロラクタム由来の単位を合計５０モル％以上含むことを意味する。ポリアミド６樹脂（Ａ）は、６－アミノカプロン酸由来の単位またはε－カプロラクタム由来の単位が７０モル％以上含まれることがより好ましく、９０モル％以上含まれることがさらに好ましい。

　本実施形態において、ポリアミド樹脂（Ｂ）は、ＤＳＣ測定による融点がポリアミド６樹脂（Ａ）の融点＋２０℃以下であり、かつＤＳＣ測定による降温結晶化温度がポリアミド６樹脂（Ａ）の降温結晶化温度より高いポリアミド樹脂であることが好ましい。ポリアミド樹脂（Ｂ）の融点が、ポリアミド６樹脂（Ａ）の融点＋２０℃を超える場合、本実施形態のポリアミド樹脂組成物中におけるポリアミド樹脂（Ｂ）の分散性が低下しやすい。その結果、結晶化速度を向上させる効果が小さくなりやすく、高圧ガス（特に高圧水素ガス）の充填および放圧が繰り返されることにより欠陥点が発生しやすくなる。

　また、ポリアミド樹脂（Ｂ）の降温結晶化温度がポリアミド６樹脂（Ａ）の降温結晶化温度以下である場合、ポリアミド樹脂組成物の溶融状態からの冷却過程において、ポリアミド６樹脂（Ａ）の結晶化速度がポリアミド樹脂（Ｂ）の結晶化速度より速くなる。この場合、緻密で均一な結晶が形成されにくく、ライナー部材は、高圧ガスの充填および放圧が繰り返されると、欠陥点が発生しやすくなる。

　本実施形態において好適に用いられるポリアミド樹脂（Ｂ）は、ポリヘキサメチレンセバカミド（ポリアミド６１０）、あるいは、ポリヘキサメチレンアジパミド（ポリアミド６６）、ポリペンタメチレンアジパミド（ポリアミド５６）、ポリテトラメチレンアジパミド（ポリアミド４６）およびポリテトラメチレンセバカミド（ポリアミド４１０）から選択される１種以上とポリカプロアミド（ポリアミド６）、ポリウンデカンアミド（ポリアミド１１）、ポリドデカンアミド（ポリアミド１２）、ポリヘキサメチレンセバカミド（ポリアミド６１０）、ポリペンタメチレンセバカミド（ポリアミド５１０）およびポリヘキサメチレンドデカミド（ポリアミド６１２）から選択される１種以上とのコポリマーが例示される。これらの中でも、ポリアミド樹脂（Ｂ）は、ポリアミド６１０樹脂であることがより好ましい。

　本実施形態のポリアミド樹脂組成物におけるポリアミド樹脂（Ｂ）の配合量は、ポリアミド６樹脂（Ａ）１００質量部に対して０．０１～５質量部であることが好ましい。ポリアミド樹脂（Ｂ）の配合量が０．０１質量部未満である場合、結晶化速度の向上効果が充分ではなく、ライナー部材は、高圧ガスの充填および放圧が繰り返されることにより欠陥点が発生しやすくなる。一方、ポリアミド樹脂（Ｂ）の配合量が５質量部を超える場合、樹脂組成物の溶融状態からの冷却過程におけるポリアミド６樹脂（Ａ）とポリアミド樹脂（Ｂ）との相分離が進みやすくなる。そのため、結晶化速度の向上効果が充分ではなく、ライナー部材は、高圧ガスの充填および放圧が繰り返されることにより欠陥点が発生しやすくなる。

　ポリアミド樹脂組成物は、耐衝撃材（Ｃ）がさらに配合されてもよい。耐衝撃材（Ｃ）が配合されることにより、得られるライナー部材は、耐衝撃性が向上され得る。また、高圧水素に触れる用途に用いられる成形品は、高圧水素が充填および放圧されることにより、－４０℃以下から９０℃以上への温度変化（ヒートサイクル）が繰り返し起こる。そのため、たとえば成形品が樹脂部と金属部とを有する複合品である場合、樹脂部と金属部との結合部において割れが発生しやすい。一方、耐衝撃材（Ｃ）が配合されることにより、このようなヒートサイクルの繰り返しにより生じる樹脂部と金属部との結合部における割れが抑制され、ライナー部材は、耐ヒートサイクル性が向上し得る。

　耐衝撃材（Ｃ）としては、オレフィン系樹脂が好適である。オレフィン系樹脂は、エチレン、プロピレン、ブテン、イソプレン、ペンテンなどのオレフィン単量体を重合して得られる熱可塑性樹脂である。オレフィン系樹脂の中でも、エチレン／α－オレフィン共重合体、エチレン／α，β－不飽和カルボン酸エステル共重合体がより好ましく、エチレン／α－オレフィン共重合体がさらに好ましい。また、オレフィン系樹脂は、不飽和カルボン酸および／またはその誘導体によって変性されていてもよい。オレフィン系樹脂が不飽和カルボン酸および／またはその誘導体で変性されることにより、ポリアミド６樹脂（Ａ）およびポリアミド樹脂（Ｂ）との相溶性が一層向上し、得られるライナー部材には、変形や破壊の原因となる５０μｍ以上のポリオレフィンが含まれにくい。オレフィン系樹脂は、不飽和ジカルボン酸およびその酸無水物であることがより好ましく、マレイン酸または無水マレイン酸であることがさらに好ましい。不飽和カルボン酸および／またはその誘導体で変性されたエチレンと炭素数３～１２のα－オレフィンとの共重合体は、ポリアミド６樹脂（Ａ）およびポリアミド樹脂（Ｂ）との相溶性を一層向上させ、変形や破壊の原因となる５０μｍ以上のポリオレフィンとして含まれにくい。

　ポリアミド樹脂組成物における耐衝撃材（Ｃ）の配合量は、ポリアミド６樹脂（Ａ）１００質量部に対して、１～５０質量部であることが好ましい。耐衝撃材（Ｃ）が１質量部以上となるよう配合されることにより、得られるライナー部材は、耐ヒートサイクル性がより向上する。また、耐衝撃材（Ｃ）が５０質量部以下となるよう配合されることにより、結晶化速度がより向上する。

・補強層
　ライナー部材は、ライナー部材を補強するために、１または複数の補強層によって外表面が覆われる。補強層の材料は特に限定されない。一例を挙げると、補強層は、繊維強化樹脂層である。繊維強化樹脂層を構成する繊維強化樹脂としては、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）、ガラス繊維強化プラスチック等が例示される。これらの繊維強化樹脂は、併用されてもよい。また、それぞれの繊維強化樹脂からなる補強層がライナー部材を二重に覆ってもよい。繊維強化樹脂層は、繊維強化樹脂がたとえば、炭素繊維強化プラスチックである場合、ライナー部材の外表面に巻き付けられる炭素繊維強化プラスチック等の強化繊維と、強化繊維同士を結着する熱硬化性樹脂とから主に構成される。

　検査方法全体の説明に戻り、本実施形態の検査方法は、上記高圧タンクのうち、補強層が設けられる前のライナー部材に対して実施されることが好ましい。具体的には、検査方法は、Ｘ線放射装置から、ライナー部材にＸ線を放射し、ライナー部材を透過したＸ線を、Ｘ線検出器を用いて検出することにより、ライナー部材が良品であるか不良品であるかを検査する。検査方法は、円筒状に成形されたライナー部材に対して実施されてもよく、円筒状に成形される前のライナー部材に対して実施されてもよい。

　図３は、本実施形態の検査装置を用いるライナー部材の検査方法を説明するための模式図である。図３に示される態様において、ライナー部材１の内側に配置されたＸ線放射装置２から、ライナー部材１に対してＸ線を放射する。ライナー部材１を透過したＸ線は、ライナー部材１の外側に配置されたＸ線検出器３によって検出される。なお、Ｘ線放射装置２から放射されるＸ線の放射範囲４は特に限定されない。放射範囲４は、放射されたＸ線のうち少なくとも一部がＸ線検出器３によって検出され得る範囲であればよい。

　図３では、円筒状に成形された後のライナー部材１が例示されている。図３において、ライナー部材１には、円筒形状の長軸方向の両末端に、タンク内から高圧ガスを取り出すための開口部５が形成されている。ライナー部材１の開口部５の大きさは、ガスの取り出し効率や、供給系統の接合部の強度等を考慮して決定される。本実施形態において、開口部５の最小開口長さ（開口部の断面において、断面の重心位置を通る任意の直線に対する断面の外周の２点の交点について、交点間の最小の距離。たとえば、断面の形状が真円形状の場合は円の直径であり、楕円形状の場合は楕円の短径であり、長方形形状の場合は長方形の短辺長さとなる。）は、５ｃｍ以下であることが好ましい。開口部５の最小開口長さが５ｃｍを超える場合、供給系統の接合部の強度が低下することがある。なお、ライナー部材が複数の開口を有する場合、最小開口長さは、該複数の開口それぞれの最小開口長さのうち最短のものをいう。

　本実施形態の検査方法において、Ｘ線放射装置２は、開口部５の最小開口長さが５ｃｍ以下であるライナー部材１の開口部５より、挿入されることが好ましい。この場合であっても、本実施形態のＸ線放射装置２は、上記した棒状部２３の太さが５ｃｍ以下であるため、開口部５から挿入され得る。このような構成によれば、円筒状に成形されたライナー部材等においても、高圧タンク用部材の１の壁面のみを検査できる。したがって、本実施形態によれば、円筒状に成形されたライナー部材等においても、不純物の有無が明確に把握されやすい。

　ライナー部材１は、複数の開口部５を有することが好ましく、この場合において、棒状のＸ線源は、ライナー部材１の複数の開口部５のうち、２つの開口部５を貫通することが好ましい。このような構成により、棒状のＸ線源は、ライナー部材１の外部の２箇所で保持され得る。その結果、Ｘ線発生部の位置は、容易に精密に制御され得る。

　本実施形態において、円筒状に成形されたライナー部材１の成型方法は特に限定されない。ライナー部材１は、略椀状に分割された２つのライナー部材を接合する方法により成型されたライナー部材であることが好ましい。このように成型されたライナー部材１は、接合部に不純物や空隙が形成されやすく、本実施形態による好適な検査対象となる。接合部の検査において、Ｘ線放射装置２のＸ線管の焦点は、略円状の接合部を含む平面上に配置されることが好ましい。このような配置とすることにより、Ｘ線放射装置２は、接合部に対し、Ｘ線を接合面と平行方向に照射することが可能となり、接合面に対し斜めにＸ線を照射した場合に比べ、不純物や空隙の検出精度が向上する。

＜Ｘ線放射装置２等の配置について＞
　次に、本実施形態の検査方法をより好適に実施するための、Ｘ線放射装置２等の配置について説明する。

　本実施形態の検査方法は、図３に示されるように、Ｘ線放射装置２とＸ線検出器３との間に、ライナー部材１の１の壁面のみが配置されて、実施される。また、図４は、従来の検査方法を説明するための模式図である。従来の検査方法は、図４に示されるように、Ｘ線放射装置２とＸ線検出器３とが、ライナー部材１を挟むよういずれも外側に配置されて、実施される。この場合、Ｘ線放射装置２とＸ線検出器３との間には、ライナー部材１の複数の壁面が配置されることとなる。

　なお、ライナー部材１の形状は特に限定されない。ライナー部材１は、上記のとおり、所定の開口部が形成された略円筒状である。

　図３に示される配置にて検査方法が実施される場合、ライナー部材１の１の壁面のみが検査される。そのため、不純物の有無が明確に把握されやすい。

　また、本実施形態の検査方法は、図３に示される配置によれば、Ｘ線放射装置２がライナー部材１の内側に配置され、Ｘ線検出器３がライナー部材１の外側に配置され得る。この場合、Ｘ線放射装置２は、ライナー部材１の内側から外側に向かってＸ線を放射する。また、Ｘ線検出器３は、ライナー部材１の外側に配置される。そのため、Ｘ線検出器３は、ライナー部材１と比較して、大型であってもよい。その結果、Ｘ線放射装置２から、広範囲にＸ線が放射される場合であっても、Ｘ線検出器３は、放射されたＸ線を、適切に検出し得る。したがって、１回のＸ線撮影により検査し得るライナー部材１の壁面の面積が大きくなり、検査時間が短縮され得る。また、Ｘ線検出器３は、ライナー部材１の外側に配置されるため、Ｘ線検出器３と、ライナー部材１の壁面との離間距離が変更されてもよい。そのため、図３に例示される配置の採用された本実施形態の検査方法は、たとえば不純物等の大きさに合わせて、Ｘ線撮影時の拡大倍率等を調整しやすい。その結果、本実施形態の検査方法によれば、不純物等がより精度よく検出されやすい。

　一方、図４に示される配置にて検査方法が実施される場合、Ｘ線放射装置２から放射されたＸ線は、高圧タンク用部材（ライナー部材１）の２の壁面を透過することとなる。Ｘ線での検査では、検査対象物の厚さが厚くなるほど不純物の検出精度が低下する。このため、２の壁面を透過する構成は１の壁面を透過する構成に比べて検査対象物の厚さが実質的に２倍となることから、不純物の検出精度が低下する。また、この場合、透過されたＸ線により不純物等の存在が検出された場合であっても、不純物等が、いずれの壁面に存在するか定かでなく、不純物が明確に把握されない場合がある。

＜Ｘ線放射装置２等の駆動形式について＞
　次に、本実施形態の検査方法をより好適に実施するための、Ｘ線放射装置２等の駆動形式について、図３および図５を参照して説明する。図５は、本実施形態の検査方法において、Ｘ線放射装置２等の駆動形式を説明するための模式図である。本実施形態の検査方法は、Ｘ線放射装置２、Ｘ線検出器３およびライナー部材１のうち、少なくとも１つの部材が、他の部材に対して相対位置を変化するよう駆動されてもよい。

　具体的には、図３に示される配置が採用される場合において、本実施形態の検査方法は、ライナー部材１が駆動され、Ｘ線放射装置２とライナー部材１との相対位置を変化させることによりライナー部材１が検査されてもよい。このような駆動形式によれば、本実施形態の検査方法は、Ｘ線放射装置２とＸ線検出器３との位置関係が維持されたまま、ライナー部材１が駆動される。そのため、ライナー部材１に対し、連続的にＸ線撮影が行われ得る。その結果、検査に要する時間が短縮され得る。なお、本実施形態において、「連続的にＸ線撮影が行われる」とは、Ｘ線の動画像を撮影する場合と、撮影位置を変更しつつ複数の静止画像を繰り返し撮影する場合とを含む。

　ライナー部材１の駆動形式は特に限定されない。ライナー部材１は、たとえば、図３に示されるように、矢印Ａ１に示される所定の方向に駆動されてもよく、Ｘ線放射装置２から放射されるＸ線に対して直交する方向や、同方向、または、所定の斜め方向に駆動されてもよい。

　さらに、図５において、検査方法は、円筒状のライナー部材１の内側にＸ線放射装置２が配置され、ライナー部材１の外側にＸ線検出器３が配置されている。この場合、たとえばライナー部材１が矢印Ａ４方向に回転駆動され、Ｘ線放射装置２およびＸ線検出器３が所定の位置に固定配置されることにより、ライナー部材１の壁面は、連続的に検査され得る。

　また、図３において、本実施形態の検査方法は、Ｘ線放射装置２が駆動され、Ｘ線放射装置２とライナー部材１との相対位置を変化させることにより、ライナー部材１が連続的に検査されてもよい。より具体的には、たとえば、ライナー部材１が所定の位置に固定配置され、Ｘ線放射装置２が矢印Ａ２方向に駆動され、Ｘ線放射装置２の駆動と連動するようＸ線検出器３が矢印Ａ３方向に駆動されることにより、ライナー部材１の壁面が連続的に検査されてもよい。

　さらに、図５において、本実施形態の検査方法は、Ｘ線放射装置２が駆動され、Ｘ線放射装置２とライナー部材１との相対位置を変化させることにより、ライナー部材１が連続的に検査されてもよい。より具体的には、たとえば、ライナー部材１が所定の位置に固定配置され、Ｘ線放射装置２が矢印Ａ５方向に回転駆動され、Ｘ線放射装置２の駆動と連動するようＸ線検出器３が矢印Ａ６方向に回転駆動されることにより、ライナー部材１の壁面が連続的に検査されてもよい。このような構成によれば、Ｘ線放射装置２が駆動されることにより、ライナー部材１に対してＸ線が放射される位置を精密に制御し得る。そのため、たとえばライナー部材１が湾曲した部位を備える場合であっても、このような湾曲部位に対して、充分にＸ線を放射し得る。その結果、本実施形態の検査方法によれば、不純物等がさらに精度よく検出されやすい。

　以上のＸ線放射装置２およびＸ線検出器３を用いた本実施形態の検査方法によれば、透過したＸ線が検出されることにより、ライナー部材１に存在する不純物や空隙が検出され得る。そのため、これら不純物等が検出されたライナー部材１は、適宜、不良品として選別され、排除されればよい。ところで、たとえばライナー部材１に繊維強化樹脂からなる補強層が形成される場合、このような繊維強化樹脂は、高価である。しかしながら、本実施形態の検査方法によれば、高圧タンクを成形する前段階においてライナー部材１が検査される。そのため、ライナー部材１は、たとえばライナー部材１に繊維強化樹脂からなる補強層が形成される前に、不良品と判定され得る。その結果、繊維強化樹脂が無駄に使用されることがない。また、製造される高圧タンクの歩留りが向上する。

　特に、本実施形態の検査方法は、高圧ガスが水素ガスである場合に有用である。すなわち、水素ガスは、他のガスと比べて分子量が小さい。そのため、水素ガスは、ライナー部材に溶け込みやすく、わずかな不純物や空隙でも高圧タンクの変形や破壊の原因となりやすい。本実施形態の検査方法によれば、このようなわずかな不純物や空隙が精度よく検出される。そのため、水素ガスが充填される場合であっても、得られる高圧タンクは、変形や破壊等が発生しにくい。

　以上、本発明の一実施形態について説明した。本発明は、上記実施形態に格別限定されない。なお、上記した実施形態は、以下の構成を有する発明を主に説明するものである。

　（１）Ｘ線管球と高電圧発生装置とを有するＸ線放射装置と、Ｘ線検出器とを有する、構造物の検査装置であり、前記Ｘ線管球は、電子放出体とターゲットとを内包し、前記Ｘ線放射装置は、太さ５ｃｍ以下の棒状部を有し、前記Ｘ線管球は、前記棒状部内に存在し、前記棒状部の長手方向と略平行方向に前記Ｘ線放射装置と前記構造物との相対的位置関係を制御するための駆動手段を有する、検査装置。

　（２）前記電子放出体は、冷陰極電子源である、（１）記載の検査装置。

　（３）前記電子放出体は、炭素からなる突起を有する炭素膜である、（１）または（２）記載の検査装置。

　（４）前記棒状部のアスペクト比は、３以上である、（１）～（３）のいずれかに記載の検査装置。

　（５）前記Ｘ線放射装置は、前記棒状部の内部に、前記高電圧発生装置の一部である昇圧回路を具備する、（１）～（４）のいずれかに記載の検査装置。

　（６）前記Ｘ線放射装置の前記棒状部の長さをＬ１、前記電子放出体と前記ターゲット間の距離をＬ２とした際、Ｌ１＞Ｌ２である、（１）～（５）のいずれかに記載の検査装置。

　（７）前記Ｌ１は、５０ｃｍ以上である、（６）記載の検査装置。

　（８）前記Ｌ２は、３０ｃｍ以下である、（６）記載の検査装置。

　（９）前記構造物の前記検査装置は、前記Ｘ線放射装置の前記棒状部を支持する支持体を有し、前記棒状部を支持する前記支持体は、前記駆動手段を有する、（１）～（８）のいずれかに記載の検査装置。

　（１０）前記棒状部の支持体は、前記Ｘ線放射装置の前記棒状部を、前記棒状部の中心軸を中心に回転させる第２の駆動手段を有する、（９）記載の検査装置。

　（１１）前記構造物の検査装置は、前記構造物を支持する支持体を有し、
　前記構造物を支持する前記支持体は、前記駆動手段を有する、（１）～（１０）のいずれかに記載の検査装置。

　（１２）前記構造物の支持体は、前記棒状部の中心軸を中心に前記構造物を回転させる第３の駆動手段を有する、（１１）記載の検査装置。

　（１３）前記Ｘ線検出器は、間接変換方式の検出器である、（１）～（１２）のいずれかに記載の検査装置。

　（１４）前記間接変換方式の検出器は、セル方式シンチレータを具備する、（１３）記載の検査装置。

　以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。本発明は、これら実施例に何ら限定されない。

＜Ｘ線放射装置１の作製＞
　ダイヤモンド粉とシリカ粉とを水に混合した研磨剤を用い、ステンレス基板を研磨した。この基板上にプラズマＣＶＤ装置を用いて、水素ガスとメタンガスとの混合ガスを原料として炭素膜を成膜した。具体的には、プラズマＣＶＤ装置内に水素ガスを導入し内圧を３０ｔｏｒｒまで徐々に減圧して通電することにより、基板表面の酸化膜を除去した。その後、水素ガスとメタンガスとの混合ガスを導入し内部の圧力を７５ｔｏｒｒまで徐々に上昇させ、炭素膜を生成させた。得られた炭素膜は、炭素からなる突起を有していた。

　次に、厚さ１ｍｍのセラミックを外壁とする、一端が閉じた長さ４ｃｍ、直径２．５ｃｍの円筒状の部材を２つ用意した。それぞれの部材の、閉じられた側の端部に穴を空け、配線を通し、ロウで封止した。その後、上記部材の内部に、上記の炭素膜を有する基板、およびタングステンターゲットを、いずれも上記部材の開口部から２．５ｃｍの位置にそれぞれ配置し、配線と接続した後、２つの部材の開口部分を互いにロウ付けして真空封止し、炭素膜を有する基板を電子放出体とするＸ線管球（２極管）を作製した。Ｘ線管球は、長さ８ｃｍ、直径２．５ｃｍの略円柱形状であった。また、電子放出体とターゲット間の距離Ｌ２は５ｃｍであった。

　得られたＸ線管球を、直径５ｃｍ、長さ１１０ｃｍのアクリルパイプ内に、Ｘ線放射部がアクリルパイプの１方の末端から５ｃｍの位置となるように配置した。また、Ｘ線管球からの２本の引き出し配線のうち、電子放出体からの配線に昇圧回路を接続し、アクリルパイプ内に、アクリルパイプの長軸方向に沿ってＸ線管球と昇圧回路を順に配置した。このアクリルパイプのＸ線管球を配置した部分に近い末端を封止した後、他方の末端より昇圧回路に接続された配線を引き出し、絶縁オイルを注入した後に封止した。昇圧回路からの引き出し配線を電源に接続して高電圧発生装置とし、アクリルパイプを棒状部とするＸ線放射装置を作製した。Ｘ線放射装置の棒状部の長さＬ１は１１０ｃｍ、棒状部のアスペクト比は２２であった。

＜Ｘ線放射装置２の作製＞
　Ｘ線放射装置１と同様にして炭素膜を有する基板を作製した。次に、厚さ１ｍｍのセラミックを外壁とする、一端が閉じた長さ４ｃｍ、直径２．５ｃｍの円筒状の部材を２つ用意した。それぞれの部材の、閉じられた側の端部に穴を空け、配線を通し、ロウで封止した。その後、上記部材の内部に、上記の炭素膜を有する基板、およびタングステンターゲットを、いずれも上記部材の開口部から２．５ｃｍの位置に配置し、配線と接続した。さらに、補助電極（中央に穴の開いた金属板）を、上記２つの部材の中央に配置し、配線を接続した。その後、２つの部材の開口部分から補助電極の配線を引き出しながら互いにロウ付けして真空封止し、炭素膜を有する基板を電子放出体とするＸ線管球（３極管）を作製した。Ｘ線管球は、長さ８ｃｍ、直径２．５ｃｍの略円柱形状であった。また、電子放出体とターゲット間の距離Ｌ２は５ｃｍであった。

　その後、得られたＸ線管球を、直径３ｃｍ、長さ１２０ｃｍのアクリルパイプ内に、Ｘ線放射部がアクリルパイプの一方の末端から１５ｃｍの位置となるように配置した。また、Ｘ線管球からの３本の引き出し配線のうち、タングステンターゲット、および電子放出体からの配線にそれぞれ昇圧回路を接続し、アクリルパイプの長軸方向に沿って、ターゲット側の昇圧回路、Ｘ線管球、炭素膜側の昇圧回路を順に配置した。このアクリルパイプのＸ線管球を配置した部分に近い末端を封止した後、他方の末端より昇圧回路に接続された配線を引き出し、絶縁オイルを注入した後に封止した。昇圧回路からの引き出し配線を電源に接続して高電圧発生装置とし、アクリルパイプを棒状部とするＸ線放射装置を作製した。Ｘ線放射装置の棒状部の長さＬ１は１２０ｃｍ、棒状部のアスペクト比は４０であった。

＜Ｘ線放射装置３の作製＞
　Ｘ線放射装置１と同様にして炭素膜を有する基板を作製した。次に、厚さ１ｍｍのステンレスを外壁とする、一端が閉じた長さ３ｃｍ、直径２．５ｃｍの円筒状の部材を用意した。この部材の、閉じられた側の端部から１．５ｃｍの円筒側面箇所に、直径約１ｃｍの穴を空け、厚さ０．２ｍｍのベリリウム板をロウ付けした。その後、タングステンターゲットを上記部材内のベリリウム板付近に配置し、ステンレスの外壁と配線で接続した。また、上記部材の閉じた端部の外側面に配線を接続した。この構成により、上記部材とタングステンターゲットは電気的に等電位となった。次に、厚さ１ｍｍのアルミナセラミックを外壁とする、一端が閉じた長さ５ｃｍ、直径２．５ｃｍの部材を用意した。この部材の、閉じられた側の端部に穴を空け、配線を通し、ロウで封止した。その後、上記部材の内部の開口部から３．５ｃｍの位置に、上記の炭素膜を有する基板を配置し、配線と接続した。

　その後、上記のステンレスを外壁とする部材と、セラミックを外壁とする部材の開口部分を互いにロウ付けして真空封止し、Ｘ線管球（２極管）を作製した。Ｘ線管球は、長さ８ｃｍ、直径２．５ｃｍの略円柱形状であった。また、電子放出体とターゲット間の距離Ｌ２は５ｃｍであった。その後、Ｘ線放射装置１と同様にしてＸ線放射装置３を作製した。Ｘ線放射装置の棒状部の長さＬ１は１１０ｃｍ、棒状部のアスペクト比は２２であった。

＜Ｘ線放射装置４の作製＞
　Ｘ線放射装置１の作製において、Ｘ線管球を、直径５ｃｍ、長さ１６０ｃｍのアクリルパイプ内に、Ｘ線放射部がアクリルパイプの一方の末端から５ｃｍの位置となるように配置した以外は、Ｘ線放射装置１と同様にしてＸ線放射装置４を作製した。

＜Ｘ線放射装置５の作製＞
　Ｘ線放射装置２の作製において、Ｘ線管球を、直径３ｃｍ、長さ３０ｃｍのアクリルパイプ内に、Ｘ線放射部がアクリルパイプの一方の末端から１５ｃｍの位置となるように配置した。また、Ｘ線管球からの３本の引き出し配線のうち、タングステンターゲット、および電子放出体からの配線にそれぞれ昇圧回路を接続し、アクリルパイプ内に、アクリルパイプの長軸方向に沿って昇圧回路、Ｘ線管球、昇圧回路を順に配置した。このアクリルパイプの一方の末端を封止した後、他方の末端より昇圧回路に接続された配線を引き出し、絶縁オイルを注入した後に封止した。次に、配線を直径３ｃｍ、長さ５ｍの軟質塩化ビニール製ホースの一方から挿入し、ホースの開口をアクリルパイプの配線引き出し末端とテープで固定した。その後、配線をホースの他方の末端から引き出し、電源に接続して高電圧発生装置とし、アクリルパイプとホースが連結された棒状部を有するＸ線放射装置５を作製した。Ｘ線放射装置５の棒状部の長さＬ１は５３０ｃｍ、棒状部のアスペクト比は１７７であった。棒状部はその一部であるホース部がフレキシブルであり、巻いて保管することが可能であった。

＜高圧タンク用ライナー部材の作製＞
　後述する各実施例において使用される樹脂について、ペレットを原料として射出成形することにより、略円筒状のシリンダー部と、シリンダー部の一端に設けられた略半球状のドーム部とを有する、略椀状の高圧タンク用ライナー部材を作製した。得られたライナー部材の寸法は、シリンダー部の直径が６０ｃｍであり、略円筒部の先端から反対方向のシリンダー部の中心までの距離が５０ｃｍであり、厚さが５ｍｍであった。

＜水素暴露試験＞
　ライナー部材をオートクレーブに入れた後、オートクレーブ中に水素ガスを圧力３０ＭＰａまで３分間かけて注入し、２時間保持した後、１分間かけて常圧になるまで減圧した。これを１サイクルとして１００サイクル繰り返した後、Ｘ線検査を実施した箇所について、目視で変形や破壊の有無を確認した。

＜Ｘ線検査＞
　実施例、比較例において特に記載のない場合は、Ｘ線検出器として、Ｖａｒｉａｎ社製のＰａｘＳｃａｎ２５２０を使用した。後述する実施例に記載の配置でＸ線放射装置およびＸ線検出器を配置し、管電圧４０ｋＶの条件でＸ線を放射して、ライナー部材を検査した。

＜セル方式シンチレータの作製＞
（ペーストの原料）
　ペーストの作製に用いた原料を以下に示す。
感光性モノマーＭ－１：トリメチロールプロパントリアクリレート
感光性モノマーＭ－２：テトラプロピレングリコールジメタクリレート
感光性ポリマー：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／スチレン＝４０／４０／３０の質量比からなる共重合体のカルボキシル基に対して０．４当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させたもの（重量平均分子量４３０００、酸価１００）
バインダー樹脂：１００ｃＰエチルセルロース
光重合開始剤：２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）ブタノン－１（ＩＣ３６９；ＢＡＳＦ社製）
熱重合開始剤：Ｖ－４０（和光純薬工業（株）製）
重合禁止剤：１，６－ヘキサンジオール－ビス［（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート］）
紫外線吸収剤溶液：スダンＩＶ（東京応化工業（株）製）のγ－ブチロラクトン０．３質量％溶液
粘度調整剤：フローノンＥＣ１２１（共栄社化学（株）製）
溶媒：γ－ブチロラクトン
低軟化点ガラス粉末：ＳｉＯ₂　２７質量％、Ｂ₂Ｏ₃　３１質量％、ＺｎＯ　６質量％、Ｌｉ₂Ｏ　７質量％、ＭｇＯ　２質量％、ＣａＯ　２質量％、ＢａＯ　２質量％、Ａｌ₂Ｏ₃　２３質量％、屈折率（ｎｇ）１．５６、ガラス軟化温度５８８℃、線膨張係数７０×１０^-7（Ｋ^-1）、平均粒子径２．３μｍ
高軟化点ガラス粉末：ＳｉＯ₂　３０質量％、Ｂ₂Ｏ₃　３１質量％、ＺｎＯ　６質量％、ＭｇＯ　２質量％、ＣａＯ　２質量％、ＢａＯ　２質量％、Ａｌ₂Ｏ₃　２７質量％、屈折率（ｎｇ）１．５５、軟化温度７９０℃、熱膨張係数３２×１０^-7（Ｋ^-1）、平均粒子径２．３μｍ

（ガラス粉末含有ペーストの作製）
　４質量部の感光性モノマーＭ－１、６質量部の感光性モノマーＭ－２、２４質量部の感光性ポリマー、６質量部の光重合開始剤、０．２質量部の重合禁止剤および１２．８質量部の紫外線吸収剤溶液を、３８質量部の溶媒に、温度８０℃で加熱溶解した。得られた溶液を冷却した後、９質量部の粘度調整剤を添加して、有機溶液を作製した。６０質量部の有機溶液に、３０質量部の低軟化点ガラス粉末および１０質量部の高軟化点ガラス粉末を添加した後、３本ローラー混練機にて混練し、ガラス粉末含有ペーストＡを作製した。

（セル方式シンチレータの作製）
　基材として、５００ｍｍ×５００ｍｍ×１．８ｍｍのガラス板（ＰＤ－２００；旭硝子（株）製）を用いた。基材の表面に、ガラス粉末含有ペーストを乾燥厚さが５００μｍになるようにダイコーターで塗布して乾燥し、塗布膜を得た。次に、所望のパターンに対応する開口部を有するフォトマスク（ピッチ１２７μｍ、線幅２０μｍの、格子状開口部を有するクロムマスク）を介して、塗布膜を、超高圧水銀灯を用いて７５０ｍＪ／ｃｍ²の露光量で露光した。露光後の塗布膜は、０．５質量％のモノエタノールアミン水溶液中で現像し、未露光部分を除去して、格子状の焼成前パターンを得た。得られた格子状の焼成前パターンを、空気中５８５℃で１５分間焼成して、格子状の焼成後パターンを得た。粒径１０μｍのＧＯＳ：Ｔｂ粉末をエチルセルロースのベンジルアルコール溶液と混合した蛍光体を、隔壁により区画されたセルに体積分率が６５％になるように充填して１２０℃で乾燥し、セル方式シンチレータパネルを作製した。

（実施例１）
　樹脂としてポリアミド６を用い、最小開口長さが５．５ｃｍの真円状の開口部を有する略椀状の高圧タンク用ライナー部材を２０個作製した。その後、２つの略椀状のライナー部材を接合し、シリンダー部の直径が６０ｃｍ、円筒軸方向の長さが１００ｃｍの円筒状のライナー部材を１０個作製した。これらのライナー部材を支持体により支持し、支持体が有する駆動部によりライナー部材を上記Ｘ線放射装置１の棒状部（太さ：５ｃｍ）と略平行方向に駆動することにより、上記Ｘ線放射装置１の棒状部を、Ｘ線発生部を近くに有する末端の側から５５ｃｍ挿入し、Ｘ線放射装置１のＸ線管の焦点を、略円状の接合部を含む平面上に配置した。また、外部に上記Ｘ線検出器を配置し、ライナー部材の支持体が有する駆動手段によりライナー部材を上記Ｘ線放射装置１の棒状部と略平行方向に駆動することにより、１の壁面の溶着部周辺のＸ線透過検査を行った。検査は、Ｘ線放射装置１とＸ線検出器を固定し、ライナー部材をＸ線検出器の周りに回転駆動させることによって溶着部全周の検査を行った。

（実施例２）
　実施例１において、ライナー部材を固定し、Ｘ線放射装置１の棒状部を、棒状部の中心軸を中心に回転させ、Ｘ線の照射範囲にＸ線検出器が配置されるように駆動しながら行ったこと以外は、実施例１と同様に検査を行った。

（実施例３）
　実施例１において、Ｘ線検出器の内部のシンチレータを上記セル方式シンチレータで置換したものを用いた以外は、実施例１と同様に検査を行った。

（実施例４）
　実施例１において、略椀状の高圧タンク用ライナー部材として最小開口長さが３．５ｃｍの真円状の開口部を有するものを用い、Ｘ線放射装置としてＸ線放射装置２を用い、Ｘ線放射装置２の棒状部を、Ｘ線発生部を近くに有する末端の側から６５ｃｍ挿入し、補助電極の電位を０ｋＶとし、タングステンターゲットに＋２０ｋＶ、炭素膜を有する基板に－２０ｋＶの電圧を印加することで実質的に４０ｋＶの管電圧としたこと以外は、実施例１と同様に検査を行った。

（実施例５）
　実施例１において、Ｘ線放射装置１にかえてＸ線放射装置３を用いたこと以外は、実施例１と同様に検査を行った。

（実施例６）
　実施例１と同様にして、ライナー部材の円筒軸方向の長さを３００ｃｍとし、円筒状のライナー部材を１０個作製した。また、Ｘ線放射装置１にかえてＸ線放射装置４を用い、上記Ｘ線放射装置４の棒状部を、Ｘ線発生部を近くに有する末端の側から１５５ｃｍ挿入し、Ｘ線放射装置１のＸ線管の焦点を、略円状の接合部を含む平面上に配置したこと以外は、実施例１と同様に検査を行った。

（実施例７）
　長さ１０ｍ、直径８ｃｍ、外壁の肉厚１ｃｍの配管に、Ｘ線放射装置５を５．１５ｍ挿入し、配管の長さ方向中央部の外側に上記Ｘ線検出器を配置して、補助電極の電位を０ｋＶとし、タングステンターゲットに＋７５ｋＶ、炭素膜を有する基板に－７５ｋＶの電圧を印加することで実質的に１５０ｋＶの管電圧として、配管外壁の検査を行った。

（比較例１）
　実施例１において、Ｘ線放射装置として浜松ホトニクス（株）製のＬ９１８１－０２を、Ｘ線放射装置のＸ線管の焦点が略円状の接合部を含む平面上となるようにライナー部材の外部に配置し、２の壁面を介して観察した以外は、実施例１と同様に検査を行った。検査は、ライナー部材を駆動し、Ｘ線放射装置とライナー部材との相対位置を変化させることにより、連続的に行った。

（比較例２）
　実施例６において、Ｘ線放射装置として市販のロッドアノード型Ｘ線源の適用を検討した。

　実施例１における検査により、１０個の円筒状のライナー部材のうち２個の溶着部に空隙が検出された。検査後のライナー部材について、上記水素暴露試験を実施したところ、溶着部に空隙が検出された２個のライナー部材のみにおいて、変形や破壊が観察された。

　実施例２における検査により、１０個の円筒状のライナー部材のうち２個の溶着部に空隙が検出された。検査後のライナー部材について、上記水素暴露試験を実施したところ、溶着部に空隙が検出された２個のライナー部材のみにおいて、変形や破壊が観察された。

　実施例３における検査により、１０個の円筒状のライナー部材のうち３個の溶着部に空隙が検出された。この際、本実施例３ではセル方式シンチレータを備えるＸ線検出器が用いられたため、取得されたＸ線放射画像は、非常に明瞭であった。検査後のライナー部材について、上記水素暴露試験を実施したところ、溶着部に空隙が検出された３個のライナー部材のみにおいて、変形や破壊が観察された。

　実施例４における検査により、１０個の円筒状のライナー部材のうち２個の溶着部に空隙が検出された。検査後のライナー部材について、上記水素暴露試験を実施したところ、溶着部に空隙が検出された２個のライナー部材のみにおいて、変形や破壊が観察された。なお、実施例４では、３極管を用いることにより、昇圧回路１つあたりで発生させる電圧を低くしたため、棒状部を、相対的に耐電圧の低い細幅形状とすることができた。これにより、最小開口長さが３．５ｃｍと実施例１よりも小さいライナー部材においても、棒状部を開口部より挿入して検査することができた。

　実施例５における検査により、１０個の円筒状のライナー部材のうち２個の溶着部に空隙が検出された。このとき、得られた画像は実施例１に比べてコントラストが高く、空隙が明瞭に撮影された。検査後のライナー部材について、上記水素暴露試験を実施したところ、溶着部に空隙が検出された２個のライナー部材のみにおいて、変形や破壊が観察された。

　実施例６における検査により、１０個の円筒状のライナー部材のうち２個の溶着部に空隙が検出された。検査後のライナー部材について、上記水素暴露試験を実施したところ、溶着部に空隙が検出された２個のライナー部材のみにおいて、変形や破壊が観察された。

　実施例７における検査により、配管の長さ方向中央部の外壁の画像を鮮明に撮像できた。

　比較例１における検査では、１０個の円筒状のライナー部材のいずれにおいても空隙は検出されなかった。検査後のライナー部材について、上記水素暴露試験を実施したところ、２個のライナー部材において、変形や破壊が観察され、Ｘ線検査において空隙が見落とされていることが示唆され、不良であった。

　比較例２における検査では、最小開口長さが５．５ｃｍの真円状の開口部から挿入可能な棒状部を有する市販のロッドアノード型Ｘ線源は、棒状部の長さが最長でも１ｍであり、長さが不足していたため溶着部を検査できなかった。

　１　ライナー部材
　２　Ｘ線放射装置
　２１　Ｘ線管球
　２２　高電圧発生装置
　２３　棒状部
　２４　電子放出体
　２５　ターゲット
　２６　昇圧回路
　２７　電源
　２８　電線
　２９　補助電極
　３　Ｘ線検出器
　４　放射範囲
　５　開口部

Claims (14)

1. 　Ｘ線管球と高電圧発生装置とを有するＸ線放射装置と、Ｘ線検出器とを有する、構造物の検査装置であり、
   　前記Ｘ線管球は、電子放出体とターゲットとを内包し、
   　前記Ｘ線放射装置は、太さ５ｃｍ以下の棒状部を有し、
   　前記Ｘ線管球は、前記棒状部内に存在し、
   　前記棒状部の長手方向と略平行方向に前記Ｘ線放射装置と前記構造物との相対的位置関係を制御するための駆動手段を有する、検査装置。
2. 　前記電子放出体は、冷陰極電子源である、請求項１記載の検査装置。
3. 　前記電子放出体は、炭素からなる突起を有する炭素膜である、請求項１または２記載の検査装置。
4. 　前記棒状部のアスペクト比は、３以上である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検査装置。
5. 　前記Ｘ線放射装置は、前記棒状部の内部に、前記高電圧発生装置の一部である昇圧回路を具備する、請求項１～４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 　前記Ｘ線放射装置の前記棒状部の長さをＬ１、前記電子放出体と前記ターゲット間の距離をＬ２とした際、Ｌ１＞Ｌ２である、請求項１～５のいずれか１項に記載の検査装置。
7. 　前記Ｌ１は、５０ｃｍ以上である、請求項６記載の検査装置。
8. 　前記Ｌ２は、３０ｃｍ以下である、請求項６記載の検査装置。
9. 　前記構造物の前記検査装置は、前記Ｘ線放射装置の前記棒状部を支持する支持体を有し、
   　前記棒状部を支持する前記支持体は、前記駆動手段を有する、請求項１～８のいずれか１項に記載の検査装置。
10. 　前記棒状部の支持体は、前記Ｘ線放射装置の前記棒状部を、前記棒状部の中心軸を中心に回転させる第２の駆動手段を有する、請求項９記載の検査装置。
11. 　前記構造物の検査装置は、前記構造物を支持する支持体を有し、
    　前記構造物を支持する前記支持体は、前記駆動手段を有する、請求項１～１０のいずれか１項に記載の検査装置。
12. 　前記構造物の支持体は、前記棒状部の中心軸を中心に前記構造物を回転させる第３の駆動手段を有する、請求項１１記載の検査装置。
13. 　前記Ｘ線検出器は、間接変換方式の検出器である、請求項１～１２のいずれか１項に記載の検査装置。
14. 　前記間接変換方式の検出器は、セル方式シンチレータを具備する、請求項１３記載の検査装置。

Images